KR101412963B1 - 클린룸의 습도조절장치 - Google Patents

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KR101412963B1 KR1020130084487A KR20130084487A KR101412963B1 KR 101412963 B1 KR101412963 B1 KR 101412963B1 KR 1020130084487 A KR1020130084487 A KR 1020130084487A KR 20130084487 A KR20130084487 A KR 20130084487A KR 101412963 B1 KR101412963 B1 KR 101412963B1
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문승현
윤형기
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한국에너지기술연구원
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Abstract

본 발명은 클린룸(clean room) 내의 습도를 조절하기 위한 클린룸의 습도조절장치에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 공급된 정제수의 일부가 그대로 버려짐으로써 고가의 정제수가 낭비되는 문제가 있었던 종래의 클린룸의 습도조절장치들의 문제점을 해결하여, 공급된 정제수가 버려지는 것이 없이 모두 활용될 수 있도록 구성되어 정제수의 낭비를 방지할 수 있으며, 그것에 의해, 클린룸의 운영비용 및 클린룸 내에서 제조되는 제품의 생산비용을 절감할 수 있는 클린룸의 습도조절장치가 제공된다.

Description

클린룸의 습도조절장치{Humidity control apparatus for clean room}
본 발명은 클린룸(clean room)에 관한 것으로, 더 상세하게는, 클린룸 내의 습도를 조절하기 위한 클린룸의 습도조절장치에 관한 것이다.
또한, 본 발명은, 비교적 간단한 구성으로 종래의 클린룸에서 습도조절을 위해 사용되는 정제수의 낭비를 방지할 수 있도록 구성되어 생산비용을 절감할 수 있는 클린룸의 습도조절장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 등의 제조공정이나, 정밀화학, 폭발성 물질 제조 및 보관장소 등지에 있어서는, 먼지와 같은 불순물이 제거된 동시에 온도 및 습도가 작업에 적정한 상태로 조정된 청정한 공기가 공급되는 이른바 클린룸(clean room) 환경에서 작업이 이루어진다.
여기서, 상기한 바와 같이 클린룸에 공급되는 공기를 정화하고 온도 및 습도를 최적의 상태로 유지하여 공급하기 위하여는, 그러한 공기의 정화 및 온도, 습도의 유지하기 위해, 공기를 이송하기 위한 송풍기의 운전비용, 필터를 통하여 불순물을 걸러내기 위한 정화비용, 온도 및 습도를 최적의 상태로 조절하기 위해 공기를 냉각 및 가열하기 위한 조절비용 등이 필요하며, 이러한 공기의 제조비용은 결과적으로 제품의 제조비용 상승 및 가격인상의 요인이 되는 문제가 있다.
따라서, 이러한 문제를 해결하기 위해, 종래, 클린룸에 대한 여러 가지 연구결과가 제시된 바 있으며, 그러한 클린룸에 대한 종래기술의 예로서, 예를 들면, 한국 등록특허 제10-1208015호(2012.11.28.)에 제시된 바와 같은 "클린룸 제습 공조 장치"가 있다.
더 상세하게는, 상기한 등록특허 제10-1208015호의 클린룸 제습 공조 장치는, 클린룸 챔버 내부 공간으로 외부 공기가 유입되어 여름철과 같이 외부 공기에 습기가 많은 경우에는 외부 공기의 유입에 의해 클린룸 챔버 내부 공간의 습도가 올라가게 되고, 이에 따라 반도체 부품이나 바이오 제품과 같은 첨단 제품들이 습기에 의해 손상되는 등의 문제가 있으며, 이러한 문제를 해결하기 위해 여름철에만 외부 공기의 유입을 완전 차단하는 경우, 클린룸 챔버 내부 공간에 산소 공급이 차단되어 산소 부족으로 인해 작업자의 건강이 위협받거나 작업 능률이 저하되는 등의 문제가 있었던 종래의 클린룸 제습 공조장치의 문제점을 해결하고자 하는 것이다.
이를 위해, 상기한 등록특허 제10-1208015호에 따르면, 별도의 컴프레셔를 통해 클린룸 챔버에 건조 공기를 공급하는 방식으로 클린룸 챔버 내부 공간에 대한 제습 기능을 수행함으로써, 외부 공기의 유입을 방지하여 여름철과 같이 외부 공기의 습도가 높은 경우에도 클린룸 챔버 내부 공간의 건조 상태를 양호하게 유지시킬 수 있으며, 컴프레셔를 통한 건조 공기의 공급을 통해 클린룸 챔버 내부 공간에 대한 산소부족 현상 또한 방지할 수 있어 제품 불량을 방지함과 동시에 작업자의 건강 위험을 방지할 수 있는 클린룸 제습 공조 장치가 제공된다.
또한, 상기한 바와 같은 클린룸에 대한 종래기술의 다른 예로서, 예를 들면, 일본 특허출원 제2001-00001684호(2001.01.09.)에 제시된 바와 같은 "처리 공기 공급 장치 및 방법"이 있다.
