KR101489221B1 - Control device with clean air-conditioning functions - Google Patents

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KR101489221B1
KR101489221B1 KR20130083308A KR20130083308A KR101489221B1 KR 101489221 B1 KR101489221 B1 KR 101489221B1 KR 20130083308 A KR20130083308 A KR 20130083308A KR 20130083308 A KR20130083308 A KR 20130083308A KR 101489221 B1 KR101489221 B1 KR 101489221B1
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송재홍
임세훈
강희엽
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주식회사 시스웍
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Abstract

본 발명은 차압센서를 설치하여 크린룸 외부와 내부의 압력의 차이를 측정하여 내부 공기압력이 항상 외부 공기압보다 설정된 값만큼 높게 유지하고, 파티클 센서를 크린룸 내부에 설치하여 파티클 농도를 실시간으로 측정하여 설정치 이상 감지되면 에프에프유(FFU)의 회전수를 높여서 파티클이 신속하게 제거되도록 구성되며, 크린룸을 하나 이상의 그룹으로 나누어서 각각의 그룹을 서로 다른 차압 및 파티클 농도로 제어할 수 있으며, 그룹별로 도어와 연동하도록 제어할 수 있는 다기능 청정공조 제어장치에 관한 것이다. In the present invention, a differential pressure sensor is installed to measure the difference between the pressure in the outside of the clean room and the inside pressure, so that the internal air pressure is always kept higher than the external air pressure by a set value. If an abnormality is detected, the number of revolutions of the FFU is increased to quickly remove the particles. The clean room can be divided into one or more groups, and each group can be controlled to have different differential pressure and particle concentration. To a multifunctional clean air conditioning control device capable of controlling so as to be interlocked.

Description

다기능 청정공조 제어장치{Control device with clean air-conditioning functions}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a multi-

본 발명은 차압센서를 설치하여 크린룸 외부와 내부의 압력의 차이를 측정하여 내부 공기압력이 항상 외부 공기압보다 설정된 값만큼 높게 유지하고, 파티클 센서를 크린룸 내부에 설치하여 파티클 농도를 실시간으로 측정하여 설정치 이상 감지되면 에프에프유(FFU)의 회전수를 높여서 파티클이 신속하게 제거되도록 구성되며, 크린룸을 하나 이상의 그룹으로 나누어서 각각의 그룹을 서로 다른 차압 및 파티클 농도로 제어할 수 있으며, 그룹별로 도어와 연동하도록 제어할 수 있는 다기능 청정공조 제어장치에 관한 것이다. In the present invention, a differential pressure sensor is installed to measure the difference between the pressure in the outside of the clean room and the inside pressure, so that the internal air pressure is always kept higher than the external air pressure by a set value. If an abnormality is detected, the number of revolutions of the FFU is increased to quickly remove the particles. The clean room can be divided into one or more groups, and each group can be controlled to have different differential pressure and particle concentration. To a multifunctional clean air conditioning control device capable of controlling so as to be interlocked.

크린룸은 내부 공기를 항상 깨끗하게 유지하기 위하여 외부의 공기 압력보다 높게 유지하여 외부 공기가 내부로 들어오는 것을 방지하고, 내부공기 중에 파티클(먼지)의 수(또는 파티클 농도)를 설정치 이하로 유지하는 것이 중요하다.It is important to keep the inside of the clean room higher than the outside air pressure in order to keep the inside air always clean, to prevent the outside air from coming into the inside, and to keep the number of particles (dust) Do.

종래의 FFU 제어기는 버튼제어 방식으로 최대 32 개 FFU를 제어할 수 있고, 차압 연동, 파티클 연동 및 도어 연동이 이루어지지 않아서 크린룸 내부의 조건을 항상 균일한 상태로 유지할 수 없는 문제점이 있다. The conventional FFU controller can control up to 32 FFUs by the button control method, and the differential pressure interlocking, particle interlocking and door interlocking are not performed, so that the condition inside the clean room can not always be kept uniform.

또한, 넓은 크린룸에서 각각 다른 압력과 파티클 농도로 나누어서 제어할 수 없어서 크린룸을 높은 설정치로 동일한 조건으로 유지 관리함에 따라 유지관리 비용이 많이 소요되고 사용자들이 원하는 크린룸으로 제어 관리를 할 수 없는 문제점이 있다.In addition, since it is impossible to divide the clean room into different pressures and particle concentrations in a wide clean room, the clean room is maintained at a high set value under the same condition, and thus there is a problem that the maintenance cost is high and the control management can not be performed by the user in a desired clean room .

또한, 종래의 FFU 제어기는 자체에서 제어할 수 있는 기능이 거의 없고 상위 모니터링 시스템인 EMS에서 이루어지므로 운영자의 동선이 길고, 불필요한 시간을 낭비하는 경우가 종종 발생한다. Also, since the conventional FFU controller has almost no function to control itself and is performed in the upper monitoring system EMS, it sometimes happens that the operator has a long line and wastes unnecessary time.

종래의 FFU 제어기에서는 도움말 기능이 없어서 각각의 버튼이 하는 기능을 정확하게 알지 못해서 오동작을 유발하고, 원하는 제어를 하지 못하는 경우가 종종 발생하는 문제점이 있다.The conventional FFU controller does not know the function of each button because it does not have a help function, which causes a malfunction and often fails to perform the desired control.

본 발명과 관련된 종래 기술로, 본 발명 출원인이 출원하여 등록된 대한민국 등록특허공보 제10-0720311호에서 스토커 내부의 공기 중에 포함된 먼지와 인체 유해한 가스들을 제거하기 위한 스토커 청정시스템에 관한 내용이 개시되어 있으나, 본 발명에 따라 설계 제작된 다기능 청정공조 제어장치에서는 설정된 차압유지, 설정된 파티클 농도, 도어 연동 제어 및 그룹 제어를 포함하는 다양한 기능을 단독으로 수행할 수 있는 다기능 청정공조 제어장치와는 현저한 차이가 있다. In the prior art related to the present invention, Korean Patent Registration No. 10-0720311 filed and filed by the applicant of the present invention discloses a stocker cleaning system for removing dust and harmful gases contained in the air inside the stocker. However, in the multifunctional clean air conditioning control device designed and manufactured according to the present invention, the multifunctional clean air conditioning control device capable of performing various functions including maintenance of a set differential pressure, set particle density, door interlocking control, There is a difference.

본 발명이 해결하려는 과제는 제어 방식을 터치스크린으로 구성하여 운영자 또는 사용자들에게 편리성을 제공하고 FFU 제어 및 하부배기(EXHAUSTER)를 동시에 제어할 수 있으며, 차압센서를 이용하여 외부와 내부공기의 압력을 온라인으로 측정하여 설정된 차압을 유지하여 에너지를 절약하고, 크린룸 내부의 파티클 농도를 측정하여 설정된 값으로 유지하여 생산제품의 수율을 높이는데 있다.The problem to be solved by the present invention is to provide a convenience to the operator or users by configuring the control method as a touch screen, and to simultaneously control the FFU control and the lower exhaust (EXHAUSTER) By measuring the pressure online, it maintains the set differential pressure, saves energy, and maintains the particle concentration inside the clean room at the set value to increase the yield of the product.

본 발명이 해결하려는 또 다른 과제는 크린룸 내부에 하나 이상의 그룹을 설정하여 각각의 그룹을 서로 다른 차압과 파티클 농도로 설정하고, 설정된 차압과 파티클 농도를 유지함으로써 효율적인 에너지 관리가 가능하고, 사용자들의 요구에 능동적으로 대처할 수 있는 다기능 청정공조 제어장치를 제공하는데 있다.Another problem to be solved by the present invention is to set one or more groups in a clean room to set different groups of different pressure and particle concentrations and to maintain a set pressure difference and a particle concentration so that efficient energy management is possible, And to provide a multifunctional clean air control device capable of actively coping with the problem.

본 발명이 해결하려는 또 다른 과제는 아날로그 입력단자, 디지털 입력단자, 디지털 출력단자, 통신수단 및 터치스크린 등을 구비하고, 본 발명에 따라 설계된 제어프로그램을 탑재시켜, 하나 이상의 그룹을 각각 설정된 차압과 파티클 농도를 유지하며, 도어의 열림과 닫힘을 감지하여 FFU 동작을 제어하도록 구성하여 사용자들의 요구에 능동적으로 대처하고, 유지 관리에 따른 에너지를 효율적으로 절약할 수 있도록 하는데 있다. Another object of the present invention is to provide a control program designed according to the present invention, which has an analog input terminal, a digital input terminal, a digital output terminal, a communication means and a touch screen, The particle concentration is maintained and the FFU operation is controlled by sensing the opening and closing of the door to actively cope with the demands of users and efficiently save the energy due to the maintenance.

