KR101509173B1 - Carrier for manufacturing a solar cell - Google Patents

Carrier for manufacturing a solar cell Download PDF

Info

Publication number
KR101509173B1
KR101509173B1 KR20140046166A KR20140046166A KR101509173B1 KR 101509173 B1 KR101509173 B1 KR 101509173B1 KR 20140046166 A KR20140046166 A KR 20140046166A KR 20140046166 A KR20140046166 A KR 20140046166A KR 101509173 B1 KR101509173 B1 KR 101509173B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
solar cell
carrier
side panel
shaft
coupled
Prior art date
Application number
KR20140046166A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
구인모
김정환
Original Assignee
구인모
주식회사 에스이에이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 구인모, 주식회사 에스이에이 filed Critical 구인모
Priority to KR20140046166A priority Critical patent/KR101509173B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101509173B1 publication Critical patent/KR101509173B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/04Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
    • H01L31/042PV modules or arrays of single PV cells
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

The present invention relates to a carrier for processing solar cells, comprising: a pair of side panels which are respectively formed in square board types and are arranged to be spaced apart from each other; multiple carrier shafts each of which has both ends respectively coupled to the side panels in a manner of being coupled to facing two sides of the side panels, and which include multiple insertion protrusions having a taper shape formed along a length direction so that solar cell wafers can be inserted among the insertion protrusions; a support shaft which has both ends respectively coupled to the side panels in a manner of being coupled to one of the other facing both ends of the side panels and supports the solar cell wafers; an escape preventing shaft which has both ends coupled to the side panels to be detached in a manner of being coupled to the other of the other facing both ends of the side panels and prevents escape of the solar cell wafers when the solar cell wafers are loaded; and a coupling bolt to couple the carrier shafts to the side panels. The carrier of the present invention can load a lot of solar cells while preventing the solar cells from being in contact with each other when the solar cells are transferred by the carrier shafts including the insertion protrusions which are in point contact with the solar cells and can also prevent, by the escape preventing shaft, the solar cells from being escaped when the carrier is rotated or moved.

Description

솔라셀 가공용 캐리어{Carrier for manufacturing a solar cell}{Carrier for manufacturing a solar cell}

본 발명은 솔라셀 가공용 캐리어에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 복수의 솔라셀을 Texturing 가공할 때 솔라셀 간에 서로 접촉되는 것을 방지하고, 고온 및 각종 산, 염기 용액과 같은 가혹한 조건에서 솔라셀을 가공하기 위한 솔라셀 가공용 캐리어에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a carrier for processing a solar cell, and more particularly to a carrier for processing a plurality of solar cells, To a carrier for processing a solar cell.

솔라셀(solar cell)은 태양 에너지를 전기 에너지로 변환하는 장치로, 일반적으로 결정질 실리콘 웨이퍼를 이용해 솔라 모듈(solar module)을 만들게 된다.A solar cell is a device that converts solar energy into electrical energy. Generally, a crystalline silicon wafer is used to make a solar module.

솔라셀의 제조 과정은 실리콘 잉곳 제작 → 수백 미크론 두께로 베어(Bare) 웨이퍼 가공 → 베어(Bare) 웨이퍼 텍스처링(Texturing) → 텍스처링 웨이퍼에 도핑 주입(Diffusion) → 도핑 주입 웨이퍼의 가장자리 누설 전류 차단(Edge isolation) → 표면 반사방지막 생성(PECVD) → 회로 작업 → 소성 가공 → 검사 → 솔라셀 완성의 공정을 거쳐 솔라셀이 제작된다.The manufacturing process of the solar cell is silicon ingot production → Bare wafer processing → Bare wafer texturing → Doping on textured wafer → Diffusion → Edge leakage current edge isolation → surface antireflection film formation (PECVD) → circuit work → plastic processing → inspection → solar cell completion process.

이러한 여러 단계의 공정 중 솔라셀이 더 많은 빛을 모을 수 있도록 셀 표면에 일정 형태(Partten)를 가공해서 빛의 반사를 낮추는데, 이러한 공정을 텍스쳐링(Texturing)이라고 한다. 통상 텍스쳐링은 낮은 온도의 산 용액이나 고온의 염기 용액에서 진행되며, 이 조건에서 실리콘 웨이퍼의 표면에 부식(Etching)이 발생하여 원하는 패턴을 형성하게 되며, 이에 따라 솔라셀 표면의 빛 반사를 최소화 시킬 수 있다. 전술한 가혹한 작업 환경에서 솔라셀 캐리어에 크랙 및 변형이 발생되며, 특히 이 과정에서 소재의 부식에 의한 부산물이 형성 된다. 이렇게 발생된 부산물은 공정 중 웨이퍼 표면에 흡착되어 2차 오염을 일으킴으로써 솔라셀의 효율을 저하 시킨다.Among these various processes, the cell is processed to form a certain part (Partten) to lower the reflection of light so that the solar cell collects more light. This process is called texturing. Typically, texturing occurs in a low-temperature acid solution or a high-temperature base solution. In this condition, etching occurs on the surface of the silicon wafer to form a desired pattern, thereby minimizing light reflection on the surface of the solar cell . Cracks and deformation are generated in the cell carrier in the above-described severe working environment, and in particular, by-products formed by corrosion of the material are formed in this process. The by-products thus generated are adsorbed on the surface of the wafer during the process to cause secondary contamination, thereby lowering the efficiency of the solar cell.

또한, 종래에는 이러한 여러 단계의 공정을 거칠 때 솔라셀 웨이퍼를 다음 공정으로 이동시키기 위해 수동 또는 자동으로 솔라셀 웨이퍼를 이송하는 경우가 대부분이며, 이를 위해 한국특허공개 제2012-0110990호에 개시된 것과 같은 이송장치를 사용한다.Conventionally, in order to move the solar cell wafer to the next process in the course of such various steps, most of the solar cell wafers are transferred manually or automatically. For this purpose, the method disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 2012-0110990 Use the same transport device.

그러나 이러한 종래의 이송장치는 판상의 이송장치에 솔라셀 웨이퍼를 올려놓고 고정하여 이동하는 방식으로, 하나의 이송장치에 올릴 수 있는 솔라셀 웨이퍼의 수가 한정되어 있어 이송 효율이 떨어지는 문제가 있다.However, such a conventional transfer device has a problem in that the transfer efficiency is inferior because the number of solar cell wafers which can be loaded on one transfer device is limited due to a method in which a solar cell wafer is placed on a plate-shaped transfer device and fixed and moved.

한국특허공개 제2012-0110990호(공개일자 2012. 10. 10)Korean Patent Laid-Open Publication No. 2012-0110990 (Published on October 10, 2012)

