KR101558426B1 - 냉매의 순환방향 전환이 가능한 열교환기를 이용한 반도체 제조 설비의 온도제어시스템 - Google Patents

냉매의 순환방향 전환이 가능한 열교환기를 이용한 반도체 제조 설비의 온도제어시스템 Download PDF

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김재건
서진용
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Abstract

냉매의 순환방향 전환이 가능한 열교환기를 이용한 반도체 제조 설비의 온도제어시스템에 관하여 개시한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 설비의 부하로부터 회수되는 냉매(Coolant)를 냉온 제어 및 순환시켜 상기 부하로 공급하되, 상기 냉매의 순환방향이 전환 가능한 반도체 제조 설비의 온도제어시스템으로서, 상기 설비의 부하로부터 냉매를 회수하여 저장하며, 저장된 냉매를 가열하는 히터를 포함하는 냉매탱크; 상기 냉매탱크에 저장된 냉매를 상기 설비의 부하로 공급하도록 순환시키는 순환펌프; 상기 냉매탱크로 저장되는 냉매를 냉각수와 열교환시키는 열교환기; 상기 열교환기를 통해 냉각수를 공급하는 냉각수(Process Cooling Water) 순환부; 및 상기 냉매탱크로부터 상기 설비의 부하로 냉매를 공급하는 냉매공급라인의 출측과, 상기 설비의 부하로부터 냉매를 회수하는 냉매회수라인의 입측과, 상기 설비의 부하로 냉매를 순환시키는 제1, 2연결포트 사이에 연결되어, 상기 설비의 부하 내부로 공급된 냉매의 순환방향을 정/역 방향으로 전환하는 냉매순환방향 전환부를 포함하는 냉매의 순환방향 전환이 가능한 열교환기를 이용한 반도체 제조 설비의 온도제어시스템을 제공한다.

Description

냉매의 순환방향 전환이 가능한 열교환기를 이용한 반도체 제조 설비의 온도제어시스템{TEMPERATURE CONTROL SYSTEM OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURE EQUIPMENT USING HEAT EXCHANGER}
본 발명은 냉매의 순환방향 전환이 가능한 열교환기를 이용한 반도체 제조 설비의 온도제어시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조 설비에 공급되는 냉매의 순환방향을 선택적으로 정/역 방향 전환 조절할 수 있는 열교환기를 이용한 반도체 제조 설비의 온도제어시스템에 관한 것이다.
반도체 소자 기술이 점차 고도화되면서 반도체 제조 설비에 적용되는 장비의 제어정밀도 역시 중요해지고 있다.
특히, 반도체 제조 설비의 온도를 제어하는 장치를 칠러(chiller)라 한다. 이러한 칠러는 냉매의 온도를 제어하도록 다양한 히터와 냉각 수단을 포함하여 구성되는데, 대표적인 예로서 열교환기를 이용하는 방식과, 냉동사이클을 이용하는 방식과, 열전소자를 이용하는 방식으로 구분된다.
도 1은 종래의 열교환기를 이용한 반도체 제조 설비의 온도제어시스템을 간략히 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 이에 도시된 종래의 온도제어시스템은 설비(10)에 연결되어 냉매(Coolant, 또는 '열매체'라 함)를 공급하거나 회수하는 냉매순환라인(2), 냉매순환라인(2)에 설치되는 열교환기(3), 냉매를 저장하는 냉매탱크(4), 그리고 순환펌프(5)를 포함하여 이루어져 있다.
상기 냉매탱크(4)에는 냉매가 저장된다. 그리고 상기 냉매순환라인(2)을 따라 냉매탱크(4)에서 설비(10)로 냉매가 공급되며, 다시 설비(10)에서 냉매가 회수되어 상기 냉매탱크(4)로 저장된다.
한편, 상기 냉매탱크(4)의 내부에는 히터(4a)가 구비되어, 상기 냉매탱크(4)에 저장된 냉매를 적정 온도로 가열한다. 예컨대, 상기 히터(4a)는 상기 냉매탱크(4)의 내부에서 측정된 냉매의 온도에 따라 설정온도에 비해 측정된 냉매의 온도가 낮아질 경우 냉매의 온도를 기 설정온도에 맞게 가열하는 역할을 한다.
그리고 상기 열교환기(3)에는 냉매에 비해 상대적으로 차갑게 냉각된 PCW(process cooling water)가 순환되도록 구성되어 있다. 이에 따라, 상기 냉매순환라인(2)을 따라 열교환기(3)를 통과하는 냉매의 온도가 설정온도보다 높을 경우 냉매의 온도는 설정온도에 맞게 냉각된다.
이와 같이 구성된 종래의 온도제어시스템은 냉매가 순환펌프(5)에 의해 냉매순환라인(2)을 따라 설비(10)와 냉매탱크(4) 사이를 순환하면서, 설비(10)가 목표온도로 유지되도록 온도를 조절하는 기능을 제공한다.
하지만, 이와 같은 대부분의 반도체 제조 설비의 온도제어시스템의 경우, 대부분 시스템의 내부를 유동하는 냉매(coolant)의 순환방향이 기 설정된 하나의 방향으로만 이루어져 있다.
만일, 상기 냉매의 순환방향을 변경시킬 필요성이 있을 경우, 시스템을 먼저 정지시킨 다음, 냉매를 제거하고, 그 다음 배관을 해체하고, 냉매의 순환방향이 변경되도록 배관을 변경하여 설치한 후, 다시 냉매를 주입하고 시스템을 재 가동시키는 번거로운 작업이 요구되었다.
따라서, 설비는 물론 온도제어시스템 내부에서 냉매의 순환방향을 쉽고 간편하게 정/역 방향 전환할 수 있는 기술적 해결방안이 요청되고 있다.
관련된 선행기술로는 대한민국 등록특허공보 제10-1367086호(2014.02.14. 공고일)가 있으며, 상기 선행문헌에는 반도체 제조 설비를 위한 온도제어 시스템에 관한 기술이 개시되어 있다.