본 발명 과제의 해결 수단은 차압센서를 설치하여 크린룸 외부와 내부의 압력의 차이를 측정하여 내부의 압력이 항상 외부의 공기압보다 설정된 값만큼 높게 유지하고, 파티클 센서를 크린룸 내부에 설치하여 파티클 농도(단위체적당 파티클 수)를 실시간으로 측정하여 설정치 이상 감지되면 에프에프유(FFU)의 회전수를 높여서 파티클을 신속하게 제거하도록 구성하며, 도어와 연동하여 FFU를 제어하도록 구성된 다기능 청정공조 제어장치를 제공하는데 있다. The present invention solves the problem of the present invention by providing a differential pressure sensor to measure the difference between the pressure in the outside of the clean room and the pressure in the inside of the clean room so that the pressure in the interior is always kept higher than the outside air pressure, The number of particles per unit volume) is measured in real time to increase the number of revolutions of the FFU if the set value is detected, and the FFU is controlled to be interlocked with the door to provide a multi-function clean air conditioning control device .

본 발명의 또 다른 과제의 해결 수단은 크린룸을 하나 이상 그룹으로 나누어서 각각의 그룹별로 서로 다른 차압, 서로 다른 조건의 도어 연동 FFU 제어 및 파티클 농도를 설정치로 제어할 수 있으며, 이러한 제어를 수행할 수 있도록 차압값을 측정하는 차압측정 단자와, 온도, 습도 측정을 위한 예비로 구성된 아날로그 입력단자와, 도어의 열림 및 닫힘을 감지하는 디지털 입력단자와, FFU의 알람 및 상태 출력을 수행하기 위한 디지털 출력단자와, 파티클 센서로부터 입력되는 아날로그 값을 수신하는 통신단자를 구비한 다기능 청정공조 제어장치를 제공하는데 있다.Another solution to the problem of the present invention is to divide the clean room into one or more groups and to control the door interlocking FFU control and the particle concentration at different set pressure, A digital input terminal for detecting opening and closing of the door, and a digital output for performing alarm and status output of the FFU. Terminal and a communication terminal for receiving an analog value input from the particle sensor.

본 발명의 또 다른 과제의 해결 수단은 크린룸 외부와 내부의 압력 차이를 차압센서로 측정하여 설정된 차압으로 FFU의 회전속도를 제어 유지하도록 구성하고, 크린룸을 조건이 다른 하나 이 상의 그룹을 설정하고, 각각의 그룹에 속해 있는 FFU를 각각의 그룹에서 설정한 조건으로 제어하도록 구성하되, 이러한 제어 수단들은 모두 본 발명에 따라 설계 제작되어 메모리에 탑재된 제어프로그램에 의하여 동작하도록 구성된 다기능 청정공조 제어장치를 제공하는데 있다.A further object of the present invention is to provide a clean room control system for controlling the difference in pressure between the outside of the clean room and the inside of the clean room with a differential pressure sensor to control and maintain the rotational speed of the FFU at a set differential pressure, The FFUs belonging to the respective groups are controlled under the conditions set in the respective groups. These control means are all designed and manufactured in accordance with the present invention and are configured to operate by a control program mounted on the memory, .

본 발명의 또 다른 과제의 해결 수단은 7 인치 정도의 칼라 터치스크린으로 제작하여 사용자들이 편리하게 이용할 수 있고, 제어에 사용되는 모든 FFU를 하나의 화면에 모두 표시할 수 있으며, 터치스크린에 표시된 각각의 객체를 터치할 경우에 각각의 객체의 특성 및 상태 등을 볼 수 있고, 객체 중에서 사용자들이 사용을 위한 도움말이 필요한 경우에는 도움말이 표시되도록 구성된 다기능 청정공조 제어장치를 제공하는데 있다.A further object of the present invention is to provide a color touch screen of about 7 inches which can be conveniently used by users and can display all the FFUs used for control on one screen, The characteristic and the state of each object can be seen when the user touches the object of the touch screen, and the help is displayed when the user needs help for using among the objects.

본 발명은 제어 방식을 터치스크린으로 구성하여 운영자 또는 사용자들에게 편리성을 제공하고 FFU 및 하부배기(EXHAUSTER)를 동시에 제어할 수 있으며, 차압센서를 이용하여 외부와 내부공기의 압력을 온라인으로 측정하여 설정된 차압을 유지하여 에너지를 절약하고, 내부의 파티클의 농도를 측정하여 설정된 값으로 유지하여 생산제품의 수율을 높일 수 있는 유리한 효과가 있다.The present invention provides a convenience to the operator or users by configuring the control method as a touch screen, and can simultaneously control the FFU and the lower exhaust (EXHAUSTER). The pressure of the outside and the inside air is measured online To maintain the set differential pressure to save energy, and to measure the concentration of the particles inside and maintain the set value, thereby increasing the yield of the produced product.

본 발명의 또 다른 효과는 크린룸 내부를 하나 이상의 그룹으로 나누어 각각의 그룹에 서로 다른 차압과 파티클 농도를 설정하고, 설정된 차압과 파티클 농도를 유지 관리함으로써 하나의 그룹으로 유지관리할 때보다 효율적인 운전이 가능하여 에너지 절약을 할 수 있고, 사용자들의 요구에 능동적으로 대처할 수 있는 다기능 청정공조 제어장치를 제공하는데 있다.Another advantage of the present invention is that the operation of the clean room is more efficient than the maintenance of one group by dividing the inside of the clean room into one or more groups, setting different differential pressure and particle concentration in each group, and maintaining the set pressure difference and the particle concentration And to provide a multifunctional clean air control device capable of energy saving and capable of actively coping with the demands of users.

본 발명의 또 다른 효과는 아날로그 입력단자, 디지털 입력단자, 디지털 출력단자, 통신수단 및 터치스크린 등을 구비하고, 본 발명에 따라 설계된 제어프로그램을 탑재시켜, 하나 이상의 그룹으로 나누고, 각각의 그룹을 서로 다르게 설정된 차압과 파티클 농도를 유지하며, 도어의 열림과 닫힘을 감지하여 FFU 동작을 설정된 값으로 제어하도록 구성하여 사용자들의 요구에 능동적으로 대처하고, 유지 관리에 따른 에너지를 효율적으로 절약하는데 있다. Another effect of the present invention is to provide a control program designed according to the present invention, which includes an analog input terminal, a digital input terminal, a digital output terminal, a communication means, a touch screen, The FFU operation is controlled to a set value by detecting the opening and closing of the door by maintaining the differential pressure and the particle concentration set to be different from each other, thereby actively coping with the demand of users and efficiently saving the energy due to the maintenance.

본 발명의 또 다른 효과는 7 인치 정도의 칼라 터치스크린으로 제작하여 사용자들이 편리하게 이용할 수 있고, 제어에 사용되는 모든 FFU를 하나의 화면에 모두 표시할 수 있고, 터치스크린에 표시된 각각의 객체를 터치할 경우에 각각의 객체의 특성 및 상태 등을 볼 수 있고, 객체 중에서 사용자들이 사용을 위한 도움말이 필요한 경우에는 도움말이 표시되도록 구성하여 용이하고 편리하게 이용할 수 있도록 하는데 있다.Another effect of the present invention is that a color touch screen of about 7 inches can be used conveniently by users, all the FFUs used for control can be displayed on one screen, and each of the objects displayed on the touch screen can be displayed The user can view the properties and status of each object when the user touches the object. In addition, when the user needs help for the use of the object, the help is displayed so that the object can be easily and conveniently used.

