KR101508593B1 - Solder rework method, solder rework apparatus using the same and board inspection method employing the same - Google Patents

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Abstract

A solder rework method for compensating for insufficient solder formed on a circuit board comprises a step for forming an ideal solder structure by distributing ideal solder to predetermined calibration cells; a step for measuring a three-dimensional profile of solder formed on the circuit board and then dividing the measured three-dimensional profile into calibration cells to form an actual solder structure; a step for calculating a rework solder structure by subtracting the actual solder structure from the ideal solder structure; and a step for compensating for insufficient solder formed on the circuit board by discharging a proper amount of solder corresponding to the rework solder structure using a solder discharge device. Accordingly, insufficient solder can be easily and accurately compensated.

Description

솔더 리워크 방법, 이를 이용한 솔더 리워크 장치 및 이를 채용한 기판 검사방법{SOLDER REWORK METHOD, SOLDER REWORK APPARATUS USING THE SAME AND BOARD INSPECTION METHOD EMPLOYING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a solder rework method, a solder rework method using the solder rework method,

본 발명은 솔더 리워크 방법, 이를 이용한 솔더 리워크 장치 및 이를 채용한 기판 검사방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판 상에 형성된 솔더의 부족한 양을 보상하는 솔더 리워크 방법, 이를 이용한 솔더 리워크 장치 및 이를 채용한 기판 검사방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solder rework method, a solder rework method using the solder rework method, and a substrate inspecting method using the solder rework method, and more particularly to a solder rework method for compensating for a deficient amount of solder formed on a substrate, Device and a substrate inspection method employing the same.

일반적으로, 전자장치 내에는 적어도 하나의 인쇄회로기판(printed circuit board; PCB)이 구비되며, 이러한 인쇄회로기판 상에는 회로 패턴, 연결 패드부, 상기 연결 패드부와 전기적으로 연결된 구동칩 등 다양한 회로 소자들이 장착되어 있다.In general, at least one printed circuit board (PCB) is provided in an electronic device, and various circuit elements such as a circuit pattern, a connection pad portion, a driving chip electrically connected to the connection pad portion, Respectively.

이러한 상기 인쇄회로기판은, 베어 기판의 패드 영역에 솔더를 도포한 후, 전자부품의 단자들을 솔더가 도포된 영역에 결합시키는 방식으로 제조된다. Such a printed circuit board is manufactured by applying solder to a pad region of a bare board and then joining the terminals of the electronic component to a region to which the solder is applied.

종래에는, 전자부품을 인쇄회로기판에 장착하기 전에, 상기와 같은 솔더가 제대로 도포되었는지를 검사하는 공정이 필수적으로 수행되어 왔으며, 상기 검사 공정에서 솔더의 양이 부족한 경우 인쇄회로기판이 제대로 동작하지 않으므로, 이와 같은 솔더의 양에 대한 검사는 매우 중요하다.Conventionally, a process of inspecting whether or not the above-described solder is properly applied has been performed before mounting an electronic component on a printed circuit board, and if the amount of solder is insufficient in the inspection process, the printed circuit board Therefore, inspection of the amount of such solder is very important.

한편, 상기 검사 결과 솔더의 양이 부족한 경우, 불량으로 판단된 기판을 폐기할 수도 있으나, 솔더 리워크(rework) 작업을 통하여 솔더를 보상함으로써 재활용이 가능할 수도 있다. 이와 같이, 솔더를 보상하는 경우 어떠한 기준에 따라 어떠한 방식으로 보상해야 하는지가 중요하며, 솔더 리워크에 소요되는 노력과 비용이 큰 경우 폐기하는 것이 오히려 유리한 점을 고려하여, 용이하고 정확하게 부족한 솔더를 보상할 수 있는 솔더 리워크 방법이 요청된다.On the other hand, if the amount of solder is insufficient as a result of the inspection, it may be possible to discard the substrate determined to be defective, but it may be possible to recycle the solder by compensating the solder through rework. In this way, it is important to understand how to compensate for the solder in accordance with certain criteria. Considering that it is rather advantageous to discard when the effort and cost for the solder work are large, A compensating solder work method is required.

따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 부족한 솔더를 용이하고 정확하게 보상할 수 있는 솔더 리워크 방법 및 이를 이용한 솔더 리워크 장치를 제공하는 것이다.Therefore, a problem to be solved by the present invention is to provide a solder rework method capable of easily and accurately compensating for deficient solder, and a solder rework apparatus using the same.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 상기한 솔더 리워크 방법을 채용한 기판 검사방법을 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a method for inspecting a substrate employing the solder work method.

본 발명의 예시적인 일 실시예에 따른 솔더 리워크(rework) 방법은, 기판 상에 형성된 솔더의 부족한 양을 보상하기 위해 제공된다. 상기 솔더 리워크 방법은, 이상적 솔더를 기 설정된 캘리브레이션 셀(calibration cell)들로 분할하여 상기 캘리브레이션 셀들을 포함하는 이상적 솔더 구조체를 형성하는 단계, 상기 기판 상에 형성된 솔더의 3차원 형상을 측정한 후 상기 측정된 3차원 형상을 상기 캘리브레이션 셀들로 분할하여 상기 캘리브레이션 셀들을 포함하는 실제 솔더 구조체를 형성하는 단계, 상기 이상적 솔더 구조체에서 상기 실제 솔더 구조체를 차감하여 상기 캘리브레이션 셀들을 포함하는 리워크 솔더 구조체를 산출하는 단계 및 솔더 토출장치로 상기 리워크 솔더 구조체에 해당하는 솔더를 토출하여 상기 기판 상에 형성된 솔더를 보상하는 단계를 포함한다.A solder rework method in accordance with an exemplary embodiment of the present invention is provided for compensating for a deficient amount of solder formed on a substrate. The solder rework method includes dividing an ideal solder into predetermined calibration cells to form an ideal solder structure including the calibration cells, measuring the three-dimensional shape of the solder formed on the substrate Dividing the measured three-dimensional shape into the calibration cells to form an actual solder structure including the calibration cells; subtracting the actual solder structure from the ideal solder structure to form a rework solder structure comprising the calibration cells And a step of discharging solder corresponding to the reworked solder structure to the solder dispenser to compensate the solder formed on the substrate.

일 실시예로, 상기 솔더 토출장치로 상기 리워크 솔더 구조체에 해당하는 솔더를 토출하여 상기 기판 상에 형성된 솔더를 보상하는 단계는, 상기 리워크 솔더 구조체의 위치별 캘리브레이션 셀들의 개수를 산출하는 단계 및 상기 리워크 솔더 구조체의 위치별 캘리브레이션 셀들의 개수에 대응하는 양만큼 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출하는 단계를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 솔더 리워크 방법은, 상기 솔더 토출장치로 상기 리워크 솔더 구조체에 해당하는 솔더를 토출하여 상기 기판 상에 형성된 솔더를 보상하는 단계 이전에, 상기 솔더 토출장치의 토출회수에 따른 토출양을 캘리브레이션하여 저장하는 단계를 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 리워크 솔더 구조체의 위치별 캘리브레이션 셀들의 개수에 대응하는 양만큼 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출하는 단계는, 상기 저장된 토출회수에 따른 토출양을 기초로 상기 리워크 솔더 구조체의 위치별 토출회수를 산출하는 단계 및 상기 산출된 위치별 토출회수에 따라 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출하는 단계를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 솔더 리워크 방법은, 상기 산출된 위치별 토출회수에 따라 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출하는 단계 이전에, 상기 솔더가 형성된 기판 상에 소정의 크기의 측정영역을 설정하는 단계 및 상기 측정영역의 위치별로 높이 오프셋(offset)을 저장하는 단계를 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 산출된 위치별 토출회수에 따라 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출하는 단계는, 상기 솔더 토출장치를 상기 높이 오프셋을 보상한 토출위치로 이송하는 단계 및 상기 토출위치에서 상기 솔더 토출장치로 상기 토출위치에 대응하는 위치별 토출회수만큼 솔더를 토출하는 단계를 포함할 수 있다.In one embodiment, the step of dispensing solder corresponding to the reworked solder structure to the solder dispensing apparatus to compensate for the solder formed on the substrate may include calculating the number of calibration cells for each position of the reworked solder structure And discharging the solder to the solder dispenser by an amount corresponding to the number of calibration cells for each position of the rework solder structure. For example, the solder rework method may further include, before the step of discharging the solder corresponding to the rework solder structure to the solder discharging device and compensating the solder formed on the substrate, And a step of calibrating and storing the discharge amount. The step of discharging the solder to the solder discharging device by an amount corresponding to the number of the calibration cells for each position of the rework solder structure may further include the step of measuring the amount of discharged solder according to the position of the rework solder structure Calculating the number of times of ejection, and ejecting the solder to the solder ejection apparatus according to the calculated number of ejection by position. For example, the solder rework method may include a step of setting a measurement area of a predetermined size on the substrate on which the solder is formed, prior to the step of discharging the solder to the solder dispenser in accordance with the calculated number of discharges by the calculated position And storing a height offset for each position of the measurement region. The step of ejecting the solder to the solder ejection apparatus according to the calculated number of times of ejection by position may include the steps of transferring the solder ejection apparatus to the ejection position in which the height offset is compensated, And discharging the solder by the number of times of discharging for each position corresponding to the discharging position.

