KR101455845B1 - Manufacturing method for a diffuse reflective surface of a ceramic absorption nozzle tip - Google Patents

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Abstract

본 발명은 세라믹 진공흡착 노즐팁의 무광택 처리방법에 관한 것으로, 세라믹 진공흡착 노즐팁의 형상을 성형 소결하는 소결 노즐팁 제조단계와, 소결 노즐팁의 치수를 조정하기 위하여 연삭가공하는 1차 치수조정 단계와, 1차 치수조정된 소결 노즐팁을 노즐 홀더와 결합하는 소결 노즐팁과 노즐 홀더 결합단계와, 노즐 홀더와 결합된 소결 노즐팁을 정치수로 연삭가공하는 2차 정치수 가공단계와, 상기 소결 노즐팁에 반사판을 조립하는 반사판 조립단계와, 반사판이 조립된 소결 노즐팁의 표면에 펄스 레이저빔을 조사하여 표면을 개질하는 무광택 처리단계와, 무광택 처리된 소결 노즐팁을 하우징과 결합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의해, 노즐팁 표면에 고속 펄스 레이저 빔의 가열 충격 압력파를 가하여 무수한 움푹파인 자국을 형성시켜 조명광을 난반사 산란시킴으로써, 환경친화적이고 파손 및 불량품이 발생하지 않는 무광택의 세라믹 진공흡착 노즐팁의 제조방법을 제공할 수 있다.The present invention relates to a matt treatment method for a ceramic vacuum adsorption nozzle tip, which comprises a sintered nozzle tip manufacturing step for shaping and sintering the shape of a ceramic vacuum adsorption nozzle tip, a primary dimension adjustment for grinding to adjust the dimensions of the sintered nozzle tip A sintering nozzle tip and a nozzle holder coupling step of joining the sintered nozzle tip adjusted to the primary dimension with the nozzle holder, a second milling step of grinding the sintered nozzle tip combined with the nozzle holder with a stationary water, A matte processing step of irradiating a pulsed laser beam on the surface of the sintered nozzle tip having the reflector assembled therein to modify the surface thereof; a step of combining the matte treated sintered nozzle tip with the housing The method comprising the steps of:
Thus, by applying a heating impact pressure wave of a high-speed pulse laser beam to the surface of the nozzle tip to form irregular depressed marks to diffuse irregularly scattered illumination light, thereby producing a matt ceramic vacuum adsorption nozzle tip that is environmentally friendly and does not generate breakage or defective products Method can be provided.

Description

무광택 세라믹 진공흡착 노즐팁의 제조방법{MANUFACTURING METHOD FOR A DIFFUSE REFLECTIVE SURFACE OF A CERAMIC ABSORPTION NOZZLE TIP}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a method for manufacturing a matte ceramic vacuum adsorption nozzle tip,

본 발명은 무광택 세라믹 진공흡착 노즐팁의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 인쇄회로 기판위에 반도체 칩 등 전자부품을 진공흡착 이동시켜 실장시키는 데에 사용하는 무광택 세라믹 진공흡착 노즐팁의 제조방법에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a matte ceramic vacuum suction nozzle tip, and more particularly, to a method of manufacturing a matte ceramic vacuum suction nozzle tip used for vacuum mounting and mounting an electronic component such as a semiconductor chip on a printed circuit board .

최근 기술개발의 혁신으로, 스마트 폰 등은 점점 정밀 소형화되어 가고 있으며, 이에 따라, 이들 인쇄회로 기판위에 전자부품을 흡착 이동하여 실장하는 진공흡착 노즐도 더욱 소형화되어 가고 있다. 이와 같은 소형의 진공흡착 노즐팁은 과도한 접촉을 하고 있기 때문에 내구성을 확보하기 위하여, 그리고 자성영향을 방지하기 위하여 세라믹으로 제조되고 있다.With recent technological innovation, smart phones and the like are getting smaller and smaller, and vacuum suction nozzles for mounting and mounting electronic components on these printed circuit boards are becoming smaller. Since such a small vacuum suction nozzle tip is in excessive contact, it is made of ceramics in order to secure durability and to prevent magnetic effect.

