KR101435454B1 - Apparatus for processing substrate - Google Patents

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Abstract

기판 처리 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 출입구를 개폐하는 도어의 내측도어에 복수의 제 2 히터가 설치된다. 그러므로, 도어로 출입구를 폐쇄하여 기판을 처리하면, 챔버의 모든 부위의 온도가 균일하게 되므로, 기판이 균일하게 처리되는 효과가 있다.A substrate processing apparatus is disclosed. In the substrate processing apparatus according to the present invention, a plurality of second heaters are provided on an inner door of a door that opens and closes an entrance. Therefore, when the substrate is processed by closing the door with the door, the temperature of all the portions of the chamber becomes uniform, so that the substrate is uniformly processed.

Description

기판 처리 장치 {APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE}[0001] APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE [0002]

본 발명은 기판을 균일하게 처리할 수 있는 기판 처리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate processing apparatus capable of uniformly processing a substrate.

기판 처리 장치는, 평판 디스플레이의 제조시 사용되며, 증착(Vapor Deposition) 장치와 어닐링(Annealing) 장치로 대별된다.The substrate processing apparatus is used for manufacturing a flat panel display, and is roughly divided into a vapor deposition apparatus and an annealing apparatus.

증착 장치는 평판 디스플레이의 핵심 구성을 이루는 투명 전도층, 절연층, 금속층 또는 실리콘층을 형성하는 장치로써, LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 또는 PECVD(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) 등과 같은 화학 기상 증착 장치와 스퍼터링(Sputtering) 등과 같은 물리 기상 증착 장치가 있다.The deposition apparatus is a device for forming a transparent conductive layer, an insulating layer, a metal layer, or a silicon layer which is a core constituent of a flat panel display, and is a chemical vapor deposition (LPCVD) or a plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) Device and a physical vapor deposition apparatus such as sputtering.

그리고, 어닐링 장치는 기판에 막을 증착한 후, 증착된 막의 특성을 향상시키는 장치로써, 증착된 막을 결정화 또는 상 변화시키기 위하여 열처리하는 장치이다.And, the annealing apparatus is an apparatus for improving the characteristics of a deposited film after depositing a film on a substrate, and heat-treating the deposited film to crystallize or phase change the film.

기판 처리 장치는 하나의 기판을 처리하는 매엽식(Single Substrate Type)과 복수의 기판을 처리하는 배치식(Batch Type)이 있다. 매엽식 기판 처리 장치는 구성이 간단한 이점이 있으나 생산성이 떨어지는 단점이 있어, 대량 생산에는 배치식 기판 처리 장치가 많이 사용된다.The substrate processing apparatus includes a single substrate type processing a single substrate and a batch type processing a plurality of substrates. Although the single wafer processing apparatus has a simple structure, it has a disadvantage that the productivity is low, and a batch type substrate processing apparatus is widely used for mass production.

일반적으로, 기판 처리 장치는 기판이 로딩되어 처리되는 공간인 챔버를 형성하는 본체를 포함한다. 상기 본체의 전면에는 기판이 출입하는 출입구가 형성되고, 상기 출입구를 개폐하는 도어가 설치된다.Generally, the substrate processing apparatus includes a body forming a chamber which is a space in which a substrate is loaded and processed. A door is formed in the front surface of the main body, and a door for opening and closing the door is provided.

그리고, 상기 챔버에는 기판을 가열하기 위한 바형상의 복수의 히터가 설치된다. 이때, 상기 히터는 상기 본체의 전후방향으로 간격을 가지면서 상기 본체의 좌우방향과 평행하게 설치됨과 동시에, 상기 본체의 전후방향과 평행하게 상기 출입구 외측의 상기 챔버에 설치된다. 그리고, 상기 본체의 좌우방향 및 전후방향과 각각 평행하는 상기 히터는 각각 상하로 간격을 가지면서 설치된다.The chamber is provided with a plurality of bar-shaped heaters for heating the substrate. At this time, the heater is installed in parallel with the left and right direction of the main body while being spaced apart in the front-rear direction of the main body, and is installed in the chamber outside the doorway in parallel with the front-rear direction of the main body. The heaters parallel to the left-right direction and the front-rear direction of the main body are installed so as to be vertically spaced, respectively.

