KR101452317B1 - 압전 소자 구동 장치 및 방법, 그리고 그를 이용하는 약액 도포 장치 - Google Patents

압전 소자 구동 장치 및 방법, 그리고 그를 이용하는 약액 도포 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101452317B1
KR101452317B1 KR1020120148664A KR20120148664A KR101452317B1 KR 101452317 B1 KR101452317 B1 KR 101452317B1 KR 1020120148664 A KR1020120148664 A KR 1020120148664A KR 20120148664 A KR20120148664 A KR 20120148664A KR 101452317 B1 KR101452317 B1 KR 101452317B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
voltage
unit
amplifier
output voltage
boosting
Prior art date
Application number
KR1020120148664A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20140080801A (ko
Inventor
남기선
서영호
유선영
오현석
정성수
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020120148664A priority Critical patent/KR101452317B1/ko
Publication of KR20140080801A publication Critical patent/KR20140080801A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101452317B1 publication Critical patent/KR101452317B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0208—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0225—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/06—Drive circuits; Control arrangements or methods

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

본 발명은 압전 소자 구동 장치 및 방법, 그리고 그를 이용하는 약액 도포 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 소자 구동 장치는, OP 앰프를 이용하여 입력 전압을 승압하는 승압부; 상기 승압부의 출력 전압을 기반으로 상기 OP 앰프에 구동 전압을 공급하는 구동 전압 공급부; 및 상기 승압부의 출력 전압에 따라 압전 소자를 충전 또는 방전시키는 충방전부;를 포함할 수 있다.

