BE1027790B1 - DEVICE FOR MONITORING AND CONTROL OF A DUST-FREE SPACE - Google Patents
DEVICE FOR MONITORING AND CONTROL OF A DUST-FREE SPACE Download PDFInfo
- Publication number
- BE1027790B1 BE1027790B1 BE20195830A BE201905830A BE1027790B1 BE 1027790 B1 BE1027790 B1 BE 1027790B1 BE 20195830 A BE20195830 A BE 20195830A BE 201905830 A BE201905830 A BE 201905830A BE 1027790 B1 BE1027790 B1 BE 1027790B1
- Authority
- BE
- Belgium
- Prior art keywords
- air
- dust
- sensor unit
- control unit
- free
- Prior art date
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Air Conditioning Control Device (AREA)
- Housing For Livestock And Birds (AREA)
Abstract
De huidige uitvinding heeft betrekking op een inrichting voor het monitoren en regelen van een stofvrije ruimte omvattende een luchtbehandelingssysteem, minstens een sensoreenheid geschikt voor het meten van parameters zoals temperatuur, luchtvochtigheid, aantal deeltjes in een volume en drukverschillen, en een controle-eenheid, waarbij de controle-eenheid een bediening voor de operator omvat, waarbij het luchtbehandelingssysteem geconfigureerd is om samen met de controle-eenheid de temperatuur, de luchtvochtigheid, het aantal deeltjes in een volume en de drukverschillen in de stofvrije ruimte te regelen gebaseerd op parameters die door de sensoreenheid gemeten zijn.The present invention relates to a device for monitoring and controlling a dust-free space comprising an air treatment system, at least one sensor unit suitable for measuring parameters such as temperature, air humidity, number of particles in a volume and pressure differences, and a control unit, wherein the control unit comprises an operator control, wherein the air handling system is configured in conjunction with the control unit to control the temperature, humidity, number of particles in a volume and pressure differences in the dust free space based on parameters determined by the control unit. sensor unit have been measured.
Description
TECHNISCH DOMEIN De uitvinding heeft betrekking op een inrichting voor het monitoren en regelen van een stofvrije ruimte. Meer bepaald bevindt de uitvinding zich in het technisch deelgebied F24F3/161.TECHNICAL DOMAIN The invention relates to a device for monitoring and controlling a dust-free space. More specifically, the invention is located in the technical sub-area F24F3/61.
STAND DER TECHNIEK Stofvrije omgevingen, zoals stofvrije ruimtes en stofvrije laboratoria, zijn beschikbaar in verschillende varianten en zijn aangepast aan de eisen van de klant en individueel ontworpen.BACKGROUND ART Dust-free environments, such as dust-free rooms and dust-free laboratories, are available in different variants and are adapted to customer requirements and individually designed.
De bijbehorende systemen kunnen afzonderlijk worden samengesteld. Stofvrije ruimtes en stofvrije laboratoria worden voornamelijk gebruikt op het gebied van de farmaceutische industrie, medische technologie, biotechnologie, de zonne-industrie, de halfgeleiderindustrie, de auto-industrie en microtechnologie.The associated systems can be assembled separately. Dust-free rooms and dust-free laboratories are mainly used in the fields of pharmaceutical industry, medical technology, biotechnology, solar industry, semiconductor industry, automotive industry and microtechnology.
In stofvrije ruimtes en stofvrije laboratoria is gecontroleerde zuiverheid de hoogste prioriteit. Wettelijke eisen bepalen de zuiverheid van stofvrije ruimtes. Deze eisen zijn beschreven in bijvoorbeeld de norm ISO 14644-1 en de EU GGMP richtlijn, waarbij de ISO-norm het maximaal toelaatbare aantal deeltjes beschrijft. De EU GGMP richtlijn regelt het toegestane aantal bacteriën. Om voldoende zuiverheid te garanderen, moeten de omstandigheden in een stofvrije omgeving constant worden bewaakt en geregeld.In dust-free rooms and dust-free laboratories, controlled purity is the highest priority. Legal requirements determine the cleanliness of dust-free areas. These requirements are described in, for example, the ISO 14644-1 standard and the EU GGMP guideline, in which the ISO standard describes the maximum permissible number of particles. The EU GGMP guideline regulates the permitted number of bacteria. To ensure adequate purity, conditions in a dust-free environment must be constantly monitored and controlled.
Het bewaken en regelen van de omstandigheden in een stofvrije omgeving vereist complexe en uitgebreide technische installaties die nauwgezet door hooggeschoolde operatoren moeten worden onderhouden en gecontroleerd. Het vergt het opvolgen en uitvoeren van strikte procedures die arbeidsintensief zijn. Kleine onachtzaamheden kunnen tot afwijkingen ten opzichte van de wettelijke eisen leiden, met bijvoorbeeld productieverlies als gevolg.Monitoring and controlling conditions in a dust-free environment requires complex and extensive technical installations that must be meticulously maintained and controlled by highly skilled operators. It requires following and executing strict procedures that are labour-intensive. Minor negligence can lead to deviations from the legal requirements, resulting in loss of production, for example.
De huidige uitvinding beoogt minstens een oplossing te vinden voor enkele van bovenvermelde problemen.The present invention aims to find at least a solution to some of the above-mentioned problems.
SAMENVATTING VAN DE UITVINDING Tot dit doel verschaft de uitvinding een inrichting volgens conclusie 1. De uitvinding is gebaseerd op een luchtbehandelingssysteem met ten minste één sensoreenheid geschikt voor het meten van parameters zoals temperatuur, luchtvochtigheid, aantal deeltjes per volume en drukverschillen, en een controle- eenheid, waarbij de controle-eenheid een bediening voor de operator omvat. Het luchtbehandelingssysteem wordt door de controle-eenheid aangestuurd, waarbij de controle-eenheid gemeten parameters van de sensoreenheid gebruikt voor het monitoren en regelen van het luchtbehandelingssysteem. Een wezenlijk voordeel van de uitvinding is dat de controle-eenheid ervoor zorgt dat de stofvrije omgeving doorlopend gemonitord en geregeld wordt door het aansturen van het luchtbehandelingssysteem om zo aan de wettelijke eisen te voldoen. Het is voordelig dat het luchtbehandelingssysteem alle noodzakelijk parameters, zoals temperatuur, luchtvochtigheid, aantal deeltjes en drukverschillen regelt, zodat alles door de controle-eenheid kan gemonitord en aangestuurd worden en geen parallelle systemen vereist zijn om bijkomende parameters te monitoren en te regelen. De controle-eenheid kan ook vroegtijdig afwijkingen signaleren, vooraleer niet meer aan de wettelijke eisen voldaan is. Dit geeft de operator de mogelijkheid om proactief processen bij te sturen of bijkomende maatregelen te nemen. Door de uitvinding is het mogelijk om met behulp van een beperkte technische installatie op een eenvoudige en arbeids- en kostenefficiënte wijze een gemonitorde en geregelde stofvrije omgeving te bekomen die aan de wettelijke eisen voldoet. Voorkeursvormen van de inrichting worden weergegeven in de conclusies 2 tot en met 12.SUMMARY OF THE INVENTION To this end, the invention provides a device according to claim 1. The invention is based on an air conditioning system with at least one sensor unit suitable for measuring parameters such as temperature, air humidity, number of particles per volume and pressure differences, and a control unit, the control unit comprising an operator control. The air handling system is controlled by the control unit, wherein the control unit uses measured parameters from the sensor unit to monitor and control the air handling system. An essential advantage of the invention is that the control unit ensures that the dust-free environment is continuously monitored and controlled by controlling the air-conditioning system in order to comply with the legal requirements. It is advantageous that the air handling system controls all necessary parameters, such as temperature, humidity, number of particles and pressure differences, so that everything can be monitored and controlled by the control unit and no parallel systems are required to monitor and control additional parameters. The control unit can also identify deviations early, before the legal requirements are no longer met. This gives the operator the opportunity to proactively adjust processes or take additional measures. The invention makes it possible to obtain a monitored and controlled dust-free environment that meets the legal requirements in a simple, labor and cost-efficient manner with the aid of a limited technical installation. Preferred forms of the device are set forth in claims 2 to 12.