상기와 같은 종래의 기판 처리 장치는, 그 구조상, 상기 도어가 설치된 상기 챔버의 부위에 상기 히터를 설치하기 어렵다. 이로 인해, 기판의 처리시, 상기 도어측 상기 챔버의 부위와 그 이외의 상기 챔버의 부위의 온도가 불균일하여 기판이 불균일하게 처리될 우려가 있다.In the above-described conventional substrate processing apparatus, it is difficult to install the heater on a portion of the chamber where the door is installed. Accordingly, when the substrate is processed, the temperature of the portion of the chamber on the side of the door and the other portions of the chamber are uneven, and the substrate may be unevenly processed.

기판 처리 장치와 관련한 선행기술은 한국공개특허공보 제10-2010-0008722호 등에 개시되어 있다.Prior art relating to a substrate processing apparatus is disclosed in Korean Patent Laid-Open No. 10-2010-0008722.

본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 챔버의 모든 부위의 온도가 균일할 수 있도록 구성하여, 기판을 균일하게 처리할 수 있는 기판 처리 장치를 제공함에 있다.It is an object of the present invention to provide a substrate processing apparatus which can uniformly process substrates by uniformly arranging temperatures of all the chambers of the chamber. .

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 내부에는 기판이 처리되는 공간인 챔버가 형성되고, 전면에는 상기 챔버와 연통되며 기판이 출입하는 출입구가 형성된 본체; 상기 본체의 전면에 설치되어 상기 출입구를 개폐하는 도어; 상기 챔버에 설치된 복수의 제 1 히터; 상기 도어에 설치된 복수의 제 2 히터를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate processing apparatus including: a chamber formed in a space in which a substrate is processed; a front surface communicating with the chamber, A door installed on a front surface of the main body and opening / closing the door; A plurality of first heaters installed in the chamber; And a plurality of second heaters provided on the door.

본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 출입구를 개폐하는 도어의 내측도어에 복수의 제 2 히터가 설치된다. 그러므로, 도어로 출입구를 폐쇄하여 기판을 처리하면, 챔버의 모든 부위의 온도가 균일하게 되므로, 기판이 균일하게 처리되는 효과가 있다.In the substrate processing apparatus according to the present invention, a plurality of second heaters are provided on an inner door of a door that opens and closes an entrance. Therefore, when the substrate is processed by closing the door with the door, the temperature of all the portions of the chamber becomes uniform, so that the substrate is uniformly processed.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 도어의 분리 사시도.
도 3은 도 2에 도시된 내측도어의 후면 사시도.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 내측도어의 후면 사시도.1 is a perspective view of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention;
2 is an exploded perspective view of the door shown in Fig.
3 is a rear perspective view of the inner door shown in Fig.
4 is a rear perspective view of an inner door according to another embodiment of the present invention.

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시하여 도시한 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있도록 충분히 상세하게 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 상호 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 특정 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미가 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에 도시된 실시예들의 길이, 면적, 두께 및 형태는, 편의상, 과장되어 표현될 수도 있다.DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The following detailed description of the invention refers to the accompanying drawings that illustrate specific embodiments in which the invention may be practiced. These embodiments are described in sufficient detail to enable those skilled in the art to practice the invention. It should be understood that the various embodiments of the present invention are mutually exclusive, but need not be mutually exclusive. For example, certain features, specific structures, and features described herein may be implemented in other embodiments without departing from the spirit and scope of the invention in connection with one embodiment. It is also to be understood that the position or arrangement of the individual components within each disclosed embodiment may be varied without departing from the spirit and scope of the invention. The following detailed description is, therefore, not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention is to be limited only by the appended claims, along with the full scope of equivalents to which such claims are entitled. The length, area, thickness, and shape of the embodiments shown in the drawings may be exaggerated for convenience.