Description

압전 소자 구동 장치 및 방법, 그리고 그를 이용하는 약액 도포 장치{APPARATUS AND METHOD FOR DRIVING PIEZO-ELECTRIC ELEMENT, AND APPARATUS FOR APPLYING LIQUID CHEMICAL}
본 발명은 압전 소자 구동 장치 및 방법, 그리고 그를 이용하는 약액 도포 장치에 관한 것이다.
액정 표시 장치를 제조하는 공정은, 유리 기판에 배향막 또는 레지스트와 같은 박막을 형성하는 공정을 포함한다. 이러한 박막의 형성 시, 박막의 재료가 되는 약액을 기판에 도포하기 위해 잉크젯 방식의 도포 장치가 사용된다.
상기 도포 장치는 기판을 이송하기 위한 이송 테이블을 구비하며, 이송 테이블의 상측에 복수의 헤드가 구비된다. 상기 헤드의 하측은 헤드 내부의 액체 저장공간에 연결된 노즐이 설치되고, 노즐에는 압전 소자가 설치된다.
상기 압전 소자는 충방전에 따라 신축 동작을 하며, 이러한 신축 동작에 의해 약액의 흡입과 토출이 수행된다. 상기 압전 소자를 충방전하기 위해, 종래의 압전 소자 구동 장치는 인덕터를 이용하였다. 인덕터에 전류를 흘려줌으로써 에너지를 차지하고 그에 따라 인덕터에 연결된 스위치를 개폐하여, 압전 소자를 충전 및 방전시켰다.
하지만, 이와 같이 인덕터를 이용하여 압전 소자를 충방전시키는 경우, 전압의 상승 및 하강에 걸리는 시간이 길어지며, 그 결과 압전 소자의 구동을 정밀하게 제어할 수 없다는 문제가 발생한다.
본 발명의 일 실시예는, 압전 소자의 구동에 필요한 전압을 신속하게 승압 및 강압하는 압전 소자 구동 장치 및 방법, 그리고 그를 사용하는 약액 도포 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 실시예는, 압전 소자의 구동에 사용되는 OP 앰프의 구동 전압을 일정한 값으로 고정시키지 않고 OP 앰프의 출력 전압에 따라 변경되도록 하여, OP 앰프의 출력 전압이 구동 전압의 상한 또는 하한값에 의해 포화되지 않도록 하는 압전 소자 구동 장치 및 방법, 그리고 그를 사용하는 약액 도포 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 압전 소자 구동 장치는, OP 앰프를 이용하여 입력 전압을 승압하는 승압부; 상기 승압부의 출력 전압을 기반으로 상기 OP 앰프에 구동 전압을 공급하는 구동 전압 공급부; 및 상기 승압부의 출력 전압에 따라 압전 소자를 충전 또는 방전시키는 충방전부;를 포함할 수 있다.
상기 승압부는: OP 앰프를 이용하여 상기 입력 전압을 승압하는 제 1 승압부; 및 OP 앰프를 이용하여 상기 제 1 승압부의 출력 전압을 승압하는 제 2 승압부;를 포함할 수 있다.
상기 제 1 승압부와 상기 제 2 승압부는 종속 접속될 수 있다.
상기 제 2 승압부는: 상기 제 1 승압부의 출력 전압을 증폭시키는 제 1 OP 앰프; 및 상기 제 1 OP 앰프의 출력 전압을 증폭시키는 제 2 OP 앰프;를 포함할 수 있다.
상기 구동 전압 공급부는: 상기 승압부의 출력 전압을 기반으로 상기 제 2 OP 앰프에 구동 전압을 공급할 수 있다.
상기 구동 전압 공급부는: 상기 승압부의 출력 전압과 상기 OP 앰프의 구동 전압 간에 일정한 전위 차를 유지시키는 제너 다이오드를 포함할 수 있다.
상기 구동 전압 공급부는: 상기 OP 앰프에 공급되는 전류를 증폭시키는 트랜지스터를 더 포함할 수 있다.
상기 제너 다이오드는 일단이 상기 승압부의 출력단에 연결되고, 상기 트랜지스터는 베이스가 상기 제너 다이오드의 타단에 연결되고, 컬렉터가 전원 전압을 인가받고, 이미터가 상기 OP 앰프에 구동 전압을 공급할 수 있다.
상기 충방전부는: 상기 승압부의 출력 전압에 따라 개폐되어 상기 압전 소자를 충전시키는 풀업 스위치; 및 상기 승압부의 출력 전압에 따라 개폐되어 상기 압전 소자를 방전시키는 풀다운 스위치;를 포함할 수 있다.
상기 풀업 스위치 및 상기 풀다운 스위치는: 베이스가 상기 승압부의 출력단에 연결되고, 컬렉터가 전원 전압을 인가받고, 이미터가 상기 압전 소자에 연결되는 트랜지스터일 수 있다.
상기 압전 소자 구동 장치는, 상기 충방전부의 출력 전압을 감지하는 감지부를 더 포함할 수 있다.
상기 감지부는: 상기 충방전부의 출력 전압을 다운스케일링하여 출력할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 압전 소자 구동 장치는, OP 앰프를 이용하여 입력 전압을 승압하는 승압부; 상기 OP 앰프의 출력단에 연결된 제너 다이오드, 및 베이스가 상기 제너 다이오드에 연결되고 컬렉터가 전원 전압을 인가받고 이미터가 상기 OP 앰프에 구동 전압을 공급하는 트랜지스터를 포함하는 구동 전압 공급부; 및 베이스가 상기 OP 앰프의 출력단에 연결되고, 컬렉터가 상기 전원 전압을 인가받고, 이미터가 압전 소자에 연결된 풀업 및 풀다운 스위치를 포함하는 충방전부;를 포함할 수 있다.
상기 승압부는, 서로 종속 접속된 다수의 OP 앰프를 포함할 수 있다.
상기 구동 전압 공급부는, 상기 다수의 OP 앰프 중에서 상기 승압부의 출력단에 포함된 OP 앰프에 구동 전압을 공급할 수 있다.
상기 풀업 및 풀다운 스위치는, 상기 OP 앰프의 출력 전압에 따라 어느 하나의 스위치가 닫히고 다른 하나의 스위치가 열려 상기 압전 소자를 충전 또는 방전시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 압전 소자 구동 방법은, OP 앰프를 포함하는 승압부가 입력 전압을 승압하는 단계; 상기 승압부의 출력 전압을 기반으로 구동 전압 공급부가 상기 OP 앰프에 구동 전압을 공급하는 단계; 및 상기 승압부의 출력 전압에 따라 충방전부가 압전 소자를 충전 또는 방전시키는 단계;를 포함할 수 있다.
상기 승압하는 단계는: OP 앰프를 포함하는 제 1 승압부가 상기 입력 전압을 1차 승압하는 단계; 및 OP 앰프를 포함하는 제 2 승압부가 상기 제 1 승압부의 출력 전압을 2차 승압하는 단계;를 포함할 수 있다.
상기 2차 승압하는 단계는: 제 1 OP 앰프가 상기 제 1 승압부의 출력 전압을 증폭시키는 단계; 및 제 2 OP 앰프가 상기 제 1 OP 앰프의 출력 전압을 증폭시키는 단계;를 포함할 수 있다.
