KR101485765B1 - 게이트 밸브 - Google Patents

Abstract

실링 플레이트의 하중을 효과적으로 지지하여 하우징의 개구를 개폐시킬 수 있는 게이트 밸브가 개시된다. 이러한 게이트 밸브는 하우징, 밸브 몸체, 개폐 모듈 및 회전 구동모듈을 포함한다. 하우징은 기판 이동방향에 따라 대응되도록 형성된 전면 및 후면 개구들을 갖는다. 밸브 몸체는 하우징 내에 배치되고, 전면 개구와 대응되는 전면부 및 전면부에 대향하는 후면부를 갖는다. 개폐 모듈은 밸브 몸체의 전면부에 배치되어 고정되고, 실링 플레이트 및 실링 플레이트를 개폐 이동방향에 따라 이동시키는 적어도 하나의 개폐 이동유닛을 포함한다. 회전 구동모듈은 개폐 이동방향이 기판 이동방향과 일치시키거나 일치시키지 않도록 밸브 몸체를 회전시킨다. 이와 같이, 회전 구동모듈이 실링 플레이트에서의 개폐 이동방향이 기판 이동방향과 일치시키거나 일치시키지 않도록 밸브 몸체를 회전시킴에 따라, 게이트 닫침 모드 및 게이트 열림 모드가 선택적으로 동작될 수 있다.

Description

게이트 밸브{GATE VALVE}

본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판이 출입되는 공정챔버의 개구를 개폐할 수 있는 게이트 밸브에 관한 것이다.

일반적으로 LCD 기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정의 대부분은 진공 상태에서 진행된다. 따라서, 상기 LCD 기판이나 상기 반도체 소자를 제조하기 위한 공정을 수행하는 장비는 진공 장비가 대부분이며, 이러한 진공 장비에는 내부의 진공을 유지하기 위하여 진공 펌프가 사용된다. 그리고, 상기 진공 장비를 상기 진공 장비의 외부 또는 다른 진공 장비와 격리시키기 위해 게이트 밸브(Gate Valve)가 구비된다.

이러한 게이트 밸브는 일반적으로 하우징, 실링 플레이트, 푸시-풀(push-pull) 모듈 및 승강 구동모듈을 포함한다. 상기 하우징은 진공 장비와 외부에 설치되고, 상기 진공 장비에 형성되어 있는 게이트와 마주하는 제1 개구 및 상기 제1 개구와 대응되는 제2 개구를 갖는다. 상기 실링 플레이트는 상기 하우징 내에 상기 제1 개구와 대응되도록 배치된다. 상기 푸시-풀 모듈은 상기 하우징 내에 배치되어 상기 실링 플레이트와 결합되고, 상기 실링 플레이트를 수평 방향으로 밀고 당겨서 상기 제1 개구를 개폐시킬 수 있다. 상기 승강 구동모듈은 상기 하우징의 외부에 배치되고, 일부가 상기 하우징의 하면에 형성된 홀을 통해 상기 푸시-풀 모듈과 결합되고, 상기 푸시-풀 모듈 및 상기 실링 플레이트를 함께 상하 방향으로 이동시킨다.

한편, 최근에는 진공 상태에서 처리되는 기판의 사이즈가 커짐에 따라 상기 진공 장비도 함께 대형화되고 있고, 그에 따라 상기 게이트 밸브도 대형화되고 있다. 그러나, 상기 게이트 밸브가 대형화될 경우, 상기 실링 플레이트 및 상기 푸시-풀 모듈도 대형화되어 수평 및 상하 방향으로의 하중이 증가되고, 그에 따라 수평 및 상하 방향으로의 신속하고 정밀한 운동이 어려워질 수 있고, 마찰에 의한 파티클이 발생하여 기판의 불량 요인으로 작용할 수 있다.

또한, 진공 장비에서 한 번에 처리되는 기판의 개수를 증가시키기 위해 상기 기판을 수직하게 세워서 이동 및 처리할 필요가 있고, 이에 따라 상기 기판이 수직하게 세워진 상태로 이동이 가능하도록 수직형 게이트 밸브가 요구되어 진다. 그러나, 상기 수직형 게이트 밸브는 실링 플레이트의 이동 방향과 하중 방향이 서로 상이하여 상기 실링 플레이트의 하중을 효과적으로 지지할 수 있는 구조로 설계될 필요가 있다.

따라서, 본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 해결하고자 하는 과제는 실링 플레이트의 하중을 효과적으로 지지하여 하우징의 개구를 개폐시킬 수 있는 게이트 밸브를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 실시예에 의한 게이트 밸브는 하우징, 밸브 몸체, 개폐 모듈 및 회전 구동모듈을 포함한다.

상기 하우징은 기판 이동방향에 따라 대응되도록 형성된 전면 및 후면 개구들을 갖는다. 상기 밸브 몸체는 상기 하우징 내에 배치되고, 상기 전면 개구와 대응되는 전면부 및 상기 전면부에 대향하는 후면부를 갖는다. 상기 개폐 모듈은 상기 밸브 몸체의 전면부에 배치되어 고정되고, 실링 플레이트 및 상기 실링 플레이트를 개폐 이동방향에 따라 이동시키는 적어도 하나의 개폐 이동유닛을 포함한다. 상기 회전 구동모듈은 상기 개폐 이동방향이 상기 기판 이동방향과 일치시키거나 일치시키지 않도록 상기 밸브 몸체를 회전시킨다.

상기 개폐 이동방향이 상기 기판 이동방향과 일치할 때, 상기 전면 및 후면 개구들 사이에 형성된 기판 이동통로를 차단(close)시키는 게이트 닫침 모드(gate close mode)로 동작될 수 있고, 상기 개폐 이동방향이 상기 기판 이동방향에 대해 제1 각도로 형성될 때, 상기 기판 이동통로를 오픈(open)시키는 게이트 열림 모드(gate open mode)로 동작될 수 있다.

상기 밸브 몸체의 후면부에는 상기 기판 이동통로를 오픈시키기 위한 기판 통과홈이 형성될 수 있다. 이때, 상기 기판 통과홈의 바닥에 형성된 기판 대향면은 상기 개폐 이동방향이 상기 기판 이동방향에 대해 상기 제1 각도로 형성될 때, 상기 기판 이동방향에 대해 평행하게 배치될 수 있다. 또한, 상기 제1 각도는 40도 ~ 80도의 범위를 가질 수 있다.

상기 게이트 밸브가 상기 개폐 이동방향이 상기 기판 이동방향에 대해 상기 제1 각도보다 큰 제2 각도로 형성될 때, 동작을 수행하지 않고 유지되는 정비 모드(maintenance mode)로 동작될 수도 있다.

상기 회전 구동모듈은 제1 회전축 유닛, 제2 회전축 유닛 및 회전 구동유닛을 포함할 수 있다. 상기 제1 회전축 유닛은 상기 밸브 몸체의 일단부와 결합되어 고정되고, 상기 밸브 몸체의 일단부와 마주하는 상기 하우징의 일면부와 상기 밸브 몸체의 회전이 가능하도록 결합된다. 상기 제2 회전축 유닛은 상기 밸브 몸체의 일단부와 대향하는 상기 밸브 몸체의 타단부와 결합되어 고정되고, 상기 밸브 몸체의 타단부와 마주하는 상기 하우징의 타면부와 상기 밸브 몸체의 회전이 가능하도록 결합된다. 상기 회전 구동유닛은 상기 제1 및 제2 회전축 유닛들 중 어느 하나와 결합되어 상기 밸브 몸체의 회전을 위한 회전 동력을 제공한다.

상기 게이트 밸브는 상기 실링 플레이트가 상기 개폐 이동방향에 따라 왕복 이동되도록 상기 개폐 이동유닛으로 공압을 주입(inlet)하거나 상기 개폐 이동유닛으로부터 공압을 배출(outlet)시키는 공압 전송모듈을 더 포함할 수 있다.

상기 공압 전송모듈은 상기 제1 회전축 유닛에 형성된 제1 공압 주입홀을 통해 제공된 공압을 상기 개폐 이동유닛으로 주입하거나, 상기 개폐 이동유닛으로부터 배출된 공압을 상기 제1 회전축 유닛에 형성된 제1 공압 배출홀을 통해 배출시키는 제1 전송모듈을 포함할 수 있다.

상기 개폐 이동유닛은 상기 밸브 몸체의 회전축 방향을 따라 복수개가 배치될 수 있고, 상기 제1 전송모듈은 상기 개폐 이동유닛들에게 동일한 속도로 공압을 주입하거나 상기 개폐 이동유닛들로부터 동일한 속도로 공압을 배출시킬 수 있다.

상기 제1 전송모듈은 상기 개폐 이동유닛들에게 공압을 주입하는 공압 주입유닛, 및 상기 개폐 이동유닛들로부터 공압을 배출시키는 공압 배출유닛을 포함할 수 있다.

상기 공압 주입유닛은 주입 주배관부 및 복수의 주입 분배배관부들을 포함할 수 있다. 상기 주입 주배관부는 상기 개폐 이동유닛들과 대응되도록 상기 밸브 몸체의 회전축 방향을 따라 연장된다. 상기 주입 분배배관부들은 상기 주입 주배관부로부터 각각 분기되고, 상기 주입 주배관부로부터 제공된 공압을 상기 개폐 이동유닛들 각각으로 주입한다.

