KR101411421B1 - Carry in and out chamber, transfer chamber, process chamber, vaccum processing system having the sames - Google Patents

Carry in and out chamber, transfer chamber, process chamber, vaccum processing system having the sames Download PDF

Info

Publication number
KR101411421B1
KR101411421B1 KR1020070096327A KR20070096327A KR101411421B1 KR 101411421 B1 KR101411421 B1 KR 101411421B1 KR 1020070096327 A KR1020070096327 A KR 1020070096327A KR 20070096327 A KR20070096327 A KR 20070096327A KR 101411421 B1 KR101411421 B1 KR 101411421B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chamber housing
chamber
processed
sealing member
transfer
Prior art date
Application number
KR1020070096327A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20090030784A (en
Inventor
호재혁
Original Assignee
호재혁
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 호재혁 filed Critical 호재혁
Priority to KR1020070096327A priority Critical patent/KR101411421B1/en
Publication of KR20090030784A publication Critical patent/KR20090030784A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101411421B1 publication Critical patent/KR101411421B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/67201—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the load-lock chamber
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor

Abstract

본 발명은 반도체 공정, 디스플레이 공정 등과 같이 진공처리공정이 요구되는 시스템에 이용되는 피처리물을 반입 내지 반출하는 반입/반출챔버, 피처리물을 이송시키는 이송챔버, 이들을 포함하는 진공처리시스템에 관한 것이다. The present invention relates to a loading / unloading chamber for loading / unloading a material to be processed used in a system requiring a vacuum processing process such as a semiconductor process and a display process, a transfer chamber for transferring a material to be processed, and a vacuum processing system will be.

본 발명은, 제1 및 제2 통로를 가진 챔버 하우징; 및 상기 챔버 하우징 내에 설치되어 피처리물을 상기 제1 및 제2 통로를 향해 선택적으로 이송시키는 이송기구를 포함한다. The present invention relates to a chamber comprising: a chamber housing having first and second passages; And a transfer mechanism installed in the chamber housing for selectively transferring the object to be processed toward the first and second passages.

이에 의해 본 발명은 피처리물의 이송시 처짐량을 최소화함과 더불어 그 이송의 정확도 및 안정성을 향상시킬 수 있고, 또한 본 발명은 보다 컴팩한 체적을 구현함으로써 보다 작은 점유면적을 차지하여 제조설비의 레이아웃을 최적화할 뿐만 아니라 피처리물의 이송구조를 보다 단순화시킴으로써 챔버 하우징의 각 벽면 두께를 감소시킬 수 있는 장점이 있다. Accordingly, the present invention minimizes the amount of deflection during transportation of the object to be processed, improves the accuracy and stability of the transportation thereof, and the present invention realizes a more compact volume, thereby occupying a smaller occupied area, And the thickness of each wall of the chamber housing can be reduced by simplifying the transfer structure of the object to be processed.

이송, 반입, 반출, 챔버, 공정 Transfer, transfer, transfer, chamber, process

Description

반입/반출챔버, 이송챔버, 이를 포함하는 진공처리시스템{CARRY IN AND OUT CHAMBER, TRANSFER CHAMBER, PROCESS CHAMBER, VACCUM PROCESSING SYSTEM HAVING THE SAMES}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a vacuum processing system including a loading / unloading chamber, a transfer chamber,

본 발명은 반도체 공정, 디스플레이 공정 등과 같이 진공처리공정이 요구되는 시스템에 이용되는 피처리물을 반입 내지 반출하는 반입/반출챔버, 피처리물을 이송시키는 이송챔버, 이들을 포함하는 진공처리시스템에 관한 것이다. The present invention relates to a loading / unloading chamber for loading / unloading a material to be processed used in a system requiring a vacuum processing process such as a semiconductor process and a display process, a transfer chamber for transferring a material to be processed, and a vacuum processing system will be.

주지된 바와 같이, 반도체 공정, 디스플레이 공정 등에서 반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판 등과 같은 피처리물은 고정밀도 가공이 요구되는 부품이고, 이에 따라 피처리물은 진공상태에서 증착, 식각, 도금 등과 같은 각종 진공처리가 실행되고 있다. As is well known, an object to be processed such as a semiconductor substrate or a display substrate in a semiconductor process, a display process, or the like is required to be processed with high precision, and accordingly, the object to be processed is subjected to various processes such as deposition, Vacuum processing is being executed.

