KR101516607B1

KR101516607B1 - 마스크레스 노광 장치

Info

Publication number: KR101516607B1
Application number: KR1020080078837A
Authority: KR
Inventors: 요시타다 오시다; 가즈오 고바야시
Original assignee: 비아 메카닉스 가부시키가이샤
Priority date: 2007-09-26
Filing date: 2008-08-12
Publication date: 2015-04-30
Also published as: DE102008038443A1; JP2009080324A; TWI443473B; KR20090031977A; CN101398631A; JP4543069B2; TW200915016A; DE102008038443B4; CN101398631B

Abstract

본 발명은, 공작물에 휘어진 상태나 두께 불균일이 있는 경우라도, 공작물의 표면에 균일한 폭의 패턴을 노광할 수 있는 마스크레스(maskless) 노광 장치에 대한 것으로서, 판두께 방향의 한쪽 면이 판두께 방향의 다른 쪽의 면에 대하여 각도θ 경사진 면인 제1 쐐기 유리 및 제2 쐐기 유리의 2개의 쐐기 유리(717, 727)와, 쐐기 유리(717, 727) 중 적어도 한쪽을 이동시키는 이동 수단을 설치하고, 쐐기 유리(717)의 면(717u)을 제2 투영 렌즈(67)의 광축에 대하여 수직으로 배치하고, 쐐기 유리(727)의 면(727u)을 면(717u)과의 거리가 미리 정하는 값 δ으로 되도록 조합시켜, 제2 투영 렌즈(67)의 입사측 또는 출사측에 배치하고, 제2 투영 렌즈(67)의 광축 방향의 결상(結像) 위치가 노광 기판(8)의 표면으로부터 어긋나 있는 경우에는, 쐐기 유리(717)를 간격 b를 일정하게 하여 각도 θ 방향으로 이동시킴으로써 제2 투영 렌즈(67)의 결상면을 노광 기판(8)의 표면에 위치결정한다.

공작물, 마스크레스, 쐐기 유리, 이동 수단, 위치결정, 노광 기판

Description

마스크레스 노광 장치 {MASKLESS EXPOSURE APPARATUS}

본 발명은 마스크를 사용하지 않고 노광 기판에 패턴을 노광하는 마스크레스(maskless) 노광 장치에 관한 것이다.

프린트 기판에 배선 패턴 등을 형성하기 위하여, 종래에는 패턴을 미리 마스크에 형성하여 두고, 마스크 노광기를 사용하여 이 마스크 패턴을 투영 노광하거나, 밀착 또는 프록시미티(proximity) 노광에 의해 노광 기판에 패턴을 노광하고 있었다. 최근 마스크를 사용하지 않고 직접 노광 기판에 노광하는 기술이 개발되어, 산업적인 활용이 시작되고 있다(하기 특허 문헌 참조). 그리고, 이와 같은 마스크레스 노광 장치에 의해, 예를 들면, 패턴폭이 20㎛의 프린트 기판을 제작할 수 있다.

[특허 문헌] 일본국 특개 2004-39871호 공보

전자 부품 등의 실장 밀도를 보다 향상시키기 위해, 패턴폭을 10㎛ 이하까지 가늘게 하는 것이 요구되고 있다. 그러나, 10㎛ 이하의 패턴을 노광시키는 경우, 초점 심도의 폭이 좁으므로, 노광 기판에 휘어진 상태나 두께 불균일이 있으면 패턴의 폭을 균일하게 하는 것이 곤란하게 된다.