본 발명은 반도체 제조 설비에 공급되는 냉매의 순환방향을 선택적으로 정/역 방향 전환 조절할 수 있는 냉매의 순환방향 전환이 가능한 열교환기를 이용한 반도체 제조 설비의 온도제어시스템을 제공하고자 한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 여기서 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 설비의 부하로부터 회수되는 냉매(Coolant)를 냉온 제어 및 순환시켜 상기 부하로 공급하되, 상기 냉매의 순환방향이 전환 가능한 반도체 제조 설비의 온도제어시스템으로서, 상기 설비의 부하로부터 냉매를 회수하여 저장하며, 저장된 냉매를 가열하는 히터를 포함하는 냉매탱크; 상기 냉매탱크에 저장된 냉매를 상기 설비의 부하로 공급하도록 순환시키는 순환펌프; 상기 냉매탱크로 저장되는 냉매를 냉각수와 열교환시키는 열교환기; 상기 열교환기를 통해 냉각수를 공급하는 냉각수(Process Cooling Water) 순환부; 및 상기 냉매탱크로부터 상기 설비의 부하로 냉매를 공급하는 냉매공급라인의 출측과, 상기 설비의 부하로부터 냉매를 회수하는 냉매회수라인의 입측과, 상기 설비의 부하로 냉매를 순환시키는 제1, 2연결포트 사이에 연결되어, 상기 설비의 부하 내부로 공급된 냉매의 순환방향을 정/역 방향으로 전환하는 냉매순환방향 전환부를 포함하는 냉매의 순환방향 전환이 가능한 열교환기를 이용한 반도체 제조 설비의 온도제어시스템을 제공한다.
상기 냉매순환방향 전환부는, 상기 냉매공급라인의 출측과 상기 냉매회수라인의 입측 그리고 상기 제1, 2연결포트 사이에 연결되는 포웨이 밸브(4-way valve)를 포함한다.
상기 포웨이 밸브의 개폐 제어에 따라, 상기 냉매공급라인의 출측과 상기 제1연결포트 사이를 개방시키고, 상기 냉매회수라인의 입측과 상기 제2연결포트 사이를 개방시켜, 상기 설비의 부하 내에서 상기 제1연결포트로부터 상기 제2연결포트를 향해 정 방향으로 냉매가 순환하거나, 또는 상기 냉매공급라인의 출측과 상기 제2연결포트 사이를 개방시키고, 상기 냉매회수라인의 입측과 상기 제1연결포트 사이를 개방시켜, 상기 설비의 부하 내에서 상기 제2연결포트로부터 상기 제1연결포트를 향해 역 방향으로 냉매가 순환할 수 있다.
상기 냉매순환방향 전환부는, 상기 냉매공급라인의 출측과 상기 제1, 2연결포트 사이에 연결되는 제1쓰리웨이 밸브((3-way valve); 및 상기 냉매회수라인의 입측과 상기 제1, 2연결포트 사이에 연결되는 제2쓰리웨이 밸브를 포함한다.
상기 제1, 2쓰리웨이 밸브의 개폐 제어에 따라, 상기 냉매공급라인의 출측과 상기 제1연결포트 사이를 개방시키고, 상기 냉매회수라인의 입측과 상기 제2연결포트 사이를 개방시켜, 상기 설비의 부하 내에서 상기 제1연결포트로부터 상기 제2연결포트를 향해 정 방향으로 냉매가 순환하거나, 또는 상기 냉매공급라인의 출측과 상기 제2연결포트 사이를 개방시키고, 상기 냉매회수라인의 입측과 상기 제1연결포트 사이를 개방시켜, 상기 설비의 부하 내에서 상기 제2연결포트로부터 상기 제1연결포트를 향해 역 방향으로 냉매가 순환할 수 있다.
상기 냉매순환방향 전환부는, 상기 냉매공급라인의 출측과 상기 제1연결포트 사이를 연결하는 제1분기라인에 구비되는 제1투웨이 밸브(2-way valve); 상기 냉매공급라인의 출측과 상기 제2연결포트 사이를 연결하는 제2분기라인에 구비되는 제2투웨이 밸브; 상기 냉매회수라인의 입측과 상기 제1연결포트 사이를 연결하는 제3분기라인에 구비되는 제3투웨이 밸브; 및 상기 냉매회수라인의 입측과 상기 제2연결포트 사이를 연결하는 제4분기라인에 구비되는 제4투웨이 밸브를 포함하고, 상기 제1, 2, 3, 4분기라인 각각에는 적어도 하나의 체크밸브가 구비될 수 있다.
상기 제1, 2, 3, 4투웨이 밸브 및 적어도 하나의 체크밸브의 개폐 제어에 따라, 상기 냉매공급라인의 출측과 상기 제1연결포트 사이를 개방시키고, 상기 냉매회수라인의 입측과 상기 제2연결포트 사이를 개방시켜, 상기 설비의 부하 내에서 상기 제1연결포트로부터 상기 제2연결포트를 향해 정 방향으로 냉매가 순환하거나, 또는 상기 냉매공급라인의 출측과 상기 제2연결포트 사이를 개방시키고, 상기 냉매회수라인의 입측과 상기 제1연결포트 사이를 개방시켜, 상기 설비의 부하 내에서 상기 제2연결포트로부터 상기 제1연결포트를 향해 역 방향으로 냉매가 순환할 수 있다.
상기 냉매순환방향 전환부는, 상기 냉매공급라인의 출측과 상기 냉매회수라인의 입측 그리고 상기 제1, 2연결포트 사이에 착탈 결합되는 스위칭 박스 형태로 제공될 수 있다.
상기 냉매회수라인 상에 설치되어 상기 설비의 부하로부터 회수되는 냉매의 온도를 검출하는 제1온도센서; 및 상기 냉매공급라인 상에 설치되어 상기 설비의 부하로 공급되는 냉매의 온도를 검출하는 제2온도센서를 포함할 수 있다.
상기 냉매회수라인에 설치되되, 상기 제1온도센서와 상기 열교환기의 사이에 설치되어 상기 설비의 부하로부터 회수되는 냉매의 유량을 측정하는 유량계를 포함할 수 있다.
상기 냉매공급라인에 설치되되, 상기 순환펌프와 상기 제2온도센서 사이에 설치되어 상기 설비의 부하로 공급되는 냉매의 유압을 측정하는 압력계를 포함할 수 있다.
