KR101456078B1 - Damper for opening and closing drain pipe - Google Patents

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    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment

Abstract

본 발명은 배관 댐퍼에 관한 것이다. 본 발명에 의한 배관 댐퍼는, 배관 내부에 회전 가능하게 설치되고, 딱딱한 강체로 형성되는 경질부; 및 상기 경질부에 결합되고, 상기 댐퍼의 테두리를 형성하며, 유연한 재질로 형성되는 연질부를 포함한다.
따라서, 본 발명에 의하면, 배수관과 댐퍼 사이의 기밀성이 향상되어, 배수 탱크의 유해 가스의 역류가 방지될 수 있다.The present invention relates to a piping damper. A piping damper according to the present invention comprises: a rigid portion rotatably installed in a piping and formed of a rigid rigid body; And a soft portion coupled to the rigid portion and forming a rim of the damper, the soft portion being formed of a flexible material.
Therefore, according to the present invention, the airtightness between the drain pipe and the damper is improved, and the back flow of the noxious gas in the drain tank can be prevented.

Description

배관 댐퍼{DAMPER FOR OPENING AND CLOSING DRAIN PIPE}BACKGROUND OF THE INVENTION Field of the Invention [0001] The present invention relates to a piping damper,

본 발명은 댐퍼에 관한 것이고, 보다 상세하게는 웨이퍼 세정액이 배출되는 배수관을 개폐하고, 배수관에 흐르는 세정액의 양을 조절할 수 있는 댐퍼에 관한 것이다. The present invention relates to a damper, and more particularly, to a damper capable of opening and closing a drain pipe through which wafer cleaning liquid is discharged and adjusting the amount of cleaning liquid flowing through the drain pipe.

일반적으로, 웨이퍼를 제조할 때 그 표면에 산화막, 감광막 등을 도포, 노광, 에칭 등의 공정을 반복한다. 이러한 공정을 마친 웨이퍼의 표면에는 미세한 이물질들이 부착되므로, 이러한 이물질들을 제거하기 위해서 세정설비를 이용하여 웨이퍼를 세정한다.Generally, when manufacturing a wafer, processes such as coating an oxide film, a photoresist film, and the like on the surface thereof, and performing exposure and etching are repeated. Since fine foreign substances adhere to the surface of the wafer after the above process, the wafer is cleaned using a cleaning device to remove such foreign substances.

세정공정에 사용된 세정액은 배수관을 통하여 외부의 배수 탱크로 배출된다. 상기 배수 탱크로부터 유해 가스가 배수관을 통해서 역류할 수 있기 때문에, 유해 가스의 역류를 방지하고 배수관에 흐르는 세정액의 유량을 조절하기 위하여, 배수관을 열고 닫을 수 있는 댐퍼가 설치된다.The cleaning liquid used in the cleaning process is discharged to an external drain tank through a drain pipe. A damper capable of opening and closing the drain pipe is installed in order to prevent the backflow of the noxious gas and to regulate the flow rate of the cleaning liquid flowing in the drain pipe because the noxious gas can flow back through the drain pipe from the drain tank.

본 발명은 배수관과 댐퍼 사이의 기밀성이 향상되는 배수관 개폐용 댐퍼를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a damper for opening and closing a drain pipe with improved airtightness between a drain pipe and a damper.

본 발명은 교체주기가 연장되어 제품의 수명이 늘어나는 배수관 개폐용 댐퍼를 제공하는 것을 목적으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a damper for opening and closing a drain pipe in which the replacement period is extended and the service life of the product is increased.

본 발명에 의한 배관 댐퍼는, 배관을 개폐하는 댐퍼에 있어서, 배관 내부에 회전 가능하게 설치되고, 딱딱한 강체로 형성되는 경질부; 및 상기 경질부에 결합되고, 상기 댐퍼의 테두리를 형성하며, 유연한 재질로 형성되는 연질부를 포함한다.A piping damper according to the present invention is a damper for opening and closing a piping, comprising: a rigid portion rotatably installed inside a piping and formed of a rigid rigid body; And a soft portion coupled to the rigid portion and forming a rim of the damper, the soft portion being formed of a flexible material.

본 발명에 의한 배관 댐퍼는, 배관 내부에 회전 가능하게 설치되고, 딱딱한 재질로 형성되는 경질부; 상기 경질부와 결합되고, 상기 경질부와 상기 배관 내주면 사이에 구비되는 연질부; 상기 배관에 적어도 일부가 결합되고, 상기 경질부 및 상기 연질부를 회전시키는 회전축; 상기 배관 및 상기 회전축 사이에 구비되는 다수의 오링; 및 상기 다수의 오링 사이에 구비되고, 그리스를 충진하는 그리스 컵을 포함한다.A piping damper according to the present invention comprises: a rigid portion rotatably installed in a piping and formed of a rigid material; A soft portion coupled to the rigid portion and provided between the rigid portion and the inner circumferential surface of the pipe; At least a part of which is coupled to the piping, and which rotates the rigid part and the soft part; A plurality of o-rings provided between the pipe and the rotary shaft; And a grease cup provided between the plurality of O-rings and filling the grease.