더 상세하게는, 상기한 일본 특허출원 제2001-00001684호의 처리 공기 공급 장치 및 방법은, 제조비용이 드는 클린룸 공급 공기가 각각의 제조장치를 거쳐 클린룸 외부로 배출되도록 구성됨으로 인해, 배출된 공기의 양만큼 온도 및 습도가 조절된 청정한 공기를 새롭게 제조하여 클린룸에 계속 공급해야 하므로, 클린룸의 가동 비용을 상승시키는 문제가 있었던 기존의 클린룸의 공기조절 시스템의 문제점을 해결하고자 하는 것이다.
이를 위해, 상기한 일본 특허출원 제2001-00001684호에 따르면, 클린룸 외부의 공기에 소정의 처리를 실시한 다음 제조장치 내에 직접 공급함으로써, 클린룸 내의 공기의 소비량을 저감하여 클린룸의 가동 비용을 저감할 수 있는 처리 공기 공급 장치 및 방법이 제공된다.
그러나 상기한 등록특허 제10-1208015호 및 일본 특허출원 제2001-00001684호는, 별도의 처리장치를 더 구비해야함으로 인해 설비비용이 오히려 늘어나게 되어, 사실상 제조비용 절감에는 큰 도움이 되지 못하는 한계가 있는 것이었다.
아울러, 상기한 바와 같은 클린룸에 대한 종래기술의 또 다른 예로서는, 예를 들면, 한국 등록특허 제10-1117288호(2012.02.09.)에 제시된 바와 같은 "수 배관을 이용한 클린룸 습도제어장치"가 있다.
더 상세하게는, 상기한 등록특허 제10-1117288호의 수 배관을 이용한 클린룸 습도제어장치는, 클린룸 내부의 습도를 일정하게 유지하기 위하여 클린룸 주위를 흐르는 냉각수를 이용하여 이를 클린룸 내부에 고압으로 미세한 물방울로 안개처럼 분무시켜 습도를 제어하도록 구성됨으로써, 종래의 스팀증기를 이용하여 습도를 제어하는 구성에 비하여 전기에너지 및 유지보수 비용을 크게 절약할 수 있는 클린룸 습도제어장치에 관한 것이다.
그러나 상기한 등록특허 제10-1117288호에 제시된 바와 같은 냉각수를 이용한 종래의 클린룸의 습도조절장치는, 공급된 냉각수가 100% 활용되지 못하고 일부는 그대로 버려지게 되는 문제가 있다.
즉, 종래, 일반적으로, 클린룸에 공급되는 공기의 습도를 조절하기 위한 습도조절장치에 사용되는 냉각수로는 대부분, 예를 들면, 이온 정제수와 같은 정제수가 많이 이용되며, 이러한 정제수는 가격이 매우 고가이다.
그러나 상기한 바와 같이, 종래의 클린룸의 습도조절장치는, 공급된 정제수가 100% 활용되지 못하고 일부가 그대로 버려지게 되는 문제가 있으며, 또한, 정제수는 일단 공기와 접촉하게 되면 오염이 발생하여 다시 사용할 수 없으므로, 사용되지 못하고 그대로 흘러나가는 정제수를 회수하여 재활용할 수 있는 방법 또한 없는 관계로 고가의 정제수가 낭비되는 문제가 있는 것이었다.
따라서 상기한 바와 같이 공급된 정제수의 일부가 그대로 버려짐으로써 고가의 정제수가 낭비되는 문제가 있었던 종래의 클린룸의 습도조절장치들의 문제점을 해결하기 위하여는, 공급된 정제수가 버려지는 것이 없이 모두 활용될 수 있도록 구성되는 새로운 구조의 클린룸의 습도조절장치를 제공하는 것이 바람직하나, 아직까지 그러한 요구를 모두 만족시키는 장치나 방법은 제공되지 못하고 있는 실정이다.
[선행기술문헌]
1. 한국 등록특허 제10-1208015호(2012.11.28.)
2. 한국 등록특허 제10-1117288호(2012.02.09.)
3. 한국 공개특허공보 제10-2009-0119235호(2009.11.19.)
4. 일본 특허출원 제2001-00001684호(2001.01.09.)
본 발명은 상기한 바와 같은 종래기술의 문제점들을 해결하고자 하는 것으로, 따라서 본 발명의 목적은, 공급된 정제수의 일부가 그대로 버려짐으로써 고가의 정제수가 낭비되는 문제가 있었던 종래의 클린룸의 습도조절장치들의 문제점을 해결하기 위해, 공급된 정제수가 버려지는 것이 없이 모두 활용될 수 있도록 구성되어 정제수의 낭비를 방지할 수 있도록 구성되는 클린룸의 습도조절장치를 제공하고자 하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은, 상기한 바와 같이 공급된 정제수가 버려지는 것이 없이 모두 활용될 수 있도록 구성되어 정제수의 낭비를 방지함으로써, 클린룸의 운영비용 및 클린룸 내에서 제조되는 제품의 생산비용을 절감할 수 있는 클린룸의 습도조절장치를 제공하고자 하는 것이다.
