KR101478249B1 - 웨이퍼 정렬 방법 및 이를 이용한 정렬 장비 - Google Patents

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Abstract

웨이퍼 정렬 방법은 카메라를 이용하여 작업 테이블에 안착된 웨이퍼 및 노치의 화상을 인식하는 단계; 노치 포인트를 지정하는 단계; 기준선을 도출하는 단계; 기준선의 중심점을 지정하는 단계; 중심점으로부터 기준선을 기준으로 지시각을 갖는 가상선을 도출하는 단계; 가상선을 이용하여 웨이퍼의 중심선을 도출하는 단계; 및 작업 테이블의 정렬선과, 웨이퍼의 중심선이 일치되도록 정렬 장치를 이용하여 웨이퍼를 정렬하는 단계를 포함한다. 노치 포인트는, 노치의 제 1 입구점 및 노치의 제 2 입구점이고, 기준선은, 제 1 입구점 및 제 2 입구점을 가로지르는 직선이며, 중심점은, 제 1 입구점 및 제 2 입구점과 동일한 거리를 갖는 기준선 상의 일점이고, 가상선은, 중심점을 통과하고, 기준선을 기준으로 웨이퍼의 좌측 방향으로 지시각을 이루는 제 1 가상선 및 중심점을 통과하고, 기준선을 기준으로 웨이퍼의 우측 방향으로 지시각을 이루는 제 2 가상선이다.
노치 포인트, 기준선, 중심점, 지시각, 가상선, 중심선, 정렬 장치

Description

웨이퍼 정렬 방법 및 이를 이용한 정렬 장비{Method for alignment of wafer and aligning equipment using of it}
본 발명은 웨이퍼 정렬 방법 및 이를 이용한 정렬 장비에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 장비의 인식률을 향상시켜서 인식 오류로 인한 웨이퍼의 가공 불량을 방지할 수 있게 하는 웨이퍼 정렬 방법 및 이를 이용한 정렬 장비에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼는 블레이드(Blade)나 레이저 컷팅(Laser Cutting)을 이용하는 소윙(Sawing) 장비를 통해 절단되어 다수개의 반도체 칩이 된다.
이러한 소윙 장비의 웨이퍼 척 테이블에 안착되는 웨이퍼는, 장비에 설치된 카메라를 통해 인식되고, 장비는 화상을 판독하여 웨이퍼의 기준선과 웨이퍼 척 테이블의 정렬선을 일치시키는 정렬 장치를 구비한다.
통상적으로, 종래의 정렬 장치는 카메라가 웨이퍼의 표면에 형성된 볼이나 라인 등을 인식하여 웨이퍼의 중심선을 도출하는 방식이었다.
그러나, 이러한 종래의 웨이퍼 정렬 방법은, 웨이퍼의 표면에 형성된 볼이나 라인이 변형되는 경우에는 인식 오류가 발생되어 소윙 불량이 발생되거나, 웨이퍼 의 표면을 보호하기 위하여 웨이퍼 표면에 수지층이 도포되어 카메라가 웨이퍼 표면의 볼이나 라인 등 패턴이나 얼라인 키(Align Key) 등을 인식하기 어려워서 웨이퍼 정렬이 불가능해지는 문제점이 있었다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 3 포인트(중심점, 제 1 가상점, 제 2 가상점)를 이용하여 장비의 인식률을 높이고, 정확도를 향상시키며, 인식 오류를 방지하여 후속 공정에서의 웨이퍼 가공 불량을 사전에 예방할 수 있게 하는 웨이퍼 정렬 방법 및 이를 이용한 정렬 장비를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 웨이퍼 정렬 방법은, 카메라를 이용하여 작업 테이블에 안착된 웨이퍼 및 노치의 화상을 인식하는 화상 인식 단계; 인식된 화상에서 상기 노치의 적어도 하나 이상의 노치 포인트를 지정하는 노치 포인트 지정 단계; 인식된 화상에서 상기 노치 포인트를 이용하여 적어도 하나 이상의 기준선을 도출하는 기준선 도출 단계; 인식된 화상에서 상기 기준선의 중심점을 지정하는 중심점 지정 단계; 인식된 화상에서 상기 중심점으로부터 상기 기준선을 기준으로 지시각을 갖는 가상선을 도출하는 가상선 도출 단계; 인식된 화상에서 상기 가상선을 이용하여 웨이퍼의 중심선을 도출하는 중심선 도출 단계; 및 상기 작업 테이블의 정렬선과, 상기 웨이퍼의 중심선이 일치되도록 정렬 장치를 이용하여 상기 웨이퍼를 정렬하는 웨이퍼 정렬 단계;를 포함한다.
