KR101523198B1 - 클린룸용 노즐분사 공조기 - Google Patents

클린룸용 노즐분사 공조기 Download PDF

Info

Publication number
KR101523198B1
KR101523198B1 KR1020140039745A KR20140039745A KR101523198B1 KR 101523198 B1 KR101523198 B1 KR 101523198B1 KR 1020140039745 A KR1020140039745 A KR 1020140039745A KR 20140039745 A KR20140039745 A KR 20140039745A KR 101523198 B1 KR101523198 B1 KR 101523198B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
air
nozzle
particles
water
clean room
Prior art date
Application number
KR1020140039745A
Other languages
English (en)
Inventor
오성진
Original Assignee
주식회사 성진플랜트
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 성진플랜트 filed Critical 주식회사 성진플랜트
Priority to KR1020140039745A priority Critical patent/KR101523198B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101523198B1 publication Critical patent/KR101523198B1/ko

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24FAIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/14Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification

Abstract

본 발명은 반도체 제조시설에 구비되는 클린룸 내부의 공기를 순환시키기 위한 클린룸용 노즐분사 공조기에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 가습기의 사용시 전력소비가 과다하여 운전비용이 증가하고, 가습기의 주기적인 청소 및 부품 교체로 인해 유지비용이 증가하는 문제가 있었던 기존의 반도체 클린룸용 공조기의 가습기 시스템들의 문제점을 해결하기 위해, 노즐의 교차 배치와 입자충돌 구간 형성에 의해 공급수를 온도별로 마이크로버블화 하고, 와류방식 필터를 이용하여 분사입자를 필터링하며, 노즐의 단계별 공기압 조절을 통한 최적 분사를 통하여 가습 챔버 구조별로 가습 효율을 극대화할 수 있도록 구성됨으로써, 클린룸의 공기조화 과정에서 사용되는 공조기의 과다한 전력 소모량을 개선하여 유지관리 비용을 감소하고 가습 효율은 증대시키는 것에 의해 친환경적인 공기조화 시스템을 구축하는 동시에, 기존 공조기와도 손쉽게 호환 적용될 수 있는 새로운 구성의 클린룸용 노즐분사 공조기가 제공된다.

