KR101447970B1 - 혈당측정용 센서 스트립과 그 제조방법 및 이를 이용하는 모니터링 장치 - Google Patents

혈당측정용 센서 스트립과 그 제조방법 및 이를 이용하는 모니터링 장치 Download PDF

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Abstract

혈당측정용 센서 스트립, 그 제조방법, 및 이를 이용하는 모니터링 장치가 개시된다. 본 발명의 일측면에 따른 센서 스트립 제조방법은 제1 기판에 전극을 형성하여 제1 구조층을 형성하는 단계; 제2 기판에 챔버형 인서트를 형성하는 단계; 제2 기판 위에 몰딩재료를 도포하는 단계; 몰딩재료를 경화시키는 단계; 경화된 몰딩재료로부터 제2 기판 및 챔버형 인서트를 제거하여 일측에 챔버가 형성되어 있는 제2 구조층을 형성하는 단계; 챔버에 대응하는 위치에 반응물질을 도포하는 단계; 및 챔버 내에 반응물질이 위치하도록 제1 구조층과 제2 구조층을 결합시키는 단계를 포함하며, 혈액이 충진되는 챔버의 체적을 높은 정밀도로 제작하여 혈당측정의 신뢰도를 증가시킬 수 있다.

Description

혈당측정용 센서 스트립과 그 제조방법 및 이를 이용하는 모니터링 장치 {SENSOR STRIP FOR BLOOD GLUCOSE MONITORING, METHOD OF MANUFACTURING THE SENSOR STRIP, AND MONITORING DEVICE USING THE SAME}
본 발명은 혈당측정용 센서 스트립에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 혈당측정의 정밀도를 증가시킬 수 있는 센서 스트립과 그 제조방법 및 이를 이용하는 모니터링 장치에 관한 것이다.
당뇨병은 인체가 인슐린을 충분히 생산하지 못하거나 인슐린에 대해 올바로 반응하지 못하게 되는 질환이다. 인슐린은 췌장에서 생산하는 호르몬으로서 세포들이 당(glucose)을 에너지로 변환할 수 있게 하는데, 당뇨병 환자의 경우 당이 혈액에 축적되어 안구, 신장, 심장, 순환계 등의 조직에 악영향을 미칠 수 있다.
당뇨병에 효과적으로 대처하기 위해 당뇨병 환자는 수시로 자신의 혈당 농도를 측정하여 어느 정도의 인슐린을 복용해야 할지 확인할 필요가 있다. 이를 위해 현재 다양한 기업에서 다양한 방법을 이용한 자가혈당측정기가 생산되고 있다.
자가혈당측정기의 대표적인 방식은 소량의 혈액을 채취하여 포도당 산화 효소와 반응시킨 후 전기화학적 분석을 이용하여 혈당을 측정하는 방식이다. 이 경우, 혈당측정기는 센서 스트립과 계측기로 구성될 수 있다.
센서 스트립은 혈액이 충진되는 챔버와 바닥면에 효소가 도포된 전극을 포함하는데, 센서 스트립의 챔버에 혈액을 충진시킨 후 이를 계측기에 연결시키면, 상기 효소와 혈당의 상호작용으로 인해 발생되는 전류를 계측기가 측정하여 혈당 농도를 계산할 수 있다.
삼성서울병원의 조사 결과에 따르면 국내 시판중인 자가혈당측정기의 정밀도는 5% 내외이고, 정확도는 30~50%의 편차를 보인다. 특히, 혈당이 낮거나 검체량이 적을 경우 편차가 더욱 크게 나타난다.
그러나 현재 전기화학 분석법을 위한 센서 스트립의 경우, 제조되는 센서 스트립마다 혈액이 충진되는 챔버의 크기가 일정하지 않아 검체량이 센서 스트립마다 달라지는 문제점이 있다. 또한, 대량생산을 위해 종이 등의 재료가 사용되는데, 이러한 재료는 상대적으로 낮은 평활도, 흡수성 등의 특성으로 의해 센서 스트립에서의 검체량의 균일도를 저하시킬 수 있다.
한편, 자가혈당측정기의 센서 스트립은 사용할 때마다 센서 스트립의 챔버에 혈액을 충진시켜야 한다. 따라서 센서 스트립의 챔버를 작게 형성하되 정밀도를 유지시킴으로써 보다 적은 양의 혈액으로 혈당 측정을 수행할 수 있다면, 사용자가 혈액을 채취하기 위해 피부를 찌를 때 그 침습 크기를 작게 할 수 있고, 이에 따른 고통을 경감시킬 수 있을 것이다.
본 발명의 일측면은 혈액이 충진되는 챔버의 체적을 높은 정밀도로 제작하여 혈당측정의 신뢰도를 증가시킬 수 있는 센서 스트립과 그 제조방법 및 모니터링 장치를 제공하려는 것이다.
또한, 본 발명의 일측면은 보다 적은 양의 혈액을 사용하는 센서 스트립과 그 제조방법 및 모니터링 장치를 제공하려는 것이다.
