KR101485762B1

KR101485762B1 - 게이트 밸브

Info

Publication number: KR101485762B1
Application number: KR20130133877A
Authority: KR
Inventors: 김종훈; 김도완
Original assignee: 주식회사 에이티에스엔지니어링
Priority date: 2013-11-06
Filing date: 2013-11-06
Publication date: 2015-01-26

Abstract

실링 모듈의 안정적인 이동이 가능한 게이트 밸브가 개시된다. 이러한 게이트 밸브는 내부 공간을 갖고 제1 방향으로 길게 연장된 형상을 갖는 제1 및 제2 개구들이 형성된 하우징 모듈, 하우징 모듈 내에 배치되고 제1 및 제2 개구들과 대응되도록 길게 연장된 형상을 갖으며 흡기 및 배기에 의해 푸쉬-풀(push-pull) 동작을 수행하는 실링 모듈, 및 하우징 모듈 외부에 배치되고 실링 모듈을 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 왕복 이동시키는 이송 모듈을 포함한다. 이때, 이송 모듈은 제2 방향을 따라 길게 연장된 형상을 갖고 일측이 하우징 모듈을 관통하여 실링 모듈과 연결된 제1 및 제2 샤프트 조립체들, 제1 및 제2 샤프트 조립체들이 제2 방향을 따라 왕복 이동되도록 동력을 제공하는 이송 실린더 유닛, 및 제1 및 제2 샤프트 조립체들과 각각 결합되어 제1 및 제2 샤프트 조립체들 각각의 제2 방향으로의 운동을 가이드하는 제1 및 제2 LM 가이드 조립체들을 포함한다. 이로써, 제1 및 제2 LM 가이드 조립체들에 의해 가이드됨에 따라 실링 모듈의 이동이 안정적으로 수행될 수 있다.

Description

게이트 밸브{GATE VALVE}

본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판이 수직 방향으로 출입되는 공정 챔버의 개구를 개폐할 수 있는 수직형 게이트 밸브에 관한 것이다.

일반적으로 LCD 기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정의 대부분은 진공 상태에서 진행된다. 따라서, LCD 기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정을 수행하는 장비는 진공 장비가 대부분이며, 이러한 진공 장비에는 진공 장비 내부의 진공을 유지하기 위하여 진공 펌프가 사용된다. 그리고, 진공 장비를 진공 장비의 외부 또는 다른 진공 장비와 격리시키기 위해 게이트 밸브(Gate Valve)가 구비된다. 이러한 게이트 밸브는 일반적으로 하우징 모듈, 실링(sealing) 모듈, 이송 모듈 및 공압 제어모듈을 포함한다.

상기 하우징 모듈은 상기 진공 장비와 결합되고, 상기 실링 모듈을 수용하기 위한 내부 공간을 가진다. 상기 하우징 모듈에는 상기 진공 장비에 형성되어 있는 게이트와 마주하는 제1 개구 및 상기 제1 개구와 마주하는 제2 개구가 형성되어 있다. 이때, 상기 제1 및 제2 개구들은 제1 방향으로 길게 연장된 형상을 가질 수 있다.

상기 실링 모듈은 상기 하우징 모듈 내에 배치되어 흡기 및 배기에 의해 푸쉬-풀(push-pull) 운동을 수행하고, 그에 따라 상기 제1 및 제2 개구들 중 적어도 하나를 개폐시킬 수 있다. 이때, 상기 실링 모듈은 상기 제1 및 제2 개구들과 대응되게 상기 제1 방향으로 길게 연장된 형상을 가질 수 있다.

상기 이송 모듈은 상기 하우징 모듈 외부에 배치되고 상기 실링 모듈을 상기 제1 방향과 수직하게 교차하는 제2 방향을 따라 왕복 이동시킨다. 즉, 상기 이송 모듈은 샤프트 및 실린더를 포함한다. 상기 샤프트는 상기 제2 방향을 따라 길게 연장된 형상을 갖고, 일단이 상기 하우징 모듈을 관통하여 상기 실링 모듈과 결합된다. 상기 실린더는 상기 샤프트를 상기 제2 방향으로 왕복 운동시키도록 상기 샤프트로 동력을 제공한다.

상기 공압 제어모듈은 상기 하우징 모듈 외부에 배치되고, 상기 실링 모듈로 공압을 제공하거나 상기 실링 모듈로부터 공압을 배출시킨다.

한편, 최근에는 기판의 처리량을 증대시키거나 대형화된 기판을 처리하기 위해 기판을 수직하게 세운 상태에서 공정을 수행하는 수직형 진공 장비가 개발되고 있다. 이에 따라, 상기 수직형 진공 장비에서 기판이 출입되는 게이트도 수직한 방향으로 세워져 존재하게 되고, 상기 게이트 밸브도 상기 게이트의 길이 방향에 따라 세워져 배치되어야 한다.

그러나, 상기 게이트 밸브가 상기 게이트의 길이 방향에 따라 수직하게 세워져 배치될 경우, 상기 실링 모듈을 지지하는 상기 샤프트에 강한 하중이 부가될 수 있다. 이러한 강한 하중은 상기 샤프트의 운동 중에 마찰을 일으켜 미세 파티클이나 소음을 유발시킬 수 있다.

따라서, 본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 해결하고자 하는 과제는 수직하게 배치될 때 샤프트에 강한 하중이 인가되는 것을 방지하여 안정적인 구동이 가능한 게이트 밸브를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 실시예에 의한 게이트 밸브는 하우징 모듈, 실링 모듈 및 이송 모듈을 포함한다. 상기 하우징 모듈은 내부 공간을 갖고, 제1 방향으로 길게 연장된 형상을 갖는 제1 및 제2 개구들이 형성된다. 상기 실링 모듈은 상기 하우징 모듈 내에 배치되고, 상기 제1 및 제2 개구들과 대응되도록 상기 제1 방향으로 길게 연장된 형상을 갖으며, 유체의 전달에 의해 푸쉬-풀(push-pull) 동작을 수행한다. 상기 이송 모듈은 상기 하우징 모듈 외부에 배치되고, 상기 실링 모듈을 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 왕복 이동시킨다.

상기 이송 모듈은 제1 샤프트 조립체, 제2 샤프트 조립체, 적어도 하나의 이송 실린더 유닛, 제1 LM(Linear Motion) 가이드 조립체 및 제2 LM 가이드 조립체를 포함한다. 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들은 상기 제2 방향을 따라 길게 연장된 형상을 갖고, 일측이 상기 하우징 모듈을 관통하여 상기 실링 모듈과 연결된다. 상기 이송 실린더 유닛은 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들이 상기 제2 방향을 따라 왕복 이동되도록 동력을 제공한다. 상기 제1 및 제2 LM 가이드 조립체들은 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들과 각각 결합되어 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들 각각의 상기 제2 방향으로의 운동을 가이드한다.

상기 하우징 모듈은 하우징 몸체, 하우징 하부 및 하우징 상부를 포함할 수 있다. 상기 하우징 몸체는 상기 제2 방향으로 서로 대응되는 일측과 타측이 오픈(open)되어 있고, 상기 제1 및 제2 개구들이 형성되어 있다. 상기 하우징 하부는 상기 이송 모듈과 마주하는 상기 하우징 몸체의 하측을 커버한다. 상기 하우징 상부는 상기 하우징 몸체의 타측을 커버한다.

상기 이송 실린더 유닛은 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들 사이에 배치될 수 있다.

상기 이송 모듈은 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들 사이를 연결하여, 상기 이송 실린더 유닛에서 제공되는 상기 제2 방향으로의 동력을 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들로 전달하는 모션 블록을 더 포함할 수 있다.

상기 제1 샤프트 조립체는 제1 샤프트부, 제1 샤프트 홀더부 및 제1 샤프트 밸로우즈부를 포함할 수 있다. 상기 제1 샤프트부는 상기 제2 방향을 따라 길게 연장된 형상을 갖고, 일단이 상기 하우징 하부를 관통하여 상기 실링 모듈과 연결되며, 상기 일단과 대향하는 타단이 상기 모션 블록과 연결된다. 상기 제1 샤프트 홀더부는 상기 하우징 모듈의 외부에 배치되고, 상기 제1 샤프트부의 일부를 감싸서 상기 제1 샤프트부를 지지한다. 상기 제1 샤프트 밸로우즈부는 상기 실링 모듈과 상기 제1 샤프트 홀더부 사이에 상기 제1 샤프트부의 일부를 감싸서 밀봉하도록 배치되고, 상기 제1 샤프트부의 상기 제2 방향으로의 왕복 이동에 따라 수축 및 팽창된다.

상기 제2 샤프트 조립체는 제2 샤프트부, 제2 샤프트 홀더부 및 제2 샤프트 밸로우즈부를 포함할 수 있다. 상기 제2 샤프트부는 상기 제2 방향을 따라 길게 연장된 형상을 갖고, 일단이 상기 하우징 하부를 관통하여 상기 실링 모듈과 연결되며, 상기 일단과 대향하는 타단이 상기 모션 블록과 연결된다. 상기 제2 샤프트 홀더부는 상기 하우징 모듈의 외부에 배치되고, 상기 제2 샤프트부의 일부를 감싸서 상기 제2 샤프트부를 지지한다. 상기 제2 샤프트 밸로우즈부는 상기 실링 모듈과 상기 제2 샤프트 홀더부 사이에 상기 제2 샤프트부의 일부를 감싸서 밀봉하도록 배치되고, 상기 제2 샤프트부의 상기 제2 방향으로의 왕복 이동에 따라 수축 및 팽창된다.