상기 구동 전압을 공급하는 단계는: 상기 승압부의 출력 전압을 기반으로 상기 제 2 OP 앰프에 구동 전압을 공급하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 구동 전압을 공급하는 단계는: 제너 다이오드가 상기 승압부의 출력 전압과 상기 OP 앰프의 구동 전압 간에 일정한 전위 차를 유지시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 충전 또는 방전시키는 단계는: 상기 승압부의 출력 전압에 따라 풀업 스위치가 개폐되어 상기 압전 소자를 충전시키는 단계; 및 상기 승압부의 출력 전압에 따라 풀다운 스위치가 개폐되어 상기 압전 소자를 방전시키는 단계;를 포함할 수 있다.
상기 압전 소자 구동 방법은, 감지부가 상기 충방전부의 출력 전압을 감지하여 출력하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 충방전부의 출력 전압을 감지하여 출력하는 단계는: 상기 충방전부의 출력 전압을 다운스케일링하여 출력하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 약액 도포 장치는, 압전 소자의 팽창 및 수축을 이용하여 기판에 약액을 도포하며, 상기 약액 도포 장치는: OP 앰프를 이용하여 입력 전압을 승압하는 승압부; 상기 승압부의 출력 전압을 기반으로 상기 OP 앰프에 구동 전압을 공급하는 구동 전압 공급부; 및 상기 승압부의 출력 전압에 따라 상기 압전 소자를 충전 또는 방전시키는 충방전부;를 포함하는 압전 소자 구동 장치를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 압전 소자의 구동에 사용되는 전압을 신속하게 승압 및 강압하여, 압전 소자의 구동을 보다 정밀하게 제어할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 압전 소자의 구동에 사용되는 OP 앰프의 구동 전압이 일정한 값으로 고정되지 않아, 상기 OP 앰프가 출력할 수 있는 전압의 범위가 넓어진다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 구동 전압의 범위가 넓지 않은 저가의 OP 앰프를 사용하여 넓은 범위의 출력 전압을 제공할 수 있어 구동 장치의 제조비를 절감할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 소자 구동 장치의 블록도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 소자 구동 장치의 회로도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 구동 전압 공급부의 각 노드 전압이 예시적으로 표시된 회로도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 승압부의 입력 전압과 출력 전압, 그리고 OP 앰프에 공급되는 구동 전압의 시간에 따른 변화를 예시적으로 나타내는 타이밍 다이어그램이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 충방전부의 동작을 설명하는 회로도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 소자 구동 방법을 설명하는 흐름도이다.
본 발명의 다른 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술 되는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
만일 정의되지 않더라도, 여기서 사용되는 모든 용어들(기술 혹은 과학 용어들을 포함)은 이 발명이 속한 종래 기술에서 보편적 기술에 의해 일반적으로 수용되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적인 사전들에 의해 정의된 용어들은 관련된 기술 그리고/혹은 본 출원의 본문에 의미하는 것과 동일한 의미를 갖는 것으로 해석될 수 있고, 그리고 여기서 명확하게 정의된 표현이 아니더라도 개념화되거나 혹은 과도하게 형식적으로 해석되지 않을 것이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다' 및/또는 이 동사의 다양한 활용형들 예를 들어, '포함', '포함하는', '포함하고', '포함하며' 등은 언급된 조성, 성분, 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 조성, 성분, 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 본 명세서에서 '및/또는' 이라는 용어는 나열된 구성들 각각 또는 이들의 다양한 조합을 가리킨다.
한편, 본 명세서 전체에서 사용되는 '~부', '~기', '~블록', '~모듈' 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미할 수 있다. 예를 들어 소프트웨어, FPGA 또는 ASIC과 같은 하드웨어 구성요소를 의미할 수 있다. 그렇지만 '~부', '~기', '~블록', '~모듈' 등이 소프트웨어 또는 하드웨어에 한정되는 의미는 아니다. '~부', '~기', '~블록', '~모듈'은 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 재생시키도록 구성될 수도 있다.
따라서, 일 예로서 '~부', '~기', '~블록', '~모듈'은 소프트웨어 구성요소들, 객체지향 소프트웨어 구성요소들, 클래스 구성요소들 및 태스크 구성요소들과 같은 구성요소들과, 프로세스들, 함수들, 속성들, 프로시저들, 서브루틴들, 프로그램 코드의 세그먼트들, 드라이버들, 펌웨어, 마이크로 코드, 회로, 데이터, 데이터베이스, 데이터 구조들, 테이블들, 어레이들 및 변수들을 포함한다. 구성요소들과 '~부', '~기', '~블록', '~모듈'들 안에서 제공되는 기능은 더 작은 수의 구성요소들 및 '~부', '~기', '~블록', '~모듈'들로 결합되거나 추가적인 구성요소들과 '~부', '~기', '~블록', '~모듈'들로 더 분리될 수 있다.
