KR20010114026A - Shroud cooling device for thermal vacuum chamber - Google Patents
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Abstract
본 발명은 우주환경을 모사하는 장치로 인공위성의 우주 열환경 모사시험에 사용되는 열진공챔버에서 LN2를 낭비하지 않고 순환시킬 수 있는 냉각장치와 처음 LN2를 순환시킬 때 대기중의 수증기로 인한 결빙 등의 문제점을 제거할 수 있도록 GN2 퍼지 기능을 갖는 열진공챔버용 슈라우드 냉각장치에 관한 것이다.The present invention is a device that simulates the space environment, a cooling device capable of circulating LN2 without waste in the thermal vacuum chamber used for the space thermal environment simulation test of satellites, and freezing due to water vapor in the atmosphere when the first LN2 is circulated. It relates to a shroud cooling device for a thermal vacuum chamber having a GN2 purge function to eliminate the problem.
챔버가 대형이 되고 슈라우드 내의 온도구배를 적게하기 위해서 슈라우드 내의 LN2를 계속 순환시켜야 하는데, 고압으로 공급되는 LN2를 끊임없이 공급하여 방출시킴으로 LN2의 소모량이 극심하며, 시험시작 초기에 LN2 공급시 수증기가 결빙되거나 얼음이 생겨 치명적인 영향을 준다.In order to increase the chamber size and reduce the temperature gradient in the shroud, the LN2 in the shroud must be continuously circulated. LN2 is consumed by supplying and releasing LN2 at a high pressure. Or ice, which has a fatal effect.
따라서 본 발명은 LN2가 공급되는 LN2 공급관(2)이 상측에 설치되며 슈라우드(1)를 통과한 LN2 가 유입되고 상측에 배기관(4)을 설치한 가스탱크(3)와,Therefore, the present invention is a gas tank (3) having an LN2 supply pipe (2) supplied with LN2 is installed on the upper side and LN2 is introduced through the shroud (1) and an exhaust pipe (4) is installed on the upper side,
상기 가스탱크(3)의 하측으로 LN2 펌프(5)를 설치하여 LN2를 순환시키는 순환장치(10)를 설치하여 슈라우드의 온도를 균일하게 만들며 LN2의 소모량을 절약하고 초기 LN2의 공급시 수증기의 결빙을 방지하는 것이다.Install the circulator 10 to circulate the LN2 by installing the LN2 pump 5 under the gas tank 3 to make the temperature of the shroud uniform, save the consumption of LN2, and freeze water vapor during the initial LN2 supply. To prevent.
Description
본 발명은 우주환경을 모사하는 장치로 인공위성의 우주 열환경 모사시험에 사용되는 열진공챔버에서 LN2를 낭비하지 않고 순환시킬 수 있는 냉각장치와 처음 LN2를 순환시킬 때 대기중의 수증기로 인한 결빙등의 문제점을 제거할 수 있도록GN2 퍼지 기능을 갖는 열진공챔버용 슈라우드 냉각장치에 관한 것이다.The present invention is a device that simulates the space environment, a cooling device that can circulate without waste LN2 in the thermal vacuum chamber used for the space thermal environment simulation test of satellites and freezing due to water vapor in the atmosphere when the first LN2 is circulated It relates to a shroud cooling device for a thermal vacuum chamber having a GN2 purge function to eliminate the problem of.
열진공챔버는 지상에서 우주환경인 진공과 열환경을 모사하는 대표적인 장치로 인공위성이나 그 부품에 대한 열환경 시험을 수행하는 고가의 장비이다.The thermal vacuum chamber is a representative device that simulates the vacuum and thermal environment, which is a space environment on the ground, and is an expensive equipment for performing thermal environment tests on satellites or parts thereof.
10-5torr 이하의 고진공에서 운용되는 열진공 챔버내에서 극저온인 우주환경시험을 모사하기 위하여, 열진공챔버내에 슈라우드를 설치하고 슈라우드 내에 GN2나 냉매를 이용 온도를 조절할 수 있도록 하거나, LN2 등의 극저온 냉매를 그대로 흘려보내 슈라우드 온도를 -196℃ 근처로 유지시켜 우주환경을 모사하게 된다.In order to simulate the cryogenic space environment test in a thermal vacuum chamber operated at a high vacuum of 10 -5 torr or less, a shroud may be installed in the thermal vacuum chamber and the GN2 or refrigerant may be controlled in the shroud, or LN2 may be used. Cryogenic coolant flows as it is, keeping the shroud temperature around -196 ℃ to simulate the space environment.
