KR101487021B1 - 펌핑 유닛 및 대응하는 가열 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 가스 입구(15)와 가스 출구(17)를 갖는 압축단 케이싱(13)을 포함하는 건식 단단 진공 펌프(2)를 구비하는 펌핑 유닛(1)으로서, 상기 가스 입구(15)와 가스 출구(17)에 각각 있는 입구 플랜지 조인트(16) 및 출구 플랜지 조인트(18)와, 상기 진공 펌프를 가열하기 위한 가열 수단을 구비하는 펌핑 유닛(1)에 관한 것이다. 이 펌핑 유닛은 압축단 케이싱(13)을 열 확산에 의해 가열하도록 서로 평행하고 펌핑될 가스의 방향(19, 21)에 수직인 평면에서 상기 가스 입구(15)와 가스 출구(17)에 각각 배치되는 2개의 가열 레지스터(24, 29)를 구비한다.
본 발명은 또한, 압축단 케이싱(13)을 열 확산에 의해 가열하도록 서로 평행한 평면에서 펌핑될 가스의 방향(19, 21)에 수직으로 상기 가스 입구(15)와 가스 출구(17)에 각각 배치되는 2개의 가열 레지스터(24, 29)를 구비하는 가열 장치에 관한 것이다. 적어도 하나의 가열 레지스터(24, 29)는 원호의 스트립 형상이고, 펌핑 유닛(1)의 입구 플랜지 조인트(16) 및/또는 출구 플랜지 조인트(18)에 부착될 수 있도록 복수개의 구멍(31)을 구비한다.

Description

펌핑 유닛 및 대응하는 가열 장치{PUMPING UNIT AND CORRESPONDING HEATING DEVICE}
본 발명은 루트 회전-로브 펌프(Roots rotating-lobe pump) 등의 건식 단단 진공 펌프를 포함하는 펌핑 유닛에 관한 것이다. 본 발명은 또한 대응하는 가열 장치에 관한 것이다.
반도체, 플랫 스크린 또는 광기전성 기판을 제조하는 방법에는 특히 건식 진공 펌프가 사용되고 있는데, 무시할 수 없는 양의 연마 분말이 발생된다.
기존의 진공 펌프 중에는, 오직 하나의 압축단만을 구비하는 단단 펌프들 간에 구별이 있어, 펌핑될 가스가 가스 유입구와 가스 배출구 사이에서 이동된다. 예컨대, 2개 또는 3개의 로브(이중 로브, 삼중 로브)를 구비한 "루트(Roots)" 펌프란 이름으로도 알려진 회전 로브 펌프가 공지되어 있다.
일반적으로 말해서, 루트 회전-로브 펌프는 단면이 동일하고 스테이터 내에서 반대 방향으로 회전하는 2개의 로터를 구비한다. 이들 로터가 회전할 때에, 흡인된 가스는 로터와 스테이터 사이에서 발견되는 개방 공간 내에 포획된 다음, 배출구를 통해 탈출한다. 펌프는 로터와 펌프 본체 사이에 어떠한 기계적 접촉도 없 이 작동되며, 이로 인해 오일이 압축 챔버로부터 완벽하게 존재하지 않을 수 있다.
이들 펌프가 스테이터와 로브 로터 사이에 기계적 접촉은 없으나, 그 사이에 매우 작은 간극을 두고 작동하면, 이들 펌프는 오염 공정들, 예컨대 반도체 공정들, 보다 구체적으로, LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition), ALD(Atomic Layer Deposition), MOCVD(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) 및 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 공정들을 포함하는 CVD(Chemical Vapor Deposition) 공정들에 사용되는 경우에, 특히 온도와 관련하여 특별한 구성을 필요로 한다.
이들 공정은 바람직하게는 분말로의 응축 또는 고형화가 유지되는 가스를 사용한다. 그 이유는 압축단의 가동부 상에 분말이 상당히 축적되면 특히 기계적 중단을 통해 펌프가 매우 빨리 정지되게 하기 때문이다. 이 이유로, 펌프의 압축단 내측에 기능적 간극을 남겨 두어 최대의 작동 수명을 보장하는 것이 중요하다. 분말 발생 공정들로 인해 펌프가 정지되는 비율을 줄이는 것은 제조 공정이 원활하게 진행되는 것을 보장하는 데에 중요하다.