이하, 본 명세서에 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 압전 소자 구동 장치는, OP 앰프를 이용하여 입력 전압을 승압하고, 승압된 전압에 따라 압전 소자를 충전 또는 방전시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 소자 구동 장치를 나타내는 블록도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 상기 압전 소자 구동 장치(100)는 승압부(11), 구동 전압 공급부(12) 및 충방전부(13)를 포함할 수 있다.
상기 승압부(11)는 OP 앰프를 이용하여 입력 전압을 승압할 수 있다. 상기 구동 전압 공급부(12)는 상기 승압부(11)의 출력 전압을 기반으로 상기 OP 앰프에 구동 전압을 공급할 수 있다. 상기 충방전부(13)는 상기 승압부(11)의 출력 전압에 따라 압전 소자를 충전 또는 방전시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 승압부(11)는 OP 앰프를 포함하여, 입력받은 신호를 증폭시켜 출력할 수 있다. 상기 승압부(11)에 입력되는 입력 신호는 소정의 전압을 갖는 아날로그 신호일 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 소자 구동 장치(100)의 회로도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 승압부(11)는 OP 앰프(1110)를 이용하여 입력 전압을 승압하는 제 1 승압부(111), 및 OP 앰프(1121, 1122)를 이용하여 상기 제 1 승압부(111)의 출력 전압을 승압하는 제 2 승압부(112)를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 제 1 승압부(111)와 상기 제 2 승압부(112)는 종속 접속될 수 있다. 다시 말해, 상기 제 1 승압부(111)의 출력단은 상기 제 2 승압부(112)의 입력단에 연결될 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 승압부(111)는 하나의 OP 앰프(1110)와 다수의 저항(R111, R112, R113)을 포함하여 구성될 수 있다.
상기 제 2 승압부(112)는 복수의 OP 앰프를 포함하여 신호를 증폭시킬 수 있다. 일 실시예에 따르면, 상기 제 2 승압부(112)는 제 1 승압부(111)의 출력 전압을 증폭시키는 제 1 OP 앰프(1121), 및 상기 제 1 OP 앰프의 출력 전압을 증폭시키는 제 2 OP 앰프(1122)를 포함할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제 2 승압부(112)는 두 개의 OP 앰프(1121, 1122)와 다수의 저항(R121, R122, R123, R124, R125, R126)과 다수의 커패시터(C121, C122)를 포함하여 구성될 수 있다.
도 2에 도시된 승압부(11)는, 두 개의 스테이지에 걸쳐 입력 신호를 증폭시켰으나, 실시예에 따라 상기 승압부는 하나의 스테이지로 구성될 수도 있으며, 셋 이상의 스테이지로 구성될 수도 있다.
또한, 도 2에 도시된 실시예와 달리, 상기 승압부(11)를 구성하기 위해 OP 앰프와 함께 사용되는 저항 및 커패시터의 개수는 실시예에 따라 다양하게 설정될 수 있다.
상기 구동 전압 공급부(12)는 상기 승압부(11)의 출력 전압에 기초하여 결정된 구동 전압을 OP 앰프에 공급할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 승압부(11)가 다수의 OP 앰프를 포함하는 경우, 상기 구동 전압 공급부(12)는 승압부의 출력 전압을 기반으로 승압부의 출력단에 구비된 OP 앰프에 구동 전압을 공급할 수 있다.
예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 승압부(11)가 다수의 OP 앰프(1110, 1121, 1122)를 포함하여 구성되는 경우, 상기 구동 전압 공급부(12)는 승압부(11)의 출력단에 구비된 OP 앰프(1122)에 구동 전압을 공급할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 구동 전압 공급부(12)는 승압부(11)의 출력 전압과 OP 앰프(1122)의 구동 전압 간에 일정한 전위 차를 유지시키는 제너 다이오드를 포함할 수 있다.
예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 구동 전압 공급부(12)는 제 1 제너 다이오드(D21) 및 제 2 제너 다이오드(D22)를 포함할 수 있다. 상기 제 1 제너 다이오드(D21)의 애노드는 승압부(11)의 출력단에 연결되고, 캐소드는 양의 전원 전압을 공급하는 + 전원단(VPP)에 연결될 수 있다. 상기 제 2 제너 다이오드(D22)의 캐소드는 승압부(11)의 출력단에 연결되고, 애노드는 음의 전원 전압을 공급하는 - 전원단(VNN)에 연결될 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 제너 다이오드(D21)의 캐소드와 + 전원단(VPP) 사이에는 저항(R21)이 연결될 수 있다. 마찬가지로, 상기 제 2 제너 다이오드(D22)의 애노드와 - 전원단(VNN) 사이에는 저항(R22)이 연결될 수 있다. 또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 제너 다이오드(D21, D22)와 승압부(11)의 출력단 사이에는 저항(R23)이 연결될 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제너 다이오드(D21, D22) 각각은 커패시터(C21, C22)와 병렬 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 구동 전압 공급부(12)는 OP 앰프(1122)에 공급되는 전류를 증폭시키는 트랜지스터를 포함할 수 있다.
예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 구동 전압 공급부(12)는 제 1 트랜지스터(Q21) 및 제 2 트랜지스터(Q22)를 포함할 수 있다. 상기 제 1 트랜지스터(Q21)는 베이스가 제 1 제너 다이오드(D21)의 캐소드에 연결되고, 컬렉터가 + 전원단(VPP)에 연결되어 전원 전압을 인가받고, 이미터가 OP 앰프(1122)에 구동 전압(VS+)을 공급할 수 있다. 상기 제 2 트랜지스터(Q22)는 베이스가 제 2 제너 다이오드(D22)의 애노드에 연결되고, 컬렉터가 - 전원단(VNN)에 연결되어 전원 전압을 인가받고, 이미터가 OP 앰프(1122)에 구동 전압(VS -)을 공급할 수 있다.
