KR101510748B1 - A substrate-holding apparatus - Google Patents

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하루미 다케마츠
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가부시키가이샤 아이프란트
도쿄 가코키 컴퍼니 리미티드
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Abstract

기판을 그 전역에서 휘지 않고 지지할 수 있고, 또, 간소하고 저가로 제작 가능한 기판 지지 장치를 제공한다.
기판의 가장자리부(P1)를 따라서 설치되는 것과 함께, 이 기판의 가장자리부(P1)를 끼워서 기판을 지지하는 토글 클램프(30)를 구비한 기판 지지 장치(1)이다. 토글 클램프(30)는 기판(P)의 중심(P2)을 기준으로 하여 대향하거나 방사상으로 배치되고, 각 대향 부위에서는 기판(P)을 상반되는 방향으로 끌어당기면서 기판(P)을 끼우는 것을 특징으로 한다.Provided is a substrate supporting apparatus which can support a substrate without bending the substrate over its entire area, and which can be manufactured simply and inexpensively.
And a toggle clamp 30 which is provided along the edge portion P1 of the substrate and supports the substrate by sandwiching the edge portion P1 of the substrate. The toggle clamps 30 are opposed to each other with respect to the center P2 of the substrate P or are arranged in a radial manner and the substrate P is sandwiched between the opposing portions while pulling the substrate P in the opposite direction .

Figure R1020130080306
Figure R1020130080306

Description

기판 지지 장치{A SUBSTRATE-HOLDING APPARATUS}[0001] A SUBSTRATE-HOLDING APPARATUS [0002]

본 발명은 기판의 지지 기술에 관한 것으로, 적합하게는 예를 들면, 무전해의 현상 처리, 에칭 처리, 박리 처리, 또는 전해액 피복 처리 등에서의 수평 반송에 적합한 기판 지지 장치에 관한 것이다.
TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a substrate supporting technology, and more particularly to a substrate supporting apparatus suitable for horizontal transportation in, for example, electroless development processing, etching processing, peeling processing, or electrolyte coating processing.

이 종류의 종래 기술로서 예를 들면, 하기 특허 문헌 1에 나타내는 반송 시스템이 알려져 있다(도 9 참조).As a conventional technique of this kind, for example, a transport system shown in Patent Document 1 below is known (see Fig. 9).

이 반송 시스템(100)은 기판(W)의 뒤와 앞에서 기판을 끼워 넣는 롤러(101a, 101b)를 구비한 파지 장치(101)를 갖는다. 또, 파지 장치(101)는 기판(W)의 좌우 양쪽에서 서로 마주보고 설치되어 있다. 그리고 도 10에 나타내는 바와 같이, 롤러(101a, 101b)의 간극에 기판(W)을 끼워 넣은 상태에서 각 롤러를 상반되는 방향으로 회전시키면, 기판(W)은 롤러(101a, 101b) 내에 끌어들여져서 파지된다. 또, 파지 장치(101, 101)는 기판의 좌우에서 제어의 방향이 반대로 되어 있으며, 기판(W)은, 그 중심선(W1)을 경계로 하여 좌우 폭방향으로 잡아당겨진다. 즉, 중심선(W1)을 경계로 상반되는 방향의 장력이 발생하기 때문에 기판(W)은, 이 장력에 의하여 휘지 않고 지지된다.
This transport system 100 has a gripping device 101 having rollers 101a and 101b which sandwich the substrate behind and in front of the substrate W. [ Further, the holding devices 101 are provided facing each other on the left and right sides of the substrate W. As shown in Fig. 10, when the rollers 101a and 101b sandwich the substrate W and rotate the rollers in opposite directions, the substrate W is pulled into the rollers 101a and 101b And is gripped. The gripping devices 101 and 101 are controlled in opposite directions on the right and left sides of the substrate and the substrate W is pulled in the right and left directions with the center line W1 as a boundary. That is, since the tension in the direction opposite to the center line W1 is generated, the substrate W is supported without being warped by this tension.

[특허 문헌 1] 일본국 특표2010―529294[Patent Document 1] Japanese Patent Specification No. 2010-529294

그런데 상기의 반송 시스템(100)에서는 기판(W)의 중심선(W1)을 경계로 하여, 그 좌우 폭방향에서 기판의 휨이 억제되지만, 기판(W)의 세로 방향에서는 장력에 불균일이 발생하여 기판이 물결쳐 버린다. 특히, 전계액 피복 처리 등에 제공되는 수평 반송 장치에서는 이 휨에 기인하여 처리액이 기판 상에 남기 때문에 품질 확보의 점에서 개선이 요구되고 있다.However, in the transfer system 100, the warpage of the substrate is suppressed in the left and right width directions with the center line W1 as a boundary. However, in the longitudinal direction of the substrate W, This wave wipes out. Particularly, in a horizontal transporting apparatus provided in an electric field coating process or the like, since the processing liquid is left on the substrate due to this deflection, improvement in quality is required.

