KR101433889B1 - Chunk Drying Apparatus - Google Patents
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Abstract
본 발명은 청크가 담겨지는 바스켓; 상기 바스켓을 회전가능하게 지지하는 회전스테이지; 청크를 건조시키는 공간을 형성하며 상기 회전스테이지가 장착되는 건조챔버; 및 상기 회전스테이지에 의해 회전하는 상기 바스켓을 향해 열풍이 공급되록 열풍을 발생시키는 열풍기; 를 포함하는 열풍을 이용한 청크의 건조장치를 제공한다.
본 발명의 열풍을 이용한 청크의 건조장치에 따르면 원심력과 열풍을 이용하여 청크에 묻은 세정액을 더욱 빠른시간에 제거할 수 있기 때문에 미건조 현상이 줄게 되며 건조효율이 현저하게 향상될 수 있는 효과가 있다The present invention relates to a basket containing a chunk; A rotating stage for rotatably supporting the basket; A drying chamber in which the rotating stage is mounted, forming a space for drying the chunks; And a hot air fan for generating hot air as hot air is supplied toward the basket rotated by the rotating stage; The present invention also provides a drying apparatus for chunks using hot wind including a hot wind.
According to the chunk drying apparatus using the hot wind of the present invention, since the cleaning liquid adhered to the chunks can be removed in a shorter time by using the centrifugal force and the hot air, the drying phenomenon can be reduced and the drying efficiency can be remarkably improved
Description
본 발명은 건조장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼를 제조하는데 사용되는 청크를 건조시킬 수 있는 청크의 건조장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a drying apparatus, and more particularly, to a drying apparatus for chunks capable of drying chunks used for manufacturing wafers.
일반적으로 태양전지 등 반도체 제조 공정에 있어 가장 중요한 재료가 되는 물질은 실리콘이다. 실리콘은 그 자체로 순수하게 존재하지 않고 이산화규소(SiO2) 형태로 존재한다. 순수한 실리콘을 얻기 위해서 전기로에 숯가루나 코크스 등을 넣어 이산화규소로부터 산소를 제거하면 98% 이상의 순도를 갖는 금속급 실리콘(metallugical silicon)을 얻을 수 있다. 하지만 2%의 불순물 때문에 태양전지 재료로 바로 사용될 수는 없다.Generally, silicon is the most important material in semiconductor manufacturing process such as solar cell. Silicon itself is not purely present but exists in the form of silicon dioxide (SiO2). In order to obtain pure silicon, charcoal, coke or the like is put into the electric furnace to remove oxygen from the silicon dioxide, so that metallurgical silicon having a purity of 98% or more can be obtained. However, it can not be used directly as a solar cell material because of 2% impurity.
이를 정제하기 위해 염산과 반응시켜 삼염화실란(Trichlorosilane, TCS)이라는 기체로 만든 다음 이를 종모양의 실리콘 막대에 증착시키는 과정을 거쳐 제대로 된 순도의 실리콘을 얻을 수가 있다.To purify it, it reacts with hydrochloric acid to make a trichlorosilane (TCS) gas, and then it is deposited on a bell-shaped silicon rod to obtain a solid purity silicon.
실리콘 웨이퍼(wafer)를 만들기 위해서 종모양의 실리콘을 잉곳(ingot)이나 브릭(brick)으로 만드는 제조 공정이 필요하다. 이를 위해 종모양의 실리콘 막대를 작은 크기(Size)의 입자로 분해하게 되며, 이렇게 분해된 실리콘 입자를 청크(Chunk)라고 한다.In order to make silicon wafers, a manufacturing process is required to make ingots or bricks of bell-shaped silicon. To do this, the bell-shaped silicon rod is broken down into small sized particles, which are called chunks.
이러한 청크를 용융시켜 잉곳이나 브릭으로 제조한 후 슬라이싱(Slicing) 과정을 거쳐 우리가 알고 있는 웨이퍼가 만들어진다.These chunks are melted to produce ingots or bricks, and then subjected to a slicing process to produce wafers known to us.