상기 공압 배출유닛은 배출 주배관부 및 복수의 배출 분배배관부들을 포함할 수 있다. 상기 배출 주배관부는 상기 개폐 이동유닛들과 대응되도록 상기 밸브 몸체의 회전축 방향을 따라 연장된다. 상기 배출 분배배관부들은 상기 배출 주배관부로부터 각각 분기되고, 상기 개폐 이동유닛들 각각으로부터 배출된 공압을 상기 배출 주배관부를 전달한다.

상기 밸브 몸체에는 내부 주입홀들 및 내부 배출홀들이 형성될 수 있다. 상기 내부 주입홀들은 상기 주입 분배배관부들과 각각 연결되어, 상기 주입 분배배관부들로부터 제공된 공압을 상기 개폐 이동유닛들 각각으로 전달한다. 상기 내부 배출홀들은 상기 배출 분배배관부들과 각각 연결되어, 상기 개폐 이동유닛들로부터 배출된 공압을 상기 배출 분배배관부들 각각으로 전달한다.

상기 주입 분배배관부들의 내경 지름은 상기 제1 회전축 유닛으로부터 멀어질수록 증가할 수 있고, 상기 배출 분배배관부들의 내경 지름도 상기 제1 회전축 유닛으로부터 멀어질수록 증가할 수 있다. 또한, 상기 내부 주입홀들의 지름은 상기 제1 회전축 유닛으로부터 멀어질수록 증가할 수 있고, 상기 내부 배출홀들의 지름은 상기 제1 회전축 유닛으로부터 멀어질수록 증가할 수 있다.

상기 제1 전송모듈은 공압 연결유닛을 더 포함할 수 있다. 상기 공압 연결유닛은 상기 제1 회전축 유닛과 결합되고, 상기 공압 주입유닛을 상기 제1 공압 주입홀과 연결시키는 주입 연결홀과, 상기 공압 배출유닛을 상기 제1 공압 배출홀과 연결시키는 배출 연결홀을 갖는다.

상기 공압 주입유닛은 적어도 한 번 굴곡된 구조를 갖고, 상기 주입 주배관부와 상기 주입 연결홀 사이를 연결시키는 주입 연결배관부를 더 포함할 수 있고, 상기 공압 배출유닛은 적어도 한 번 굴곡된 구조를 갖고, 상기 배출 주배관부와 상기 배출 연결홀 사이를 연결시키는 배출 연결배관부를 더 포함할 수 있다.

상기 공압 전송모듈은 제2 전송모듈을 더 포함할 수 있다. 상기 제2 전송모듈은 상기 제2 회전축 유닛에 형성된 제2 공압 주입홀을 통해 제공된 공압을 상기 개폐 이동유닛으로 주입하거나, 상기 개폐 이동유닛으로부터 배출된 공압을 상기 제2 회전축 유닛에 형성된 제2 공압 배출홀을 통해 배출시킨다.

상기 개폐 이동유닛은 상기 밸브 몸체의 회전축 방향을 따라 N 개가 배치될 수 있고(단, N은 짝수임), 상기 복수개의 개폐 이동유닛들은 상기 제1 회전축 유닛에 인접한 N/2 개의 개폐 이동유닛들로 구성된 제1 그룹과, 상기 제2 회전축 유닛에 인접한 N/2 개의 개폐 이동유닛들로 구성된 제2 그룹으로 구분될 수 있다. 이때, 상기 제1 전송모듈은 상기 제1 그룹의 개폐 이동유닛들에게 동일한 속도로 공압을 주입하거나 상기 제1 그룹의 개폐 이동유닛들로부터 동일한 속도로 공압을 배출시킬 수 있고, 상기 제2 전송모듈은 상기 제2 그룹의 개폐 이동유닛들에게 동일한 속도로 공압을 주입하거나 상기 제2 그룹의 개폐 이동유닛들로부터 동일한 속도로 공압을 배출시킬 수 있다.

한편, 상기 밸브 몸체의 전면부에는 상기 개폐 이동유닛을 수용하여 고정시키는 수용홈이 형성될 수 있다.

상기 개폐 이동유닛은 고정 몸체부, 이동 몸체부, 이동축부 및 밸로우즈(bellows)부를 포함할 수 있다. 상기 고정 몸체부는 내측에 수용공간이 형성되도록 상기 수용홈에 배치되어 고정된다. 상기 이동 몸체부는 상기 수용공간에 배치되고, 상기 공압 전송모듈에 의해 제공된 공압에 의해 상기 개폐 이동방향을 따라 이동한다. 상기 이동축부는 상기 이동 몸체부로부터 돌출되고, 상기 고정 몸체부를 관통하여 상기 실링 플레이트와 결합된다. 상기 밸로우즈부는 상기 이동축부의 외곽을 감싸도록 배치되어 상기 개폐 이동방향으로의 수축 및 팽창이 가능하고, 상기 수용공간과 상기 고정 몸체부의 외부 사이를 밀봉한다.

상기 개폐 이동유닛은 상기 공압이 주입되어 상기 개폐 이동방향을 따라 이동한 상기 이동 몸체부를 상기 공압이 배출될 때 원위치로 회복시키는 복원력 제공부를 더 포함할 수 있다. 상기 복원력 제공부는 상기 이동축부의 외곽을 감싸도록 상기 고정 몸체부 및 상기 이동 몸체부 사이에 배치된 스프링을 포함할 수 있다.

상기 개폐 이동유닛은 상기 실링 플레이트 및 상기 이동축부 사이에 배치되어 상기 실링 플레이트를 상기 이동축부에 결합시키는 플레이트 결합부를 더 포함할 수 있다.

한편, 상기 회전 구동유닛은 일차 동력을 발생시키는 동력 발생부, 및 상기 일차 동력을 상기 회전 동력으로 변경시키는 회전동력 제공부를 포함할 수 있다. 이때, 상기 동력 발생부는 회전력인 상기 일차 동력을 제공하는 전동 모터를 포함할 수 있다. 상기 회전 구동유닛은 상기 회전력을 감속하여 상기 회전동력 제공부로 전달하는 감속기부를 더 포함할 수 있다.

상기 회전 구동유닛은 상기 밸브 몸체의 회전 위치를 감지하는 회전위치 센서부를 더 포함할 수 있다. 상기 회전위치 센서부는 상기 개폐 이동방향이 상기 기판 이동방향과 일치하는지 여부를 감지하는 제1 위치센서, 및 상기 개폐 이동방향이 상기 기판 이동방향에 대해 상기 제1 각도로 형성되는지 여부를 감지하는 제2 위치센서를 포함할 수 있다.

상기 회전위치 센서부는 상기 제1 및 제2 회전축 유닛들 중 어느 하나와 결합되어 상기 밸브 몸체의 회전시 함께 원회전하는 회전 돌기를 더 포함할 수 있고, 상기 제1 및 제2 위치센서들 각각은 상기 회전 돌기의 근접 여부를 감지할 수 있는 근접 센서를 포함할 수 있다. 이때, 상기 회전 돌기에는 한 쌍의 분기 가지들이 형성될 수 있고, 상기 제1 위치센서는 상기 분기 가지들에 대응하여 한 쌍이 배치될 수 있으며, 상기 제2 위치센서는 상기 분기 가지들에 대응하여 한 쌍이 배치될 수 있다.

한편, 상기 게이트 밸브는 상기 제1 회전축 유닛을 상기 밸브 몸체의 일단부와 결합되어 고정시키는 제1 결합유닛, 및 상기 제2 회전축 유닛을 상기 밸브 몸체의 타단부와 결합되어 고정시키는 제2 결합유닛을 더 포함할 수 있다.

상기 제1 결합유닛은 상기 밸브 몸체의 일단부 및 상기 밸브 몸체의 일단부와 인접한 상기 후면부의 일부와 결합된 제1 밸브몸체 결합부, 및 상기 제1 회전축 유닛과 결합된 제1 회전축 결합부를 포함할 수 있다. 상기 제2 결합유닛은 상기 밸브 몸체의 타단부 및 상기 밸브 몸체의 타단부와 인접한 상기 후면부의 일부와 결합된 제2 밸브몸체 결합부, 및 상기 제2 회전축 유닛과 결합된 제2 회전축 결합부를 포함할 수 있다.

이어서, 본 발명의 다른 실시예에 의한 게이트 밸브는 하우징, 밸브 몸체 및 회전 구동모듈을 포함한다.

상기 하우징은 기판 이동방향에 따라 대응되도록 형성된 전면 및 후면 개구들을 갖는다. 상기 밸브 몸체는 상기 하우징 내에 배치되고, 상기 전면 개구에 대응되는 전면부 및 상기 전면부에 대향하고 기판 통과홈이 형성된 후면부를 갖는다. 상기 회전 구동모듈은 상기 밸브 몸체를 회전시킨다. 이때, 상기 전면부의 법선 방향이 상기 기판 이동방향과 일치할 때, 상기 전면 및 후면 개구들 사이에 형성된 기판 이동통로를 차단(close)시키는 게이트 닫침 모드(gate close mode)로 동작되고, 상기 전면부의 법선 방향이 상기 기판 이동방향에 대해 제1 각도로 형성될 때, 상기 기판 통과홈를 통해 상기 기판 이동통로를 오픈(open)시키는 게이트 열림 모드(gate open mode)로 동작된다.