또, 상기한 반송 시스템에서는 각 롤러를 개개로 구동하기 위한 구동 장치나 각 롤러의 회전량을 정확히 제어하기 위한 제어 장치가 필요해지는데, 그 장치는 복잡하고, 또한, 고가이다. 또, 처리액의 부착에 의하여 롤러의 지지력이 변화하기 때문에 안정된 지지력이 얻어지지 않고, 정기적인 부품의 교환이나 관리가 필요하다.Further, in the above conveying system, a driving device for driving each roller individually and a control device for accurately controlling the amount of rotation of each roller are required, which is complicated and expensive. In addition, since the holding force of the roller changes due to the adherence of the treatment liquid, a stable holding force can not be obtained, and it is necessary to regularly replace or manage parts.

본 발명은 이와 같은 기술적 과제를 고려하여 이루어진 것으로, 기판을 그 전체 범위에서 휨없이 지지할 수 있고, 또, 간소하고 저가로 제작 가능한 기판 지지 장치의 제공을 과제로 한다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such technical problems, and it is an object of the present invention to provide a substrate supporting apparatus capable of supporting a substrate in its entire range without bending, and being simple and inexpensive.

상기의 과제를 해결하기 위해 본 발명은 다음과 같이 구성된다.In order to solve the above problems, the present invention is configured as follows.

기판의 가장자리부를 따라서 설치되는 것과 함께, 이 기판의 가장자리부를 끼워서 기판을 지지하는 지지구를 구비한 기판 지지 장치로서,A substrate supporting apparatus comprising: a substrate supporting unit for supporting a substrate by sandwiching an edge portion of the substrate along an edge portion of the substrate,

상기 지지구는 상기 기판의 중심을 기준으로 하여 대향하거나 방사상으로 배치되고, 각 대향 부위에서는 상기 기판을 상반되는 방향으로 끌어당기면서 기판을 끼우는 것을 특징으로 한다.Wherein the support is opposed to or radially disposed with respect to the center of the substrate, and the substrate is sandwiched between the opposed portions while pulling the substrate in the opposite direction.

여기에서, “기판”이란, 주로, 프린트 기판을 가리키는데, 프린트 기판에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면, 필름, 유리 등의 박판상의 것을 널리 포함하는 개념이다.Here, the term " substrate " mainly refers to a printed substrate, and is not limited to a printed substrate, and includes, for example, a thin plate such as a film or glass.

이 구성의 본 발명에 따르면, 기판의 중심을 기준으로 하여 대향하거나 방사상으로 지지구가 설치되어 있다. 또, 각 대향 부위에서는 기판을 상반되는 방향으로 끌어당기면서 기판을 끼워 넣기 때문에, 이 대향 부위 간에 발생하는 장력은 기판의 중심을 기준으로 하여 상반되는 방향으로 작용한다. 또, 지지구는 기판의 중심을 기준으로 하여 방사상으로 설치되어 있기 때문에 기판의 각 방향에서 장력의 균형이 유지되고, 기판은, 그 전역에서 휘지 않고 지지된다.According to the present invention of this configuration, the support is provided in a confronting or radial manner with respect to the center of the substrate. Further, since the substrate is sandwiched between the opposed portions while pulling the substrate in the opposite direction, the tensile force generated between the opposed portions acts in a direction opposite to the center of the substrate. In addition, since the support is provided radially with respect to the center of the substrate, a balance of tension is maintained in each direction of the substrate, and the substrate is supported without bending all over the substrate.

즉, 본 발명에서는 기판의 중심을 기준으로 하여 각 지지구를 점대칭으로 배치해서 기판의 각 방향에 있어서의 장력의 균형을 유지하고 있다.That is, in the present invention, the support points are symmetrically arranged with respect to the center of the substrate so as to balance the tension in each direction of the substrate.

또, 상기 지지구는 상기 기판에 대하여 각도를 변경 가능하게 설치되는 구성이어도 좋다.The support may be provided so as to be capable of changing the angle with respect to the substrate.

이 구성에서는 기판에 대하여 지지구의 각도를 자유롭게 바꿀 수 있기 때문에 만일, 기판의 외장이 바뀌었다고 해도 기판의 중심에 대하여 정확히 기준을 맞출 수 있다.In this configuration, since the angle of the support can be freely changed with respect to the substrate, even if the outer surface of the substrate is changed, the reference can be precisely adjusted with respect to the center of the substrate.

또, 상기 지지구는, 그 지지력을 조정하기 위한 지지력 조정 기구를 갖는 구성이어도 좋다.Further, the support may be configured to have a support force adjusting mechanism for adjusting the support force.

이 구성에 따르면, 지지구가 설치되는 각 부분에서 기판의 지지력을 개개로 조절할 수 있기 때문에 지지력의 차이에 의한 장력의 편중을 억제할 수 있다.According to this configuration, since the supporting force of the substrate can be individually adjusted at each portion where the support is provided, biasing of the tension due to the difference in the supporting force can be suppressed.

또, 상기 지지구는 상기 기판을 끼워 넣기 위한 아암을 갖고,In addition, the support hole has an arm for fitting the substrate,

상기 아암은 상기 기판에 대하여, 그 표면측으로부터 회전 이동 자유롭게 설치되어 있는 구성이어도 좋다.The arm may be provided on the substrate so as to be rotatable from the surface side thereof.