상기 노치 포인트는, 상기 노치의 제 1 입구점 및 상기 노치의 제 2 입구점이고, 상기 기준선은, 상기 제 1 입구점 및 제 2 입구점을 가로지르는 직선이며, 상기 중심점은, 상기 제 1 입구점 및 제 2 입구점과 동일한 거리를 갖는 상기 기준선 상의 일점이고, 상기 가상선은, 상기 중심점을 통과하고, 상기 기준선을 기준으로 웨이퍼의 좌측 방향으로 지시각을 이루는 제 1 가상선 및 상기 중심점을 통과하고, 상기 기준선을 기준으로 웨이퍼의 우측 방향으로 지시각을 이루는 제 2 가상선이다.
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삭제
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또한, 본 발명에 따르면, 상기 중심선 도출 단계는, 상기 제 1 가상선과 웨이퍼의 테두리가 만나는 제 1 가상점과, 상기 제 2 가상선과 웨이퍼의 테두리가 만나는 제 2 가상점을 직선으로 연결하는 제 3 가상선을 도출하고, 상기 제 3 가상선의 중앙점과, 상기 기준선의 중심점을 연결하여 중심선을 도출하는 것이 바람직하다.
삭제
한편, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 웨이퍼 정렬 장비는, 카메라를 이용하여 작업 테이블에 안착된 웨이퍼 및 노치의 화상을 인식하는 화상 인식부; 인식된 화상에서 상기 노치의 적어도 하나 이상의 노치 포인트를 지정하는 노치 포인트 지정부; 인식된 화상에서 상기 노치 포인트를 이용하여 적어도 하나 이상의 기준선을 도출하는 기준선 도출부; 인식된 화상에서 상기 기준선의 중심점을 지정하는 중심점 지정부; 인식된 화상에서 상기 중심점으로부터 상기 기준선을 기준으로 지시각을 갖는 가상선을 도출하는 가상선 도출부; 상기 가상선을 이용하여 웨이퍼의 중심선을 도출하는 중심선 도출부; 및 상기 작업 테이블의 정렬선과, 상기 웨이퍼의 중심선이 일치되도록 정렬 장치에 제어신호를 인가하여 상기 웨이퍼를 정렬하는 제어부;를 포함한다.
상기 노치 포인트는, 상기 노치의 제 1 입구점 및 상기 노치의 제 2 입구점이고, 상기 기준선은, 상기 제 1 입구점 및 제 2 입구점을 가로지르는 직선이며, 상기 중심점은, 상기 제 1 입구점 및 제 2 입구점과 동일한 거리를 갖는 상기 기준선 상의 일점이고, 상기 가상선은, 상기 중심점을 통과하고, 상기 기준선을 기준으로 웨이퍼의 좌측 방향으로 지시각을 이루는 제 1 가상선 및 상기 중심점을 통과하고, 상기 기준선을 기준으로 웨이퍼의 우측 방향으로 지시각을 이루는 제 2 가상선이다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 중심선은, 상기 제 1 가상선과 웨이퍼의 테두리가 만나는 제 1 가상점과, 상기 제 2 가상선과 웨이퍼의 테두리가 만나는 제 2 가상점을 직선으로 연결하는 제 3 가상선을 도출하고, 상기 제 3 가상선의 중앙점과, 상기 기준선의 중심점을 연결하는 직선일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제어부는, 인식된 화상을 표시하는 표시부와 연결될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 작업 테이블은, 소윙(Sawing) 설비의 웨이퍼 척 테이블인 것이 바람직하다.
