KR101505167B1 - Nozzle apparatus for washing glass - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a nozzle apparatus for washing glass, which can clean foreign materials on surfaces of glass and a wafer by strongly spraying water at uniform pressure. The nozzle apparatus for washing glass according to an embodiment of the present invention comprises: a housing which has one or more nozzle holes at the lower part, and one or more air inlets and water inlets on the side; an air flow path provided inside the housing to be horizontally formed at the upper part of the housing and have both ends connected to at least one water inlet; a water flow path inside the housing to be horizontally formed at the lower part of the housing and have both ends connected to at least one water inlets; air nozzles which are connected by being inserted into the housing through the nozzles holes, and whose lower parts are installed to protrude in the outward direction from the nozzle holes in the housing, and whose upper parts are connected to the air flow path; water nozzles which are connected by being inserted into the housing through the nozzle holes, and whose lower parts are installed to protrude to the outside of the nozzle holes to enclose the air nozzles, and whose upper parts are installed to enclose the air nozzles to be connected to the water flow path.

Description

글라스 세척노즐장치{NOZZLE APPARATUS FOR WASHING GLASS}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001]

본 발명은 글라스 세척노즐장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 하단영역에 하나 이상의 노즐이 설치되고, 측면에 하나 이상의 에어 주입구 및 워터 주입구가 각각 형성되는 하우징 내부에 에어유로 및 워터유로가 형성되며, 상기 에어 유로와 연통되도록 설치되는 에어 노즐 및 상기 워터 유로와 연통되도록 설치되는 워터 노즐을 통해서 보다 강력한 분사력으로 외부로 분출하여 글라스 및 웨이퍼의 표면에 불순물을 세척하는 글라스 세척노즐장치에 관한 것이다.More particularly, the present invention relates to a glass washing nozzle apparatus, and more particularly, to an apparatus and a method for cleaning a glass washing nozzle apparatus, in which at least one nozzle is provided in a lower end region, and an air flow path and a water flow path are formed in a housing in which at least one air inlet port and a water inlet port are formed, To a glass washing nozzle apparatus for blowing out a glass nozzle with a stronger spraying force through an air nozzle provided to communicate with the air flow path and a water nozzle provided in communication with the water flow path to clean impurities on the surfaces of the glass and the wafer.

일반적으로, 글라스 세척노즐장치는 반도체 조립 중에서 웨이퍼를 개개의 반도체 칩으로 분리하여 조립하기 위하여는 여러 단계의 공정을 거치게 되며, 이중에서 웨이퍼를 개개의 반도체 칩으로 분리하는 공정을 웨이퍼 절단(Wafer sawing) 공정이라고 한다.2. Description of the Related Art In general, a glass cleaning nozzle apparatus is subjected to various stages in order to separate and assemble a wafer into individual semiconductor chips in a semiconductor assembly. In the process of separating a wafer into individual semiconductor chips, ) Process.

웨이퍼 절단 공정은 다이아몬드(Diamond)와 같은 재질의 블레이드(Blade)를 이용하여 웨이퍼를 직접 절단하는 절단 공정(Cutting process)과, 절단된 상태의 웨이퍼를 세척하는 세척 공정(Cleaning process)으로 구분될 수 있다.The wafer cutting process can be divided into a cutting process in which a wafer is directly cut using a blade such as a diamond and a cleaning process in which a wafer in a cut state is cleaned have.

절단 공정에서는 웨이퍼가 절단되면서 가루(Silicon dust), 입자(Silicon particle) 등의 불순물이 생성되어 웨이퍼의 표면에 잔존하게 되며, 세척 공정은 웨이퍼의 표면에서 이러한 불순물들을 제거하는 것을 특징으로 한다.In the cutting process, the wafer is cut and impurities such as silicon dust and particles are generated and remain on the surface of the wafer, and the cleaning process removes these impurities from the surface of the wafer.

세척 공정은 웨이퍼 세척 장치(Wafer cleaning apparatus)에서 수행되며, 종래의 웨이퍼 세척 장치는 회전모터가 구비된 회전테이블 위에서 탈이온수(DI water), 린스액(Rinse liquid) 및 가스 등을 분사하는 세척 노즐들로 형성되어 웨이퍼의 표면을 세척하는 것을 특징으로 한다. 이 때, 세척 노즐에서 분사되는 탈이온수는 균일한 압력으로 분사되지 못해 균일한 세척을 하는데 다소 어려움이 있다. 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다. 먼저 웨이퍼를 회전 테이블 위에 올려놓는다. 회전 테이블의 회전과 세척 노즐의 움직임을 통하여 웨이퍼 표면 위로 탈이온수(DI water; Deionized water)와 린스액 등이 분사되어 웨이퍼의 표면을 세척하고, 질소(N2) 및 공기(Air) 등이 분사되어 웨이퍼의 표면을 건조시킨다.The cleaning process is performed in a wafer cleaning apparatus. The conventional wafer cleaning apparatus includes a cleaning nozzle for spraying DI water, Rinse liquid, and gas on a rotary table equipped with a rotary motor. To clean the surface of the wafer. At this time, the deionized water sprayed from the cleaning nozzle can not be sprayed at a uniform pressure, so that it is somewhat difficult to perform uniform cleaning. More detailed description is as follows. First, the wafer is placed on the rotary table. Deionized water (DI water) and rinse liquid are sprayed onto the surface of the wafer through the rotation of the rotary table and the movement of the cleaning nozzle to clean the surface of the wafer and spray nitrogen (N2) and air The surface of the wafer is dried.

