KR101460885B1 - Jig and method of spurttering using the same - Google Patents

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Abstract

디스플레이 기판 또는 투명체를 안정적으로 고정시키면서 파손을 방지할 수 있는 지그가 개시된다. 상기 지그는 바디부, 상기 바디부의 일부 위에 형성된 적어도 하나의 제 1 지지부 및 상기 바디부의 타부분 위에 형성된 하나 이상의 제 2 지지부를 포함한다. 여기서, 디스플레이 기판 또는 투명체가 상기 지지부들 위에 놓이며, 상기 제 1 지지부에는 상기 디스플레이 기판 또는 투명체의 이탈을 방지하기 위한 이탈 방지부가 형성된다. A jig capable of preventing breakage while stably fixing a display substrate or a transparent body is disclosed. The jig includes a body portion, at least one first support portion formed on a part of the body portion, and at least one second support portion formed on another portion of the body portion. Here, the display substrate or the transparent body is placed on the support portions, and the first support portion is provided with a release preventing portion for preventing the display substrate or the transparent body from being separated.

Description

지그 및 이를 이용하는 스퍼터링 방법{JIG AND METHOD OF SPURTTERING USING THE SAME}JIG AND METHOD OF SPURTERING USING THE SAME [0002]

본 발명은 지그 및 이를 이용하는 스퍼터링 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a jig and a sputtering method using the same.

디스플레이 패널을 제조하기 위하여는, 디스플레이 기판 위에 소정 물질을 증착하는 공정, 디스플레이 기판을 세정하는 공정 등 다양한 공정들이 수행된다. 따라서, 사용자는 하나의 공정이 종료된 디스플레이 기판을 다음 공정으로 이송시키며, 현재는 사용자가 디스플레이 기판을 직접 손으로 잡고 다음 공정으로 이송시킨다. In order to manufacture a display panel, various processes such as a process of depositing a predetermined material on a display substrate and a process of cleaning a display substrate are performed. Therefore, the user transfers the display substrate having completed one process to the next process, and now the user directly holds the display substrate by hand and transfers the display substrate to the next process.

사용자가 직접 디스플레이 기판을 잡기 때문에 디스플레이 기판이 파손될 수도 있고, 디스플레이 기판을 이송하는 과정에서 파손될 수도 있다. 또한, 스퍼터링 공정을 위해 디스플레이 기판이 스퍼터링 장치에 직접적으로 고정되므로, 고정 수단에 의해 상기 디스플레이 기판이 손상될 수도 있다. Since the user directly grasps the display substrate, the display substrate may be damaged or may be damaged in the process of transferring the display substrate. Further, since the display substrate is directly fixed to the sputtering apparatus for the sputtering process, the display substrate may be damaged by the fixing means.

한국공개특허공보 제1998-0068945호Korean Patent Publication No. 1998-0068945

본 발명은 디스플레이 기판 또는 투명체를 안정적으로 고정시키면서 파손을 방지할 수 있는 지그를 제공한다.The present invention provides a jig capable of preventing breakage while stably fixing a display substrate or a transparent body.

또한, 본 발명은 디스플레이 기판 또는 투명체가 안착된 지그를 직접적으로 스퍼터링 장치에 고정시켜 스퍼터링 공정을 수행하는 방법을 제공한다. The present invention also provides a method for performing a sputtering process by fixing a display substrate or a jig on which a transparent body is placed directly to a sputtering apparatus.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 지그는 바디부; 상기 바디부의 일부 위에 형성된 적어도 하나의 제 1 지지부; 및 상기 바디부의 타부분 위에 형성된 하나 이상의 제 2 지지부를 포함한다. 여기서, 디스플레이 기판 또는 투명체가 상기 지지부들 위에 놓이며, 상기 제 1 지지부에는 상기 디스플레이 기판 또는 투명체의 이탈을 방지하기 위한 이탈 방지부가 형성된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a jig comprising: a body; At least one first support portion formed on a portion of the body portion; And at least one second support portion formed on the other portion of the body portion. Here, the display substrate or the transparent body is placed on the support portions, and the first support portion is provided with a release preventing portion for preventing the display substrate or the transparent body from being separated.

본 발명의 일 실시예에 따른 지그를 이용하는 스퍼터링 방법은 디스플레이 기판 또는 투명체를 지그 위에 안착시키는 단계; 상기 디스플레이 기판 또는 상기 투명체가 안착된 지그를 스퍼터링 장치의 일부분 위에 고정시키는 단계; 및 상기 지그가 고정된 상태에서 상기 스퍼터링 장치를 통하여 스퍼터링 공정을 수행하는 단계를 포함한다. According to an embodiment of the present invention, a sputtering method using a jig includes: placing a display substrate or a transparent body on a jig; Fixing the display substrate or the jig on which the transparent body is mounted on a part of the sputtering apparatus; And performing a sputtering process through the sputtering apparatus while the jig is fixed.