Description

클린룸용 노즐분사 공조기{Nozzle-injection type air handling unit for clean rooms}
본 발명은 공조기에 관한 것으로, 더 상세하게는, 반도체 제조시설에 구비되는 클린룸 내부의 공기를 순환시키기 위한 클린룸용 노즐분사 공조기에 관한 것이다.
또한, 본 발명은, 전력소비가 과다하여 운전비용이 증가하고, 주기적인 청소 및 부품 교체로 인해 유지비용이 증가하는 문제가 있었던 기존의 반도체 클린룸용 공조기의 가습기 시스템들의 문제점을 해결하기 위해, 클린룸의 공기조화 과정에서 사용되는 공조기의 과다한 전력 소모량을 개선하여 유지관리 비용을 감소하고 가습 효율은 증대시키도록 구성되어 친환경적인 공기조화 시스템을 구축하는 동시에, 기존 공조기와도 손쉽게 호환 적용될 수 있는 새로운 구성의 클린룸용 노즐분사 공조기에 관한 것이다.
아울러, 본 발명은, 노즐의 교차 배치와 입자충돌 구간 형성에 의해 공급수를 온도별로 마이크로버블화 하고, 와류방식 필터를 이용하여 분사입자를 필터링하며, 노즐의 단계별 공기압 조절을 통한 최적 분사를 통하여 가습 챔버 구조별로 가습 효율을 극대화할 수 있도록 구성되는 클린룸용 노즐분사 공조기에 관한 것이다.
종래, 일반적으로, 반도체 등의 제조에 있어서는, 미세한 먼지 등에도 제품에 악영향을 받을 수 있으므로 이러한 사고를 방지하기 위해 이른바 클린룸(Clean room)과 같이 청정한 환경 내에서 작업이 이루어진다.
또한, 이러한 클린룸에는, 클린룸 내부로 유입되는 공기를 정화하여 먼지나 오염물질이 유입되는 것을 방지하는 동시에, 유입되는 공기의 온도 및 습도를 최적의 조건으로 맞추어 공급하기 위한 공조기가 사용된다.
여기서, 공조기는, 일반적으로, 전체 공정에서 소비되는 전력의 대략 40% 정도를 차지할 정도로 매우 많은 에너지를 소모하며, 따라서 종래, 이러한 공조기의 에너지 소비를 절감하기 위한 연구가 활발히 진행되고 있다.
더 상세하게는, 상기한 바와 같은 종래의 클린룸의 공조기에 관한 종래기술의 예로는, 예를 들면, 한국 등록특허공보 제10-1254935호에 제시된 바와 같은 "폐열 이용 고효율 클린룸 항온항습기 정밀제어를 위한 공조장치"에 따르면, 폐열을 회수하여 별도의 에너지 공급이 없이 습도를 조절하고 응축기에서 발열되는 열량 변화를 효과적으로 정밀하게 제어하기 위한 기술내용이 제시된 바 있다.
또한, 한국 등록특허공보 제10-1176037호에 제시된 바와 같은 "에너지 및 소음 절감 기능과 친환경 시공성 및 고난연성을 갖는 하이브리드 그린 공조기"에 따르면, 공조 효율을 개선하고 운전 동력 감소로 인한 운전비 및 에너지 절감 효과를 기대할 수 있도록 하기 위해, 에너지 및 소음 절감 기능과 친환경 시공성 및 고난연성을 가지는 하이브리드 그린 공조기에 관한 기술내용이 제시된 바 있다.
아울러, 한국 등록특허공보 제10-1071350호에 제시된 바와 같은 "클린룸용 하이브리드 제습냉방 외조기 시스템"에 따르면, 기존의 외조기 시스템 구성과 히트 펌프의 기술을 접목하여 동절기는 물론 하절기의 냉난방의 에너지 균형을 유도하고 에너지 교환을 가능하게 함으로써 에너지 절감을 실현하기 위한 기술내용이 제시된 바 있으며, 더욱이, 국제공개특허공보 WO 2006/068017호에 제시된 바와 같은 "AIR CONDITIONING SYSTEM"에 따르면, 안정된 온습도 제어, 냉동기 용량의 삭감 및 에너지 절약화를 실현하기 위해 개량을 실시한 공조 시스템에 관한 기술내용이 제시된 바 있다.
상기한 바와 같이, 종래, 클린룸용 공조기의 에너지 절감을 위한 여러 가지 연구가 이루어진 바 있으나, 상기한 바와 같은 종래의 공조기 시스템들은 가습기 사용 시 과다한 전력 사용으로 유지비용 증가하고, 또한, 가습기의 주기적 청소 및 부품 교체로 인한 유지비용이 증가하는 등의 문제점이 있는 것이었다.
더 상세하게는, 기존의 클린룸용 공조기 시스템들에 구비되는 가습기는, 크게 나누어, 증기주입(STEAM INJECTION) 방식 가습기, 팬형(PAN TYPE) 가습기, 전자전극봉식 가습기, 기화식 가습기 및 직접 분사형 가습기 등이 있다.
여기서, 증기주입 방식은 보일러 설비 및 증기 배관의 설치가 필수적이므로 초기 투자비용이 증가하는 문제가 있으며, 또한, 팬형 가습기는 히터봉에 전기를 투입하여 물을 끓여 사용하고, 전자전극봉식 가습기는 전자전극봉에 전기를 투입하여 물을 끓여 사용하므로, 전력소비가 많고 스케일 형성을 방지하기 위해 2 ~ 3 개월(팬형 가습기) 또는 1개월(전자전극봉식 가습기)마다 주기적으로 청소가 필요하여 유지비용이 증가하는 문제가 있다.
아울러, 전자전극봉식 가습기는 잦은 고장 및 6개월마다 주기적으로 실린더를 교체할 필요가 있어 유지비용이 더욱 증가하게 되고, 기화식 가습기는, 모수성 증발 매체에 공기를 통과시켜 자연 증발에 의해 가습하는 방식으로, 물 투입량 대비 가습 효율이 낮으며, 필요한 가습량을 얻기 위한 장비의 크기가 커서 공조기 설치 면적의 제약이 있고, 불순물 퇴적시 효율 저하, 제어성 악화의 문제가 발생한다.
더욱이, 기존의 직접 분사형 가습기는, 분사입자가 커서 필터 통과시 가습효율이 급감하고, 잦은 노즐 막힘 현상으로 기기 고장 우려가 높으며, 급기팬 및 덕트 부분에 분사 입자가 응축되어 부식 발생하는 문제가 있다.
따라서 상기한 바와 같은 종래의 반도체 클린룸용 공조기를 위한 가습기들의 문제점을 해결하기 위하여는, 과다한 전력 소모량을 개선하여 유지관리 비용을 감소하고 가습 효율은 증대시키도록 구성되어 친환경적인 공기조화 시스템을 구축할 수 있는 동시에, 간단한 구성으로 기존의 공조기와도 용이하게 호환 적용될 수 있는 새로운 구성의 클린룸용 공조기를 제공하는 것이 바람직하나, 아직까지 그러한 요구를 모두 만족시키는 장치나 방법은 제공되지 못하고 있는 실정이다.
[선행기술문헌]
1. 한국 등록특허공보 제10-1254935호 (2013.04.10.)
2. 한국 등록특허공보 제10-1176037호 (2012.08.16.)
3. 한국 등록특허공보 제10-1071350호 (2011.09.30.)
4. 국제공개특허공보 WO 2006/068017호 (2006.06.29.)
