JPH0749087A

JPH0749087A - ベローズ・ポンプ

Info

Publication number: JPH0749087A
Application number: JP6075249A
Authority: JP
Inventors: Arthur L Moore; エルムーアアーサー
Original assignee: Stainless Steel Products Inc
Current assignee: Senior Operations Inc
Priority date: 1993-03-08
Filing date: 1994-03-08
Publication date: 1995-02-21
Also published as: CA2117248A1; US5308230A; GB2275972A; GB9404395D0; DE4407679A1

Abstract

(57)【要約】【目的】腐食性、苛性腐食性、酸性あるいは毒性のある
流体をポンピングするために使用し、流体のリークを生
じポンプや周辺の損傷を与えない金属製ベローズ・ポン
プを得る。【構成】ケースの中に輪状のベローズ部分があるケース
があり、ベローズの一方の端部はケースに固定され、も
う一方の端部はピストン閉じ蓋プレートに固定され、プ
レートとベローズは固定端部に向かって、あるいは固定
端部から離れるように移動し、ケースの中のベローズの
往復運動によって流体を吸入したり放出したりし、さら
に、ベローズ・ポンプの中でのベローズの運動を駆動し
制御するための動力装置がある、ベローズ・ポンプ。

Description

【発明の詳細な説明】

【産業上の利用分野】本発明は、とりわけ、計量する液
体を送るのに適した金属製のベローズ・ポンプに関する
ものである。

【従来の技術】ある種の液体、特に腐食性の、苛性腐食
性の、酸性の、あるいは毒性の液体を抽送する際に、液
体を計量するために使用されてきた従来のピストン式ポ
ンプあるいはダイアフラム・ポンプは、合成材料ででき
たＯリングおよびシールを採用しており、それらは液体
によって腐食され、食い荒らされて、リークをおこし、
ある場合には機能不全に陥る。さらに、従来の技術によ
るポンプのシールなどの劣化により、望ましくない腐食
性の、苛性腐食性の、酸性の、あるいは毒性の液体のリ
ークがおき、ポンプにさらに傷をつけるのみならず、ポ
ンプを取り囲む周辺領域に損傷を与える。また、従来の
技術によるポンプのあるものは、液体を抽送するときに
必要な高圧に耐えられない。さらに加えて、計量するた
めに使用される従来の技術によるポンプのあるものは、
低速のものであれ、高速のものであれ、適切な必要トレ
ランスを維持するのに失敗してきた。最後に、従来の技
術によるポンプの、あるいはその中のシールの劣化によ
り、不必要なメインテナンス作業が要求されてきた。

【本発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、液
体の抽送中に、腐食性の、苛性腐食性の、酸性の、ある
いは毒性の液体によって損傷を受ける対象となる、液体
に露呈されるシールのない、金属製のベローズ・ポンプ
を提供することにある。本発明のもう一つの目的は、液
体の適切な抽送が実現できる、一つのあるいは二つのベ
ローズをもつ、金属製のベローズ・ポンプを提供するこ
とにある。本発明のさらにもう一つの目的は、液体が抽
送されることにより引き起こされる損傷によって、動作
中にリークが発生することのないような、金属製のベロ
ーズ・ポンプを提供することにある。本発明のさらにも
う一つの目的は、比較的少量の液体を長い時間かけて抽
送するか、あるいは、比較的大量の液体を短い時間で抽
送するために、計量抽送ポンプとして動作するのに適し
た、金属製のベローズ・ポンプを提供することにある。
さらに、本発明のもう一つの目的は、ポンプの中で液体
が流れる通路に合成材料でできたシールがないために、
動作中に、高圧に耐えることのできる、金属製のベロー
ズ・ポンプを提供することにある。さらに、本発明のも
う一つの目的は、過去において通常のポンプの潤滑油を
破壊し動作不全を引き起こした天然ガスを抽送するのに
適した、金属製のベローズ・ポンプを提供することにあ
る。本発明のポンプでは、液体の流れの通路にある部品
に潤滑油が必要ではない。これらの、及びその他の目的
と利点は、本発明の権利のためにその詳細が記述された
発明明細書の以下の部分から明らかになろう。もちろ
ん、以下の詳細な記述は、添付された請求項に設定され
た本発明の範囲を制限することを意図するものではな
い。これらの利点は、以下の詳細な記述およびその中の
図面を参照することによってさらに明確に理解されよ
う。