본 발명인 반도체 제조 설비의 온도제어시스템에 의하면, 필요에 따라 사용자의 선택 및 시스템의 운용 프로그램에 연동하여 설비에 공급되는 냉매의 순환방향이 정 방향 또는 역 방향 또는 반복 전환으로 변경 조절될 수 있다.
종래의 반도체 제조 설비의 온도제어시스템은 냉매의 유동 방향이 설정된 하나의 방향으로만 이루어져 있는데, 만일 필요에 따라 냉매의 순환방향을 변경시킬 필요성이 있을 경우 복잡한 작업이 요청되었다.
예컨대, 시스템을 먼저 정지시킨 다음, 냉매를 제거하고, 그 다음 배관을 해체하고, 냉매의 순환방향이 변경되도록 배관을 변경하여 설치한 후, 다시 냉매를 주입하고 시스템을 재 가동시키는 등과 같은 작업이 요구되었다.
하지만, 본 발명인 반도체 제조 설비의 온도제어시스템에 의하면, 반도체 제조 설비의 요청 또는 시스템 자체적인 구동 방식에 따라 일정한 주기로 냉매의 순환 방향이 정/역 방향으로 손쉽게 전환이 가능한 장점이 있다.
나아가, 본 발명인 반도체 제조 설비의 온도제어시스템은 열교환기 방식은 물론 냉동사이클을 이용한 방식이나, 열전소자를 이용하는 방식에도 적용이 가능한 장점이 있다.
도 1은 종래의 반도체 제조 설비의 온도시스템을 간략히 도시한 구성도.
도 2 및 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 제조 설비의 온도시스템을 간략히 도시한 개념도.
도 4 및 도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 반도체 제조 설비의 온도시스템을 간략히 도시한 개념도.
도 6 및 도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 반도체 제조 설비의 온도시스템을 간략히 도시한 개념도.
도 8, 도 9 및 도10은 본 발명의 실시예들에 따라 스위칭 박스 형태로 제작된 냉매순환방향 전환부를 간략히 도시한 도면들.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
그리고 본 발명의 실시예들을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명의 실시예에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명인 냉매의 순환방향 전환이 가능한 열교환기를 이용한 반도체 제조 설비의 온도제어시스템의 다양한 실시예들에 관하여 상세히 설명하기로 한다.
제1실시예
도 2 및 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 제조 설비의 온도제어시스템의 개념도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 제조 설비의 온도제어시스템은, 냉매탱크(110), 순환펌프(120), 열교환기(130), 냉각수 순환부(140), 그리고 냉매순환방향 전환부(150)를 포함한다.
반도체 제조 설비(이하, '설비'라 함)의 온도제어시스템은 설비의 부하(10)로부터 회수되는 냉매(Coolant)를 냉온 제어 및 순환시켜 상기 설비의 부하(10)로 다시 공급하는 시스템으로서, 본 발명의 제1실시예에 따르면 냉매의 순환방향이 전환 가능한 장점이 있다.
상기 냉매탱크(110)는 설비의 부하(10)로부터 냉매를 회수하여 저장하도록 구성될 수 있으며, 특정 형태로 제한되지 않으며, 다양한 형태로 제공될 수 있다. 한편, 상기 냉매탱크(110)의 내부에는 냉매탱크(110)에 저장된 냉매의 온도를 설정온도로 가열시켜주는 히터(111)가 더 구비될 수 있다.
상기 열교환기(130)는 상기 설비의 부하(10)로부터 상기 냉매탱크(110)를 향해 회수되는 냉매의 온도를 설정온도로 냉각시켜주는 구성에 해당된다.
예컨대, 상기 냉각수 순환부(140)를 통해 열교환기(130) 내부로 유입된 냉각수(Process Cooling Water, PCW)와, 냉매탱크(110)를 향해 회수되는 냉매 사이에 열교환이 일어날 수 있다.
따라서, 상대적으로 낮은 온도를 갖는 냉각수에 의해 상기 열교환기(130)를 통과한 냉매의 온도는 설정온도로 냉각될 수 있다. 도면부호 141은 3방밸브로서 냉각수 순환부(140)에 설치되어 냉각수의 유동 방향을 조절하도록 설치될 수 있으며, 반드시 이에 한정되지 않는다.
상기 순환펌프(120)는 상기 냉매탱크(110)에 저장된 냉매(C)를 상기 설비의 부하(10)로 공급하도록 순환시키는 역할을 담당한다.
그리고 상기 냉매순환방향 전환부(150)는 상기 설비의 부하 내부로 공급된 냉매의 순환방향을 정/역 방향으로 전환하는 기능을 제공할 수 있다.
바람직한 예로서, 상기 냉매순환방향 전환부(150)는 상기 설비의 부하(10)로 냉매를 공급하는 냉매공급라인의 출측(101)과, 상기 설비의 부하(10)로부터 냉매를 회수하는 냉매회수라인의 입측(103)과, 상기 설비의 부하(10)로 냉매를 순환시키는 제1, 2연결포트(11, 13) 사이에 연결되도록 구성될 수 있다.
더 구체적으로 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 제조 설비의 온도제어시스템의 냉매순환방향 전환부(150)는 포웨이 밸브(4-way valve)(151)를 포함할 수 있다.
상기 포웨이 밸브(151)는 단일로 구성될 수 있으며, 상기 냉매공급라인의 출측(101)과 상기 냉매회수라인의 입측(103) 그리고 상기 설비의 부하(10) 쪽에 마련된 제1연결포트(11)와 제2연결포트(13)를 동시에 연결하여 구성될 수 있다.
설비로부터 전달된 동작 신호 또는 시스템 내에서 설정된 주기에 따라 출력되는 동작 신호를 이용하여 상기 포웨이 밸브(151)는 개폐 제어될 수 있다.
예컨대, 상기 포웨이 밸브(151)의 개폐 제어에 따라 상기 냉매공급라인의 출측(101)과 상기 제1연결포트(11) 사이가 개방될 수 있다. 이로써, 제1연결포트(11)를 통해 설비의 부하(10) 쪽으로 냉매가 공급될 수 있다.
또한, 상기 냉매회수라인의 입측(103)과 상기 제2연결포트(13) 사이가 개방될 수 있다. 이로써, 상기 제1연결포트(11)를 통해 설비의 부하(10) 쪽으로 공급된 냉매는 제2연결포트(13)를 통해 상기 냉매회수라인의 입측(103)으로 회수될 수 있다.