본 발명은 상기한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하고자 하는 것으로, 따라서 본 발명의 목적은, 가습기의 사용시 전력소비가 과다하여 운전비용이 증가하고, 가습기의 주기적인 청소 및 부품 교체로 인해 유지비용이 증가하는 문제가 있었던 기존의 반도체 클린룸용 공조기의 가습기 시스템들의 문제점을 해결하기 위해, 클린룸의 공기조화 과정에서 사용되는 공조기의 과다한 전력 소모량을 개선하여 유지관리 비용을 감소하고 가습 효율은 증대시키도록 구성되어 친환경적인 공기조화 시스템을 구축하는 동시에, 기존 공조기와도 손쉽게 호환 적용될 수 있는 새로운 구성의 클린룸용 노즐분사 공조기를 제공하고자 하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은, 상기한 바와 같은 기존의 반도체 클린룸용 공조기의 가습기 시스템들의 문제점을 해결하기 위해, 노즐의 교차 배치와 입자충돌 구간 형성에 의해 공급수를 온도별로 마이크로버블화 하고, 와류방식 필터를 이용하여 분사입자를 필터링하며, 노즐의 단계별 공기압 조절을 통한 최적 분사를 통하여 가습 챔버 구조별로 가습 효율을 극대화할 수 있도록 구성됨으로써, 클린룸의 공기조화 과정에서 사용되는 공조기의 과다한 전력 소모량을 개선하여 유지관리 비용을 감소하고 가습 효율은 증대시키도록 구성되어 친환경적인 공기조화 시스템을 구축하는 동시에, 기존 공조기와도 손쉽게 호환 적용될 수 있는 새로운 구성의 클린룸용 노즐분사 공조기를 제공하고자 하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따르면, 클린룸용 노즐분사 공조기에 있어서, 외부의 공기가 유입되는 공기유입부; 상기 공기유입부로부터 유입된 공기에서 불순물을 제거하기 위한 필터와 온도를 조절하기 위한 히팅코일 및 쿨링코일을 포함하는 온도조절부; 공급수를 마이크로입자화 하여 상기 온도조절부를 통과한 공기에 분사하는 것에 의해 습도를 조절하기 위한 습도조절부; 상기 온도조절부와 상기 습도조절부에 의해 온도 및 습도가 조절된 공기를 클린룸 내부로 공급하기 위한 급기부; 및 상기 공기유입부와 상기 온도조절부의 사이 및 상기 습도조절부와 상기 급기부의 사이에 각각 설치되는 여과필터부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 노즐분사 공조기가 제공된다.
여기서, 상기 여과필터부는, 여과필터로서 헤파필터(HEPA FILTER)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 습도조절부는, 공급수가 저장되는 공급수 저장탱크; 상기 공급수 저장탱크에 저장된 상기 공급수에 압축공기를 주입하여 물 입자끼리 충돌을 일으키는 것에 의해 물 입자를 잘게 쪼개어 상기 공급수의 살균 및 마이크로버블을 생성하는 마이크로버블 발생부; 상기 마이크로버블 발생부에 의해 마이크로버블화된 물 입자를 분사하기 위한 복수의 2류체 노즐을 포함하여 구성되는 위한 복수의 마이크로버블 분사노즐; 상기 공급수 저장탱크로부터 각각의 상기 마이크로버블 분사노즐에 상기 마이크로버블화된 물 입자를 공급하기 위한 공급수 펌프; 각각의 상기 마이크로버블 분사노즐에 압축공기를 공급하기 위한 압축공기 주입부; 각각의 상기 마이크로버블 분사노즐로부터 분사된 상기 마이크로버블화된 물 입자를 일정한 크기의 입자로 필터링하기 위해 스크류판 형태로 형성되는 와류방식 필터를 포함하는 와류방식 필터부; 상기 와류방식 필터부를 통과한 상기 마이크로버블화된 물 입자를 분사하기 위한 복수의 가습노즐을 포함하는 가습노즐부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 습도조절부는, 상기 와류방식 필터의 적용에 의해 발생하는 응축수를 상기 공급수 저장탱크로 다시 회수하기 위해 상기 와류방식 필터부의 하단부에 형성되는 응축수 회수배관을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 마이크로버블 분사노즐은, 각각의 상기 2류체 노즐이 압축공기와 함께 상기 마이크로버블화된 물 입자를 각자 미리 정해진 일정 각도로 분사하도록 배치됨으로써, 상기 마이크로버블화된 물 입자가 분사된 후 2차 충돌을 일으키는 것에 의해 상기 마이크로버블화된 물 입자의 미립화 및 균일화가 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
더욱이, 상기 와류방식 필터는, 표면에 초소수성 코팅 및 엠보싱 코팅을 실시하여 물 입자가 부착되지 않고 튀어나갈 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 와류방식 필터부는, 스크류판 형태로 형성되는 상기 와류방식 필터의 회전에 의해 발생하는 와류에 의해 상기 마이크로버블 분사노즐을 통해 분사된 상기 마이크로버블화된 물 입자가 위쪽으로 상승하게 되고, 상기 와류방식 필터의 회전풍속에 의한 힘에 의해 운반되지 못하는 입자는 상기 와류방식 필터와 충돌하여 아래쪽으로 떨어진 후 상기 와류방식 필터부의 하단부에 형성되는 응축수 회수배관을 통해 상기 공급수 저장탱크로 회수되도록 구성됨으로써, 전체 입자 크기의 미세화 및 평균입자경의 최소화가 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 클린룸용 노즐분사 공조기는, 내부 진공 방지 및 차압 유지를 위해 상기 급기부의 급기용 챔버 측에 설치되는 바이패스(BY-PASS) 덕트 및 댐퍼를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
더욱이, 상기 클린룸용 노즐분사 공조기는, 상기 공기유입부, 상기 온도조절부, 상기 습도조절부 및 상기 급기부를 각각 독립된 구조물 형태의 챔버로 모듈화하고, 각각의 챔버에 대하여 기존의 공조기에도 설치 가능하도록 가습용량별로 각 챔버의 최적 크기를 선정하여 제작하도록 구성됨으로써, 별도의 구조물 공사가 필요 없이 현장 설치 공정을 최소화할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 노즐의 교차 배치와 입자충돌 구간 형성에 의해 공급수를 온도별로 마이크로버블화 하고, 와류방식 필터를 이용하여 분사입자를 필터링하며, 노즐의 단계별 공기압 조절을 통한 최적 분사를 통하여 가습 챔버 구조별로 가습 효율을 극대화할 수 있도록 구성됨으로써, 클린룸의 공기조화 과정에서 사용되는 공조기의 과다한 전력 소모량을 개선하여 유지관리 비용을 감소하고 가습 효율은 증대시키도록 구성되어 친환경적인 공기조화 시스템을 구축하는 동시에, 기존 공조기와도 손쉽게 호환 적용될 수 있는 새로운 구성의 클린룸용 노즐분사 공조기를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기한 