이 과정에서 웨이퍼의 전표면이 동시에 세척되지 않기 때문에 웨이퍼 위의 불순물 등이 커버 등에 튀어 오염된 후, 다음 세척 공정에서 웨이퍼 위로 묻어나는 등의 2차 오염을 가져올 수 있으며, 이러한 2차 오염 등으로 인하여 수율의 저하를 가져올 수 있다. 이를 방지하기 위하여 작업자가 수작업으로 세척을 하는 등 작업 생산성의 손실을 가져올 수 있는 문제점을 안고 있다.In this process, since the entire surface of the wafer is not cleaned at the same time, impurities on the wafer may be contaminated by splashing on the cover, and then may be contaminated on the wafer in the next cleaning process. The yield may be lowered. In order to prevent this, there is a problem that the worker may manually wash the workpiece, resulting in a loss of work productivity.

이와 함께, 세척 공정 중에 분사되는 탈이온수 및 린스액 등이 증발하여 수증기로 형성되며, 이러한 수증기와 커버 등에 묻어 웨이퍼 세척 장치의 노후를 가속화시킬 수 있다. 따라서, 세척 노즐에서 분사되는 탈이온수가 균일하게 분사가 되도록 제어되고, 웨이퍼의 표면을 균일하게 세척하여 생산성의 손실을 최소화할 수 있는 글라스 세척노즐장치의 개발이 요구되고 있다.In addition, the deionized water and the rinsing liquid sprayed during the cleaning process are evaporated to form water vapor, and the water vapor and the cover may be deposited on the wafer to accelerate the aging of the wafer cleaning apparatus. Therefore, there is a demand for development of a glass washing nozzle device that is controlled so that the deionized water injected from the cleaning nozzle is uniformly sprayed, and the surface of the wafer is uniformly cleaned to minimize the loss of productivity.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술을 개선하기 위해 안출된 것으로서, 하단영역에 하나 이상의 노즐이 설치되고, 측면에 하나 이상의 에어 주입구 및 워터 주입구가 각각 형성되는 하우징 내부에 에어유로 및 워터유로가 형성되며, 상기 에어 유로와 연통되도록 설치되는 에어 노즐 및 상기 워터 유로와 연통되도록 설치되는 워터 노즐을 통해서 보다 강력한 분사력으로 외부로 분출하여 글라스 및 웨이퍼 표면에 묻어있는 불순물을 세척하는 글라스 세척노즐장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an air flow path and a water flow path in a housing in which one or more nozzles are provided in a lower end region and at least one air inlet and a water inlet are formed in a side surface, , A glass washing nozzle device for blowing out the glass and the impurity on the surface of the wafer by blowing out through a water nozzle provided so as to be in communication with the air flow path and a water nozzle provided to communicate with the water flow path, .

상기의 목적을 이루고 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 일실시예에 따른 글라스 세척노즐장치는 하단영역에 하나 이상의 노즐 홀이 형성되고, 측면에 하나 이상의 에어 주입구 및 워터 주입구가 각각 형성되는 하우징; 상기 하우징의 내부에 형성되고, 양 종단이 상기 하나 이상의 에어 주입구와 연결되도록 상기 하우징 내부의 상부에 횡 방향으로 형성되는 에어 유로; 상기 하우징의 내부에 형성되고, 양 종단이 상기 하나 이상의 워터 주입구와 연결되도록 상기 하우징 내부의 하부에 횡 방향으로 형성되는 워터 유로; 상기 노즐 홀을 관통하여 상기 하우징 내부로 삽입되어 체결되고, 하단은 상기 하우징의 상기 노즐 홀 외부로 돌출되도록 설치되고, 상단은 상기 에어 유로와 연통되도록 설치되는 에어 노즐; 및 상기 노즐 홀을 관통하여 상기 하우징 내부로 삽입되어 체결되고, 하단은 상기 하우징의 상기 노즐 홀 외부로 돌출되면서 상기 에어 노즐을 감싸는 형상으로 설치되고, 상단은 상기 에어 노즐을 감싸면서 상기 워터 유로와 연통되도록 설치되는 워터 노즐을 포함한다.In order to accomplish the above object and to solve the problems of the related art, a glass washing nozzle apparatus according to an embodiment of the present invention includes at least one nozzle hole in a lower end region, at least one air inlet and a water inlet A housing; An air flow passage formed in the interior of the housing, the air flow passage being formed at an upper portion of the inside of the housing so that both ends thereof are connected to the at least one air inlet; A water passage formed inside the housing and formed at a lower portion inside the housing so that both ends thereof are connected to the at least one water inlet; An air nozzle which is installed to penetrate through the nozzle hole and to be inserted into the housing and fastened, the lower end of the air nozzle being projected to the outside of the nozzle hole of the housing, and the upper end being connected to the air flow passage; And a lower end protruding out of the nozzle hole of the housing to surround the air nozzle. The upper end of the air nozzle is surrounded by the water channel, And a water nozzle which is installed so as to communicate therewith.

