KR101493739B1 - 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관 및 상기 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치 - Google Patents
반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관 및 상기 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치 Download PDFInfo
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Abstract
반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관 및 상기 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치가 개시된다.
개시되는 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관은 유연한 재질로 이루어져서 구부려질 수 있는 관 몸체; 및 상기 관 몸체 내부에 연속적인 나선형 홈으로 이루어진 주름부;를 포함한다.
개시되는 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관 및 상기 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치에 의하면, 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관이 관 몸체와 나선형 홈으로 이루어진 주름부를 포함함에 따라, 가스 유동용 플렉시블 관 내부에서의 유체 유동이 매끄럽게 이루어질 수 있음은 물론, 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치의 이동이 원활해져서 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치에 의한 초평탄화 고품질 표면처리 등의 표면 처리가 원활하게 이루어질 수 있게 되고, 표면 처리 후의 세정액 등이 원활하게 배출될 수 있게 되는 장점이 있다.
개시되는 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관은 유연한 재질로 이루어져서 구부려질 수 있는 관 몸체; 및 상기 관 몸체 내부에 연속적인 나선형 홈으로 이루어진 주름부;를 포함한다.
개시되는 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관 및 상기 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치에 의하면, 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관이 관 몸체와 나선형 홈으로 이루어진 주름부를 포함함에 따라, 가스 유동용 플렉시블 관 내부에서의 유체 유동이 매끄럽게 이루어질 수 있음은 물론, 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치의 이동이 원활해져서 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치에 의한 초평탄화 고품질 표면처리 등의 표면 처리가 원활하게 이루어질 수 있게 되고, 표면 처리 후의 세정액 등이 원활하게 배출될 수 있게 되는 장점이 있다.
Description
본 발명은 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관 및 상기 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치에 관한 것이다.
반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치는 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 중 어느 하나를 제조할 수 있는 장치를 말하고, 이러한 장치에는 수많은 가스들이 적용되고, 그러한 가스 유동을 위한 배관들이 많이 설치된다.
이러한 가스 유동용 플렉시블 관을 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용하기 위해서는 파티클 발생 방지, 부식 방지 등을 위해 관 내부의 표면을 연마시켜 주어야 하는데, 종래에는 주로 전해 연마(electropolishing)가 이용되었다.
한편, 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치의 챔버 형상, 연결 형태, 진동 방지 등을 위해 가스 유동을 위한 배관은 직선 형태와 벤딩된 형태로만으로는 구성이 불가능하여, 유연성이 있는 플렉시블 관이 적용되어야 한다.
그러나, 종래의 가스 유동용 플렉시블 관은 유연성 확보를 위해 형성된 주름 홈 부분으로 인해, 파티클 발생, 금속 오염, 부식 등의 문제가 발생되었는데, 가스 유동용 플렉시블 관의 유연성으로 인해 그러한 파티클 발생, 금속 오염, 부식 등의 문제를 해소하기 위한 관 내부 표면 연마가 쉽지 않은 문제가 있었다.
본 발명은 유연성이 확보되면서도 관 내부 표면 연마가 쉽게 이루어질 수 있는 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관 및 상기 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
삭제
본 발명의 일 측면에 따른 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치는 유연한 재질로 이루어져서 구부려질 수 있는 관 몸체와, 상기 관 몸체 내부에 연속적인 나선형 홈으로 이루어진 주름부를 포함하는 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 공정을 수행할 수 있는 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치에 있어서,
상기 주름부의 나선형 홈에 맞추어져서 상기 관 몸체 내부를 따라 이동되면서, 상기 관 몸체 내부 표면에 대한 내부 표면 처리 공정을 수행하는 내부 표면 처리 부재; 및 상기 내부 표면 처리 부재를 상기 관 몸체 내부에서 이동시킬 수 있는 구동 부재;를 포함하고,
상기 내부 표면 처리 부재는
상기 관 몸체를 따라 이동될 수 있는 내부 표면 처리 부재 몸체와,
상기 내부 표면 처리 부재 몸체의 외면에 상기 나선형 홈에 맞물릴 수 있는 형태로 형성되는 주름 이동부와,
상기 관 몸체 내부에 대한 표면 처리가 이루어질 수 있도록 상기 주름 이동부와 상기 내부 표면 처리 부재 몸체 사이에 적용되는 처리 유체를 분사할 수 있는 처리 유체 분사 노즐 관과,
외부의 처리 유체 공급 부재와 연결되어 상기 처리 유체 분사 노즐 관으로 상기 처리 유체를 공급할 수 있는 처리 유체 공급 관을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 주름부의 나선형 홈에 맞추어져서 상기 관 몸체 내부를 따라 이동되면서, 상기 관 몸체 내부 표면에 대한 내부 표면 처리 공정을 수행하는 내부 표면 처리 부재; 및 상기 내부 표면 처리 부재를 상기 관 몸체 내부에서 이동시킬 수 있는 구동 부재;를 포함하고,
상기 내부 표면 처리 부재는
상기 관 몸체를 따라 이동될 수 있는 내부 표면 처리 부재 몸체와,
상기 내부 표면 처리 부재 몸체의 외면에 상기 나선형 홈에 맞물릴 수 있는 형태로 형성되는 주름 이동부와,
상기 관 몸체 내부에 대한 표면 처리가 이루어질 수 있도록 상기 주름 이동부와 상기 내부 표면 처리 부재 몸체 사이에 적용되는 처리 유체를 분사할 수 있는 처리 유체 분사 노즐 관과,
외부의 처리 유체 공급 부재와 연결되어 상기 처리 유체 분사 노즐 관으로 상기 처리 유체를 공급할 수 있는 처리 유체 공급 관을 포함하는 것을 특징으로 한다.
