KR101476867B1 - 가스 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

가스 스크러버 섹션(118) 및 상기 가스 스크러버 섹션 위에 위치되는 정전 침전기 섹션(120)을 포함하는 케이싱(100)을 포함하는 가스 처리 장치가 개시된다. 구획부(136)는 스크러버 섹션(118)으로부터 침전기 섹션(120)을 분리하기 위해 케이싱(100) 내에 위치될 수 있다. 케이싱은 가스를 스크러버 섹션에 공급하기 위한 가스 입구(102), 가스를 침전기 섹션으로부터 배출하기 위한 가스 출구(104), 세정액을 침전기 섹션에 공급하기 위한 세정액 입구(106) 및 세정액을 침전기 섹션으로부터 배출하기 위한 세정액 출구(126)를 구비한다. 일 실시예에서, 구획부는 세정액이 침전기 섹션으로부터 스크러버 섹션으로 배출되는 일련의 개구, 및 가스를 스크러버 섹션으로부터 침전기 섹션으로 운반하기 위한 일련의 가스 통로(140)를 포함한다.

Description

가스 처리 장치{APPARATUS FOR TREATING GAS}
본 발명은 가스 처리 장치에 관한 것으로, SiO2와 같은 고체 입자 및 HCl과 같은 산성 가스를 함유하는 가스의 처리에 있어서 특정 용도를 갖는다.
에피택셜 증착 공정(epitaxial deposition process)은 실리콘 및 화합물 반도체 분야 양자에 있어서 고속 반도체 소자용으로 점진적으로 사용되고 있다. 에피택셜 층은 세심하게 성장한 단결정 실리콘 막(carefully grown, single crystal silicon film)이다. 에피택셜 증착은 고온, 전형적으로 약 800℃ 내지 1100℃의 수소 대기에서, 그리고 진공 상태하에서, 실리콘 공급원 가스, 전형적으로 실란, 또는 트라이클로로실란(trichlorosilane) 또는 다이클로로실란(dichlorosilane)과 같은 클로로실란 화합물 중 하나를 사용한다. 에피택셜 증착 공정에는 종종, 제조될 소자를 위해 필요한 경우, 소량의 붕소, 인, 비소, 게르마늄 또는 탄소가 첨가된다. 처리 챔버에 공급되는 에칭 가스에는 HCl, HBr, BCl3, Cl2 및 Br2와 같은 할로화합물(halocompound) 및 이들의 조합이 포함될 수 있다. 공정 진행중에 상기 챔버를 세정하기 위해, 염화수소(HCl), 또는 SF6 또는 NF3와 같은 다른 할로화합물이 사용될 수 있다.
이러한 공정에 있어서, 처리 챔버에 공급되는 가스의 소량만이 상기 챔버 내에서 소비되고, 상기 챔버에 공급되는 가스의 대부분은 챔버 내에서 실행되는 공정에 의한 고체 및 기체상 부산물과 함께 상기 챔버로부터 배출된다. 처리 공구는 전형적으로 복수의 처리 챔버를 구비하며, 이들 챔버 각각은 증착, 에칭 또는 세정 공정의 각각 상이한 단계에 존재할 수 있다. 따라서, 처리 동안, 상기 챔버로부터 배출되는 가스의 조합으로부터 형성되는 폐기물 스트림(waste stream)은 여러 상이한 조성을 가질 수 있다.
폐기물 스트림은 대기로 배출되기 전에, 선택된 가스 및 고체 입자를 제거하도록 처리된다. HF 및 HCl과 같은 산성 가스는 통상적으로 충전탑형 스크러버(packed tower scrubber)를 사용하여 가스 스트림으로부터 제거되며, 여기서 산성 가스는 상기 스크러버를 통해 유동하는 세정액에 의해 용액 내로 취해진다. 실란은 자연발화성이어서, 폐기물 스트림이 스크러버를 통해 운반되기 전에, 폐기물 스트림이 열 소각기를 통해 운반되어 실란 또는 폐기물 스트림 내에 존재하는 다른 자연발화성 가스를 공기와 반응시키는 것이 일반적인 관행이다. NF3와 같은 임의의 퍼플루오로화합물 역시 소각기 내에서 HF로 변환될 수 있다.
실란이 연소할 때, 다량의 이산화규소(SiO2) 입자가 발생된다. 이들 입자의 대부분은 충전탑형 스크러버 내에서 세정액에 의해 부유 상태를 취할 수 있게 되지만, 상대적으로 작은 입자(예를 들어, 1마이크로미터 미만의 크기를 가짐)에 대한 상기 세정액에 의한 포착은 상대적으로 빈약한 것으로 알려져 있다. 이러한 관점 에서, 폐기물 스트림으로부터 이들 소립자를 제거하기 위해, 스크러버의 하류측에 정전 침전기를 제공하는 것이, 예를 들어 US 2005/0123461호에 공지되어 있다.
도 10은 가스 스트림으로부터 고체 입자를 제거하기 위한 스크러버(10) 및 정전 침전기(12)에 대한 공지된 배열을 도시한다. 스크러버(10)의 제 1 격실(14)은, 물 입구(18)에서 수용되어 충전탑(16) 상에 분무되는 세정액, 일반적으로 물에 의해 세척되는 충전재(packing material)의 충전탑(16)을 포함한다. 충전탑(16)을 지지하는 체판(20)은 세정액을 충전탑(14)으로부터 스크러버(10)의 제 2 격실(22) 내로 배수한다. 배수 요소(24)는 물 입구(18)로의 복귀 재순환을 위해 제 2 격실(22)로부터 세정액을 배수한다.
가스 입구(26)는 가스 스트림을 스크러버(10)의 제 2 격실(22)로 운반한다. 가스는 체판(20)의 개구를 통해 제 1 격실(14)을 향해 상방으로 흐르며, 여기서 가스 스트림 내에 함유된 산성 가스 및 큰 고체 입자는 충전재를 지나 하방으로 흐르는 세정액에 이전된다. 세정 가스는 제 1 격실(14)의 상단에 위치되는 가스 출구(28)를 통해 스크러버(10)를 빠져나가고, 가스 출구(30)에 의해 정전 침전기의 가스 입구로 운반된다.
정전 침전기(12)는 2개의 정전 챔버(34, 36)를 포함하고, 상기 정전 챔버 각각은 하단부에서 중앙 챔버(38)에 연결되며, 상기 중앙 챔버는 가스를 하나의 정전 챔버(34)의 바닥으로부터 다른 정전 챔버(36)의 바닥으로 운반한다. 각각의 정전 챔버(34, 36)는 중앙에 배치된 내측 전극(40) 및 챔버(34, 36)의 전기 전도성 벽에 의해 제공될 수 있는, 상기 내측 전극(40)을 둘러싸는 외측 전극(42)을 포함한다. 각각의 정전 챔버(34, 36)는 또한 물의 유동이 공급되어 외측 전극(42)의 내측면 주위에서 하방으로 중앙 구성요소(38) 내로 유동하는 물의 "커튼"을 생성하는 물 입구(44)를 구비한다. 배수 요소(46)는 물 입구(44)로의 복귀 재순환을 위해 중앙 격실(38)로부터 물을 배수한다.