【実施例】図１には、１０で示される一対の往復運動す
るベローズ・ポンプが図示されている。それぞれのポン
プ１０は、外側の輪状金属カバーあるいはケース１２を
含む。それぞれのケース１２の外側端部１４には、輪状
の金属製端部閉じ蓋プレート１６があり、ポンプを封じ
るために、それがケース１２に押し付けられ、あるいは
ケース１２にクサビ留めされる。プレート１６は、ま
た、通常の溶接によって、ケース１２に固定することも
可能である。図１と図２の図面では、端部プレート１６
は、ボルト１８によって、装着フレーム２０に固定され
ている。この装着フレームは、フレームからポンプ１０
が内側に支持される形でポンプを支える。ケース１０の
内側端部２２には、また、輪状の金属製内側端部閉じ蓋
プレート、あるいはプラグ２４が含まれる。それぞれの
プラグ２４には、輪状のベアリング２６が装着され、そ
の中を水平内腔２８が貫通している。それぞれのケース
１２には、３６で示される輪状の金属製ベローズが装着
されている。ベローズ３６のそれぞれは、いくつかの輪
状のひだ山３８を含み、それらは、内側に窪んだ腹の部
分４０によって、次々に接続されている。ベローズ１０
の構造、および、ひだ山巻３８と、それらを接続するひ
だ谷の部分４０を作るために使用される金属の厚みのた
めに、ベローズのそれぞれは弾性をもち、フレキシブル
で、水平面に圧縮したり引き伸ばしたりすることができ
る。外側端４２にあるベローズ３６のそれぞれには、金
属製のピストン閉じ蓋プレート４４がついている。ベロ
ーズ３６の内側端４６は、ケース１２の端部２２の中に
あり、輪状の内側端部蓋プレート２４により、所定の位
置にクランプされている。このように、中空の閉じたベ
ローズ３６があり、以下に記述される手段によって、水
平方向内側と外側に往復運動し、一方のベローズが圧縮
されたときに反対側のベローズが引き伸ばされるように
なっている。この状態が図１および図２に示されてい
る。金属製のピストン閉じ蓋プレート４４を左から右
へ、またその逆に移動させるために、ピストン棒５０が
取り付けられている。二重ベローズ・ポンプ１０を使用
する場合には、一本のピストン棒が、一方のベローズ３
６の端部にあるピストン閉じ蓋プレート４４の中にネジ
込まれ、横に伸びて、反対側のピストン閉じ蓋プレート
４４の中にネジ込まれるのが望ましい。このように、図
１で右側にあるベローズ３６で、ベローズ３６が収縮
し、固定された端部閉じ蓋１６とビストンの閉じ蓋４４
の間に流体用の空間を作る。左側にあるもう一つのベロ
ーズ３６については、ベローズはピストン棒５０によっ
て水平方向外側に押され、ピストン閉じ蓋プレート４４
が端部閉じ蓋１６とぶつかり、ベローズ３６のひだ山３
８は水平方向に引き離され、広げられた状態になる。こ
のように、一つのベローズ３６が移動すると、もう一つ
のベローズ３６も移動し、後退・前進の往復運動をす
る。酸性で、ガラスやゴムのような化合物を腐食する代
表的物質であるヒドラジッドのような化学物質を、ベロ
ーズ・ポンプ１０に使用するときには、ステンレス鋼３
００やニッケル合金、コバルトが腐食に対して耐性があ
ることが知られている。このことは、腐食性、苛性腐食
性、酸性あるいは毒性のどんな流体に対しても正しい。
したがって、ポンプ１０は、ほとんど、あるいは全然メ
インテナンスをしないでも長い寿命をもつ。これは、ポ
ンプ１０の液体が流れる領域に、Ｏリングやあるいはそ
の他のシールを含んでいないからである。腐食性の材質
でできたベアリング２６でも、内側端部閉じ蓋プレート
２４によって孤立している。図示されるように、流体は
輪状の空間５４および５２に吸い込まれ、したがって、
流体は上記の特定の金属だけに接触することとなる。特
定の金属に加えて、ポンプ１０の金属は、腐食性、苛性
腐食性、酸性あるいは毒性のどんな流体に対しても耐性
のある、市販されているプラスチック・コーティングを
施すことができる。合成材質のシールの使ってない上記
のベローズ・ポンブ１０は、１０００Ｆの範囲で、高い
圧力に耐え得る点に留意されたい。そのようなシールが
ないので、温度的な問題、あるいは圧力的な問題がな
い。さらに加えて、ベローズ・ポンプ１０の唯一の可動
部品はベローズであるので、ポンプにかかる応力は小さ
く、その結果、寿命が延びる。図１および図２に図示さ
れ、図４に模式図があるポンプ・システムは、一般的に
６２で示されている。システムの部品はフレーム２０に
装着されている。図１、２および３では、それぞれのポ
ンプ１０のケース１２は、流体入り口結合部６４に固定
されている。結合部６４に固定されているのが流体入り
口パイプ６６である。パイプ６６は、流体リザーバ（図
示されていない）につながり、したがって、流体は、パ
イプ６６を通って、ポンプ１０へ移動される。また、パ
イプ６６のそれぞれには、図示されるように、市販の逆
止弁６８がついており、ポンプされる流体の逆流を防ぐ
ようにしている。また、それぞれのケース１０には、流
体出口結合部７０がある。結合部７０には、流体出口パ
イプあるいは放出パイプ７２が固定され、それが必要な
速さで流体の望ましい性質を計量する。また、逆止弁７
４が取り付けられる。図１及び２に示されるように、流
体をポンピングするのに二台のポンプがあるようなシス