또한, 본 발명의 일실시예에 따른 글라스 세척노즐장치는 상기 에어유로 및 상기 워터유로는 각 유로가 서로 연통되지 않고 차폐되도록 형성되고, 상기 에어 주입구를 통해 주입되는 압축공기는 상기 에어 유로 및 상기 에어 노즐을 경유하여, 상기 에어 노즐의 분사구를 통해 상기 워터 노즐의 하단 내부영역으로 분출되고, 상기 워터 주입구를 통해 주입되는 워터는 상기 워터 유로 및 상기 워터 노즐을 경유하여 상기 워터 노즐의 하단 내부영역으로 전달되며, 상기 워터 노즐의 하단 내부영역에서 상기 압축공기와 상기 워터가 서로 혼합되어 함께 상기 워터 노즐의 분사구를 통해 외부로 분사되는 것을 특징으로 한다.In the glass washing nozzle apparatus according to an embodiment of the present invention, the air flow path and the water flow path are formed such that the flow paths are shielded without being communicated with each other, and the compressed air injected through the air injection port flows through the air flow path The water injected through the water inlet is injected into the lower end inner region of the water nozzle via the water passage and the water nozzle via the air nozzle, And the compressed air and the water are mixed with each other in the lower inner region of the water nozzle and are injected to the outside through the jet port of the water nozzle.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 글라스 세척노즐장치는 하단영역에 하나 이상의 노즐 홀이 형성되고, 측면에 에어 주입구 및 워터 주입구가 각각 형성되는 하우징; 상기 하우징 내부에 형성되고, 일단은 상기 에어 주입구와 연통되며 타단은 에어 분사 추진체의 제1 에어 유입구와 연통되도록 형성되는 에어 유로; 상기 하우징 내부에 형성되고, 상기 제1 에어 유입구를 통해 상기 에어 유로와 연통되며, 에어 배출구를 통해 에어 노즐의 제2 에어 유입구와 연통되도록 설치되고, 상기 에어 유로로부터 유입되는 에어의 압력을 상승시켜 상기 에어 노즐로 전달하는 에어 분사 추진체; 상기 하우징 내부에 형성되고, 일단은 상기 워터 주입구와 연통되며 타단은 워터 노즐의 워터 유입구와 연통되도록 형성되는 워터 유로; 상기 노즐 홀을 관통하여 상기 하우징 내부로 삽입되어 체결되고, 상단에 형성되는 상기 제2 에어 유입구가 상기 에어 분사 추진체의 에어 배출구와 연통되도록 설치되는 에어 노즐; 및 상기 노즐 홀을 관통하여 상기 하우징 내부로 삽입되어 체결되고, 하단은 상기 에어 노즐을 감싸는 형상으로 설치되고, 상단은 상기 에어 노즐을 감싸면서 상기 워터 유입구가 상기 워터 유로와 연통되도록 설치되는 워터 노즐을 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a glass cleaning nozzle apparatus comprising: a housing having at least one nozzle hole formed in a lower end region thereof and having an air inlet and a water inlet formed at a side surface thereof; An air flow passage formed inside the housing, one end communicating with the air inlet port and the other end communicating with the first air inlet port of the air jet propulsion body; A second air inlet formed in the housing and communicating with the air flow passage through the first air inlet port and communicating with the second air inlet port of the air nozzle through an air outlet port to increase the pressure of the air introduced from the air flow passage, An air jet propellant for transferring the air to the air nozzle; A water channel formed inside the housing and having one end communicating with the water inlet and the other end communicating with the water inlet of the water nozzle; An air nozzle inserted through the nozzle hole to be inserted into the housing and fastened, and the second air inlet formed at the upper end communicates with an air outlet of the air jet propulsion body; And a water nozzle installed at the upper end so as to surround the air nozzle and the water inlet to communicate with the water flow path, wherein the water nozzle is installed in the housing to penetrate the nozzle hole, .

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 글라스 세척노즐장치의 상기 에어 분사 추진체는, 상기 하우징 내부의 상기 에어 주입구 영역에 설치되는 포스트 하우징; 상기 포스트 하우징과 상기 하우징 간의 간극으로 형성되어 상기 에어 유로와 연통되는 제1 에어 유입구; 상기 하우징 내부에 수용되고, 일단에는 상기 에어 노즐의 상기 제2 에어 유입구와 연통되는 에어 배출구가 형성되며, 타단에는 나선형 포스트가 수용되는 수용공간이 형성되고, 상기 제1 에어 유입구로부터 유입되는 에어가 상기 나선형 포스트를 경유하여 상기 에어 배출구로 전달되도록 하는 내부유로가 형성되는 에어 유도관; 및 상단은 상기 에어 유도관의 상기 타단 수용공간에 수용되고, 하단은 상기 포스트 하우징의 내부에 수용되어 스프링을 통해 상기 포스트 하우징과 체결되며, 상기 제1 에어 유입구로 유입되는 에어가 상기 에어 유도관으로 전달되는 이동경로인 나선유로가 상기 상단 외벽에 형성되는 나선형 포스트를 포함한다.According to another aspect of the present invention, the air jet propelling body of the glass washing nozzle apparatus further includes a post housing installed in the air inlet area inside the housing; A first air inlet formed as a gap between the post housing and the housing and communicating with the air flow path; An air outlet port communicating with the second air inlet port of the air nozzle is formed at one end and a receiving space is received at the other end to accommodate the spiral post and air introduced from the first air inlet port is formed in the housing, An air induction pipe in which an inner flow path is formed to be transmitted to the air discharge port via the spiral post; And the upper end is accommodated in the other end accommodation space of the air induction pipe, the lower end is received in the post housing and is fastened to the post housing through a spring, and air, which flows into the first air inlet, And a helical path is formed in the upper outer wall.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 글라스 세척노즐장치는 상기 에어 유도관의 상기 타단의 외벽에 형성되는 제1 홈; 상기 나선형 포스트의 상기 하단 외벽에 형성되는 제2 홈; 상기 에어 유도관의 상기 제1 홈에 수용되는 제1 오링; 및 상기 나선형 포스트의 상기 제2 홈에 수용되는 제2 오링을 더 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a glass cleaning nozzle apparatus comprising: a first groove formed on an outer wall of the other end of the air induction pipe; A second groove formed in the lower end outer wall of the helical post; A first O-ring received in the first groove of the air induction pipe; And a second O-ring received in the second groove of the helical post.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 글라스 세척노즐장치는 상기 하우징 내부에 수용되어 상기 에어 유도관과 고정 체결되고, 버튼 누름 이벤트에 대응하여 상기 에어 유도관의 좌우 이동을 제어하는 하나 이상의 액츄에이터를 더 포함한다.The glass washing nozzle apparatus according to another embodiment of the present invention may include at least one actuator accommodated in the housing and fixed to the air induction pipe and controlling the left and right movement of the air induction pipe in response to a button pressing event .

