KR101426411B1 - 결함이 없는 대면적 나노 구조체의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 실리카 구 원료를 용매와 촉매의 혼합물에 넣고 교반하여 단분산 실리카 구를 제조하는 단계; 상기 단분산 실리카 구가 분산되어 있는 혼합물에 실리콘 혼합물을 첨가하여 실리카 구의 표면을 개질하는 단계; 상기 개질된 실리카 구를 세척 후, 용매에 재분산시키고 광개시제를 첨가하여 광개시제 첨가 용액을 제조하는 단계; 상기 광개시제 첨가 용액에 자외선을 조사하여 자기조립 동안 광가교를 일으켜 나노 구조체를 형성하는 단계를 포함하는 결함 없는 대면적 나노 구조체의 제조방법을 제공한다.

Description

결함이 없는 대면적 나노 구조체의 제조방법{METHOD FOR FABRICATION OF LARGE AREA NANO-STRUCTURE WITHOUR CRACK}
본 발명은 실리카 구로 이루어진 나노 구조체에 관한 것으로, 더 상세하게는 실리카 구의 표면을 개질시켜 결함이 없는 대면적 나노 구조체를 제조하는 방법에 관한 것이다.
상이한 굴절률을 갖고 주기적으로 배열된 물질로 구성된 광결정은 특별한 광학 특성을 갖는 새로운 나노 구조체이고, 다양한 광학 장치에 적용할 수 있어 높은 관심을 받고 있다. 상기와 같은 나노 구조체는 빛 조사시 광 밴드 갭을 나타내고, 이는 광주파수(optical frequencies)의 특정 범위가 결정 구조 내에서 금지된다는 것을 의미한다. 이러한 광 밴드 갭에 의하여, 상기 나노 구조체에서 빛의 방출 및 전파의 조절이 가능하다.
이러한 광결정으로 활용할 수 있는 나노 구조체를 제조하는 것은 종래 콜로이드를 이용한 결정화 방법, 두 개의 광자를 이용한 중합 반응을 이용하는 방법, 전자빔을 이용한 리소그래피 방법, 반도체 마이크로/나노 구조체 제조 방법, 테트라에톡시실란의 수직 개질된 퇴적 및 레이저 간섭 리소그래피 등에 의해 이루어지고 있다. 상기 방법들은 수 mm2 혹은 cm2 정도의 크기는 어느 정도 성공을 이루고 있지만 결함이 없는 대면적 나노 구조체 제조는 여전히 많은 한계점을 갖고 있을 뿐 아니라 많은 비용과 시간이 소요된다.
상기 대면적 나노 구조체를 제조는 실제로 응용하여 사용하는데 필수적이므로, 경제적이고 간단한 제조방법의 개발이 필요하다.
본 발명은 실리카 구의 표면을 개질하여 자기 조립함으로써, 대면적 나노 구조체를 제조하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 목적은 실리카 구 원료를 용매와 촉매의 혼합물에 넣고 교반하여 단분산 실리카 구를 제조하는 단계; 상기 단분산 실리카 구가 분산되어 있는 상기 혼합물에 비닐트리에톡시실란(vinyltriethoxysilane, VTES), 비닐트리메톡시실란( vinlytrimethoxysilane, VTMS), 3-(트리메톡시 실릴)프로필 아크릴레이트(3-(trimethoxy silyl)propyl acrylate) 및 트리에톡시알릴실란(triethoxyallylsilane)으로 이루어진 군에서 선택된 1종의 탄소-탄소 이중 결합을 갖은 실리콘 화합물을 첨가하여 상기 실리카 구의 표면을 개질하는 단계; 상기 개질된 실리카 구를 세척한 후, 용매에 재분산시키고 광개시제를 첨가하여 광개시제 첨가 용액을 제조하는 단계; 상기 광개시제 첨가 용액을 나조구조체가 적용될 재료에 떨어뜨리고 자외선을 조사함으로써, 상기 재료의 표면에서 나노 구조체를 형성하는 단계를 포함하는 결함 없는 대면적 나노 구조체의 제조방법에 의하여 달성된다.