본 발명에 따른 지그는 이탈 방지부를 포함하는 제 1 지지부를 포함하므로, 지그 위에 안착된 디스플레이 기판 또는 투명체가 상기 이탈 방지부로 인하여 이송 중 및 특정 공정 수행 동안 외부로 이탈되지 않을 수 있다. 또한, 제 2 지지부는 이탈 방지부 없이 지지부 몸체로 이루어지므로, 디스플레이 기판 또는 투명체가 지그에 용이하게 안착될 수 있다. 즉, 상기 지그는 디스플레이 기판 또는 투명체를 용이하게 안착시킬 수 있는 구조 및 디스플레이 기판 또는 투명체를 외부로 이탈시키지 않는 구조를 동시에 실현할 수 있다. Since the jig according to the present invention includes the first support portion including the departure-avoiding portion, the display substrate or the transparent body placed on the jig may not be released to the outside during the conveyance and the specific process due to the departure-avoiding portion. Also, since the second support portion is formed of the support body without the separation preventing portion, the display substrate or the transparent body can be easily mounted on the jig. That is, the jig can simultaneously realize a structure for easily mounting the display substrate or the transparent body, and a structure for not allowing the display substrate or the transparent body to escape to the outside.

본 발명에 따른 지그는 디스플레이 기판 또는 투명체가 안착된 상태에서 스퍼터링 공정을 위한 스퍼터링 장치에 고정되므로, 고정 수단에 의해 상기 디스플레이 기판 또는 투명체가 파손되지 않을 수 있다. The jig according to the present invention is fixed to the sputtering apparatus for the sputtering process in a state in which the display substrate or the transparent body is seated, so that the display substrate or the transparent body may not be damaged by the fixing means.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 지그를 도시한 도면들이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 기판이 안착된 지그를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 지그의 일부분을 확대하여 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 스퍼터링 공정에서 지그를 사용하는 과정을 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제 1 지지부의 구조를 도시한 도면이다.1 and 2 are views showing a jig according to an embodiment of the present invention.
3 is a view illustrating a jig on which a display substrate is mounted according to an embodiment of the present invention.
4 is an enlarged view of a portion of a jig according to an embodiment of the present invention.
5 is a view illustrating a process of using a jig in a sputtering process according to an embodiment of the present invention.
6 is a view illustrating the structure of a first support according to another embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 자세히 설명하도록 한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 디스플레이 기판(예를 들어, LCD 패널용 기판) 또는 투명체(예를 들어, 박판 유리)를 위한 지그(JIG)에 관한 것으로서, 디스플레이 기판 또는 투명체의 이송시 또는 특정 공정 수행 동안 디스플레이 기판 또는 투명체의 손상을 방지할 수 있다. 구체적으로는, 디스플레이 기판 또는 투명체가 지그 위에 안착된 상태로 이송되고 특정 공정에 사용될 수 있다. 여기서, 디스플레이 기판 또는 투명체 위에는 어떠한 구조도 형성되어 있지 않을 수도 있고, 특정 구조가 형성되어 있을 수도 있다. The present invention relates to a jig (JIG) for a display substrate (e.g. a substrate for an LCD panel) or a transparent body (for example a thin plate glass), wherein the display substrate or the transparent body The damage of the transparent body can be prevented. Specifically, the display substrate or the transparent body may be transported while being placed on the jig and used for a specific process. Here, no structure may be formed on the display substrate or the transparent body, or a specific structure may be formed.

종래에는, 5세대급, 예를 들어 1100㎜×1300㎜ 사이즈 이하의 디스플레이 기판을 사람이 손으로 잡고 직접 이송하였으나, 사람이 손으로 잡는 과정 및 이송 과정에서 디스플레이 기판에 손상을 가할 수 있다. 예를 들어, 사용자가 디스플레이 기판을 손으로 잡고 운반하고 특정 공정에 디스플레이 기판을 직접적으로 고정시키기 때문에, 디스플레이 기판에 CS(Column Spacer) 불량 및 hard defect 불량이 야기될 수 있다. 그러나, 본 발명은 디스플레이 기판을 지그 위에 안착시킨 후 이송시키고 특정 공정에 디스플레이 기판이 안착된 지그를 사용하므로, 디스플레이 기판에 CS 불량 및 hard defect 불량이 발생되지 않을 수 있다. Conventionally, a display substrate of a fifth generation level, for example, 1100 mm × 1300 mm or smaller size is directly held and handed by a person, but the display substrate may be damaged in the process of holding by hand and the transfer process. For example, since a user holds the display substrate by hand and transports the display substrate directly to a specific process, a column spacer (CS) defect and a hard defect defect may occur in the display substrate. However, according to the present invention, since the display substrate is placed on the jig and then transferred and the display substrate is mounted on the jig in a specific process, the CS defect and hard defect defect may not occur in the display substrate.