이상에서와 같이 본 발명의 웨이퍼 정렬 방법 및 이를 이용한 정렬 장비에 의하면, 장비의 인식률을 높이고, 정확도를 향상시키며, 인식 오류를 방지하여 표면에 수지층이 도포된 웨이퍼라 하더라도 웨이퍼 정렬을 용이하게 하여 후속 공정에서의 웨이퍼 가공 불량을 사전에 예방할 수 있는 효과를 갖는 것이다.
이하, 본 발명의 바람직한 여러 실시예들에 따른 웨이퍼 정렬 방법 및 이를 이용한 정렬 장비를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 웨이퍼 정렬 장비를 나타내는 개념도이고, 도 6은 도 1의 웨이퍼 정렬 장비의 카메라(CA)의 화상 인식 영역(A)을 나타내는 화상이다.
먼저, 도 1 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 웨이퍼 정렬 장비(200)는, 화상 인식부(3)와, 노치 포인트 지정부(4)와, 기준선 도출부(5)와, 중심점 지정부(6)와, 가상선 도출부(7)와, 중심선 도출부(8) 및 제어부(9)를 포함하여 이루어지는 구성이다.
여기서, 상기 화상 인식부(3)는, 카메라(CA)를 이용하여 작업 테이블(T)에 안착된 웨이퍼(W) 및 노치(N)의 화상을 인식하는 회로 또는 프로그램이다.
또한, 상기 노치 포인트 지정부(4)는, 인식된 화상에서 상기 노치(N)의 적어도 하나 이상의 노치 포인트(NP)를 지정하는 회로 또는 프로그램이다.
또한, 상기 기준선 도출부(5)는, 인식된 화상에서 상기 노치 포인트(NP)를 이용하여 적어도 하나 이상의 기준선(10)을 도출하는 회로 또는 프로그램이다.
또한, 상기 중심점 지정부(6)는, 인식된 화상에서 상기 기준선(10)의 중심점(P0)을 지정하는 회로 또는 프로그램이다.
또한, 상기 가상선 도출부(7)는, 인식된 화상에서 상기 중심점(P0)으로부터 상기 기준선(10)을 기준으로 지시각(K1)(K2)을 갖는 가상선(11)(12)을 도출하는 회로 또는 프로그램이다.
또한, 상기 중심선 도출부(8)는, 상기 가상선(11)(12)을 이용하여 웨이퍼(W)의 중심선(20)을 도출하는 회로 또는 프로그램이다.
또한, 상기 제어부는, 상기 작업 테이블(T)의 정렬선(2)과, 상기 웨이퍼(W)의 중심선(20)이 일치되도록 정렬 장치(1)에 제어신호를 인가하여 상기 웨이퍼(W)를 정렬하는 회로 또는 프로그램이다.
여기서, 상기 정렬 장치(1)는 각종 로봇 암, 로봇 척, 정렬 로울러 등 웨이퍼를 회전 또는 이동시킬 수 있는 다양한 형태의 정렬 장치들이 적용될 수 있다.
한편, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 노치 포인트(NP)는, 상기 노치(N)의 제 1 입구점(N1) 및 상기 노치(N)의 제 2 입구점(N2)이다.
또한, 상기 기준선(10)은, 상기 제 1 입구점(N1) 및 제 2 입구점(N2)을 가로지르는 직선이다.
또한, 상기 중심점(P0)은, 상기 제 1 입구점(N1) 및 제 2 입구점(N2)과 동일한 거리를 갖는 상기 기준선(10) 상의 일점이다.
또한, 상기 가상선(11)(12)은, 상기 중심점(P0)을 통과하고, 상기 기준선(10)을 기준으로 웨이퍼(W)의 좌측 방향으로 지시각(K1)을 이루는 제 1 가상선(11) 및 상기 중심점(P0)을 통과하고, 상기 기준선(10)을 기준으로 웨이퍼(W)의 우측 방향으로 지시각(K2)을 이루는 제 2 가상선(12)을 포함한다.
또한, 상기 중심선(20)은, 상기 제 1 가상선(11)과 웨이퍼(W)의 테두리가 만나는 제 1 가상점(P1)과, 상기 제 2 가상선(12)과 웨이퍼(W)의 테두리가 만나는 제 2 가상점(P2)을 직선으로 연결하는 제 3 가상선(30)을 도출하고, 상기 제 3 가상선(30)의 중앙점(C)과, 상기 기준선(10)의 중심점(P0)을 연결하는 직선이다.