상기 트랜지스터(Q21, Q22)는 베이스로 유입되는 전류를 증폭시켜 OP 앰프(1122)에 제공할 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 트랜지스터(Q21)는 npn형 BJT이며, 상기 제 2 트랜지스터(D22)는 pnp형 BJT일 수 있으나, 트랜지스터의 종류는 이에 제한되지 않고 전류를 증폭시켜 OP 앰프에 제공하는 임의의 트랜지스터가 사용될 수도 있다.
전술한 바와 같이, 상기 구동 전압 공급부(12)는 전원단(VPP, VNN)과 OP 앰프(1122)의 출력단 사이에 제너 다이오드(D21, D22)가 연결되어, OP 앰프(1122)의 출력 전압보다 제 1 제너 다이오드(D21)의 항복 전압만큼 높은 전압이 OP 앰프(1122)의 + 구동 전압단(VS+)에 공급되고, OP 앰프(1122)의 출력 전압보다 제 2 제너 다이오드(D22)의 항복 전압만큼 낮은 전압이 OP 앰프(1122)의 - 구동 전압단(VS -)에 공급될 수 있다.
그 결과, OP 앰프(1122)에 공급되는 구동 전압은 일정한 값으로 고정되지 않고, OP 앰프(1122)의 출력 전압에 따라 변경될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 상기 제너 다이오드(D21, D22)의 항복 전압(VZ)은 OP 앰프(1122)의 구동 전압 범위(즉, VS + - VS -)의 절반보다 작게 설정될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 구동 전압 공급부(12)의 각 노드 전압이 예시적으로 표시된 회로도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, OP 앰프(1122)에서 출력되어 저항(R23)을 지나 측정된 전압이 10 V이고 제너 다이오드(D21, D22)의 항복 전압(VZ)이 6 V이고 + 전원 전압(VPP)이 100 V이고 - 전원 전압(VNN)이 -15 V인 경우, 제 1 제너 다이오드(D21)의 캐소드에 인가되는 전압은 16 V이고 제 2 제너 다이오드(D22)의 애노드에 인가되는 전압은 4 V로 계산된다. 그리고, 트랜지스터(Q21, Q22)의 베이스와 이미터 간의 전압 강하가 0.7 V라고 하면, OP 앰프에 공급되는 + 공급 전압(VS +)은 15.3 V이고 - 공급 전압(VS -)은 4.7 V로 계산된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 압전 소자 구동 장치(100)에 구동 전압 범위(VS + - VS -)가 15 V인 OP 앰프(1122)를 사용하는 경우, 항복 전압(VZ)이 15/2 = 7.5 V 이하인 제너 다이오드(D21, D22)를 OP 앰프의 출력단에 연결할 수 있다. 그 결과, OP 앰프(1122)의 출력 전압에 따라 구동 전압(VS +, VS -)이 변경되어, OP 앰프(1122)가 출력 가능한 전압의 범위는 구동 전압 범위(VS + - VS -)의 제한을 받지 않을 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 승압부(11)의 입력 전압 Vin과 출력 전압 Vout, 그리고 OP 앰프(1122)에 공급되는 구동 전압의 시간에 따른 변화를 예시적으로 나타내는 타이밍 다이어그램이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 시간 t1에서 승압부(11)의 입력단에 0.1 V의 전압이 인가되는 경우, 승압부(11)의 증폭률이 100이면 OP 앰프(1122)의 출력 전압은 10 V가 된다. 시간 t2에서 승압부(11)의 입력 전압이 0.2 V로 상승하는 경우, OP 앰프(1122)의 출력 전압은 20 V가 된다.
전술한 바와 같이, OP 앰프(1122)에 공급되는 구동 전압(VS +, VS -)이 OP 앰프(1122)의 출력 전압에 따라 결정되므로, VS + 및 VS -의 곡선 역시 출력 전압의 곡선을 따라 변화할 수 있다. 도 2 및 도 3에 도시된 실시예에 따르면, OP 앰프(1122)에 공급되는 구동 전압의 범위(VS + - VS -)는 제너 다이오드(D21, D22)의 항복 전압의 두 배에 트랜지스터의 베이스와 이미터 간의 전압 강하를 뺀 2VZ - 1.4로 계산될 수 있다.
상기 충방전부(13)는 승압부(11)의 출력 전압에 따라 압전 소자를 충전 또는 방전시킬 수 있다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 충방전부의 동작을 설명하는 회로도이다. 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 충방전부(13)는 승압부(11)의 출력 전압에 따라 개폐되어 압전 소자를 충전시키는 풀업 스위치(Q31), 및 상기 승압부(11)의 출력 전압에 따라 개폐되어 압전 소자를 방전시키는 풀다운 스위치(Q32)를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 풀업 스위치(Q31)는 npn형 BJT로 구성될 수 있고, 상기 풀다운 스위치(Q32)는 pnp형 BJT로 구성될 수 있으나, 스위치의 구성은 이에 제한되지 않고 실시예에 따라 다양한 소자가 사용될 수도 있다.
상기 풀업 스위치(Q31) 및 상기 풀다운 스위치(Q32)가 BJT로 구성되는 경우, 트랜지스터의 베이스는 승압부(11)의 출력단에 연결될 수 있고, 컬렉터는 전원 전압(VPP, VNN)을 인가받을 수 있고, 이미터는 압전 소자에 연결될 수 있다.
상기 풀업 스위치(Q31) 및 상기 풀다운 스위치(Q32)는 승압부(11)의 출력 전압과 압전 소자의 충전 전압에 따라 개폐가 결정될 수 있다.