이하, 본 발명의 지그에 대하여 첨부된 도면들을 참조하여 상술하겠다. 다만, 설명의 편의를 위하여 상기 지그에 안착되는 대상물을 디스플레이 기판으로 가정하겠다. Hereinafter, the jig of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, for convenience of explanation, it is assumed that the object to be placed on the jig is a display substrate.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 지그를 도시한 도면들이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 기판이 안착된 지그를 도시한 도면이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 지그의 일부분을 확대하여 도시한 도면이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 스퍼터링 공정에서 지그를 사용하는 과정을 도시한 도면이다. FIG. 1 and FIG. 2 are views showing a jig according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a view illustrating a jig on which a display substrate is mounted according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 is an enlarged view of a portion of a jig according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a view illustrating a process of using a jig in a sputtering process according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 실시예의 지그는 바디부(100), 적어도 하나의 제 1 지지부(102) 및 하나 이상의 제 2 지지부(104)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 1, the jig of the present embodiment may include a body 100, at least one first support 102, and at least one second support 104.

일 실시예에 따르면, 상기 지그는 전체적으로 사각형 형상을 가지며, 4등분될 수 있다. According to one embodiment, the jig has a generally rectangular shape and can be divided into four halves.

바디부(100)는 상기 지그의 틀로서, 테두리부(110) 및 브릿지부(Bridge member, 112)를 포함할 수 있다. 일 실시예에 따르면, 바디부(100)는 알루미늄(Al)으로 이루어질 수 있다.The body part 100 may include a rim 110 and a bridge member 112 as a frame of the jig. According to one embodiment, the body portion 100 may be made of aluminum (Al).

테두리부(110)는 예를 들어 사각형 형상을 가질 수 있다. 이는 디스플레이 기판(300)이 일반적으로 사각형 형상을 가지기 때문에 디스플레이 기판(300)을 안전하게 안착시키기 위해서이다. 따라서, 디스플레이 기판(300)이 원형 형상을 가지면, 테두리부(110)는 원형 형상을 가질 수 있다. 즉, 디스플레이 기판(300)의 형상에 맞춰서 테두리부(100)의 형상 또한 달라질 수 있다. 다만, 설명의 편의를 위하여 테두리부(100)는 사각형 형상을 가지는 것으로 가정하겠다. The rim 110 may have a rectangular shape, for example. This is for securely mounting the display substrate 300 because the display substrate 300 has a generally rectangular shape. Accordingly, if the display substrate 300 has a circular shape, the rim 110 may have a circular shape. That is, the shape of the rim portion 100 may be changed according to the shape of the display substrate 300. However, for convenience of explanation, it is assumed that the frame 100 has a rectangular shape.

일 실시예에 따르면, 테두리부(110)는 부분적으로 폭이 다를 수 있다. According to one embodiment, the rim 110 may be partially different in width.

브릿지부(112)는 테두리부(110)의 양변들을 연결시키는 부재로서, 디스플레이 기판(300)이 안착되었을 때 디스플레이 기판(300)을 안정적으로 지지시키는 역할을 수행한다. 예를 들어, 제 1 브릿지부가 테두리부(110)의 마주보는 양변들을 연결시키고, 제 2 브릿지부가 테두리부(110)의 나머지 양변들을 연결시킬 수 있다. 도 1에서는 2개의 브릿지부들(112)이 도시되어 있으나, 브릿지부(112)는 하나일 수도 있고, 3개 이상일 수도 있다. 다만, 지그의 비용을 고려할 때, 도 1에 도시된 바와 같이 십자 형태의 브릿지부들(112)이 형성되는 것이 바람직하다. The bridge unit 112 connects both sides of the rim 110 and serves to stably support the display substrate 300 when the display substrate 300 is seated. For example, the first bridging portion may connect opposite sides of the rim 110 and the second bridging portion may connect the remaining sides of the rim 110. Although two bridge portions 112 are shown in FIG. 1, the number of the bridge portions 112 may be one, or may be three or more. However, considering the cost of the jig, cross-shaped bridge portions 112 are preferably formed as shown in FIG.