이 구성에 따르면, 아암이 회전 이동하여 기판측으로 넘어질 때, 아암은 기판에 대하여 아암 연신 방향으로 약간 어긋나기 때문에 본 구성에서는, 이 “어긋남”을 이용하여 기판을 잡아당기고 있다. 또, 아암의 회전 이동 시에 발생하는 “어긋남”을 이용하여 기판을 잡아당기기 때문에 간소하고, 또한, 저가로 제작할 수 있다. 또한, 상기에서 표면측이란, 기판의 표리에 관계없이 단순히 기판의 면을 가리킨다.According to this configuration, when the arm rotates and falls to the substrate side, since the arm slightly deviates in the arm stretching direction with respect to the substrate, in this configuration, the substrate is pulled by using this "deviation". In addition, since the substrate is pulled out by using the " offset " generated when the arm is rotated, the substrate can be manufactured simply and inexpensively. In the above, the surface side simply refers to the surface of the substrate regardless of the front and back sides of the substrate.

또, 상기 아암에는 상기 기판에 접하는 어태치먼트가 설치되고, 그 접촉면은 상기 아암의 세로 방향을 따르는 직선 상에서 원호상으로 팽창해 있는 것을 특징으로 한다.Further, the arm is provided with an attachment in contact with the substrate, and the contact surface thereof is expanded in an arc shape on a straight line along the longitudinal direction of the arm.

이와 같은 표면 형상을 갖는 어태치먼트에 따르면, 어태치먼트와 기판이 이루는 각도가 변화해도 어태치먼트의 가장자리가 기판에 걸리지 않고, 또, 접촉점도 정위치로부터 어긋나지 않기 때문에 기판을 정위치에서 정밀도 좋게 끼워 넣을 수 있다. 즉, 기판과 어태치먼트의 사이에 무리한 힘이 걸리지 않고, 지지 위치의 어긋남도 억제된다.According to the attachment having such a surface shape, even if the angle between the attachment and the substrate changes, the edge of the attachment does not stick to the substrate, and the contact point does not deviate from the correct position, so that the substrate can be sandwiched in the correct position. That is, an excessive force is not applied between the substrate and the attachment, and misalignment of the support position is also suppressed.

또, 상기 아암은 상기 기판으로부터 멀어지는 방향으로 개방 가능하고, 또한, 그 개방 시의 아암 각도는 기판 표면에 대하여 90도 이상으로 열리도록 설정되어 있는 것을 특징으로 한다.Further, the arm is openable in a direction away from the substrate, and the arm angle at the time of opening is set to be 90 degrees or more with respect to the surface of the substrate.

이 구성에 따르면, 기판의 표면에 대하여 아암이 90도 이상 열리기 때문에 본 장치에 대하여 그 정면측에서 기판을 착탈할 수 있다.According to this configuration, since the arm is opened by 90 degrees or more with respect to the surface of the substrate, the substrate can be attached and detached from the front side of the apparatus.

또, 상기 지지구는 토글 클램프이어도 좋다.The support may be a toggle clamp.

즉, 토글 클램프는 배력 기구를 갖기 때문에 토글 클램프를 이용하는 것으로 약간의 힘으로도 기판을 지지할 수 있다.
In other words, since the toggle clamp has a force adjusting mechanism, it is possible to support the substrate with a slight force by using the toggle clamp.

이상, 본 발명에 따르면, 기판을 그 전역에서 휨없이 지지할 수 있고, 또, 간소하고 저가로 제작 가능한 기판 지지 장치를 제공할 수 있다. 특히, 강력한 샤워 처리, 강력한 에어 블로 액제거 처리 등을 실시하는 경우에도 널리 적용할 수 있는 잇점이 있다.As described above, according to the present invention, it is possible to provide a substrate supporting apparatus capable of supporting a substrate in its entirety without bending, and being simple and inexpensive to manufacture. Particularly, there is an advantage that it can be widely applied even when a powerful shower treatment or a strong air blowing liquid removal treatment is performed.

도 1은 본 실시 형태에 나타내는 기판 지지 장치의 평면도.
도 2는 본 실시 형태에 나타내는 지지구의 측면도.
도 3은 도 2에 나타내는 지지구의 개방 상태를 나타내는 측면도.
도 4는 도 2에 나타내는 지지구의 평면도.
도 5는 지지구 선단에 설치되는 어태치먼트의 확대도.
도 6은 본 실시 형태에 나타내는 어태치먼트와 기판의 접촉 상태를 나타내는 요부 확대도.
도 7은 도 6의 과정을 거쳐서 기판이 지지된 상태를 나타내는 요부 확대도.
도 8은 기판에 작용하는 장력을 나타내는 모식도.
도 9는 종래의 반송 시스템을 나타내는 정면도.
도 10은 종래의 반송 시스템에 편입되는 롤러의 확대도.1 is a plan view of a substrate holding apparatus according to this embodiment.
Fig. 2 is a side view of the support in this embodiment; Fig.
Fig. 3 is a side view showing the open state of the support shown in Fig. 2; Fig.
4 is a plan view of the support shown in Fig.
Fig. 5 is an enlarged view of an attachment installed at the tip of the support. Fig.
Fig. 6 is an enlarged view of the main part showing the contact state of the attachment and the substrate shown in this embodiment. Fig.
FIG. 7 is an enlarged view of a main part showing a state in which the substrate is supported through the process of FIG. 6;
8 is a schematic view showing a tensile force acting on a substrate.
9 is a front view showing a conventional transport system.
10 is an enlarged view of a roller incorporated in a conventional transport system;

이하, 본 발명의 기판 지지 장치(1)에 대하여 도면을 참조해서 설명한다.Hereinafter, a substrate supporting apparatus 1 of the present invention will be described with reference to the drawings.