가스 입구(30)는 정전 챔버(34)의 상단으로 가스를 전달하도록 배열되며, 가스 출구(48)는 정전 챔버(36)의 상단으로부터 외부로 가스를 운반하도록 배열된다.
사용 동안, 내측 전극(40) 각각에 고압이 인가되어 각각의 정전 챔버(34, 36)의 내측과 외측 전극(40, 42) 사이에 정전기적으로 대전된 장, 또는 코로나를 생성한다. 가스가 코로나를 통과함에 따라, 가스 내에 함유된 임의의 입자는 전기적으로 대전되고 외측 전극(42)을 향해 끌리게 되며, 여기서 입자는 물 커튼으로 진입하고 중앙 챔버(38) 내에서 세척된다. 가스가 물 커튼과 함께 챔버(34)를 통해 하방으로 유동하는 정전 챔버(34)는 가스로부터 고체 입자를 제거하는데 기여하는 반면, 가스가 물 유동에 대해 상방으로 유동하는 정전 챔버(36)는 가스로부터 더욱 미세한 고체 입자 및 임의의 물 액적을 제거하는데 기여한다.
스크러버(10) 및 정전 침전기 양자에 세정액, 또는 물을 제공하기 위해 2개의 별도의 물 재순환 시스템이 요구된다. 이들 재순환 시스템 각각은 또한 재사용 이전에 물로부터 산성 종(acidic species)을 제거하기 위한 물 처리 유닛을 포함할 수 있으며, 이는 가스 처리 장치를 작동하는데 관련된 비교적 높은 비용의 원인이 될 수 있다.
본 발명은 케이싱; 상기 케이싱 내에 위치되는 가스 스크러버 섹션으로서, 상기 케이싱이 상기 가스 스크러버 섹션에 가스를 공급하기 위한 가스 입구를 구비하는, 상기 가스 스크러버 섹션; 및 상기 케이싱 내에 위치되어 상기 스크러버 섹션으로부터 가스를 수용하는 정전 침전기 섹션으로서, 상기 케이싱이 상기 침전기 섹션으로부터 가스를 배출하기 위한 가스 출구 및 상기 침전기 섹션으로 세정액을 공급하기 위한 세정액 입구를 구비하는, 상기 정전 침전기 섹션을 포함하며, 상기 스크러버 섹션은 상기 케이싱 내에 위치되어 상기 침전기 섹션으로부터 세정액을 수용하고, 상기 케이싱은 상기 스크러버 섹션으로부터 세정액을 배수하기 위한 세정액 출구를 구비하는 가스 처리 장치를 제공한다.
통상적인 케이싱 내에 스크러버 섹션과 침전기 섹션을 제공함으로써, 가스를 처리하여 산성 가스 및 고체 입자를 제거하기 위한 간단하고 비용 효율적인 장치를 제공할 수 있다. 이들 2개의 섹션은 세정액이 침전기 섹션에 공급되는 공통의 세정액 공급원을 공유할 수 있다. 세정액은 침전기 섹션으로부터 스크러버 섹션에 의해 수용되며, 세정액 출구를 통해 스크러버 섹션으로부터 배수된다. 이러한 세정액은 세정액 입구로 복귀 재순환될 수 있으며, 따라서 전술한 종래 기술에서 2개의 재순환 루프가 요구되는 것에 반해 하나의 재순환 루프만이 요구될 수 있다.
스크러버 섹션은 바람직하게는 침전기 섹션 아래에 위치되며, 이에 따라 가스 처리 장치의 점유 공간(foot-print)이 현저하게 감소된다. 이는 또한 세정액이 중력을 받아 유체 펌프를 제공할 필요 없이, 침전기 섹션으로부터 스크러버 섹션으로 배출될 수 있도록 하여 세정액을 하나의 섹션으로부터 다른 섹션으로 이동시킨다.
스크러버 섹션 및 침전기 섹션은 케이싱의 공통 구성요소 내에 위치될 수 있다. 대안적으로, 이들 섹션은 케이싱의 각각의 구성요소 내에 위치될 수 있으며, 이러한 각각의 구성요소는 클램프 또는 다른 연결 장치를 사용하여 함께 결합될 수 있다. 전술한 구성 중 하나에 있어서, 가스 입구는 스크러버 섹션이 위치되는 케이싱의 구성요소에, 바람직하게는 바로 아래에 연결되는 케이싱의 다른 구성요소 내에 위치될 수 있다. 케이싱으로부터 세정액을 배수하기 위한 드레인이 케이싱의 상기 구성요소로부터 세정액을 수용할 수 있다. 스크러버 섹션이 위치되는 케이싱의 구성요소와 드레인이 위치되는 케이싱의 구성요소 사이에 천공판이 유지되어 스크러버 섹션으로부터 세정액을 배수하기 위한 전술된 세정액 출구를 제공할 수 있다. 상기 천공판은 케이싱의 스크러버 섹션 구성요소와 일체형일 수 있다. 대안적으로, 세정액 출구는 스크러버 섹션으로부터 직접 케이싱으로부터의 세정액을 배수하도록 구성될 수 있다.
케이싱은 바람직하게는 관형, 더욱 바람직하게는 실질적으로 원통형이며, 세정액 입구는 바람직하게는 침전기 섹션에 접선방향으로 세정액을 공급하도록 배열된다. 이는 침전기 섹션의 외측 전극의 내측 벽 주위에 세정액의 "커튼"을 생성할 수 있다. 이러한 커튼은 사용 동안, 침전기 섹션에 의해 발생되는 전계에 의해 벽을 향해 끌리는 입자를 포착하는데 기여하고, 또한 침전물이 외측 전극의 내측 벽 상에 형성되는 것을 방지하는데 기여한다.
침전기 섹션의 외측 전극은 케이싱의 침전기 섹션 내에 삽입되는 슬리브의 형태로 제공될 수 있다. 이러한 경우에, 케이싱은 플라스틱 또는 다른 비-전기 전도성 재료로 제조될 수 있다. 대안적으로, 케이싱(또는 적어도 침전기 섹션을 포함하는 케이싱의 구성요소)은 전기 전도성 재료 예를 들어, 스테인리스 스틸로 형성되어 케이싱의 해당 부분이 침전기 섹션의 외측 전극을 제공할 수 있도록 할 수 있다.