제 1 지지부(102) 및 제 2 지지부(104)는 도 1에 도시된 바와 같이 바디부(100) 위에 형성된다. 예를 들어, 제 1 지지부들(102)은 바디부(100) 중 테두리부(110) 위에 결합되고, 제 2 지지부들(104)은 테두리부(110) 및 브릿지부(112) 위에 결합될 수 있다. 바디부(100)와 지지부들(102 및 104)은 나사 결합될 수 있다. The first support portion 102 and the second support portion 104 are formed on the body portion 100 as shown in FIG. For example, the first supports 102 may be coupled to the rim 110 of the body 100 and the second supports 104 may be coupled to the rim 110 and the bridge 112 have. The body part 100 and the supports 102 and 104 can be screwed together.

한편, 디스플레이 기판(300)이 지지부들(102 및 104) 위에 안착되어야 하므로, 나사들(404)은 도 4에 도시된 바와 같이 지지부들(102 및 104)의 상면 위로 돌출되지 않도록 체결될 수 있다. Since the display substrate 300 must be seated on the supports 102 and 104, the screws 404 may be fastened so that they do not protrude above the upper surfaces of the supports 102 and 104 as shown in FIG. 4 .

또한, 디스플레이 기판(300)이 안착되었을 때 디스플레이 기판(300)이 기울어지지 않도록 지지부들(102 및 104)은 동일한 높이를 가지는 것이 바람직하다. It is preferable that the support portions 102 and 104 have the same height so that the display substrate 300 is not tilted when the display substrate 300 is seated.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 지지부들(102 및 104)은 도 1 및 도 4에 도시된 바와 같이 테두리부(110)로부터 내측 방향으로 약간 돌출되도록 테두리부(110)에 결합될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the supports 102 and 104 may be coupled to the rim 110 such that they protrude slightly inward from the rim 110 as shown in Figs.

이하, 지지부들(102 및 104)의 구조를 구체적으로 살펴보겠다. Hereinafter, the structure of the supports 102 and 104 will be described in detail.

제 1 지지부(102)는 도 1 및 도 4에 도시된 바와 같이 지지부 몸체(400) 및 이탈 방지부(402)를 포함할 수 있다. The first support portion 102 may include a support body 400 and a separation preventing portion 402 as shown in FIGS.

지지부 몸체(400)는 바디부(100)의 테두리부(110) 위에 놓이는 부분으로서, 나사(404)가 지지부 몸체(400)를 테두리부(110)에 결합시킬 수 있다. The support body 400 is a part of the body part 100 that overlies the rim 110 and the screw 404 can engage the support body 400 with the rim 110.

이탈 방지부(402)는 지지부 몸체(400)와 교차하는 방향, 바람직하게는 수직한 방향으로 하여 지지부 몸체(400)로부터 길이 연장될 수 있다. 이탈 방지부(402)는 디스플레이 기판(300)이 도 3에 도시된 바와 같이 지지부들(400 및 402) 위에 안착되었을 때 디스플레이 기판(300)이 외부로 이탈되는 것을 방지하는 역할을 수행한다. The separation preventing portion 402 may extend from the support body 400 in a direction intersecting with the support body 400, preferably in a perpendicular direction. The separation preventing portion 402 serves to prevent the display substrate 300 from being deviated to the outside when the display substrate 300 is seated on the supports 400 and 402 as shown in FIG.

제 2 지지부(104)는 지지부 몸체만을 포함하며, 이탈 방지부를 포함하지 않을 수 있다. The second support portion 104 includes only the support body, and may not include the separation preventing portion.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 제 1 지지부들(102)은 테두리부(110)의 사변들 중 두변들 위에 형성될 수 있고, 제 2 지지부들(104)은 테두리부(110)의 나머지 두변들 및 브릿지부들(112)의 교차점 위에 형성될 수 있다. 물론, 제 2 지지부들(104)은 브릿지부들(112)의 다른 부분 위에 형성될 수도 있다. According to an embodiment of the present invention, the first supporting portions 102 may be formed on the two sides of the sides of the rim 110, and the second supporting portions 104 may be formed on the remaining sides of the rim 110 And the bridge portions 112. [0042] Of course, the second supports 104 may be formed on other portions of the bridge portions 112.

한편, 제 1 지지부들(102)이 위치하는 테두리부(110)의 변들은 상호 이웃하며, 제 2 지지부들(104)이 위치하는 테두리부(110)의 변들 또한 상호 이웃할 수 있다. 이러한 구조로 지그를 설계하면, 디스플레이 기판(300)의 안착이 용이하여지고 외부로의 이탈을 안정적으로 방지할 수 있다. The sides of the rim 110 where the first supports 102 are located are adjacent to each other and the sides of the rim 110 where the second supports 104 are located may also be adjacent to each other. By designing the jig with such a structure, the display substrate 300 can be easily seated and the escape to the outside can be stably prevented.

