KR101498434B1 - Rotary Vibrator and Vibratory Conveying Apparatus using the same - Google Patents

Rotary Vibrator and Vibratory Conveying Apparatus using the same Download PDF

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KR101498434B1 KR20140168363A KR20140168363A KR101498434B1 KR 101498434 B1 KR101498434 B1 KR 101498434B1 KR 20140168363 A KR20140168363 A KR 20140168363A KR 20140168363 A KR20140168363 A KR 20140168363A KR 101498434 B1 KR101498434 B1 KR 101498434B1
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쥰이치 하라
유키 기우치
도모유키 와타나베
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가부시기가이샤 다이신
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Abstract

The objective of the present invention is to provide a rotary vibrator capable of easily realizing vibratory performance suitable for conveyance. The rotary vibrator (10) comprises a support unit (11), a vibration unit (12), and a vibratory structure (13) which is connected between the support unit (11) and the vibration unit (12). The vibration unit (12) is vibrated along a direction of rotating a circumference of an axis line (12x), and the vibratory structure (13) has multiple vibratory units (13A to 13C) at the circumference of the axis line (12x). Each of the vibratory units includes: a first elastic area (13a) which has a plate shape, is extended to the internal circumference at the same time being connected to the support unit (11) and is bending-deflected in the direction of rotating the circumference of the axis line (12x); a second elastic area (13b) which has a plate shape, is extended to the internal circumference at the same time being connected to the vibration unit (12), and is bending-deflected in the direction of rotating the circumference of the axis line (12x); a connection area (13c) to connect the internal end of the first elastic area (13a) and the internal end of the second elastic area (13b); and a piezoelectric unit (13p) to bending-vibrate at least one of the first elastic area (13a) and the second elastic area (13b), wherein the connection area (13c) configures a free end of a vibration.

Description

회전 진동기 및 이것을 사용한 진동식 반송 장치{Rotary Vibrator and Vibratory Conveying Apparatus using the same}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a rotary vibrator and a vibratory conveying device using the same,

본 발명은 회전 진동기 및 이것을 사용한 진동식 반송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a rotary vibrator and a vibration type conveying apparatus using the same.

일반적으로, 나선형상의 반송로를 구비한 보울형 파츠 피더 등의 진동식 반송 장치에 있어서는, 보울형 반송체를 축선의 둘레를 회전하는 방향으로 왕복 진동시키기 위한 회전 진동기를 사용한다. 이 회전 진동기로서는, 예를 들어, 이하의 특허문헌 1에 나타내는 바와 같이, 지지체와, 이 지지체 상에 가진부를 개재시켜 접속된 진동체(상부 진동반)를 가지고, 상기 가진부로서, 지지체상에 설치된 압전 구동체를 비스듬히 위쪽으로 올린 자세로 부착하고, 이 압전 구동체의 상단에 증폭 스프링을 접속하고, 이 증폭 스프링을 상기 진동체에 접속한 구조의 가진부를 축선의 둘레에 복수 부착한, 종형의 가진 구조를 구비한 것이 알려져 있다. 이들 복수의 가진부에 의해, 진동체는, 축선 둘레의 주회방향을 따라 축선과 직교하는 수평면에 대하여 비스듬히 위쪽으로 향하여 진동하기 때문에, 진동체상에 설치된 반송체(반송 보울)의 중앙 저부로부터 내주면에 형성된 나선형상의 반송로를 따라 반송물을 위쪽으로 반송해 갈 수 있다.BACKGROUND ART [0002] In general, in a vibrating-type conveying apparatus such as a bowl-type part feeder having a spiral-shaped conveying path, a rotary vibrator is used for reciprocating a bowl-like conveying body in the direction of rotation around the axis. As the rotary vibrator, for example, as shown in the following patent document 1, there is a support body and a vibrating body (upper vibration plate) connected via a vibrating part on the support body, and as the vibrating part, And an amplifying spring is connected to an upper end of the piezoelectric driving body and a plurality of vibrating members having a structure in which the amplifying spring is connected to the vibrating body are attached to the periphery of the axis, Is known to have a structure with a magnetic field. Since the vibrating body oscillates upward obliquely with respect to a horizontal plane perpendicular to the axis along the main-axis direction around the axis, the vibrating body oscillates from the central bottom portion to the inner peripheral surface of the carrying body (transporting bowl) The conveyed object can be conveyed upward along the formed spiral-shaped conveyor path.

상기 종형의 가진 구조를 구비한 회전 진동기에 있어서는, 지지체와 진동체의 사이에, 압전 구동체와 증폭 스프링을 직렬로 접속한 가진부가 비스듬히 위쪽으로 입상하도록 부착되어 있으므로, 가진 구조가 높아지기 때문에, 장치를 높이 방향으로 콤팩트하게 구성하는 것이 어렵다. 또한, 가진부의 증폭 스프링의 상단에 접속되는 진동체가 상하로 불안정하게 진동하기 쉽기 때문에, 반송 속도를 높이면 반송물이 상하로 날뛰거나, 반송 자세가 불안정하게 된다고 하는 문제점이 있다. 그래서, 이하의 특허문헌 2 내지 4에 나타내는 바와 같이, 축선 둘레의 복수 개소에, 압전 구동체와 증폭 스프링을 직렬로 접속한 가진부를 지지체와 진동체의 사이에 있어서 반경 방향으로 신장되도록 배치한 횡형의 가진 구조를 구비한 회전 진동기가 개발되었다. 이 회전 진동기에 의하면, 장치를 높이 방향으로 콤팩트하게 구성할 수 있는 동시에, 축선 둘레의 원호를 따라 진동체를 가진 할 수 있음으로써 구동 효율을 높일 수 있고, 게다가, 상하 방향의 불안정한 진동을 저감시킬 수 있기 때문에, 반송물이 날뜀을 억제하고, 반송 자세를 안정시킬 수 있다고 하는 이점이 있다.In the rotary vibrator having the above-mentioned vertical vibrating structure, since the excitation structure in which the piezoelectric actuating member and the amplifying spring are connected in series and the excitation member is attached so as to rise up obliquely upward is provided between the support and the vibrating member, So that it is difficult to compactly configure it in the height direction. Further, since the vibrating body connected to the upper end of the amplifying spring of the exciting part is likely to oscillate up and down unstably, if the conveying speed is increased, there is a problem that the conveyed object jumps up and down and the conveying posture becomes unstable. Thus, as shown in the following Patent Documents 2 to 4, a vibrating portion, in which a piezoelectric actuator and an amplifying spring are connected in series, is disposed at a plurality of locations around an axis, in a horizontally Has been developed. According to this rotary vibrator, the apparatus can be compactly constructed in the height direction, and the vibrating body can be provided along the arc around the axis, so that the driving efficiency can be increased, and further, the unstable vibration in the vertical direction can be reduced There is an advantage that the conveyed object can be prevented from slipping and the conveying posture can be stabilized.

일본국 특개 평 4-189214호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-189214 일본국 특개2007-161454호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-161454 일본국 특허 제4280291호 공보Japanese Patent No. 4280291 일본국 특허 제4532591호 공보Japanese Patent No. 4532591

그러나, 상술한 횡형의 가진 구조를 귀한 회전 진동기에 있어서는, 축선 둘레에 배치된 복수의 가진부의 내단부를 지지체의 중앙부에 고정하고, 가진부의 외단부를 진동체의 외주부에 접속할 필요가 있기 때문에, 복수의 가진부의 내단부가 상호 간섭하지 않도록 하기 위해서는, 가진부의 내단부를 지지체의 중심에 있는 축선에 근접시켜 설치할 수 없으며, 또한, 가진부의 반경 방향의 길이는 회전 진동기의 공진 주파수와의 관계에 의해 제약을 받는 동시에 진동체의 진폭에도 영향을 받으므로, 용이하게 짧게 구성할 수 없기 때문에, 회전 진동기의 외경이 증대한다고 하는 문제가 있다.However, in the rotary vibrator of which the above-described horizontal type vibrating structure is prevalent, since the inner end portions of the plurality of exciting portions disposed around the axis are fixed to the central portion of the supporting body and the outer end portions of the exciting portion are connected to the outer peripheral portion of the vibrating body, The inner end portion of the exciting portion can not be disposed close to the axis line at the center of the supporting body and the length of the exciting portion in the radial direction is restricted by the relationship with the resonating frequency of the rotating vibrating body It is affected by the amplitude of the vibrating body at the same time as it is received, so that it can not be constructed easily in a short way, and thus there is a problem that the outer diameter of the rotating vibrating body is increased.

또한, 회전 진동기의 반경 방향의 치수의 제약으로부터, 상기 횡형의 가진 구조는, 종형의 가진 구조에 비하여 각 가진부의 길이를 충분히 확보할 수 없기 때문에, 필요한 스프링 정수를 얻기 위해서는 압전 구동체의 두께를 얇게 할 필요가 있다. 그런데, 압전 구동체를 얇게 하면, 진동체 및 반송체의 지지 강성을 확보하기 어려워지는 동시에, 압전체의 파손을 초래할 위험성이 증대한다고 하는 문제도 있다.Further, from the limitation of the radial dimension of the rotary vibrator, the lateral excitation structure can not sufficiently secure the length of each exciting portion as compared with the vertical excitation structure. Therefore, in order to obtain the necessary spring constant, It needs to be thinned. However, if the piezoelectric actuator is made thinner, it is difficult to secure the support rigidity of the vibrating body and the carrying body, and there is also a problem that the risk of causing breakage of the piezoelectric body is increased.

더욱이, 진동체 및 반송체를 안정되게 진동시키고, 충분한 진폭을 확보하기 위해서는, 지지체의 질량을 진동체나 반송체의 질량보다도 어느 정도 크게 할 필요가 있는데, 복수의 가진부의 내주측 부분을 상호 간섭하지 않는 범위에서 축선에 근접하여 배치하면, 복수의 가진부의 내주측 부분이 상호 근접하기 때문에, 이들을 회피하기 위해 지지체의 중앙부를 오목형상 혹은 관통형상으로 제거할 필요가 생기기 때문에, 지지체의 중량을 충분히 확보하기 위해서는, 지지체의 높이 또는 반경을 증가시켜야 한다.Furthermore, in order to stably vibrate the vibrating body and the carrying body and secure a sufficient amplitude, it is necessary to make the mass of the supporting body larger than the mass of the vibrating body and the carrying body. It is necessary to remove the center portion of the support body in a concave or a piercing shape in order to avoid them, so that the weight of the support body is sufficiently secured , The height or radius of the support must be increased.

그래서, 본 발명은 상기 문제점을 해결하는 것으로, 그 과제는, 반송에 적합한 가진 성능을 실현할 수 있는 회전 진동기 및 이것을 사용한 진동식 반송 장치를 제공하는 것에 있다. 또한, 다른 과제는, 가진 구조의 개량에 의해, 상기 가진 성능을 확보하여도 장치 사이즈의 대형화를 야기하기 어려운 구조를 실현하는 것에 있다. 또 다른 과제는, 가진 구조의 개량에 의해, 상기 가진 성능을 확보하고도 내구성의 저하를 초래하기 어려운 구조를 실현하는 것에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a rotary vibrator capable of realizing an exciting performance suitable for transportation and a vibratory transport apparatus using the same. Another object of the present invention is to realize a structure which is difficult to increase the size of the device even if the exciting performance is ensured by the improvement of the excitation structure. Another object of the present invention is to realize a structure which is less prone to deterioration in durability even when the exciting performance is ensured by the improvement of the excitation structure.