상기 제1 샤프트 조립체는 상기 제1 샤프트부의 일단을 상기 실링 모듈의 일면에 연결시키는 제1 샤프트 연결부를 더 포함할 수 있고, 상기 제2 샤프트 조립체는 상기 제2 샤프트부의 일단을 상기 실링 모듈의 일면에 연결시키는 제2 샤프트 연결부를 더 포함할 수 있다.

상기 제1 샤프트 조립체는 상기 하우징 모듈의 외부에 배치되고, 상기 제1 샤프트부를 상기 하우징 하부에 결합시키는 제1 샤프트 결합부를 더 포함할 수 있고, 상기 제2 샤프트 조립체는 상기 하우징 모듈의 외부에 배치되고, 상기 제2 샤프트부를 상기 하우징 하부에 결합시키는 제2 샤프트 결합부를 더 포함할 수 있다.

상기 제1 샤프트 홀더부는 제1 홀더 몸체 및 제1 홀더 커버를 포함할 수 있다. 상기 제1 홀더 몸체는 상기 제1 샤프트부의 일부를 수용하는 제1 홀더 몸체홈을 갖는다. 상기 제1 홀더 커버는 상기 제1 홀더 몸체홈에 대응하여 제1 홀더 커버홈을 갖고, 상기 제1 홀더 몸체와 결합되어 상기 제1 샤프트부의 일부를 감싸서 지지한다.

상기 제2 샤프트 홀더부는 제2 홀더 몸체 및 제2 홀더 커버를 포함할 수 있다. 상기 제2 홀더 몸체는 상기 제2 샤프트부의 일부를 수용하는 제2 홀더 몸체홈을 갖는다. 상기 제2 홀더 커버는 상기 제2 홀더 몸체홈에 대응하여 제2 홀더 커버홈을 갖고, 상기 제2 홀더 몸체와 결합되어 상기 제2 샤프트부의 일부를 감싸서 지지한다.

상기 모션 블록은 중앙 블록부, 제1 사이드 블록부 및 제2 사이드 블록부를 포함할 수 있다. 상기 중앙 블록부는 상기 이송 실린더 유닛과 결합되어 상기 이송 실린더 유닛으로부터 상기 제2 방향으로의 이동 동력을 제공받는다. 상기 제1 사이드 블록부는 상기 중앙 블록부의 일측부와 결합되고, 상기 제1 샤프트부의 하단과 결합되어 상기 중앙 블록부로 제공받은 동력을 상기 제1 샤프트부로 전달한다. 상기 제2 사이드 블록부는 상기 일측부와 대향하는 상기 중앙 블록부의 타측부와 결합되고, 상기 제2 샤프트부의 하단과 결합되어 상기 중앙 블록부로 제공받은 동력을 상기 제2 샤프트부로 전달한다.

상기 제1 사이드 블록부에는 상기 제1 샤프트부의 하단을 관통시켜 외부로 노출시키는 제1 샤프트 통과홀이 형성될 수 있고, 상기 제2 사이드 블록부에는 상기 제2 샤프트부의 하단을 관통시켜 외부로 노출시키는 제2 샤프트 통과홀이 형성될 수 있다.

상기 모션 블록은 제1 샤프트 고정키 및 제2 샤프트 고정키를 더 포함할 수 있다. 상기 제1 샤프트 고정키는 상기 제1 샤프트부의 외표면에 끼워지도록 상기 제1 사이드 블록부에 결합되어 상기 제1 샤프트부를 고정시킨다. 상기 제2 샤프트 고정키는 상기 제2 샤프트부의 외표면에 끼워지도록 상기 제2 사이드 블록부에 결합되어 상기 제2 샤프트부를 고정시킨다.

상기 제1 및 제2 샤프트부들 중 적어도 하나의 내부에는 상기 실링 모듈과 연결되어 유체를 전달하는 샤프트 전달통로가 형성되어 있을 수 있다.

상기 중앙 블록부는 상기 하우징 하부와 마주하는 상면, 상기 상면과 대향하는 하면, 상기 제1 샤프트부와 대응되고 상기 상면의 일측과 상기 하면의 일측을 연결하는 제1 측면, 및 상기 제2 샤프트부와 대응되고 상기 상면의 타측과 상기 하면의 타측을 연결하는 제2 측면을 포함할 수 있다. 상기 제1 사이드 블록부는 상기 중앙 블록부의 하면의 일단부와 결합되고, 상기 제1 샤프트 홀더부는 상기 중앙 블록부의 제1 측면과 접하도록 배치된다. 상기 제2 사이드 블록부는 상기 중앙 블록부의 하면의 타단부와 결합되고, 상기 제2 샤프트 홀더부는 상기 중앙 블록부의 제2 측면과 접하도록 배치된다.

상기 제1 사이드 블록부는 상기 중앙 블록부의 제1 측면과 연결되어 상기 제1 샤프트 홀더부와의 접촉 면적을 증가시키기 위해 L-자로 절곡된 형상을 가질 수 있다. 상기 제2 사이드 블록부는 상기 중앙 블록부의 제2 측면과 연결되어 상기 제2 샤프트 홀더부와의 접촉 면적을 증가시키기 위해 L-자로 절곡된 형상을 가질 수 있다.

상기 제1 LM 가이드 조립체는 제1 LM 가이드부 및 제1 LM 서포터부를 포함할 수 있다. 상기 제1 LM 가이드부는 상기 제1 샤프트 홀더부와 결합되어 상기 제1 샤프트부의 상기 제2 방향으로의 운동을 가이드한다. 상기 제1 LM 서포터부는 상기 하우징 하부에 결합되어 고정되고, 상기 제1 LM 가이드부와 결합되어 지지한다.

상기 제2 LM 가이드 조립체는 제2 LM 가이드부 및 제2 LM 서포터부를 포함할 수 있다. 상기 제2 LM 가이드부는 상기 제2 샤프트 홀더부와 결합되어 상기 제2 샤프트부의 상기 제2 방향으로의 운동을 가이드한다. 상기 제2 LM 서포터부는 상기 하우징 하부에 결합되어 고정되고, 상기 제2 LM 가이드부와 결합되어 지지한다.

상기 제1 LM 가이드부는 제1 LM 레일 및 적어도 하나의 제1 LM 가이드블록을 포함할 수 있다. 상기 제1 LM 레일은 상기 제1 LM 서포터부에 결합되고, 상기 제2 방향을 따라 길게 연장되어 형성된다. 상기 제1 LM 가이드블록은 일측이 상기 제1 샤프트 홀더부와 결합되고, 타측이 상기 제1 LM 레일을 수용하도록 결합되어 상기 제2 방향을 따라 왕복 이동이 가능하다.

상기 제2 LM 가이드부는 제2 LM 레일 및 적어도 하나의 제2 LM 가이드블록을 포함할 수 있다. 상기 제2 LM 레일은 상기 제2 LM 서포터부에 결합되고, 상기 제2 방향을 따라 길게 연장되어 형성된다. 상기 제2 LM 가이드블록은 일측이 상기 제2 샤프트 홀더부와 결합되고, 타측이 상기 제2 LM 레일을 수용하도록 결합되어 상기 제2 방향을 따라 왕복 이동이 가능하다.

상기 제1 LM 서포터부는 제1 수평 서포터 블록, 제1 수직 서포터 블록 및 제1 결합 서포터 블록을 포함할 수 있다. 상기 제1 수평 서포터 블록은 상기 제1 LM 레일이 배치된다. 상기 제1 수직 서포터 블록은 상기 제1 수평 서포터 블록과 수직하게 연결되어 지지한다. 상기 제1 결합 서포터 블록은 상기 제1 수평 서포터 블록 및 상기 제1 수직 서포터 블록 사이를 연결시키고, 상기 제1 수평 서포터 블록 및 상기 제1 수직 서포터 블록을 상기 하우징 모듈의 하부에 결합시킨다.

상기 제2 LM 서포터부는 제2 수평 서포터 블록, 제2 수직 서포터 블록 및 제2 결합 서포터 블록을 포함할 수 있다. 상기 제2 수평 서포터 블록은 상기 제2 LM 레일이 배치된다. 상기 제2 수직 서포터 블록은 상기 제2 수평 서포터 블록과 수직하게 연결되어 지지한다. 상기 제2 결합 서포터 블록은 상기 제2 수평 서포터 블록 및 상기 제2 수직 서포터 블록 사이를 연결시키고, 상기 제2 수평 서포터 블록 및 상기 제2 수직 서포터 블록을 상기 하우징 모듈의 하부에 결합시킨다.