BESCHRIJVING VAN DE FIGUREN Figuur 1 toont een grondplan van een inrichting volgens een uitvoeringsvorm van de huidige uitvinding.DESCRIPTION OF THE FIGURES Figure 1 shows a ground plan of an apparatus according to an embodiment of the present invention.
GEDETAI LLEERDE BESCHRIJVING Tenzij anders gedefinieerd hebben alle termen die gebruikt worden in de beschrijving van de uitvinding, ook technische en wetenschappelijke termen, de betekenis zoals ze algemeen begrepen worden door de vakman in het technisch veld van de uitvinding. Voor een betere beoordeling van de beschrijving van de uitvinding, worden de volgende termen expliciet uitgelegd. “Een”, ”de” en “het” refereren in dit document aan zowel het enkelvoud als het meervoud tenzij de context duidelijk anders veronderstelt. Bijvoorbeeld, “een segment” betekent een of meer dan een segment. Het citeren van numerieke intervallen door de eindpunten omvat alle gehele getallen, breuken en/of reële getallen tussen de eindpunten, deze eindpunten inbegrepen.DETAILED DESCRIPTION Unless otherwise defined, all terms used in the description of the invention, including technical and scientific terms, have the meaning as generally understood by those skilled in the art of the invention. For a better assessment of the description of the invention, the following terms are explicitly explained. “A”, “the” and “the” refer to both the singular and the plural in this document unless the context clearly dictates otherwise. For example, “a segment” means one or more than one segment. Citing numerical intervals through the endpoints includes all integers, fractions and/or real numbers between the endpoints, including these endpoints.
In de context van dit document worden met deeltjes kleine objecten bedoeld die in een ruimte zweven. Met EU GGMP wordt in dit document de European Union Guideline to Good Manufacturing Practice bedoeld. Met relatieve luchtvochtigheid, uitgedrukt in procent, wordt in de context van dit document bedoeld hoeveel waterdamp zich in de lucht bevindt ten opzichte van de maximale hoeveelheid waterdamp. Dit wordt in % rF uitgedrukt.In the context of this document, particles refer to small objects floating in space. EU GGMP in this document refers to the European Union Guideline to Good Manufacturing Practice. In the context of this document, relative humidity, expressed in percent, means how much water vapor is in the air relative to the maximum amount of water vapor. This is expressed in % rF.
In een eerste aspect betreft de uitvinding een inrichting voor het monitoren en regelen van een stofvrije ruimte. Volgens een voorkeurdragende uitvoeringsvorm omvat de inrichting een luchtbehandelingssysteem, minstens een sensoreenheid geschikt voor het meten van parameters zoals temperatuur, luchtvochtigheid, aantal deeltjes in een volume en drukverschillen, en een controle-eenheid, waarbij de controle-eenheid een bediening voor de operator omvat, waarbij het luchtbehandelingssysteem geconfigureerd is om samen met de controle-eenheid de temperatuur, de luchtvochtigheid, het aantal deeltjes in een volume en de drukverschillen in de stofvrije ruimte te regelen gebaseerd op parameters die door de sensoreenheid gemeten zijn.In a first aspect, the invention relates to a device for monitoring and controlling a dust-free space. According to a preferred embodiment, the device comprises an air conditioning system, at least one sensor unit suitable for measuring parameters such as temperature, air humidity, number of particles in a volume and pressure differences, and a control unit, the control unit comprising an operator control, wherein the air handling system is configured together with the control unit to control the temperature, the humidity, the number of particles in a volume and the pressure differences in the dust free space based on parameters measured by the sensor unit.
Een luchtbehandelingssysteem omvat middelen voor het regelen van parameters in een stofvrije ruimte. De parameters omvatten temperatuur, luchtvochtigheid, aantal deeltjes in een volume en druk van lucht in een stofvrije ruimte. Het luchtbehandelingssysteem is zo geschikt voor het regelen van alle noodzakelijk parameters in een stofvrije ruimte, zoals temperatuur, luchtvochtigheid, aantal deeltjes in een volume en druk, zodat de stofvrije ruimte aan de vereisten volgens de EU GPPM richtlijn voldoet. Bijkomend is het luchtbehandelingssysteem voordelig doordat geen parallelle systemen vereist zijn om de parameters separaat te regelen, wat de inrichting minder complex en uitgebreid maakt. Een sensoreenheid is geschikt voor het meten van parameters, zoals temperatuur, luchtvochtigheid, aantal deeltjes in een volume en druk.An air-conditioning system comprises means for controlling parameters in a dust-free room. The parameters include temperature, humidity, number of particles in a volume and pressure of air in a dust-free room. The air handling system is thus suitable for controlling all necessary parameters in a dust-free room, such as temperature, humidity, number of particles in a volume and pressure, so that the dust-free room meets the requirements according to the EU GPPM directive. In addition, the air handling system is advantageous in that no parallel systems are required to control the parameters separately, which makes the device less complex and extensive. A sensor unit is suitable for measuring parameters such as temperature, humidity, number of particles in a volume and pressure.
Een sensoreenheid is geconfigureerd voor het meten van temperatuur in een stofvrije ruimte. Bij voorkeur is de sensoreenheid in elke stofvrije ruimte geplaatst. Bij voorkeur omvat de sensoreenheid een weerstand met een positieve of negatieve temperatuurscoëfficiënt geschikt voor het elektrisch meten van een temperatuur. De sensoreenheid heeft een nauwkeurigheid voor het meten van de temperatuur van +1.0° C, bij voorkeur +0.5° C. De sensoreenheid heeft een meetbereik van minstens 10° C tot 40° C, bij voorkeur van minstens 5° C tot 45° C en zelfs bij meer voorkeur van minstens 0° C tot 50° C. De sensoreenheid heeft een resolutie voor het meten van de temperatuur van 0.5° C, bij voorkeur 0.3° C en bij zelfs nog meer voorkeurA sensor unit is configured to measure temperature in a dust-free room. Preferably, the sensor unit is placed in any dust-free space. Preferably, the sensor unit comprises a resistor with a positive or negative temperature coefficient suitable for electrically measuring a temperature. The sensor unit has an accuracy for measuring the temperature of +1.0°C, preferably +0.5°C. The sensor unit has a measuring range of at least 10°C to 40°C, preferably from at least 5°C to 45°C and even more preferably from at least 0°C to 50°C. The sensor unit has a resolution for measuring the temperature of 0.5°C, preferably 0.3°C and even more preferably
0.1° C. De sensoreenheid is bruikbaar bij temperaturen van minstens 10° C tot 40° C, bij voorkeur van minstens 5° Ctot 45° C en zelfs bij meer voorkeur van minstens 0° C tot 50° C. De sensoreenheid is geschikt voor het nauwkeurig meten van de temperatuur in de stofvrije ruimte zodat de controle-eenheid meetwaarden van de sensoreenheid kan gebruiken voor het monitoren en regelen van een stofvrije ruimte, meer bepaald het monitoren en regelen van de temperatuur in de stofvrije ruimte.0.1°C. The sensor unit is usable at temperatures of at least 10°C to 40°C, preferably from at least 5°C to 45°C and even more preferably from at least 0°C to 50°C. The sensor unit is suitable for accurately measuring the temperature in the dust-free room so that the control unit can use readings from the sensor unit to monitor and control a dust-free room, in particular to monitor and control the temperature in the dust-free room.