아울러, 본 발명의 또 다른 목적은, 상기한 바와 같이 공급된 정제수가 버려지는 것이 없이 모두 활용될 수 있도록 구성되어 정제수의 낭비를 방지할 수 있도록 구성되는 클린룸의 습도조절장치를 외기와의 환기가 중앙집중식으로 이루어지는 고층 빌딩이나 주상복합건물 등에 적용함으로써, 건물 내에 정화된 공기를 공급하는 공기순환 시스템으로서도 활용될 수 있는 클린룸의 습도조절장치를 제공하고자 하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따르면, 정제수의 공급파이프로부터 정제수를 분사하도록 구성됨으로 인해 정제수가 낭비되는 종래의 클린룸의 습도조절장치의 문제점을 해결하기 위해, 사용되지 못하고 버려지는 정제수가 없도록 구성되는 클린룸의 습도조절장치에 있어서, 정제수가 저장되어 있는 한 쌍의 저장탱크; 및 각각의 상기 저장탱크 사이를 연결하도록 한 쌍의 상기 저장탱크 사이에 배치되는 복수의 필터부재를 포함하여 구성되고, 모세관현상 및 상기 필터부재의 흡수력에 의한 확산현상에 의해 상기 저장탱크에 저장된 상기 정제수가 상기 필터부재를 통하여 이동됨으로써, 상기 정제수가 흡수된 상기 필터부재에 의해 상기 필터부재를 통과하여 상기 클린룸 내부로 공급되는 공기의 습도 조절 및 정화 기능이 이루어지며, 상기 저장탱크에 저장된 상기 정제수가 상기 필터부재를 통하여 이동되는 것에 의해, 상기 저장탱크로부터 직접 상기 필터부재에 상기 정제수가 공급됨으로써 사용되지 못하고 버려지는 정제수의 발생이 방지되어 상기 정제수의 낭비가 방지될 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 습도조절장치가 제공된다.
여기서, 상기 필터부재는, 폴리비닐알콜(Polyvinyl alcohol ; PVA), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate ; PET), 폴리에틸렌(Polyethylene ; PE), 폴리우레탄PU(Polyurethane ;PU)를 포함하는 친수성 고분자 수지 재료들 중 적어도 하나를 이용하여 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 필터부재는, 원형 또는 타원형의 막대 형태로 형성되는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 필터부재는, 속이 꽉 찬 중실형 막대 형태로 형성되는 것을 특징으로 한다.
또는, 상기 필터부재는, 내부로 상기 정제수가 유입될 수 있도록 속이 빈 중공형 막대 형태로 형성되는 것을 특징으로 한다.
더욱이, 상기 클린룸의 습도조절장치는, 상기 저장탱크의 수위를 조절함으로써 습도를 조절할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 클린룸의 습도조절장치는, 복수의 상기 필터부재가 수평이 아닌 미리 정해진 임의의 각도로 경사지게 설치되어 X자 형태로 배치됨으로써, 모세관현상 및 확산 현상에 더하여 수위차로 인한 수압에 의해서도 상기 저장탱크 내의 상기 정제수가 이동하도록 구성되어 상기 정제수의 이동이 신속하게 이루어지도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 클린룸의 습도조절장치는, 한 쌍의 상기 저장탱크가 각각 고저차를 가지도록 설치되고, 복수의 상기 필터부재가 수평이 아닌 미리 정해진 임의의 각도로 경사지게 설치됨으로써, 모세관현상 및 확산 현상에 더하여 수위차로 인한 수압에 의해서도 상기 저장탱크 내의 상기 정제수가 이동하도록 구성되어 상기 정제수의 이동이 신속하게 이루어지는 동시에, 각각의 상기 저장탱크의 최하단에 위치된 상기 정제수까지도 모두 사용 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
더욱이, 상기 클린룸의 습도조절장치는, 한 쌍의 상기 저장탱크가 각각 고저차를 가지도록 설치되고, 복수의 상기 필터부재가 수평이 아닌 미리 정해진 임의의 각도로 경사지게 설치되어 X자 형태로 배치되도록 구성됨으로써, 모세관현상 및 확산 현상에 더하여 수위차로 인한 수압에 의해서도 상기 저장탱크 내의 상기 정제수가 이동하도록 구성되어 상기 정제수의 이동이 신속하게 이루어지는 동시에, 각각의 상기 저장탱크의 최하단에 위치된 상기 정제수까지도 모두 사용 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따르면, 정제수의 낭비를 방지하면서 클린룸 또는 외기와의 환기가 중앙집중식으로 이루어지는 건물 내에 정화된 공기를 공급하기 위한 공기공급 시스템에 있어서, 공기가 