한편, 잉곳이나 브릭을 제조하기 전 단계로, 다수개의 청크가 수용된 바스켓을 세정액에 담근 후(rinse 공정), 바스켓과 청크로부터 수분을 건조시켜(dry 공정) 청크들의 불순물을 제거하는 클리닝 공정을 수행하게 된다. On the other hand, before the ingot or brick is manufactured, a cleaning process is performed in which a basket containing a plurality of chunks is immersed in a cleaning liquid (rinse process), moisture is dried from the basket and chunks (dry process), and impurities in the chunks are removed .
이때, 청크에 묻은 수분을 건조시키기 위해서 에어를 분사하여 청크로부터 수분을 건조시키는 방식이 사용된다. At this time, in order to dry moisture adhering to the chunks, air is sprayed to dry moisture from the chunks.
그런데 종래 청크의 수분 건조 방식은 건조가 잘 이루어지지 않는 청크입자가 발생하는 경우가 있고, 건조 시간이 오래 걸리는 등 건조효율이 낮다는 문제가 있다.Conventionally, there is a problem that chunks having poor drying tend to be generated, and drying efficiency is low due to long drying time.
본 발명은 청크가 담겨지는 바스켓; 상기 바스켓을 회전가능하게 지지하는 회전스테이지; 청크를 건조시키는 공간을 형성하며 상기 회전스테이지가 장착되는 건조챔버; 및 상기 회전스테이지에 의해 회전하는 상기 바스켓을 향해 열풍이 공급되록 열풍을 발생시키는 열풍기; 를 포함하는 열풍을 이용한 청크의 건조장치를 제공한다.The present invention relates to a basket containing a chunk; A rotating stage for rotatably supporting the basket; A drying chamber in which the rotating stage is mounted, forming a space for drying the chunks; And a hot air fan for generating hot air as hot air is supplied toward the basket rotated by the rotating stage; The present invention also provides a drying apparatus for chunks using hot wind including a hot wind.
상기 회전스테이지를 회전시키는 구동모터; 및 상기 구동모터에 결합되어 상기 회전스테이지의 회전속도를 조절하는 감속기를 더 포함할 수 있다.A driving motor for rotating the rotating stage; And a speed reducer coupled to the driving motor to adjust a rotation speed of the rotation stage.
상기 건조챔버의 벽면에 적어도 하나에 설치되는 열풍주입구; 및 상기 열풍주입구와 상기 열풍기를 연결하는 열풍공급관; 을 더 포함할 수 있다.A hot air inlet formed in at least one wall of the drying chamber; And a hot air supply pipe connecting the hot air inlet and the hot air blower; As shown in FIG.
상기 열풍주입구는 지름이 10 ~ 1000 mmm의 원형 또는 다각형 형상으로 이루어질 수 있다.The hot air inlet may have a circular or polygonal shape with a diameter of 10 to 1000 mm.
상기 열풍기는 상기 건조챔버의 온도가 40~ 90 ℃를 유지하도록 열풍을 생성할 수 있다.The hot air can generate hot air to maintain the temperature of the drying chamber at 40 to 90 ° C.
본 발명의 열풍을 이용한 청크의 건조장치에 따르면 원심력과 열풍을 이용하여 청크에 묻은 세정액을 더욱 빠른시간에 제거할 수 있기 때문에 미건조 현상이 줄게 되며 건조효율이 현저하게 향상될 수 있는 효과가 있다.According to the chunk drying apparatus using the hot wind of the present invention, since the cleaning liquid adhered to the chunks can be removed in a shorter time by using the centrifugal force and the hot air, the drying phenomenon can be reduced and the drying efficiency can be remarkably improved .
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 열풍을 이용한 청크 건조장치의 개략적인 단면도이다.
도 2는 도 1의 건조챔버와 열풍기의 연결구조를 보여주는 사시도이다.1 is a schematic cross-sectional view of a chunk drying apparatus using hot air according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view showing the connection structure between the drying chamber and the hot air blower of FIG.