본 실시예를 설명함에 있어서, 기판의 처리라 함은 기판을 가열 및 냉각하는 공정, 기판에 소정의 막을 증착하기 위한 모든 공정, 기판에 증착된 소정의 막을 어닐링, 결정화 또는 상변화 하기 위한 모든 열처리 공정 등을 포함하는 개념으로 이해되어야 한다.In describing the present embodiment, the term " substrate processing " includes a process of heating and cooling the substrate, a process of depositing a predetermined film on the substrate, a process of annealing a predetermined film deposited on the substrate, Process, and the like.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 상세히 설명한다.Hereinafter, a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 도어의 분리 사시도이다.FIG. 1 is a perspective view of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view of the door shown in FIG. 1. FIG.

도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 처리 장치는 본체(110)를 포함한다. 본체(110)는 대략 직육면체 형상으로 형성되며, 내부에는 기판(50)이 처리되는 공간인 챔버(112)가 형성된다.As shown, the substrate processing apparatus according to the present embodiment includes a main body 110. The main body 110 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape, and a chamber 112, which is a space in which the substrate 50 is processed, is formed therein.

본체(110)는 직육면체 형상뿐만 아니라 기판(50)의 형상에 따라 다양한 형상으로 형성될 수 있으며, 챔버(112)는 밀폐된 공간으로 마련된다. 그리고, 기판(50)의 재질은 특별히 제한되지 않으며 글래스, 플라스틱, 폴리머, 실리콘 웨이퍼 또는 스테인레스 스틸 등과 같은 재질로 형성될 수 있다.The body 110 may be formed in various shapes according to the shape of the substrate 50 as well as a rectangular parallelepiped shape, and the chamber 112 is provided as a closed space. The material of the substrate 50 is not particularly limited and may be formed of a material such as glass, plastic, polymer, silicon wafer, or stainless steel.

본체(110)의 전면에는 기판(50)이 출입하는 출입구(114)가 형성되고, 출입구(114)를 개폐하는 도어(120)가 설치된다. 즉, 로봇(미도시)으로 기판(50)을 지지하여, 기판(50)을 챔버(112)에 로딩하거나 챔버(112)로부터 언로딩할 때에는 도어(120)에 의하여 출입구(114)는 개방된다. 그리고, 기판(50)을 챔버(112)에 로딩하여 기판(50)을 처리할 때에는 도어(120)에 의하여 출입구(114)는 폐쇄된다. 출입구(114)가 개폐되면, 챔버(112)가 개폐됨은 당연하다.A door 120 is formed in the front surface of the main body 110 to open and close the door 114. That is, when the substrate 50 is supported by the robot (not shown) and the substrate 50 is loaded into the chamber 112 or unloaded from the chamber 112, the door 114 is opened by the door 120 . When the substrate 50 is loaded into the chamber 112 and the substrate 50 is processed, the door 114 is closed by the door 120. It is a matter of course that the chamber 112 is opened and closed when the entrance 114 is opened and closed.

도어(120)는 외측도어(121)와 내측도어(125)를 가지며, 본체(110)의 상하방향으로 승강가능함과 동시에 본체(110)의 전후방향으로 슬라이딩가능하게 설치되어, 출입구(114)를 개폐한다.The door 120 has an outer door 121 and an inner door 125. The door 120 is vertically movable in the vertical direction of the main body 110 and is slidable in the front and rear direction of the main body 110, Open and close.

상세히 설명하면, 외측도어(121)는 본체(110)의 전면에 상하로 슬라이딩가능하게 설치되고, 내측도어(125)는 외측도어(121)에 지지되어 외측도어(121)에 의하여 상하로 슬라이딩함과 동시에 외측도어(121)에 대하여 전후로 슬라이딩가능하게 설치된다.The inner door 125 is supported by the outer door 121 and slides up and down by the outer door 121. The outer door 121 is slidably mounted on the front surface of the main body 110, And is slidable forward and backward with respect to the outer door 121 at the same time.

외측도어(121)는 본체(110)에 전면 양측면에 각각 설치된 실린더 또는 모터 등과 같은 구동부(미도시)에 의하여 상하로 슬라이딩되고, 내측도어(125)는 외측도어(121)에 설치된 복수의 실린더(131)에 의하여 외측도어(121)에 대하여 전후로 슬라이딩된다.The outer door 121 is slid up and down by a driving unit (not shown) such as a cylinder or a motor provided on both sides of the front surface of the main body 110. The inner door 125 is connected to a plurality of cylinders 131 in the front and rear directions with respect to the outer door 121.