제 1 지지부들(102)이 각기 이탈 방지부(402)를 포함하는 이유는 디스플레이 기판(300)이 안착되었을 때 디스플레이 기판(300)이 외부로 이탈되는 것을 방지하기 위한 것이고, 제 2 지지부들(104)이 이탈 방지부를 포함하지 않는 이유는 디스플레이 기판(300)을 상기 지그 위에 안착시킬 때 안착 과정을 용이하게 하기 위해서이다. 즉, 사용자는 디스플레이 기판(300)을 제 2 지지부들(104)이 형성된 부분으로부터 제 1 지지부들(102)이 형성된 부분의 방향으로 디스플레이 기판(300)을 안착시킬 수 있다. The reason why the first support portions 102 include the separation preventing portion 402 is to prevent the display substrate 300 from being detached from the outside when the display substrate 300 is seated, 104 do not include the escape preventing portion in order to facilitate the seating process when the display substrate 300 is placed on the jig. That is, the user can place the display substrate 300 in the direction of the portion where the first support portions 102 are formed from the portion where the second support portions 104 are formed.

일 실시예에 따르면, 바디부(100)의 배면에는 도 2에 도시된 바와 같이 어떠한 지지부도 형성되지 않을 수 있다. 이는 지그를 예를 들어 스퍼터링 장치(Sputtering apparatus) 위에 안착시키기 위해서이다. According to one embodiment, no supporting portion may be formed on the back surface of the body portion 100 as shown in FIG. This is for placing the jig on, for example, a sputtering apparatus.

이하, 디스플레이 기판(300)이 안착된 지그를 스터퍼링 장치에 사용하는 과정을 살펴보겠다. 다만, 설명의 편의를 위하여 지그가 스퍼터링 장치에 사용되는 것만을 언급하였으나, 디스플레이 패널 또는 반도체 공정 등의 각종 장치들에 사용될 수 있다. Hereinafter, a process of using a jig on which the display substrate 300 is mounted for a stirrer will be described. For the sake of convenience of explanation, only the jig is used in the sputtering apparatus, but it can be used in various devices such as a display panel or a semiconductor process.

우선, 스퍼터링 장치의 구조를 간단히 살펴보겠다. First, the structure of the sputtering apparatus will be briefly described.

도 5를 참조하면, 스퍼터링 장치(500)는 서셉터(502), 타겟(504), 백킹 플레이트(Backing Plate, 506), 실드(508), 플로팅 실드(510) 및 회전부(512)를 포함할 수 있다. 5, a sputtering apparatus 500 includes a susceptor 502, a target 504, a backing plate 506, a shield 508, a floating shield 510, and a rotating portion 512 .

서셉터(502)는 디스플레이 기판(300)을 고정시키며, 접지에 연결될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 디스플레이 기판(300)은 지그 위에 안착된 상태로 하여 서셉터(502) 위에 고정될 수 있다. 즉, 디스플레이 기판(300)이 서셉터(502) 위에 직접적으로 놓이는 것이 아닌 디스플레이 기판(300)이 안착된 지그가 서셉터(502) 위에 놓인다. 한편, 지그를 고정시키는 고정 수단(미도시)이 스퍼터링 장치(500)에 구현되어 있으며, 종래와 달리 고정 수단은 디스플레이 기판(300)이 아닌 지그를 고정시킬 수 있다. The susceptor 502 fixes the display substrate 300 and may be connected to ground. According to one embodiment, the display substrate 300 may be secured onto the susceptor 502 by being seated on the jig. That is, the display substrate 300 is not placed directly on the susceptor 502, but a jig on which the display substrate 300 is placed is placed on the susceptor 502. Meanwhile, fixing means (not shown) for fixing the jig is implemented in the sputtering apparatus 500, and the fixing means can fix the jig, not the display substrate 300, unlike the related art.

타겟(504)은 예를 들어 디스플레이 기판(300) 위에 증착될 물질이다. 구체적으로는, 타겟(504)은 스퍼터링 장치(500) 내의 Ar+ 이온 등에 의해 박리되고, 박리된 타겟 물질이 디스플레이 기판(300) 위로 증착된다. 스퍼터링 공정은 주지된 기술이므로, 이하 설명을 생략한다. The target 504 is, for example, a material to be deposited on the display substrate 300. Specifically, the target 504 is peeled off by Ar + ions or the like in the sputtering apparatus 500, and the peeled target material is deposited on the display substrate 300. Since the sputtering process is a well-known technique, the following description is omitted.

백킹 플레이트(506)는 타겟(504)을 고정시키는 역할을 수행하며, 예를 들어 고전압이 백킹 플레이트(506)에 인가될 수 있다. The backing plate 506 serves to secure the target 504, and a high voltage, for example, can be applied to the backing plate 506.