슈라우드에 극저온 냉매인 LN2를 그대로 흘려보내어 우주환경을 모사하는 경유 슈라우드내를 흘러가버린 LN2들은 회수되지 않고 밖으로 배출되는 것이 일반적이다.LN2 that has flowed into the shroud through the LN2, which is a cryogenic refrigerant to the shroud, is simulated to be discharged without being recovered.
복사열 교환용 슈라우드는 도 1 에 도시된 바와 같이 원통형판(7) 외부 또는 내부에 구리관(23)을 설치한 후 상기 구리관(23)에 극저온냉매인 LN2(액체질소, 액체상태온도 -196℃)를 통과시켜 원통형판(7)의 온도를 180℃ 이하로 유지시키게 된다.As shown in FIG. 1, the shroud for radiant heat exchange is provided with LN2 (liquid nitrogen, liquid state temperature -196), which is a cryogenic refrigerant in the copper tube 23 after installing a copper tube 23 outside or inside the cylindrical plate 7. ° C) to maintain the temperature of the cylindrical plate 7 to 180 ° C or less.
그런데 열진공챔버의 운용을 위해서는 LN2가 8∼9 기압의 높은 압력상태로 저장되어 공급되어지며, 이와 같은 급송시 단열이 우수한 공급판이라도 외부로부터의 열유입 때문에 LN2는 액체와 기체가 혼합되어 있는 상태로 공급되어 진다.However, LN2 is stored and supplied at a high pressure of 8 to 9 atm for the operation of the thermal vacuum chamber.LN2 is a mixture of liquid and gas due to heat inflow from the outside even in a supply plate having excellent heat insulation during such feeding. It is supplied in the state.
이로 인하여 기화된 LN2가 섞여서 슈라우드에 유입되어 평균온도를 상승시키게 된다.This causes the vaporized LN2 to mix and enter the shroud to increase the average temperature.
그리고 슈라우드에 설치된 온도센서(8)에서는 온도측정을 행할 때 LN2가 기화된 영역에서 온도측정을 하게 되면 원하는 온도조건에 도달하지 못한 것으로 감지하게 되고, 이러한 경우 열진공챔버 콘트롤러는 슈라우드의 온도를 -180℃ 이하로 유지하기 위해서 LN2등을 계속 흐르도록 하게 되고 이로 힌하여 필요 이상의 LN2가 그대로 대기 중에 방출되어 LN2 소모량이 극심하게 된다.In the temperature sensor 8 installed in the shroud, when the temperature measurement is performed in the vaporized region when the temperature measurement is performed, the temperature sensor 8 detects that the desired temperature condition is not reached. In this case, the thermal vacuum chamber controller measures the temperature of the shroud. In order to maintain the temperature below 180 ° C., LN 2 or the like continues to flow, thereby releasing more than necessary LN 2 into the atmosphere, resulting in severe consumption of LN 2.
열진공챔버의 운용을 위해서는 LN2가 8∼9 기압의 높은 압력상태로 저장되어 공급되며, 공급시 공급관등에서의 열유입 때문에 액체와 기체가 혼합되어 있는 상태로 공급되기 때문에 기화된 LN2가 섞여서 슈라우드 전체의 온도를 균일하게 냉각시키지 못하게 된다.The LN2 is stored at a high pressure of 8 to 9 atm for the operation of the thermal vacuum chamber, and the shroud is mixed with the vaporized LN2 because it is supplied as a mixture of liquid and gas due to heat inflow from the supply pipe. It is impossible to cool the temperature uniformly.
LN2 공급구리관에 전자적으로 작동하는 밸브를 설치하고, 구리판의 온도에 따라 밸브를 개폐하는 방법을 적용하여도 밸브의 순간적 개폐시 고압의 기체가 관내의 액체부분을 밀어내는 역할을 하기 때문에 일시적 온도상승이 일어나고, 밸브개폐시 맥동현상이 일어나는 등으로 인해, 온도를 -180℃ 이하로 유지하기 위해선 역시 LN2의 소모가 극심하게 된다.Temporary temperature because the high pressure gas acts to push the liquid part in the tube during the momentary opening and closing of the valve even if the valve operated electronically is installed in the LN2 supply copper pipe and the valve is opened and closed according to the temperature of the copper plate. As the rise occurs and the pulsation phenomenon occurs when the valve is opened and closed, the consumption of LN 2 is also extremely high to maintain the temperature below -180 ° C.