도 1은 본 발명에 따른 다기능 청정공조 제어장치의 전체적인 구성을 개략적으로 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 다기능 청정공조 제어장치를 제어할 때 사용하는 기본화면 구성을 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 다기능 청정공조 제어장치의 터치스크린에서 연동 FFU 의 운전 상태 모니터링 및 속도 변경을 위한 화면을 보여준다.
도 4는 하부배기(EXHAUSTER) 32개 팬의 운전 상태 모니터링 및 속도 변경을 위한 화면을 나타낸 것이다.
도 5는 연동 운전에 대한 각종 설정값 확인 및 변경하는 방법을 도시한 것이다.
도 6은 다기능 청정공조 제어장치의 설정을 위한 화면을 캡쳐한 것이다.
도 7은 차압연동 설정모드에 대한 화면을 나타낸 것이다.
도 8은 도어연동 설정모드에 대한 화면을 나타낸 것이다.
도 9는 파티클연동 설정모드에 대한 화면을 나타낸 것이다.
FIG. 1 schematically shows a general configuration of a multifunctional clean air conditioning control apparatus according to the present invention.
FIG. 2 shows a basic screen configuration used for controlling the multifunctional clean air conditioning control apparatus according to the present invention.
3 is a screen for monitoring operation status and changing the speed of the interlocked FFU in the touch screen of the multifunctional clean air conditioning control apparatus according to the present invention.
FIG. 4 is a screen for monitoring operation status and changing speed of 32 fans of the lower exhaust (EXHAUSTER).
FIG. 5 shows a method for confirming and changing various setting values for interlocking operation.
6 is a screen capture for setting of the multifunctional clean air conditioning control device.
7 shows a screen for the differential pressure interlocking setting mode.
Fig. 8 shows a screen for the door interlocking setting mode.
9 shows a screen for the particle interlocking setting mode.

본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용을 살펴본다. Hereinafter, the present invention will be described in detail.

본 발명에 따른 다기능 청정공조 제어장치는 크린룸 외부와 내부의 압력 차이를 감지하는 차압센서를 설치하여 외부와 내부의 공기압력의 차이를 측정하여 내부의 압력이 항상 외부의 공기압보다 높게 설정된 값으로 유지하고, 파티클 센서를 크린룸 내부에 설치하여 파티클 농도를 실시간으로 측정하여 설정치 이상 감지되면 에프에프유(FFU)의 회전수를 높여서 파티클이 신속하게 제거되도록 구성되며, 크린룸을 하나 이상의 그룹으로 나누어서 각각의 그룹을 서로 다른 차압 및 파티클 농도로 설정하여 제어할 수 있도록 구성되어 있다. 본 발명을 구성을 구체적으로 살펴본다. The multi-function clean air conditioning control apparatus according to the present invention includes a differential pressure sensor for detecting the pressure difference between the outside of the clean room and the inside of the clean room and measures the difference between the outside and inside air pressure to maintain the inside pressure at a value higher than the outside air pressure The particle sensor is installed in the clean room to measure the particle concentration in real time. When the particle density is detected to be higher than the set value, the particles are quickly removed by increasing the number of revolutions of the FFU. The clean room is divided into one or more groups The group can be controlled by setting different differential pressures and particle concentrations. The construction of the present invention will be described in detail.

<실시 예><Examples>

본 발명에 따른 구체적인 실시 예를 살펴본다. A specific embodiment according to the present invention will be described.

본 발명에 따른 다기능 청정공조 제어장치는 최대 32대 FFU 제어 감시 기능, 최대 32대 하부 배기(EXHAUSTER) 제어 감시 기능, 개별 운전상태 모니터링 및 제어 기능을 구비하고 있다. The multifunctional clean air conditioning control apparatus according to the present invention has a maximum of 32 FFU control monitoring functions, a maximum of 32 lower EXHAUSTER control monitoring functions, and individual operating condition monitoring and control functions.

본 발명에 따른 다기능 청정공조 제어장치는 FFU가 제어하는 팬 모터의 과전류 이상감시 기능, 팬 모터 속도 이상감시 기능, 이상발생시 이상표시 및 이상발생 FFU의 자동 운전정지 기능 등과 같은 FFU 제어 시 운전 이상 감지 기능을 구비하고 있다. The multifunctional clean air conditioning control device according to the present invention is capable of monitoring over-current abnormality of the fan motor controlled by the FFU, monitoring the fan motor speed abnormality, displaying an abnormality in the occurrence of an abnormality, Function.

본 발명에 따른 다기능 청정공조 제어장치는 터치스크린 방식으로 벽면 부착형이고, 다중 스캔(Multi Scan) 방식의 통신으로 실시간(Real Time) 이상 감시 기능을 가지고 있다. The multifunctional clean air conditioning control apparatus according to the present invention is a touch-screen type wall-mounted type and has a real-time abnormal monitoring function by multi-scan communication.

본 발명에 따른 다기능 청정공조 제어장치는 본 발명에 따라 설계된 제어프로그램이 탑재된 메모리와, 메모리에 탑재된 제어프로그램을 수행하기 위한 마이크로프로세서와, 마이크로프로세서에 의하여 실행되는 제어프로그램에 따라 FFU를 동작시키기 위하여 필요한 복수의 디지털 입력단자와, 복수의 아날로그 입력단자 및 복수의 디지털 출력단자를 구비하고 있으므로 단독으로 소규모 크린룸의 FFU 감시 제어를 할 수 있는 유리한 작용효과가 있다. The multifunctional clean air conditioning control apparatus according to the present invention comprises a memory mounted with a control program designed according to the present invention, a microprocessor for executing a control program mounted on the memory, and a microprocessor for operating the FFU according to a control program executed by the microprocessor And a plurality of analog input terminals and a plurality of digital output terminals. Therefore, there is an advantageous effect that the FFU monitoring and control of the small clean room alone can be performed.

크린룸은 내부의 압력을 외부보다 높게 유지하여 외부의 먼지나 나쁜 공기가 내부로 유입되는 것을 방지하도록 구성되어 있다. The clean room is designed to keep the internal pressure higher than the outside to prevent dust or bad air from entering into the clean room.

본 발명의 명세서 상의 설정치 또는 설정된 값은 상한치와 하한치가 주어지는 '설정된 허용범위', '설정된 범위' 및 줄여서 사용한 '설정치'는 동일한 의미이다.The set value or the set value in the specification of the present invention have the same meaning as the 'set allowable range', the 'set range' and the 'set value' used for the upper and lower limits.

명세서 상에 기재된 '객체'의 의미는 터치스크린에 표시되어 사용자들이 터치할 경우에 주어진 제어 동작하거나 다음 화면으로 넘어가거나 사용자들에게 어떤 의미를 제공하는 모든 것들을 의미한다. The meaning of the 'object' described in the specification means all things that are displayed on the touch screen so that when a user touches it, a given control operation is performed or a next screen is displayed or a meaning is given to the users.

본 발명에 따른 다기능 청정공조 제어장치에 설치된 아날로그 입력단자는 크린룸의 외부와 내부의 압력의 차이를 측정하는 차압센서와 연결되고, 차압센서에서 실시간으로 측정한 차압과 메모리에 설정 저장된 차압 허용범위를 실시간으로 비교하여 메모리에 설정된 차압 허용범위에서 유지하도록 구성되어 있다. The analog input terminal provided in the multifunctional clean air conditioning control device according to the present invention is connected to a differential pressure sensor for measuring the difference between the pressure of the outside and inside of the clean room and the differential pressure measured in real time by the differential pressure sensor, And is configured so as to be maintained in the differential pressure allowable range set in the memory.

보다 구체적으로, 외부와 내부의 공기압 차이인 차압이 메모리에 설정된 허용범위보다 떨어질 경우에는 FFU와 연동하는 팬 모터의 회전속도를 높여서 크린룸 내부의 공기압을 높여서 설정된 허용범위 내에서 제어되도록 구성되어 있다. More specifically, when the differential pressure, which is the difference between the outside and inside air pressure, is lower than the allowable range set in the memory, the rotational speed of the fan motor linked with the FFU is increased to control the air pressure inside the clean room to be within the allowable range.

하나의 구체적인 동작 예로, 현재 측정한 차압이 설정된 허용범위(ex: 0.7mmAq~1.3mmAq)를 벗어난 직후부터 5 초 동안 허용범위 밖에서 차압이 유지될 경우에 차압연동이 시작되도록 구성되어 있다. In one concrete operation example, the differential pressure interlocking is started when the pressure difference is maintained outside the permissible range for 5 seconds immediately after the currently measured differential pressure deviates from the set permissible range (ex: 0.7 mmAq to 1.3 mmAq).