본 발명의 제1 목적은 캐리어 샤프트의 삽입돌기와 솔라셀 웨이퍼의 접촉에 의한 캐리어 마크(Carrier Mark)를 최소화할 수 있는 솔라셀 가공용 캐리어를 제공하는 것이다. 본 발명의 제2 목적은 온도 변화에 따른 열수축 또는 팽창에 의한 아우터 파이프의 크랙 발생을 줄일 수 있으며, 크랙이 발생하더라도 약품에 의한 부식을 방지할 수 있는 솔라셀 가공용 캐리어를 제공하는 것이다. 본 발명의 제3 목적은 금속 소재의 결합볼트를 사용함으로써 사이드 패널과 샤프트 간의 결합력을 향상시켜 변형을 방지함과 동시에 결합볼트의 부식을 방지하고, 볼트 체결에 의한 틀어짐이나 열변형에 의한 풀림을 방지할 수 있는 솔라셀 가공용 캐리어를 제공하는 것이다. 본 발명의 제4 목적은 이탈방지 샤프트의 체결 시 솔라셀 웨이퍼의 파손을 줄이고, 이탈방지 샤프트를 안정적으로 체결할 수 있는 솔라셀 가공용 캐리어를 제공하는 것이다. 본 발명의 제5 목적은 서로 다른 규격을 갖는 복수의 장비에 겸용으로 사용할 수 있는 솔라셀 가공용 캐리어를 제공하는 것이다.A first object of the present invention is to provide a carrier for processing a solar cell capable of minimizing a carrier mark caused by contact between a solar cell wafer and an insertion projection of a carrier shaft. A second object of the present invention is to provide a carrier for processing a solar cell capable of reducing the occurrence of cracks in the outer pipe due to heat shrinkage or expansion due to temperature change and preventing corrosion caused by chemicals even when cracks occur. A third object of the present invention is to provide a bolt for a motorcycle which prevents the bolt from being corroded by improving the coupling force between the side panel and the shaft by using a bolt made of a metal material and preventing the bolt from being corroded, And to provide a carrier for processing a solar cell. A fourth object of the present invention is to provide a carrier for processing a solar cell capable of reducing the breakage of the solar cell wafer when the release preventing shaft is fastened and stably fastening the release preventing shaft. A fifth object of the present invention is to provide a carrier for processing a solar cell which can be used for a plurality of equipment having different specifications.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 솔라셀 가공용 캐리어는 서로 간격을 두고 배치되는 각각 사각형의 판재인 한 쌍의 사이드 패널과, 양단이 상기 사이드 패널에 각각 결합되되 상기 사이드 패널의 마주보는 두변에 결합되며, 길이 방향을 따라 테이퍼 형상을 갖는 복수의 삽입돌기가 형성되어 상기 복수의 삽입돌기의 사이에 솔라셀 웨이퍼가 삽입되는 복수의 캐리어 샤프트와, 양단이 상기 사이드 패널에 각각 결합되되 상기 사이드 패널의 마주보는 다른 양단부 중 어느 한 단부에 결합되어 상기 솔라셀 웨이퍼를 지지하는 지지 샤프트와, 양단이 상기 사이드 패널에 탈착 가능하게 결합되되 상기 사이드 패널의 마주보는 다른 양단부 중 다른 한 단부에 결합되어 상기 솔라셀 웨이퍼의 적재 시 상기 솔라셀 웨이퍼의 이탈을 방지하는 이탈방지 샤프트와, 상기 캐리어 샤프트를 상기 사이드 패널에 결합시키는 결합볼트를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to accomplish the above object, the carrier for processing a cell of the present invention comprises a pair of side panels, each of which is a rectangular plate disposed at an interval from each other, and a pair of side panels, both ends of which are coupled to the side panel, A plurality of carrier shafts, each having a plurality of insertion protrusions formed in a tapered shape along a longitudinal direction thereof to insert a solar cell wafer between the plurality of insertion protrusions; A support shaft coupled to one of opposite ends of the opposite side of the solar cell wafer to support the solar cell wafer, a support shaft detachably coupled to the side panel at both ends thereof and coupled to the other end of the opposite side of the side panel, Preventing escape of the solar cell wafer when the solar cell wafer is loaded And a coupling bolt for coupling the carrier shaft to the side panel.

상기 삽입돌기는 단면이 다각형이고, 상기 다각형의 꼭지점에 상기 솔라셀 웨이퍼가 접촉되는 것이 바람직하다.Preferably, the insertion protrusions are polygonal in cross section and the solar cell wafer contacts the vertex of the polygon.

상기 캐리어 샤프트는 금속 재질의 인서트 파이프와, 상기 인서트 파이프를 수용하는 아우터 파이프를 포함하여 구성되며, 상기 삽입돌기는 상기 아우터 파이프에 형성된 것이 바람직하다.Preferably, the carrier shaft includes an insert pipe made of a metal material and an outer pipe accommodating the insert pipe, and the insert protrusion is formed on the outer pipe.

상기 인서트 파이프는 길이 방향의 외주면을 따라 스크루 형상의 요철부를 포함하는 것이 특징이다.The insert pipe is characterized by including a screw-like concave-convex portion along an outer circumferential surface in the longitudinal direction.

상기 캐리어 샤프트는 상기 인서트 파이프와 아우터 파이프의 사이에 형성되는 코팅 레이어를 더 포함할 수 있다.The carrier shaft may further include a coating layer formed between the insert pipe and the outer pipe.

상기 아우터 파이프와 상기 사이드 패널 중 어느 하나에는 돌출된 돌기 형태의 패널 결합부가 형성되고, 상기 아우터 파이프와 상기 사이드 패널 중 다른 하나에는 상기 패널 결합부의 형상에 대응하여 요입된 요입홈 형태의 패널 결합부가 형성되는 것을 특징으로 한다.A panel coupling part in the form of a protruding projection is formed on one of the outer pipe and the side panel and a panel coupling part in the form of a concave groove recessed in the other of the outer pipe and the side panel in correspondence with the shape of the panel coupling part Is formed.

상기 결합볼트는 금속 재질이며, 상기 사이드 패널과 상기 아우터 파이프의 단부를 관통해 상기 인서트 파이프에 결합되는 것이 특징이다.The coupling bolt is made of a metal and is coupled to the insert pipe through an end portion of the side panel and the outer pipe.

상기 결합볼트는 볼트헤드의 하부에 두 개의 사면을 갖는 쐐기 모양으로 돌출되며, 상기 사면 중 하나는 상기 결합볼트의 조임 방향으로 완만한 각도를 가지며, 상기 사면 중 다른 하나는 상기 결합볼트의 풀림 방향으로 급격한 각도를 갖는 풀림방지부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The coupling bolt protrudes in a wedge shape having two slopes at the lower portion of the bolt head, one of the slopes has a gentle angle in the tightening direction of the coupling bolt, and the other slant faces the loosening direction of the coupling bolt And a release preventing portion having a sharp angle.

상기 볼트헤드는 피크 코팅(PEEK coating)되며, 상기 결합볼트는 상기 인서트 파이프에 삽입되는 볼트삽입부가 테프론 코팅될 수 있다.The bolt head is PEEK coated and the bolt insert inserted into the insert pipe can be Teflon coated.

상기 지지 샤프트는 직경 방향 단면이 물방울 형상이며, 상기 솔라셀 웨이퍼에 접촉하는 단부가 뾰족한 모서리를 형성하여 상기 솔라셀 웨이퍼에 점접촉하는 것을 특징으로 한다.Wherein the support shaft has a water droplet-shaped cross section in the radial direction, and an end portion contacting the solar cell wafer forms a pointed edge, thereby making point contact with the solar cell wafer.

상기 이탈방지 샤프트는 양단에 상기 사이드 패널의 두께에 대응하는 폭으로 형성되어 상기 사이드 패널에 탈착 가능하게 결합되는 결합부와, 길이 방향을 따라 등간격으로 돌출 형성된 복수의 지지돌기를 포함하여 구성될 수 있다.The release preventing shaft is formed at both ends with a width corresponding to the thickness of the side panel and is detachably coupled to the side panel and a plurality of support protrusions protruding at equal intervals along the length direction .

상기 지지돌기는 상기 이탈방지 샤프트의 길이 방향에 따른 폭이 직경 방향에 따른 높이보다 좁은 상어 지느러미 형상인 것을 특징으로 한다.And the support protrusion has a shark fin shape in which the width along the longitudinal direction of the release preventing shaft is narrower than the height along the radial direction.

상기 솔라셀 웨이퍼는 상기 복수의 지지돌기의 사이에 각각 삽입되는 것이 바람직하다.The solar cell wafer is preferably inserted between the plurality of support protrusions.

상기 결합부는 단면이 타원형이며, 상기 사이드 패널은 상기 결합부의 단축 방향 단면 형상에 대응하는 개구부가 형성되고, 상기 개구부에 연결되며 상기 결합부의 장축 방향 직경에 대응하는 직경을 갖는 샤프트 삽입부를 포함하여 구성된다.And the side panel has an opening corresponding to a cross-sectional shape in the short axis direction of the coupling part, and a shaft insertion part connected to the opening part and having a diameter corresponding to a longitudinal direction diameter of the coupling part, do.

상기 이탈방지 샤프트는 상기 결합부의 외주면으로부터 돌출 형성된 적어도 하나의 가이드 리브를 더 포함할 수 있다.The separation preventing shaft may further include at least one guide rib protruding from an outer circumferential surface of the engaging portion.

상기 사이드 패널은 외부의 이송수단에 거치할 수 있는 고리 형상의 홀더부를 포함하여 구성되며, 상기 홀더부는 상기 사이드 패널의 이웃한 두 개의 변에 형성되되 서로 다른 크기로 형성되는 것이 바람직하다.
The side panel may include an annular holder portion that can be held by an external conveying means. The holder portion may be formed on two adjacent sides of the side panel, and may be formed to have different sizes.