상기 기판 통과홈의 바닥에 형성된 기판 대향면은 상기 전면부의 법선 방향이 상기 기판 이동방향에 대해 상기 제1 각도로 형성될 때, 상기 기판 이동방향에 대해 평행하게 배치될 수 있다. 이때, 상기 제1 각도는 40도 ~ 80도의 범위를 가질 수 있다.

상기 전면부의 법선 방향이 상기 기판 이동방향에 대해 상기 제1 각도보다 큰 제2 각도로 형성될 때, 동작을 수행하지 않고 유지되는 정비 모드(maintenance mode)로 동작될 수 있다.

이어서, 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 게이트 밸브는 하우징, 실링 플레이트, 복수의 개폐 이동유닛들, 공압 주입유닛 및 공압 배출유닛을 포함한다.

상기 하우징은 서로 대응되도록 형성된 전면 및 후면 개구들을 갖고, 일 방향으로 길게 연장된 형상을 갖는다. 상기 실링 플레이트는 상기 하우징 내에 배치된다. 상기 개폐 이동유닛들은 상기 하우징 내에 상기 일 방향에 따라 일정 간격으로 이격되어 배치되고, 상기 실링 플레이트와 결합되어 이동시킨다. 상기 공압 주입유닛은 상기 개폐 이동유닛들에게 공압을 주입한다. 상기 공압 배출 유닛은 상기 개폐 이동유닛들로부터 공압을 배출시킨다.

상기 공압 주입유닛은 주입 주배관부 및 복수의 주입 분배배관부들을 포함한다. 상기 주입 주배관부는 상기 개폐 이동유닛들과 대응되도록 상기 일 방향을 따라 연장된다. 상기 주입 분배배관부들은 상기 주입 주배관부로부터 각각 분기되고, 상기 주입 주배관부로부터 제공된 공압을 상기 개폐 이동유닛들 각각으로 주입한다. 이때, 상기 주입 분배배관부들의 내경 지름은 상기 주입 주배관부의 공압 입구로부터 상기 일 방향을 따라 멀어질수록 증가한다.

상기 공압 배출유닛은 배출 주배관부 및 복수의 배출 분배배관부들을 포함할 수 있다. 상기 배출 주배관부는 상기 개폐 이동유닛들과 대응되도록 상기 일 방향을 따라 연장된다. 상기 주입 분배배관부들은 상기 배출 주배관부로부터 각각 분기되고, 상기 개폐 이동유닛들 각각으로부터 배출된 공압을 상기 배출 주배관부를 전달한다. 이때, 상기 배출 분배배관부들의 내경 지름은 상기 배출 주배관부의 공압 출구로부터 상기 일 방향을 따라 멀어질수록 증가한다.

이와 같이 본 발명의 게이트 밸브에 따르면, 회전 구동모듈이 실링 플레이트에서의 개폐 이동방향이 기판 이동방향과 일치시키거나 일치시키지 않도록 밸브 몸체를 회전시킴에 따라, 게이트 닫침 모드 및 게이트 열림 모드가 선택적으로 동작될 수 있다. 또한, 상기 밸브 몸체의 후면부에 기판 통과홈이 형성됨에 따라, 상기 밸브 몸체의 회전만으로도 기판 이동통로를 효과적으로 오픈시킬 수 있다. 이와 같이, 상기 밸브 몸체가 종래와 같이 수직 이동하는 것이 아니라 회전 이동만을 수행하므로, 실링 플레이트의 하중을 효과적으로 지지하면서 하우징의 전면 개구를 개폐시킬 수 있다.

한편, 공압 주입유닛에서 주입 분배배관부의 내경 지름이 주입 주배관부의 공압 입구로부터 멀어질수록 증가하거나, 공압 배출유닛에서 배출 분배배관부들의 내경 지름이 배출 주배관부의 공압 출구로부터 멀어질수록 증가함에 따라, 상기 실링 플레이트를 이동시키는 개폐 이동유닛들에게 동일한 속도로 공압을 제공하거나 상기 개폐 이동유닛들로부터 동일한 속도로 공압을 배출시킬 수 있다. 이로써, 상기 실링 플레이트가 상기 하우징의 전면 개구를 균일하게 개폐시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 게이트 밸브를 분해해서 도시한 분해 사시도이다.
도 3은 도 1의 게이트 밸브 중 밸브 몸체, 개폐 모듈 및 공압 전송모듈만을 도시한 사시도이다.
도 4는 도 3의 밸브 몸체, 개폐 모듈 및 공압 전송모듈을 실링 플레이트 측으로 바라본 정면도이다.
도 5는 도 4의 밸브 몸체, 개폐 모듈 및 공압 전송모듈을 A-A'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 6은 도 4의 밸브 몸체, 개폐 모듈 및 공압 전송모듈을 B-B'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 7은 도 4의 밸브 몸체, 개폐 모듈 및 공압 전송모듈을 C-C'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 8은 도 7에서 공기가 주입되어 실링 플레이트가 이동된 상태를 도시한 단면도이다.
도 9는 도 3의 공압 전송모듈 중 공압 주입유닛의 일부를 도시한 단면도이다.
도 10은 도 1의 게이트 밸브에서 회전축 하우징부의 일부를 제거한 상태를 도시한 사시도이다.
도 11은 도 10의 D 부분을 확대해서 도시한 사시도이다.
도 12는 도 1의 게이트 밸브에서 제1 측면판을 분리한 상태를 도시한 사시도이다.
도 13은 도 12의 E 부분을 확대해서 도시한 사시도이다.
도 14는 도 1의 게이트 밸브가 동작되는 순서를 설명하기 위한 단면도들이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다.

그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 게이트 밸브를 분해해서 도시한 분해 사시도이며, 도 3은 도 1의 게이트 밸브 중 밸브 몸체, 개폐 모듈 및 공압 전송모듈만을 도시한 사시도이다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예에 의한 게이트 밸브는 하우징(100), 밸브 몸체(200), 개폐 모듈(300), 공압 전송모듈(400) 및 회전 구동모듈(500)을 포함할 수 있다.

상기 하우징(100)은 상기 밸브 몸체(200) 및 상기 공압 전송모듈(400) 등을 수용하기 위한 내부공간을 제공하고, 어느 한 진공 장비와 인접하여 배치되거나 두 진공 장비들 사이에 배치될 수 있다. 상기 하우징(100)은 상기 진공 장비의 게이트와 마주하는 전면 개구(112) 및 상기 전면 개구(112)와 대응되는 위치에 형성된 후면 개구(122)를 갖는다. 이때, 상기 전면 및 후면 개구들(112, 122)은 기판 이동방향(I1)에 따라 서로 대응되는 위치에 형성되어 있고, 상기 전면 및 후면 개구들(112, 122) 사이에는 기판 또는 소자가 이동하는 기판 이동통로가 형성되어 있다.

예를 들면, 상기 하우징(100)은 서로 수직하게 교차하는 제1, 제2 및 제3 방향들(D1, D2, D3)을 따라 형성된 직육면체 형상을 가질 수 있고, 상기 직육면체 형상은 상기 제1 방향(D1)을 따라 길게 연장될 수 있다.

구체적으로 설명하면, 상기 하우징(100)은 상기 전면 개구(112)가 형성된 전면판(110), 상기 전면판(110)과 대응되는 위치에 배치되고 상기 후면 개구(122)가 형성된 후면판(120), 상기 전면판(110)과 상기 후면판(120)의 좌우측부를 연결하는 제1 측면판(130)과 제2 측면판들(130, 140), 및 상기 전면판(110)과 상기 후면판(120)의 상하측부를 연결하는 상측판(150)과 하측판(160)을 포함할 수 있다.

본 실시예에서, 상기 상측판(150) 및 상기 하측판(160)은 상기 제1 방향(D1)을 따라 마주보도록 배치되고, 상기 제1 및 제2 측면판들(130, 140)은 상기 제2 방향(D2)을 따라 마주보도록 배치되며, 상기 전면판(110) 및 상기 후면판(120)은 상기 제3 방향(D3)을 따라 마주보도록 배치될 수 있다. 또한, 상기 기판 이동방향(I1)은 상기 제3 방향(D3)과 평행할 수 있다.

도 4는 도 3의 밸브 몸체, 개폐 모듈 및 공압 전송모듈을 실링 플레이트 측으로 바라본 정면도이고, 도 5는 도 4의 밸브 몸체, 개폐 모듈 및 공압 전송모듈을 A-A'선을 따라 절단한 단면도이며, 도 6은 도 4의 밸브 몸체, 개폐 모듈 및 공압 전송모듈을 B-B'선을 따라 절단한 단면도이다.

도 2 내지 도 6을 참조하면, 상기 밸브 몸체(200)는 상기 하우징(100) 내에 배치되고, 상기 하우징(100)과 대응하여 상기 제1 방향(D1)을 따라 길게 연장된 형상을 가질 수 있다. 구체적으로 예를 들면, 상기 밸브 몸체(200)는 전면부(210), 후면부(220), 제1 측면부(230), 제2 측면부(240), 상면부(250) 및 하면부(260)를 포함할 수 있다.