여기서, 상기 지시각(K1)(K2)은 60도인 것으로서, 도출된 3 포인트, 즉 상기 중심점(P0), 제 1 가상점(P1), 제 2 가상점(P2)이 정삼각형으로 이루게 된다.
한편, 상기 제어부(9)는, 인식된 화상을 표시하는 표시부(D)와 연결되어 인식된 화상을 사용자가 확인할 수 있도록 표시하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 작업 테이블(T)은, 웨이퍼 정렬이 필요한 모든 장비의 작업 테이블인 것이 가능하나 바람직하기로는 소윙(Sawing) 설비의 웨이퍼 척 테이블이 적용될 수 있다.
따라서, 이러한 본 발명의 웨이퍼 정렬 장비를 이용하여 웨이퍼를 정렬하는 웨이퍼 정렬 방법을 단계적으로 설명한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 웨이퍼 정렬 방법을 나타내는 플로우 챠트이고, 도 3 내지 도 7은 도 2의 웨이퍼 정렬 방법을 단계적으로 나타내는 화상들이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 웨이퍼 정렬 방법은, 화상 인식 단계(S1)와, 노치 포인트 지정 단계(S2)와, 기준선 도출 단계(S3)와, 중심점 지정 단계(S4)와, 가상선 도출 단계(S5)와, 중심선 도출 단계(S6) 및 웨이퍼 정렬 단계(S7)를 포함하여 이루어진다.
먼저, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 화상 인식 단계(S1)는, 카메라(CA)를 이용하여 작업 테이블(T)에 비정렬된 상태로 안착된 웨이퍼(W) 및 노치(N)(notch)의 화상을 인식하는 단계이다.
이어서, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 노치 포인트 지정 단계(S2)는, 인식된 화상에서 상기 노치(N)의 적어도 하나 이상의 노치 포인트(NP)를 지정하는 단계이다.
여기서, 상기 노치 포인트(NP)는, 상기 노치(N)의 제 1 입구점(N1) 및 상기 노치(N)의 제 2 입구점(N2)인 것으로서, 상기 제 1 입구점(N1) 및 제 2 입구점(N2)은, 웨이퍼(W)의 테두리선에서 노치(N)의 입구가 각각 시작되고 끝나는 지점이다.
이러한, 상기 제 1 입구점(N1) 및 제 2 입구점(N2)은, 노치(N)의 입구가 마모되거나 파손되더라도 웨이퍼(W) 테두리선과, 노치(N)의 윤곽선이 서로 만나는 2개의 날카로운 꼭지점으로 인식될 수 있는 것이다.
이어서, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 기준선 도출 단계(S3)는, 인식된 화상에서 상기 노치 포인트(NP)를 이용하여 적어도 하나 이상의 기준선(10)을 도출하는 단계이다.
여기서, 상기 기준선(10)은, 상기 제 1 입구점(N1) 및 제 2 입구점(N2)을 가 로지르는 직선이다.
이어서, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 중심점 지정 단계(S4)는, 인식된 화상에서 상기 기준선(10)의 중심점(P0)을 지정하는 단계이다.
여기서, 상기 중심점(P0)은, 상기 제 1 입구점(N1) 및 제 2 입구점(N2)과 동일한 거리를 갖는 상기 기준선(10) 상의 일점이다.
이어서, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 가상선 도출 단계는(S5)은, 인식된 화상에서 상기 중심점(P0)으로부터 상기 기준선(10)을 기준으로 지시각(K1)(K2)을 갖는 가상선(11)(12)을 도출하는 단계이다.
여기서, 상기 가상선(11)(12)은, 상기 중심점(P0)을 통과하고, 상기 기준선(10)을 기준으로 웨이퍼(W)의 좌측 방향으로 지시각(K1)을 이루는 제 1 가상선(11) 및 상기 중심점(P0)을 통과하고, 상기 기준선(10)을 기준으로 웨이퍼(W)의 우측 방향으로 지시각(K2)을 이루는 제 2 가상선(12)으로 이루어진다.
이어서, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 중심선 도출 단계(S6)는, 상기 가상선(11)(12)을 이용하여 웨이퍼(W)의 중심선(20)을 도출하는 단계이다.
