KR101441109B1 - common path movement distance measuring apparatus using laser interferometry - Google Patents

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KR101441109B1 KR1020130026565A KR20130026565A KR101441109B1 KR 101441109 B1 KR101441109 B1 KR 101441109B1 KR 1020130026565 A KR1020130026565 A KR 1020130026565A KR 20130026565 A KR20130026565 A KR 20130026565A KR 101441109 B1 KR101441109 B1 KR 101441109B1
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Abstract

The present invention relates to a common path distance measuring device using laser interferometry includes a measuring unit measuring moved distance of lasers using laser interferometry between a reference laser and a regression laser by splitting the lasers; a laser irradiating unit irradiating a measurement target by the laser oscillated from the measuring unit and then reflecting and regressing the radiated lasers; and a driving unit changing the position for irradiating laser of the laser irradiating unit.

Description

레이저 간섭을 이용한 공통 경로 거리 측정 장치{common path movement distance measuring apparatus using laser interferometry}[0001] The present invention relates to a common path distance measuring apparatus using laser interferometry,

본 발명은 레이저 간섭을 이용한 공통 경로 거리 측정 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 광섬유 및 광통신용 소자들을 이용해 물체에 조사하는 측정레이저와 물체에서 반사되는 회귀레이저의 경로를 공유하고(common-path), 측정대상물과의 이동거리는 기준레이저와 회귀레이저의 경로차이로 인한 레이저 간섭효과를 이용한 이동거리 측정 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a common path distance measuring apparatus using laser interference, and more particularly, to a common path distance measuring apparatus using laser interferences, and more particularly, to a common path distance measuring apparatus using optical interferometers, And a moving distance measuring device using the laser interference effect due to the path difference between the reference laser and the return laser.

통상적으로 레이저를 이용한 거리측정장치는 표적을 향해 레이저를 발사한 뒤 반사되어 되돌아오는 레이저를 검출하여 정확한 거리를 측정하는 장비를 말하며, 레이저를 발생하는 장치(Transmitter)와 표적에서 반사되어 되돌아온 레이저를 감지하는 광검출기(detector), 그리고 시간계산을 위한 계수기(counter) 등으로 구성되었다. 거리측정은 측정기의 조준선과 레이저 광축을 일치시키고 지향성이 우수한 레이저를 발사한 뒤, 이 레이저가 표적으로부터 반사되어 돌아온 시간을 측정하여 거리를 계산하는 방식으로 진행되는 것이 일반적이다.Typically, a distance measuring device using a laser is a device that measures a precise distance by emitting a laser toward a target and then detecting a reflected laser back to the target. The distance measuring device includes a transmitter generating a laser, A photodetector to detect the light, and a counter to count the time. Distance measurement is generally performed by aligning the line of sight of the measuring instrument with the laser optical axis, firing a laser with good directionality, and then calculating the distance by measuring the time that the laser returns from the target.

이러한 이유로, 장거리 물체를 측정하는데 프리즘 모드가 사용된다. 또한, 상대적으로 큰 빔 확산을 갖는 레이저 빔은 콜리메이터를 이용하여 높은 정확도를 갖는 측정을 할 수 있게 된다.For this reason, a prism mode is used to measure a long distance object. In addition, a laser beam having a relatively large beam spread can be measured with high accuracy using a collimator.

프리즘 모드는 재귀반사 프리즘(corner cube prism)을 사용하는 경우, 송신된 레이저가 재귀반사 프리즘에 의해 에너지의 손실없이 송신된 방향으로 되돌아오는 원리를 이용하여 비교적 원거리를 측정하도록 하는 방식으로서 비교적 강한 파워를 가진 레이저를 사용하지 않더라도 거리측정이 가능하다.In prism mode, when a corner cube prism is used, a method in which a transmitted laser is measured by a retroreflective prism at a relatively long distance using a principle of returning to a transmitted direction without loss of energy, Distance measurement is possible even without using a laser with.

그러나, 프리즘 거리 측정 장치와 비프리즘 거리 측정 장치를 별도로 구비한 장거리용 거리 측정 장치를 사용하는 것은 매우 비경제적이다. 이러한 관점에서 하나의 거리 측정 장치에 프리즘과 비프리즘을 사용하여 거리를 측정하는 거리 측정 장치가 개발되었다.However, it is very uneconomical to use a long distance measuring device having a prism distance measuring device and a non-prism distance measuring device separately. From this point of view, a distance measuring device has been developed which measures the distance by using a prism and a non-prism in one distance measuring device.

예를 들어, 미국특허 제7,196,776호에서 제시하고 있는 거리 측정 광학 장치는 롬보이드 프리즘을 사용하여 광경로를 전환하여 측정 거리에 따라 프리즘 모드와 비프리즘 모드로 선택가능하게 구성되어 있도록 하였다.For example, the distance measuring optical device disclosed in U.S. Patent No. 7,196,776 is configured to be able to select a prism mode and a non-prism mode according to a measurement distance by switching a light path using a romboid prism.

그러나, 이러한 거리 측정 광학 장치는 구조가 복잡하고 별도의 광경로 전환 수단이 필요한 문제점을 가지고 있다. 즉, 미국특허 제7,196,776호의 제1도에 도시된 바와 같이, 광 경로 전환 수단은 투영 광축에 정렬되어 있는 제1광로, 제2광로을 선택가능하게 한다.However, such a distance measuring optical apparatus has a complicated structure and requires a separate optical path switching means. That is, as shown in FIG. 1 of U.S. Patent No. 7,196,776, the optical path switching means makes it possible to select the first optical path and the second optical path which are aligned with the projection optical axis.