실드(508)는 애노드 역할을 수행하며, 타겟(504)으로부터 박리된 타겟 물질이 챔버(미도시)의 내벽으로 증착되는 현상을 방지시키는 역할을 수행한다. The shield 508 serves as an anode, and serves to prevent the deposition of the target material, which is peeled off from the target 504, onto the inner wall of the chamber (not shown).

플로팅 실드(510)는 디스플레이 기판(300)의 가장 자리 부근에 타겟(504)으로부터 박리된 타겟 물질이 증착되는 것을 방지한다. The floating shield 510 prevents the deposited target material from depositing from the target 504 near the edge of the display substrate 300.

회전부(512)는 모터 등과 같은 구동부(미도시)의 제어에 따라 서셉터(502)를 회전시키는 역할을 수행한다. 예를 들어, 디스플레이 기판(300)의 로딩시에는 도 5에 도시된 바와 같이 바닥에 수평하게 서셉터(502)를 회전시키고, 디스플레이 기판(300)이 로딩된 경우에는 서셉터(502)를 수직한 방향으로 회전시켜 스퍼터링 공정을 준비한다. The rotation unit 512 rotates the susceptor 502 under the control of a driving unit (not shown) such as a motor. For example, when loading the display substrate 300, the susceptor 502 is rotated horizontally on the floor as shown in FIG. 5, and when the display substrate 300 is loaded, the susceptor 502 is vertically So that the sputtering process is prepared.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 사용자는 서셉터(502)를 개방시킨 상태에서 디스플레이 기판(300)이 안착된 지그를 서셉터(502) 위에 고정시킨 후 서셉터(502)를 수직하게 회전시킨다. 이어서, 디스플레이 기판(300)에 예를 들어 소정 물질을 증착시키고, 증착 공정이 완료되면 서셉터(502)를 다시 개방시키며, 사용자는 증착 공정이 완료된 디스플레이 기판(300)을 지그 위에 안착된 상태로 하여 다음 공정으로 이송시킬 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the user rotates the susceptor 502 vertically after fixing the jig on which the display substrate 300 is mounted on the susceptor 502 with the susceptor 502 opened . A predetermined material is deposited on the display substrate 300. When the deposition process is completed, the susceptor 502 is opened again. The user may place the display substrate 300 on which the deposition process has been completed on the jig To the next process.

정리하면, 본 발명의 지그는 디스플레이 기판(300)을 지지하는 역할뿐만 아니라, 디스플레이 기판(300)이 안착된 상태에서 스퍼터링 공정 등에 직접적으로 사용될 수 있다. 기존 공정에서는 디스플레이 기판이 스퍼터링 장치에 직접적으로 고정되었기 때문에, 디스플레이 기판을 예를 들어 서셉터 위에 고정시키는 과정에서 디스플레이 기판이 손상될 수 있었다. 그러나, 본 발명에서는 디스플레이 기판(300)이 지그 위에 놓인 상태에서 지그가 직접적으로 예를 들어 서셉터 위에 놓여 고정되므로, 디스플레이 기판(300)의 손상이 방지될 수 있다. In summary, the jig of the present invention can be used not only for supporting the display substrate 300 but also for a sputtering process in a state where the display substrate 300 is seated. In the conventional process, since the display substrate is directly fixed to the sputtering apparatus, the display substrate may be damaged in fixing the display substrate on the susceptor, for example. However, in the present invention, since the jig is directly placed on the susceptor while the display substrate 300 is placed on the jig, damage to the display substrate 300 can be prevented.

위에서는, 서셉터가 회전하는 방식의 스퍼터링 장치만을 언급하였지만, 회전하지 않는 방식의 스퍼터링 장치에도 위의 방식이 동일하게 적용될 수 있다. 또한, 스터퍼링 공정이 아닌 다른 공정에 디스플레이 기판이 장착될 때에도 위와 유사하게 적용될 수 있다. 즉, 디스플레이 기판(300)이 안착된 지그가 다수의 공정들에 직접적으로 사용될 수 있다. Although only the sputtering apparatus in which the susceptor rotates is mentioned above, the above method can be applied to the sputtering apparatus of the non-rotating type as well. Also, when the display substrate is mounted in a process other than the stuffer process, it can be similarly applied. That is, a jig on which the display substrate 300 is mounted can be directly used in a plurality of processes.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 제 1 지지부의 구조를 도시한 도면이다. 6 is a view illustrating the structure of a first support according to another embodiment of the present invention.