본 실시 형태에 나타내는 기판 지지 장치(1)는 도 1에 나타내는 바와 같이, 기판(P)의 가장자리부(P1)를 따라서 설치된 테두리상의 프레임(2)과 기판(P)의 중심(P2)을 기준으로 하여 대향하거나 방사상으로 배치된 토글 클램프(30)(지지구)에 의해 구성되어 있다.The substrate supporting apparatus 1 according to the present embodiment is constituted such that the frame 2 on the rim and the center P2 of the substrate P provided along the edge portion P1 of the substrate P are set as reference And a toggle clamp 30 (support) arranged radially in opposition to each other.

프레임(2)은 내부식성에 풍부한 금속성의 플레이트로 이루어지고, 그 외형 치수는 반송 대상의 기판(P)에 맞추어서 설계되어 있다. 또, 프레임(2)의 각 부분에 토글 클램프(30)가 부착되고, 이들 복수의 토글 클램프(30)에 의하여 프레임(2) 내에 기판(P)이 지지되어 있다.The frame 2 is made of a metallic plate rich in corrosion resistance, and its external dimension is designed to match the substrate P to be transported. A toggle clamp 30 is attached to each part of the frame 2 and the substrate P is supported by the plurality of toggle clamps 30 in the frame 2. [

토글 클램프(이하, 단순히 클램프(30)라 부른다)는 도 2에 나타내는 바와 같이, 기판(P)을 이면측에서 지지하는 고정 아암(31)과, 이 고정 아암(31)에 대하여 회전 이동 자유롭게 지지되는 수동 아암(32)과, 이 수동 아암(32)을 고정 아암(31)을 향하여 압박하는 토글 기구(33)와, 이 토글 기구(33)에 편입되는 링크(33a)에 연결된 조작 레버(34)를 구비하고 있다. 또, 고정 아암(31) 및 수동 아암(32)의 선단에는 고무제의 어태치먼트(35, 36)가 맞붙고, 각 아암(31, 32)은, 이 어태치먼트(35, 36)를 통하여, 그 선단 부분에 기판(P)을 끼워 넣는 구조로 되어 있다.2, a toggle clamp (hereinafter simply referred to as a clamp 30) includes a fixed arm 31 for supporting the substrate P from the back surface side thereof, A toggle mechanism 33 for urging the manual arm 32 toward the fixed arm 31 and an operation lever 34 connected to a link 33a incorporated in the toggle mechanism 33 . The attachments 35 and 36 are made of rubber and fitted to the tips of the fixed arm 31 and the passive arm 32. The respective arms 31 and 32 are fixed to the distal ends of the fixed arms 31 and 32 via the attachments 35 and 36, In which the substrate P is sandwiched.

상기 수동 아암(32)은, 그 기부에 설치된 지지축(32a)을 중심으로 하여 고정 아암(31)측으로 회전 이동 자유롭게 설치되어 있다. 또, 수동 아암(32)은 토글 기구(33)의 링크(33a, 33b)를 통하여 조작 레버(34)에 연결되고, 조작 레버(34)의 조작력은 토글 기구(33)를 통하여 수동 아암(32)을 고정 아암(31)측으로 회전 이동시킨다. 즉, 조작 레버(34)의 조작에 의하여 수동 아암(32)은 기판(P)측으로 넘어지게 되어 있다.The passive arm 32 is rotatably mounted on the fixed arm 31 side with a support shaft 32a provided at the base thereof as a center. The manual arm 32 is connected to the operation lever 34 through the links 33a and 33b of the toggle mechanism 33 and the operation force of the operation lever 34 is transmitted to the manual arm 32 To the fixed arm 31 side. That is, the manual arm 32 is tilted toward the side of the substrate P by the operation of the operation lever 34.

또한, 각 아암(31, 32) 및 클램프(30)는 예를 들면, 금속이나 수지를 이용하여 형성할 수 있다.Each of the arms 31 and 32 and the clamp 30 can be formed using, for example, metal or resin.

또, 토글 기구(33)에 대하여 설명하면, 이 토글 기구(33)는 조작력을 배증시키는 링크 기구의 일종이고, 조작력이 입력되는 제 1 링크(33a)와, 이 제 1 링크(33a)에 연결되는 것과 함께, 제 1 링크보다도 긴 제 2 링크(33b)와, 제 2 링크(33b)의 움직임을 직선 운동으로 변환하는 슬라이더(33c)를 구비하고 있다.The toggle mechanism 33 is a kind of link mechanism that doubles the operation force and includes a first link 33a to which operation force is inputted and a second link 33a to which the operation force is input A second link 33b that is longer than the first link and a slider 33c that converts the movement of the second link 33b into linear motion.