상기 장치는 바람직하게는 케이싱을 스크러버 섹션 및 침전기 섹션으로 나누는 구획부를 포함한다. 이러한 구획부는 케이싱에 부착되는 실질적으로 평면인 부재일 수 있으며, 이는 케이싱의 2개의 구성요소 사이에 클램핑되거나 달리 유지될 수 있다. 대안적으로, 구획부는 침전기 섹션의 외측 전극에 연결될 수 있다. 다른 대안예로서, 구획부는 스크러버 섹션이 위치되는 케이싱의 구성요소 또는 침전기 섹션이 위치되는 케이싱의 구성요소에 연결되거나 일체를 이룰 수 있다.
침전기 섹션이 스크러버 섹션 위에 위치되는 경우, 구획부는 실질적으로 수평일 수 있다. 원통형 케이싱의 경우, 구획부는 케이싱의 축에 실질적으로 수직일 수 있다.
외부 배관이 스크러버 섹션으로부터 침전기 섹션으로 가스를 운반하는데 사용될 수 있으며, 이로써 가스가 하나의 섹션으로부터 다른 섹션으로 구획부 주위로 운반될 수 있다. 그러나, 이러한 배관은 스크러버 섹션에 의해 가스로부터 제거되지 않은 고체 입자에 의해 막히는 경향을 보일 수 있다. 따라서, 스크러버 섹션으로부터 침전기 섹션으로 가스를 운반하기 위한 수단은 바람직하게는 가스가 스크러버 섹션으로부터 구획부를 통해 침전기 섹션으로 유동하도록 구획부에 형성되며, 이로써 외부 배관이 필요하지 않게 된다. 또한, 침전기 섹션이 스크러버 섹션 위에 위치되는 경우, 구획부를 통해 침전기 섹션으로의 가스 스트림의 상향 경로와 연관되는 상대적으로 낮은 컨덕턴스 상실만이 존재한다.
전술한 바와 같이, 스크러버 섹션 및 침전기 섹션은 케이싱의 공통 구성요소에 제공될 수 있으며, 케이싱의 상기 공통 구성요소를 이들 2개의 섹션으로 나누기 위해 구획부가 제공된다. 대안적으로, 각각의 섹션이 케이싱의 별도의 구성요소 내에 위치될 수 있으며, 이들 2개의 구성요소는 클램프 또는 다른 연결 장치에 의해 함께 연결된다. 그 후, 가스를 스크러버 섹션으로부터 침전기 섹션으로 운반하기 위한 수단이 이들 2개의 구성요소의 인접 벽에 형성될 수 있으며, 상기 벽은 스크러버 섹션과 침전기 섹션 사이의 구획부를 제공한다. 다른 대안예에서, 스크러버 섹션을 수용하는 케이싱의 구성요소는 케이싱의 이들 구성요소들이 함께 연결되는 경우, 침전기 섹션을 수용하는 케이싱의 구성요소의 벽 또는 베이스에 의해 폐쇄되는 구멍부 또는 개구부를 가질 수 있다. 이러한 경우에, 전술한 벽 또는 베이스는 2개의 섹션 사이에 구획부를 제공할 것이며, 스크러버 섹션으로부터 침전기 섹션으로 가스를 운반하기 위한 수단을 포함할 것이다.
외부 배관은 침전기 섹션으로부터 스크러버 섹션으로 세정액을 운반하는데 사용될 수 있으며, 이로써 세정액이 하나의 섹션으로부터 다른 섹션으로 구획부 주위로 운반될 수 있게 된다. 그러나, 구획부는 세정액을 침전기 섹션으로부터 스크러버 섹션으로 운반하기 위한 수단을 포함하는 것이 바람직하며, 이로써 하나의 섹션으로부터 다른 섹션으로 액체 또는 가스를 운반하기 위한 임의의 외부 배관을 제공할 필요가 없어진다.
침전기 섹션으로부터 스크러버 섹션으로 세정액을 운반하기 위한 수단은 구획부 내에 형성되는 복수의 개구를 포함할 수 있으며, 이러한 개구를 통해 세정액이 침전기 섹션으로부터 스크러버 섹션으로 배출된다. 구획부는 스크러버 섹션이 침전기 섹션으로부터 배출되는 세정액으로 분사(shower)되도록 천공될 수 있다. 스크러버 섹션은 충전재를 포함할 수 있으며, 이에 따라 이들 2개의 섹션 사이에 천공된 구획부를 제공함으로써 스크러버 섹션 내로의 재료의 상대적으로 균등한 관개(irrigation)를 제공할 수 있다.
스크러버 섹션으로부터 침전기 섹션으로 가스를 운반하기 위한 수단은 바람직하게는 구획부에 형성되는 복수의 가스 통로를 포함한다. 이들 가스 통로는 전술된 개구 사이에 분산되거나, 구획부의 전용부에 위치될 수 있다. 바람직한 실시예에서, 가스 통로는 개구 위에서 침전기 섹션 내로 가스를 공급하도록 구성된다. 예를 들어, 각각의 가스 통로는 구획부로부터 침전기 섹션으로 연장하는 파이프 또는 튜브를 포함할 수 있다. 이로써 가스가 구획부 상에 정착될 수 있는 다량의 세정액 위에서 침전기 섹션으로 진입할 수 있다.
스크러버 섹션이 침전기 섹션보다 많은 양의 세정액을 요구하는 경우에, 케이싱에는 세정액을 스크러버 섹션에 공급하기 위한 것으로 세정액을 스크러버 섹션에 분무하도록 구성될 수 있는 추가의 세정액 입구가 제공될 수 있다.
복수의 정전 침전기 섹션이 스크러버 섹션으로부터 가스를 수용하도록 케이싱 내부에 위치될 수 있다. 이들 침전기 섹션은 직렬 또는 병렬로 배열될 수 있다. 케이싱에는 스크러버 섹션으로부터 복수의 침전기 섹션을 분리하기 위한 단일 구획부, 또는 각각 스크러버 섹션으로부터 각각의 침전기 섹션을 분리하기 위한 복수의 구획부가 제공될 수 있다. 이들 구획부 각각은 그 침전기 섹션의 외측 전극에 연결되거나 일체를 이룰 수 있다. 침전기 섹션은 또한 침전기 챔버 내에 동심으로 배열될 수 있으며, 사이에 동축으로 위치되는 대응 전극 조립체와 함께 내측 집진극 및 외측 집진극을 포함하여 장치 크기의 증가 없이 대용적량을 갖는 장치 형성을 용이하게 한다.
이제, 본 발명의 바람직한 특징이 첨부 도면을 참조하여 예시적으로 설명될 것이다.