본 발명의 일측면에 따르면, 제1 기판에 전극을 형성하여 제1 구조층을 형성하는 단계; 제2 기판에 챔버형 인서트를 형성하는 단계; 제2 기판 위에 몰딩재료를 도포하는 단계; 몰딩재료를 경화시키는 단계; 경화된 몰딩재료로부터 제2 기판 및 챔버형 인서트를 제거하여 일측에 챔버가 형성되어 있는 제2 구조층을 형성하는 단계; 챔버에 대응하는 위치에 반응물질을 도포하는 단계; 및 챔버 내에 반응물질이 위치하도록 제1 구조층과 제2 구조층을 결합시키는 단계를 포함하는 혈당측정용 센서 스트립 제조방법이 제공된다.
챔버형 인서트를 형성하는 단계는, 제2 기판에 포토레지스트를 형성하는 단계; 챔버형 인서트의 형상이 패터닝되어 있는 마스크를 포토레지스트 상에 배치하는 단계; 포토레지스트에 광을 조사하는 단계; 마스크를 제거하는 단계; 및 포토레지스트를 현상하는 단계를 포함할 수 있다.
제1 구조층을 형성하는 단계는, 전극의 형상이 패터닝되어 있는 마스크를 제1 기판 상에 배치하는 단계; 제1 기판에 전극재료를 증착시키는 단계; 및 마스크를 제거하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 제1 구조층을 형성하는 단계는, 제1 기판의 일면에 전극재료를 증착시키는 단계; 전극의 형상이 패터닝되어 있는 마스크를 전극재료 상에 배치하는 단계; 마스크를 통해 노출된 상기 전극재료를 식각하는 단계; 및 마스크를 제거하는 단계를 포함할 수도 있다.
상기 제1 구조층을 형성하는 단계, 챔버형 인서트를 형성하는 단계, 몰딩재료를 도포하는 단계, 제2 구조층을 형성하는 단계, 반응물질을 도포하는 단계, 및 제1 구조층과 제2 구조층을 결합시키는 단계 중 적어도 하나는 MEMS(micro-electro-mechanical systems) 공정에 의해 수행될 수 있다.
본 발명의 일실시예에서, 혈당 측정을 위한 센서 스트립 제조방법은, 몰딩재료를 도포하는 단계 이전에, 챔버형 인서트 상에 적어도 하나의 전극을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. 이 경우, 챔버형 인서트 상에 형성되는 전극은 챔버에 충진되는 혈액에 의해 제1 기판에 형성된 전극과 전기적으로 연결될 수 있다.
몰딩재료는 예를 들어 PDMS(polydimethylsiloxane)을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 일면에 전극이 형성되는 제1 구조층; 표면에 챔버가 형성되어 있으며 챔버가 형성된 표면이 제1 구조층의 일면과 대향하도록 제1 구조층에 결합되는 제2 구조층; 및 챔버에 대응하는 위치에 도포된 반응물질을 포함하는 혈당측정용 센서 스트립이 제공된다.
제2 구조층은 몰딩재료의 성형에 의해 일체형으로 형성될 수 있다. 여기서, 몰딩재료는 PDMS(polydimethylsiloxane)을 포함할 수 있다.
제1 구조층 및 제2 구조층 중 적어도 하나는 MEMS(micro-electro-mechanical systems) 공정에 의해 제조될 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 센서 스트립 및 계측기를 포함하는 혈당 모니터링 장치가 제공되는데, 센서 스트립은 일측에서 타측으로 전극이 연장되며 상기 일측에 혈액을 수용하도록 구성되고, 계측기는 전극과 접촉하는 터미널을 구비하며 전극과 터미널 간의 접촉에 의해 획득되는 회로에서 전류 및 전압 중 적어도 하나를 계측하도록 구성된다. 여기서, 센서 스트립은 일면에 전극이 형성되는 제1 구조층; 표면에 챔버가 형성되어 있으며 챔버가 형성된 표면이 제1 구조층의 일면과 대향하도록 제1 구조층에 결합되는 제2 구조층; 및 챔버에 대응하는 위치에 도포된 반응물질을 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 혈액이 충진되는 챔버의 체적을 높은 정밀도로 제작하여 혈당측정의 신뢰도를 증가시킬 수 있다.
또한, MEMS 공정을 사용하여 챔버의 부피를 감소시킴으로써 혈당 측정에 사용되는 혈액의 양을 감소시킬 수 있다. 이로 인해 사용자는 혈액을 채취하기 위해 피부를 찌를 때 그 침습 크기를 작게 할 수 있고, 이에 따른 고통을 경감시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 혈당측정용 센서 스트립을 나타내는 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 도 1에 도시된 혈당측정용 센서 스트립의 제1 구조층을 나타내는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 혈당측정용 센서 스트립을 제조하는 과정을 나타내는 개념도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 혈당측정용 센서 스트립을 제조하는 방법을 나타내는 순서도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 혈당측정용 센서 스트립을 나타내는 분해 사시도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 이하에서, 본 발명에 따른 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 혈당측정용 센서 스트립을 나타내는 분해 사시도이고, 도 2는 본 발명의 도 1에 도시된 혈당측정용 센서 스트립의 제1 구조층을 나타내는 평면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 혈당측정용 센서 스트립(100)은 크게 제1 구조층(110), 제2 구조층(120) 및 반응물질(130)을 포함한다.