그리하여, 상기 구동부에 의하여 외측도어(121)가 상승하여 출입구(114)와 대향하면, 실린더(131)에 의하여 내측도어(125)가 본체(110)의 전면측으로 슬라이딩된다. 내측도어(125)가 복수의 실린더(131)에 의하여 본체(110)의 전면측으로 슬라이딩되면, 출입구(114)를 감싸는 형태로 본체(110)의 전면에 설치된 실링부재(116)를 압착하면서 실링부재(116)와 접촉하고, 이로 인해 챔버(112)가 실링된다.The inner door 125 is slid to the front side of the main body 110 by the cylinder 131 when the outer door 121 is raised by the driving unit and faces the entrance 114. When the inner door 125 is slid to the front side of the main body 110 by the plurality of cylinders 131, the sealing member 116 installed on the front surface of the main body 110 is compressed while enclosing the entrance 114, (116), thereby sealing the chamber (112).

출입구(114)의 좌우방향 길이는 상하방향 높이 보다 길게 형성될 수 있고, 내측도어(125)는 출입구(114)와 대응되게 형성된다.The length of the doorway 114 in the left and right direction may be longer than the height in the vertical direction and the inner door 125 is formed to correspond to the doorway 114.

상기 구동부가 위치된 본체(110)의 전면측에는 상하방향과 평행하게 안내레일(135)이 결합되어, 외측도어(121)가 안정되게 승강하도록 지지한다. 안내레일(135)에는 외측도어(121)의 소정 부위를 감지하여 외측도어(121)가 승강한 거리를 감지하는 센서(미도시)가 설치될 수 있다.A guide rail 135 is coupled to the front side of the main body 110 in which the driving unit is positioned so as to be parallel to the up and down direction to support the outer door 121 in a stable manner. The guide rail 135 may be provided with a sensor (not shown) for sensing a predetermined portion of the outer door 121 and detecting the distance the outer door 121 is moved up and down.

그리고, 내측도어(125)가 안정되게 슬라이딩할 수 있도록, 외측도어(121)에는 복수의 제 1 지지블럭(122)이 결합되고, 내측도어(125)에는 하면이 제 1 지지블럭(121)의 상면에 접촉 지지되는 제 2 지지블럭(126)이 결합된다. 내측도어(125)가 더욱 안정되게 슬라이딩할 수 있도록, 내측도어(125)에는 롤러(127)가 설치될 수 있고, 외측도어(121)에는 롤더(127)의 하측 부위가 접촉 지지되는 안치홈(123)이 형성될 수 있다.A plurality of first support blocks 122 are coupled to the outer door 121 and a lower surface of the first support block 121 is coupled to the inner door 125 so that the inner door 125 can be stably slid. And a second support block 126, which is in contact with the upper surface, is coupled. The inner door 125 may be provided with a roller 127 and the outer door 121 may be provided with an inner groove 125 in which a lower portion of the rollers 127 is contactably supported, 123 may be formed.

챔버(112)에는 기판(50)을 가열하기 위한 제 1 히터가 설치된다.The chamber 112 is provided with a first heater for heating the substrate 50.

상기 제 1 히터는 본체(110)의 전후방향으로 간격을 가짐과 동시에 본체(110)의 상하방향으로 간격을 가지며, 본체(110)의 좌우방향과 평행하게 챔버(112)에 설치된 바형상의 복수의 단축히터(141)와 본체(110)의 본체(110)의 상하방향으로 간격을 가지며, 본체(110)의 전후방향과 평행하게 출입구(114) 외측의 챔버(112)의 부위에 설치된 바형상의 복수의 장축히터(145)를 포함할 수 있다.The first heater is spaced apart in the front-rear direction of the main body 110 and spaced apart in the up-and-down direction of the main body 110, and has a plurality of bar- A bar shape provided at a portion of the chamber 112 outside the entrance 114 in parallel with the front and rear direction of the main body 110 A plurality of long axis heaters 145 may be provided.