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 글라스 세척노즐장치의 상기 에어 노즐은 상기 제2 에어 유입구를 통해 상기 에어 유도관으로부터 유입되는 에어가 상기 워터 노즐의 하단 내부영역으로 분출되도록 가이드하는 나선형 경로를 구비하고, 상기 에어 노즐로부터 분출되는 에어는 상기 워터 노즐의 하단 내부영역으로 분출되고, 상기 워터 유로를 통해 상기 워터 노즐의 하단 내부영역으로 전달된 워터와 상기 에어가 혼합되어 함께 상기 워터 노즐의 외부로 분사되는 것을 특징으로 한다.The air nozzle of the glass washing nozzle apparatus according to another embodiment of the present invention may further include a spiral path for guiding the air introduced from the air induction pipe through the second air inlet into the lower inner region of the water nozzle And the air ejected from the air nozzle is ejected into an area inside the lower end of the water nozzle and the water transferred to the lower end internal area of the water nozzle through the water passage is mixed with the air, As shown in FIG.

본 발명의 일실시예에 따른 글라스 세척노즐장치에 따르면, 에어 주입구로부터 유입되는 압축공기가 에어 유로를 경유하여 에어 노즐로 이동한 후, 워터 주입구로부터 유입되는 워터가 워터 유로를 경유하여 워터 노즐로 이동되어 혼합되어 워터 노즐 분사구 외부로 분출되도록 함으로써, 상기 워터가 보다 균일한 압력으로 강력하게 외부로 분사되어 글라스 및 웨이퍼의 표면에 묻어있는 불순물이 균일하게 세척될 수 있도록 하는 효과를 얻을 수 있다.According to the apparatus for cleaning a glass according to an embodiment of the present invention, compressed air introduced from an air inlet port is moved to an air nozzle via an air flow path, and water introduced from a water inlet port is supplied to a water nozzle And the water is jetted out of the water nozzle jet opening so that the water is strongly jetted to the outside under a more uniform pressure so that the impurities on the surface of the glass and the wafer can be uniformly cleaned.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 글라스 세척노즐장치에 따르면, 에어 주입구로부터 유입되는 에어가 나선형 포스트 상단영역에 형성되는 나선형 경로를 따라 에어 노즐로 이동한 후, 상기 에어 노즐의 외벽에 형성된 나선형 경로를 워터 주입구로부터 유입되는 워터가 워터 유로를 경유하여 워터 노즐로 이동되어 혼합되어 워터 노즐 분사구 외부로 분출되도록 함으로써, 상기 워터가 보다 균일한 압력으로 강력하게 외부로 분사되어 글라스 및 웨이퍼의 표면에 묻어있는 불순물이 균일하게 세척될 수 있도록 하는 효과를 얻을 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a glass cleaning nozzle apparatus, wherein air introduced from an air inlet is moved to an air nozzle along a spiral path formed in a spiral post upper region, The water flowing from the water inlet port is moved to the water nozzle via the water flow path and mixed and ejected to the outside of the water nozzle injection port so that the water is strongly sprayed to the outside at a more uniform pressure, It is possible to obtain an effect that the buried impurities can be uniformly washed.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 글라스 세척노즐장치의 구조를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 글라스 세척노즐장치의 구조를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 글라스 세척노즐장치의 버튼 누름 이벤트 발생 시 에어 유도관이 동작되어 분사되는 것을 도시한 도면이다.1 is a view showing a structure of a glass washing nozzle apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a view showing a structure of a glass washing nozzle apparatus according to another embodiment of the present invention.
3 is a view illustrating that an air induction pipe is actuated and ejected when a button press event of a glass washing nozzle apparatus according to another embodiment of the present invention occurs.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 글라스 세척노즐장치의 구조를 도시한 도면이다.1 is a view showing a structure of a glass washing nozzle apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일실시예에 따른 글라스 세척노즐장치(100)는 하우징(110), 에어 주입구(120), 워터 주입구(130), 에어 유로(140), 워터 유로(150), 에어 노즐(160), 에어 노즐 분사구(161), 워터 노즐(170), 워터 노즐 분사구(171) 및 너트(180)를 포함한다.The glass washing nozzle apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a housing 110, an air inlet 120, a water inlet 130, an air passage 140, a water passage 150, an air nozzle 160, An air nozzle jet opening 161, a water nozzle 170, a water nozzle jet opening 171, and a nut 180.

하우징(110)은 직육면체의 형상으로 형성되고, 하단영역에 하나 이상의 노즐 홀이 형성되며, 측면에 하나 이상의 에어 주입구(120) 및 워터 주입구(130)가 각각 형성되어 설치될 수 있다. 에어 유로(140)는 하우징(110) 내부에 형성되고, 양 종단이 하나 이상의 에어 주입구(120)와 연결되도록 하우징(110) 내부의 상부에 횡 방향으로 형성될 수 있다.The housing 110 is formed in the shape of a rectangular parallelepiped, one or more nozzle holes are formed in the lower end region, and at least one air inlet 120 and a water inlet 130 may be formed on the side surface. The air flow path 140 may be formed inside the housing 110 and may be formed laterally at an upper portion of the inside of the housing 110 so that both ends thereof are connected to one or more air inlet ports 120.

워터 유로(150)는 하우징(110) 내부에 형성되고, 양 종단이 하나 이상의 워터 주입구(130)와 연결되도록 하우징(110) 내부의 하부에 횡 방향으로 형성될 수 있다. 에어 노즐(160)은 상기 노즐 홀을 관통하여 하우징(110) 내부로 삽입되어 체결되고, 하단은 하우징(110)의 상기 노즐 홀 외부로 돌출되도록 설치되고, 상단은 에어 유로(140)와 연통되도록 설치될 수 있다. 워터 노즐(170)은 상기 노즐 홀 외부로 돌출되면서 에어 노즐(160)을 감싸는 형상으로 설치되고, 상단은 에어 노즐(160)을 감싸면서 워터 유로(150)와 연통되도록 설치될 수 있다. The water channel 150 may be formed in the housing 110 and may be formed in the lower portion of the inside of the housing 110 so that both ends thereof are connected to the at least one water inlet 130. The air nozzle 160 is inserted into the housing 110 through the nozzle hole and fastened to the nozzle hole 160. The lower end of the air nozzle 160 protrudes outside the nozzle hole of the housing 110, Can be installed. The water nozzle 170 may protrude out of the nozzle hole to surround the air nozzle 160 and the upper end may be installed to communicate with the water channel 150 while surrounding the air nozzle 160.