예를 들어, 도 5에 도시된 바와 같이, 압전 소자의 충전 전압이 50 V이고 승압부(11)의 출력 전압이 80 V인 경우, 풀업 스위치(Q31)의 베이스에 인가되는 전압은 이미터에 인가되는 전압보다 0.7 V 이상 높으므로 상기 풀업 스위치(Q31)는 닫히게 된다. 반면, 풀다운 스위치(Q32)의 베이스에 인가되는 전압은 이미터에 인가되는 전압보다 높으므로 상기 풀다운 스위치(Q32)는 열리게 된다. 그 결과, 압전 소자에는 + 전원 전압(VPP)인 100 V의 전압이 인가되어 상기 압전 소자는 충전될 수 있다.
또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 압전 소자의 충전 전압이 50 V이고 승압부(11)의 출력 전압이 20 V인 경우에는, 도 5에 도시된 바와 반대로 풀업 스위치(Q31)가 열리고 풀다운 스위치(Q32)가 닫히게 된다. 그 결과, 압전 소자에는 - 전원 전압(VNN)인 -15 V의 전압이 인가되어 상기 압전 소자는 방전될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 상기 압전 소자 구동 장치(100)는 충방전부(13)의 출력 전압을 감지하는 감지부(14)를 더 포함할 수 있다. 일 실시에에 따르면, 상기 감지부(14)는 충방전부(13)의 출력 전압을 다운스케일링하여 출력하도록 구성될 수 있다.
예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 감지부(14)는 하나의 OP 앰프(141)와 다수의 저항(R41, R42, R43)으로 구성되어, 충방전부(13)에서 출력된 전압을 소정 비율만큼 감쇄시켜 출력할 수 있다. 상기 감지부(14)가 출력한 전압은 압전 소자 구동 장치(100)의 동작을 모니터링하기 위해 사용될 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 소자 구동 방법을 설명하는 흐름도이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 상기 압전 소자 구동 방법(200)은, OP 앰프를 포함하는 승압부(11)가 입력 전압을 승압하는 단계(S21), 상기 승압부의 출력 전압을 기반으로 구동 전압 공급부(12)가 상기 OP 앰프에 구동 전압을 공급하는 단계(S22), 및 상기 승압부의 출력 전압에 따라 충방전부(13)가 압전 소자를 충전 또는 방전시키는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 승압하는 단계(S21)는, OP 앰프를 포함하는 제 1 승압부(111)가 입력 전압을 1차 승압하는 단계, 및 OP 앰프를 포함하는 제 2 승압부(112)가 상기 제 1 승압부(111)의 출력 전압을 2차 승압하는 단계를 포함할 수 있다. 다시 말해, 상기 입력 전압의 승압은 둘 이상의 스테이지에 걸쳐 단계적으로 수행될 수 있다. 실시예에 따라 입력 전압의 승압은 하나의 스테이지에 걸쳐 수행되거나 셋 이상의 스테이지에 걸쳐 수행될 수도 있다.
상기 2차 승압하는 단계는, 제 1 OP 앰프(1121)가 제 1 승압부(111)의 출력 전압을 증폭시키는 단계, 및 제 2 OP 앰프(1122)가 제 1 OP 앰프(1121)의 출력 전압을 증폭시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 구동 전압을 공급하는 단계(S22)는, 승압부(11)의 출력 전압을 기반으로 상기 제 2 OP 앰프(1122)에 구동 전압을 공급하는 단계를 포함할 수 있다. 다시 말해, 상기 구동 전압 공급부(12)는 승압부(11)에 포함된 복수의 OP 앰프 중에서 출력단에 구비된 OP 앰프에 구동 전압을 공급할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 구동 전압을 공급하는 단계(S22)는, 제너 다이오드(D21, D22)가 승압부(11)의 출력 전압과 OP 앰프(1122)의 구동 전압 간에 일정한 전위 차를 유지시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 충전 또는 방전시키는 단계는, 승압부의 출력 전압에 따라 풀업 스위치(Q31)가 개폐되어 압전 소자를 충전시키는 단계(S241), 및 상기 승압부의 출력 전압에 따라 풀다운 스위치(Q32)가 개폐되어 압전 소자를 방전시키는 단계(S242)를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 압전 소자 구동 방법(200)은, 감지부(14)가 충방전부(13)의 출력 전압을 감지하여 출력하는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 충방전부의 출력 전압을 감지하여 출력하는 단계는, 충방전부의 출력 전압을 다운스케일링하여 출력하는 단계를 포함할 수 있다.
전술한 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 소자 구동 장치(100)는 압전 소자의 팽창 및 수축을 이용하여 기판에 약액을 도포하는 약액 도포 장치에 포함되어 사용될 수 있다.
예를 들어, 상기 약액 도포 장치가 기판에 약액을 도포하기 위해 노즐로부터 약액을 토출하는 경우, 상기 압전 소자 구동 장치는 전술한 승압부, 구동 전압 공급부 및 충방전부의 동작에 의해 압전 소자를 충전시켜 상기 압전 소자를 팽창시킬 수 있다. 반대로, 상기 약액 도포 장치가 약액 저장부에 약액을 채워넣기 위해 약액을 흡입하는 경우, 상기 압전 소자 구동 장치는 압전 소자를 방전시켜 상기 압전 소자를 수축시킬 수 있다.
이상, OP 앰프를 이용하여 입력 전압을 승압하고, 승압된 전압에 따라 압전 소자를 충전 또는 방전시키는 압전 소자 구동 장치 및 방법, 그리고 그를 이용한 약액 도포 장치가 설명되었다.
상기 압전 소자 구동 장치 및 방법, 그리고 그를 이용한 약액 도포 장치에 따르면, 인덕터를 사용하여 압전 소자를 충방전하는 종래의 구동 장치에 비해 승압 및 강압에 걸리는 시간이 줄어들어, 압전 소자의 구동을 보다 정밀하게 제어할 수 있다.
나아가, OP 앰프에 공급되는 구동 전압이 일정한 값으로 고정되지 않고 OP 앰프의 출력 전압과 함께 변경됨으로써, 구동 전압의 범위가 넓지 않은 저가의 OP 앰프를 사용하여 넓은 범위의 출력 전압을 제공할 수 있어, OP 앰프의 소비전력량이 감소하고 구동 장치의 제조비를 절감할 수 있다.
100: 압전 소자 구동 장치 11: 승압부
111: 제 1 승압부 112: 제 2 승압부
12: 구동 전압 공급부 13: 충방전부
14: 감지부