하나의 구체적인 동작 예로, 현재 차압센서에서 측정한 차압 값이 '설정치 차압'을 기준으로 ± '차압변동허용범위'안에 존재하고, 해당 그룹의 FFU 들의 현재 회전속도(rpm) 중 최대와 최소값의 차이가 20rpm 이내로 30 초동안 유지될 경우에 차압이 안정화되어 차압연동이 성공한 것으로 판단하여 차압연동을 중지하도록 구성되어 있다.In one specific example, if the differential pressure value measured by the current differential pressure sensor is within the tolerance range of the differential pressure fluctuation with reference to the set differential pressure, and the difference between the maximum and minimum values of the current rotational speed (rpm) Is maintained for 20 seconds or less within 20 rpm, the differential pressure is stabilized and it is determined that the differential pressure interlocking has succeeded and the differential pressure interlocking is stopped.

본 발명은 하나의 크린룸에 하나 이상의 그룹을 설정하고, 각각의 그룹에 차압을 측정할 수 있는 차압센서를 설치하여 측정된 차압이 각각의 그룹에 설정된 허용범위 내에서 유지하여 사용자들이 원하는 크린룸의 상태로 유지 관리할 수 있도록 구성되어 있다.In the present invention, one or more groups are set in one clean room, a differential pressure sensor capable of measuring a differential pressure is installed in each group, the measured differential pressure is maintained within the allowable range set for each group, As shown in FIG.

크린룸에 그룹을 나누어 설정하는 이유는 여러 가지가 있을 수 있다. 예를 들어, 그룹 A와 그룹 B에서 생산하는 제품이 서로 다르고 각각의 제품들을 제조할 때 요구되는 크린룸의 조건이 서로 다를 경우에 해당되며, 각각 그룹의 요구조건에 맞추어서 크린룸을 제어함으로써 높은 차압 설정범위에 맞추어서 균일하게 제어할 경우보다 에너지를 절약할 수 있고, 사용자들의 요구조건에도 부합되는 제어를 할 수 있다. There are many reasons to set up a group in a clean room. For example, when the products produced in Group A and Group B are different from each other and the conditions of the clean room required when manufacturing the respective products are different from each other, a high differential pressure setting Energy can be saved more than uniformly controlled according to the range, and it is possible to control according to the requirements of users.

크린룸 안의 장비의 움직임에 의해 센서에서 측정한 차압이 흔들릴 경우 '차압변동허용 시간'을 충분하게 설정하여 제어할 경우에 빈번한 차압연동을 방지할 수 있다. If the differential pressure measured by the sensor fluctuates due to the movement of the equipment in the clean room, frequent differential pressure interlocking can be prevented when controlling the 'differential pressure tolerance time' to a sufficient value.

또한, 크린룸 내부에 파티클 센서를 고정 설치하고, 센서용 통신단자와 연결하여 파티클 센서에서 측정한 파티클의 농도(단위체적당 파티클 수)를 바탕으로 설정된 허용범위(설정된 농도 허용범위)보다 높으면, FFU 제어기에서 팬의 회전속도를 높여서 크린룸 내부에 있는 파티클을 신속하게 제거하도록 제어하여 설정된 농도범위(허용범위)에서 유지되도록 구성되어 있다.Further, when the particle sensor is fixedly installed in the clean room and is connected to the communication terminal for the sensor and is higher than the allowable range (set tolerance range) set based on the particle concentration (the number of particles per unit volume) measured by the particle sensor, The speed of rotation of the fan is increased to quickly remove the particles in the clean room so as to be maintained in the set concentration range (allowable range).

파티클 농도는 단위체적당 파티클 수로 표시할 수 있다. 양자는 모두 동일한 의미를 갖는다. The particle concentration can be expressed by the number of particles per unit volume. Both have the same meaning.

크린룸 내부의 파티클 농도 제어 역시 하나 이상의 그룹으로 나누어서 각각의 그룹에 설치된 FFU를 각각 서로 다르게 또는 동일한 조건으로 설정 제어할 수 있다.Particle density control inside the clean room can also be divided into one or more groups and the FFUs installed in each group can be set differently or under the same conditions.

파티클(먼지)를 제거하는 필터는 하부배기를 통과한 공기를 공기정화필터를 이용하여 정화하고, FFU에 설치된 공기정화필터를 통과하여 깨끗한 공기가 크린룸으로 주입되도록 구성되어 있다.The filter for removing particles (dust) is configured to purify the air passing through the lower exhaust using an air purifying filter, and pass clean air through the air purifying filter installed in the FFU to inject clean air into the clean room.

앞서 차압모드에서 설명한 바와 같이, 예를 들어, 크린룸 내부를 그룹 A와 그룹 B로 나누는 이유는 그룹 A와 그룹 B에서 생산하는 제품이 서로 다르며, 각각의 제품들을 제조할 때 요구되는 크린룸의 조건이 서로 다르거나 어느 한쪽이 보다 엄격하게 괸리되어져야 할 경우에 해당되며, 그룹 A에서 생산하는 A 제품의 경우에 고정도를 요구하고, 그룹 B에서 생산하는 B 제품의 경우에는 A 제품보다 다소 낮은 정도의 제품을 요구할 때, A 그룹은 파티클의 농도를 B 그룹보다 낮게 설정하여 B 그룹에 공급되는 공기보다 깨끗하게 유지되도록 제어함으로써 A와 B 그룹을 균일한 파티클 농도범위로 제어할 경우보다 에너지를 절약할 수 있고, 사용자들의 요구조건에도 부합되는 제어를 할 수 있다.For example, as described in the differential pressure mode, the reason for dividing the inside of the clean room into the group A and the group B is that the products produced in the group A and the group B are different from each other, and the conditions of the clean room Or if one of them is to be more strictly controlled. In case of A product produced in group A, it is required to have a high degree of accuracy. In case of B product produced in group B, When demanding a product, A group can save energy by controlling particles A and B to a uniform particle concentration range by controlling the particle concentration to be lower than the B group and keeping it cleaner than air supplied to the B group And can be controlled in accordance with the requirements of users.

보다 구체적으로, 각각의 그룹에 설치된 파티클 센서는 고유ID를 가지며, 가령 A 그룹에 위치한 파티클 센서에서 실시간으로 측정된 데이터 중 현재 파티클 농도(개수)가 메모리에 설정된 A 그룹 파티클의 설정된 농도범위(허용범위)보다 높으면 A 그룹 FFU가 회전속도를 높여서 신속하게 파티클 농도를 낮추는 동작하게 되고, A 그룹의 파티클 농도가 설정된 허용범위에 들어오면 정상동작모드로 전환되도록 구성되어 있다. More specifically, the particle sensors installed in each group have a unique ID. For example, among the data measured in real time from the particle sensor located in the A group, the current particle density (number) is set to the set concentration range of the A group particle Range, the A group FFU increases the rotation speed to quickly lower the particle concentration, and when the particle concentration of the A group falls within the set allowable range, the A group FFU is switched to the normal operation mode.

또한, 크린룸 출입을 위하여 설치된 도어에 접점 단자를 설치하고, 접점 단자와 디지털 입력단자를 연결하여 도어의 열림과 닫힘을 감지하여 FFU 제어기와 연동하도록 구성할 수 있다. In addition, a contact terminal is provided in a door installed for a clean room access, and a door terminal is opened and closed by connecting a contact terminal and a digital input terminal, so that the door can be configured to be interlocked with the FFU controller.

또한, 그룹별로 도어와 연동하는 FFU의 설정조건을 서로 다르게 할 수 있으며, 예를들어 그룹 A는 미사용, 그룹 B는 사용으로 설정할 수 있고, 그룹 A와 B 모두 사용으로 설정하되 각각 설정되는 FFU의 회전속도(rpm)의 설정치를 서로 다르게 설정된 시간동안 동작하도록 제어할 수 있다.In addition, the setting conditions of the FFU linked with the door can be different for each group. For example, the group A can be set to be unused, the group B can be set to be used, and the group A and B can be set to be used. It is possible to control the set value of the rotation speed (rpm) to operate for a time set different from each other.

하부배기(EXAUSTER)는 디지털 입력단자의 입력 접점신호의 유무에 따라서 하부 배기늬 해당 팬이 동작하도록 구성되어 있다. The lower exhaust (EXAUSTER) is configured so that the fan corresponding to the lower exhaust is operated depending on the presence or absence of the input contact signal of the digital input terminal.