여기에서, 바람직하게는 상기 용매는 물, 메탄올, 에탄올, 에틸렌글리콜 및 글리세롤로 이루어진 군에서 선택된 1종이다.
바람직하게는, 상기 세척은 상기 개질된 실리카 구를 2000 ~ 5000 rpm으로 원심분리 하고 용매로 세척하는 것이다.
바람직하게는, 상기 실리카 구의 표면을 개질하는 단계에서 상기 혼합물에 첨가되는 실리콘 화합물의 첨가량을 조절하여 나노 구조체의 굴절률을 조절한다.
바람직하게는, 상기 나노 구조체는 디스플레이, 후라이팬, 터널 내벽, 거울, 비닐하우스, 건물 외벽, 태양전지 표면에 적용되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따라 개질된 실리카 구로 자기 조립된 안정적인 대면적 표면 나노 구조체는 결함이 거의 발생하지 않는다. 따라서 본 발명의 대면적 표면 나노 구조체는 광학제품에 적용할 수 있을 뿐 아니라, 디스플레이 박막, 후라이팬 코팅용 또는 거울 김 서림 방지용으로 사용될 수 있으며, 터널 내벽, 건물 외벽 유리, 태양전지 표면과 같이 대면적의 표면에 방오용으로 사용될 수 있다. 또한 비닐하우스 김 서림 방지용 코팅으로도 사용될 수 있는 많은 분야에 응용이 가능하다.
도 1a는 비닐트리에톡시실란 200mg으로 개질된 구(a), 비닐트리에톡시실란 400mg으로 개질된 구(b) 및 비닐트리에톡시실란600mg으로 개질된 구(c)의 FTIR 스펙트럼을 나타낸 도면이다.
도 1b는 표면이 개질되지 않은 구(a), 비닐트리에톡시실란 600mg으로 개질된 구(b), 비닐트리에톡시실란 600mg으로 개질되고 Irgacure-184가 혼합된 구(c) 및 비닐트리에톡시실란 600mg으로 개질되고 UV 광에 노출되고 메탄올로 세척된 구(d)의 FTIR 스펙트럼을 나타낸 도면이다.
도 2는 비닐트리에톡시실란 200mg으로 개질된 구(a), 비닐트리에톡시실란 400mg으로 개질된 구(b) 및 비닐트리에톡시실란 600mg으로 개질된 구(c)의 UV-가지광선 스펙트럼을 나타낸 도면이다.
도 3a는 표면이 개질되지 않은 실리카 구로 제조된 광결정의 주사 전자 현미경의 사진을 나타낸 도면이다.
도 3b는 표면 개질시킨 구로 원위치 광-가교 방법을 사용하여 제조된 광결정의 주사 전자 현미경의 사진을 나타낸 도면이다.
본 발명은 실리카 구의 표면을 개질시켜 자기 조립 공정 동안 원위치 광-가교 공정(ISPL)에 의해 대면적 나노 구조체를 제조하는 방법을 제공한다
본 발명은 실리카 구의 표면에 화학 반응이 일어날 수 있는 기능기를 붙여 표면을 개질하고, 이 실리카 구가 자기 조립이 되는 순간에 UV를 조사하여 광가교의 화학반응이 일어나도록 하여 결함이 거의 발생하지 않는 안정적인 대면적의 나노 구조체를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 방법에 따르면 화학반응으로 인하여 실리카 구들이 서로 결합되게 되므로, 종래 표면 나노구조체인 광결정의 결정적인 단점인 결함(crack) 형성을 방지하여 대면적의 안정적인 나노 구조체를 제조할 수 있다.
본 발명에서 사용된 나노 구조체란 용어는 표면에 나노 크기를 갖는 격자 구조체가 형성되어 있는 것을 가리키는 것으로서, 광결정(photonic crystal)을 포함할 수 있다.