상기 전면부(210)는 상기 전면 개구(112)와 대응되고, 상기 개폐 모듈(300)의 일부를 수용하기 위한 수용홈(212)이 형성되어 있다. 상기 후면부(220)는 상기 전면부(210)에 대향하고 상기 후면 개구(122)와 대응되며, 상기 전면 및 후면 개구들(112, 122) 사이에 형성된 상기 기판 이동통로를 오픈시키기 위한 기판 통과홈(222)이 형성될 수 있다. 이때, 상기 기판 통과홈(222)의 바닥에는 기판 대향면(222a)이 형성되어 있다.

상기 제1 측면부(230)는 상기 제1 측면판(130)과 대응되고, 상기 제2 측면부(240)는 상기 제1 측면부(230)에 대향하고 상기 제2 측면판(140)과 대응된다.

상기 상면부(250)는 상기 상면판(150)과 마주보도록 배치되고, 상기 하면부(260)는 상기 상면부(250)에 대향하고 상기 하면판(160)과 마주보도록 배치된다.

본 실시예에서, 상기 밸브 몸체(200)에는 상기 제1 측면부(230)와 상기 수용홈(212) 사이를 연결하여 상기 수용홈(212)으로 공압을 주입하는 복수의 내부 주입홀들(232)과, 상기 제1 측면부(230)와 상기 수용홈(212) 사이를 연결하여 상기 수용홈(212)으로부터 공압을 배출시키는 복수의 내부 배출홀들(234)이 형성될 수 있다.

상기 내부 주입홀들(232)은 상기 제1 방향(D1)을 따라 일정 간격 이격되어 형성될 수 있고, 상기 내부 배출홀들(234)은 상기 내부 주입홀들(232)과 대응되게 상기 제1 방향(D1)을 따라 일정 간격 이격되어 형성될 수 있다.

본 실시예에서, 상기 전면부(210)에 형성된 상기 수용홈(212)의 바닥에는 공압이 주입되기 위한 공간을 형성하는 복수의 공압 수용홈들(212a)이 형성될 수 있다. 상기 공압 수용홈들(212a)은 상기 내부 주입홀들(232)과 대응되게 상기 제1 방향(D1)을 따라 일정 간격 이격되어 형성될 수 있다. 따라서, 상기 내부 주입홀들(232)은 상기 제1 측면부(230)와 상기 공압 수용홈들(212a) 사이를 연결하여 상기 공압 수용홈들(212a) 각각으로 공압을 주입할 수 있다.

한편, 상기 밸브 몸체(200)는 후술될 상기 회전 구동모듈(300)에 의해 회전될 수 있다. 이때, 상기 밸브 몸체(200)의 회전축 방향은 상기 제1 방향(D1)과 평행할 수 있다.

도 7은 도 4의 밸브 몸체, 개폐 모듈 및 공압 전송모듈을 C-C'선을 따라 절단한 단면도이고, 도 8은 도 7에서 공기가 주입되어 실링 플레이트가 이동된 상태를 도시한 단면도이다.

도 3 내지 도 8을 참조하면, 상기 개폐 모듈(300)은 상기 밸브 몸체(200)의 전면부(210)에 배치되어 고정되고, 상기 전면 개구(112)를 개폐시킬 수 있다. 상기 개폐 모듈(300)은 상기 전면 개구(112)를 개폐시키기 위한 실링(sealing) 플레이트(310) 및 상기 실링 플레이트(310)를 개폐 이동방향(I2)에 따라 이동시키는 적어도 하나의 개폐 이동유닛(320)을 포함한다.

상기 실링 플레이트(310)는 상기 전면 개구(112)와 대응되도록 상기 전면부(210)에 배치되고, 상기 전면 개구(112)를 완전히 커버할 수 있도록 상기 전면 개구(112)보다 큰 면적으로 갖되 대응되는 형상으로 형성된다. 상기 실링 플레이트(310)에는 상기 전면 개구(112)를 폐쇄할 때, 상기 전면판(110)의과 밀봉을 향상시키도록 오링(O-ring)과 같은 밀봉 부재가 부착되어 있을 수 있다.

상기 개폐 이동유닛(320)은 상기 전면부(210)의 수용홈(212)에 배치되어 고정된다. 상기 개폐 이동유닛(320)은 후술될 상기 공압 전송모듈(400)로부터 제공된 공압에 의해 상기 실링 플레이트(210)를 상기 개폐 이동방향(I2)을 따라 이동시키고, 그 결과 상기 실링 플레이트(310)는 상기 개폐 이동방향(I2)으로의 운동에 의해 상기 전면 개구(112)를 개폐시킬 수 있다. 이때, 상기 개폐 이동방향(I2)은 상기 제3 방향(D3)과 평행할 수 있다.

예를 들어, 상기 개폐 이동유닛(320)은 고정 몸체부(321), 이동 몸체부(322), 이동축부(323), 복원력 제공부(324), 밸로우즈(bellows)부(325) 및 플레이트 결합부(326)를 포함할 수 있다.

상기 고정 몸체부(321)는 내측에 수용공간(321a)이 형성되도록 상기 밸브 몸체(200)의 수용홈(212)에 배치되어 고정된다. 이때, 상기 고정 몸체부(321)의 중심에는 후술될 상기 이동축부(323)가 관통되기 위한 축관통홀이 형성되어 있다. 한편, 상기 수용홈(212)의 측면과 마주하여 고정된 상기 고정 몸체부(321)의 측벽에는 측벽 배출홀이 형성될 수 있다. 상기 측벽 배출홀은 상기 내부 배출홀(234)과 연결되어 상기 수용공간(321a)에 충전된 공압을 상기 내부 배출홀(234)로 배출시킬 수 있다.

상기 이동 몸체부(322)는 상기 고정 몸체부(321)에 의해 형성된 상기 수용공간(321a)에 배치되고, 상기 공압 전송모듈(400)에 의해 제공된 공압에 의해 상기 개폐 이동방향(I2)을 따라 이동한다. 이때, 상기 이동 몸체부(322)는 상기 고정 몸체부(321)와 밀폐된 상태로, 상기 내부 주입홀(232)을 통해 상기 공압 수용홈(212a)으로 주입된 공압을 통해 상기 개폐 이동방향(I2)을 따라 이동할 수 있다.

상기 이동축부(323)는 상기 이동 몸체부(322)로부터 돌출되고, 상기 고정 몸체부(321)의 축관통홀을 통과하여 상기 실링 플레이트(310)와 결합된다. 이때, 상기 이동축부(323)는 상기 이동 몸체부(322)의 중심으로부터 돌출되는 것이 바람직하다.

상기 복원력 제공부(324)는 상기 내부 주입홀(232)을 통해 상기 공압이 주입되어 상기 개폐 이동방향(I2)을 따라 이동한 상기 이동 몸체부(322)를 상기 내부 배출홀(234)을 통해 상기 공압이 배출될 때 원위치로 회복시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 복원력 제공부(324)는 상기 이동축부(323)의 외곽을 감싸도록 상기 고정 몸체부(321) 및 상기 이동 몸체부(322) 사이에 고정 배치된 스프링을 포함할 수 있다.

상기 밸로우즈부(325)는 상기 이동축부(232)의 외곽을 감싸도록 배치되어 상기 개폐 이동방향(I2)으로의 수축 및 팽창이 가능하고, 상기 수용공간(321a)과 상기 고정 몸체부(321)의 외부 사이를 밀봉하여 공기의 흐름을 차단한다. 이때, 상기 밸로우즈부(325)는 상기 스프링에 감싸여지도록 상기 스프링의 내측에 배치될 수 있다.

상기 플레이트 결합부(326)는 상기 실링 플레이트(310) 및 상기 이동축부(323) 사이에 배치되어 상기 실링 플레이트(310)를 상기 이동축부(323)에 결합시킨다. 구체적으로 설명하면, 상기 플레이트 결합부(326)는 상기 이동축부(323)의 일단과 일차적으로 나사 결합되고, 상기 실링 플레이트(310)가 상기 플레이트 결합부(326)와 이차적으로 나사 결합될 수 있다.

한편, 상기 개폐 이동유닛(320)은 상기 밸브 몸체(200)의 회전축 방향, 예를 들어 상기 제1 방향(D1)을 따라 일정 간격으로 이격되어 N 개가 배치될 수 있다. 이때, 상기 N이 짝수일 경우, 상기 복수개의 개폐 이동유닛들(320)은 후술될 제1 회전축 유닛(510)에 인접한 N/2 개의 개폐 이동유닛들(320)로 구성된 제1 그룹과, 후술될 제2 회전축 유닛(520)에 인접한 N/2 개의 개폐 이동유닛들(320)로 구성된 제2 그룹으로 구분될 수 있다.

상기 회전 구동모듈(500)은 상기 개폐 이동방향(I2)이 상기 기판 이동방향(I2)과 일치시키거나 일치시키지 않도록 상기 밸브 몸체(200)를 회전시킨다. 구체적으로 예를 들면, 상기 회전 구동모듈(500)은 제1 회전축 유닛(510), 제2 회전축 유닛(520) 및 회전 구동유닛(530)을 포함할 수 있다.

상기 제1 회전축 유닛(510)은 상기 밸브 몸체(200)의 일단부와 결합되어 고정되고, 상기 밸브 몸체(200)의 일단부와 마주하는 상기 하우징(100)의 일면부와 상기 밸브 몸체(200)의 회전이 가능하도록 결합된다.