그리고, 해당 전자부품을 정위치에 실장시키기 위하여 진공흡착 노즐팁의 정위치 상태를 화상인식 및 화상처리하여 실장장치를 제어하고 있다. 도 1은 노즐팁의 화상처리 시스템을 개략적으로 나타낸 것으로, 도시된 바와 같이, 부품 실장기(미도시)에 노즐 홀더(10)가 장착되고, 노즐 홀더(10)의 하부에는 노즐팁(12)이 일체로 결합된다. 노즐팁(12)은 노즐홀더(10)와 중공상태로 연통되어 진공장치(미도시)에 연결되며, 부압이 걸리면 단부에 전자부품을 흡착하여 실장 위치로 이동한다. In order to mount the electronic component in the correct position, the mounting apparatus is controlled by image recognition and image processing of the positional state of the vacuum suction nozzle tip. Figure 1 schematically shows an image processing system of a nozzle tip. As shown in the figure, a nozzle holder 10 is mounted on a component body (not shown), and a nozzle tip 12 is mounted on a lower portion of the nozzle holder 10. [ Respectively. The nozzle tip 12 communicates with the nozzle holder 10 in a hollow state and is connected to a vacuum device (not shown). When a negative pressure is applied, the nozzle tip 12 sucks the electronic component at the end and moves to the mounting position.

노즐팁 단부면(12b)의 정렬상태를 인식 파악하기 위하여 노즐팁(12)의 직하 또는 도 1과 같이 측면에 카메라(32)와 광원부(34)로 구성된 화상인식부(30)가 설치된다. 측면에서 노즐팁 단부면(12b)의 정렬상태를 인식하기 위해서는 노즐팁(12)의 하부와 화상인식부(30) 앞에 대략 45°경사진 반사경(20)을 설치한다. 그리고, 선명한 화상을 얻기 위하여 카메라(32) 주위에 장착된 광원부(34)에서 노즐팁(12)을 향하여 조명을 비춘다.An image recognition unit 30 composed of a camera 32 and a light source unit 34 is installed directly below the nozzle tip 12 or on the side as shown in Fig. 1 in order to recognize the alignment state of the nozzle tip end face 12b. In order to recognize the alignment state of the nozzle tip end face 12b on the side face, a reflector 20, which is inclined at about 45 degrees in front of the image recognition unit 30, is provided below the nozzle tip 12. [ Then, in order to obtain a clear image, the light is irradiated toward the nozzle tip 12 from the light source unit 34 mounted around the camera 32.

이때, 조명을 받은 노즐팁 표면(12a)과 노즐팁 단부면(12b)은 광원부(34)의 조명 등에 의하여, 화상인식시에 악영향을 주는 광반사를 하기 때문에 이를 방지하기 위하여 노즐팁 표면(12a)과 노즐팁 단부면(12b)은 무광택(無光澤) 처리가 필요하다. 무광택 처리는 노즐팁 표면(12a)과 노즐팁 단부면(12b)을 거칠어지게 가공하는 작업으로, 거칠어진 노즐팁 표면(12a)과 노즐팁 단부면(12b)에 조사되는 광원부(34)의 조명은 난반사 산란되므로 화상인식 카메라(32)에 영향을 주지않게 된다.At this time, since the illuminated nozzle tip surface 12a and the nozzle tip end surface 12b reflect light that adversely affects upon image recognition by illumination of the light source unit 34, the nozzle tip surface 12a And the nozzle tip end face 12b need to be matte-free. The matte treatment is a process of roughening the nozzle tip surface 12a and the nozzle tip end face 12b and the roughness of the light intensity of the light source portion 34 irradiated on the rough nozzle tip surface 12a and the nozzle tip end face 12b Diffused reflection is scattered, so that the image recognition camera 32 is not influenced.

종래의 진공흡착 노즐팁 표면(12a)과 노즐팁 단부면(12b)의 무광택 처리방법은, 샌드블라스트 기계장치를 사용하여 #160 내지 #600 크기의 그래스입자나 날카로운 모서리를 갖는 인조 금강사 또는 금속소재의 입자를 압축공기와 함께 노즐팁 표면(12a)에 강하게 분사 충돌시켜 표면에 불규칙적인 미세한 요철 또는 흠집을 만든다. The matte processing method of the conventional vacuum adsorption nozzle tip surface 12a and the nozzle tip end face 12b can be performed by using a sandblasting machine to produce grained particles of # 160 to # 600 size or artificial stones or metal materials having sharp edges Particles are strongly jetted against the nozzle tip surface 12a together with the compressed air to form irregular fine irregularities or scratches on the surface.

그 결과, 노즐팁 표면(12a)에 미세한 요철 또는 흠집이 만들어져 거칠어진 노즐팁 표면(12a)과 노즐팁 단부면(12b)은 광택을 잃으면서 무광택 처리된다. As a result, the roughness of the nozzle tip surface 12a and the nozzle tip end face 12b, which are formed by fine irregularities or scratches on the nozzle tip surface 12a, are matt-treated with loss of gloss.