일 실시예로, 상기 캘리브레이션 셀은 상기 솔더 토출장치의 1회 토출양에 대응될 수 있다.In one embodiment, the calibration cell may correspond to a single discharge amount of the solder discharge device.

일 실시예로, 상기 솔더 토출장치의 1회 토출양은 상기 캘리브레이션 셀의 부피보다 작거나 같을 수 있다.In one embodiment, the single discharge amount of the solder dispensing device may be less than or equal to the volume of the calibration cell.

일 실시예로, 상기 캘리브레이션 셀은 정육면체 형상을 가질 수 있으며, 상기 이상적 솔더 구조체는 상기 정육면체 형상을 기초로 L×M×N의 매트릭스(matrix) 형태로 정의될 수 있다(L, M, N은 자연수).In one embodiment, the calibration cell may have a cube shape, and the ideal solder structure may be defined as a matrix of L x M x N based on the cubic shape (L, M, N = Natural number).

일 실시예로, 상기 기판 상에 형성된 솔더의 3차원 형상을 측정한 후 상기 측정된 3차원 형상을 상기 캘리브레이션 셀들로 분할하여 상기 캘리브레이션 셀들을 포함하는 실제 솔더 구조체를 형성하는 단계는, 상기 기판 상에 형성된 솔더를 향해 격자패턴광을 조사하는 단계, 상기 격자패턴광이 상기 솔더에 의해 반사된 반사광을 수광하여 패턴영상을 획득하는 단계, 상기 패턴영상을 이용하여 상기 솔더의 3차원 형상을 측정하는 단계 및 상기 측정된 3차원 형상을 상기 캘리브레이션 셀들로 분할하여 상기 실제 솔더 구조체를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.In one embodiment, the step of measuring the three-dimensional shape of the solder formed on the substrate and then dividing the measured three-dimensional shape into the calibration cells to form an actual solder structure including the calibration cells, The method comprising the steps of: irradiating a grid pattern light toward a solder formed on the substrate, receiving the reflected light of the grid pattern light reflected by the solder to obtain a pattern image, and measuring the three- And dividing the measured three-dimensional shape into the calibration cells to form the actual solder structure.

본 발명의 예시적인 다른 실시예에 따른 솔더 리워크 장치는, 기판 상에 형성된 솔더의 부족한 양을 보상하기 위해 제공된다. 상기 솔더 리워크 장치는, 상기 기판 상에 형성된 솔더를 보상하도록 솔더를 토출하는 솔더 토출장치 및 이상적 솔더를 기 설정된 캘리브레이션 셀들로 분할하여 이상적 솔더 구조체를 형성하고, 형상측정장치에 의해 측정된 상기 기판 상에 형성된 솔더의 3차원 형상을 상기 캘리브레이션 셀들로 분할하여 실제 솔더 구조체를 형성하며, 상기 이상적 솔더 구조체에서 상기 실제 솔더 구조체를 차감하여 리워크 솔더 구조체를 산출하고, 상기 리워크 솔더 구조체를 기초로 상기 토출장치의 토출을 제어하는 토출 제어부를 포함한다.A solder workpiece apparatus according to another exemplary embodiment of the present invention is provided to compensate for the insufficient amount of solder formed on a substrate. Wherein the solder rework apparatus comprises a solder dispenser for dispensing solder to compensate for solder formed on the substrate and an ideal solder structure by dividing the ideal solder into predetermined calibration cells, Dividing the three-dimensional shape of the solder formed on the first solder structure into the calibration cells to form an actual solder structure, subtracting the actual solder structure from the ideal solder structure to yield a rework solder structure, And a discharge control unit for controlling discharge of the discharge device.

일 실시예로, 상기 토출 제어부는, 상기 리워크 솔더 구조체의 위치별 캘리브레이션 셀들의 개수를 산출하고, 상기 리워크 솔더 구조체의 위치별 캘리브레이션 셀들의 개수에 대응하는 양만큼 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출하도록 상기 솔더 토출장치를 제어할 수 있다.In one embodiment, the discharge control unit calculates the number of calibration cells for each position of the reworked solder structure, and calculates the amount of solder by the amount corresponding to the number of calibration cells for each position of the reworked solder structure The solder discharge device can be controlled to discharge the solder.

일 실시예로, 상기 솔더 리워크 장치는 상기 솔더 토출장치의 토출회수에 따른 토출양을 캘리브레이션하여 저장한 데이터베이스를 더 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 토출 제어부는, 상기 데이터베이스에 저장된 토출회수에 따른 토출양을 기초로 상기 리워크 솔더 구조체의 위치별 토출회수를 산출하고, 상기 산출된 위치별 토출회수에 따라 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출하도록 상기 솔더 토출장치를 제어할 수 있다.In one embodiment, the solder reworking apparatus may further include a database for calibrating and storing the discharge amount corresponding to the number of discharging operations of the solder discharging apparatus. For example, the discharge control section may calculate the number of discharges per position of the rework solder structure on the basis of the discharge amount corresponding to the number of discharges stored in the database, It is possible to control the solder ejection apparatus to eject the solder.

일 실시예로, 상기 데이터베이스는 상기 솔더 토출장치의 토출회수에 따른 토출양을 상기 솔더의 재질에 따라 저장할 수 있다.In one embodiment, the database may store the amount of discharge according to the number of discharging of the solder discharging device according to the material of the solder.

본 발명의 예시적인 또 다른 실시예에 따른 기판 검사방법은 기판 상에 형성된 솔더의 부족한 양을 보상하기 위한 솔더 리워크를 포함한다. 상기 기판 검사방법은, 상기 기판 상에 형성된 솔더의 3차원 형상을 측정하는 단계, 상기 측정 결과로부터 상기 솔더 리워크가 필요한지 여부를 결정하는 단계, 상기 솔더 리워크가 필요하다고 결정된 경우, 이상적 솔더를 기 설정된 캘리브레이션 셀들로 분할하여 설정된 이상적 솔더 구조체에서, 상기 측정된 솔더의 3차원 형상을 상기 캘리브레이션 셀들로 분할하여 설정된 실제 솔더 구조체를 차감하여, 상기 부족한 양에 대응하는 리워크 솔더 구조체를 산출하는 단계, 솔더 토출장치로 상기 리워크 솔더 구조체에 해당하는 솔더를 토출하여 상기 기판 상에 형성된 솔더를 보상하는 단계, 및 상기 보상된 솔더의 3차원 형상을 측정하는 단계를 포함한다.A substrate inspection method according to another exemplary embodiment of the present invention includes a solder rework for compensating for a deficient amount of solder formed on a substrate. The method of inspecting a substrate includes the steps of: measuring a three-dimensional shape of the solder formed on the substrate; determining from the measurement result whether the solder rework is necessary; determining if the solder rework is required, Dividing the three-dimensional shape of the measured solder into the calibration cells and subtracting the set actual solder structure in the ideal solder structure set divided by predetermined calibration cells to calculate a rework solder structure corresponding to the insufficient amount , Dispensing solder corresponding to the reworked solder structure with the solder dispenser to compensate for the solder formed on the substrate, and measuring the three-dimensional shape of the compensated solder.

일 실시예로, 상기 솔더 토출장치로 상기 리워크 솔더 구조체에 해당하는 솔더를 토출하여 상기 기판 상에 형성된 솔더를 보상하는 단계는, 상기 리워크 솔더 구조체의 위치별 캘리브레이션 셀들의 개수를 산출하는 단계 및 상기 리워크 솔더 구조체의 위치별 캘리브레이션 셀들의 개수에 대응하는 양만큼 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출하는 단계를 포함할 수 있다.In one embodiment, the step of dispensing solder corresponding to the reworked solder structure to the solder dispensing apparatus to compensate for the solder formed on the substrate may include calculating the number of calibration cells for each position of the reworked solder structure And discharging the solder to the solder dispenser by an amount corresponding to the number of calibration cells for each position of the rework solder structure.