본 발명의 대면적의 나노 구조체는 표면 개질된 실리카 구를 이용하여 제조된다. 구체적 예로서 실리카구의 표면을 비닐트리에톡시실란(vinyltriethoxysilane, VTES), 비닐트리메톡시실란(vinlytrimethoxysilane, VTMS), 3-(트리메톡시 실릴)프로필 아크릴레이트(3-(trimethoxy silyl)propyl acrylate), 트리에톡시알릴실란(triethoxyallylsilane) 등으로 이루어진 탄소-탄소 이중 결합을 갖은 실리콘으로 개질한다. 상기 표면 개질된 실리카 구는 용매가 증발되면서 자기 조립(self-assembly)이 일어나는데, 이때 자외선(UV)을 조사하여 화학반응을 일으켜 구와 구 사이에 화학적인 공유결합이 일어나도록 하여 표면에 금이 가는 것을 방지하고 대면적의 안정적인 표면 나노 구조체를 제조한다.
본 발명의 일 실시형태로서 결함 없는 대면적 나노 구조체의 제조방법은,
실리카 구 원료를 용매와 촉매의 혼합물에 넣고 교반하여 단분산 실리카 구를 제조하는 단계(S11),
상기 단분산 실리카 구가 분산되어 있는 혼합물에 실리콘 화합물을 첨가하여 상기 실리카 구의 표면을 개질하는 단계(S12),
상기 개질된 실리카 구를 세척한 후, 용매에 분산시키고 광개시제를 첨가하여 광개시제 첨가 용액을 제조하는 단계(S13),
상기 광개시제 첨가 용액을 나조구조체가 적용될 재료에 떨어뜨리고 자외선을 조사함으로써, 상기 재료의 표면에 나노 구조체를 형성하는 단계(S14)를 포함한다.
상기 단분산 실리카 구를 제조하는 단계(S11)는 실리카 구 원료를 용매와 촉매의 혼합물에 넣고 교반하는 스퇴버(Stober) 방법을 이용하여 단분산 실리카 구를 제조한다. 상기에서 용매는 물, 메탄올, 에탄올, 에틸렌글리콜 및 글리세롤로 이루어진 군에서 선택된 1종을 사용할 수 있다. 바람직하게는, 상기 실리카 구 원료는 테트라에톡시실란이다.
바람직하게는, 상기 촉매는 염기촉매이다. 염기촉매로는 수산화암모늄(NH4OH), 수산화나트륨(NaOH), 수산화칼륨(KOH), 수산화칼슘(Ca(OH)2)를 사용할 수 있으며, 보다 바람직하게는, 수산화암모늄을 사용할 수 있다.
바람직하게는, 상기 실리카 구 원료는 용매에 대하여 2 ~ 5중량% 첨가된다.
바람직하게는, 상기 교반은 충분히 구가 형성되도록 3 ~ 12 시간 동안 교반한다.
다음으로 실리카 구의 표면을 개질하는 단계(S12)를 설명한다.
본 발명은 대면적 나노 구조체를 제조하기 위하여 실리카 구는 표면을 개질하는 것을 특징으로 한다. 실리카 구의 표면 개질은, 비닐트리에톡시실란, 비닐트리메톡시실란, 3-(트리메톡시 실릴)프로필 아크릴레이트 및 트리에톡시알릴실란으로 이루어진 군에서 선택된 1종의 실리콘 화합물이 실리카 구 표면에 결합되게 함으로써 실리카 구의 표면을 개질할 수 있다. 바람직하게는 비닐트리에톡시실란을 사용할 수 있으며, 이 경우의 반응을 아래 반응식 1에 나타내었다.
