KR101476982B1 - 벨로우즈 펌프 - Google Patents

Abstract

본 발명은 한 쌍의 벨로우즈를 구비하여 교호로 약액을 펌핑하여 이송하되, 정확한 동작으로 정량의 유체가 이송되도록 하며, 이송량을 산출하여 고장 여부 및 이물질에 의한 관체의 막힘 등을 판단할 수 있는 것으로, 내부를 구획하여 제1, 2공기실을 마련하고, 이들 공기실 사이에 공간이 마련되며, 아울러 공간의 상부에 기계실이 형성된 케이싱; 상기 제1, 2공기실 각각에 설치되며, 공기실에 주입된 공기압에 의해 수축하고, 공급되는 약액에 의해 팽창하는 제1, 2벨로우즈; 상기 제1, 2벨로우즈 각각에 연통하며, 약액 유입 경로와 배출 경로를 구비하여 약액의 이송을 안내하는 제 1, 2 이동 안내 블록; 상기 제1, 2 이동 안내 블록에 설치되며, 교호로 유입 경로와 배출 경로를 폐쇄 또는 개방하는 체크 밸브; 상기 기계실에 장착되고, 제1공기실과 제2공기실 각각에 공기를 주입하는 제1, 2피스톤 밸브; 를 포함하며, 약액을 유입시키는 약액 인입관의 선단 및 후단 각각에 상기 제1, 2이동 안내블록의 유입 경로와 연결되는 유입 밸브를 구비하고, 상기 제1, 2이동 안내 블록의 각 배출 경로와 연결되는 배출 밸브를 구비하되, 이 배출 밸브는 배출 연결관의 선, 후단에 위치하는 관체; 상기 제1, 2이동 안내 블록의 각 유입 경로와 배출 경로 각각에 유량 센서를 구비하고, 이 유량 센서에 입력된 측정값과 마이컴에 설정된 기 설정값을 비교하여 정량 공급 여부를 판단하는 이송량 측정부;로 구성된다.

Description

벨로우즈 펌프{bellows pump}

본 발명은 벨로우즈 펌프에 관한 것이다.

더 상세하게는, 한 쌍의 벨로우즈를 구비하여 교호로 약액을 펌핑하여 이송하되, 정확한 동작으로 정량의 유체가 이송되도록 하며, 이송량을 산출하여 고장 여부 및 이물질에 의한 관체의 막힘 등을 판단할 수 있는 벨로우즈 펌프에 관한 것이다.

최근 정보 통신 분야의 급속한 발달과 컴퓨터와 같은 정보 매체의 급속한 대중화에 따라, 반도체 디바이스도 비약적으로 발전하고 있다. 이로 인해 그 기능적인 면에 있어서도 고속으로 동작하는 동시에 대용량의 저장 능력을 가질 것이 요구되어 반도체 디바이스의 집적도는 점차 증가하고 있는 실정이다. 이러한 반도체 디바이스의 고집적화 및 대용량화 추세로 인해 메모리셀을 구성하는 각각의 단위소자 사이즈는 축소되는 반면 제한된 면적 내에 다층구조를 형성하는 고집적화기술이 눈부시게 발전하고 있다.

일반적인 반도체 디바이스는 웨이퍼 표면 상부에 여러 가지 기능을 수행하는 박막을 증착하고 이를 패터닝하여 다양한 회로 기하구조를 형성함으로써 제조하게 되는데, 이러한 반도체 디바이스를 제조하기 위한 공정은 크게 반도체 기판상에 물질 막을 형성하는 박막 증착(deposition) 공정, 상기 증착 공정으로 형성된 물질 막 상에 감광막을 도포한 뒤, 마스크를 이용하여 감광막을 노광한 후 노광되어 패터닝된 상기 감광막을 식각마스크로서 이용하여 반도체 기판 상부의 물질 막을 패터닝하는 포토리소그래피(photolithography)등과 같은 식각 공정, 웨이퍼 표면에 층간절연막등을 증착한 후에 일괄적으로 웨이퍼 표면을 폴리싱하여 단차를 없애는 연마 공정을 비롯하여 불순물 제거를 위한 웨이퍼 세정 공정 및 이온주입 공정 등과 같은 여러 단위 공정들로 이루어져 있다. 따라서, 반도체 디바이스를 제조하기 위해서는 상기와 같은 여러 단위 공정들을 여러 번 반복 실시하게 되며, 이러한 해당 단위 공정을 수행하기 위해서는 각각의 공정 특성에 적합한 각각의 공정장비가 사용된다.