Een sensoreenheid is geconfigureerd voor het meten van luchtvochtigheid in een stofvrije ruimte. Bij voorkeur is de sensoreenheid in elke stofvrije ruimte geplaatst. Bij voorkeur omvat de sensoreenheid middelen voor het digitaal meten van luchtvochtigheid, zoals bijvoorbeeld een halfgeleider kristal waarvan de 5 geleidbaarheid van de luchtvochtigheid afhangt. De sensoreenheid heeft een nauwkeurigheid voor het meten van de luchtvochtigheid van minstens 5% rF, bij voorkeur met een nauwkeurigheid van minstens 4% rF en bij zelfs nog meer voorkeur met een nauwkeurigheid van minstens 3% rF. De sensoreenheid heeft een meetbereik van minstens 20% rF tot 85% rF, bij voorkeur van minstens 15% rF tot 90% rF en bij nog meer voorkeur van minstens 10% rF tot 95% rF. De sensoreenheid heeft een resolutie voor het meten van de luchtvochtigheid van 0.5% rF, bij voorkeurA sensor unit is configured to measure humidity in a dust-free room. Preferably, the sensor unit is placed in any dust-free space. The sensor unit preferably comprises means for digitally measuring air humidity, such as for instance a semiconductor crystal, the conductivity of which depends on the air humidity. The sensor unit has an accuracy for measuring humidity of at least 5% rF, preferably with an accuracy of at least 4% rF and even more preferably with an accuracy of at least 3% rF. The sensor unit has a measuring range of at least 20% rF to 85% rF, preferably from at least 15% rF to 90% rF and even more preferably from at least 10% rF to 95% rF. The sensor unit has a resolution for measuring humidity of 0.5% rF, preferably
0.3% rF en bij zelfs nog meer voorkeur 0.1% rF. De sensoreenheid is bruikbaar bij temperaturen van minstens 10° C tot 40° C, bij voorkeur van minstens 5° C tot 45° Cen zelfs bij meer voorkeur van minstens 0° C tot 50° C.0.3% rF and even more preferably 0.1% rF. The sensor unit is usable at temperatures from at least 10°C to 40°C, preferably from at least 5°C to 45°C, and even more preferably from at least 0°C to 50°C.
De sensoreenheid is geschikt voor het nauwkeurig meten van de luchtvochtigheid in de stofvrije ruimte zodat de controle-eenheid meetwaarden van de sensoreenheid kan gebruiken voor het monitoren en regelen van een stofvrije ruimte, meer bepaald het monitoren en regelen van de luchtvochtigheid in de stofvrije ruimte.The sensor unit is capable of accurately measuring the humidity in the dust-free room so that the control unit can use measurement values from the sensor unit for monitoring and controlling a dust-free room, more specifically, monitoring and controlling the humidity in the dust-free room.
Bij voorkeur is een sensoreenheid geconfigureerd voor het meten van temperatuur en luchtvochtigheid in een ruimte in de stofvrije omgeving. Bij voorkeur is de sensoreenheid in elke stofvrije ruimte geplaatst. Bij voorkeur omvat de sensoreenheid een weerstand met een positieve of negatieve temperatuurscoëfficiënt geschikt voor het elektrisch meten van een temperatuur. Bij voorkeur omvat de sensoreenheid middelen voor het digitaal meten van luchtvochtigheid, zoals bijvoorbeeld een halfgeleider kristal waarvan de geleidbaarheid van de luchtvochtigheid afhangt. De sensoreenheid heeft een nauwkeurigheid voor het meten van de temperatuur van + 1.0° C, bij voorkeur +0.5° C. De sensoreenheid heeft een meetbereik van minstens 10° C tot 40° C, bij voorkeur van minstens 5° C tot 45° C en zelfs bij meer voorkeur van minstens 0° C tot 50° C. De sensoreenheid heeft een resolutie voor het meten van de temperatuur van 0.5° C, bij voorkeur 0.3° C en bij zelfs nog meer voorkeur 0.1° C. De sensoreenheid heeft een nauwkeurigheid voor het meten van de luchtvochtigheid van minstens 5% rF, bij voorkeur met een nauwkeurigheid van minstens 4% rF en bij zelfs nog meer voorkeur met een nauwkeurigheid van minstens 3% rF. De sensoreenheid heeft een meetbereik van minstens 20% rF tot 85% rF, bij voorkeur van minstens 15% rF tot 90% rF en bij nog meer voorkeur van minstens 10% rF tot 95% rF. De sensoreenheid heeft een resolutie voor het meten van de luchtvochtigheid van 0.5% rF, bij voorkeur 0.3% rF en bij zelfs nog meer voorkeurPreferably, a sensor unit is configured for measuring temperature and humidity in a room in the dust-free environment. Preferably, the sensor unit is placed in any dust-free space. Preferably, the sensor unit comprises a resistor with a positive or negative temperature coefficient suitable for electrically measuring a temperature. Preferably, the sensor unit comprises means for digitally measuring air humidity, such as for instance a semiconductor crystal on which the conductivity of the air humidity depends. The sensor unit has an accuracy for measuring the temperature of +1.0°C, preferably +0.5°C. The sensor unit has a measuring range of at least 10°C to 40°C, preferably from at least 5°C to 45°C and even more preferably from at least 0°C to 50°C. The sensor unit has a resolution for measuring the temperature of 0.5°C, preferably 0.3°C and even more preferably 0.1°C. The sensor unit has a accuracy for measuring humidity of at least 5% rF, preferably with an accuracy of at least 4% rF and even more preferably with an accuracy of at least 3% rF. The sensor unit has a measuring range of at least 20% rF to 85% rF, preferably from at least 15% rF to 90% rF and even more preferably from at least 10% rF to 95% rF. The sensor unit has a resolution for measuring humidity of 0.5% rF, preferably 0.3% rF and even more preferably
0.1% rF. De sensoreenheid is bruikbaar bij temperaturen van minstens 10° C tot 40° C, bij voorkeur van minstens 5° C tot 45° C en zelfs bij meer voorkeur van minstens 0° C tot 50° C. De sensoreenheid is geschikt voor het nauwkeurig meten van de temperatuur en de luchtvochtigheid in de stofvrije ruimte zodat de controle-eenheid meetwaarden van de sensoreenheid kan gebruiken voor het monitoren en regelen van een stofvrije ruimte, meer bepaald het monitoren en regelen van de temperatuur en de luchtvochtigheid in de stofvrije ruimte. Een bijkomend voordeel van de sensoreenheid is dat geen separate sensoreenheden voor het meten van temperatuur en luchtvochtigheid vereist zijn, waardoor de inrichting minder complex wordt en kosten kunnen bespaard worden. Een sensoreenheid is geconfigureerd voor het meten van een luchtdrukverschil in een ruimte in de stofvrije omgeving. Bij voorkeur is de sensoreenheid in elke stofvrije ruimte geplaatst. De sensoreenheid omvat twee aansluitingen geschikt voor het aansluiten van een luchtleiding. Bij voorkeur omvat de sensoreenheid middelen voor het digitaal meten van een drukverschil, zoals bijvoorbeeld een drukverschilsensor. De sensoreenheid heeft een nauwkeurigheid voor het meten van drukverschillen van +0.25 hPa, bij voorkeur +0.15 hPa en zelfs bij nog meer voorkeur + 0.03 hPa. De sensoreenheid heeft een meetbereik van minstens O hPa tot 80 hPa, bij voorkeur van minstens 10 hPa tot 90 hPa en bij nog meer voorkeur van minstens 0 hPa tot 100 hPa. De sensoreenheid heeft een resolutie voor het meten van drukverschillen van 0.05 hPa, bij voorkeur 0.03 hPa en bij zelfs nog meer voorkeur 0.01 hPa. De sensoreenheid is bruikbaar bij temperaturen van minstens 10° C tot 40° C, bij voorkeur van minstens 5° C tot 45° C en zelfs bij meer voorkeur van minstens 0° C tot 50° C. De