[반응식 1]
Figure 112013006720508-pat00001
비닐트리에톡시실란(VTES) 분자는 세 개의 에톡시(-OCH2CH3) 그룹 및 한 개의 비닐 그룹(-CH=CH2)을 갖는다. 세 개의 에톡시 그룹은 가수분해되어 세 개의 실라놀 그룹, Si(OH)3가 된다. 실라놀 그룹은 구의 표면에서 실라놀 그룹과 또는 가수분해된 다른 비닐트리에톡시실란(VTES)과 반응한다. 이러한 반응은 상기 반응식 1과 같이 이루어질 수 있다. 반응식 1에 나타난 바와 같이, 실리카 구의 표면상에 존재하는 각 실라놀 그룹은 단일 또는 다중 가수분해된 실리콘 화합물, 예를 들면, 비닐트리에톡시실란(VTES) 분자와 결합할 수 있다.
본 발명에서는 상기 실리콘 화합물을 실리카 구 표면에 부착하여 구의 표면을 개질할 수 있다.
다음으로 광개시제 첨가 용액을 제조하는 단계(S13)를 설명한다.
상기 개질된 실리카 구를 세척한 후, 용매에 분산시키고 광개시제를 첨가하여 광개시제 첨가 용액을 제조한다.
상기에서 용매는 물, 메탄올, 에탄올, 에틸렌글리콜 및 글리세롤로 이루어진 군에서 선택된 1종을 사용할 수 있다.
바람직하게는, 상기 세척은 용매를 사용하여 표면 개질된 실리카 구를 2000 ~ 5000 rpm으로 원심분리하고 세척한다.
바람직하게는, 상기 광개시제는 Irgacure-184이다. 상기 Irgacure-184는 시판되는 광개시제이며, 그 화학명은 1-하이드록시-사이클로헥실-페닐-케톤이다. Irgacure-184의 구조는 하기 구조식 1에 도시한 것과 같다.
[구조식 1]
Figure 112013006720508-pat00002
상기 광개시제는 화학적으로 불포화된 탄소-탄소 결합의 광중합화를 개시하기 위하여 사용되는 매우 효율적인 광개시제이다.
상기 광개시제는 광개시제 첨가 용액 총 중량 대비 2 ~ 5 중량% 첨가하는 것이 바람직하다.
마지막으로, 적용될 재료의 표면 또는 실리콘 웨이퍼와 같은 고체 표면에 상기 혼합용액을 떨어뜨려 나노 구조체를 형성한다(S14). 이전 단계에서 제조된 광개시제 첨가 용액을 고체 표면에 떨어뜨리고 건조와 동시에 자외선을 조사함으로써, 자기조립과 동시에 광가교가 발생하게 하여 결함이 없는 대면적의 나노 구조체를 형성할 수 있다.
표면에 실리카 구 등을 이용하여 나노 구조체를 형성하는 경우 일반적으로 결함(crack)이 발생하기 쉽다. 실리카 구로 이루어진 막(film)이 건조됨에 따라 힘(stress)와 변형(strain)이 실리카 구 막 위에 축적되기 때문에 결함(crack)이 막에서 전파되어 결함이 발생한다. 특히, 표면 개질 등의 아무런 처리되지 않은) 실리카 구를 이용하여 실리카 구 막을 제조하면 수많은 결함(crack)을 생성하게 된다. 그러나, 본 발명은 실리콘 화합물로 표면을 개질시킨 구를 이용하고, 자기 조립 공정 동안 원위치 광-가교(In situ photocross-linking process, ISPL) 공정으로 제조되기 때문에 결함(crack)이 없는 안정한 대면적 광결정을 제조할 수 있다.
본 발명에서 제조된 대면적 광결정 구조를 갖는 표면 나노구조체를 이용하여 디스플레이, 후라이팬, 거울 뿐만 아니라, 터널 내벽, 비닐하우스, 건물 외벽, 태양전지 표면 등과 같이 대면적이 요구되는 분야에 적용할 수 있다.
이하에서 실시예를 들어서 본 발명을 상세하게 설명하지만, 아래 실시예에 의하여 권리범위가 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
아래의 실시예에서 UV-가시광선 및 FTIR 스펙트럼은 UV 가시광선 분광광도계(Thermo scientic genesys 10S) 및 FTIR 분광계(Nicolet iS5)로 얻어졌다.