이중, 포토리소그래피 공정에서는 웨이퍼나 글래스 기판의 표면에 포토레지스트액 등의 약액을 도포하기 위하여 약액 공급장치가 사용되며, 용기 내에 수용된 약액은 펌프에 의해 빨아 올려져 필터 등을 통과하여 노즐에서 웨이퍼 등의 피도포물에 도포 된다.

특허문헌 1은 위와 같은 반도체 웨이퍼에 도막을 형성하는 것으로, 정확한 포토레지스트 양을 받아들여 웨이퍼에 도포할 수 있도록 한 것이고, 특허문헌 2는 서로 다른 신장률을 갖는 벨로우즈를 구비하여 맥동 저감 효과를 갖는 것이다.

또한, 국내 특허 공개 제10-2009-0057886 호는 상기 약액을 공급하는 펌프의 또 다른 일 예이다. 이 펌프는 액체 유입구 및 액체 유출구가 형성된 펌프 케이스에 착탈자재로 장착되는 펌프 조립체에 있어서, 피스톤이 축 방향으로 접동자재로이 끼워 설치되는 통체와, 상기 통체의 선단부에 설치되고 상기 피스톤 선단과의 사이에 비압축성의 간접매체가 봉입되는 구동실을 구획 형성하는 탄성변형자재의 벨로우즈와, 상기 피스톤의 기단부와 상기 통체와의 사이에 설치되고 상기 피스톤의 접동면에 이어짐과 함께 비압축성의 간접매체가 봉입되는 씰실을 형성하는 축방향으로 탄성변형자재의 가요성 커버부재를 포함하고, 상기 펌프 케이스에 장착된 상태에서 상기 벨로우즈와 상기 펌프 케이스에 의해 펌프실을 형성한 구성으로, 정량 토출을 위한 것이다.

그런데 위와 같은 종래의 펌프는 약액을 펌핑하는 벨로우즈가 하나로 구성되어, 약액의 이송량과 이송 속도에 한계를 가질 수밖에 없는 문제가 있다. 또한, 종래의 펌프는 사용자가 약액의 입, 출력에 대한 정보가 없어 외관상으로 고장 유무를 판단하기 어렵고, 이송 중 내부에 점착된 약액으로 인해 이송량이 저하되는 현상을 판단할 수 없는 문제가 있다.

(특허문헌 1) 국내 실용신안등록 제0169710호

(특허문헌 2) 국내 특허 제0358965호

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 케이싱에 좌우 대칭으로 설치되어 서로 연동하는 2개의 벨로우즈를 구비하여 약액의 이송 속도를 향상시키고, 그에 비례하여 이송량을 증가시킬 수 있는 벨로우즈 펌프를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은, 약액이 유입/배출되는 관체의 각각에 유량 센서를 구비하여 약액의 정량 공급 여부를 판단하고, 나아가 펌프의 고장 여부는 물론 내부 이물질 점착 정도를 알 수 있어 사전에 정비가 이루어지도록 하는 벨로우즈 펌프를 제공하는 데 있다.

또한, 본 발명은 양측 벨로우즈에 공기 압력이 정확하게 분배될 수 있도록 하고, 유지 비용이 저렴하며, 조립 및 분해가 용이하고, 고온 고압에 견딜 수 있는 벨로우즈 펌프를 제공하는 데 있다.