삭제
본 발명의 일 측면에 따른 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관 및 상기 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치에 의하면, 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관이 관 몸체와 나선형 홈으로 이루어진 주름부를 포함함에 따라, 가스 유동용 플렉시블 관 내부에서의 유체 유동이 매끄럽게 이루어질 수 있음은 물론, 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치의 이동이 원활해져서 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치에 의한 초평탄화 고품질 표면처리 등의 표면 처리가 원활하게 이루어질 수 있게 되고, 표면 처리 후의 세정액 등이 원활하게 배출될 수 있게 되는 효과가 있다.
본 발명의 다른 측면에 따른 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관 및 상기 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치에 의하면, 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치가 내부 표면 처리 부재와 구동 부재를 포함함에 따라, 나선형 홈을 가진 가스 유동용 플렉시블 관 내부에 대한 기계적 및 화학적 연마 등의 표면 처리가 원활하게 이루어질 수 있으므로, 상기 가스 유동용 플렉시블 관이 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되어 반응 가스 등의 유체가 유동될 때 파티클 발생이 현저히 감소될 수 있도록 하면서 상기 가스 유동용 플렉시블 관을 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관을 일부분만 절개하여 보이는 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치를 보이는 도면.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치를 보이는 단면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관에 상기 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치가 적용되어 내부 표면 처리가 이루어지는 모습을 보이는 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치를 보이는 도면.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치를 보이는 단면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관에 상기 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치가 적용되어 내부 표면 처리가 이루어지는 모습을 보이는 도면.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관 및 상기 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관을 일부분만 절개하여 보이는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치를 보이는 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치를 보이는 단면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관에 상기 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치가 적용되어 내부 표면 처리가 이루어지는 모습을 보이는 도면이다.
도 1 내지 도 4를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관(100)은 관 몸체(101)와, 주름부(102)를 포함한다.
상기 관 몸체(101)는 유연한 재질로 이루어져서 구부려질 수 있는 것이다. 상기 관 몸체(101)를 이루는 유연한 재질은 종래 플렉시블 관에서 통상 이용되는 재질이므로, 여기서는 그 구체적인 설명은 생략한다.
상기 주름부(102)는 상기 관 몸체(101) 내부에 연속적인 나선형 홈(103)으로 이루어진 것이다.
상세히, 상기 주름부(102)를 구성하는 상기 나선형 홈(103)이 나선형 구조로 상기 관 몸체(101) 내부 표면을 따라 연속적으로 이루어짐으로써, 상기 관 몸체(101) 내부를 따라 유동되어지는 유체가 상기 주름부(102)에 적체되지 아니하고 상기 나선형 홈(103)을 따라 매끄럽게 이동될 수 있고, 상기 주름부(102)에 의한 난류 발생이 최소화되면서 더욱 매끄럽게 유체 이동이 가능해지게 된다.
도면 번호 104는 상기 나선형 홈(103)의 각 홈 사이에 형성되는 돌출부이다.
상기와 같이, 상기 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관(100)이 상기 관 몸체(101)와 나선형 홈(103)으로 이루어진 상기 주름부(102)를 포함함에 따라, 상기 가스 유동용 플렉시블 관(100) 내부에서의 유체 유동이 매끄럽게 이루어질 수 있음은 물론, 이하에서 기술되는 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치의 이동이 원활해져서 상기 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치에 의한 초평탄화 고품질 표면처리 등의 표면 처리가 원활하게 이루어질 수 있게 되고, 표면 처리 후의 세정액 등이 원활하게 배출될 수 있게 된다.