テム６２では、出口パイプ７２は、それぞれ連結され
て、必要などんな媒体へも、望まれる流体を放出する。
また、パイプ６６も、連結されて、流体源に接続され
る。図示されたシステム６２は空気作動のシステムであ
るが、水圧式も、本発明の精神から離れることなく使用
可能である。図４には、ライン８２と８４を通して空気
をポンピングする空気圧力ポンプ８０が示されている。
ライン８２は、市販の、５個のポートをもつ、連続的に
繰り返される衝撃で作動するスプール・バルブ９０に連
結されている。ライン８４は、ライン８４とライン８４
Ａへの分岐点までつながっている。ライン８４Ａは、圧
力リミット・スイッチ８６の中で終端となり、ライン８
４は、相補的関係にある圧力リミット・スイッチ８８の
中で終端となっている。スイッチ８６と８８は、図１及
び図２に示されるように、装着フレーム２０の上で、対
向する水平位置関係に装着されるのが望ましい。それぞ
れのスイッチ８６と８８には、それに対応する出口ライ
ン９２と９４があり、それらは、スプール・バルブ９０
のケース１００にあるポート９６と９８に連結されてい
る。スイッチ８６と８８には、それぞれ、スプリング作
動のプランジャー・スイッチ１０２と１０４がついてい
る。プランジャー・スイッチ１０２と１０４は、ピスト
ン棒５０に固定され、棒の運動とともに矢印で示される
ように前後に動くトリップ棒１０５によって作動する。
通常のスイッチ８６と８８は、開いているときには、ス
イッチ８８の場合には、空気をライン８４からライン９
４へ送り出せるようにし、そのときは、スイッチ８６の
プランジャー・スイッチ１０２は閉じており、空気ライ
ン８４Ａは閉の状態で、空気はライン９２へ出て行か
ず、したがって、スプール・バルブ９０に入って行かな
い。スプール・バルブ９０は、通常タイプのバルブで、
５個のポートがあり、そのうちの二つが、図４に、シリ
ンダー１０８および１１０として図示されている。他の
バルブ動作は、ライン８２、９２および９４、そして連
結部１１６および１１８からのベローズの空気ライン１
１２および１１４を開閉することである。スプール・バ
ルブ９０は、ライン９２と９４からポート９６と９８を
通って交互にチェンバー１２０に入ってくる空気圧力に
より作動され、シリンダー１０８と１１０、および連結
棒１２２で結ばれたそのほかの全ての部品を移動する。
図からわかるように、スイッチ８８が開いた状態では、
空気が、ライン９４とポート９８を通ってチェンバー１
２０に入り、シリンダーあるいはスプール・バルブを押
し、したがって、ポート１１８が閉じ、空気は、ライン
１１４を通って、ベローズ３６の内部チェンバー１２６
とつながっている連結部１２４に入って行くことができ
ない。このように、左側にあるベローズ３６は、収縮さ
れず、ストップに押し付けられ（端部プレート１６
に）、空間５２にある流体を押し出す（図２参照）。左
側のベローズ３６が閉じる点で空気ライン１１２が開と
なり、空気を、結合部１２８を通って右側のベローズ３
６のチェンバー１２６へ送り（図１あるいは２参照）、
ベローズが端部プレート１６に対して閉じるようにす
る。このように右側に動くとピストン棒５０は左側のベ
ローズ３６を収縮し、流体が必要な量だけ満たされるま
でライン６６から流体空間５２へ流体を送り込むように
し、この全体の往復過程が繰り返される。スプール・バ
ブル９０は、また調節可能な空気廃棄ダンパー１３０を
含み、ベローズ３６を移動させる、あるいは反復運動を
させるタイミングが調節されてポンピングされる流体の
時間当たりの流れが制御される。ベローズ・ポンプ１０
のストロークが、ポンピングされる流体の量を決める。
一例では、原子力プラントで、水の精製のために水源に
ヒドラジッドが注入されるような操作では、要求される
内容は、通常０．０１４ｇｐｍが一日当たり５時間にわ
たって分配されることである。本発明によると、往復運
動する金属ベローズ・ポンプ１０は吸入ストローク・タ
イミングが調整されるだけでなく、ライン７２を通して
の適切な放出のために、輪状の空間５および端部空間５
２へ、一定の量の流体を送るように調節される。本発明
では、望ましい形として、二つのベローズ・ポンプ１０
が吸入および流体を放出する形が図示されている。本セ
ットアップで、ポンプ１０の一方の流吸入および流体出
口あるいは放出ライン６６と６２をなくすることがで
き、そしてそれは実際のポンピングでは他のベローズの
戻りを助ける装置として作動させることもできる。ポン
ピングにかかわらないベローズ１０で記述された空気シ
ステムは、目的を達成するために必要な往復運動を保証
する。本発明の、およびそれに伴う利点は、前述の記述
から理解されよう。そして本発明の精神と範囲から離れ
ることなしに、あるいはその材質的利点を犠牲にするこ
となしに、部品の形状や構造や配置に関して、様々の変
化を与えることができるのは明白であろう。いままで記
述された配置は、単に例として示しただけである。私
は、本発明を、ここに示された特定の形状やここに強調
された使用法に限定するのを意図するのではなく、様々
な部分が、強調のためではなく、理解が明白になるため
に分離されている添付された請求項に定義されたものと
して提案する。

