KR101456848B1 - Temperature controlling apparatus of thermal vacuum chamber and temperature controlling method of thermal vacuum chamber using the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 열진공챔버의 온도조절장치 및 이를 이용한 열진공챔버의 온도조절방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 외부 공기를 원하는 압력으로 압축하는 압축기; 상기 압축기와 연결되며, 상기 압축기로부터 공급된 압축공기를 건조시키는 제습기; 및 상기 제습기와 연결되며, 압축 및 건조된 공기를 설정온도로 가열 또는 냉각하여 상기 열진공챔버의 쉬라우드로 공급하는 온도조절기를 포함하여 구성되는 열진공챔버의 온도조절장치를 통해 외부로부터 유입된 공기를 압축하고, 압축된 공기를 건조시켜 설정된 온도로 조절하여 공급함으로써 열진공챔버 내부의 온도를 조절하는 열진공챔버의 온도조절장치 및 이를 이용한 열진공챔버의 온도조절방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a temperature control device for a thermal vacuum chamber and a method for controlling the temperature of a thermal vacuum chamber using the same. A dehumidifier connected to the compressor for drying the compressed air supplied from the compressor; And a temperature controller connected to the dehumidifier and heating or cooling the compressed and dried air to a predetermined temperature and supplying the air to the shroud of the thermal vacuum chamber, The present invention relates to a temperature control device for a thermal vacuum chamber for controlling the temperature inside a thermal vacuum chamber by compressing air and adjusting the temperature of the compressed air to a predetermined temperature to control the temperature of the thermal vacuum chamber.

Description

열진공챔버의 온도조절장치 및 이를 이용한 열진공챔버의 온도조절방법{TEMPERATURE CONTROLLING APPARATUS OF THERMAL VACUUM CHAMBER AND TEMPERATURE CONTROLLING METHOD OF THERMAL VACUUM CHAMBER USING THE SAME}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a temperature control device for a thermal vacuum chamber, and a temperature control method for the thermal vacuum chamber using the same. BACKGROUND OF THE INVENTION < RTI ID = 0.0 >

본 발명은 열진공챔버의 온도조절장치 및 이를 이용한 열진공챔버의 온도조절방법에 관한 것으로서, 특히, 외부로부터 유입된 공기를 압축하고, 압축된 공기를 건조시켜 설정된 온도로 조절하여 공급함으로써 열진공챔버 내부의 온도를 조절하는 열진공챔버의 온도조절장치 및 이를 이용한 열진공챔버의 온도조절방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a temperature control device for a thermal vacuum chamber and a method for controlling the temperature of a thermal vacuum chamber using the same. More particularly, the present invention relates to a method for controlling a temperature of a thermal vacuum chamber by compressing air introduced from outside, And more particularly, to a temperature control device of a thermal vacuum chamber for controlling the temperature inside a chamber and a method for controlling the temperature of the thermal vacuum chamber using the same.

일반적으로, 열진공챔버는 온도 조절을 위한 매개체(유체)로써 별도의 액체 질소를 사용한다.In general, the thermal vacuum chamber uses a separate liquid nitrogen as the medium (fluid) for temperature control.

따라서, 액체질소를 기화시킨 후 히터를 이용하여 원하는 온도로 조절한 뒤 열진공챔버 내의 쉬라우드에 공급하였다.Therefore, liquid nitrogen was vaporized and then adjusted to a desired temperature using a heater, and then supplied to a shroud in a thermal vacuum chamber.

그러나, 이와 같은 방법은 액체를 기화시킴으로써 큰 유량을 확보할 수 있는 장점은 있으나, 별도의 액체질소 보관탱크와 극저온 유체 배관이 설치되어 있어야 하며, 시험전 액체질소를 구입하여 공급받아야 하는 번거로움이 있다.
However, such a method has an advantage of securing a large flow rate by vaporizing the liquid, but it is necessary to install a separate liquid nitrogen storage tank and a cryogenic fluid pipe, and it is troublesome to purchase and supply liquid nitrogen before the test have.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 별도의 유체 공급없이 주변 공기를 이용하여 효율적으로 온도조절을 할 수 있는 열진공챔버의 온도조절장치 및 이를 이용한 열진공챔버의 온도조절방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a temperature control apparatus for a thermal vacuum chamber capable of efficiently controlling temperature using ambient air without supplying a separate fluid and a method for controlling the temperature of a thermal vacuum chamber using the apparatus. .

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명인 열진공챔버의 온도조절장치는 압축기, 제습기 및 온도조절기로 구성된 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a temperature control apparatus for a thermal vacuum chamber comprising a compressor, a dehumidifier, and a temperature controller.

또한, 상기와 같은 열진공챔버의 온도조절장치를 이용한 열진공챔버의 온도조절방법은 외부공기유입단계, 건조단계 및 온도설정단계로 구성된 것을 특징으로 한다.
In addition, the temperature control method of the thermal vacuum chamber using the temperature regulation device of the thermal vacuum chamber may include an external air introduction step, a drying step, and a temperature setting step.