즉, 냉매는 제1연결포트(11)로 공급된 후 제2연결포트(13)로 회수되는 방향(이를 '정 방향'이라 함)으로 순환될 수 있다.
이와 반대의 경우를 도 3을 참조하여 살펴보면, 상기 포웨이 밸브(151)의 개폐 제어에 따라 상기 냉매공급라인의 출측(101)과 상기 제2연결포트(13) 사이가 개방되고, 상기 냉매회수라인의 입측(103)과 상기 제1연결포트(11) 사이가 개방될 수 있다.
이로써, 도 2에 도시된 냉매의 순환방향과 반대의 방향(이하, '역 방향'이라 함)으로 냉매가 순환될 수 있다.
나아가, 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체 제조 설비의 온도제어시스템에는 다양한 온도센서, 유량계, 압력계 등이 포함될 수 있다.
예를 들면, 상기 반도체 제조 설비의 온도제어시스템에는 제1온도센서(183)와 제2온도센서(181)가 더 구비될 수 있다.
상기 제1온도센서(183)는 상기 냉매회수라인 상에 설치되어 상기 설비의 부하(10)로부터 냉매탱크(110)로 회수되는 냉매의 온도를 검출하도록 구성될 수 있다.
그리고 상기 제2온도센서(181)는 상기 냉매공급라인 상에 설치되어 상기 순환펌프(120)에 의해 상기 설비의 부하(10)로 공급되는 냉매의 온도를 검출하도록 구성될 수 있다.
상기 유량계(193)는 상기 냉매회수라인에 설치될 수 있다. 더 구체적으로는 상기 유량계(193)는 상기 제1온도센서(183)와 상기 열교환기(130) 사이에 설치될 수 있는데, 설비의 부하(10)로부터 회수되는 냉매의 유량을 측정할 수 있다.
또한, 상기 압력계(191)는 상기 냉매공급라인에 설치될 수 있다. 더 구체적으로는 상기 압력계(191)는 상기 순환펌프(120)와 상기 제2온도센서 (181) 사이에 설치될 수 있으며, 설비의 부하(10)로 공급되는 냉매의 유압을 측정할 수 있다.
이와 같이, 반도체 제조 설비로부터 인가된 신호 또는 온도제어장치에서 기 설정된 주기에 따라 단일의 포웨이 밸브(151)의 동작을 제어하여 냉매의 순환방향을 정/역 방향으로 손쉽게 조절할 수 있다.
제2실시예
도 4 및 도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 반도체 제조 설비의 온도제어시스템의 개념도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명이 제2실시예에 따른 반도체 제조 설비의 온도제어시스템은, 냉매탱크(210), 순환펌프(220), 열전소자블록(230), 냉각수 순환부(240), 그리고 냉매순환방향 전환부(250)를 포함한다.
상기 냉매탱크(210)는 설비의 부하(10)로부터 냉매를 회수하여 저장하도록 구성될 수 있으며, 특정 형태로 제한되지 않는다. 한편, 상기 냉매탱크(210)의 내부에는 냉매탱크(210)에 저장된 냉매의 온도를 설정온도로 가열시켜주는 히터(211)가 더 구비될 수 있다.
상기 열교환기(230)는 상기 설비의 부하(10)로부터 상기 냉매탱크(210)를 향해 회수되는 냉매의 온도를 설정온도로 냉각시켜주는 구성에 해당된다.
예컨대, 상기 냉각수 순환부(240)를 통해 열교환기(230) 내부로 유입된 냉각수(Process Cooling Water, PCW)와, 냉매탱크(210)를 향해 회수되는 냉매 사이에 열교환이 일어날 수 있다.
따라서, 상대적으로 낮은 온도를 갖는 냉각수에 의해 상기 열교환기(230)를 통과한 냉매의 온도는 설정온도로 냉각될 수 있다. 도면부호 241은 3방밸브로서 냉각수 순환부(240)에 설치되어 냉각수의 유동 방향을 조절하도록 설치될 수 있으며, 반드시 이에 한정되지 않는다.
상기 순환펌프(220)는 상기 냉매탱크(210)에 저장된 냉매(C)를 상기 설비의 부하(10)로 공급하도록 순환시키는 역할을 담당한다.
그리고 상기 냉매순환방향 전환부(250)는 상기 설비의 부하 내부로 공급된 냉매의 순환방향을 정/역 방향으로 전환하는 기능을 제공할 수 있다.
바람직한 예로서, 상기 냉매순환방향 전환부(250)는 상기 냉매를 상기 설비의 부하(10)로 공급하는 냉매공급라인의 출측(201)과, 상기 설비의 부하(10)로부터 냉매를 회수하는 냉매회수라인의 입측(203)과, 상기 설비의 부하(10)로 냉매를 순환시키는 제1, 2연결포트(11, 13) 사이에 연결되도록 구성될 수 있다.
더 구체적으로 본 발명의 제2실시예에 따른 반도체 제조 설비의 온도제어시스템의 냉매순환방향 전환부(250)는 복수 개의 쓰리웨이 밸브(3-way valve)(251, 255)를 포함하여 구성될 수 있다.
예컨대, 상기 냉매순환방향 전환부(250)는 제1쓰리웨이 밸브(251)와 제2쓰리웨이 밸브(255)를 포함할 수 있다.
상기 제1쓰리웨이 밸브(251)는 상기 냉매공급라인의 출측(201)과 상기 제1, 2연결포트(11, 13) 사이에 연결될 수 있다. 구체적으로는 상기 제1쓰리웨이 밸브(251)와 제1연결포트(11) 사이에는 제1분기라인(252)이 연결될 수 있으며, 상기 제1쓰리웨이 밸브(251)와 제2연결포트(13) 사이에는 제2분기라인(253)이 연결될 수 있다.
그리고 상기 제2쓰리웨이 밸브(255)는 상기 냉매회수라인의 입측(203)과 상기 제1, 2연결포트(11, 13) 사이에 연결될 수 있다. 구체적으로는 상기 제2쓰리웨이 밸브(255)와 제1연결포트(11) 사이에는 제3분기라인(256)이 연결될 수 있으며, 상기 제2쓰리웨이 밸브(255)와 제2연결포트(13) 사이에는 제4분기라인(257)이 연결될 수 있다.