설정온도를 적절히 유지시키면서 LN2의 소모량을 줄이기 위해서는 최소한 최종 배기구에서 공급된 LN2가 액체상태로 그대로 나가지 않도록 수시로 눈으로 확인하여 밸브를 조절하거나 설정온도를 변화시켜 주어야만 한다.In order to reduce the consumption of LN2 while maintaining the set temperature properly, at least it should be visually checked to adjust the valve or change the set temperature so that the LN2 supplied from the final exhaust port does not leave the liquid state.
이러한 결점을 방지하기 위하여 도 2 에서와 같이 LN2가 공급되는 구리관 (23)에 전자밸브(21)와 정화밸브(22)를 설치하고 슈라우드(1)의 상부에 온도센서(8)가 설치된 가스탱크(20)를 설치하여 중력에 의하여 LN2를 재활용하여 냉매소비를 절감시키는 방법이 제안되었다.In order to prevent this drawback, as shown in FIG. 2, the solenoid valve 21 and the purge valve 22 are installed in the copper pipe 23 to which the LN2 is supplied, and the temperature sensor 8 is installed on the top of the shroud 1. A method for reducing refrigerant consumption by recycling LN2 by gravity by installing a tank 20 has been proposed.
그러나 상대적으로 규모가 작은 챔버, 슈라우드의 온도 구배를 어느정도 허용할 수 있는 곳에서 적용되어야만 그 효과가 발휘될 수 있다.However, the effect can only be achieved when applied in a relatively small chamber, where the temperature gradient of the shroud can be tolerated to some extent.
열진공챔버가 대형이 되고, 슈라우드 내의 온도구배를 적게하기 위해선 슈라우드내에 LN2를 계속 순환시켜야 하는데, 통상 고압으로 공급되는 LN2를 끊임없이 공급하여 방출시키는 것이 일반적인 것이나 이 역시 LN2의 소모량이 막대한 것이다.In order to increase the size of the thermal vacuum chamber and to reduce the temperature gradient in the shroud, the LN2 must be continuously circulated in the shroud. It is common to continuously supply and release LN2, which is normally supplied at a high pressure, but this is also a huge consumption of LN2.
최근 LN2를 순환시킬 수 있는 극저온 LN2용 펌프가 제안되었으나, 이러한 LN2를 순환시키기 위해서는 폐쇄된 계가 필요한데, 슈라우드안에서 LN2가 끊임 없이 기체인 GN2로 변화하여 체적이 1,000배 이상 팽창하는 것과 LN2만을 순환시켜야 하는 것을 고려하면 통상적인 방법으로는 GN2는 배기시켜야 하며, LN2는 계속 보충해주어야 할 필요성이 있으므로 LN2 순환시스템을 구성할 수가 없게 된다.(GN2는 배기시켜야 하며, LN2는 계속 보충해주어야 할 필요성이 있음)Recently, a cryogenic LN2 pump capable of circulating LN2 has been proposed, but in order to circulate LN2, a closed system is required. Considering this, the GN2 must be exhausted in the usual way, and the LN2 needs to be continuously replenished, so that the LN2 circulation system cannot be configured (the GN2 must be exhausted and the LN2 needs to be continuously replenished). )
또한 열진공챔버를 작동하지 않을 때에는 챔버 슈라우드등의 내부가 대기중에 노출될 수 있는 점들을 고려하면 수증기에 의한 결빙문제도 LN2 순환계를 구성할 때 중요한 설계요건이 된다.In addition, considering that the interior of the chamber shroud and the like may be exposed to the atmosphere when the thermal vacuum chamber is not operated, the problem of freezing due to water vapor is also an important design requirement when constructing the LN2 circulation system.
통상적으로 사용하는 고압에 의한 LN2의 슈라우드 통과 및 강제 배출방식은 처음 LN2가 공급이 될 때는 초기 배관에서 대부분 기체상태로 변환되어 공급되다가 슈라우드 온도가 저온에 도달한 이후 액체상태로 공급이 됨으로 자동적으로 배관내의 GN2 배출이 이루어져 수증기의 결빙문제는 따로 신경을 쓰지 않아도 자동적으로 해결된다.The shroud passing and forced discharge of LN2 by the high pressure that is normally used is automatically converted into gaseous state in the initial pipe when LN2 is supplied for the first time, and then is supplied in liquid state after the shroud temperature reaches low temperature. As GN2 is discharged from the pipe, the freezing problem of water vapor is solved automatically without any concern.