이러한 실정에 비추어, 본 발명의 회전 진동기(10)는, 지지체(11)와, 이 지지체(11)의 위쪽에 배치된 진동체(12)와, 상기 지지체(11)와 상기 진동체(12)와의 사이에 접속된 가진 구조(13)를 구비하고, 상기 진동체(12)가 소정의 축선(12x)의 둘레를 회전하는 방향을 따라 진동하는 회전 진동기(10)로서, 상기 가진 구조(13)는 상기 축선(12x)의 둘레에 마련된 복수의 가진부(13A, 13B, 13C)를 가지고, 상기 가진부(13A, 13B, 13C)는, 상기 지지체(11)에 접속되는 동시에 내주측으로 신장되고, 상기 축선(12x)의 둘레를 회전하는 방향으로 휨 변형하는 판형상의 제1의 탄성 영역(13a)과, 상기 진동체(12)에 접속되는 동시에 내주측으로 신장되고, 상기 축선(12x)의 둘레를 회전하는 방향으로 휨 변형하는 판형상의 제2의 탄성 영역(13b)과, 상기 제1의 탄성 영역(13a)의 내단부와 상기 제2의 탄성 영역(13b)의 내단부를 접속하는 접속 영역(13c)과, 상기 제1의 탄성 영역(13a)과 상기 제2의 탄성 영역(13b)의 적어도 한쪽을 상기 축선(12x)의 둘레를 회전하는 방향으로 휨 진동시키는 압전체(13p)를 가지고, 상기 접속 영역(13c)이 구속력을 받지 않는 진동의 자유단을 구성하고, 상기 지지체(11)에 대한 상기 제1의 탄성 영역(13a)의 접속 개소와, 상기 진동체(12)에 대한 상기 제2의 탄성 영역(13b)의 접속 개소가 상기 축선(12x)의 둘레를 따른 방향에서 보았을 때에 역위상으로 진동하는 것을 특징으로 한다.A vibrating body 12 disposed above the supporting body 11 and a vibrating body 12 which is disposed above the supporting body 11 and the vibrating body 12. [ And a vibration structure (13) connected between the vibrating structure (12) and the vibrating structure (12), the vibrating structure (12) vibrating along a direction of rotation about a predetermined axis (12x) 13B and 13C provided on the periphery of the axis 12x and the exciting sections 13A, 13B and 13C are connected to the supporting body 11 and extend to the inner circumferential side, Shaped first elastic region 13a which is deformed in a direction to rotate around the axis 12x and a second elastic region 13b which is connected to the oscillator 12 and which extends to the inner circumferential side, A second elastic region (13b) of a plate-like shape bent and deformed in a rotating direction, an inner end of the first elastic region (13a) A connecting region 13c connecting the inner end of the region 13b and a connecting region 13c connecting at least one of the first elastic region 13a and the second elastic region 13b in a direction And the connection region 13c constitutes a free end of vibration which is not subjected to restraining force and is connected to the connecting portion of the first elastic region 13a with respect to the supporting body 11 , And a connection point of the second elastic region (13b) with respect to the vibrating body (12) vibrates in an opposite phase when viewed in a direction along the circumference of the axis (12x).

본 발명에 있어서, 상기 제2의 탄성영역(13b)은, 상기 접속 영역(13c)에 접속되는 내주측 탄성 기판부(14b)와, 이 내주측 탄성 기판부(14b)와 상기 진동체(12)와의 사이에 접속되는 외주측 탄성 스프링(15)을 가지는 것이 바람직하다.In the present invention, the second elastic region 13b includes an inner peripheral side elastic substrate portion 14b connected to the connection region 13c, an inner peripheral side elastic substrate portion 14b and the vibrating body 12 And an outer peripheral side elastic spring 15 connected between the outer peripheral side elastic spring 15 and the outer peripheral side elastic spring 15.

이 경우에 있어서, 상기 제1의 탄성 영역(13a), 상기 접속 영역(13c) 및 상기 내주측 탄성 기판부(14b)는, 일체의 탄성 기판에 의해 구성되는 것이 바람직하다. 이때, 상기 압전체는, 상기 제1의 탄성 영역(13a) 또는 상기 제2의 탄성 영역(13b)으로부터 상기 접속 영역(13c)에 도달하는 범위에 적층되어 있는 것이 가장 바람직하다.In this case, it is preferable that the first elastic region 13a, the connection region 13c, and the inner peripheral side elastic substrate portion 14b are constituted by integral elastic substrates. At this time, it is most preferable that the piezoelectric body is laminated in a range from the first elastic region 13a or the second elastic region 13b to the connection region 13c.

본 발명에 있어서, 상기 제1의 탄성 영역(13a)과 상기 제2의 탄성 영역(13b)은, 상기 축선(12x)을 따른 방향(Q)에 배열되어 있는 것이 바람직하다. 이 경우에 있어서, 상기 제1의 탄성 영역(13a), 상기 접속 영역(13c) 및 상기 내주측 탄성 기판부(14b)는, 일체의 탄성 기판에 의해 구성되는 것이 바람직하다. 이때, 상기 압전체는, 상기 제1의 탄성 영역(13a) 또는 상기 제2의 탄성 영역(13b)으로부터 상기 접속 영역(13c)에 도달하는 범위에 적층되어 있는 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the first elastic region 13a and the second elastic region 13b are arranged in the direction Q along the axis 12x. In this case, it is preferable that the first elastic region 13a, the connection region 13c, and the inner peripheral side elastic substrate portion 14b are constituted by integral elastic substrates. At this time, it is preferable that the piezoelectric body is laminated in a range from the first elastic region 13a or the second elastic region 13b to the connection region 13c.

본 발명에 있어서, 상기 제1의 탄성 영역(13a) 및 상기 제2의 탄성 영역(13b)은, 상기 축선(12x)과 직교되는 평면에 대하여 비스듬히 위쪽으로 향한 판 면을 구비하고, 상기 가진 구조(13)는, 상기 진동체(12)를, 상기 축선(12x)의 둘레를 회전하는 방향을 따라 상기 판 면의 법선을 따른 비스듬한 방향으로 진동시키는 것이 바람직하다.In the present invention, the first elastic region 13a and the second elastic region 13b are provided with a plate surface which faces obliquely upward with respect to a plane orthogonal to the axis 12x, It is preferable that the vibrating body 13 vibrates the vibrating body 12 in an oblique direction along the normal line of the plate surface along the direction of rotation around the axis 12x.

본 발명에 있어서, 상기 가진 구조(13)는, 상기 축선(12x)의 둘레에 120도 간격으로 배치된 3개의 가진부(13A, 13B, 13C)에 의해 구성되는 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the vibrating structure 13 is constituted by three exciting portions 13A, 13B, and 13C arranged at intervals of 120 degrees around the axis 12x.

본 발명에 있어서, 상기 지지체(11)는, 상기 가진 구조(13)의 각 가진부(13A, 13B, 13C)를 수용하기 위한 반경 방향으로 신장되는 복수의 가진부 수용홈(11A, 11B, 1C)과, 이 복수의 가진부 수용홈(11A, 11B, 11C)의 사이에 형성되어 위쪽으로 향하여 돌출하는 랜드부(11P, 11Q, 11R)를 구비하고, 상기 진동체(12)는, 아래쪽으로 돌출하여 상기 가진부 수용홈(11A, 11B, 1C) 내에 배치되는 복수의 피동부(12A, 12B, 12C)를 구비하고, 상기 가진부(13A, 13B, 13C)의 상기 제1의 탄성 영역(13a)의 외단부는, 상기 가진부 수용홈(11A, 11B, 11C)에 면하는 상기 랜드부(11P, 11Q, 11R)의 내측면(11d)에 접속되는 동시에, 상기 제2의 탄성 영역(13b)의 외단부는, 상기 가진부 수용홈(11A, 11B, 11C) 내에 배치되는 상기 피동부(12A, 12B, 12C)의 외측면(12d)에 접속되는 것이 바람직하다.In the present invention, the support 11 includes a plurality of excitation receiving grooves 11A, 11B, 1C (not shown) extending in the radial direction for receiving the exciting portions 13A, 13B, 13C of the excitation structure 13, And land portions 11P, 11Q, and 11R that are formed between the plurality of exciting portion receiving grooves 11A, 11B, and 11C and protruding upward, (12A, 12B, 12C) protruding from the first elastic region (13A, 13B, 13C) of the vibrating section and arranged in the vibrating section receiving grooves 13a are connected to the inner side surfaces 11d of the land portions 11P, 11Q, 11R facing the excitation portion receiving grooves 11A, 11B, 11C, and the outer ends of the second elastic regions 13b are preferably connected to the outer surface 12d of the driven portions 12A, 12B, 12C disposed in the exciting portion receiving grooves 11A, 11B, 11C.

본 발명에 있어서, 상기 외주측 탄성 스프링(15)은, 상기 축선(12x)을 중심으로 하는 반경 방향으로 신축 가능한 양태로 상기 반경 방향을 따라 굴곡된 형상을 가지는 것이 바람직하다. 이 경우에 있어서, 상기 외주측 탄성 스프링(15)은, 상기 내주측 탄성 기판부(14b)보다도 휨 변형이 용이하게 되도록 구성되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 외주측 탄성 스프링(15)을 내주측 탄성 기판부(14b)보다도 박육으로 구성하거나, 좁은 폭으로 구성하거나 적어도 한쪽에 구성하는 것이 바람직하다. 후자의 경우에는, 외주측 탄성 스프링(15)의 굴곡부를 양단부(15a, 15b)보다 좁은 폭으로 구성하는 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the outer peripheral side elastic spring 15 has a shape bent along the radial direction in such a manner that it can expand and contract in the radial direction around the axial line 12x. In this case, it is preferable that the outer peripheral side elastic spring 15 is configured so as to be more easily deformed more flexibly than the inner peripheral side elastic substrate portion 14b. For example, it is preferable that the outer peripheral side elastic spring 15 is formed to be thinner than the inner peripheral side elastic substrate portion 14b, or to have a narrow width or at least one side. In the latter case, it is preferable that the bent portion of the outer peripheral side elastic spring 15 is formed to have a narrower width than the both end portions 15a and 15b.

본 발명에 있어서, 상기 외주측 탄성 스프링(15)은, 상기 내주측 탄성 기판부(14b)의 외단부의 측면에 대하여 한쪽 측에서 겹쳐 접속 고정되는 동시에, 다른 쪽 측으로 굴곡하여 상기 내주측 탄성 기판부(14b)의 반경 방향 외주측으로 신장되는 것이 바람직하다.In the present invention, the outer peripheral side elastic spring (15) is connected and fixed to one side of the outer peripheral side surface of the inner peripheral side elastic substrate portion (14b) by overlapping and bent to the other side, It is preferable to extend to the radially outer side of the portion 14b.

또한, 본 발명의 진동식 반송 장치(20)는, 상술한 각 회전 진동기(10)와, 상기 진동체(12)에 고정되고, 혹은, 상기 진동체(12)와 일체로 구성되는 동시에, 반송물을 반송하기 위한 나선형상의 반송로(21b)를 구비한 반송체(21)를 구비하는 것을 특징으로 한다.The vibratory transport apparatus 20 of the present invention is constituted by the above-described rotary vibrator 10 and the above-described vibrator 12 or is integrally formed with the vibrator 12, And a conveying body 21 having a spiral-shaped conveying path 21b for conveying.

본 발명에 의하면, 장치 구조의 대형화를 초래하는 일 없이, 반송에 적합한 가진 성능을 용이하게 실현할 수 있다고 하는 뛰어난 효과를 가져올 수 있다.According to the present invention, it is possible to achieve an excellent effect that the vibrating performance suitable for transportation can be easily realized without increasing the size of the device structure.

도 1은 본 발명에 따른 실시 형태의 회전 진동기의 평면도 및 정면도이다.
도 2는 동 실시 형태의 회전 진동기의 진동체(상부 진동반)를 제외한 상태의 평면도 및 정면도이다.
도 3은 동 실시 형태의 가진부를, 축선 둘레의 회전 방향에서 본 도면 및 반경 방향 외주측에서 본 도면이다.
도 4는 동 실시 형태의 가진부의 사시도이다.
도 5는 동 실시 형태의 가진부의 진동 시의 모습을 나타내는 평면도(a) 내지 (c)이다.
도 6은 동 실시 형태의 가진 구조의 위치 관계를 모식적으로 나타내는 설명도이다.
도 7은 동 실시 형태의 다른 가진부의 예를 나타내는 개략 측면도이다.
도 8은 동 실시 형태의 다른 가진부의 예를 나타내는 개략 평면도이다.
도 9는 동 실시 형태의 다른 가진부의 예를 나타내는 개략 평면도이다.
도 10은 동 실시 형태의 회전 진동기를 사용한 진동식 반송 장치의 구조를 나타내는 개략 부분 단면도이다.1 is a plan view and a front view of a rotary vibrator according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a plan view and a front view of a state in which the vibrating body (upper vibration half) of the rotary vibrator of the embodiment is removed.
Fig. 3 is a view of the vibrating section of the embodiment seen from the direction of rotation about the axis and the radial direction.
4 is a perspective view of the excitation portion of the embodiment.
Fig. 5 is a plan view (a) to Fig. 5 (c) showing a vibrating state of the vibrating portion of the embodiment. Fig.
Fig. 6 is an explanatory view schematically showing the positional relationship of the vibrating structure of the embodiment. Fig.
Fig. 7 is a schematic side view showing an example of another excitation part of the embodiment. Fig.
Fig. 8 is a schematic plan view showing an example of another exciting section of the embodiment. Fig.
Fig. 9 is a schematic plan view showing an example of another excitation part of the embodiment. Fig.
10 is a schematic partial cross-sectional view showing a structure of a vibrating-type transport apparatus using a rotary vibrator of the embodiment.

다음으로, 첨부 도면을 참조하여 본 발명에 따른 회전 진동기 및 이것을 구비한 진동식 반송 장치의 실시 형태에 대하여 상세하게 설명한다. 처음으로 도 1 내지 도 4를 참조하여, 본 실시 형태의 회전 진동기(10)의 전체 구성에 대하여 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, with reference to the accompanying drawings, embodiments of a rotary vibrator and a vibratory transfer apparatus having the same according to the present invention will be described in detail. First, the entire configuration of the rotary vibrator 10 of the present embodiment will be described with reference to Figs. 1 to 4. Fig.