또한, 본 클램프(30)에서는 제 1 링크(33a)와 조작 레버(34)가 일체로 설치되고, 슬라이더(33c)는 수동 아암(32)에 상당한다. 또, 슬라이더(33c)는 본래 직선 운동을 실시하는 부재인데, 지지축(32a)을 통하여 슬라이더(33c)를 회전 이동 자유롭게 설치하는 것으로, 그 직선 운동을 회전 운동으로 변환할 수 있다. 즉, 슬라이더(33c)로서의 수동 아암(32)은 조작 레버(34)의 조작에 의하여 회전 이동하게 되어 있다.In this clamp 30, the first link 33a and the operation lever 34 are integrally provided, and the slider 33c corresponds to the passive arm 32. [ In addition, the slider 33c is a member that performs a linear motion, and the slider 33c is rotatably movably provided through the support shaft 32a, and the linear motion thereof can be converted into rotational motion. That is, the manual arm 32 as the slider 33c is rotated by the operation of the operation lever 34. [

또, 그 링크비는 제 1 링크(33a)에 입력된 조작력을 배증시키는 비율로 되어 있으며, 슬라이더(33c)에 부하가 걸리면, 그 부하에 비하여 큰 반대 방향의 힘을 슬라이더(33c)에 작용시킬 수 있다. 또한, 조작력의 배증 원리는 일반적인 “지레의 원리”에 준하기 때문에 본 명세서에서는 그 설명은 생략한다.The link ratio is such that the operation force input to the first link 33a is doubled. When a load is applied to the slider 33c, a force in the opposite direction larger than the load is applied to the slider 33c . Further, since the principle of doubling the operating force corresponds to the general " principle of the lever, " the description thereof is omitted in this specification.

계속해서, 수동 아암(32)에 대하여 도 2 및 도 3을 참조해서 설명한다.Next, the manual arm 32 will be described with reference to Figs. 2 and 3. Fig.

고정 아암(31)에 대하여 회전 이동 자유롭게 설치된 수동 아암(32)은 고정 아암(31)측으로 넘어질 때, 기판(P)을 클램프 내측으로 끌어당기면서 넘어진다. 즉, 수동 아암(32)의 회전 이동 시에는 고정 아암(31)측의 어태치먼트(36)에 대하여 수동 아암(32)측의 어태치먼트(35)가 아암 연신 방향으로 전후하면서 회전 이동하기 때문에 어태치먼트(36)와 어태치먼트(35)의 사이에는 기판(P)을 고정 아암(31)에 대하여 전후로 움직이고자 하는 힘이 발생한다.The manual arm 32 which is rotatably and movably provided with respect to the fixed arm 31 tilts toward the fixed arm 31 and falls while pulling the substrate P toward the inside of the clamp. That is, when the manual arm 32 is rotated, the attachment 35 on the side of the manual arm 32 rotates back and forth in the arm extension direction with respect to the attachment 36 on the side of the fixed arm 31, A force is generated between the attachment 35 and the attachment 35 to move the substrate P back and forth with respect to the fixed arm 31.

또, 이에 관련하여 본 실시 형태에서는 수동 아암(32)과 고정 아암(31)의 사이에 기판(P)이 끼워 넣어진 상태를 기준으로 하여 기판(P)에 클램프 내부 방향의 힘(도 2 중, 화살 표시 A)이 작용하도록 링크의 길이를 설정하고 있다. 즉, 기판(P)을 고정 아암(31)에 대하여 전후로 움직이고자 하는 힘은 수동 아암(32)의 조작량이 일정량에 도달하면 역방향으로 작용하기 때문에, 이 점을 고려하여 링크의 길이를 결정한다. 따라서, 수동 아암(32)과 고정 아암(31)의 사이에 끼워 넣어지는 기판(P)은 클램프 내부 방향의 힘을 받아서 클램프 내로 끌어당겨지면서 끼워진다.In this connection, in the present embodiment, the force in the clamping direction (the force in the direction of the clamping force in FIG. 2) is applied to the substrate P on the basis of the state in which the substrate P is sandwiched between the passive arm 32 and the fixed arm 31 , And the arrow mark A) are operated. That is, since the force to move the substrate P back and forth with respect to the fixed arm 31 acts in the opposite direction when the amount of operation of the manual arm 32 reaches a certain amount, the length of the link is determined in consideration of this point. Therefore, the substrate P sandwiched between the passive arm 32 and the fixed arm 31 receives a force in the direction of the clamp and is pulled into the clamp.

계속해서, 각 아암(31, 32)의 선단에 설치되는 어태치먼트(35, 36)에 대하여 도 5 및 도 7을 참조해서 설명한다. 또한, 수동 아암(31)측의 어태치먼트(35)와 고정 아암(32)측의 어태치먼트(36)는 동일 구조로 동일하게 맞붙어 있기 때문에 이하에서는 수동 아암(32)측의 어태치먼트(35)를 주로 설명한다.Next, the attachments 35 and 36 provided at the ends of the arms 31 and 32 will be described with reference to Figs. 5 and 7. Fig. Since the attachment 35 on the side of the manual arm 31 and the attachment 36 on the side of the fixed arm 32 have the same structure and are joined in the same manner, the attachment 35 on the side of the passive arm 32 will be mainly described do.