디지털 입력단자의 입력신호에 A 접점(ON)이 입력되면 하부배기는 해당 팬(FAN)을 설정된 회전속도(rpm)로 각각 동작을 하게 되고, B 접점(OFF)이 입력되면 하부배기의 팬(FAN)은 회전속도(rpm)를 영(0)으로 동작한다. When the A contact (ON) is input to the input signal of the digital input terminal, the lower exhaust operates the corresponding fan (FAN) at the set rotational speed (rpm), and when the B contact (OFF) FAN) operates at a rotational speed (rpm) of zero (0).

운전모드는 원격(REMOTE)모드와 로컬(LOCAL) 모드로 나뉘며, 원격 모드에서는 설정 및 동작의 우선권이 상위 호스트(HOST)에 있기 때문에 로컬(LOCAL)에서는 설정치 변경이 불가능하며, 상태 모니터링만 가능하다. 상위 호스트(HOST)에서 설정치를 변경하려 한다면 운전모드가 원격 모드에 있어야 한다. Operation mode is divided into REMOTE mode and LOCAL mode. In the remote mode, since the priority of setting and operation is in the upper host (HOST), the setting value can not be changed at the local (LOCAL) . If you want to change the setting value from host host (HOST), the operation mode must be in remote mode.

로컬 모드에서는 설정 및 동작의 우선권이 본 발명에 따라 제작된 다기능 청정공조 제어장치에 있고, 상위 호스트(HOST)에서는 각 FFU/FAN 제어기의 상태 모니터링은 가능하나 속도 변경 등의 컨트롤은 불가능하다. In the local mode, the priority of the setting and operation is in the multifunctional clean air control apparatus manufactured according to the present invention. In the upper host (HOST), the status of each FFU / FAN controller can be monitored, but control such as speed change is impossible.

본 발명에 따른 다기능 청정공조 제어장치와 호스트 컴퓨터와의 통신 연결(예 RS-485)은 Modbus 프로토콜을 이용하여 연결하거나 FFU 전용 프로토콜을 이용하여 연결할 수 있다. The communication connection (for example, RS-485) between the multifunctional clean air conditioning control device and the host computer according to the present invention can be connected using Modbus protocol or FFU-dedicated protocol.

로컬 모드와 원격 모드 중에서, 원격 모드일 경우에만 호스트 컴퓨터에서 제어할 수 있는 권한을 가진다. 또한, 다기능 청정공조 제어장치의 상태가 로컬 모드일 경우에는 FFU의 상태가 모두 로컬 모드로 변경되어 호스트 컴퓨터에 전달되어진다. 이는 다기능 청정공조 제어장치가 호스트 컴퓨터에서 제어가 되지 않는 경우에, 다기능 청정공조 제어장치에서 로컬 모드로 설정되어 있음을 알려주는 것이다. It has the authority to control from the host computer only in the remote mode, either the local mode or the remote mode. When the state of the multifunctional clean air conditioning control apparatus is the local mode, the state of the FFU is changed to the local mode and transmitted to the host computer. This indicates that the multifunctional clean air conditioning control apparatus is set to the local mode when the multifunctional clean air conditioning control apparatus is not controlled by the host computer.

도 1은 본 발명에 따른 다기능 청정공조 제어장치의 전체적인 구성을 개략적으로 도시한 것이다. 앞서 기술적 구성을 설명할 때 기술하였으므로 도 1에 대한 구체적인 설명을 생략한다. FIG. 1 schematically shows a general configuration of a multifunctional clean air conditioning control apparatus according to the present invention. Since the description of the technical structure has been described above, a detailed description of FIG. 1 will be omitted.

다음은 본 발명에 따라 연구 개발된 다기능 청정공조 제어장치에 구현된 제어프로그램에 의하여 터치스크린에 표시된 기능을 바탕으로 살펴본다.The following will be described based on the function displayed on the touch screen by the control program implemented in the multifunctional clean air control apparatus developed and developed according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 기본화면 구성을 나타낸 것이다. 2 shows a basic screen configuration according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 다기능 청정공조 제어장치의 기본 화면 구성을 나타낸 것이며, 전원이 들어오면 기기의 부팅이 끝난 후 도 2와 같은 화면이 터치스크린에 표시된다. 전원 인가후 다기능 청정공조 제어장치의 부팅시간은 약 10~15 초 소요된다.FIG. 2 shows a basic screen configuration of the multifunctional clean air conditioning control apparatus according to the present invention. When the power is turned on, the screen shown in FIG. 2 is displayed on the touch screen after booting of the apparatus. After the power is applied, the boot time of the multifunctional clean air control unit takes about 10 to 15 seconds.

도 2의 화면에 표시된 객체의 의미를 살펴본다.The meaning of the object displayed on the screen of FIG. 2 will be described.

터치스크린 상부에 표시된 항목 'FFU'에서는 연동 FFU의 운전 상태 모니터링 및 속도를 변경할 수 있다. 본 발명의 다기능 청정공조 제어장치는 표시패널에 나타난 바와 같이 [01]에서 [32]까지 모두 32개의 FFU를 제어할 수 있도록 구성되어 있다. 이는 하나의 예이며, 필요 시 본 발명에 기초하여 확장 설계 제작이 가능하다.In the item 'FFU' displayed on the upper part of the touch screen, you can change the operation status and speed of the interlocked FFU. The multifunctional clean air conditioning control apparatus of the present invention is configured to control 32 FFUs from [01] to [32] as shown in the display panel. This is an example, and an extended design can be made based on the present invention, if necessary.

도 2는 상부에 표시된 FFU에 인접하여 표시된 'EXHAUSTER'는 하부배기 32개의 팬의 운전 상태 모니터링 및 속도를 변경 설정할 수 있는 화면을 보여준다. FIG. 2 shows a screen in which 'EXHAUSTER' is displayed adjacent to the FFU shown in the upper part of FIG.

도 2에서, 상부에 표시된 'SET'는 연동 운전에 대한 설정 항목을 변경할 수 있다. In FIG. 2, 'SET' shown at the top can change setting items for interlocking operation.

도 2에서, 상부에 표시된 'REMOTE'는 다기능 청정공조 제어장치의 운전 모드(Local/Remote)를 변경 설정할 수 있다. In FIG. 2, 'REMOTE' shown in the upper part can change the operation mode (Local / Remote) of the multifunctional clean air conditioning control device.

도 2에서, 상부에 표시된 'LOGIN'은 속도 변경 및 각 설정 변경시 로그인을 통해 권한을 확인 인증하기 위한 것이다. LOGIN은 일반사용자 LOGIN 과 관리자 LOGIN 이 존재한다. In FIG. 2, 'LOGIN' shown at the upper part is for confirming and authenticating the authority through the change of the speed and login at each setting change. LOGIN exists as a normal user LOGIN and an administrator LOGIN.

도 2에서, 상부에 표시된 FAN 모드는 FAN 모드나 차압모드로 설정할 때 사용한다.In FIG. 2, the FAN mode shown at the top is used to set the FAN mode or the differential pressure mode.

도 2의 하부에 표시된 '차압'은 현재 차압값을 보여주는 항목이다.The 'differential pressure' shown in the lower part of FIG. 2 is an item showing the present differential pressure value.

도 2의 하부에 표시된 '파티클(A)'은 현재 A 그룹의 파티클 개수(또는 파티클 농도)를 보여주는 항목이다. The 'Particle (A)' shown at the bottom of FIG. 2 is an item showing the number of particles (or particle concentration) of the current A group.

도 2의 하부에 표시된 '파티클(B)'는 현재 B 그룹의 파티클 개수(또는 파티클 농도)를 보여주는 항목이다.The 'Particle B' shown in the lower part of FIG. 2 is an item showing the number of particles (or particle concentration) of the current B group.

도 3은 터치스크린에서 연동 FFU 의 운전 상태 모니터링 및 속도를 변경을 위한 화면을 보여준다.FIG. 3 shows a screen for monitoring the operation status and changing the speed of the interlocking FFU in the touch screen.

도 3에서, 중앙에 붉은 색으로 활성화된 부분을 살펴본다. In FIG. 3, the red activated portion in the center is examined.

항목 중에서 'START FFU'는 운전 상태 모니터링 및 속도를 변경을 위하여 선택한 해당 FFU의 ID를 나타낸다. Among the items, 'START FFU' indicates the ID of the corresponding FFU selected for monitoring the operation status and changing the speed.