구체적으로 설명하면, 상기 제1 회전축 유닛(510)은 상기 밸브 몸체(200)의 상면부(250)와 결합되어 고정되고, 상기 상면판(150)에 형성된 상측홀(152)과 회전 가능하도록 결합된다. 이때, 상기 제1 회전축 유닛(510)은 상기 하우징(100)의 내부와 외부가 밀봉되도록 상기 상면판(150)의 상측홀(152)에 결합될 수 있다.

상기 제2 회전축 유닛(520)은 상기 밸브 몸체(200)의 일단부와 대향하는 상기 밸브 몸체(200)의 타단부와 결합되어 고정되고, 상기 밸브 몸체(200)의 타단부와 마주하는 상기 하우징(100)의 타면부와 상기 밸브 몸체(200)의 회전이 가능하도록 결합된다.

구체적으로 설명하면, 상기 제2 회전축 유닛(520)은 상기 밸브 몸체(200)의 하면부(260)와 결합되어 고정되고, 상기 하면판(160)에 형성된 하측홀과 회전 가능하도록 결합된다. 이때, 상기 제2 회전축 유닛(520)은 상기 하우징(100)의 내부와 외부가 밀봉되도록 상기 하면판(160)의 하측홀에 결합될 수 있다.

한편, 상기 제1 회전축 유닛(510)의 내부에는 외부의 공압 발생장치(미도시)에서 생성된 공압을 주입하기 위한 제1 공압 주입홀, 및 상기 공압 발생장치로 공압을 배출시키기 위한 제1 공압 배출홀이 형성될 수 있다. 또한, 상기 제2 회전축 유닛(520)의 내부에는 상기 공압 발생장치에서 생성된 공압을 주입하기 위한 제2 공압 주입홀, 및 상기 공압 발생장치로 공압을 배출시키기 위한 제2 공압 배출홀이 형성될 수 있다.

상기 회전 구동유닛(530)은 상기 제1 및 제2 회전축 유닛들(510, 520) 중 어느 하나와 결합되어 상기 밸브 몸체(200)의 회전을 위한 회전 동력을 제공한다. 상기 회전 구동유닛(530)에 대한 자세한 설명은 별도의 도면을 이용하여 후술하기로 한다.

도 9는 도 3의 공압 전송모듈 중 공압 주입유닛의 일부를 도시한 단면도이다.

도 2 내지 도 6 및 도 9를 참조하면, 상기 공압 전송모듈(400)은 상기 실링 플레이트(310)가 상기 개폐 이동방향(I1)에 따라 왕복 이동되도록 상기 개폐 이동유닛(320)으로 공압을 주입(inlet)하거나 상기 개폐 이동유닛(320)으로부터 공압을 배출(outlet)시킬 수 있다. 구체적으로 예를 들면, 상기 공압 전송모듈(400)은 상기 제1 그룹의 개폐 이동유닛들(320)과 대응되는 제1 전송모듈(400a) 및 상기 제2 그룹의 개폐 이동유닛들(320)과 대응되는 제2 전송모듈(400b)을 포함할 수 있다.

상기 제1 전송모듈(400a)은 상기 제1 회전축 유닛(510)에 형성된 상기 제1 공압 주입홀을 통해 제공된 공압을 상기 제1 그룹의 개폐 이동유닛들(320)로 동일한 속도로 공압을 주입하거나, 상기 제1 그룹의 개폐 이동유닛들(320)로부터 동일한 속도로 공압을 상기 제1 회전축 유닛(510)에 형성된 상기 제1 공압 배출홀을 통해 배출시킬 수 있다.

상기 제2 전송모듈(400b)은 상기 제2 회전축 유닛(520)에 형성된 상기 제2 공압 주입홀을 통해 제공된 공압을 상기 제2 그룹의 개폐 이동유닛들(320)로 동일한 속도로 공압을 주입하거나, 상기 제2 그룹의 개폐 이동유닛들(320)로부터 동일한 속도로 공압을 상기 제2 회전축 유닛(520)에 형성된 상기 제2 공압 배출홀을 통해 배출시킬 수 있다.

한편, 본 실시예에서, 상기 공압 전송모듈(400)은 상기 제1 및 제2 전송모듈들(400a, 400b) 중 어느 하나만을 구비할 수 있다. 이때, 상기 공압 전송모듈(400)은 상기 제1 전송모듈(400a)만을 구비한다고 할 때, 상기 제1 전송모듈(400a)이 상기 제1 및 제2 그룹 모두로 공압을 제공하거나 상기 제1 및 제2 그룹 모두로부터 공압을 배출시킬 수 있다. 또한, 상기 제1 회전축 유닛(510)에만 상기 제1 공압 주입홀과 상기 제1 공압 배출홀이 형성되고, 상기 제2 회전축 유닛(520)에는 상기 제2 공압 주입홀과 상기 제2 공압 배출홀이 형성되지 않을 수 있다.

상기 제1 및 제2 전송모듈들(400a, 400b) 각각은 공압 주입유닛(410), 공압 배출유닛(420) 및 공압 연결유닛(430)을 포함할 수 있다.

상기 공압 주입유닛(410)은 주입 주배관부(412) 및 복수의 주입 분배배관부들(414)을 포함할 수 있다. 상기 주입 주배관부(412)는 상기 개폐 이동유닛들(320)과 대응되도록 상기 밸브 몸체(200)의 회전축 방향을 따라 연장된다. 상기 주입 분배배관부들(414)은 상기 주입 주배관부(412)로부터 일정 간격마다 각각 분기되어 상기 밸브 몸체(200)의 내부 주입홀들(232)과 각각 연결된다. 그 결과, 상기 주입 분배배관부들(414)은 상기 주입 주배관부(412)로부터 제공된 공압을 분기하여 상기 개폐 이동유닛들(320) 각각으로 주입할 수 있다.

상기 공압 배출유닛(420)은 배출 주배관부(422) 및 복수의 주입 분배배관부들(424)을 포함할 수 있다. 상기 배출 주배관부(422)는 상기 개폐 이동유닛들(320)과 대응되도록 상기 밸브 몸체(200)의 회전축 방향을 따라 연장된다. 상기 배출 분배배관부들(424)은 상기 배출 주배관부(422)로부터 일정 간격마다 각각 분기되어 상기 밸브 몸체(200)의 내부 배출홀들(234)과 각각 연결된다. 그 결과, 상기 주입 분배배관부들(414)은 상기 개폐 이동유닛들(320)로부터 배출된 공압을 상기 주입 주배관부(412)로 모아 배출시킬 수 있다.

본 실시예에서, 상기 주입 분배배관부들(412) 및 상기 내부 주입홀들(232)은 상기 개폐 이동유닛들(320) 각각으로 주입되는 공압이 서로 동일한 속도, 초당 주입 공기량이 서로 동일하도록 주입될 수 있는 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 주입 분배배관부들(412)의 내경 지름은 상기 주입 주배관부(412)의 공압 입구, 즉 상기 제1 회전축 유닛(510) 또는 상기 제2 회전축 유닛(520)으로부터 멀어질수록 일정한 크기, 일예로 R1, R2, R3, ... , R7 순으로 증가할 수 있다. 또한, 상기 내부 주입홀들(232)의 지름도 상기 주입 주배관부(412)의 공압 입구, 즉 상기 제1 회전축 유닛(510) 또는 상기 제2 회전축 유닛(520)으로부터 멀어질수록 일정한 크기로 증가할 수 있다.

또한, 상기 배출 분배배관부들(422) 및 상기 내부 배출홀들(234)은 상기 개폐 이동유닛들(320) 각각으로부터 배출되는 공압이 서로 동일한 속도, 초당 배출공기량이 서로 동일하도록 배출될 수 있는 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 배출 분배배관부들(422)의 내경 지름은 상기 배출 주배관부(422)의 공압 출구, 즉 상기 제1 회전축 유닛(510) 또는 상기 제2 회전축 유닛(520)로부터 멀어질수록 일정한 크기로 증가할 수 있다. 또한, 상기 내부 배출홀들(234)의 지름도 상기 배출 주배관부(422)의 공압 출구, 즉 상기 제1 회전축 유닛(510) 또는 상기 제2 회전축 유닛(520)으로부터 멀어질수록 일정한 크기로 증가할 수 있다.

상기 공압 연결유닛(430)은 상기 제1 회전축 유닛(510) 또는 상기 제2 회전축 유닛(520)과 결합되어, 상기 공압 주입유닛(410)을 상기 제1 회전축 유닛(510) 또는 상기 제2 회전축 유닛(520)과 연결시키고, 상기 공압 배출유닛(420)을 상기 제1 회전축 유닛(510) 또는 상기 제2 회전축 유닛(520)과 연결시킨다. 구체적으로, 상기 공압 연결유닛(430)은 상기 공압 주입유닛(410)을 상기 제1 회전축 유닛(510)의 제1 공압 주입홀 또는 상기 제2 회전축 유닛(520)의 제2 공압 주입홀과 연결시키는 주입 연결홀과, 상기 공압 배출유닛(420)을 상기 제1 회전축 유닛(510)의 제1 공압 배출홀 또는 상기 제2 회전축 유닛(520)의 제2 공압 배출홀과 연결시키는 배출 연결홀을 갖는다.