본 발명의 열풍을 이용한 청크의 건조장치는 청크가 담겨지는 바스켓(basket)을 회전시켜 원심력을 이용하여 건조를 수행하는 구동부 유닛과, 청크로부터 이탈된 수분 입자(water mist)의 배수를 담당하는 배출부 유닛(Bath Unit)과, 건조력 향상을 위해 열풍을 공급하는 열풍공급 유닛으로 대별될 수 있다.The apparatus for drying chunks using hot air according to the present invention includes a driving unit for rotating a basket containing chunks to perform drying using centrifugal force, a discharge unit for discharging water mist discharged from the chunks, A subunit (Bath Unit), and a hot air supply unit for supplying hot air for improving the drying power.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to designate the same or similar components throughout the drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 열풍을 이용한 청크 건조장치의 개략적인 단면도이고, 도 2는 도 1의 건조챔버와 열풍기의 연결구조를 보여주는 사시도이다.FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a chunk drying apparatus using hot air according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view illustrating a connection structure of a drying chamber and a hot air blower in FIG.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 청크 건조장치(1)는 청크(미도시)가 담겨지는 바스켓(110)과 바스켓(110)을 회전가능하게 지지하는 회전스테이지(120)가 장착되며 청크를 건조시키는 공간을 형성하는 건조챔버(100)를 구비한다.1 and 2, a chunk drying apparatus 1 according to an embodiment of the present invention includes a
건조챔버(100)는 외부로부터 밀폐된 내부 공간을 가지며, 내부 공간에서는 청크의 건조가 이루어진다. 건조챔버(100)는 다양한 형상을 가질 수 있는데, 예를 들어 내부에 공간이 형성된 육면체 형상으로 이루어질 수 있다. 물론, 건조챔버(100)는 이러한 형상 이외에도 원기둥, 삼각기둥 등 다양한 형상으로 이루어질 수 있다. 건조챔버(100)의 하부 영역은 프레임(10)에 의해 지지될 수 있다.The
바스켓(110)은 다수개의 청크 입자들이 수용될 수 있도록 다양한 형태를 가질 수 있다. 예를 들어 바스켓(110)은 다수개의 통공(111)이 형성되고 상부가 개구된 직육면체 형상으로 이루어질 수 있다. 바스켓(110)에 다수개의 청크 입자들이 수용되면 클리닝 공정을 위해 바스켓(110)은 통채로 세정액에 담겨지거나 세정액이 분사될 수 있다.The
세정액이 묻은 청크 및 바스켓(110)은 회전스테이지(120)에 놓여지면서 원심력에 의해 회전하면서 수분의 건조가 이루어진다. 이때 회전시 청크의 건조 효과를 높일 수 있도록 바스켓(110)의 바닥면의 각 모서리에는 측면 하부 통공(미도시)이 형성되고, 바스켓(110)의 측면 모서리에는 측면 모서리 통공(미도시)이 더 형성될 수 있다.The chuck and the
바스켓(110)이 놓여진 회전스테이지(120)는 구동모터(200)에 의해 일정한 속도로 회전할 수 있다. 구동모터(200)는 건조챔버(100)의 내부에 장착될 수도 있지만, 건조챔버(100)의 외부에 위치한 프레임(10)에 설치될 수 있다. The rotating
또한, 구동모터(200)는 건조챔버(100)를 지지하는 프레임(10)에 직접 장착될 수도 있지만, 진동에 의한 유동을 방지할 수 있도록 건조챔버(100)를 지지하지 않는 별도의 개별프레임(20)에 장착될 수도 있다.The
구동모터(200)에는 회전스테이지(120)의 회전축과 직접적으로 결합되어 회전스테이지(120)를 회전시키도록 구성될 수 있으나, 회전스테이지(120)의 회전속도를 조절할 수 있도록 구동모터(200)와 회전스테이지(120)는 감속기(210)에 의해 연결될 수 있다. The
감속기(210)는 구동모터(200)의 부하를 감소시키고, 후술할 하부 분사노즐(400)로부터 가스가 주입될 수 있는 공간을 확보할 수 있도록 감속기(210)의 내부 중심축은 중공의 형태로 이루어질 수 있다.The