도 1은 가스 처리 장치의 제 1 실시예에 대한 수직 단면도,
도 2의 (a)는 가스 처리 장치의 제 2 실시예에 대한 수직 단면도, 도 2의 (b)는 도 2의 (a)의 장치의 구획부에 대한 평면도,
도 3의 (a)는 가스 처리 장치의 제 3 실시예에 대한 수직 단면도, 도 3의 (b)는 도 3의 (a)의 장치의 구획부에 대한 평면도,
도 4의 (a)는 가스 처리 장치의 제 4 실시예에 대한 수직 단면도, 도 4의 (b)는 도 4의 (a)의 장치의 구획부에 대한 평면도,
도 5의 (a)는 가스 처리 장치의 제 5 실시예에 대한 수직 단면도, 도 5의 (b)는 도 5의 (a)의 장치의 구획부에 대한 평면도,
도 6은 가스 처리 장치의 제 6 실시예에 대한 수직 단면도,
도 7의 (a)는 가스 처리 장치의 제 7 실시예에 대한 수직 단면도, 도 7의 (b)는 도 7의 (a)의 장치의 구획부에 대한 평면도,
도 8은 가스 처리 장치의 제 8 실시예에 대한 수직 단면도,
도 9는 가스 처리 장치의 제 9 실시예에 대한 수직 단면도,
도 10은 공지된 가스 처리 장치에 대한 수직 단면도,
도 11은 가스 스트림 처리 장치의 제 10 실시예에 대한 수직 단면도.
도 1은 가스 처리 장치의 제 1 실시예에 대한 수직 단면도이다. 상기 장치는 관형, 바람직하게는 실질적으로 원통형 케이싱(100)을 포함하며, 상기 케이싱은 처리될 가스를 수용하기 위해 케이싱(100)의 일 단부 쪽에 배치되는 가스 입구(102) 및 처리된 가스를 케이싱(100)으로부터 배출하기 위해 케이싱(100)의 타단부 쪽에 배치되는 가스 출구(104)를 구비한다. 케이싱(100)은 세정액, 예를 들어 물을 수용하기 위한 세정액 입구(106) 및 세정액이 처리를 위해 케이싱(100)으로부터 배수되고 세정액 입구(106)로 복귀하는 드레인 요소(108)를 추가로 포함한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 세정액 입구(106)는 바람직하게는 케이싱(100)의 상측(도시된 바와 같음) 단부 쪽에 가스 출구(104)에 인접하여 배치되며, 드레인 요소(108)는 케이싱(100)의 하측(도시된 바와 같음) 단부 쪽에 위치된다.
이러한 제 1 실시예에서, 케이싱(100)은 제 1 구성요소(110) 및 제 2 구성요소(112)를 포함하며, 상기 제 2 구성요소는 예를 들어, 이들 구성요소(110, 112)의 플랜지(114, 116) 주위에 위치되는 클램프를 사용하여 제 1 구성요소(110)에 연결 된다. 이들 구성요소(110, 112) 각각은 플라스틱 또는 다른 비-전기 전도성 재료로 형성될 수 있다. 가스 출구(104)가 형성되는 케이싱(100)의 덮개부(117)는 케이싱(100)의 제 1 구성요소(110)의 개방 상측 단부의 플랜지(115)에 고정된다.
제 1 구성요소(110)는 케이싱(100)을 통해 유동하는 가스를 처리하기 위한 가스 스크러버 섹션(118) 및 정전 침전기 섹션(120)을 수용한다. 이들 섹션(118, 120)은 가스가 침전기 섹션(120)을 통해 유동하기 전에 스크러버 섹션(118)을 통해 유동하도록 케이싱(100)의 제 1 구성요소(110) 내에 위치된다. 케이싱(100)의 기하학적 형상에 따라, 침전기 섹션(120)은 스크러버 섹션(118)의 측면에, 또는 스크러버 섹션에 대해 일정한 각도로 위치될 수 있으며, 하나의 섹션으로부터 다른 섹션으로 가스를 운반하도록, 적합한 배관이 제공되거나 케이싱(100)이 구성된다. 그러나, 이하 더욱 상세하게 설명되는 바와 같이, 침전기 섹션(120)은 바람직하게는 스크러버 섹션(118) 위에 위치된다.
스크러버 섹션(118)은 충전재의 충전탑(packing material; 122)을 포함한다. 충전재는, 복수의 개구(126)를 갖고 케이싱(100)의 제 1 구성요소(110)에 연결되거나 일체를 이루는 체판(sieve plate; 124)에 의해 지지된다.
침전기 섹션(120)은 내측 전극(128)이 침전기 섹션(120) 내로 연장하도록, 덮개부(117)에 매달려 있는 전기 절연 홀더(130) 내에 장착되는 중앙 위치식 내측 전극(128)을 포함한다. 내측 전극(128)은 본 실시예에서 전기 전도성 슬리브의 형태를 취하는 외측 전극(132)에 의해 둘러싸인다. 외측 전극(132)의 상측 개방 단부는 플랜지 또는 칼라에 용접되고, 상기 플랜지 또는 칼라는 케이싱(100)의 제 1 구성요소의 플랜지(115)의 절단된 그루브에 위치되어 외측 전극(132)이 플랜지(115)로부터 케이싱(100) 내로 현수된다.
사용 시, 외측 표면(132)은 전기적 접지(0V)로 유지된다. 도선(134)은 내측 전극(128)을, 전극(128, 132) 사이에 20kV 내지 50kV의 범위, 바람직하게는 40kV 내지 50kV의 범위의 전위를 인가하기 위한 전원장치(도시되지 않음)와 연결시킨다. 세정액 입구(106)는 외측 전극(132)의 상단에 접선방향으로 세정액을 공급하도록 배열되어, 외측 전극(132)의 내측 벽 주위로 세정액의 커튼 또는 "스월"(swirl)을 발생시킨다.
케이싱(100)을 스크러버 섹션(118)과 침전기 섹션(120)으로 분리하도록 구획부(136)가 케이싱(100) 내에 제공된다. 본 실시예에서, 구획부(136)는 외측 전극(132)의 개방 하측(도시된 바와 같음) 단부에 용접되거나 연결되는 실질적으로 평면인 판에 의해 제공된다.
본 제 1 실시예에서, 가스 및 세정액 모두는 하나의 섹션으로부터 구획부(136)를 통해 다른 섹션으로 흐른다. 다시 말해, 가스는 스크러버 섹션(118)으로부터 구획부(136)를 통해 침전기 섹션(120)으로 흐르며, 세정액은 침전기 섹션(120)으로부터 구획부(136)를 통해 스크러버 섹션(118)으로 흐른다. 구획부에는 세정액이 침전기 섹션(120)으로부터 스크러버 섹션(118)으로 배수되는 복수의 개구(138)가 제공된다. 이들 개구(138)는 케이싱(100)의 종방향 축선을 중심으로 연장하는 다수의 동심 원형 배열로 배열되어, 충전탑의 충전재가 침전기 섹션(120)으로부터 배수되는 세정액으로 비교적 균등하게 분사된다. 결과적으로, 스크러버 섹 션(118)이 침전기 섹션(120) 바로 아래에 위치되는 경우, 하나의 섹션으로부터 다른 섹션으로 세정액을 운반하기 위해, 임의의 다른 내부 또는 외부 배관을 제공할 필요가 없다.