【図面の簡単な説明】

図１は、一対の金属製ベローズ・ポンプとその他の装置
の側立面図で、ポンプが動作し、ベローズが左にシフト
しているのを示す図。図２は、この形状の薄いツインの
ベローズが右にシフトしている、図１と同様の図。図３
は、図１の線３−３に沿った断面図。図４は、ベローズ
・ポンプと、ベローズ・ポンプを駆動する装置の模式
図。

【符号の説明】

１０・・・ベローズ・ポンプ１２・・・ケース１４・・・外側端部１６・・・閉じ蓋プレート１８・・・ボルト２０・・・装着フレーム２２・・・内側端部２４・・・プラグ２６・・・ベアリング２８・・・水平内腔３６・・・金属製ベローズ３８・・・ひだ山４０・・・ひだ谷４２・・・外側端４４・・・ピストン閉じ蓋プレート４６・・・内側端５０・・・ピストン棒５２、５４・・・輪状の空間６２・・・ポンプ・システム６４・・・流体入り口結合部６６・・・流体入り口パイプ６８・・・逆止弁７０・・・流体出口結合部７２・・・放出パイプ７４・・・逆止弁８０・・・圧力ポンプ８２、８４・・・ライン８６、８８・・・リミット・スイッチ９０・・・スプール・バルブ９２、９４・・・出口ライン９６、９８・・・ポート１００・・・ケース１０２・・・プランジャー・スイッチ１０８、１１０・・・シリンダー１１２・・・空気ライン１１４・・・ライン１２０・・・チェンバー１２２・・・連結棒１２６・・・チェンバー１３０・・・空気廃棄ダンパー

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【手続補正書】

【提出日】平成６年６月３０日

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図面の簡単な説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【図面の簡単な説明】

【図１】一対の金属製ベローズ・ポンプとその他の装置
の側立面図で、ポンプが動作し、ベローズが左にシフト
しているのを示す図。

【図２】この形状の薄いツインのベローズが右にシフト
している、図１と同様の図。

【図３】図１の線３−３に沿った断面図。

【図４】ベローズ・ポンプと、ベローズ・ポンプを駆動
する装置の模式図。

【符号の説明】１０ベローズ・ポンプ１２ケース１４外側端部１６閉じ蓋プレート１８ボルト２０装着フレーム２２内側端部２４プラグ２６ベアリング２８水平内腔３６金属製ベローズ３８ひだ山４０ひだ谷４２外側端４４ピストン閉じ蓋プレート４６内側端５０ピストン棒５２、５４輪状の空間６２ポンプ・システム６４流体入り口結合部６６流体入り口パイプ６８逆止弁７０流体出口結合部７２放出パイプ７４逆止弁８０圧力ポンプ８２、８４ライン８６、８８リミツト・スイツチ９０スプール・バルブ９２、９４出口ライン９６、９８ポート１００ケース１０２プランジヤー・スイツチ１０８、１１０シリンダー１１２空気ライン１１４ライン１２０チエンバー１２２連結棒１２６チエンバー１３０空気廃棄ダンバー