이를 달성하기 위한 한가지 해법은 압축단에서 화학적 반응을 개시하거나 응축할 수 있는 종류의 가스 형태를 보존하기에 충분한 고온으로 가스를 유지하는 것으로 이루어진다.
그러나, 이러한 실시는 단단 펌프에서 항상 가능하지 않다. 특히, LPCVD 등의 반도체 공정에 있어서, 압축에 의해 방출된 열 에너지는 저압값 및 유량값의 결과로서 펌프 본체의 온도를 충분히 높게 유지하는 데에 항상 충분한 것은 아니다.
이 단점을 개선하기 위하여, 예컨대 특허문헌 일본 공개 특허 제 2007-262906 호에 기술된 바와 같이 절연 또는 가열 덮개를 이용하여 펌프의 본체를 열적으로 절연하는 것이 공지되어 있다. 가열 덮개는 직물층들 사이에 끼워진 금속 와이어로서 규정된다. 그러나, 이들 덮개는 부피가 크고 고가라는 단점을 갖는다. 또한, 가열 덮개의 효율과 가열 균일성은 가열 덮개가 어떻게 장착되는 지에 따라 좌우되며, 덮개와 펌프 본체 사이의 열악한 접촉은 가스가 응축될 수 있는 저온 영역을 생성할 수도 있다.
따라서, 펌프는 소정 각도의 케이싱을 구비하는 경우가 많고, 그 리드(lid)는 정확하게 조절하는 것이 거의 불가능하다.
더욱이, 펌프 내에서 순환하는 가스를 예정된 온도로 유지하는 요구 외에, 윤활유 뿐만 아니라 펌프의 특정한 특유의 기능적 영역, 예컨대 베어링, 기어 및 모터를 냉각할 필요성도 있다.
따라서, 기능적 영역의 냉각을 덜 효율적이 되게 하기 때문에, 가열 덮개는 특히 소형의 단단 펌프에 대해 항상 적절한 것은 아니라는 점을 알아야 한다. 그러므로, 냉각은 약간이라도 퇴적물의 생성을 조장하는 펌프 본체 상의 온도 프로파일을 발생시킨다.
따라서, 본 발명의 목적은 기계적 오기능, 예컨대 기계적 중단을 방지하도록 가열이 최적화되는 동시에, 기능적 영역 및 윤활유를 저온으로 유지할 수 있는 펌핑 유닛을 기술하는 것이다.
이를 위해, 본 발명의 대상은, 가스 입구와 가스 출구를 갖는 압축단 케이싱을 포함하고, 상기 가스 입구와 가스 출구에 각각 있는 입구 플랜지 조인트 및 출구 플랜지 조인트와, 상기 진공 펌프를 가열하기 위한 가열 수단을 구비하는 건식 단단 진공 펌프를 구비하는 펌핑 유닛이다.
본 발명에 따르면, 상기 가열 수단은 펌프의 본체를 상기 가스 입구와 가스 출구 사이에서 열 확산에 의해 가열하도록 서로 평행하고 펌핑될 가스의 방향에 수직인 평면에서 상기 가스 입구와 가스 출구에 각각 배치되는 2개의 가열 레지스터를 구비한다.