일 실시예로, 상기 기판 검사방법은, 상기 솔더 토출장치로 상기 리워크 솔더 구조체에 해당하는 솔더를 토출하여 상기 기판 상에 형성된 솔더를 보상하는 단계 이전에, 상기 솔더 토출장치의 토출회수에 따른 토출양을 캘리브레이션하여 저장하는 단계를 더 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 리워크 솔더 구조체의 위치별 캘리브레이션 셀들의 개수에 대응하는 양만큼 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출하는 단계는, 상기 저장된 토출회수에 따른 토출양을 기초로 상기 리워크 솔더 구조체의 위치별 토출회수를 산출하는 단계 및 상기 산출된 위치별 토출회수에 따라 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출하는 단계를 포함할 수 있다.In an embodiment of the present invention, the method for inspecting a substrate may further include, before the step of discharging the solder corresponding to the reworked solder structure to the solder dispenser and compensating for the solder formed on the substrate, And a step of calibrating and storing the discharge amount. For example, the step of discharging the solder to the solder ejecting apparatus by an amount corresponding to the number of the calibration cells for each position of the reworked solder structure may include the steps of: Calculating the number of times of discharging for each position, and discharging the solder to the solder discharging device according to the calculated number of times of discharging for each position.

일 실시예로, 상기 측정 결과로부터 상기 솔더 리워크가 필요한지 여부를 결정하는 단계는, 상기 측정 결과로부터 상기 솔더의 양이 부족한 부분의 개수가 기준 미납 개수 이하인지 체크하는 단계를 포함할 수 있다.In one embodiment, the step of determining whether the solder rework is required from the measurement result may include a step of checking whether the number of portions where the amount of the solder is insufficient is less than or equal to the reference number of missed portions.

본 발명에 따르면, 솔더 리워크를 위하여 이상적 솔더와 실제 형성된 솔더를 기 설정된 캘리브레이션 셀들로 분할한 후, 캘리브레이션 셀들로 이루어진 이상적 솔더 구조체와 실제 솔더 구조체를 차감하여 리워크할 솔더를 캘리브레이션 셀들로 나타냄으로써, 보다 용이하고 정확하게 솔더를 보상할 수 있다.According to the present invention, by dividing the ideal solder and the actually formed solder into predetermined calibration cells for the solder work, the ideal solder structure composed of the calibration cells and the actual solder structure are subtracted from each other, and the solder to be reworked is represented by the calibration cells , The solder can be compensated more easily and accurately.

또한, 솔더 토출장치에서 토출되는 솔더의 토출양을 토출회수에 따라 미리 캘리브레이션하여 저장하여, 계량화된 토출회수에 따른 토출양에 대한 정보를 활용함으로써, 보다 정확하게 보상될 솔더의 토출양을 제어할 수 있다.In addition, it is possible to control the amount of solder to be compensated more accurately by calibrating and storing the amount of solder discharged from the solder discharging device in advance according to the number of discharging and using information on the amount of discharging according to the measured number of discharging have.

또한, 측정영역의 위치별로 높이 오프셋을 미리 저장하여, 이를 보상하여 토출위치를 설정함으로써, 기판의 왜곡이 있는 경우에도 보다 정확하게 솔더 리워크 작업을 수행할 수 있다.In addition, the height offset can be previously stored for each position of the measurement area and compensated to set the discharge position, so that the solder rework work can be performed more accurately even when the substrate is distorted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 솔더 리워크 방법을 나타낸 흐름도이다.
도 2는 도 1의 솔더 리워크 방법에서 이상적 솔더 구조체를 형성하는 과정을 설명하기 위한 개념도이다.
도 3은 도 1의 솔더 리워크 방법에서 실제 솔더 구조체를 형성하는 과정을 설명하기 위한 개념도이다.
도 4는 도 1의 솔더 리워크 방법에서 리워크 솔더 구조체를 산출하는 과정을 설명하기 위한 개념도이다.
도 5는 도 1의 솔더 리워크 방법에서 솔더를 보상하는 과정의 일 실시예를 나타낸 흐름도이다.
도 6은 도 5의 솔더를 보상하는 과정에서 토출회수에 따른 토출양을 캘리브레이션하여 저장하는 과정을 설명하기 위한 개념도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 솔더 리워크 장치를 나타낸 개념도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 기판 검사방법을 나타낸 흐름도이다.
1 is a flowchart illustrating a solder rework method according to an embodiment of the present invention.
2 is a conceptual diagram for explaining a process of forming an ideal solder structure in the solder rework method of FIG.
3 is a conceptual view for explaining a process of forming an actual solder structure in the solder rework method of FIG.
4 is a conceptual diagram for explaining a process of calculating a reworked solder structure in the solder rework method of FIG.
5 is a flowchart showing an embodiment of a process of compensating solder in the solder rework method of FIG.
FIG. 6 is a conceptual diagram for explaining a process of calibrating and storing the discharge amount according to the discharge count in the process of compensating the solder of FIG.
7 is a conceptual view showing a solder workpiece apparatus according to an embodiment of the present invention.
8 is a flowchart illustrating a method of inspecting a substrate according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprising" or "having ", and the like, are intended to specify the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs.

일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the relevant art and are to be interpreted as ideal or overly formal in meaning unless explicitly defined in the present application Do not.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference will now be made in detail to the preferred embodiments of the present invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 솔더 리워크 방법을 나타낸 흐름도이다.1 is a flowchart illustrating a solder rework method according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 솔더 리워크(rework) 방법은, 기판 상에 형성된 솔더의 부족한 양을 보상하기 위해 제공된다.A solder rework method in accordance with one embodiment of the present invention is provided to compensate for the insufficient amount of solder formed on the substrate.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따라 솔더를 리워크(rework)하기 위하여, 먼저 이상적 솔더 구조체를 형성한다(S110).Referring to FIG. 1, in order to rework the solder according to an embodiment of the present invention, an ideal solder structure is first formed (S110).

도 2는 도 1의 솔더 리워크 방법에서 이상적 솔더 구조체를 형성하는 과정을 설명하기 위한 개념도이다.2 is a conceptual diagram for explaining a process of forming an ideal solder structure in the solder rework method of FIG.

도 2를 참조하면, 이상적 솔더(IS)를 기 설정된 캘리브레이션 셀(calibration cell)(CC)들로 분할하여 이상적 솔더 구조체(ISS)를 형성한다.Referring to FIG. 2, an ideal solder structure (ISS) is formed by dividing the ideal solder (IS) into predetermined calibration cells (CC).

상기 이상적 솔더(IS)는 기판 상에 형성하고자 하는 원하는 양의 솔더를 3차원적 형상으로 개념화한 것을 의미한다. 상기 캘리브레이션 셀(CC)은 3차원적 형상의 솔더를 분할하여 그 부피 등을 계측하기 위한 기준 단위체를 의미하며, 소정의 3차원 단위체일 수 있다. 일 실시예로, 상기 캘리브레이션 셀(CC)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 정육면체 형상을 가질 수 있으며, 상기 이상적 솔더 구조체(ISS)는 상기 정육면체 형상을 기초로 L×M×N의 매트릭스(matrix) 형태로 정의될 수 있다(L, M, N은 자연수).The ideal solder (IS) means that a desired amount of solder to be formed on a substrate is conceptualized in a three-dimensional shape. The calibration cell CC refers to a reference unit for dividing the solder in a three-dimensional shape and measuring its volume and the like, and may be a predetermined three-dimensional unit. In one embodiment, the calibration cell CC may have a cubic shape, as shown in FIG. 2, and the ideal solder structure ISS may be a matrix of L x M x N based on the cube shape matrix (L, M, N are natural numbers).

또한, 일 실시예로, 상기 캘리브레이션 셀(CC)은 후술되는 솔더 토출장치의 1회 토출양에 대응될 수 있다. 이때, 상기 캘리브레이션 셀(CC)은 단순히 상기 솔더 토출장치의 1회 토출에 따라 형성되는 개념화된 정육면체에 해당될 수 있다.Also, in one embodiment, the calibration cell CC may correspond to a single discharge amount of the solder discharge apparatus described later. At this time, the calibration cell CC may correspond to a conceptual cube formed by a single discharge of the solder dispensing apparatus.

이에 따라, 상기 이상적 솔더 구조체(ISS)는 복수의 캘리브레이션 셀(CC)들을 포함하도록 형성되며, 상기 이상적 솔더(IS)의 위치별로 상기 캘리브레이션 셀(CC)들의 개수, 즉 상기 이상적 솔더(IS)의 부피 등을 용이하게 획득할 수 있다.The ideal solder structure ISS is formed to include a plurality of calibration cells CC and the number of the calibration cells CC for each position of the ideal solder IS, Volume and the like can be easily obtained.

다시 도 1을 참조하면, 이어서 실제 솔더 구조체를 형성한다(S120).Referring again to FIG. 1, an actual solder structure is formed (S120).

도 3은 도 1의 솔더 리워크 방법에서 실제 솔더 구조체를 형성하는 과정을 설명하기 위한 개념도이다.3 is a conceptual view for explaining a process of forming an actual solder structure in the solder rework method of FIG.

도 3을 참조하면, 실제 솔더(RS)를 상기 캘리브레이션 셀(CC)들로 분할하여 실제 솔더 구조체(RSS)를 형성한다.Referring to FIG. 3, the actual solder RS is divided into the calibration cells CC to form an actual solder structure RSS.