【手続補正３】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】全図

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

【図３】

【図２】

【図４】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ある計量された量の流体を受け取り、あら
かじめ設定された時間で、ポンプから同じ量の流体を送
り出すのに適した、往復運動する金属製ベローズ・ポン
プで、前記ポンプが以下の部分を含むもの、すなわち、金属製のケースには、第１および第２の端部閉じ蓋があ
り、それが前記ケースの内側をシールし、中空のフレキシブルな金属製の成型ベローズがあり、そ
れは両端部をもち、また、共通の厚さの壁をもち、一方
の端部は前記第１の端部閉じ蓋をもち、前記第２の端部
はピストン閉じ蓋プレートに固定され、前記端部および
前記ピストン閉じ蓋プレートは、外部圧力装置によって
前記ベローズが伸縮することにより、前記固定端部に向
かって、あるいは前記固定端部から離れるように移動で
き、前記ベローズは一体として作られた金属で、４個以
上の輪状のひだ山をもち、それぞれのひだ山は、前記輪
状のひだ山よりも短い直径をもつ輪状のひだ谷によって
お互いに分離されており、前記ケースへの入口装置があり、それは前記流体を、前
記ベローズの収縮運動により前記ベローズ・ポンプへ送
ることができ、前記ケースには出口装置があり、前記ベローズが伸ばさ
れた時に、前記の吸入した流体を放出することができ、前記の金属製のケースには輪状の壁があり、前記ベロー
ズも輪状で、前記輪状の壁から離しておかれ、前記ベロ
ーズが収縮した時に、前記ベローズの周りに、そして前
記第２の端部閉じ蓋と前記ピストン閉じ蓋プレートとの
間に空間がつくられ、前記空間は前記流体を受け取って
放出するために適切なものである、往復運動する金属製ベローズ・ポンプ。
【請求項２】前記第１の端部には通路があり、それを通
して前記圧力装置および前記ベローズの内部とが連結さ
れ、前記圧力装置の駆動によって前記ベローズが前記第
２の端部に向かって伸張され、前記空間にある流体を前
記出口装置から送りだすことを特徴とする、請求項１記
載の往復運動する金属製ベローズ・ポンプ。
【請求項３】前記ポンプには、前記流体に露出されるシ
ール装置がないことを特徴とする、請求項２記載の往復
運動する金属製ベローズ・ポンプ。
【請求項４】ポンピングされる流体が腐食性、苛性腐食
性、酸性あるいは毒性であることを特徴とする、請求項
３記載の往復運動する金属製ベローズ・ポンプ。
【請求項５】前記外部圧力装置が、圧縮空気源であるこ
とを特徴とする、請求項４記載の往復運動する金属製ベ
ローズ・ポンプ。
【請求項６】前記外部圧力装置が、圧縮水圧源であるこ
とを特徴とする、請求項４記載の往復運動する金属製ベ
ローズ・ポンプ。
【請求項７】第１のベローズ・ポンプと並んで、第２の
往復運動をする金属製ベローズ・ポンプがあり、ひとつ
のピストン棒が、ひとつのピストンの閉じ蓋プレートか
ら、前記もう一つのピストン閉じ蓋へ、それぞれの前記
第１の端部閉じ蓋を貫通して伸び、一方のフレキシブル
な金属製ベローズの収縮が、前記もう一方のフレキシブ
ルな金属製ベローズの反対の伸張を行うことを特徴とす
る、請求項１記載の往復運動する金属製ベローズ・ポン
プ。
【請求項８】前記第２の往復運動する金属製ベローズ・
ポンプが、前記外部圧力装置によってその伸縮が手助け
され、前記第２の住復運動する金属製のベローズ・ポンプは、
前記第１の往復運動する金属製ベローズ・ポンプによっ
て流体が受け取られ放出されるのと反対の関係で、流体
を受け取り放出することができることを特徴とする、請
求項７記載の往復運動する金属製ベローズ・ポンプの組
み合わせ。
【請求項９】高温高圧で外部供給源から、あらかじめ設
