KR101496696B1 - 세라믹 시트 적층체의 제조 방법 - Google Patents

세라믹 시트 적층체의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 페라이트 시트를 비롯한 다양한 세라믹 시트를 다량으로 적층하여 소성하는 방법에 관한 것으로서, 물을 용매로 한 세라믹 분말의 분산액을 이형제로 이용함으로써, 소성 후에도 세라믹 시트의 물성이 저하되지 않으면서 세라믹 시트 간의 이형성이 우수하고 친환경적인 세라믹 시트 적층체를 제공하므로, 소결 페라이트 시트를 비롯한 다양한 소결 세라믹 시트 분야에 유용하다.

Description

세라믹 시트 적층체의 제조 방법{METHOD FOR PREPARING CERAMIC SHEET LAMINATE}
본 발명은 페라이트 시트를 비롯한 다양한 세라믹 시트를 다량으로 적층하여 소성하는 방법에 관한 것이다.
세라믹 시트는 우수한 내열성과 절연성 등의 특성 때문에 전자기기를 비롯한 다양한 분야의 재료로 사용되어 왔다. 일례로서, 페라이트 시트의 경우 세라믹 고유의 특성 외에도 자성 특성이 우수하여, 전자기기의 방사 또는 침입하는 전자파를 흡수하기 위한 목적으로 사용되고 있다.
페라이트 시트를 비롯한 다양한 세라믹 시트들이 소성 공정을 거친 소결체로 이용되고 있다. 소성 공정을 위해, 세라믹 시트의 원료 분말을 바인더, 가소제 및 용제와 적절히 혼합하고 시트 상으로 성형한 뒤, 흔히 세터(setter)라고 불리우는 알루미나 소재 등의 플레이트 상에서 고온 소성하여 소결체를 제조하고 있다(대한민국 등록특허공보 제10-0218839호 참조).
이러한 소성 공정은, 세라믹 시트 1장씩 수행할 경우에는 생산성이 매우 저조할 수 밖에 없다. 따라서, 한번에 많은 양의 세라믹 시트를 소성하기 위하여 여러 장의 세라믹 시트를 적층한 뒤 소성을 하고 있다. 그러나, 이 경우 고온 소성 과정에서 적층된 세라믹 시트끼리 달라붙는 문제가 발생하게 된다.
이를 해결하기 위하여, 세라믹 시트의 적층시에 표면에 조도를 주어 적층하는 방식이 개발되었으나, 이 경우에도, 두께 100㎛ 이하의 세라믹 시트를 8매 이상으로 쌓아 소성하였을 때에는, 크랙이 발생하거나 적층된 세라믹 시트끼리 달라붙는 문제가 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-0218839호 (삼화전자공업주식회사) 1999.09.01.
따라서, 본 발명의 목적은 소성 후에도 세라믹 시트의 물성에 영향을 주지 않고 층간 이형성이 뛰어나며 친환경적인 세라믹 시트 적층체의 제조방법에 관한 것이다.
상기 목적에 따라, 본 발명은 (a) 2장 이상의 세라믹 시트를 준비하는 단계; (b) 상기 각각의 세라믹 시트에 대해 적어도 일면에 이형제를 도포한 후 건조하는 단계; 및 (c) 상기 건조된 2장 이상의 세라믹 시트를, 세라믹 시트의 이형제가 도포된 면이 다른 세라믹 시트와 접하도록 적층하는 단계를 포함하고, 이때 상기 이형제가 물 및 상기 물에 분산된 세라믹 분말을 포함하는, 세라믹 시트 적층체의 제조방법을 제공한다.
본 발명에 따르면, 물을 용매로 한 세라믹 분말의 분산액을 이형제로 이용함으로써, 소성 후에도 세라믹 시트의 물성이 저하되지 않으면서 세라믹 시트 간의 이형성이 우수하고 친환경적인 세라믹 시트 적층체를 제공하므로, 소결 페라이트 시트를 비롯한 다양한 소결 세라믹 시트 분야에 유용하다.