여기서, 상기 중심선 도출 단계(S6)는, 상기 제 1 가상선(11)과 웨이퍼(W)의 테두리가 만나는 제 1 가상점(P1)과, 상기 제 2 가상선(12)과 웨이퍼(W)의 테두리가 만나는 제 2 가상점(P2)을 직선으로 연결하는 제 3 가상선(30)을 도출하고, 상기 제 3 가상선(30)의 중앙점(C)과, 상기 기준선(10)의 중심점(P0)을 연결하여 중심선(20)을 도출하는 단계이다.
이때, 상기 제 1 가상선(11)의 지시각(K1)과, 상기 제 2 가상선(12)의 지시 각(K2)은 3 포인트, 즉 중심점(P0), 제 1 가상점(P1) 및 제 2 가상점(P2)이 정삼각형을 이루도록 각각 60도인 것이 바람직하다.
이외에도, 상기 지시각(K1)(K2)은 예를 들어, 30도, 45도 등 다양하게 변경할 수 있는 것이다.
이어서, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 웨이퍼 정렬 단계(S7)는, 상기 작업 테이블(T)의 정렬선(2)과, 상기 웨이퍼(W)의 중심선(20)이 일치되도록 도 1의 정렬 장치(1)를 이용하여 상기 웨이퍼(W)를 정렬하는 단계이다.
여기서, 도 2에 도시된 바와 같이, 이러한 상기 웨이퍼 정렬 단계(S7)는 정렬이 완료되었는 지를 확인(S8)하여 정렬이 완료될 때까지 반복할 수 있다.
한편, 도 8은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 웨이퍼 정렬 방법을 나타내는 화상이다.
도 8에 도시된 바와 같이, 가상선(100)은, 상기 중심점(P0)을 통과하고, 상기 기준선(10)을 기준으로 웨이퍼 방향으로 지시각(K3)이 90도를 이루는 직각선인 것이 가능하다.
즉, 3 포인트를 지정하지 않고도 중심점(10)을 기준으로 상기 가상선(100)을 도출하고, 가상선(100)을 중심선(20)과 일치시켜서 상기 중심선(20)을 도출하는 것도 가능하다.
본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 사상을 해치지 않는 범위 내에서 당업자에 의한 변형이 가능함은 물론이다.
따라서, 본 발명에서 권리를 청구하는 범위는 상세한 설명의 범위 내로 정해 지는 것이 아니라 후술되는 청구범위와 이의 기술적 사상에 의해 한정될 것이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 웨이퍼 정렬 장비를 나타내는 개념도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 웨이퍼 정렬 방법을 나타내는 플로우 챠트이다.
도 3 내지 도 7은 도 2의 웨이퍼 정렬 방법을 단계적으로 나타내는 화상들이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 웨이퍼 정렬 방법을 나타내는 화상들이다.
(도면의 주요한 부호에 대한 설명)
A; 화상 인식 영역 CA: 카메라
T: 작업 테이블 W: 웨이퍼
N: 노치(notch) 3: 화상 인식부
4: 노치 포인트 지정부 5: 기준선 도출부
6: 중심점 지정부 7: 가상선 도출부
8: 중심선 도출부 9: 제어부
D: 표시부 NP: 노치 포인트
10: 기준선 P0: 중심점
K1, K2, K3: 지시각 11: 제 1 가상선
12: 제 2 가상선 20: 중심선
S1: 화상 인식 단계 S2: 노치 포인트 지정 단계
S3: 기준선 도출 단계 S4: 중심점 지정 단계
S5: 가상선 도출 단계 S6: 중심선 도출 단계
S7: 웨이퍼 정렬 단계 1: 정렬 장치
N1: 제 1 입구점 N2: 제 2 입구점
P1: 제 1 가상점 P2: 제 2 가상점
30: 제 3 가상선 C: 중앙점
100: 가상선

Claims (14)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 카메라를 이용하여 작업 테이블에 안착된 웨이퍼 및 노치의 화상을 인식하는 화상 인식 단계;
    인식된 화상에서 상기 노치의 적어도 하나 이상의 노치 포인트를 지정하는 노치 포인트 지정 단계;
    인식된 화상에서 상기 노치 포인트를 이용하여 적어도 하나 이상의 기준선을 도출하는 기준선 도출 단계;