본 실시예에 따른 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치는 유연한 재질로 이루어져서 구부려질 수 있는 관 몸체(101)와, 상기 관 몸체(101) 내부에 연속적인 나선형 홈(103)으로 이루어진 주름부(102)를 포함하는 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 상기 가스 유동용 플렉시블 관(100)의 내부 표면에 대해 요구되는 공정을 처리할 수 있는 것으로서, 내부 표면 처리 부재(150)와, 구동 부재(160)를 포함한다.
상기 내부 표면 처리 부재(150)는 상기 주름부(102)의 나선형 홈(103)에 맞추어져서 상기 관 몸체(101) 내부를 따라 이동되면서, 상기 관 몸체(101) 내부 표면에 대해 기계적 및 화학적 연마 등의 요구되는 공정을 처리하는 것이다.
상기 내부 표면 처리 부재(150)는 상기 관 몸체(101)를 따라 이동될 수 있는 내부 표면 처리 부재 몸체(151)와, 상기 내부 표면 처리 부재 몸체(151)의 외면에 상기 나선형 홈(103)에 맞물릴 수 있는 형태로 형성되는 주름 이동부(152)와, 상기 주름 이동부(152)와 상기 내부 표면 처리 부재 몸체(151) 사이에 적용이 요구되는 처리 유체를 분사할 수 있는 처리 유체 분사 노즐 관(155)과, 외부의 처리 유체 공급 부재(170)와 연결되어 상기 처리 유체 분사 노즐 관(155)으로 상기 처리 유체를 공급할 수 있는 처리 유체 공급 관(156)을 포함한다.
상기 주름 이동부(152)는 상기 주름부(102)의 상기 나선형 홈(103)에 대응되는 형태의 나선형 구조의 홈(153)이 그 표면에 연속적으로 형성되어, 상기 주름부(102)에 맞추어진 상태로 상기 주름부(102)를 따라 회전되면서 이동될 수 있는 것이다.
도면 번호 154는 상기 홈(153) 사이의 돌출부이다.
상기 처리 유체 분사 노즐 관(155)은 상기 주름 이동부(152) 중 상대적으로 그 표면이 함몰된 부분인 상기 홈(153)에 형성될 수 있다. 상기 처리 유체 분사 노즐 관(155)을 통해 분사된 처리 유체는 상기 내부 표면 처리 부재(150)가 상기 관 몸체(101) 내부를 따라 이동될 때 상기 내부 표면 처리 부재(150)와 상기 관 몸체(101) 내부 표면 사이에 묻게 되고, 이러한 상태에서 상기 내부 표면 처리 부재(150)가 상기 관 몸체(101) 내부를 따라 지속적으로 이동되면서 상기 관 몸체(101) 내부에 대해 기계적 및 화학적 연마 등의 표면 처리가 이루어지게 된다.
상기 처리 유체 공급 관(156)은 상기 내부 표면 처리 부재 몸체(151)를 관통한 형태로 이루어지고, 상기 처리 유체 분사 노즐 관(155)은 상기 처리 유체 공급 관(156)에서 각각 분지된 형태로 이루어진다.
상기 구동 부재(160)는 회전축(161)을 통해 상기 내부 표면 처리 부재 몸체(151)와 연결되어, 상기 내부 표면 처리 부재(150)를 상기 관 몸체(101) 내부에서 이동시킬 수 있는 것으로, 전기 모터 등이 제시될 수 있다.
상기 처리 유체 공급 부재(170)는 외부에서 처리 유체를 펌핑할 수 있는 장치로, 일반적인 유체 펌프 등이 적용될 수 있으므로, 여기서는 그 구체적인 설명을 생략한다. 도면 번호 171은 상기 처리 유체 공급 부재(170)와 상기 처리 유체 공급 관(156)을 연결하는 연결 관이다.
상기 처리 유체는 철 산화물(Fe-oxide), 크롬 산화물(Cr-oxide), 지방산 및 유화제를 포함하여, 상기 내부 표면 처리 부재(150)를 통해 상기 관 몸체(101) 내부 표면에 분사될 수 있다. 그러면, 상기 관 몸체(101) 내부에서의 상기 내부 표면 처리 부재(150)의 이동에 따라 상기 관 몸체(101) 내부 표면에 대한 기계적 연마 및 화학적 연마가 함께 이루어질 수 있게 된다.
이하에서는 본 실시예에 따른 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치의 작동에 대하여 간단히 설명한다.
상기 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치가 상기 가스 유동용 플렉시블 관(100) 내부의 나선형 홈(103)에 맞추어진다.
이러한 상태에서, 상기 구동 부재(160)가 작동되면, 상기 내부 표면 처리 부재(150)가 상기 가스 유동용 플렉시블 관(100)의 내부를 따라 이동된다.