이 회전 진동기(10)에 있어서는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 외주가 원통 형상으로 구성된 지지체(지지 베이스)(11)가 평면 원환형상의 실리콘 고무 외 기타 고무 소재로 이루어지는 방진 부재(16)를 개재시켜 원반형상의 기대(17) 상에 부착되어 있다. 이 지지체(11)의 위쪽에는 대략 원반형상의 상부 진동반으로서 구성되고, 축선(12x)을 가지는 진동체(12)가 가진 구조(13)를 개재시켜 부착되어 있다. 진동체(12)의 상면에는 대략 평탄한 반송체 부착면(12a)이 링형상으로 마련되어 있다. 지지체(11)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 축선(12x)으로부터 반경 방향으로 신장되는 가진부 수용홈(11A, 11B, 11C)을 가진다. 또한, 이들의 가진부 수용홈(11A, 11B, 11C)의 사이에는, 위쪽으로 돌출하여 평탄한 상면을 가지는 랜드부(11P, 11Q, 11R)가 마련되어 있다. 또한, 랜드부(11P)의 상면의 중앙부에는 오목부(11S)가 형성되고, 이 오목부(11S) 내에 가진 구조(13)를 구동하기 위한 배선용의 커넥터를 탑재한 단자대(11T)가 수용되어 있다. 그리고, 도 2에 있어서는, 가진 구조(13)와 단자대(11T)와의 사이의 배선 및 단자대(11T)와 외부의 제어 장치(컨트롤러)와의 사이의 배선과, 가진 구조(13)에 포함되는 후술하는 압전체(13p)를 생략하고 있다.1, a support (support base) 11 having a cylindrical outer periphery is provided with an anti-vibration member 16 made of a rubber material other than a planar annular silicone rubber, And is mounted on the disk-shaped base 17. Above the support 11 is formed a substantially disc-shaped upper vibrating half and is attached via a structure 13 having a vibrating body 12 having an axis 12x. On the upper surface of the vibrating body 12, a substantially planar carrier-carrying surface 12a is provided in a ring shape. As shown in Fig. 2, the supporting body 11 has exciting receiving grooves 11A, 11B and 11C extending in the radial direction from the axis 12x. Between the exciter receiving grooves 11A, 11B, and 11C, land portions 11P, 11Q, and 11R having upwardly projecting and flat upper surfaces are provided. A concave portion 11S is formed at the center of the upper surface of the land portion 11P and a terminal block 11T carrying a wiring connector for driving the structure 13 contained in the concave portion 11S is accommodated have. 2, the wiring between the excitation structure 13 and the terminal block 11T and the wiring between the terminal block 11T and an external control device (controller) The piezoelectric body 13p is omitted.

가진 구조(13)는, 상기의 가진부 수용홈(11A, 11B, 11C)에 각각 수용 배치되는 가진부(13A, 13B, 13C)를 가지고 있다. 가진부(13A, 13B, 13C)는 전체적으로 대략 U자 형상 혹은 대략 ㄷ자 형상으로 구성되어 외주측의 상하 위치에 배치된 양단부를 가지고, 이들의 양단부 중의 한쪽(도시예에서는 아래쪽에 배치된 단부)은, 가진부 수용홈(11A, 11B, 11C)의 내부에 면하는, 축선(12x)의 둘레의 회전 방향의 같은 쪽에 각각 인접하는 랜드부(11P, 11Q, 11R)의 측면에 부착된다. 구체적으로는, 가진부(13A)는, 가진부 수용홈(11A) 내에 배치되는 동시에, 그 일단부는 랜드부(11Q)의 외주측 측면부에 접속 고정되고, 가진부(13B)는, 가진부 수용홈(11B) 내에 배치되는 동시에, 그 일단부는 랜드부(11R)의 외주측 측면부에 접속 고정되고, 가진부(13C)는, 가진부 수용홈(11C) 내에 배치되는 동시에, 그 양단부는 랜드부(11P)의 외주측 측면부에 접속 고정된다.The vibrating structure 13 has exciting portions 13A, 13B and 13C accommodated and disposed in the exciting receiving grooves 11A, 11B and 11C, respectively. Each of the engaging portions 13A, 13B, and 13C has a substantially U-shaped or substantially U-shaped shape and has both end portions disposed at upper and lower positions on the outer circumferential side. One of the both ends (the end disposed at the lower side in the illustrated example) 11Q, and 11R adjacent to the same side in the rotational direction around the axis 12x facing the inside of the exciting groove receiving grooves 11A, 11B, and 11C. More specifically, the exciting section 13A is disposed in the exciting section receiving groove 11A, and one end thereof is fixedly connected to the outer circumferential side surface section of the land section 11Q, And one end portion thereof is connected and fixed to the outer circumferential side surface portion of the land portion 11R and the exciting portion 13C is disposed in the exciting portion receiving groove 11C and both ends thereof are connected to the land portion 11B, And is fixedly connected to the outer circumferential side surface portion of the outer surface 11P.

가진부(13A, 13B, 13C)는, 도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 지지체(11)에 접속되는 외단부를 구비한 제1의 탄성 영역(13a)과, 가진체(12)에 접속되는 외단부를 구비한 제2의 탄성 영역(13b)과, 상기 제1의 탄성 영역(13a)과 제2의 탄성 영역(13b)을 내주측에서 접속하는 접속 영역(13c)을 구비하고 있다. 여기서, 제1의 탄성 영역(13a)과 제2의 탄성 영역(13b)은 모두 판 형상으로 구성되고, 축선(12x)을 따른 방향(도시한 상하 방향)에 인접하여 배치된다. 상기 제1의 탄성 영역(13a)은 지지측 탄성 기판부(14a)에 의해 구성된다. 또한, 제2의 탄성 영역(13b)은, 본 실시 형태에서는 탄성 기판(14)의 일부를 구성하는 내주측 탄성 기판부(14b)와, 이 내주측 탄성 기판부(14b)의 외단부와, 상기 진동체(12)와의 사이에 접속되는 외주측 탄성 스프링(15)을 가진다. 더욱이, 접속 영역(13c)은 접속측 탄성 기판부(14c)에 의해 구성된다. 본 실시 형태의 경우에는, 지지측 탄성 기판부(14a), 접속측 탄성 기판부(14c) 및 내주측 탄성 기판부(14b)는 일체의 탄성 기판(14)에 의해 구성되어 있다. 이 탄성 기판(14)에 있어서, 접속측 탄성 기판부(14c)와 내주측 탄성 기판부(14b)의 표리 양면에는 압전판체(13p)가 적층되고, 이 압전체(13p)의 표리에 도시하지 않은 배선을 개재시켜 교번전압을 인가함으로써, 탄성 기판(14)이 휨 변형되어, 진동을 발생시키도록 되어 있다. 외주측 탄성 스프링(15)은, 탄성 기판(14)보다 휨 변형이 용이한 탄성 특성을 가지고, 이로써, 진동시에 있어서의 진동체(12)의 진폭을 증대시키는 진폭 스프링으로서의 기능을 구비하고 있다.As shown in Figs. 3 and 4, the exciting portions 13A, 13B, and 13C each include a first elastic region 13a having an outer end connected to the supporting body 11, And a connection region 13c connecting the first elastic region 13a and the second elastic region 13b from the inner circumferential side. Here, the first elastic region 13a and the second elastic region 13b are both formed in a plate shape, and are arranged adjacent to each other along the axis 12x (the vertical direction shown in the figure). The first elastic region 13a is constituted by a supporting-side elastic substrate portion 14a. The second elastic region 13b has an inner peripheral side elastic substrate portion 14b constituting a part of the elastic substrate 14 and an outer end portion of the inner peripheral side elastic substrate portion 14b, And an outer peripheral side elastic spring (15) connected between the vibrating body (12) and the vibrating body (12). Furthermore, the connection region 13c is constituted by the connection-side elastic substrate portion 14c. In the case of the present embodiment, the supporting-side elastic substrate portion 14a, the connecting-side elastic substrate portion 14c, and the inner peripheral-side elastic substrate portion 14b are constituted by the integral elastic substrate 14. The piezoelectric substrate 13p is laminated on both the front and back surfaces of the connection-side elastic substrate portion 14c and the inner circumferential-side elastic substrate portion 14b of the elastic substrate 14, By applying an alternating voltage across the wiring, the elastic substrate 14 is flexibly deformed to generate vibration. The outer peripheral side elastic spring 15 has elasticity characteristics such that it is easier to bend deformation than the elastic substrate 14 and thereby has the function as an amplitude spring for increasing the amplitude of the vibrating body 12 at the time of vibration.

탄성 기판(14)은, 전체적으로 U자형상 혹은 ㄷ자형상으로 구성된 판형상체이고, 상기 지지측 탄성 기판부(14a)와 내주측 탄성 기판부(14b)는, 모두 축선(12x)을 중심으로 하는 반경 방향으로 병행하여 신장되어 있다. 지지측 탄성 기판부(14a)와 내주측 탄성 기판부(14b)의 사이에는 슬릿(14s)이 형성되어 있다. 이 슬릿(14s)은, 압전체(13p)의 반경 방향의 중앙부까지 신장되어, 지지측 탄성 기판부(14a)와 내주측 탄성 기판부(14b)를 분리하고 있다. 슬릿(14s)의 선단부보다도 내주측은 상기 접속측 탄성 기판부(14c)로 이루어지고, 지지측 탄성 기판부(14a)와 내주측 탄성 기판부(14b)를 일체로 접속하고 있다. 제1의 탄성 영역(13a), 즉, 지지측 탄성 기판부(14a)는, 내주측 탄성 기판부(14b)의 외단부보다도 반경 방향 외주측에 연재되고, 외주측 탄성 스프링(15)과 병행하여 신장되고, 외주측 탄성 스프링(125)의 외단부와 반경 방향에서 보아 거의 같거나, 그것보다도 약간 외주측으로 튀어나온 위치에 외단부를 구비하고 있다.The elastic substrate 14 is a generally U-shaped or C-shaped plate-shaped body and both the supporting-side elastic substrate portion 14a and the inner elastic-side substrate portion 14b are arranged in a radial direction centering on the axis 12x As shown in Fig. A slit 14s is formed between the supporting-side elastic substrate portion 14a and the inner-peripheral-side elastic substrate portion 14b. The slit 14s is extended to the radial center of the piezoelectric body 13p to separate the supporting-side elastic substrate portion 14a and the inner-periphery-side elastic substrate portion 14b. The inner side of the distal end of the slit 14s is made of the connection side elastic substrate portion 14c and the supporting side elastic substrate portion 14a and the inner side elastic substrate portion 14b are integrally connected. The first elastic region 13a, that is, the supporting-side elastic substrate portion 14a extends radially outward from the outer end of the inner-side elastic substrate portion 14b, and extends in parallel with the outer-side elastic spring 15 And has an outer end portion at a position that is substantially the same as the outer end portion of the outer peripheral side elastic spring 125 in a radial direction or protrudes slightly outwardly from the outer end portion.

외주측 탄성 스프링(15)은, 상기 탄성 기판(14)보다도 얇은 탄성판으로 구성되고, 내주측 탄성 기판부(14b)의 외단부와 겹쳐서 고정된 내단부(15a)와, 후술하는 진동체(12)에 접속되는 외단부(15b)와, 이들의 양단부(15a, 15b)의 사이에 마련된 굴곡부(15c)를 구비하고 있다. 양단부(15a, 15b)는 모두 반경 방향을 따른 평판형상으로 구성되어 있는데, 굴곡부(15c)는, 도 5(a)에 나타내는 바와 같이, 내주측 탄성 기판부(14b)의 측면상으로부터 탄성 기판(14)의 두께 방향의 중앙부를 향하여 굴곡되고, 지지측 탄성 기판부(14a)의 두께 범위 내에서 다시 반경 방향으로 굴곡되어, 전체적으로 S자형상으로 굴곡된 형상을 구비하고 있다. 그 결과, 외단부(15b)는, 축선(12x)을 따른 방향에 인접하는 지지측 탄성 기판부(14a)의 두께 범위 내에 배치되고, 상기 반경 방향을 따른 평판 형상으로 구성된다.The outer peripheral side elastic spring 15 is composed of an elastic plate thinner than the elastic substrate 14 and includes an inner end portion 15a which is overlapped and fixed to the outer end portion of the inner peripheral side elastic substrate portion 14b, An outer end portion 15b connected to the end portions 15a and 15b and a bent portion 15c provided between the both end portions 15a and 15b. As shown in Fig. 5 (a), the bent portions 15c are formed on the side of the inner elastic substrate portion 14b from the side of the elastic substrate 15b 14 and bent in the radial direction within the thickness range of the supporting-side elastic substrate portion 14a, and is bent in an overall S-shape. As a result, the outer end portion 15b is disposed within the thickness range of the supporting-side elastic substrate portion 14a adjacent to the direction along the axis 12x, and is formed into a flat plate shape along the radial direction.