본체(110)의 전후방향 길이는 좌우방향 폭 보다 길게 형성된다. 본체(110)의 전후방향과 평행하게 챔버(112)에 설치된 상기 제 1 히터가 장축히터(145)이고, 본체(110)의 좌후방향과 평행하게 설치된 상기 제 1 히터가 단축히터(141)이다.The longitudinal length of the main body 110 is longer than the lateral width. The first heater provided in the chamber 112 in parallel with the front and rear direction of the main body 110 is the long axis heater 145 and the first heater provided parallel to the left and right direction of the main body 110 is the short axis heater 141 .

단축히터(141)의 좌단부측 및 우단부측은 본체(110)의 좌측면 및 우측면에 각각 지지되고, 장축히터(145)의 전단부측 및 후단부측은 본체(110)의 전면 및 후면에 각각 지지된다.The left end side and the right end side of the short axis heater 141 are respectively supported on the left and right sides of the main body 110 and the front end side and the rear end side of the long axis heater 145 are respectively supported on the front and rear surfaces of the main body 110 .

챔버(112)에는 기판(50)을 탑재시켜 지지하는 지지 유닛(미도시), 기판(50)의 처리에 필요한 분위기가스를 공급하는 가스공급관(미도시), 기판(50)을 냉각시키기 위한 냉각관(미도시) 등이 설치될 있다.The chamber 112 is provided with a support unit (not shown) for supporting and supporting the substrate 50, a gas supply pipe (not shown) for supplying the atmosphere gas necessary for the processing of the substrate 50, A pipe (not shown) may be installed.

도 1의 미설명 부호 160은 본체(110)를 지지하는 프레임이고, 도 2의 미설명 부호 133은 외측도어(121)에 결합되어 실린더(131)를 지지하는 브라켓이다.Reference numeral 160 in FIG. 1 denotes a frame for supporting the main body 110, and reference numeral 133 in FIG. 2 denotes a bracket coupled to the outer door 121 to support the cylinder 131.

출입구(114)와 인접하는 챔버(112)의 부위에는 상기 제 1 히터가 설치되어 있지 않다. 그러므로, 출입구(114)와 인접하는 챔버(112)의 부위는 그 이외의 부위에 비하여 온도가 상대적으로 낮다. 그러면, 챔버(112)에 기판을 투입하여 처리할 때, 챔버(112)의 온도가 불균일함으로 인하여 기판(50)이 불균일하게 처리될 수 있다.The first heater is not installed in a portion of the chamber 112 adjacent to the entrance 114. [ Therefore, the portion of the chamber 112 adjacent to the entrance 114 is relatively lower in temperature than the other portions. Then, when the substrate is put into the chamber 112 for processing, the temperature of the chamber 112 is not uniform, and the substrate 50 can be processed unevenly.

이를 방지하기 위하여, 본 실시예에 따른 기판 처리 장치에는 출입구(114)를 개폐하는 내측도어(125)에 제 2 히터(151)를 설치한다. 제 2 히터(151)에 대하여 도 2 및 도 3을 참조하여 설명한다. 도 3은 도 2에 도시된 내측도어의 후면 사시도이다.In order to prevent this, the substrate processing apparatus according to the present embodiment is provided with a second heater 151 on the inner door 125 for opening and closing the entrance 114. The second heater 151 will be described with reference to Figs. 2 and 3. Fig. 3 is a rear perspective view of the inner door shown in Fig.

도시된 바와 같이, 제 2 히터(151)는 상하로 간격을 가지면서 본체(110)의 좌우방향과 평행을 이루며, 본체(110)에 대하여 수평으로 복수개 설치된다. 이때, 제 2 히터(151)의 좌단부측 및 우단부측은 내측도어(125)의 좌측면 및 우측면에 각각 지지된다.As shown in the figure, the second heaters 151 are parallel to the left and right direction of the main body 110 with a vertical gap therebetween, and a plurality of the second heaters 151 are installed horizontally with respect to the main body 110. At this time, the left end side and the right end side of the second heater 151 are respectively supported on the left and right sides of the inner door 125.

제 2 히터(151)의 길이가 소정 이상으로 길면, 제 2 히터(151)의 중앙부측이 자중 또는 열에 의하여 변형될 수 있다.If the length of the second heater 151 is longer than a predetermined length, the central portion side of the second heater 151 may be deformed by its own weight or heat.