sensoreenheid is geschikt voor het nauwkeurig meten van een drukverschil tussen een stofvrije ruimte en omliggende niet-stofvrije ruimtes zodat de controle- eenheid meetwaarden van de sensoreenheid kan gebruiken voor het monitoren en regelen van een stofvrije ruimte, meer bepaald het monitoren en regelen van een druk in de stofvrije ruimte die hoger is dan in de omliggende niet-stofvrije ruimtes. Dit is voordelig omdat door de hogere druk in de stofvrije ruimte eventuele luchtstromen van de stofvrije ruimte naar de omliggende niet-stofvrije ruimtes zijn, waardoor minder deeltjes van de omliggende niet-stofvrije ruimtes naar de stofvrije ruimte kunnen migreren. Voor dat doel omvat de sensoreenheid een luchtleiding naar een punt binnen de stofvrije ruimte en een luchtleiding naar een punt in de omliggende niet-stofvrije ruimtes.0.1% rF. The sensor unit is usable at temperatures from at least 10°C to 40°C, preferably from at least 5°C to 45°C and even more preferably from at least 0°C to 50°C. The sensor unit is suitable for accurate measurement of the temperature and humidity in the dust-free room so that the control unit can use readings from the sensor unit to monitor and control a dust-free room, in particular to monitor and control the temperature and humidity in the dust-free room. An additional advantage of the sensor unit is that no separate sensor units for measuring temperature and humidity are required, so that the device becomes less complex and costs can be saved. A sensor unit is configured to measure an air pressure difference in a room in the dust-free environment. Preferably, the sensor unit is placed in any dust-free space. The sensor unit includes two connections suitable for connecting an air line. Preferably, the sensor unit comprises means for digitally measuring a pressure difference, such as for instance a pressure difference sensor. The sensor unit has an accuracy for measuring pressure differences of +0.25 hPa, preferably +0.15 hPa and even more preferably +0.03 hPa. The sensor unit has a measuring range from at least 0 hPa to 80 hPa, preferably from at least 10 hPa to 90 hPa and even more preferably from at least 0 hPa to 100 hPa. The sensor unit has a resolution for measuring pressure differences of 0.05 hPa, preferably 0.03 hPa and even more preferably 0.01 hPa. The sensor unit is usable at temperatures from at least 10°C to 40°C, preferably from at least 5°C to 45°C and even more preferably from at least 0°C to 50°C. The sensor unit is suitable for accurate measurement of a pressure difference between a dust-free room and surrounding non-dust-free rooms so that the control unit can use readings from the sensor unit to monitor and control a dust-free room, in particular to monitor and control a pressure in the dust-free room that is higher than in the surrounding non-dust-free areas. This is advantageous because due to the higher pressure in the dust-free area, any airflows from the dust-free area are to the surrounding non-dust-free areas, allowing fewer particles to migrate from the surrounding non-dust-free areas to the dust-free area. For that purpose, the sensor unit includes an air conduit to a point within the dust-free space and an air conduit to a point in the surrounding non-dust-free spaces.
De stofvrije ruimte omvat bij voorkeur een luchtsluis als toegang van de omliggende niet-stofvrije ruimtes naar de stofvrije ruimte. De druk in de luchtsluis is bij voorkeur hoger dan in de omliggende niet-stofvrije ruimtes. Dit is voordelig omdat door de hogere druk in de luchtsluis eventuele luchtstromen van de luchtsluis naar de omliggende niet-stofvrije ruimtes zijn, waardoor minder deeltjes van de omliggende niet-stofvrije ruimtes naar de luchtsluis en bijgevolg de stofvrije ruimte kunnen migreren. Bij voorkeur is in elke luchtsluis een sensoreenheid geplaatst. Bij voorkeur omvat de sensoreenheid een luchtleiding naar een punt binnen de luchtsluis en een luchtleiding naar een punt in de omliggende niet-stofvrije ruimtes. Een sensoreenheid is geconfigureerd voor het meten van het aantal deeltjes in een volume in de stofvrije ruimte. Bij voorkeur is de sensoreenheid in elke stofvrije ruimte geplaatst. Bij voorkeur omvat de sensoreenheid middelen voor het digitaal tellen van deeltjes in een volume, zoals bijvoorbeeld een laser diode. De sensoreenheid is geschikt voor het tellen van het aantal deeltjes in een volume met een grootte van 0.20 um tot 2.00 um, bij voorkeur van 0.20 um tot 10.00 um en bij zelfs nog meer voorkeur van 0.10 um tot 25.00 um. De sensoreenheid is geschikt voor het simultaan tellen van deeltjes in een volume in zes kanalen. De sensoreenheid heeft een efficiëntie volgens ISO 21501-4 voor het tellen van deeltjes in een volume van minstens 40% voor deeltjes van 0.30 um en 90% voor deeltjes groter dan 0.45 um, bij voorkeur van minstens 45% voor deeltjes van 0.30 um en 95% voor deeltjes groter dan 0.45 um en bij zelfs nog meer voorkeur van minstens 50% voor deeltjes van 0.30 um en 100% voor deeltjes groter dan 0.45 um.The dust-free space preferably comprises an airlock as access from the surrounding non-dust-free spaces to the dust-free space. The pressure in the airlock is preferably higher than in the surrounding non-dust-free areas. This is advantageous because due to the higher pressure in the airlock, any airflows from the airlock to the surrounding non-dust-free areas will allow less particles to migrate from the surrounding non-dust-free areas to the airlock and consequently the dust-free area. Preferably, a sensor unit is placed in each airlock. Preferably, the sensor unit comprises an air conduit to a point within the airlock and an air conduit to a point in the surrounding non-dust-free spaces. A sensor unit is configured to measure the number of particles in a volume in the dust-free space. Preferably, the sensor unit is placed in any dust-free space. Preferably, the sensor unit comprises means for digitally counting particles in a volume, such as for instance a laser diode. The sensor unit is suitable for counting the number of particles in a volume of size from 0.20 µm to 2.00 µm, preferably from 0.20 µm to 10.00 µm, and even more preferably from 0.10 µm to 25.00 µm. The sensor unit is capable of simultaneously counting particles in a volume in six channels. The sensor unit has an efficiency according to ISO 21501-4 for counting particles in a volume of at least 40% for particles of 0.30 µm and 90% for particles larger than 0.45 µm, preferably at least 45% for particles of 0.30 µm and 95 % for particles larger than 0.45 µm and even more preferably at least 50% for particles of 0.30 µm and 100% for particles larger than 0.45 µm.
Volgens een uitvoeringsvorm omvat een eerste kanaal deeltjes met een grootte vanAccording to one embodiment, a first channel comprises particles with a size of
0.20 um tot 0.25 um, een tweede kanaal van 0.25 um tot 0.40 um, een derde kanaal van 0.40 um tot 0.60 um, een vierde kanaal van 0.60 um tot 0.85 um, een vijfde kanaal van 0.85 um tot 1.50 um en een zesde kanaal van 1.50 um tot 2.00 um.0.20 um to 0.25 um, a second channel from 0.25 um to 0.40 um, a third channel from 0.40 um to 0.60 um, a fourth channel from 0.60 um to 0.85 um, a fifth channel from 0.85 um to 1.50 um and a sixth channel from 1.50 pm to 2.00 pm.