펌핑 유닛의 다른 특징에 따르면,
- 가열 레지스터는 가스가 순환하는 일반적인 방향을 규정하는 축을 중심으로 센터링되고;
- 펌핑 유닛은 압축단 케이싱이 가스 입구와 가스 출구 사이에서 열 확산에 의해 가열될 수 있도록 입구 플랜지 조인트와 출구 플랜지 조인트에 배치되는 원호의 스트립 형상인 적어도 하나의 가열 레지스터를 구비하고;
- 상기 플랜지 조인트들은 2개의 가열 레지스터가 서로에 대해 평행한 평면에서 펌핑될 가스의 방향에 수직으로 배치되도록 평행한 평면들에 배치되고;
- 적어도 하나의 가열 레지스터는 가열 레지스터를 입구 플랜지 조인트 및/또는 출구 플랜지 조인트에 부착하기 위한 복수 개의 구멍을 구비하고;
- 가열 레지스터는 유지용 나사와, 가열 레지스터와 유지용 나사의 헤드 사이에 배치되는 스페이서에 의해 입구 플랜지 조인트 및/또는 출구 플랜지 조인트에 부착되고;
- 적어도 하나의 가열 레지스터는 입구 플랜지 조인트 및/또는 출구 플랜지 조인트에 일체화되고;
- 펌핑 유닛은 모터(3), 2개의 오일 팬(5, 6) 및 베어링(7, 9)을 냉각하는 회로를 구비하고, 상기 냉각 회로는 먼저 모터(3), 오일 팬(5, 6) 및 베어링(7, 9)과의 사이, 그 다음에 압축단 케이싱(13)과의 사이의 열 구배를 보장할 수 있으며;
- 펌핑 유닛은 온도 센서 및 온도 제어기를 구비하고, 상기 제어기는 펌프의 압축단 케이싱의 온도를 제어하도록 가열 레지스터의 전력을 제어할 수 있다.
본 발명의 다른 대상은, 가스 입구와 가스 출구를 갖는 압축단 케이싱을 포함하고, 상기 가스 입구와 가스 출구에 입구 플랜지 조인트 및 출구 플랜지 조인트를 각각 구비하는 건식 단단 진공 펌프용 가열 장치이다.
본 발명에 따르면, 상기 가열 장치는 펌프의 본체를 가스 입구와 가스 출구 사이에서 열 확산에 의해 가열하도록 서로 평행한 평면에서 펌핑될 가스의 방향에 수직으로 가스 입구와 가스 출구에 각각 배치되는 2개의 가열 레지스터를 구비한 다.
하나의 변형예에 있어서, 적어도 하나의 가열 레지스터는 원호의 스트립 형상이다.
다른 변형예에 있어서, 적어도 하나의 가열 레지스터는 전술한 펌핑 유닛의 입구 플랜지 조인트 및/또는 출구 플랜지 조인트에 부착될 수 있도록 복수개의 구멍을 구비한다.
상기 가열 장치는 가열 레지스터의 전력을 제어할 수 있는 온도 제어기와 온도 센서를 구비하는 것이 유리하다.
다른 이점 및 특징은 첨부된 도면뿐만 아니라 본 발명의 상세한 설명을 읽으면 명백해질 것이다.
본 발명에 따르면, 기계적 오기능, 예컨대 기계적 중단을 방지하도록 가열이 최적화되는 동시에, 기능적 영역 및 윤활유를 저온으로 유지할 수 있는 펌핑 유닛을 제공할 수 있다.
도 1은 건식 단단 진공 펌프(2), 입구 플랜지 조인트(16) 및 출구 플랜지 조인트(18)를 구비하는 펌핑 유닛(1)을 도시하고 있다.
진공 펌프(2)는 모터(3), 2개의 오일 팬(5, 6), 2개의 베어링(7, 9) 및 압축단(11)을 구비한다.
모터(3), 오일 팬(5, 6) 및 베어링(7, 9)은, 특히 오일 팬(5, 6)과 베어 링(7, 9) 사이에서 순환하는 액체, 예컨대 실온의 물을 이용하여 냉각 회로(12)에 의해 냉각된다.
압축단(11)은 2개의 로터(도시 생략)가 내부에서 회전할 수 있는 압축단 케이싱(13)을 구비한다.
압축단 케이싱(13)은 압축단(11)의 상부에 배치된 가스 입구(15)와 압축단(11)의 하부에 배치된 가스 출구(17)를 구비한다(도 1).
작동 중에, 펌핑될 가스는 압축단(11)의 가스 입구(15)로부터(화살표 19) 가스 출구(17)를 향해(화살표 21) 흡인될 수 있다.
입구 플랜지 조인트(16)는 진공 펌프(2)의 입구(15)에 배치되고, 출구 플랜지 조인트(18)는 진공 펌프(2)의 출구(17)에 배치된다.
출구 플랜지 조인트(18)는 펌프(2)의 출구(17)를 주 진공 펌프의 입구에 연결되도록 된 진공 라인에 연결시키는 출구 플랜지(28)를 구비한다.