이상에서 상술한 본 발명에 따르면, 압축기를 통해 원하는 압력의 공기를 유입시키고, 제습기를 통해 유입된 압축공기로부터 건조된 공기를 얻어 저온에서의 공기의 액화를 방지할 수 있으며, 온도조절기를 통해 원하는 압력과 온도의 건조된 공기를 얻을 수 있으므로, 별도의 유체 공급없이 주변 공기를 이용하여 효율적으로 온도조절을 할 수 있다.
As described above, according to the present invention, it is possible to introduce air of a desired pressure through a compressor, to obtain dried air from compressed air introduced through a dehumidifier, to prevent liquefaction of air at a low temperature, Since the dried air of pressure and temperature can be obtained, the temperature can be efficiently controlled by using ambient air without supplying a separate fluid.

도 1은 본 발명에 따른 열진공챔버의 온도조절장치의 일실시예에 의한 개략적인 구성도,
도 2는 열진공챔버의 온도조절장치를 이용한 열진공챔버의 온도조절방법의 일실시예에 의한 순서도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic diagram of a temperature control apparatus for a thermal vacuum chamber according to an embodiment of the present invention;
FIG. 2 is a flowchart according to an embodiment of a method for controlling the temperature of a thermal vacuum chamber using a temperature control device of a thermal vacuum chamber. FIG.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 설명하고자 한다.While the invention is susceptible to various modifications and alternative forms, specific embodiments thereof are shown by way of example in the drawings and will herein be described in detail.

그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, . On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that there are no other elements in between.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprises" or "having" and the like are used to specify that there is a feature, a number, a step, an operation, an element, a component or a combination thereof described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 실시예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

먼저, 본 발명에 기재된 쉬라우드란 열진공챔버 내에 설치되어 있고, 내부에 유체의 흐름을 가능하게 하는 온도조절판을 말하는 것이다.First, the shroud described in the present invention refers to a temperature control plate installed in a thermal vacuum chamber and capable of flowing a fluid therein.

도 1은 본 발명에 따른 열진공챔버의 온도조절장치의 일실시예에 의한 개략적인 구성도이며, 이를 참조하면 다음과 같다.FIG. 1 is a schematic view of a temperature control apparatus for a thermal vacuum chamber according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG.

종래에는 별도의 액체질소 보관탱크 및 극저온 유체 배관이 설치되어 있어야 했으나, 본 발명은 열진공챔버의 쉬라우드로 설정된 온도로 압축된 건조한 공기를 공급하여 온도조절을 하는 열진공챔버의 온도조절장치에 관한 것으로, 외부 공기를 원하는 압력으로 압축하는 압축기(100); 압축기(100)와 연결되며, 압축기(100)로부터 공급된 압축공기를 건조시키는 제습기(200); 및 제습기(200)와 연결되며, 압축 및 건조된 공기를 기 설정온도로 가열 또는 냉각하여 열진공챔버 쉬라우드(400)로 공급하는 온도조절기(300)를 포함하여 구성된다.A liquid nitrogen storage tank and a cryogenic fluid pipe have to be provided. However, the present invention is applicable to a temperature control device of a thermal vacuum chamber for controlling the temperature by supplying dry air compressed at a temperature set to a shroud of a thermal vacuum chamber A compressor (100) for compressing outside air to a desired pressure; A dehumidifier (200) connected to the compressor (100) and drying the compressed air supplied from the compressor (100); And a temperature controller 300 connected to the dehumidifier 200 and heating or cooling the compressed and dried air to a preset temperature and supplying the compressed air to the thermal vacuum chamber shroud 400.

압축기(100)는 에어콤프레서 등으로 구성할 수 있으며, 설정된 압력으로 외부공기를 압축하여 공급할 수 있다.The compressor 100 can be configured by an air compressor or the like, and can compress and supply external air at a set pressure.

제습기(200)는 기 설정된 압력으로 제공된 공기로부터 습기만을 제거하여 공급한다.The dehumidifier 200 removes moisture only from the air supplied at a predetermined pressure.

또한, 온도조절기(300)는 반도체 열전소자 등을 이용할 수 있으며, 압축된 건조공기를 설정하고자 하는 온도로 가열 또는 냉각한 뒤 열진공챔버 쉬라우드(400)로 공급한다.The temperature regulator 300 may use a semiconductor thermoelectric element or the like. The compressed dry air is heated or cooled to a desired temperature and then supplied to the thermal vacuum chamber shroud 400.

상기와 같은 공기의 이송은 압축기(100)에 의해 발생한 압력에 의해 이송되며, 필요에 따라 별도의 압력펌프 등을 이용하여 이송시킬 수 있다.The air is conveyed by the pressure generated by the compressor 100, and can be conveyed by using a separate pressure pump or the like if necessary.