본 발명의 목적은, 상기 과제를 해결하고, 공작물에 휘어진 상태나 두께 불균일이 있는 경우라도, 공작물의 표면에 균일한 폭의 패턴을 노광할 수 있는 마스크레스 노광 장치를 제공하는데 있다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 마스크레스 노광 장치는, 노광 조명광을 출력하는 노광 광원과, 2차원 공간 변조기와, 제1 투영 렌즈와, 마이크로 렌즈 어레이와, 제2 투영 렌즈와, 노광 기판을 유지하고 상기 제2 투영 렌즈의 광축과 직교하는 방향으로 이동하는 스테이지와, 판두께 방향의 한쪽 면이 판두께 방향의 다른 쪽 면에 대하여 각도 θ의 경사면인 제1 및 제2의 2개의 쐐기 유리와, 상기 쐐기 유리 중 적어도 한쪽을 이동시키는 이동 수단을 포함하고, 상기 제1 쐐기 유리의 상기 다른쪽 면을 상기 제2 투영 렌즈의 광축에 대하여 수직으로 배치하는 동시에, 상기 제2 쐐기 유리의 상기 한쪽 면을 상기 제1 쐐기 유리의 상기 한쪽 면과의 거리가 미리 정하는 값으로 되도록 조합시켜, 상기 제2 투영 렌즈의 입사측 또는 출사측에 배치한 마스크레스(maskless) 노광 장치에 있어서, 상기 제2 투영 렌즈의 노광 주사하는 방향의 바로 앞쪽에 위치하고, 상기 노광 주사 방향과 직교하는 방향으로 배열된 복수의 기판 표면의 높이 검출 수단; 및 상기 복수의 높이 검출 수단에 의해 검출된 복수의 높이 정보로부터, 상기 검출한 기판 상의 위치가 상기 기판의 노광 주사에 의해 상기 제2 투영 렌즈의 광축에 도달할 때까지의 동안에 상기 제2 투영 렌즈의 초점 위치를 연산하고, 상기 기판 상의 위치가 상기 제2 투영 렌즈의 광축에 도달할 때 상기 제2 투영 렌즈의 초점이 상기 위치의 기판의 표면에 일치하도록 상기 이동 수단을 제어하는 제어 회로;를 포함하고, 상기 제어 회로는 상기 높이 검출 수단에 의해 검출된 검출 결과를 보존하는 동시에, 상기 제2 투영 렌즈의 초점 심도를 초과하도록 한 휘어진 상태가 있는 위치를 미리 표시하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 마스크레스 노광 장치는, 노광 조명광을 출력하는 노광 광원과, 2차원 공간 변조기와, 제1 투영 렌즈와, 마이크로 렌즈 어레이와, 제2 투영 렌즈와, 노광 기판을 유지하고 상기 제2 투영 렌즈의 광축과 직교하는 방향으로 이동하는 스테이지와, 판두께 방향의 한쪽 면이 판두께 방향의 다른 쪽 면에 대하여 각도 θ의 경사면인 제1 및 제2의 2개의 쐐기 유리와, 상기 쐐기 유리 중 적어도 한쪽을 이동시키는 이동 수단을 포함하고, 상기 제1 쐐기 유리의 상기 다른쪽 면을 상기 제2 투영 렌즈의 광축에 대하여 수직으로 배치하는 동시에, 상기 제2 쐐기 유리의 상기 한쪽 면을 상기 제1 쐐기 유리의 상기 한쪽 면과의 거리가 미리 정하는 값으로 되도록 조합시켜, 상기 제2 투영 렌즈의 입사측 또는 출사측에 배치한 마스크레스 노광 장치에 있어서, 상기 제2 투영 렌즈의 노광 주사하는 방향의 바로 앞쪽에 위치하고, 상기 노광 주사 방향과 직교하는 방향으로 배열된 복수의 기판 표면의 높이 검출 수단; 및 상기 복수의 높이 검출 수단에 의해 검출된 복수의 높이 정보로부터, 상기 검출된 기판 상의 위치가 상기 기판의 노광 주사에 의해 상기 제2 투영 렌즈의 광축에 도달할 때까지의 동안에 상기 제2 투영 렌즈의 초점 위치를 연산하고, 상기 기판 상의 위치가 상기 제2 투영 렌즈의 광축에 도달할 때 상기 제2 투영 렌즈의 초점이 상기 위치의 기판의 표면에 일치하도록 상기 이동 수단을 제어하는 제어 회로;를 포함하고, 상기 제어 회로는 상기 높이 검출 수단에 의해 검출된 검출 결과를 보존하는 동시에, 상기 제2 투영 렌즈의 초점 심도를 초과하도록 한 휘어진 상태가 있는 경우에, 노광 후에 그 부분이 불량해질 위험성이 높은 것을 경고 표시하거나, 데이터로서 보존하는 것을 특징으로 한다.