광 경로 전환 수단, 예를 들면 롬보이드 프리즘은 회전 가능하게 되어 있어, 제1광로가 선택되는 경우, 레이저 광원로부터 마름모 프리즘에서 2회 반사되고, 광축과 평행한 상태로 상기 투영 광축에 일치시킨다.When the first optical path is selected, the optical path switching means, for example, a ROMBOID prism, is rotated. The first optical path is reflected twice from the rhombic prism from the laser light source and aligned with the projection optical axis in parallel with the optical axis.

제2광로를 선택할 경우, 레이저 광원으로부터 방출된 빛은 마름모 프리즘을 벗어나서 제2콜리메이트렌즈, 광파이버, 제3콜리메이트렌즈를 통과하여 마스크를 통과하여 광축로 빛이 출사된다.When the second optical path is selected, the light emitted from the laser light source passes through the second collimator lens, the optical fiber, and the third collimator lens out of the rhombo prism, passes through the mask, and is emitted to the optical axis.

한편, 종래의 거리 측정 광학 장치는 프리즘 방식을 이용할 장비를 고가로 제작하여야 하며 초단거리 측정을 알 수 없는 단점이 있다.On the other hand, the conventional distance measuring optical apparatus has a disadvantage in that it is expensive to manufacture an apparatus that uses a prism method, and it can not be known an extremely short distance measurement.

본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래의 특성을 개선하기 위하여 제안된 것으로서, 광섬유 및 광통신용 소자들을 이용해 물체에 조사하는 측정레이저와 물체에서 반사되는 회귀레이저의 경로를 공유하고(common-path) 측정대상물과의 이동거리를 기준레이저와 회귀레이저의 경로차이에 의한 레이저 간섭효과를 이용한 이동거리 측정 장치를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method and apparatus for sharing a path of a regenerative laser reflected from an object with a measuring laser for irradiating an object using optical fibers and optical communication devices, And a moving distance measuring device using a laser interference effect based on a path difference between a reference laser and a regression laser, wherein the moving distance between the moving object and the object is measured.

본 발명은 앞서 본 목적을 달성하기 위하여 다음과 같은 구성을 가진다.The present invention has the following structure in order to achieve the above object.

본 발명의 레이저를 이용한 거리측정장치는, 레이저를 분할하여 기준레이저와 회귀레이저의 레이저 간섭을 이용해 이동 거리를 측정하게 하는 측정부; 상기 측정부로부터 발진된 레이저를 측정대상물에 조사하고 조사된 레이저를 반사 회귀시키는 레이저 조사부; 및 상기 레이저 조사부의 레이저 조사 위치를 변화시키는 구동부;를 포함하여 구성된다.A distance measuring apparatus using a laser according to the present invention comprises: a measuring unit for dividing a laser and measuring a moving distance by using a laser interference of a reference laser and a regression laser; A laser irradiating unit for irradiating a laser beam oscillated from the measuring unit to a measurement object to reflect and return the irradiated laser beam; And a driving unit for changing a laser irradiation position of the laser irradiation unit.

그리고 상기 측정부는 단일파장 레이저를 발진시키는 발진수단과, 상기 발진수단으로부터 발진된 레이저를 기준레이저와 측정레이저로 분할하는 제1커플링과, 상기 제1커플링으로부터 분할된 측정레이저를 전달받아 레이저 조사부를 통해 측정대상물에 조사하고 반사하여 상기 레이저 조사부로 회귀된 회귀레이저를 제2커플링으로 전달하는 서큘레이터와, 상기 서큘레이터로부터 전달된 회귀레이저와 상기 제1커플링에 의해 분할된 기준레이저를 같이 통과시켜서 두 레이저 간에 간섭효과를 일으키는 제2커플링과, 상기 제2커플링을 통과한 레이저 신호를 전기적 신호로 변환하는 포토 디텍터와, 상기 포토 디텍터에 의해 변환된 전기적 신호를 출력하는 오실로스코프로 이루어진다.The measuring unit may include oscillating means for oscillating a single wavelength laser, a first coupling for dividing the laser oscillated from the oscillating means into a reference laser and a measuring laser, A circulator for irradiating the object to be measured through the irradiating unit and transmitting the return laser returned to the laser irradiating unit to a second coupling, a return laser transmitted from the circulator, and a reference laser A second photodetector for converting the laser signal having passed through the second coupling to an electrical signal, and an oscilloscope for outputting an electrical signal converted by the photodetector .

또한 상기 구동부는 베이스와, 상기 베이스 상부에 위치되어 상기 베이스에 대해 수평 방향 동작하는 제1수평이동수단과, 상기 제1수평이동수단의 상부에 위치되어 상기 제1수평이동수단에 대해 직교한 방향으로 수평 동작하는 제2수평이동수단과, 상기 제2수평이동수단 일측에 구비되어 수직 방향 동작하는 수직이동수단과, 상기 수직이동수단 일측에 레이저 조사부가 구비되도록 하는 브라켓과, 상기 수직이동수단의 상부에 위치되어 수직이동수단의 조작레버의 회전량을 측정하는 각도측정수단으로 이루어진다.The driving unit includes a base, a first horizontal moving unit positioned above the base and operating in a horizontal direction with respect to the base, and a second horizontal moving unit positioned on the upper portion of the first horizontal moving unit, A vertical moving means provided at one side of the second horizontal moving means and operating in a vertical direction, a bracket having a laser irradiating portion at one side of the vertical moving means, And an angle measuring means for measuring an amount of rotation of the operating lever of the vertical moving means.