본 발명에 의하면, 배수관과 댐퍼 사이의 기밀성이 향상되어, 배수 탱크의 유해 가스의 역류가 방지될 수 있다.According to the present invention, the airtightness between the drain pipe and the damper is improved, and the back flow of the noxious gas in the drain tank can be prevented.

또한, 본 발명에 의하면, 배수관 개폐용 댐퍼에 구비되는 오링의 수명이 늘어나서, 오링을 자주 교체하지 않아도 되는 효과가 있다.Further, according to the present invention, the service life of the O-ring provided in the damper for opening and closing the drain pipe is increased, and the O-ring is not frequently replaced.

도 1은 본 발명의 실시예에 의한 배수관 개폐용 댐퍼가 설치될 수 있는 웨이퍼 세정장치의 단면도.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 의한 배수관 개폐용 댐퍼가 설치된 배수관의 단면도.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 의한 배수관 개폐용 댐퍼가 설치된 배수관의 확대 단면도.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 의한 배수관 개폐용 댐퍼가 회전된 경우의 단면도.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 의한 배수관 개폐용 댐퍼의 회전축 하우징의 단면도.
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 의한 배수관 개폐용 댐퍼를 다른 각도에서 절개한 단면도.
도 7은 본 발명의 제1 실시예에 의한 배수관 개폐용 댐퍼의 단면도.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 의한 배수관 개폐용 댐퍼의 단면도.
도 9은 본 발명의 제3 실시예에 의한 배수관 개폐용 댐퍼의 단면도.1 is a sectional view of a wafer cleaning apparatus in which a damper for opening and closing a drain pipe according to an embodiment of the present invention can be installed;
2 is a sectional view of a drain pipe provided with a damper for opening / closing a drain pipe according to the first embodiment of the present invention;
3 is an enlarged cross-sectional view of a drain pipe provided with a damper for opening and closing a drain pipe according to the first embodiment of the present invention;
4 is a sectional view of the damper for opening and closing a drain pipe according to the first embodiment of the present invention when rotated.
5 is a sectional view of a rotary shaft housing of a damper for opening / closing a drain pipe according to the first embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view of a damper for opening and closing a drain pipe according to the first embodiment of the present invention, cut from another angle;
7 is a sectional view of a damper for opening / closing a drain pipe according to the first embodiment of the present invention.
8 is a sectional view of a damper for opening / closing a drain pipe according to a second embodiment of the present invention;
9 is a sectional view of a damper for opening / closing a drain pipe according to a third embodiment of the present invention.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명의 사상이 그와 같은 실시예에 제한되지 않고, 본 발명의 사상을 실시예를 이루는 구성요소의 부가, 변경 및 삭제 등에 의해서 다르게 제안될 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상에 포함되는 것이다.Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. It should be understood, however, that the spirit of the present invention is not limited to such embodiments, and that the spirit of the present invention may be proposed differently from addition, modification and deletion of elements constituting the embodiments, .

도 1은 본 발명의 실시예에 의한 배수관 개폐용 댐퍼가 설치될 수 있는 웨이퍼 세정장치의 단면도이다.1 is a sectional view of a wafer cleaning apparatus in which a damper for opening / closing a drain pipe according to an embodiment of the present invention can be installed.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 의한 배수관 개폐용 댐퍼(10)가 설치되는 웨이퍼 세정장치(1)는, 웨이퍼(W)를 지지하는 척(2)과, 상기 척(2)의 하단에 결합되어 상기 척(2)을 회전시키는 척 회전축(3)과, 상기 척(2)의 상단에 구비되고, 상기 웨이퍼(W)를 고정하여 상기 웨이퍼(W)가 이탈하는 것을 방지하는 핀(4)과, 상기 웨이퍼(W)에서 주위로 튀는 세정액을 포집하는 제1 포집부(5), 제2 포집부(6), 제3 포집부(7)를 포함한다.1, a wafer cleaning apparatus 1 in which a damper 10 for opening and closing a drain pipe according to an embodiment of the present invention is installed includes a chuck 2 for supporting a wafer W, A chuck rotation shaft 3 coupled to the lower end of the chuck 2 to rotate the chuck 2 and a pin 3 which is provided at an upper end of the chuck 2 and fixes the wafer W, A first collecting part 5 for collecting washing liquid splashing around the wafer W from the wafer W; a second collecting part 6; and a third collecting part 7.