공급되는 통로를 형성하는 에어 터널; 상기 에어 터널의 일측에 설치되는 송풍용 팬; 상기 공기의 냉각을 위한 쿨링 코일이 설치되는 냉각부; 상기 공기의 가열을 위한 히팅 코일이 설치되는 가열부; 상기 공기의 습도조절을 위한 습도조절부; 및 상기 공기의 온도 및 습도를 측정하여 조절하기 위해 상기 냉각부, 상기 가열부, 상기 습도조절부 사이의 각 구간마다 각각 설치되는 노점센서를 포함하여 구성되고, 상기 습도조절부는, 상기에 기재된 클린룸의 습도조절장치를 이용하여 구성되는 것을 특징으로 하는 공기공급 시스템이 제공된다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 공급된 정제수가 버려지는 것이 없이 모두 활용될 수 있도록 구성되어 정제수의 낭비를 방지할 수 있도록 구성되는 클린룸의 습도조절장치가 제공됨으로써, 공급된 정제수의 일부가 그대로 버려짐으로써 고가의 정제수가 낭비되는 문제가 있었던 종래의 클린룸의 습도조절장치들의 문제점을 해결할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기한 바와 같이 공급된 정제수가 버려지는 것이 없이 모두 활용될 수 있도록 구성되어 정제수의 낭비를 방지할 수 있도록 구성되는 클린룸의 습도조절장치가 제공됨으로써, 클린룸의 운영비용을 절감할 수 있을 뿐만 아니라, 클린룸 내에서 제조되는 제품의 생산비용을 절감할 수 있다.
아울러, 본 발명에 따르면, 상기한 바와 같이 공급된 정제수가 버려지는 것이 없이 모두 활용될 수 있도록 구성되어 정제수의 낭비를 방지할 수 있도록 구성되는 클린룸의 습도조절장치를 외기와의 환기가 중앙집중식으로 이루어지는 고층 빌딩이나 주상복합건물 등에 적용함으로써, 건물 내에 정화된 공기를 공급하는 공기순환 시스템으로서도 활용할 수 있다.
더욱이, 본 발명에 따르면, 상기한 바와 같이 공급된 정제수가 버려지는 것이 없이 모두 활용될 수 있도록 구성되어 정제수의 낭비를 방지할 수 있는 동시에, 기존의 기화식 습도조절장치에서 채택하고 있는 노즐이 필요 없게 되므로 장치 구성이 단순화되고, 그것에 의해 설치비와 운전유지비가 절감될 수 있으며, 또한, 굴곡이 있는 필터부재를 사용하지 않으므로 청소가 용이한 장점이 있다.
도 1은 종래의 클린룸의 공기공급 시스템의 전체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1에 나타낸 종래의 클린룸의 공기공급 시스템의 습도조절부의 전체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 클린룸의 습도조절장치의 전체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 클린룸의 습도조절장치 전체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 클린룸의 습도조절장치 전체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 클린룸의 습도조절장치의 구체적인 실시예에 대하여 설명한다.
여기서, 이하에 설명하는 내용은 본 발명을 실시하기 위한 하나의 실시예일 뿐이며, 본 발명은 이하에 설명하는 실시예의 내용으로만 한정되는 것은 아니라는 사실에 유념해야 한다.
또한, 이하의 본 발명의 실시예에 대한 설명에 있어서, 종래기술의 내용과 동일 또는 유사하거나 당업자의 수준에서 용이하게 이해하고 실시할 수 있다고 판단되는 부분에 대하여는, 설명을 간략히 하기 위해 그 상세한 설명을 생략하였음에 유념해야 한다.
즉, 본 발명은, 후술하는 바와 같이, 공급된 정제수의 일부가 그대로 버려짐으로써 고가의 정제수가 낭비되는 문제가 있었던 종래의 클린룸의 습도조절장치들의 문제점을 해결하여, 공급된 정제수가 버려지는 것이 없이 모두 활용될 수 있도록 구성되어 정제수의 낭비를 방지할 수 있도록 구성되는 클린룸의 습도조절장치에 관한 것이다.
또한, 본 발명은, 상기한 바와 같이 공급된 정제수가 버려지는 것이 없이 모두 활용될 수 있도록 구성되어 정제수의 낭비를 방지함으로써, 클린룸의 운영비용 및 클린룸 내에서 제조되는 제품의 생산비용을 절감할 수 있는 클린룸의 습도조절장치에 관한 것이다.
아울러, 본 발명은, 상기한 바와 같이 공급된 정제수가 버려지는 것이 없이 모두 활용될 수 있도록 구성되어 정제수의 낭비를 방지할 수 있도록 구성되는 클린룸의 습도조절장치를 외기와의 환기가 중앙집중식으로 이루어지는 고층 빌딩이나 주상복합건물 등에 적용함으로써, 건물 내에 정화된 공기를 공급하는 공기공급 시스템으로서도 활용될 수 있는 클린룸의 습도조절장치에 관한 것이다.