본 발명에 따르면, 캐리어 샤프트에 다각형 단면의 삽입돌기 사용과 물방울 형상 단면의지지 샤프트 채용으로 솔라셀 웨이퍼의 접촉에 접촉 시 캐리어 마크를 최소화 또는 방지할 수 있다. 아우터 파이프 내 요철부가 적용된 금속 재질의 인서트 파이프를 적용함으로써 온도 변화에 따른 열수축 또는 팽창에 의한 아우터 파이프의 크랙 발생을 줄일 수 있으며, 인서트 파이프와 아우터 파이프의 사이에 코팅 레이어를 구비함으로써 아우터 파이프에 크랙이 발생하더라도 약품에 의한 부식을 방지할 수 있어 캐리어의 수명이 연장되는 효과가 있다. 또한, 금속 소재의 결합볼트를 사용하여 인서트 파이프에 직결함으로써 사이드 패널과 샤프트 간의 결합력을 향상시켜 변형을 방지함과 동시에 아우터 파이프의 열변형에 의한 크랙 발생을 감소시킬 수 있다. 아우터 파이프에 구비된 사이드 패널 결합부에 의해 결합볼트의 체결 시 체결에 의한 틀어짐이나 회전을 방지할 수 있으며, 풀림방지부가 구비되어 열변형에 의한 풀림 역시 방지하는 효과가 있다. 더 나아가 상어 지느러미 형상의 지지돌기가 구비됨으로써 이탈방지 샤프트의 체결 시 솔라셀 웨이퍼의 파손을 줄일 수 있으며, 가이드 리브를 도입함으로써 이탈방지 샤프트를 안정적으로 체결할 수 있는 장점이 있다. 마지막으로 본 발명에 따르면 캐리어의 사이드 패널에 서로 다른 두가지 이상의 홀더부를 구비함으로써 규격이 서로 다른 복수의 장비에 겸용으로 사용할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to minimize or prevent the carrier mark when using the insertion projection of the polygonal cross section on the carrier shaft and the contact of the solar cell wafer with the support shaft of the water-droplet cross section. By applying the metal insert pipe having the concave-convex portion of the outer pipe, it is possible to reduce the occurrence of cracks in the outer pipe due to heat shrinkage or expansion due to the temperature change. By providing a coating layer between the insert pipe and the outer pipe, It is possible to prevent corrosion caused by chemicals, and the life of the carrier is prolonged. In addition, by using a metal bolt to directly connect to the insert pipe, the coupling force between the side panel and the shaft can be improved to prevent deformation, and cracks due to thermal deformation of the outer pipe can be reduced. The side panel joining portion provided on the outer pipe can prevent the engagement bolt from being twisted or rotated by tightening when fastening the fastening bolt, and the loosening preventing portion is also provided to prevent loosening due to thermal deformation. Furthermore, since the support projection in the form of a shark fin is provided, breakage of the solar cell wafer can be reduced at the time of engagement of the separation preventing shaft, and the introduction of the guide rib can provide an advantage that the separation preventing shaft can be stably fixed. Finally, according to the present invention, since two or more different holder portions are provided on the side panel of the carrier, it can be used for a plurality of equipments having different specifications.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 솔라셀 가공용 캐리어의 사시도,
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 솔라셀 가공용 캐리어의 단면도,
도 3은 본 발명에 따른 솔라셀 가공용 캐리어의 캐리어 샤프트를 도시한 단면도,
도 4는 본 발명에 따른 솔라셀 가공용 캐리어의 캐리어 샤프트와 사이드 패널의 결합부위를 도시한 단면도,
도 5는 본 발명에 따른 솔라셀 가공용 캐리어의 지지 샤프트를 도시한 사시도,
도 6은 본 발명에 따른 솔라셀 가공용 캐리어의 이탈방지 샤프트를 도시한 측면도,
도 7은 본 발명에 따른 솔라셀 가공용 캐리어의 사이드 패널을 도시한 단면도이다.
1 is a perspective view of a carrier for processing a solar cell according to an embodiment of the present invention,
2 is a cross-sectional view of a carrier for processing a solar cell according to an embodiment of the present invention,
3 is a cross-sectional view showing a carrier shaft of a carrier for processing a solar cell according to the present invention,
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a coupling portion of a carrier shaft and a side panel of a carrier for processing a cell according to the present invention,
5 is a perspective view showing a support shaft of a carrier for processing a solar cell according to the present invention,
FIG. 6 is a side view showing a separation preventing shaft of a carrier for processing a cell according to the present invention,
7 is a cross-sectional view showing a side panel of a carrier for processing a cell according to the present invention.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 솔라셀 가공용 캐리어에 대해 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, a carrier for processing a solar cell according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 솔라셀 가공용 캐리어의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 솔라셀 가공용 캐리어의 단면도이며, 도 3은 본 발명에 따른 솔라셀 가공용 캐리어의 캐리어 샤프트를 도시한 단면도이다. 도 4는 본 발명에 따른 솔라셀 가공용 캐리어의 캐리어 샤프트와 사이드 패널의 결합부위를 도시한 단면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 솔라셀 가공용 캐리어의 지지 샤프트를 도시한 사시도이고, 도 6은 본 발명에 따른 솔라셀 가공용 캐리어의 이탈방지 샤프트를 도시한 측면도이다. 도 7은 본 발명에 따른 솔라셀 가공용 캐리어의 사이드 패널을 도시한 단면도이다.FIG. 1 is a perspective view of a carrier for processing a solar cell according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a sectional view of a carrier for processing a solar cell according to an embodiment of the present invention. Sectional view showing the carrier shaft. FIG. 4 is a cross-sectional view showing a coupling portion between a carrier shaft and a side panel of a carrier for processing a solar cell according to the present invention, FIG. 5 is a perspective view showing a support shaft of a carrier for processing a solar cell according to the present invention, Fig. 8 is a side view showing the separation preventing shaft of the carrier for processing a cell according to the invention. 7 is a cross-sectional view showing a side panel of a carrier for processing a cell according to the present invention.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 솔라셀 가공용 캐리어(10)는 크게 한 쌍의 사이드 패널(400)과, 사이드 패널(400)의 사이에 배치되어 양단이 사이드 패널(400)에 결합되는 복수의 캐리어 샤프트(100)와, 솔라셀 웨이퍼(12)를 하부에서 지지하는 지지 샤프트(200)와, 솔라셀 웨이퍼(12)의 이탈을 방지하는 복수의 이탈방지 샤프트(300)로 구성된다(본 명세서에서는 편의상 도 1을 기준으로 지지 샤프트가 설치된 부분을 하부, 캐리어 샤프트가 설치된 부분을 좌우측, 이탈방지 샤프트가 설치되는 부분을 상부로 정의하기로 한다).1 and 2, a carrier 10 for processing a solar cell according to an exemplary embodiment of the present invention includes a pair of side panels 400 and a pair of side panels 400 disposed between the side panels 400, A plurality of carrier shafts 100 coupled to the side panels 400, a support shaft 200 for supporting the solar cell wafers 12 from below, A portion where the support shaft is installed is defined as a lower portion, a portion where the carrier shaft is installed is defined as left and right, and a portion where the release preventing shaft is installed is defined as an upper portion.

캐리어 샤프트(100)는 사이드 패널(400)의 사이에 배치되는 인서트 파이프(110)와, 인서트 파이프(110)를 감싸 지지하는 아우터 파이프(150)와, 아우터 파이프(150)의 양단에 형성되어 사이드 패널(400)에 결합되는 사이드 패널 결합부(154)로 구성되며, 캐리어 샤프트(100)는 결합볼트(500)에 의해 사이드 패널(400)에 결합된다.The carrier shaft 100 includes an insert pipe 110 disposed between the side panels 400 and an outer pipe 150 wrapping the insert pipe 110. The outer pipe 150 is formed at both ends of the outer pipe 150, And the side panel coupling portion 154 coupled to the panel 400. The carrier shaft 100 is coupled to the side panel 400 by the coupling bolt 500. [

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 인서트 파이프(110)는 높은 강도를 위해 스테인리스 스틸 등과 같은 금속 재질로 만들어지며, 길이 방향을 따라 외주면에 스크루 형상의 요철 구조를 갖는다. 즉, 회전식으로 너트와 결합되는 볼트 또는 나사의 표면에 형성된 나사산과 같은 연속적인 요철 구조가 인서트 파이프(110)의 외주면에 형성된다. 이러한 요철부(112)는 여러 공정으로의 솔라셀 웨이퍼(12)의 이동 환경에서 잦은 열 수축 및 팽창에 의해 인서트 파이프(110)에 결합된 아우터 파이프(150)에 크랙 등의 손상이 생기는 것을 방지하고 아우터 파이프(150)와의 결합을 견고하게 한다. 인서트 파이프(110)와 아우터 파이프(150)의 사이에는 코팅 레이어(130)가 추가될 수 있다.2 and 3, the insert pipe 110 is made of a metal material such as stainless steel for high strength and has a screw-like concave-convex structure on the outer circumferential surface along the longitudinal direction. That is, a continuous uneven structure such as a thread formed on the surface of a bolt or a screw that rotatably engages with the nut is formed on the outer circumferential surface of the insert pipe 110. The concavity and convexity 112 prevents cracks or the like from being damaged in the outer pipe 150 coupled to the insert pipe 110 due to frequent heat shrinkage and expansion in a moving environment of the solar cell wafer 12 in various processes And firmly engages with the outer pipe 150. A coating layer 130 may be added between the insert pipe 110 and the outer pipe 150.