상기 척(2)은 넓은 원형 판으로 형성되어 있고, 상기 척(2)의 상면에는 다수의 상기 핀(4)이 구비된다.The chuck 2 is formed as a wide circular plate, and a plurality of the fins 4 are provided on an upper surface of the chuck 2. [

상기 핀(4)은 상기 웨이퍼(W)의 테두리를 지지하고, 상기 웨이퍼(W) 테두리의 바깥쪽 측면에 밀착되어 상기 웨이퍼(W)를 고정한다. 상기 핀(4)이 상기 웨이퍼(W)의 바깥쪽 측면에 밀착됨에 따라 상기 웨이퍼(W)가 상기 척(2)의 밖으로 이탈되는 것을 방지할 수 있다.The pin 4 supports the edge of the wafer W and closely contacts the outer side surface of the edge of the wafer W to fix the wafer W. [ It is possible to prevent the wafer W from being detached from the chuck 2 as the pin 4 is brought into close contact with the outer side surface of the wafer W. [

상기 척 회전축(3)은 상기 척(2)을 회전시킨다. 상기 척 회전축(3)이 회전되면, 상기 웨이퍼(W)는 상기 척(2)에 고정된 상태로 회전된다.The chuck rotation shaft 3 rotates the chuck 2. [ When the chuck rotational shaft 3 is rotated, the wafer W is rotated in a state fixed to the chuck 2. [

상기 척 회전축(3)은 상하 이동할 수 있고, 상기 척(2)을 상하방향으로 이송시킬 수 있다.The chuck rotation shaft 3 can be moved up and down, and the chuck 2 can be transferred in the vertical direction.

상기 웨이퍼(W)의 상부에는 상기 웨이퍼(W)에 세정액을 공급하는 세정액 공급부(미도시)가 구비되고, 상기 세정액 공급부는 상기 웨이퍼(W)가 회전 중일 때, 상기 웨이퍼(W)에 세정액을 떨어뜨릴 수 있다.A cleaning liquid supply unit (not shown) for supplying a cleaning liquid to the wafer W is provided on the wafer W. The cleaning liquid supply unit supplies a cleaning liquid to the wafer W when the wafer W is rotating You can drop it.

상기 웨이퍼(W)에 세정액이 떨어지면, 상기 웨이퍼(W)는 세정액에 의하여 세정되고, 상기 웨이퍼(W)의 회전에 의하여 세정액은 상기 웨이퍼(W)의 주변으로 튀게 된다. When the cleaning liquid is dropped on the wafer W, the wafer W is cleaned by the cleaning liquid, and the cleaning liquid is splashed to the periphery of the wafer W by the rotation of the wafer W.

상기 웨이퍼(W) 주변으로 튄 세정액은 상기 척(2) 주변에 설치되는 상기 제1 내지 제3 포집부(5, 6, 7) 안으로 유입된다.The washing liquid splashed around the wafer W flows into the first to third collecting units 5, 6 and 7 provided around the chuck 2.

상기 제1 내지 제3 포집부(5, 6, 7)는 상기 척(2)을 둘러싸는 컵 형상으로 형성될 수 있고, 상기 제1 내지 제2 포지부(5, 6, 7)의 중심에는 상기 척 회전축(3)이 구비된다.The first to third collecting parts 5, 6 and 7 may be formed in a cup shape surrounding the chuck 2, and the center of the first and second trapping parts 5, 6, The chuck rotation shaft 3 is provided.

상기 제1 내지 제3 포집부(5, 6, 7)는 세정액을 수용할 수 있도록 내부가 함몰되어 형성된다. The first to third collecting units 5, 6 and 7 are formed so as to be recessed to receive the cleaning liquid.

상기 제1 포집부(5)가 가장 안쪽에 설치되어 있고, 상기 제2 포집부(6)는 상기 제1 포집부(5) 주변을 둘러싸며, 상기 제3 포집부(7)는 상기 제2 포집부(6) 주변을 둘러싼다. Wherein the first collecting part 5 is disposed on the innermost side and the second collecting part 6 surrounds the first collecting part 5 and the third collecting part 7 collects the second collecting part 5, And surrounds the collecting part (6).

또한, 상기 제1 포집부(5)의 높이가 가장 낮고, 상기 제2 포집부(6)의 높이는 상기 제1 포집부(5)보다 높으며, 상기 제3 포집부(7)의 높이는 상기 제2 포집부(6)의 높이보다 더 높다. 즉, 상기 제1 포집부(5)에서 바깥쪽으로 갈수록 더 높아진다.The height of the second collecting portion 6 is higher than the height of the first collecting portion 5 and the height of the third collecting portion 7 is higher than the height of the second collecting portion 5, Is higher than the height of the collecting part (6). In other words, the distance from the first collecting part 5 to the outside becomes higher.

상기 척(2)이 상대적으로 아래에 있을 때에는 상기 제1 포집부(5)에 세정액이 포집되고, 상기 척(2)이 상기 제1 포집부(5)의 상단보다 더 높이 있을 때에는 상기 제2 포집부(6)에 세정액이 포집되며, 상기 척(2)이 상기 제2 포집부(6)의 상단보다 더 높이 있을 때에는 상기 제3 포집부(7)에 세정액이 포집된다. The cleaning liquid is collected in the first collecting part 5 when the chuck 2 is relatively below and when the chuck 2 is higher than the upper end of the first collecting part 5, The cleaning liquid is collected in the collecting part 6 and the cleaning liquid is collected in the third collecting part 7 when the chuck 2 is higher than the upper end of the second collecting part 6. [