Claims (25)

  1. OP 앰프를 이용하여 입력 전압을 승압하는 승압부;
    상기 승압부의 출력 전압을 기반으로 상기 OP 앰프에 구동 전압을 공급하는 구동 전압 공급부; 및
    상기 승압부의 출력 전압에 따라 압전 소자를 충전 또는 방전시키는 충방전부를 포함하되,
    상기 구동 전압 공급부는:
    상기 승압부의 출력 전압과 상기 OP 앰프의 구동 전압 간에 일정한 전위 차를 유지시키는 제너 다이오드; 및
    상기 OP 앰프에 공급되는 전류를 증폭시키는 트랜지스터;
    를 포함하며,
    상기 제너 다이오드는 일단이 상기 승압부의 출력단에 연결되고,
    상기 트랜지스터는 베이스가 상기 제너 다이오드의 타단에 연결되고, 컬렉터가 전원 전압을 인가받고, 이미터가 상기 OP 앰프에 구동 전압을 공급하며,
    상기 충방전부는:
    상기 승압부의 출력 전압에 따라 개폐되어 상기 압전 소자를 충전시키는 풀업 스위치; 및
    상기 승압부의 출력 전압에 따라 개폐되어 상기 압전 소자를 방전시키는 풀다운 스위치;
    를 포함하며,
    상기 풀업 스위치 및 상기 풀다운 스위치는:
    베이스가 상기 승압부의 출력단에 연결되고, 컬렉터가 전원 전압을 인가받고, 이미터가 상기 압전 소자에 연결되는 트랜지스터인 압전 소자 구동 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 승압부는:
    OP 앰프를 이용하여 상기 입력 전압을 승압하는 제 1 승압부; 및
    OP 앰프를 이용하여 상기 제 1 승압부의 출력 전압을 승압하는 제 2 승압부;
    를 포함하는 압전 소자 구동 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 승압부와 상기 제 2 승압부는 종속 접속된 압전 소자 구동 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 2 승압부는:
    상기 제 1 승압부의 출력 전압을 증폭시키는 제 1 OP 앰프; 및
    상기 제 1 OP 앰프의 출력 전압을 증폭시키는 제 2 OP 앰프;
    를 포함하는 압전 소자 구동 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 구동 전압 공급부는:
    상기 승압부의 출력 전압을 기반으로 상기 제 2 OP 앰프에 구동 전압을 공급하는 압전 소자 구동 장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 충방전부의 출력 전압을 감지하는 감지부를 더 포함하는 압전 소자 구동 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 감지부는:
    상기 충방전부의 출력 전압을 다운스케일링하여 출력하는 압전 소자 구동 장치.
  13. OP 앰프를 이용하여 입력 전압을 승압하는 승압부;
    상기 OP 앰프의 출력단에 연결된 제너 다이오드, 및 베이스가 상기 제너 다이오드에 연결되고 컬렉터가 전원 전압을 인가받고 이미터가 상기 OP 앰프에 구동 전압을 공급하는 트랜지스터를 포함하는 구동 전압 공급부; 및
    베이스가 상기 OP 앰프의 출력단에 연결되고, 컬렉터가 상기 전원 전압을 인가받고, 이미터가 압전 소자에 연결된 풀업 및 풀다운 스위치를 포함하는 충방전부;
    를 포함하는 압전 소자 구동 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 승압부는, 서로 종속 접속된 다수의 OP 앰프를 포함하는 압전 소자 구동 장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 구동 전압 공급부는, 상기 다수의 OP 앰프 중에서 상기 승압부의 출력단에 포함된 OP 앰프에 구동 전압을 공급하는 압전 소자 구동 장치.
  16. 제 13 항에 있어서,
    상기 풀업 및 풀다운 스위치는, 상기 OP 앰프의 출력 전압에 따라 어느 하나의 스위치가 닫히고 다른 하나의 스위치가 열려 상기 압전 소자를 충전 또는 방전시키는 압전 소자 구동 장치.
  17. OP 앰프를 포함하는 승압부가 입력 전압을 승압하는 단계;
    상기 승압부의 출력 전압을 기반으로 구동 전압 공급부가 상기 OP 앰프에 구동 전압을 공급하는 단계; 및
    상기 승압부의 출력 전압에 따라 충방전부가 압전 소자를 충전 또는 방전시키는 단계를 포함하되,
    상기 구동 전압 공급부는:
    상기 승압부의 출력 전압과 상기 OP 앰프의 구동 전압 간에 일정한 전위 차를 유지시키는 제너 다이오드; 및
    상기 OP 앰프에 공급되는 전류를 증폭시키는 트랜지스터;
    를 포함하며,
    상기 제너 다이오드는 일단이 상기 승압부의 출력단에 연결되고,
    상기 트랜지스터는 베이스가 상기 제너 다이오드의 타단에 연결되고, 컬렉터가 전원 전압을 인가받고, 이미터가 상기 OP 앰프에 구동 전압을 공급하며,
    상기 충방전부는:
    상기 승압부의 출력 전압에 따라 개폐되어 상기 압전 소자를 충전시키는 풀업 스위치; 및
    상기 승압부의 출력 전압에 따라 개폐되어 상기 압전 소자를 방전시키는 풀다운 스위치;
    를 포함하며,
    상기 풀업 스위치 및 상기 풀다운 스위치는:
    베이스가 상기 승압부의 출력단에 연결되고, 컬렉터가 전원 전압을 인가받고, 이미터가 상기 압전 소자에 연결되는 트랜지스터인 압전 소자 구동 방법.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 승압하는 단계는:
    OP 앰프를 포함하는 제 1 승압부가 상기 입력 전압을 1차 승압하는 단계; 및
    OP 앰프를 포함하는 제 2 승압부가 상기 제 1 승압부의 출력 전압을 2차 승압하는 단계;
    를 포함하는 압전 소자 구동 방법.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 2차 승압하는 단계는:
    제 1 OP 앰프가 상기 제 1 승압부의 출력 전압을 증폭시키는 단계; 및
    제 2 OP 앰프가 상기 제 1 OP 앰프의 출력 전압을 증폭시키는 단계;
    를 포함하는 압전 소자 구동 방법.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 구동 전압을 공급하는 단계는:
    상기 승압부의 출력 전압을 기반으로 상기 제 2 OP 앰프에 구동 전압을 공급하는 단계를 포함하는 압전 소자 구동 방법.
  21. 삭제
  22. 삭제
  23. 제 17 항에 있어서,
    감지부가 상기 충방전부의 출력 전압을 감지하여 출력하는 단계를 더 포함하는 압전 소자 구동 방법.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 충방전부의 출력 전압을 감지하여 출력하는 단계는:
    상기 충방전부의 출력 전압을 다운스케일링하여 출력하는 단계를 포함하는 압전 소자 구동 방법.
  25. 압전 소자의 팽창 및 수축을 이용하여 기판에 약액을 도포하는 약액 도포 장치에 있어서, 상기 약액 도포 장치는:
    OP 앰프를 이용하여 입력 전압을 승압하는 승압부;
    상기 승압부의 출력 전압을 기반으로 상기 OP 앰프에 구동 전압을 공급하는 구동 전압 공급부; 및
    상기 승압부의 출력 전압에 따라 상기 압전 소자를 충전 또는 방전시키는 충방전부;
    를 포함하는 압전 소자 구동 장치를 포함하되,
    상기 구동 전압 공급부는:
    상기 승압부의 출력 전압과 상기 OP 앰프의 구동 전압 간에 일정한 전위 차를 유지시키는 제너 다이오드; 및
    상기 OP 앰프에 공급되는 전류를 증폭시키는 트랜지스터;
    를 포함하며,
    상기 제너 다이오드는 일단이 상기 승압부의 출력단에 연결되고,
    상기 트랜지스터는 베이스가 상기 제너 다이오드의 타단에 연결되고, 컬렉터가 전원 전압을 인가받고, 이미터가 상기 OP 앰프에 구동 전압을 공급하며,
    상기 충방전부는:
    상기 승압부의 출력 전압에 따라 개폐되어 상기 압전 소자를 충전시키는 풀업 스위치; 및
    상기 승압부의 출력 전압에 따라 개폐되어 상기 압전 소자를 방전시키는 풀다운 스위치;
    를 포함하며,
    상기 풀업 스위치 및 상기 풀다운 스위치는:
    베이스가 상기 승압부의 출력단에 연결되고, 컬렉터가 전원 전압을 인가받고, 이미터가 상기 압전 소자에 연결되는 트랜지스터인 약액 도포 장치.
KR1020120148664A 2012-12-18 2012-12-18 압전 소자 구동 장치 및 방법, 그리고 그를 이용하는 약액 도포 장치 KR101452317B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120148664A KR101452317B1 (ko) 2012-12-18 2012-12-18 압전 소자 구동 장치 및 방법, 그리고 그를 이용하는 약액 도포 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120148664A KR101452317B1 (ko) 2012-12-18 2012-12-18 압전 소자 구동 장치 및 방법, 그리고 그를 이용하는 약액 도포 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140080801A KR20140080801A (ko) 2014-07-01
KR101452317B1 true KR101452317B1 (ko) 2014-10-23