코팅 레이어(130)는 테프론 등의 재질로 형성되며, 아우터 파이프(150)에 크랙 등의 손상이 발생했을 때 형성된 틈으로 화학물질 등의 이물질이 유입되어 인서트 파이프(110)를 부식시키지 않도록 차단하는 역할을 한다. 인서트 파이프(110)가 강도 향상을 위해 금속 재질로 만들어지므로, 아우터 파이프(150)가 손상되더라도 인서트 파이프(110)에 영향을 주지 않도록 코팅 레이어(130)가 구비되는 것이 바람직하다.The coating layer 130 is made of Teflon or the like and blocks foreign substances such as chemicals from flowing into the gap formed when the outer pipe 150 is damaged such as cracks to prevent corrosion of the insert pipe 110 It plays a role. It is preferable that the coating layer 130 is provided so as not to affect the insert pipe 110 even if the outer pipe 150 is damaged because the insert pipe 110 is made of a metal material for the purpose of improving the strength.

아우터 파이프(150)는 코팅 레이어(130)가 형성된 상태에서 인서트 파이프(110)에 플라스틱 사출된다. 아우터 파이프(150)는 인서트 파이프(110)를 부식이나 손상으로부터 보호하며, 인서트 파이프(110)를 사이드 패널(400)에 결합시킨다. 아우터 파이프(150)의 외주면에는 일방향으로 복수의 삽입돌기(152)가 돌출 형성되고, 양단에는 사이드 패널 결합부(154)가 형성된다.The outer pipe 150 is plastically injected into the insert pipe 110 in a state in which the coating layer 130 is formed. The outer pipe 150 protects the insert pipe 110 from corrosion or damage, and connects the insert pipe 110 to the side panel 400. A plurality of insertion protrusions 152 protrude from the outer circumferential surface of the outer pipe 150 in one direction, and side panel engaging portions 154 are formed at both ends.

도 3에 도시된 바와 같이, 삽입돌기(152)는 아우터 파이프(150)의 길이 방향을 따라 일렬로 배치되되, 일 방향을 향해 등간격으로 형성된다. 삽입돌기(152)는 아우터 파이프(150)에서 시작되는 일단부에서 타단부를 향해 테이퍼(taper)진 형태로 형성되며, 단면이 삼각형 또는 사각형 등의 다각형으로 형성된다. 복수의 삽입돌기(152)의 사이에 생기는 공간에 솔라셀 웨이퍼(12)가 각각 삽입되며, 삽입돌기(152)의 단면에서 꼭지점에 해당하는 부분에 점접촉된다. 삽입돌기(152)가 테이퍼 형상이므로 솔라셀 웨이퍼(12)의 지지 영역(솔라셀의 결합부위 주변 영역으로 전극 등이 형성되어 있지 않은 비활성화 영역)에 접촉될 때 점접촉이 가능하다. 이에 따라 솔라셀 웨이퍼(12)에 삽입돌기(152)에 의한 흔적(Carrier Mark)이 남는 것을 최소화 또는 방지할 수 있고, 솔라셀 웨이퍼(12)와의 접촉 면적이 작으므로 건조 효율이 개선되는 효과가 있다.3, the insertion protrusions 152 are arranged in a row along the longitudinal direction of the outer pipe 150, and are formed at regular intervals toward one direction. The insertion protrusions 152 are formed in a tapered shape from one end to the other end starting from the outer pipe 150, and are formed in a polygonal shape such as a triangle or a square in cross section. The solar cell wafers 12 are inserted into the spaces between the plurality of insertion protrusions 152 and are in point contact with the portions corresponding to the vertexes in the cross section of the insertion protrusions 152. Since the insertion protrusions 152 are tapered, point contact is possible when they are in contact with the supporting region of the solar cell wafer 12 (the inactive region where no electrode or the like is formed in the region around the coupling region of the solar cell). Accordingly, it is possible to minimize or prevent the residual of the carrier mark caused by the insertion protrusion 152 on the solar cell wafer 12 and to reduce the contact area with the solar cell wafer 12, thereby improving the drying efficiency have.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 캐리어 샤프트(100)는 솔라셀 가공용 캐리어(10)의 좌우측에 각각 복수 개가 설치되며, 캐리어 샤프트(100)는 삽입돌기(152)의 단부 방향이 서로 마주보도록 배치되는 것이 바람직하다. 이는 서로 마주보는 삽입돌기(152)의 사이에 솔라셀 웨이퍼(12)가 삽입되어 양단이 각각 안정적으로 지지되도록 하기 위함이다.As shown in FIGS. 1 and 2, a plurality of carrier shafts 100 are provided on the right and left sides of the carrier 10 for processing a solar cell, and the carrier shafts 100 are arranged such that end directions of the insertion protrusions 152 are opposite to each other It is preferable to arrange for viewing. This is because the solar cell wafer 12 is inserted between the insertion protrusions 152 facing each other so that both ends are stably supported.

도 4에 도시된 바와 같이, 사이드 패널 결합부(154)는 복수의 돌기 또는 삽입홈으로 형성될 수 있다. 사이드 패널 결합부(154)가 돌기로 구현되는 경우 사이드 패널(400)에는 돌기의 형상에 대응하여 요입된 요입홈 형태의 패널 결합부(412)가 형성되며, 사이드 패널 결합부(154)가 요입홈으로 구현되는 경우 사이드 패널(400)에는 돌기 형태의 패널 결합부(412)가 형성되어 서로 맞물려 결합된다. 사이드 패널 결합부(154)는 후술할 결합볼트(500)의 체결 시 캐리어 샤프트(100)가 체결력에 의해 회전하는 것을 방지하는 것으로, 돌기나 요입홈의 형태에 한정되지 않는다. 사이드 패널 결합부(154) 자체가 사이드 패널(400)에 삽입되는 형태로 구현되어도 무방하며, 캐리어 샤프트(100)를 사이드 패널(400)에 결합시킬 수 있다면 모두 본 발명의 실시 예에 속할 것이다. 사이드 패널 결합부(154)가 사이드 패널(400)에 결합된 상태에서 후술할 결합볼트(500)가 아우터 파이프(150)의 양단에 삽입되며, 인서트 파이프(110)의 단부쪽으로 삽입되므로 아우터 파이프(150)의 양단에는 결합볼트(500)가 삽입될 중공이 형성되는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 4, the side panel engaging portion 154 may be formed of a plurality of protrusions or insertion grooves. When the side panel coupling portion 154 is implemented as a projection, a side panel coupling portion 412 is formed in the side panel 400 in the form of a concave groove corresponding to the shape of the projection, The panel 400 is formed with a protrusion-shaped panel engaging portion 412 to be engaged with and engaged with each other. The side panel engaging portion 154 prevents the carrier shaft 100 from rotating due to the fastening force when fastening the coupling bolt 500, which will be described later, and is not limited to the shape of the projections and the concave grooves. The side panel joining portion 154 itself may be inserted into the side panel 400 and all of them may be included in the embodiment of the present invention if the carrier shaft 100 can be coupled to the side panel 400. [ A coupling bolt 500 to be described later is inserted into both ends of the outer pipe 150 and inserted into the end of the insert pipe 110 in a state where the side panel coupling part 154 is coupled to the side panel 400, 150 are formed at both ends thereof with a hollow through which the coupling bolt 500 is inserted.