어태치먼트(35(36))는 고무제이고, 그 중심 부분에는 외주에 나사가 형성된 지지축(35a(36a))이 설치되어 있다. 또, 어태치먼트(35(36))는 지지축(35a(36a))을 통하여 아암(31(32))에 나사식으로 부착되어 있다. 또, 지지축(35a(36a))은 아암(31(32))을 상하로 관통하여 설치되고(도 2 참조), 아암(31(32))에 지지축(35a(36a))을 맞붙인 상태에서 지지축(35a(36a))을 회전시키면 어태치먼트(35(36))의 돌출량을 조정할 수 있게 되어 있다. 또한, 도 5 중, 35b(36b)는 지지축(35a(36a))용의 록 너트이다.The attachment 35 (36) is made of rubber, and a support shaft 35a (36a) provided with a screw on the outer periphery is provided at the center thereof. The attachment 35 (36) is screwed to the arm 31 (32) through the support shaft 35a (36a). The supporting shaft 35a (36a) is provided so as to penetrate the arm 31 (32) vertically (see Fig. 2), and the support shaft 35a (36a) The projection amount of the attachment 35 (36) can be adjusted by rotating the support shaft 35a (36a). In Fig. 5, reference numeral 35b (36b) is a lock nut for the support shaft 35a (36a).

또, 고무제 어태치먼트(35(36))의 선단은 반구면상으로 성형되어 있으며, 기판(P)과의 접촉 상태가 양호하게 유지되게 되어 있다. 또, 이 점에 관하여, 수동 아암(32)측의 어태치먼트(35)에 착안하면, 어태치먼트(35)의 지지축(35a)과 기판(P)이 이루는 각(θ1)이 변화해도 접촉각(θ2(θ2＜θ1))은 항상 90도 부근에서 유지되고 있다. 이 때문에, 기판(P)에는 어태치먼트(35)의 각도에 불구하고 항상 수직 방향의 압력이 작용하게 되어 있다.In addition, the tip of the rubber attachment 35 (36) is formed in a hemispherical shape, and the contact state with the substrate P is maintained well. With respect to this point, when the attachment 35 on the side of the passive arm 32 is focused on, the angle? 1 formed by the support shaft 35a of the attachment 35 and the substrate P changes, ? 2 <? 1) is always maintained at about 90 degrees. Therefore, the pressure in the vertical direction always acts on the substrate P regardless of the angle of the attachment 35. [

이 점에 관하여, 본 실시 형태에 나타내는 클램프(30)에서는 기판(P)을 내측으로 끌어당겨서 끼우기 때문에 어태치먼트(35)의 접촉각(θ2)을 극히 약간이기는 하지만, 예각으로 되도록 설정하고 있다. 또한, 접촉각(θ2)을 예각측에 설정하는 방법으로서는, 수동 아암(32)측의 어태치먼트(35)를 약간 많이 돌출시킨다.In this respect, in the clamp 30 according to the present embodiment, the substrate P is pulled inward and inserted, so that the contact angle? 2 of the attachment 35 is set to be an acute angle, although slightly slightly. As a method of setting the contact angle [theta] 2 at the acute angle side, the attachment 35 on the side of the passive arm 32 slightly protrudes.

즉, 어태치먼트(35)와 기판(P)이 이루는 각(θ1)이 90도를 만족할 때, 이 상태에서 약간 어태치먼트(35)의 지지축(35a)을 기판(P)측으로 연장하는 것으로, 그 접점이 기판 가장자리부측으로 어긋나고, 어태치먼트(35)의 접촉각(θ2)은 예각측에 설정된다. 또, 이 설정 하, 어태치먼트(35)와 기판(P)이 이루는 각(θ1)을 90도로 유지하면, 기판(P)은, 그 접점의 어긋남에 의하여 클램프 내부 방향(도 7 중, 화살 표시 A방향)으로 끌어당겨지면서 끼워진다.That is, when the angle? 1 between the attachment 35 and the substrate P satisfies 90 degrees, the support shaft 35a of the attachment 35 is slightly extended toward the substrate P in this state, The contact angle? 2 of the attachment 35 is set to the acute angle side. When the angle? 1 between the attachment 35 and the substrate P is maintained at 90 degrees under this setting, the substrate P is moved in the clamping direction (the arrow mark A Direction).