이를 방지하기 위하여, 제 2 히터(153)는 중앙부측이 구획되어 가상의 동일 직선상에 위치되는 한쌍으로 형성될 수 있다. 즉, 제 2 히터(153)는 가상의 동일 직선상에 위치되어 상호 대향하는 한쌍으로 형성되고, 상하로 간격을 가지며, 본체(110)의 좌우방향과 평행을 이루면서 복수개 설치된다. 이때, 한쌍의 제 2 히터 중(153), 어느 하나의 제 2 히터(153a)의 좌단부측은 내측도어(125)의 좌측면에 지지되고, 다른 하나의 제 2 히터(153b)의 우단부측은 내측도어(125)의 우측면에 지지된다. 그리하여, 어느 하나의 제 2 히터(153a)의 우단부측과 다른 하나의 제 2 히터(153b)의 좌단부측은 상호 대향한다. 그러면, 제 2 히터(153)의 길이를 짧게 할 수 있으므로, 제 2 히터(153)가 변형되는 것을 방지할 수 있다.In order to prevent this, the second heater 153 may be formed as a pair in which the central portion side is partitioned and located on a virtual same straight line. That is, the second heaters 153 are arranged in pairs on opposite sides of the imaginary straight line, and are vertically spaced and arranged in parallel with the left and right directions of the main body 110. At this time, the left end side of one of the pair of second heaters 153, one of the second heaters 153a is supported on the left side surface of the inner door 125, and the right end side of the other one of the second heaters 153b And is supported on the right side surface of the inner door 125. Thus, the right end side of one of the second heaters 153a and the left end side of the other one of the second heaters 153b face each other. Then, since the length of the second heater 153 can be shortened, it is possible to prevent the second heater 153 from being deformed.

도 3은 내측도어(125)의 후면 사시도이고, 제 2 히터(153a, 153b)에 대한 도면 부호는 내측도어(125)를 정면에서 보았을 때를 기준으로 하여 도시하였다. 즉, 내측도어(125)를 정면에서 보았을 때, 제 2 히터(153a)의 좌단부측이 내측도어(125)의 좌측면에 지지되고, 제 2 히터(153b)의 우단부측은 내측도어(125)의 우측면에 지지된다.3 is a rear perspective view of the inner door 125 and reference numerals for the second heaters 153a and 153b are shown with reference to the front view of the inner door 125. FIG. The left end side of the second heater 153a is supported on the left side surface of the inner door 125 and the right end side of the second heater 153b is supported on the inner side surface of the inner door 125, As shown in Fig.

제 2 히터(151, 153)에서 발생되는 열이 챔버(112)로 용이하게 전달될 수 있도록, 출입구(114)와 대향하는 내측도어(125)의 면은 개방되고, 내측도어(125)의 개방된 부위에 제 2 히터(151, 153)가 설치되는 것이 바람직하다.The surface of the inner door 125 opposed to the entrance 114 is opened so that the heat generated by the second heaters 151 and 153 can be easily transferred to the chamber 112 and the opening of the inner door 125 The second heaters 151 and 153 may be provided on the second heaters 151 and 152, respectively.

본 실시예에 따른 기판 처리 장치는 출입구(114)를 개폐하는 도어(120)의 내측도어(125)에 복수의 제 2 히터(151, 153)가 설치된다. 그러므로, 기판(50)의 처리시, 챔버(112)의 모든 부위의 온도가 균일하게 되므로, 기판(50)이 균일하게 처리된다.The substrate processing apparatus according to the present embodiment is provided with a plurality of second heaters 151 and 153 on the inner door 125 of the door 120 that opens and closes the entrance 114. Therefore, in the processing of the substrate 50, the temperature of all the portions of the chamber 112 becomes uniform, so that the substrate 50 is uniformly processed.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 내측도어의 후면 사시도로써, 도 3과의 차이점만을 설명한다.4 is a rear perspective view of an inner door according to another embodiment of the present invention, and only differences from FIG. 3 will be described.