계속해서, 첨부된 도면을 참조하여, 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 클린룸의 습도조절장치의 구체적인 실시예에 대하여 설명한다.
먼저, 도 1을 참조하면, 도 1은 정화된 공기를 클린룸 내부에 온도 및 습도가 적정하게 유지된 상태로 공급하기 위한 종래의 클린룸의 공기공급 시스템의 전체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 종래의 클린룸의 공기 공급 시스템(10)은, 공기가 공급되는 통로를 형성하는 에어 터널(11)의 일측에 송풍용 팬(12)이 설치되고, 통로를 따라 공기의 냉각을 위한 쿨링 코일이 설치되는 냉각부(13)와, 공기의 가열을 위한 히팅 코일이 설치되는 가열부(14) 및 습도조절을 위한 습도조절부(15)가 차례로 배치되며, 각각의 냉각부(13), 가열부(14) 및 습도조절부(15)의 사이에는, 각 구간마다 공기의 온도 및 습도를 측정하여 적절하게 조절할 수 있도록 노점센서(16)가 각각 배치되어 있다.
또한, 도 2를 참조하면, 도 2는 도 1에 나타낸 종래의 클린룸의 공기공급 시스템(10)의 습도조절부(15)의 전체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
즉, 도 2에 나타낸 바와 같이, 종래의 클린룸의 공기공급 시스템의 습도조절부(15)는, 정제수가 공급되는 정제수 공급파이프(21)와, 정제수 공급파이프(21) 아래에 배치되는 필터부재(22) 및 정제수 공급파이프(21)로부터 필터부재(22)를 통과하여 흘러내리는 정제수를 배출하기 위한 배수파이프(23)를 포함하여 구성되어 있다.
따라서 상기한 바와 같은 구성에 의해, 종래의 클린룸의 공기공급 시스템(10)에 적용되는 습도조절부(15)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 정제수 공급파이프(21)로부터 공급되는 정제수가 필터부재(22)에 흡수되고, 이러한 필터부재(22)를 공기가 통과하면서 정제수와 필터부재에 의해 습도조절 및 정화작용이 이루어진다.
또한, 상기한 종래의 클린룸의 공기공급 시스템(10)에 적용되는 습도조절부(15)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 정제수 공급파이프(21)로부터 공급되는 정제수가 필터부재(22)에 흡수된 후 배수파이프(23)를 통하여 배출되며, 이때, 필터부재(22)에 미처 흡수되지 못한 정제수도 함께 그대로 배출되게 된다.
따라서 상기한 바와 같은 종래의 클린룸의 공기공급 시스템(10)에 적용되는 습도조절부(15)는, 공급되는 정제수가 100% 활용되지 못하고 일부가 그대로 버려지게 되는 문제가 있는 것이었다.
아울러, 사용되지 못한 정제수라 하더라도 일단 공기중에 노출되면 오염되어 다시 사용할 수 없으므로, 이와 같이 미사용된 정제수를 다시 회수하여 재활용할 수 있는 방법 또한 전무한 실정이다.
이에, 본 발명자들은, 상기한 바와 같이 사용되지 못하고 버려지는 정제수의 낭비를 방지하기 위해, 다음과 같이 새로운 구조의 클린룸의 습도조절장치를 제안하였다.
계속해서, 도 3을 참조하여, 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 클린룸의 습도조절장치의 구체적인 실시예에 대하여 설명한다.
즉, 도 3을 참조하면, 도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 클린룸의 습도조절장치의 전체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
더 상세하게는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 클린룸의 습도조절장치(30)는, 크게 나누어, 정제수가 각각 저장되어 있는 한 쌍의 저장탱크(31)와, 각각의 저장탱크(31) 사이를 연결하도록 한 쌍의 저장탱크(31) 사이에 나란히 배치되는 복수의 필터부재(32)를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기한 필터부재(32)는, 예를 들면, 폴리비닐알콜(Polyvinyl alcohol ; PVA), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate ; PET), 폴리에틸렌(Polyethylene ; PE), 폴리우레탄PU(Polyurethane ;PU) 등과 같은 친수성 고분자 수지 재료를 이용하여 원형 또는 타원형의 막대 형태나, 천 형태로 형성된다.
또한, 상기한 필터부재(32)는, 막대형으로 형성되는 경우, 속이 꽉 찬 중실형 막대 형태로 형성될 수도 있고, 또는, 속이 빈 중공형 막대 형태로 형성되어 내부로 정제수가 흘러들어갈 수 있도록 구성될 수도 있다.