실시예 1
단분산 실리카 구는 스퇴버(Stober) 방법을 통해 제조하였다. 메탄올과 수산화 암모늄(NH4OH) 용액이 각각 용매 및 촉매로 사용되었다. 메탄올 100 ml 및 테트라에톡시실란(TEOS) 1.4g을 250 ml 둥근 바닥 플라스크에 넣었다. 수산화 암모늄(NH4OH) 용액 100 ml을 상기 메탄올 및 테트라에톡시실란의 혼합물에 첨가하고, 이 혼합용액을 실온에서 6 시간 동안 교반하였다. 이어서, 비닐트리에톡시실란(VTES)을 200 mg(VTES-A), 400 mg(VTES-B) 또는 600 mg(VTES-C)을 각각 첨가하였다. 상기 구들은 3000 rpm의 회전 속도로 원심분리되고, 메탄올로 세척되었다. 상기 구를 메탄올에 분산시키고, 상기 분산 용액 중량에 대해 약 2 wt%의 Irgacure-184(Ciba)를 광개시제로서 상기 구 용액에 첨가하였다. 원위치 광-가교 (ISPL)에 의한 자기 조립은 실리콘 웨이퍼에 상기 표면 개질된 구(SMS) 용액을 떨어뜨리고 건조시키면서 UV-조사(254 nm)를 하여 수행하였다. 주사전자 현미경(FESEM) 사진은 5 kV에서 작동된 JEOL JSM-7401F 현미경으로 얻었다.
도 1a는 VTES 200mg으로 개질된 구구(이하 'VTES-A'라 한다)(a), VTES 400mg으로 개질된 구(구(이하 'VTES-B'라 한다)(b) 및 VTES 600mg으로 개질된 구(구(이하 'VTES-C'라 한다)(c)의 FTIR 스펙트럼을 나타낸다. 구의 표면상의 흡수된 물에 의해 야기되는 -OH 스트레칭 바이브레이션을 나타내는 3230 cm-1에서의 흡수 피크는 3480 cm-1 쪽으로 시프트하였으며, 비닐트리에톡시실란(VTES) 양이 증가 됨에 따라 흡수 강도가 감소되었다. 이 결과는 흡착된 H2O의 양이 비닐트리에톡시실란(VTES)의 양의 증가에 따라 감소함을 나타낸다. 1409 cm-1에서의 특징적인 C=CH 변형(deformation) 바이브레이션 흡수의 흡수 강도는 비닐트리에톡시실란(VTES)의 양이 증가함에 따라 증가하였다. 3023, 2956 및 2853 cm-1에 중심을 둔 C=CH 대칭 및 비대칭 스트레칭 바이브레이션 흡수 피크는 비닐트리에톡시실란(VTES)의 양이 증가함에 따라 증가하였다.
도 1b는 표면 개질되지 않은 실리카구(a), VTES 600mg으로 개질된 구(이하 'VTES-C'라 한다)(b), VTES 600mg으로 개질되고 Irgacure-184가 혼합된 구(c) 및 VTES 600mg으로 개질되고 UV 광에 노출되고 메탄올로 세척된 구(d)의 FTIR 스펙트럼을 나타낸다. 대략 2 wt%의 Irgacure-184가 UV-노출 전에 VTES 600mgd이 혼합된 구가 첨가되었다. -OH 흡수 피크는 Irgacure의 -OH 그룹에 기인하여 Irgacure-184를 혼합한 후 증가하고, C=O 흡수 피크는 1690 cm-1에서 나타났다. UV-노출 및 메탄올로 세척한 후, C=O 흡수 피크는 사라지고, -OH 흡수 피크는 급격히 감소했다. 더구나, 특징적인 -CH 흡수 피크는 메탄올로 세척한 후 급격히 증가하였다. 이 결과는 -CH 흡수피크의 증가는 -CH=CH2로부터 -CH2-CH3의 변화 때문이라는 것을 알게 해주고, 여기에서, -CH2-CH3의 흡수피크는 -CH=CH2의 흡수피크 보다 훨씬 강하다. 또한, 반응 생성물의 불순물은 반응 생성물을 세척하고 원심분리하여 효율적으로 제거될 수 있다.