그러나, 종래의 샌드블라스트에 의한 무광택 처리방법은 작업시에 다량의 미세먼지가 발생하여 작업환경이 나쁘고, 노즐팁(12)이 손상되거나 불량품이 발생하는 문제가 있다.
However, in the conventional matte treatment method by sandblasting, a large amount of fine dust is generated at the time of work, and the working environment is bad, and there is a problem that the nozzle tip 12 is damaged or defective.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 환경친화적이고 파손 및불량품이 발생하지 않는 무광택의 세라믹 진공흡착 노즐팁의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a matte ceramic vacuum adsorption nozzle tip that is environmentally friendly and does not cause breakage or defective products.

상술한 본 발명의 목적은 세라믹 진공흡착 노즐팁의 형상을 성형 소결하는 소결 노즐팁 제조단계와, 소결 노즐팁의 치수를 조정하기 위하여 연삭가공하는 1차 치수조정 단계와, 1차 치수조정된 소결 노즐팁을 노즐 홀더와 결합하는 소결 노즐팁과 노즐 홀더 결합단계와, 노즐 홀더와 결합된 소결 노즐팁을 정(正)치수로 연삭가공하는 2차 정치수 가공단계와, 상기 소결 노즐팁에 반사판을 조립하는 반사판 조립단계와, 반사판이 조립된 소결 노즐팁의 표면에 펄스 레이저빔을 조사하여 표면을 개질하는 무광택 처리단계와, 무광택 처리된 소결 노즐팁을 하우징과 결합하는 단계에 의해 달성된다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a ceramic vacuum-adsorbing nozzle, which comprises: a sintering nozzle tip manufacturing step of shaping and sintering a ceramic vacuum adsorption nozzle tip; a primary dimension adjusting step of grinding to adjust the dimensions of the sintering nozzle tip; A second step of grinding the sintered nozzle tip coupled with the nozzle holder to a positive dimension, and a second step of grinding the tip of the sintered nozzle coupled with the nozzle holder to the sintered nozzle tip, A matte processing step of irradiating a pulsed laser beam to the surface of the sintered nozzle tip on which the reflector is assembled to modify the surface, and a step of bonding the matte treated sintered nozzle tip with the housing.

펄스 레이저 빔은 노즐팁 표면에 충격 압력파를 가하기 위해, 1 ~ 400 kHz의 스위칭 주파수를 갖는 것이 바람직하다.The pulsed laser beam preferably has a switching frequency of 1 to 400 kHz to apply impact pressure waves to the nozzle tip surface.

고속 레이저빔 조사장치는, 3차원 형상을 가진 노즐팁의 표면을 조사하기 위하여 3축(x, y, z)을 동시 스캔 가능해야 하며, 또한, 작업 효율을 고려하여 스캔 스피드는 8,000 ~ 12,000 mm/s인 것이 바람직하다.
In order to irradiate the surface of the nozzle tip having a three-dimensional shape, the high-speed laser beam irradiator must be able to simultaneously scan three axes (x, y, z), and the scan speed is 8,000 to 12,000 mm / s.

이에 의해, 노즐팁 표면을 고속 펄스 레이저 빔으로 3차원 스캔하면서 가열 충격 압력파를 가하여 노즐팁 표면에 무수한 움푹 파인 자국을 형성시켜 조명광을 난반사 산란시키게 함으로써, 환경친화적이고 파손 및 불량품이 발생하지 않는 무광택의 세라믹 진공흡착 노즐팁의 제조방법을 제공할 수 있다.
Thus, the surface of the nozzle tip is scanned three-dimensionally by a high-speed pulse laser beam, and heat shock pressure waves are applied to form irregular depressed marks on the surface of the nozzle tip to diffuse the irregular reflection of the illumination light, thereby making it environmentally friendly, A method of manufacturing a matte ceramic vacuum adsorption nozzle tip can be provided.