한편, 본 실시예에서, 상기 공압 주입유닛(410)은 상기 주입 주배관부(412)와 상기 공압 연결유닛(430)의 주입 연결홀 사이를 연결시키는 주입 연결배관부(416)를 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 주입 연결배관부(416)는 다양한 배관 연결수단을 통해 적어도 한 번 굴곡된 구조를 가질 수 있다.

또한, 상기 공압 배출유닛(420)은 상기 배출 주배관부(422)와 상기 공압 연결유닛(430)의 배출 연결홀 사이를 연결시키는 배출 연결배관부(426)를 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 배출 연결배관부(426)는 다양한 배관 연결수단을 통해 적어도 한 번 굴곡된 구조를 가질 수 있다.

도 10은 도 1의 게이트 밸브에서 회전축 하우징부의 일부를 제거한 상태를 도시한 사시도이고, 도 11은 도 10의 D 부분을 확대해서 도시한 사시도이다.

도 10 및 도 11을 참조하면, 상기 회전 구동유닛(530)은 동력 발생부(532), 감속기부(534), 회전동력 제공부(536) 및 회전위치 센싱부(538)를 포함할 수 있다.

상기 동력 발생부(532)는 일차 동력을 발생시키고, 예를 들어 회전력을 제공하는 전동 모터일 수 있다. 상기 감속기부(534)는 상기 전동 모터의 회전력을 감속시켜 상기 회전동력 제공부(536)로 전달한다.

상기 회전동력 제공부(536)는 상기 제1 및 제2 회전축 유닛들(510, 520) 중 어느 하나, 예를 들어 상기 제2 회전축 유닛(520)과 결합되고, 상기 감속기부(534)로부터 제공된 회전력을 상기 밸브 모듈(300)을 회전시키는 회전동력으로 변경하여 상기 제2 회전축 유닛(520)으로 전달한다. 즉, 상기 회전동력 제공부(536)는 상기 감속기부(534)로부터 제공된 회전력을 상기 회전동력으로 변경하는 회전축 변경 기어를 포함할 수 있다.

상기 회전위치 센서부(538)는 상기 제2 회전축 유닛(520)과 결합되어, 상기 밸브 몸체(200)의 회전 위치를 감지한다. 예를 들어, 상기 회전위치 센서부(538)는 회전 돌기(538a), 제1 위치 센서(538b) 및 제2 위치 센서(538c)를 포함할 수 있다.

상기 회전 돌기(538a)는 상기 제2 회전축 유닛(520)과 결합되어 상기 밸브 몸체의 회전시 함께 원회전한다. 상기 제1 위치 센서(538b)는 상기 개폐 이동방향(I2)이 상기 기판 이동방향(I1)과 일치하는지 여부를 감지하고, 예를 들어 상기 회전 돌기(538a)의 근접 여부를 감지할 수 있는 제1 근접 센서를 포함할 수 있다. 상기 제2 위치 센서(538c)는 상기 개폐 이동방향(I2)이 상기 기판 이동방향(I2)에 대해 일정한 각도로 형성되는지 여부를 감지하고, 예를 들어 상기 회전 돌기(538a)의 근접 여부를 감지할 수 있는 제2 근접 센서를 포함할 수 있다.

본 실시예에서, 상기 회전 돌기(538a)에는 도면과 같이 한 쌍의 분기 가지들이 형성될 수 있다. 이때, 상기 제1 위치센서(538b)는 상기 분기 가지들에 대응하여 배치된 한 쌍의 제1 근접 센서들을 포함할 수 있고, 상기 제2 위치센서(538c)는 상기 분기 가지들에 대응하여 한 쌍의 제2 근접 센서들을 포함할 수 있다.

한편, 상기 동력 발생부(532)는 회전력 대신에, 직선 왕복운동을 하는 일차 동력을 발생시키고, 상기 회전동력 제공부(536)는 상기 일차 동력을 상기 회전 동력을 변경시킬 수 있다. 이때, 상기 감속기부(534)는 생략될 수 있다.

또한, 상기 회전위치 센서부(538)는 2개의 회전 위치들을 감지하도록 2개의 위치 센서들을 포함하는 것으로 설명하였으나, 경우에 따라 3개 이상의 회전 위치들을 감지하도록 3개 이상의 위치 센서들을 포함할 수 있다.

또한, 상기 회전 구동유닛(530)은 상기 회전동력 제공부(536) 및 상기 회전위치 센싱부(538)를 감싸도록 상기 하면판(160)과 결합된 회전축 하우징부(530a)를 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 회전축 하우징부(530a)는 상기 회전동력 제공부(536) 및 상기 회전위치 센싱부(538)를 지지하는 지지대의 역할을 수행할 수도 있다.

또한, 상기 회전 구동유닛(530)은 상기 회전위치 센싱부(538)에서 센싱된 위치 센싱 신호들에 대응하여 상기 동력 발생부(532)를 제어하는 구동 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다.

도 12는 도 1의 게이트 밸브에서 제1 측면판을 분리한 상태를 도시한 사시도이고, 도 13은 도 12의 E 부분을 확대해서 도시한 사시도이다.

도 2 및 도 3과, 도 12 및 도 13을 참조하면, 본 실시예에 의한 게이트 밸브는 상기 제1 회전축 유닛(510)을 상기 밸브 몸체(200)의 일단부, 즉 상기 밸브 몸체(200)의 상면부(250)와 결합되어 고정시키는 제1 결합유닛(540), 및 상기 제2 회전축 유닛(510)을 상기 밸브 몸체(200)의 타단부, 즉 상기 밸브 몸체(200)의 하면부(260)와 결합되어 고정시키는 제2 결합유닛(550)을 더 포함할 수 있다.

상기 제1 결합유닛(540)은 상기 밸브 몸체(200)의 상면부(250) 및 상기 상면부(250)와 인접한 상기 후면부(220)의 일부와 결합된 제1 밸브몸체 결합부(542), 및 상기 제1 회전축 유닛(510)과 결합된 제1 회전축 결합부(544)를 포함할 수 있다. 상기 제2 결합유닛(550)은 상기 밸브 몸체(200)의 하면부(260) 및 상기 하면부(260)와 인접한 상기 후면부(220)의 일부와 결합된 제2 밸브몸체 결합부, 및 상기 제2 회전축 유닛(520)과 결합된 제2 회전축 결합부를 포함할 수 있다.

이와 같이, 상기 제1 결합유닛(540)이 상기 상면부(250) 및 이와 인접한 상기 후면부(220)의 일부와 결합되고, 상기 제2 결합유닛(550)은 상기 하면부(260) 및 이와 인접한 상기 후면부(220)의 일부와 결합됨에 따라, 상기 제1 및 제2 결합유닛들(540, 550)을 상기 밸브 몸체(200)에 보다 강하게 결합시킬 수 있다.

도 14는 도 1의 게이트 밸브가 동작되는 순서를 설명하기 위한 단면도들이다.

도 1, 도 2 및 도 14를 참조하면, 상기 게이트 밸브는 크게 상기 전면 및 후면 개구들(112, 122) 사이에 형성된 기판 이동통로를 차단(close)시키는 게이트 닫침 모드(gate close mode), 상기 기판 이동통로를 오픈(open)시키는 게이트 열림 모드(gate open mode), 및 동작을 수행하지 않고 유지되는 정비 모드(maintenance mode)로 동작될 수 있다.

구체적으로, 상기 게이트 닫침 모드는 상기 밸브 몸체(200)가 회전되어 상기 개폐 이동방향(I2)이 상기 기판 이동방향(I1)과 일치할 때 동작될 수 있다. 상기 게이트 열림 모드는 상기 밸브 몸체(200)가 회전되어 상기 개폐 이동방향(I2)이 상기 기판 이동방향(I1)에 대해 제1 각도로 형성될 때 동작될 수 있다. 이때, 상기 기판 통과홈(222)의 바닥에 형성된 상기 기판 대향면(222a)은 상기 개폐 이동방향(I2)이 상기 기판 이동방향(I1)에 대해 제1 각도로 형성될 때, 상기 기판 이동방향(I1)에 대해 평행하게 배치될 수 있다. 상기 정비 모드는 상기 개폐 이동방향(I2)이 상기 기판 이동방향(I1)에 대해 상기 제1 각도보다 큰 제2 각도로 형성될 때 동작될 수 있다. 상기 정비 모드는 아무 동작을 수행하지 않고 보관 중이거나 수리가 필요할 때 동작되는 모드이다.

본 실시예에서, 상기 제1 각도는 40도 ~ 80도의 범위, 예를 들어 약 60도를 가질 수 있다. 이때, 상기 제1 각도가 40도보다 작을 경우, 상기 개폐 이동방향(I2)을 따라 이동을 위한 각종 구성 요소들을 형성할 공간이 작아져 설계가 어려워지고, 상기 제1 각도가 80도를 넘을 경우, 상기 밸브 몸체(200)의 전체 부피가 증가되어 제조 비용이 증가하거나 보다 강한 회전 동력을 제공하여야 한다. 또한, 상기 제2 각도는 80도 큰 각도, 예를 들어 90도 일 수 있다.