이와 같이 본 발명의 게이트 밸브에 따르면, 실링 모듈을 이동시키는 제1 및 제2 샤프트 조립체들이 제1 및 제2 LM 가이드 조립체들에 의해 가이드되어 이동됨에 따라, 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들에 의한 상기 실링 모듈의 이동이 안정적으로 수행될 수 있다. 즉, 상기 게이트 밸브가 수직하게 배치되어 상기 실링 모듈의 이동시 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들에 강한 하중이 발생된다하더라도 상기 제1 및 제2 LM 가이드 조립체들이 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들 각각을 지지함으로써 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들로의 강한 하중을 완화시킬 수 있고, 이로 인해 상기 실링 모듈의 이동시 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들에서 발생되는 마찰 및 소음 등을 최소화시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 게이트 밸브를 정면에서 바라본 상태를 도시한 정면도이다.
도 3은 도 1의 게이트 밸브 중 하우징 모듈을 제거한 상태를 도시한 사시도이다.
도 4는 도 1의 게이트 밸브 중 이송 모듈을 분해해서 도시한 분해 사시도이다.
도 5는 도 4의 이송 모듈 중 제1 및 제2 샤프트 조립체들만 도시한 분해 사시도이다.
도 6은 도 4의 이송 모듈 중 모션 블록만 도시한 분해 사시도이다.
도 7은 도 4의 이송 모듈 중 제1 및 제2 LM 가이드 조립체들만 도시한 분해 사시도이다.
도 8은 도 3의 게이트 밸브에서 실링 모듈을 분해해서 도시한 분해 사시도이다.
도 9는 도 8의 일부를 확대해서 도시한 분해 사시도이다.
도 10은 도 9의 Ⅰ-Ⅰ'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 11는 도 9의 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 12은 도 1의 게이트 밸브를 제1 방향을 따라 제2 방향으로 절단한 단면도이다.
도 13은 도 12의 Ⅲ-Ⅲ'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 14는 도 13의 A 부분을 확대해서 도시한 단면도이다.
도 15는 도 12의 Ⅳ-Ⅳ'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 16은 도 15의 B 부분을 확대해서 도시한 단면도이다.
도 17은 도 12의 Ⅴ-Ⅴ'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 18은 도 12의 Ⅵ-Ⅵ'선을 따라 절단한 단면도이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다.

그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 게이트 밸브를 정면에서 바라본 상태를 도시한 정면도이며, 도 3은 도 1의 게이트 밸브 중 하우징 모듈을 제거한 상태를 도시한 사시도이다. 이때, 도면들은 서로 수직하게 교차하는 제1, 제2 및 제3 방향(D1, D2, D3)들에 대응하여 도시되었다.

도 1, 도 2 및 도 3을 참조하면, 본 실시예에 의한 게이트 밸브는 하우징 모듈(100), 실링 모듈(200) 및 이송 모듈(300)을 포함한다.

상기 하우징 모듈(100)은 내부 공간을 갖고, 상기 제1 방향(D1)으로 길게 연장된 형상을 갖는 제1 및 제2 개구들(112, 114)이 형성된다. 예를 들어, 상기 하우징 모듈(100)은 하우징 몸체(110), 하우징 하부(120) 및 하우징 상부(130)를 포함할 수 있다. 상기 하우징 몸체(110)는 상기 내부 공간을 갖도록 상기 제1 방향(D1)으로 길게 연장된 직육면체 형상을 갖고, 상기 제2 방향(D2)으로 서로 대응되는 일측과 타측이 오픈(open)되어 있으며, 상기 하우징 몸체(110)는 상기 제3 방향(D3)을 따라 서로 마주보는 위치에 상기 제1 및 제2 개구들(112, 114)이 형성되어 있다. 선택적으로, 상기 하우징 몸체(110)는 상기 제1 방향(D1)을 따라 서로 마주보는 위치에 상기 하우징 모듈(100)의 내부 상태를 확인할 수 있는 적어도 하나의 측면 윈도우(116)가 형성될 수 있다. 상기 하우징 하부(120)는 상기 이송 모듈(300)과 마주하는 상기 하우징 몸체(110)의 하측을 커버하도록 결합된다. 이때, 상기 하우징 하부(120)는 상기 하우징 몸체(110)와 마주하는 일측이 오픈된 직육면체 형상을 가질 수 있다. 상기 하우징 상부(130)는 상기 하우징 몸체(110)의 타측을 커버하도록 결합된다. 이때, 상기 하우징 상부(130)에는 상기 하우징 모듈(100)의 내부 상태를 확인할 수 있는 적어도 하나의 상면 윈도우(132)가 형성될 수 있다.

상기 실링 모듈(200)은 상기 하우징 모듈(100) 내에 배치되고, 상기 제1 및 제2 개구들(112, 114)과 대응되도록 상기 제1 방향(D1)으로 길게 연장된 형상을 갖으며, 유체의 전달에 의해 푸쉬-풀(push-pull) 동작을 수행한다. 이때, 상기 실링 모듈(200)은 상기 제1 개구(112)만을 개폐시키도록 L-모션 동작을 수행하는 L-모션 실링 모듈과, 상기 제1 및 제2 개구(112, 114) 모두를 개폐시키도록 T-모션 동작을 수행하는 T-모션 실링 모듈 중 어느 하나일 수 있다.

본 실시예에서, 상기 실링 모듈(200)은 상기 T-모션 실링 모듈일 수 있다. 구체적으로, 상기 실링 모듈(200)은 상기 제1 개구(112)에 대응하는 제1 실링 플레이트(202), 상기 제2 개구(114)에 대응하는 제2 실링 플레이트(204), 및 상기 제1 및 제2 실링 플레이트들(202, 204) 사이에 배치되어 유체의 전달에 의해 푸쉬-풀(push-pull) 동작을 수행하는 푸쉬-풀(push-pull) 구동 조립체(200A)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 유체는 공기와 같은 기체 및 기름과 같은 액체를 모두 포함하는 개념이다.

상기 이송 모듈(300)은 상기 하우징 모듈(300) 외부에 배치되고, 상기 실링 모듈(200)을 상기 제2 방향(D2)을 따라 왕복 이동시킨다.

우선, 별도의 도면들을 이용하여 상기 이송 모듈(300)에 대하여 상세하게 설명하고자 한다.

도 4는 도 1의 게이트 밸브 중 이송 모듈을 분해해서 도시한 분해 사시도고, 도 5는 도 4의 이송 모듈 중 제1 및 제2 샤프트 조립체들만 도시한 분해 사시도이며, 도 6은 도 4의 이송 모듈 중 모션 블록만 도시한 분해 사시도이고, 도 7은 도 4의 이송 모듈 중 제1 및 제2 LM 가이드 조립체들만 도시한 분해 사시도이다.

도 1 및 도 4 내지 도 7을 참조하면, 상기 이송 모듈(300)은 제1 샤프트 조립체(310), 제2 샤프트 조립체(320), 적어도 하나의 이송 실린더 유닛(330), 모션 블록(340), 제1 LM(Linear Motion) 가이드 조립체(350) 및 제2 LM 가이드 조립체(360)를 포함할 수 있다.

상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320)은 상기 제2 방향(D2)을 따라 길게 연장된 형상을 갖고, 일측이 상기 하우징 모듈(100)의 하우징 하부(120)을 관통하여 상기 실링 모듈(200)과 연결될 수 있다.

우선, 상기 제1 샤프트 조립체(310)는 제1 샤프트부(311), 제1 샤프트 연결부(312), 제1 샤프트 홀더부(313), 제1 샤프트 결합부(314) 및 제1 샤프트 밸로우즈부(315)를 포함할 수 있다.

상기 제1 샤프트부(311)는 상기 제2 방향(D2)을 따라 길게 연장된 형상을 갖는다. 이때, 상기 제1 샤프트부(311)의 일단은 상기 하우징 하부(120)를 관통하여 상기 실링 모듈(200)과 연결되고, 상기 일단과 대향하는 상기 제1 샤프트부(311)의 타단은 상기 모션 블록(340)과 연결된다.

상기 제1 샤프트 연결부(312)는 상기 제1 샤프트부(311)의 일단을 상기 실링 모듈(200)의 일면, 즉 상기 푸쉬-풀 구동 조립체(200A)의 일측면에 연결시킨다.

상기 제1 샤프트 홀더부(313)는 상기 하우징 모듈(100)의 외부, 예를 들어 상기 하우징 하부(120)의 하측에 이격되어 배치되고, 상기 제1 샤프트부(311)의 일부를 감싸서 상기 제1 샤프트부(311)를 지지한다. 구체적으로, 상기 제1 샤프트 홀더부(313)는 제1 홀더 몸체(313a) 및 제1 홀더 커버(313b)를 포함할 수 있다. 상기 제1 홀더 몸체(313a)는 상기 제1 샤프트부(311)의 일부를 수용하는 제1 홀더 몸체홈을 갖고, 상기 제1 LM 가이드 조립체(350)에 결합된다. 상기 제1 홀더 커버(313b)는 상기 제1 홀더 몸체홈에 대응하여 제1 홀더 커버홈을 갖고, 상기 제1 홀더 몸체(313a)와 결합되어 상기 제1 샤프트부(311)의 일부를 감싸서 지지한다. 그 결과, 상기 제1 샤프트 조립체(310)는 상기 제1 샤프트 홀더부(313)를 통해 상기 제1 LM 가이드 조립체(350)에 결합되어 고정된다.

상기 제1 샤프트 결합부(314)는 상기 하우징 모듈(100)의 외부, 예를 들어 상기 하우징 하부(120)의 하면에 결합되어 배치되고, 상기 제1 샤프트부(311)를 상기 하우징 하부(120)에 결합시켜 고정시킬 수 있다.

상기 제1 샤프트 밸로우즈부(315)는 상기 실링 모듈(200)과 상기 제1 샤프트 홀더부(313) 사이에 상기 제1 샤프트부(311)의 일부를 감싸서 밀봉하도록 배치되고, 상기 제1 샤프트부(311)의 상기 제2 방향(D2)으로의 왕복 이동에 따라 수축 및 팽창될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 샤프트 밸로우즈부(315)의 일단은 상기 하우징 하부(120)에 결합되고, 상기 일단과 대향하는 상기 제1 샤프트 밸로우즈부(315)의 타단은 상기 제1 샤프트 홀더부(313)의 상면에 결합될 수 있다.

이어서, 상기 제2 샤프트 조립체(320)는 제2 샤프트부(321), 제2 샤프트 연결부(322), 제2 샤프트 홀더부(323), 제2 샤프트 결합부(324) 및 제2 샤프트 밸로우즈부(325)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제2 샤프트 조립체(320)는 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320) 사이에 상기 제2 방향(D2)에 평행한 가상의 중심선을 기준으로, 상기 제1 샤프트 조립체(310)에 대칭되는 형상을 가질 수 있다.