본 발명은 지금까지 질소 등과 같은 분위기 가스를 이용하여 열진공챔버의 온도조절을 하던 방식과는 차별화된 구성으로써, 별도의 유체 공급없이 주변 공기를 이용하여 효율적인 온도조절이 가능하며, 질소 등을 위한 고가의 구조물들이 생략되고 간소화되므로 제작이 용이하고, 사용편의성 등도 높일 수 있다.The present invention is different from the method of controlling the temperature of a thermal vacuum chamber by using atmospheric gas such as nitrogen or the like so far, it is possible to control the temperature efficiently by using ambient air without supplying a separate fluid, Since expensive structures are omitted and simplified, it is easy to manufacture and can be used more easily.

도 2는 열진공챔버의 온도조절장치를 이용한 열진공챔버의 온도조절방법의 일실시예에 의한 순서도이며, 이를 참조하면 다음과 같다.FIG. 2 is a flowchart illustrating a method of controlling the temperature of a thermal vacuum chamber using a temperature control device of a thermal vacuum chamber. Referring to FIG.

상기와 같은 열진공챔버의 온도조절장치를 이용하게 되면, 외부 공기를 압축시켜 유입시키는 외부공기유입단계(S100); 압축된 공기로부터 습기를 제거하는 건조단계(S200); 및 건조된 공기를 설정된 온도로 냉각 또는 가열하는 온도설정단계(S300)를 포함하는 열진공챔버의 온도조절방법에 의해 열진공챔버 내부의 온도조절을 용이하게 수행할 수 있다.If the temperature regulating device of the thermal vacuum chamber is used, the external air inflow step (S100) may be performed by compressing external air. A drying step (S200) of removing moisture from the compressed air; And a temperature setting step (S300) for cooling or heating the dried air to a predetermined temperature. The temperature control method of the thermal vacuum chamber can easily control the temperature inside the thermal vacuum chamber.

한편, 상기와 같은 온도조절방법을 위한 부가 구조물들(100, 200, 300)에 대한 설명은 장치에 대한 설명 부분으로 대체하도록 한다.
Meanwhile, the description of the additional structures 100, 200, and 300 for the temperature control method may be replaced with a description of the apparatus.

100 : 압축기
200 : 제습기
300 : 온도조절기
400 : 열진공챔버 쉬라우드
S100 : 외부공기유입단계
S200 : 건조단계
S300 : 온도설정단계100: Compressor
200: dehumidifier
300: thermostat
400: Thermal vacuum chamber shroud
S100: External air inflow step
S200: drying step
S300: Temperature setting step

Claims (2)

열진공챔버의 쉬라우드로 설정된 온도로 압축된 건조한 공기를 공급하여 온도조절을 하는 열진공챔버의 온도조절장치에 관한 것으로,
외부 공기를 원하는 압력으로 압축하는 압축기;
상기 압축기와 연결되며, 상기 압축기로부터 공급된 압축공기를 건조시키는 제습기; 및
상기 제습기와 연결되며, 압축 및 건조된 공기를 설정온도로 가열 또는 냉각하여 상기 열진공챔버의 쉬라우드로 공급하는 온도조절기를 포함하는 열진공챔버의 온도조절장치.
The present invention relates to a temperature control device for a thermal vacuum chamber for controlling temperature by supplying dry air compressed to a temperature set to a shroud of a thermal vacuum chamber,
A compressor for compressing the outside air to a desired pressure;
A dehumidifier connected to the compressor for drying the compressed air supplied from the compressor; And
And a temperature controller connected to the dehumidifier and heating or compressing the compressed and dried air to a predetermined temperature and supplying the compressed air to the shroud of the thermal vacuum chamber.
외부 공기를 원하는 압력으로 압축하는 압축기; 상기 압축기와 연결되며, 상기 압축기로부터 공급된 압축공기를 건조시키는 제습기; 및 상기 제습기와 연결되며, 압축 및 건조된 공기를 설정온도로 가열 또는 냉각하여 열진공챔버의 쉬라우드로 공급하는 온도조절기를 포함하여 구성되며, 열진공챔버의 쉬라우드로 설정된 온도로 압축된 건조한 공기를 공급하여 온도조절을 하는 열진공챔버의 온도조절장치를 이용한 열진공챔버의 온도조절방법에 관한 것으로,
외부 공기를 압축시켜 유입시키는 외부공기유입단계;
압축된 공기로부터 습기를 제거하는 건조단계; 및
건조된 공기를 설정된 온도로 냉각 또는 가열하는 온도설정단계를 포함하는 열진공챔버의 온도조절방법.A compressor for compressing the outside air to a desired pressure; A dehumidifier connected to the compressor for drying the compressed air supplied from the compressor; And a temperature controller connected to the dehumidifier and supplying the compressed and dried air to the shroud of the thermal vacuum chamber by heating or cooling the compressed air to a predetermined temperature, wherein the compressed air is compressed and dried at a temperature set to a shroud of the thermal vacuum chamber The present invention relates to a method of controlling the temperature of a thermal vacuum chamber using a temperature control device of a thermal vacuum chamber,
An external air inflow step of compressing and introducing external air;
A drying step of removing moisture from the compressed air; And
And a temperature setting step of cooling or heating the dried air to a predetermined temperature.
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