그리고 상기 제1커플링은 상기 발전수단으로부터 발진된 레이저를 1:99의 비율로 분할하여 전달할 수도 있으며, 상기 제2커플링은 상기 제1커플링으로부터 분할된 레이저와 상기 서큘레이터를 통과한 반사 레이저를 3:7의 비율로 통과시켜 포토 디텍터로 전달할 수도 있다.The first coupling may divide and deliver the laser oscillated from the power generation means at a ratio of 1:99, and the second coupling may include a laser split from the first coupling and a reflection through the circulator The laser may be passed through the photodetector at a ratio of 3: 7.

또한 상기 발진수단으로부터 발진되는 레이저는 1550㎚의 단파장을 이용할 수 있다.Further, the laser oscillated from the oscillation means can use a short wavelength of 1550 nm.

그리고 상기 구동부는 각각의 이동수단에 구성된 조작레버의 1회전당 이동 간격은 250㎛를 이용할 수도 있다.The driving unit may use a movement distance of 250 占 퐉 per rotation of the operation lever provided in each moving means.

한편 레이저를 이용한 거리측정장치는, 광섬유에 의해 상호 연결된다.On the other hand, distance measuring devices using laser are interconnected by optical fibers.

본 발명에 따르면, 광섬유 및 광통신용 소자들을 이용해 레이저 간섭효과를 이용해서 이동거리를 측정할 수 있게 함으로써 제작 단가를 절감할 수 있게 하는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to measure the moving distance by using the laser interference effect using the optical fiber and the optical communication devices, thereby reducing the production cost.

또한 본 발명에 따르면, 레이저를 물체에 조사하는 조사부와 물체에서 반사되어 다시 돌아오는 회귀부를 같은 경로로 구성할 수 있어서 조사부와 회귀부의 위치가 다름으로 인한 오차를 근본적으로 개선할 수 있는 효과가 있다.Further, according to the present invention, it is possible to constitute the irradiating part for irradiating the laser to the object and the regressing part which is reflected by the object and returning again, by the same route, thereby making it possible to fundamentally improve the error due to the different positions of the irradiating part and the regulating part .

도 1은 본 발명의 레이저를 이용한 이동거리측정장치를 나타내는 개략도.
도 2는 도 1에 도시된 측정부를 나타내는 블록도.
도 3은 본 발명의 레이저를 이용한 이동거리측정장치를 나타내는 블록도.
도 4는 본 발명의 레이저를 이용한 이동거리측정장치에 의해 측정된 측정값을 나타내는 그래프.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic view showing a moving distance measuring apparatus using a laser according to the present invention; FIG.
2 is a block diagram showing the measuring unit shown in Fig.
3 is a block diagram showing a moving distance measuring apparatus using a laser according to the present invention.
4 is a graph showing measured values measured by a moving distance measuring apparatus using a laser according to the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 첨부된 도면을 참고하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시 예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예들은 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments of the present invention can be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below. The embodiments are provided to explain the present invention to a person having ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Accordingly, the shape of each element shown in the drawings may be exaggerated to emphasize a clearer description.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.The terms first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by terms. Terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprises" or "having" and the like are used to specify that there is a feature, a number, a step, an operation, an element, a component or a combination thereof described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 레이저를 이용한 이동거리측정장치(100)는, 측정부(110), 구동부(120) 및 레이저 조사부(130)를 포함하여 구성되어 있다.1 to 3, the moving distance measuring apparatus 100 using a laser according to the present invention includes a measuring unit 110, a driving unit 120, and a laser irradiating unit 130.

상기 측정부(110)는 단일파장 레이저를 발진시키는 발진수단(111)과, 상기 발진수단(111)으로부터 발진된 레이저를 분할하는 제1커플링(112)과, 상기 제1커플링(112)으로부터 분할된 측정레이저(1)를 전달받아 상기 레이저 조사부(130)로 전달하고 상기 레이저 조사부(130)에서 회귀된 회귀레이저(3)를 제2커플링(114)으로 전달하는 서큘레이터(113)와, 상기 서큘레이터(113)로부터 전달된 회귀레이저(3)와 상기 제1커플링(112)에 의해 분할된 기준레이저(2)를 같이 통과시켜 레이저 간섭을 일으키는 제2커플링(114)과, 상기 제2커플링(114)을 통과한 레이저 간섭된 레이저 신호를 전기적 신호로 변환하는 포토 디텍터(115)와, 상기 포토 디텍터(115)에 의해 변환된 전기적 신호를 출력하는 오실로스코프(116)로 이루어져 있다.The measuring unit 110 includes an oscillating unit 111 for oscillating a single wavelength laser, a first coupling 112 for dividing the laser oscillated from the oscillating unit 111, A circulator 113 for transferring the measurement laser 1 divided from the laser irradiation unit 130 to the laser irradiation unit 130 and transmitting the regression laser 3 returned from the laser irradiation unit 130 to the second coupling 114, A second coupling 114 for passing the regenerative laser 3 transmitted from the circulator 113 and the reference laser 2 split by the first coupling 112 together to cause laser interference; A photodetector 115 for converting a laser interfered laser signal having passed through the second coupling 114 into an electrical signal and an oscilloscope 116 for outputting an electrical signal converted by the photodetector 115 consist of.