도 1은 본 발명의 일례에 따른 세라믹 시트 적층체의 제조공정을 도시한 것이다.
도 2는 본 발명의 일례에 따른 세라믹 시트 적층체의 단면을 도시한 것이다.
도 3은 실시예 1에서 조성비를 다르게 하여 제조한 이형제(P1 내지 P8)를 시트 상에 분사시킨 뒤 분산 상태(소성 이전)를 관찰한 이미지이다.
도 4는 실시예 1에서 물 분산 이형제가 분사된 세라믹 시트 적층체의 소성 전/후 이미지를 나타낸 것이다.
도 5는 비교예 1에서 유기용매 분산 이형제가 분사된 세라믹 시트 적층체의 소성 전/후 이미지를 나타낸 것이다.
도 6은 이형제에 사용되는 알루미나 분말의 SEM 이미지이다.
세라믹 시트 적층체의 제조방법
본 발명의 세라믹 시트 적층체의 제조방법은, (a) 2장 이상의 세라믹 시트를 준비하는 단계; (b) 상기 각각의 세라믹 시트에 대해 적어도 일면에 이형제를 도포한 후 건조하는 단계; 및 (c) 상기 건조된 2장 이상의 세라믹 시트를 적층하는 단계를 포함한다.
또한, 단계 (c) 이후에, 상기 적층된 세라믹 시트를 소성하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
이하, 본 발명의 세라믹 시트 적층체의 제조방법을 단계별로 구체적으로 설명한다.
본 명세서에 있어서, 하나의 구성 요소가 다른 구성 요소의 "상(on)"에 또는 "하(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상/하는 "직접(directly)" 또는 "다른 구성요소를 개재하여(indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다.
(a) 세라믹 시트 준비
본 단계는 적층될 2장 이상의 세라믹 시트를 준비하는 단계이다.
본 단계에서 사용되는 세라믹 시트는, 세라믹 성분을 포함하는 모든 종류의 시트를 포함하며, 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 소성 가능한 세라믹 시트일 수 있다.
일례로서, 상기 세라믹 시트는 자성을 갖는 세라믹 시트일 수 있다. 바람직한 일례로서, 상기 세라믹 시트는 Ni-Zn계, Mg-Zn계, Mn-Zn계 페라이트 등의 페라이트계 성분을 함유하는 세라믹 시트일 수 있다. 이 경우, 상기 세라믹 시트는 페라이트계 성분 외에 다른 자성체 성분, 예를 들어 퍼말로이(permalloy), 샌더스트(sendust) 등을 추가로 함유할 수 있다.
또한, 상기 세라믹 시트는 소성 이전의 세라믹 그린시트(green sheet)일 수 있다. 상기 세라믹 그린시트는 세라믹 원료 분말을 포함하는 용액을 시트 상으로 성형하고 건조하여 제조될 수 있다. 예를 들어, 페라이트계 분말을 바인더, 가소제 및 용제와 적절히 혼합한 뒤, 테이프 캐스팅 등의 공정에 의해 페라이트 그린시트로 성형할 수 있다.
상기 세라믹 시트는 박막 또는 후막의 세라믹 시트가 모두 가능하며, 두께가 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 상기 세라믹 시트는 40㎛ 내지 500㎛의 두께를 가질 수 있다.
(b) 이형제의 도포 및 건조
본 단계는 앞서 준비된 각각의 세라믹 시트에 대해 적어도 일면에 이형제를 도포 및 건조하는 단계이다.
<이형제>
상기 이형제는 물 및 상기 물에 분산된 세라믹 분말을 포함한다.
상기 세라믹 분말은 상기 세라믹 시트와는 다른 성분(이종)의 세라믹 분말일 수 있다. 보다 바람직하게는, 상기 세라믹 분말은 상기 세라믹 시트와 반응하지 않는 세라믹 분말일 수 있다.