가진부(13A, 13B, 13C)에 있어서, 제2의 탄성 영역(13b)의 외단부, 즉, 외주측 탄성 스프링(15)의 외단부(15b)는, 진동체(12)의 외주부에 마련된 후술하는 피동부(12c)에 접속된 상태에서는, 진동체(12)에 구속됨으로써, 축선(12x)을 중심으로 하는 원호형상으로 진동한다. 그러나, 외주측 탄성 스프링(15)의 외단부가 진동체(12)로부터 떼어낸 상태에서는, 지지체(11)의 후술하는 부착부(11c)에 접속된 외단부를 구비한 제1의 탄성 영역(13a), 접속 영역(13c), 및 내주측 탄성 기판부(14b)를 개재시켜, 외주측 탄성 스프링(15)이 접속되어 있음으로써, 외주측 탄성 스프링(15)의 외단부(15b)는, 제1의 탄성 영역(13a)의 지지체(11)에 대한 부착 위치와, 가진부의 진동 형태에 따른 진동 궤적을 그린다, 이때, 엄밀하게 보면, 외주측 탄성 스프링(15)의 외단부(15b)는 축선(12x)을 중심으로 하는 원호형상으로는 진동하지 않는 경우가 있다. 이 경우에는, 상기 굴곡부(15c)는, 축선(12x)을 중심으로 하는 반경 방향으로 신축됨으로써, 가진부(13A, 13B, 13C)의 부착 위치 및 진동 형태에 의해 정해지는 외단부(15b)의 비구속 상태에 있어서의 전동 궤적과, 진동체(12)에 접속된 구속 상태에 있어서의 실제의 외단부(15b)의 진동 궤적과의 어긋남을 흡수하는 역할을 다한다. 이 경우에 있어서, 굴곡부(15c)의 상기 반경 방향의 신축성을 높이기 위해서는, 상술한 바와 같이 외주측 탄성 스프링(15)의 두께를 내주측 탄성 기판부(14b)보다도 얇게 하는 동시에, 도시예와 같이 굴곡부(15c)의 폭(도시한 상하폭)을 양단부(15a, 15b)보다도 작게 하는(좁은 폭으로 구성하는) 것이 효과적이다. 도시예에서는, 굴곡부(15c)의 폭방향 양 테두리(도시한 상하 테두리)를 오목곡선형상으로 형성함으로써, 스프링 전체의 변형 형태의 원활함을 확보하는 동시에, 외주측 탄성 스프링(15)의 상기 반경 방향의 추종성을 높이고 있다.The outer end of the second elastic region 13b, that is, the outer end 15b of the elastic spring 15 of the outer periphery of the vibrating body 12 is provided on the outer periphery of the vibrating body 12 In the state of being connected to the driven portion 12c, which will be described later, it is restrained by the vibrating body 12 and thereby oscillated in an arc shape centering on the axis 12x. In the state where the outer end of the outer elastic spring 15 is detached from the vibrating body 12, however, the first elastic region (second elastic region) having the outer end connected to the attachment portion 11c The outer end 15b of the outer peripheral side elastic spring 15 is connected to the outer peripheral side elastic spring 15 via the connecting portion 13a, the connecting region 13c and the inner elastic base portion 14b. The outer end portion 15b of the outer peripheral side elastic spring 15 is formed so as to be inclined with respect to the supporting portion 11 of the first elastic region 13a But may not oscillate in the shape of an arc centering on the axis 12x. In this case, the bending portion 15c is elongated or contracted in the radial direction around the axis 12x so that the outer end 15b defined by the attachment position and the vibration mode of the exciting portions 13A, 13B, And serves to absorb a displacement between the trajectory of the electric motor in the non-restrained state and the trajectory of vibration of the actual outer end 15b in the restrained state connected to the vibrating body 12. [ In this case, in order to increase the radial stretchability of the bent portion 15c, as described above, the thickness of the outer peripheral side elastic spring 15 is made thinner than that of the inner peripheral side elastic substrate portion 14b, It is effective to make the width (vertical width shown) of the bent portion 15c smaller (narrower width) than both ends 15a and 15b. In the illustrated example, the widthwise edges (upper and lower rims shown) of the bent portion 15c are formed in concave curved shapes to ensure smoothness of the deformation of the entire spring, and the radius of the outer peripheral side elastic spring 15 And the followability of the direction is enhanced.

도 2에 나타내는 바와 같이, 지지체(11)의 상기 가진부 수용홈(11A, 11B, 11C)에는, 축선(12x)의 둘레의 회전 방향의 한쪽측(평면도에 있어서 반 시계 방향으로 나아가는 측)에 배치되는 랜드부(11P, 11Q, 11R)의 일부인 부착부(11c)에 그 한쪽측과는 반대의 다른쪽 측(평면도에 있어서 시계 방향으로 나아가는 측)으로 향한 지지측 부착면(11d)이 각각 형성되어 있다. 이 지지측 부착면(11d)상에는, 상기 제1의 탄성 영역(13a)(즉, 지지측 탄성 기판부(14a))의 외단부가 겹쳐진 상태에서 볼트 등에 의해 고정된다.As shown in Fig. 2, the vibrating portion receiving grooves 11A, 11B and 11C of the supporting body 11 are provided with one side (a side moving in the counterclockwise direction in the plan view) in the rotational direction around the axis 12x Side mounting surfaces 11d toward the other side (the side that goes clockwise in the plan view) opposite to the one side thereof are formed on the mounting portion 11c, which is a part of the land portions 11P, 11Q, . An outer end portion of the first elastic region 13a (that is, the supporting-side elastic substrate portion 14a) is fixed on the supporting-side mounting surface 11d by bolts or the like in a state in which the outer ends thereof overlap.

한편, 진동체(12)는, 상기 반송체 부착면(12a)을 구비한 원반형상의 본체부(12b)와, 이 본체부(12b)의 외주 부분으로부터 축선(12x)을 따라 아래쪽으로 돌출하는 복수의 피동부(12c)를 구비하고 있다. 복수의 피동부(12c)는 축선(12x)의 둘레에 있어서, 상기 지지체(11)의 가진부 수용홈(11A, 11B, 11C)에 대응하여 마련되고, 각각 대응하는 가진부 수용홈(11A, 11B, 11C)의 상부에 수용되어 있다. 피동부(12c)에는, 축선(12x)의 둘레의 회전방향의 한쪽측(평면도에 있어서 반 시계 방향으로 나아가는 측)으로 향한 진동측 부착면(12d)이 형성되어 있다. 이 진동측 부착면(12d)상에는, 상기 제2의 탄성 영역(13b)(즉, 외주측 탄성 스프링(15))의 외단부가 겹쳐진 상태에서 볼트 등에 의해 고정된다.On the other hand, the vibrating body 12 has a disk-like main body portion 12b having the carrier mounting surface 12a and a plurality of projecting portions 12a and 12b projecting downward along the axis 12x from the outer peripheral portion of the main body portion 12b And a driven portion 12c. The plurality of driven portions 12c are provided corresponding to the excitation receiving grooves 11A, 11B and 11C of the support 11 on the circumference of the axis 12x, 11B, and 11C. The driven portion 12c is formed with a vibration-side attachment surface 12d which is directed to one side (the side that goes counterclockwise in the plan view) in the rotational direction around the axis 12x. An outer end portion of the second elastic region 13b (i.e., the outer peripheral elastic spring 15) is fixed on the vibration-side attachment surface 12d by bolts or the like in a state in which the outer ends thereof overlap.

본 실시 형태에서는, 후술하는 진동식 반송 장치를 구성하기 위하여, 도 2에 나타내는 바와 같이, 회전 진동기(10)의 진동체(12)는, 축선(12x)의 둘레를 회전하는 방향을 따른 방향이기는 하나, 축선(12x)에 대하여 직교하는 평면(도시한 수평면)을 따른 진동은 아니고, 그 평면에 대하여 1~10도, 바람직하게는 3~7도의 범위 내의 진동각(θ)을 가지는 경사진 방향(Vs)으로 진동한다. 이 진동 방향(Vs)은, 가진부(13A, 13B, 13C)의 판형상의 탄성 영역(13a, 13b)의 면 방위와, 제2의 탄성 영역(13b)의 외단부와 상기 진동측 부착면(12d)의 부착 각도에 의해 정해진다. 본 실시 형태에서는, 가진부(13A, 13B, 13C)를 구성하는 탄성 기판(14)은 평행 평판이고, 또한, 외주측 탄성 스프링(15)은 탄성 기판(14)의 두께 방향으로는 굴곡되어 있되, 비틀림을 가지고 있지 않기 때문에, 가진부(13A, 13B, 13C)는 일정한 면 방위를 가지는 판형상 구조체로 간주할 수 있다. 그리고 제1의 탄성 영역(13a)의 외단부가 부착된 상기 지지측 부착면(11d)은, 축선(12x)과 평행한 수직선에 대하여 진동각(θ)만큼 경사진 방향(Q)을 따른 면이고, 축선(12x)에 직교하는 수평면에 대하여 상기 진동각(θ)만큼 경사진 면 방위, 즉, 상기 진동 방향(Vs)에 일치하는 면 방위를 구비하고 있다. 이들에 의해 가진부(13A, 13B, 13C)가 상기 진동 방향(Vs)을 향한 면 방위를 가지는 자세로 지지체(11)에 부착된다. 이때, 각 가진부의 판형상의 제1의 탄성 영역(13a) 및 제2의 탄성 영역(13B)은, 그 축방향이 상기 방향(Q)과 평행하게 되는 자세로 설치된다. 또한, 도시예에서는, 진동체(12)의 피동부(12c)에 형성된 상기 진동측 부착면(12d)도 상기 방향(Q)을 따른 경사면이 된다. 그리고, 도시예에서는, 가진부 수용홈(11A, 11B, 11C)은, 랜드부(11P, 11Q, 11R)의 상면으로부터 상기 방향(Q)을 따라 파내려 간 형상으로 형성되고, 이들의 홈 내에 면하는 랜드부(11P, 11Q, 11R)의 측면의 주요 부분이 상기 지지측 부착면(11d)과 같은 경사각(θ)을 가지는 면을 이루도록 구성되어 있다.2, the oscillator 12 of the rotary oscillator 10 is oriented along the direction of rotation around the axis 12x in order to construct a vibratory transfer device described later in this embodiment (The horizontal plane shown) orthogonal to the axial line 12x and the inclination direction having the vibration angle? Within the range of 1 to 10 degrees, preferably 3 to 7 degrees relative to the plane Vs. This vibration direction Vs is determined by the plane orientation of the plate-like elastic regions 13a and 13b of the exciting sections 13A, 13B and 13C and the plane orientation of the outer edge of the second elastic region 13b and the vibration- 12d. In the present embodiment, the elastic substrate 14 constituting the exciting portions 13A, 13B, and 13C is a parallel plate, and the outer elastic spring 15 is bent in the thickness direction of the elastic substrate 14 And twisting, the exciting portions 13A, 13B, and 13C can be regarded as plate-like structures having a constant plane orientation. The supporting side attachment face 11d to which the outer end of the first elastic region 13a is attached is a face along a direction Q inclined by a vibration angle? With respect to a vertical line parallel to the axis 12x , And a plane orientation inclined by the vibration angle? With respect to a horizontal plane orthogonal to the axis 12x, that is, a plane orientation coinciding with the vibration direction Vs. Whereby the portions 13A, 13B, and 13C are attached to the support 11 in a posture having a plane orientation toward the vibration direction Vs. At this time, the plate-shaped first elastic region 13a and the second elastic region 13B of each exciting portion are provided in a posture such that the axial direction thereof is parallel to the direction Q. In the illustrated example, the vibration-side attachment surface 12d formed in the driven portion 12c of the vibrating body 12 also becomes an inclined surface along the direction Q. In the illustrated example, the exciting groove receiving grooves 11A, 11B and 11C are formed in such a shape as to descend along the direction Q from the upper surface of the land portions 11P, 11Q and 11R, The major portions of the side surfaces of the land portions 11P, 11Q, and 11R facing each other constitute a surface having the same inclination angle? As the supporting surface 11d.