즉, 상기 측정부(110)는 단일파장의 레이저를 발진시킨 후 제1커플링을 이용해 기준레이저(2)와 측정레이저(1)로 분할하고 기준레이저(2)는 제2커플링으로 전달하고 측정레이저(1)는 서큘레이터를 경유하여 레이저 조사부로 전달하고, 다시 조사부를 통해서 물체에서 반사된 레이저인 회귀레이저(3)를 서큘레이터를 이용해 제2커플링 측으로 전달하여 제1커플링에서 전달된 기준레이저(2)와 레이저 간섭을 일으킨 신호를 포토 디텍터로 하여금 전기적 신호로 변화시키고 이 신호를 측정함으로 측정대상물(T)과의 이동거리를 측정할 수 있게 하는 것이다.That is, the measuring unit 110 oscillates a single-wavelength laser, splits the reference laser 2 and the measuring laser 1 using a first coupling, transfers the reference laser 2 to a second coupling The measurement laser 1 transmits the laser light to the laser irradiation unit via the circulator and transmits the return laser 3, which is a laser reflected from the object through the irradiation unit, to the second coupling side using a circulator, And the distance between the reference laser 2 and the measurement object T can be measured by changing the signal causing the laser interference with the reference laser 2 to an electrical signal by the photodetector and measuring the signal.

상기 구동부(120)는 지면 또는 바닥에 고정되는 베이스(121)와, 상기 베이스(121) 상부에 위치되어 조작레버(122a)를 이용해 상기 베이스(121)에 대해 수평 방향 동작하는 제1수평이동수단(122)과, 상기 제1수평이동수단(122)의 상부에 위치되어 조작레버(123a)를 이용해 상기 제1수평이동수단(122)에 대해 직교한 방향으로 수평 동작하는 제2수평이동수단(123)과, 상기 제2수평이동수단(123) 일측에 구비되어 조작레버(124a)를 이용해 상기 제2수평이동수단(123)에 대해 수직 방향 동작하는 수직이동수단(124)과, 상기 수직이동수단(124) 일측에 레이저 조사부(130)가 구비되도록 하는 브라켓(125)과, 상기 수직이동수단(124)의 상부에 위치되어 수직이동수단(124)의 조작레버(124a)의 회전량을 측정하는 각도측정수단(126)으로 이루어져 있다.The driving unit 120 includes a base 121 fixed to the ground or a floor and a first horizontal moving unit 122 disposed above the base 121 and operating horizontally with respect to the base 121 using an operation lever 122a. A second horizontal moving means (122) positioned above the first horizontal moving means (122) and horizontally moving in a direction orthogonal to the first horizontal moving means (122) using an operation lever (123a) Vertical moving means 124 provided at one side of the second horizontal moving means 123 and operating in a direction perpendicular to the second horizontal moving means 123 using an operation lever 124a, A bracket 125 for providing a laser irradiating unit 130 at one side of the means 124 and a rotating mechanism 124 for measuring the amount of rotation of the operating lever 124a of the vertical moving means 124 located above the vertical moving means 124 And an angle measuring means 126 for measuring the angle.

즉, 상기 구동부(120)는 제1수평이동수단(122)과 제2수평이동수단(123)을 이용해 레이저 조사부의 수평 방향(X,Y) 위치를 조절하여 측정대상물의 위치를 정확히 어레인할 수 있게 하고 있고, 상기 수직이동수단(124)는 조작레버(124a)를 이용해 수직 방향(Z)으로 브라켓을 이동시켜 상기 브라켓의 수직 이동 방향에 따른 조작레버의 회전량을 상시 각도측정수단(126)을 이용해 측정하고 회전량에 따른 레이저 조사부와 측정대상물 간의 사이 거리를 표시하게 하여 이동 거리를 확인할 수 있도록 하기 위한 구성이다.That is, the driving unit 120 adjusts the horizontal (X, Y) position of the laser irradiation unit using the first horizontal movement unit 122 and the second horizontal movement unit 123 to precisely align the position of the measurement object And the vertical movement means 124 moves the bracket in the vertical direction Z by using the operation lever 124a so that the rotation amount of the operation lever in accordance with the vertical movement direction of the bracket is measured by the normal angle measurement means 126 ) And displays the distance between the laser irradiation part and the measurement object according to the amount of rotation, so that the movement distance can be confirmed.