상기 제1 내지 제3 포집부(5, 6, 7)의 하부에는 각각 배수구가 형성되어 있고, 상기 각각의 배수구에서 흘러나온 세정액은 후술할 배수관(20)으로 유입되며, 세정액은 상기 배수관(20)에 의해 외부로 배출된다.The washing liquid flowing from each of the drains flows into a drain pipe 20 to be described later and the washing liquid flows into the drain pipe 20 As shown in Fig.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 의한 배수관 개폐용 댐퍼가 설치된 배수관의 단면도이고, 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 의한 배수관 개폐용 댐퍼가 설치된 배수관의 확대 단면도이며, 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 의한 배수관 개폐용 댐퍼가 회전된 경우의 단면도이고, 도 5는 본 발명의 제1 실시예에 의한 배수관 개폐용 댐퍼의 회전축 하우징의 단면도이며, 도 6은 본 발명의 제1 실시예에 의한 배수관 개폐용 댐퍼를 다른 각도에서 절개한 단면도이고. 도 7은 본 발명의 제1 실시예에 의한 배수관 개폐용 댐퍼의 단면도이다. 3 is an enlarged cross-sectional view of a drain pipe provided with a damper for opening and closing a drain pipe according to the first embodiment of the present invention, and Fig. 4 is an enlarged cross-sectional view of the drain pipe of the damper for opening and closing the drain pipe according to the first embodiment of the present invention. 5 is a cross-sectional view of a rotary shaft housing of a damper for opening and closing a drain pipe according to the first embodiment of the present invention, and Fig. 6 is a sectional view of the damper for opening and closing the drain pipe according to the first embodiment of the present invention. Sectional view of the damper for opening and closing a drain pipe according to the first embodiment, taken along a line II-III in Fig. 7 is a sectional view of a damper for opening / closing a drain pipe according to the first embodiment of the present invention.

도 2 내지 도 7을 참조하면, 상기 웨이퍼 세정장치(1)에서 사용된 후 배수구로 유출된 세정액은 상기 배수관(20)을 흐르고, 상기 배수관(20)의 단부에는 사용후 세정액을 포집하기 위한 세정액 탱크(30)가 구비된다.2 to 7, a cleaning liquid, which has been used in the wafer cleaning apparatus 1 and then flows out to a drain port, flows through the drain pipe 20, and an end of the drain pipe 20 is connected to a cleaning liquid A tank 30 is provided.

상기 배수관(20)의 내부에는 상기 배수관(20)을 개폐할 수 있고, 상기 배수관(20)을 흐르는 세정액의 유량을 조절할 수 있는 댐퍼(10)가 구비된다. The damper 10 can open and close the drain pipe 20 and adjust the flow rate of the washing liquid flowing through the drain pipe 20 in the drain pipe 20.

상기 댐퍼(10)는 원형 판으로 형성되고, 상기 댐퍼(10)는 상기 배수관(20) 내부에서 회전 가능하게 설치된다.The damper 10 is formed as a circular plate, and the damper 10 is rotatably installed in the drain pipe 20.

상기 댐퍼(10)의 전면 또는 후면이 세정액이 흐르는 방향과 수직방향으로 배치되면 상기 배수관(20)은 차폐되고, 상기 배수관(20)이 차폐된 상태에서 상기 댐퍼(10)가 회전되면 상기 배수관(20)의 개방된 각도는 점점 커진다. 상기 댐퍼(10)의 전면 또는 후면이 세정액이 흐르는 방향과 평행방향으로 배치되면 상기 배수관(20)은 최대한 개방된 것이다. When the front or rear surface of the damper 10 is disposed in a direction perpendicular to the direction in which the cleaning liquid flows, the drain pipe 20 is shielded. When the damper 10 is rotated in a state where the drain pipe 20 is shielded, 20 is gradually increased. When the front surface or the rear surface of the damper 10 is disposed in a direction parallel to the direction in which the cleaning liquid flows, the water pipe 20 is maximally opened.

상기 댐퍼(10)의 테두리는 잘 휘어지는 유연한 재질 또는 고무와 같이 탄성재질의 연질부(12)가 구비되고, 상기 댐퍼(10)의 테두리를 제외한 전면 및 후면은 세정액에 부식되지 않는 플라스틱과 같은 딱딱한 재질의 경질부(11)가 구비된다.The front and rear surfaces of the damper 10, except for the rim of the damper 10, are made of a rigid material such as plastic that does not corrode the cleaning liquid, A rigid portion 11 made of a material is provided.

상기 중심부(12)는 연질의 PTFE 재질(폴리테트라 플루오로에틸렌)로 형성되는 것이 바람직하다.The center portion 12 is preferably formed of a soft PTFE material (polytetrafluoroethylene).

상기 댐퍼(10)는 여러 겹의 층이 겹쳐서 형성될 수 있다. 본 실시예에는 상기 댐퍼(10)가 세 개의 층으로 형성되고, 상기 연질부(12)는 상기 댐퍼(10)의 중심부에 구비되고, 상기 경질부(11)는 상기 연질부(12)의 전면 및 후면에 구비된다. The damper 10 may be formed by stacking a plurality of layers. The damper 10 is formed in three layers and the soft portion 12 is provided at the center portion of the damper 10 and the hard portion 11 is formed at the front surface of the soft portion 12 And a rear surface.