도 3 및 도 4에 나타내는 압전체(13p)는, 도시예에서는, 탄성 기판(14)의 표리 양면에 각각 점착됨으로써 바이모르프 구조를 구비한 압전 구동체를 구성하고 있다. 단, 탄성 기판(14)의 판 면에만 압전체(13p)를 적층 한 유니모르프 구조를 구비한 압전 구동체를 구성하여도 좋다. 압전체(13p)는 두께 방향으로 분극 처리되어 있어, 압전체(13p)의 표리에 전압을 인가함으로써, 탄성 기판(14)을 휨 변형시킬 수 있다. 본 실시 형태에서는, 압전체(13p)에 대한 교번 전압의 공급에 의해, 내주측 탄성 영역(14b)의 반경 방향을 따른 휨 변형이 번갈아 반대 방향으로 발생하고, 이로써, 제2의 탄성 영역(13b)이 전체적으로 축선(12x)의 둘레의 회전 방향을 따른 상기 진동 방향(Vs)으로 진동하도록 되어 있다.The piezoelectric body 13p shown in Figs. 3 and 4 is bonded to both the front and back surfaces of the elastic substrate 14 in the illustrated example, thereby constituting a piezoelectric actuator having a bimorph structure. However, a piezoelectric driving body having a unimorph structure in which the piezoelectric body 13p is laminated only on the plate surface of the elastic substrate 14 may be constituted. The piezoelectric body 13p is polarized in the thickness direction, and by applying a voltage to the front and rear surfaces of the piezoelectric body 13p, the elastic substrate 14 can be bent and deformed. In the present embodiment, by supplying the alternating voltage to the piezoelectric body 13p, the bending deformation along the radial direction of the inner peripheral side elastic region 14b alternately occurs in the opposite direction, whereby the second elastic region 13b, Is oscillated in the vibration direction Vs along the rotation direction around the axis 12x as a whole.

도 5(b)는, 가진 구조(13)의 하나인 가진부의 기준 자세(비진동시의 자세)를 나타내는 평면도이다. 그리고, 이 평면도는, 도 2에 나타내는 방향(Q)을 따라 비스듬히 위쪽에서 가진부를 본 모습을 나타내고 있다. 제1의 탄성 영역(13a)을 구성하는 지지측 탄성 기판부(14a)의 외단부는, 지지체(11)의 부착부(11c)에 대하여 상기 지지측 부착면(11d)에 밀접된 상태로 접속 고정되고, 제2의 탄성 영역(13b)을 구성하는 외주측 탄성 스프링(15)의 외단부는, 진동체(12)의 피동부(12c)에 대하여 상기 진동측 부착면(12d)에 밀접된 상태로 접속 고정된다. 여기서, 부착부(11c)에 대한 지지측 탄성 기판부(14a)의 부착 방향과, 피동부(12c)에 대한 외주측 탄성 스프링(15)의 부착 방향은, 모두 축선(12x)의 둘레의 회전 방향을 따른 방향으로서, 그 축선(12x)에 대하여 진동각(θ)만큼 경사진 상기 방향(Q)과 직교되는 방향이다. 단, 부착부(11c)에 대한 지지측 탄성 기판부(14a)의 부착 방향과, 피동부(12c)에 대한 외주측 탄성 스프링(15)의 부착 방향은 상기 회전 방향에서 보아 상호 반대방향으로 되어 있다.5 (b) is a plan view showing a reference posture (non-reciprocal posture) of the vibrating part, which is one of the vibrating structures 13. This plan view shows the appearance of the oblique portion obliquely from the upper side along the direction Q shown in Fig. The outer end portion of the supporting-side elastic substrate portion 14a constituting the first elastic region 13a is fixedly connected to the attaching portion 11c of the supporting body 11 in a state of being in close contact with the supporting-side mounting surface 11d And the outer end portion of the outer peripheral side elastic spring 15 constituting the second elastic region 13b is in contact with the vibrating side attachment face 12d with respect to the driven portion 12c of the vibrating body 12 The connection is fixed. The attachment direction of the elastic substrate portion 14a on the support side with respect to the attachment portion 11c and the attachment direction of the elastic spring 15 on the outer side with respect to the attachment portion 11c are both the rotation direction around the axis 12x And is orthogonal to the direction Q that is inclined with respect to the axis 12x by the vibration angle?. The attachment direction of the elastic substrate portion 14a on the support side with respect to the attachment portion 11c and the attachment direction of the elastic spring 15 on the outer side with respect to the driven portion 12c are opposite to each other in the rotation direction .

여기서, 외주측 탄성 스프링(15)은, 내주측 탄성 기판부(14b)의 외단부의 측면에 대하여 한쪽측에서 겹쳐서 접속 고정되는 동시에, 다른 쪽 측으로 굴곡됨으로써 내주측 탄성 기판부(14b)의 반경 방향 외주측으로 신장되도록 구성되어 있다. 즉, 외주측 탄성 스프링(15)의 내단부(15a)는, 내주측 탄성 기판부(14b)의 외단부의 측면 상에 겹쳐진 상태에서 고정되고, 굴곡부(15c)는 내주측 탄성 기판부(14b)의 두께 방향의 중심측을 향하여 굴곡되어 있으므로, 외단부(15b)는 탄성 기판(14)의 두께 범위 내에 배치되어 있다. 이로써, 가진부(13A, 13B, 13C)의 지지체(11)(부착부(11c)에 대한 가진력의 방향과, 진동체(12)(피동부(12C))에 대한 가진력의 방향을, 탄성 기판(14)의 중심 축면(13x)(탄성 기판(14))의 두께 방향의 중심 위치가 축선(12x)을 중심으로 하는 반경 방향으로 신장되어 만들어지는 가상면)과 직교되는 접선 방향에 근접시킬 수 있기 때문에, 축선(12x)을 중심으로 하는 원호 형상으로 진동체(12)를 효율적으로 가진 할 수 있는 동시에, 진동 방향(Vs)을 구비한 본래의 진동 모드 이외의 불필요한 진동 모드를 억제하여 반송물을 안정된 상태에서 반송할 수 있다.Here, the outer peripheral side elastic spring 15 is connected and fixed to one side of the side surface of the outer end portion of the inner peripheral side elastic substrate portion 14b in the overlapping manner, and is bent to the other side, Direction to the outer periphery side. That is, the inner end 15a of the outer peripheral side elastic spring 15 is fixed on the side surface of the outer end portion of the inner peripheral side elastic substrate portion 14b in a superposed state, and the bending portion 15c is fixed to the inner peripheral side elastic substrate portion 14b The outer end portion 15b is disposed within the thickness range of the elastic substrate 14, as shown in Fig. As a result, the supporting body 11 (the direction of the exciting force with respect to the attaching portion 11c) of the exciting portions 13A, 13B, 13C and the direction of the exciting force with respect to the vibrating body 12 (the driven portion 12C) Perpendicular to the tangential direction orthogonal to the central axial direction 13x of the elastic body 14 (the imaginary plane formed by extending the center position in the thickness direction of the elastic substrate 14 in the radial direction around the axial line 12x) It is possible to efficiently excite the vibrating body 12 in the shape of an arc centering on the axis line 12x and suppress unnecessary vibration modes other than the original vibration mode having the vibration direction Vs, It can be transported in a stable state.

도 5(a) 및 (c)는, 가진부가 진동의 한쪽의 최대 진폭 위치(위상각=90도)에 있을 때의 상태와, 다른 쪽의 최대 진폭 위치(위상각=270도)에 있을 때를 모식적으로 나타내는 도면이다. 여기서, 도면에 있어서 진폭은 실제보다도 대폭 강조하여 그려져 있다. 도 5(a)와 (c)의 어느 진동 상태에 있어서도, 제1의 탄성 영역(13a)(지지측 강성 기판부(14a))의 진동 방향(13v1)과, 제2의 탄성 영역(13b)(외주측 탄성 스프링(15))의 진동 방향(13v2)은 반대 방향으로 되어 있다. 즉, 제1의 탄성 영역(13a)의 외단부와 제2의 탄성 영역(13b)의 외단부는, 모두 축선(12x)의 둘레의 회전 방향을 따른, 상기 방향(Q)과 직교되는 방향으로 진동하되, 그 방향을 따라서 보면, 상호 역위상이 되는 형태로 진동한다.5A and 5C show the state when the excitation vibration is at one of the maximum amplitude positions (phase angle = 90 degrees) and when the other is at the maximum amplitude position (phase angle = 270 degrees) Fig. Here, in the drawing, the amplitude is greatly emphasized and plotted. 5 (a) and 5 (c), the vibration direction 13v1 of the first elastic region 13a (supporting-side rigid substrate portion 14a) and the vibration direction 13v1 of the second elastic region 13b And the vibration direction 13v2 of the outer peripheral side elastic spring 15 is in the opposite direction. The outer end of the first elastic region 13a and the outer end of the second elastic region 13b both extend in the direction orthogonal to the direction Q along the rotation direction around the axis 12x Vibrating in the opposite direction when viewed along the direction.

본 실시 형태의 가진부는, 적층된 압전체(13p)에 의해 내주측 탄성 기판부(14b)가 휨 변형하고, 이로써 외주측 탄성 스프링(15)이 상기 방향(Q)과 직교되는 방향으로 흔들리는 동시에, 내주측 탄성 기판부(14b)의 휨 변형에 따라서 접속측 탄성 기판부(14c)가 변형됨으로써 진동측 탄성 기판부(14a)가 상기 방향(Q)과 직교되는 방향에 반대방향으로 흔들린다. 또한, 이 휨 변형의 방향이 반대가 되면, 상기 각 부분은 각각 상술한 방향과는 반대 방향으로 흔들리는데, 제1의 탄성 영역(13a)의 외단부와 제2의 탄성 영역(13b)의 외단부의 흔들리는 방향은, 항상 상호 역방향이 된다.The vibrating section of the present embodiment is configured such that the inner circumferential elastic substrate portion 14b is bent and deformed by the laminated piezoelectric body 13p so that the outer circumferential elastic spring 15 is oscillated in the direction orthogonal to the direction Q, The connection side elastic substrate portion 14c is deformed in accordance with the bending deformation of the inner side elastic substrate portion 14b so that the vibration side elastic substrate portion 14a is swung in the direction opposite to the direction orthogonal to the direction Q. [ When the direction of the bending deformation is reversed, the respective portions swing in the direction opposite to the above-described direction. The outer edge of the first elastic region 13a and the outer edge of the second elastic region 13b The swinging direction of the end portion always becomes opposite to each other.

이때, 압전체(13p)의 휨 변형은, 직접적으로는 제2의 탄성 영역(13b)을 진동시키는데, 이 진동에 의해, 접속 영역(13c)을 개재시켜 제1의 탄성 영역(13a)도 진동한다. 이때, 도시예와 같이 압전체(13p)가 제2의 탄성 영역(13b)으로부터 접속 영역(13c)에 도달하는 범위에 적층되어 있다. 즉, 압전체(13p)는 제2의 탄성 영역(13b)상 뿐만 아니라, 그 일부가 접속 영역(13c)상에도 존재하도록 형성되어 있다. 이로써, 압전체(13p)는 제2의 탄성 영역(13b)뿐만 아니라 접속 영역(13c)을 휨 변형시키므로, 접속 영역(13c)을 개재시킨 제1의 탄성 영역(13a)으로의 진동 전달이 양호하게 되어, 제1의 탄성 영역(13a)의 외단부와 제2의 탄성 영역(13b)의 외단부와의 사이에 생기는 상대적 가진력을 높일 수 있다. 또한, 이점은, 압전체(13p)를 제1의 탄성 영역(13a)으로부터 접속 영역(13c)에 도달하는 범위에 적층시킨 경우에 있어서도 마찬가지이다. 단, 진동체(12)의 진폭을 충분히 확보하는 동시에, 압전체(13p)로의 인가 전압치에 의한 진폭 억제를 확실하게 행할 수 있도록 하기 위해서는, 도시예와 같이 압전체(13p)를 진동체(12)의 측에 있는 제2의 탄성 영역(13b)에 마련하는 것이 바람직하고, 특히, 압전체(13p)를 제2의 탄성 영역(13b)으로부터 접속 영역(13c)에 도달하는 범위에 형성하는 것이 바람직하다.At this time, the bending deformation of the piezoelectric body 13p directly vibrates the second elastic region 13b, and the first elastic region 13a also vibrates through the connection region 13c by this vibration . At this time, as shown in the drawing, the piezoelectric body 13p is stacked in the range from the second elastic region 13b to the connection region 13c. That is, the piezoelectric body 13p is formed not only on the second elastic region 13b, but also on the connection region 13c. As a result, the piezoelectric body 13p flexibly deforms not only the second elastic region 13b but also the connection region 13c, so that the vibration transmission to the first elastic region 13a via the connection region 13c is satisfactorily So that the relative exciting force generated between the outer end of the first elastic region 13a and the outer end of the second elastic region 13b can be increased. This also applies to the case where the piezoelectric body 13p is laminated in the range from the first elastic region 13a to the connection region 13c. However, in order to sufficiently secure the amplitude of the vibrating body 12 and ensure that the amplitude can be suppressed by the applied voltage value to the piezoelectric body 13p, the piezoelectric body 13p is placed on the vibrating body 12, It is preferable to form the piezoelectric body 13p in the second elastic region 13b on the side of the second elastic region 13b in the range reaching the connection region 13c .