상기 제2 샤프트부(321)는 상기 제2 방향(D2)을 따라 길게 연장된 형상을 갖는다. 이때, 상기 제2 샤프트부(321)의 일단은 상기 하우징 하부(120)를 관통하여 상기 실링 모듈(200)과 연결되고, 상기 일단과 대향하는 상기 제2 샤프트부(321)의 타단은 상기 모션 블록(340)과 연결된다.

상기 제2 샤프트 연결부(322)는 상기 제2 샤프트부(321)의 일단을 상기 실링 모듈(200)의 일면, 즉 상기 푸쉬-풀 구동 조립체(200A)의 타측면에 연결시킨다.

상기 제2 샤프트 홀더부(323)는 상기 하우징 모듈(100)의 외부, 예를 들어 상기 하우징 하부(120)의 하측에 이격되어 배치되고, 상기 제2 샤프트부(321)의 일부를 감싸서 상기 제2 샤프트부(321)를 지지한다. 구체적으로, 상기 제2 샤프트 홀더부(323)는 제2 홀더 몸체(323a) 및 제2 홀더 커버(323b)를 포함할 수 있다. 상기 제2 홀더 몸체(323a)는 상기 제2 샤프트부(321)의 일부를 수용하는 제2 홀더 몸체홈을 갖고, 상기 제2 LM 가이드 조립체(360)에 결합된다. 상기 제2 홀더 커버(323b)는 상기 제2 홀더 몸체홈에 대응하여 제2 홀더 커버홈을 갖고, 상기 제2 홀더 몸체(323a)와 결합되어 상기 제2 샤프트부(321)의 일부를 감싸서 지지한다. 그 결과, 상기 제2 샤프트 조립체(320)는 상기 제2 샤프트 홀더부(323)를 통해 상기 제2 LM 가이드 조립체(360)에 결합되어 고정된다.

상기 제2 샤프트 결합부(324)는 상기 하우징 모듈(100)의 외부, 예를 들어 상기 하우징 하부(120)의 하면에 결합되어 배치되고, 상기 제2 샤프트부(321)를 상기 하우징 하부(120)에 결합시켜 고정시킬 수 있다.

상기 제2 샤프트 밸로우즈부(325)는 상기 실링 모듈(200)과 상기 제2 샤프트 홀더부(323) 사이에 상기 제2 샤프트부(321)의 일부를 감싸서 밀봉하도록 배치되고, 상기 제2 샤프트부(321)의 상기 제2 방향(D2)으로의 왕복 이동에 따라 수축 및 팽창될 수 있다. 예를 들어, 상기 제2 샤프트 밸로우즈부(325)의 일단은 상기 하우징 하부(120)에 결합되고, 상기 일단과 대향하는 상기 제2 샤프트 밸로우즈부(325)의 타단은 상기 제2 샤프트 홀더부(323)의 상면에 결합될 수 있다.

상기 이송 실린더 유닛(330)은 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320)이 상기 제2 방향(D2)을 따라 왕복 이동되도록 동력을 제공한다. 구체적으로, 상기 이송 실린더 유닛(330)은 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320) 사이에 한 쌍이 배치될 수 있다. 상기 이송 실린더 유닛(330)은 이송 샤프트(332)가 상기 모션 블록(340)과 연결되어 상기 모션 블록(340)으로 상기 제2 방향(D2)으로의 왕복 이동을 위한 동력을 전달할 수 있다.

상기 모션 블록(340)은 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320) 사이를 연결하여, 상기 이송 실린더 유닛(330)에서 제공되는 상기 제2 방향(D2)으로의 왕복 이동을 위한 동력을 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320)로 전달할 수 있다.

구체적으로, 상기 모션 블록(340)은 중앙 블록부(341), 제1 사이드 블록부(342), 제2 사이드 블록부(343), 제1 샤프트 고정키(344) 및 제2 샤프트 고정키(345)를 포함할 수 있다.

상기 중앙 블록부(341)는 상기 이송 실린더 유닛(330)의 이송 샤프트(332)와 결합되어 상기 이송 실린더 유닛(330)으로부터 상기 제2 방향(D2)으로의 왕복 이동을 위한 동력을 제공받는다.

상기 제1 사이드 블록부(342)는 상기 중앙 블록부(341)의 일측부와 결합되고, 상기 제1 샤프트부(311)의 하단과 결합되어 상기 중앙 블록부(341)로 제공받은 동력을 상기 제1 샤프트부(311)로 전달한다. 이때, 상기 제1 사이드 블록부(342)에는 상기 제1 샤프트부(311)의 하단을 관통시켜 외부로 노출시키는 제1 샤프트 통과홀(342a)이 형성될 수 있다.

상기 제2 사이드 블록부(343)는 상기 일측부와 대향하는 상기 중앙 블록부(341)의 타측부와 결합되고, 상기 제2 샤프트부(321)의 하단과 결합되어 상기 중앙 블록부(341)로 제공받은 동력을 상기 제2 샤프트부(321)로 전달한다. 이때, 상기 제2 사이드 블록부(343)에는 상기 제2 샤프트부(321)의 하단을 관통시켜 외부로 노출시키는 제2 샤프트 통과홀(343a)이 형성될 수 있다. 한편, 상기 제1 및 제2 샤프트부들(311, 321) 중 적어도 하나의 내부에는 상기 푸쉬-풀 구동 조립체(200A)와 연결되어 유체를 전달하는 샤프트 전달통로가 형성되어 있을 수 있다.

상기 제1 샤프트 고정키(344)는 상기 제1 샤프트부(311)의 외표면에 형성된 홈에 끼워지도록 상기 제1 사이드 블록부(342)에 결합되어 상기 제1 샤프트부(311)를 고정시킨다. 이때, 상기 제1 사이드 블록부(342)에는 상기 제1 샤프트 고정키(344)와 결합되기 위한 제1 고정키 홈(342b)가 형성될 수 있다.

상기 제2 샤프트 고정키(345)는 상기 제2 샤프트부(321)의 외표면에 형성된 홈에 끼워지도록 상기 제2 사이드 블록부(343)에 결합되어 상기 제2 샤프트부(321)를 고정시킨다. 이때, 상기 제2 사이드 블록부(343)에는 상기 제2 샤프트 고정키(345)와 결합되기 위한 제2 고정키 홈(343b)가 형성될 수 있다.

한편, 상기 중앙 블록부(341)는 상기 하우징 하부(120)와 마주하는 상면, 상기 상면과 대향하는 하면, 상기 제1 샤프트부(311)와 대응되고 상기 상면의 일측과 상기 하면의 일측을 연결하는 제1 측면, 및 상기 제2 샤프트부(321)와 대응되고 상기 상면의 타측과 상기 하면의 타측을 연결하는 제2 측면을 포함할 수 있다.

본 실시예에서, 상기 제1 사이드 블록부(342)는 상기 중앙 블록부(341)의 하면의 일단부와 결합되고, 상기 제1 샤프트 홀더부(313)는 상기 중앙 블록부(341)의 제1 측면과 접하도록 배치될 수 있다. 이때, 상기 제1 사이드 블록부(342)는 상기 중앙 블록부(341)의 제1 측면과 연결되어 상기 제1 샤프트 홀더부(313)와의 접촉 면적을 증가시키기 위해 L-자로 절곡된 형상을 가질 수 있다.

또한, 상기 제2 사이드 블록부(343)는 상기 중앙 블록부(341)의 하면의 타단부와 결합되고, 상기 제2 샤프트 홀더부(323)는 상기 중앙 블록부(341)의 제2 측면과 접하도록 배치될 수 있다. 이때, 상기 제2 사이드 블록부(343)는 상기 중앙 블록부(341)의 제2 측면과 연결되어 상기 제2 샤프트 홀더부(323)와의 접촉 면적을 증가시키기 위해 L-자로 절곡된 형상을 가질 수 있다.

상기 제1 및 제2 LM 가이드 조립체들(350, 360)은 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320)과 각각 결합되어 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320) 각각의 상기 제2 방향(D2)으로의 운동을 가이드한다.

우선, 상기 제1 LM 가이드 조립체(350)는 제1 LM 가이드부(352) 및 제1 LM 서포터부(354)를 포함할 수 있다.

상기 제1 LM 가이드부(352)는 상기 제1 샤프트 홀더부(313)와 결합되어 상기 제1 샤프트부(311)의 상기 제2 방향(D2)으로의 왕복 운동을 가이드한다. 구체적으로, 상기 제1 LM 가이드부(352)는 제1 LM 레일(352a) 및 적어도 하나의 제1 LM 가이드블록(352b)을 포함할 수 있다. 상기 제1 LM 레일(352a)은 상기 제1 LM 서포터부(354)에 결합되고, 상기 제2 방향(D2)을 따라 길게 연장되어 형성된다. 상기 제1 LM 가이드블록(352b)은 한 쌍이 상기 제1 LM 레일(352a)에 배치될 수 있다. 상기 제1 LM 가이드블록(352b)의 일측은 상기 제1 샤프트 홀더부(313)와 결합되고, 상기 제1 LM 가이드블록(352b)의 타측은 상기 제1 LM 레일(352a)을 수용하도록 결합될 수 있다. 그 결과, 상기 제1 LM 가이드블록(352b)은 상기 제2 방향(D2)을 따라 왕복 이동이 가능할 수 있다.