본 발명은 내부를 구획하여 제1, 2공기실을 마련하고, 이들 공기실 사이에 공간이 마련되며, 아울러 공간의 상부에 기계실이 형성된 케이싱; 상기 제1, 2공기실 각각에 설치되며, 공기실에 주입된 공기압에 의해 수축하고, 공급되는 약액에 의해 팽창하는 제1, 2벨로우즈; 상기 제1, 2벨로우즈 각각에 연통하며, 약액 유입 경로와 배출 경로를 구비하여 약액의 이송을 안내하는 제 1, 2 이동 안내 블록; 상기 제1, 2 이동 안내 블록에 설치되며, 교호로 유입 경로와 배출 경로를 폐쇄 또는 개방하는 체크 밸브; 상기 기계실에 장착되고, 제1공기실과 제2공기실 각각에 공기를 주입하는 제1, 2피스톤 밸브; 를 포함하며, 약액을 유입시키는 약액 인입관의 선단 및 후단 각각에 상기 제1, 2이동 안내블록의 유입 경로와 연결되는 유입 밸브를 구비하고, 상기 제1, 2이동 안내 블록의 각 배출 경로와 연결되는 배출 밸브를 구비하되, 이 배출 밸브는 배출 연결관의 선, 후단에 위치하는 관체; 상기 제1, 2이동 안내 블록의 각 유입 경로와 배출 경로 각각에 유량 센서를 구비하고, 이 유량 센서에 입력된 측정값과 마이컴에 설정된 기 설정값을 비교하여 정량 공급 여부를 판단하는 이송량 측정부;로 구성된 기술적인 특징을 갖는 것으로 달성된다.

또한, 본 발명은 상기 제1, 2이동 안내 블록은 하부에 약액이 유입되는 유입 경로를 구비하고, 상부에 배출 경로가 구비되며, 일측면 중앙에 약액 이동 통로가 구비되어, 이 약액 이동 통로가 각 벨로우즈와 연결되는 것을 포함한다.

본 발명은 대칭으로 설치된 두개의 벨로우즈가 교호로 동작하여 약액의 이송 속도를 증가시키며, 그에 따른 약액 이송량도 증가시킬 수 있는 효과를 갖는다.

또한, 본 발명은, 정량 공급 여부를 판단하여 반도체 웨이퍼의 품질을 향상시키며, 펌프의 고장 여부 및 이물질에 의한 이송량 감소를 방지할 수 있는 효과를 갖는다.

또, 본 발명은 공기 압력이 정확하게 분배될 수 있도록 하고, 유지 비용이 저렴하며, 조립 및 분해가 용이하고, 고온 고압에 견딜 수 있는 발명이다.

도 1은 본 발명에 따른 벨로우즈 펌프의 전단면도,
도 2는 본 발명에 따른 벨로우즈 펌프의 일측면도,
도 3은 본 발명에 따른 벨로우즈 펌프의 요부 확대 단면도,
도 4는 본 발명에 따른 벨로우즈 펌프의 요부 확대 단면도,
도 5는 본 발명에 따른 벨로우즈 펌프의 내부를 보인 일측면도,
도 6은 본 발명에 따른 벨로우즈 펌프의 동작 과정을 나타낸 일측면도,
도 7은 본 발명에 따른 벨로우즈 펌프의 블록도.

본 발명을 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일부호는 동일한 구성을 의미하고, 중복되거나 발명의 의미를 한정적으로 해석되게 할 수 있는 부가적인 설명은 본 발명의 실시 예들을 설명함에 있어서 생략될 수 있다.

구체적인 설명에 앞서, 본 명세서상에 비록 단수적 표현으로 기재되어 있을지라도 국어 사용에 있어서 단수/복수를 명확하게 구분 짓지 않고 사용되는 환경과 당해 분야에서의 통상적인 용어 사용 환경에 비추어, 발명의 개념에 반하지 않고 해석상 모순되거나 명백하게 다르게 뜻하지 않는 이상 복수의 표현을 포함하는 의미로 사용된다. 또한, 본 명세서에 기재되었거나 기재될 수 있는 '포함한다', '갖는다', '구비한다', '포함하여 이루어진다.' 등은 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 구성요소 또는 그들 조합의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

먼저, 본 발명에 첨부된 도 1은 본 발명에 따른 벨로우즈 펌프의 전단면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 벨로우즈 펌프의 일측면도이며, 도 3은 본 발명에 따른 벨로우즈 펌프의 요부 확대 단면도를 도시한 것이다.

또한, 도 4는 본 발명에 따른 벨로우즈 펌프의 요부 확대 단면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 벨로우즈 펌프의 내부를 보인 일측면도이며, 도 6은 본 발명에 따른 벨로우즈 펌프의 동작 과정을 나타낸 일측면도이고, 도 7은 본 발명에 따른 벨로우즈 펌프의 블록도를 도시한 것이다.