도 6의 (A)를 참조하면, 지그의 바디부(100)에 제 1 지지부(102)가 결합되며, 나사는 바디부(100)의 측면으로 체결될 수 있다. 구체적으로는, 제 1 지지부(102)는 지지부 몸체(600) 및 지지부 몸체(600)로부터 수직한 방향으로 연장된 이탈 방지부(602)를 포함한다. 여기서, 이탈 방지부(402)가 바디부(100)의 상면 위에만 위치하였던 도 4의 제 1 지지부(102)와 달리, 이탈 방지부(602)는 바디부(100)의 측면까지 길이 연장될 수 있다. Referring to FIG. 6A, the first supporting portion 102 is coupled to the body 100 of the jig, and the screw can be fastened to the side of the body 100. Specifically, the first support portion 102 includes a support body 600 and a separation preventing portion 602 extending in a vertical direction from the support body 600. Unlike the first supporting portion 102 of FIG. 4 in which the separation preventing portion 402 is located only on the upper surface of the body 100, the separation preventing portion 602 is extended to the side of the body 100 .

도 6의 (B)를 참조하면, 제 1 지지부(102)는 지지부 몸체(610) 및 이탈 방지부(612) 외에 배면 지지부(614)를 더 포함할 수 있다. 배면 지지부(614)는 바디부(100)의 배면을 지지하는 역할을 수행하며, 이탈 방지부(612)에 수직한 방향으로 하여 이탈 방지부(612)로부터 길이 연장될 수 있다. 6B, the first support part 102 may further include a back support part 614 in addition to the support body 610 and the separation preventing part 612. [ The back support 614 serves to support the back surface of the body 100 and may extend from the separation preventing portion 612 in a direction perpendicular to the separation preventing portion 612.

도 6의 (C)를 참조하면, 제 1 지지부(102)는 지지부 몸체(620) 및 이탈 방지부(602) 외에 공간 형성부(624)를 더 포함할 수 있다. 공간 형성부(624)는 디스플레이 기판(300)이 삽입될 수 있는 공간을 지지부 몸체(620)와 형성할 수 있다. 공간 형성부(624)는 지지부 몸체(620)와 이격된 상태로 하여 이탈 방지부(602)로부터 수직하게 길이 연장될 수 있다. 이 구조의 지그는 디스플레이 기판(300)을 더 안정적으로 고정시킬 수 있다. 6C, the first support part 102 may further include a space forming part 624 in addition to the support body 620 and the separation preventing part 602. [ The space forming portion 624 may form a space in which the display substrate 300 can be inserted, with the support body 620. The space forming portion 624 may be extended from the separation preventing portion 602 to a vertical length while being spaced apart from the supporting body 620. The jig of this structure can more stably fix the display substrate 300. [

상기한 본 발명의 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대한 통상의 지식을 가지는 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications, additions and substitutions are possible, without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Should be regarded as belonging to the following claims.

100 : 바디부 102 : 제 1 지지부
104 : 제 2 지지부 110 : 테두리부
112 : 브릿지부 300 : 디스플레이 기판
400 : 지지부 몸체 402 : 이탈 방지부100: Body part 102: First support part
104: second supporting part 110: rim
112: bridge part 300: display substrate
400: support body 402:

Claims (9)