예를 들어, 상기 세라믹 분말은 상기 세라믹 시트와 반응하지 않는, 이와 다른 성분의 세라믹 분말을 1종 이상 포함할 수 있다. 일례로서, 상기 세라믹 시트가 페라이트 시트일 경우, 상기 세라믹 분말은 Al2O3, MgO, 또는 이들의 혼합 분말일 수 있다.
이때, 상기 세라믹 분말은 2㎛ 내지 6㎛의 평균 입경을 가질 수 있다. 더 구체적으로, 상기 세라믹 분말은 3㎛ 내지 5㎛의 평균 입경을 가질 수 있다.
상기 세라믹 분말의 형상은 크게 한정되지 않으나, 예를 들어 도 6에서 보듯이, 둥글지 않고 각이 지거나 뾰족한 형상을 가질 수 있다.
상기 이형제는 상기 물과 세라믹 분말을 10:1 내지 200:1의 중량비로 포함할 수 있다. 더 구체적으로, 상기 이형제는 상기 물과 세라믹 분말을 50:1 내지 100:1의 중량비로 포함할 수 있다.
<이형제의 도포>
세라믹 시트 상에 이형제를 도포하는 방식은 특별히 한정되지 않는다.
바람직한 예로서, 상기 이형제의 도포는 상기 세라믹 시트 상에 상기 이형제를 분사함으로써 수행될 수 있다.
예를 들어, 분사기에 상기 이형제를 장입하고 적절한 압력 및 높이에서 상기 세라믹 시트 상에 이형제를 분사할 수 있다.
이때, 이형제의 분사 높이는 100 내지 500 mm일 수 있으며, 보다 구체적으로 150 내지 250 mm일 수 있다. 또한, 이형제의 분사 압력은 0.5 내지 5.0 bar일 수 있으며, 보다 구체적으로 1.0 내지 2.0 bar일 수 있다. 또한, 이형제의 분사 각도는 20° 내지 80°일 수 있으며, 보다 구체적으로 40° 내지 60°일 수 있다. 여기서 분사 각도란 노즐 입구로부터 시트 표면 상에 내려진 가상의 수직선을 기준으로 할 때, 노즐 입구에서 분사된 이형제의 궤적과 상기 수직선 간의 각도를 의미한다.
일례로서, 상기 분사는, 정지된 분사기 아래에서 상기 세라믹 시트가 이송되면서 수행될 수 있다. 이때, 세라믹 시트의 이송 속도는 1 내지 10 m/min일 수 있으며, 보다 구체적으로 4 내지 8 m/min일 수 있다.
분사가 상기 범위의 조건에서 수행될 때, 이형제의 분사 이후에도 세라믹 시트의 특성을 유지하는데 보다 유리하다. 특히, 세라믹 시트가 페라이트 시트일 경우, 상기 범위의 조건에서 투자율 등의 자성 특성을 유지하는데 보다 유리하다.
<건조 공정>
앞서 이형제가 도포된 각각의 세라믹 시트는 건조 공정을 거친다.
상기 건조 공정을 통해 세라믹 시트 상에 도포된 이형제 중의 용매인 물이 모두 제거될 수 있다.
상기 건조 방법은 특별히 한정되지 않으며, 자연 건조, 열풍 건조, 가열 건조 등이 모두 가능하다. 또한, 건조 시간도 특별히 한정되지 않으며 용매인 물이 모두 제거될 수 있는 시간이면 충분하다. 일례로서, 상기 건조는 열풍 건조 방식에 의해 70℃ 내지 90℃의 온도에서 3초 내지 30초의 시간 동안 수행될 수 있다.
<이형제의 도포 및 건조 공정의 구체예>
도 1에 본 발명의 일례에 따른 세라믹 시트 적층체의 제조공정을 도시하였다. 도면에서의 각 구성요소들의 크기는 설명을 위하여 과장될 수 있으며, 실제로 적용되는 크기와 다를 수 있다.