체판(124)의 개구(126) 각각은 스크러버 섹션(118)으로부터 케이싱(100)의 제 2 구성요소(112)로 세정액을 배수하기 위한 세정액 출구를 제공하며, 이러한 출구를 통과한 세정액은 드레인 요소(108)에 의해 배출된다.
구획부(136)는 스크러버 섹션(120)으로부터 침전기 섹션(118)으로 가스가 운반되는 하나 이상의 가스 통로를 포함한다. 세정액이 구획부(136)를 통해 침전기 섹션(120)으로 배수되는 속도에 따라, 구획부(136)의 상단면 상에 다량의 세정액이 형성될 수 있다. 이러한 관점에서, 각각의 가스 통로는 바람직하게는 구획부(136) 상에 형성되는 세정액의 체적에 대한 최대 높이를 초과하여 구획부(136)로부터 침전기 섹션(120)으로 연장하는 파이프(140)의 형태로 제공된다. 이로써 가스가 그 내부에 과도한 양의 세정액을 함유(entraining)하지 않고서 침전기 섹션(120) 내로 운반될 수 있다.
사용 시, 가스는 가스 입구(102)를 통해 케이싱(100)으로 진입하고, 체판(124)의 개구(126)를 통해 스크러버 섹션(118)을 향해 상방으로 진행한다. 가스는 구획부(136)로부터 충전재 상에 분사되는 세정액의 유동에 반해 스크러버 섹션(118)을 통해 상방으로 흐른다. 스크러버 섹션(118) 내에서, HF 또는 HCl과 같은 산성 가스 및 상대적으로 큰 고체 입자가 세정액으로 이전된다. 세정된 가스는 파이프(140)를 통해 스크러버 섹션(118)을 떠나 침전기 섹션(120)으로 진입한다. 가스는 내측 및 외측 전극(128, 132) 사이에서 상방으로, 다시 외측 전극(132)의 내측 벽 상을 흐르는 세정액의 유동에 대향하여 흐른다. 전극(128, 132) 사이의 전위차는 코로나를 생성하고, 이는 가스 내에 잔류하는 임의의 고체 입자를 대전하고, 이들 대전된 종은 외측 전극을 향해 끌려 가서, 이들이 외측 전극(132)의 내측 벽 상에 형성되는 세정액의 커튼 내에 함유된다. 또한, 침전기 섹션으로 진입하는 세정된 가스 내에 함유되는 세정액의 임의의 액적이 세정액의 커튼에 의해 포착된다. 이렇게 처리된 가스 스트림은 그 후에 케이싱(100)으로부터 가스 출구(104)를 통해 배출된다.
고체 입자 및 산성 종[양자가 케이싱(100)으로 진입하는 가스 내에 존재하는 경우] 양자를 운반하는 세정액은 스크러버 섹션(118)으로부터 체판(124) 내 개구(126)를 통해 케이싱(100)의 제 2 구성요소(112)로 배수된다. 세정액은 드레인 요소(108)에 의해 구성요소(112)로부터 배수되며, 세정액으로부터 산성 종 및 고체 입자를 제거하기 위해, 바람직하게는 케이싱(100) 근처에 위치되는 처리 장치(도시되지 않음)로 운반된다. 예를 들어, 하나 이상의 필터가 세정액으로부터 입자를 제거하기 위해 사용될 수 있으며, 이온 교환 장치가 세정액으로부터 산성 종을 제거하는데 사용될 수 있다. 이렇게 처리된 세정액은 재사용을 위해, 세정액 입구(106)로 복귀된다.
도 10에 도시된 장치와 비교해 볼 때, 도 1에 도시된 장치의 점유 면적(foot-print)은 현저하게 작으며, 하나의 액체 재순환 시스템만이 필요로 된다. 또한, 내측 전극(128)의 홀더(130)는 정전 챔버(34)의 전극(40)의 홀더보다 훨씬 깨끗한 환경에 위치되며, 이에 따라 홀더(130) 상에 입자의 실질적인 증대는 없을 것이다.
도 2의 (a)는 가스 처리 장치의 제 2 실시예를 도시한다. 본 제 2 실시예는 도 1에 도시된 제 1 실시예와 유사하며, 따라서 동일한 도면부호는, 제 1 실시예의 특징부와 동일하고 본 제 2 실시예와 관련하여 추가적으로 설명되지 않을 제 2 실시예의 특징부를 나타내기 위해 사용되었다.
제 2 실시예는 제 1 실시예의 제 1 구성요소(110)가 스크러버 섹션 구성요소(210) 및 침전기 섹션 구성요소(212)로 대체되었다는 점이 제 1 실시예와 다르다. 스크러버 섹션 구성요소(210)는 케이싱(100)의 스크러버 섹션(118)을 수용하고, 침전기 섹션 구성요소(212)는 케이싱의 침전기 섹션(120)을 수용한다. 스크러버 섹션 구성요소(210)는 구성요소(112)의 플랜지형 상단부에 연결되는 플랜지형 바닥(도시된 바와 같음) 단부(214), 침전기 섹션 구성요소(212)의 플랜지형 바닥 단부(218)에 연결되는 플랜지형 상단부(216)를 구비한다.
덮개부(117)는 침전기 섹션 구성요소(212)의 개방 상측 단부의 플랜지(215)에 고정된다. 제 1 실시예에서와 같이, 외측 전극(132)의 상측 개방 단부는 플랜지 또는 칼라에 용접되며, 상기 플랜지 또는 칼라는 케이싱(100)의 침전기 섹션 구성요소(212)의 플랜지(215) 내에 절단된 그루브 내에 위치되어 외측 전극(132)이 플랜지(215)를 통해 케이싱(100) 내로 현수된다.
제 2 실시예는 구획부(136)가 케이싱(100)의 섹션 구성요소(210, 212) 사이에 클램핑되거나 유지되는 구획부(236)로 대체된다는 점에서도 상이하다. 구획 부(236)는 플라스틱 재료로 형성될 수 있다. 도 2의 (a) 및 도 2의 (b)에 도시된 바와 같이, 제 1 실시예의 구획부(136)에 유사하게, 구획부(236)는 세정액이 침전기 섹션(238)으로부터 스크러버 섹션(118)으로 배수되는 복수의 개구(238)를 포함한다. 이들 장치(238)는 케이싱(100)의 종방향 축선 주위로 연장하는 다수의 동심 원형 배열(본 실시예에서는 3개)로 배열되어, 충전탑의 충전재가 침전기 섹션(120)으로부터 배수되는 세정액으로 비교적 균등하게 분사된다. 구획부는 또한 구획부(236) 상에 형성되는 세정액에 대한 최대 높이를 초과하여 구획부(236)로부터 침전기 섹션(120)으로 연장하는 복수의 파이프(240)를 포함한다. 이들 파이프(240)는 또한 케이싱(100)의 종방향 축선 주위로 연장하는 다수의 동심 원형 배열(본 실시예에서는 2개)로 배열될 수 있다. 도 2의 (b)에 도시된 바와 같이, 개구(238)는 원형 배열로 인접한 파이프(240) 사이에 제공될 수 있다.