본 실시 형태에서는, 각 가진력에 있어서, 축선(12x)을 중심으로 하는 내주측으로부터 외주측으로 병행하여 신장되는 제1의 탄성 영역(13a)과 제2의 탄성 영역(13b)의 각각의 외단부가 지지체(11)와 진동체(12)에 접속되는 동시에, 제1의 탄성 영역(13a)의 내단부와 제2의 탄성 영역(13b)의 내단부를 접속하는 접속 영역(13c)이 구속력을 받지 않는 진동의 자유단을 구성하고 있다. 이 때문에, 탄성 구조(13)의 내주측에는 지지체(11) 및 진동체(12)에 대한 접속 개소를 마련할 필요가 없기 때문에, 접속 구조를 간이화할 수 있고, 조립 작업도 용이하게 된다. 또한 내주측에 배치되는 접속 영역(13c)을 지지체(11)나 진동체(12)에 접속할 필요가 없기 때문에, 가진 구조(13)의 부착 구조에 기인하는 복수의 가진부(13A, 13B, 13C)끼리의 간섭을 회피할 수 있으므로, 접속 영역(13c)을 축선(12x)에 근접시켜 배치하는 것이 가능하게 되므로, 회전 진동기의 반경 방향의 콤팩트화를 도모하는 것이 가능하게 된다.In the present embodiment, the outer ends of the first elastic region 13a and the second elastic region 13b, which extend in parallel from the inner circumferential side to the outer circumferential side with the axis 12x as the center, The connecting region 13c connected to the supporting body 11 and the vibrating body 12 and connecting the inner end portion of the first elastic region 13a to the inner end portion of the second elastic region 13b is not subjected to the binding force And constitutes a free end of vibration. Therefore, since it is not necessary to provide connection portions to the supporting body 11 and the vibrating body 12 on the inner circumferential side of the elastic structure 13, the connecting structure can be simplified and the assembling work can be facilitated. It is not necessary to connect the connection region 13c disposed on the inner circumferential side to the supporting body 11 or the vibrating body 12 so that a plurality of exciting portions 13A, 13B, 13C It is possible to arrange the connection region 13c close to the axis 12x so that it is possible to make the rotary vibrator compact in the radial direction.

특히, 본 실시 형태에서는, 제1의 탄성 영역(13a)과 제2의 탄성 영역(13b)은, 축선(12x)을 따른 방향(Q)에 배열되어 있으므로, 축선(12x)을 중심으로 한 반경 방향을 따라 내주측으로부터 외주측으로 신장되는 도 5(a)에 나타내는 공통의 중심축면(13x)상에, 지지체(11)와 진동체(12)에 대한 가진력의 작용점을 근접시킬 수 있다. 이로써, 지지체(11) 및 진동체(12)의 내부의 가진부(13A, 13B, 13C)의 수용 공간을 평면적으로 보아 작게 구성하는 것이 가능하게 되기 때문에, 결과적으로 회전 진동기(10)의 콤팩트화를 도모할 수 있다. 예를 들어, 본 실시 형태에서는, 지지체(11)에 마련하는 가진부 수용홈(11A, 11B, 11C)의 홈 폭을 작게 할 수 있기 때문에, 지지체(11)를 대형화하지 않고 지지체(11)의 질량을 크게 하는 것이 가능하게 되며, 그 결과, 가진 성능의 확보와, 장치의 콤팩트화를 양립할 수 있다.Particularly, in the present embodiment, since the first elastic region 13a and the second elastic region 13b are arranged in the direction Q along the axial line 12x, the radius of curvature along the axial line 12x The point of action of the exciting force with respect to the supporting body 11 and the vibrating body 12 can be brought close to each other on the common central axial face 13x shown in Fig. 5 (a) extending from the inner circumferential side to the outer circumferential side. As a result, it becomes possible to configure the receiving space of the supporting members 11 and the vibrating unit 12 in the receiving space of the vibrating unit 12 to be small in plan view. As a result, the rotating vibrator 10 can be made compact . For example, in the present embodiment, since the groove width of the exciter receiving grooves 11A, 11B, and 11C provided in the supporting body 11 can be reduced, It is possible to increase the mass, and as a result, it is possible to ensure both the exciting performance and the compactness of the apparatus.

더욱이, 상술한 바와 같이 접속 영역(13c)을 지지체(11)나 진동체(12)에 접속할 필요가 없기 때문에, 접속 영역(13c)을 축선(12x)에 근접시키는 것이 용이하게 되며, 그 결과, 제1의 탄성 영역(13a)의 외단부 및 제2의 탄성 영역(13b)의 외단부를, 축선(12x)을 중심으로 하는 원호형상에 가까운 형태로 진동시키는 것이 가능하게 되기 때문에, 회전 진동기(10)의 진동 효율을 향상시킬 수 있는 동시에, 진동 형태를 고정밀도화 및 안정화를 실현할 수 있다. 그 결과, 반송물의 날뜀, 반송 자세의 흐트러짐 등을 억제할 수 있으므로, 반송 효율의 향상이나 반송 속도의 향상을 도모하는 것이 가능하게 된다.Furthermore, since it is not necessary to connect the connection region 13c to the supporting body 11 or the vibrating body 12 as described above, it is easy to bring the connection region 13c close to the axis 12x. As a result, It is possible to vibrate the outer end of the first elastic region 13a and the outer end of the second elastic region 13b in a shape close to the shape of an arc around the axis 12x, 10 can be improved, and at the same time, the vibration type can be made highly precise and stabilized. As a result, it is possible to suppress the runout of the conveyed object, the disturbance of the conveyance posture, and the like, thereby making it possible to improve the conveying efficiency and the conveying speed.

본 실시 형태에서는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 대략 U자 형상 혹은 ㄷ자 형상의 가진부(13A, 13B, 13C)의 제1의 탄성 영역(13a)의 외단부가 지지체(11)에 접속되는 동시에, 제2의 탄성 영역(13b)의 외단부가 진동체(12)에 접속되어 있기 때문에, 지지체(11)와 진동체(12)의 사이에서, 각 탄성 영역(13a)과 (13b)는 외주측으로부터 내주측으로 병행하여 신장되고, 다른 부재에는 구속되어 있지 않은 진동의 자유단을 구성하는 접속 영역(13c)에 의해 접속되어 있다. 이로써, 가진부(13A, 13B, 13C)는, 실질적으로, 회전 진동기(10)의 반경의 2배에 가까운 길이를 가지는 탄성 스프링으로서 구성되고, 지지체(11)와 진동체(12)의 사이의 접속 거리를 길게 할 수 있다. 이 때문에, 종래의 회전 진동기와 같은 외경이 되도록 설계한 경우라 하더라도, 본 실시 형태에서는, 지지체(11)와 진동체(12)의 사이의 탄성 스프링으로서의 길이를 길게 취할 수 있다. 그 결과, 회전 진동기(10)의 공진 주파수가 같으면, 이 공진 주파수에 대응하는 가진부의 스프링 정수를 얻기 위하여 가진부의 단면적을 크게 하는 것이 가능하게 된다. 이로써, 예를 들어, 탄성 기판(14)을 두껍게 할 수 있기 때문에, 압전체(13p)의 내구성을 높이는 것이 가능하게 된다. 또한, 탄성 기판(14)에 직접 태핑을 행하거나 하는 것이 가능하게 되기 때문에, 지지체(11)나 진동체(12)에 대한 부착 부분에 개삽하는 좌금을 생략할 수 있다고 하는 이점도 얻을 수 있다. 더욱이, 지지체(11)와 진동체(12)의 사이의 접속 거리는 길게 되기는 하는데, 상술한 바와 같이 가진부의 단면적을 증대시킬 수 있기 때문에, 진동체(12) 및 이것에 탑재되는 후술하는 반송체(21)를 지지하기 위한 강성을 확보하는 것은 용이하다.In this embodiment, as shown in Fig. 6, the outer end of the first elastic region 13a of the substantially U-shaped or C-shaped vibrating section 13A, 13B, 13C is connected to the supporting body 11 And the outer ends of the second elastic regions 13b are connected to the vibrating body 12 so that the elastic regions 13a and 13b are located between the supporting body 11 and the vibrating body 12, And are connected to each other by a connection region 13c constituting a free end of vibration which is not confined to the other members. Thus, the exciting portions 13A, 13B and 13C are constituted as elastic springs having a length substantially twice as long as the radius of the rotary vibrator 10, and are arranged between the supporting body 11 and the vibrating body 12 The connection distance can be extended. Therefore, even in the case of designing to have the same outer diameter as that of the conventional rotary vibrator, the length as the elastic spring between the supporting body 11 and the vibrating body 12 can be made longer in the present embodiment. As a result, if the resonance frequency of the rotary vibrator 10 is the same, it is possible to increase the cross-sectional area of the excitation portion to obtain the spring constant of the excitation portion corresponding to the resonance frequency. Thereby, for example, since the elastic substrate 14 can be made thick, the durability of the piezoelectric body 13p can be enhanced. In addition, since it is possible to perform tapping directly on the elastic substrate 14, the advantage of being able to omit the left-handed sandwiching portion at the attachment portion to the supporting body 11 and the vibrating body 12 can be obtained. Furthermore, since the cross-sectional area of the exciting section can be increased as described above, the vibrating body 12 and the conveying body (described later) mounted on the vibrating body 12 21 is secured.

도 7은, 상기 실시 형태와는 다른 가진부의 구성을 모식적으로 나타내는 개략 측면도이다. 여기서, 도면 중, 상하 방향은 축선(12x)에 대하여 진동각(θ)만큼 경사진 상기 방향(Q)이다. 이 예에서는, 모두 판형상으로 구성된 제1의 탄성 영역(13a)과 제2의 탄성 영역(13b)이 따로따로 마련되고, 이들 제1의 탄성 영역(13a)과 제2의 탄성 영역(13b)을 내주측에서 접속하는 접속 영역(13c)이, 좌금과 볼트 등에 의해 구성되는 접속 금구 등의 연결 부재로 추가로 별개로 구성되어 있는 점에서, 상기 실시 형태와는 다르다. 도시예에서는, 제1의 탄성 영역(13a) 및 제2의 탄성 영역(13b)이 각각 탄성 기판에 의해 구성되고, 이들 탄성 기판의 내단부 끼리가 접속 영역(13c)을 구성하는 연결 부재에 의해 연결되어 있다. 또한, 압전체(13p)는 제1의 탄성 영역(13a)의 내주측 부분에 적층되고, 제1의 탄성 영역(13a)을 구성하는 탄성 기판을 휨 변형시킴으로써, 제1의 탄성 영역(13a)의 외단부와, 제2의 탄성 영역(13b)의 외단부가 상기 방향(Q)의 둘레를 회전하는 방향(Rx)(도면의 지면과 직교되는 방향)을 따라, 상호 역위상이 되도록 진동한다. 더욱이, 이 도시예에서는, 제2의 탄성 영역(13b)이 일체의 탄성 기판에 의해 구성되고, 그 외주측 부분에, 상기 외주측 탄성 스프링(15)과 마찬가지로 기능하는 증폭 스프링부(15')가 제2의 탄성 영역(13b)의 내주측 부분과 일체로 구성된다. 이 증폭 스프링부(15')는, 제2의 탄성 영역(13b)의 내주측 부분보다도 좁은 폭으로 구성되거나, 혹은 도시하지는 않으나 두께가 작게 되도록 구성되는 것이 바람직하다.Fig. 7 is a schematic side view schematically showing the construction of an excitation part different from that of the above embodiment. Fig. Here, in the figure, the vertical direction is the direction (Q) inclined by the vibration angle? With respect to the axis 12x. In this example, the first elastic region 13a and the second elastic region 13b, each of which is formed in a plate shape, are provided separately, and the first elastic region 13a and the second elastic region 13b, Is different from that of the above-described embodiment in that the connection area 13c for connection from the inner circumferential side is further separately constituted by a connection member such as a connection bracket constituted by a left-hand metal and a bolt or the like. In the illustrated example, the first elastic region 13a and the second elastic region 13b are each constituted by an elastic substrate, and the inner ends of these elastic substrates are connected to each other by a connecting member constituting the connecting region 13c It is connected. The piezoelectric body 13p is laminated on the inner circumferential side portion of the first elastic region 13a and the elastic substrate constituting the first elastic region 13a is deformed by bending to deform the first elastic region 13a The outer end portion and the outer end portion of the second elastic region 13b are mutually out-of-phase along the direction Rx (direction orthogonal to the paper surface of the figure) rotating around the direction Q. In the illustrated embodiment, the second elastic region 13b is formed by an integral elastic substrate, and an amplifying spring portion 15 ', which functions in the same manner as the outer elastic spring 15, Side portion of the second elastic region 13b. The amplifying spring portion 15 'preferably has a narrower width than the inner circumferential side portion of the second elastic region 13b, or is configured so as to have a small thickness although not shown.