상기 레이저 조사부(130)는 상기 측정부(110)로부터 발진된 측정레이저(1)를 측정대상물(T)에 조사하고 조사된 측정레이저(1)가 측정대상물로부터 반사되면 반사된 회귀레이저(3)를 회수하여 상기 측정부(110)의 서큘레이터(113) 측으로 전달하는 수단으로 통상 콜리미터(collimetor) 이용한다. 즉, 상기 레이저 조사부(130)는 동일한 경로를 통해 레이저 조사와 회귀가 일어나기 때문에 조사 위치와 회귀 위치에 따른 오차를 없앨 수 있어 측정 오차를 줄일 수 있다.The laser irradiation unit 130 irradiates the measurement object 1 with the measurement laser 1 oscillated from the measurement unit 110 and outputs the reflected laser 3 reflected when the measured measurement laser 1 is reflected from the measurement object. A collimator is usually used as a means for collecting and delivering the measurement result to the circulator 113 side of the measurement unit 110. That is, since the laser irradiation unit 130 performs laser irradiation and regression through the same path, it is possible to eliminate the error according to the irradiation position and the return position, thereby reducing the measurement error.

한편 본 발명에서 이용되는 상기 제1커플링(112)은 상기 발전수단(111)으로부터 발진된 레이저(a)를 1:99의 비율로 기준레이저(2)와 측정레이저(1)로 분할하며, 상기 제2커플링(114)은 상기 제1커플링(112)으로부터 분할된 기준레이저(2)와 상기 서큘레이터(113)를 통과한 회귀레이저(3)를 3:7의 비율로 통과시켜 포터 디텍터(115)로 전달하며, 상기 발진수단(111)으로부터 발진되는 레이저는 1550㎚의 단파장이며, 상기 구동부(120)는 각각의 이동수단에 구성된 조작레버들(122a, 123a, 124a)의 1회전당 이동 간격은 250㎛이고, 상기 수직이동수단(124)에 구비된 각도측정수단(126)은 상기 조작레버(124a)의 회전 각도를 1/16로 분할하여 분할된 각도를 측정할 수 있도록 구성되어 있다.The first coupling 112 used in the present invention divides the laser a emitted from the power generation means 111 into a reference laser 2 and a measurement laser 1 at a ratio of 1:99, The second coupling 114 passes the reference laser 2 divided from the first coupling 112 and the return laser 3 passing through the circulator 113 at a ratio of 3: And the laser oscillated from the oscillating means 111 has a short wavelength of 1550 nm and the driving unit 120 transmits the laser light to the operating levers 122a, And the angle measuring means 126 provided in the vertical moving means 124 divides the angle of rotation of the operating lever 124a by 1/16 so as to measure the divided angles .

즉, 상기 수직이동수단(124)의 조작레버(124a)를 1/16 회전시키면 15.625 만큼 회전하게 되고 이를 각도측정수단을 통해 표시할 수 있게 하며, 회전량만큼 수직이동수단이 상승 또는 하강하여 측정대상물과의 이동거리를 멀게 하거나 가깝게 하고 이를 통해 물체에서 반사되어 다시 조사부로 들어오는 회귀레이저(3)와 기준레이저(2) 사이의 레이저 간섭에 의한 파장신호를 측정함으로 이동거리를 측정할 수 있게 하는 것이다.That is, when the operation lever 124a of the vertical movement means 124 is rotated 1/16, it is rotated by 15.625, which can be displayed through the angle measurement means, and the vertical movement means is raised or lowered by the rotation amount It is possible to measure the moving distance by measuring the wavelength signal due to the laser interference between the return laser 3 and the reference laser 2, which is moved away from or closer to the object, will be.

이때 레이저의 이동, 전달 등에 이용되는 라인은 광섬유에 의해 상호 연결되게 하는 것이 바람직하다. 이는 광섬유를 이용해 레이저의 이동간 손실을 최소화할 수 있게 하기 위함이다.At this time, it is preferable that the lines used for movement, transmission, etc. of the laser are interconnected by optical fibers. This is to minimize the loss of the laser using the optical fiber.

또한 상기 각각의 구성들은 통신용으로 이용되는 장비를 이용하여 구축하는 것이 바람직하다. 이를 통해 종래의 프리즘 방식에 의해 제작되는 장비의 가격을 절감할 수 있게 된다.In addition, it is preferable to construct each of the above-described configurations using equipment used for communication. Accordingly, it is possible to reduce the cost of equipment manufactured by the conventional prism method.

여기서 상술한 본 발명의 구성들은 레이저의 파장, 제1커플링, 제2커플링에 의한 레이저 분할 및 구동부에 의한 분할비는 하나의 예로서 설명한 것이며, 측정대상물의 표면 반사율에 따라 다양한 단일 파장 레이저와 이에 따른 제1커플링 및 제2커플링의 분할, 구동부의 분할 비등은 다양하게 변경될 수 있다.
The configurations of the present invention described above are described as an example of the wavelength of the laser, the laser coupling by the first coupling and the second coupling, and the splitting ratio by the driving unit. The division of the first coupling and the second coupling, and the division boiling of the driving unit can be variously changed.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 동작상태를 설명한다.Hereinafter, an operation state of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

우선 거리측정장치(100)를 균일한 바닥을 갖는 지면에 유동되지 않도록 고정시킨 후 같은 방식으로 측정대상물(T)을 설치한다. 이때 상기 측정대상물의 표면에는 레이저의 파장을 교란시키지 않을 반사물을 부착하는 것이 바람직하다.First, the distance measuring apparatus 100 is fixed so as not to flow on a ground having a uniform floor, and then the measurement object T is installed in the same manner. At this time, it is preferable to attach a reflection on the surface of the measurement object so as not to disturb the wavelength of the laser.