공작물에 휘어진 상태나 두께 불균일이 있어도, 공작물의 표면에 균일한 폭의 패턴을 노광할 수 있다.

이하, 본 발명에 대하여 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

[실시예 1]

도 1은 본 발명에 관한 제1 마스크레스 노광 장치의 구성도이다.

7개의 광축으로 이루어지는 노광 조명계(11~17)는 대략 같은 구조이다. 그리고, 도면의 번잡함을 피하기 위하여, 동 도면에서는 7개의 광축계 중 표시하기 쉬운 부분에만 번호나 신호선(점선)이 표시되어 있지만, 모든 광축에 동일하게 번호나 신호선이 있다. 이하, 노광 조명계(11~17) 중 노광 조명계(17)에 대하여 설명한다.

노광 조명계(17)로부터 출사한 노광 조명광은 리턴 미러(27)에 의해 위쪽에 있는 2차원 공간 변조기(37)에 조사(照射)된다. 여기서는, 2차원 공간 변조기로서 디지털 미러 디바이스(이하, 「DMD」라고 함)(37)를 사용하고 있다.

DMD(37)에는 xy면 내에 다수의 가동 마이크로 미러가 매트릭스형으로 배치되 어 있다. 제어 장치(9)로부터 각 마이크로 미러에 ON/OFF 신호가 보내지면, ON 신호를 받은 마이크로 미러는 일정 각도 경사져, 입사한 노광 조명광을 반사시켜 제1 투영 렌즈(47)에 입사시킨다. 또한, OFF 상태의 마이크로 미러에 의해 반사된 노광 조명광은 제1 투영 렌즈(47)에는 입사하지 않아, 노광에는 기여하지 않는다. 투영 렌즈(47)을 투과한 노광 조명광은 마이크로 렌즈 어레이(57)에 입사한다. DMD(37)의 마이크로 미러의 확대상(또는 축소상)이 형성되는 마이크로 렌즈 어레이(57)의 위치에는 각각 마이크로 렌즈가 배치되어 있다.

마이크로 렌즈 어레이(57)에 배치된 각 마이크로 렌즈는 초점 거리가 fм의 볼록 렌즈이며, 각 마이크로 렌즈에 대략 수직으로 입사하는 노광 조명광(ON 상태의 마이크로 미러로부터 온 노광 조명광)은 각 마이크로 렌즈로부터 대체로 fм의 위치에 미소한 스폿을 형성한다.

그리고, 이 스폿 형성 위치에 스폿 직경과 같은 개구 직경을 가지는 핀홀 어레이를 배치해도 된다. 핀홀 어레이를 배치함으로써, 여분(불필요)의 광을 차광할 수 있다.

마이크로 렌즈의 하방 fм의 위치에 생긴 스폿 패턴은 제2 투영 렌즈(67)에 입사하고, 제2 투영 렌즈(67)를 출사한 노광 조명광은 쐐기 유리(717)와 쐐기 유리(727)로 이루어지는 쐐기 유리 유닛(GU7)을 투과하여, 노광 기판(8) 상에 배율 Μ의 스폿 패턴 배열상(配列像)을 형성한다.

다음에, 쐐기 유리 유닛(GU7)에 대하여 설명한다.

도 2는 쐐기 유리 유닛(GU7)의 주요부 사시도이며, 도 3은 도 2의 K에서 바 라본 도면이다.