바와 같이, 클린룸의 공기조화 과정에서 사용되는 공조기의 과다한 전력 소모량을 개선하여 유지관리 비용을 감소하고 가습 효율은 증대시키도록 구성되어 친환경적인 공기조화 시스템을 구축하는 동시에, 기존 공조기와도 손쉽게 호환 적용될 수 있는 새로운 구성의 클린룸용 노즐분사 공조기가 제공됨으로써, 가습기의 사용시 전력소비가 과다하여 운전비용이 증가하고, 가습기의 주기적인 청소 및 부품 교체로 인해 유지비용이 증가하는 문제가 있었던 기존의 반도체 클린룸용 공조기의 가습기 시스템들의 문제점을 해결할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 클린룸용 노즐분사 공조기의 전체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1에 나타낸 본 발명의 실시예에 따른 클린룸용 노즐분사 공조기의 습도조절부의 구성을 개략적으로 나타내는 블록도이다.
도 3은 도 1에 나타낸 본 발명의 실시예에 따른 클린룸용 노즐분사 공조기의 습도조절부의 구체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4는 도 3에 나타낸 본 발명의 실시예에 따른 클린룸용 노즐분사 공조기의 습도조절부에 설치되는 마이크로버블 분사노즐의 구체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 5는 도 3에 나타낸 본 발명의 실시예에 따른 클린룸용 노즐분사 공조기의 습도조절부에 설치되는 와류방식 필터부의 구체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 6은 차압유지용 바이패스 덕트를 설치한 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 클린룸용 노즐분사 공조기의 구체적인 실시예에 대하여 설명한다.
여기서, 이하에 설명하는 내용은 본 발명을 실시하기 위한 하나의 실시예일 뿐이며, 본 발명은 이하에 설명하는 실시예의 내용으로만 한정되는 것은 아니라는 사실에 유념해야 한다.
또한, 이하의 본 발명의 실시예에 대한 설명에 있어서, 종래기술의 내용과 동일 또는 유사하거나 당업자의 수준에서 용이하게 이해하고 실시할 수 있다고 판단되는 부분에 대하여는, 설명을 간략히 하기 위해 그 상세한 설명을 생략하였음에 유념해야 한다.
즉, 본 발명은, 후술하는 바와 같이, 가습기의 사용시 전력소비가 과다하여 운전비용이 증가하고, 가습기의 주기적인 청소 및 부품 교체로 인해 유지비용이 증가하는 문제가 있었던 기존의 반도체 클린룸용 공조기의 가습기 시스템들의 문제점을 해결하기 위해, 클린룸의 공기조화 과정에서 사용되는 공조기의 과다한 전력 소모량을 개선하여 유지관리 비용을 감소하고 가습 효율은 증대시키도록 구성되어 친환경적인 공기조화 시스템을 구축하는 동시에, 기존 공조기와도 손쉽게 호환 적용될 수 있는 새로운 구성의 클린룸용 노즐분사 공조기에 관한 것이다.
또한, 본 발명은, 후술하는 바와 같이, 노즐의 교차 배치와 입자충돌 구간 형성에 의해 공급수를 온도별로 마이크로버블화 하고, 와류방식 필터를 이용하여 분사입자를 필터링하며, 노즐의 단계별 공기압 조절을 통한 최적 분사를 통하여 가습 챔버 구조별로 가습 효율을 극대화할 수 있도록 구성됨으로써, 클린룸의 공기조화 과정에서 사용되는 공조기의 과다한 전력 소모량을 개선하여 유지관리 비용을 감소하고 가습 효율은 증대시키도록 구성되어 친환경적인 공기조화 시스템을 구축하는 동시에, 기존 공조기와도 손쉽게 호환 적용될 수 있는 새로운 구성의 클린룸용 노즐분사 공조기에 관한 것이다.
아울러, 본 발명은, 후술하는 바와 같이, 기존의 직접분사 노즐을 활용한 교차 분무노즐과, 공급수의 마이크로버블화수단과, 분사입자 필터링을 위한 와류방식 필터와, 노즐에 공급하는 공기압 조절수단과, 분사입자의 효율적인 연무화를 위한 가습 제어수단과, 협소한 공간으로 분사거리를 확보할 수 있는 챔버 및 각각의 구성요소를 연동할 수 있는 통합시스템을 포함하여 기존의 공조시스템에 용이하게 적용할 수 있도록 구성되는 새로운 구성의 클린룸용 노즐분사 공조기에 관한 것이다.
계속해서, 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 클린룸용 노즐분사 공조기의 구체적인 실시예에 대하여 설명한다.
먼저, 도 1을 참조하면, 도 1은 본 발명의 실시예에 따른 클린룸용 노즐분사 공조기(10)의 구체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 클린룸용 노즐분사 공조기(10)는, 크게 나누어, 팬(fan)과 같은 송풍수단을 이용하여 외부의 공기가 유입되는 공기유입부(11)와, 공기유입부(11)로부터 유입된 공기에서 먼지 등의 불순물을 제거하기 위한 필터(12)와 온도를 조절하기 위한 히팅코일(13) 및 쿨링코일(14)을 포함하는 온도조절부(15)와, 공급수를 마이크로입자화 한 후 분사하는 것에 의해 온도조절부(15)를 통과한 공기의 습도를 조절하기 위한 습도조절부(16)와, 온도조절부(15)와 습도조절부(16)에 의해 온도 및 습도가 조절된 공기를 팬(fan)과 같은 송풍수단을 이용하여 클린룸 내부로 공급하기 위한 급기부(17)를 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기한 공기유입부(11)와 온도조절부(15)의 사이 및 습도조절부(16)와 급기부(17)의 사이에는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 예를 들면, 헤파필터(HEPA FILTER)와 같은 여과필터(18, 19)가 각각 설치될 수 있다.
따라서 상기한 바와 같은 구성에 의해, 공기유입부(11)로부터 유입된 공기가 여과필터(18)를 통과하여 온도조절부(15)에 공급되면, 온도조절부(15)에 설치된 필터(12)와 히팅코일(13) 및 쿨링코일(14)에 의해 적정 온도의 공기로 만들어지고, 이어서, 후술하는 바와 같이 하여 공급수를 마이크로입자화 하여 분사하는 습도조절부(16)를 통과함으로써 적정 습도로 조절된 후, 다시 여과필터(19)를 통과는 것에 의해 불순물이 제거되고 적정 온도 및 적정 습도로 제어된 청정한 공기가 급기부(17)를 통하여 클린룸 내부로 공급된다.
계속해서 도 2를 참조하여, 상기한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따른 클린룸용 노즐분사 공조기(10)의 습도조절부(16)의 구체적인 구성에 대하여 상세히 설명한다.