상세한 설명에서, 본 발명은 반도체 웨이퍼에 사용되는 약액을 공급하는 장치로 설명되고 있으나, 다른 용도의 펌프로 사용될 수 있음은 당연한 것이다.

본 발명의 벨로우즈 펌프(10)는 기본적으로, 케이싱(100)과, 제1, 2벨로우즈(200)(200a)와 약액을 이동시키는 제1, 2 이동 안내 블록(300)(300a)과, 상기 이동 안내 블록(300)(300a)에 설치되는 체크 밸브(400)와, 상기 케이싱(100)에 설치되는 제1, 2피스톤 밸브(420)(420a) 및 상기 벨로우즈에 약액을 공급하고 배출을 안내하는 이동 관체(500) 및 이송량 측정부(600)가 갖추어진 구성이다.

케이싱 (100)

본 발명의 케이싱(100)은 알루미늄으로 제작되며, 주조 공정과 밀링 또는 선반에 의한 절삭 가공을 거쳐 제작이 이루어진다. 본 발명의 케이싱(100)은 고온 고압에 견딜 수 있도록 내, 외측면에 코팅 작업이 이루어진다.

이 코팅 작업은 PTEF 또는 PFA로 이루어지며, 대략 280℃의 고온에서 이루어지며, 코팅 작업 중 기포 발생을 방지하기 위해 전처리 작업이 이루어진다.

전처리 작업은 오븐에서 가열하는 방식으로, 280 ∼300℃의 온도에서 대략 20분 내지 1시간을 건조시켜, 조직에 함침된 습기를 제거하는 것이다. 본 발명에서 전처리 작업은 필수 작업으로, 상술한 바와 같이 코팅 후 기포가 생기는 것을 방지하기 위함이다.

상기 케이싱(100)은 내부가 격벽으로 구획되어 공기실이 마련된다. 상기 격벽(130)은 케이싱(100) 내측 중앙에 2개가 설치되며, 이들 격벽(130) 사이에 공간(110)을 두고, 격벽(130)의 좌측으로 제1공기실(120)이, 우측으로는 제2공기실(120a)이 마련되는 구성이다.

상기 공간(110)은, 공기 주입이 교호로 이루어지도록 하는 체인지 레버(140)의 이동 공간으로, 상기 체인지 레버(140)는 이동 바(142)에 의해 좌우로 이동하며 끝부분에 도달하면 상단에 구비된 근접 스위치(144)가 동작하여 공기의 흐름을 전환시키는 것이다. (도 4 참조)

다시 말해, 상기 이동 바(142)는 상기 2개의 격벽(130)을 관통하여, 일단은 제1벨로우즈(200)에, 타단은 제2벨로우즈(200a)의 벽체 각각에 고정되며, 상기 체인지 레버(140)는 이동 바(142)의 중앙에 고정된다. 이러한 상태에서 상기 벨로우즈가 수축/팽창하면, 이와 연결된 이동 바(142)와 체인지 레버(140)가 동시에 이동하고, 체인지 레버(140)의 상단에 구비된 근접 스위치(144)가 작동하여 후술하는 피스톤 밸브를 동작시켜 공기의 흐름을 제어하는 것이다.

한편, 상기 공간(110)의 상부에는 기계실(150)이 마련된다. 이 기계실(150)에는 제1, 2 피스톤 밸브(420)(420a)가 설치된다. 물론 상기 제1피스톤 밸브(420)는 제1공기실(120)과, 제2피스톤 밸브(420a)는 제2공기실(120a)에 공기가 주입되도록 한다.

또한, 상기 케이싱(100)의 저면에는 지각(102)가 설치되고, 이 지각(102)에 매립된 상태로 지지대(550)가 구비되며, 케이싱의 상부에도 브라켓트(552)에 고정된 지지대(550)가 각각 갖추어진 구성이다.

본 발명에서, 상기 제1, 2공기실(120)(120a)은 일측면이 개방된 상태로 구성된다. 이 구성은 개방면을 통해 조립이 용이하도록 하고, 고장 수리 및 부품 교체를 용이하게 한다.

벨로우즈

상기 벨로우즈는 제1, 2벨로우즈(200)(200a)로 구성된다. 제1벨로우즈(200)는 상기 제1공기실(120)에 설치되고, 제2벨로우즈(200a)는 상기 제2공기실(120a)에 설치되는 구성이다.