제1 구조층(110)은 제1 기판(112)의 일면에 형성된 전극(116)을 포함할 수 있고, 제2 구조층(120)은 제1 구조층(110)을 향하는 표면에 형성된 챔버(123)를 포함할 수 있다. 반응물질(130)은 챔버(123)에 대응하는 위치에 추가되는데, 제1 구조층(110)에 도포될 수 있지만, 제2 구조층(120)의 챔버(123) 내에 추가하는 것도 가능하다.
반응물질(130)에는 효소와 전달물질이 포함될 수 있다. 혈당측정용 센서 스트립(100)의 챔버(123) 부분에 혈액이 충진되면, 글루코스 산화효소(glucose oxidase) 등의 효소는 혈액 내의 당 성분과 반응하면서 당 분자로부터 전자를 분리시킨다. 페리시안화 칼륨(potassium ferricyanide) 등의 전달물질은 이와 같이 분리된 전자를 전극으로 전달시킨다. 이로 인해 형성되는 전류의 변화를 측정함으로써, 투입된 혈액 중의 당 농도를 측정하는 것이 가능하다.
즉, 혈당측정용 센서 스트립(100)는 혈당 모니터링 장치(미도시)의 일부일 수 있는데, 혈당 모니터링 장치는 센서 스트립(100)과 계측기(미도시)를 포함할 수 있다. 계측기는 전극(116)과 접촉하는 터미널을 구비할 수 있으며, 센서 스트립(100)의 챔버 부위에 혈액이 충진되면, 전극(116), 터미널 및 혈액에 의해 획득되는 회로에서 전류 및 전압 중 적어도 하나를 계측하여 혈당 농도를 측정할 수 있다.
제1 구조층(110)은 제1 기판(112) 상에 형성된 전극(116)을 포함하고, 전극(116)은 계측기의 터미널에 접촉하도록 구성된 연결부(117)로 이어진다. 연결부(117)가 계측기의 터미널에 접촉하고 전극(116)이 챔버(123)에 충진된 혈액에 의해 전기적으로 연결됨에 따라 회로가 형성되어 혈액 내의 당으로부터 분리된 전자가 발생시키는 전류를 감지하는 것이 가능해진다.
본 명세서에서 제1 구조층(110)에 전극(116)이 형성된다 함은 전극(116)이 하나의 전극이 형성되는 경우뿐만 아니라 둘 이상의 전극이 형성되는 경우를 내포한다. 즉, 제1 구조층(110)에 형성되는 전극(116)에는 작용전극과 상대전극이 포함될 수 있다. 필요에 따라 기준전극 등을 형성할 수도 있다.
예를 들어, 두 개의 전극(116)이 제1 기판(112)의 양측에 형성되게 할 수 있고, 따라서 챔버(123)에 소정량의 혈액이 충진되어야만 혈액이 두 전극 모두와 전기적으로 연결되게 할 수 있다. 이러한 구성은 챔버(123)에 필요한 양의 혈액이 충진되었는지 여부를 확인하는 기능을 제공할 수 있다.
제1 구조층(110)에는 반응물질(130)이 도포될 수 있으며, 제2 구조층(120)의 챔버(123)에 대응하는 위치에 도포될 수 있다. 전술한 바와 같이 반응물질(130)을 제2 구조층(120)의 챔버(123)에 직접 도포하는 것도 가능할 것이다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 챔버(123)가 여러 개의 층의 적층에 의해 형성되는 대신, 제2 구조층(120) 자체의 표면에 형성된다. 예를 들어, 제2 구조층(120)은 챔버(123)의 형상에 상응하는 인서트를 사용하여 성형에 의해 형성할 수 있다. 여기서 인서트라 함은, 몰딩재료의 주물을 위해 원하는 형상으로 형성되며 추후에 제거되어 해당 인서터의 형상이 몰딩재료에 음각 형태로 남게 하는 물체를 의미한다.
제2 구조층(120) 자체의 표면에 챔버(123)를 형성함으로써, 여러 층의 적층에 의해 챔버(123)를 형성하는 종래 기술에 비해 챔버(123)의 형상 및 부피를 보다 높은 정밀도로 형성할 수 있게 한다.
특히, MEMS(micro-electro-mechanical systems) 공정을 사용함으로써, 챔버형 인서트(121) 즉 챔버(123)의 형성이 매우 높은 정밀도로 수행될 수 있다. 챔버(123)의 부피를 높은 정밀도로 설계 치수에 근접하게 함에 따라 혈당 측정의 정밀도 역시 매우 높아진다. 또한, MEMS 공정을 사용하여 수백 내지 수십 마이크로미터 단위의 치수로 상기 인서트를 형성하면, 챔버(123)의 부피를 보다 감소시킬 수 있고, 이는 보다 적은 양의 혈액으로 혈당측정을 수행할 수 있다는 장점을 제공한다.