이 상태에서 상기 측정부(110)의 발진수단(111)을 동작시켜 레이저가 발진하도록 한 후 발진된 레이저(a)는 제1커플링(112)을 통과하며 1:99의 비율로 기준레이저(2)와 측정레이저(1)로 분할한다. 이때 측정레이저(1)은 레이저가 물체에 조사되고 회귀되는 동안에 레이저 빛의 강도가 현저하게 낮아지기 때문 발진 레이저(a)의 99%가 되도록 하였으나 이는 물체의 반사율에 따라 달리해야 한다.In this state, the oscillating means 111 of the measuring unit 110 is operated to cause the laser to oscillate. Then, the oscillated laser a passes through the first coupling 112 and is incident on the reference laser 2 and the measuring laser 1, respectively. At this time, the measurement laser 1 is made to be 99% of the oscillation laser (a) because the intensity of the laser light is remarkably decreased while the laser is irradiated and returned to the object, but it must be changed according to the reflectance of the object.

이 후 분할된 기준레이저(2)는 제2커플링(114)측으로 전달되고, 측정레이저(1)는 서큘레이터(113)를 통과하여 상기 레이저 조사부(130) 측으로 전달된다. 상기 레이저 조사부(130)는 상기 전달된 레이저를 상기 측정대상물(T) 표면에 조사하게 되고, 조사된 레이저는 측정대상물의 표면에 반사되어 레이저 조사부(130) 측으로 회귀하게 된다.Thereafter, the divided reference laser 2 is transmitted to the second coupling 114 side, and the measurement laser 1 passes through the circulator 113 and is transmitted to the laser irradiation unit 130 side. The laser irradiation unit 130 irradiates the transferred laser to the surface of the measurement object T and the irradiated laser is reflected on the surface of the measurement object and returns to the laser irradiation unit 130 side.

이때 상기 레이저 조사부(130)는 레이저 조사와 회귀를 병행할 수 있도록 콜리메이터(collimeter)를 이용하는 것이 바람직하다. 이는 하나의 위치에서 레이저 조사와 회귀를 동일 경로함으로 편차진 경로에 의한 오차를 없앨 수 있어서 측정 오차를 줄일 수 있다.At this time, the laser irradiator 130 preferably uses a collimator so that laser irradiation and regression can be performed in parallel. This can eliminate the error due to the deviated path by using the same path for laser irradiation and regression at one position, thereby reducing the measurement error.

다음으로 상기 레이저 조사부(130)를 통해 회귀된 회귀레이저(3)는 서큘레이터(113) 측으로 전달되어 상기 서큘레이터(113)에 의해 제2커플링(114) 측으로 전달시킨다. 여기서 상기 서큘레이터(113)는 통상 입력되는 신호를 통과시키고 회수되는 신호를 입력 신호의 다른 방향으로 전달하기 위한 구성이다.Next, the regression laser 3 returned through the laser irradiation unit 130 is transmitted to the circulator 113 and is transmitted to the second coupling 114 side by the circulator 113. The circulator 113 is configured to pass a normally input signal and transmit the recovered signal to another direction of the input signal.

다음으로 상기 제2커플링(114)으로 전달된 회귀레이저(3)는 상기 제1커플링(112)에서 분할된 기준레이저(2)와 제2커플링을 통과하면서 기준레이저(2)와 회귀레이저(3) 사이에 광 경로 차이에 의한 레이저 간섭현상이 발생하고 간섭현상이 발생된 레이저는 포토 디텍터(115)로 전달된다.The regression laser 3 delivered to the second coupling 114 is then passed through the reference coupling 2 and the second coupling in the first coupling 112 to the reference laser 2, A laser interference phenomenon due to a light path difference occurs between the laser 3 and a laser having an interference phenomenon is transmitted to the photodetector 115.

상기 포터 디텍터(115)로 전달된 레이저는 포토 디텍터 내에서 레이저 신호를 전기적 신호를 변환되고, 변환된 전기적 신호를 오실로스코프(116)로 전달하여 표시하게 된다.The laser transmitted to the porter detector 115 is converted into an electrical signal in the photodetector, and the converted electrical signal is transmitted to the oscilloscope 116 to be displayed.

즉, 상기 제2커플링(114)을 통해 최초 발진된 기준레이저(2)와 반사되어 회귀된 회귀레이저(3) 사이에 레이저 간섭된 레이저를 전기적 신호를 변환함으로써 이동거리에 의한 광 경로 차이의 간섭을 확인하게 된다. 이때 앞서 설명한 바와 같이 레이저 조사부의 출사광과 입사광이 같은 경로를 이용하기 때문에 출사광과 입사광의 차이에 의한 오차를 제거할 수 있게 된다.That is, by converting the electrical signal between the laser 1 and the laser 3 interposed between the reference laser 2 and the return laser 3, which are initially oscillated through the second coupling 114, the optical path difference Interference is confirmed. At this time, since the outgoing light and the incident light of the laser irradiating unit use the same path as described above, an error due to the difference between the outgoing light and the incident light can be eliminated.