쐐기 유리(717)는, 판두께 방향의 한쪽 면(717b)이 판두께 방향의 다른 쪽 면(717a)에 대하여 각도 θ 경사진 면이다. 또한, 쐐기 유리(727)는, 판두께 방향의 한쪽 면(727b)이 판두께 방향의 다른 쪽 면(727a)에 대하여 각도 θ 경사진 면이다. 그리고, 면(717a)은 제2 투영 렌즈(67)의 광축에 대하여 수직으로 배치되어 있다. 한편, 쐐기 유리(727)는 면(727b)이 면(717b)에 대하여 거리(간격) δ로 되도록 조합되어 배치되어 있다. 그리고, 이 실시예에 있어서는, 쐐기 유리(727)와 쐐기 유리(717)의 xy 방향의 크기는 각각 같으며, 도 3에 나타낸 바와 같이, 양자가 z 방향으로부터 보아, 정확히 겹칠 때(이하, 이 경우의 양자의 위치를 「쐐기 유리의 기준 위치」라고 함)의 면(717a)으로부터 면(727a)까지의 거리는 t이다. 이하, 거리 t를 쐐기 유리의 「토탈 두께」라고 한다. 기준 위치에서의 토탈 두께 t는 4 ~ 7mm로 설정된다. 또한, 거리 δ는 0.01 ~ 0.3mm 사이의 일정값이다. 그리고, 거리 δ의 최소값을 O.O1mm보다 작게 해도 되지만, 후술하는 이동 기구의 제작의 용이함을 고려하면, 거리 δ의 최소값을 0.05mm정도로 하는 것이 실용적이다. 또한, 거리 δ의 최대값을 O.3mm로 하는 것은, 거리 δ이 0.3mm을 넘으면 수차가 커지기 때문이다.

도시하지 않은 이동 기구는, 쐐기 유리(727)(또는 쐐기 유리(717) 중 어느 한쪽)을 면(727b)을 따라(엄밀하게 말하면, 경사면의 법선에 직교하고 경사면에 평행한 벡터의 방향을 따라) 쐐기 유리(727)를 이동시킨다. 이 이동 기구는 제어 회로(9)에 의해 제어된다.

이제, 쐐기 유리(727)를 상기 경사면을 따라 y 방향으로 +Δy 이동시키면, 투영 렌즈(2)의 광축과 평행한 방향의 유리의 토탈 두께 변화 Δt는 하기의 식 1에 의해 주어진다.

Δt = -Δyㆍ tanθ … (식 1)

여기서, 쐐기 유리(717, 727)의 굴절률을 n이라고 한다. 그러면, 토탈 두께가 Δt 변화함으로써, 제2 투영 렌즈(727)의 초점 위치의 변화량 Δz는 하기의 식 2로 표현된다(그리고, 위쪽이 플러스이다).

Δz = -Δtㆍ(n-1)/n

= Δyㆍtanθㆍ(n-1)/n … (식 2)

즉, 쐐기 유리 유닛(GU7)은 초점 맞춤 장치이다.

그래서, 노광 기판(8) 상의 레지스트면 또는 레지스트가 실려 있는 면의 높이 h(x, y)가 미리 측정되어 있는 경우는, 다음과 같이 하여 스폿의 상을 레지스트면 상에 위치결정할 수 있다. 즉, 높이 h(x, y)의 데이터를 제어 회로(9)에 넣어 두는 동시에, 쐐기 유리(717, 727)를 기준 위치에 배치하고, 제2 투영 렌즈(67)의 결상면(結像面)이 노광 기판(8)의 설계 상의 표면 높이와 일치하도록 해 둔다. 그리고, 제어 회로(9)에 기억되어 있는 데이터에 따라 투영 렌즈가 노광하는 영역의 평균 높이 hm를 구하고, 식 2에 있어서의 Δz가 hm의 높이가 되도록(Δz= hm) 쐐기 유리(72)를 Δy 이동시켜, 노광한다. 이와 같이 하면, 정밀도가 우수한 노광을 행할 수 있다.

그런데, 종래의 마스크레스 노광 장치에서는 노광 기판의 표면이 평탄한 것 으로 가정(假定)하여, 제2 투영 렌즈(61~67)의 결상면이 가정한 노광 기판의 표면과 일치하도록 하여 제2 투영 렌즈(61~67)를 z 방향으로 위치결정하고 있었다.

그러나, 예를 들면, 다층 프린트 기판의 경우, 장소에 따라 판두께가 상이하게 되어 있을 뿐아니라, 기판의 적층화에 따른 기판면의 휘어진 상태나 불균일 등 때문에 노광면이 평탄한 경우는 거의 없다. 그러므로, 예를 들면, 패턴의 폭을 균일하게 하는 것이 곤란했었다.

다음에, 노광 기판의 표면에 요철이 있는 경우나, 휘어진 상태가 있는 경우라도 정밀도가 우수한 노광을 행할 수 있는 마스크레스 노광 장치에 대하여 설명한다.