도 5에 도시된 바와 같이, 지지 샤프트(200)는 솔라셀 가공용 캐리어(10)의 하부(도 1 기준으로 하부임)에 결합되며, 한 개 또는 복수 개가 설치된다. 지지 샤프트(200)는 캐리어 샤프트(100)와 마찬가지로 결합볼트(500)에 의해 사이드 패널(400)에 결합된다. 지지 샤프트(200)는 삽입 돌기가 없는 구조로 직경 방향 단면이 물방울 형상이다. 즉, 직경 방향 단면의 일측이 뾰족한 모서리 형태의 접촉부(210)를 형성하여 솔라셀 웨이퍼(12)에 점 접촉해 솔라셀 웨이퍼(12)를 지지한다. 지지 샤프트(200)는 접촉부(210)가 경사져 있기 때문에, 솔라셀 가공용 캐리어(10)에 코팅 등의 공정을 거친 솔라셀 웨이퍼(12)를 적재했을 때 솔라셀 웨이퍼(12)와의 접촉면적을 최소화할 수 있다. 이와 동시에, 잔여 액체나 물 등이 경사진 부분을 타고 빠르게 흘러내려 건조 효율을 향상시킬 수 있으며, 솔라셀 웨이퍼(12)와 접촉부(210)가 점 접촉되므로 솔라셀 웨이퍼(12)에 지지 샤프트(200)에 의한 캐리어 마크가 남는 것을 최소화할 수 있다.As shown in Fig. 5, the support shaft 200 is coupled to the lower part (lower part in reference to Fig. 1) of the carrier 10 for cell processing, and one or a plurality of support shafts 200 are installed. The support shaft 200 is coupled to the side panel 400 by the coupling bolt 500 in the same manner as the carrier shaft 100. The support shaft 200 has a structure in which no insertion protrusions are formed, and the diameter direction cross-section has a water droplet shape. That is, one side of the radial cross section forms a sharp-pointed contact portion 210 to support the solar cell wafer 12 in point contact with the solar cell wafer 12. The support shaft 200 has the contact portion 210 inclined so that the contact area with the solar cell wafer 12 can be minimized when the solar cell wafer 12 that has undergone a coating process or the like is loaded on the carrier for cell processing 10 can do. At the same time, the residual liquid, water, and the like can be rapidly flowed on inclined portions to improve the drying efficiency, and the solar cell wafer 12 and the contact portion 210 are in point contact, 200 can be minimized.

도 6에 도시된 바와 같이, 이탈방지 샤프트(300)는 플라스틱 재질의 파이프로, 솔라셀 가공용 캐리어(10)의 상부(도 1을 기준으로 상부임)에 결합되며, 길이 방향을 따라 복수의 지지돌기(330)가 등간격으로 형성된다. 이탈방지 샤프트(300)의 양단에는 사이드 패널(400)에 결합되는 결합부(310)가 각각 형성되며, 솔라셀 웨이퍼(12)의 삽입 및 인출을 위해 탈착 가능하게 결합된다. 이를 위해 사이드 패널(400)에는 샤프트 삽입부(430)가 형성되며, 이탈방지 샤프트(300)는 결합부(310)가 샤프트 삽입부(430)에 삽입 또는 이탈된다.As shown in Fig. 6, the release preventing shaft 300 is a plastic pipe, which is coupled to the upper portion of the solar cell processing carrier 10 (upper in reference to Fig. 1) The protrusions 330 are formed at regular intervals. At both ends of the separation preventing shaft 300, coupling portions 310 to be coupled to the side panels 400 are formed, and are detachably coupled to insert and pull out the solar cell wafers 12. For this purpose, the side panel 400 is provided with a shaft inserting portion 430 and the engaging portion 310 is inserted into or released from the shaft inserting portion 430.

결합부(310)는 단면이 타원형을 이루며(도 7 참조), 단축 방향(A)으로 샤프트 삽입부(430)에 삽입되고, 사용자가 이탈방지 샤프트(300)를 회전시키면 장축 방향(B)의 직경이 샤프트 삽입부(430)와 대응해 임의로 이탈하지 않고 결합 상태를 유지할 수 있다. 이탈방지 샤프트(300)는 사이드 패널(400)의 폭에 대응하여 외주면을 따라 돌출 형성된 가이드 리브(310a)를 더 포함할 수 있다. 가이드 리브(310a)는 이탈방지 샤프트(300)가 샤프트 삽입부(430)에 결합될 때 결합 위치를 안내하는 역할을 하며, 사이드 패널(400)을 양쪽에서 파지하는 형태로 잡아주어 이탈방지 샤프트(300)가 사이드 패널(400)에 결합될 때 임의로 이탈되지 않도록 한다. 가이드 리브(310a)의 사이 영역이 결합부(310)이며, 가이드 리브(310a)는 결합 안정성을 향상시키기 위한 추가적인 구성이므로 생략 또는 한 개만 구비되는 것도 가능하다.The engaging portion 310 has an elliptical cross section (see FIG. 7), is inserted into the shaft inserting portion 430 in the minor axis direction A, and when the user rotates the anticipation preventing shaft 300, So that the engagement state can be maintained without arbitrarily separating the shaft corresponding to the shaft inserting portion 430. The separation preventing shaft 300 may further include a guide rib 310a protruding along the outer circumferential surface corresponding to the width of the side panel 400. [ The guide rib 310a serves to guide the engagement position when the release preventing shaft 300 is engaged with the shaft inserting portion 430. The guide rib 310a grips the side panel 400 on both sides thereof, 300 are not detached arbitrarily when they are coupled to the side panel 400. The area between the guide ribs 310a is an engaging portion 310. Since the guide rib 310a is a further structure for improving the stability of engagement, it may be omitted or only one rib may be provided.

지지돌기(330)는 이탈방지 샤프트(300)의 길이 방향을 따라 복수 개가 등간격으로 돌출 형성되며, 이탈방지 샤프트(300)의 길이 방향 폭이 직경 방향 폭보다 좁은 상어 지느러미 형상을 갖는다. 솔라셀 웨이퍼(12)의 양측은 캐리어 샤프트(100)에 의해 지지되고 하단은 지지 샤프트(200)에 의해 지지된다. 또한, 솔라셀 웨이퍼(12)의 상단은 복수의 지지돌기(330)의 사이에 형성되는 공간에 각각 삽입되므로, 솔라셀 가공용 캐리어(10)를 회전시키거나 뒤집더라도 솔라셀 웨이퍼(12)가 안정적으로 지지되므로 솔라셀 가공용 캐리어(10)로부터 이탈되지 않는다. 또한, 이탈방지 샤프트(300)의 체결 시 솔라셀 웨이퍼(12)와의 초기 접촉면적을 최소화 및 미끄러짐으로 솔라셀 웨이퍼(12)의 파손을 감소시킬 수 있다.A plurality of support protrusions 330 protrude at equal intervals along the longitudinal direction of the release preventing shaft 300 and have a shark fin shape in which the longitudinal width of the release preventing shaft 300 is narrower than the radial width. Both sides of the solar cell wafer 12 are supported by the carrier shaft 100 and the lower end is supported by the support shaft 200. In addition, since the upper end of the solar cell wafer 12 is inserted into the space formed between the plurality of support protrusions 330, even when the solar cell processing carrier 10 is rotated or reversed, So that it is not separated from the carrier 10 for cell processing. In addition, it is possible to minimize breakage of the solar cell wafer 12 by minimizing the initial contact area with the solar cell wafer 12 at the time of engagement of the departure prevention shaft 300 and slipping.

한편, 도 1, 도 4, 도 7에 도시된 바와 같이, 사이드 패널(400)은 캐리어 샤프트(100), 지지 샤프트(200) 및 이탈방지 샤프트(300)와 결합되어 이들을 양단에서 지지하며, 기 설정된 두께를 갖는 판재이다. 사이드 패널(400)은 판면 상에 관통 형성되는 복수의 샤프트 결합부(410)와, 복수의 샤프트 삽입부(430), 그리고 판재의 두께면에 형성되어 솔라셀 가공용 캐리어(10)의 이동 시 이동수단에 거치할 수 있는 복수의 홀더부(450)로 구성된다.1, 4, and 7, the side panel 400 is combined with the carrier shaft 100, the support shaft 200, and the anti-deviation shaft 300 to support them at both ends, And has a predetermined thickness. The side panel 400 includes a plurality of shaft engaging portions 410 formed on the surface of the plate, a plurality of shaft inserting portions 430, And a plurality of holder portions 450 that can be mounted on the means.

각각의 샤프트 결합부(410) 및 패널 결합부(412)의 양단에는 결합볼트(500)가 삽입되는 복수의 결합홀(470)이 형성되며, 결합홀(470)의 내측에는 쐐기 형상의 돌기(미도시)가 복수 개 형성된다. 이 돌기들은 결합볼트(500)가 조여지는 방향으로는 용이하게 회전되고 풀리는 방향으로는 회전이 차단되도록 형성됨으로써, 결합볼트(500)가 한번 결합되면 외부의 충격이나 유동에 의해 임의로 풀리는 것을 방지한다. 도 1을 기준으로 사이드 패널(400)의 좌우측에 형성된 샤프트 결합부(410)에는 캐리어 샤프트(100)가 결합되고, 하부에 형성된 샤프트 결합부(410)에는 지지 샤프트(200)가 결합된다.A plurality of coupling holes 470 through which the coupling bolts 500 are inserted are formed at both ends of the shaft coupling portion 410 and the panel coupling portion 412. Inside the coupling holes 470 are formed wedge- Not shown) are formed. The protrusions are formed so as to be easily rotated in the tightening direction of the coupling bolt 500 and to be prevented from rotating in the unlocking direction. Thus, once the coupling bolts 500 are combined, they are prevented from being arbitrarily released by external impact or flow . 1, a carrier shaft 100 is coupled to a shaft coupling portion 410 formed on the left and right sides of the side panel 400, and a support shaft 200 is coupled to a shaft coupling portion 410 formed at a lower portion.