이하 도 3을 참조하여 제1 구조층(110) 및 제2 구조층(120)이 제조되는 과정을 더 상세히 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 혈당측정용 센서 스트립을 제조하는 과정을 나타내는 개념도이다. 도 3의 (a) 내지 (d)는 제2 구조층(120)을 제조하는 과정을 도시하고, 도 3의 (e) 내지 (g)는 제1 구조층(110)을 제조하는 과정을 도시하며, 도 3의 (h)는 제1 구조층(110)과 제2 구조층(120)이 결합된 상태를 도시한다.
도 3의 (a)를 참조하면, 제2 기판(122)의 일면에 포토레지스트(124)를 형성할 수 있다. 이어서 도 3의 (b)에서와 같이 챔버형 인서트(121)의 형상이 패터닝되어 있는 마스크(128)를 포토레지스트(124) 위에 배치하고, 포토레지스트(124)에 광을 조사한 후, 포토레지스트(124)를 현상할 수 있다. 상기와 같이 포토레지스트(124)를 적층 및 현상하는 과정은 MEMS 공정을 사용하여 수행될 수 있다.
해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하듯이, 포지티브 타입의 포토레지스트가 사용되는 경우 마스크에서는 챔버형 인서트(121)의 형상 이외의 부분이 광을 투과시키고, 네거티브 타입의 포토레지스트가 사용되는 경우 마스크에서는 챔버형 인서트의 형상 부분이 광을 투과시킨다. 도 3의 (b)에는 네거티브 타입의 포토레지스트를 사용하는 경우가 도시되어 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
도 3의 (b)에 도시된 예에서는, 포토레지스트(124) 중 광에 노출된 부분이 경화되며, 해당 부분 이외의 나머지 부분들은 현상액에 의해 제거되어 챔버형 인서트(121)만이 남게 된다.
도 3의 (c)를 참조하면, 챔버형 인서트(121)가 형성된 제2 기판(122) 위에 몰딩재료(125)를 도포할 수 있다. 몰딩재료(125)로는 용융 상태에서 성형이 가능하고 경화 후에는 챔버(123)와 전극(116)을 보호하고 절연시킬 수 있는 재료가 사용될 수 있으며, 예를 들어 PDMS(polydimethylsiloxane)가 사용될 수 있다. 몰딩재료(125)는 용융 혹은 반용융 상태로 도포되어 챔버형 인서트(121)의 외곽에 밀접히 접하도록 할 수 있다.
다음, 몰딩재료(125)가 경화된 후 제2 기판(122)과 챔버형 인서트(121)를 제거하면, 경화된 몰딩재료(125)에는 챔버(123)가 형성되어 제2 구조층(120)을 형성할 수 있다. 물론, 대량 생산을 위해, 상대적으로 큰 크기를 갖는 하나의 기판에 다수의 챔버형 인서트(121)를 형성하고, 추후 경화된 몰딩재료(125)를 절단하여 제2 구조층(120)을 다수 개 제조할 수도 있다.
도 3의 (e) 내지 (g)는 제1 구조층(110)을 제조하는 과정을 나타낸다. 도 3의 (e)를 참조하면, 제1 기판(112)의 일면에 도전성 재료(115)를 증착시킬 수 있다. 이 과정에는 스퍼터링, PVD 등 다양한 증착 방법이 사용될 수 있음은 물론이다. 도전성 재료(115)는 높은 전도율을 가지는 금(Au)을 사용할 수 있으나 다른 금속 또는 기타 도전성 재료를 사용할 수도 있다.
도 3의 (f)를 참조하면, 전극(116)의 형상과 상응하는 형상이 패터닝되어 있는 마스크(118)를 도전성 재료(115) 위에 배치한 후, 마스크(118)를 통해 노출된 도전성 재료(115)를 식각할 수 있다. 즉, 마스크(118)는 전극(116) 이외의 부분이 노출되도록 형성되어 식각되는 부분들은 전극(116) 이외의 부분일 수 있다. 이로써 식각 공정 후에 제1 기판(112)에 남아 있는 도전성 재료(115)는 사실상 전극(116)을 이루게 된다.
물론, 제1 기판(112)에 전극(116)을 형성하는 데에는 다양한 방법이 사용될 수 있다. 예를 들어, 도 3의 (f)에 도시된 예와는 달리, 전극(116)의 형상에 대응하는 부분이 개방된 마스크(118)를 제1 기판(112) 상에 배치한 후 제1 기판(112)에 도전성 재료(115)를 증착시키면, 마스크(118)를 제거한 후 남아 있는 도전성 재료(115)가 전극(116)을 이루게 할 수 있다.