그리고, 쐐기 유리 유닛(GU7)은 제2 투영 렌즈(67)의 입구측(즉, 마이크로 렌즈 어레이(57)와 제2 투영 렌즈(67) 사이)에 배치해도 된다.

[실시예 2]

도 4는 본 발명에 관한 마스크레스 노광 장치의 구성도이며, 도 1과 같은 것은 동일한 부호를 부여하여 중복되는 설명을 생략한다. 또한, 도 5는 높이 검출기의 구성도이다.

스테이지(80)의 위쪽에 배치된 제2 투영 렌즈군(제2 투영 렌즈(61~67)의 y 방향의 한쪽(도시한 경우는 바로 앞쪽)에는, 다수의 높이 검출기(600)가 x 방향으로 배열되어 배치된 멀티 높이 검출기(600U)가 설치되어 있다. 각각의 높이 검출기(600)는 노광 기판(8)의 레지스트 표면 또는 레지스트 아래의 노광 기판 그 자체의 표면 높이를 검출한다.

다음에, 높이 검출기(600)의 구조에 대하여 설명한다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 높이 검출기(600)는, 발광체(601)와, 렌즈(602)와, 렌즈(603)와, 포지션 센서(604)로 구성되어 있다. 발광체(601)는, 발광 다이오드(LED) 또는 레지스트를 감광시키지 않는 적색광을 출력하는 반도체 레이저(LD)이다. 렌즈(602)는 발광체(601)로부터 출사한 광을 노광 기판(8)의 표면에 집광한다. 렌즈(603)는 기판 표면에서 반사된 광을 집광하고, 포지션 센서(604) 상에 기판의 반사부로서 결상시킨다.

이상과 같은 구성이므로, 노광 기판(8)의 높이가 가공 프로그램에 설정한 높이(노광 기판(8)의 복수 개소의 높이를 실측하여 얻은 평균 높이 또는 설계 상의 높이. 이하, 「설정 높이」라고 함)와 다른 경우, 설정 높이로부터의 어긋남의 크기에 따라 포지션 센서 상의 결상 위치가 변화한다. 그래서, 이 변화량을 판독함으로써 실제의 노광 기판(8)의 높이를 검출할 수 있다.

다음에, 본 발명의 실시예의 동작에 대하여 설명한다.

도 4에 있어서의 바로 앞쪽으로부터 내측을 향하여, 노광 기판(8)을 탑재한 스테이지(80)를 감광 재료의 감도에 따른 일정한 속도 v로 y 방향으로 이동시킨다. 각 높이 검출기(600)는 일정 시간마다, 노광 기판(8)의 표면 높이를 검출한다. 검출된 표면 높이는 노광 기판(8)의 위치 정보(측정한 개소의 xy 좌표값)와 함께 제어 회로(9)의 기억부에 기억된다. 높이가 검출된 개소는 속도 v로 정해지는 시간이 경과하면 노광 위치(87)(DMD(37)와 상사(相似)인 직사각형임)에 도달한다. 제어 회로(9)는, 노광 위치(87)에 도달한 노광 기판(8)의 표면 높이를 기억부로부터 호출하고, 이 정보에 따라 쐐기 유리(727)를 y 방향으로 이동시키고, 제2 투영 렌즈(67)의 결상면을 노광 기판(8)의 표면과 일치시킨다.

도 6은 노광 기판(8)의 단면도이며, 노광 기판(8)을 x 방향으로 단면한 경우의 표면 근방을 모식적으로 나타낸 도면이다.

동 도면에 있어서, 노광 기판(8)의 표면은 실선으로 나타내고 있다. 또한, 면(700)(Σex0)은 설정 높이이다. 동 도면에 나타낸 바와 같이, 노광 위치(87) 내의 높이는 장소에 따라 각각 상이하다. 여기서는, 검출기(600)가 각 노광 위치의 양단에 배치되어 있으므로, 각 노광 위치의 양단 높이의 평균값으로, 점선으로 나타낸 제2 투영 렌즈의 결상면을 위치결정한다. 그리고, 검출기(600)의 배치 간격을 좁게 함으로써, 실제의 노광 기판(8)의 표면과 투영 렌즈의 결상면의 차이의 불균일을 작게 할 수 있다.