즉, 도 2를 참조하면, 도 2는 도 1에 나타낸 본 발명의 실시예에 따른 클린룸용 노즐분사 공조기(10)의 습도조절부(16)의 구성을 개략적으로 나타내는 블록도이다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 클린룸용 노즐분사 공조기(10)의 습도조절부(16)는, 공급수 탱크의 공급수를 마이크로 버블화 하여 펌프를 통해 분사노즐에 압축공기와 함께 공급하여 분사하고, 와류방식 필터를 이용하여 분사노즐을 통해 분사된 마이크로버블화된 물 입자의 크기가 일정해지도록 필터링한 후 온도조절부(15)를 통과한 공기에 분사하는 것에 의해 습도를 조절하도록 구성된다.
더 상세하게는, 도 3을 참조하면, 도 3은 도 1에 나타낸 본 발명의 실시예에 따른 클린룸용 노즐분사 공조기(10)의 습도조절부(16)의 구체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 클린룸용 노즐분사 공조기(10)의 습도조절부(16)는, 크게 나누어, 공급수가 저장되는 공급수 저장탱크(31)와, 공급수 저장탱크(31)에 저장된 공급수에 압축공기를 주입하여 물 입자끼리 충돌을 일으키는 것에 의해 물 입자를 잘게 쪼개어 공급수의 살균작용을 하는 동시에 마이크로버블을 생성하는 마이크로버블 발생부(32)와, 마이크로버블 발생부(32)에 의해 마이크로버블화된 물 입자를 분사하기 위한 복수의 2류체 노즐을 포함하여 구성되는 마이크로버블 분사노즐(33)과, 공급수 저장탱크(31)로부터 각각의 마이크로버블 분사노즐(33)에 마이크로버블화된 물 입자를 공급하기 위한 공급수 펌프(34)와, 각각의 마이크로버블 분사노즐(33)에 압축공기를 공급하기 위한 압축공기 주입부(35)와, 각각의 마이크로버블 분사노즐(33)로부터 분사된 마이크로버블화된 물 입자를 일정한 크기의 입자로 필터링하기 위한 와류방식 필터부(36)와, 와류방식 필터부(36)를 통과한 마이크로버블화된 물 입자를 분사하기 위한 복수의 가습노즐을 포함하는 가습노즐부(38)를 포함하여 구성되어 있다.
따라서 상기한 바와 같은 구성에 의해, 도 3에 나타낸 바와 같이, 마이크로버블 발생부(32)에 의해 공급수 저장탱크(31)에 저장된 공급수에 압축공기가 공급되어 공급수가 마이크로버블화 되면, 공급수 펌프(34) 및 압축공기 주입부(35)에 의해 마이크로버블 분사노즐(33)에 마이크로버블화된 공급수와 압축공기가 함께 공급되어 분사되고, 분사된 마이크로버블 입자는 와류방식 필터부(36)에 의해 일정한 크기의 입자로 필터링된 후, 가습노즐부(38)를 통해 습도조절부(16) 내부의 공기에 분사됨으로써, 온도 및 습도가 조절된 청정한 공기가 여과필터(19) 및 급기부(17)를 통하여 클린룸 내부로 공급된다.
여기서, 일반적으로, 기존의 직접 분사형 가습기는 입자의 크기가 대략 5㎛ ~ 20㎛ 사이로서, 입자의 크기가 상대적으로 크고 고르지 못함으로 인해 클린룸 말단의 헤파필터(0.3㎛ 이상 99.997% 포집)를 통과하지 못하고, 또한, 기존의 분사노즐은 5㎛ 이상의 분사입자를 형성하여 직접분사 노즐의 분사입자 미립화에 한계가 있으며, 연무화 전단계에서 응축되어 응축수 발생량의 과다로 인해 가습효율이 저하되는(평균 40%) 문제가 있었다.
이에, 본 발명자들은, 노즐의 교차 배치를 통한 분사입자 간의 2차 충돌을 통하여 입자의 미립화 및 입자 크기의 균일화를 행하였고(5㎛ -> 1 ~ 3㎛), 최적의 교차각 도출을 위한 각도별 분사 테스트를 진행하여 데이터베이스를 구축하였다.
즉, 도 4를 참조하면, 도 4는 도 3에 나타낸 본 발명의 실시예에 따른 클린룸용 노즐분사 공조기(10)의 습도조절부(16)에 설치되는 마이크로버블 분사노즐(33)의 구체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 클린룸용 노즐분사 공조기(10)의 습도조절부(16)에 설치되는 마이크로버블 분사노즐(33)은, 마이크로버블화된 물 입자를 공기와 함께 분사하는 2류체 노즐에서 분사되는 입자들이 서로 교차되도록, 각각의 노즐마다 미리 정해진 일정 각도로 복수의 노즐을 각각 설치하는 것에 의해 마이크로버블화된 물 입자가 분사된 후 2차 충돌을 일으키도록 함으로써, 입자 크기를 더욱 미세화하고 균일화하는 것이 가능하도록 구성된다.
더 상세하게는, 상기한 바와 같은 2류체 노즐은, 2류체 노즐로부터 분사되는 압축공기의 전단작용에 의해, 마이크로 버블화된 물 입자가 다시 서로 충돌하여 상호 전단을 반복하는 동시에 3 ~ 4만 Hz의 초음파를 발생시키고, 마이크로 버블화된 물 입자를 더욱 미립화 및 균질화 하여 평균입자경 5㎛ 이하의 건무(dry fog) 형태로 생성하며, 이를 반복하여 더욱 미립화가 가능하므로, 매우 균일한 입자를 분사할 수 있다.
또한, 일반적으로, 기포는 수중에서 상승하여 수면에서 없어지게 되나, 마이크로버블은, 액체 중에 떠있는 기포 중에서도 특히 작은 크기의 기포를 의미하는 것으로, 낮은 상승속도, 자기가압 효과와 뛰어난 기체 용해능력, 반응성이 높은 물질(pre-radical) 발생, 압력에 의한 파괴(압괴), 오염물질이나 정전기에의한 세정효과가 있는 것으로, 일례로서, 마이크로버블화된 오존을 포함한 물은 1개월 이상 살균효과를 지속할 수 있는 것으로 알려져 있으며, 산소 마이크로버블이 풍부한 물에는 생물에 대한 활성 효과가 인정되어 식품가공, 농업, 어업 및 수질정화 등의 분야에 사용이 확대되고 있다.
즉, 본 발명은, 공급수를 마이크로버블화 하여 모든 배관 부위의 살균 및 세척이 동시에 가능하며, 또한, 폭포수 주변의 자연발생량 대비 10 ~ 20배의 음이온을 발생시키므로, 공조기 내에 이러한 음이온을 형성하여 클린룸 내 작업자들의 건강에 도움을 줄 수 있다.
아울러, 본 발명에서 마이크로버블을 생성하는 원리는 가압용해(가압-감압)법을 이용한 것으로, 이는, 일반적으로 압력에 비례하여 기체의 용해도가 증가하는 원리를 이용한 것이다.
더 상세하게는, 일정 수준 이상의 고압으로 충분한 양의 기체를 물속에 용해시킨 후 그 압력을 해방하면 해당 기체에 대하여 물은 과포화 상태가 되고, 이러한 과포화 상태는 매우 불안정한 상태이므로 과포화된 기체 분자는 물로부터 벗어나려는 성질을 띠게 되어 결과적으로 수중에 대량의 기포를 발생시킬 수 있다.
여기서, 물속에 기포를 발생시키는 것만으로는 물 밖에서 사용할 수 없으므로 발생한 기포를 꺼내면서 연속적으로 마이크로버블을 발생시키기 위한 방법이 필요하며, 이를 위해, 본 발명에서는 펌프를 이용하였다.