Volgens een uitvoeringsvorm omvat een eerste kanaal deeltjes met een grootte vanAccording to one embodiment, a first channel comprises particles with a size of
0.20 um tot 0.40 um, een tweede kanaal van 0.40 um tot 0.60 um, een derde kanaal van 0.60 um tot 0.80 um, een vierde kanaal van 0.90 um tot 1.50 um, een vijfde kanaal van 1.50 um tot 3.50 um en een zesde kanaal van 3.50 um tot 5.00 um. Volgens een uitvoeringsvorm omvat een eerste kanaal deeltjes met een grootte van0.20 um to 0.40 um, a second channel from 0.40 um to 0.60 um, a third channel from 0.60 um to 0.80 um, a fourth channel from 0.90 um to 1.50 um, a fifth channel from 1.50 um to 3.50 um and a sixth channel from 3.50 pm to 5.00 pm. According to one embodiment, a first channel comprises particles with a size of
0.20 um tot 0.40 um, een tweede kanaal van 0.40 um tot 0.75 um, een derde kanaal van 0.75 um tot 3.00 um, een vierde kanaal van 3.00 um tot 7.50 um, een vijfde kanaal van 7.50 um tot 17.50 um en een zesde kanaal van 17.50 um tot 25.00 um. De sensoreenheid is geschikt voor het nauwkeurig meten van het aantal deeltjes in een volume in de stofvrije ruimte zodat de controle-eenheid meetwaarden van de sensoreenheid kan gebruiken voor het monitoren en regelen van een stofvrije ruimte, meer bepaald het monitoren en regelen van het aantal deeltjes in een volume in de stofvrije ruimte. Dit is voordelig om de omstandigheden in de stofvrije ruimte zo te regelen dat het aantal deeltjes in een volume in de stofvrije ruimte niet hoger ligt dan voorgeschreven in ISO 14644-1 en/of EU GGMP voor die stofvrije ruimte. De controle-eenheid omvat een controller, zoals een PLC, een embedded PC of een server. De controller is geconfigureerd voor het periodiek lezen van gemeten parameters zoals temperatuur, luchtvochtigheid, verschil in luchtdruk en het aantal deeltjes in een volume vanuit een sensoreenheid. De controller omvat een programma voor het aansturen van het luchtbehandelingssysteem om parameters zoals temperatuur, luchtvochtigheid, verschil in luchtdruk en het aantal deeltjes in een volume in een stofvrije ruimte te regelen gebaseerd op parameters die door de sensoreenheid gemeten zijn. De controle-eenheid omvat een bediening voor de operator die met de controller communiceert. Een niet limitatieve lijst van voorbeelden van geschikte bediening is een web-interface op een server, een aanraakscherm en een mobiel toestel zoals een tablet of GSM. Volgens een uitvoeringsvorm is de controle-eenheid geconfigureerd voor het bewaren van minstens een deel van de door de sensoreenheid gemeten parameters. Op deze manier kunnen de gemeten parameters op de lange termijn worden bekeken, of in het geval van een storing in de stofvrije ruimte of in het geval van productieproblemen in de stofvrije ruimte worden opgevraagd. Vervolgens kan de oorzaak van een productieprobleem worden bepaald. In het bijzonder kan een componentbesparing worden bereikt, aangezien gemeten parameters van een sensoreenheid die reeds wordt gebruikt voor het regelen van de stofvrije ruimte voor loggen kan gebruikt worden.0.20 um to 0.40 um, a second channel from 0.40 um to 0.75 um, a third channel from 0.75 um to 3.00 um, a fourth channel from 3.00 um to 7.50 um, a fifth channel from 7.50 um to 17.50 um and a sixth channel from 17.50 pm to 25.00 pm. The sensor unit is capable of accurately measuring the number of particles in a volume in the dust-free room so that the control unit can use readings from the sensor unit to monitor and control a dust-free room, in particular to monitor and control the number of particles in a volume in the dust-free room. This is advantageous to control the conditions in the dust-free space so that the number of particles in a volume in the dust-free space is not higher than prescribed in ISO 14644-1 and/or EU GGMP for that dust-free space. The control unit includes a controller, such as a PLC, an embedded PC or a server. The controller is configured to periodically read measured parameters such as temperature, humidity, difference in air pressure and the number of particles in a volume from a sensor unit. The controller includes a program for controlling the air handling system to control parameters such as temperature, humidity, difference in air pressure and the number of particles in a volume in a dust-free room based on parameters measured by the sensor unit. The control unit includes an operator control that communicates with the controller. A non-exhaustive list of examples of suitable operation is a web interface on a server, a touch screen and a mobile device such as a tablet or mobile phone. According to one embodiment, the control unit is configured to store at least a portion of the parameters measured by the sensor unit. In this way, the measured parameters can be viewed in the long term, or retrieved in the event of a malfunction in the dust-free room or in case of production problems in the dust-free room. Then the cause of a production problem can be determined. In particular, a component saving can be achieved, since measured parameters of a sensor unit already used for controlling the dust-free space for logging can be used.
Volgens een uitvoeringsvorm is de controle-eenheid geconfigureerd voor het instellen van gewenste waarden voor het luchtbehandelingssysteem met behulp van de bediening voor de operator.According to one embodiment, the control unit is configured to set desired values for the air handling system using the operator controls.
Het luchtbehandelingssysteem is geschikt voor het regelen van parameters in een stofvrije ruimte, zoals temperatuur, luchtvochtigheid, aantal deeltjes in een volume en druk. De gewenste waarden voor deze parameters is door de controle-eenheid met behulp van de bediening voor de operator instelbaar. De controle-eenheid is bij voorkeur gelijktijdig bruikbaar voor het instellen van gewenste waarden en voor het monitoren en regelen van de stofvrije omgeving.The air handling system is suitable for controlling parameters in a dust-free room, such as temperature, humidity, number of particles in a volume and pressure. The desired values for these parameters can be set by the control unit using the operator controls. The control unit can preferably be used simultaneously for setting desired values and for monitoring and controlling the dust-free environment.
Volgens een uitvoeringsvorm omvat de controle-eenheid een matrix van grenswaarden voor het luchtbehandelingssysteem die voldoen aan ISO 14644-1 en/of de EU GGMP zodat het onmogelijk is om gewenste waarden in te geven waardoor de stofvrije ruimte niet aan de vereisten van ISO 14644-1 en/of EU GGMP zou voldoen. Hierdoor is het voor de operator eenvoudiger om het luchtbehandelingssysteem correct in te stellen. Een operator kan minder hooggeschoold zijn.According to one embodiment, the control unit comprises a matrix of limit values for the air handling system that comply with ISO 14644-1 and/or the EU GGMP so that it is impossible to enter desired values so that the dust-free room does not meet the requirements of ISO 14644- 1 and/or EU GGMP would suffice. This makes it easier for the operator to set up the air handling system correctly. An operator may be less highly skilled.
Volgens een uitvoeringsvorm is de controle-eenheid geconfigureerd is voor het uitsturen van een foutboodschap en/of een onderhoudsinstructie in het geval de sensoreenheid waarden meet die afwijken van de gewenste waarden.According to one embodiment, the control unit is configured to send out an error message and/or a maintenance instruction in case the sensor unit measures values that deviate from the desired values.