도 3 내지 도 7은 각각 가스 스트림을 처리하기 위한 장치에 대한 제 3 실시예 내지 제 7 실시예를 도시한다. 이들 실시예 각각은 도 2의 (a)에 도시된 제 2 실시예를 기반으로 하며, 따라서 동일한 도면부호는, 제 2 실시예의 특징부와 동일하여 추가로 설명되지 않을 이들 실시예의 특징부를 나타내는데 사용되었다.
먼저, 도 3의 (a) 및 도 3의 (b)로 가서, 가스 처리 장치의 제 3 실시예에서, 제 2 실시예의 구획부(236)는 스크러버 섹션(118)으로부터 침전기 섹션(120)으로 가스를 운반하기 위한 단일의 중앙 위치 파이프(340)를 갖는 구획부(336)로 대체된다. 침전기 섹션(120)으로부터 스크러버 섹션(118)으로 세정액을 운반하기 위해, 4개 개구(338)의 동심 배열이 구획부(336) 내의 파이프(340) 주위에 위치된다.
도 4의 (a) 및 도 4의 (b)는 가스 처리 장치의 제 4 실시예를 도시한다. 본 제 4 실시예에서, 제 2 실시예의 구획부(236)는 침전기 섹션(120)으로부터 스크러버 섹션(118)으로 세정액을 운반하기 위한 5개 개구(438)의 동심 배열, 및 유사한 중앙 개구(439)를 갖는 구획부(436)로 대체된다. 가스가 스크러버 섹션(118)으로부터 침전기 섹션(120)으로 이전될 수 있도록, 스크러버 섹션 구성요소(210)에는 상측(도시된 바와 같음) 단부 쪽에 복수의 가스 출구(440)가 제공되며, 침전기 섹션 구성요소(212)에는 그 하측(도시된 바와 같음) 단부 쪽에 복수의 가스 입구(442)가 제공된다. 가스 출구(440)를 가스 입구(442)에 연결하는 외부 배관(도시되지 않음)은 하나의 섹션으로부터 다른 섹션으로 세정된 가스를 운반한다.
도 5의 (a) 및 도 5의 (b)는 가스 처리 장치의 제 5 실시예를 도시한다. 본 제 5 실시예에서, 제 2 실시예의 구획부(236)는 사용 동안 구획부(536) 상에 고이게 될 세정액에 대한 최대 높이를 초과하여 구획부(536)로부터 침전기 섹션(120)으로 연장하는 복수의 파이프(540)를 갖는 구획부(536)로 대체된다. 세정액이 침전기 섹션(120)으로부터 스크러버 섹션(118)으로 전달될 수 있도록 하기 위해, 침전기 섹션 구성요소(212)에는 그 하측(도시된 바와 같음) 단부 쪽에, 그리고 파이프(540)의 상단부 아래에 위치되는 세정액 출구(542)가 제공된다. 스크러버 섹션 구성요소(210)에는 그 상측(도시된 바와 같음) 단부 쪽에 세정액 입구(544)가 제공된다. 세정액 출구(542)를 세정액 입구(544)에 연결하는 외부 배관(도시되지 않음)이 하나의 섹션으로부터 다른 섹션으로 세정액을 운반한다. 침전기 섹션(120)으로부터 세정액을 펌핑하고, 펌핑된 세정액 내에 충분한 압력을 발생시켜 세정액 입구(544)의 노즐(546)로부터 스크러버 섹션(118)의 충전재로 세정액의 분부를 발생시키도록 상기 배관에 액체 펌프가 제공될 수 있다.
도 6은 가스 처리 장치의 제 6 실시예를 도시한다. 본 제 6 실시예에서, 케이싱(100)의 침전기 섹션 구성요소(212)는 케이싱(100)의 스크러버 섹션 구성요소(210)의 플랜지형 개방 단부(216)에 연결되는 플랜지형 바닥(도시된 바와 같음) 단부(618)를 갖는 전기 전도성 침전기 섹션 구성요소(612)로 대체된다. 이로써 케이싱(100)의 침전기 섹션 구성요소(612)가 침전기 섹션(120)의 외측 전극으로서 작용할 수 있게 되며, 따라서 내측 전극(128)을 둘러싸는 전기 전도성 슬리브(132)를 제공할 필요성이 없게 된다.
도 7의 (a) 및 도 7의 (b)는 가스 처리 장치의 제 7 실시예를 도시한다. 본 제 7 실시예에서, 침전기 섹션 구성요소(212)는 스크러버 섹션(118)으로부터 가스를 수용하도록 위치되는 복수(본 예에서는 3개)의 침전기 섹션(720)을 포함하는 침전기 섹션 구성요소(712)로 대체된다. 구성요소(712)는 케이싱(100)의 스크러버 섹션 구성요소(210)의 플랜지형 상단(도시된 바와 같음) 단부(216)에 연결되는 플랜지형 바닥(도시된 바와 같음) 단부(718)를 구비하며, 플랜지형 상단 단부(716)는 제 2 실시예의 덮개부(117)를 대체하는 케이싱(100)의 커버 구성요소(732)의 플랜지형 바닥 단부(730)에 연결된다. 커버 구성요소(732)는 침전기 섹션(720)으로부터 가스를 배출하기 위한 가스 출구(704)를 포함한다. 커버 구성요소(732)에 형성된 가스 매니폴드(734)는 가스를 침전기 섹션(720)으로부터 가스 출구(704)로 운반한다. 커버 구성요소(732)는 침전기 섹션(720) 각각에 세정액을 공급하기 위한 세 정액 입구(706)를 추가로 포함한다.
침전기 섹션(720)은 스크러버 섹션(118)으로부터 가스를 수용하도록 평행하게 나란히 배열된다. 침전기 섹션(720) 각각은 커버 구성요소(732)에 위치되는 홀더(130)에 유지된 내측 전극(128), 및 상기 내측 전극(128) 주위로 연장되는 외측 전극(132)을 포함한다. 외측 전극(132)의 상측 개방 단부는 플랜지 또는 칼라에 용접되고, 상기 플랜지 또는 칼라는 케이싱(100)의 침전기 섹션 구성요소(712)의 플랜지(716) 내에 절단된 그루브에 위치되어, 각각의 외측 전극(132)이 플랜지(716)로부터 케이싱(100) 내로 현수된다.