    인식된 화상에서 상기 기준선의 중심점을 지정하는 중심점 지정 단계;
    인식된 화상에서 상기 중심점으로부터 상기 기준선을 기준으로 지시각을 갖는 가상선을 도출하는 가상선 도출 단계;
    인식된 화상에서 상기 가상선을 이용하여 웨이퍼의 중심선을 도출하는 중심선 도출 단계; 및
    상기 작업 테이블의 정렬선과, 상기 웨이퍼의 중심선이 일치되도록 정렬 장치를 이용하여 상기 웨이퍼를 정렬하는 웨이퍼 정렬 단계;를 포함하되,
    상기 노치 포인트는, 상기 노치의 제 1 입구점 및 상기 노치의 제 2 입구점이고, 상기 기준선은, 상기 제 1 입구점 및 제 2 입구점을 가로지르는 직선이며, 상기 중심점은, 상기 제 1 입구점 및 제 2 입구점과 동일한 거리를 갖는 상기 기준선 상의 일점이고,
    상기 가상선은, 상기 중심점을 통과하고, 상기 기준선을 기준으로 웨이퍼의 좌측 방향으로 지시각을 이루는 제 1 가상선; 및
    상기 중심점을 통과하고, 상기 기준선을 기준으로 웨이퍼의 우측 방향으로 지시각을 이루는 제 2 가상선;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬 방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 중심선 도출 단계는, 상기 제 1 가상선과 웨이퍼의 테두리가 만나는 제 1 가상점과, 상기 제 2 가상선과 웨이퍼의 테두리가 만나는 제 2 가상점을 직선으로 연결하는 제 3 가상선을 도출하고, 상기 제 3 가상선의 중앙점과, 상기 기준선 의 중심점을 연결하여 중심선을 도출하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬 방법.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 카메라를 이용하여 작업 테이블에 안착된 웨이퍼 및 노치의 화상을 인식하는 화상 인식부;
    인식된 화상에서 상기 노치의 적어도 하나 이상의 노치 포인트를 지정하는 노치 포인트 지정부;
    인식된 화상에서 상기 노치 포인트를 이용하여 적어도 하나 이상의 기준선을 도출하는 기준선 도출부;
    인식된 화상에서 상기 기준선의 중심점을 지정하는 중심점 지정부;
    인식된 화상에서 상기 중심점으로부터 상기 기준선을 기준으로 지시각을 갖는 가상선을 도출하는 가상선 도출부;
    상기 가상선을 이용하여 웨이퍼의 중심선을 도출하는 중심선 도출부; 및
    상기 작업 테이블의 정렬선과, 상기 웨이퍼의 중심선이 일치되도록 정렬 장치에 제어신호를 인가하여 상기 웨이퍼를 정렬하는 제어부;를 포함하고,
    상기 노치 포인트는, 상기 노치의 제 1 입구점 및 상기 노치의 제 2 입구점이고, 상기 기준선은, 상기 제 1 입구점 및 제 2 입구점을 가로지르는 직선이며, 상기 중심점은, 상기 제 1 입구점 및 제 2 입구점과 동일한 거리를 갖는 상기 기준선 상의 일점이고, 상기 가상선은, 상기 중심점을 통과하고, 상기 기준선을 기준으로 웨이퍼의 좌측 방향으로 지시각을 이루는 제 1 가상선 및 상기 중심점을 통과하고, 상기 기준선을 기준으로 웨이퍼의 우측 방향으로 지시각을 이루는 제 2 가상선인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬 장비.
  11. 제10항에 있어서, 상기 중심선은, 상기 제 1 가상선과 웨이퍼의 테두리가 만나는 제 1 가상점과, 상기 제 2 가상선과 웨이퍼의 테두리가 만나는 제 2 가상점을 직선으로 연결하는 제 3 가상선을 도출하고, 상기 제 3 가상선의 중앙점과, 상기 기준선의 중심점을 연결하는 직선인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬 장비.
  12. 삭제
  13. 제 10항에 있어서,
    상기 작업 테이블은, 소윙(Sawing) 설비의 웨이퍼 척 테이블인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬 장비.
  14. 삭제
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