상기 연질부(12)의 전면에는 전면 플레이트(11a)가 구비되고, 상기 연질부(12)의 후면에는 후면 플레이트(11b)가 구비되며, 상기 전면 플레이트(11a) 및 후면 플레이트(11b)는 경질부(11)를 구성한다.A front plate 11a is provided on a front surface of the soft portion 12 and a rear plate 11b is provided on a rear surface of the soft portion 12. The front plate 11a and the rear plate 11b are rigid (11).

상기 연질부(12)는 상기 전면 플레이트(11a) 및 상기 후면 플레이트(11b)에 비하여 더 크게 형성되는 것이 바람직하다. The soft portion 12 may be larger than the front plate 11a and the rear plate 11b.

상기 연질부(12)가 상기 전면 플레이트(11a) 및 상기 후면 플레이트(11b)보다 더 크게 형성되어야, 상기 연질부(12)의 테두리가 상기 배수관(20)의 내주면에 밀착되어, 상기 댐퍼(10)가 상기 배수관(20)을 차폐하는 경우에 기밀성이 향상된다.The edge of the soft portion 12 is in close contact with the inner circumferential surface of the drain pipe 20 so that the damper 10 Is shielded from the water pipe 20, the airtightness is improved.

상기 연질부(12)와, 상기 전면 플레이트(11a), 상기 후면 플레이트(11b)는 체결부재(19)에 의하여 결합될 수 있다. 상기 체결부재(19)는 상기 연질부(12)와, 상기 전면 플레이트(11a), 상기 후면 플레이트(11b)를 관통하여 상기 연질부(12)와, 상기 전면 플레이트(11a), 상기 후면 플레이트(11b)를 일체로 결합시킨다. The soft portion 12 and the front plate 11a and the rear plate 11b may be coupled by a fastening member 19. The fastening member 19 passes through the soft portion 12 and the front plate 11a and the rear plate 11b to allow the soft portion 12 and the front plate 11a, 11b are integrally joined.

상기 댐퍼(10)의 전면 또는 후면에는 상기 댐퍼(10)를 회전시키는 회전축(14)이 결합된다. A rotary shaft 14 for rotating the damper 10 is coupled to a front surface or a rear surface of the damper 10.

상기 회전축(14)의 양 단은 상기 배수관(20)의 내주면에 삽입된다. 구체적으로, 상기 회전축(14)의 상단부(13)는 상기 배수관(20)의 내주면에 일 측에 삽입되고, 상기 회전축(14)의 하단부(15)는 상기 상단부(13)가 삽입된 지점과 마주보는 지점에 삽입된다.Both ends of the rotating shaft 14 are inserted into the inner circumferential surface of the drain pipe 20. Specifically, the upper end portion 13 of the rotary shaft 14 is inserted into one side of the inner circumferential surface of the water pipe 20, and the lower end portion 15 of the rotary shaft 14 is inserted into the upper end portion 13, It is inserted at the viewing point.

상기 회전축(14)의 상단부(13)에는 전동기(30)가 결합될 수 있다. 상기 전동기(30)는 상기 회전축(14)을 회전시킬 수 있는 구동력을 제공한다. 사용자는 상기 전동기(30)를 조작하여 상기 댐퍼(10)의 개폐 여부 및 개방된 정도를 조절할 수 있다.An electric motor 30 may be coupled to the upper end portion 13 of the rotary shaft 14. The electric motor (30) provides a driving force for rotating the rotary shaft (14). The user can operate the electric motor 30 to control the opening / closing of the damper 10 and the degree of opening thereof.

상기 배수관(20)에는 상기 회전축(14)의 상단부(13)가 삽입되는 제1 삽입부(21)와, 상기 회전축(14)의 하단부(15)가 삽입되는 제2 삽입부(22)가 형성된다.A first insertion portion 21 into which the upper end portion 13 of the rotary shaft 14 is inserted and a second insertion portion 22 into which the lower end portion 15 of the rotary shaft 14 is inserted are formed in the drain pipe 20 do.

상기 제1 삽입부(21)에는 상기 상단부(13)가 관통할 수 있는 홀이 형성되며, 상기 배수관(20)의 측면에서 상기 배수관(20)의 길이방향과 수직으로 연장된다. 상기 제1 삽입부(21)에서 연장되는 부분은 대략 속이 빈 원통형으로 형성되고, 상기 상단부(13)의 둘레를 둘러싼다. The first insertion portion 21 is formed with a hole through which the upper end portion 13 can penetrate and extends perpendicularly to the longitudinal direction of the drain pipe 20 from the side of the drain pipe 20. The portion extending from the first insertion portion (21) is formed into a substantially hollow cylindrical shape and surrounds the periphery of the upper end portion (13).

상기 제2 삽입부(22)는 상기 하단부(15)가 삽입될 수 있도록 상기 배수관(20)의 측면이 함몰되어 형성된다.The second inserting portion 22 is formed by recessing the side surface of the drain pipe 20 so that the lower end portion 15 can be inserted.