회전스테이지(120)는 회전축을 중심으로 상면이 일정한 면적을 갖는 원반, 다면체 형상으로 이루어질 수 있다. 예를 들어 회전스테이지(120)는 하부에 위치하면서 단면이 원형인 형상의 회전축과, 회전축의 상부에 위치하는 8면체 형상의 스테이지를 가질 수 있다. 자세히 도시하지는 않았지만 회전스테이지(120)는 배수효과를 높이기 위해 가장자리 영역에 날개형상의 절곡부를 형성할 수 있다. 절곡부는 회전스테이지(120)와 일체로 형성될 수도 있지만 방수재질로서 회전스테이지(120)의 상면을 덮을 수 있도록 탑 커버(top cover)와 측면에 절곡된 형상의 턴 커버(turn cover)가 결합된 형태로 제작될 수도 있다..The
회전스테이지(120)에는 바스켓(110)의 이탈을 방지하는 가이드블록(130)이 설치될 수 있다. 예를 들어 가이드블록(130)은 바스켓(110)의 하부 모서리 양측 가장자리 영역을 지지할 수 있는 형태로 제작될 수 있다. 이때 가이드블록(130)에는 회전스테이지(120)의 고정을 위한 볼트공(미도시)이 형성될 수 있다. The
가이드블록(130)은 바스켓(110)의 하부 네 모서리를 지지할 수 있도록 4개가 회전스테이지(120)에 장착될 수 있다. 물론 가이드블록(130)은 필요에 따라 2개만 설치될 수도 있고 전술한 형태가 아닌 다양한 형태로 제작될 수도 있다.The
이와 같이 가이드블록(130)을 통해 회전스테이지(120)에 고정된 바스켓(110)은 회전시 원심력에 의해 회전스테이지(120)로부터 이탈되는 것이 방지될 수 있다.The
본 발명의 청크 건조장치(1)는 회전스테이지(120)의 회전력만으로 바스켓(110)을 회전시켜 원심력에 의해 수분을 건조시킬 수 있지만 건조효율을 높이기 위해 회전스테이지(120)에 의해 회전하는 바스켓(110)을 향해 열풍을 함께 공급할 수 있다. The chunk drying apparatus 1 of the present invention can dry the water by centrifugal force by rotating the
이를 위해 건조챔버(100) 내부로 열풍을 공급하는 열풍기(300)가 장착된다.For this purpose, a
열풍기(300)는 건조챔버(100)의 외부에 장착되며, 건조챔버(100)의 온도가 40 ~ 90 ℃를 유지하도록 열풍을 생성시킬 수 있다. 열풍기(300)가 건조챔버(100)의 내부로 열풍을 공급할 수 있도록 건조챔버(100)의 벽면에는 적어도 하나의 열풍주입구(103, 104)가 설치된다.The hot air (300) is mounted to the outside of the drying chamber (100), and hot air can be generated to maintain the temperature of the drying chamber (100) at 40 to 90 ° C. At least one
열풍주입구(103, 104)는 원형, 다각형 형상의 단면을 갖는 구멍으로서 건조챔버(100)의 벽면에 타공형성될 수 있다. 그리고 열풍주입구(103, 104)는 지름이 10 ~ 1,000mm 범위 이내에서 선택될 수 있다.The hot
열풍주입구(103, 104)는 건조챔버(100)의 일측 벽면에만 형성되어 한 방향에서 열풍을 공급하도록 구성될 수 있지만 본 실시예처럼 건조챔버(100)의 마주보는 양측 벽면(101, 102)에서 바스켓을 향해 열풍을 공급할 수도 있다. 이때 건조챔버(100)의 양측 벽면(101, 102)에는 각각 열풍주입구(103, 104)가 형성되고, 각각의 열풍주입구(103, 104)에는 열풍공급관(310, 320)들이 각각 연결될 수 있다. The hot
그리고 열풍공급관(310, 320)들은 열풍기(300)에 연결된 다른 열풍공급관(330)에서 분기되도록 연결될 수 있다.The hot
물론, 열풍주입구(103, 104)는 필요에 따라 건조챔버(100)의 상부 벽면이나 전면 벽면, 후면 벽면 등에도 형성이 가능하며 건조챔버(100)의 형상이 달라질 경우 적절한 위치 어디에도 형성가능할 것이다. 또한 열풍주입구(103, 104)는 하나의 벽면에 다수개가 가로방향 또는 세로방향으로 배치되거나 방사상 형태 등 다양한 형태로 배열될 수도 있다.Of course, the hot
열풍공급관(310, 320, 330)은 열풍기(300)와 건조챔버(100)를 상호 연결하여 열풍기(300)에서 생성된 열풍을 바스켓(110)을 향해 분사하도록 하는 통로를 형성한다. 열풍공급관(310, 320, 330)은 열풍기(300)로부터 발생하는 열풍의 온도를 견딜 수 있는 재질로서, 장착의 편리를 위해 플렉서블(Flexible) 호스가 사용될 수 있다. 물론, 필요에 따라 열풍공급관(310, 320, 330)은 다양한 재질, 강도 등을 가질 수 있다.The hot