샤프트 삽입부(430)는 전술한 이탈방지 샤프트(300)의 결합부(310)가 삽입되는 부분으로, 일측이 개구된 '열쇠구멍 형태' 또는 'C'자 형의 홈이다. 개구된 입구는 결합부(310)의 단축 방향(A)의 직경에 대응하는 폭을 가지며, 내부의 직경은 결합부(310)의 장축 방향(B)의 직경에 대응하는 폭을 갖는다(도 1을 기준으로 상하 방향에 해당하는 직경이 결합부의 장축 방향(B) 직경에 대응함). 따라서 전술한 바와 같이, 이탈방지 샤프트(300)를 사이드 패널(400)에 결합시킬 때 단축 방향(A)으로 샤프트 삽입부(430)에 결합부(310)를 삽입한 뒤 이탈방지 샤프트(300)를 90도 회전시키면 샤프트 삽입부(430)의 내측 폭이 결합부(310)의 장축 방향(B)의 직경과 대응하므로 샤프트 삽입부(430)와 결합부(310)가 견고하게 결합될 수 있다. 반대로 이탈방지 샤프트(300)를 분리할 때는 이탈방지 샤프트(300)를 먼저 결합 방향과 반대 방향으로 90도 회전시켜 결합부(310)와 샤프트 삽입부(430)의 맞물린 결합 상태를 해제함으로써 이탈방지 샤프트(300)를 손쉽게 분리할 수 있다. 이에 따라 솔라셀 웨이퍼(12)의 적재 후 이탈방지 샤프트(300)를 결합시켜 솔라셀 웨이퍼(12)의 이탈을 방지하고, 솔라셀 웨이퍼(12)의 분리 시 이탈방지 샤프트(300)를 분리함으로써 솔라셀 웨이퍼(12)를 손쉽게 꺼낼 수 있다.The shaft inserting portion 430 is a portion into which the engaging portion 310 of the release preventing shaft 300 is inserted and is a 'keyhole-shaped' or 'C' shaped groove with one side opened. The opened mouth has a width corresponding to the diameter of the short axis direction A of the engagement portion 310 and the inside diameter has a width corresponding to the diameter of the long axis direction B of the engagement portion 310 The diameter corresponding to the vertical direction corresponds to the diameter in the long axis direction (B) of the engaging portion). Therefore, when engaging the release preventing shaft 300 with the side panel 400, the engaging portion 310 is inserted into the shaft inserting portion 430 in the minor axis direction A, The inner width of the shaft inserting portion 430 corresponds to the diameter of the long axis direction B of the engaging portion 310 so that the shaft inserting portion 430 and the engaging portion 310 can be firmly coupled . When separating the separation preventing shaft 300, the separation preventing shaft 300 is first rotated 90 degrees in the opposite direction to the coupling direction to release the engaged state of the coupling portion 310 and the shaft insertion portion 430, The shaft 300 can be easily separated. Thus, the separation of the solar cell wafer 12 can be prevented by joining the post-removal preventing shafts 300 of the solar cell wafers 12, and by separating the separation preventing shafts 300 when the solar cell wafers 12 are separated The solar cell wafer 12 can be easily taken out.

홀더부(450)는 솔라셀 가공용 캐리어(10)를 외부의 이송 수단 또는 사용자에 의해 이송할 경우, 솔라셀 가공용 캐리어(10)를 들어올리거나 거치할 때 사용되는 부분으로 고리 형상을 갖는다. 홀더부(450)는 서로 다른 규격 및 방식의 이송 수단을 모두 이용할 수 있도록 서로 다른 규격으로 형성된다. 홀더부(450)는 사이드 패널(400)의 일 방향 변에만 형성될 수도 있고, 이웃한 두 변에 모두 형성될 수도 있다. 솔라셀 가공용 캐리어(10)를 바닥에 내려놓을 때 접촉되는 부분을 제외한 모든 모서리에 형성될 수도 있으며, 이는 솔라셀 가공용 캐리어(10)가 사용되는 작업 환경에 따라 변경 설계가 가능하다. 홀더부(450)가 사이드 패널(400)의 이탈방지 샤프트(300)가 결합되는 두께면에 형성되는 경우, 샤프트 삽입부(430)는 복수의 고리 형상들 사이에 형성될 수 있다.The holder unit 450 has an annular shape as a portion used when lifting or mounting the carrier 10 for processing a solar cell, when the carrier 10 for cell processing is transferred by an external transfer means or by a user. The holder portion 450 is formed in a different size so as to utilize all the transporting means of different specifications and schemes. The holder 450 may be formed on only one side of the side panel 400, or may be formed on both sides of the side panel 400. The carrier 10 may be formed at all corners except the portion to be contacted when the carrier 10 for cell processing is placed on the floor. The carrier 10 may be modified according to the working environment in which the carrier 10 is used. When the holder portion 450 is formed on the thickness surface to which the anti-deviation shaft 300 of the side panel 400 is coupled, the shaft inserting portion 430 may be formed between the plurality of annular shapes.

한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 결합볼트(500)는 금속 재질로, 캐리어 샤프트(100) 및 지지 샤프트(200)의 결합 시 사용되며, 볼트헤드(510)와 캐리어 샤프트(100)에 삽입되는 볼트삽입부(530), 그리고 결합볼트(500)가 임의로 풀리는 것을 방지하기 위한 풀림방지부(550)로 구성된다. 볼트헤드(510)는 피크 코팅(PEEK coating, PEEK - 수지의 일종)을 하여 만들며, 볼트삽입부(530)는 테프론 등으로 코팅됨으로써 결합볼트(500)의 부식을 방지할 수 있다.4, the coupling bolt 500 is made of a metal material, and is used when coupling the carrier shaft 100 and the support shaft 200. The coupling bolt 500 is inserted into the bolt head 510 and the carrier shaft 100, A bolt inserting portion 530, and a loosening preventing portion 550 for preventing the coupling bolt 500 from being unwound arbitrarily. The bolt head 510 is made of PEEK coating, and the bolt inserting part 530 is coated with Teflon or the like to prevent corrosion of the bolt 500.

결합볼트(500)는 샤프트 결합부(410)에 형성된 결합홀(470)에 삽입되어 사이드 패널(400)을 관통하고, 아우터 파이프(150)에 형성된 중공을 지나 인서트 파이프(110)에까지 삽입된다. 결합볼트(500)가 금속재질의 인서트 파이프(110)에 직결됨으로써 캐리어 샤프트(100)와 사이드 패널(400)간의 체결 강도를 향상시키고, 체결력에 의한 캐리어 샤프트(100)와 지지 샤프트(200)의 크랙 방지 및 솔라셀 이송용 캐리어(10)의 변형을 방지하는 효과가 있다. 결합볼트(500)의 볼트헤드(510) 하부에는 전술한 사이드 패널(400)에 형성된 쐐기 형상의 돌기들에 대응되는 풀림방지부(550)가 형성된다.The coupling bolt 500 is inserted into the coupling hole 470 formed in the shaft coupling part 410 and penetrates through the side panel 400 and is inserted into the insert pipe 110 through the hollow formed in the outer pipe 150. The coupling bolt 500 is directly connected to the insert pipe 110 made of metal to improve the coupling strength between the carrier shaft 100 and the side panel 400 and to improve the coupling strength between the carrier shaft 100 and the support shaft 200 There is an effect of preventing cracks and deformation of the carrier 10 for transferring the solar cells. The unlocking portion 550 corresponding to the wedge-shaped protrusions formed on the side panel 400 is formed under the bolt head 510 of the coupling bolt 500.