그리고 설비로부터 전달된 동작 신호 또는 온도제어시스템의 설정 주기에 따라 상기 제1, 2쓰리웨이 밸브(251, 255)의 개폐 동작은 제어될 수 있다.
예컨대, 상기 제1, 2쓰리웨이 밸브(251, 255)의 개폐 제어에 따라 상기 냉매공급라인의 출측(201)과 상기 제1연결포트(11) 사이가 개방될 수 있다. 즉, 제1분기라인(252)을 통해 제1연결포트(11)로 냉매가 공급될 수 있다.
그리고 상기 냉매회수라인의 입측(203)과 상기 제2연결포트(13) 사이가 개방될 수 있다. 즉, 제3분기라인(256)을 통해 제2연결포트(13)로부터 회수된 냉매가 냉매회수라인의 입측(203)으로 회수될 수 있다.
이와 같이 냉매가 제1연결포트(11)로 공급된 후 제2연결포트(13)로 회수되는 방향(이를 '정 방향'이라 함)으로 순환될 수 있다.
이와 반대의 경우를 도 5를 참조하여 살펴보면, 상기 제1, 2쓰리웨이 밸브(251, 255)의 개폐 제어에 따라 상기 냉매공급라인의 출측(201)과 상기 제2연결포트(13) 사이가 개방될 수 있다. 즉, 도 4의 경우와 달리 제2분기라인(253)을 통해 제2연결포트(13)로 냉매가 공급될 수 있다.
그리고 상기 냉매회수라인의 입측(203)과 상기 제1연결포트(11) 사이가 개방될 수 있다. 즉, 제4분기라인(256)을 통해 제1연결포트(11)로부터 회수된 냉매가 냉매회수라인의 입측(203)으로 회수될 수 있다.
이와 같이 냉매가 제2연결포트(13)로 공급된 후 제1연결포트(11)로 회수되는 방향(이를 '역 방향'이라 함)으로 순환될 수 있다.
따라서, 설비의 부하(10)로 공급되는 냉매의 순환 방향을 정 방향 또는 역 방향으로 손쉽게 전환할 수 있다.
한편, 본 발명의 제2실시예에 따르면, 다양한 온도센서, 유량계, 압력계 등이 포함될 수 있다.
예를 들면, 상기 반도체 제조 설비의 온도제어시스템에는 제1온도센서(283)와 제2온도센서(281)가 더 구비될 수 있다.
상기 제1온도센서(283)는 상기 냉매회수라인 상에 설치되어 상기 설비의 부하(10)로부터 냉매탱크(210)로 회수되는 냉매의 온도를 검출하도록 구성될 수 있다.
그리고 상기 제2온도센서(281)는 상기 냉매공급라인 상에 설치되어 상기 순환펌프(220)에 의해 상기 설비의 부하(10)로 공급되는 냉매의 온도를 검출하도록 구성될 수 있다.
상기 유량계(293)는 상기 냉매회수라인에 설치될 수 있다. 더 구체적으로는 상기 유량계(293)는 상기 제1온도센서(283)와 상기 열교환기(230) 사이에 설치될 수 있는데, 설비의 부하(10)로부터 회수되는 냉매의 유량을 측정할 수 있다.
또한, 상기 압력계(291)는 상기 냉매공급라인에 설치될 수 있다. 더 구체적으로는 상기 압력계(291)는 상기 순환펌프(220)와 상기 제2온도센서 (281) 사이에 설치될 수 있으며, 설비의 부하(10)로 공급되는 냉매의 유압을 측정할 수 있다.
이와 같이, 반도체 제조 설비로부터 인가된 신호 또는 온도제어장치에서 기 설정된 주기에 따라 복수의 쓰리웨이 밸브(251, 255)의 동작을 제어하여 냉매의 순환방향을 정/역 방향으로 손쉽게 조절할 수 있다.
제3실시예
도 6 및 도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 반도체 제조 설비의 온도제어시스템의 개념도이다.
도 6 및 도 7를 참조하면, 본 발명이 제3실시예에 따른 반도체 제조 설비의 온도제어시스템은, 냉매탱크(310), 순환펌프(320), 열전소자블록(330), 냉각수 순환부(340), 그리고 냉매순환방향 전환부(350)를 포함한다.
상기 냉매탱크(310)는 설비의 부하(10)로부터 냉매를 회수하여 저장하도록 구성될 수 있으며, 특정 형태로 제한되지 않는다. 한편, 상기 냉매탱크(310)의 내부에는 냉매탱크(310)에 저장된 냉매의 온도를 설정온도로 가열시켜주는 히터(311)가 더 구비될 수 있다.
상기 열교환기(330)는 상기 설비의 부하(10)로부터 상기 냉매탱크(310)를 향해 회수되는 냉매의 온도를 설정온도로 냉각시켜주는 구성에 해당된다.
예컨대, 상기 냉각수 순환부(340)를 통해 열교환기(330) 내부로 유입된 냉각수(Process Cooling Water, PCW)와, 냉매탱크(310)를 향해 회수되는 냉매 사이에 열교환이 일어날 수 있다.
따라서, 상대적으로 낮은 온도를 갖는 냉각수에 의해 상기 열교환기(330)를 통과한 냉매의 온도는 설정온도로 냉각될 수 있다. 도면부호 341은 3방밸브로서 냉각수 순환부(340)에 설치되어 냉각수의 유동 방향을 조절하도록 설치될 수 있으며, 반드시 이에 한정되지 않는다.
상기 순환펌프(320)는 상기 냉매탱크(310)에 저장된 냉매(C)를 상기 설비의 부하(10)로 공급하도록 순환시키는 역할을 담당한다.
그리고 상기 냉매순환방향 전환부(350)는 상기 설비의 부하 내부로 공급된 냉매의 순환방향을 정/역 방향으로 전환하는 기능을 제공할 수 있다.
바람직한 예로서, 상기 냉매순환방향 전환부(350)는 상기 냉매를 상기 설비의 부하(10)로 공급하는 냉매공급라인의 출측(301)과, 상기 설비의 부하(10)로부터 냉매를 회수하는 냉매회수라인의 입측(303)과, 상기 설비의 부하(10)로 냉매를 순환시키는 제1, 2연결포트(11, 13) 사이에 연결되도록 구성될 수 있다.