도 1은 진공흡착 노즐팁에 흡착된 전자부품의 흡착상태를 파악하는 전형적인 영상 시스템의 블록도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 세라믹 진공흡착 노즐팁의 무광택 처리방법의 공정 순서도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따라 노즐팁 표면을 스캔하는 레이저빔 조사장치의 개략도.
도 4(a)는 무광택 처리전, 도 4(b)는 본 발명의 실시예에 의한 레이저 무광택 처리 후, 도 4(c)는 샌딩 블라스트 방법으로 무광택 처리된 노즐팁 단부면을 보이고 있는 사진.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a block diagram of a typical image system for grasping the adsorption state of an electronic component adsorbed on a vacuum adsorption nozzle tip. Fig.
2 is a flow chart of the process of a matte treatment method of a ceramic vacuum adsorption nozzle tip according to an embodiment of the present invention.
3 is a schematic view of a laser beam irradiating apparatus for scanning a nozzle tip surface according to an embodiment of the present invention.
Fig. 4 (a) shows a state before the matte treatment, Fig. 4 (b) shows a state after the laser matt treatment according to the embodiment of the present invention, and Fig. 4 (c) shows a nozzle tip end surface matted with the sandblasting method.

이하, 본 발명의 세라믹 진공흡착 노즐팁의 무광택 처리방법을 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a matte treatment method of a ceramic vacuum suction nozzle tip according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 세라믹 진공흡착 노즐팁의 무광택 처리방법의 공정 순서도로서, 도시된 바와 같이, 세라믹 진공흡착 노즐팁의 형상을 성형 소결하는 소결 노즐팁 제조단계(S10)와, 소결 노즐팁의 치수를 조정하기 위하여 연삭가공하는 1차 치수조정 단계(S20)와, 1차 치수조정된 소결 노즐팁을 노즐 홀더와 결합하는 소결 노즐팁과 노즐 홀더 결합단계(S30)와, 노즐 홀더와 결합된 소결 노즐팁을 정치수로 연삭가공하는 2차 정치수 가공단계(S40)와, 노즐 홀더와 결합되어 2차 정치수 가공된 소결 노즐팁에 반사판을 조립하는 반사판 조립단계(S50)와, 반사판이 조립된 소결 노즐팁의 표면에 펄스 레이저빔을 조사하여 표면을 개질하는 무광택 처리단계(S60)와, 무광택 처리된 소결 노즐팁을 하우징과 결합하는 단계(S70)의 공정으로 이루어진다.FIG. 2 is a process flow chart of a matte treatment method of a ceramic vacuum adsorption nozzle tip according to the present invention. As shown in FIG. 2, a sintered nozzle tip manufacturing step (S10) of forming and sintering the shape of a ceramic vacuum adsorption nozzle tip, A sintering nozzle tip and a nozzle holder coupling step (S30) for coupling the sintered nozzle tip with the primary dimension adjusted nozzle holder to the nozzle holder, (S40) of grinding a sintered nozzle tip with a fixed number of water, a reflector assembling step (S50) of assembling a reflector to a sintered nozzle tip which is combined with a nozzle holder and processed with a second set of nozzles, A matte processing step (S60) of modifying the surface by irradiating a pulsed laser beam on the surface of the assembled sintered nozzle tip, and a step (S70) of combining the matte-treated sintered nozzle tip with the housing.

소결 노즐팁 제조단계(S10)에서는, 산화 지르코늄(ZrO2) 분말에 폴리에틸렌, 파라핀왁스, 스테아린산, 에틸렌비닐아세테이트, 흑색안료 등으로 이루어진 바인더를 첨가하여 혼합 분쇄한 후, 약 170℃로 가열하여 노즐팁 금형에 압입하여 사출 성형한다. 성형된 노즐팁은 490℃ 까지 가열하여 75 ~ 80 시간 탈지(脫脂)시키고, 상온으로 냉각한 다음, 전기로에서 대략 1450℃로 40시간 정도 소결시킨다.In the sintering nozzle tip manufacturing step (S10), a binder made of polyethylene, paraffin wax, stearic acid, ethylene vinyl acetate, black pigment or the like is added to the zirconium oxide (ZrO2) powder and mixed and pulverized. And then injection molding is performed. The shaped nozzle tip is heated to 490 ° C and degreased for 75 to 80 hours, cooled to room temperature, and then sintered in an electric furnace at about 1450 ° C for about 40 hours.

소결 노즐팁은 1차 치수조정 단계(S20)에서 연삭공정을 진행하여 조립전 정삭(Finish)영유를 두고 황삭(荒削)가공한다.The sintered nozzle tip is subjected to a grinding process in the primary dimension adjustment step (S20), and is subjected to roughing with finishing before assembly.

황삭 가공되어 1차 치수조정된 노즐팁은 소결 노즐팁과 노즐 홀더 결합단계(S30)에서 노즐 홀더와 결합되어 조립된다.The nozzle tip, which is roughly machined and adjusted in the primary dimension, is assembled by being joined with the nozzle holder in the sintering nozzle tip and nozzle holder coupling step (S30).

노즐 홀더와 결합 조립된 소결 노즐팁은 다시 2차 연삭가공 공정(S40)으로 정치수로 가공된다. 본체와 결합 조립되어 정치수로 가공된 노즐팁에는 반사판을 조립한다(S50).The sintered nozzle tip assembled with the nozzle holder is further processed into a static water in the second grinding step (S40). A reflector is assembled to the nozzle tip which is assembled with the main body and processed into a constant water (S50).

무광택 처리단계(S60)는 본체 및 반사판이 조립된 노즐팁의 표면을 무광택 처리하기 위한 단계로서, 노즐팁 표면에 고밀도 에너지의 펄스 레이저빔을 조사한다. 고밀도 에너지의 펄스 레이저 빔을 노즐팁 표면에 조사하면 레이저 빔은 충격 압력파를 발생하며, 고밀도의 레이저 빔의 충격 압력파를 받은 노즐팁 표면은 순간적으로 가열되고, 가열부분이 증발되면서 움푹 파인 자국을 남기게 된다. 노즐팁 표면에 형성된 무수한 움푹 파인자국은 광원부(34) 등으로부터 조사되는 조명 빛을 난반사 산란시킨다.The matte processing step S60 is a step for matte processing the surface of the nozzle tip on which the main body and the reflector are assembled, and irradiates the surface of the nozzle tip with a pulse laser beam of high density energy. When the pulsed laser beam of high density energy is irradiated on the surface of the nozzle tip, the laser beam generates an impact pressure wave, and the surface of the nozzle tip, which receives the impact pressure wave of the high density laser beam, is instantaneously heated and the heated portion evaporates, . The innumerable recessed marks formed on the surface of the nozzle tip scatter irregularly scattered illumination light emitted from the light source section 34 or the like.

도 3은 무광택 처리단계(S60)에서 노즐팁 표면(12a) 및 노즐팁 단부면(12b)을 스캔하는 레이저빔 조사장치의 개략도이다. 노즐팁 표면(12a) 및 노즐팁 단부면(12b)은, 레이저빔 조사장치(L)로부터 거리가 다른 3차원 형상을 하고 있기 때문에, 이와 같은 3차원 형상의 노즐팁 표면(12a) 및 노즐팁 단부면(12b)을 조사하기 위해서 펄스 레이저빔을 발생하는 레이저빔 조사장치는 3축(x, y, z)을 동시 스캔 가능해야 하며, 또한, 작업 효율을 고려하여 스위칭 주파수는 1 ~ 400 kHz, 스캔 스피드는 8,000 ~ 12,000 mm/s인 것이 바람직하다.3 is a schematic view of a laser beam irradiating apparatus for scanning the nozzle tip surface 12a and the nozzle tip end face 12b in the matte processing step S60. Since the nozzle tip surface 12a and the nozzle tip end face 12b have a three-dimensional shape having a different distance from the laser beam irradiating device L, the nozzle tip surface 12a and the nozzle tips 12a, The laser beam irradiating device for generating the pulsed laser beam for irradiating the end face 12b must be able to simultaneously scan three axes (x, y, z), and the switching frequency should be 1 to 400 kHz , And the scan speed is preferably 8,000 to 12,000 mm / s.

도 4(a)는 무광택 처리전의 노즐팁 단부면(12b)을 보인 사진이다. 사진에서 중앙의 상대적으로 어둡게 보이는 부분은 진공장치(미도시)의 부압에 연통되는 부분이다. 도 4(b)는 노즐팁 단부면(12b)을 본 발명의 실시예에 의한 레이저빔으로 무광택 처리한 사진이다. 도 4(c)는 샌딩 블라스트 방법으로 무광택 처리된 노즐팁 단부면을 보이고 있다. 4 (a) is a photograph showing the nozzle tip end face 12b before the matte treatment. In the photograph, the relatively dark portion at the center is the portion communicating with the negative pressure of the vacuum device (not shown). 4 (b) is a photograph of the nozzle tip end face 12b matte treated with a laser beam according to an embodiment of the present invention. 4 (c) shows a nozzle tip end surface which is matte-treated by a sandblasting method.

사진으로 비교해보면, 본 발명의 실시예에 따른 무광택 처리된 노즐팁 단부면(12b)과 종래의 샌딩 블라스트 방법으로 무광택 처리된 노즐팁 단부면(12b)은 대략 동일한 표면을 가지고 있다,
In comparison to the photographs, the matte treated nozzle tip end face 12b according to an embodiment of the present invention and the nozzle tip end face 12b matte treated with the conventional sand blasting method have approximately the same surface,

본 명세서에서 설명되는 실시예와 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 예시적으로 설명하는 것에 불과하다. 따라서, 본 명세서에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이므로, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아님은 자명하다. 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형 예와 구체적인 실시 예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
The embodiments and the accompanying drawings described in the present specification are merely illustrative of some of the technical ideas included in the present invention. Accordingly, the embodiments disclosed herein are for the purpose of describing rather than limiting the technical spirit of the present invention, and it is apparent that the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. It will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

10 : 노즐홀더 12 : 노즐팁(12)
12a : 노즐팁 표면 12b : 노즐팁 단부면
20 : 반사경
30 : 화상인식부 32 : 촬상 카메라
34 : 광원부
40 : 화상 처리부
L : 레이저빔 조사장치10: Nozzle holder 12: Nozzle tip (12)
12a: nozzle tip surface 12b: nozzle tip end face
20: reflector
30: image recognition unit 32:
34: Light source
40:
L: Laser beam irradiation device

Claims (3)

인쇄회로기판 상에서 전자부품을 흡착 운반하여 실장시키는 무광택 세라믹 진공흡착 노즐팁의 제조방법에 있어서,
상기 세라믹 진공흡착 노즐팁의 형상을 성형 소결하는 소결 노즐팁 제조단계와,
상기 소결 노즐팁의 치수를 조정하기 위하여 연삭가공하는 1차 치수조정 단계와,
상기 1차 치수조정된 소결 노즐팁을 노즐 홀더와 결합하는 노즐 홀더 결합단계와,
상기 노즐 홀더와 결합된 소결 노즐팁을 정치수로 연삭가공하는 2차 정치수 가공단계와,
상기 2차 정치수 가공된 소결 노즐팁에 반사판을 조립하는 반사판 조립단계와,
상기 반사판이 조립된 소결 노즐팁의 표면에 펄스 레이저빔을 조사하여 표면을 개질하는 무광택 처리단계와,
상기 무광택 처리된 소결 노즐팁을 하우징과 결합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 무광택 세라믹 진공흡착 노즐팁의 제조방법.
A method of manufacturing a matte ceramic vacuum adsorption nozzle tip for suctioning and transporting electronic components on a printed circuit board,
A sintered nozzle tip manufacturing step for shaping and sintering the shape of the ceramic vacuum adsorption nozzle tip,
A primary dimension adjustment step of grinding the sintered nozzle tip to adjust the dimension of the sintered nozzle tip,
A nozzle holder coupling step of coupling the sintered nozzle tip with the primary dimension adjusted to a nozzle holder,
A second step of grounding the sintered nozzle tip combined with the nozzle holder with a fixed water;
A reflector assembling step of assembling a reflector to the sintered nozzle tip processed by the second step,
A matte processing step of irradiating a pulsed laser beam on the surface of the sintered nozzle tip in which the reflector is assembled to modify the surface,
And combining the matte treated sintered nozzle tip with a housing. ≪ RTI ID = 0.0 > 11. < / RTI & gt ;
청구항 1에 있어서,
상기 무광택 처리단계에서 사용하는 펄스 레이저빔 조사장치는 1 ~ 400 kHz의 스위칭 주파수를 갖는 것을 특징으로 하는 무광택 세라믹 진공흡착 노즐팁의 제조방법.
The method according to claim 1,
Wherein the pulsed laser beam irradiating device used in the matte processing step has a switching frequency of 1 to 400 kHz .
청구항 2에 있어서,
상기 무광택 처리단계의 펄스 레이저빔 조사장치는 3 축(x, y, z)을 동시 스캔 가능하며, 스캔 스피드는 8,000 ~ 12,000 mm/s인 것을 특징으로 하는 무광택 세라믹 진공흡착 노즐팁의 제조방법. The method of claim 2,
Wherein the pulsed laser beam irradiating apparatus of the matte processing step is capable of simultaneously scanning three axes (x, y, z) and a scan speed of 8,000 to 12,000 mm / s .
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KR200299223Y1 (en) 1999-06-16 2003-01-03 남궁명찬 Ceramic nozzle tip using vacuum absorption
KR20050015923A (en) * 2003-08-16 2005-02-21 주식회사 맥테크 Nozzle-Tip for Semiconductor Chip and Its Production

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