상기 실제 솔더(RS)는 상기 기판 상에 실제로 형성된 솔더를 3차원적 형상으로 개념화한 것을 의미하며, 구체적으로는 상기 기판 상에 형성된 솔더의 3차원 형상을 측정한 후 상기 측정된 3차원 형상을 이용하여 상기 실제 솔더 구조체(RSS)를 형성한다. 또한, 상기 실제 솔더 구조체(RSS)는 전술한 상기 캘리브레이션 셀(CC)을 기초로 3차원적 형상의 실제 솔더를 분할하여 형성된다.The actual solder (RS) refers to conceptualization of a solder actually formed on the substrate in a three-dimensional shape. Specifically, the solder is formed by measuring the three-dimensional shape of the solder formed on the substrate, To form the actual solder structure (RSS). In addition, the actual solder structure RSS is formed by dividing the actual solder in a three-dimensional shape based on the calibration cell CC described above.

이에 따라, 상기 실제 솔더 구조체(RSS)는 복수의 캘리브레이션 셀(CC)들을 포함하도록 형성되며, 상기 실제 솔더(RS)의 위치별로 상기 캘리브레이션 셀(CC)들의 개수, 즉 상기 실제 솔더(RS)의 부피 등을 용이하게 획득할 수 있다.Accordingly, the actual solder structure RSS is formed to include a plurality of calibration cells CC, and the number of the calibration cells CC, that is, the number of the actual solder RSs, Volume and the like can be easily obtained.

한편, 상기 실제 솔더 구조체(RSS)를 형성하기 위하여, 상기 기판 상에 형성된 솔더의 3차원 형상을 측정하는 경우 격자패턴광을 이용한 3차원 형상측정 방법이 채용될 수 있다. 구체적으로, 상기 기판 상에 형성된 솔더를 향해 격자패턴광을 조사하고, 이어서 상기 격자패턴광이 상기 솔더에 의해 반사된 반사광을 수광하여 패턴영상을 획득한 후, 다음으로 상기 패턴영상을 이용하여 상기 솔더의 3차원 형상을 측정할 수 있다. 상기와 같이 측정된 솔더의 3차원 형상을 앞서 설명한 바와 같이 상기 캘리브레이션 셀(CC)들로 분할하여 상기 실제 솔더 구조체(RSS)를 형성할 수 있다.On the other hand, in order to form the actual solder structure RSS, when measuring the three-dimensional shape of the solder formed on the substrate, a three-dimensional shape measurement method using lattice pattern light may be employed. Specifically, a grating pattern light is irradiated toward the solder formed on the substrate, and then, the grating pattern light receives the reflected light reflected by the solder to obtain a pattern image, and then, The three-dimensional shape of the solder can be measured. As described above, the three-dimensional shape of the solder may be divided into the calibration cells CC to form the actual solder structure RSS.

다시 도 1을 참조하면, 다음으로 리워크 솔더 구조체를 산출한다(S130).Referring again to FIG. 1, a rework solder structure is next calculated (S130).

도 4는 도 1의 솔더 리워크 방법에서 리워크 솔더 구조체(RWS)를 산출하는 과정을 설명하기 위한 개념도이다.4 is a conceptual diagram for explaining a process of calculating a rework solder structure (RWS) in the solder rework method of FIG.

도 4를 참조하면, 상기 이상적 솔더 구조체(ISS)에서 상기 실제 솔더 구조체(RSS)를 차감하여 리워크 솔더 구조체(RWS)를 산출한다.Referring to FIG. 4, the ideal solder structure (ISS) subtracts the actual solder structure (RSS) to yield a rework solder structure (RWS).

상기 리워크 솔더 구조체(RWS)는 리워크 솔더가 전술한 상기 캘리브레이션 셀(CC)을 기초로 분할된 것이다. 상기 리워크 솔더는 리워크가 필요한 솔더, 즉 상기 기판 상에 실제로 형성된 솔더에 더하여 보상되어야 할 솔더를 3차원 형상으로 개념화한 것을 의미한다.The rework solder structure RWS is obtained by dividing the rework solder on the basis of the above-described calibration cell CC. The rework solder means that the solder to be compensated in addition to the solder actually required on the substrate, that is, the solder actually required on the substrate, is conceptualized into a three-dimensional shape.

이에 따라, 상기 리워크 솔더 구조체(RWS)는 복수의 캘리브레이션 셀(CC)들을 포함하도록 형성되며, 상기 리워크 솔더의 위치별로 상기 캘리브레이션 셀(CC)들의 개수, 즉 상기 리워크 솔더의 부피 등을 용이하게 획득할 수 있다.Accordingly, the reworked solder structure RWS is formed to include a plurality of calibration cells CC, and the number of the calibration cells CC, that is, the volume of the reworked solder, etc., It can be easily obtained.

이어서, 솔더 토출장치로 상기 리워크 솔더 구조체(RWS)에 해당하는 솔더를 토출하여 상기 기판 상에 형성된 솔더를 보상한다(S140).Subsequently, the solder corresponding to the reworked solder structure RWS is discharged to the solder discharging device to compensate the solder formed on the substrate (S140).

도 5는 도 1의 솔더 리워크 방법에서 솔더를 보상하는 과정의 일 실시예를 나타낸 흐름도이다.5 is a flowchart showing an embodiment of a process of compensating solder in the solder rework method of FIG.

도 5를 참조하면, 상기 기판 상에 형성된 솔더를 보상하기 위하여, 먼저 상기 리워크 솔더 구조체(RWS)의 위치별 캘리브레이션 셀(CC)들의 개수를 산출한다(S142).Referring to FIG. 5, in order to compensate for the solder formed on the substrate, the number of the calibration cells CC for each position of the reworked solder structure RWS is calculated (S142).

예를 들면, 상기 기판의 평면 좌표를 따라서, 상기 리워크 솔더의 양에 해당하는 상기 캘리브레이션 셀(CC)들의 개수를 산출할 수 있다.For example, the number of the calibration cells (CC) corresponding to the amount of the reworked solder can be calculated along the plane coordinates of the substrate.

이어서, 상기 리워크 솔더 구조체(RWS)의 위치별 캘리브레이션 셀(CC)들의 개수에 대응하는 양만큼 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출한다(S144).Subsequently, the solder is discharged to the solder discharge device by an amount corresponding to the number of the calibration cells CC for each position of the rework solder structure RWS (S144).

예를 들면, 상기 기판의 평면 좌표를 따라서 산출된 상기 리워크 솔더의 양에 해당하는 상기 캘리브레이션 셀(CC)들의 개수에 대응하는 양만큼 솔더를 상기 평면 좌표를 따라 연속적으로 토출할 수 있다.For example, the solder may be continuously discharged along the plane coordinates by an amount corresponding to the number of the calibration cells (CC) corresponding to the amount of the reworked solder calculated along the plane coordinates of the substrate.

이때, 상기 솔더 토출장치로 상기 리워크 솔더 구조체(RWS)에 해당하는 솔더를 토출하여 상기 기판 상에 형성된 솔더를 보상하기(S140) 이전에, 상기 솔더 토출장치의 토출회수에 따른 토출양을 캘리브레이션하여 저장할 수 있다. 즉, 상기 솔더 토출장치를 이용하여 솔더를 토출할 때, 토출회수에 따라 토출양이 어느 정도되는지 사전에 미리 캘리브레이션하여 데이터베이스화할 수 있다.At this time, before discharging the solder corresponding to the rewound solder structure (RWS) to the solder discharging device and compensating the solder formed on the substrate (S140), the amount of discharging according to the discharging number of the solder discharging device is calibrated . That is, when the solder is discharged using the solder discharge device, it is possible to previously calibrate the amount of discharge in accordance with the number of discharge and to make it into a database.

일 실시예로, 상기 솔더 토출장치의 1회 토출양은 상기 캘리브레이션 셀(CC)의 부피보다 작거나 같을 수 있다. 상기 솔더 토출장치의 1회 토출양이 상기 캘리브레이션 셀(CC)의 부피보다 큰 경우, 상기 솔더 토출장치의 1회 토출양이 상기 캘리브레이션 셀(CC)의 크기를 초과하므로, 상기 캘리브레이션 셀(CC)을 기초로 리워크 솔더의 양에 해당하는 토출회수를 산출할 수 없게 된다. 한편, 상기 솔더 토출장치의 1회 토출양이 부피와 동일한 경우에는, 상기 솔더 토출장치의 1회 토출에 따라 상기 정육면체로 정의된 캘리브레이션 셀(CC)을 형성할 수 있다.In one embodiment, the single discharge amount of the solder dispensing device may be less than or equal to the volume of the calibration cell CC. If the amount of one discharge of the solder discharge device is larger than the volume of the calibration cell CC, the amount of one discharge of the solder discharge device exceeds the size of the calibration cell CC, It is not possible to calculate the number of times of discharge corresponding to the amount of reworked solder. Meanwhile, when the amount of discharge once of the solder dispensing apparatus is equal to the volume, the calibration cell CC defined as the cube may be formed by one discharge of the solder dispensing apparatus.