더 구체적으로 본 발명의 제3실시예에 따른 반도체 제조 설비의 온도제어시스템의 냉매순환방향 전환부(350)는 복수 개의 투웨이 밸브(2-way valve)(또는 솔레노이드 밸브들)(351, 353, 355, 357)를 포함하여 구성될 수 있다.
예컨대, 상기 냉매순환방향 전환부(350)는 제1투웨이 밸브(또는 솔레노이드 밸브)(351), 제2투웨이 밸브(또는 솔레노이드 밸브)(353), 제3투웨이 밸브(또는 솔레노이드 밸브)(355), 그리고 제4투웨이 밸브(또는 솔레노이드 밸브)(357)를 포함할 수 있다.
상기 제1투웨이 밸브(또는 솔레노이드 밸브)(351)는 상기 냉매공급라인의 출측(301)과 상기 제1연결포트(11) 사이를 연결하는 제1분기라인(352)을 통해 설치될 수 있다. 그리고 별도의 체크밸브(352a)를 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 제2투웨이 밸브(또는 솔레노이드 밸브)(353)는 상기 냉매공급라인의 출측(301)과 상기 제2연결포트(13) 사이를 연결하는 제2분기라인(354)을 통해 설치될 수 있다. 그리고 별도의 체크밸브(354a)를 더 구비할 수 있다.
그리고, 상기 제3투웨이 밸브(또는 솔레노이드 밸브)(355)는 상기 냉매회수라인의 입측(303)과 상기 제2연결포트(13) 사이를 연결하는 제3분기라인(356)을 통해 설치될 수 있다. 그리고 별도의 체크밸브(356a)를 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 제4투웨이 밸브(또는 솔레노이드 밸브)(357)는 상기 냉매회수라인의 입측(303)과 상기 제1연결포트(11) 사이를 연결하는 제4분기라인(358)을 통해 설치될 수 있다. 그리고 별도의 체크밸브(358a)를 더 구비할 수 있다.
그리고 설비로부터 전달된 동작 신호 또는 온도제어시스템의 설정 주기에 따라 상기 제1, 2, 3, 4투웨이 밸브(또는 솔레노이드 밸브들)(351, 353, 355, 357)의 개폐 동작은 제어될 수 있다.
예컨대, 상기 제1, 2, 3, 4투웨이 밸브(또는 솔레노이드 밸브들)(351, 353, 355, 357)의 개폐 제어에 따라 상기 냉매공급라인의 출측(301)과 상기 제1연결포트(11) 사이가 개방될 수 있다. 즉, 제1투웨이 밸브(또는 솔레노이드 밸브)(351)의 개방에 따라 제1분기라인(352)을 통해 제1연결포트(11)로 냉매가 공급될 수 있다.
그리고 상기 냉매회수라인의 입측(303)과 상기 제2연결포트(13) 사이가 개방될 수 있다. 즉, 제3투웨이 밸브(또는 솔레노이드 밸브)(355)의 개방에 따라 제3분기라인(356)을 통해 제2연결포트(13)로부터 회수된 냉매는 냉매회수라인의 입측(303)으로 회수될 수 있다. 이와 같이 냉매가 제1연결포트(11)로 공급된 후 제2연결포트(13)로 회수되는 방향(이를 '정 방향'이라 함)으로 순환될 수 있다.
반대의 경우로서, 도 7을 참조하면, 상기 제1, 2, 3, 4투웨이 밸브(또는 솔레노이드 밸브들)(351, 353, 355, 357)의 개폐 제어에 따라 상기 냉매공급라인의 출측(101)과 상기 제2연결포트(13) 사이가 개방될 수 있다. 즉, 도 4의 경우와 달리 제2투웨이 밸브(또는 솔레노이드 밸브)(353)의 개방에 따라 제2분기라인(354)를 통해 제2연결포트(13)로 냉매가 공급될 수 있다.
그리고 상기 냉매회수라인의 입측(303)과 상기 제1연결포트(11) 사이가 개방될 수 있다. 즉, 제4투웨이 밸브(또는 솔레노이드 밸브)(357)의 개방에 따라 제4분기라인(358)을 통해 제1연결포트(11)로부터 회수된 냉매가 냉매회수라인의 입측(303)으로 회수될 수 있다. 이와 같이 냉매가 제2연결포트(13)로 공급된 후 제1연결포트(11)로 회수되는 방향(이를 '역 방향'이라 함)으로 순환될 수 있다.
따라서, 설비의 부하(10)로 공급되는 냉매의 순환 방향을 정 방향 또는 역 방향으로 손쉽게 전환할 수 있다.
한편, 본 발명의 제3실시예에 따르면, 다양한 온도센서, 유량계, 압력계 등이 포함될 수 있다.
예를 들면, 상기 반도체 제조 설비의 온도제어시스템에는 제1온도센서(383)와 제2온도센서(381)가 더 구비될 수 있다.
상기 제1온도센서(383)는 상기 냉매회수라인 상에 설치되어 상기 설비의 부하(10)로부터 냉매탱크(310)로 회수되는 냉매의 온도를 검출하도록 구성될 수 있다.
그리고 상기 제2온도센서(381)는 상기 냉매공급라인 상에 설치되어 상기 순환펌프(320)에 의해 상기 설비의 부하(10)로 공급되는 냉매의 온도를 검출하도록 구성될 수 있다.
상기 유량계(393)는 상기 냉매회수라인에 설치될 수 있다. 더 구체적으로는 상기 유량계(393)는 상기 제1온도센서(283)와 상기 열교환기(330) 사이에 설치될 수 있는데, 설비의 부하(10)로부터 회수되는 냉매의 유량을 측정할 수 있다.
또한, 상기 압력계(391)는 상기 냉매공급라인에 설치될 수 있다. 더 구체적으로는 상기 압력계(391)는 상기 순환펌프(120)와 상기 제2온도센서 (381) 사이에 설치될 수 있으며, 설비의 부하(10)로 공급되는 냉매의 유압을 측정할 수 있다.