에어 유로(140) 및 워터 유로(150)는 각 유로가 서로 연통되지 않고 차폐되도록 형성될 수 있다. 에어 주입구(120)를 통해 주입되는 압축공기는 에어 유로(140) 및 에어 노즐(160)을 경유하여, 에어 노즐 분사구(161)를 통해 워터 노즐(170)의 하단 내부영역으로 분출될 수 있다. 워터 주입구(130)를 통해 주입되는 워터는 워터 유로(150) 및 워터 노즐(170)을 경유하여 워터 노즐(170)의 하단 내부영역으로 전달되고, 워터 노즐(170)의 하단 내부영역에서 상기 압축공기와 상기 워터가 서로 혼합되어 함께 워터 노즐 분사구(171)를 통해 외부로 분사될 수 있다. The air flow path 140 and the water flow path 150 may be formed so that the respective flow paths are shielded without being communicated with each other. The compressed air injected through the air injection port 120 can be ejected into the lower end internal area of the water nozzle 170 through the air nozzle 140 and the air nozzle 160 through the air nozzle injection port 161. The water injected through the water injection port 130 is transferred to the lower end internal region of the water nozzle 170 via the water passage 150 and the water nozzle 170, The air and the water may be mixed with each other and injected out through the water nozzle injection port 171. [

워터 노즐(170)은 하우징(110) 하단영역에 설치되고, 너트(180)가 체결되어 고정 설치될 수 있다. 너트(180)는 에어 노즐 분사구(161) 및 워터 노즐 분사구(171)가 접하는 측면 간극이 조정되어 고정될 수 있다. 이때, 혼합되어 분사되는 워터 및 에어는 워터 노즐 분사구(171) 외부로 분사 시 분사각이 제어되어 분사될 수 있다. The water nozzle 170 is installed in the lower end region of the housing 110, and the nut 180 can be fastened and fixed. The nut 180 may be fixed by adjusting the side clearance where the air nozzle jet opening 161 and the water nozzle jet opening 171 are in contact with each other. At this time, the mixed water and air can be jetted out of the water nozzle jetting port 171 while controlling the jetting angle thereof.

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 글라스 세척노즐장치의 구조를 도시한 도면이다.2 is a view showing a structure of a glass washing nozzle apparatus according to another embodiment of the present invention.

버튼이 눌려지지 않은 평상시 상태는 도 2에 도시된 바와 같다. 스프링(280)의 탄성에 의해 나선형 포스트(260)는 우방향으로 밀착되고, 나선형 포스트(260)의 하단 외벽에 형성된 제2 홈(261)에 수용된 제2 오링(262)을 통해서 기밀이 유지되며, 제1 에어 유입구(240)를 통해 유입되는 에어는 더 이상 이동되지 못하도록 차단될 수 있다. 즉, 하우징(210) 내부의 주입된 상기 에어는 에어 유도관(250)으로 전달되지 못한다. The normal state in which the button is not pressed is as shown in Fig. The spiral post 260 is tightly held in the right direction by the elasticity of the spring 280 and kept airtight through the second O-ring 262 accommodated in the second groove 261 formed on the outer wall of the lower end of the spiral post 260 , The air introduced through the first air inlet 240 can be blocked from moving further. That is, the air injected inside the housing 210 can not be transmitted to the air induction pipe 250.

본 발명의 다른 실시예에 따른 글라스 세척노즐장치(200)는 하우징(210), 에어 주입구(220), 워터 주입구(230), 제1 에어 유입구(240), 에어 유도관(250), 제1 홈(251), 제1 오링(252), 에어 유로(253), 에어 배출구(254), 나선형 포스트(260), 제2 홈(261), 제2 오링(262), 포스트 하우징(270), 스프링(280), 액츄에이터(290), 제2 에어 유입구(300), 에어 노즐(310), 워터 유로(320) 및 워터 노즐(330)을 포함한다.The glass washing nozzle apparatus 200 according to another embodiment of the present invention includes a housing 210, an air inlet 220, a water inlet 230, a first air inlet 240, an air induction tube 250, The first O-ring 252, the air passage 253, the air outlet 254, the spiral post 260, the second groove 261, the second O-ring 262, the post housing 270, And includes a spring 280, an actuator 290, a second air inlet 300, an air nozzle 310, a water passage 320, and a water nozzle 330.

하우징(210)은 하단영역에 하나 이상의 노즐 홀이 형성되고, 측면에 에어 주입구(220) 및 워터 주입구(230)가 형성될 수 있다. 에어 유로(293)는 하우징(210) 내부에 형성되고, 일단은 에어 주입구(220)와 연통되며 타단은 에어 분사 추진체의 제1 에어 유입구(240)와 연통되도록 형성될 수 있다. 상기 에어 분사 추진체는 에어 유도관(250), 제1 홈(251), 제1 오링(252), 에어 유로(253), 에어 배출구(254), 나선형 포스트(260), 제2 홈(261), 제2 오링(262), 포스트 하우징(270), 스프링(280), 액츄에이터(290)를 포함한다.At least one nozzle hole may be formed in the lower end region of the housing 210, and an air inlet 220 and a water inlet 230 may be formed on the side surface. The air passage 293 is formed in the housing 210 and has one end communicating with the air inlet 220 and the other end communicating with the first air inlet 240 of the air jet propelling body. The air injection propellant includes an air induction pipe 250, a first groove 251, a first O-ring 252, an air passage 253, an air outlet 254, a helical post 260, a second groove 261, A second O-ring 262, a post housing 270, a spring 280, and an actuator 290.