도 7에 나타내는 예에서는, 제1의 탄성 영역(13a)에 압전체(13p)가 적층되어 있는데, 도시의 2점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 상기 실시 형태와 마찬가지로 제2의 탄성 영역(13b)에 압전체(13)를 적층하여도 좋다. 또한, 제1의 탄성 영역(13a)과 제2의 탄성 영역(13b)의 쌍방에 압전체(13p)를 적층하는 것도 가능하다. 단, 이 경우에는, 제1의 탄성 영역(13a)의 외단부와 제2의 탄성 영역(13b)의 외단부가 역위상으로 진동하도록, 제1의 탄성 영역(13a)의 압전체(13p)와, 제2의 탄성 영역(13b)의 압전체(13p)의 구동 상태를 제어할 필요가 있다. 통상적으로는, 제1의 탄성 영역(13a)의 압전체(13p)와, 제2의 탄성 영역(13b)의 압전체(13p)를 역위상으로 구동하도록 구성하는 것이 바람직하다.In the example shown in Fig. 7, the piezoelectric body 13p is laminated on the first elastic region 13a. As shown by the two-dot chain line in the figure, in the second elastic region 13b, (13) may be laminated. It is also possible to laminate the piezoelectric body 13p on both the first elastic region 13a and the second elastic region 13b. In this case, the piezoelectric body 13p of the first elastic region 13a and the piezoelectric body 13d of the first elastic region 13a are arranged so that the outer end of the first elastic region 13a and the outer end of the second elastic region 13b vibrate in opposite phases. , It is necessary to control the driving state of the piezoelectric body 13p of the second elastic region 13b. It is preferable that the piezoelectric body 13p of the first elastic region 13a and the piezoelectric body 13p of the second elastic region 13b are driven in opposite phases in general.

도 8은, 상기 실시 형태와는 다른 가진부의 구성을 모식적으로 나타내는 개략 평면도이다. 이 도면에서는, 축선(12x)에 대하여 진동각(θ)만큼 경사진 상기 방향(Q)을 따라 본 평면 형상을 나타내고 있다. 이 예에서는, 상기 실시 형태나 도 7에 나타내는 예와는 달리, 각각 판형상으로 구성된 제1의 탄성 영역(13a)과 제2의 탄성 영역(13b)이 두께 방향, 즉, 상기 방향(Q)과 직교되는 방향에 인접하여 배치되어 있다. 또한, 접속 영역(13c)은, 제1의 탄성 영역(13a)과 제2의 탄성 영역(13b)의 내단부의 사이에서 두께 방향으로 신장되도록 형성되어 있다.Fig. 8 is a schematic plan view schematically showing a structure of an excitation part different from that of the above embodiment. Fig. This figure shows a plane shape seen along the direction Q which is inclined with respect to the axis 12x by the vibration angle?. In this example, unlike the embodiment and the example shown in Fig. 7, the first elastic region 13a and the second elastic region 13b, each of which is formed in a plate shape, extend in the thickness direction, As shown in Fig. The connection region 13c is formed so as to extend in the thickness direction between the first elastic region 13a and the inner end portion of the second elastic region 13b.

이 예에서는, 압전체(13p)의 구동에 의해, 제2의 탄성 영역(13b)이 휨 변형하고, 그 외단부는 상기방향(Q)의 둘레를 회전하는 방향(Rx)을 따라 진동한다. 또한, 상기 휨 변형이 접속 영역(13c)을 개재시켜 전달됨으로써, 제1의 탄성 영역(13a)의 외단부도 상기 방향(Q)의 둘레를 회전하는 방향(Rx)을 따라 진동한다. 단, 이 예에 있어서도, 제1의 탄성 영역(13a)의 외단부와 제2의 탄성 영역(13b)의 외단부와는 상기 방향(Rx)에서 보아 상호 역위상이 되도록 진동한다.In this example, the second elastic region 13b is flexibly deformed by the driving of the piezoelectric body 13p, and the outer end thereof is vibrated along the direction Rx rotating about the direction Q. The outer end of the first elastic region 13a also vibrates along the direction Rx rotating about the direction Q by transmitting the bending deformation via the connection region 13c. However, also in this example, the outer end of the first elastic region 13a and the outer end of the second elastic region 13b are vibrated so as to be opposite in phase in the direction Rx.

상기한 바와 같이 제1의 탄성 영역(13a)과 제2의 탄성 영역(13b)이 두께 방향에 인접하여 배치됨으로써, 상기 가진부 수용홈(11A, 11B, 11C)의 홈 폭을 어느 정도 크게 할 필요는 있으되, 가진부의 상하 치수를 저감시킬 수 있기 때문에, 장치의 높이를 저감시킬 수 있다. 또한, 가진부의 양 외단부가 접속되는 부착부(11c)와 피동부(12c)를 거의 같은 높이로 배치하는 것이 가능하게 되므로, 지지측 부착면(11d)과 진동측 부착면(12d)의 축선(12x)의 둘레의 각도 위치가 어느 정도 떨어져 있어도, 가진부에 비틀림 진동 등의 불필요한 진동 모드가 생기는 것을 방지할 수 있다.As described above, since the first elastic region 13a and the second elastic region 13b are disposed adjacent to each other in the thickness direction, the groove width of the exciting portion receiving grooves 11A, 11B, and 11C can be increased to some extent The height of the device can be reduced because the upper and lower dimensions of the exciting portion can be reduced. It is also possible to arrange the attachment portion 11c and the driven portion 12c to which the outer end portions of the excitation portion are connected at substantially the same height so that the axis of the attachment side surface 11d and the vibration side attachment surface 12d It is possible to prevent an unnecessary vibration mode such as a torsional vibration from occurring in the vibrating portion even when the angular position of the circumference of the ring gear 12x is away.

그리고, 이 예에 있어서도, 도 7에 나타내는 예와 마찬가지로, 제1의 탄성 영역(13a)에 압전체(13p)를 마련하여도 좋고, 제1의 탄성 영역(13a)과 제2의 탄성 영역(13b)의 쌍방에 압전체(13p)를 마련하여도 좋다. 또한, 이 예에서는 제2의 탄성 영역(13b)이 내주측으로부터 외주측에 걸쳐 일정한 두께를 가지는 탄성 기판으로 구성되어 있는데, 그 외주측 부분을 도 7에 나타내는 바와 같은 일체의 증폭 스프링부(15')가 되도록 구성하여도 좋고, 혹은, 상기 실시 형태와 같이 별개의 외주측 탄성 스프링(15)으로 구성하여도 좋다.7, the first elastic region 13a may be provided with the piezoelectric body 13p, and the first elastic region 13a and the second elastic region 13b may be provided. In this case, The piezoelectric body 13p may be provided. In this example, the second elastic region 13b is made of an elastic substrate having a constant thickness from the inner circumference side to the outer circumference side. The outer circumferential side portion of the second elastic region 13b is integrally formed with the amplifying spring portion 15 ', Or may be constituted by a separate outer peripheral elastic spring 15 as in the above embodiment.

도 9는, 상기 실시형태와는 또 다른 가진부의 구성을 모식적으로 나타내는 개략 평면도이다. 이 예에서도, 도 8에 나타내는 예와 마찬가지로, 각각 판형상으로 구성된 제1의 탄성 영역(13a)과 제2의 탄성 영역(13b)이 두께 방향, 즉 상기 방향(Q)과 직교되는 방향에 인접하여 배치되어 있다. 단, 이 도 9에 나타내는 예에서는, 제1의 탄성 영역(13a)과 제2의 탄성 영역(13b)이 각각 따로따로 판형상체로서 구성되고, 제1의 탄성 영역(13a)과 제2의 탄성 영역(13b)이 추가로 별개로 구성된 접속 영역(13c)에 의해 연결되어 있다. 접속 영역(13c)은 스페이서 형상의 접속 금구 등의 연결 부재로 구성되고, 볼트와 너트 등에 의해 제1의 탄성 영역(13a)의 내단부와 제2의 탄성 영역(13b)의 내단부를 연결하고 있다.Fig. 9 is a schematic plan view schematically showing a structure of an excitation part different from that of the above embodiment. Fig. In this example as well, as in the example shown in Fig. 8, the first elastic region 13a and the second elastic region 13b formed in a plate shape are adjacent to each other in the thickness direction, that is, in the direction orthogonal to the direction Q Respectively. However, in the example shown in Fig. 9, the first elastic region 13a and the second elastic region 13b are separately formed as plate-shaped bodies, and the first elastic region 13a and the second elastic region 13b And the region 13b is further connected by a separately formed connection region 13c. The connection area 13c is formed by a connection member such as a spacer-shaped connecting metal or the like and connects the inner end of the first elastic region 13a and the inner end of the second elastic region 13b by bolts, nuts, or the like .

상술한 바와 같이, 도 7 내지 도 9에 나타내는 각 구성, 즉, 제2의 탄성 영역(13b)의 내부 구조에 관한 구성(일체인지의 여부)과, 접속 영역(13c)의 접속 형태에 관한 구성(제1의 탄성 영역(13a) 및 제2의 탄성 영역(13b)과 일체인지의 여부)과, 압전체(13p)의 배치에 관한 구성(제1의 탄성 영역(13a)에 마련하거나, 제2의 탄성 영역(13b)에 마련하거나, 제1의 탄성 영역(13a) 및 제2의 탄성 영역(13b)에 마련하거나)은, 각각 따로따로 채용할 수 있는 구성 요소이고, 이들 각 구성의 조합에 의해 각종 변형예를 실현할 수 있다.7 to 9, that is, the constitution relating to the internal structure of the second elastic region 13b (whether or not the structure is integral) and the connection configuration of the connection region 13c (Whether it is integrated with the first elastic region 13a and the second elastic region 13b) and the arrangement related to the arrangement of the piezoelectric body 13p (whether it is provided in the first elastic region 13a or in the second Or the first elastic region 13a and the second elastic region 13b) are components that can be employed separately, and the combination of these components Various modifications can be realized.

본 실시 형태에서는, 상기의 구성을 가지는 회전 진동기(10)의 진동체(21) 상에, 도 10에 나타내는 보울 형상의 반송체(21)를 볼트(22) 등에 의해 구성함으로써, 진동식 반송 장치(20)를 구성할 수 있다. 그리고, 도 10에서는, 가진 구조(13) 및 지지체(11)의 내부 구조 등의 도시를 생략하고 있다. 이 경우, 전자 부품 등의 반송물이 반송체(21)의 내저부(21a)에 수용되면, 회전 진동기(10)에 의해 생기는 반송체(21)의 진동에 의해, 반송물은 나선형상의 반송로(21b)를 따라 위쪽으로 반송된다. 반송물의 반송 형태는, 회전 진동기(10)의 진동체(12)의 진동의 주파수, 진폭, 및 방향에 의해 정해진다. 회전 진동기(10)의 진동체(12)는 상술한 바와 같이 진동각(θ)을 가지는 진동 방향(Vs)으로 왕복 진동하므로, 반송로(21b)의 반송면과의 마찰에 의해 진동 방향(Vs)이 비스듬히 위쪽으로 향하는 방향으로 반송물이 이동하여 간다. 이때, 진동체(12)의 진동 형태가 진동 방향(Vs)을 향하는 본래의 진동 모드 이외의 다른 진동 모드가 억제된 것이면, 반송물은, 반송로(21b)상에서 튀어 오르거나, 자세를 변경하는 일 없이, 반송로(21b)상을 정연하게 이동하여 간다.In the present embodiment, the bowl-shaped carrier 21 shown in Fig. 10 is constituted by the bolts 22 or the like on the vibrating body 21 of the rotary vibrator 10 having the above-described structure, 20). 10, the internal structures of the vibrating structure 13 and the supporting body 11 are not shown. In this case, when the transported article such as an electronic component is accommodated in the inner bottom portion 21a of the transport body 21, the transported product is transported by the oscillation of the transport body 21 caused by the rotary vibrator 10, As shown in Fig. The conveying form of the transported article is determined by the frequency, the amplitude and the direction of the vibration of the vibrating body 12 of the rotary vibrating machine 10. The vibrating body 12 of the rotary vibrator 10 reciprocally vibrates in the vibration direction Vs having the vibration angle? As described above, so that the vibrating body 12 of the rotary vibrator 10 vibrates in the vibration direction Vs ) Is shifted in an obliquely upward direction. At this time, if the vibration mode of the vibrating body 12 is suppressed in a vibration mode other than the original vibration mode in which the vibration mode of the vibrating body 12 is directed to the vibration direction Vs, the transported object may be sprung on the conveying path 21b, And moves on the conveying path 21b smoothly.