따라서 상기한 바와 같은 구성을 통해, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 클린룸의 습도조절장치(30)는, 저장탱크(31)에 저장된 정제수가 친수성 고분자 수지 재료를 이용하여 형성되는 필터부재(32)에 의해 스며들게 됨으로써, 도 2에 나타낸 바와 같은 종래의 습도조절부(15)와 동일하게 클린룸 내부로 공급되는 공기의 습도 조절 및 정화 기능을 수행 가능하도록 구성된다.
여기서, 도 3에 나타낸 본 발명의 제 1 실시예에 따른 클린룸의 습도조절장치(30)는, 상기한 바와 같이 저장탱크(31)와 친수성 고분자 수지 재료를 이용하여 막대 형태로 형성되는 필터부재(32)의 매우 간단한 구성만으로 클린룸의 습도조절장치를 구현할 수 있는 장점이 있다.
또한, 도 2에 나타낸 바와 같은 종래의 클린룸의 습도조절부(15)는, 정제수 공급파이프(21)의 외부로 정제수를 분사하여 필터부재(22)에 공급함으로인해 고가인 정제수의 낭비가 심한 단점이 있었으나, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 클린룸의 습도조절장치(30)는, 저장탱크(31)로부터 직접 필터부재(32)에 정제수가 공급됨으로써, 사용되지 못하고 버려지는 정제수가 없게 되어 정제수의 낭비가 방지될 수 있다.
아울러, 도 2에 나타낸 바와 같은 종래의 클린룸의 습도조절부(15)는, 정제수 공급파이프(21)로부터 분사되는 정제수의 수량을 조절하여 습도를 조절해야 하므로 습도의 조절이 직관적이지 못하여 용이하지 못한 단점이 있는 것이나, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 클린룸의 습도조절장치(30)는, 저장탱크(31)의 수위를 조절함으로써 종래에 비해 용이하게 직관적으로 습도를 조절할 수 있는 장점 또한 가지는 것이다.
더욱이, 도 3에 나타낸 상기한 실시예에서는, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 클린룸의 습도조절장치(30)가 한 쌍의 저장탱크(31)와 그 사이에 나란히 배치된 복수의 필터부재(32)를 포함하여 구성되는 것으로 하여 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 이러한 구성으로만 한정되는 것은 아니다.
즉, 도 4 및 도 5를 참조하면, 도 4 및 도 5는 각각 도 3에 나타낸 본 발명의 실시예에 따른 클린룸의 습도조절장치(30)의 다른 실시예의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
여기서, 이하에 설명하는 본 발명의 제 2 및 제 3 실시예에 있어서는, 설명을 간략히 하기 위해 도 3을 참조하여 상기한 클린룸의 습도조절장치(30)와 동일한 부분에 대하여는 동일한 도면부호로 나타내어 그 상세한 설명을 생략하고, 다른 부분에 대하여만 설명한다.
더 상세하게는, 먼저, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 클린룸의 습도조절장치(40)는, 한 쌍의 저장탱크(31)와 그 사이에 배치된 복수의 필터부재(32)를 포함하여 구성되는 점은 상기한 도 3에 나타낸 제 1 실시예의 습도조절장치(30)와 동일하나, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 클린룸의 습도조절장치(40)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 필터부재(32)가 수평이 아닌 사선으로 경사지게 설치되어 있는 점이 상기한 제 1 실시예와 다르다.
즉, 도 3에 나타낸 제 1 실시예의 습도조절장치(40)는 전적으로 모세관현상이나 필터부재(32)의 흡수력에 의한 확산현상에 의해 저장탱크(31) 내의 정제수가 이동하는 구성인 반면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 클린룸의 습도조절장치(40)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 저장탱크(31) 사이에 필터부재(32)가 각각 경사지게 배열되어 X자 형태로 배치됨으로써, 제 1 실시예에서의 모세관현상이나 확산 현상에 더하여, 수위차로 인한 수압에 의해서도 저장탱크(31) 내의 정제수가 이동하게 되므로 제 1 실시예에 비하여 신속하게 정제수의 이동이 이루어지고, 그것에 의해, 습도조절이 더욱 용이하게 이루어질 수 있다.
또한, 도 5를 참조하면, 도 5는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 클린룸의 습도조절장치(50)의 전체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
더 상세하게는, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 클린룸의 습도조절장치(50)는, 한 쌍의 저장탱크(31)와 그 사이에 배치된 복수의 필터부재(32)를 포함하여 구성되는 점은 상기한 제 1 및 제 2 실시예의 습도조절장치(30)와 동일하나, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 클린룸의 습도조절장치(50)는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 필터부재(32)가 수평이 아닌 사선으로 경사지게 설치되어 있는 데 더하여, 각각의 저장탱크(31) 또한 그 설치 위치에 고저차를 두어 설치되는 점이 상기한 제 1 및 제 2 실시예와 다르다.