일반적으로, 유량이 보다 적고 대기압으로 펌핑되는 가스를 방출할 수 있는 주 진공 펌프(도시 생략)에 순차 연결시킬 때에 유량이 높은 단단 진공 펌프(2)가 사용된다.
입구 플랜지 조인트(16)는 펌프(2)의 입구(15)를 예컨대 처리 챔버로부터 시작되는 가스 흡입 진공 라인에 연결시키는 입구 플랜지(26)를 구비한다.
물론, 본 발명은 또한 2개 이상의 로브를 갖는 단단 루트 펌프와 같이 회전 로브를 갖는 임의의 타입의 건식 단단 진공 펌프에도 적용된다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 펌핑 유닛(1)은 상기 압축단 케이싱(13)을 열 확산에 의해 가열할 수 있도록 출구 플랜지 조인트(18)에 배치된 원호의 스트립 형상의 일부인 제 1 가열 레지스터(24; 도 2 참조)를 구비한다.
이러한 방식에서, 가열 레지스터(24)에 의해 가열되는 표면은 출구(17; 도 1)에서의 가스 유동 경로(화살표 19, 21)에 그 최대값이 존재한다.
더욱이, 펌핑된 가스 유동(19, 21)의 방향에서 축 형상 팩터(form factor)가 최소화되어, 주 펌프의 흡입구를 단단 진공 펌프에 가능한 한 가깝게 연결시킬 수 있으므로, 펌핑 어레이의 형상 팩터를 감소시킬 수 있다.
압축단 케이싱(13)은 펌프(2)의 가장 중요한 영역인 출구(17)에서 가열되는데, 이 영역에서 가스가 고압이고 이에 따라 보다 응축되기 쉽다고 가정한다.
또한, 가열 레지스터(24)는 펌프 상에서 항상 동일한 방식으로 배치되는 것이 보장되는데, 이는 가열 레지스터(24)와 출구 플랜지 조인트(18) 사이의 접촉량이 종래 기술의 경우에서처럼 가열 레지스터가 설치되는 방법에 따라 좌우되지 않는다는 것을 의미한다.
또한, 전기 저항을 통한 가열은 펌프(2)의 압축단 케이싱(13)이 예정된 작동 온도에 급속하게 도달할 수 있게 하여, 진공 펌프(2)의 시동에 필요한 시간을 감소시킨다.
유리하게는, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 가열 레지스터(24)는 출구 플랜지 조인트(18)의 출구 플랜지(28)에 배치된다. 또한, 가열 레지스터는 출구 플랜지(28)에 대응하는 표면과 접촉하도록 배치되는 것이 유리하다.
출구 플랜지(28)의 대응하는 표면은 가열될 표면을 최적화시키도록 가열 레 지스터(24)의 표면과 대략 동일한 치수를 갖는다.
펌핑 유닛(1)은 압축단 케이싱(13)을 입구(15)와 출구(17) 사이의 열 확산에 의해 가열할 수 있게 하도록 가스 입구(15)에 배치된 제 2 가열 레지스터(29)를 더 구비한다.
도 1에 도시된 하나의 변형예에 있어서, 펌핑 유닛(1)은 압축단 케이싱(13)을 입구(15)와 출구(17) 사이의 열 확산에 의해 가열할 수 있게 하도록 입구 플랜지 조인트(16)에 배치되며 또한 원호의 스트립 형상인 제 2 가열 레지스터(29)를 구비한다.
유리하게는, 제 1 가열 레지스터(24)는 출구(17)에 배치되고, 제 2 가열 레지스터(29)는 입구 플랜지(28)에 배치되며 플랜지(26)의 대응하는 표면과 접촉하도록 배치되는 것이 바람직하다.
이러한 방식으로, 입구(15)와 출구(17) 사이의 열 확산을 통해 목표로 하는 가열이 달성된다. 따라서, 펌프(2)는 오직 하나의 압축단(11)만을 구비하기 때문에, 압축단 케이싱(13)은 가스가 순환하는 모든 영역에서 가열되어, 가스를 응축시키지 않도록 압축단 케이싱(13)은 가스가 순환하는 어느 곳에서나 가열되는 것이 보장된다.