도 6은 도 5의 솔더를 보상하는 과정에서 토출회수에 따른 토출양을 캘리브레이션하여 저장하는 과정을 설명하기 위한 개념도이다.FIG. 6 is a conceptual diagram for explaining a process of calibrating and storing the discharge amount according to the discharge count in the process of compensating the solder of FIG.

도 6을 참조하면, 상기 솔더 토출장치를 이용하여 솔더를 토출할 때, 1회, 2회, 3회, 4회 등 각 토출회수에 따른 토출양을 사전에 저장할 수 있다. 여기서, 토출양은 물리적인 솔더의 토출양을 의미하는 것이 아니라, 토출된 후 기판 상에 형성되는 솔더의 토출된 3차원적 형상을 의미한다. 솔더는 점성이 있는 물질로 토출회수에 따라 토출양이 비례적으로 증가하지 않고, 예를 들면 도 6에 도시된 바와 같이, 토출회수의 증가에 따라 사각기둥의 높이도 증가하지만, 토출회수의 증가에 따른 사각기둥의 높이의 증가율은 감소될 수 있다.Referring to FIG. 6, when the solder is discharged using the solder dispensing apparatus, the discharge amount according to the number of times of discharge such as once, twice, three times, and four times can be stored in advance. Here, the discharge amount does not mean the discharge amount of the physical solder but means the discharged three-dimensional shape of the solder formed on the substrate after being discharged. The solder is a viscous material, and the amount of discharge does not increase proportionally with the number of discharging. For example, as shown in FIG. 6, the height of the square column increases with an increase in the number of discharging, The rate of increase of the height of the quadrangular column can be reduced.

다시 도 5를 참조하면, 상기 리워크 솔더 구조체(RWS)의 위치별 캘리브레이션 셀(CC)들의 개수에 대응하는 양만큼 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출할 때(S144), 상기 저장된 토출회수에 따른 토출양을 기초로 상기 리워크 솔더 구조체(RWS)의 위치별 토출회수를 산출하고(S144a), 이어서 상기 산출된 위치별 토출회수에 따라 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출할 수 있다(S144b). Referring again to FIG. 5, when the solder is discharged to the solder discharge device by an amount corresponding to the number of the calibration cells CC for each position of the rework solder structure RWS (S144) (S144a), and then the solder may be discharged to the solder discharging apparatus according to the calculated discharging number per position (S144b).

한편, 상기 산출된 위치별 토출회수에 따라 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출하기(S144b) 이전에, 상기 솔더가 형성된 기판 상에 소정의 크기의 측정영역을 설정할 수 있고, 상기 측정영역의 위치별로 높이 오프셋(offset)을 저장할 수 있다.Meanwhile, it is possible to set a measurement area of a predetermined size on the substrate on which the solder is formed, before discharging the solder to the solder dispenser in accordance with the calculated number of discharges per position calculated (S144b) The height offset can be stored.

이 경우, 상기 산출된 위치별 토출회수에 따라 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출하는 과정(S144b)에서, 상기 솔더 토출장치를 상기 높이 오프셋을 보상한 토출위치로 이송한 후, 상기 토출위치에서 상기 솔더 토출장치로 상기 토출위치에 대응하는 위치별 토출회수만큼 솔더를 토출할 수 있다.In this case, in the step S144b of discharging the solder to the solder discharging device according to the calculated number of discharging by position, the solder discharging device is transferred to the discharging position compensated for the height offset, The solder can be discharged by the solder discharging device by the number of discharging times for each position corresponding to the discharging position.

따라서, 상기 기판이 휨 등에 의해 다소 왜곡이 되어 있는 경우에도, 상기 기판의 평면 좌표를 따라 솔더가 형성된 정확한 위치를 파악할 수 있으므로, 비교적 정확한 위치에서 솔더를 토출할 수 있다.Therefore, even when the substrate is slightly distorted due to bending or the like, accurate positioning of the solder along the plane coordinates of the substrate can be grasped, so that the solder can be discharged at a relatively accurate position.

이하, 상기한 솔더 리워크 방법을 구현하기 위한 솔더 리워크 장치의 일 실시예를 도면을 참조로 상세하게 설명한다.Hereinafter, an embodiment of a solder work device for implementing the solder rework method will be described in detail with reference to the drawings.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 솔더 리워크 장치를 나타낸 개념도이다.7 is a conceptual view showing a solder workpiece apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따라 기판(10) 상에 형성된 솔더의 부족한 양을 보상하기 위해 제공되는 솔더 리워크 장치(100)는, 솔더 토출장치(110) 및 토출 제어부(120)를 포함한다.7, a solder rework apparatus 100 provided to compensate for a deficient amount of solder formed on a substrate 10 according to an embodiment of the present invention includes a solder dispensing apparatus 110 and a discharge control unit 120).

상기 솔더 토출장치(110)는 상기 기판(10) 상에 형성된 솔더를 보상하도록 솔더(20)를 토출한다.The solder dispensing apparatus 110 discharges the solder 20 to compensate for the solder formed on the substrate 10.

상기 솔더 토출장치(110)는 후술되는 토출 제어부(120)의 제어에 따라 상기 솔더(20)를 토출한다.The solder discharge device 110 discharges the solder 20 under the control of a discharge control part 120 to be described later.

상기 토출 제어부(120)는, 이상적 솔더(IS)를 기 설정된 캘리브레이션 셀(CC)들로 분할하여 이상적 솔더 구조체(ISS)를 형성하고, 형상측정장치에 의해 측정된 상기 기판 상에 형성된 솔더의 3차원 형상을 상기 캘리브레이션 셀(CC)들로 분할하여 실제 솔더 구조체(RSS)를 형성하며, 상기 이상적 솔더 구조체(ISS)에서 상기 실제 솔더 구조체(RSS)를 차감하여 리워크 솔더 구조체(RWS)를 산출하여, 상기 리워크 솔더 구조체(RWS)를 기초로 상기 토출장치의 토출을 제어한다.The discharge control unit 120 divides the ideal solder IS into predetermined calibration cells CC to form an ideal solder structure ISS, Dimensional shape is divided into the calibration cells CC to form an actual solder structure RSS and the actual solder structure RSS is subtracted from the ideal solder structure ISS to yield a rework solder structure RWS , And controls the ejection of the ejection apparatus based on the reworked solder structure (RWS).

즉, 상기 토출 제어부(120)는 도 1 내지 도 6에서 설명된 상기 이상적 솔더 구조체를 형성하는 과정(S110), 상기 실제 솔더 구조체를 형성하는 과정(S120) 및 상기 리워크 솔더 구조체를 산출하는 과정(S130) 등을 제어할 수 있다.That is, the discharge control unit 120 may include a process of forming the ideal solder structure (S110) shown in FIGS. 1 to 6, a process of forming the actual solder structure (S120), and a process of calculating the rework solder structure (S130), and the like.

또한, 상기 토출 제어부(120)는, 도 1 내지 도 6에서 설명된 상기 솔더를 보상하는 과정(S140)에서 상기 솔더 토출장치(110)를 제어할 수 있다.In addition, the discharge control unit 120 may control the solder dispensing apparatus 110 in the step of compensating the solder described in FIGS. 1 to 6 (S140).

일 실시예로, 상기 토출 제어부(120)는, 상기 리워크 솔더 구조체(RWS)의 위치별 캘리브레이션 셀(CC)들의 개수를 산출하고, 상기 리워크 솔더 구조체(RWS)의 위치별 캘리브레이션 셀(CC)들의 개수에 대응하는 양만큼 상기 솔더 토출장치(110)로 솔더(20)를 토출하도록 상기 솔더 토출장치(110)를 제어할 수 있다.In one embodiment, the discharge control unit 120 calculates the number of calibration cells CC for each position of the rework solder structure RWS and calculates the number of the calibration cells CC for each position of the rework solder structure RWS The solder dispensing apparatus 110 can be controlled to discharge the solder 20 to the solder dispensing apparatus 110 by an amount corresponding to the number of the solder dispensers 110.

일 실시예로, 상기 솔더 리워크 장치(100)는 데이터베이스(130)를 더 포함할 수 있다. 상기 데이터베이스(130)는 상기 솔더 토출장치(110)의 토출회수에 따른 토출양을 캘리브레이션하여 저장한다.In one embodiment, the solder workpiece 100 may further include a database 130. The database 130 calibrates and stores the amount of discharge according to the number of discharging operations of the solder discharging device 110.