도 1을 참조하면, 세라믹 시트(10)는 이송수단(50)에 의해 이송되면서 투입존(100), 분사존(200) 및 건조존(300)을 순차적으로 거치게 된다.
먼저, 세라믹 시트(10)는 투입존(100) 내의 이송수단(50) 상에 올려져 일정 속도로 이송된다.
곧 세라믹 시트(10)는 분사존(200)으로 이송된다. 분사존(200)은 내부 상단에 분사기(210)를 구비한다. 상기 분사기(210)에는 물에 분산된 세라믹 분말로 이루어진 이형제가 장입된다. 상기 분사기(210)는 적절한 분사 압력으로 세라믹 시트(10) 상에 이형제를 분사한다.
이후, 세라믹 시트(10)는 건조존(300)으로 이송된다. 건조존(300)은 건조수단 및/또는 가열수단을 구비할 수 있다. 세라믹 시트(10) 상에 도포된 이형제는 건조존(300)을 거치면서 용매인 물이 제거되어 세라믹 분말(20)만이 남게 된다. 건조가 완료된 세라믹 시트(10)는 적층을 위해 이송된다.
(c) 적층 공정
본 단계는 앞서 건조된 2장 이상의 세라믹 시트를 적층하여, 세라믹 시트의 적층체를 제조하는 단계이다. 이때, 세라믹 시트의 이형제가 도포된 면이 다른 세라믹 시트와 접하도록 적층하는 것이 필요하다.
그 결과, 상기 세라믹 시트의 층 간에는 앞서 도포된 세라믹 분말이 삽입된 상태로 존재한다.
상기 세라믹 시트의 적층체는 2장 내지 40장, 바람직하게는 10장 내지 20장의 세라믹 시트의 적층체일 수 있다.
이상의 단계 (b) 및 (c)에서, 상기 도포, 건조 및 적층은, 세라믹 시트 한 장씩 순차적으로 반복하여 수행될 수 있다. 즉, 단계 (a)에서 준비된 2장 이상의 세라믹 시트를, 단계 (b)에서 1장씩 순차적으로 이형제의 도포 및 건조를 수행한 뒤, 건조된 순으로 단계 (c)에서 적층하는 단계를 반복하여, 점차 적층체를 제조해 나갈 수 있다.
(d) 소성 단계
앞서의 건조 공정 이후에 소성 단계가 추가될 수 있다.
본 소성 단계를 통해, 앞서 제조된 세라믹 시트 적층체는 소결 세라믹 시트 적층체로 제조된다.
소성 공정의 조건은 세라믹 시트의 성분에 따라 조절될 수 있으며 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 상기 세라믹 시트가 페라이트 시트일 경우, 소성 공정은, 1차로 2~5℃/분의 승온속도로 25~450℃의 온도까지 올린 뒤 1~5 시간 동안 유지시켜 바인더를 태워 없앤 뒤, 2차로 1~5℃/분의 승온속도로 450~970℃까지 올린 뒤 1~3 시간 동안 유지시켜 수행할 수 있다.
세라믹 시트 적층체
앞서의 단계를 거치면 세라믹 시트 적층체를 얻을 수 있다.
도 1 및 2에 본 발명의 일례에 따른 세라믹 시트 적층체가 개략적으로 도시되어 있다. 도 1 및 2를 참조하면, 상기 세라믹 시트 적층체(11)는, 2장 이상의 세라믹 시트(10)의 적층체, 및 상기 세라믹 시트(10)의 층 간에 삽입된 세라믹 분말(20)을 포함한다.
상기 세라믹 시트(10)는 소성 이전의 세라믹 그린시트(green sheet)일 수 있고, 또는 소성 이후의 소결 세라믹 시트일 수 있다.