반도체 또는 디스플레이 산업의 발전과 더불어 반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판 등과 같은 피처리물은 점점 그 크기가 증대되는 추세이고, 이에 따라 피처리물의 안전하고 정확한 이송이 품질에 영향을 미치는 매우 중요한 요소가 된다. With the development of semiconductors or the display industry, materials to be processed such as substrates for semiconductors or substrates for displays are becoming increasingly large in size, and thus safe and accurate transfer of the material to be processed is a very important factor affecting quality .

한편, 종래의 피처리물 이송챔버는 챔버 하우징 내부에 이송로봇이 배치되고, 이송로봇은 원호상으로 회전하는 이송암에 의해 피처리물을 반입/반출챔버로부터 공정챔버로 이송하도록 구성되었다. On the other hand, in the conventional object-to-be-processed transfer chamber, a transfer robot is disposed inside the chamber housing, and the transfer robot is configured to transfer the object to be processed from the carry-in / out chamber to the process chamber by the transfer arm rotating in an arc.

하지만, 종래의 피처리물 이송챔버는 이송로봇 자체의 제조비용 및 그 유지보수비용 등이 매우 고가일 뿐만 아니라 이러한 이송로봇은 원호상으로 회전하는 이송암 구조로 인해 그 크기가 커서 이송챔버의 챔버 하우징 두께가 매우 두꺼워지고, 이로 인해 그 제조비용이 높은 단점이 있었다. However, in the conventional object-to-be-processed transfer chamber, the manufacturing cost and the maintenance cost of the transfer robot itself are very expensive, and the transfer robot is large in size due to the transfer arm structure rotating on the arc, The thickness of the housing becomes very thick, which results in a high manufacturing cost.

그리고, 종래의 피처리물 이송챔버는 피처리물의 크기가 증대됨에 따라 이송로봇에 의해 이송되는 피처리물의 처짐이 크게 발생하여 그 이송의 정확도 및 안정성이 저하될 뿐만 아니라 이송속도의 고속화가 어렵고, 이로 인해 그 제조품질 및 생산성의 저하를 초래하는 단점이 있었다. As the size of the object to be processed increases, the object to be processed transferred by the transfer robot largely deflects and the accuracy and stability of the transfer are lowered, Thereby causing a deterioration in the production quality and productivity.

또한, 종래의 피처리물 이송챔버는 그 이송암의 원호상 회전구조에 의해 그 주변에 반입/반출챔버 또는 공정챔버 등이 이송챔버의 주변에 방사상으로 배치됨으로써 전체 진공처리 시스템의 체적 및 점유면적이 커져 그 제조설비의 레이아웃을 최적화시키지 못할 뿐만 아니라 설치비용 내지 유지비용이 높은 단점이 있었다. In addition, the conventional object-to-be-processed transfer chamber has a circular arc-shaped rotation structure of the transfer arm, so that a carry-in / out chamber or a process chamber or the like is radially arranged around the transfer chamber so that the volume and occupation area The layout of the manufacturing facility can not be optimized, and installation and maintenance costs are high.

본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로, 피처리물의 이송시 처짐량을 최소화함과 더불어 그 이송의 정확도 및 안정성을 향상시킬 수 있는 진공처리용 피처리물 반입/반출챔버, 이송챔버 및 이들을 포함하는 진공처리시스템을 제공하는 데 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a vacuum processing apparatus and method that can minimize the amount of deflection during transfer of a material to be processed and improve the accuracy and stability of transfer thereof, And an object of the present invention is to provide a vacuum processing system including the same.

또한, 본 발명은 보다 컴팩한 체적을 구현함으로써 보다 작은 점유면적을 차지하여 제조설비의 레이아웃을 최적화할 수 있는 진공처리용 피처리물 반입/반출챔버, 이송챔버 및 이들을 포함하는 진공처리시스템을 제공하는 데 그 목적이 있다. Further, the present invention provides a vacuum processing system for vacuum processing, a transfer chamber, and a vacuum processing system including the vacuum processing chamber, which can optimize the layout of a manufacturing facility by occupying a smaller occupied area by implementing a more compact volume The purpose is to do.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반입/반출챔버는, According to an aspect of the present invention, there is provided a loading / unloading chamber,

제1 및 제2 통로를 가진 챔버 하우징; 및A chamber housing having first and second passages; And

상기 챔버 하우징 내에 설치되어 피처리물을 상기 제1 및 제2 통로를 향해 선택적으로 이송시키는 이송기구를 포함한다. And a transfer mechanism installed in the chamber housing for selectively transferring the object to be processed toward the first and second passages.