예를 들면, 상기 토출 제어부(120)는, 상기 데이터베이스(130)에 저장된 토출회수에 따른 토출양을 기초로 상기 리워크 솔더 구조체(RWS)의 위치별 토출회수를 산출하고, 상기 산출된 위치별 토출회수에 따라 상기 솔더 토출장치(110)로 솔더(20)를 토출하도록 상기 솔더 토출장치(110)를 제어할 수 있다.For example, the discharge control unit 120 calculates the number of times of discharge of the rework solder structure RWS based on the discharge amount according to the number of discharges stored in the database 130, The solder dispenser 110 can be controlled to discharge the solder 20 to the solder dispenser 110 according to the number of times of discharge.

일 실시예로, 상기 데이터베이스(130)는 상기 솔더 토출장치(110)의 토출회수에 따른 토출양을 상기 솔더(20)의 재질에 따라 저장할 수 있다. 이에 따라, 상기 데이터베이스(130)는, 상기 솔더(20)의 재질에 따른 물성, 예를 들면 상기 솔더(20)의 점성에 기초하여, 상기 솔더 토출장치(110)의 토출회수에 따른 토출양을 저장할 수 있으며, 이를 이용하여 상기 솔더 토출장치(110)의 위치별 토출회수를 정확히 설정할 수 있다.In one embodiment, the database 130 may store the amount of discharge according to the number of discharging of the solder discharging device 110 according to the material of the solder 20. Accordingly, the database 130 can calculate the amount of discharge according to the number of times of discharge of the solder discharging device 110 based on physical properties of the solder 20, for example, the viscosity of the solder 20 And it is possible to accurately set the number of discharging times of the solder discharging device 110 according to the positions.

한편, 상기 솔더 리워크 장치(100)는 상기 솔더 토출장치(110)로 솔더를 토출하기 이전에, 상기 솔더가 형성된 기판 상에 소정의 크기의 측정영역(FOV)을 설정할 수 있고, 상기 측정영역(FOV)의 위치별로 높이 오프셋을 저장할 수 있다. 상기 오프셋은, 상기 측정영역(FOV)의 XY-좌표계에 따른 평면좌표에 대응하는 Z축 방향의 오프셋을 의미한다.The solder rework apparatus 100 may set a predetermined measurement area (FOV) on the substrate on which the solder is formed, before discharging the solder to the solder dispensing apparatus 110, The height offset can be stored for each position of the FOV. The offset means an offset in the Z-axis direction corresponding to a plane coordinate according to the XY-coordinate system of the measurement area (FOV).

이 경우, 상기 산출된 위치별 토출회수에 따라 상기 솔더 토출장치(110)로 솔더를 토출할 때, 상기 솔더 토출장치(110)를 상기 높이 오프셋을 보상한 토출위치로 이송한 후, 상기 토출위치에서 상기 솔더 토출장치(110)로 상기 토출위치에 대응하는 위치별 토출회수만큼 솔더를 토출할 수 있다.In this case, when the solder is discharged to the solder dispensing apparatus 110 according to the calculated number of discharges per position, the solder dispensing apparatus 110 is transferred to the dispensing position compensated for the height offset, The solder can be discharged to the solder dispenser 110 by the number of discharges per position corresponding to the discharge position.

따라서, 상기 기판이 휨 등에 의해 다소 왜곡이 되어 있는 경우에도, 상기 기판의 평면 좌표를 따라 솔더가 형성된 정확한 위치를 파악할 수 있으므로, 비교적 정확한 위치에서 솔더를 토출할 수 있다.Therefore, even when the substrate is slightly distorted due to bending or the like, accurate positioning of the solder along the plane coordinates of the substrate can be grasped, so that the solder can be discharged at a relatively accurate position.

그 밖에, 상기 솔더 리워크 장치(100)는 도 1 내지 도 6에 따른 솔더 리워크 방법을 모두 구현할 수 있으며, 중복되는 상세한 설명은 생략한다.In addition, the solder rework apparatus 100 may implement all of the solder rework methods according to FIGS. 1 to 6, and a detailed description thereof will be omitted.

이하, 상기한 솔더 리워크 방법을 채용한 기판 검사방법의 일 실시예를 도면을 참조로 상세하게 설명한다.Hereinafter, one embodiment of a substrate inspecting method employing the above-described solder work method will be described in detail with reference to the drawings.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 의한 기판 검사방법을 나타낸 흐름도이다.8 is a flowchart illustrating a method of inspecting a substrate according to an embodiment of the present invention.

도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 기판 검사방법은 기판 상에 형성된 솔더의 부족한 양을 보상하기 위한 솔더 리워크 과정을 포함한다.Referring to FIG. 8, a method for inspecting a substrate according to an embodiment of the present invention includes a solder rework process for compensating for a deficient amount of solder formed on a substrate.

상기 기판 검사방법에서, 먼저 상기 기판 상에 형성된 솔더의 3차원 형상을 측정한다(S210).In the substrate inspection method, the three-dimensional shape of the solder formed on the substrate is measured (S210).

상기 솔더의 3차원 형상측정은, 일 실시예로, 도 1 내지 도 6에서 설명된 격자패턴광을 이용한 3차원 형상측정 방법이 채용될 수 있다.As the three-dimensional shape measurement of the solder, the method of measuring a three-dimensional shape using the grid pattern light described in FIGS. 1 to 6 may be employed.

이어서, 상기 측정 결과로부터 상기 솔더 리워크가 필요한지 여부를 결정한다(S220).Then, it is determined from the measurement result whether the solder rework is necessary (S220).

이때, 솔더가 보상되어야 할 부분이 너무 많으면, 이를 보상하는 것보다 폐기하는 것이 더 바람직할 수 있다. 따라서, 일 실시예로, 본 과정은 상기 측정 결과로부터 상기 솔더의 양이 부족한 부분의 개수가 기준 미납 개수 이하인지 체크하는 단계를 포함할 수 있다. 예를 들면, 하나의 보드에 대하여 50개를 기준 미납 개수로 설정한 후, 솔더 리워크가 필요한 미납 개수가 그 이하일 때 이후의 솔더 보상을 수행할 수 있다.At this time, if the solder has too many parts to be compensated, it may be preferable to discard the solder rather than compensate it. Accordingly, in one embodiment, the process may include checking whether the number of deficient parts of the solder is less than or equal to the reference defective number from the measurement result. For example, after 50 solder rewrites are set to the reference solder count for one board, solder rewinding can be performed at a later time when the solder rework number is less.

다음으로, 상기 솔더 리워크가 필요하다고 결정된 경우, 이상적 솔더(IS)를 기 설정된 캘리브레이션 셀(CC)들로 분할하여 설정된 이상적 솔더 구조체(ISS)에서, 상기 측정된 솔더의 3차원 형상을 상기 캘리브레이션 셀(CC)들로 분할하여 설정된 실제 솔더 구조체(RSS)를 차감하여, 상기 부족한 양에 대응하는 리워크 솔더 구조체(RWS)를 산출한다(S230).Next, in the ideal solder structure (ISS) set by dividing the ideal solder (IS) into predetermined calibration cells (CC), the three-dimensional shape of the measured solder is determined by the calibration The actual solder structure RSS divided by the cells CC is subtracted to calculate the rework solder structure RWS corresponding to the insufficient amount (S230).

본 과정은, 도 1 내지 도 6에서 설명된 상기 이상적 솔더 구조체를 형성하는 과정(S110), 상기 실제 솔더 구조체를 형성하는 과정(S120) 및 상기 리워크 솔더 구조체를 산출하는 과정(S130) 등과 실질적으로 동일한 과정들을 포함할 수 있으며, 이들 과정들에 대한 중복되는 상세한 설명은 생략한다.The process includes the steps of forming the ideal solder structure S110 described in FIGS. 1 to 6, forming the actual solder structure S120, calculating the rework solder structure S130, The same processes may be included, and redundant detailed descriptions of these processes are omitted.

이어서, 솔더 토출장치로 상기 리워크 솔더 구조체(RWS)에 해당하는 솔더를 토출하여 상기 기판 상에 형성된 솔더를 보상한다(S240).Subsequently, the solder corresponding to the rewound solder structure (RWS) is discharged by the solder discharging device to compensate the solder formed on the substrate (S240).

상기 과정은, 도 1 내지 도 6에서 설명된 상기 솔더를 보상하는 과정(S140)과 실질적으로 동일하므로, 중복되는 상세한 설명은 생략한다.The above process is substantially the same as the process (S140) of compensating the solder described in FIGS. 1 to 6, so that a detailed description will be omitted.

다음으로, 상기 보상된 솔더의 3차원 형상을 측정한다(S250).Next, the three-dimensional shape of the compensated solder is measured (S250).

본 과정(S250)은, 앞서 설명한 상기 기판 상에 형성된 솔더의 3차원 형상을 측정하는 과정(S210)을 반복하는 것으로, 일 실시예로, 도 1 내지 도 6에서 설명된 격자패턴광을 이용한 3차원 형상측정 방법이 채용될 수 있다. 본 과정은, 보상된 솔더에 대해서 3차원 형상을 측정하는 점을 제외하면 위 과정(S210)과 실질적으로 동일하므로, 중복되는 상세한 설명은 생략한다.In this process (S250), the process of measuring the three-dimensional shape of the solder formed on the substrate described above (S210) is repeated. In one embodiment, the three-dimensional shape measurement using the grid pattern light described in FIGS. 1 to 6 Dimensional shape measurement method can be employed. This process is substantially the same as the above-mentioned process (S210), except that the compensated solder is measured for a three-dimensional shape, and therefore detailed description thereof will be omitted.