본 발명은 LN2 펌프 및 가스탱크(Reservoir)를 이용하여 챔버 슈라우드내에 끊임없이 LN2를 순환시킬 수 있도록 하여 챔버 슈라우드내의 온도를 -190℃ 정도로 균일하게 유지시킬 수 있도록 한다.The present invention enables the LN2 pump and gas tank (Reservoir) to circulate the LN2 constantly in the chamber shroud to maintain a uniform temperature in the chamber shroud to about -190 ℃.
본 발명은 가스탱크를 통해 LN2가 계속 순환됨으로 LN2 소모량을 최소화시켜 시험기간중 LN2의 소모를 절감시키도록 한다.The present invention is to continue to circulate LN2 through the gas tank to minimize the LN2 consumption to reduce the consumption of LN2 during the test period.
본 발명은 시험전 GN2를 퍼지시킬 수 있도록 하여 챔버 슈라우드 및 가스탱크내에서 수증기의 결빙의 위험요소를 없애고, 얼음으로 인한 LN2 펌프의 고장을 방지하는 것이다.The present invention allows the GN2 to be purged prior to testing to eliminate the risk of water vapor freezing in the chamber shroud and gas tank, and to prevent failure of the LN2 pump due to ice.
도 1 은 종래의 복사열 전달용 슈라우드 구성도1 is a conventional configuration of the shroud for radiant heat transfer
도 2 은 종래의 복사열 전달용 슈라우드의 다른 구성도2 is another configuration of the conventional shroud for radiant heat transfer
도 3 은 본 발명의 일실시예를 나타낸 전체 구성도3 is an overall configuration diagram showing an embodiment of the present invention
[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명][Explanation of symbols on the main parts of the drawings]
1 : 슈라우드 2 : LN2 공급관1: shroud 2: LN2 supply pipe
3 : 가스탱크 4 : 배기관3: gas tank 4: exhaust pipe
5 : LN2 펌프 6 : LN2 순환관5: LN2 pump 6: LN2 circulation pipe
10 : 순환장치 11, 12, 14, 15 : 전자밸브10: circulator 11, 12, 14, 15: solenoid valve
13, 16 : 퍼지밸브 17 : GN2 공급관13, 16: purge valve 17: GN2 supply pipe
본 발명은 도 3 에 도시된 바와 같이 LN2가 공급 및 순환될 수 있도록 분리형(Phase separator) 가스탱크(3)를 설치하고, 가스탱크(3)와 슈라우드(1)사이에 LN2 펌프(5)를 설치한다.According to the present invention, as shown in FIG. 3, a separator gas tank 3 is installed to supply and circulate the LN 2, and an LN 2 pump 5 is provided between the gas tank 3 and the shroud 1. Install.
가스탱크(3)의 상측으로 전자밸브(15)가 설치된 LN2 공급관(2)을 설치하여 가스탱크(3)로 LN2가 공급되도록 하고, 가스탱크(3)의 최상측에서 배기관(4)을 설치하여 GN2는 방출될 수 있도록 한다.Install the LN2 supply pipe (2) provided with the solenoid valve (15) above the gas tank (3) so that the LN2 is supplied to the gas tank (3), and the exhaust pipe (4) is installed at the top of the gas tank (3). So that GN2 can be released.
LN2 펌프(5)의 양쪽에는 전자밸브(11)(12)를 설치하여 LN2 펌프(5)의 작동시에만 열리고, 그 외에는 항상 닫힐 수 있도록 하여 LN2 펌프(5)를 보호할 수 있도록 한다.The solenoid valves 11 and 12 are provided on both sides of the LN2 pump 5 so that the LN2 pump 5 can be protected by being opened only during the operation of the LN2 pump 5 and always closed.
LN2 펌프(5)를 포함하는 순환장치(10)는 슈라우드(1)의 아래쪽과 가스탱크(3)의 아래쪽으로 GN2가 공급되는 GN2 공급관(17)이 설치되고, 상기 GN2 공급관 (17)의 양쪽에 퍼지밸브(13)(16)가 설치된다.The circulator 10 including the LN2 pump 5 is provided with a GN2 supply pipe 17 through which GN2 is supplied below the shroud 1 and below the gas tank 3, and both sides of the GN2 supply pipe 17 are provided. Purge valves (13) and (16) are installed in the valve.