상기와 같이 제1 기판(112)에 전극(116)을 형성하여 제1 구조층(110)을 제조하는 과정은 MEMS 공정을 사용하여 수행될 수 있다.
도 3의 (g)를 참조하면, 마스크(118)를 제거한 후 챔버(123)에 대응하는 부분에 반응물질(130)을 도포할 수 있다. 전술한 바와 같이, 반응물질(130)에는 글루코스 산화효소(glucose oxidase) 등의 효소 및 페리시안화 칼륨(potassium ferricyanide) 등의 전달물질이 포함될 수 있다. 도 3에는 반응물질(130)이 제1 구조층(110)에 도포되는 예가 도시되어 있으나, 전술한 바와 같이 반응물질(130)을 제2 구조층(120)의 챔버(123) 내에 배치하는 실시예도 가능하다.
도 3의 (h)는 제1 구조층(110)과 제2 구조층(120)을 결합시켜 혈당측정용 센서 스트립(100)을 완성한 상태를 도시한다. 제1 구조층(110)과 제2 구조층(120)은 반응물질(130)이 챔버(123) 내에 위치하도록 정렬되어 결합될 수 있다.
전술한 바와 같이 MEMS 공정을 사용하여 제2 구조층(120) 자체의 표면에 챔버(123)를 형성하면, 센서 스트립(100) 각각에서 챔버(123)의 크기를 매우 높은 정밀도로 균일화할 수 있으며, 이는 결국 혈당 측정의 정밀도를 향상시키는 결과를 제공한다.
아래의 [표 1]은 본 발명의 일실시예에 따라 MEMS 공정을 사용하여 제조한 혈당측정용 센서 스트립([표 1]에 "MEMS"로 표시)의 혈당측정 성능을 기존의 제품([표 1]에 "A 제품"으로 표시)의 성능과 비교한 값을 제시하는 표이다.
A 제품
(Ipa)		 A 제품
(Ipc)		 MEMS
(Ipa)		 MEMS
(Ipc)		 A 제품
(Epa)		 A 제품
(Epc)		 MEMS
(Epa)		 MEMS
(Epc)
정규화
평균		 0.87381 0.790556 0.90509 0.87381 0.770299 0.734177 0.83025 0.83539
정규화
표준편차		 0.101534 0.143629 0.08660 0.10153 0.157252 0.170171 0.07558 0.07451
개선율(%) 14.7 29.3 51.94 56.21
상기 [표 1]에 사용된 본 발명의 일실시예에 따른 혈당측정용 센서 스트립은 MEMS 공정을 사용하여 제조되었으며, 금(Au)을 스퍼터링에 의해 1000Å의 두께로 증착시켜 전극(116)을 형성하였고, SU-8 재료를 100μm의 두께로 유리 기판에 증착하여 챔버형 인서트(121)를 형성하였으며, 그 위에 PDMS 재료를 성형하여 챔버(123)를 가지는 제2 구조층(120)을 제조하였다. [표 1]에서, Ipa는 애노딕 피크 전류(anodic peak current), Ipc는 캐소딕 피크 전류(cathodic peak current), Epa는 애노딕 피크 전위, Epc는 캐소딕 피크 전위이다.
[표 1]은 본 발명의 일실시예에 따른 혈당측정용 센서 스트립과 기존의 제품 각각 30개에 대하여 순환 전압 전류 시험 결과를 비교한 것이다. 무 차원화된 표준편차 값을 기준으로 기존 제품에 대비하여 본 발명의 일실시예에 따른 MEMS 센서 스트립의 Ipa 및 Ipc 값이 각각 14.7% 및 29.3% 개선되었으며, Epa 및 Epc 값도 각각 51.9% 및 56.2% 향상된 결과를 확인할 수 있다. 이는 초정밀 미세공정 기술에 의해 표준화된 센서 스트립 제작을 통해 센서 스트립 내의 미소챔버의 체적에 대한 균일도를 극대화시킴으로써 얻어지는 결과이며, 혈당측정의 신뢰성을 크게 개선시킬 수 있다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 혈당측정용 센서 스트립을 제조하는 방법을 나타내는 순서도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 혈당측정용 센서 스트립 제조방법은 제1 구조층을 형성하는 단계(S410)를 포함할 수 있다. 이 과정에는 제1 기판(112)에 전극(115)을 형성하는 단계(S415)가 포함될 수 있다.
제1 구조층을 형성하는 단계(S410)는 MEMS 공정을 이용하여 수행될 수 있다. 예를 들어, 제1 구조층을 형성하는 단계(S410)는 전극(116)에 상응하는 형상이 패터닝되어 있는 마스크(118)를 제1 기판(112) 상에 배치하는 단계, 제1 기판(112)에 도전성 재료(115)를 증착시키는 단계, 그리고 마스크(118)를 제거하는 단계를 포함할 수 있다. 물론, 이 경우 마스크(118)에는 상기 전극(116)의 형상이 개방된 형태로 패터닝되어 있을 것이다.