즉, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 클린룸의 습도조절장치(50)는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 필터부재(32)를 사선으로 경사지게 설치함으로써 상기한 제 1 및 제 2 실시예에서와 같이 정제수의 이동이 신속하게 이루어지게 되어 습도조절이 용이해지는 동시에, 각각의 저장탱크(31) 또한 고저차를 두어 설치함으로써 저장탱크(31)의 최하단에 위치된 정제수까지도 모두 사용 가능하도록 구성되어 고가인 정제수의 사용 효율을 더욱 높일 수 있다.
여기서, 도 5에 나타낸 제 3 실시예에서는, 필터부재(32)가 사선으로 경사지게 설치되는 경우를 예로 하여 본 발명을 나타내었으나, 본 발명은 상기한 실시예들에 기재된 구성들로만 한정되는 것은 아니며, 즉, 본 발명은, 예를 들면, 도 5에 나타낸 제 3 실시예의 구성에서 필터부재(32)를 도 4에 나타낸 제 2 실시예와 같이 X자 형태로 배치하도록 구성될 수도 있는 등, 필요에 따라 다양하게 구성 가능한 것이다.
따라서 상기한 바와 같이 하여, 본 발명에 따른 클린룸의 습도조절장치를 구현할 수 있다.
또한, 상기한 바와 같이 하여 본 발명에 따른 클린룸의 습도조절장치를 구현하는 것에 의해, 본 발명에 따르면, 공급된 정제수가 버려지는 것이 없이 모두 활용될 수 있도록 구성되어 정제수의 낭비를 방지할 수 있도록 구성되는 클린룸의 습도조절장치가 제공됨으로써, 공급된 정제수의 일부가 그대로 버려짐으로써 고가의 정제수가 낭비되는 문제가 있었던 종래의 클린룸의 습도조절장치들의 문제점을 해결할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기한 바와 같이 공급된 정제수가 버려지는 것이 없이 모두 활용될 수 있도록 구성되어 정제수의 낭비를 방지할 수 있도록 구성되는 클린룸의 습도조절장치가 제공됨으로써, 클린룸의 운영비용을 절감할 수 있을 뿐만 아니라, 클린룸 내에서 제조되는 제품의 생산비용을 절감할 수 있다.
아울러, 본 발명에 따르면, 상기한 바와 같이 공급된 정제수가 버려지는 것이 없이 모두 활용될 수 있도록 구성되어 정제수의 낭비를 방지할 수 있도록 구성되는 클린룸의 습도조절장치를 외기와의 환기가 중앙집중식으로 이루어지는 고층 빌딩이나 주상복합건물 등에 적용함으로써, 건물 내에 정화된 공기를 공급하는 공기공급 시스템으로서도 활용할 수 있다.
더욱이, 본 발명에 따르면, 상기한 바와 같이 공급된 정제수가 버려지는 것이 없이 모두 활용될 수 있도록 구성되어 정제수의 낭비를 방지할 수 있는 동시에, 기존의 기화식 습도조절장치에서 채택하고 있는 노즐이 필요 없게 되므로 장치 구성이 단순화되고, 그것에 의해 설치비와 운전유지비가 절감될 수 있으며, 또한, 굴곡이 있는 필터부재를 사용하지 않으므로 청소가 용이한 장점이 있다.
이상, 상기한 바와 같은 본 발명의 실시예를 통하여 본 발명에 따른 클린룸의 습도조절장치의 상세한 내용에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 기재된 내용으로만 한정되는 것은 아니며, 따라서 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 설계상의 필요 및 기타 다양한 요인에 따라 여러 가지 수정, 변경, 결합 및 대체 등이 가능한 것임은 당연한 일이라 하겠다.