상기 이송기구는 상기 챔버 하우징 내에 회전가능하게 설치된 복수의 이송롤러를 포함하고, 상기 이송롤러는 그 외주면에 미끄럼방지수단이 구비된다. The conveying mechanism includes a plurality of conveying rollers rotatably installed in the chamber housing, and the conveying roller is provided with non-slip means on the outer peripheral surface thereof.

상기 이송기구는 상기 챔버 하우징 내에 회전가능하게 설치된 2이상의 풀리 및 이 풀리들에 감겨진 이송벨트를 포함하고, 상기 이송벨트는 그 외주면에 미끄럼방지수단이 구비된다. The conveying mechanism includes at least two pulleys rotatably installed in the chamber housing, and a conveyance belt wound around the pulleys, wherein the conveyance belt is provided with a non-slippery means on its outer peripheral surface.

상기 챔버 하우징의 내부 바닥면에서 이격된 복수의 지지롤러가 설치된다. A plurality of support rollers spaced from the inner bottom surface of the chamber housing are provided.

상기 챔버 하우징의 제1 및 제2 통로 중에서 어느 한 통로에는 피처리물의 처짐을 방지하는 처짐방지용 회전체가 설치된다. In one of the first and second passages of the chamber housing, a sag preventing rotation body for preventing deflection of the object to be processed is provided.

본 발명의 이송챔버는, In the transfer chamber of the present invention,

제1 및 제2 통로를 가진 챔버 하우징;A chamber housing having first and second passages;

상기 챔버 하우징 내에 설치되어 피처리물을 상기 제1 및 제2 통로를 향해 선택적으로 이송시키는 이송기구; A transfer mechanism installed in the chamber housing for selectively transferring the object to be processed toward the first and second passages;

상기 피처리물의 저면을 지지하고, 상기 제1 및 제2 통로를 향해 이동가능하며, 상하방향으로 승강가능한 캐리어; 및A carrier which supports the bottom surface of the object to be processed and is movable toward the first and second passages and is vertically movable up and down; And

상기 피처리물의 저면을 지지하고, 상기 캐리어와 간섭하지 않으면서 승강가능한 홀더를 포함한다. And a holder capable of supporting the bottom surface of the object to be processed and capable of ascending and descending without interfering with the carrier.

상기 이송기구는 상기 챔버 하우징 내에 회전가능하게 설치된 복수의 이송롤러를 포함하고, 상기 이송롤러는 그 외주면에 미끄럼방지수단이 구비된다. The conveying mechanism includes a plurality of conveying rollers rotatably installed in the chamber housing, and the conveying roller is provided with non-slip means on the outer peripheral surface thereof.

상기 이송기구는 상기 챔버 하우징 내에 회전가능하게 설치된 2 이상의 풀리 및 이 풀리들에 감겨진 이송벨트를 포함하고, 상기 이송벨트는 그 외주면에 미끄럼방지수단이 구비된다. The conveying mechanism includes at least two pulleys rotatably installed in the chamber housing, and a conveyance belt wound around the pulleys, wherein the conveyance belt is provided with a non-slippery means on its outer peripheral surface.

상기 챔버 하우징의 내부 바닥면에서 이격된 복수의 지지롤러가 설치된다. A plurality of support rollers spaced from the inner bottom surface of the chamber housing are provided.

상기 챔버 하우징의 제1 및 제2 통로 중에서 어느 한 통로에는 피처리물의 처짐을 방지하는 처짐방지용 회전체가 설치된다. In one of the first and second passages of the chamber housing, a sag preventing rotation body for preventing deflection of the object to be processed is provided.

상기 캐리어는 상기 챔버 하우징 내에 배치된 바디 및 상기 바디에서 길이방 향으로 연장된 다수의 지지체를 포함한다. The carrier includes a body disposed within the chamber housing and a plurality of supports extending longitudinally from the body.