대안적으로는, 제1 기판(112)의 일면에 도전성 재료(115)를 증착시키는 단계, 전극(116)에 상응하는 형상이 패터닝되어 있는 마스크(118)를 도전성 재료(115) 상에 배치하는 단계, 도전성 재료(115) 중 마스크(118)를 통해 노출된 부분을 식각하는 단계, 그리고 마스크(118)를 제거하는 단계를 포함할 수 있다. 물론, 이 경우 마스크(118)에는 상기 전극(116)의 형상 이외의 부분이 개방된 형태로 패터닝되어 있을 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 혈당측정용 센서 스트립 제조방법은 또한 제2 구조층을 형성하는 단계(S420)를 포함할 수 있다. 여기에는 제2 기판(122)에 챔버형 인서트(121)를 형성하는 단계(S422), 챔버형 인서트(121)가 형성된 제2 기판(122) 위에 몰딩재료(125)를 도포하는 단계(S424), 몰딩재료(125)를 경화시키는 단계(S426) 및 제2 기판(122)과 몰딩재료(125)를 제거하는 단계(S428)가 포함될 수 있다. 제2 구조층을 형성하는 단계(S420)는 MEMS 공정을 이용하여 수행될 수 있다.
전술한 바와 같이, 제2 기판에 챔버형 인서트(121)를 형성하는 단계(S422)는 제2 기판(122)에 포토레지스트(124)를 형성하고, 포토레지스트(124) 위에 마스크(128)를 배치하고, 광을 조사한 후 포토레지스트(124)를 현상하는 단계들을 포함할 수 있다. 포지티브 타입의 포토레지스트가 사용되는 경우 마스크는 챔버형 인서트(121)의 형상 이외의 부분이 광을 투과시키고, 네거티브 타입의 포토레지스트가 사용되는 경우 마스크는 챔버형 인서트의 형상 부분이 광을 투과시킬 것이다.
챔버형 인서트(121) 상으로 PDMS(polydimethylsiloxane) 등의 몰딩재료(125)를 도포하면, 몰딩재료(125)는 챔버형 인서트(121)를 따라 성형될 수 있다. 몰딩재료(125)가 경화한 후 제2 기판(122)과 몰딩재료(125)를 제거하면 제2 구조층(120)이 완성된다.
본 발명의 일실시예에 따른 혈당측정용 센서 스트립 제조방법은 또한 챔버에 대응하는 위치에 반응물질(130)을 도포하는 단계(S430)를 포함할 수 있다. 이 과정은 제1 구조층(110)을 형성하는 단계(S410)가 완료된 후 제1 구조층(110)에서 챔버(123)에 대응하는 위치에 반응물질(130)을 도포함으로써 수행될 수도 있고, 제2 구조층(120)을 형성하는 단계(S420)가 완료된 후 챔버(123) 내에 반응물질(130)을 도포함으로써 수행될 수도 있다.
제1 구조층(110)과 제2 구조층(120)이 완성된 후, 이들을 서로 결합시키는 단계(S440)가 포함될 수 있다. 대량 생산을 위해, 제1 구조층(110) 및 제2 구조층(120)은 다수의 센서 스트립을 위한 구조가 하나의 부재에 형성될 수 있고, 제1 구조층(110)과 제2 구조층(120)을 결합시키는 단계(S440) 이후에 이들을 개별 센서 스트립으로 절단할 수 있다. 물론, 제1 구조층(110) 및 제2 구조층(120)를 제조함에 있어서 다수의 센서 스트립을 위한 구조를 하나의 부재에 형성하고, 제1 구조층(110)와 제2 구조층(120)를 결합시키기 전에 이들을 개개의 부품으로 절단한 후 각각의 제1 구조층(110)와 제2 구조층(120)를 개별적으로 결합시키는 것도 가능하다.
전술한 혈당측정용 센서 스트립 제조방법은 MEMS 공정을 이용하며 제2 구조층(120) 자체의 표면에 챔버(123)를 형성하므로 제조에 있어 챔버(123)의 치수에 대한 오차를 현저히 감소시킬 수 있다. 챔버(123)를 설계된 치수로 정밀하게 제조하는 것은, 앞서 [표 1]을 참조하여 설명한 바와 같이, 해당 센서 스트립(100)의 사용시 혈당 측정의 정밀도를 크게 향상시킬 수 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 혈당측정용 센서 스트립을 나타내는 분해 사시도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 혈당측정용 센서 스트립(100)은 크게 제1 구조층(110), 제2 구조층(120) 및 반응물질(130)을 포함하되, 제1 구조층(110)이 전극(116)을 포함하는 것에 더하여 제 2 구조층(120)도 전극(126)을 포함할 수 있다.