본 발명의 소결 세라믹 시트 적층체(11)는 이형제의 용매로서 물을 사용하기 때문에, 소성 전후에 걸쳐 이형제와 세라믹 시트(10) 간에 반응이 일어나지 않으므로, 소성 후에도 세라믹 시트(10)끼리 서로 달라붙지 않고 쉽게 분리할 수 있으며, 도 4에서 보듯이, 세라믹 시트의 표면이 소성 후에도 깨끗하고 매끈한 상태로 유지될 수 있다. 이에 따라, 세라믹 시트가 자성을 갖는 세라믹 시트일 경우 소성 이전의 자성 특성을 소성 후에도 그대로 유지할 수 있다.
실시예
이하, 본 발명을 실시예에 의해 보다 상세히 설명한다. 단, 하기 실시예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐, 본 발명이 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.
이형제의 제조
이하에서는 하기의 부정형 알루미나 분말을 사용하였다:
- 미츠이분말社 WA#2000: 평균입도(D50) 6.759㎛;
- 미츠이분말社 WA#2500: 평균입도(D50) 5.877㎛;
- 미츠이분말社 WA#3000: 평균입도(D50) 3.910㎛; 및
- 미츠이분말社 WA#4000: 평균입도(D50) 3.176㎛.
상기 알루미나 분말들의 주사전자현미경(SEM, x1500) 이미지를 도 6에 나타내었다.
제조예: 이형제의 제조(P1 내지 P8)
알루미나 분말과 증류수를 혼합한 뒤 초음파 분산시켜, 하기 표 1과 같이 이형제 P1 내지 P8을 제조하였다.
이형제 No. 용매 분말 용매:분말 중량비
P1 증류수 WA#2000 50:1
P2 증류수 WA#2500 50:1
P3 증류수 WA#3000 50:1
P4 증류수 WA#4000 50:1
P5 증류수 WA#2000 100:1
P6 증류수 WA#2500 100:1
P7 증류수 WA#3000 100:1
P8 증류수 WA#4000 100:1
비교 제조예: 이형제의 제조(P9 내지 P12)
알루미나 분말과 유기용매를 혼합한 뒤 초음파 분산시켜, 하기 표 2와 같이 이형제 P9 내지 P12를 제조하였다.
이형제 No. 용매 분말 용매:분말 중량비
P9 알코올 WA#2000 50:1
P10 톨루엔 WA#2000 50:1
P11 아세톤 WA#2000 50:1
P12 유기글루 WA#2000 50:1
세라믹 시트 적층체의 제조
실시예 1: 세라믹 시트 적층체의 제조(물 분산 이형제 사용)
(1) 세라믹 시트의 제조
세라믹 분말로서 Ni-Cu-Zn 페라이트(지믹스사)를 사용하였으며, 바인더, 가소제 및 용제가 적절히 배합된 종합바인더(BKY-2155, BYK사)를 사용하여 슬러리로 제조하였다. Ni-Cu-Zn 페라이트와 종합바인더를 60:40의 중량비로 혼합하고, 이를 바스켓밀(basket mill)을 이용하여 5시간 동안 분산시킨 뒤, 수득한 슬러리를 테이프 캐스팅 방법을 이용하여 시트 상으로 성형하여, 두께 60㎛의 페라이트 그린시트를 총 15장 제작하였다.
(2) 이형제의 분사 및 건조
상부에 높이 200mm로 설치된 분사기에 앞서 제조한 물 분산 이형제 P1 내지 P8 중 하나를 장입하였다. 단계 (1)에서 제조된 그린시트를 이송 장치에 올려 놓고 8m/min의 속도로 이송시키면서, 분사기로부터 페라이트 그린시트 상에 이형제를 분사하였다. 이때, 분사 조건은 분사 각도 45° 및 분사 압력 2bar의 조건으로 하였다. 이후 그린시트 상에 분사된 이형제 중, 용매인 물이 건조될 때까지 80℃에서 약 3초간 방치하여, 알루미나 분말이 도포된 그린시트를 얻었다.