도시된 바와 같이, 출입구(114)(도 1 참조)의 좌우방향 길이는 상하방향 높이 보다 길고, 내측도어(225)는 출입구(114)와 대응되게 형성된다. 그리고, 제 2 히터(155)는 좌우로 간격을 가지면서 본체(110)(도 1 참조)의 상하방향과 평행을 이루며, 본체(110)에 대하여 수직으로 설치된다. 이때, 제 2 히터(155)의 상단부측 및 하단부측은 내측도어(225)의 상면 및 하면에 각각 지지된다.1) is longer than the up-and-down direction height, and the inner door 225 is formed to correspond to the entrance 114. As shown in FIG. The second heater 155 is parallel to the up and down direction of the main body 110 (see FIG. 1) with a space left and right, and is installed perpendicular to the main body 110. At this time, the upper end side and the lower end side of the second heater 155 are respectively supported on the upper and lower surfaces of the inner door 225.

제 2 히터(155)가 상대적으로 길이가 짧은 내측도어(225)의 상하방향으로 설치되므로, 제 2 히터(155)도 짧은 것을 사용할 수 있다. 따라서, 제 2 히터(155)가 변형되는 것이 방지된다.Since the second heater 155 is installed in the vertical direction of the relatively long inner door 225, the second heater 155 can be short. Therefore, the second heater 155 is prevented from being deformed.

상기와 같이 기술된 본 발명의 실시예들에 대한 도면은 자세한 윤곽 라인을 생략하여, 본 발명의 기술사상에 속하는 부분을 쉽게 알 수 있도록 개략적으로 도시한 것이다. 또한, 상기 실시예들은 본 발명의 기술사상을 한정하는 기준이 될 수 없으며, 본 발명의 청구범위에 포함된 기술사항을 이해하기 위한 참조적인 사항에 불과하다.The above-described embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, in which the detailed contour lines are omitted and portions belonging to the technical idea of the present invention are easily seen. It should be noted that the above-described embodiments are not intended to limit the technical spirit of the present invention, but merely as a reference for understanding the technical idea included in the claims of the present invention.

110: 본체
120: 도어
121: 외측도어
125: 내측도어
141: 단축히터
145: 장축히터
151: 제 2 히터110:
120: Door
121: Outer door
125: Inner door
141: Short heater
145: Long axis heater
151: second heater

Claims (8)