즉, 펌프로 물을 흡인하기 시작하면 흡인측의 압력은 환경압보다 낮아지고 압출측은 높아지게 되어 흡인측에서는 물과 함께 공기를 얻을 수 있게 되며, 또한, 압출측의 첨단에 노즐을 설치하는 것으로 유수에 대한 저항으로 작용하여 압출측이 압력을 더욱 높일 수 있으므로, 압출측의 경로 내에 기체 용해탱크를 구비하면 상기한 바와 같이 하여 얻어진 기체를 압력이 높은 상태로 수중에 용해시킬 수 있다.
따라서 가압용해 타입의 마이크로버블 발생장치는 이러한 원리를 이용하여 연속적으로 미세기포를 발생하는 것이 가능하다.
또한, 2류체 노즐의 경우, 분사되는 입자경은 공급되는 액체의 압력과 공기압, 노즐팁 사이즈에 따라 달라지며, 상용화된 2류체 노즐의 경우 최적화된 수압 및 공기압이 정해져 있으나, 상기한 본 발명의 실시예에서와 같이 2류체 노즐을 통하여 분사된 입자를 재충돌시켰을 때 최적의 분무입자를 생성하기 위한 최적 공기압 및 수압 설정은 이와 상이할 수 있으므로, 따라서 최적의 설정을 상시 유지하기 위하여는, 예를 들면, 가변저항 밸브를 설치하고 유량센서 및 풍량센서 데이터에 근거하여 이를 제어함으로써, 언제나 최적의 조건을 유지하도록 구성될 수 있다.
계속해서, 도 5를 참조하면, 도 5는 도 3에 나타낸 본 발명의 실시예에 따른 클린룸용 노즐분사 공조기(10)의 습도조절부(16)에 설치되는 와류방식 필터부(36)의 구체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 마이크로버블 분사노즐(33)을 통해 분사된 마이크로버블 입자는 와류방식 필터부(36)에 설치된 와류방식 필터(51)의 회전에 의해 형성되는 와류에 의해 위쪽으로 상승하게 되고, 이 과정에서 크고 무거운 입자는 아래쪽으로 떨어지게 되어 전체적으로 일정한 직경을 가지는 입자만이 필터링되게 된다.
여기서, 이러한 와류방식 필터(51)의 적용에 의해 발생하는 응축수는, 하단의 응축수 회수배관(52)을 통하여, 도 1에 나타낸 바와 같이 공급수 저장탱크(31)로 다시 회수된다.
아울러, 와류방식 필터(51)는, 바람직하게는, 표면에 초소수성 코팅 및 엠보싱 코팅을 실시하여 물 입자가 부착되지 않고 튀어나갈 수 있도록 구성될 수 있다.
즉, 마이크로버블 분사노즐(33)을 통하여 분사된 입자는 최소 5㎛에서 최대 20㎛까지 저마다 입자경이 다르고 질량 또한 판이하게 다르므로, 상기한 바와 같이 일정 이상의 풍속이 가해지는 조건 하에서 스크류판 형태로 형성되는 와류방식 필터(51)를 통과시키면, 상대적으로 질량이 큰 입자는 스크류판과 충돌하여 아래쪽으로 떨어지게 되므로 전체 입자의 크기가 보다 세분화되고 평균입자경 또한 최소화시킬 수 있다.
또한, 도 6을 참조하면, 도 6은 차압유지용 바이패스 덕트를 설치한 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
즉, 본 발명의 실시예에 따른 클린룸용 노즐분사 공조기(10)는, 내부 진공 방지 대책으로서, 도 6에 나타낸 바와 같이, 공조기 급기챔버 측에 바이패스(BY-PASS) 덕트(61)를 설치하여 차압을 유지하고, 전동 댐퍼(62) 및 차압계를 설치하여 차압량을 유지함으로써, 일정한 차압 유지로 인한 원활한 가습이 가능하도록 구성될 수 있다.
아울러, 기존의 공조기에 기존의 가습기 설치시는 배선 및 배관 등의 복잡한 설치공사가 병행되어야 하며, 공조기의 공간 제약으로 설치가 아예 불가능한 경우도 발생하는 문제가 있었으나, 본 발명의 실시예에 따른 클린룸용 노즐분사 공조기(10)는, 공기유입부(11), 온도조절부(15), 습도조절부(16) 및 급기부(17)와 이들을 연결하는 배관 및 배선과 접속자재를 각각 독립된 구조물 형태의 챔버로 제작하여 모듈화하고, 기존 공조기의 설치가 용이하도록 가습용량별로 챔버의 최적 크기를 선정하여 제작함으로써, 별도의 구조물 공사가 필요 없이 현장 설치 공정을 최소화할 수 있도록 구성될 수 있다.
따라서 상기한 바와 같이 하여 본 발명에 따른 클린룸용 노즐분사 공조기를 구현할 수 있다.
또한, 상기한 바와 같이 하여 본 발명에 따른 클린룸용 노즐분사 공조기를 구현하는 것에 의해, 본 발명에 따르면, 노즐의 교차 배치와 입자충돌 구간 형성에 의해 공급수를 온도별로 마이크로버블화 하고, 와류방식 필터를 이용하여 분사입자를 필터링하며, 노즐의 단계별 공기압 조절을 통한 최적 분사를 통하여 가습 챔버 구조별로 가습 효율을 극대화할 수 있도록 구성됨으로써, 클린룸의 공기조화 과정에서 사용되는 공조기의 과다한 전력 소모량을 개선하여 유지관리 비용을 감소하고 가습 효율은 증대시키도록 구성되어 친환경적인 공기조화 시스템을 구축하는 동시에, 기존 공조기와도 손쉽게 호환 적용될 수 있는 새로운 구성의 클린룸용 노즐분사 공조기를 제공할 수 있다.
아울러, 본 발명에 따르면, 상기한 바와 같이 클린룸의 공기조화 과정에서 사용되는 공조기의 과다한 전력 소모량을 개선하여 유지관리 비용을 감소하고 가습 효율은 증대시키도록 구성되어 친환경적인 공기조화 시스템을 구축하는 동시에, 기존 공조기와도 손쉽게 호환 적용될 수 있는 새로운 구성의 클린룸용 노즐분사 공조기가 제공됨으로써, 가습기의 사용시 전력소비가 과다하여 운전비용이 증가하고, 가습기의 주기적인 청소 및 부품 교체로 인해 유지비용이 증가하는 문제가 있었던 기존의 반도체 클린룸용 공조기의 가습기 시스템들의 문제점을 해결할 수 있다.
이상, 상기한 바와 같은 본 발명의 실시예를 통하여 본 발명에 따른 클린룸용 노즐분사 공조기의 상세한 내용에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 기재된 내용으로만 한정되는 것은 아니며, 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 설계상의 필요 및 기타 다양한 요인에 따라 여러 가지 수정, 변경, 결합 및 대체 등이 가능한 것임은 당연한 일이라 하겠다.
10. 클린룸용 노즐분사 공조기 11. 공기유입부
12. 필터 13. 히팅코일
14. 쿨링코일 15. 온도조절부
16. 습도조절부 17. 급기부
18. 여과필터 19. 여과필터
31. 공급수 저장탱크 32. 마이크로버블 발생부
33. 마이크로버블 분사노즐 34. 공급수 펌프
35. 압축공기 주입부 36. 와류방식 필터부
38. 가습노즐부 51. 와류방식 필터
52. 응축수 회수배관 61. 바이패스 덕트
62. 전동 댐퍼