풀림방지부(550)는 볼트헤드(510) 하부에 원형 또는 나선형으로 배치되거나 복수 개가 배치되며, 두 개의 사면을 갖는 쐐기 형상으로 돌출 형성된다. 쐐기 형상의 한 사면은 완만한 각도로 형성되어 풀림방지부(550)는 결합볼트(500)가 결합 방향으로 회전할 때는 사이드 패널(400)의 돌기들을 용이하게 타고 넘어갈 수 있다. 다른 하나의 사면은 급격한 각도로 형성되어 결합볼트(500)의 풀림 방향으로는 전술한 사이드 패널(400)의 돌기들과 걸림으로써 회전이 방해된다. 즉, 결합볼트(500)는 한번 결합되면 강한 외력이 가해지기 전에는 임의로 풀리거나 이탈되지 않는다.The unlocking portion 550 is disposed in a circular or spiral shape below the bolt head 510 or in a plurality of positions, and is formed in a wedge shape having two slopes. The wedge-shaped slope is formed at a gentle angle, and the unlocking portion 550 can easily ride over the projections of the side panel 400 when the coupling bolt 500 rotates in the coupling direction. And the other slope is formed at a sharp angle so that the rotation of the coupling bolt 500 is interrupted by the engagement of the protrusions of the side panel 400 in the releasing direction. That is, once the coupling bolts 500 are combined, they are not loosened or released arbitrarily until a strong external force is applied.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 솔라셀 가공용 캐리어는 복수의 홀더부를 이용하여 원하는 방향으로 들어 올리거나 이송이 가능하며, 이탈방지 샤프트가 구비되어 있어 어느 방향으로 들어 올리더라도 솔라셀 웨이퍼가 이탈되지 않아 작업 편의성이 향상되는 효과가 있다.As described above, the carrier for processing a solar cell according to an embodiment of the present invention can be lifted or conveyed in a desired direction by using a plurality of holder portions, and is provided with a separation preventing shaft. Therefore, The wafer is not detached, and the convenience of operation is improved.

또한, 테이퍼 형상의 삽입돌기가 구비됨으로써 솔라셀 웨이퍼와 접촉되는 면적을 최소화시킬 수 있어 공정 중 솔라셀 웨이퍼에 삽입 돌기에 의한 캐리어 마크가 나는 것을 최소화할 수 있다.In addition, since the tapered insertion protrusion is provided, the contact area with the solar cell wafer can be minimized, and the occurrence of carrier marks due to the insertion protrusion on the solar cell wafer during the process can be minimized.

더 나아가 스크루 형상의 요철부 및 테프론 코팅 레이어의 사용으로 열변형에 의한 크랙 방지 및 크랙 발생 시 부식에 의한 2차 오염을 방지할 수 있으며, 풀림 방지 기능 및 부식방지 처리된 금속소재의 결합 볼트의 적용으로 고온 및 충격에 의한 솔라셀 캐리어의 변형방지 및 내구성 향상이 가능해 제품의 수명을 연장 하는 효과가 있다.
Furthermore, by using the screw-shaped concave-convex portion and the Teflon-coated layer, it is possible to prevent cracks due to thermal deformation and prevent secondary contamination due to corrosion in the occurrence of cracks, and to prevent loosening and corrosion- It is possible to prevent the deformation of the solar cell carrier due to high temperature and impact and to improve the durability, thereby extending the service life of the product.

앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 일 실시 예는, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한, 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.One embodiment of the present invention described above and shown in the drawings should not be construed as limiting the technical idea of the present invention. The scope of protection of the present invention is limited only by the matters described in the claims, and those skilled in the art will be able to modify the technical idea of the present invention in various forms. Accordingly, such improvements and modifications will fall within the scope of the present invention as long as they are obvious to those skilled in the art.

10: 솔라셀 가공용 캐리어 12: 솔라셀 웨이퍼
100: 캐리어 샤프트 110: 인서트 파이프
112: 요철부 130: 코팅 레이어
150: 아우터 파이프 152: 삽입돌기
154: 사이드 패널 결합부 300: 이탈방지 샤프트
310: 결합부 330: 지지돌기
400: 사이드 패널 410: 샤프트 결합부
430: 샤프트 삽입부 450: 홀더부
500: 결합볼트 550: 풀림방지부
10: carrier for solar cell processing 12: solar cell wafer
100: carrier shaft 110: insert pipe
112: concave / convex portion 130: coating layer
150: outer pipe 152: insertion projection
154: side panel engaging portion 300:
310: engaging portion 330: supporting projection
400: side panel 410: shaft coupling portion
430: shaft inserting portion 450:
500: coupling bolt 550: release preventing portion

Claims (16)

서로 간격을 두고 배치되는 각각 사각형의 판재인 한 쌍의 사이드 패널과,
양단이 상기 사이드 패널에 각각 결합되되 상기 사이드 패널의 마주보는 두 변에 결합되며, 길이 방향을 따라 테이퍼 형상을 갖는 복수의 삽입돌기가 형성되어 상기 복수의 삽입돌기의 사이에 솔라셀 웨이퍼가 삽입되는 복수의 캐리어 샤프트와,
양단이 상기 사이드 패널에 각각 결합되되 상기 사이드 패널의 마주보는 다른 양단부 중 어느 한 단부에 결합되어 상기 솔라셀 웨이퍼를 지지하는 지지 샤프트와,
양단이 상기 사이드 패널에 탈착 가능하게 결합되되 상기 사이드 패널의 마주보는 다른 양단부 중 다른 한 단부에 결합되어 상기 솔라셀 웨이퍼의 적재 시 상기 솔라셀 웨이퍼의 이탈을 방지하는 이탈방지 샤프트와,
상기 캐리어 샤프트를 상기 사이드 패널에 결합시키는 결합볼트를 포함하고,
상기 캐리어 샤프트는 금속 재질의 인서트 파이프와, 상기 인서트 파이프를 수용하는 아우터 파이프를 포함하여 구성되며, 상기 삽입돌기는 상기 아우터 파이프에 형성되며,
상기 인서트 파이프는 길이 방향의 외주면을 따라 스크루 형상의 요철부를 포함하는 것을 특징으로 하는 솔라셀 가공용 캐리어.
A pair of side panels, each of which is a rectangular plate disposed at an interval from each other;
A plurality of insertion protrusions each having a tapered shape are formed along a longitudinal direction of the side panel, the both ends of the insertion protrusions being coupled to the opposite side edges of the side panel, the solar cell wafers being inserted between the plurality of insertion protrusions A plurality of carrier shafts,
A support shaft coupled to one of the opposite opposite ends of the side panel to support the solar cell wafer,
A separation preventing shaft which is detachably coupled to the side panel at both ends thereof and which is coupled to the other end of the opposite opposite ends of the side panel to prevent the separation of the solar cell wafer when the solar cell wafer is loaded;
And an engagement bolt for coupling the carrier shaft to the side panel,
Wherein the carrier shaft comprises a metallic insert pipe and an outer pipe accommodating the insert pipe, the insert protrusion being formed in the outer pipe,
Wherein the insert pipe includes a screw-like concavo-convex portion along an outer peripheral surface in the longitudinal direction.
제1항에 있어서,
상기 삽입돌기는 단면이 다각형이고, 상기 다각형의 꼭지점에 상기 솔라셀 웨이퍼가 접촉되는 것을 특징으로 하는 솔라셀 가공용 캐리어.
The method according to claim 1,
Wherein the insertion protrusions are polygonal in cross section, and the solar cell wafer contacts the vertex of the polygon.
삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 캐리어 샤프트는 상기 인서트 파이프와 아우터 파이프의 사이에 형성되는 코팅 레이어를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 솔라셀 가공용 캐리어.
The method according to claim 1,
Wherein the carrier shaft further comprises a coating layer formed between the insert pipe and the outer pipe.
제1항에 있어서,
상기 아우터 파이프와 상기 사이드 패널 중 어느 하나에는 돌출된 돌기 형태의 패널 결합부가 형성되고, 상기 아우터 파이프와 상기 사이드 패널 중 다른 하나에는 상기 패널 결합부의 형상에 대응하여 요입된 요입홈 형태의 패널 결합부가 형성되는 것을 특징으로 하는 솔라셀 가공용 캐리어.
The method according to claim 1,
A panel coupling part in the form of a protruding protrusion is formed on one of the outer pipe and the side panel and a panel coupling part in the form of a concave groove recessed in the other of the outer pipe and the side panel corresponding to the shape of the panel coupling part And a second electrode formed on the second electrode.
제1항에 있어서,
상기 결합볼트는 금속 재질이며, 상기 사이드 패널과 상기 아우터 파이프의 단부를 관통해 상기 인서트 파이프에 결합되는 것을 특징으로 하는 솔라셀 가공용 캐리어.
The method according to claim 1,
Wherein the coupling bolt is made of a metal material and is coupled to the insert pipe through an end portion of the side panel and the outer pipe.
제7항에 있어서,
상기 결합볼트는 볼트헤드의 하부에 두 개의 사면을 갖는 쐐기 모양으로 돌출되며, 상기 사면 중 하나는 상기 결합볼트의 조임 방향으로 완만한 각도를 가지며, 상기 사면 중 다른 하나는 상기 결합볼트의 풀림 방향으로 급격한 각도를 갖는 풀림방지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 솔라셀 가공용 캐리어.
8. The method of claim 7,
The coupling bolt protrudes in a wedge shape having two slopes at the lower portion of the bolt head, one of the slopes has a gentle angle in the tightening direction of the coupling bolt, and the other slant faces the loosening direction of the coupling bolt And a release preventing portion having an abrupt angle with respect to the substrate.
제8항에 있어서,
상기 볼트헤드는 피크 코팅(PEEK coating)되며, 상기 결합볼트는 상기 인서트 파이프에 삽입되는 볼트삽입부가 테프론 코팅되는 것을 특징으로 하는 솔라셀 가공용 캐리어.
9. The method of claim 8,
Wherein the bolt head is PEEK coated and the bolt insert inserted into the insert pipe is teflon coated.
제1항에 있어서,
상기 지지 샤프트는 직경 방향 단면이 물방울 형상이며, 상기 솔라셀 웨이퍼에 접촉하는 단부가 뾰족한 모서리를 형성하여 상기 솔라셀 웨이퍼에 점접촉하는 것을 특징으로 하는 솔라셀 가공용 캐리어.
The method according to claim 1,
Wherein the support shaft has a water droplet-like cross section in a radial direction, and an end portion which contacts the solar cell wafer forms a pointed corner to make point contact with the solar cell wafer.
제1항에 있어서,
상기 이탈방지 샤프트는 양단에 상기 사이드 패널의 두께에 대응하는 폭으로 형성되어 상기 사이드 패널에 탈착 가능하게 결합되는 결합부와, 길이 방향을 따라 등간격으로 돌출 형성된 복수의 지지돌기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 솔라셀 가공용 캐리어.
The method according to claim 1,
Wherein the release preventing shaft is formed at both ends with a width corresponding to the thickness of the side panel and is detachably coupled to the side panel and a plurality of support protrusions protruding at equal intervals along the length direction Wherein the carrier is a silicon wafer.
제11항에 있어서,
상기 지지돌기는 상기 이탈방지 샤프트의 길이 방향에 따른 폭이 직경 방향에 따른 높이보다 좁은 상어 지느러미 형상인 것을 특징으로 하는 솔라셀 가공용 캐리어.
12. The method of claim 11,
Wherein the support protrusion has a shark fin shape whose width along the longitudinal direction of the release preventing shaft is narrower than the height along the radial direction.
제12항에 있어서,
상기 솔라셀 웨이퍼는 상기 복수의 지지돌기의 사이에 각각 삽입되는 것을 특징으로 하는 솔라셀 가공용 캐리어.
13. The method of claim 12,
And the solar cell wafer is inserted between the plurality of support protrusions, respectively.
제11항에 있어서,
상기 결합부는 단면이 타원형이며, 상기 사이드 패널은 상기 결합부의 단축 방향 단면 형상에 대응하는 개구부가 형성되고, 상기 개구부에 연결되며 상기 결합부의 장축 방향 직경에 대응하는 직경을 갖는 샤프트 삽입부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 솔라셀 가공용 캐리어.
12. The method of claim 11,
And the side panel has an opening corresponding to a cross-sectional shape in the short axis direction of the coupling part, and a shaft insertion part connected to the opening part and having a diameter corresponding to a longitudinal direction diameter of the coupling part, Wherein the carrier is a silicon wafer.
제11항에 있어서,
상기 이탈방지 샤프트는 상기 결합부의 외주면으로부터 돌출 형성된 적어도 하나의 가이드 리브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 솔라셀 가공용 캐리어.
12. The method of claim 11,
Wherein the separation preventing shaft further comprises at least one guide rib protruding from an outer circumferential surface of the engaging portion.
제1항에 있어서,
상기 사이드 패널은 외부의 이송수단에 거치할 수 있는 고리 형상의 홀더부를 포함하여 구성되며, 상기 홀더부는 상기 사이드 패널의 이웃한 두 개의 변에 형성되되 서로 다른 크기로 형성되는 것을 특징으로 하는 솔라셀 가공용 캐리어.
The method according to claim 1,
Wherein the side panel includes an annular holder portion that can be held by an external conveying means, and the holder portion is formed on two adjacent sides of the side panel, Machining carriers.
KR20140046166A 2014-04-17 2014-04-17 Carrier for manufacturing a solar cell KR101509173B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20140046166A KR101509173B1 (en) 2014-04-17 2014-04-17 Carrier for manufacturing a solar cell