Family

ID=51732237

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120148664A KR101452317B1 (ko) 2012-12-18 2012-12-18 압전 소자 구동 장치 및 방법, 그리고 그를 이용하는 약액 도포 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101452317B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107070298A (zh) * 2017-03-13 2017-08-18 中国科学院自动化研究所 压电陶瓷驱动控制系统

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH099650A (ja) * 1995-06-14 1997-01-10 Nippondenso Co Ltd 容量性負荷の駆動装置
JPH11356066A (ja) * 1998-06-03 1999-12-24 Nikon Corp 容量性負荷の駆動装置
JP2005109665A (ja) 2003-09-29 2005-04-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 負荷駆動装置
JP2007224837A (ja) 2006-02-24 2007-09-06 Konica Minolta Holdings Inc マイクロポンプの駆動回路、マイクロポンプアレイの駆動回路、マイクロポンプおよびマイクロポンプアレイ

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH099650A (ja) * 1995-06-14 1997-01-10 Nippondenso Co Ltd 容量性負荷の駆動装置
JPH11356066A (ja) * 1998-06-03 1999-12-24 Nikon Corp 容量性負荷の駆動装置
JP2005109665A (ja) 2003-09-29 2005-04-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 負荷駆動装置
JP2007224837A (ja) 2006-02-24 2007-09-06 Konica Minolta Holdings Inc マイクロポンプの駆動回路、マイクロポンプアレイの駆動回路、マイクロポンプおよびマイクロポンプアレイ

Also Published As

Publication number Publication date
KR20140080801A (ko) 2014-07-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7737767B2 (en) Control circuit and control method for charge pump circuit
US7098633B1 (en) Boost converter with series switch
US10192594B2 (en) Semiconductor device
TWI769160B (zh) 用以軟啟動大功率電荷泵的方法、電路，及電子系統
US8183844B2 (en) Switching power source
JP5749551B2 (ja) チャージポンプ型の昇圧システム及び半導体チップ
KR101579838B1 (ko) 안정화된 구동전압을 이용하는 장치 및 디스플레이 시스템
JP2005278378A (ja) チャージポンプ回路
US6366116B1 (en) Programmable driving circuit
US7902910B2 (en) Boosted voltage generator for increasing boosting efficiency according to load and display apparatus including the same
JP2007159233A (ja) 電源回路
JP2010130781A (ja) チャージポンプ回路及びこれを備える半導体記憶装置
US9531259B2 (en) Power supply circuit
US7288993B2 (en) Small signal amplifier with large signal output boost stage
WO2006085632A1 (ja) 電源回路、及び携帯機器
CN114679055B (zh) 开关电源电路及终端设备
EP1876600A1 (en) Control integrated circuit of a charge pump
US9013169B2 (en) Soft-start time control circuit
KR101452317B1 (ko) 압전 소자 구동 장치 및 방법, 그리고 그를 이용하는 약액 도포 장치
JP4908175B2 (ja) チャージポンプ回路の制御回路、方法、およびそれらを用いたチャージポンプ回路ならびに電子機器
JP2006204020A (ja) 電源装置および電子装置
CN101783589A (zh) Dc/dc转换器电路
KR20090047782A (ko) 플라즈마 디스플레이 패널
JP2000262042A (ja) 駆動回路およびそれを用いたチャージポンプ昇圧回路
US8004347B2 (en) Internal supply voltage generator capable of reducing latch-up and semiconductor device having the same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181011

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191001

Year of fee payment: 6