한편, 본 실시예에 의한 게이트 밸브의 구동 과정을 간단히 설명하면, 우선 상기 게이트 밸브는 상기 정비 모드로 동작되고 있다가, 상기 밸브 몸체(200)가 원하는 각도로 회전되어 상기 게이트 열림 모드 또는 상기 게이트 닫힘 모드로 동작될 수 있다. 이때, 상기 게이트 닫힘 모드에는 상기 실링 플레이트(310)가 상기 개폐 이동방향(I2)에 따라 이동하여 상기 전면 개구(112)가 차단시키는 푸시(push) 동작과, 상기 전면 개구(112)를 오픈시키는 풀(pull) 동작으로 구분될 수 있다.

이와 같이 본 발명의 게이트 밸브에 따르면, 상기 회전 구동모듈(500)이 상기 실링 플레이트(310)에서의 개폐 이동방향(I2)이 상기 기판 이동방향(I1)과 일치시키거나 일치시키지 않도록 상기 밸브 몸체(200)를 회전시킴에 따라, 상기 게이트 닫침 모드 및 상기 게이트 열림 모드가 선택적으로 동작될 수 있다.

또한, 상기 밸브 몸체(200)의 후면부(220)에 상기 기판 통과홈(222)이 형성됨에 따라, 상기 밸브 몸체(200)의 회전만으로도 상기 기판 이동통로를 효과적으로 오픈시킬 수 있고, 상기 밸브 몸체(200)의 부피 및 무게도 감소시킬 수 있다.

이와 같이, 상기 밸브 몸체(200)가 종래와 같이 수직 이동하는 것이 아니라 회전 이동만을 수행하므로, 상기 실링 플레이트(310)의 하중을 효과적으로 지지하면서 상기 하우징(100)의 전면 개구(112)를 개폐시킬 수 있다.

한편, 상기 공압 주입유닛(410)에서 상기 주입 분배배관부(414)의 내경 지름이 상기 주입 주배관부(412)의 공압 입구로부터 멀어질수록 증가하거나, 상기 공압 배출유닛(420)에서 상기 배출 분배배관부들(424)의 내경 지름이 상기 배출 주배관부(422)의 공압 출구로부터 멀어질수록 증가함에 따라, 상기 실링 플레이트(310)를 이동시키는 상기 개폐 이동유닛들(320)에게 동일한 속도로 공압을 제공하거나 상기 개폐 이동유닛들(320)로부터 동일한 속도로 공압을 배출시킬 수 있다. 이로써, 상기 실링 플레이트(310)가 상기 전면 개구(112)를 균일하게 개폐시킬 수 있다.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

100 : 하우징 110 : 전면판
112 : 전면 개구 120 : 후면판
122 : 후면 개구 130 : 제1 측면판
140 : 제2 측면판 150 : 상측판
160 : 하측판 200 : 밸브 몸체
210 : 전면부 212 : 수용홈
212a : 공압 수용홈 220 : 후면부
222 : 기판 통과홈 222a : 기판 대향면
230 : 제1 측면부 232 : 내부 주입홀
234 : 내부 배출홀 240 : 제2 측면부
250 : 상면부 260 : 하면부
300 : 개폐 모듈 310 : 실링 플레이트
320 : 개폐 이동유닛 321 : 고정 몸체부
321a : 수용공간 322 : 이동 몸체부
323 : 이동축부 324 : 복원력 제공부
325 : 밸로우즈부 326 : 플레이트 결합부
400 : 공압 전송모듈 400a : 제1 전송모듈
400b : 제2 전송모듈 410 : 공압 주입유닛
412 : 주입 주배관부 414 : 주입 분배배관부
416 : 주입 연결배관부 420 : 공압 배출유닛
422 : 배출 주배관부 424 : 배출 분배배관부
426 : 배출 연결배관부 430 : 공압 연결유닛
500 : 회전 구동모듈 510 : 제1 회전축 유닛
520 : 제2 회전축 유닛 530 : 회전 구동유닛
532 : 동력 발생부 534 : 감속기부
536 : 회전동력 제공부 538 : 회전위치 센싱부
538a : 회전 돌기 538b : 제1 위치 센서
538c : 제2 위치 센서 540 : 제1 결합 유닛
550 : 제2 결합유닛 I1 : 기판 이동방향
I2 : 개폐 이동방향

Claims (39)