定された量の流体を、あらかじめ決められた時間にポン
ピングするシステムで、以下の部分から構成されるも
の、すなわち、一対の往復運動する金属製のベローズ・ポンプ端部を、
隣り合わせに置いた関係に配置され、それぞれが前記流
体を吸入し放出するのに適切なもので、前記ポンプのそ
れぞれが以下の部品を含むもの、すなわち、金属製のケースが、第１のおよび第２の端部閉じ蓋をも
ち、前記端と端を隣り合わせる位置関係では、前記第
１のベローズ・ポンプの第１の端部は、前記第２のベロ
ーズ・ポンプの閉じ蓋に対向して配置され、それぞれのポンプには、中空のフレキシブルな金属製の
成型ベローズがあり、それは両端をもち、また、共通の
厚さの壁をもち、一方の端部は前記第１の端部閉じ蓋を
もち、前記第２の端部はピストン閉じ蓋プレートに固定
され、前記第二の端部および前記ピストン閉じ蓋プレー
トは、外部圧力装置によって前記ベローズが伸縮するこ
とにより、前記固定端部に向かって、あるいは前記固定
端部から離れるように移動でき、前記ベローズは、一体
として作られた金属で、４個以上の輪状のひだ山をも
ち、それぞれのひだ山は、前記輪状の山よりも短い直径
をもつ輪状のひだ谷によってお互いに分離されており、前記ポンプの少なくとも一方の前記ケースの内側と連結
された外部流体源があり、前記ベローズの制御された伸
縮運動により、前記ベローズ・ポンプへ流体を送ること
ができ、前記ポンプの少なくとも一方の前記ケースには出口装置
があり、前記ベローズが伸ばされた時に前記の供給され
た流体を放出することができ、前記圧力装置は空気源を含み、圧力リミット・スイッチが、前記ポンプへの空気の流れ
を制御し、空気圧力で作動されるバブル装置が、空気圧力を前記ベ
ローズと前記圧力リミット・スイッチに分配し、前記ベ
ローズの一方が収縮して前記流体を追い出す時には、前
記もう一方のベローズは伸張され、それぞれの金属製ケースには輪状の壁があり、前記ベロ
ーズも輪状で前記輪状の壁から離しておかれ、前記ベロ
ーズが収縮した時に、前記ベローズの周りに、そして前
記第２の端部閉じ蓋と前記ピストン閉じ蓋プレートとの
間に空間がつくられ、前記空間は前記流体を受け取って
放出するために適切なものである、流体ポンピング・システム。
【請求項１０】一本のピストン棒が、前記ポンプの一方
から、ケースを貫通して、前記反対側のピストン閉じ蓋
プレートに伸び、前記ベローズの反対の伸縮運動を助け
るようにしていることを特徴とする、請求項９記載のシ
ステム。
【請求項１１】前記ポンプの双方が、前記外部流体源
と、前記ケースのそれぞれの内側とを連結する装置を含
み、双方のポンプが、前記ベローズの交互の伸張によ
り、その中に流体を送るようにした、請求項１０記載の
システム。
【請求項１２】前記ケースおよび前記ベローズの金属
が、腐食性、苛性腐食性、酸性あるいは毒性の流体に対
して耐性があり、前記ポンプは、前記ポンプの中にある前記流体に露出さ
れるようなシール装置がなく、前記ポンプが１０００°
Ｆまでの温度に耐えられることを特徴とする、請求項１
１記載のシステム。
【請求項１３】前記システムには圧縮空気源と、ポンプ
を往復運動させるために前記ポンプへ送る空気を計量す
るバルブ装置があり、前記バルブ装置に連結された空気通路をもつ一対のリミ
ット・スイッチがあり、それぞれが前記ポンプの一方に
対応し、前記ポンプのそれぞれへの空気圧力を変化させ
ながら制御し、それぞれのベローズを、一方が収縮して
いるときに他方が伸張されているように移動させ、前記ピストン棒上にあるトリップ棒が、前記リミット・
スイッチの間で移動可能であり、前記ベローズの伸縮を
助けるために、前記ベローズへの通路を開き、反対側は
閉じるためにスイッチをオン・オフすることを特徴とす
る請求項１２記載のシステム。
【請求項１４】前記バルブ装置には調節可能な空気流れ
制御装置があり、前記ベローズ・ポンプの伸縮ストロー
クのタイミングを制御することを特徴とする請求項１２
記載のシステム。