10. 클린룸의 공기 공급 시스템 11. 에어 터널
12. 송풍용 팬 13. 냉각부
14. 가열부 15. 습도조절부
16. 노점센서 21. 정제수 공급파이프
22. 필터부재 23. 배수파이프
30. 클린룸의 습도조절장치 31. 저장탱크
32. 필터부재 40. 클린룸의 습도조절장치
50. 클린룸의 습도조절장치

Claims (10)

  1. 정제수의 공급파이프로부터 정제수를 분사하도록 구성됨으로 인해 정제수가 낭비되는 종래의 클린룸의 습도조절장치의 문제점을 해결하기 위해, 사용되지 못하고 버려지는 정제수가 없도록 구성되는 클린룸의 습도조절장치에 있어서,
    정제수가 저장되어 있는 한 쌍의 저장탱크; 및
    각각의 상기 저장탱크 사이를 연결하도록 한 쌍의 상기 저장탱크 사이에 배치되는 복수의 필터부재를 포함하여 구성되고,
    모세관현상 및 상기 필터부재의 흡수력에 의한 확산현상에 의해 상기 저장탱크에 저장된 상기 정제수가 상기 필터부재를 통하여 이동됨으로써, 상기 정제수가 흡수된 상기 필터부재에 의해 상기 필터부재를 통과하여 상기 클린룸 내부로 공급되는 공기의 습도 조절 및 정화 기능이 이루어지며,
    상기 저장탱크에 저장된 상기 정제수가 상기 필터부재를 통하여 이동되는 것에 의해, 상기 저장탱크로부터 직접 상기 필터부재에 상기 정제수가 공급됨으로써 사용되지 못하고 버려지는 정제수의 발생이 방지되어 상기 정제수의 낭비가 방지될 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 습도조절장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 필터부재는,
    폴리비닐알콜(Polyvinyl alcohol ; PVA), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate ; PET), 폴리에틸렌(Polyethylene ; PE), 폴리우레탄PU(Polyurethane ;PU)를 포함하는 친수성 고분자 수지 재료들 중 적어도 하나를 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 습도조절장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 필터부재는,
    원형 또는 타원형의 막대 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 습도조절장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 필터부재는,
    속이 꽉 찬 중실형 막대 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 습도조절장치.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 필터부재는,
    내부로 상기 정제수가 유입될 수 있도록 속이 빈 중공형 막대 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 습도조절장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 클린룸의 습도조절장치는,
    상기 저장탱크의 수위를 조절함으로써 습도를 조절할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 습도조절장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 클린룸의 습도조절장치는,
    복수의 상기 필터부재가 수평이 아닌 미리 정해진 임의의 각도로 경사지게 설치되어 X자 형태로 배치됨으로써, 모세관현상 및 확산 현상에 더하여 수위차로 인한 수압에 의해서도 상기 저장탱크 내의 상기 정제수가 이동하도록 구성되어 상기 정제수의 이동이 신속하게 이루어지도록 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 습도조절장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 클린룸의 습도조절장치는,
    한 쌍의 상기 저장탱크가 각각 고저차를 가지도록 설치되고,
    복수의 상기 필터부재가 수평이 아닌 미리 정해진 임의의 각도로 경사지게 설치됨으로써,
    모세관현상 및 확산 현상에 더하여 수위차로 인한 수압에 의해서도 상기 저장탱크 내의 상기 정제수가 이동하도록 구성되어 상기 정제수의 이동이 신속하게 이루어지는 동시에, 각각의 상기 저장탱크의 최하단에 위치된 상기 정제수까지도 모두 사용 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 습도조절장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 클린룸의 습도조절장치는,
    한 쌍의 상기 저장탱크가 각각 고저차를 가지도록 설치되고,
    복수의 상기 필터부재가 수평이 아닌 미리 정해진 임의의 각도로 경사지게 설치되어 X자 형태로 배치되도록 구성됨으로써,
    모세관현상 및 확산 현상에 더하여 수위차로 인한 수압에 의해서도 상기 저장탱크 내의 상기 정제수가 이동하도록 구성되어 상기 정제수의 이동이 신속하게 이루어지는 동시에, 각각의 상기 저장탱크의 최하단에 위치된 상기 정제수까지도 모두 사용 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 습도조절장치.
  10. 정제수의 낭비를 방지하면서 클린룸 또는 외기와의 환기가 중앙집중식으로 이루어지는 건물 내에 정화된 공기를 공급하기 위한 공기공급 시스템에 있어서,
    공기가 공급되는 통로를 형성하는 에어 터널;
    상기 에어 터널의 일측에 설치되는 송풍용 팬;
    상기 공기의 냉각을 위한 쿨링 코일이 설치되는 냉각부;
    상기 공기의 가열을 위한 히팅 코일이 설치되는 가열부;
    상기 공기의 습도조절을 위한 습도조절부; 및
    상기 공기의 온도 및 습도를 측정하여 조절하기 위해 상기 냉각부, 상기 가열부, 상기 습도조절부 사이의 각 구간마다 각각 설치되는 노점센서를 포함하여 구성되고,
    상기 습도조절부는,
    청구항 1항 내지 9항 중 어느 한 항에 기재된 클린룸의 습도조절장치를 이용하여 구성되는 것을 특징으로 하는 공기공급 시스템.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0388799U (ko) * 1989-12-26 1991-09-10
KR20020086774A (ko) * 2001-05-10 2002-11-20 엘지전자 주식회사 에어컨용 가습장치
KR20030052266A (ko) * 2001-12-20 2003-06-27 이후근 습도를 조절할 수 있도록 수분 발생 장치를 갖춘 공기정화기
KR20120001519A (ko) * 2010-06-29 2012-01-04 웅진코웨이주식회사 가습필터 및 가습필터를 가진 가습장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0388799U (ko) * 1989-12-26 1991-09-10
KR20020086774A (ko) * 2001-05-10 2002-11-20 엘지전자 주식회사 에어컨용 가습장치
KR20030052266A (ko) * 2001-12-20 2003-06-27 이후근 습도를 조절할 수 있도록 수분 발생 장치를 갖춘 공기정화기
KR20120001519A (ko) * 2010-06-29 2012-01-04 웅진코웨이주식회사 가습필터 및 가습필터를 가진 가습장치

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