상기 에어 분사 추진체는 하우징(210) 내부에 형성되고, 제1 에어 유입구(240)를 통해 에어 유로(253)와 연통되며, 에어가 이송될 수 있다. 상기 에어는 에어 배출구(254)를 통해 배출되고, 에어 배출구(254)와 에어 노즐(310)의 제2 에어 유입구(300)는 연통되도록 설치되며, 에어 유로(253)로부터 유입되는 상기 에어의 압력이 상승되어 에어 노즐(310)로 전달될 수 있다.The air jet propellant is formed inside the housing 210, communicates with the air channel 253 through the first air inlet 240, and air can be transported. The air is discharged through the air discharge port 254 and the air discharge port 254 and the second air inlet port 300 of the air nozzle 310 are communicated with each other so that the pressure of the air flowing from the air flow path 253 Can be raised to be transmitted to the air nozzle 310.

포스트 하우징(270)은 하우징(210) 내부의 에어 주입구(220) 영역에 설치될 수 있다. 제1 에어 유입구(240)는 포스트 하우징(270)과 하우징(210) 간의 간극으로 형성되어 에어 유로(253)와 연통될 수 있다. 에어 유도관(250)은 하우징(210) 내부에 수용되고, 일단에는 에어 노즐(310)의 제2 에어 유입구(300)와 연통되는 에어 배출구(254)가 형성되며, 타단에는 나선형 포스트(260)가 수용되는 수용공간이 형성되고, 제1 에어 유입구(240)로부터 유입되는 상기 에어가 나선형 포스트(260)를 경유하여 에어 배출구(254)로 전달되도록 하는 내부유로가 형성될 수 있다.The post housing 270 may be installed in an area of the air injection port 220 inside the housing 210. The first air inlet 240 may be formed as a gap between the post housing 270 and the housing 210 to communicate with the air passage 253. The air induction pipe 250 is accommodated in the housing 210 and has an air outlet 254 communicated with the second air inlet 300 of the air nozzle 310 at one end and a spiral post 260 at the other end. And the air introduced from the first air inlet 240 passes through the spiral post 260 to the air outlet 254.

나선형 포스트(260) 상단은 에어 유도관(250)의 상기 타단 수용공간에 수용되고, 하단은 포스트 하우징(270)의 내부에 수용되어 스프링(280)을 통해 포스트 하우징(270)과 체결되며, 제1 에어 유입구(240)로 유입되는 상기 에어가 에어 유도관(250)으로 전달되는 이동경로인 나선 유로가 상기 상단 외벽에 형성될 수 있다. 제1 홈(251)은 에어 유도관(250)의 상기 타단의 외벽에 형성되고, 제1 오링(252)이 수용될 수 있다. 제1 오링(252)은 에어 유도관(250)의 외벽 및 하우징(210)의 내벽 사이에 형성되는 공간으로 유입되는 상기 에어의 이동을 차단하는 기밀유지 역할을 수행할 수 있다.The upper end of the helical post 260 is received in the other end accommodation space of the air induction pipe 250 and the lower end is received in the interior of the post housing 270 and fastened to the post housing 270 through the spring 280, 1 spiral passage, which is a movement path through which the air flowing into the air inlet 240 is transmitted to the air induction pipe 250, may be formed on the upper outer wall. The first groove 251 is formed in the outer wall of the other end of the air induction pipe 250, and the first O-ring 252 can be received. The first O-ring 252 may serve as a hermetic seal for blocking movement of the air flowing into the space formed between the outer wall of the air induction pipe 250 and the inner wall of the housing 210.

제2 홈(261)은 나선형 포스트(260)의 상기 하단의 외벽에 형성되고, 제2 오링(262)이 수용될 수 있다. 제2 오링(262)은 나선형 포스트(260)의 외벽 및 포스트 하우징(270)의 내벽 사이에 형성되는 공간으로 유입되는 상기 에어의 이동을 차단하는 기밀유지 역할을 수행할 수 있다. 액츄에이터(290)는 하우징(210) 내부에 수용되어 에어 유도관(250)과 고정 체결되고, 버튼 누름 이벤트에 대응하여 에어 유도관(250)의 좌우 이동을 제어할 수 있다. 액츄에이터(290)는 상단 및 하단에 각각 설치될 수 있다.The second groove 261 is formed in the outer wall of the lower end of the spiral post 260, and a second O-ring 262 can be received. The second O-ring 262 may serve as a hermetic seal for blocking the movement of the air flowing into the space formed between the outer wall of the spiral post 260 and the inner wall of the post housing 270. The actuator 290 is accommodated in the housing 210 and is fixedly coupled to the air induction pipe 250. The actuator 290 can control the left and right movement of the air induction pipe 250 in response to a button press event. The actuator 290 may be installed at the upper end and the lower end, respectively.

워터 유로(320)는 하우징(210) 내부에 형성되고, 일단은 워터 주입구(230)와 연통되며 타단은 워터 노즐(330)의 워터 유입구(331)와 연통되어 형성될 수 있다. 에어 노즐(310)은 상기 노즐 홀을 관통하여 하우징(210) 내부로 삽입되어 체결되고, 상단에 형성되는 제2 에어 유입구(300)가 상기 에어 분사 추진체의 에어 배출구(254)와 연통되도록 설치될 수 있다.The water channel 320 may be formed in the housing 210 and may have one end communicating with the water inlet 230 and the other end communicating with the water inlet 331 of the water nozzle 330. The air nozzle 310 is inserted through the nozzle hole and inserted into the housing 210 and is installed so that the second air inlet 300 formed at the upper end communicates with the air outlet 254 of the air jet propulsion body .