제 2 실시예의 구획부(236)는 세정액이 침전기 섹션(720)으로부터 스크러버 섹션(118)으로 배수되는 복수의 개구(738)를 포함하는 구획부(736)로 대체된다. 이러한 개구(238)는 케이싱(100)의 종방향 축선 주위로 연장하는 다수(본 실시예에서는 5개)의 동심 원형 배열로 배열되어, 충전탑의 충전재가 침전기 섹션(720)으로부터 배수되는 세정액으로 비교적 균등하게 분사된다. 구획부는 또한, 각각의 침전기 섹션(720)에 대해 하나씩 할당되고 각각 구획부(736)로부터 각각의 침전기 섹션(720)으로 연장되어 평행하게 침전기 섹션(720) 내로 세정된 가스를 운반하는 복수의 파이프(740)를 포함한다. 각각의 파이프(740)는 해당 침전기 섹션(720)의 외측 전극(132)과 실질적으로 동심을 이룬다.
도 8은 가스 처리 장치의 제 8 실시예를 도시한다. 본 제 8 실시예는 도 7의 (a)에 예시된 제 7 실시예와 유사하며, 따라서 동일한 도면부호는, 제 7 실시예의 특징부와 동일하고 제 8 실시예와 관련하여 추가로 설명되지 않을 제 8 실시예 의 특징부를 나타내는데 사용된다.
본 제 8 실시예에서, 케이싱(100)의 스크러버 섹션 구성요소(210) 및 침전기 섹션 구성요소(712)는 도 1에 도시된 제 1 실시예의 케이싱(100)의 제 1 구성요소(110)로 대체된다. 제 7 실시예의 구획부(736)는 각 침전기 섹션(720)에 대해 하나씩 할당되고 각각 침전기 섹션(720)의 외측 전극(132)의 개방 바닥(도시된 바와 같음) 단부에 용접되거나 연결되는 복수의 전기 전도성 구획부(836)로 대체된다. 각각의 구획부(836)는 세정액이 침전기 섹션(720)으로부터 스크러버 섹션(118)으로 배수되는 개구(838)의 원형 배열을 포함한다. 구획부(836)는 또한 세정된 가스를 침전기 섹션(720) 내로 운반하기 위해 구획부(836)로부터 침전기 섹션(720)으로 연장되는 파이프(840)를 포함한다. 파이프(840)는 침전기 섹션(720)의 외측 전극(132)과 실질적으로 동심을 이룬다.
도 9는 가스 처리 장치의 제 9 실시예를 도시한다. 본 제 9 실시예는 도 1에 도시된 제 1 실시예와 유사하며, 따라서 동일한 도면부호는, 제 1 실시예의 특징부와 동일하고 본 제 9 실시예와 관련하여 추가로 설명되지 않을 제 9 실시예의 특징부를 나타내기 위해 사용된다.
제 9 실시예는 가스가 스크러버 섹션(118)으로부터 침전기 섹션(120)으로 자유롭게 유동하고, 세정액이 침전기 섹션(120)으로부터 스크러버 섹션(118)으로 자유롭게 유동하도록, 제 1 실시예의 구획부(136)가 제거된다는 점에 있어서 제 1 실시예와 상이하다. 이에 의해 충전탑의 충전재(122)의 비교적 불균등한 관개(irrigation)가 초래되고, 최외측 충전재가 최내측 충전재보다 훨씬 많이 관개되 기 때문에, 스크러버 섹션(118)의 적어도 중앙부에 추가적인 세정액을 공급하기 위해 추가적인 세정액 입구(902)가 케이싱(100)에 제공된다. 도 9에 도시된 바와 같이, 충전탑의 충전재(122) 상에 추가적인 세정액을 분무하도록 노즐(904)이 제공될 수 있다.
마지막으로, 도 11은 가스 스트림 처리용 장치의 제 10 실시예를 도시한다. 본 실시예는 도 2의 (a)에 도시된 제 2 실시예를 근거로 하며, 따라서 동일한 도면부호는, 제 2 실시예의 특징부와 동일하고 추가로 설명되지 않을 본 실시예의 특징부를 나타내도록 사용되었다.
본 제 10 실시예에서, 침전기 섹션 구성요소(212)는 중앙에 위치된 내측 집진극(1132) 및 외측 집진극(132)을 포함하고, 상기 내측 집진극(1132)과 외측 집진극(132) 사이에 고전압 전극 조립체(1128)가 동축으로 장착된다는 점에서 제 2 실시예의 침전기 섹션 구성요소와 상이하다.
제 2 실시예에서와 같이 외측 집진극(132)은 케이싱(100)의 침전기 섹션 구성요소(212)의 플랜지(215) 내에 절단되는 그루브 내에 위치되는 플랜지 또는 칼라에 용접된다.
내측 집진극(1132)은 덮개부(117) 내에 절단되는 그루브 내에 위치되는 칼라에 용접되는 실질적으로 원통형인 금속 튜브이며, 이로써 내측 집진극이 침전기(120) 내로 연장된다. 내측 집진극(1132)은 세정액을 수용하기 위한 물 공급 입구(1106)를 구비한다.
고전압 전극 조립체(1128)가 덮개부(117)에 매달리는 전기 절연 홀더(도시되 지 않음)에 장착되어, 고전압 전극 조립체(1128)가 내측 및 외측 집진극(1132, 132) 사이에서 동축으로 침전기 섹션(120)으로 연장되고, 외측 집진극(132)에 의해 동축으로 둘러싸이며, 내측 집진극(1132)을 동축으로 둘러싼다. 전극 조립체(1128)는 축선에서 내측 집진극(1132)을 둘러싸는 환형상인 것이 바람직하지만, 예를 들어, 육각형 또는 오각형일 수도 있다.
사용 시, 외측 및 내측 집진극(132, 1132)은 전기적 접지(0V)로 유지된다. 고전압 전극 조립체(1128)가 고전압 전극 조립체(1128)와 내측 및 외측 집진극(1132, 132) 사이에서 예를 들어, 20kV 내지 50kV의 전위를 인가하기 위한 전원 장치(도시되지 않음)에 연결된다. 세정액 입구(106)는 외측 집진극(132)의 상단에 접선방향으로 세정액을 공급하여 외측 전극(132)의 내측 벽 주위로 세정액의 커튼 또는 "스월"을 생성하도록 배열된다. 세정액 입구(1106)는 내측 집진극(1132)의 상단에 세정액을 공급하여 외측 전극(1132)의 외부 벽 주위로 세정액의 커튼을 생성하도록 배열된다.
제 10 실시예는 비현실적인 값으로의 침전기 유닛(120)의 여기 전압의 증가 없이, 침전기 섹션(120)의 고 체적 용량을 가능하게 하거나, 수평방향으로부터 작은 침전기 섹션(120)에서의 효율적인 세정을 가능하게 한다.