MEMS 공정을 이용하여 센서 스트립(100)을 제조하는 경우, 센서 스트립(100) 자체의 크기를 상당히 소형화할 수 있는데, 다수의 전극을 형성하는 경우 전극들을 모두 제1 구조층(110)에 형성하기에 공간이 부족할 수 있으므로, 전극들 중 일부는 제2 구조층(120)에 형성하는 것이다. 예를 들어, 혈당 측정에 주로 사용되는 작용전극은 제1 구조층(110)에 형성할 수 있고, 상대전극 및 기준전극 중 하나 이상은 제2 구조층(120)에 형성할 수 있다.
이 경우, 제2 구조층(120)의 제조시 제2 기판(122)에 챔버형 인서트(121)를 형성한 후, 몰딩재료(125)를 도포하기 전에 챔버형 인서트 상에 적어도 하나의 전극(126)을 형성할 수 있다. 제2 구조층(120)의 전극(126)을 형성한 후 용융 또는 반용융 상태의 몰딩재료(125)를 도포할 수 있으며, 전극(126)이 몰딩재료(125) 내에 위치하되 그 일부는 챔버(123)의 일면에 노출되게 할 수 있다. 이에 따라 몰딩재료(125)가 경화하면, 챔버(123)에 충진되는 혈액은 제1 구조층(110)의 전극(116)과 제2 구조층(120)의 전극(126)을 전기적으로 연결하여 회로를 형성하는 구조가 완성될 것이다.
제2 구조층(120)의 전극(126)에도 연결부(127)를 형성할 수 있는데, 센서 스트립(100)이 장착되는 계측기(미도시)는 제1 구조층(110)의 전극(116)의 연결부(117)와 제2 구조층(120)의 전극(126)의 연결부(127) 모두에 접촉하도록 구성될 수 있다. 보다 용이한 접촉을 위해 제2 구조층(120)의 연결부(127) 부위의 일부에는 몰딩재료(125)를 도포하지 않도록 할 수 있다.
상기 설명한 본 발명의 일부 예시적 실시예에 따르면, MEMS 공정을 사용하여 챔버(123)의 체적을 높은 정밀도로 제작할 수 있으며, 이에 따라 혈당측정의 신뢰도를 크게 증가시킬 수 있다. 또한, MEMS 공정을 사용하여 챔버(123)의 부피를 감소시키고 센서 스트립(100) 전체의 크기를 감소시킬 수 있으며, 따라서 혈당 측정에 사용되는 혈액의 양을 감소시킬 수 있다. 이로 인해 사용자는 혈액을 채취하기 위해 피부를 찌를 때 그 침습 크기를 작게 할 수 있고, 한 번 찌른 후 얻어지는 혈액의 양이 너무 적어 다시 찔러야 하는 경우를 방지할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
110: 제1 구조층 112: 제1 기판
115: 전극재료 116: 전극
117: 연결부 118: 패터닝 마스크
120: 제2 구조층 121: 챔버형 인서트
122: 제2 기판 123: 챔버
125: 몰딩재료 126: 전극
130: 반응물질

Claims (13)

  1. 혈당 측정을 위한 센서 스트립을 제조하는 방법으로서,
    제1 기판에 전극을 형성하여 제1 구조층을 형성하는 단계;
    제2 기판에 챔버형 인서트를 형성하는 단계;
    상기 제2 기판 위에 몰딩재료를 도포하는 단계;
    상기 몰딩재료를 경화시키는 단계;
    상기 경화된 몰딩재료로부터 상기 제2 기판 및 상기 챔버형 인서트를 제거하여 일측에 챔버가 형성되어 있는 제2 구조층을 형성하는 단계;
    상기 챔버에 대응하는 위치에 반응물질을 도포하는 단계; 및
    상기 챔버 내에 상기 반응물질이 위치하도록 상기 제1 구조층과 상기 제2 구조층을 결합시키는 단계를 포함하는 혈당측정용 센서 스트립 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 챔버형 인서트를 형성하는 단계는,
    상기 제2 기판에 포토레지스트를 형성하는 단계;
    상기 챔버형 인서트의 형상이 패터닝되어 있는 마스크를 상기 포토레지스트 상에 배치하는 단계;
    상기 포토레지스트에 광을 조사하는 단계;
    상기 마스크를 제거하는 단계; 및
    상기 포토레지스트를 현상하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 혈당측정용 센서 스트립 제조방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 구조층을 형성하는 단계는,
    상기 전극의 형상이 패터닝되어 있는 마스크를 상기 제1 기판 상에 배치하는 단계;
    상기 제1 기판에 도전성 재료를 증착시키는 단계; 및
    상기 마스크를 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 혈당측정용 센서 스트립 제조방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 구조층을 형성하는 단계는,
    상기 제1 기판의 일면에 도전성 재료를 증착시키는 단계;
    상기 전극의 형상이 패터닝되어 있는 마스크를 상기 도전성 재료 상에 배치하는 단계;
    상기 마스크를 통해 노출된 상기 도전성 재료를 식각하는 단계; 및
    상기 마스크를 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 혈당측정용 센서 스트립 제조방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 구조층을 형성하는 단계, 상기 챔버형 인서트를 형성하는 단계, 상기 몰딩재료를 도포하는 단계, 상기 제2 구조층을 형성하는 단계, 상기 반응물질을 도포하는 단계, 및 상기 제1 구조층과 상기 제2 구조층을 결합시키는 단계 중 적어도 하나는 MEMS(micro-electro-mechanical systems) 공정에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 혈당측정용 센서 스트립 제조방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 몰딩재료를 도포하는 단계 이전에,
    상기 챔버형 인서트 상에 적어도 하나의 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 혈당측정용 센서 스트립 제조방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 챔버형 인서트 상에 형성되는 전극은 상기 챔버에 충진되는 혈액에 의해 상기 제1 기판에 형성된 전극과 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 혈당측정용 센서 스트립 제조방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 몰딩재료는 PDMS(polydimethylsiloxane)을 포함하는 것을 특징으로 하는 혈당측정용 센서 스트립 제조방법.