항목 중 'END FFU'는 제어하려는 FFU 의 마지막 ID를 나타낸다. Among the items, 'END FFU' indicates the last ID of the FFU to be controlled.

항목 중 'PV'는 해당 FFU의 현재 속도를 나타내며, 항목 중 'SV'는 해당 FFU의 설정 속도를 나타낸다. Among the items, 'PV' represents the current speed of the corresponding FFU, and 'SV' among the items represents the set speed of the corresponding FFU.

항목 중 'ALARM'은 해당 FFU의 알람 상태를 나타낸다.'ALARM' indicates the alarm status of the corresponding FFU.

항목 중 'RUN MODE'는 해당 FFU에 연결된 다기능 청전공조 제어장치의 운전모드(Local/Remote)를 나타낸다. Among the items, 'RUN MODE' indicates the operation mode (Local / Remote) of the multifunctional air conditioning control unit connected to the corresponding FFU.

항목 중 'CLOSE'는 해당 제어 명령 설정을 위하여 활성화된 화면 닫기에 해당한다.(설정된 값의 확인버튼과 같다) 'CLOSE' among the items corresponds to closing the active screen for setting the corresponding control command (same as the confirmation button of the set value).

구체적인 하나의 예로, 2 번 FFU만 선택하고자할 경우에는 [02]가 표시된 객체(FFU)를 터치하면 START FFU가 2 로 설정되고, END FFU 역시 2 로 설정된다. 위의 상태에서 SV 나 ALARM reset 를 설정한 후, CLOSE 버튼을 터치하면 된다. As a specific example, if only the second FFU is selected, touching the object (FFU) marked with [02] sets START FFU to 2 and END FFU to 2 as well. In the above state, set SV or ALARM reset and then touch CLOSE button.

또 다른 구체적인 예로, [03]부터 [10] FFU를 설정하고할 경우에는 [03] FFU를 터치하면 'START FFU'가 3 으로 설정되고, END FFU가 3 으로 표시되나, 'END FFU'를 10 입력하여 설정한 후, SV 및/또는 'ALARM reset' 를 설정한 후, 'CLOSE' 버튼을 터치하면 된다. As another specific example, when setting [03] to [10] FFU, touching [03] FFU sets 'START FFU' to 3 and displays END FFU to 3 but sets 'END FFU' to 10 After inputting and setting, set SV and / or 'ALARM reset' and touch 'CLOSE' button.

도 4는 하부배기(EXHAUSTER) 32개 팬의 운전 상태 모니터링 및 속도를 변경을 나타낸 것이다. Fig. 4 shows the monitoring of the operation status and the change of the speed of 32 fans of the lower exhaust (EXHAUSTER).

도 3에서 설명한 내용과 동일 내지 유사하며, 도 4에서 'START FAN'은 해당 EXHAUSTER FAN 의 ID를 나타내며, 'END FAN'은 제어하려는 EXHAUSTER FAN 의 마지막 ID를 나타낸다. In FIG. 4, "START FAN" represents the ID of the corresponding EXHAUSTER FAN, and "END FAN" represents the last ID of the EXHAUSTER FAN to be controlled.

'PV'는 해당 EXHAUSTER FAN 의 현재 속도를 나타내며, 'SV'는 해당 EXHAUSTER FAN 의 설정 속도를 나타낸다. 'PV' indicates the current speed of the corresponding EXHAUSTER FAN, and 'SV' indicates the set speed of the corresponding EXHAUSTER FAN.

'ALARM'은 해당 EXHAUSTER FAN 의 알람 상태를 나타내며, 'RUN MODE'는 해당 EXHAUSTER FAN 에 연결된 다기능 청정공조 제어장치의 운전모드(Local/Remote)를 나타낸다. 'ALARM' indicates the alarm state of the corresponding EXHAUSTER FAN and 'RUN MODE' indicates the operation mode (Local / Remote) of the multifunctional clean air control unit connected to the corresponding EXHAUSTER FAN.

'CLOSE'는 해당 제어 명령 설정 후 화면 닫기에 해당한다.(셋팅 값의 확인버튼과 같다) 'CLOSE' corresponds to closing the screen after setting the corresponding control command (same as the confirmation button of the setting value).

보다 구체적으로 살펴본다. 하나의 예로, EXHAUSTER FAN 의 [02] ID만 선택 제어할 경우에는 화면 상에서 [02] ID의 EXHAUSTER FAN을 터치하면 'START FAN'이 2로 설정되고, 'END FAN' 역시 2 로 설정된다. 상기 상태에서 'SV' 나 'ALARM reset' 를 설정한 후 'CLOSE' 를 터치하면 된다. More specifically, As an example, if you want to control only the [02] ID of EXHAUSTER FAN, touch EXHAUSTER FAN of [02] ID on the screen, 'START FAN' is set to 2 and 'END FAN' is also set to 2. In this state, set 'SV' or 'ALARM reset' and touch 'CLOSE'.

또 다른 예로, [03] ID FAN부터 [10]ID FAN까지 설정 제어할 경우에는 화면에서 [03]ID FAN를 터치하면 'START FAN'은 3으로 설정되고, 'END FAN'은 10으로 설정한 후, 'SV' 나 'ALARM reset' 를 설정한 후, 'CLOSE' 를 터치하여 종료한다.As another example, if you want to control setting from [03] ID FAN to [10] ID FAN, touch [03] ID FAN on the screen and set 'START FAN' to 3 and 'END FAN' to 10 After setting 'SV' or 'ALARM reset', touch 'CLOSE' to exit.

도 5에 대하여 살펴본다.5 will be described.

도 5의 화면은 연동 운전에 대한 각종 설정값 확인 및 변경이 가능하며, 그 항목은 도 5와 같다.The screen of FIG. 5 can confirm and change various setting values for the interlocking operation, and the items are shown in FIG.

화면에 표시된 각 항목을 살펴본다.Look at each item on the screen.

'시스템 설정'은 다기능 청정공조 제어장치의 FFU ID, 프로그램 버전 및 FFU 수량을 설정할 때 사용한다. 'System setting' is used to set the FFU ID, program version and FFU quantity of the multi-function clean air control unit.

'도움말'은 다기능 청정공조 제어장치에 대한 기본적인 도움말 및 각각의 항목에 대한 도움말을 제공한다. 'Help' provides basic help for the multifunctional clean air control unit and tips for each item.

'관리자 설정'은 관리자 password 로 LOGIN 시에만 나타난다. 관리자는 차압연동 P.I.D 설정 및 차압 offset 설정이 가능하다. 'Administrator setting' appears only at login with administrator password. The administrator can set the differential pressure interlock P.I.D and set differential pressure offset.

차압 연동설정(모드)은 차압 연동 관련된 항목을 설정할 수 있다. In the differential pressure interlock setting (mode), items related to differential pressure interlock can be set.

도어 연동설정(모드)은 도어 연동 관련 항목을 설정할 수 있다. Door interlock setting (mode) can set door interlock related items.

파티클 연동설정(모드)은 파티클 연동 관련 항목을 설정할 때 사용된다.The particle interlock setting (mode) is used to set the particle interlock related items.

도 6은 다기능 청정공조 제어장치의 설정을 위한 화면으로 보여준다.6 is a screen for setting the multifunctional clean air conditioning control apparatus.

도 6에서, ID는 다기능 청정공조 제어장치의 ID이다. 다기능 청정공조 제어장치의 아이디는 제품 뒷면의 설정 스위치로 변경 가능하다.In Fig. 6, ID is the ID of the multifunctional clean air conditioning control device. The ID of the multi-function clean air control unit can be changed by the setting switch on the back of the product.

표시된 항목 중 'LCD BOARD'는 LCD Board 의 프로그램 버전을 의미한다.Among the displayed items, 'LCD BOARD' refers to the program version of LCD Board.

표시된 항목 중 'Main BOARD'는 Main Board 의 프로그램 버전을 의미한다. Among the displayed items, 'Main BOARD' refers to the program version of the Main Board.

'패스워드'는 일반사용자 LOGIN 패스워드 변경을 의미한다. 'Password' means change of the normal user LOGIN password.

'FFU 최대수량'은 제어 대상 FFU 의 총 수량을 나타낸다. The "maximum number of FFUs" represents the total number of FFUs to be controlled.