에어 노즐(310)은 제2 에어 유입구(300)를 통해 에어 유도관(250)으로부터 유입되는 워터 노즐(330)의 하단 내부영역으로 분출되도록 가이드하는 나선형 경로를 구비할 수 있다. 에어 노즐(310)로부터 분출되는 상기 에어는 워터 노즐(330)의 하단 내부영역으로 분출되고, 워터 유로(320)를 통해 워터 노즐(330)의 하단 내부영역으로 전달된 워터와 상기 에어가 혼합되어 함께 워터 노즐(330)의 외부로 분사될 수 있다.The air nozzle 310 may include a spiral path for guiding the air nozzle 310 to be blown into a lower inner region of the water nozzle 330 flowing from the air induction pipe 250 through the second air inlet 300. The air ejected from the air nozzle 310 is ejected into the lower end region of the water nozzle 330 and mixed with the water transferred to the lower end inner region of the water nozzle 330 through the water passage 320 And can be jetted out of the water nozzle 330 together.

워터 노즐(330)은 상기 노즐 홀을 관통하여 하우징(210) 내부로 삽입되어 체결되고, 하단은 에어 노즐(310)을 감싸는 형상으로 설치되고, 상단은 상기 에어 노즐을 감싸면서 워터 유입구(331)가 워터 유로(320)와 연통되도록 설치될 수 있다.The water nozzle 330 penetrates the nozzle hole and is inserted into the housing 210 and is fastened. The lower end of the water nozzle 330 surrounds the air nozzle 310. The upper end of the water nozzle 330 surrounds the air nozzle, May be installed to communicate with the water channel (320).

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 글라스 세척노즐장치의 버튼 누름 이벤트 발생 시 에어 유도관이 동작되어 분사되는 것을 도시한 도면이다.3 is a view illustrating that an air induction pipe is actuated and ejected when a button press event of a glass washing nozzle apparatus according to another embodiment of the present invention occurs.

버튼이 누름 이벤트가 발생하는 경우 도 3에 도시된 바와 같이, 하나 이상의 액츄에이터(290)가 좌방향으로 동작되고, 하나 이상의 액츄에이터(290)와 고정 체결된 에어 유도관(250), 제1 오링(252), 나선형 포스트(260) 및 제2 오링(262)은 하우징(210) 좌방향으로 이동될 수 있다. 상기 이동에 따라, 제1 에어 유입구(240)가 개방되고, 상기 개방된 제1 에어 유입구(240)를 통해서 상기 에어가 유입되며, 나선형 포스트(260) 상단 외부 영역에 형성된 나선을 따라서 상기 에어가 에어 유도관(250)으로 전달될 수 있다. 상기 에어는 에어 유도관(250) 내부에 형성된 에어 유로(253)를 통해서 이동되고, 에어 배출구(254)를 통해서 배출될 수 있다. 상기 에어는 에어 배출구(254)와 연통된 제2 에어 유입구(300)로 유입되고, 에어 노즐(310)로 유입될 수 있다. 3, one or more actuators 290 are operated in the left direction, and the air induction pipe 250, fixed to the at least one actuator 290, and the first O-ring (not shown) 252, the helical post 260 and the second O-ring 262 can be moved to the left of the housing 210. [ The first air inlet 240 is opened and the air is introduced through the opened first air inlet 240 so that the air flows along the spiral formed in the upper outer region of the spiral post 260, Air induction pipe 250 as shown in FIG. The air can be moved through the air passage 253 formed in the air induction pipe 250 and discharged through the air outlet 254. [ The air may flow into the second air inlet 300 communicating with the air outlet 254 and may be introduced into the air nozzle 310.

에어 노즐(310)로 유입된 상기 에어는 외벽에 형성된 나선을 따라 하단 영역으로 전달될 수 있다. 상기 하단 영역에 전달된 상기 에어는 워터 주입구(230)로부터 공급된 워터와 워터 노즐(330)에서 혼합되어 워터 노즐 분사구(332)를 통해서 외부로 분사될 수 있다. 이 때, 워터 노즐(330)을 통해 분사되는 상기 워터는 미세한 분사가 이루어질 수 있다.The air introduced into the air nozzle 310 can be transmitted to the lower end region along a spiral formed on the outer wall. The air transferred to the lower end region may be mixed with the water supplied from the water injection port 230 and the water nozzle 330, and may be injected to the outside through the water nozzle injection port 332. At this time, the water sprayed through the water nozzle 330 can be finely sprayed.

이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. This is possible.

그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be determined by the equivalents of the claims, as well as the claims.

100: 글라스 세척노즐장치 110: 하우징
120: 에어 주입구 130: 워터 주입구
140: 에어 유로 ` 150: 워터 유로
160: 에어 노즐 161: 에어 노즐 분사구
170: 워터 노즐 171: 워터 노즐 분사구
180: 너트 200: 글라스 세척노즐장치
210: 하우징 220: 에어 주입구
230: 워터 주입구 240: 제1 에어 유입구
250: 에어 유도관 251: 제1 홈
252: 제1 오링 253: 에어 유로
254: 에어 배출구 260: 나선형 포스트
261: 제2 홈 262: 제2 오링
270: 포스트 하우징 280: 스프링
290: 액츄에이터 300: 제2 에어 유입구
310: 에어 노즐 320: 워터 유로
330: 워터 노즐 331: 워터 유입구
332: 워터 노즐 분사구100: glass washing nozzle device 110: housing
120: air inlet 130: water inlet
140: Air flow path `150: Water flow path
160: air nozzle 161: air nozzle nozzle
170: Water nozzle 171: Water nozzle nozzle
180: Nut 200: Glass washing nozzle device
210: housing 220: air inlet
230: Water inlet port 240: First air inlet
250: Air guide tube 251: First groove
252: first O-ring 253:
254: Air outlet 260: Spiral post
261: second groove 262: second o-ring
270: post housing 280: spring
290: Actuator 300: Second Air Inlet
310: air nozzle 320: water flow path
330: Water nozzle 331: Water inlet
332: Water nozzle nozzle

Claims (7)