1. 기판 이동방향에 따라 대응되도록 형성된 전면 및 후면 개구들을 갖는 하우징;
   상기 하우징 내에 배치되고, 상기 전면 개구와 대응되는 전면부 및 상기 전면부에 대향하는 후면부를 갖는 밸브 몸체;
   상기 밸브 몸체의 전면부에 배치되어 고정되고, 실링 플레이트 및 상기 실링 플레이트를 개폐 이동방향에 따라 이동시키는 적어도 하나의 개폐 이동유닛을 포함하는 개폐 모듈; 및
   상기 개폐 이동방향이 상기 기판 이동방향과 일치시키거나 일치시키지 않도록 상기 밸브 몸체를 회전시키는 회전 구동모듈을 포함하고,
   상기 회전 구동모듈은
   상기 밸브 몸체의 일단부와 결합되어 고정되고, 상기 밸브 몸체의 일단부와 마주하는 상기 하우징의 일면부와 상기 밸브 몸체의 회전이 가능하도록 결합된 제1 회전축 유닛;
   상기 밸브 몸체의 일단부와 대향하는 상기 밸브 몸체의 타단부와 결합되어 고정되고, 상기 밸브 몸체의 타단부와 마주하는 상기 하우징의 타면부와 상기 밸브 몸체의 회전이 가능하도록 결합된 제2 회전축 유닛; 및
   상기 제1 및 제2 회전축 유닛들 중 어느 하나와 결합되어 상기 밸브 몸체의 회전을 위한 회전 동력을 제공하는 회전 구동유닛을 포함하며,
   상기 개폐 이동방향이 상기 기판 이동방향과 일치할 때, 상기 전면 및 후면 개구들 사이에 형성된 기판 이동통로를 차단(close)시키는 게이트 닫침 모드(gate close mode)로 동작되고,
   상기 개폐 이동방향이 상기 기판 이동방향에 대해 제1 각도로 형성될 때, 상기 기판 이동통로를 오픈(open)시키는 게이트 열림 모드(gate open mode)로 동작되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서, 상기 밸브 몸체의 후면부에는
   상기 기판 이동통로를 오픈시키기 위한 기판 통과홈이 형성된 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
4. 제3항에 있어서, 상기 기판 통과홈의 바닥에 형성된 기판 대향면은
   상기 개폐 이동방향이 상기 기판 이동방향에 대해 상기 제1 각도로 형성될 때, 상기 기판 이동방향에 대해 평행하게 배치되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
5. 제1항에 있어서, 상기 제1 각도는 40도 ~ 80도의 범위를 갖는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
6. 제1항에 있어서, 상기 개폐 이동방향이 상기 기판 이동방향에 대해 상기 제1 각도보다 큰 제2 각도로 형성될 때, 동작을 수행하지 않고 유지되는 정비 모드(maintenance mode)로 동작되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
7. 삭제
8. 제1항에 있어서, 상기 실링 플레이트가 상기 개폐 이동방향에 따라 왕복 이동되도록 상기 개폐 이동유닛으로 공압을 주입(inlet)하거나 상기 개폐 이동유닛으로부터 공압을 배출(outlet)시키는 공압 전송모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
9. 제8항에 있어서, 상기 공압 전송모듈은
   상기 제1 회전축 유닛에 형성된 제1 공압 주입홀을 통해 제공된 공압을 상기 개폐 이동유닛으로 주입하거나, 상기 개폐 이동유닛으로부터 배출된 공압을 상기 제1 회전축 유닛에 형성된 제1 공압 배출홀을 통해 배출시키는 제1 전송모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
10. 제9항에 있어서, 상기 개폐 이동유닛은 상기 밸브 몸체의 회전축 방향을 따라 복수개가 배치되고,
    상기 제1 전송모듈은 상기 개폐 이동유닛들에게 동일한 속도로 공압을 주입하거나 상기 개폐 이동유닛들로부터 동일한 속도로 공압을 배출시키는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
11. 제10항에 있어서, 상기 제1 전송모듈은
    상기 개폐 이동유닛들에게 공압을 주입하는 공압 주입유닛; 및
    상기 개폐 이동유닛들로부터 공압을 배출시키는 공압 배출유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
12. 제11항에 있어서, 상기 공압 주입유닛은
    상기 개폐 이동유닛들과 대응되도록 상기 밸브 몸체의 회전축 방향을 따라 연장된 주입 주배관부; 및
    상기 주입 주배관부로부터 각각 분기되고, 상기 주입 주배관부로부터 제공된 공압을 상기 개폐 이동유닛들 각각으로 주입하는 복수의 주입 분배배관부들을 포함하고,
    상기 공압 배출유닛은
    상기 개폐 이동유닛들과 대응되도록 상기 밸브 몸체의 회전축 방향을 따라 연장된 배출 주배관부; 및
    상기 배출 주배관부로부터 각각 분기되고, 상기 개폐 이동유닛들 각각으로부터 배출된 공압을 상기 배출 주배관부를 전달하는 복수의 배출 분배배관부들을 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
13. 제12항에 있어서, 상기 밸브 몸체에는
    상기 주입 분배배관부들과 각각 연결되어, 상기 주입 분배배관부들로부터 제공된 공압을 상기 개폐 이동유닛들 각각으로 전달하는 내부 주입홀들과,
    상기 배출 분배배관부들과 각각 연결되어, 상기 개폐 이동유닛들로부터 배출된 공압을 상기 배출 분배배관부들 각각으로 전달하는 내부 배출홀들이 형성되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
14. 제13항에 있어서, 상기 주입 분배배관부들의 내경 지름은 상기 제1 회전축 유닛으로부터 멀어질수록 증가하고,
    상기 배출 분배배관부들의 내경 지름도 상기 제1 회전축 유닛으로부터 멀어질수록 증가하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
15. 제13항에 있어서, 상기 내부 주입홀들의 지름은 상기 제1 회전축 유닛으로부터 멀어질수록 증가하고,
    상기 내부 배출홀들의 지름은 상기 제1 회전축 유닛으로부터 멀어질수록 증가하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
16. 제12항에 있어서, 상기 제1 전송모듈은
    상기 제1 회전축 유닛과 결합되고, 상기 공압 주입유닛을 상기 제1 공압 주입홀과 연결시키는 주입 연결홀과, 상기 공압 배출유닛을 상기 제1 공압 배출홀과 연결시키는 배출 연결홀을 갖는 공압 연결유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
17. 제16항에 있어서, 상기 공압 주입유닛은
    적어도 한 번 굴곡된 구조를 갖고, 상기 주입 주배관부와 상기 주입 연결홀 사이를 연결시키는 주입 연결배관부를 더 포함하고,
    상기 공압 배출유닛은
    적어도 한 번 굴곡된 구조를 갖고, 상기 배출 주배관부와 상기 배출 연결홀 사이를 연결시키는 배출 연결배관부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
18. 제9항에 있어서, 상기 공압 전송모듈은
    상기 제2 회전축 유닛에 형성된 제2 공압 주입홀을 통해 제공된 공압을 상기 개폐 이동유닛으로 주입하거나, 상기 개폐 이동유닛으로부터 배출된 공압을 상기 제2 회전축 유닛에 형성된 제2 공압 배출홀을 통해 배출시키는 제2 전송모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
19. 제18항에 있어서, 상기 개폐 이동유닛은 상기 밸브 몸체의 회전축 방향을 따라 N 개가 배치되고(단, N은 짝수임),
    상기 복수개의 개폐 이동유닛들은 상기 제1 회전축 유닛에 인접한 N/2 개의 개폐 이동유닛들로 구성된 제1 그룹과, 상기 제2 회전축 유닛에 인접한 N/2 개의 개폐 이동유닛들로 구성된 제2 그룹으로 구분되며,
    상기 제1 전송모듈은 상기 제1 그룹의 개폐 이동유닛들에게 동일한 속도로 공압을 주입하거나 상기 제1 그룹의 개폐 이동유닛들로부터 동일한 속도로 공압을 배출시키고,
    상기 제2 전송모듈은 상기 제2 그룹의 개폐 이동유닛들에게 동일한 속도로 공압을 주입하거나 상기 제2 그룹의 개폐 이동유닛들로부터 동일한 속도로 공압을 배출시키는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
20. 제8항에 있어서, 상기 밸브 몸체의 전면부에는
    상기 개폐 이동유닛을 수용하여 고정시키는 수용홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
21. 제20항에 있어서, 상기 개폐 이동유닛은
    내측에 수용공간이 형성되도록 상기 수용홈에 배치되어 고정된 고정 몸체부;
    상기 수용공간에 배치되고, 상기 공압 전송모듈에 의해 제공된 공압에 의해 상기 개폐 이동방향을 따라 이동하는 이동 몸체부;
    상기 이동 몸체부로부터 돌출되고, 상기 고정 몸체부를 관통하여 상기 실링 플레이트와 결합된 이동축부; 및
    상기 이동축부의 외곽을 감싸도록 배치되어 상기 개폐 이동방향으로의 수축 및 팽창이 가능하고, 상기 수용공간과 상기 고정 몸체부의 외부 사이를 밀봉하는 밸로우즈(bellows)부를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
22. 제21항에 있어서, 상기 개폐 이동유닛은
    상기 공압이 주입되어 상기 개폐 이동방향을 따라 이동한 상기 이동 몸체부를 상기 공압이 배출될 때 원위치로 회복시키는 복원력 제공부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
23. 제22항에 있어서, 상기 복원력 제공부는
    상기 이동축부의 외곽을 감싸도록 상기 고정 몸체부 및 상기 이동 몸체부 사이에 배치된 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
24. 제21항에 있어서, 상기 개폐 이동유닛은
    상기 실링 플레이트 및 상기 이동축부 사이에 배치되어 상기 실링 플레이트를 상기 이동축부에 결합시키는 플레이트 결합부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
25. 제1항에 있어서, 상기 회전 구동유닛은
    일차 동력을 발생시키는 동력 발생부; 및
    상기 일차 동력을 상기 회전 동력으로 변경시키는 회전동력 제공부를 포함하는 게이트 밸브.
26. 제25항에 있어서, 상기 동력 발생부는
    회전력인 상기 일차 동력을 제공하는 전동 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
27. 제26항에 있어서, 상기 회전 구동유닛은
    상기 회전력을 감속하여 상기 회전동력 제공부로 전달하는 감속기부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
28. 제25항에 있어서, 상기 회전 구동유닛은
    상기 밸브 몸체의 회전 위치를 감지하는 회전위치 센서부를 더 포함하는 것을 게이트 밸브.
29. 제28항에 있어서, 상기 회전위치 센서부는
    상기 개폐 이동방향이 상기 기판 이동방향과 일치하는지 여부를 감지하는 제1 위치센서; 및
    상기 개폐 이동방향이 상기 기판 이동방향에 대해 상기 제1 각도로 형성되는지 여부를 감지하는 제2 위치센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
30. 제29항에 있어서, 상기 회전위치 센서부는
    상기 제1 및 제2 회전축 유닛들 중 어느 하나와 결합되어 상기 밸브 몸체의 회전시 함께 원회전하는 회전 돌기를 더 포함하고,
    상기 제1 및 제2 위치센서들 각각은 상기 회전 돌기의 근접 여부를 감지할 수 있는 근접 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
31. 제30항에 있어서, 상기 회전 돌기에는 한 쌍의 분기 가지들이 형성되고,
    상기 제1 위치센서는 상기 분기 가지들에 대응하여 한 쌍이 배치되며,
    상기 제2 위치센서는 상기 분기 가지들에 대응하여 한 쌍이 배치되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
32. 제1항에 있어서, 상기 제1 회전축 유닛을 상기 밸브 몸체의 일단부와 결합되어 고정시키는 제1 결합유닛; 및
    상기 제2 회전축 유닛을 상기 밸브 몸체의 타단부와 결합되어 고정시키는 제2 결합유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 게이트 밸브.
33. 제32항에 있어서, 상기 제1 결합유닛은
    상기 밸브 몸체의 일단부 및 상기 밸브 몸체의 일단부와 인접한 상기 후면부의 일부와 결합된 제1 밸브몸체 결합부; 및
    상기 제1 회전축 유닛과 결합된 제1 회전축 결합부를 포함하고,
    상기 제2 결합유닛은
    상기 밸브 몸체의 타단부 및 상기 밸브 몸체의 타단부와 인접한 상기 후면부의 일부와 결합된 제2 밸브몸체 결합부; 및
    상기 제2 회전축 유닛과 결합된 제2 회전축 결합부를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
34. 삭제
35. 삭제
36. 삭제
37. 삭제
38. 서로 대응되도록 형성된 전면 및 후면 개구들을 갖고, 일 방향으로 길게 연장된 형상을 갖는 하우징;
    상기 하우징 내에 배치된 실링 플레이트;
    상기 하우징 내에 상기 일 방향에 따라 일정 간격으로 이격되어 배치되고, 상기 실링 플레이트와 결합되어 이동시키는 복수의 개폐 이동유닛들;
    상기 개폐 이동유닛들에게 공압을 주입하는 공압 주입유닛; 및
    상기 개폐 이동유닛들로부터 공압을 배출시키는 공압 배출유닛을 포함하고,
    상기 공압 주입유닛은
    상기 개폐 이동유닛들과 대응되도록 상기 일 방향을 따라 연장된 주입 주배관부; 및
    상기 주입 주배관부로부터 각각 분기되고, 상기 주입 주배관부로부터 제공된 공압을 상기 개폐 이동유닛들 각각으로 주입하는 복수의 주입 분배배관부들을 포함하며,
    상기 주입 분배배관부들의 내경 지름은 상기 주입 주배관부의 공압 입구로부터 상기 일 방향을 따라 멀어질수록 내경 지름이 증가하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
39. 제38항에 있어서, 상기 공압 배출유닛은
    상기 개폐 이동유닛들과 대응되도록 상기 일 방향을 따라 연장된 배출 주배관부; 및
    상기 배출 주배관부로부터 각각 분기되고, 상기 개폐 이동유닛들 각각으로부터 배출된 공압을 상기 배출 주배관부를 전달하는 복수의 주입 분배배관부들을 포함하며,
    상기 배출 분배배관부들의 내경 지름은 상기 배출 주배관부의 공압 출구로부터 상기 일 방향을 따라 멀어질수록 증가하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.

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