상기 제1 LM 서포터부(354)는 상기 하우징 하부(120)에 결합되어 고정되고, 상기 제1 LM 가이드부(352)와 결합되어 지지한다. 구체적으로, 상기 제1 LM 서포터부(354)는 제1 수평 서포터 블록(354a), 제1 수직 서포터 블록(354b) 및 제1 결합 서포터 블록(354c)을 포함할 수 있다. 상기 제1 수평 서포터 블록(354a)은 상기 제1 LM 레일(352a)과 결합된다. 즉, 상기 제1 수평 서포터 블록(354a)의 일측면에는 상기 제1 LM 레일(352a)이 배치되어 고정된다. 상기 제1 수직 서포터 블록(354b)은 상기 제1 수평 서포터 블록(354a)과 수직하게 연결되어 지지한다. 상기 제1 결합 서포터 블록(354c)은 상기 제1 수평 서포터 블록(354a) 및 상기 제1 수직 서포터 블록(354b) 사이를 연결시키고, 상기 제1 수평 서포터 블록(354a) 및 상기 제1 수직 서포터 블록(354b)을 상기 하우징 하부(120)에 고정시킨다.

이어서, 상기 제2 LM 가이드 조립체(360)는 제2 LM 가이드부(362) 및 제2 LM 서포터부(364)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제2 LM 가이드 조립체(360)는 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320) 사이에 상기 제2 방향(D2)에 평행한 가상의 중심선을 기준으로, 상기 제1 LM 가이드 조립체(350)에 대칭되는 형상을 가질 수 있다.

상기 제2 LM 가이드부(362)는 상기 제2 샤프트 홀더부(323)와 결합되어 상기 제2 샤프트부(321)의 상기 제2 방향(D2)으로의 왕복 운동을 가이드한다. 구체적으로, 상기 제2 LM 가이드부(362)는 제2 LM 레일(362a) 및 적어도 하나의 제2 LM 가이드블록(362b)을 포함할 수 있다. 상기 제2 LM 레일(362a)은 상기 제2 LM 서포터부(364)에 결합되고, 상기 제2 방향(D2)을 따라 길게 연장되어 형성된다. 상기 제2 LM 가이드블록(362b)은 한 쌍이 상기 제2 LM 레일(362a)에 배치될 수 있다. 상기 제2 LM 가이드블록(362b)의 일측은 상기 제2 샤프트 홀더부(323)와 결합되고, 상기 제2 LM 가이드블록(362b)의 타측은 상기 제2 LM 레일(362a)을 수용하도록 결합될 수 있다. 그 결과, 상기 제2 LM 가이드블록(362b)은 상기 제2 방향(D2)을 따라 왕복 이동이 가능할 수 있다.

상기 제2 LM 서포터부(364)는 상기 하우징 하부(120)에 결합되어 고정되고, 상기 제2 LM 가이드부(362)와 결합되어 지지한다. 구체적으로, 상기 제2 LM 서포터부(364)는 제2 수평 서포터 블록(364a), 제2 수직 서포터 블록(364b) 및 제2 결합 서포터 블록(364c)을 포함할 수 있다. 상기 제2 수평 서포터 블록(364a)은 상기 제2 LM 레일(362a)과 결합된다. 즉, 상기 제2 수평 서포터 블록(364a)의 일측면에는 상기 제2 LM 레일(362a)이 배치되어 고정된다. 상기 제2 수직 서포터 블록(364b)은 상기 제2 수평 서포터 블록(364a)과 수직하게 연결되어 지지한다. 상기 제2 결합 서포터 블록(324c)은 상기 제2 수평 서포터 블록(364a) 및 상기 제2 수직 서포터 블록(364b) 사이를 연결시키고, 상기 제2 수평 서포터 블록(364a) 및 상기 제2 수직 서포터 블록(364b)을 상기 하우징 하부(120)에 고정시킨다.

이하, 별도의 도면들을 이용하여 상기 푸쉬-풀 구동 조립체(200A)을 자세하게 설명하고자 한다.

도 8은 도 3의 게이트 밸브에서 실링 모듈을 분해해서 도시한 분해 사시도이고, 도 9는 도 8의 일부를 확대해서 도시한 분해 사시도이며, 도 10은 도 9의 Ⅰ-Ⅰ'선을 따라 절단한 단면도이고, 도 11는 도 9의 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 절단한 단면도이며, 도 12은 도 1의 게이트 밸브를 제1 방향을 따라 제2 방향으로 절단한 단면도이다.

도 3 및 도 8 내지 도 12를 참조하면, 상기 푸쉬-풀 구동 조립체(200A)는 실링 몸체(210), 복수의 제1 푸쉬-풀 실린더들(220) 및 복수의 제2 푸쉬-풀 실린더들(230)을 포함할 수 있다.

상기 실링 몸체(210)는 상기 제1 방향(D1)을 따라 길게 연장된 형상을 갖는다. 상기 실링 몸체(210)는 상기 제1 실링 플레이트(202)와 마주하는 일측면에 복수의 제1 실린더 장착홈들(212)이 상기 제1 방향(D1)을 따라 이격되어 형성되고, 상기 제2 실링 플레이트(204)와 마주하는 타측면에 복수의 제2 실린더 장착홈들(214)이 상기 제1 실린더 장착홈들과 각각 대응되게 형성된다. 이때, 상기 실링 몸체(210)의 내부에는 유체의 전달을 위한 몸체 전달통로(BP)가 형성된다.

상기 제1 푸쉬-풀 실린더들(220)은 상기 제1 실린더 장착홈들(212) 각각에 삽입되어 상기 제1 실링 플레이트(202)와 결합되고, 상기 몸체 전달통로(BP)에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제1 실링 플레이트(202)를 밀거나 당긴다.

구체적으로, 상기 제1 푸쉬-풀 실린더들(220) 각각은 제1 피스톤 몸체부(221), 제1 실린더 커버부(222), 제1 피스톤 축부(223), 제1 푸쉬-풀 밸로우즈부(224) 및 제1 결합 블록부(225)를 포함할 수 있다. 상기 제1 피스톤 몸체부(221)는 상기 제1 실린더 장착홈(212) 내에 배치되어, 상기 몸체 전달통로(BP)에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제3 방향(D3)을 따라 피스톤 운동을 수행할 수 있다. 상기 제1 실린더 커버부(222)는 상기 제1 실린더 장착홈(212)을 덮도록 상기 실링 몸체(210)의 일측면에 결합된다. 상기 제1 피스톤 축부(223)는 일측이 상기 제1 피스톤 몸체부(221)과 연결되고, 상기 일측과 대향하는 타측이 상기 제1 실린터 커버부(222)를 관통하여 상기 제1 실링 플레이트(202)와 연결된다. 상기 제1 푸쉬-풀 밸로우즈부(224)는 상기 제1 실린터 커버부(222) 및 상기 제1 피스톤 몸체부(221) 사이에 배치되어 상기 제1 피스톤 축부(221)을 감싸도록 밀봉하고, 상기 제1 피스톤 몸체부(221)의 운동에 의해 수축 및 팽창된다. 상기 제1 결합 블록부(225)는 상기 제1 피스톤 축부(223)의 타측을 상기 제1 실링 플레이트(202)에 결합시킨다.

본 실시예에서, 상기 제1 실링 플레이트(202)의 일면에는 상기 제1 개구(112)를 밀봉시키기 위한 제1 오링부(202a)가 배치될 수 있다. 또한, 상기 일면에 대향하는 상기 제1 실링 플레이트(202)의 타면에는 상기 제1 결합 블록부들(225)과 각각 결합되기 위한 복수의 제1 블록 결함홈들(202b)이 형성되어 있을 수 있다. 한편, 상기 제1 결합 블록부들(225) 중 적어도 하나(225a)는 상기 제1 실링 플레이트(202)와 나사 결합되기 위해 상기 제1 방향(D1) 또는 상기 제2 방향(D2)을 따라 길게 연장된 형상을 가질 수 있다.

상기 제2 푸쉬-풀 실린더들(230)은 상기 제2 실린더 장착홈들(214) 각각에 삽입되어 상기 제2 실링 플레이트(204)와 결합되고, 상기 몸체 전달통로(BP)에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제2 실링 플레이트(204)를 밀거나 당긴다.

구체적으로, 상기 제2 푸쉬-풀 실린더들(230) 각각은 제2 피스톤 몸체부(231), 제2 실린더 커버부(232), 제2 피스톤 축부(233), 제2 푸쉬-풀 밸로우즈부(234) 및 제2 결합 블록부(235)를 포함할 수 있다. 상기 제2 피스톤 몸체부(231)는 상기 제2 실린더 장착홈(214) 내에 배치되어, 상기 몸체 전달통로(BP)에 의한 유체의 전달에 의해 상기 제3 방향(D3)을 따라 피스톤 운동을 수행할 수 있다. 상기 제2 실린더 커버부(232)는 상기 제2 실린더 장착홈(214)을 덮도록 상기 실링 몸체(210)의 타측면에 결합된다. 상기 제2 피스톤 축부(233)는 일측이 상기 제2 피스톤 몸체부(231)과 연결되고, 상기 일측과 대향하는 타측이 상기 제2 실린터 커버부(232)를 관통하여 상기 제2 실링 플레이트(204)와 연결된다. 상기 제2 푸쉬-풀 밸로우즈부(234)는 상기 제2 실린터 커버부(232) 및 상기 제2 피스톤 몸체부(231) 사이에 배치되어 상기 제2 피스톤 축부(231)을 감싸도록 밀봉하고, 상기 제2 피스톤 몸체부(231)의 운동에 의해 수축 및 팽창된다. 상기 제2 결합 블록부(235)는 상기 제2 피스톤 축부(233)의 타측을 상기 제2 실링 플레이트(204)에 결합시킨다.