내부에는 기판이 처리되는 공간인 챔버가 형성되고, 전면에는 상기 챔버와 연통되며 기판이 출입하는 출입구가 형성된 본체;
상기 본체의 전면에 설치되어 상기 출입구를 개폐하는 도어;
상기 챔버에 설치된 복수의 제 1 히터;
상기 도어에 설치된 복수의 제 2 히터를 포함하며,
상기 도어는 상기 본체의 전면에 상하로 승강가능하게 설치된 외측도어, 상기 외측도어에 지지되어 상기 외측도어와 함께 승강함과 동시에 상기 외측도어에 대하여 전후로 슬라이딩가능하게 설치되어 상기 출입구를 개폐하는 내측도어를 가지고,
상기 외측도어에는 상기 내측도어를 슬라이딩시키는 실린더가 설치되며,
상기 제 2 히터는 상기 내측도어에 설치된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.A chamber, which is a space in which a substrate is processed, is formed in the inside of the chamber;
A door installed on a front surface of the main body and opening / closing the door;
A plurality of first heaters installed in the chamber;
And a plurality of second heaters provided on the door,
The door includes an outer door which is vertically movable up and down on a front surface of the main body, an inner door which is supported by the outer door and moves up and down together with the outer door and is slidable forward and backward relative to the outer door, Lt; / RTI &
A cylinder for sliding the inner door is installed on the outer door,
And the second heater is installed on the inner door. 제1항에 있어서,
상기 본체의 전후방향 길이는 좌우방향 폭 보다 길고,
상기 제 1 히터는 상기 본체의 전후방향으로 간격을 가짐과 동시에 상기 본체의 상하방향으로 간격을 가지며, 상기 본체의 좌우방향과 평행하게 상기 챔버에 설치된 바형상의 복수의 단축히터와 상기 본체의 상하방향으로 간격을 가지며, 상기 본체의 전후방향과 평행하게 상기 출입구 외측의 상기 챔버의 부위에 설치된 바형상의 복수의 장축히터를 가지는
것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.The method according to claim 1,
The longitudinal length of the main body is longer than the lateral width,
Wherein the first heater includes a plurality of bar-shaped short-axis heaters provided in the chamber in parallel with the left-right direction of the main body, the first heater having a gap in the front-rear direction of the main body and an interval in the vertical direction of the main body, And a plurality of bar-shaped long-axis heaters provided at a portion of the chamber outside the entrance and exit in parallel with the front-rear direction of the main body
And the substrate processing apparatus. 제2항에 있어서,
상기 제 2 히터는 바형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.3. The method of claim 2,
And the second heater is formed in a bar shape. 제3항에 있어서,상기 출입구와 대향하는 상기 내측도어의 면은 개방되고, 상기 내측도어의 개방된 부위에 상기 제 2 히터가
설치된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.The door according to claim 3, wherein a face of the inner door facing the doorway is open, and the second heater
And the substrate processing apparatus. 제4항에 있어서,
상기 외측도어에는 복수의 제 1 지지블럭이 결합되고,
상기 내측도어에는 상기 제 1 지지블럭에 각각 접촉 지지되는 복수의 제 2 지지블럭이 결합되며,
상기 제 2 지지블럭에는 상기 제 1 지지블럭에 접촉되는 롤러가 설치되고,
상기 제 1 지지블럭에는 상기 롤러가 삽입 지지되는 함몰된 안치로가 형성
된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.5. The method of claim 4,
A plurality of first support blocks are coupled to the outer door,
Wherein the inner door is coupled to a plurality of second support blocks, each of the second support blocks being in contact with the first support block,
The second support block is provided with a roller that contacts the first support block,
The first supporting block is formed with a depressed seat path in which the roller is inserted and supported
The substrate processing apparatus comprising: 제5항에 있어서,
상기 출입구의 좌우방향 길이는 상하방향 높이 보다 길고,
상기 내측도어는 상기 출입구와 대응되게 형성되며,
상기 제 2 히터는 상하로 간격을 가지면서 상기 본체의 좌우방향과 평행을 이루고,
상기 제 2 히터의 좌단부측 및 우단부측은 상기 내측도어의 좌측면 및 우측면에 각각 지지된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.6. The method of claim 5,
The length of the entrance in the lateral direction is longer than the height in the vertical direction,
The inner door is formed so as to correspond to the doorway,
Wherein the second heater is parallel to the left and right direction of the main body with an upper and lower spacing,
And the left end side and the right end side of the second heater are respectively supported on a left side surface and a right side surface of the inner door. 제5항에 있어서,
상기 출입구의 좌우방향 길이는 상하방향 높이 보다 길고,
상기 내측도어는 상기 출입구와 대응되게 형성되며,
상기 제 2 히터는 상하로 간격을 가지면서 상기 본체의 좌우방향과 평행을 이루고, 가상의 동일 직선상에 위치되어 상호 대향하는 한쌍으로 마련되며,
상기 한쌍의 제 2 히터 중, 어느 하나의 상기 제 2 히터의 좌단부측은 상기 내측도어의 좌측면에 지지되고, 다른 하나의 상기 제 2 히터의 우단부측은 상기 내측도어의 우측면에 지지된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.6. The method of claim 5,
The length of the entrance in the lateral direction is longer than the height in the vertical direction,
The inner door is formed so as to correspond to the doorway,
The second heaters are arranged in pairs so as to face each other with a space therebetween and parallel to the left and right direction of the main body,
One of the pair of second heaters is supported on the left side surface of the inner door and the other of the right sides of the second heater is supported on the right side surface of the inner door . 제5항에 있어서,
상기 출입구의 좌우방향 길이는 상하방향 높이 보다 길고,
상기 내측도어는 상기 출입구와 대응되게 형성되며,
상기 제 2 히터는 좌우로 간격을 가지면서 상기 본체의 상하방향과 평행을 이루고,
상기 제 2 히터의 상단부측 및 하단부측은 상기 내측도어의 상면 및 하면에 각각 지지된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.6. The method of claim 5,
The length of the entrance in the lateral direction is longer than the height in the vertical direction,
The inner door is formed so as to correspond to the doorway,
The second heater is parallel to the up-and-down direction of the main body,
Wherein an upper end side and a lower end side of the second heater are respectively supported on upper and lower surfaces of the inner door.
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