더욱이, 가스가 순환하지 않는 영역에서는, 펌프(2)가 정상적으로 냉각되어, 압축단 케이싱(13)을 가열시키는 요건과 목표로 하는 기능적 영역을 냉각시키는 요건을 모두 만족시킨다. 이러한 방식으로, 먼저 모터(3)와 오일팬(5, 6) 사이에 그리고 다음에 압축단 케이싱(13)과의 사이에 열 구배가 유지된다.
또한, 가열 프로파일이 제어되고 재생될 수 있는 것이 보장된다.
유리하게는, 도 1에 도시된 바와 같이, 플랜지 조인트(16, 18)는 평행한 평면에 배치되어, 가열 레지스터(24, 29) 양자는 서로에 대해 평행한 평면에 배치되고 펌핑될 가스의 방향(19, 21)에 수직으로 배치된다.
따라서, 가열 레지스터(24, 29)는 압축단(11) 내에서 순환하는 가스의 양측에 배치되어, 펌핑되는 가스 유동(19, 21)의 축(25)을 따라 압축단 케이싱(13) 내에 대칭적인 열 프로파일을 달성할 수 있게 한다.
바람직하게는, 제 2 가열 레지스터(29)는 또한 원호의 스트립 형상이 되어, 출구(17)에 배치된 제 1 가열 레지스터(24)처럼 가열되는 표면을 최적화시킬 수 있게 한다.
유리하게는, 가열 레지스터(24, 29)는 가스가 유동하는 일반적인 방향(19, 21)을 규정하는 축(25), 바람직하게는 직선축을 중심으로 센터링된다.
더욱이, 가열 레지스터(24, 29)는 입구 플랜지 조인트(16) 및/또는 출구 플랜지 조인트(18)에 부착될 수 있다. 이러한 방식에서, 적어도 하나의 가열 레지스터(24, 29)는 가열 레지스터(24, 29)를 입구 플랜지 조인트(16) 및/또는 출구 플랜지 조인트(18)에 부착시키는 복수개의 구멍을 구비한다.
도 2 내지 도 4는 가열 레지스터(24)를 유지용 나사(30)를 통해 출구 플랜지 조인트(18)에 부착시키기 위하여 출구 플랜지(28)를 부착하기 위한 4개의 구멍에 대응하는 4개의 구멍(31)을 구비하는 가열 레지스터(24)를 도시하고 있다.
펌핑 유닛(1)은 복수개의 스페이서(27)를 구비하는 것이 유리하다. 바람직하게는, 각 구멍(31) 둘레에 적어도 하나의 링형 스페이서(27)가 배치된다.
스페이서(27)는 가열 레지스터(24)와 유지용 나사(30)의 헤드 사이에 배치되어, 레지스터(24)와 플랜지(26, 28) 사이에 열 접촉이 재생될 수 있는 것을 보장한다.
또한, 스페이서(27)는 유지용 나사(30)의 운동을 제한할 수 있어, 유지용 나사가 플랜지(26, 28)에 부착될 때에 가열 레지스터(24, 29)와 충돌하는 것을 방지한다.
가열 레지스터(24, 29)는, 예컨대 전기 절연성 외장 내에 몰딩된 레지스터 와이어에 의해 형성될 수 있고, 가열 레지스터는 플랜지 조인트(16 또는 18)를 향하는 표면 반대쪽의 표면에 부착되는 단열성 폼(foam), 예컨대 실리콘을 포함한다.
가열 레지스터(24, 29)를 플랜지 조인트(16, 18)에 대해 죄이도록 유지용 플레이트를 배치함으로써 가열 레지스터(24, 29)와 플랜지 조인트(16, 18) 사이의 열 전달을 더욱 최적화시킬 수 있다.
이러한 방식에서는, 고장시 등에 쉽게 교체될 수 있는 착탈 가능한 가열 레지스터(24, 29)가 달성된다.
대안적으로, 적어도 하나의 가열 레지스터(도시 생략)가 입구 플랜지 조인트(16) 및/또는 출구 플랜지 조인트(18)에 일체화된다.
플랜지 조인트(16, 18)에 부착되거나 통합되는 가열 레지스터(24, 29)의 경우에, 진공 펌프(2)나 그 입구(15) 또는 출구(17)를 개량할 필요 없이 표준형 단단 진공 펌프(2)를 장착시킬 수 있다.