이와 같이, 반도체 제조 설비로부터 인가된 신호 또는 온도제어장치에서 기 설정된 주기에 따라 복수의 투웨이 밸브(또는 솔레노이드 밸브들)(351, 353, 355, 357)의 동작을 제어하여 냉매의 순환방향을 정/역 방향으로 손쉽게 조절할 수 있다.
한편, 전술한 본 발명의 제1, 2, 3실시예에서의 냉매순환방향 전환부(150, 250, 350)은 기존의 온도제어시스템에 그대로 적용할 수 있도록 하기 위하여, 기존 시스템에 착탈 결합되는 스위칭 박스 형태로 제공될 수 있다.
도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 냉매순환방향 전환부(150)를 스위칭 박스 형태로 제작한 형태, 즉 스위칭 박스형 냉매순환방향 전환부(150S)를 보여준다. 상기 스위칭 박스형 냉매순환방향 전환부(150S)는 상기 냉매공급라인의 출측(101)과 상기 냉매회수라인의 입측(103) 그리고 상기 제1, 2연결포트(11, 13) 사이에 착탈 결합 가능한 구조를 가질 수 있는데, 이에 한정되지 않는다.
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 냉매순환방향 전환부(250)를 스위칭 박스 형태로 제작한 형태, 즉 스위칭 박스형 냉매순환방향 전환부(250S)를 보여준다. 상기 스위칭 박스형 냉매순환방향 전환부(250S)는 상기 냉매공급라인의 출측(201)과 상기 냉매회수라인의 입측(203) 그리고 상기 제1, 2연결포트(11, 13) 사이에 착탈 결합 가능한 구조를 가질 수 있는데, 이에 한정되지 않는다.
도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 냉매순환방향 전환부(350)를 스위칭 박스 형태로 제작한 형태, 즉 스위칭 박스형 냉매순환방향 전환부(350S)를 보여준다. 상기 스위칭 박스형 냉매순환방향 전환부(350S)는 상기 냉매공급라인의 출측(301)과 상기 냉매회수라인의 입측(303) 그리고 상기 제1, 2연결포트(11, 13) 사이에 착탈 결합 가능한 구조를 가질 수 있는데, 이에 한정되지 않는다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 구성 및 작용에 따르면 설비로부터 인가된 지령신호 또는 시스템의 설정 주기에 따라 냉매의 순환방향이 정 방향 또는 역 방향 또는 반복 전환으로 변경 조절될 수 있다.
종래의 반도체 제조 설비의 온도제어시스템은 냉매의 유동 방향이 설정된 하나의 방향으로만 이루어져 있는데, 만일 필요에 따라 냉매의 순환방향을 변경시킬 필요성이 있을 경우 복잡한 작업이 요청되었다. 예컨대, 시스템을 먼저 정지시킨 다음, 냉매를 제거하고, 그 다음 배관을 해체하고, 냉매의 순환방향이 변경되도록 배관을 변경하여 설치한 후, 다시 냉매를 주입하고 시스템을 재 가동시키는 등과 같은 작업이 요구되었다.
하지만, 본 발명인 반도체 제조 설비의 온도제어시스템에 의하면, 반도체 제조 설비의 요청 또는 시스템 자체적인 구동 방식에 따라 일정한 주기로 냉매의 순환 방향이 정/역 방향으로 손쉽게 전환이 가능한 장점이 있다.
나아가, 본 발명인 반도체 제조 설비의 온도제어시스템은 열교환기를 이용한 방식은 물론, 냉동사이클을 이용한 방식이나 열전소자를 이용한 온도제어장치에도 적용이 가능한 장점이 있다
이상으로 본 발명의 바람직한 실시예들에 따른 냉매의 순환방향 전환이 가능한 열교환기를 이용한 반도체 제조 설비의 온도제어시스템에 관하여 살펴보았다.
전술된 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 범위는 전술한 상세한 설명보다는 후술될 특허청구범위에 의해 나타내어질 것이다. 그리고 이 특허청구범위의 의미 및 범위는 물론, 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 및 변형 가능한 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10: 설비의 부하
11: 제1연결포트
13: 제2연결포트
101, 201, 301: 냉매공급라인의 출측
103, 203, 303: 냉매회수라인의 입측
110, 210, 310: 냉매탱크
111, 211, 311: 히터
120, 220, 320: 순환펌프
130, 230, 330: 열교환기
140, 240, 340: 냉각수 순환부
141, 241, 341: 밸브
150, 250, 350: 냉매순환방향 전환부
151: 포웨이 밸브
251, 255: 제1, 2쓰리웨이 밸브
351, 353, 355, 357: 제1, 2, 3, 4투웨이 밸브(또는 솔레노이드 밸브)
181, 281, 381: 제2온도센서
183, 283, 383: 제1온도센서
191, 291, 391: 압력계
193, 293, 393: 유량계

Claims (11)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 설비의 부하로부터 회수되는 냉매(Coolant)를 냉온 제어 및 순환시켜 상기 부하로 공급하되, 상기 냉매의 순환방향이 전환 가능한 반도체 제조 설비의 온도제어시스템으로서,