상기 제1 삽입부(21)와 상기 상단부(13) 사이에는 오링(16)과, 그리스 컵(17), 베어링(18), 베어링 지지부(18a)가 구비된다. An O-ring 16, a grease cup 17, a bearing 18, and a bearing support 18a are provided between the first insertion portion 21 and the upper end portion 13.

상기 오링(16)은 상기 제1 삽입부(21)와 상기 상단부(13) 사이의 형성되는 틈으로 세정액이 유입되지 않도록 실링하는 역할을 한다. The O-ring 16 seals the cleansing liquid to prevent the cleansing liquid from entering the gap formed between the first inserting portion 21 and the upper end portion 13.

상기 오링(16)은 상기 상단부(13)의 주변을 둘러싸고, 하부 오링(16a)과 상부 오링(16b)의 두 개의 오링으로 구성될 수 있다. 상기 하부 오링(16a)은 상기 제1 삽입부(21)의 하단에 구비되고, 상기 상부 오링(16b)은 상기 하부 오링(16a)과 상방으로 기설정된 간격 이격되어 구비된다.The O-ring 16 may surround the periphery of the upper end portion 13 and may include two O-rings, a lower O-ring 16a and an upper O-ring 16b. The lower O-ring 16a is provided at a lower end of the first insert 21 and the upper O-ring 16b is spaced upward from the lower O-ring 16a by a predetermined distance.

상기 오링(16)은 고무와 같은 탄성재질로 형성될 수 있다.The O-ring 16 may be formed of an elastic material such as rubber.

상기 그리스 컵(grease cup, 17)은 상기 하부 오링(16a) 및 상부 오링(16b) 사이에는 구비될 수 있다.The grease cup 17 may be provided between the lower o-ring 16a and the upper o-ring 16b.

상기 그리스 컵(17)은 상기 상단부(13)의 곡률과 대응되는 곡률로 휘어지는 소정 두께의 판상으로 형성되고, 상기 그리스 컵(17)에는 그리스가 저장될 수 있는 홈이 함몰 형성된다. 상기 그리스 컵(17)는 상기 홈이 상기 상단부(13) 측으로 향하도록 설치되는 것이 바람직하다. The grease cup 17 is formed in a plate shape having a predetermined thickness bent at a curvature corresponding to the curvature of the upper end portion 13, and the grease cup 17 is formed with a recess for storing grease. The grease cup (17) is preferably installed such that the grooves are directed toward the upper end (13).

상기 그리스 컵(17)은 상기 하부 오링(16a) 및 상기 상부 오링(16b) 사이에 구비되어, 상기 상단부(13) 및 상기 제1 삽입부(21) 사이의 틈을 실링하는 역할을 한다.The grease cup 17 is provided between the lower O-ring 16a and the upper O-ring 16b to seal a gap between the upper end 13 and the first insert 21.

상기 하부 오링(16a) 및 상기 상부 오링(16b) 사이에 상기 그리스 컵(17)이 구비됨에 따라, 상기 상단부(13) 및 상기 제1 삽입부(21) 사이의 틈을 차폐하는 역할을 상기 오링(16)만 수행하는 것이 아니라, 상기 그리스 컵(17)도 수행하므로 상기 오링(16)의 마모가 감소되고, 상기 오링(16)의 수명이 늘어나는 효과가 있다.The grease cup 17 is provided between the lower O-ring 16a and the upper O-ring 16b to shield the gap between the upper end 13 and the first insert 21, Since the grease cup 17 is also performed, the wear of the O-ring 16 is reduced and the service life of the O-ring 16 is increased.

이는, 상기 상단부(13) 및 상기 제1 삽입부(21) 사이의 틈을 실링하는 기능이 상기 오링(16)에만 집중되지 않기 때문이다.This is because the function of sealing the gap between the upper end portion 13 and the first insertion portion 21 is not concentrated in the O-ring 16 alone.

한편, 상기 베어링(18)은 상기 상단부(13)와 상기 회전축 하우징(25) 사이에 제공되어, 상기 상단부(13) 및 상기 회전축 하우징(25) 사이의 마찰을 최소화하는 역할을 한다.  The bearing 18 is provided between the upper end portion 13 and the rotary shaft housing 25 to minimize friction between the upper end portion 13 and the rotary shaft housing 25.

일례로, 상기 베어링(18)은 볼 베어링이 사용될 수 있지만, 상기 베어링(18)의 종류는 제한되지 않는다.For example, the bearing 18 may be a ball bearing, but the type of the bearing 18 is not limited.

상기 베어링(18)의 하부에는 상기 베어링(18)을 지지하는 베어링 지지부(18a)가 구비된다. 상기 베어링 지지부(18a)는 상기 베어링(18)을 원하는 위치에 설치할 수 있고, 상기 베어링(18)이 흔들리는 것을 방지할 수 있다. A bearing support portion 18a for supporting the bearing 18 is provided at a lower portion of the bearing 18. The bearing support portion 18a can install the bearing 18 at a desired position and prevent the bearing 18 from being shaken.