여기서 상기 제1, 2벨로우즈(200)(200a)는 첨부된 도 4와 같이 단부가 후술하는 제1, 2이동 안내 블록(300)(300a)에 각각 맞대어진 상태로 조립되고, 측면 즉 중간 부위는 주름관(220)(220a) 형태로 구성되어 압축 및 팽창이 가능하도록 하고, 후면의 벽체(240)(240a)는 상기 이동 바(142)의 단부가 고정되는 구성이다.(도 5 참조)

약액 이동 안내 블록

상기 이동 안내 블록은, 제1, 2이동 안내 블록(300)(300a)으로 구성된다. 상기 이동 안내 블록 각각은 도 4와 같이 각각의 하부에 약액이 유입되는 유입 경로(320)(320a)를 가지며, 상부에는 약액을 배출하는 배출 경로(340)(340a)가 마련된다.

또한, 상기 제1, 2이동 안내 블록(300)(300a)의 일측면 중앙에는 약액 이동 통로(360)(360a)가 형성된 구성으로, 3방향에 약액이 이동할 수 있는 통로가 마련된 것이다. 상기 각 벨로우즈는 이들 이동 통로와 연결되어 설치된다.

상기 제1, 2이동 안내 블록의 각 외측면에는 내측 고정판(162)이 맞대어지고, 이 내측 고정판(162) 외면에 다시 외부 고정판(160)이 맞대어진 구성으로, 외부 고정판(160)에 구비된 나사 형태의 고정부가 상기 케이싱에 연결되어 제1, 2이동 안내 블록(300)(300a)을 고정하는 구성이다.

체크 밸브(400)

상기 체크 밸브(400)는 상기 제1, 2 이동 안내 블록(300)(300a)의 흡입 및 배출 경로 상에 각각 설치된다. 이 체크 밸브(400)는 약액 흡입시에는 흡입 경로를 개방하고, 배출시에는 배출 경로를 개방하여 약액이 공급되도록 하는 것이다.

한편, 상기 기계실(150)에 설치되는 제1, 2 피스톤 밸브(420)(420a)는 공기의 흐름을 제어하는 것으로, 열고 닫힘에 따라 교호로 공기실에 공기가 주입되도록 하며, 부호 422, 422a는 상기 각 피스톤 밸브와 연통하는 공기 주입 튜브로써, 이를 통해 공기실에 공기가 주입되는 구성이다.

약액 이동 관체 (500)

상기 이동 관체(500)는 케이싱(100)의 하부에 설치되는 인입 연결관(520)의 선단 및 후단 각각에 약액 유입 밸브(510)가 구비되고, 케이싱의 상부에는 약액 배출 연결관(540)이 구비된 구성으로, 약액 배출 연결관의 선단 및 후단에도 배출 밸브(530)가 갖추어진다.

여기서, 상기 유입 및 배출 밸브(510)(530) 중 도면과 같이 제2 이동 안내 블록(300a)의 유입 경로와 연결되는 밸브, 상부측 배출 경로에 연결되는 밸브는 3방향 밸브로써, 약액을 블록 측과 연결관 각각에 선택적으로 공급될 수 있도록 한다.

한편, 상기 인입 연결관(520)과, 배출 연결관(540)은 각각이지지대(550)에 끼워진 상태로 조립되며, 케이싱 상부측에 위치한 지지대는 상기 기계실(150)의 외면에 설치된 브라켓트(552)에 조립되어 배출 연결관을 지지한다.

이송량 측정부 (600)

본 발명의 또 다른 특징이라 할 수 있는 이송량 측정부(600)는 유입된 약액과 배출 이송되는 약액 배출 량을 검출하여, 정량의 약액이 이송되었는가를 판단하고, 펌프의 정상 가동 여부를 판단하는 것이다.

즉, 상기 제1, 2 이동 안내 블록(300)(300a)의 각 유입 경로(320)(320a)와 배출 경로(340)(340a) 각각에 약액의 이송량을 측정할 수 있는 유량 센서(620)를 구비한 구성으로, 유입과 배출 유량을 감지하며, 여기에 압력 센서(640) 및 누설 센서(660)가 더 구비될 수 있으며, 이들 센서에서 측정된 측정값이 마이컴(700)에 입력되도록 한다.