    상기 설비의 부하로부터 냉매를 회수하여 저장하며, 저장된 냉매를 가열하는 히터를 포함하는 냉매탱크; 상기 냉매탱크에 저장된 냉매를 상기 설비의 부하로 공급하도록 순환시키는 순환펌프; 상기 냉매탱크로 저장되는 냉매를 냉각수와 열교환시키는 열교환기; 상기 열교환기를 통해 냉각수를 공급하는 냉각수(Process Cooling Water) 순환부; 및 상기 냉매탱크로부터 상기 설비의 부하로 냉매를 공급하는 냉매공급라인의 출측과, 상기 설비의 부하로부터 냉매를 회수하는 냉매회수라인의 입측과, 상기 설비의 부하로 냉매를 순환시키는 제1, 2연결포트 사이에 연결되어, 상기 설비의 부하 내부로 공급된 냉매의 순환방향을 정/역 방향으로 전환시키되, 상기 설비의 부하 내에서 상기 제1연결포트로부터 상기 제2연결포트를 향해 정 방향으로 냉매를 순환시키거나 또는 상기 제2연결포트로부터 상기 제1연결포트를 향해 역 방향으로 냉매를 순환시키는 냉매순환방향 전환부를 포함하며,
    상기 냉매순환방향 전환부는, 상기 냉매공급라인의 출측과 상기 제1, 2연결포트 사이에 연결되는 제1쓰리웨이 밸브((3-way valve); 및 상기 냉매회수라인의 입측과 상기 제1, 2연결포트 사이에 연결되는 제2쓰리웨이 밸브를 포함하며, 상기 설비로부터 인가된 신호에 따르거나 기 설정된 주기에 따라 상기 제1, 2쓰리웨이 밸브가 개폐 제어되어, 상기 냉매공급라인의 출측과 상기 제1연결포트 사이를 개방시키고, 상기 냉매회수라인의 입측과 상기 제2연결포트 사이를 개방시키거나 또는 상기 냉매공급라인의 출측과 상기 제2연결포트 사이를 개방시키고, 상기 냉매회수라인의 입측과 상기 제1연결포트 사이를 개방시키며,
    상기 냉매순환방향 전환부는, 상기 냉매공급라인의 출측과 상기 냉매회수라인의 입측 그리고 상기 제1, 2연결포트 사이에 착탈 결합되는 스위칭 박스에 상기 제1쓰리웨이 밸브와 상기 제2쓰리웨이 밸브가 내장된 형태로 제공되며,
    상기 냉매회수라인 상에 설치되어 상기 설비의 부하로부터 회수되는 냉매의 온도를 검출하는 제1온도센서와, 상기 냉매공급라인 상에 설치되어 상기 설비의 부하로 공급되는 냉매의 온도를 검출하는 제2온도센서와, 상기 냉매회수라인에 설치되되, 상기 제1온도센서와 상기 열교환기의 사이에 설치되어 상기 설비의 부하로부터 회수되는 냉매의 유량을 측정하는 유량계와, 상기 냉매공급라인에 설치되되, 상기 순환펌프와 상기 제2온도센서 사이에 설치되어 상기 설비의 부하로 공급되는 냉매의 유압을 측정하는 압력계를 포함하는 냉매의 순환방향 전환이 가능한 열교환기를 이용한 반도체 제조 설비의 온도제어시스템.
  5. 삭제
  6. 설비의 부하로부터 회수되는 냉매(Coolant)를 냉온 제어 및 순환시켜 상기 부하로 공급하되, 상기 냉매의 순환방향이 전환 가능한 반도체 제조 설비의 온도제어시스템으로서,
    상기 설비의 부하로부터 냉매를 회수하여 저장하며, 저장된 냉매를 가열하는 히터를 포함하는 냉매탱크; 상기 냉매탱크에 저장된 냉매를 상기 설비의 부하로 공급하도록 순환시키는 순환펌프; 상기 냉매탱크로 저장되는 냉매를 냉각수와 열교환시키는 열교환기; 상기 열교환기를 통해 냉각수를 공급하는 냉각수(Process Cooling Water) 순환부; 및 상기 냉매탱크로부터 상기 설비의 부하로 냉매를 공급하는 냉매공급라인의 출측과, 상기 설비의 부하로부터 냉매를 회수하는 냉매회수라인의 입측과, 상기 설비의 부하로 냉매를 순환시키는 제1, 2연결포트 사이에 연결되어, 상기 설비의 부하 내부로 공급된 냉매의 순환방향을 정/역 방향으로 전환시키되, 상기 설비의 부하 내에서 상기 제1연결포트로부터 상기 제2연결포트를 향해 정 방향으로 냉매를 순환시키거나 또는 상기 제2연결포트로부터 상기 제1연결포트를 향해 역 방향으로 냉매를 순환시키는 냉매순환방향 전환부를 포함하며,
    상기 냉매순환방향 전환부는, 상기 냉매공급라인의 출측과 상기 제1연결포트 사이를 연결하는 제1분기라인에 구비되는 제1투웨이 밸브(2-way valve); 상기 냉매공급라인의 출측과 상기 제2연결포트 사이를 연결하는 제2분기라인에 구비되는 제2투웨이 밸브; 상기 냉매회수라인의 입측과 상기 제1연결포트 사이를 연결하는 제3분기라인에 구비되는 제3투웨이 밸브; 및 상기 냉매회수라인의 입측과 상기 제2연결포트 사이를 연결하는 제4분기라인에 구비되는 제4투웨이 밸브를 포함하고, 상기 제1, 2, 3, 4분기라인 각각에는 적어도 하나의 체크밸브가 구비되며, 상기 설비로부터 인가된 신호에 따르거나 기 설정된 주기에 따라 상기 제1, 2, 3, 4투웨이 밸브 및 적어도 하나의 체크밸브가 개폐 제어되어, 상기 냉매공급라인의 출측과 상기 제1연결포트 사이를 개방시키고, 상기 냉매회수라인의 입측과 상기 제2연결포트 사이를 개방시키거나, 또는 상기 냉매공급라인의 출측과 상기 제2연결포트 사이를 개방시키고, 상기 냉매회수라인의 입측과 상기 제1연결포트 사이를 개방시키며,
    상기 냉매순환방향 전환부는, 상기 냉매공급라인의 출측과 상기 냉매회수라인의 입측 그리고 상기 제1, 2연결포트 사이에 착탈 결합되는 스위칭 박스에 상기 제1, 2, 3, 4투웨이 밸브 및 적어도 하나의 체크밸브가 내장된 형태로 제공되며,
    상기 냉매회수라인 상에 설치되어 상기 설비의 부하로부터 회수되는 냉매의 온도를 검출하는 제1온도센서와, 상기 냉매공급라인 상에 설치되어 상기 설비의 부하로 공급되는 냉매의 온도를 검출하는 제2온도센서와, 상기 냉매회수라인에 설치되되, 상기 제1온도센서와 상기 열교환기의 사이에 설치되어 상기 설비의 부하로부터 회수되는 냉매의 유량을 측정하는 유량계와, 상기 냉매공급라인에 설치되되, 상기 순환펌프와 상기 제2온도센서 사이에 설치되어 상기 설비의 부하로 공급되는 냉매의 유압을 측정하는 압력계를 포함하는 냉매의 순환방향 전환이 가능한 열교환기를 이용한 반도체 제조 설비의 온도제어시스템.
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