상기 베어링 지지부(18a)는 상기 제1 삽입부(21)에 상기 회전축 하우징(25)은 상기 제1 삽입부(21)에 억지 끼움 방식으로 결합되어, 상기 회전축 하우징(25)은 상기 제1 삽입부(21)에 고정될 수 있다.  The bearing support portion 18a is coupled to the first insertion portion 21 by the rotation shaft housing 25 in an interference fit with the first insertion portion 21 so that the rotation shaft housing 25 is inserted into the first insertion portion 21, As shown in Fig.

또한, 상기 베어링 지지부(18a)는 상기 제1 삽입부(21)에 의해 효율적으로 지지되도록 단턱지게 형성될 수 있다.In addition, the bearing support portion 18a may be formed so as to be supported by the first insertion portion 21 so as to be efficiently supported.

상기 제1 삽입부(21)의 상부에는 상기 상단부(13)를 둘러싸는 회전축 하우징(25)이 설치된다. A rotating shaft housing 25 surrounding the upper end portion 13 is installed on the first insertion portion 21.

상기 회전축 하우징(25)은 상기 상단부(13)의 외주면과 대응되는 원통 형상으로 형성될 수 있고, 상기 회전축(14)의 상단부(13)를 수용하여 상기 회전축(14)이 흔들리지 않고 안정적으로 회전할 수 있게 할 수 있다.The rotary shaft housing 25 may be formed in a cylindrical shape corresponding to the outer circumferential surface of the upper end portion 13 and may receive the upper end portion 13 of the rotary shaft 14 to rotate the rotary shaft 14 stably I can do it.

이하에서는, 상기 댐퍼의 다른 실시예에 대하여 설명하도록 한다. 후술하는 제2 실시예 및 제3 실시예에는 상기 제1 실시예와 경질부 및 연질부의 배치 및 결합방법에 있어서 차이가 있을 뿐이고, 이를 제외한 다른 특징은 동일하므로, 상기 경질부 및 연질부의 배치 및 결합방법에 대한 설명을 제외한 다른 중복되는 설명은 제1 실시예에 대한 설명을 원용하기로 한다. Hereinafter, another embodiment of the damper will be described. In the second and third embodiments described later, there is only a difference in arrangement and bonding method between the first embodiment and the hard part and the soft part. Other features are the same except for the arrangement and arrangement of the hard part and the soft part. Except for the description of the combining method, the description of the first embodiment will be used for other redundant explanations.

도 8은 본 발명의 제2 실시예에 의한 배수관 개폐용 댐퍼의 단면도이고, 도 9는 본 발명의 제3 실시예에 의한 배수관 개폐용 댐퍼의 단면도이다.FIG. 8 is a sectional view of a damper for opening and closing a drain pipe according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a sectional view of a damper for opening and closing a drain pipe according to a third embodiment of the present invention.

도 8을 참조하면, 본 실시예에 의한 댐퍼(10)는 원판 형상의 경질부(11)의 둘레에 연질부(12a)가 결합된다. 상기 연질부(13a)가 상기 경질부(11)의 둘레에 접착제 등에 의하여 결합될 수 있다.Referring to FIG. 8, the damper 10 according to the present embodiment has the flexible portion 12a coupled to the periphery of the disk-shaped rigid portion 11. The soft portion 13a may be bonded to the rigid portion 11 by an adhesive or the like.

상기 연질부(12a)는 원형 링 형상으로 형성되어, 상기 경질부(11)의 테두리를 둘러쌀 수 있다. The soft portion 12a may be formed in a circular ring shape to surround the rim of the rigid portion 11.

상기 경질부(11)의 테두리가 상기 연질부(12a)로 둘러싸이므로, 상기 연질부(12a)가 상기 배수관(20)의 내주면에 밀착되어, 상기 댐퍼(10)가 상기 배수관(20)을 차폐하는 경우에 기밀성이 향상된다.The soft portion 12a is in close contact with the inner circumferential surface of the drain pipe 20 so that the damper 10 can shield the drain pipe 20 The airtightness is improved.

상기 댐퍼(10)와 상기 배수관(20) 사이의 틈을 없애기 위해, 상기 댐퍼(10)의 직경은 상기 배수관(20)의 내부 직경보다 약간 작게 형성되는 것이 바람직하다.It is preferable that the diameter of the damper 10 is formed to be slightly smaller than the inner diameter of the drain pipe 20 in order to eliminate a gap between the damper 10 and the drain pipe 20.

도 9를 참조하면, 상술한 제2 실시예와 같이 댐퍼(10)는 원판 형상의 경질부(11)의 둘레에 연질부(12c)가 결합된다. 다만, 본 실시예에서는 상기 연질부(12c)의 내측에 상기 경질부(11)가 삽입될 수 있는 홈이 형성되고, 상기 경질부(11)의 테두리가 상기 홈에 삽입되어 상기 연질부(12c)에 결합된다.Referring to FIG. 9, the damper 10 is coupled to the soft portion 12c around the disk-shaped rigid portion 11 like the second embodiment described above. In this embodiment, a groove for inserting the rigid portion 11 is formed inside the soft portion 12c, and a rim of the rigid portion 11 is inserted into the groove so that the soft portion 12c ).