'EXHAUSTER 최대수량'은 제어 대상 하부 배기(EXHAUSTER) 의 총 수량을 의미한다. 'EXHAUSTER maximum quantity' means the total quantity of the lower exhaust (EXHAUSTER) to be controlled.

최대 타임아웃은 다기능 청정공조 제어장치와 FFU 회전모터 제어기사이의 최대 통신에러 횟수를 의미한다. The maximum timeout means the maximum number of communication errors between the multifunctional clean air control unit and the FFU rotation motor controller.

'A 그룹 범위'는 그룹 분할 시 A 그룹으로 분리될 FFU 범위를 의미한다. The 'A group range' means the FFU range to be divided into A groups when the group is divided.

'차압연동그룹'은 차압연동 사용 그룹으로, 차압연동을 적용할 그룹을 의미한다. 'Differential pressure interlock group' refers to the group that uses the differential pressure interlock and the group to which the differential pressure interlock is to be applied.

도 7은 차압연동 설정에 대한 화면을 나타낸 것이다.7 shows a screen for the differential pressure interlocking setting.

화면에 표시된 각각의 항목에 대하여 살펴본다. Let's look at each item displayed on the screen.

'목표(설정치) 차압'은 차압 연동의 목표(설정치) 차압값을 나타낸다. 구체적으로 외기와 크린룸이 될 수 있고, 그룹A와 그룹 B가 될 수 있다.The target (set point) differential pressure represents the target (set point) differential pressure value of the differential pressure interlock. Specifically, it can be an outside air and a clean room, and can be group A and group B.

'차압 변동허용범위'는 목표 차압의 허용오차를 의미한다.The 'allowable range of differential pressure fluctuation' means the tolerance of the target differential pressure.

'차압 튜브길이'는 다기능 청정공조 제어장치에 연결된 튜브의 길이를 의미한다.'Differential pressure tube length' means the length of the tube connected to the multi-function clean air control unit.

'차압 에러지속시간'은 실시간으로 측정되는 현재 차압값이 설정된 차압 허용범위를 이탈함을 감지한 시간부터 알람을 발생하기까지의 시간을 의미한다.The 'differential pressure error duration' means the time from when the current differential pressure value measured in real time is detected to depart from the set differential pressure allowable range to when the alarm is generated.

'FFU 제어 상한'은 차압 연동시 설정된 최대 FFU 구동 속도를 의미하며, 'FFU 제어 하한'은 차압 연동시 설정된 최저 FFU 구동 속도를 의미한다.'FFU control upper limit' means the maximum FFU driving speed set during the differential pressure interlocking, and 'FFU control lower limit' means the lowest FFU driving speed set when the differential pressure is interlocked.

화면 하단에 표시된 '차압 연동설정'은 터치할 경우에 차압 연동설정 화면으로 이동하며, 화면 하단에 표시된 '도어 연동설정'은 터치할 경우에 도어 연동설정 화면으로 이동한다. 도 8은 도어연동 설정모드에 대한 화면을 나타낸 것이다.The 'differential pressure interlocking setting' displayed at the bottom of the screen moves to the differential pressure interlocking setting screen when touching and the 'interlocking door setting' displayed at the bottom of the screen moves to the door interlocking setting screen. Fig. 8 shows a screen for the door interlocking setting mode.

도 8에서, 화면에 표시된 각 항목을 살펴본다.In Fig. 8, each item displayed on the screen is examined.

화면에 표시된 '도어 연동'은 A 그룹(Group)의 도어 연동의 사용 또는 미사용을 설정할 수 있다. 미사용을 선택할 경우에 2, 3 번 항목은 비활성화된다.The 'door interlocking' displayed on the screen can set whether or not the door interlocking of group A is used or not. Items 2 and 3 are deactivated when "Unused" is selected.

표시된 항목 중 '도어 설정지연시간'은 A 그룹의 도어 연동의 지속시간을 의미한다. Among the displayed items, 'door setting delay time' means the duration of the door interlocking of the A group.

표시된 항목 중 '도어 연동설정값'은 A 그룹의 도어 연동시 해당 FFU 의 속도(SV)값이며, 단위는 rpm 이다. Among the displayed items, the 'door interlock setting value' is the speed (SV) value of the corresponding FFU when the door of group A is interlocked, and the unit is rpm.

도 8에서, 우측에 표시된 B 그룹 항목 역시 상기 A 그룹에서 설명한 것과 동일하다.In Fig. 8, the B group items displayed on the right side are also the same as those described in the A group.

화면 하단에 표시된 '파티클 연동설정'은 터치할 경우에 파티클 연동설정 화면으로 이동한다. 도 9는 파티클연동 설정에 대한 화면을 나타낸 것이다.The "particle interlock setting" displayed at the bottom of the screen moves to the particle interlock setting screen when touching. Fig. 9 shows a screen for particle interlocking setting.

도 9에서, 표시된 각 항목을 살펴보면, '파티클 연동'은 A 그룹의 파티클 연동의 사용 또는 미사용을 설정하는 항목이며, 미사용시 아래의 2, 3, 4, 5 번 항목은 비활성화된다. Referring to FIG. 9, the 'particle interlocking' is an item for setting use or nonuse of particle interlocking of group A, and items 2, 3, 4 and 5 below are disabled when not used.

'파티클 연동시작개수'는 A 그룹의 파티클 연동이 시작되는 파티클 개수(파티클 농도)에 해당한다. 허용 파티클 농도의 상한치를 의미하며, 이는 설정할 수 있다.'Particle interlock start count' corresponds to the number of particles (particle concentration) at which particle interworking of group A starts. Means the upper limit value of the allowable particle concentration, which can be set.

'파티클 연동종료개수'는 A 그룹의 파티클 연동이 종료되는 파티클 개수를 의미한다. 이는 설정할 수 있다.'Number of particle interlocking ends' means the number of particles whose particle interlocking of group A ends. This can be set.

'파티클 연동설정값'은 A 그룹의 파티클 연동시 FFU 의 속도(SV)이며, rpm 으로 표시된다. 이는 설정할 수 있는 값이다.'Particle interlock setting value' is the speed (SV) of the FFU when particles of A group are interlocked, and is expressed in rpm. This is a configurable value.

'파티클 설정지연시간'은 A 그룹의 파티클 연동시 상기 '파티클 연동설정값'으로 동작하는 시간을 의미한다. The 'particle setting delay time' means a time when the particles are operated in the 'particle interlocking set value' when the particles of the A group are interlocked.

도 9에서 우측에 표시된 B 그룹 항목 역시 상기 A 그룹에서 설명한 것과 동일하다.The B group items shown on the right side in FIG. 9 are also the same as those described in the A group.

본 발명의 보호범위는 앞서 기술한 하드웨어와 소프트웨어(제어프로그램)가 서로 연동하여 이루어지는 모든 기술적 구성을 포함한다. The protection scope of the present invention includes all the technical configurations in which the hardware and software (control program) described above are interlocked with each other.

본 명세서에 제시된 수치는 하나의 예이며, 이러한 수치는 크린룸의 요구조건에 따라 변경 설정할 수 있고, 이러한 변경 역시 본 발명의 보호범위에 속한다.The numerical values set forth herein are just examples, and these numerical values can be changed according to the requirements of the clean room, and these changes are also within the scope of the present invention.

본 발명은 차압센서를 설치하여 크린룸 외부와 내부의 압력의 차이를 측정하여 내부 공기압력이 항상 외부 공기압보다 설정된 값만큼 높게 유지하고, 파티클 센서를 크린룸 내부에 설치하여 파티클 농도를 실시간으로 측정하여 설정치 이상 감지되면 에프에프유(FFU)의 회전수를 높여서 파티클이 신속하게 제거되도록 구성되며, 크린룸을 하나 이상의 그룹으로 나누어서 각각의 그룹을 서로 다른 차압 및 파티클 농도로 제어할 수 있으며, 그룹별로 도어와 연동하도록 제어할 수 있는 다기능 청정공조 제어장치를 제공하므로써 하나 이상의 그룹으로 나누어서 제어가 가능하고 에너지 절약이 가능하며, 소규모일 경우에 단독 제어가 가능함으로 산업상 이용가능성이 매우 높다. In the present invention, a differential pressure sensor is installed to measure the difference between the pressure in the outside of the clean room and the inside pressure, so that the internal air pressure is always kept higher than the external air pressure by a set value. If an abnormality is detected, the number of revolutions of the FFU is increased to quickly remove the particles. The clean room can be divided into one or more groups, and each group can be controlled to have different differential pressure and particle concentration. Function control device that can be controlled to be linked with each other, so that it can be divided into one or more groups for control, energy saving is possible, and in the case of a small scale, the control is possible in the industrial field.