상기 유량 센서(620)는, 가동 베인 형태는 물론, 카르만의 소용돌이식, 열선식, 초음파식, 이온 드리프트식, 터빈식, 고체형 등의 센서 중 하나로 구성될 수 있다.

상기, 마이컴(700)은 배출 경로(340)(340a) 측의 유량 센서에서 입력된 배출량 측정값과 기 설정된 정량 공급 값을 비교하여 정량 공급 여부를 판단하고, 정량 공급보다 적거나 많은 경우 이를 모니터에 표시하여 작업자에게 인식시켜 조절이 이루어지도록 한다.

또한, 상기 마이컴(700)은 유입된 약액 공급량과 배출량을 비교한다. 유입된 공급량보다 배출되는 이송량이 현저히 적은 경우, 즉 마이컴에 기 설정된 공급 값보다 오차 범위 예컨대 오차 범위 ±0.5% 이상인 경우 마이컴(700)은 모니터에 정비 신호를 출력할 수 있다.,

나아가, 상기 마이컴(700)은 제1벨로우즈(200)와 제2벨로우즈(200a)가 각각 가동되었을 때를 비교한다. 즉, 제1벨로우즈와 제2벨로우즈가 가동되었을 때를 배출량을 비교하여 비교 값을 산출하고, 그 비교 값이 오차 범위를 벗어나는 경우, 펌프에 이상이 있음을 출력한다.

예를 들어, 제1벨로우즈는 흡인 연결관 및 배출 연결관을 통해 약액이 유입됨으로써, 내부에 이물질이 점착되는 경우 압력 손실이 발생할 수 있다, 따라서 마이컴은 관체 점검 등을 표시하는 것이다.

한편 상기 모니터와 마이컴은 유선 또는 무선으로 연결되며, 상기 모니터는 터치 스크린을 포함한다.

다음은 이와 같은 구성으로 이루어진 본 발명의 동작 과정을 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 본 발명은 튜브를 통해 공기가 주입되는 것으로부터 시작된다. 예를 들어 제1튜브(422)을 통해 공기가 주입되면, 이 공기는 제 1피스톤 밸브(420)를 통해 제 1공기실(120)에 유입된다.

이때 제 1이동 안내 블록(300)에 설치된 유입 경로 측 체크 밸브(400)는 폐쇄된 상태이고, 배출 경로 측 체크 밸브는 개방된 상태이다.

제 1공기실(120)에 공기가 유입되면 공기압이 발생하고, 동시에 제 1벨로우즈(200)가 수축하여, 내부에 충진된 약액을 제 1이동 안내 블록(300)으로 이송시켜 이 약액이 배출 연결관(530)을 통해 강제 이송되도록 한다.

이와는 동시에 제2벨로우즈(200a)에는 약액이 유입되는데, 제 2이동 안내 블록(300a)에 설치된 유입 경로 측 체크 밸브(400)가 개방되어 약액이 제2벨로우즈 내측으로 유입되고, 제2벨로우즈가 팽창하며 제2공기실의 공기를 상기 제1튜브측으로 밀어냄으로써, 제1공기실로 공기가 원활하게 유입되도록 하는 것이다.

한편, 상기 제1벨로우즈(200)와 제2벨로우즈(200a)가 수축/팽창함에 따라 이들과 연결된 이동 바(142)가 연동하며, 아울러 체인지 레버(140)가 이동한다. 체인지 레버(140)가 제1피스톤 밸브까지 이동하면 근접 스위치(144)가 작동하고, 제 1피스톤 밸브(420)는 폐쇄됨과 아울러, 제2피스톤 밸브(430)가 개방되어, 제2튜브(422a)를 통해 제2공기실(120a)에 공기가 주입되도록 하는 것이다.

즉, 근접 스위치가 동작하면, 제1 이동 안내 블록(300)의 유입 경로 측 체크 밸브(400)는 개방되고, 반대로 제2 이동 안내 블록(300a)의 유입 경로 측 체크 밸브는 폐쇄된다. 따라서, 약액은 제1벨로우즈의 내부로 유입되고, 동시에 제1벨로우즈가 팽창하며, 제1공기실의 공기를 밀어내는 것이다.