또한, 여기서는 x 방향의 단면에 대하여 설명하였으나, y 방향으로도 마찬가지의 것이라고 할 수 있다. 따라서, 예를 들면, 노광 위치(87)의 y 방향의 길이가 y1, x 방향의 길이가 x1인 것으로 하면, 제2 투영 렌즈의 결상면의 높이를, 영역 y1×x1 내에서 측정한 높이의 평균값에 맞추도록 하는 것이 실제적이다. 그리고, 다른 노광 위치(81~86)에 대해서도 마찬가지이다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에서는, 노광 시에 노광 기판의 표면 높이의 계측과 결상면의 높이 방향의 위치 조정을 병행하여 행하므로, 노광 기판의 전체면에 걸쳐 결상면을 대략 노광 기판의 표면에 맞출 수 있다. 이 결과, 패턴폭은 균일하게 된다.

다음에, 검출기(600)에 의한 노광 기판 표면의 높이 검출 정밀도를 보다 향상시키는 방법에 대하여 설명한다.

도 5에서 설명한 발광체(607)로부터 출력되는 측정광을 P 편광으로 하고, 주광선(主光線)(B11)의 입사각을 노광 기판(8)의 표면에 배치된 감광층의 굴절률에 의해 정해지는 브류스터각(Brewster angle) θв로서 입사시킨다. 이와 같이 하면, 도 7에 나타낸 바와 같이, 모든 입사광은 감광층(81)을 통과하여(즉, 감광층 표면에서는 반사되지 않음), 베이스부의 기판면에 도달한다. 또한, 베이스부의 기판면에서 반사하여 위쪽으로 돌아오는 광은, 대략 P 편광인 채 감광층의 표면에서 반사되지 않고 그대로 위쪽으로 복귀하고, 검출광(D11)으로서 감광층으로부터 출사하여 포지션 센서(604)에 입사한다. 즉, 검출시에 노이즈로 되는 감광층 표면에서 반사하는 도면의 점선으로 나타낸 노이즈광(D11n)은 0으로 된다. 또한, 포지션 센서(604)에 입사하는 입사광은 거의 감쇄되지 않는다. 따라서, 정밀도가 우수한 검출(측정)을 행할 수 있다.

또한, 검출기(600U)로 측정한 결과를 제어 회로(9)에 보존하므로, 예를 들면, 제2 투영 광학계의 초점 심도를 초과하는 것 같은 휘어진 상태가 있는 경우라도, 휘어진 상태가 있는 위치를 용이하게 특정할 수 있다. 따라서, 이와 같은 기판 상의 위치를 미리 표시하거나, 노광 후에 이 부분이 불량해질 위험성이 높은 것을 경고 표시하거나, 데이터로서 보존하여 두는 것이 가능하다.

도 1은 본 발명의 실시예 1에 관한 마스크레스 노광 장치의 구성도이다.

도 2는 본 발명에 관한 쐐기 유리 유닛의 주요부 사시도이다.

도 3은 도 2의 K에서 바라본 도면이다.

도 4는 본 발명의 실시예 2에 관한 마스크레스 노광 장치의 구성도이다.

도 5는 높이 검출기의 구성도이다.

도 6은 노광 기판의 단면도이다.

도 7은 본 발명에 관한 계측광의 설명도이다.

[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명]