Claims (9)

  1. 클린룸용 노즐분사 공조기에 있어서,
    외부의 공기가 유입되는 공기유입부;
    상기 공기유입부로부터 유입된 공기에서 불순물을 제거하기 위한 필터와 온도를 조절하기 위한 히팅코일 및 쿨링코일을 포함하는 온도조절부;
    공급수를 마이크로입자화 하여 상기 온도조절부를 통과한 공기에 분사하는 것에 의해 습도를 조절하기 위한 습도조절부;
    상기 온도조절부와 상기 습도조절부에 의해 온도 및 습도가 조절된 공기를 클린룸 내부로 공급하기 위한 급기부; 및
    상기 공기유입부와 상기 온도조절부의 사이 및 상기 습도조절부와 상기 급기부의 사이에 각각 설치되는 여과필터부;를 포함하고,
    상기 습도조절부는,
    공급수가 저장되는 공급수 저장탱크;
    상기 공급수 저장탱크에 저장된 상기 공급수에 압축공기를 주입하여 물 입자끼리 충돌을 일으키는 것에 의해 물 입자를 잘게 쪼개어 상기 공급수의 살균 및 마이크로버블을 생성하는 마이크로버블 발생부;
    상기 마이크로버블 발생부에 의해 마이크로버블화된 물 입자를 분사하기 위한 복수의 2류체 노즐을 포함하여 구성되는 위한 복수의 마이크로버블 분사노즐;
    상기 공급수 저장탱크로부터 각각의 상기 마이크로버블 분사노즐에 상기 마이크로버블화된 물 입자를 공급하기 위한 공급수 펌프;
    각각의 상기 마이크로버블 분사노즐에 압축공기를 공급하기 위한 압축공기 주입부;
    각각의 상기 마이크로버블 분사노즐로부터 분사된 상기 마이크로버블화된 물 입자를 일정한 크기의 입자로 필터링하기 위해 스크류판 형태로 형성되는 와류방식 필터를 포함하는 와류방식 필터부; 및
    상기 와류방식 필터부를 통과한 마이크로버블화된 물 입자를 분사하기 위한 복수의 가습노즐을 포함하는 가습노즐부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 노즐분사 공조기.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 여과필터부는,
    여과필터로서 헤파필터(HEPA FILTER)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 노즐분사 공조기.
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 습도조절부는,
    상기 와류방식 필터의 적용에 의해 발생하는 응축수를 상기 공급수 저장탱크로 다시 회수하기 위해 상기 와류방식 필터부의 하단부에 형성되는 응축수 회수배관을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 노즐분사 공조기.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 마이크로버블 분사노즐은,
    각각의 상기 2류체 노즐이 압축공기와 함께 상기 마이크로버블화된 물 입자를 각자 미리 정해진 일정 각도로 분사하도록 배치됨으로써,
    상기 마이크로버블화된 물 입자가 분사된 후 2차 충돌을 일으키는 것에 의해 상기 마이크로버블화된 물 입자의 미립화 및 균일화가 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 노즐분사 공조기.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 와류방식 필터는,
    표면에 초소수성 코팅 및 엠보싱 코팅을 실시하여 물 입자가 부착되지 않고 튀어나갈 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 노즐분사 공조기.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 와류방식 필터부는,
    스크류판 형태로 형성되는 상기 와류방식 필터의 회전에 의해 발생하는 와류에 의해 상기 마이크로버블 분사노즐을 통해 분사된 상기 마이크로버블화된 물 입자가 위쪽으로 상승하게 되고,
    상기 와류방식 필터의 회전풍속에 의한 힘에 의해 운반되지 못하는 입자는 상기 와류방식 필터와 충돌하여 아래쪽으로 떨어진 후 상기 와류방식 필터부의 하단부에 형성되는 응축수 회수배관을 통해 상기 공급수 저장탱크로 회수되도록 구성됨으로써, 전체 입자 크기의 미세화 및 평균입자경의 최소화가 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 노즐분사 공조기.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 클린룸용 노즐분사 공조기는,
    내부 진공 방지 및 차압 유지를 위해 상기 급기부의 급기용 챔버 측에 설치되며 내부에 댐퍼가 구비된 바이패스(BY-PASS) 덕트를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 노즐분사 공조기.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 클린룸용 노즐분사 공조기는,
    상기 공기유입부, 상기 온도조절부, 상기 습도조절부 및 상기 급기부를 각각 독립된 구조물 형태의 챔버로 모듈화하고,
    각각의 챔버에 대하여 기존의 공조기에도 설치 가능하도록 가습용량별로 각 챔버의 최적 크기를 선정하여 제작하도록 구성됨으로써, 별도의 구조물 공사가 필요 없이 현장 설치 공정을 최소화할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸용 노즐분사 공조기.
KR1020140039745A 2014-04-03 2014-04-03 클린룸용 노즐분사 공조기 KR101523198B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140039745A KR101523198B1 (ko) 2014-04-03 2014-04-03 클린룸용 노즐분사 공조기