  9. 혈당 측정을 위한 센서 스트립으로서,
    일면에 전극이 형성되는 제1 구조층;
    표면에 챔버가 형성되어 있으며, 상기 챔버가 형성된 표면이 상기 제1 구조층의 상기 일면과 대향하도록 상기 제1 구조층에 결합되는 제2 구조층; 및
    상기 챔버에 대응하는 위치에 도포된 반응물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 혈당측정용 센서 스트립.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제2 구조층은 몰딩재료의 성형에 의해 일체형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 혈당측정용 센서 스트립.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 몰딩재료는 PDMS(polydimethylsiloxane)을 포함하는 것을 특징으로 하는 혈당측정용 센서 스트립.
  12. 제 9 항에 있어서,
    상기 제1 구조층 및 상기 제2 구조층 중 적어도 하나는 MEMS(micro-electro-mechanical systems) 공정에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 혈당측정용 센서 스트립.
  13. 혈당 측정을 위한 모니터링 장치로서,
    일측에서 타측으로 전극이 연장되며 상기 일측에 혈액을 수용하도록 구성된 센서 스트립; 및
    상기 전극과 접촉하는 터미널을 구비하며 상기 전극과 상기 터미널 간의 접촉에 의해 획득되는 회로에서 전류 및 전압 중 적어도 하나를 계측하도록 구성된 계측기를 포함하되,
    상기 센서 스트립은,
    일면에 전극이 형성되는 제1 구조층;
    표면에 챔버가 형성되어 있으며, 상기 챔버가 형성된 표면이 상기 제1 구조층의 상기 일면과 대향하도록 상기 제1 구조층에 결합되는 제2 구조층; 및
    상기 챔버에 대응하는 위치에 도포된 반응물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 혈당 모니터링 장치.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190073084A (ko) 2017-12-18 2019-06-26 아이오틴 주식회사 나노구조를 활용한 혈당센서용 니들어레이 및 무통 혈당센서, 이의 제조방법
WO2019164111A1 (ko) * 2018-02-22 2019-08-29 동우 화인켐 주식회사 글루코스 센서
WO2019212159A1 (ko) * 2018-04-30 2019-11-07 동우 화인켐 주식회사 글루코스 센서
KR20220163804A (ko) 2021-06-03 2022-12-12 (주)다빛센스 바이오 센서 스트립, 측정기 및 그 제어방법

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003513279A (ja) 1999-11-04 2003-04-08 セラセンス、インク． 小体積生体外分析物センサおよび関連する方法
KR100730355B1 (ko) 2006-02-27 2007-06-19 한국표준과학연구원 비효소 센서 시스템을 갖는 전기삼투제어에 의한마이크로유동 시스템
WO2012091728A1 (en) 2010-12-31 2012-07-05 Lifescan, Inc. Systems and methods for high accuracy analyte measurement

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101022837B1 (ko) * 2009-08-13 2011-03-18 에스디 바이오센서 주식회사 센서 특성을 저항으로 나타내는 센서 스트립 및 이를 이용한 오토코딩방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003513279A (ja) 1999-11-04 2003-04-08 セラセンス、インク． 小体積生体外分析物センサおよび関連する方法
KR100730355B1 (ko) 2006-02-27 2007-06-19 한국표준과학연구원 비효소 센서 시스템을 갖는 전기삼투제어에 의한마이크로유동 시스템
WO2012091728A1 (en) 2010-12-31 2012-07-05 Lifescan, Inc. Systems and methods for high accuracy analyte measurement

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190073084A (ko) 2017-12-18 2019-06-26 아이오틴 주식회사 나노구조를 활용한 혈당센서용 니들어레이 및 무통 혈당센서, 이의 제조방법
WO2019164111A1 (ko) * 2018-02-22 2019-08-29 동우 화인켐 주식회사 글루코스 센서
WO2019212159A1 (ko) * 2018-04-30 2019-11-07 동우 화인켐 주식회사 글루코스 센서
KR20220163804A (ko) 2021-06-03 2022-12-12 (주)다빛센스 바이오 센서 스트립, 측정기 및 그 제어방법

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