그리고, 본 발명에 따른 회전 진동기 및 진동식 반송 장치는, 상술한 도시예에만 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위 내에 있어서 각종 변경을 가할 수 있음은 물론이다. 예를 들어, 상기 실시 형태의 회전 진동기(10)에서는, 축선(12x)과 직교하는 수평면에 대하여 진동각(θ)의 경사방향을 향하여 진동체(12)를 축선(12x)의 둘레에서 진동시키고 있으나, 진동식 반송 장치에 있어서 반송물을 반송하는 용도 이외의 가진 장치로서 사용하는 경우에는, 상기 진동각(θ)이 0이 되도록 구성하여도 좋다. It is needless to say that the rotary vibrating apparatus and the oscillating type transporting apparatus according to the present invention are not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made within the scope of the present invention. For example, in the rotary vibrator 10 of the above embodiment, the vibrating body 12 is vibrated around the axial line 12x toward the oblique direction of the vibration angle? With respect to the horizontal plane orthogonal to the axial line 12x However, in a case where the vibrating-type transport apparatus is used as a vibrating apparatus other than the one for transporting the transported article, the vibration angle? May be zero.

또한, 상기 실시 형태의 회전 진동기(10)에서는, 가진부(13A, 13B, 13C)에 있어서, 지지측 탄성 기판부(14a), 접속측 탄성 기판부(14c) 및 내주측 탄성 기판부(4b)를 일체로 가지는 탄성 기판(14)에 대하여 외주측 탄성 스프링(15)을 연결하고 있는데, 본 발명은 이와 같은 형태에 한정하지 않고, 결과적으로 제1의 탄성 영역(13a), 제2의 탄성 영역(13b) 및 접속 영역(13c)을 가지는 구성이면 좋고, 예를 들여, 제1의 탄성 영역(13a) 및 접속 영역(13c)이 압전체(13p)를 적층한 일체의 탄성 기판으로 구성되고, 제2의 탄성 영역(13b)의 전체가 증폭 스프링으로서 구성된 것이어도 무방하다. 더욱이, 상기 실시 형태의 진동식 반송 장치(20)에서는, 회전 진동기(10)의 진동체(12) 상에 반송체(21)를 부착 고정하고 있는데, 반송체(21)를 진동체(12)와 일체로 구성하여도 좋다. In the rotary vibrator 10 of the embodiment described above, the supporting-side elastic substrate portion 14a, the connection-side elastic substrate portion 14c, and the inner peripheral-side elastic substrate portion 4b of the exciting portion 13A, 13B, The outer peripheral side elastic spring 15 is connected to the elastic substrate 14 integrally formed with the first elastic region 13a and the second elastic region 15. The present invention is not limited to such a configuration, It is sufficient if the first elastic region 13a and the connection region 13c are constituted by an integral elastic substrate in which the piezoelectric body 13p is laminated, 2 may be configured as an amplification spring as a whole. In the oscillatory conveying apparatus 20 of the above embodiment, the conveying body 21 is fixedly mounted on the vibrating body 12 of the rotary vibrating machine 10. The conveying body 21 is fixed to the vibrating body 12 Or may be integrally formed.

10: 회전 진동기
11: 지지체
11A, 11B, 11C: 가진부 수용홈
11P, 11Q, 11R: 랜드부
11c: 부착부
11d: 지지측 부착면
12: 진동체
12a: 반송체 부착면
12b: 본체부
12c: 피동부
12d: 진동측 부착면
13: 가진 구조
13A, 13B, 13C: 가진부
13a: 제1의 탄성 영역
13b: 제2의 탄성 영역
13c: 접속 영역
13p: 압전체
14: 탄성 기판
14a: 지지측 탄성 기판부
14b: 내주측 탄성 기판부
14c: 접속측 탄성 기판부
14s: 슬릿
15: 외주측 탄성 스프링
15': 증폭 스프링부
16: 방진 부재
17: 기대
θ: 경사각
20: 진동식 반송 장치
21: 반송체
21a: 내저부
21b: 반송로
10: Rotating vibrator
11: Support
11A, 11B, and 11C:
11P, 11Q, 11R:
11c:
11d: Support side mounting surface
12: oscillating body
12a: Carrier mounting surface
12b:
12c:
12d: Vibration side mounting surface
13: Structure with
13A, 13B, 13C:
13a: a first elastic region
13b: a second elastic region
13c: Connection area
13p:
14: elastic substrate
14a: a supporting-side elastic substrate portion
14b: inner peripheral side elastic substrate portion
14c: connection-side elastic substrate portion
14s: slit
15: outer peripheral side elastic spring
15 ': amplification spring portion
16:
17: Expectations
[theta]: inclination angle
20: oscillating conveying device
21:
21a: inner bottom
21b:

Claims (8)

지지체(11)와, 이 지지체(11)의 위쪽에 배치된 진동체(12)와, 상기 지지체(11)와 상기 진동체(12d)와의 사이에 접속된 가진 구조(13)를 구비하고, 상기 진동체(12)가 소정의 축선(12x)의 둘레를 회전하는 방향을 따라 진동하는 회전 진동기(10)로서,
상기 가진 구조(13)는 상기 축선(12x)의 둘레에 마련된 복수의 가진부(13A, 13B, 13C)를 가지고,
상기 가진부(13A, 13B, 13C)는, 상기 지지체(11)에 접속되는 동시에 내주측으로 신장되고, 상기 축선(12x)의 둘레를 회전하는 방향으로 휨 변형하는 판 형상의 제1의 탄성 영역(13a)과, 상기 진동체(12)에 접속되는 동시에 내주측으로 신장되고, 상기 축선(12x)의 둘레를 회전하는 방향으로 휨 변형하는 판형상의 제2의 탄성 영역(13b)과, 상기 제1의 탄성 영역(13a)의 내단부와 상기 제2의 탄성 영역(13b)의 내단부를 접속하는 접속 영역(13c)과, 상기 제1의 탄성 영역(13a)과 상기 제2의 탄성 영역(13b)의 적어도 한쪽을 상기 축선(12x)의 둘레를 회전하는 방향으로 휨 진동시키는 압전체(13p)를 가지고, 상기 접속 영역(13c)이 구속력을 받지 않는 진동의 자유단을 구성하고,
상기 지지체(11)에 대한 상기 제1의 탄성 영역(13a)의 접속 개소와, 상기 진동체(12)에 대한 상기 제2의 탄성 영역(13b)의 접속 개소가 상기 축선(12x)의 둘레를 따른 방향에서 보았을 때에 역위상으로 진동하는 것을 특징으로 하는 회전 진동기.And a vibration structure (13) connected between the support body (11) and the vibrating body (12d), wherein the supporting structure (11) A rotary vibrator (10) vibrating along a direction in which the vibrating body (12) rotates about a predetermined axis (12x)
The vibrating structure 13 has a plurality of vibrating portions 13A, 13B, and 13C provided around the axis 12x,
The exciting sections 13A, 13B and 13C are connected to the supporting body 11 and extend to the inner circumferential side and are provided with a first elastic region of a plate shape bent and deflected in the direction of rotation about the axis 12x A second elastic region 13b connected to the vibrating body 12 and extending to the inner circumferential side and being deformed in a direction to rotate around the axis 12x, A connecting region 13c connecting an inner end of the elastic region 13a to an inner end of the second elastic region 13b and a connecting region 13c connecting the inner end of the elastic region 13a and the inner end of the second elastic region 13b, And a piezoelectric body 13p for flexing and vibrating at least one of the electrodes 12a and 12b in a direction to rotate around the axis 12x, and the connection region 13c constitutes a free end of vibration,
A connection point of the first elastic region 13a with respect to the support 11 and a connection point of the second elastic region 13b with respect to the vibrating body 12 are formed around the axis 12x And vibrate in an opposite phase when viewed in the direction along the axis. 제 1항에 있어서,
상기 제2의 탄성 영역(13b)은, 상기 접속 영역(13c)에 접속되는 내주측 탄성 기판부(14b)와, 이 내주측 탄성 기판부(14b)와 상기 진동체(12)와의 사이에 접속되는 외주측 탄성 스프링(15)을 가지는 것을 특징으로 하는 회전 진동기.The method according to claim 1,
The second elastic region 13b includes an inner circumferential side elastic substrate portion 14b connected to the connection region 13c and a connection portion 14b connected between the inner circumferential side elastic substrate portion 14b and the vibrating body 12 Side elastic spring (15). 제 2항에 있어서,
상기 제1의 탄성 영역(13a), 상기 접속 영역(13c) 및 상기 내주측 탄성 기판부(14b)는, 일체의 탄성 기판에 의해 구성되는 것을 특징으로 하는 회전 진동기.3. The method of claim 2,
Wherein the first elastic region (13a), the connection region (13c), and the inner peripheral side elastic substrate portion (14b) are constituted by integral elastic substrates. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
상기 제1의 탄성 영역(13a)과 상기 제2의 탄성 영역(13b)은, 상기 축선(12x)을 따른 방향(Q)에 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 회전 진동기.The method according to claim 2 or 3,
Wherein the first elastic region (13a) and the second elastic region (13b) are arranged in a direction (Q) along the axis (12x). 제 4항에 있어서,
상기 압전체는, 상기 제1의 탄성 영역(13a) 또는 상기 제2의 탄성 영역(13b)으로부터 상기 접속 영역(13c)에 도달하는 범위에 적층되어 있는 것을 특징으로 하는 회전 진동기.5. The method of claim 4,
Wherein the piezoelectric body is laminated in a range reaching the connection region (13c) from the first elastic region (13a) or the second elastic region (13b). 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1의 탄성 영역(13a) 및 상기 제2의 탄성 영역(13b)은, 상기 축선(12x)과 직교되는 평면에 대하여 비스듬히 위쪽으로 향한 판면을 구비하고, 상기 가진 구조(13)는, 상기 진동체(12)를, 상기 축선(12x)의 둘레를 회전하는 방향을 따라 상기 판면의 법선을 따른 비스듬한 방향으로 진동시키는 것을 특징으로 하는 회전 진동기.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the first elastic region (13a) and the second elastic region (13b) have a plate surface facing obliquely upward with respect to a plane perpendicular to the axis (12x), and the excitation structure (13) Wherein the vibrating body (12) is oscillated in an oblique direction along the normal line of the plate surface along the direction of rotation around the axis (12x). 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지체(11)는, 상기 가진 구조(13)의 각 가진부(13A, 13B, 13C)를 수용하기 위한 반경 방향으로 신장되는 복수의 가진부 수용홈(11A, 11B, 11C)과, 이 복수의 가진부 수용홈(11A, 11B, 11C)의 사이에 형성되어 위쪽으로 돌출하는 랜드부(11P, 11Q, 11R)를 구비하고, 상기 진동체(12)는, 아래쪽으로 향하여 돌출되어 상기 가진부 수용홈(11A, 11B, 11C) 내에 배치되는 복수의 피동부(12A, 12B, 12C)를 구비하고, 상기 가진부(13A, 13B, 13C)의 상기 제1의 탄성 영역(13a)의 외단부는, 상기 가진부 수용홈(11A, 11B, 11C)에 면한 상기 랜드부(11P, 11Q, 11R)의 내측면(11d)에 접속되는 동시에, 상기 제2의 탄성 영역(13b)의 외단부는, 상기 가진부 수용홈(11A, 11B, 11C) 내에 배치되는 상기 피동부(12A, 12B, 12C)의 외측면(12d)에 접속되는 것을 특징으로 하는 회전 진동기.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The support 11 includes a plurality of excitation receiving grooves 11A, 11B and 11C extending in the radial direction for receiving the exciting portions 13A, 13B and 13C of the excitation structure 13, 11C and 11R which are formed between the excitation receiving grooves 11A, 11B and 11C of the vibrating body 12 and protruding upward, wherein the vibrating body 12 is protruded downward, And a plurality of driven portions 12A, 12B and 12C which are arranged in the receiving grooves 11A, 11B and 11C and are arranged at the outer ends of the first elastic regions 13a of the exciting portions 13A, 13B and 13C Is connected to the inner side surface 11d of the land portions 11P, 11Q and 11R facing the excitation portion receiving grooves 11A, 11B and 11C and the outer end portion of the second elastic region 13b Is connected to the outer side surface (12d) of the driven portions (12A, 12B, 12C) disposed in the exciting portion receiving grooves (11A, 11B, 11C). 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 기재된 회전 진동기(10)와, 상기 진동체(12)에 고정되고, 혹은, 상기 진동체(12)와 일체로 구성되는 동시에, 반송물을 반송하기 위한 반송로(21b)를 구비한 반송체(21)를 구비하는 것을 특징으로 하는 진동식 반송 장치.A rotary vibrator (10) as set forth in any one of claims 1 to 3, which is fixed to the vibrating body (12) or integrally formed with the vibrating body (12) And a conveying body (21) having a conveying path (21b).
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