Dit is voordelig omdat een afwijking van een gewenste waarde onmiddellijk detecteerbaar is, waardoor meteen tegenmaatregelen kunnen worden genomen. Productieverlies wordt hierdoor geminimaliseerd. Bijkomend zijn afwijkingen door de controle-eenheid vroegtijdig te signaleren, vooraleer niet meer aan de vereisten van ISO 14644-1 en/of EU GGMP voldaan is. Dit geeft de operator de mogelijkheid om proactief processen bij te sturen of bijkomende maatregelen te nemen of indien noodzakelijk om onderhoud aan bijvoorbeeld het luchtbehandelingssysteem vroeger uit te voeren waardoor een langdurige, correcte bedrijfstoestand van het luchtbehandelingssysteem en bijgevolg de stofvrije ruimte wordt gewaarborgd.This is advantageous because a deviation from a desired value is immediately detectable, so that countermeasures can be taken immediately. Production loss is minimized as a result. In addition, deviations can be identified early by the control unit, before the requirements of ISO 14644-1 and/or EU GGMP are no longer met. This gives the operator the opportunity to proactively adjust processes or take additional measures or, if necessary, to perform maintenance on, for example, the air treatment system earlier, so that a long-term, correct operating condition of the air treatment system and therefore the dust-free space is guaranteed.
Volgens een uitvoeringsvorm omvat het luchtbehandelingssysteem een toevoerkanaal voor verse buitenlucht. Het toevoerkanaal heeft een debiet dat minstens 5% van het totale debiet van het luchtbehandelingssysteem bedraagt, bij voorkeur minstens 10%, bij nog meer voorkeur minstens 15% en zelfs bij nog meer voorkeur minstens 20%. Verse buitenlucht is voordelig voor een gezonde luchtsamenstelling in de stofvrije ruimte. Verse buitenlucht is ook noodzakelijk omdat meer lucht naar de stofvrije ruimte moet worden aangevoerd dan er wordt afgevoerd om in de stofvrije ruimte een hogere druk dan in de omliggende niet-stofvrije ruimtes te kunnen creëren.According to one embodiment, the air treatment system comprises a supply duct for fresh outside air. The supply duct has a flow rate that is at least 5% of the total flow rate of the air conditioning system, preferably at least 10%, even more preferably at least 15% and even more preferably at least 20%. Fresh outside air is beneficial for a healthy air composition in the dust-free room. Fresh outside air is also necessary because more air must be supplied to the dust-free area than is exhausted in order to create a higher pressure in the dust-free area than in the surrounding non-dust-free areas.
Volgens een uitvoeringsvorm omvat het luchtbehandelingssysteem middelen voor het afkoelen van lucht.According to one embodiment, the air treatment system comprises means for cooling air.
Lucht die door het luchtbehandelingssysteem behandelt wordt, kan door apparatuur en activiteiten in de stofvrije ruimte opwarmen. Tevens kan in de zomer warme buitenlucht worden aangevoerd. Hierdoor kan het noodzakelijk zijn om de lucht af te koelen.Air treated by the air handling system can heat up due to equipment and activities in the dust-free area. Warm outside air can also be supplied in the summer. This may make it necessary to cool the air.
De middelen om lucht af te koelen omvatten een warmtewisselaar, een warmtepomp en een buffervat. De middelen om lucht af te koelen zijn bij voorkeur na het toevoerkanaal voor verse buitenlucht geplaatst.The means for cooling air comprise a heat exchanger, a heat pump and a buffer tank. The means for cooling air are preferably placed after the fresh air supply duct.
Volgens een uitvoeringsvorm omvat het luchtbehandelingssysteem middelen voor het verwijderen van condensatie.According to one embodiment, the air conditioning system comprises means for removing condensation.
Dit is voordelig om te vermijden dat in het luchtbehandelingssysteem water gevormd wordt dat het luchtbehandelingssysteem kan beschadigen of de regeling van luchtvochtigheid kan beïnvloeden.This is advantageous in order to avoid water being formed in the air treatment system, which can damage the air treatment system or affect the regulation of air humidity.
Volgens een uitvoeringsvorm omvat het luchtbehandelingssysteem middelen voor het opwarmen van lucht.According to one embodiment, the air treatment system comprises means for heating up air.
In de winter kan koude buitenlucht aangevoerd worden. Tevens kan het nodig zijn om de stofvrije ruimte te verwarmen. Hierdoor kan het noodzakelijk zijn om de lucht op te warmen.In winter, cold outside air can be supplied. It may also be necessary to heat the dust-free room. This may make it necessary to heat up the air.
De middelen om lucht op te warmen omvatten een warmtewisselaar, een warmtepomp en een buffervat. De middelen om lucht op te warmen zijn bij voorkeur na de middelen voor het verwijderen van condensatie geplaatst omdat door het afkoelen van lucht condensatie kan gevormd worden.The means for heating air comprise a heat exchanger, a heat pump and a buffer tank. The means for heating air are preferably placed after the means for removing condensation because condensation can be formed due to the cooling of air.
Volgens een uitvoeringsvorm omvat het luchtbehandelingssysteem minstens een centrifugale ventilator voor het versnellen en expanderen van lucht. De centrifugale ventilator zorgt voor een geforceerde luchtstroom.According to one embodiment, the air conditioning system comprises at least one centrifugal fan for accelerating and expanding air. The centrifugal fan provides a forced airflow.
Bij voorkeur is er een centrifugale ventilator na de middelen voor het opwarmen van lucht geplaatst. Deze centrifugale ventilator versnelt de lucht en zorgt voor een geforceerde luchtstroom naar luchttoevoeren voor behandelde lucht in de stofvrije ruimte.Preferably, a centrifugal fan is located after the air heating means. This centrifugal fan accelerates the air and provides a forced airflow to air supplies for treated air in the dust-free room.
Bij voorkeur is er een centrifugale ventilator in het luchtbehandelingssysteem geplaatst nabij de plaats waar luchtafvoeren met vervuilde lucht uit de stofvrije omgeving op het luchtbehandelingssysteem aansluiten. Deze centrifugale ventilator zorgt voor een geforceerde luchtstroom vanaf luchtafvoeren met vervuilde lucht uit de stofvrije ruimte naar het luchtbehandelingssysteem.Preferably, a centrifugal fan is placed in the air treatment system near the location where air outlets with polluted air from the dust-free environment connect to the air treatment system. This centrifugal fan provides a forced air flow from exhaust air with polluted air from the dust-free room to the air handling system.
Volgens een uitvoeringsvorm omvat het luchtbehandelingssysteem minstens een luchtfilter voor het verwijderen van deeltjes.According to one embodiment, the air conditioning system comprises at least one air filter for removing particles.
Er zijn strenge vereisten voor het maximale aantal deeltjes in een volume voor verschillende klassen van stofvrije ruimtes volgens EU GGMP en ISO 14644-1. De lucht die naar de stofvrije omgeving wordt toegevoerd, mag slechts een beperkt aantal deeltjes omvatten. Het is noodzakelijk om de lucht in het luchtbehandelingssysteem te filteren.There are strict requirements for the maximum number of particles in a volume for different classes of dust-free areas according to EU GGMP and ISO 14644-1. The air supplied to the dust-free environment may only contain a limited number of particles. It is necessary to filter the air in the air handling system.
Bij voorkeur is in de nabijheid van het toevoerkanaal voor verse buitenlucht een filter geplaatst. Verse buitenlucht bevat veel deeltjes.A filter is preferably placed in the vicinity of the supply duct for fresh outside air. Fresh outside air contains many particles.
Bij voorkeur is nabij het einde van het luchtbehandelingssysteem een filter geplaatst. Deeltjes die in het luchtbehandelingssysteem opgeworpen worden, kunnen door dit filter opgevangen worden.Preferably, a filter is placed near the end of the air treatment system. Particles that are thrown up in the air treatment system can be collected by this filter.