바디부;
상기 바디부의 일부 위에 형성된 제 1 지지부들; 및
상기 바디부의 타부분 위에 형성된 하나 이상의 제 2 지지부를 포함하되,
디스플레이 기판 또는 투명체가 상기 제 1 지지부들 및 상기 제 2 지지부 위에 놓이며, 상기 제 1 지지부에는 상기 디스플레이 기판 또는 투명체의 이탈을 방지하기 위한 이탈 방지부가 형성되고, 상기 제 2 지지부는 상기 디스플레이 기판 또는 상기 투명체가 놓이는 지지부 몸체를 포함하나 이탈 방지부는 포함하지 않으며, 상기 바디부는 사각형 형상을 이루도록 하는 사변들을 가지고, 상기 제 1 지지부들은 상기 사변들 중 이웃하는 2개의 변들 위에 형성되며, 상기 제 2 지지부들은 상기 사변들 중 나머지 변들 중 적어도 일부 위에 형성되는 것을 특징으로 하는 지그.　Body part;
First support portions formed on a part of the body portion; And
And at least one second support portion formed on the other portion of the body portion,
A display substrate or a transparent body is disposed on the first supporting portions and the second supporting portion, and a separation preventing portion for preventing the display substrate or the transparent body from being separated from the first supporting portion is formed, Wherein the first support portions are formed on two adjacent sides of the oblique portions, and the second support portions are formed on the second sides of the oblique portions, Are formed on at least a part of the remaining sides of the obliques. 제1항에 있어서, 상기 제 1 지지부는,
상기 바디부 위에 놓이는 지지부 몸체; 및
상기 지지부 몸체로부터 수직하게 형성된 상기 이탈 방지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 지그. [2] The apparatus of claim 1,
A support body overlying the body portion; And
And the separation preventing portion formed vertically from the support body. 삭제delete 제1항에 있어서,
마주보는 2개의 변들을 연결하는 적어도 하나의 브릿지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 지그. The method according to claim 1,
Further comprising at least one bridge portion connecting two opposing sides. 제1항에 있어서, 상기 지그는 상기 디스플레이 기판 또는 상기 투명체가 안착된 상태로 스퍼터링 공정에 사용되는 것을 특징으로 하는 지그. The jig of claim 1, wherein the jig is used in a sputtering process while the display substrate or the transparent body is seated. 디스플레이 기판 또는 투명체를 지그 위에 안착시키는 단계;
상기 디스플레이 기판 또는 상기 투명체가 안착된 지그를 스퍼터링 장치의 일부분 위에 고정시키는 단계; 및
상기 지그가 고정된 상태에서 상기 스퍼터링 장치를 통하여 스퍼터링 공정을 수행하는 단계를 포함하되,
상기 지그는,
바디부;
상기 바디부의 일부 위에 형성된 제 1 지지부들; 및
상기 바디부의 타부분 위에 형성된 하나 이상의 제 2 지지부를 포함하되,
상기 디스플레이 기판 또는 상기 투명체가 상기 제 1 지지부들 및 상기 제 2 지지부 위에 놓이며, 상기 제 1 지지부에는 상기 디스플레이 기판 또는 투명체의 이탈을 방지하기 위한 이탈 방지부가 형성되고, 상기 제 2 지지부는 상기 디스플레이 기판 또는 상기 투명체가 놓이는 지지부 몸체를 포함하나 이탈 방지부는 포함하지 않으며, 상기 바디부는 사각형 형상을 이루도록 하는 사변들을 가지고, 상기 제 1 지지부들은 상기 사변들 중 이웃하는 2개의 변들 위에 형성되며, 상기 제 2 지지부는 상기 사변들 중 나머지 변들 중 적어도 일부 위에 형성되는 것을 특징으로 하는 지그를 이용하는 스퍼터링 방법. Placing the display substrate or the transparent body on a jig;
Fixing the display substrate or the jig on which the transparent body is mounted on a part of the sputtering apparatus; And
And performing a sputtering process through the sputtering apparatus while the jig is fixed,
The jig,
Body part;
First support portions formed on a part of the body portion; And
And at least one second support portion formed on the other portion of the body portion,
Wherein the display substrate or the transparent body is disposed on the first support portions and the second support portion and a release preventing portion for preventing the display substrate or the transparent body from being separated from the first support portion is formed, Wherein the first support portions are formed on two adjacent sides of the oblique portions, and the first support portions are formed on two adjacent sides of the oblique portions, and the first support portions are formed on two adjacent sides of the oblique portions, 2 support is formed on at least a portion of the remaining of the sides of the oblique surface. 삭제delete 제6항에 있어서, 상기 제 1 지지부는,
상기 바디부 위에 놓이는 지지부 몸체; 및
상기 지지부 몸체로부터 수직하게 형성된 상기 이탈 방지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 지그를 이용하는 스퍼터링 방법. [7] The apparatus of claim 6,
A support body overlying the body portion; And
And the separation preventing portion formed vertically from the support body. 삭제delete
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101941690B1 (en) * 2017-06-12 2019-04-12 주식회사 포스코 Zero adjustment panel support device for thick steel sheet leveller and zero adjustment method of thick steel sheet leveller using the same
KR102147298B1 (en) * 2019-03-14 2020-08-24 신동기 Aluminum deposition work part fixing jig

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0127325B1 (en) * 1993-12-30 1997-12-29 구자홍 Conveying palette of braun tube
KR20030054774A (en) * 2001-12-26 2003-07-02 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Sputter of manufacturing Liquid Crystal Display device and using the same
JP2004211133A (en) * 2002-12-27 2004-07-29 Optrex Corp Holder for forming film on glass substrate
KR20050070972A (en) * 2003-12-31 2005-07-07 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Substrate clamp assembly included sputter for manufacturing liquid crystal display device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0127325B1 (en) * 1993-12-30 1997-12-29 구자홍 Conveying palette of braun tube
KR20030054774A (en) * 2001-12-26 2003-07-02 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Sputter of manufacturing Liquid Crystal Display device and using the same
JP2004211133A (en) * 2002-12-27 2004-07-29 Optrex Corp Holder for forming film on glass substrate
KR20050070972A (en) * 2003-12-31 2005-07-07 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Substrate clamp assembly included sputter for manufacturing liquid crystal display device

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