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140039745A KR101523198B1 (ko) 2014-04-03 2014-04-03 클린룸용 노즐분사 공조기

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101523198B1 true KR101523198B1 (ko) 2015-05-28

Family

ID=53395560

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140039745A KR101523198B1 (ko) 2014-04-03 2014-04-03 클린룸용 노즐분사 공조기

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101523198B1 (ko)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101597324B1 (ko) 2015-09-21 2016-02-25 주식회사 창성엔지니어링 공기조화기
CN105910207A (zh) * 2016-04-22 2016-08-31 杭州云蜂工业设计有限公司 一种室内空气净化设备
JP2017083093A (ja) * 2015-10-29 2017-05-18 株式会社ユナイテッド 高湿度食品貯蔵庫
CN109882984A (zh) * 2019-03-06 2019-06-14 哈尔滨工业大学 引射强化旋风分离免清尘新风装置及方法
CN109882983A (zh) * 2019-03-06 2019-06-14 哈尔滨工业大学 引流强化旋风分离免清尘热回收新风机
KR20190114370A (ko) 2018-03-30 2019-10-10 주식회사 이엠아이 에너지 절감형 스마트 클린 룸 시스템
KR102049068B1 (ko) * 2018-07-12 2020-01-08 최영진 사이클론을 이용한 증발식 가습기

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05157283A (ja) * 1991-12-09 1993-06-22 Daikin Ind Ltd 空気調和装置
JP2003024768A (ja) * 2001-07-18 2003-01-28 Matsushita Seiko Co Ltd 負イオン発生装置
JP2004108631A (ja) * 2002-09-17 2004-04-08 Sony Corp クリーンルーム空調システム
KR20120013789A (ko) * 2010-08-06 2012-02-15 이승윤 미세 물 분무수단을 구비한 공조기

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05157283A (ja) * 1991-12-09 1993-06-22 Daikin Ind Ltd 空気調和装置
JP2003024768A (ja) * 2001-07-18 2003-01-28 Matsushita Seiko Co Ltd 負イオン発生装置
JP2004108631A (ja) * 2002-09-17 2004-04-08 Sony Corp クリーンルーム空調システム
KR20120013789A (ko) * 2010-08-06 2012-02-15 이승윤 미세 물 분무수단을 구비한 공조기

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101597324B1 (ko) 2015-09-21 2016-02-25 주식회사 창성엔지니어링 공기조화기
JP2017083093A (ja) * 2015-10-29 2017-05-18 株式会社ユナイテッド 高湿度食品貯蔵庫
CN105910207A (zh) * 2016-04-22 2016-08-31 杭州云蜂工业设计有限公司 一种室内空气净化设备
KR20190114370A (ko) 2018-03-30 2019-10-10 주식회사 이엠아이 에너지 절감형 스마트 클린 룸 시스템
KR102049068B1 (ko) * 2018-07-12 2020-01-08 최영진 사이클론을 이용한 증발식 가습기
CN109882984A (zh) * 2019-03-06 2019-06-14 哈尔滨工业大学 引射强化旋风分离免清尘新风装置及方法
CN109882983A (zh) * 2019-03-06 2019-06-14 哈尔滨工业大学 引流强化旋风分离免清尘热回收新风机
CN109882983B (zh) * 2019-03-06 2020-09-08 哈尔滨工业大学 引流强化旋风分离免清尘热回收新风机
CN109882984B (en) * 2019-03-06 2021-03-02 哈尔滨工业大学 Injection reinforced cyclone separation dust-cleaning-free fresh air device and method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10597573B2 (en) Apparatus for concentrating wastewater and for creating brines
CA2719104C (en) Ultrasonic humidifier
US5620503A (en) Humidifier and method for humidifying air
AU2006276679B2 (en) A convector for cooling of a fluid circulating in a pipe
KR100517408B1 (ko) 오염 제어 시스템 및 이를 이용한 기판 처리 장치의공조시스템
US7862011B2 (en) Non uniform water distribution system for an evaporative cooler
EP2826541B1 (en) Wet scrubber nozzle system and method of use for cleaning a process gas
US20070181000A1 (en) Air quality device
US20050212152A1 (en) System and method for humidifying homes and commercial sites
US9038992B2 (en) System and method for reducing mineral buildup on drift eliminators of a cooling tower
EP0726804A1 (en) Humidifier and method for humidifying air
US6451096B1 (en) Air cleaner for removing air pollutants by water spray type of dust collecting system
CN101029758B (zh) 多点喷雾无喷嘴中央空调机
JP4347012B2 (ja) 空気清浄化装置
AU2008359842A1 (en) Systems and methods for indirect evaporative cooling and for two stage evaporative cooling
GB2424377A (en) Wastewater evaporation system
JP2006288453A (ja) 空気処理装置
CN204620302U (zh) 一种金属表面自动化涂装生产线
CN201373523Y (zh) 一种高压微雾加湿设备
RU2319093C1 (ru) Утилизатор тепла с кипящим слоем
KR101959980B1 (ko) 필터 없는 미세먼지 제거기
JP6139013B2 (ja) 塩を製造する装置
CN105020782B (zh) 空气净化方法及空气净化器
KR101389823B1 (ko) 살균가습 및 공기정화 기능을 갖는 가습기
CN102772973A (zh) 一种空气净化装置

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190620

Year of fee payment: 5