상기와 같은 솔더 리워크 방법, 솔더 리워크 장치 및 기판 검사방법에 따르면, 솔더 리워크를 위하여 이상적 솔더와 실제 형성된 솔더를 기 설정된 캘리브레이션 셀들로 분할한 후, 캘리브레이션 셀들로 이루어진 이상적 솔더 구조체와 실제 솔더 구조체를 차감하여 리워크할 솔더를 캘리브레이션 셀들로 나타냄으로써, 보다 용이하고 정확하게 솔더를 보상할 수 있으며, 이를 이용하여 기판 검사를 수행할 수 있다.According to the solder rework method, solder work apparatus and substrate inspecting method as described above, the ideal solder and the actually formed solder are divided into predetermined calibration cells for the solder work, and then the ideal solder structure composed of the calibration cells, By representing the solder to be reworked by subtracting the structure from the calibration cells, it is possible to more easily and accurately compensate the solder, and the substrate can be inspected using the same.

또한, 솔더 토출장치에서 토출되는 솔더의 토출양을 토출회수에 따라 미리 캘리브레이션하여 저장하여, 계량화된 토출회수에 따른 토출양에 대한 정보를 활용함으로써, 보다 정확하게 보상될 솔더의 토출양을 제어할 수 있다.In addition, it is possible to control the amount of solder to be compensated more accurately by calibrating and storing the amount of solder discharged from the solder discharging device in advance according to the number of discharging and using information on the amount of discharging according to the measured number of discharging have.

또한, 측정영역의 위치별로 높이 오프셋을 미리 저장하여, 이를 보상하여 토출위치를 설정함으로써, 기판의 왜곡이 있는 경우에도 보다 정확하게 솔더 리워크 작업을 수행할 수 있다.In addition, the height offset can be previously stored for each position of the measurement area and compensated to set the discharge position, so that the solder rework work can be performed more accurately even when the substrate is distorted.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이다.  따라서, 전술한 설명 및 아래의 도면은 본 발명의 기술사상을 한정하는 것이 아닌 본 발명을 예시하는 것으로 해석되어야 한다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical and exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, the foregoing description and drawings are to be regarded as illustrative rather than limiting of the present invention.

10 : 기판 20 : 솔더
100 : 솔더 리워크 장치 110 : 솔더 토출장치
120 : 토출 제어부 130 : 데이터베이스
IS : 이상적 솔더 ISS : 이상적 솔더 구조체
RS : 실제 솔더 RSS : 실제 솔더 구조체
RWS : 리워크 솔더 구조체
10: substrate 20: solder
100: Solder rework device 110: Solder dispensing device
120: Discharge control unit 130:
IS: Ideal Solder ISS: Ideal Solder structure
RS: Actual Solder RSS: Actual Solder Structure
RWS: Reworked solder structure

Claims (16)