상기 퍼지밸브(13)(16)는 LN2 순환관(6)이 설치된 슈라우드(1)의 작동전에만 사용되며, 챔버 슈라우드(1) 및 가스탱크(3) 내에 수증기가 존재하지 않도록 하여 챔버작동시 수증기가 결빙되지 않도록 하는 것이다.The purge valves 13 and 16 are used only before the operation of the shroud 1 in which the LN2 circulation pipe 6 is installed, and the chamber shroud 1 and the gas tank 3 do not have water vapor in the chamber operation. This prevents water vapor from freezing.
가스탱크(3)의 상측에는 슈라우드(1) 내에 설치된 LN2 순환관(6)에서 돌출된 리턴라인에 전자밸브(14)를 설치하여 슈라우드(1)를 순환한 LN2중 액체는 가스탱크 (3)로 다시 돌아갈 수 있도록 하고 가스탱크(3)의 윗쪽에는 배기관(4)으로 GN2가 방출될 수 있도록 한다.On the upper side of the gas tank (3), the solenoid valve (14) is installed in the return line protruding from the LN2 circulation pipe (6) installed in the shroud (1), and the liquid in the LN2 circulated through the shroud (1) is the gas tank (3). And back to the top of the gas tank (3) to allow the GN2 to be released into the exhaust pipe (4).
슈라우드(1) 및 가스탱크(3)가 외부 대기에 노출될 수 있으므로, 시험시작 초기 LN2 공급시 수증기가 결빙할 우려가 있고 수증기의 결빙으로 인해 얼음이 생기게 되면 LN2 펌프(5) 등에 치명적인 영향을 줄 수 있게 된다.Since the shroud (1) and the gas tank (3) may be exposed to the outside atmosphere, there is a risk that water vapor may freeze during LN2 supply at the beginning of the test, and if ice is formed due to the freezing of water vapor, the LN2 pump (5) may have a fatal effect. I can give it.
이것을 방지하기 위하여 시험전에는 반드시 GN2 퍼지등을 하여, 슈라우드(1) 및 가스탱크(3)내에 수증기가 없도록 하여야 하며, 이를 위하여 퍼지밸브(13)(16)가 설치된 것이다.In order to prevent this, GN2 purge must be performed before the test to prevent water vapor in the shroud (1) and the gas tank (3), and for this purpose, purge valves 13 and 16 are installed.
시험시작전에 LN2 펌프(5)를 보호하기 위하여 전자밸브(11)(12)가 닫혀있는 상태에서 퍼지밸브(13)를 열어 GN2 공급관(17)으로 GN2를 공급시켜 LN2 순환관(6)을 통과시키어 슈라우드(1)를 퍼지시키고, 퍼지된 GN2는 개방된 전자밸브(14)를 통하여 가스탱크(3)에 이르게 되어 상승한 후 배기관(4)으로 방출된다.In order to protect the LN2 pump (5) before the start of the test, open the purge valve (13) with the solenoid valves (11) and (12) closed to supply GN2 to the GN2 supply pipe (17) and pass the LN2 circulation pipe (6). Then, the shroud 1 is purged, and the purged GN2 reaches the gas tank 3 through the open solenoid valve 14, ascends and is discharged to the exhaust pipe 4.
상기의 GN2 공급에 의한 퍼지과정을 약 30초 이상 행한 후, 전자밸브(14)를닫고 퍼지밸브(16)를 열어 GN2가 가스탱크(3)를 약 30초 이상 퍼지시킬 수 있도록 한다.After the purge process by the GN2 supply is performed for about 30 seconds or more, the solenoid valve 14 is closed and the purge valve 16 is opened to allow the GN2 to purge the gas tank 3 for about 30 seconds or more.
전자밸브(14)와 퍼지밸브(13)(16)를 모두 열고 GN2 공급관(17)에 GN2를 퍼지시켜 슈라우드(1)와 가스탱크(3)가 동시에 약 30초 정도 퍼지되도록 한다.Open both the solenoid valve 14 and the purge valve 13, 16 and purge the GN2 in the GN2 supply pipe 17 to simultaneously purge the shroud 1 and the gas tank 3 for about 30 seconds.
이상과 같은 퍼지과정을 2∼3회 반복하여 되풀이 하여 슈라우드(1)와 가스탱크(3)에 수증기가 존재하지 않도록 한 다음에 퍼지밸브(13)(16)를 닫고, 정상적인 LN2 시험을 수행한다.Repeat the above purge process 2 to 3 times so that water vapor does not exist in the shroud (1) and the gas tank (3), and then close the purge valves (13) and (16), and perform a normal LN2 test. .