Bij voorkeur is bij iedere luchttoevoer vanaf het luchtbehandelingssysteem naar een luchtsluis en bij iedere luchtafvoer vanaf een luchtsluis naar het luchtbehandelingssysteem een filter geplaatst. Luchtsluizen vormen een toegang van omliggende niet-stofvrije ruimtes naar de stofvrije ruimte, die aan de vereisten van ISO 14644-1 en/of EU GGMP moet voldoen, en zijn daardoor kritisch. Bij voorkeur zijn de filters zo dicht mogelijk bij de luchtsluis geplaatst. Volgens een uitvoeringsvorm omvat het luchtbehandelingssysteem minstens een stoombevochtiger.Preferably, a filter is placed at each air supply from the air treatment system to an air lock and at each air outlet from an air lock to the air treatment system. Airlocks provide access from surrounding non-dust-free areas to the dust-free area, which must meet the requirements of ISO 14644-1 and/or EU GGMP, and are therefore critical. Preferably, the filters are placed as close as possible to the airlock. According to one embodiment, the air treatment system comprises at least one steam humidifier.
Een stoombevochtiger kan de luchtvochtigheid van lucht beïnvloeden zonder het creëren van waterdruppels. De stoombevochtiger wordt gebruikt om lucht met de juiste luchtvochtigheid naar de verschillende ruimtes in de stofvrije omgeving toe te voeren.A steam humidifier can affect the humidity of air without creating water droplets. The steam humidifier is used to supply air with the correct humidity to the different rooms in the dust-free environment.
Volgens een uitvoeringsvorm is de sensoreenheid via een netwerk met de controle- eenheid verbonden. Een sensoreenheid is via een ethernetnetwerk met de controle-eenheid verbonden.According to one embodiment, the sensor unit is connected to the control unit via a network. A sensor unit is connected to the control unit via an Ethernet network.
Een sensoreenheid is via RS485, USB of een ander geschikt serieel protocol met de controle-eenheid verbonden. Een sensoreenheid is via RS485, USB of een ander geschikt serieel protocol via een protocolomvormer over een ethernetnetwerk met de controle-eenheid verbonden. Een protocolomvormer is geschikt voor het omvormen van bijvoorbeeld seriële communicatie, zoals via RS485, USB of een ander geschikt serieel protocol, naar een protocol over een ethernetnetwerk, zoals UDP, TCP-IP of een ander geschikt protocol.A sensor unit is connected to the control unit via RS485, USB or other suitable serial protocol. A sensor unit is connected to the control unit via RS485, USB or other suitable serial protocol via a protocol converter over an Ethernet network. A protocol converter is suitable for converting, for example, serial communication, such as via RS485, USB or another suitable serial protocol, to a protocol over an Ethernet network, such as UDP, TCP-IP or another suitable protocol.
Een sensoreenheid is via een analoge ingang op een protocolomvormer over een ethernetnetwerk met de controle-eenheid verbonden Een protocolomvormer is geschikt voor het omvormen van analoge waarden, zoals bijvoorbeeld de weerstandswaarde van een weerstand met een positieve of negatieve temperatuurscoëfficiënt naar een digitale waarde die met behulp een protocol over een ethernetnetwerk, zoals UDP, TCP-IP of een ander geschikt protocol naar de controle-eenheid verzonden wordt.A sensor unit is connected to the control unit via an analog input on a protocol converter over an Ethernet network. A protocol converter is suitable for converting analog values, such as the resistance value of a resistor with a positive or negative temperature coefficient, into a digital value using a protocol over an Ethernet network, such as UDP, TCP-IP, or other suitable protocol is sent to the control unit.
De huidige uitvinding zal nu meer in detail worden beschreven, onder verwijzing naar een figuur die niet beperkend is.The present invention will now be described in more detail with reference to a figure which is not limiting.
FIGUURBESCHRIJVING Figuur 1 toont een grondplan van een inrichting volgens een uitvoeringsvorm van de huidige uitvinding. De inrichting omvat een niet-stofvrije ruimte 1. In de niet-stofvrije ruimte 1 is het luchtbehandelingssysteem en de controle-eenheid geplaatst. Via een deur 15 kan vanuit de niet-stofvrije ruimte 1 een eerste luchtsluis 2 betreden worden. Vanaf hier start een stofvrije omgeving. De luchtsluis 2 heeft een deur 16 naar een tweede luchtsluis 3. Tussen de deur 15 en de deur 16 staat een bank 7 dwars over de volledige breedte van de luchtsluis 2. In de luchtsluis 2 is een sensoreenheid voor het meten van drukverschillen 10 geplaatst. De tweede luchtsluis 3 heeft een deur 17 naar een derde luchtsluis 4 en een deur 19 naar een eerste stofvrije ruimte 6. Een bank 8 staat dwars over de volledige breedte van de luchtsluis 3 tussen enerzijds de deur 16 en anderzijds de deuren 17 en 19. In de luchtsluis 3 is een sensoreenheid voor het meten van drukverschillen 10 geplaatst. De derde luchtsluis 4 heeft een deur 18 naar een tweede stofvrije ruimte 5. Tussen de deur 17 en de deur 18 staat een bank 9 dwars over de volledige breedte van de luchtsluis 4. In de luchtsluis 4 is een sensoreenheid voor het meten van drukverschillen 10 geplaatst. In de eerste stofvrije ruimte 6 is tussen de niet-stofvrije ruimte 1 en de stofvrije ruimte 6 een doorgeefkast 13 voor het doorgeven van goederen. In de eerste stofvrije ruimte 6 is eveneens tussen de stofvrije ruimte 6 en de tweede stofvrije ruimte 5 een doorgeefkast 14 voor het doorgeven van goederen. In de stofvrije ruimte 6 is een sensoreenheid voor het meten van drukverschillen 10, een sensoreenheid voor het meten van temperatuur en luchtvochtigheid 11 en een sensoreenheid voor het meten van het aantal deeltjes per volume 12 geplaatst.FIGURE DESCRIPTION Figure 1 shows a ground plan of an apparatus according to an embodiment of the present invention. The device comprises a non-dust-free space 1. The air-conditioning system and the control unit are placed in the non-dust-free space 1. A first airlock 2 can be entered from the non-dust-free space 1 via a door 15. A dust-free environment starts from here. The airlock 2 has a door 16 to a second airlock 3. Between the door 15 and the door 16 stands a bench 7 across the full width of the airlock 2. In the airlock 2 a sensor unit 10 for measuring pressure differences is placed. The second airlock 3 has a door 17 to a third airlock 4 and a door 19 to a first dust-free space 6. A bench 8 stands transversely across the full width of the airlock 3 between the door 16 on the one hand and the doors 17 and 19 on the other. A sensor unit for measuring pressure differences 10 is placed in the airlock 3 . The third airlock 4 has a door 18 to a second dust-free space 5. Between the door 17 and the door 18 stands a bench 9 across the full width of the airlock 4. Inside the airlock 4 is a sensor unit for measuring pressure differences 10 posted. In the first dust-free space 6, between the non-dust-free space 1 and the dust-free space 6 is a transfer box 13 for passing on goods. In the first dust-free space 6, between the dust-free space 6 and the second dust-free space 5, there is also a transfer box 14 for passing on goods. In the dust-free space 6, a sensor unit for measuring pressure differences 10, a sensor unit for measuring temperature and air humidity 11 and a sensor unit for measuring the number of particles per volume 12 are placed.