Claims (10)

그룹 제어가 가능한 다기능 청정공조 제어장치에 있어서,
전면에 위치하여 다수의 FFU의 상태 및 동작 상태를 표시하기 위한 터치스크린;
외부 공기압과 크린룸 내부 공기압의 차이를 감지하기 위한 차압센서;
도어의 개방 여부를 감지하기 위하여 도어 일측에 설치된 접점센서; 및
차압센서 및 접점 센서와 연동하여 크린룸 내부를 설정된 압력범위에서 제어 유지할 수 있도록 구성된 제어프로그램이 탑재되며, 제어프로그램을 실행하기 위한 마이크로프로세서를 포함하되,
도어 일측에 설치된 접점센서에서 감지된 신호를 디지털 입력단자로 전송하여 도어 열림과 닫힘에 따라 설정된 속도로 FFU가 제어되고,
크린룸 내부를 하나 이상의 그룹으로 나누어서 차압, 파티클 농도 및 도어 연동을 포함하는 각각의 조건에 대하여 각각의 그룹에서 요구하는 조건에 맞도록 설정 제어하며,
원격 모드와 로컬 모드 중 하나의 운전모드로 선택 운전하되,
원격 모드를 선택하면 설정 및 동작의 우선권이 상위 호스트에 있기 때문에 로컬 모드에서는 설정치 변경이 불가능하여 상태 모니터링만 가능하고,
로컬 모드를 선택하면 설정 및 동작의 우선권이 다기능 청정공조 제어장치에 있고, 상위 호스트에서는 각 FFU 제어기의 상태 모니터링만 가능하도록 구성된 다기능 청정공조 제어장치.
A multifunctional clean air conditioning control device capable of group control,
A touch screen positioned on the front surface for displaying status and operation states of the plurality of FFUs;
A differential pressure sensor for detecting a difference between the outside air pressure and the clean room interior air pressure;
A contact sensor installed at one side of the door to detect whether the door is opened; And
A control program configured to control and maintain the interior of the clean room in a predetermined pressure range in conjunction with a differential pressure sensor and a contact sensor, and a microprocessor for executing a control program,
A signal detected by a contact sensor installed at one side of the door is transmitted to a digital input terminal, and the FFU is controlled at a set speed according to door opening and closing,
The inside of the clean room is divided into one or more groups to set and control the respective conditions including differential pressure, particle concentration and door interlocking to meet the conditions required by the respective groups,
Select one of the remote mode and local mode,
If the remote mode is selected, priority is set to the upper host, so that it is impossible to change the set value in the local mode,
The multifunctional clean air conditioner control device has priority of setting and operation when the local mode is selected, and the host can only monitor the status of each FFU controller.
청구항 1에 있어서,
상기 다기능 청정공조 제어장치는 크린룸 내부의 파티클 농도를 검출하기 위한 파티클 센서를 크린룸 내부 일측에 설치하고,
파티클 센서와 연동하여 크린룸 내부의 파티클 농도를 설정된 허용범위에서 유지하도록 구성된 다기능 청정공조 제어장치.
The method according to claim 1,
The multifunctional clean air conditioning control device is provided with a particle sensor for detecting the particle concentration inside the clean room at one side of the clean room,
A multi-function clean air conditioning control device configured to maintain the particle concentration inside the clean room at a set allowable range in conjunction with a particle sensor.
청구항 1에 있어서,
상기 다기능 청정공조 제어장치는 도어 일측에 접점센서를 부착하여 디지털 입력단자로 신호를 전송하여 도어 열림과 닫힘에 따라 설정된 속도로 FFU가 제어되도록 구성된 다기능 청정공조 제어장치.
The method according to claim 1,
The multifunctional clean air conditioning control device is configured to attach a contact sensor to one side of the door and transmit a signal to the digital input terminal so that the FFU is controlled at a speed set in accordance with door opening and closing.
삭제delete 청구항 1 또는 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
다기능 청정공조 제어장치는 디지털 입력단자의 입력 접점신호를 이용하여 하부배기를 위한 팬이 동작되도록 구성하고,
디지털 입력단자로 입력된 입력신호에 의하여 접점이 온(ON) 되면, 하부배기의 해당 팬(FAN)은 설정된 속도(rpm)로 제어 동작하며,
접점이 오프(OFF)되면 하부배기의 해당 팬(FAN)은 영(Zero)로 제어되도록 구성된 다기능 청정공조 제어장치.
The method according to any one of claims 1 to 3,
The multifunctional clean air conditioning control device is configured to operate the fan for the lower exhaust using the input contact signal of the digital input terminal,
When the contact point is turned on by the input signal inputted to the digital input terminal, the corresponding fan (FAN) of the lower exhaust operates to control at the set speed (rpm)
And the corresponding fan (FAN) of the lower exhaust is controlled to be zero when the contact is turned off.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
다기능 청정공조 제어장치의 차압연동 설정 모드에서는 차압 연동의 목표 차압 값을 설정하고, 목표 차압의 허용범위를 설정하며,
차압 연동시 최대 FFU 구동 속도 및 최저 FFU 구동 속도를 설정하도록 구성된 다기능 청정공조 제어장치.
The method according to any one of claims 1 to 3,
In the differential pressure interlocking setting mode of the multifunctional clean air conditioning control device, the target differential pressure value of the differential pressure interlocking is set, the allowable range of the target differential pressure is set,
And setting the maximum FFU drive speed and the lowest FFU drive speed when the differential pressure is interlocked.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
다기능 청정공조 제어장치의 도어 연동 모드는 그룹별 도어 연동의 사용 또는 미사용을 설정하고,
도어 연동시 해당 그룹의 FFU의 속도를 도어 연동 설정 값에서 설정하고, 도어 연동의 지속시간을 도어 설정지연시간에서 설정 입력하도록 구성된 다기능 청정공조 제어장치.
The method according to any one of claims 1 to 3,
The door interlocking mode of the multifunctional clean air control apparatus sets the use or nonuse of door interlocking for each group,
Wherein the speed of the FFU of the group is set at the door interlocking set value and the duration of the door interlocking is set and inputted at the door setting delay time when the door is interlocked.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
다기능 청정공조 제어장치의 파티클 연동 모드는 그룹별 파티클 연동의 사용 또는 미사용을 설정하고,
해당 그룹의 파티클 연동이 시작되는 파티클 연동시작 개수를 설정하며,
해당 그룹의 파티클 연동의 종료를 위한 파티클 연동종료 개수를 설정하고,
파티클 연동 시 해당 그룹의 FFU 속도를 설정하도록 구성된 다기능 청정공조 제어장치.
The method according to any one of claims 1 to 3,
The particle interlocking mode of the multifunctional clean air control apparatus sets the use or nonuse of particle interlocking per group,
Sets the particle interlock start count at which the particle in the group is started,
The number of particle interlocking ends for ending the particle interlocking of the group is set,
The multi-functional clean air control unit is configured to set the FFU speed of the group when the particles are interlocked.
삭제delete 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 다기능 청정공조 제어장치는 차압센서에서 측정한 차압 값이 '설정치 차압'을 기준으로 ± '차압변동허용범위' 내에 존재하고, 해당 그룹의 FFU 들의 회전속도(rpm) 중 최대와 최소값의 차이가 20rpm 이내로 30 초 동안 유지될 경우에 차압이 안정화되어 차압 연동이 성공한 것으로 판단하여 차압 연동을 중지하도록 구성된 다기능 청정공조 제어장치.
The method according to any one of claims 1 to 3,
The multifunctional clean air conditioning control apparatus is configured such that the differential pressure value measured by the differential pressure sensor is within the tolerance range of the differential pressure fluctuation with reference to the set differential pressure and the difference between the maximum and minimum values of the rotational speeds (rpm) The control unit determines that the differential pressure is stabilized when the differential pressure is maintained within 20 rpm for 30 seconds so that the differential pressure interlocking is successful and the differential pressure interlocking is stopped.
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