상기와 같이 퍼지과정을 마친후에는 정상적인 시험을 수행할 수 있는 것으로 LN2는 전자밸브(15)를 열고 LN2 공급관(2)을 통해 중력방식의 가스탱크(3)에 공급된다.After completing the purge process as described above, the normal test can be performed. The LN2 opens the solenoid valve 15 and is supplied to the gas tank 3 of the gravity method through the LN2 supply pipe 2.
이때 전자밸브(15)는 가스탱크(3) 내의 LN2 수위가 설정높이에 도달하면 자동으로 닫히게 되므로, 가스탱크(3) 내의 LN2 수위에 따라 전자밸브(15)의 개폐를 반복하여 항상 일정한 LN2가 유지되는 것이다.At this time, the solenoid valve 15 is automatically closed when the LN2 level in the gas tank 3 reaches the set height, so that the constant LN2 is always repeated by repeatedly opening and closing the solenoid valve 15 according to the LN2 level in the gas tank 3. It is maintained.
가스탱크(3)에 저장되는 LN2는 LN2 펌프(5)가 작동됨에 따라 양쪽의 전자밸브(11)(12)가 열려 순환장치(10)를 통하여 슈라우드(1)의 LN2 순환관(6)에 LN2를 공급하여 순환시키게 된다.The LN2 stored in the gas tank 3 is opened by the solenoid valves 11 and 12 on both sides of the LN2 circulating pipe 6 of the shroud 1 through the circulator 10 as the LN2 pump 5 is operated. LN2 is supplied and circulated.
슈라우드(1)를 순환하는 LN2는 전자밸브(14)에 도달하기 전에 일부 기화하여 LN2 및 GN2가 섞인 상태로 전자밸브(14)를 통과하여 가스탱크(3)에 도착된다.The LN2 circulating in the shroud 1 is partially vaporized before reaching the solenoid valve 14 and reaches the gas tank 3 through the solenoid valve 14 with LN2 and GN2 mixed.
가스탱크(3)에 도착된 LN2는 중력에 의하여 아래쪽으로 떨어지게 되어 저장되어 재활용되고, GN2는 위쪽에 설치된 배기관(4)을 통하여 외부로 방출된다.The LN2 arriving at the gas tank 3 falls down by gravity and is stored and recycled, and the GN2 is discharged to the outside through the exhaust pipe 4 installed above.
따라서 가스탱크(3)와 LN2 펌프(5)를 통하여 슈라우드(1)에 끊임없이 LN2를 순환시켜 균일한 온도가 유지되도록 하는 것이다.Therefore, the gas tank 3 and the LN2 pump 5 continuously circulates LN2 to the shroud 1 to maintain a uniform temperature.
본 발명은 LN2 펌프 및 가스탱크를 이용하여 슈라우드내에 끊임없이 LN2를 순환시킬 수 있도록 하여 슈라우드내의 온도를 -190℃ 정도로 균일하게 유지시킬 수 있도록 하는 것이다.According to the present invention, the LN2 pump and the gas tank can be used to continuously circulate the LN2 in the shroud to maintain the temperature in the shroud uniformly around -190 ° C.
본 발명은 가스탱크를 통해 LN2가 계속 순환됨으로 LN2 소모량을 최소화시켜 시험기간중 LN2의 소모량을 절약할 수 있는 것이다.The present invention is to continue to circulate LN2 through the gas tank to minimize the consumption of LN2 to reduce the consumption of LN2 during the test period.
본 발명은 시험전 GN2를 퍼지 시킬 수 있도록 하여 챔버 슈라우드 및 가스탱크내에서 수증기의 결빙 위험요소를 없애고, 얼음으로 인한 LN2 펌프의 고장을 방지하는 것이다.The present invention allows the GN2 to be purged prior to testing to eliminate the risk of water vapor freezing in the chamber shroud and gas tank, and to prevent failure of the LN2 pump due to ice.
본 발명은 가스탱크 내의 LN2 수위가 설정높이에 도달하면 전자밸브가 닫히도록 하여 가스탱크 내의 LN2를 일정하게 유지시는 것이다.The present invention is to maintain the constant LN2 in the gas tank by closing the solenoid valve when the level of LN2 in the gas tank reaches the set height.
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| KR (1) | KR20010114026A (en) |
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