또한, 접촉각(θ2)의 조정에 의하여 기판(P)과 어태치먼트(35)의 접점도 약간 어긋나지만, 어태치먼트(35)의 선단을 반구 형상의 고무제로 하여 유연성을 갖게 했기 때문에 어태치먼트(35)의 미소 변형에 의하여, 그 어긋남은 흡수된다. 이 때문에, 접촉각(θ2)을 조정해도 기판(P)은 어태치먼트(35) 중앙에서 변형되지 않고 지지된다.The contact of the substrate P and the attachment 35 is also slightly shifted by the adjustment of the contact angle? 2. However, since the tip of the attachment 35 is made of hemispherical rubber, By the deformation, the deviation is absorbed. Therefore, even if the contact angle [theta] 2 is adjusted, the substrate P is supported without being deformed at the center of the attachment 35. [

이와 같이, 본 실시 형태에서는 기판(P)과의 접촉각(θ2)을 임의의 값으로 조정할 수 있는 어태치먼트(35(36))를 구비했기 때문에 기판(P)의 지지력을 클램프 각 부분에서 원하는 강도로 조정할 수 있다.As described above, in the present embodiment, since the attachment 35 (36) capable of adjusting the contact angle 2 with the substrate P to an arbitrary value is provided, the supporting force of the substrate P can be adjusted to the desired strength Can be adjusted.

또한, 기판(P)의 지지력은 어태치먼트(35(36))의 체결 토크에 비례하기 때문에, 그 체결 토크를 토크 렌치 등으로 수치 관리하면, 기판(P)에 작용하는 장력을 각 방향에서 더욱 정밀도 좋게 조절할 수 있다.Since the holding force of the substrate P is proportional to the tightening torque of the attachment 35 (36), numerical control of the tightening torque with a torque wrench or the like allows the tension acting on the substrate P to be more accurately Can be adjusted well.

그리고 이와 같이 구성된 클램프(30)가 프레임(2)의 각 부분에 설치되어 있다. 프레임(2)의 각 부분에 설치되는 클램프(30)는 기판(P)의 중심(P2)을 기준으로 하여 대향하거나 방사상으로 설치되어 있다. 즉, 각 클램프(30)는 기판(P)의 중심(P2)을 향하여 배치되는 것과 함께, 기판(P)의 중심(P2)을 기준으로 하여 점대칭으로 설치되어 있다. 또, 각 클램프(30)는 도 4에 나타내는 바와 같이, 기판(P)에 대하여 각도 자유롭게 설치되어 기판(P)을 원하는 각도로 지지할 수 있게 되어 있다.The clamp 30 thus configured is provided in each part of the frame 2. [ The clamps 30 provided on the respective portions of the frame 2 are opposed to each other with respect to the center P2 of the substrate P or radially disposed. That is, each of the clamps 30 is disposed toward the center P2 of the substrate P and in point symmetry with respect to the center P2 of the substrate P. As shown in Fig. 4, each of the clamps 30 is provided at an angle to the substrate P so as to support the substrate P at a desired angle.

계속해서, 클램프(30)의 조작 방법에 대하여 설명한다.Next, a method of operating the clamp 30 will be described.

클램프(30)를 개방할 때에는 조작 레버(34)를 당겨서(도 3 참조), 수동 아암(32)을 고정 아암(31)으로부터 멀어지는 방향으로 조작한다. 또, 개방 시의 아암 각도는 기판 표면에 대하여 90도 이상으로 열리도록 설정되어 있다. 이 때문에, 클램프(30)의 개방 시에는 기판(P)의 정면측이 전면 개방되기 때문에 기판(P)의 교환을 용이하게 실시할 수 있다.When the clamp 30 is to be opened, the operation lever 34 is pulled (see Fig. 3) to operate the manual arm 32 in a direction away from the fixed arm 31. [ The arm angle at the time of opening is set to be 90 degrees or more with respect to the surface of the substrate. Therefore, when the clamp 30 is opened, the front side of the substrate P is entirely opened, so that the substrate P can be easily replaced.

또, 각 부에 설치된 클램프(30)에 기판(P)의 가장자리부(P1)를 끼워 넣어서 조작 레버(34)를 내리면, 기판(P)은, 그 중심을 기준으로 하여 각 방향으로 끌어당겨지면서 지지된다. 따라서, 기판(P)에 대하여 각 방향에 장력이 발생하고, 기판(P)은, 그 전역에서 휘지 않고 지지된다.When the edge portion P1 of the substrate P is sandwiched between the clamps 30 provided at the respective portions and the operation lever 34 is lowered, the substrate P is pulled in each direction with its center as a reference . Therefore, a tension is generated in each direction with respect to the substrate P, and the substrate P is supported without bending in the entire region.

또한, 상기와 같이, 기판(P)의 지지력은 클램프 개개에 설정 가능하다. 이 때문에, 도 8의 각 화살표 A, B, W1(A＞B＞W1)에 나타내는 바와 같이, 기판(P)의 대향 부위에 있어서, 그 거리가 긴 부분에서는 장력을 강하게 설정하고, 반대로, 거리가 짧은 부분에서는 장력을 약하게 설정하는 것으로 기판 전역에 있어서의 장력의 밸런스가 더욱 정밀도 좋게 유지된다. 이와 같이, 본 실시 형태에서는 기판(P)을, 그 전역에서 휘지 않고 지지할 수 있으며, 또, 지지구로서 부품수가 적은 클램프(30)를 이용하기 때문에 간소하고 저가로 제작할 수 있다.Further, as described above, the holding force of the substrate P can be set for each of the clamps. Therefore, as shown by the arrows A, B, and W1 (A> B> W1) in FIG. 8, the tension is set strongly at the portion where the distance is long, The balance of the tension in the entire substrate can be maintained more precisely by setting the tension weakly. As described above, in the present embodiment, the substrate P can be supported without bending the entire region of the substrate P, and the clamp 30 having a small number of parts can be used as the support, so that it can be manufactured simply and inexpensively.