요약하여, 가스 처리 장치는 가스 스크러버 섹션 및 상기 스크러버 섹션 위에 위치되는 정전 침전기 섹션을 포함하는 케이싱을 포함한다. 구획부가 스크러버 섹션으로부터 침전기 섹션을 분리하기 위해 케이싱 내에 위치될 수 있다. 케이싱은 가스를 스크러버 섹션에 공급하기 위한 가스 입구, 가스를 침전기 섹션으로부터 배수하기 위한 가스 출구, 세정액을 침전기 섹션으로 공급하기 위한 세정액 입구, 및 세정액을 스크러버 섹션으로부터 배수하기 위한 세정액 출구를 구비한다. 일 실시예에서, 구획부는 스크러버 섹션으로부터 침전기 섹션으로 가스를 운반하기 위한 일련의 가스 통로, 및 세정액이 침전기 섹션으로부터 스크러버 섹션으로 배수되는 일련의 개구를 포함한다.

Claims (28)

  1. 가스 처리 장치에 있어서,
    케이싱과,
    상기 케이싱 내에 위치되는 가스 스크러버 섹션으로서, 상기 케이싱은 상기 가스 스크러버 섹션에 가스를 공급하기 위한 가스 입구를 구비하는, 상기 가스 스크러버 섹션과,
    상기 케이싱 내에 위치되어 상기 스크러버 섹션으로부터 가스를 수용하는 정전 침전기 섹션으로서, 상기 케이싱은 상기 침전기 섹션으로부터 가스를 배출하기 위한 가스 출구 및 상기 침전기 섹션으로 세정액을 공급하기 위한 세정액 입구를 구비하는, 상기 정전 침전기 섹션을 포함하며,
    상기 스크러버 섹션은 상기 침전기 섹션 아래에 위치되는 충전탑형 스크러버 섹션이고, 상기 케이싱 내에 위치되어 상기 침전기 섹션으로부터 세정액을 수용하고, 기 케이싱은 상기 스크러버 섹션으로부터 세정액을 배수하기 위한 세정액 출구를 구비하는
    가스 처리 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 케이싱은 복수의 상호연결 구성요소를 포함하며, 상기 스크러버 섹션 및 상기 침전기 섹션은 상기 케이싱의 공통 구성요소 내에 위치되는
    가스 처리 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 케이싱은 복수의 상호연결 구성요소를 포함하며, 상기 스크러버 섹션 및 상기 침전기 섹션은 상기 케이싱의 각 구성요소 내에 위치되는
    가스 처리 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 침전기 섹션이 위치되는 상기 케이싱의 구성요소는 상기 침전기 섹션의 전극의 적어도 일부를 포함하는
    가스 처리 장치.
  6. 제 1 항 및 제 3 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 케이싱은 관형인
    가스 처리 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 세정액 입구는 세정액을 상기 침전기 섹션에 접선방향으로 공급하도록 배열되는
    가스 처리 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 케이싱을 상기 스크러버 섹션과 상기 침전기 섹션으로 분리하는 구획부를 포함하는
    가스 처리 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 구획부는 상기 침전기 섹션의 전극에 연결되는
    가스 처리 장치.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 케이싱은 복수의 구성요소를 포함하고, 상기 구획부는 상기 케이싱의 2개의 구성요소 사이에 유지되는
    가스 처리 장치.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 구획부 주위에서 상기 스크러버 섹션으로부터 상기 침전기 섹션으로 가스를 운반하기 위한 수단을 포함하는
    가스 처리 장치.
  12. 제 8 항에 있어서,
    상기 구획부는 상기 스크러버 섹션으로부터 상기 침전기 섹션으로 가스를 운반하기 위한 수단을 포함하는
    가스 처리 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 스크러버 섹션으로부터 상기 침전기 섹션으로 가스를 운반하기 위한 상기 수단은 상기 구획부에 형성된 하나 이상의 가스 통로를 포함하는
    가스 처리 장치.
  14. 제 8 항에 있어서,
    상기 구획부 주위에서 상기 침전기 섹션으로부터 상기 스크러버 섹션으로 세정액을 운반하기 위한 수단을 포함하는
    가스 처리 장치.
  15. 제 8 항에 있어서,
    상기 구획부는 상기 침전기 섹션으로부터 상기 스크러버 섹션으로 세정액을 운반하기 위한 수단을 포함하는
    가스 처리 장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 침전기 섹션으로부터 상기 스크러버 섹션으로 세정액을 운반하기 위한 상기 수단은 상기 구획부에 형성된 복수의 개구를 포함하는
    가스 처리 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 개구는 상기 구획부 주위에 분산되어 있는
    가스 처리 장치.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 구획부는 상기 스크러버 섹션으로부터 상기 침전기 섹션으로 가스를 운반하기 위한 수단을 포함하며,
    상기 스크러버 섹션으로부터 상기 침전기 섹션으로 가스를 운반하기 위한 상기 수단은 상기 구획부에 형성된 하나 이상의 가스 통로를 포함하며,
    상기 하나 이상의 가스 통로는 상기 개구 위에서 상기 침전기 섹션으로 가스를 공급하도록 구성되는
    가스 처리 장치.
  19. 제 13 항에 있어서,
    상기 가스 통로 각각은 상기 구획부로부터 상기 침전기 섹션으로 연장하는 파이프를 포함하는
    가스 처리 장치.
  20. 제 8 항에 있어서,
    상기 구획부는 평면인
    가스 처리 장치.
  21. 제 1 항에 있어서,
    상기 스크러버 섹션은 충전재(packing material)를 포함하는
    가스 처리 장치.
  22. 제 1 항에 있어서,
    상기 케이싱은 상기 스크러버 섹션에 세정액을 공급하기 위한 추가적인 세정액 입구를 포함하는
    가스 처리 장치.
  23. 제 22 항에 있어서,
    상기 추가적인 세정액 입구는 상기 스크러버 섹션으로 세정액을 분무하도록 구성되는
    가스 처리 장치.
  24. 제 1 항에 있어서,
    상기 스크러버 섹션으로부터 가스를 수용하도록 상기 케이싱 내에 위치되는 복수의 정전 침전기 섹션을 포함하는
    가스 처리 장치.
  25. 제 24 항에 있어서,
    상기 침전기 섹션은 상기 스크러버 섹션으로부터 평행하게 가스를 수용하도록 배열되는
    가스 처리 장치.
  26. 제 24 항에 있어서,
    상기 케이싱은 상기 케이싱을 복수의 침전기 섹션으로 분리하는 복수의 구획부를 포함하는
    가스 처리 장치.
  27. 제 26 항에 있어서,
    상기 복수의 구획부 각각은 침전기 섹션 각각의 전극의 적어도 일부를 포함하는
    가스 처리 장치.
  28. 제 1 항에 있어서,
    복수의 동축 침전기 섹션을 포함하는
    가스 처리 장치.
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