In de tweede stofvrije ruimte 5 is een sensoreenheid voor het meten van drukverschillen 10, een sensoreenheid voor het meten van temperatuur en luchtvochtigheid 11 en een sensoreenheid voor het meten van het aantal deeltjes per volume 12 geplaatst.In the second dust-free space 5, a sensor unit for measuring pressure differences 10, a sensor unit for measuring temperature and air humidity 11 and a sensor unit for measuring the number of particles per volume 12 are placed.
Claims (11)
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| BE20195830A BE1027790B1 (en) | 2019-11-25 | 2019-11-25 | DEVICE FOR MONITORING AND CONTROL OF A DUST-FREE SPACE |
| BE20195849A BE1027783B1 (en) | 2019-11-25 | 2019-11-29 | FURNISHING WITH AN OPTIMIZED GROUND PLAN FOR DUST AVOIDANCE IN A DUST-FREE SPACE |
| NL2026880A NL2026880B1 (en) | 2019-11-25 | 2020-11-12 | DEVICE FOR MONITORING AND CONTROL OF A DUST-FREE SPACE |
| NL2026879A NL2026879B1 (en) | 2019-11-25 | 2020-11-12 | FURNISHING WITH AN OPTIMIZED GROUND PLAN FOR DUST AVOIDANCE IN A DUST-FREE SPACE |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| BE20195830A BE1027790B1 (en) | 2019-11-25 | 2019-11-25 | DEVICE FOR MONITORING AND CONTROL OF A DUST-FREE SPACE |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| BE1027790A1 BE1027790A1 (en) | 2021-06-16 |
| BE1027790B1 true BE1027790B1 (en) | 2021-06-23 |
Family
ID=68807925
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| BE20195830A BE1027790B1 (en) | 2019-11-25 | 2019-11-25 | DEVICE FOR MONITORING AND CONTROL OF A DUST-FREE SPACE |
| BE20195849A BE1027783B1 (en) | 2019-11-25 | 2019-11-29 | FURNISHING WITH AN OPTIMIZED GROUND PLAN FOR DUST AVOIDANCE IN A DUST-FREE SPACE |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| BE20195849A BE1027783B1 (en) | 2019-11-25 | 2019-11-29 | FURNISHING WITH AN OPTIMIZED GROUND PLAN FOR DUST AVOIDANCE IN A DUST-FREE SPACE |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| BE (2) | BE1027790B1 (en) |
| NL (2) | NL2026879B1 (en) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012112775A2 (en) * | 2011-02-16 | 2012-08-23 | Fiorita John L Jr | Clean room control system and method |
| SE1300298A1 (en) * | 2013-04-24 | 2014-10-25 | Qleanair Scandinavia Ab | Rules and control system for rooms |
| KR20150009174A (en) * | 2013-07-16 | 2015-01-26 | 주식회사 시스웍 | Control device with clean air-conditioning functions |
| CN107883436A (en) * | 2016-09-29 | 2018-04-06 | 殷晓冬 | The weak turbulent air cleaning system of adjustable cleanliness factor |
| US20190234631A1 (en) * | 2016-06-27 | 2019-08-01 | Energy Efficiency Consultancy Group Limited | Cleanroom control system and method |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4632737B2 (en) * | 2004-09-29 | 2011-02-16 | 三洋電機株式会社 | Cell culture facility |
| JP4815644B2 (en) * | 2006-12-28 | 2011-11-16 | 鹿島建設株式会社 | Genetically modified plant factory |
| JP2015521515A (en) * | 2012-07-02 | 2015-07-30 | ノボ ノルディスク ヘルス ケア アーゲー | Method for manufacturing a medical device |
| US20190056122A1 (en) * | 2015-04-20 | 2019-02-21 | Synexis Llc | Clean Rooms Having Dilute Hydrogen Peroxide (DHP) Gas and Methods of Use Thereof |
| DE202015102621U1 (en) * | 2015-05-21 | 2015-06-10 | Mösslein Gmbh | Mobile clean room for cleaning water supply systems |
-
2019
- 2019-11-25 BE BE20195830A patent/BE1027790B1/en active IP Right Grant
- 2019-11-29 BE BE20195849A patent/BE1027783B1/en active IP Right Grant
-
2020
- 2020-11-12 NL NL2026879A patent/NL2026879B1/en active
- 2020-11-12 NL NL2026880A patent/NL2026880B1/en active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012112775A2 (en) * | 2011-02-16 | 2012-08-23 | Fiorita John L Jr | Clean room control system and method |
| SE1300298A1 (en) * | 2013-04-24 | 2014-10-25 | Qleanair Scandinavia Ab | Rules and control system for rooms |
| KR20150009174A (en) * | 2013-07-16 | 2015-01-26 | 주식회사 시스웍 | Control device with clean air-conditioning functions |
| US20190234631A1 (en) * | 2016-06-27 | 2019-08-01 | Energy Efficiency Consultancy Group Limited | Cleanroom control system and method |
| CN107883436A (en) * | 2016-09-29 | 2018-04-06 | 殷晓冬 | The weak turbulent air cleaning system of adjustable cleanliness factor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| BE1027790A1 (en) | 2021-06-16 |
| NL2026879B1 (en) | 2021-08-30 |
| BE1027783A1 (en) | 2021-06-16 |
| BE1027783B1 (en) | 2021-06-22 |
| NL2026880B1 (en) | 2021-08-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7590469B2 (en) | Method and apparatus for configuring a communicating environmental conditioning network | |
| US10161774B2 (en) | Systems and computer program products for measuring airflow rates in heating, ventilating, and air conditioning (HVAC) ducts and HVAC systems including the same | |
| EP2806225A1 (en) | Air-conditioning apparatus and method for controlling air conditioning | |
| EP2812637B1 (en) | Ventilation device for clean room applications | |
| JP6501679B2 (en) | Clean room air conditioning system | |
| WO2017011493A9 (en) | Systems for calibrating airflow rates in heating, ventilating, and air conditioning (hvac) ducts and hvac systems including the same | |
| JP2018109458A (en) | Control device for air conditioning system and air conditioning system | |
| US10154614B1 (en) | Air handling unit intake air preheat system and method | |
| CN112739958B (en) | Air conditioner and method for adjusting rotation speed of blower fan | |
| AU2014204778B2 (en) | Multi-duct air conditioning system | |
| BE1027790B1 (en) | DEVICE FOR MONITORING AND CONTROL OF A DUST-FREE SPACE | |
| CN211451229U (en) | High-precision constant-temperature constant-humidity laboratory energy-saving control device | |
| Liu et al. | Study on pressure control and energy saving of cleanroom in purification air conditioning system | |
| CN203797893U (en) | Constant-temperature room pipeline system | |
| US11499731B2 (en) | Automated monitoring system for a forced air handling system and method of operation | |
| CN103294085A (en) | Micro-environment control system for optical measurement equipment | |
| CN113176794A (en) | Positive and negative voltage control device, positive and negative voltage control system, electronic device, storage medium, and program product | |
| CN111425934A (en) | Air treatment device | |
| EP4090891A1 (en) | Root cause analytics of hvac faults | |
| CN213300443U (en) | Air quantity distribution device for air conditioning air system | |
| NL2026881B1 (en) | PROCEDURE FOR CONTROL OF PRESSURE DIFFERENCES, TEMPERATURE AND HUMIDITY IN A DUST-FREE ROOM | |
| JP2008232540A (en) | Air conditioning control system | |
| CN104180484A (en) | Data room air conditioning system | |
| CN202472464U (en) | Microenvironment control system for optical measurement equipment | |
| CN216620100U (en) | Comprehensive air supply system for engine test laboratory |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FG | Patent granted |
Effective date: 20210623 |