유리하게는, 압축단 케이싱(13)의 온도를 50℃ 내지 120℃로 유지할 수 있게 하도록 가열 레지스터(24, 29)의 값이 선택된다.
또한, 펌핑 유닛(1)은 유리하게는 온도 센서 및 온도 제어기(도시 생략)를 구비하도록 구성되고, 상기 온도 제어기는 펌프(2)의 압축단 케이싱(13)의 온도를 제어하도록 특히 센서의 측정을 통해 가열 레지스터(24, 29)의 전력을 제어할 수 있다.
이를 달성하기 위하여, K형 또는 R형 열전쌍이나 백금 저항 온도계 등의 온도 센서가 가열 레지스터(24, 29) 또는 케이싱 본체(13)에, 유리하게는 플랜지 조인트 표면(16 및/또는 18)과 접촉하도록 배치된다.
바람직하게는, 온도 센서는 용접 등에 의해 가열 레지스터(24, 29)에 일체화된다.
온도 제어기는 또한 종래의 PID 제어 루프를 이용하여 가열 레지스터(24, 29)의 온도를 조절할 수 있다.
온도 제어기의 경우에, 공정이 진행할 때에 발생하는 온도 변동을 흡수할 수 있다.
이 변동은 펌프(2)의 속도 강하로부터 생길 수 있고, 이로 인해 온도가 낮아질 수 있는데, 이는 입구(15)에서 가스의 압력 또는 유동의 감소에 의해 유발될 수 있다. 반대로, 상기 변동은 중형 펌프의 유동시에 가열 전력의 증가로부터 생길 수 있다.
온도 조절은 펌프(2)의 본체(13)가 과열되는 것을 피할 수 있게 하는데, 과 열은 높은 에너지를 사용할 뿐만 아니라 보다 낮은 온도로 유지되어야 하는 펌프(2)의 기능적 영역(3, 5, 6, 7, 8, 9)에 해가 된다.
따라서, 가열 레지스터(24, 29)의 위치는 퇴적물을 방지하고 펌프가 중지되는 것을 피하도록 펌프 본체의 열 프로파일에 대칭을 보장하도록 연구되었다. 이에 의해, 펌프(2)의 압축단 케이싱(13) 내에서 요구되는 온도가 달성되는 한편, 기능적 영역(3, 5, 6, 7, 8, 9)에서 효율적인 냉각이 가능한 것이 보장된다. 특히, 베어링(7, 9)의 냉각은 볼 베어링이 작동 순서로 유지되는 것을 보장하도록 충분히 낮은 온도를 보장해야 한다.
더욱이, 펌프(2)의 케이싱(13)의 온도가 안정적인 경우에, 이는 해가 될 수 있는 펌프(2)의 본체(13)의 열 변동을 최소화시킨다.
또한, 온도 제어는 펌프(2)가 정지될 때에 펌프(2)의 유지 보수 상태 동안을 비롯하여 압축단 케이싱(13)의 온도를 높게 유지시킬 수 있어, 진공 펌프(2)가 재시동될 때에 발생할 수 있는 중단 위험을 제한한다.
이 정확한 온도 제어는 단지 가열 레지스터(24, 29)를 가열될 영역을 구비하도록 특별히 구성함으로써 가능하다. 따라서, 펌핑 유닛(1)은 출구 플랜지 조인트(18)와 입구 플랜지 조인트(16)에 각각 평행하고 펌핑될 가스의 방향에 대해 수직으로 배치되며, 바람직하게는 원호의 스트립 형상인 제 1 가열 레지스터(24)와 제 2 가열 레지스터(29)를 구비하여, 압축단 케이싱(13)을 열 확산을 통해 가열시킬 수 있으며, 압축단 케이싱(13)은 제어된 방식으로 가열된다.