따라서, 제1공기실의 공기는 튜브와 제2피스톤 밸브를 통해 제2공기실에 유입됨으로써, 제2벨로우즈가 가동되는 사이클이 반복되어 약액을 이송시킨다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예는 모두 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모두 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

10 : 벨로우즈 펌프 100 : 케이싱
120, 120a : 제1, 2공기실 130 : 격벽
140 : 체인지 레버 200, 200a : 제1, 2벨로우즈
300, 300a : 제1, 2이동 안내 블록 400 : 체크 밸브
500 : 관체

Claims (7)

1. 삭제
2. 내부를 구획하여 제1, 2공기실을 마련하고, 이들 공기실 사이에 공간이 마련되며, 아울러 공간의 상부에 기계실이 형성된 케이싱;
   상기 제1, 2공기실 각각에 설치되며, 공기실에 주입된 공기압에 의해 수축하고, 공급되는 약액에 의해 팽창하는 제1, 2벨로우즈;
   상기 제1, 2벨로우즈 각각에 연통하며, 약액 유입 경로와 배출 경로를 구비하여 약액의 이송을 안내하는 제 1, 2 이동 안내 블록;
   상기 제1, 2 이동 안내 블록에 설치되며, 교호로 유입 경로와 배출 경로를 폐쇄 또는 개방하는 체크 밸브;
   상기 기계실에 장착되고, 제1공기실과 제2공기실 각각에 공기를 주입하는 제1, 2피스톤 밸브;
   약액을 유입시키는 약액 인입관의 선단 및 후단 각각에 상기 제1, 2이동 안내블록의 유입 경로와 연결되는 유입 밸브를 구비하고, 상기 제1, 2이동 안내 블록의 각 배출 경로와 연결되는 배출 밸브를 구비하되, 이 배출 밸브는 배출 연결관의 선, 후단에 위치하는 관체;
   상기 제1, 2이동 안내 블록의 유입 경로와 배출 경로 각각에 설치되어 유입량과 배출량을 측정하는 유량 센서로 구성된 이송량 측정부;
   상기 유량 센서에서 입력된 측정값과 기 설정된 설정값을 비교하여 약액의 정량 공급 여부를 판단하는 마이컴;을 포함하는 것을 특징으로 하는 벨로우즈 펌프.
   
3. 제2항에 있어서, 상기 제1, 2이동 안내 블록은 하부에 약액이 유입되는 유입 경로를 구비하고, 상부에 배출 경로를 구비하되, 측면 중앙에 상기 유입 및 배출 경로와 연통하는 약액 이동 통로가 구비되어, 이 약액 이동 통로가 각각의 벨로우즈와 연결된 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 벨로우즈 펌프.
   
4. 제2항에 있어서, 상기 케이싱의 내부에 세워진 2개의 격벽 사이에 공간이 마련되고, 이 공간에서 좌우로 이동하는 체인지 레버를 구비하되, 상기 체인지 레버의 상단에는 근접 스위치가 구비되어, 좌우로 이동하며 기계실에 설치된 제1, 2피스톤 밸브를 교호로 동작시켜 공기의 흐름을 전환시키는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 벨로우즈 펌프.
   
5. 제 4항에 있어서, 상기 체인지 레버는 공간을 가로질러 설치되는 이동 바의 중앙에 고정되고, 상기 이동 바는 단부가 제1벨로우즈와 제2벨로우즈 각각에 연결된 구성으로, 상기 제1, 2벨로우즈의 수축-팽창함에 따라 이동 바와 체인지 레버가 좌우로 이동하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 벨로우즈 펌프.
   
6. 제 2항에 있어서, 상기 마이컴은 제1, 2이송 안내 블록의 배출 경로 측에 설치되는 유량 센서의 측정값과 기 설정된 설정 값을 비교하여 약액의 정량 공급 여부를 모니터에 출력하는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 벨로우즈 펌프
   
7. 제 2항에 있어서, 상기 마이컴은 제1벨로우즈와 제2벨로우즈가 각각 가동되었을 때, 유출 경로 측 각각에 설치된 유량 센서에서 입력된 약액 배출량을 비교하여 제1벨로우즈 또는 제2벨로우즈의 고장 및 관체에 이물질이 점착 여부를 판단하여 모니터에 출력하는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 벨로우즈 펌프.
   

Images