삭제delete 삭제delete 하단영역에 하나 이상의 노즐 홀이 형성되고, 측면에 에어 주입구 및 워터 주입구가 각각 형성되는 하우징;
상기 하우징 내부에 형성되고, 일단은 상기 에어 주입구와 연통되며 타단은 에어 분사 추진체의 제1 에어 유입구와 연통되도록 형성되는 에어 유로;
상기 하우징 내부의 상기 에어 주입구 영역에 설치되는 포스트 하우징과, 상기 포스트 하우징과 상기 하우징 간의 간극으로 형성되어 상기 에어 유로와 연통되는 제1 에어 유입구와, 상기 하우징 내부에 수용되고 일단에는 에어 노즐의 제2 에어 유입구와 연통되는 에어 배출구가 형성되며 타단에는 나선형 포스트가 수용되는 수용공간이 형성되고 상기 제1 에어 유입구로부터 유입되는 에어가 상기 나선형 포스트를 경유하여 상기 에어 배출구로 전달되도록 하는 내부유로가 형성되는 에어 유도관과, 상단은 상기 에어 유도관의 상기 타단 수용공간에 수용되고 하단은 상기 포스트 하우징의 내부에 수용되어 스프링을 통해 상기 포스트 하우징과 체결되며 상기 제1 에어 유입구로 유입되는 에어가 상기 에어 유도관으로 전달되는 이동경로인 나선유로가 상기 상단 외벽에 형성되는 나선형 포스트를 포함하는 에어 분사 추진체;
상기 하우징 내부에 형성되고, 일단은 상기 워터 주입구와 연통되며 타단은 워터 노즐의 워터 유입구와 연통되도록 형성되는 워터 유로;
상기 노즐 홀을 관통하여 상기 하우징 내부로 삽입되어 체결되고, 상단에 형성되는 상기 제2 에어 유입구가 상기 에어 분사 추진체의 에어 배출구와 연통되도록 설치되는 에어 노즐; 및
상기 노즐 홀을 관통하여 상기 하우징 내부로 삽입되어 체결되고, 하단은 상기 에어 노즐을 감싸는 형상으로 설치되고, 상단은 상기 에어 노즐을 감싸면서 상기 워터 유입구가 상기 워터 유로와 연통되도록 설치되는 워터 노즐
을 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 세척노즐장치.A housing in which at least one nozzle hole is formed in a lower end region, and an air inlet and a water inlet are formed on a side surface, respectively;
An air flow passage formed inside the housing, one end communicating with the air inlet port and the other end communicating with the first air inlet port of the air jet propulsion body;
A first air inlet formed in a gap between the post housing and the housing and communicating with the air flow passage; a second air inlet accommodated in the housing and having an air nozzle An air outlet communicating with the air inlet is formed at the other end of the air inlet, and a receiving space is formed at the other end to accommodate the spiral post, and an internal flow path is formed to allow the air introduced from the first air inlet to be transmitted to the air outlet through the spiral post And an upper end of the air induction pipe is received in the other end receiving space of the air induction pipe and a lower end of the air induction pipe is received in the inside of the post housing and is fastened to the post housing through a spring, The spiral flow path, which is the movement path to the air induction pipe, An air jet propellant comprising a helical post formed on the upper outer wall;
A water channel formed inside the housing and having one end communicating with the water inlet and the other end communicating with the water inlet of the water nozzle;
An air nozzle inserted through the nozzle hole to be inserted into the housing and fastened, and the second air inlet formed at the upper end communicates with an air outlet of the air jet propulsion body; And
The water nozzle is installed to penetrate through the nozzle hole and to be inserted into the housing and fastened. The lower end of the water nozzle surrounds the air nozzle. The upper end surrounds the air nozzle and the water inlet communicates with the water channel.
Wherein the cleaning nozzle is a glass cleaning nozzle. 삭제delete 제3항에 있어서,
상기 에어 유도관의 상기 타단의 외벽에 형성되는 제1 홈;
상기 나선형 포스트의 상기 하단 외벽에 형성되는 제2 홈;
상기 에어 유도관의 상기 제1 홈에 수용되는 제1 오링; 및
상기 나선형 포스트의 상기 제2 홈에 수용되는 제2 오링
을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 세척노즐장치.The method of claim 3,
A first groove formed on an outer wall of the other end of the air induction pipe;
A second groove formed in the lower end outer wall of the helical post;
A first O-ring received in the first groove of the air induction pipe; And
A second o-ring received in the second groove of the helical post,
Further comprising a plurality of glass wash nozzles. 제3항에 있어서,
상기 하우징 내부에 수용되어 상기 에어 유도관과 고정 체결되고, 버튼 누름 이벤트에 대응하여 상기 에어 유도관의 좌우 이동을 제어하는 하나 이상의 액츄에이터
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 글라스 세척노즐장치.The method of claim 3,
At least one actuator which is accommodated in the housing and is fixedly coupled with the air induction pipe and which controls the lateral movement of the air induction pipe in response to a button pressing event,
Further comprising a plurality of glass wash nozzles. 제3항에 있어서,
상기 에어 노즐은 상기 제2 에어 유입구를 통해 상기 에어 유도관으로부터 유입되는 에어가 상기 워터 노즐의 하단 내부영역으로 분출되도록 가이드하는 나선형 경로를 구비하고,
상기 에어 노즐로부터 분출되는 에어는 상기 워터 노즐의 하단 내부영역으로 분출되고, 상기 워터 유로를 통해 상기 워터 노즐의 하단 내부영역으로 전달된 워터와 상기 에어가 혼합되어 함께 상기 워터 노즐의 외부로 분사되는 것을 특징으로 하는 글라스 세척노즐장치.The method of claim 3,
Wherein the air nozzle has a spiral path for guiding the air introduced from the air induction pipe through the second air inlet to be sprayed into a lower inner region of the water nozzle,
The air ejected from the air nozzle is ejected into the lower end internal area of the water nozzle and the water transferred to the lower end internal area of the water nozzle through the water passage is mixed with the air and injected together with the air outside the water nozzle Wherein the glass cleaning nozzle device comprises:
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