본 실시예에서, 상기 제2 실링 플레이트(204)의 일면에는 상기 제1 개구(114)를 밀봉시키기 위한 제2 오링부(204a)가 배치될 수 있다. 또한, 상기 일면에 대향하는 상기 제2 실링 플레이트(204)의 타면에는 상기 제2 결합 블록부들(235)과 각각 결합되기 위한 복수의 제2 블록 결함홈들(204b)이 형성되어 있을 수 있다. 한편, 상기 제2 결합 블록부들(235) 중 적어도 하나(235a)는 상기 제2 실링 플레이트(204)와 나사 결합되기 위해 상기 제1 방향(D1) 또는 상기 제2 방향(D2)을 따라 길게 연장된 형상을 가질 수 있다.

도 13은 도 12의 Ⅲ-Ⅲ'선을 따라 절단한 단면도이고, 도 14는 도 13의 A 부분을 확대해서 도시한 단면도이며, 도 15는 도 12의 Ⅳ-Ⅳ'선을 따라 절단한 단면도이고, 도 16은 도 15의 B 부분을 확대해서 도시한 단면도이다.

도 8 내지 도 12 및 도 13 내지 도 16을 참조하면, 상기 실링 몸체(210) 내에 형성된 상기 몸체 전달통로(BP)는 몸체 전달 푸쉬통로(BPH) 및 몸체 전달 풀통로(PBL)를 포함할 수 있다. 상기 몸체 전달 푸쉬통로(BPH)는 상기 제1 방향(D1)을 따라 길게 연장되어, 푸쉬(push)를 위한 유체를 전달한다. 상기 몸체 전달 풀통로(PBL)는 상기 몸체 전달 푸쉬통로(BPH)와 대응되게 상기 제1 방향(D1)을 따라 길게 연장되어, 풀(pull)을 위한 유체를 전달한다.

상기 실링 몸체(210)에는 상기 제1 실린더 장착홈들(212)과 상기 제2 실린더 장착홈들(214) 사이 각각에 푸쉬 수용홀들(216)이 형성될 수 있다. 이때, 상기 몸체 전달 푸쉬통로(BPH)는 상기 푸쉬 수용홀들(216) 각각과 연결되어 상기 푸쉬를 위한 유체를 상기 푸쉬 수용홀들(216) 각각으로 전달할 수 있고, 그 결과 상기 제1 피스톤 몸체부(221) 및 상기 제2 피스톤 몸체부(232)가 중심에서 외곽으로 이동하여 상기 제1 및 제2 실링 플레이트들(202, 204) 각각을 푸쉬할 수 있다.

상기 제1 실린더 커버부들(222)과 마주하는 상기 제1 피스톤 몸체부들(221)의 일측면에는 상기 몸체 전달 풀통로(BPL)로부터 풀을 위한 유체를 제공받는 제1 풀 수용홈들(221a)이 형성될 수 있다. 또한, 상기 제2 실린더 커버부들(232)과 마주하는 상기 제2 피스톤 몸체부들(231)의 일측면에도 상기 몸체 전달 풀통로(BPL)로부터 풀을 위한 유체를 제공받는 제2 풀 수용홈들(231a)이 형성될 수 있다.

상기 제1 실린더 커버부들(222) 각각은 상기 제1 풀 수용홈(221a)에 수용되도록 돌출된 제1 커버 돌출부(222a)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제1 커버 돌출부(222a)는 상기 제1 풀 수용홈(221a)에 밀착되어 수용되는 것이 아니라 유체의 이동이 가능하도록 상기 제1 풀 수용홈(221a)에 일정 간격 이격되어 형성된다. 또한, 상기 제2 실린더 커버부들(232) 각각은 상기 제2 풀 수용홈(231a)에 수용되도록 돌출된 제2 커버 돌출부(232a)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제2 커버 돌출부(232a)도 상기 제2 풀 수용홈(231a)에 밀착되어 수용되는 것이 아니라 유체의 이동이 가능하도록 상기 제2 풀 수용홈(231a)에 일정 간격 이격되어 형성된다.

상기 제1 실린더 커버부들(222) 각각에는 상기 제1 풀 수용홈(221a)에 의해 형성된 상기 제1 피스톤 몸체부(221)의 측벽을 수용하는 제1 커버 수용홈(222b)이 형성될 수 있다. 또한, 상기 제2 실린더 커버부들(232) 각각에도 상기 제2 풀 수용홈(231a)에 의해 형성된 상기 제2 피스톤 몸체부(231)의 측벽을 수용하는 제2 커버 수용홈(232b)이 형성될 수 있다.

한편, 상기 실링 몸체(210)에는 제1 풀 연결 통로들(BCL1) 및 제2 풀 연결 통로들(BCL2)이 더 형성될 수 있다.

상기 제1 풀 연결 통로들(BCL1)은 상기 몸체 전달 풀통로(BPL)를 상기 제1 커버 수용홈들(222b)로 각각 연결시킨다. 이때, 상기 제1 커버 수용홈들(222b) 각각의 일부는 상기 제1 풀 연결 통로(BCL1)와 연결되기 위해 일측으로 연장된 형상을 가질 수 있다. 그 결과, 상기 몸체 전달 풀통로(BPL)에서 상기 제1 풀 연결 통로들(BCL1) 각각으로 전달되는 유체는 상기 제1 커버 수용홈(222b)을 경유해 상기 제1 풀 수용홈(221a)으로 전달될 수 있다.

상기 제2 풀 연결 통로들(BCL2)도 상기 몸체 전달 풀통로(BPL)를 상기 제2 커버 수용홈들(232b)로 각각 연결시킨다. 이때, 상기 제2 커버 수용홈들(232b) 각각의 일부는 상기 제2 풀 연결 통로(BCL2)와 연결되기 위해 일측으로 연장된 형상을 가질 수 있다. 이때, 상기 몸체 전달 풀통로(BPL)에서 상기 제2 풀 연결 통로들(BCL2) 각각으로 전달되는 유체도 상기 제2 커버 수용홈(232b)을 경유해 상기 제2 풀 수용홈(231a)으로 전달될 수 있다.

이하, 별도의 도면들을 이용하여 상기 제1 푸쉬-풀 실린더들(220) 및 상기 제2 푸쉬-풀 실린더들(230) 각각으로 유체를 전달하기 위한 통로에 대하여 상세하게 설명하고자 한다.

도 17은 도 12의 Ⅴ-Ⅴ'선을 따라 절단한 단면도이고, 도 18은 도 12의 Ⅵ-Ⅵ'선을 따라 절단한 단면도이다.

도 12 내지 도 16 및 도 17 내지 도 18을 참조하면, 상기 이송 모듈(300)에는 상기 몸체 전달통로(BP)와 연결되어 유체를 전달하는 샤프트 전달통로(SP)가 형성되어 있을 수 있다.

상기 몸체 전달통로(BP)는 상기 몸체 전달 푸쉬통로(BPH) 및 상기 몸체 전달 풀통로(BPL)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 샤프트 전달통로(SP)도 샤프트 전달 푸쉬통로(SPH) 및 샤프트 전달 풀통로(SPL)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 샤프트 전달 푸쉬통로(SPH)는 상기 몸체 전달 푸쉬통로(BPH)와 연결되고, 상기 샤프트 전달 풀통로(SPL)는 상기 몸체 전달 풀통로(BPL)와 연결된다.

한편, 상기 제1 푸쉬-풀 실린더들(220)은 상기 실링 몸체(210)의 상기 제1 방향(D1)으로의 중심을 기준으로 일측에 배치된 제1 푸쉬-풀 일측 실린더들 및 상기 실링 몸체(210)의 상기 제1 방향(D1)으로의 중심을 기준으로 타측에 배치된 제1 푸쉬-풀 타측 실린더들로 구분될 수 있다. 또한, 상기 제2 푸쉬-풀 실린더들(230)은 상기 실링 몸체(210)의 상기 제1 방향(D1)으로의 중심을 기준으로 일측에 배치된 제2 푸쉬-풀 일측 실린더들 및 상기 실링 몸체(210)의 상기 제1 방향(D1)으로의 중심을 기준으로 타측에 배치된 제2 푸쉬-풀 타측 실린더들로 구분될 수 있다.

상기 몸체 전달 푸쉬통로(BPH)는 상기 제1 푸쉬-풀 일측 실린더들 각각과 상기 제2 푸쉬-풀 일측 실린더들 각각에 연결된 제1 몸체 푸쉬통로(BPH1), 및 상기 제1 푸쉬-풀 타측 실린더들 각각과 상기 제2 푸쉬-풀 타측 실린더들 각각에 연결된 제2 몸체 푸쉬통로(BPH2)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 몸체 전달 풀통로(BPL)는 상기 제1 푸쉬-풀 일측 실린더들 각각과 상기 제2 푸쉬-풀 일측 실린더들 각각에 연결된 제1 몸체 풀통로(BPL1), 및 상기 제1 푸쉬-풀 타측 실린더들 각각과 상기 제2 푸쉬-풀 타측 실린더들 각각에 연결된 제2 몸체 풀통로(BPL2)를 포함할 수 있다.

상기 샤프트 전달 푸쉬통로(SPH)는 상기 제1 몸체 푸쉬통로(BPH1)와 연결된 제1 샤프트 푸쉬통로(SPH1), 및 상기 제2 몸체 푸쉬통로(BPH2)와 연결된 제2 샤프트 푸쉬통로(SPH2)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 샤프트 전달 풀통로(SPL)는 상기 제1 몸체 풀통로(BPL1)와 연결된 제1 샤프트 푸쉬통로(SPL1), 및 상기 제2 몸체 풀통로(BPL2)와 연결된 제2 샤프트 푸쉬통로(SPL2)를 포함할 수 있다.