두 개의 상이한 굴절률을 갖는 순서화된 주기적 구조는 스톱(stop) 밴드를 나타낸다. 스톱 밴드의 파장(λ)은 다음에 의해 평가될 수 있다.
[식 1]
λ = 1.633dn average
상기에서, d는 두 개의 이웃하는 구 사이의 중심-대-중심 거리이고, n average 은 평균 굴절률이다. 구의 굴절률 또는 직경이 증가함에 따라, 스톱 밴드는 등식 1에 나타난 바와 같이 보다 긴 파장 쪽으로 시프트한다. 광학 스톱 밴드는 상이한 파장들로 그의 투과율 스펙트럼을 측정하여 실험적으로 입증될 수 있다. 도 2는 VTES-A, VTES-B 및 VTES-C를 갖는 순서화된 구 필름의 차이가 나는 투과율 스펙트럼을 보여준다. 감쇠(attenuation) 밴드는 VTES-A, VTES-B 및 VTES-C 경우 각각 672, 693 및 704 nm에 위치하였다. 비닐트리에톡시실란(VTES)의 양이 증가함에 따라, 스톱 밴드는 보다 긴 파장으로 시프트했다. 고 해상 주사전자 현미경(FESEM) 결과에 따르면, 구의 직경은 세 개의 모든 샘플 경우 대략 310 nm이었다. 스퇴버(Stober) 합성 공정에 따르면, 평균 기하학적인 표준 편차는 대략 1.06이며, 이는 편차가 1% 미만이라는 것을 의미하고, 사용된 구가 같은 배치이기 때문에, 평균 직경은 밴드 갭 시프트에 상당한 영향을 줄 수 없다고 본 발명자는 가정한다.
VTES-A, VTES-B 및 VTES-C 경우에 대한 굴절률은 1.327, 1.368 및 1.398이다. 열 공정이 구들에 대해 수행되지 않았기 때문에, 저 굴절률은 구들의 저 밀도에 기인할 수 있다. 굴절률의 증가는 VTMS의 비닐 그룹에 기인한다. 제 2 스톱 밴드는 VTES-A, VTES-B 및 VTES-C 경우 405, 418 및 420 nm에서 각각 나타난다. 이들 UV-범위 스톱 밴드는 대략 190 nm의 직경을 갖는 작은 구들에 기인하고, 예외적인 경우로 보다 많은 조사를 요구하는 VTES-C외에는 보다 긴 파장 스톱 밴드와 비교해서 유사한 추세를 보인다.
결함(crack)은 실리카 구로 제조된 박막에서 쉽게 발전할 수 있다. 실리카 구 막(film)이 건조됨에 따라 힘과 변형이 실리카 구 막에 축적되기 때문에 결함(crack)이 막에서 전파될 수 있다. 표면이 처리되지 않은(bare) 구로 실리카 구 막을 제조하면, 도 3a에 나타난 바와 같이 많은 수의 결함(crack)이 생성된다.
도 3b는 결함(crack) 없는 대면적 광결정 및 안정한 구조를 보여준다. 표면 개질된 구(SMS)를 이용하고 자기 조립 공정 동안 원위치 광-가교(ISPL)에 의한 공정은 결함(crack)이 없는 안정한 대면적 광결정을 제조할 수 있다.
본 발명에서는 단분산 실리카 구의 표면을 염기 촉매 존재하에서 탄소-탄소 이중결합을 갖는 실리콘 화합물로 개질시키고, 표면이 개질된 구를 이용하여 대면적 광결정을 자기 조립 공정 동안 원위치 광-가교(ISPL)로 제조함으로써 결함이 없는 대면적의 나노구조체를 제조하는 방법을 제시한다.