이와 같이 구성되는 본 실시예의 열풍을 이용한 청크의 건조장치(1)는, 회전스테이지(120)의 회전력 및 열풍기(300)로부터 공급된 열풍을 통해 바스켓(110) 및 청크로부터 수분이 제거되면서 바스켓(100)에 담긴 청크의 건조가 이루어진다.The drying apparatus 1 of the present embodiment configured as described above removes water from the
이때, 건조챔버(100) 내부에 잔류하는 수분을 건조챔버(100)의 외부로 배출시키도록 건조챔버(100)에는 배출부가 더 구비될 수 있다.At this time, the drying
배출부는 건조챔버(100)의 하부에 형성된 적어도 하나의 배수공(150, 160)과, 배수공(150, 160)을 향해 경사가 낮아지도록 건조챔버(100)의 바닥면에 형성된 경사면(140)을 포함할 수 있다.The discharge portion includes at least one
배수공(150, 160)은 바스켓(110)의 회전에 의해 생기는 세정액의 배수 및 건조챔버(100) 내부에 생기는 기류를 제어하는 역할을 한다. 배수공(150, 160)은 다양한 개수를 가질 수 있다. 예를 들어, 배수공(150, 160)은 1개 또는 그 이상으로 이루어질 수 있으며, 단면이 원형, 타원형, 다각형 등 다양한 형상을 가질 수 있다.The drain holes 150 and 160 serve to control drainage of the washing liquid generated by the rotation of the
이때, 배수공(150, 160)에는 배기조절을 위해 댐퍼밸브(미도시)를 각각 장착하여 각각의 배수공(150, 160)의 끝단을 연결하여 하나의 배관으로 묶어 기액분리기를 통해 외부로 배출되도록 할 수도 있다. 또한, 배수공(150, 160) 하부에는 블로워(blower) 또는 진공라인(vacuum line)에 의해 항상 흡입상태가 유지되도록 할 수 있다.At this time, damper valves (not shown) are attached to the drain holes 150 and 160 for controlling the exhaust, respectively, and the ends of the drain holes 150 and 160 are connected to each other and bundled with one pipe to be discharged to the outside through the gas-liquid separator It is possible. In addition, a suction state can be maintained at the lower part of the drain holes 150 and 160 by a blower or a vacuum line.
경사면(140)은 수분이 건조챔버(100)의 하부로부터 배수공(150, 160)으로 경사면(140)을 따라 이동할 수 있도록 건조챔버(100)의 하부에 설치될 수 있다. 경사면(140)은 건조챔버(100)와 일체로 형성될 수도 있지만 회전스테이지(120)가 장착된 둘레 부분에 경사형상의 부재가 결합된 형태로도 실시될 수 있다.The
이와 같이 본 발명의 실시예의 청크 건조장치(1)에 따르면 원심력과 열풍분사방식을 겸용하여 청크에 묻은 세정액을 더욱 빠른시간에 제거할 수 있으며 미건조 현상을 줄일 수 있어 건조효율을 현저하게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the chunk drying apparatus (1) of the embodiment of the present invention, the cleaning liquid adhering to the chunks can be removed in a shorter time by using both the centrifugal force and the hot air blowing method, and the drying phenomenon can be reduced, There is an effect that can be.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The foregoing description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are intended to illustrate rather than limit the scope of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be construed according to the following claims, and all technical ideas falling within the scope of the same shall be construed as falling within the scope of the present invention.