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20140046166A KR101509173B1 (en) 2014-04-17 2014-04-17 Carrier for manufacturing a solar cell

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101509173B1 true KR101509173B1 (en) 2015-04-09

Family

ID=53033767

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR20140046166A KR101509173B1 (en) 2014-04-17 2014-04-17 Carrier for manufacturing a solar cell

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101509173B1 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101793952B1 (en) * 2016-03-08 2017-11-06 위아코퍼레이션 주식회사 Solar wafer carrier
CN107993968A (en) * 2018-01-08 2018-05-04 中国电子科技集团公司第四十六研究所 A kind of bogey for special-shaped chip
WO2018125637A1 (en) * 2016-12-30 2018-07-05 Sunpower Corporation Semiconductor wafer carriers

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100106132A (en) * 2009-03-23 2010-10-01 엠파워(주) Wafer carrler
KR101061153B1 (en) * 2011-02-08 2011-08-31 (주)상아프론테크 Solar wafer cassette
KR20130037475A (en) * 2011-10-06 2013-04-16 엠파워(주) Wafer carrier
KR20130139666A (en) * 2012-06-13 2013-12-23 주식회사 에스이에이 Solar wafer carrier

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100106132A (en) * 2009-03-23 2010-10-01 엠파워(주) Wafer carrler
KR101061153B1 (en) * 2011-02-08 2011-08-31 (주)상아프론테크 Solar wafer cassette
KR20130037475A (en) * 2011-10-06 2013-04-16 엠파워(주) Wafer carrier
KR20130139666A (en) * 2012-06-13 2013-12-23 주식회사 에스이에이 Solar wafer carrier

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101793952B1 (en) * 2016-03-08 2017-11-06 위아코퍼레이션 주식회사 Solar wafer carrier
WO2018125637A1 (en) * 2016-12-30 2018-07-05 Sunpower Corporation Semiconductor wafer carriers
US10020213B1 (en) 2016-12-30 2018-07-10 Sunpower Corporation Semiconductor wafer carriers
CN110140202A (en) * 2016-12-30 2019-08-16 太阳能公司 Semiconductor wafer carriers
US10553466B2 (en) 2016-12-30 2020-02-04 Sunpower Corporation Semiconductor wafer carriers
CN110140202B (en) * 2016-12-30 2023-02-28 迈可晟太阳能有限公司 Semiconductor wafer carrier
CN107993968A (en) * 2018-01-08 2018-05-04 中国电子科技集团公司第四十六研究所 A kind of bogey for special-shaped chip

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101509173B1 (en) Carrier for manufacturing a solar cell
US10431489B2 (en) Substrate support apparatus having reduced substrate particle generation
KR101514397B1 (en) Bush assembly cathode Electrode Plate
US20120006491A1 (en) Plasma texturing apparatus for solar cell
CN213184239U (en) Vertical equipment silicon boat of screw thread
KR20160034495A (en) Multi-stepped boat for receiving semiconductor packages
CN102447003A (en) Method for manufacturing solar cell and solar cell manufactured by the same method
JP2007103793A (en) Manufacturing method for photoelectric conversion device
US8420554B2 (en) Wafer support ring
JP6076070B2 (en) Substrate holder and method for manufacturing solar cell substrate
US11958071B2 (en) Spin chuck jig and method of lifting spin chuck using the same
CN103904016A (en) Silicon wafer bearing device
JP5130808B2 (en) Wafer heat treatment jig and vertical heat treatment boat equipped with the jig
JP5947516B2 (en) Heat treatment boat
KR200488775Y1 (en) Blade for transferring wafer
CN213150745U (en) Processing and conveying device for wafers
CN216250665U (en) Double-row quartz boat
KR100781723B1 (en) A wafer carrier
CN111048464A (en) Battery silicon wafer bearing mechanism and transportation equipment
CN219195209U (en) Graphite base and silicon epitaxial growth equipment
US11183408B2 (en) In-line wet bench device and method for the wet-chemical treatment of semiconductor wafers
CN220509984U (en) Quick-inserting high-low type top tooth capable of reducing fragment rate and silicon plate inserting and unloading equipment
CN218996672U (en) Wafer support
KR100479302B1 (en) Carrier for transfer of a semiconductor device
JP5950110B2 (en) Sample holder

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant