KR101453894B1 - 가스 분사 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 가스 분사 유닛은 적어도 일 방향으로 연장 형성되며, 공정 가스를 분사하는 복수의 분사홀을 가지는 인젝터, 인젝터 하부의 외측부로부터 돌출되도록 형성된 체결 돌기, 인젝터의 하부가 삽입되는 내부 공간을 가지는 통 형상이며, 측부에 상기 체결 돌기가 삽입되는 체결홈을 구비하여, 일단이 상기 인젝터와 체결되는 아답터 및 체결홈에 삽입된 체결 돌기의 상측에 위치하도록 상기 아답터의 상부에 체결되어, 상기 체결 돌기가 삽입된 체결홈을 폐쇄하는 고정 부재를 포함한다.
따라서, 본 발명의 실시형태에 의하면, 금속으로 이루어진 아답터를 이용하여 상하 방향으로 연장 형성된 인젝터와, 폭 방향(또는 좌우 방향)으로 연장 형성되며 상기 인젝터에 비해 길이가 짧은 가스 도입부 사이를 체결하여, 상호 연결한다. 다시 말하면, 종래와 같이 인젝터를 바로 가스 도입부에 체결하지 않고, 인젝터, 아답터 및 가스 도입부로 분리 구성하여, 상기 아답터에 의해 인젝터를 가스 도입부와 연결시킨다. 이러한 체결 구조는 비교적 간단한 구성으로 종래와 같이 알파벳 'L'자 형이며, 쿼츠로 이루어진 인젝터를 직접 가스 도입부에 연결하는 체결 구조에 비해, 견고하게 체결 가능하게 하며, 이에 종래와 같이 인젝터의 노즐 하측 부분이 파손되는 문제를 방지할 수 있다.

Description

가스 분사 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치{Gas distribution unit and substrate processing apparatus having the same}

본 발명은 가스 분사 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것으로, 파손이 방지되는 가스 분사 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.

일반적인 종형 퍼니스(vertical furnace)는 내부 공간을 가지며 하측이 개방된 통 형상의 튜브, 튜브 내에 배치되며, 상하 방향으로 이격 설치되어 기판이 각기 안착되는 복수의 안착 부재를 가지는 보트, 보트의 연장 방향과 대응하는 방향으로 연장 형성되어 공정 원료를 분사하는 가스 분사 유닛을 포함한다.

가스 분사 유닛은 튜브 내에서 보트와 대응하도록 상하 방향으로 연장되며, 보트를 향해 가스를 분사하는 복수의 분사홀을 가지는 노즐 및 폭 방향으로 연장 형성되어 일단이 노즐의 하부에 연결되고 타단이 튜브 외측으로 돌출된 형상의 배관(이하, 인젝터 배관)을 구비하는 인젝터, 튜브의 외측에 설치되어 일단이 인젝터 배관과 연결되고, 타단이 공정 가스 저장부와 연결되는 가스 도입부를 포함한다. 여기서 노즐과 인젝터 배관의 연결된 형상은 한국공개특허 제10-2010-0073568호에 개시된 바와 같이 대략 한글 자음의 'ㄴ'자 또는 영문 알파벳의 "L'자 형상이며, 쿼츠(quartz)로 이루어지고, 인젝터 배관이 튜브의 외측으로 연장되어 가스 도입부와 상호 체결된다.

한편, 일반적인 인젝터의 경우, 인젝터 배관의 외경이 노즐의 외경에 비해 작도록 제작된다. 보다 상세하게 설명하면, 인젝터 배관과 연결되는 노즐의 하부 영역은 하측으로 갈수록 외경이 작아지도록 경사를 가지는 형상으로 제조되며, 노즐의 하단부에 상기 인젝터 배관이 연결되는데, 인젝터 배관은 노즐의 하단부와 동일하거나 그보다 작은 외경을 가진다. 또한, 한국공개특허 제10-2010-0073568호에서와 같이 노즐(한국공개특허 제10-2010-0073568호의 인젝터)은 보트와 대응하도록 길게 연장되나, 인젝터 배관(한국공개특허 제10-2010-0073568호의 가스 도입구)은 노즐에 비해 그 길이가 많이 짧다. 그런데, 하측에 위치하는 인젝터 배관 및 가스 도입부가 노즐을 지지하기 때문에, 인젝터의 상부 즉, 노즐에 무게 중심이 치중되며, 이는 인젝터를 파손시키는 힘으로 작용한다. 특히, 상하 방향으로 연장된 노즐의 하측 부분에서 파손이 빈번히 발생 된다. 따라서 가스 분사 유닛을 교체하거나, 수리하는 시간 및 비용이 상승하는 문제를 초래한다.

한국공개특허 제10-2010-0073568호

본 발명은 파손을 방지하는 가스 분사 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공한다.

또한, 본 발명은 인젝터의 유동을 방지할 수 있는 가스 분사 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공한다.

본 발명에 따른 가스 분사 유닛은 적어도 일 방향으로 연장 형성되며, 공정 가스를 분사하는 복수의 분사홀을 가지는 인젝터; 상기 인젝터 하부의 외측부로부터 돌출되도록 형성된 체결 돌기; 상기 인젝터의 하부가 삽입되는 내부 공간을 가지는 통 형상이며, 측부에 상기 체결 돌기가 삽입되는 체결홈을 구비하여, 일단이 상기 인젝터와 체결되는 아답터; 및 상기 체결홈에 삽입된 체결 돌기의 상측에 위치하도록 상기 아답터의 상부에 체결되어, 상기 체결 돌기가 삽입된 체결홈을 폐쇄하는 고정 부재;를 포함한다.

상기 인젝터는, 상하 방향으로 연장 형성되며, 복수의 분사홀을 가지는 노즐; 및 상기 노즐의 하부에 연결되며, 상기 아답터의 내부로 삽입 설치되는 인젝터 배관;을 포함하고, 상기 체결 돌기는 상기 인젝터 배관의 외측부에 설치되며, 상기 복수의 분사홀은 상기 체결 돌기의 상측에 대응 위치하여, 상하 방향으로 이격 형성된다.

상기 아답터는, 상기 인젝터 배관이 삽입될 수 있는 내부 공간을 가지는 통 형상이며, 상기 체결홈이 마련된 체결 몸체; 및 상기 체결 몸체 내부를 상하 방향으로 관통하도록 설치되어, 일단이 상기 인젝터 배관 내부로 삽입되고, 타단이 체결 몸체 외부로 돌출된 체결 배관;을 구비하는 체결 부재와, 상기 체결 배관의 타단과 연결된 연결 배관;을 포함한다.

상기 체결홈은 상기 체결 돌기와 대응하는 형상이며, 상기 체결 몸체의 상단부로부터 하측으로 연장 형성되며, 상측이 개구된다.

상기 체결홈의 상하 방향의 길이는 상기 체결 돌기 및 고정 부재 각각의 상하 방향의 길이에 비해 길다.

상기 체결 몸체 상부의 외측부에 상기 고정 부재와 체결 가능한 제 1 체결부가 마련되며 상기 제 1 체결부는 상기 체결홈 내로 삽입된 체결 돌기의 상측에 위치하는 가스 분사 유닛.

상기 고정 부재는, 상기 체결 몸체의 상부가 삽입될 수 있도록 중심부가 개구된 중공형의 고정 몸체; 상기 고정 몸체의 측부의 일부를 상하 방향으로 관통하도록 마련되며, 상기 체결 돌기가 관통하는 관통홀; 및 상기 고정 몸체의 내측면에 상기 아답터 몸체에 마련된 제 1 체결부와 체결 가능한 제 2 체결부가 마련된다.

상기 제 1 및 제 2 체결부는 나사산 및 나사홈을 포함한다.

본 발명에 따른 가스 분사 유닛의 조립 방법은 중심부가 개구된 중공형이며, 측부의 일부를 관통하도록 관통홀이 마련된 고정 부재의 내부로 측부에 체결홈이 마련된 아답터의 상부를 삽입시키는 과정; 상기 아답터의 상부가 상기 고정 부재 내로 삽입되어 체결된 상태에서, 상기 관통홀과 상기 아답터의 체결홈이 상호 연통되도록 상기 관통홀과 체결홈의 위치를 조절하는 과정; 적어도 일 방향으로 연장 형성되며, 외측부에 체결 돌기가 돌출되도록 설치된 인젝터를 상기 아답터 내부로 삽입시켜, 상기 체결 돌기를 체결홈 내부로 삽입시키는 과정; 및 상기 아답터 상에서 상기 고정 부재를 회전시켜, 상기 관통홀이 상기 체결홈의 외측에 위치하도록 하는 과정;을 포함한다.

상기 아답터의 체결홈이 상호 연통되도록 상기 관통홀과 체결홈의 위치를 조절하는 과정에 있어서, 상기 고정 부재를 상기 아답터 상에서 회전시켜, 상기 관통홀이 상기 체결홈에 대응 위치하도록 한다.

상기 인젝터를 상기 아답터 내부로 삽입시키는 데 있어서, 상기 체결 돌기를 상기 고정 부재의 관통홀을 통과시켜, 상기 체결홈 내로 삽입시킨다.

상기 인젝터를 상기 아답터 내부로 삽입시키는 데 있어서, 상기 아답터 내부를 상하 방향으로 관통하도록 설치된 아답터 배관의 일단이 상기 인젝터의 하부로 삽입된다.

본 발명에 따른 기판 처리 장치는 내부 공간을 형성하는 용기; 상기 용기 내로 이동 가능하며, 복수의 기판을 적재하는 지지대; 상기 용기 내에 설치되는 지지대를 향해 공정 가스를 분사하는 가스 분사 유닛;을 포함하고,

상기 가스 분사 유닛은, 상기 용기 내에 배치되며 공정 가스를 분사하는 복수의 분사홀을 가지는 인젝터; 상기 용기의 외측에 설치되어, 일단이 상기 인젝터에 연결된 가스 도입부; 상기 용기 내부에서 상기 인젝터가 삽입 체결되는 아답터; 및 상기 인젝터와 상기 아답터의 적어도 일부를 둘러싸도록 설치되어, 상기 인젝터와 아답터를 고정시키는 고정 부재;를 포함한다.

상기 용기는 상하 방향으로 연장 형성되며, 내부 공간을 가지는 튜브이고, 상기 지지대는 상하 방향으로 연장 형성되어, 상기 튜브 내에 설치되며, 복수의 기판을 상하 방향으로 적재하는 보트이며, 상기 인젝터는 상기 튜브 내에서 상기 보트와 대응하는 방향으로 연장 형성되어, 상기 보트를 향해 공정 가스를 분사한다.

상기 인젝터 하부의 외측부로 돌출되도록 체결 돌기가 설치되고, 상기 아답터는 상기 인젝터의 하부가 삽입되는 내부 공간을 가지는 통 형상이며, 측부에 상기 체결 돌기가 삽입되는 체결홈을 구비하여 상기 인젝터와 체결되고, 상기 고정 부재는 상기 체결홈에 삽입된 체결 돌기의 상측에 위치하도록 상기 아답터의 상부에 체결되어, 상기 체결 돌기가 삽입된 체결홈을 폐쇄한다.

상기 인젝터는, 상기 보트와 대응하는 방향으로 연장 형성되어 상기 튜브 내에 설치되며, 복수의 분사홀을 가지는 노즐; 및 상기 튜브 내에서 상기 노즐의 하부에 연결되며, 상기 아답터의 내부로 삽입 설치되는 인젝터 배관;을 포함하고, 상기 체결 돌기는 상기 인젝터 배관의 외측부에 설치되며, 상기 복수의 분사홀은 상기 체결 돌기의 상측에 대응 위치하여, 상하 방향으로 이격 형성된다.

상기 아답터는, 상기 인젝터 배관이 삽입될 수 있는 내부 공간을 가지는 통 형상이며, 상기 체결홈이 마련된 체결 몸체; 상기 체결 몸체 상부의 외측부에 상기 고정 부재와 체결 가능한 제 1 체결부; 및 상기 체결 몸체 내부를 상하 방향으로 관통하도록 설치되어, 일단이 상기 인젝터 배관 내부로 삽입되고, 타단이 체결 몸체 외부로 돌출된 체결 배관;을 구비하는 체결 부재와, 일단이 상기 체결 배관의 타단과 연결되고, 타단이 상기 가스 도입부와 연결된 연결 배관;을 포함하며, 상기 제 1 체결부는 상기 체결홈 내로 삽입된 체결 돌기의 상측에 위치한다.

상기 체결홈은 상기 체결 돌기와 대응하는 형상이며, 상기 아답터 몸체의 상단부로부터 상하 방향으로 연장 형성되며, 상측이 개구되어 있고, 상기 체결홈의 상하 방향의 길이는 상기 체결 돌기 및 고정 부재 각각의 상하 방향의 길이에 비해 길게 형성된다.

상기 고정 부재는,

상기 체결 몸체의 상부가 삽입될 수 있도록 중심부가 개구된 중공형의 고정 몸체;

상기 고정 몸체의 측부의 일부를 상하 방향으로 관통하도록 마련되며, 상기 체결 돌기가 관통하는 관통홀; 및

상기 고정 몸체의 내측면에 상기 체결 몸체에 마련된 제 1 체결부와 체결 가능한 제 2 체결부가 마련된 기판 처리 장치.

본 발명의 실시형태에 의하면, 금속으로 이루어진 아답터를 마련하여,상하 방향으로 연장 형성된 인젝터와, 폭 방향(또는 좌우 방향)으로 연장 형성되며 상기 인젝터에 비해 길이가 짧은 가스 도입부 사이를 체결하여, 상호 연결한다. 다시 말하면, 종래와 같이 인젝터를 바로 가스 도입부에 체결하지 않고, 인젝터, 아답터 및 가스 도입부로 분리 구성하여, 상기 아답터에 의해 인젝터를 가스 도입부와 연결시킨다. 이러한 체결 구조는 비교적 간단한 구성으로 종래와 같이 알파벳 'L'자 형이며, 쿼츠로 이루어진 인젝터를 직접 가스 도입부에 연결하는 체결 구조에 비해, 견고하게 체결 가능하게 하며, 이에 종래와 같이 인젝터의 노즐 하측 부분이 파손되는 문제를 방지할 수 있다.

또한, 본 발명에서는 인젝터에 마련된 체결 돌기를 아답터에 마련된 홈에 삽입시킨 후, 체결홈의 상부를 고정 부재를 이용하여 폐쇄함으로써, 인젝터의 유동을 방지할 수 있다. 즉, 가스 분사 유닛 내부로 가스 유입 초기에 압력 변화가 발생하고, 이러한 압력 변화가 노즐을 상측으로 미는 힘으로 작용하더라도, 인젝터에 마련된 체결 돌기가 체결홈 내부에 수용된 상태에서, 고정 부재에 의해 상측으로의 이동이 차단된다. 따라서, 가스 유입 초기에 압력 변화로 인한 노즐의 유동을 방지할 수 있어, 노즐을 재조립할 필요가 없다.

그리고, 체결 돌기의 상측에 대응하도록 복수의 분사홀을 마련함으로써, 상기 체결 돌기를 체결홈 내부에 삽입시키는 체결로 인해, 복수의 분사홀이 보트를 향하도록 정확하게 정렬시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치를 도시한 도면
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 가스 분사 유닛의 요부를 도시한 분해 사시도
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 가스 분사 유닛의 일부를 확대 도시한 단면도
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 가스 분사 유닛의 조립하는 방법을 설명하기 위한 도면
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 인젝터, 체결 돌기, 아답터 및 고정 부재 간의 상호 체결된 모습을 도시한 도면

이하, 본 발명의 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치를 도시한 도면이다. 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 가스 분사 유닛의 요부를 도시한 분해 사시도이다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 가스 분사 유닛의 일부를 확대 도시한 단면도이다. 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 가스 분사 유닛의 조립하는 방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 인젝터, 체결 돌기, 아답터 및 고정 부재 간의 상호 체결된 모습을 도시한 도면이다.

본 발명에 따른 기판 처리 장치는 내부 공간을 형성하는 용기, 용기 내로 이동 가능하며, 복수의 기판을 적재하는 지지대, 용기 내에 설치되는 지지대를 향해 공정 가스를 분사하는 가스 분사 유닛을 포함한다.

실시예에 따른 기판 처리 장치는 종형 퍼니스(vertical furnace)로서, 상술한 용기가 튜브, 지지대가 보트에 대응할 수 있다. 보다 상세하게, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 처리 장치는 내부 공간을 가지며 하측이 개방된 통 형상의 튜브(100), 튜브(100) 내에 배치되며, 상하 방향으로 이격 설치되어 기판이 각기 안착되는 복수의 안착 부재를 가지는 보트(200), 튜브(100)와 연통되는 내부 공간을 가지는 통 형상이며, 튜브(100)의 하부에 연결되어 상부에 튜브(100)가 안착되는 프레임(300), 보트(200)에 적재된 기판을 향해 공정 가스를 분사하는 가스 분사 유닛(4000), 보트(200)의 하부와 연결되어 상기 보트(200)를 회전시키는 회전 부재(500), 프레임(300)의 하부와 체결 및 분리가 가능하여 상기 프레임(300) 또는 튜브(100)의 하측 개구를 개방시키거나, 폐쇄하는 베이스(600)를 포함한다. 또한, 도시되지는 않았지만, 회전 부재(500)에 회전 동력을 제공하는 회전 동력부, 베이스(600) 및 보트(200)와 연결되어 상기 베이스(600) 및 보트(200)를 승하강시키는 엘리베이터, 가스 분사 유닛(4000)으로 공정 가스를 제공하는 공정 가스 저장부 및 튜브(100)의 외측 주변에 설치된 히터를 포함한다.

튜브(100)는 내부 공간을 가지며, 하측이 개구된 원통 형상으로 제작되며, 프레임(300)의 상부에 위치하여 상기 프레임(300)과 탈착 가능하도록 설치된다. 실시예에 따른 튜브(100)는 상하 방향으로 연장되며 하측이 개구된 돔 형태의 원통형으로 제작되나, 이에 한정되지 않고, 그 내부에 보트(200) 및 가스 분사 유닛(4000)이 설치될 수 있는 내부 공간을 가지는 다양한 형상으로 제작될 수 있다. 또한, 실시예에 따른 튜브(100)는 쿼츠(quartz)를 이용하여 제작되나, 상기 쿼츠(quartz) 이외에 다양한 재료로 제작될 수 있음은 물론이다.

회전 부재(500)는 보트(200)의 하부와 연결되어 상기 보트(200)를 지지하며, 회전 동력부(미도시)의 동작에 의해 회전함으로써, 보트(200)를 회전시킨다. 실시예에 따른 회전 부재(500)는 플레이트 형상의 턴 테이블(turn table)이나, 이에 한정되지 않고 보트(200)를 지지하여 회전시킬 수 있는 어떠한 수단이 사용되어도 무방하다.

베이스(600)는 튜브(100) 및 프레임(300)의 하측에 배치되어, 상기 튜브(100) 및 프레임(300)을 지지하고, 각각의 하측 개구를 폐쇄하는 역할을 한다. 이를 위해 베이스(600)는 튜브(100) 및 프레임(300)에 비해 큰 폭으로 제작되며, 그 상부에 튜브(100), 프레임(300) 및 회전 부재(500)가 배치된다. 이때, 튜브(100) 및 프레임(300)은 베이스(600)와 탈착 가능하도록 설치되며, 회전 부재(500)는 베이스(600)와 결합 고정되는 것이 바람직하다. 이에, 엘리베이터(미도시)의 동작에 의해 회전 부재(500) 및 보트(200)가 함께 승하강 한다.

실시예에 따른 가스 분사 유닛(4000)은 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 공정 가스가 흐르는 내부 공간을 가지며, 튜브(100) 내에 설치된 보트(200)를 향해 공정 가스를 분사하는 인젝터(4100), 인젝터(4100) 하부의 외측부에 장착된 체결 돌기(4200), 인젝터(4100)의 하부가 삽입되는 내부 공간을 가지는 통 형상이며, 측부에 체결 돌기(4200)가 삽입되는 홈(이하, 체결홈(4310))을 구비하여, 일단이 인젝터(4100)와 체결되는 아답터(4300), 체결홈(4310)에 삽입된 체결 돌기(4200)의 상측에 위치하도록 아답터(4300)의 상부에 체결되어, 체결 돌기(4200)가 삽입된 체결홈(4310)을 폐쇄하는 고정 부재(4400) 및 일단이 프레임(300)의 외측부에 연결되고, 타단이 공정 가스가 저장된 가스 저장부(미도시)에 연결되어 아답터(4300) 내로 가스를 공급하는 가스 도입부(4500)를 포함한다.

인젝터(4100)는 보트(200)의 연장 방향과 대응하는 방향 즉, 길이 방향 또는 상하 방향으로 연장 형성되며, 공정 가스가 흐르는 내부 공간을 가지고, 복수의 분사홀(4111)을 가지는 노즐(4110) 및 노즐(4110)의 내부와 연통되는 내부 공간을 가지며, 일단이 노즐(4110)의 하부에 연결되고 타단이 후술되는 아답터(4300)의 체결 부재(4310)의 내부로 삽입 설치되는 인젝터 배관(4120)을 포함한다. 실시예에 따른 노즐(4110) 및 인젝터 배관(4120)은 예컨대, 쿼츠(quartz)로 이루어지나, 이에 한정되지 않고 다양한 재료로 변경 가능하다.

노즐(4110)은 내부 공간을 가지며 하측이 개방된 통 형상이며, 인젝터 배관(4120)과 연결되는 노즐(4110)의 적어도 하부 영역은 하측으로 갈수록 외경이 점차 작아지도록 경사부(4112)를 가지는 형상이다. 이러한 노즐(4110)에는 복수의 분사홀(4111)이 마련되는데, 복수의 분사홀(4111)은 체결 돌기(4200)의 상측에 대응 위치하여, 상하 방향으로 상호 이격 된다. 보다 상세하게는 체결 돌기(4200)의 폭 방향 중심을 지나는 수직 선을 노즐(4110)의 길이 방향으로 연장하고, 이를 연장선이라 할 때, 상기 동일한 연장선 상에서 체결 돌기(4200)의 상측에 복수의 분사홀(4111)이 위치하는데, 복수의 분사홀(4111) 또한 상기 연장선을 따라 나열된다. 이는 체결 돌기(4200)를 체결 부재(4310)에 체결 시에, 별도의 정렬 과정 없이, 복수의 분사홀(4111)이 보트(200)를 향하도록 정확하게 체결되도록 하기 위함이다. 인젝터 배관(4120)은 내부 공간을 가지고 상측 및 하측이 개방된 통 형상이며, 노즐(4110) 하단부의 외경, 다시 말하면 경사부(4112) 하단부의 외경과 동일하거나 작은 외경을 가진다. 한편, 노즐(4110)은 보트(200)와 대응하도록 연장 형성되기 때문에 길이가 긴 반면, 인젝터 배관(4120)은 노즐(4110)에 비해 길이가 짧다.

체결 돌기(4200)는 인젝터 배관(4120)의 외측으로 돌출된 형상으로, 실시예에 따른 체결 돌기(4200)는 그 단면의 형상이 타원형이며, 폭 방향에 비해 길이(또는 높이) 방향이 긴 형상이다. 하지만, 체결 돌기(4200)의 형상은 이에 한정되지 않고 인젝터 배관(4120)의 외측부로부터 돌출된 다양한 형상 예컨대, 원형 또는 다각형 형상의 돌기 형상으로 변경 가능하다.

아답터(4300)는 인젝터 배관(4120)이 삽입될 수 있는 내부 공간을 가지며, 상하 방향으로 연장 형성되며, 외측부에 체결홈(4313)이 마련된 체결 부재(4310), 체결 부재(4310)의 하부에 연결된 연결 블록(4320), 폭 방향으로 연장 형성되어 일단이 연결 블록(4320)에 연결되고 타단이 가스 도입부(4500)에 연결된 연결 배관(4330)을 포함한다.

체결 부재(4310)는 체결 돌기(4200)가 마련된 인젝터(4100)의 하부가 삽입될 수 있는 내부 공간을 가지는 통 형상의 체결 몸체(4311), 체결 몸체(4311)를 상하 방향으로 관통하도록 설치되어 일단이 인젝터 배관(4120) 내부로 삽입되도록 설치되고, 타단이 연결 블록(4320)과 연결되는 체결 배관(4312), 체결 몸체(4311) 상부의 외측부에 마련되며, 체결 돌기(4200)가 삽입되는 홈(이하, 체결홈(4420)) 및 체결 몸체(4311) 상부의 외측부에 마련되어 고정 부재(4400)와 체결되는 체결부(이하, 제 1 체결부(4430))를 포함한다. 실시예에 따른 제 1 체결부(4314)는 예컨대, 나사산 및 나사홈을 포함할 수 있다.

체결 몸체(4311)는 상하 방향으로 연장 형성되어, 노즐(4110)의 외경에 비해 큰 내경을 가지는 원통형의 형상이며, 적어도 하부는 하측으로 갈수록 외경이 좁아지는 경사면을 갖도록 형성될 수 있다. 실시예에 따른 체결 몸체(4311)는 고온에서 내식성이 강한 재료인 금속으로 제조된다. 체결 배관(4312)은 이러한 체결 몸체(4311)의 내측벽과 이격되도록 설치되며, 체결 몸체(4311)의 내측벽과 체결 배관(4312) 사이의 이격 공간은 인젝터(4100)의 하부 즉, 인젝터 배관(4120)이 삽입되는 공간이다. 체결 배관(4312)의 외경은 인젝터 배관(4120)의 내경과 동일하거나 작도록 형성되어, 인젝터 배관(4120)이 체결 몸체(4311)와 체결 배관(4312) 사이의 이격 공간으로 삽입될 때, 상기 체결 배관(4312)은 인젝터 배관(4120) 내부로 삽입 설치된다.

또한, 체결 몸체(4311) 상부의 외측부에는 체결 몸체(4311)의 외주면을 따라 나사산 및 나사홈을 포함하는 제 1 체결부(4314)가 마련되는데, 체결홈(4313)이 체결 몸체(4311)의 상단부로부터 길이 방향으로 연장 형성되기 때문에, 제 1 체결부(4314)가 연장된 형상은 체결홈(4313)을 중심으로 이격된 개곡선의 형태이다.

체결홈(4313)은 인젝터(4100)의 하부, 보다 상세하게는 인젝터 배관(4120)의 외측부에 설치된 체결 돌기(4200)가 삽입되어 수용되는 공간으로서, 체결 돌기(4200)와 대응되는 형상이면서, 체결 몸체(4311)의 상단부로부터 길이 방향으로 연장 형성되며, 체결 돌기(4200)가 인입될 수 있도록 상측이 개방되어 있다. 이때 체결홈(4313)은 체결 몸체(4311)의 상단부로부터 길이 방향으로 연장되되, 체결홈(4313)의 하단부가 제 1 체결부(4314)의 하측에 위치하면서, 제 1 체결부(4314) 하측의 체결홈(4313)의 영역에 체결 돌기(4200)가 수용될 수 있는 길이로 연장된다. 보다 상세히 설명하면, 체결홈(4313)의 전체 상하 방향 길이(또는 높이)는 체결 돌기(4200)의 상하 방향 길이에 비해 길고, 체결홈(4313)의 영역 중, 제 1 체결부(4314)의 하측에 위치하는 영역의 상하 방향 길이가 체결 돌기(4200)에 비해 길거나 같도록 형성된다. 이에, 인젝터 배관(4120)이 체결 몸체(4311) 내로 삽입되어 체결 돌기(4200)가 체결홈(4313)에 삽입되었을 때, 상기 체결 돌기(4200)가 제 1 체결부(4314)의 하측에 위치하는 체결홈(4313) 영역에 수용되고, 체결 돌기(4200)의 상측에 위치하는 제 1 체결부(4314)에 고정 부재(4400)가 체결된다. 이러한 체결 구조에 의해 체결 돌기(4200)가 체결홈(4313) 상측으로 이동(또는 유동)하는 것을 방지할 수 있으며, 상기 체결홈(4313)으로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.

연결 블록(4320)은 가스가 흐르는 내부 공간을 가지는 블록 형상으로서, 연결 블록(4320)의 일단에 체결 배관(4312)의 타단이 삽입되고, 연결 블록(4320)의 타단에 연결 배관(4330)의 일단이 삽입되어 상호 체결된다.

연결 배관(4330)은 폭 방향(또는 좌우 방향)으로 연장 형성되어, 타단이 프레임(300)의 측부를 관통하여 돌출되도록 설치된다.

가스 도입부(4500)는 프레임(300)의 외측에 위치하며, 일단이 상기 프레임(300)의 외측부와 접합되도록 설치되는 제 1 도입관(4510a), 일단이 제 1 도입관(4510a)의 타측 내부로 삽입되도록 설치되어 제 1 도입관(4510a)과 연결되고, 타단이 가스 저장부와 연결되는 제 2 도입관(4510b), 제 1 도입관(4510a)과 제 2 도입관(4510b)이 연결되는 부위에서, 제 1 도입관(4510a)과 제 2 도입관(4510b) 사이에 설치된 오링(4530), 제 1 도입관(4510a)과 제 2 도입관(4510b)의 연결 부위의 외측을 둘러 싸도록 설치되어 제 1 도입관(4510a)과 제 2 도입관(4510b)을 상호 체결 및 고정하는 고정 부재(4520)를 포함한다. 여기서, 연결 배관(4330)은 타단이 제 1 도입관 내부를 지나, 제 2 도입관 내부까지 연장되도록 삽입될 수 있다(도 3 참조).

실시예에 따른 고정 부재(4520)는 너트(nut)이나, 이에 한정되지 않고 제 1 도입관(4510a)과 제 2 도입관(4510b)을 상호 체결, 고정시킬 수 있는 다양한 수단이 사용될 수 있다.

또한, 상술한 본 발명에 따른 아답터, 보다 구체적으로는 체결 부재, 연결 블록, 연결 배관과 가스 도입부는 내식성에 강한 금속 재료로 제조된다.

고정 부재(4400)는 체결홈(4313) 내부로 삽입된 체결 돌기(4200)가 상기 체결홈(4313) 상측으로 이동하지 못하도록 체결홈(4313)을 폐쇄한다. 이러한 고정 부재(4400)는 내부로 체결 부재(4310)의 상부가 삽입될 수 있도록 중심부가 개구된 중공형의 고정 몸체(4410), 고정 몸체(4410)의 측부의 일부를 관통하도록 마련되어, 체결 돌기(4200)가 관통하는 관통홀(4420) 및 고정 몸체(4410)의 내측면에 마련되어 체결 몸체(4311)에 마련된 제 1 체결부(4314)와 체결되는 체결부(이하, 제 2 체결부(4430))를 포함한다. 실시예에 따른 제 2 체결부(4430)는 제 1 체결부(4314)와 체결 가능하도록, 나사산 및 나사홈을 포함하는 수단일 수 있다.

고정 몸체(4410)는 체결 몸체(4311)와 대응하는 원형의 링(ring) 형상이며, 내경이 체결 몸체(4311) 상부의 외경에 비해 크거나 같도록 형성된다. 이러한 고정 몸체(4410)의 측부의 일부에는 상측 및 하측이 개방되고, 체결홈(4313)과 연통되도록 형성되어, 체결 돌기(4200)가 관통 또는 삽입 가능한 관통홀(4420)이 마련된다. 이에 고정 몸체(4410)는 관통홀을 중심으로 하여 일단 및 타단이 이격된 개곡선의 형상이다.

상기에서는 고정 몸체(4410)가 원형의 링 형상인 것을 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 체결 몸체(4311)의 외측면에 체결 가능하며, 관통홀(4420)이 마련된 중공형의 다양한 형상으로 변경 가능하다.

또한, 실시예에서는 제 1 체결부(4314) 및 제 2 체결부(4430) 각각이 나사산 및 나사홈을 가지는 수단으로 상호 체결되는 것을 설명하였다. 하지만, 제 1 체결부(4314) 및 제 2 체결부(4430)는 나사산 및 나사홈을 가지는 수단이 아닌, 다양한 체결 가능한 형상으로 변경 가능하다.

그리고, 상기에서는 체결 돌기(4200), 체결홈(4313) 및 관통홀(4420)이 각각 하나로 마련되는 것을 설명하였다. 하지만 이에 한정되지 않고, 체결 돌기(4200), 체결홈(4313) 및 관통홀(4420) 각각이 2개 이상의 복수개로 마련될 수 있으며, 상기 체결 돌기(4200), 체결홈(4313) 및 관통홀(4420)이 대응하는 개수로 마련된다. 예컨대, 3개의 체결 돌기(4200)가 인젝터 배관(4120)의 원주 방향을 따라 상호 이격 설치되고, 3개의 체결홈(4313)이 체결 몸체(4311)의 원주 방향을 따라 상호 이격되어 마련될 수 있으며, 상기 3개의 체결 돌기(4200)가 3개의 체결홈(4313) 각각에 삽입될 수 있도록 대응하는 위치에 마련된다. 또한, 고정 부재(4400)에 3개의 관통홀(4420)이 마련되며, 상기 3개의 관통홀(4420) 역시 3개의 체결 돌기(4200) 및 체결홈(4313)과 대응하는 위치에 마련된다.

이하에서는 도 4를 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 가스 분사 유닛(4000)의 조립 방법을 설명한다.

먼저, 도 4a에 도시된 바와 같이, 아답터(4300), 고정 부재(4400) 및 인젝터(4100)를 준비한다.

이후, 도 4b와 같이 아답터(4300)의 체결 몸체(4311)의 상부를 준비된 고정 부재(4400) 내부로 삽입 체결하는데, 이때 고정 부재(4400)의 관통홀(4420)이 체결 몸체(4311)에 마련된 체결홈(4313)에 대응 위치하도록 한다. 보다 상세히 설명하면, 체결 몸체(4311) 상부의 외측부에 마련된 제 1 체결부(4314)가 고정 부재(4400) 내측면에 마련된 제 2 체결부(4430)에 체결되도록 삽입시키며, 체결 몸체(4311)에 마련된 체결홈(4313)과, 상기 체결 몸체(4311)의 외주면을 둘러싸도록 체결된 고정 부재(4400)에 마련된 관통홀(4420)이 상호 연통 되도록 체결시킨다.

그리고, 도 4c에 도시된 바와 같이, 인젝터(4100)의 하부, 보다 상세하게는 인젝터 배관(4120)을 체결 몸체(4311)의 내부 공간으로 삽입시킨다. 이때, 인젝터 배관(4120)의 외측부에 설치된 체결 돌기(4200)가 관통홀(4420)을 통과하여 체결홈(4313) 내에 수용되도록 삽입시키는데, 제 1 체결부(4314)의 하측에 위치하도록 체결홈(4313) 내로 삽입시킨다. 이와 같이, 인젝터 배관(4120)을 체결 몸체(4311) 내부로 삽입시키면, 인젝터 배관(4120)은 체결 몸체(4311)의 내측벽과 체결 배관(4312) 사이에 마련된 이격 공간에 위치하도록 삽입되며, 체결 배관(4312)은 인젝터 배관(4320) 내부로 삽입 체결된다.

이어서, 도 4d와 같이 고정 부재(4400)를 회전시켜, 도 5a 및 5b에 도시된 바와 같이, 체결 돌기(4200)의 상측에 고정 몸체(4410)가 위치하도록 하여, 체결 돌기(4200)의 상측에 위치하는 체결홈(4313)이 고정 몸체(4410)에 의해 폐쇄되도록 한다. 다시 말하면, 고정 몸체(4410)를 회전시켜, 상기 고정 몸체(4410)에 마련된 관통홀(4420)이 체결홈(4313)의 외측으로 이탈 또는 벗어나도록 회전시킨다. 이를 위해 예를 들어, 고정 몸체(4410)를 180°회전시켜 고정 몸체(4410)에 마련된 관통홀(4420)이 체결홈(4313)의 반대편에 위치하도록 하여, 체결홈(4313)이 고정 몸체(4410)에 의해 폐쇄 되도록 한다. 이때, 체결 돌기(4200)는 고정 몸체(4410)의 하부면에 의해 상측으로의 이동이 차단된다. 상기에서는 고정 몸체(4410)를 180°회전시켰으나, 이에 한정되지 않고, 고정 부재(4400)의 관통홀(4420)이 체결홈(4313)에 대응 위치하지 않고, 체결 돌기(4200)의 상측에 고정 몸체(4410)가 위치할 수 있도록 다양한 각도로 회전시킬 수 있다.

이와 같이, 본 발명의 실시형태에 의하면, 쿼츠로 이루어지며, 상하 방향으로 연장 형성된 인젝터(4100)와, 폭 방향(또는 좌우 방향)으로 연장 형성되며 상기 인젝터(4100)에 비해 길이가 짧은 가스 도입부(4500) 사이에 금속으로 이루어진 별도의 아답터(4300)를 상술한 방법으로 체결하여, 상기 인젝터(4100)와 가스 도입부(4500)를 상호 연결한다. 다시 말하면, 종래와 같이 인젝터(4100)를 바로 가스 도입부(4500)에 체결하지 않고, 인젝터(4100), 아답터(4300) 및 가스 도입부(4500)로 분리 구성하여, 상기 아답터(4300)에 의해 인젝터(4100)를 가스 도입부(4500)와 연결시킨다. 이러한 체결 구조는 종래와 같이 알파벳 'L'자 형이며, 쿼츠로 이루어진 인젝터를 직접 가스 도입부에 연결하는 체결 구조에 비해, 견고하게 체결 가능하게 하며, 이에 종래와 같이 인젝터의 노즐 하측 부분이 파손되는 문제를 방지할 수 있다.

또한, 본 발명에서는 인젝터(4100)에 마련된 체결 돌기(4200)를 체결 부재(4310)에 마련된 체결홈(4313)에 삽입시킨 후, 체결홈(4313)의 상부를 고정 부재(4400)를 이용하여 폐쇄함으로써, 인젝터(4100)의 유동을 방지할 수 있다. 즉, 가스 분사 유닛(4000) 내부로 가스 유입 초기에 압력 변화가 발생하고, 이러한 압력 변화가 노즐(4110)을 상측으로 미는 힘으로 작용하더라도, 인젝터(4100)에 마련된 체결 돌기(4200)가 체결홈(4313) 내부에 수용된 상태에서, 고정 부재(4400)에 의해 상측으로의 이동이 차단된다. 따라서, 가스 유입 초기에 압력 변화로 인한 노즐(4110)의 유동을 방지할 수 있어, 노즐(4110)을 재조립할 필요가 없다.

그리고, 체결 돌기(4200)의 상측에 대응하도록 복수의 분사홀(4111)을 마련함으로써, 상기 체결 돌기(4200)를 체결홈(4313) 내부에 삽입시키는 체결로 인해, 복수의 분사홀(4111)이 보트를 향하도록 정확하게 정렬시킬 수 있는 효과가 있다.

4000: 가스 분사 유닛 4100: 인젝터
4110: 노즐 4120: 인젝터 배관
4200: 체결 돌기 4300: 아답터
4310: 체결 부재 4311: 체결 몸체
4312: 체결 배관 4313: 체결홈
4314: 제 1 체결부 4320: 연결 블록
4330: 연결 배관 4400: 고정 부재
4410: 고정 몸체 4420: 관통홀
4430: 제 2 체결부 4500: 가스 도입부

Claims (19)

1. 적어도 일 방향으로 연장 형성되며, 공정 가스를 분사하는 복수의 분사홀을 가지는 인젝터;
   상기 인젝터 하부의 외측부로부터 돌출되도록 형성된 체결 돌기;
   상기 인젝터의 하부가 삽입되는 내부 공간을 가지는 통 형상이며, 측부에 상기 체결 돌기가 삽입되는 체결홈을 구비하여, 일단이 상기 인젝터와 체결되는 아답터; 및
   상기 체결홈에 삽입된 체결 돌기의 상측에 위치하도록 상기 아답터의 상부에 체결되어, 상기 체결 돌기가 삽입된 체결홈을 폐쇄하는 고정 부재;
   를 포함하는 가스 분사 유닛.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 인젝터는,
   상하 방향으로 연장 형성되며, 복수의 분사홀을 가지는 노즐; 및
   상기 노즐의 하부에 연결되며, 상기 아답터의 내부로 삽입 설치되는 인젝터 배관;
   을 포함하고,
   상기 체결 돌기는 상기 인젝터 배관의 외측부에 설치되며,
   상기 복수의 분사홀은 상기 체결 돌기의 상측에 대응 위치하여, 상하 방향으로 이격 형성된 가스 분사 유닛.
3. 청구항 2에 있어서,
   상기 아답터는,
   상기 인젝터 배관이 삽입될 수 있는 내부 공간을 가지는 통 형상이며, 상기 체결홈이 마련된 체결 몸체; 및
   상기 체결 몸체 내부를 상하 방향으로 관통하도록 설치되어, 일단이 상기 인젝터 배관 내부로 삽입되고, 타단이 체결 몸체 외부로 돌출된 체결 배관;
   을 구비하는 체결 부재와,
   상기 체결 배관의 타단과 연결된 연결 배관;
   을 포함하는 가스 분사 유닛.
4. 청구항 3에 있어서,
   상기 체결홈은 상기 체결 돌기와 대응하는 형상이며, 상기 체결 몸체의 상단부로부터 하측으로 연장 형성되며, 상측이 개구된 가스 분사 유닛.
5. 청구항 4에 있어서,
   상기 체결홈의 상하 방향의 길이는 상기 체결 돌기 및 고정 부재 각각의 상하 방향의 길이에 비해 긴 가스 분사 유닛.
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 체결 몸체 상부의 외측부에 상기 고정 부재와 체결 가능한 제 1 체결부가 마련되며,
   상기 제 1 체결부는 상기 체결홈 내로 삽입된 체결 돌기의 상측에 위치하는 가스 분사 유닛.
7. 청구항 6에 있어서,
   상기 고정 부재는,
   상기 체결 몸체의 상부가 삽입될 수 있도록 중심부가 개구된 중공형의 고정 몸체;
   상기 고정 몸체의 측부의 일부를 상하 방향으로 관통하도록 마련되며, 상기 체결 돌기가 관통하는 관통홀; 및
   상기 고정 몸체의 내측면에 상기 아답터 몸체에 마련된 제 1 체결부와 체결 가능한 제 2 체결부가 마련된 가스 분사 유닛.
8. 청구항 7에 있어서,
   상기 제 1 및 제 2 체결부는 나사산 및 나사홈을 포함하는 가스 분사 유닛.
9. 중심부가 개구된 중공형이며, 측부의 일부를 관통하도록 관통홀이 마련된 고정 부재의 내부로 측부에 체결홈이 마련된 아답터의 상부를 삽입시키는 과정;
   상기 아답터의 상부가 상기 고정 부재 내로 삽입되어 체결된 상태에서, 상기 관통홀과 상기 아답터의 체결홈이 상호 연통되도록 상기 관통홀과 체결홈의 위치를 조절하는 과정;
   적어도 일 방향으로 연장 형성되며, 외측부에 체결 돌기가 돌출되도록 설치된 인젝터를 상기 아답터 내부로 삽입시켜, 상기 체결 돌기를 체결홈 내부로 삽입시키는 과정; 및
   상기 아답터 상에서 상기 고정 부재를 회전시켜, 상기 관통홀이 상기 체결홈의 외측에 위치하도록 하는 과정;
   을 포함하는 가스 분사 유닛의 조립 방법.
10. 청구항 9에 있어서,
    상기 아답터의 체결홈이 상호 연통되도록 상기 관통홀과 체결홈의 위치를 조절하는 과정에 있어서,
    상기 고정 부재를 상기 아답터 상에서 회전시켜, 상기 관통홀이 상기 체결홈에 대응 위치하도록 하는 가스 분사 유닛의 조립 방법.
11. 청구항 10에 있어서,
    상기 인젝터를 상기 아답터 내부로 삽입시키는 데 있어서,
    상기 체결 돌기를 상기 고정 부재의 관통홀을 통과시켜, 상기 체결홈 내로 삽입시키는 가스 분사 유닛의 조립 방법.
12. 청구항 9에 있어서,
    상기 인젝터를 상기 아답터 내부로 삽입시키는 데 있어서,
    상기 아답터 내부를 상하 방향으로 관통하도록 설치된 아답터 배관의 일단이 상기 인젝터의 하부로 삽입되는 가스 분사 유닛의 조립 방법.
13. 내부 공간을 형성하는 용기;
    상기 용기 내로 이동 가능하며, 복수의 기판을 적재하는 지지대;
    상기 용기 내에 설치되는 지지대를 향해 공정 가스를 분사하는 가스 분사 유닛;
    을 포함하고,
    상기 가스 분사 유닛은,
    상기 용기 내에 배치되며 공정 가스를 분사하는 복수의 분사홀을 가지는 인젝터;
    상기 용기의 외측에 설치되어, 일단이 상기 인젝터에 연결된 가스 도입부;
    상기 용기 내부에서 상기 인젝터가 삽입 체결되는 아답터; 및
    상기 인젝터와 상기 아답터의 적어도 일부를 둘러싸도록 설치되어, 상기 인젝터와 아답터를 고정시키는 고정 부재;
    를 포함하고,
    상기 인젝터 하부의 외측부로 돌출되도록 체결 돌기가 설치되고,
    상기 아답터는 상기 인젝터의 하부가 삽입되는 내부 공간을 가지는 통 형상이며, 측부에 상기 체결 돌기가 삽입되는 체결홈을 구비하여 상기 인젝터와 체결되고,
    상기 고정 부재는 상기 체결홈에 삽입된 체결 돌기의 상측에 위치하도록 상기 아답터의 상부에 체결되어, 상기 체결 돌기가 삽입된 체결홈을 폐쇄하는 기판 처리 장치.
14. 청구항 13에 있어서,
    상기 용기는 상하 방향으로 연장 형성되며, 내부 공간을 가지는 튜브이고,
    상기 지지대는 상하 방향으로 연장 형성되어, 상기 튜브 내에 설치되며, 복수의 기판을 상하 방향으로 적재하는 보트이며,
    상기 인젝터는 상기 튜브 내에서 상기 보트와 대응하는 방향으로 연장 형성되어, 상기 보트를 향해 공정 가스를 분사하는 기판 처리 장치.
15. 삭제
16. 청구항 14에 있어서,
    상기 인젝터는,
    상기 보트와 대응하는 방향으로 연장 형성되어 상기 튜브 내에 설치되며, 복수의 분사홀을 가지는 노즐; 및
    상기 튜브 내에서 상기 노즐의 하부에 연결되며, 상기 아답터의 내부로 삽입 설치되는 인젝터 배관;
    을 포함하고,
    상기 체결 돌기는 상기 인젝터 배관의 외측부에 설치되며,
    상기 복수의 분사홀은 상기 체결 돌기의 상측에 대응 위치하여, 상하 방향으로 이격 형성된 기판 처리 장치.
17. 청구항 16에 있어서,
    상기 아답터는,
    상기 인젝터 배관이 삽입될 수 있는 내부 공간을 가지는 통 형상이며, 상기 체결홈이 마련된 체결 몸체;
    상기 체결 몸체 상부의 외측부에 상기 고정 부재와 체결 가능한 제 1 체결부; 및
    상기 체결 몸체 내부를 상하 방향으로 관통하도록 설치되어, 일단이 상기 인젝터 배관 내부로 삽입되고, 타단이 체결 몸체 외부로 돌출된 체결 배관;
    을 구비하는 체결 부재와,
    일단이 상기 체결 배관의 타단과 연결되고, 타단이 상기 가스 도입부와 연결된 연결 배관;
    을 포함하며,
    상기 제 1 체결부는 상기 체결홈 내로 삽입된 체결 돌기의 상측에 위치하는 기판 처리 장치.
18. 청구항 17에 있어서,
    상기 체결홈은 상기 체결 돌기와 대응하는 형상이며, 상기 아답터 몸체의 상단부로부터 상하 방향으로 연장 형성되며, 상측이 개구되어 있고,
    상기 체결홈의 상하 방향의 길이는 상기 체결 돌기 및 고정 부재 각각의 상하 방향의 길이에 비해 길게 형성된 기판 처리 장치.
19. 청구항 18에 있어서,
    상기 고정 부재는,
    상기 체결 몸체의 상부가 삽입될 수 있도록 중심부가 개구된 중공형의 고정 몸체;
    상기 고정 몸체의 측부의 일부를 상하 방향으로 관통하도록 마련되며, 상기 체결 돌기가 관통하는 관통홀; 및
    상기 고정 몸체의 내측면에 상기 체결 몸체에 마련된 제 1 체결부와 체결 가능한 제 2 체결부가 마련된 기판 처리 장치.

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