(3) 적층 공정
앞서의 단계 (2)에서 알루미나 분말이 도포된 그린시트들을 적층하되, 하나의 그린시트의 알루미나 분말이 도포된 면이 다른 그린시트와 접하도록 적층하여, 그린시트 층 간에 알루미나 분말이 삽입되도록 적층하였으며, 최종적으로 그린시트가 15장 적층된 적층체를 얻었다.
(4) 소성 공정
앞서의 단계 (3)에서 얻은 적층체를 소성하였다. 구체적으로, 0.5℃/분의 승온속도로 450℃까지 승온하고, 450℃에서 5시간 동안 바인더(binder)를 태워 없앤(burn out) 후, 다시 960℃까지 분당 3℃/분의 속도로 승온시켜 3시간 동안 페라이트 그린시트를 소결시켰다.
소결 이후에 적층체를 이루는 각각의 페라이트 소결 시트의 두께는 0.97mm이었고 투자율과 투자손실은 125 및 1.5이었다.
비교예 1: 세라믹 시트 적층체의 제조(유기용매 분산 이형제 사용)
상기 실시예 1과 동일한 절차를 수행하되, 이형제로서 유기용매 분산 이형제 P9 내지 P12 중 어느 하나를 사용하여, 세라믹 시트 적층체를 제조하였다.
비교예 2: 세라믹 시트 적층체의 제조(건조 이형제 사용)
상기 실시예 1과 동일한 절차를 수행하되, 이형제로서 알루미나 분말을 용매에 분산없이 건조 상태에서 세라믹 시트 상에 분사하였다.
그 결과, 분사되는 알루미나 분말의 분진이 다량 발생하여, 환경적으로 크게 문제가 되었다.
세라믹 시트 적층체의 평가
시험예 1: 소결 세라믹 적층체의 이형성 평가
상기 실시예 1에서 제조된 소결 세라믹 시트 적층체를, 개별 세라믹 시트로 분리하면서 이형성을 평가하였다.
그 결과 물 분산 이형제를 사용한 실시예 1의 소결 세라믹 시트 적층체는 소성 시트끼리 달라붙지 않고 쉽게 분리할 수 있었으며, 이는 소성시에 세라믹 시트 간의 반응이 일어나지 않았음을 의미한다.
시험예 2: 세라믹 분말의 도포 상태 평가
상기 실시예 1의 단계 (2)에서 이형제 P1 내지 P8이 도포된 각각의 페라이트 시트(소성 이전)에 대해, 알루미나 분말의 도포 상태를 현미경으로 관찰하여 도 3에 나타내었다.
도 3에서 보듯이, 알루미나 분말이 균일하게 시트에 도포되었음을 알 수 있으며, 특히 농도가 옅은 분산액을 사용했을 때 좀더 균일하고 뭉침이 적음을 알 수 있다.
시험예 3: 소결 세라믹 시트 적층체의 표면 평가
상기 실시예 1에서 제조된 세라믹 시트 적층체에 대해서, 소성 전/후의 이미지를 도 4(각각 좌/우 이미지)에 나타내었다. 또한, 상기 비교예 1에서 제조된 세라믹 시트 적층체에 대해서, 소성 전/후의 이미지를 도 5(각각 좌/우 이미지)에 나타내었다.
도 4에서 보듯이, 물 분산 이형제를 사용한 실시예 1의 경우, 페라이트 그린시트가 소성 전/후에 걸쳐 깨끗하고 매끈한 표면 상태를 유지함을 알 수 있다. 이는 이형제에 의한 세라믹 시트 표면의 반응이 없었기 때문인 것으로 해석된다. 따라서, 소성 후에도 페라이트 시트의 자성 특성이 우수하게 유지될 수 있다.