FTIR 흡수 피크 위치는 실리콘 화합물, 예를 들어 비닐트리에톡시실란(VTES)의 양이 증감함에 따라 3230 cm-1로부터 3480 cm-1로 이동했다. -CH 및 -CH2 스트레칭 바이브레이션을 나타내는 2853, 2956 및 3023 cm-1에서의 흡수 피크 및 -CH 변형 바이브레이션을 특징화하는 1409 cm-1에서의 흡수 피크는 실리콘 화합물의 양이 증가함에 따라 증가하였고, 이는 실리카 구의 표면상에 실리콘 화합물이 존재한다는 것을 의미한다. -CH2-CH3 흡수를 나타내는 2800 내지 3000 cm-1 사이의 흡수 피크는 -CH=CH2와 관련하여 -CH2-CH3의 보다 강한 흡수에 기인하여 원위치 광가교 및 세척 공정 후에 급격히 증가했다. VTES-A, VTES-B 및 VTES-C의 스톱 밴드는 각각 672, 693 및 708 nm에서 존재한다. 보다 긴 파장으로의 스톱 밴드 시프트는 주로 굴절률의 증가에 기인한다.
표면 개질 등의 처리가 되지 않은 순수한 실리카 구들로 구성된 광결정은 클러스트들 사이에 결함(crack)을 갖지만, 표면 개질된 구(SMS)를 이용하여 자기 조립 동안 원위치 광-가교(ISPL)로 제조된 광결정은 대면적에서 결함(crack)을 보이지 않는다. 이 결과는 결함(crack) 없는 대면적 및 안정한 광결정의 제조 방법을 제공한다.

Claims (7)

  1. 실리카 구 원료를 용매와 촉매의 혼합물에 넣고 교반하여 단분산 실리카 구를 제조하는 단계;
    상기 단분산 실리카 구가 분산되어 있는 혼합물에 비닐트리에톡시실란, 비닐트리메톡시실란, 3-(트리메톡시 실릴)프로필 아크릴레이트 및 트리에톡시알릴실란으로 이루어진 군에서 선택된 1종의 실리콘 화합물을 첨가하여 상기 실리카 구의 표면을 개질하는 단계;
    상기 표면 개질된 실리카 구를 세척한 후, 용매에 재분산시키고 광개시제를 첨가하여 광개시제 첨가 용액을 제조하는 단계;
    상기 광개시제 첨가 용액에 자외선을 조사하여 자기조립 동안 광가교를 일으켜 나노 구조체를 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 실리카 구의 표면을 개질하는 단계는 상기 실리콘 화합물의 첨가량을 조절하여 나노 구조체의 굴절률을 조절하는 것을 특징으로 하는, 결함 없는 대면적 나노 구조체의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 용매는 물, 메탄올, 에탄올, 에틸렌글리콜 및 글리세롤로 이루어진 군에서 선택된 1종인 것을 특징으로 하는, 결함 없는 대면적 나노 구조체의 제조방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 촉매는 수산화암모늄, 수산화나트륨, 수산화칼륨 및 수산화칼슘으로 이루어진 군에서 선택된 1종인 것을 특징으로 하는, 결함 없는 대면적 나노 구조체의 제조방법.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 세척은 상기 개질된 실리카 구를 2000 ~ 5000 rpm으로 원심분리 하고 용매로 세척하는 것을 특징으로 하는, 결함 없는 대면적 나노 구조체의 제조방법.
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 나노 구조체는 디스플레이, 후라이팬, 터널 내벽, 거울, 비닐하우스, 건물 외벽 및 태양전지 표면으로 이루어진 군에서 선택된 1종에 적용되는 것을 특징으로 하는, 결함 없는 대면적 나노 구조체의 제조방법.
  7. 제 1 항의 방법으로 제조된 결함 없는 대면적 나노 구조체.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Materials Letters, 2010, Vol. 64, pp 463-465. *
Materials Letters, 2010, Vol. 64, pp 463-465.*

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