이러한 신호의 변화 값은 도 4에 도시된 그래프에서와 같이 확인할 수 있으며, 그래프에서 박스 내의 그래프의 최저점은 두 레이저 빛의 경로가 반 파장만큼 다름을 나타낸다. 마찬가지로 최대점은 두 레이저 빛의 경로차이가 레이저 파장과 같음을 나타낸다. 따라서 이 최저점(혹은 최대점)의 개수와 레이저의 파장의 1/2의 곱이 측정 대상물의 이동거리가 된다. 이 파장을 분석하면 정확한 이동거리를 측정할 수 있게 된다.The change value of such a signal can be confirmed as shown in the graph shown in FIG. 4, and the lowest point of the graph in the graph indicates that the paths of the two laser lights are different by half a wavelength. Similarly, the maximum point indicates that the path difference between the two laser lights is equal to the laser wavelength. Therefore, the product of the number of the lowest point (or the maximum point) and the wavelength of the laser is the moving distance of the measurement object. By analyzing this wavelength, the accurate travel distance can be measured.

이 상태에서 상기 수직이동수단(124)의 조작레버(124a)를 이용해 상기 수직이동수단(124)에 구비된 브라켓(125)을 상승 또는 하강시켜 상기 측정대상물(T)과의 거리를 조절하여 조절된 거리를 각도측정수단(126)에 표시되게 한다.In this state, by using the operation lever 124a of the vertical movement means 124, the bracket 125 provided on the vertical movement means 124 is moved up or down to adjust the distance to the measurement object T So that the measured distance is displayed on the angle measuring means 126.

상기 수직이동수단(124)의 조작레버(124a)를 통해 측정대상물과 레이저 조사부의 간격은 상기 조작레버(124a) 측에 구비된 각도측정수단(126)에 조작레버(124a)의 회전 각도를 조작하여 조절할 수 있게 된다.The distance between the measurement object and the laser irradiation unit through the operation lever 124a of the vertical movement unit 124 is set such that the angle of rotation of the operation lever 124a is controlled by the angle measurement unit 126 provided on the operation lever 124a side .

특히 상기 브라켓이 수직이동수단의 조작레버에 의해 이동하는 거리는 기준레이저(2)와 회귀레이저(3)의 경로 차이로 인한 레이저 간섭효과로 도 4와 같이 나타난다. 도 4를 분석하면 나노미터의 정밀도로 이동거리를 측정할 수 있다.Particularly, the distance that the bracket moves by the operation lever of the vertical movement means appears as shown in FIG. 4 due to the laser interference effect due to the path difference between the reference laser 2 and the return laser 3. By analyzing Figure 4, the moving distance can be measured with a nanometer accuracy.

앞에서도 설명하였지만 상기 동작 상태에서 설명된 레이저의 파장과 제1커플링과 제2커플링에서의 레이저 분할에 대해 한정하여 설명하였지만 상기 레이저는 단파장 때의 레이저라면 어떠한 것도 사용 가능하며, 이에 따라 제1,2커플링을 통한 분할 비율은 다양하게 변경하여 실시할 수 있다. 또한 오실로스코프는 다양한 자료획득장치로 변경하여 실시할 수 있다.As described above, the wavelength of the laser and the laser splitting in the first coupling and the second coupling explained in the above-described operation state have been described. However, any laser can be used as long as the laser is of a short wavelength, The split ratio through 1,2 coupling can be varied. In addition, the oscilloscope can be changed to various data acquisition devices.

이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 통해 설명하였으나, 이는 본 발명의 기술적 내용에 대한 이해를 돕고자 하는 것일 뿐 발명의 기술적 범위를 이에 한정하고자 함이 아니다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments.

즉, 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 않고도 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 다양한 변형이나 개조가 가능함은 물론이고, 그와 같은 변경이나 개조는 청구범위의 해석상 본 발명의 기술적 범위 내에 있음은 말할 나위가 없다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. There is no doubt that it is within.

100 : 거리측정장치 110 : 측정부
111 : 발진수단 112 : 제1커플링
113 : 서큘레이터 114 : 제2커플링
115 : 포토 디텍터 116 : 오실로스코프
120 : 구동부 121 : 베이스
122 : 제1수평이동수단 123 : 제2수평이동수단
124 : 수직이동수단 130 : 레이저 조사부100: distance measuring device 110: measuring part
111: oscillating means 112: first coupling
113: circulator 114: second coupling
115: Photo detector 116: Oscilloscope
120: driving part 121: base
122: first horizontal moving means 123: second horizontal moving means
124: vertical moving means 130: laser irradiation unit

Claims (8)