본 실시예에서, 상기 제1 샤프트 푸쉬통로(SPH1) 및 상기 제1 샤프트 푸쉬통로(SPL1)는 상기 제1 샤프트 조립체(310)의 제1 샤프트부(311) 내에 형성되고, 상기 제1 샤프트 연결부(312) 및 상기 실링 몸체(210) 내로 연장되어 상기 제1 몸체 푸쉬통로(BPH1) 및 상기 제1 몸체 풀통로(BPL1)와 각각 연결될 수 있다. 또한, 상기 제2 샤프트 푸쉬통로(SPH2) 및 상기 제2 샤프트 푸쉬통로(SPL2)도 상기 제2 샤프트 조립체(320)의 제2 샤프트부(321) 내에 형성되고, 상기 제2 샤프트 연결부(322) 및 상기 실링 몸체(210) 내로 연장되어 상기 제2 몸체 푸쉬통로(BPH2) 및 상기 제2 몸체 풀통로(BPL2)와 각각 연결될 수 있다.

한편, 상기 제1 샤프트 푸쉬통로(SPH1) 및 상기 제1 샤프트 푸쉬통로(SPL1)는 상기 제1 샤프트부(311)가 상기 제1 사이드 블록부(342)를 관통하여 노출됨에 따라 외부의 유체를 제공하는 유체 전달 제어 모듈(미도시)과 연결될 수 있다. 또한, 상기 제2 샤프트 푸쉬통로(SPH2) 및 상기 제2 샤프트 푸쉬통로(SPL2)는 상기 제2 샤프트부(321)가 상기 제2 사이드 블록부(343)를 관통하여 노출됨에 따라 상기 유체 전달 제어 모듈과 연결될 수 있다.

이와 같이 본 실시예에 따르면, 상기 실링 모듈(200)을 이동시키는 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320)이 상기 제1 및 제2 LM 가이드 조립체들(350, 360)에 의해 가이드되어 이동됨에 따라, 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320)에 의한 상기 실링 모듈(200)의 이동이 안정적으로 수행될 수 있다. 즉, 상기 게이트 밸브가 수직하게 배치되어 상기 실링 모듈(200)의 이동시 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320)에 강한 하중이 발생된다하더라도 상기 제1 및 제2 LM 가이드 조립체들(350, 360)이 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320) 각각을 지지함으로써 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320)로의 강한 하중을 완화시킬 수 있고, 이로 인해 상기 실링 모듈(200)의 이동시 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들(310, 320)에서 발생되는 마찰 및 소음 등을 최소화시킬 수 있다.

또한, 상기 제1 실링 플레이트(202)를 이동시키는 상기 제1 푸쉬-풀 실린더들(220) 및 상기 제2 실링 플레이트(204)를 이동시키는 제2 푸쉬-풀 실린더들(230)이 상기 실링 몸체(200)의 제1 실린더 장착홈들(212) 및 제2 실린더 장착홈들(214) 각각에 장착됨에 따라, 상기 실링 모듈(200)의 두께, 부피 및 무게 등을 감소시킬 수 있다.

또한, 상기 실링 몸체(200)에 장착된 상기 제1 푸쉬-풀 실린더들(220) 및 상기 제2 푸쉬-풀 실린더들(230)이 상기 실링 몸체(210) 자체 내에 형성된 상기 몸체 전달통로(BP)를 통해 유체가 전달되어 동작됨에 따라, 상기 실링 모듈(200)의 두께, 부피 및 무게 등을 더욱 감소시킬 뿐만 아니라 유체의 전달를 위한 별도의 부재가 생략할 수 있어 상기 게이트 밸브의 비용 절감 효과도 있다.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

100 : 하우징 모듈 110 : 하우징 몸체
112 : 제1 개구 114 : 제2 개구
116 : 측면 윈도우 120 : 하우징 하부
130 : 하우징 상부 132 : 상면 윈도우
200 : 실링 모듈 202 : 제1 실링 플레이트
202a : 제1 오링부 202b : 제1 블록 결합홈
204 : 제2 실링 플레이트 204a : 제2 오링부
204b : 제2 블록 결합홈 200A : 푸쉬-풀 구동 조립체
210 : 실링 몸체 212 : 제1 실린더 장착홈
214 : 제2 실린더 장착홈 216 : 푸쉬 수용홀
220 : 제1 푸쉬-풀 실린더 221 : 제1 피스톤 몸체부
221a : 제1 풀 수용홈 222 : 제1 실린더 커버부
222a : 제1 커버 돌출부 222b : 제1 커버 수용홈
223 : 제1 피스톤 축부 224 : 제1 푸쉬-풀 밸로우즈부
225 : 제1 결합 블록부 225a : 제1 결합 블록부의 일부
230 : 제2 푸쉬-풀 실린더 231 : 제2 피스톤 몸체부
231a : 제2 풀 수용홈 232 : 제2 실린더 커버부
232a : 제2 커버 돌출부 232b : 제2 커버 수용홈
233 : 제2 피스톤 축부 234 : 제2 푸쉬-풀 밸로우즈부
235 : 제2 결합 블록부 235a : 제2 결합 블록부의 일부
300 : 이송 모듈 310 : 제1 샤프트 조립체
311 : 제1 샤프트부 312 : 제1 샤프트 연결부
313 : 제1 샤프트 홀더부 313a : 제1 홀더 몸체
313b : 제1 홀더 커버 314 : 제1 샤프트 결합부
315 : 제1 샤프트 밸로우즈부 320 : 제2 샤프트 조립체
321 : 제2 샤프트부 322 : 제2 샤프트 연결부
323 : 제2 샤프트 홀더부 323a : 제2 홀더 몸체
323b : 제2 홀더 커버 324 : 제2 샤프트 결합부
325 : 제2 샤프트 밸로우즈부 330 : 이송 실린더 유닛
332 : 이송 샤프트 340 : 모션 블록
341 : 중앙 블록부 342 : 제1 사이드 블록부
342a : 제1 샤프트 통과홀 342b : 제1 고정키홈
343 : 제2 사이드 블록부 343a : 제2 샤프트 통과홀
343b : 제2 고정키홈 344 : 제1 샤프트 고정키
345 : 제2 샤프트 고정키 350 : 제1 LM 가이드 조립체
352 : 제1 LM 가이드부 352a : 제1 LM 레일부
352b : 제1 LM 가이드블록 354 : 제1 LM 서포터부
354a : 제1 수평 서포터블록 354b : 제1 수직 서포터블록
354c : 제1 결합 서포터블록 360 : 제2 LM 가이드 조립체
362 : 제2 LM 가이드부 362a : 제2 LM 레일부
362b : 제2 LM 가이드블록 364 : 제2 LM 서포터부
364a : 제2 수평 서포터블록 364b : 제2 수직 서포터블록
364c : 제2 결합 서포터블록 BP : 몸체 전달통로
BPH : 몸체 전달 푸쉬통로 BPH1 : 제1 몸체 푸쉬통로
BPH2 : 제2 몸체 푸쉬통로 BPL : 몸체 전달 풀통로
BPL1 : 제1 몸체 풀통로 BPL2 : 제2 몸체 풀통로
BCL1 : 제1 풀 연결통로 BCL2 : 제2 풀 연결통로
SP : 샤프트 전달통로 SPH : 샤프트 전달 푸쉬통로
SPH1 : 제1 샤프트 푸쉬통로 SPH2 : 제2 샤프트 푸쉬통로
SPL : 샤프트 전달 풀통로 SPL1 : 제1 샤프트 풀통로
SPL2 : 제2 샤프트 풀통로