(8) 노광 기판

(67) 제2 투영 렌즈

(717) 제1 쐐기 유리

(727) 제2 쐐기 유리

(717u) 제1 쐐기 유리의 면

(727u) 제2 쐐기 유리의 면

θ: 쐐기 유리(717, 727)의 경사면의 각도

δ: 면(717u)과 면(727u)의 거리

Claims

노광 조명광을 출력하는 노광 광원과, 2차원 공간 변조기와, 제1 투영 렌즈와, 마이크로 렌즈 어레이와, 제2 투영 렌즈와, 노광 기판을 유지하고 상기 제2 투영 렌즈의 광축과 직교하는 방향으로 이동하는 스테이지와, 판두께 방향의 한쪽 면이 판두께 방향의 다른 쪽 면에 대하여 각도 θ의 경사면인 제1 및 제2의 2개의 쐐기 유리와, 상기 쐐기 유리 중 적어도 한쪽을 이동시키는 이동 수단을 포함하고, 상기 제1 쐐기 유리에 있어서의 상기 판두께 방향의 상기 다른 쪽 면을 상기 제2 투영 렌즈의 광축에 대하여 수직으로 배치하는 동시에, 상기 제2 쐐기 유리에 있어서의 상기 판두께 방향의 상기 한쪽 면을 상기 제1 쐐기 유리의 상기 한쪽 면과의 거리가 미리 정하는 값으로 되도록 조합시켜, 상기 제2 투영 렌즈의 입사측 또는 출사측에 배치한 마스크레스(maskless) 노광 장치에 있어서,

상기 제2 투영 렌즈의 노광 주사하는 방향의 바로 앞쪽에 위치하고, 상기 노광 주사 방향과 직교하는 방향으로 배열된 복수의 기판 표면의 높이 검출 수단; 및

상기 복수의 높이 검출 수단에 의해 검출된 복수의 높이 정보로부터, 검출한 기판 상의 위치가 상기 기판의 노광 주사에 의해 상기 제2 투영 렌즈의 광축에 도달할 때까지의 동안에 상기 제2 투영 렌즈의 초점 위치를 연산하고, 상기 기판 상의 위치가 상기 제2 투영 렌즈의 광축에 도달할 때 상기 제2 투영 렌즈의 초점이 상기 위치의 기판의 표면에 일치하도록 상기 이동 수단을 제어하는 제어 회로;

를 포함하고,

상기 제어 회로는 상기 높이 검출 수단에 의해 검출된 검출 결과를 보존하는 동시에, 상기 제2 투영 렌즈의 초점 심도를 초과하도록 한 휘어진 상태가 있는 위치를 미리 표시하는,

마스크레스 노광 장치.
노광 조명광을 출력하는 노광 광원과, 2차원 공간 변조기와, 제1 투영 렌즈와, 마이크로 렌즈 어레이와, 제2 투영 렌즈와, 노광 기판을 유지하고 상기 제2 투영 렌즈의 광축과 직교하는 방향으로 이동하는 스테이지와, 판두께 방향의 한쪽 면이 판두께 방향의 다른 쪽 면에 대하여 각도 θ의 경사면인 제1 및 제2의 2개의 쐐기 유리와, 상기 쐐기 유리 중 적어도 한쪽을 이동시키는 이동 수단을 포함하고, 상기 제1 쐐기 유리에 있어서의 상기 판두께 방향의 상기 다른 쪽 면을 상기 제2 투영 렌즈의 광축에 대하여 수직으로 배치하는 동시에, 상기 제2 쐐기 유리에 있어서의 상기 판두께 방향의 상기 한쪽 면을 상기 제1 쐐기 유리의 상기 한쪽 면과의 거리가 미리 정하는 값으로 되도록 조합시켜, 상기 제2 투영 렌즈의 입사측 또는 출사측에 배치한 마스크레스 노광 장치에 있어서,

상기 제2 투영 렌즈의 노광 주사하는 방향의 바로 앞쪽에 위치하고, 상기 노광 주사 방향과 직교하는 방향으로 배열된 복수의 기판 표면의 높이 검출 수단; 및

상기 복수의 높이 검출 수단에 의해 검출된 복수의 높이 정보로부터, 상기 검출된 기판 상의 위치가 상기 기판의 노광 주사에 의해 상기 제2 투영 렌즈의 광축에 도달할 때까지의 동안에 상기 제2 투영 렌즈의 초점 위치를 연산하고, 상기 기판 상의 위치가 상기 제2 투영 렌즈의 광축에 도달할 때 상기 제2 투영 렌즈의 초점이 상기 위치의 기판의 표면에 일치하도록 상기 이동 수단을 제어하는 제어 회로;

를 포함하고,

상기 제어 회로는 상기 높이 검출 수단에 의해 검출된 검출 결과를 보존하는 동시에, 상기 제2 투영 렌즈의 초점 심도를 초과할 가능성이 높은 위치를 노광 후에 경고 표시하는,

마스크레스 노광 장치.
삭제