또한, 상기한 실시 형태는 어디까지나 일례이고, 그 세부는 각종 형식에 따라서 변경 가능하다. 예를 들면, 본 실시 형태에서는 직사각형의 기판(P)을 예로 설명했지만, 프레임(2)의 형상을 변경하는 것으로 원형이나 직사각형 등, 각종 형상에 대응 가능하다. 또, 지지구로서 배력 기구를 갖는 토글 클램프(30)를 이용했지만, 배력 기구를 갖지 않는 클램프를 채용해도 좋다.
The above-described embodiment is merely an example, and the details thereof can be changed in accordance with various types. For example, although the rectangular substrate P is described as an example in the present embodiment, it is possible to cope with various shapes such as a circle and a rectangle by changing the shape of the frame 2. [ Further, although the toggle clamp 30 having the force adjusting mechanism is used as the support, a clamp without the force adjusting mechanism may be employed.

1: 기판 지지 장치
2: 프레임
30: 토글 클램프
31: 고정 아암
32: 수동 아암
32a: 수동 아암의 지지축
33: 토글 기구
33a: 제 1 링크
33b: 제 2 링크
33c: 슬라이더
34: 조작 레버
35: 수동 아암측의 어태치먼트
35a: 어태치먼트의 지지축
35b: 록 너트
36: 고정 아암측의 어태치먼트
36a: 어태치먼트의 지지축
36b: 록 너트
100: 반송 시스템
101a, 101b: 롤러
101: 파지 장치
P: 기판
P1: 기판의 가장자리부
P2: 기판의 중심
W: 기판
W1: 기판의 중심선1: substrate holding device
2: frame
30: Toggle Clamp
31: Fixed arm
32: manual arm
32a: Support shaft of the manual arm
33: toggle mechanism
33a: first link
33b: second link
33c: Slider
34: Operation lever
35: Attachment on manual arm side
35a: Support shaft of the attachment
35b: Rock nut
36: Attachment on fixed arm side
36a: Support shaft of the attachment
36b: Rock nut
100: Return system
101a, 101b: rollers
101:
P: substrate
P1: edge portion of the substrate
P2: center of the substrate
W: substrate
W1: center line of the substrate

Claims (7)

기판의 가장자리부를 따라서 설치되는 것과 함께, 이 기판의 가장자리부를 끼워서 기판을 지지하는 지지구를 구비한 기판 지지 장치로서,
상기 지지구는 상기 기판의 중심을 기준으로 하여 대향하거나 방사상으로 배치되고, 각 대향 부위에서는 상기 기판을 상반되는 방향으로 끌어당기면서 기판을 끼우고,
상기 지지구는 상기 기판을 끼워 넣기 위한 아암을 갖고,
상기 아암은 상기 아암의 기부에 설치된 지지축을 중심으로 회전이동 가능하도록 설치되어 있고,
상기 아암에는 상기 기판에 접하는 어태치먼트가 설치되고, 그 접촉면은 상기 아암의 세로 방향을 따르는 직선 상에서 원호상으로 팽창되어 있는 것을 특징으로 하는
기판 지지 장치.
A substrate supporting apparatus comprising: a substrate supporting unit for supporting a substrate by sandwiching an edge portion of the substrate along an edge portion of the substrate,
Wherein the support is opposed to or radially disposed with respect to the center of the substrate, the substrate is sandwiched between the opposed portions while pulling the substrate in the opposite direction,
Wherein the support has an arm for fitting the substrate,
Wherein the arm is installed to be rotatable about a support shaft provided at a base of the arm,
Wherein the arm is provided with an attachment in contact with the substrate and the contact surface thereof is expanded in an arc shape on a straight line along the longitudinal direction of the arm
/ RTI >
제 1 항에 있어서,
상기 지지구는 상기 기판에 대하여 사전에 결정된 각도를 갖도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는
기판 지지 장치.
The method according to claim 1,
Characterized in that the support is provided so as to have a predetermined angle with respect to the substrate
/ RTI >
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 지지구는, 그 지지력을 조정하기 위한 지지력 조정 기구를 갖는 것을 특징으로 하는
기판 지지 장치.3. The method according to claim 1 or 2,
Characterized in that the support has a support force adjusting mechanism for adjusting a support force thereof
/ RTI > 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 아암은 상기 기판으로부터 멀어지는 방향으로 개방 가능하고, 또한, 그 개방 시의 아암 각도는 기판 표면에 대하여 90도 이상으로 열리도록 설정되어 있는 것을 특징으로 하는
기판 지지 장치.
The method according to claim 1,
Characterized in that the arm is openable in a direction away from the substrate and the arm angle at the time of opening is set to open at least 90 degrees with respect to the substrate surface
/ RTI >
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 지지구는 토글 클램프인 것을 특징으로 하는
기판 지지 장치.3. The method according to claim 1 or 2,
Characterized in that the support is a toggle clamp
/ RTI >
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