레이저를 분할하여 기준레이저와 회귀레이저의 레이저 간섭을 이용해 이동 거리를 측정하게 하는 측정부;
상기 측정부로부터 발진된 레이저를 측정대상물에 조사하고 조사된 레이저를 반사 회귀시키는 레이저 조사부; 및
상기 레이저 조사부의 레이저 조사 위치를 변화시키는 구동부;를 포함하며,
상기 측정부는 단일파장 레이저를 발진시키는 발진수단과, 상기 발진수단으로부터 발진된 레이저를 기준레이저와 측정레이저로 분할하는 제1커플링과, 상기 제1커플링으로부터 분할된 측정레이저를 전달받아 레이저 조사부를 통해 측정대상물에 조사하고 반사하여 상기 레이저 조사부로 회귀된 회귀레이저를 제2커플링으로 전달하는 서큘레이터와, 상기 서큘레이터로부터 전달된 회귀레이저와 상기 제1커플링에 의해 분할된 기준레이저를 같이 통과시켜서 두 레이저 간에 간섭효과를 일으키는 제2커플링과, 상기 제2커플링을 통과한 레이저 신호를 전기적 신호로 변환하는 포토 디텍터와, 상기 포토 디텍터에 의해 변환된 전기적 신호를 출력하는 오실로스코프로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저 간섭을 이용한 공통 경로 거리 측정 장치.A measuring unit for dividing the laser and measuring the moving distance by using the laser interference of the reference laser and the return laser;
A laser irradiating unit for irradiating a laser beam oscillated from the measuring unit to a measurement object to reflect and return the irradiated laser beam; And
And a driving unit for changing a laser irradiation position of the laser irradiation unit,
Wherein the measuring unit includes oscillating means for oscillating a single wavelength laser, a first coupling for dividing the laser oscillated from the oscillating means into a reference laser and a measuring laser, A circulator for delivering a regression laser returned to the laser irradiation unit to a second coupling by irradiating and reflecting the light onto the object to be measured through the first coupling and the reference laser split by the first coupling, A second photodetector for converting the laser signal passed through the second coupling to an electrical signal, and an oscilloscope for outputting an electrical signal converted by the photodetector Wherein the common path distance measuring unit measures the distance of the common path from the laser beam. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 구동부는 베이스와, 상기 베이스 상부에 위치되어 상기 베이스에 대해 수평 방향 동작하는 제1수평이동수단과, 상기 제1수평이동수단의 상부에 위치되어 상기 제1수평이동수단에 대해 직교한 방향으로 수평 동작하는 제2수평이동수단과, 상기 제2수평이동수단 일측에 구비되어 수직 방향 동작하는 수직이동수단과, 상기 수직이동수단 일측에 레이저 조사부가 구비되도록 하는 브라켓과, 상기 수직이동수단의 상부에 위치되어 수직이동수단의 조작레버의 회전량을 측정하는 각도측정수단으로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저 간섭을 이용한 공통 경로 거리 측정 장치.The method according to claim 1,
The driving unit includes a base, a first horizontal moving unit positioned above the base and operating in a horizontal direction with respect to the base, and a second horizontal moving unit disposed in an upper portion of the first horizontal moving unit and in a direction orthogonal to the first horizontal moving unit A vertical moving means provided on one side of the second horizontal moving means for vertically moving; a bracket for providing a laser irradiating means on one side of the vertical moving means; And an angle measurement means for measuring an amount of rotation of the operation lever of the vertical movement means. 제1항에 있어서,
상기 제1커플링은 상기 발진수단으로부터 발진된 레이저를 1:99의 비율로 분할하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭을 이용한 공통 경로 거리 측정 장치.The method according to claim 1,
Wherein the first coupling divides the laser oscillated from the oscillation means at a ratio of 1:99. 제1항에 있어서,
상기 제2커플링은 상기 제1커플링으로부터 분할된 레이저와 상기 서큘레이터를 통과한 회귀 레이저를 3:7의 비율로 통과시켜 포토 디텍터로 전달하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭을 이용한 공통 경로 거리 측정 장치.The method according to claim 1,
Wherein the second coupling passes a laser split from the first coupling and a return laser passing through the circulator at a ratio of 3: 7 to the photodetector. Device. 제1항에 있어서,
상기 발진수단으로부터 발진되는 레이저는 1550㎚의 단파장인 것을 특징으로 하는 레이저 간섭을 이용한 공통 경로 거리 측정 장치.The method according to claim 1,
Wherein the laser oscillated from the oscillation means has a short wavelength of 1550 nm. 제3항에 있어서,
상기 구동부는 각각의 이동수단에 구성된 조작레버의 1회전당 이동 간격은 250㎛인 것을 특징으로 하는 레이저 간섭을 이용한 공통 경로 거리 측정 장치.The method of claim 3,
Wherein the driving unit has a movement distance per rotation of the operating lever formed in each moving means is 250 mu m. 제1항, 제3항 내지 제7항 중 어느 한 항의 레이저를 이용한 거리측정장치는, 광섬유에 의해 상호 연결된 것을 특징으로 하는 레이저 간섭을 이용한 공통 경로 거리 측정 장치.The apparatus for measuring a distance using laser according to any one of claims 1 and 3, wherein the apparatus is connected to each other by an optical fiber.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010018282A (en) * 1999-08-18 2001-03-05 홍상복 A portable measuring system for width or thickness using optical sensor and retroreflector
KR20090046564A (en) * 2007-11-06 2009-05-11 한국표준과학연구원 Laser interferometric mekometer and method for measuring distance using the same
JP2009162659A (en) * 2008-01-08 2009-07-23 Hexagon Metrology Kk Three-dimensional shape measuring instrument
JP4489804B2 (en) * 2005-03-02 2010-06-23 独立行政法人科学技術振興機構 Homodyne laser interferometer probe and displacement measurement system using the same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010018282A (en) * 1999-08-18 2001-03-05 홍상복 A portable measuring system for width or thickness using optical sensor and retroreflector
JP4489804B2 (en) * 2005-03-02 2010-06-23 独立行政法人科学技術振興機構 Homodyne laser interferometer probe and displacement measurement system using the same
KR20090046564A (en) * 2007-11-06 2009-05-11 한국표준과학연구원 Laser interferometric mekometer and method for measuring distance using the same
JP2009162659A (en) * 2008-01-08 2009-07-23 Hexagon Metrology Kk Three-dimensional shape measuring instrument

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