도 1은 본 발명의 펌핑 유닛의 측면도,
도 2는 본 발명의 가열 레지스터중 하나의 사시도,
도 3 및 도 4는 각각 일 실시예에 있어서의 출구 플랜지의 상부 사시도 및 하부 사시도.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 : 펌핑 유닛 2: 진공 펌프
3 : 모터 5, 6 : 오일 팬
7, 9 : 베어링 11 : 압축단
12 : 냉각 회로 13 : 압축단 케이싱
15 : 가스 입구 16 : 입구 플랜지 조인트
17 : 가스 출구 18 : 출구 플랜지 조인트
24, 29 : 가열 레지스터

Claims (10)

  1. 가스 입구(15)와 가스 출구(17)를 갖는 압축단 케이싱(13)을 포함하는 건식 단단 진공 펌프(2)를 구비하는 펌핑 유닛으로서, 상기 가스 입구(15)와 가스 출구(17)에 각각 있는 입구 플랜지 조인트(16) 및 출구 플랜지 조인트(18)와, 상기 진공 펌프를 가열하기 위한 가열 수단을 구비하는, 상기 펌핑 유닛에 있어서,
    상기 가열 수단은 압축단 케이싱(13)을 상기 가스 입구(15)와 상기 가스 출구(17) 사이에서 열 확산에 의해 가열하도록 서로 평행하고 펌핑될 가스의 방향(19, 21)에 수직인 평면에서 상기 가스 입구(15)와 상기 가스 출구(17)에 각각 배치되는 2개의 가열 레지스터(24, 29)를 구비하며,
    상기 가열 레지스터(24, 29)는 가스가 순환하는 일반적인 방향(19, 21)을 규정하는 축(25)을 중심으로 센터링되는
    펌핑 유닛.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    적어도 하나의 가열 레지스터(24, 29)는 상기 출구 플랜지 조인트(18)와 입구 플랜지 조인트(16)에 배치되는 원호의 스트립 형상인
    펌핑 유닛.
  4. 제 3 항에 있어서,
    적어도 하나의 가열 레지스터(24, 29)는 상기 가열 레지스터(24, 29)를 입구 플랜지 조인트(16) 및 출구 플랜지 조인트(18) 중 적어도 하나에 부착하기 위한 복수개의 구멍(31)을 구비하는
    펌핑 유닛.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 가열 레지스터(24, 29)는 유지용 나사(30)와, 가열 레지스터(24, 29)와 유지용 나사(30)의 헤드 사이에 배치되는 스페이서(27)에 의해 입구 플랜지 조인트(16) 및 출구 플랜지 조인트(18) 중 적어도 하나에 부착되는
    펌핑 유닛.
  6. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    적어도 하나의 가열 레지스터는 입구 플랜지 조인트(16) 및 출구 플랜지 조인트(18) 중 적어도 하나에 일체화되는
    펌핑 유닛.
  7. 제 1 항 및 제 3 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    모터(3), 2개의 오일 팬(5, 6) 및 베어링(7, 9)을 냉각하는 회로를 포함하며, 상기 냉각 회로는 먼저 모터(3), 오일 팬(5, 6) 및 베어링(7, 9)과의 사이, 그 다음에 압축단 케이싱(13)과의 사이의 열 구배를 보장할 수 있는
    펌핑 유닛.
  8. 가스 입구(15)와 가스 출구(17)를 갖는 압축단 케이싱(13)을 포함하고, 상기 가스 입구(15)와 가스 출구(17)에 각각 있는 입구 플랜지 조인트(16) 및 출구 플랜지 조인트(18)와, 진공 펌프를 가열하기 위한 가열 수단을 구비하는 건식 단단 진공 펌프용 가열 장치에 있어서,
    압축단 케이싱(13)을 상기 가스 입구(15)와 가스 출구(17) 사이에서 열 확산에 의해 가열하도록 서로 평행하고 펌핑될 가스의 방향(19, 21)에 수직인 평면에서 상기 가스 입구(15)와 가스 출구(17)에 각각 배치되는 2개의 가열 레지스터(24, 29)를 구비하며,
    적어도 하나의 가열 레지스터(24, 29)는 원호의 스트립 형상인
    가열 장치.
  9. 삭제
  10. 제 8 항에 있어서,
    적어도 하나의 가열 레지스터(24, 29)는 펌핑 유닛(1)의 입구 플랜지 조인트(16) 및 출구 플랜지 조인트(18) 중 적어도 하나에 부착될 수 있도록 복수개의 구멍(31)을 구비하는
    가열 장치.
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