이 때, 상기 처리 유체 공급 부재(170)에서 공급된 처리 유체가 상기 내부 표면 처리 부재(150)를 통해 공급됨으로써, 상기 내부 표면 처리 부재(150)의 이동에 따라 상기 가스 유동용 플렉시블 관(100)의 내부 표면에 대한 기계적 및 화학적 연마가 동시에 진행될 수 있게 된다.
상기와 같이, 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치가 내부 표면 처리 부재(150)와 구동 부재(160)를 포함함에 따라, 나선형 홈(103)을 가진 가스 유동용 플렉시블 관(100) 내부에 대한 기계적 및 화학적 연마 등의 표면 처리가 원활하게 이루어질 수 있으므로, 상기 가스 유동용 플렉시블 관(100)이 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되어 반응 가스 등의 유체가 유동될 때 파티클 발생이 현저히 감소될 수 있도록 하면서 상기 가스 유동용 플렉시블 관(100)을 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용시킬 수 있다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관 및 상기 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치에 의하면, 유연성이 확보되면서도 관 내부 표면 연마가 쉽게 이루어질 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
100 : 가스 유동용 플렉시블 관 101 : 관 몸체
102 : 주름부 150 : 내부 표면 처리 부재
160 : 구동 부재
102 : 주름부 150 : 내부 표면 처리 부재
160 : 구동 부재
Claims (6)
- 삭제
- 삭제
- 유연한 재질로 이루어져서 구부려질 수 있는 관 몸체와, 상기 관 몸체 내부에 연속적인 나선형 홈으로 이루어진 주름부를 포함하는 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 공정을 수행할 수 있는 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치에 있어서,
상기 주름부의 나선형 홈에 맞추어져서 상기 관 몸체 내부를 따라 이동되면서, 상기 관 몸체 내부 표면에 대한 내부 표면 처리 공정을 수행하는 내부 표면 처리 부재; 및
상기 내부 표면 처리 부재를 상기 관 몸체 내부에서 이동시킬 수 있는 구동 부재;를 포함하고,
상기 내부 표면 처리 부재는
상기 관 몸체를 따라 이동될 수 있는 내부 표면 처리 부재 몸체와,
상기 내부 표면 처리 부재 몸체의 외면에 상기 나선형 홈에 맞물릴 수 있는 형태로 형성되는 주름 이동부와,
상기 관 몸체 내부에 대한 표면 처리가 이루어질 수 있도록 상기 주름 이동부와 상기 내부 표면 처리 부재 몸체 사이에 적용되는 처리 유체를 분사할 수 있는 처리 유체 분사 노즐 관과,
외부의 처리 유체 공급 부재와 연결되어 상기 처리 유체 분사 노즐 관으로 상기 처리 유체를 공급할 수 있는 처리 유체 공급 관을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치. - 삭제
- 제 3 항에 있어서,
상기 처리 유체 분사 노즐 관은 상기 주름 이동부 중 상대적으로 그 표면이 함몰된 부분에 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치. - 제 3 항에 있어서,
상기 처리 유체는 철 산화물(Fe-oxide), 크롬 산화물(Cr-oxide), 지방산 및 유화제를 포함하여, 상기 내부 표면 처리 부재를 통해 상기 관 몸체 내부 표면에 분사됨으로써, 상기 관 몸체 내부에서의 상기 내부 표면 처리 부재의 이동에 따라 상기 관 몸체 내부 표면에 대한 기계적 연마 및 화학적 연마가 함께 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR20140053175A KR101493739B1 (ko) | 2014-05-02 | 2014-05-02 | 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관 및 상기 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR20140053175A KR101493739B1 (ko) | 2014-05-02 | 2014-05-02 | 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관 및 상기 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치 |
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| Publication Number | Publication Date |
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| KR101493739B1 true KR101493739B1 (ko) | 2015-02-16 |
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ID=52593756
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR20140053175A KR101493739B1 (ko) | 2014-05-02 | 2014-05-02 | 반도체, 엘이디, 엘씨디, 오엘이디, 태양전지 제조 장치에 적용되는 가스 유동용 플렉시블 관 및 상기 가스 유동용 플렉시블 관의 내부 표면 처리 장치 |
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| KR (1) | KR101493739B1 (ko) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004193470A (ja) * | 2002-12-13 | 2004-07-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 配管清掃機構 |
| JP2004216525A (ja) * | 2003-01-16 | 2004-08-05 | Toshiba Corp | 管内面研磨装置 |
| KR20100125018A (ko) * | 2009-05-20 | 2010-11-30 | 이선영 | 폐기가스 유도장치 |
-
2014
- 2014-05-02 KR KR20140053175A patent/KR101493739B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004193470A (ja) * | 2002-12-13 | 2004-07-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 配管清掃機構 |
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