1 : 청크의 건조장치 10 : 프레임
20 : 개별프레임 100 : 건조챔버
101, 102 : 챔버벽면 103, 104 : 열풍주입구
110 : 바스켓 111 : 통공
120 : 회전스테이지 130 : 가이드블록
140 : 경사면 150, 160 : 배수공
200 : 구동모터 210 : 감속기
300 : 열풍기 310, 320, 330 : 열풍공급관1: chunks drying device 10: frame
20: individual frame 100: drying chamber
101, 102:
110: basket 111: through hole
120: rotation stage 130: guide block
140:
200: drive motor 210: speed reducer
300:
Claims (5)
상기 바스켓을 회전가능하게 지지하는 회전스테이지;
청크를 건조시키는 공간을 형성하며 상기 회전스테이지가 장착되는 건조챔버;
상기 건조챔버의 외부에 장착되어 열풍을 발생시키며, 상기 건조챔버 내부에서 상기 회전스테이지에 의해 회전하는 상기 바스켓을 향해 열풍을 공급하는 열풍기; 및
상기 바스켓의 회전에 의해 생기는 세정액이 배출되고 상기 건조챔버 내부에 생기는 기류를 제어하는 둘 이상의 배수공을 가지며, 상기 건조챔버 내부에 잔류하는 수분을 상기 건조챔버의 외부로 배출시키는 배출부; 를 포함하고,
상기 회전스테이지는 상기 건조챔버의 중심에 설치되고, 상기 배수공은 상기 건조챔버의 바닥면의 상기 건조챔버의 중심보다는 측면에 가까운 가장자리에 형성되고,
상기 건조챔버의 바닥면 상에 위치하되, 일단은 상기 회전스테이지의 가장자리 하방에서 시작하고 타단은 상기 둘 이상의 배수공에서 끝나며 상기 배수공으로 갈수록 경사가 낮아지는 경사면을 더 포함하는 청크의 건조장치.A basket containing chunks and formed with a plurality of through holes;
A rotating stage for rotatably supporting the basket;
A drying chamber in which the rotating stage is mounted, forming a space for drying the chunks;
A hot air fan mounted on the outside of the drying chamber to generate hot air and to supply hot air to the basket rotated by the rotating stage in the drying chamber; And
A discharge unit having two or more discharge holes for discharging a cleaning liquid generated by rotation of the basket and controlling an air flow generated in the drying chamber and discharging moisture remaining in the drying chamber to the outside of the drying chamber; Lt; / RTI >
Wherein the rotary stage is installed at a center of the drying chamber and the drain is formed at an edge of the bottom surface of the drying chamber which is closer to the side than the center of the drying chamber,
Further comprising an inclined surface located on the bottom surface of the drying chamber, one end of which starts from below the edge of the rotation stage and the other end ends with the two or more drain holes and whose inclination decreases toward the drain hole.
상기 회전스테이지를 회전시키는 구동모터; 및
상기 구동모터에 결합되어 상기 회전스테이지의 회전속도를 조절하는 감속기를 더 포함하는 열풍을 이용한 청크의 건조장치.The method according to claim 1,
A driving motor for rotating the rotating stage; And
And a speed reducer coupled to the driving motor to adjust a rotation speed of the rotary stage.
상기 건조챔버의 벽면에 적어도 하나 설치되는 열풍주입구; 및
상기 열풍주입구와 상기 열풍기를 연결하는 열풍공급관; 을 더 포함하는 열풍을 이용한 청크의 건조장치.3. The method according to claim 1 or 2,
A hot air inlet provided at least one on a wall surface of the drying chamber; And
A hot air supply pipe connecting the hot air inlet and the hot air blower; Wherein the chunks are heated by the hot wind.
상기 열풍주입구는 지름이 10 ~ 1,000 mmm의 원형 또는 다각형 형상으로 이루어지는 열풍을 이용한 청크의 건조장치.The method of claim 3,
Wherein the hot air inlet is a circular or polygonal shape having a diameter of 10 to 1,000 mm.
상기 열풍기는 상기 건조챔버의 온도가 40~ 90 ℃를 유지하도록 열풍을 생성하는 열풍을 이용한 청크의 건조장치.The method according to claim 1,
Wherein the hot air blows hot air to generate hot air so that the temperature of the drying chamber is maintained at 40 to 90 ° C.
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JPH1163831A (en) * | 1997-08-25 | 1999-03-05 | Nippon Enbairo Kogyo Kk | Drier |
US20060058403A1 (en) * | 2004-09-15 | 2006-03-16 | Rogut Stanislaw | Method and setup for manufacturing products from waste materials |
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