Claims

내부 공간을 갖고, 제1 방향으로 길게 연장된 형상을 갖는 제1 및 제2 개구들이 형성된 하우징 모듈;
상기 하우징 모듈 내에 배치되고, 상기 제1 및 제2 개구들과 대응되도록 상기 제1 방향으로 길게 연장된 형상을 갖으며, 유체의 전달에 의해 푸쉬-풀(push-pull) 동작을 수행하는 실링 모듈; 및
상기 하우징 모듈 외부에 배치되고, 상기 실링 모듈을 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 왕복 이동시키는 이송 모듈을 포함하고,
상기 이송 모듈은
상기 제2 방향을 따라 길게 연장된 형상을 갖고, 일측이 상기 하우징 모듈을 관통하여 상기 실링 모듈과 연결된 제1 및 제2 샤프트 조립체들;
상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들 사이에 배치되고, 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들이 상기 제2 방향을 따라 왕복 이동되도록 동력을 제공하는 적어도 하나의 이송 실린더 유닛;
상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들과 각각 결합되어 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들 각각의 상기 제2 방향으로의 운동을 가이드하는 제1 및 제2 LM(Linear Motion) 가이드 조립체들; 및
상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들 사이를 연결하여, 상기 이송 실린더 유닛에서 제공되는 상기 제2 방향으로의 동력을 상기 제1 및 제2 샤프트 조립체들로 전달하는 모션 블록을 포함하고,
상기 하우징 모듈은
상기 제2 방향으로 서로 대응되는 일측과 타측이 오픈(open)되어 있고, 상기 제1 및 제2 개구들이 형성되어 있는 하우징 몸체;
상기 이송 모듈과 마주하는 상기 하우징 몸체의 하측을 커버하는 하우징 하부; 및
상기 하우징 몸체의 타측을 커버하는 하우징 상부를 포함하며,
상기 제1 샤프트 조립체는
상기 제2 방향을 따라 길게 연장된 형상을 갖고, 일단이 상기 하우징 하부를 관통하여 상기 실링 모듈과 연결되며, 상기 일단과 대향하는 타단이 상기 모션 블록과 연결된 제1 샤프트부;
상기 하우징 모듈의 외부에 배치되고, 상기 제1 샤프트부의 일부를 감싸서 상기 제1 샤프트부를 지지하는 제1 샤프트 홀더부; 및
상기 실링 모듈과 상기 제1 샤프트 홀더부 사이에 상기 제1 샤프트부의 일부를 감싸서 밀봉하도록 배치되고, 상기 제1 샤프트부의 상기 제2 방향으로의 왕복 이동에 따라 수축 및 팽창되는 제1 샤프트 밸로우즈부를 포함하고,
상기 제2 샤프트 조립체는
상기 제2 방향을 따라 길게 연장된 형상을 갖고, 일단이 상기 하우징 하부를 관통하여 상기 실링 모듈과 연결되며, 상기 일단과 대향하는 타단이 상기 모션 블록과 연결된 제2 샤프트부;
상기 하우징 모듈의 외부에 배치되고, 상기 제2 샤프트부의 일부를 감싸서 상기 제2 샤프트부를 지지하는 제2 샤프트 홀더부; 및
상기 실링 모듈과 상기 제2 샤프트 홀더부 사이에 상기 제2 샤프트부의 일부를 감싸서 밀봉하도록 배치되고, 상기 제2 샤프트부의 상기 제2 방향으로의 왕복 이동에 따라 수축 및 팽창되는 제2 샤프트 밸로우즈부를 포함하는 게이트 밸브.
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제1항에 있어서, 상기 제1 샤프트 조립체는
상기 제1 샤프트부의 일단을 상기 실링 모듈의 일면에 연결시키는 제1 샤프트 연결부를 더 포함하고,
상기 제2 샤프트 조립체는
상기 제2 샤프트부의 일단을 상기 실링 모듈의 일면에 연결시키는 제2 샤프트 연결부를 더 포함하는 게이트 밸브.
제1항에 있어서, 상기 제1 샤프트 조립체는
상기 하우징 모듈의 외부에 배치되고, 상기 제1 샤프트부를 상기 하우징 하부에 결합시키는 제1 샤프트 결합부를 더 포함하고,
상기 제2 샤프트 조립체는
상기 하우징 모듈의 외부에 배치되고, 상기 제2 샤프트부를 상기 하우징 하부에 결합시키는 제2 샤프트 결합부를 더 포함하는 게이트 밸브.
제1항에 있어서, 상기 제1 샤프트 홀더부는
상기 제1 샤프트부의 일부를 수용하는 제1 홀더 몸체홈을 갖는 제1 홀더 몸체; 및
상기 제1 홀더 몸체홈에 대응하여 제1 홀더 커버홈을 갖고, 상기 제1 홀더 몸체와 결합되어 상기 제1 샤프트부의 일부를 감싸서 지지하는 제1 홀더 커버를 포함하고,
상기 제2 샤프트 홀더부는
상기 제2 샤프트부의 일부를 수용하는 제2 홀더 몸체홈을 갖는 제2 홀더 몸체; 및
상기 제2 홀더 몸체홈에 대응하여 제2 홀더 커버홈을 갖고, 상기 제2 홀더 몸체와 결합되어 상기 제2 샤프트부의 일부를 감싸서 지지하는 제2 홀더 커버를 포함하는 게이트 밸브.
제1항에 있어서, 상기 모션 블록은
상기 이송 실린더 유닛과 결합되어 상기 이송 실린더 유닛으로부터 상기 제2 방향으로의 이동 동력을 제공받는 중앙 블록부;
상기 중앙 블록부의 일측부와 결합되고, 상기 제1 샤프트부의 하단과 결합되어 상기 중앙 블록부로 제공받은 동력을 상기 제1 샤프트부로 전달하는 제1 사이드 블록부; 및
상기 일측부와 대향하는 상기 중앙 블록부의 타측부와 결합되고, 상기 제2 샤프트부의 하단과 결합되어 상기 중앙 블록부로 제공받은 동력을 상기 제2 샤프트부로 전달하는 제2 사이드 블록부를 포함하는 게이트 밸브.
제9항에 있어서, 상기 제1 사이드 블록부에는
상기 제1 샤프트부의 하단을 관통시켜 외부로 노출시키는 제1 샤프트 통과홀이 형성되고,
상기 제2 사이드 블록부에는
상기 제2 샤프트부의 하단을 관통시켜 외부로 노출시키는 제2 샤프트 통과홀이 형성되는 게이트 밸브.
제10항에 있어서, 상기 모션 블록은
상기 제1 샤프트부의 외표면에 끼워지도록 상기 제1 사이드 블록부에 결합되어 상기 제1 샤프트부를 고정시키는 제1 샤프트 고정키; 및
상기 제2 샤프트부의 외표면에 끼워지도록 상기 제2 사이드 블록부에 결합되어 상기 제2 샤프트부를 고정시키는 제2 샤프트 고정키를 더 포함하는 게이트 밸브.
제10항에 있어서, 상기 제1 및 제2 샤프트부들 중 적어도 하나의 내부에는
상기 실링 모듈과 연결되어 유체를 전달하는 샤프트 전달통로가 형성되어 있는 게이트 밸브.
제10항에 있어서, 상기 중앙 블록부는 상기 하우징 하부와 마주하는 상면, 상기 상면과 대향하는 하면, 상기 제1 샤프트부와 대응되고 상기 상면의 일측과 상기 하면의 일측을 연결하는 제1 측면, 및 상기 제2 샤프트부와 대응되고 상기 상면의 타측과 상기 하면의 타측을 연결하는 제2 측면을 포함하고,
상기 제1 사이드 블록부는 상기 중앙 블록부의 하면의 일단부와 결합되고, 상기 제1 샤프트 홀더부는 상기 중앙 블록부의 제1 측면과 접하도록 배치되며,
상기 제2 사이드 블록부는 상기 중앙 블록부의 하면의 타단부와 결합되고, 상기 제2 샤프트 홀더부는 상기 중앙 블록부의 제2 측면과 접하도록 배치되는 게이트 밸브.
제13항에 있어서, 상기 제1 사이드 블록부는 상기 중앙 블록부의 제1 측면과 연결되어 상기 제1 샤프트 홀더부와의 접촉 면적을 증가시키기 위해 L-자로 절곡된 형상을 갖고,
상기 제2 사이드 블록부는 상기 중앙 블록부의 제2 측면과 연결되어 상기 제2 샤프트 홀더부와의 접촉 면적을 증가시키기 위해 L-자로 절곡된 형상을 갖는 게이트 밸브.
제1항에 있어서, 상기 제1 LM 가이드 조립체는
상기 제1 샤프트 홀더부와 결합되어 상기 제1 샤프트부의 상기 제2 방향으로의 운동을 가이드하는 제1 LM 가이드부; 및
상기 하우징 하부에 결합되어 고정되고, 상기 제1 LM 가이드부와 결합되어 지지하는 제1 LM 서포터부를 포함하고,
상기 제2 LM 가이드 조립체는
상기 제2 샤프트 홀더부와 결합되어 상기 제2 샤프트부의 상기 제2 방향으로의 운동을 가이드하는 제2 LM 가이드부; 및
상기 하우징 하부에 결합되어 고정되고, 상기 제2 LM 가이드부와 결합되어 지지하는 제2 LM 서포터부를 포함하는 게이트 밸브.
제15항에 있어서, 상기 제1 LM 가이드부는
상기 제1 LM 서포터부에 결합되고, 상기 제2 방향을 따라 길게 연장되어 형성된 제1 LM 레일; 및
일측이 상기 제1 샤프트 홀더부와 결합되고, 타측이 상기 제1 LM 레일을 수용하도록 결합되어 상기 제2 방향을 따라 왕복 이동이 가능한 적어도 하나의 제1 LM 가이드블록을 포함하고,
상기 제2 LM 가이드부는
상기 제2 LM 서포터부에 결합되고, 상기 제2 방향을 따라 길게 연장되어 형성된 제2 LM 레일; 및
일측이 상기 제2 샤프트 홀더부와 결합되고, 타측이 상기 제2 LM 레일을 수용하도록 결합되어 상기 제2 방향을 따라 왕복 이동이 가능한 적어도 하나의 제2 LM 가이드블록을 포함하는 게이트 밸브.
제16항에 있어서, 상기 제1 LM 서포터부는
상기 제1 LM 레일이 배치되는 제1 수평 서포터 블록;
상기 제1 수평 서포터 블록과 수직하게 연결되어 지지하는 제1 수직 서포터 블록; 및
상기 제1 수평 서포터 블록 및 상기 제1 수직 서포터 블록 사이를 연결시키고, 상기 제1 수평 서포터 블록 및 상기 제1 수직 서포터 블록을 상기 하우징 모듈의 하부에 결합시키는 제1 결합 서포터 블록을 포함하고,
상기 제2 LM 서포터부는
상기 제2 LM 레일이 배치되는 제2 수평 서포터 블록;
상기 제2 수평 서포터 블록과 수직하게 연결되어 지지하는 제2 수직 서포터 블록; 및
상기 제2 수평 서포터 블록 및 상기 제2 수직 서포터 블록 사이를 연결시키고, 상기 제2 수평 서포터 블록 및 상기 제2 수직 서포터 블록을 상기 하우징 모듈의 하부에 결합시키는 제2 결합 서포터 블록을 포함하는 게이트 밸브.