반면, 도 5에서 보듯이, 유기용매 분산 이형제를 사용한 비교예 1의 경우에는, 소성 전부터 세라믹 시트 표면이 매끈하지 않거나 얼룩이 발생하였으며, 소성 후에는 주름 등이 발생하였으며 알루미나 분말이 박혀 있기도 하였다. 이는 이형제 분사시에 유기용매에 의해 세라믹 시트 표면 일부가 녹는 등의 반응을 일으켰기 때문인 것으로 해석된다. 이같이 세라믹 시트 표면에 박혀 있는 알루미나 분말이나 얼룩 등은 페라이트 시트의 자성 특성의 저하를 일으키게 된다.
이상, 본 발명을 상기 실시예를 중심으로 하여 설명하였으나 이는 예시에 지나지 아니하며, 본 발명은 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 다양한 변형 및 균등한 기타의 실시예를 이하에 첨부한 청구범위 내에서 수행할 수 있다는 사실을 이해하여야 한다.
10: 세라믹 시트, 11: 세라믹 시트 적층체,
20: 세라믹 분말, 50: 이송 수단,
100: 투입존, 200: 분사존,
210: 분사기, 300: 건조존.

Claims (13)

  1. (a) 2장 이상의 세라믹 시트를 준비하는 단계;
    (b) 상기 각각의 세라믹 시트에 대해 적어도 일면에 이형제를 도포한 후 건조하는 단계; 및
    (c) 상기 건조된 2장 이상의 세라믹 시트를, 세라믹 시트의 이형제가 도포된 면이 다른 세라믹 시트와 접하도록 적층하는 단계를 포함하고,
    이때 상기 이형제가 물 및 상기 물에 분산된 세라믹 분말을 포함하는, 세라믹 시트 적층체의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 세라믹 분말이, 상기 세라믹 시트와 반응하지 않는, 이와 다른 성분의 세라믹 분말인, 세라믹 시트 적층체의 제조방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 세라믹 분말이 3㎛ 내지 5㎛의 평균 입경을 갖는, 세라믹 시트 적층체의 제조방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 이형제가 상기 물 및 세라믹 분말을 50:1 내지 100:1의 중량비로 포함하는, 세라믹 시트 적층체의 제조방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    단계 (a)에서, 상기 세라믹 시트가 이의 원료 분말을 포함하는 용액을 시트 상으로 성형하고 건조하여 제조되는, 세라믹 시트 적층체의 제조방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    단계 (a)에서, 상기 세라믹 시트가 자성을 갖는 세라믹 시트인, 세라믹 시트 적층체의 제조방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    단계 (b)에서 상기 이형제의 도포가, 상기 세라믹 시트 상에 상기 이형제를 분사함으로써 수행되는, 세라믹 시트 적층체의 제조방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 분사가, 정지된 분사기 아래에서 상기 세라믹 시트가 이송되면서 수행되는, 세라믹 시트 적층체의 제조방법.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 분사가, 분사 높이 150 내지 250 mm, 분사 압력 1.0 내지 2.0 bar, 및 분사 각도 40° 내지 60°의 조건으로 수행되는, 세라믹 시트 적층체의 제조방법.
  10. 제 1 항에 있어서,
    단계 (b)에서, 상기 건조를 통해 상기 이형제 중의 물이 제거되는, 세라믹 시트 적층체의 제조방법.
  11. 제 1 항에 있어서,
    단계 (b) 및 (c)에서, 상기 도포, 건조 및 적층이, 세라믹 시트 한 장씩 순차적으로 반복하여 수행되는, 세라믹 시트 적층체의 제조방법.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 세라믹 시트의 적층체가 10장 내지 20장의 세라믹 시트의 적층체인, 세라믹 시트 적층체의 제조방법.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 세라믹 시트 적층체의 제조방법이, 상기 단계 (c) 이후에, 상기 적층된 세라믹 시트를 소성하는 단계를 추가로 포함하는, 세라믹 시트 적층체의 제조방법.
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