상기 연질부(12c)는 고무 등의 탄성부재로 형성되는 것이 바람직하며, 상기 연질부(12c)는 상기 제2 실시예에 비하여 상대적으로 얇게 형성되고, 탄성에 의하여 상기 경질부(11)의 테두리에 밀착될 수 있다.
The soft portion 12c is preferably made of an elastic material such as rubber. The soft portion 12c is relatively thin compared to the second embodiment, and the elastic portion 12c, As shown in Fig.

1: 웨이퍼 세정장치 10: 댐퍼
11: 경질부 12: 연질부
14: 회전축 16: 오링
17: 그리스 컵 18: 베어링
20: 배수관 30: 전동기1: Wafer cleaning device 10: Damper
11: rigid part 12: soft part
14: rotation shaft 16: o-ring
17: grease cup 18: bearing
20: Water pipe 30: Electric motor

Claims (11)

배관을 개폐하는 댐퍼에 있어서,
배관 내부에 회전 가능하게 설치되고, 딱딱한 강체로 형성되는 경질부; 및
상기 경질부에 결합되고, 상기 댐퍼의 테두리를 형성하며, 유연한 재질로 형성되는 연질부;
를 포함하고,
상기 경질부는 웨이퍼 세정액에 부식되지 않는 플라스틱 재질로 형성되고,
상기 연질부는 원판 형상으로 형성되고, 상기 경질부는 상기 연질부의 양면에 결합되는 원형 플레이트 형상으로 형성되는 배관 댐퍼.A damper for opening and closing a pipe,
A rigid portion rotatably installed in the pipe and formed of a rigid rigid body; And
A soft portion coupled to the rigid portion and forming a rim of the damper, the soft portion being formed of a flexible material;
Lt; / RTI >
The hard portion is formed of a plastic material which is not corroded in the wafer cleaning liquid,
Wherein the soft portion is formed in a circular plate shape and the hard portion is formed in a circular plate shape coupled to both surfaces of the soft portion. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 연질부는 탄성을 갖는 고무 재질로 형성되는 배관 댐퍼.The method according to claim 1,
Wherein the soft portion is formed of a rubber material having elasticity. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 연질부의 직경이 상기 경질부의 직경보다 더 크게 형성되는 배관 댐퍼.The method according to claim 1,
And the diameter of the soft portion is formed larger than the diameter of the hard portion. 제1항에 있어서,
상기 연질부 및 상기 경질부를 관통하는 체결부재를 더 포함하는 배관 댐퍼.The method according to claim 1,
And a fastening member penetrating the soft portion and the hard portion. 제1항에 있어서,
상기 경질부는 원형으로 형성되고, 상기 연질부는 상기 경질부의 테두리를 둘러싸는 배관 댐퍼.The method according to claim 1,
Wherein the rigid portion is formed in a circular shape, and the soft portion surrounds the rim of the rigid portion. 제7항에 있어서,
상기 연질부의 내측에는 상기 경질부의 테두리가 삽입될 수 있는 홈이 형성되는 배관 댐퍼.8. The method of claim 7,
And a groove into which the rim of the hard portion can be inserted is formed inside the soft portion. 제1항에 있어서,
상기 경질부 또는 상기 연질부에 결합되는 회전축을 더 포함하고, 상기 회전축의 적어도 일부는 상기 배관의 내측에 삽입되며, 상기 배관 및 상기 회전축의 사이에는 오링이 구비되는 배관 댐퍼.The method according to claim 1,
Further comprising a rotating shaft coupled to the rigid portion or the soft portion, wherein at least a portion of the rotating shaft is inserted into the pipe, and an O-ring is provided between the pipe and the rotating shaft. 제9항에 있어서,
상기 오링은 다수개가 포함되며, 상기 다수의 오링 사이에는 그리스가 저장되는 그리스 컵이 구비되는 배관 댐퍼. 10. The method of claim 9,
Wherein a plurality of O-rings are included, and a grease cup in which grease is stored is provided between the plurality of O-rings. 배관 내부에 회전 가능하게 설치되고, 딱딱한 재질로 형성되는 경질부;
상기 경질부와 결합되고, 상기 경질부와 상기 배관 내주면 사이에 구비되는 연질부;
상기 배관에 적어도 일부가 결합되고, 상기 경질부 및 상기 연질부를 회전시키는 회전축;
상기 배관 및 상기 회전축 사이에 구비되는 다수의 오링; 및
상기 다수의 오링 사이에 구비되고, 그리스를 충진하는 그리스 컵;
을 포함하는 배관 댐퍼.
A rigid portion rotatably installed in the pipe and formed of a rigid material;
A soft portion coupled to the rigid portion and provided between the rigid portion and the inner circumferential surface of the pipe;
At least a part of which is coupled to the piping, and which rotates the rigid part and the soft part;
A plurality of o-rings provided between the pipe and the rotary shaft; And
A grease cup provided between the plurality of O-rings and filled with grease;
.
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