기판 상에 형성된 솔더의 부족한 양을 보상하기 위한 솔더 리워크(rework) 방법에 있어서,
이상적 솔더를 기 설정된 캘리브레이션 셀(calibration cell)들로 분할하여 상기 캘리브레이션 셀들을 포함하는 이상적 솔더 구조체를 형성하는 단계;
상기 기판 상에 형성된 솔더의 3차원 형상을 측정한 후 상기 측정된 3차원 형상을 상기 캘리브레이션 셀들로 분할하여 상기 캘리브레이션 셀들을 포함하는 실제 솔더 구조체를 형성하는 단계;
상기 이상적 솔더 구조체에서 상기 실제 솔더 구조체를 차감하여 상기 캘리브레이션 셀들을 포함하는 리워크 솔더 구조체를 산출하는 단계; 및
솔더 토출장치로 상기 리워크 솔더 구조체에 해당하는 솔더를 토출하여 상기 기판 상에 형성된 솔더를 보상하는 단계를 포함하는 솔더 리워크 방법.
A solder rework method for compensating for a deficient amount of solder formed on a substrate,
Dividing the ideal solder into predetermined calibration cells to form an ideal solder structure comprising the calibration cells;
Measuring a three-dimensional shape of the solder formed on the substrate and dividing the measured three-dimensional shape into the calibration cells to form an actual solder structure including the calibration cells;
Subtracting the actual solder structure from the ideal solder structure to yield a rework solder structure comprising the calibration cells; And
And discharging solder corresponding to the reworked solder structure to the solder ejection device to compensate for the solder formed on the substrate.
제1항에 있어서,
상기 솔더 토출장치로 상기 리워크 솔더 구조체에 해당하는 솔더를 토출하여 상기 기판 상에 형성된 솔더를 보상하는 단계는,
상기 리워크 솔더 구조체의 위치별 캘리브레이션 셀들의 개수를 산출하는 단계; 및
상기 리워크 솔더 구조체의 위치별 캘리브레이션 셀들의 개수에 대응하는 양만큼 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더 리워크 방법.
The method according to claim 1,
The step of compensating the solder formed on the substrate by discharging the solder corresponding to the reworked solder structure to the solder discharging device,
Calculating the number of calibration cells per position of the reworked solder structure; And
And discharging the solder to the solder dispenser by an amount corresponding to the number of calibration cells for each position of the rework solder structure.
제2항에 있어서,
상기 솔더 토출장치로 상기 리워크 솔더 구조체에 해당하는 솔더를 토출하여 상기 기판 상에 형성된 솔더를 보상하는 단계 이전에,
상기 솔더 토출장치의 토출회수에 따른 토출양을 캘리브레이션하여 저장하는 단계를 더 포함하고,
상기 리워크 솔더 구조체의 위치별 캘리브레이션 셀들의 개수에 대응하는 양만큼 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출하는 단계는,
상기 저장된 토출회수에 따른 토출양을 기초로 상기 리워크 솔더 구조체의 위치별 토출회수를 산출하는 단계; 및
상기 산출된 위치별 토출회수에 따라 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더 리워크 방법.
3. The method of claim 2,
Before the step of discharging the solder corresponding to the rework solder structure to the solder dispenser to compensate the solder formed on the substrate,
Further comprising the step of calibrating and storing the amount of discharge according to the number of discharging of the solder discharging device,
The step of discharging the solder to the solder discharge device by an amount corresponding to the number of calibration cells for each position of the rework solder structure,
Calculating an ejection count for each position of the reworked solder structure based on an ejection amount according to the stored ejection number; And
And discharging the solder to the solder dispenser in accordance with the calculated number of discharges per position calculated.
제3항에 있어서,
상기 산출된 위치별 토출회수에 따라 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출하는 단계 이전에,
상기 솔더가 형성된 기판 상에 소정의 크기의 측정영역을 설정하는 단계; 및
상기 측정영역의 위치별로 높이 오프셋(offset)을 저장하는 단계를 더 포함하고,
상기 산출된 위치별 토출회수에 따라 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출하는 단계는,
상기 솔더 토출장치를 상기 높이 오프셋을 보상한 토출위치로 이송하는 단계; 및
상기 토출위치에서 상기 솔더 토출장치로 상기 토출위치에 대응하는 위치별 토출회수만큼 솔더를 토출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더 리워크 방법.
The method of claim 3,
Before the step of discharging the solder to the solder discharging device according to the calculated number of discharging by position,
Setting a measurement area of a predetermined size on the substrate on which the solder is formed; And
Further comprising storing a height offset for each location of the measurement area,
Wherein the step of discharging the solder to the solder discharging device according to the calculated number of discharging by position,
Transferring the solder dispensing apparatus to a dispense position compensating for the height offset; And
And discharging the solder from the discharge position to the solder discharge device by the number of times of discharge for each position corresponding to the discharge position.
제1항에 있어서,
상기 캘리브레이션 셀은 상기 솔더 토출장치의 1회 토출양에 대응되는 것을 특징으로 하는 솔더 리워크 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the calibration cell corresponds to a single discharge amount of the solder dispensing apparatus.
제1항에 있어서,
상기 솔더 토출장치의 1회 토출양은 상기 캘리브레이션 셀의 부피보다 작거나 같은 것을 특징으로 하는 솔더 리워크 방법.
The method according to claim 1,
Wherein the amount of one discharge of the solder discharge device is smaller than or equal to the volume of the calibration cell.
제1항에 있어서,
상기 캘리브레이션 셀은 정육면체 형상을 가지며,
상기 이상적 솔더 구조체는 상기 정육면체 형상을 기초로 L×M×N의 매트릭스(matrix) 형태로 정의되는 것을 특징으로 하는 솔더 리워크 방법(L, M, N은 자연수).
The method according to claim 1,
Wherein the calibration cell has a cuboidal shape,
Wherein the ideal solder structure is defined as a matrix of L x M x N based on the shape of the cube. (L, M, and N are natural numbers).
제1항에 있어서,
상기 기판 상에 형성된 솔더의 3차원 형상을 측정한 후 상기 측정된 3차원 형상을 상기 캘리브레이션 셀들로 분할하여 상기 캘리브레이션 셀들을 포함하는 실제 솔더 구조체를 형성하는 단계는,
상기 기판 상에 형성된 솔더를 향해 격자패턴광을 조사하는 단계;
상기 격자패턴광이 상기 솔더에 의해 반사된 반사광을 수광하여 패턴영상을 획득하는 단계;
상기 패턴영상을 이용하여 상기 솔더의 3차원 형상을 측정하는 단계; 및
상기 측정된 3차원 형상을 상기 캘리브레이션 셀들로 분할하여 상기 실제 솔더 구조체를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 솔더 리워크 방법.
The method according to claim 1,
The step of measuring the three-dimensional shape of the solder formed on the substrate and dividing the measured three-dimensional shape into the calibration cells to form the actual solder structure including the calibration cells,
Irradiating grid pattern light toward the solder formed on the substrate;
Receiving the reflected light of the grid pattern light reflected by the solder to obtain a pattern image;
Measuring a three-dimensional shape of the solder using the pattern image; And
Dividing the measured three-dimensional shape into the calibration cells to form the actual solder structure.
기판 상에 형성된 솔더의 부족한 양을 보상하기 위한 솔더 리워크 장치에 있어서,
상기 기판 상에 형성된 솔더를 보상하도록 솔더를 토출하는 솔더 토출장치; 및
이상적 솔더를 기 설정된 캘리브레이션 셀들로 분할하여 이상적 솔더 구조체를 형성하고, 형상측정장치에 의해 측정된 상기 기판 상에 형성된 솔더의 3차원 형상을 상기 캘리브레이션 셀들로 분할하여 실제 솔더 구조체를 형성하며, 상기 이상적 솔더 구조체에서 상기 실제 솔더 구조체를 차감하여 리워크 솔더 구조체를 산출하고, 상기 리워크 솔더 구조체를 기초로 상기 토출장치의 토출을 제어하는 토출 제어부를 포함하는 솔더 리워크 장치.
A solder rework device for compensating for a deficient amount of solder formed on a substrate,
A solder dispenser for dispensing solder to compensate for solder formed on the substrate; And
Dividing the ideal solder into predetermined calibration cells to form an ideal solder structure and dividing the three dimensional shape of the solder formed on the substrate measured by the shape measuring device into the calibration cells to form an actual solder structure, And a discharge control section for calculating the rework solder structure by subtracting the actual solder structure from the solder structure and controlling the discharge of the discharge device based on the rework solder structure.
제9항에 있어서,
상기 토출 제어부는,
상기 리워크 솔더 구조체의 위치별 캘리브레이션 셀들의 개수를 산출하고, 상기 리워크 솔더 구조체의 위치별 캘리브레이션 셀들의 개수에 대응하는 양만큼 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출하도록 상기 솔더 토출장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 솔더 리워크 장치.
10. The method of claim 9,
The discharge control unit
Calculating the number of calibration cells for each position of the reworked solder structure and controlling the solder dispenser to discharge the solder to the solder dispenser by an amount corresponding to the number of calibration cells for each position of the rework solder structure Features a solder workpiece.
제9항에 있어서,
상기 솔더 토출장치의 토출회수에 따른 토출양을 캘리브레이션하여 저장한 데이터베이스를 더 포함하고,
상기 토출 제어부는,
상기 데이터베이스에 저장된 토출회수에 따른 토출양을 기초로 상기 리워크 솔더 구조체의 위치별 토출회수를 산출하고, 상기 산출된 위치별 토출회수에 따라 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출하도록 상기 솔더 토출장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 솔더 리워크 장치.
10. The method of claim 9,
Further comprising: a database for calibrating and storing an ejection amount corresponding to the ejection number of the solder ejection apparatus,
The discharge control unit
The number of times of ejection of the reworked solder structure is calculated on the basis of the amount of ejection according to the number of times of ejection stored in the database and the number of times of ejection of the solder ejection device Wherein the control unit controls the operation of the soldering workpiece.
제11항에 있어서,
상기 데이터베이스는 상기 솔더 토출장치의 토출회수에 따른 토출양을 상기 솔더의 재질에 따라 저장한 것을 특징으로 하는 솔더 리워크 장치.
12. The method of claim 11,
Wherein the database stores an amount of discharge according to the number of times of discharge of the solder dispenser in accordance with a material of the solder.
기판 상에 형성된 솔더의 부족한 양을 보상하기 위한 솔더 리워크를 포함하는 기판 검사방법에 있어서,
상기 기판 상에 형성된 솔더의 3차원 형상을 측정하는 단계;
상기 측정 결과로부터 상기 솔더 리워크가 필요한지 여부를 결정하는 단계;
상기 솔더 리워크가 필요하다고 결정된 경우, 이상적 솔더를 기 설정된 캘리브레이션 셀들로 분할하여 설정된 이상적 솔더 구조체에서, 상기 측정된 솔더의 3차원 형상을 상기 캘리브레이션 셀들로 분할하여 설정된 실제 솔더 구조체를 차감하여, 상기 부족한 양에 대응하는 리워크 솔더 구조체를 산출하는 단계;
솔더 토출장치로 상기 리워크 솔더 구조체에 해당하는 솔더를 토출하여 상기 기판 상에 형성된 솔더를 보상하는 단계; 및
상기 보상된 솔더의 3차원 형상을 측정하는 단계를 포함하는 기판 검사방법.
A substrate inspection method comprising a solder rework for compensating for a deficient amount of solder formed on a substrate,
Measuring a three-dimensional shape of the solder formed on the substrate;
Determining from the measurement result whether the solder rework is required;
If the solder rework is determined to be necessary, dividing the ideal solder into predetermined calibration cells, and subtracting the actual solder structure set by dividing the measured three-dimensional shape of the solder into the calibration cells, Calculating a reworked solder structure corresponding to a deficient amount;
Discharging a solder corresponding to the reworked solder structure with a solder dispenser to compensate for solder formed on the substrate; And
And measuring the three-dimensional shape of the compensated solder.
제13항에 있어서,
상기 솔더 토출장치로 상기 리워크 솔더 구조체에 해당하는 솔더를 토출하여 상기 기판 상에 형성된 솔더를 보상하는 단계는,
상기 리워크 솔더 구조체의 위치별 캘리브레이션 셀들의 개수를 산출하는 단계; 및
상기 리워크 솔더 구조체의 위치별 캘리브레이션 셀들의 개수에 대응하는 양만큼 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법.
14. The method of claim 13,
The step of compensating the solder formed on the substrate by discharging the solder corresponding to the reworked solder structure to the solder discharging device,
Calculating the number of calibration cells per position of the reworked solder structure; And
And discharging the solder to the solder dispenser by an amount corresponding to the number of calibration cells for each position of the rework solder structure.
제13항에 있어서,
상기 솔더 토출장치로 상기 리워크 솔더 구조체에 해당하는 솔더를 토출하여 상기 기판 상에 형성된 솔더를 보상하는 단계 이전에,
상기 솔더 토출장치의 토출회수에 따른 토출양을 캘리브레이션하여 저장하는 단계를 더 포함하고,
상기 리워크 솔더 구조체의 위치별 캘리브레이션 셀들의 개수에 대응하는 양만큼 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출하는 단계는,
상기 저장된 토출회수에 따른 토출양을 기초로 상기 리워크 솔더 구조체의 위치별 토출회수를 산출하는 단계; 및
상기 산출된 위치별 토출회수에 따라 상기 솔더 토출장치로 솔더를 토출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법.
14. The method of claim 13,
Before the step of discharging the solder corresponding to the rework solder structure to the solder dispenser to compensate the solder formed on the substrate,
Further comprising the step of calibrating and storing the amount of discharge according to the number of discharging of the solder discharging device,
The step of discharging the solder to the solder discharge device by an amount corresponding to the number of calibration cells for each position of the rework solder structure,
Calculating an ejection count for each position of the reworked solder structure based on an ejection amount according to the stored ejection number; And
And discharging the solder to the solder dispenser in accordance with the calculated number of discharges per position calculated.
제13항에 있어서,
상기 측정 결과로부터 상기 솔더 리워크가 필요한지 여부를 결정하는 단계는,
상기 측정 결과로부터 상기 솔더의 양이 부족한 부분의 개수가 기준 미납 개수 이하인지 체크하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법.

14. The method of claim 13,
Determining from the measurement result whether the solder rework is necessary,
And checking whether or not the number of portions where the amount of the solder is insufficient is less than or equal to a reference number of times from the measurement result.

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