상기 캐리어를 직선방향으로 이송시키는 직선이동부는,A straight moving portion for linearly moving the carrier,

상기 챔버 하우징 내에 승강가능하게 설치된 베이스판;A base plate vertically installed in the chamber housing;

상기 베이스판에 설치된 구동모터; A driving motor provided on the base plate;

상기 챔버 하우징 내에 길이방향으로 설치되고, 상기 구동모터에 의해 회전가능하게 설치된 나선축; 및 A spiral shaft installed longitudinally in the chamber housing and rotatably installed by the drive motor; And

상기 캐리어의 하면에 고정되고, 상기 나선축과 치합하며 나사운동하는 너트를 포함한다. And a nut fixed to the lower surface of the carrier and screwed on the screw shaft.

상기 구동모터는 밀봉커버에 의해 상기 챔버 하우징 내에 밀봉적으로 구획되고, 상기 밀봉커버가 설치된 베이스판의 일부분에는 개구가 형성되며, 이 개구에 대응하는 상기 챔버 하우징의 바닥면 일부에는 관통공이 형성되고, 상기 챔버 하우징의 관통공에는 상기 챔버 하우징의 내부를 밀봉하는 밀봉부재가 설치된다. The driving motor is sealingly partitioned in the chamber housing by a sealing cover, an opening is formed in a part of the base plate provided with the sealing cover, a through hole is formed in a part of the bottom surface of the chamber housing corresponding to the opening, And a sealing member for sealing the inside of the chamber housing is provided in the through hole of the chamber housing.

상기 밀봉부재는 신축가능한 주름관 구조이고, 그 상단은 베이스판의 개구 가장자리에 밀봉적으로 고정되며, 그 하단은 상기 챔버 하우징의 관통공 하부 가장자리에 밀봉적으로 고정된다. The sealing member is a stretchable corrugated pipe structure, the upper end thereof is sealingly fixed to the opening edge of the base plate, and the lower end thereof is sealingly fixed to the lower end of the through hole of the chamber housing.

상기 베이스판의 상부에는 하나 이상의 가이드레일이 길이방향으로 설치되고, 상기 캐리어의 하면에는 하나 이상의 가이드블럭이 설치되며, 상기 가이드블럭은 상기 가이드레일을 따라 안내된다. At least one guide rail is installed in the longitudinal direction of the base plate, and at least one guide block is installed on the lower surface of the carrier, and the guide block is guided along the guide rail.

상기 캐리어를 승하강시키는 승강부는,Wherein the lifting and lowering portion for lifting and lowering the carrier comprises:

하나 이상의 구동모터;At least one drive motor;

상기 구동모터에 의해 승하강하는 승강판; 및 A lifting plate lifted and lowered by the driving motor; And

양단부가 상기 승강판과 상기 베이스판 각각에 개별적으로 고정되고, 상기 챔버 하우징의 관통공을 통해 안내되는 하나 이상의 승강축을 포함한다. And one or more lifting shafts whose both ends are individually fixed to the lifting plate and the base plate and guided through the through holes of the chamber housing.

상기 구동모터의 구동력은 나선축 및 너트의 상대 나사운동을 통해 상기 승강판으로 전달된다. The driving force of the driving motor is transmitted to the lifting plate through the relative screw movement of the spiral shaft and the nut.

상기 챔버 하우징의 관통공 및 승강판 사이에는 밀봉부재가 설치된다. A sealing member is provided between the through hole of the chamber housing and the lifting plate.

상기 밀봉부재는 신축가능한 주름관 구조이고, 상기 밀봉부재는 그 상하 양단부 각각이 관통공의 하부 가장자리 및 승강판의 상면에 밀봉적으로 고정된다. The sealing member has a flexible tube structure in which the upper and lower ends of the sealing member are fixed sealingly to the lower edge of the through hole and the upper surface of the steel sheet.

상기 챔버 하우징의 관통공의 내주면 및 승강축의 외주면 사이에 환형의 밀봉부재가 개재된다. An annular sealing member is interposed between the inner peripheral surface of the through hole of the chamber housing and the outer peripheral surface of the elevating shaft.

상기 홀더는 챔버 하우징 내에 배치된 바디 및 상기 바디에서 길이방향으로 연장된 다수의 지지체를 포함한다. The holder includes a body disposed within the chamber housing and a plurality of longitudinally extending supports in the body.

상기 홀더는 상기 피처리물을 정렬하는 복수의 정렬부재를 가진다. The holder has a plurality of alignment members for aligning the object to be processed.

상기 홀더를 승하강시키는 승강부는,Wherein the lifting /

하나 이상의 구동실린더;At least one drive cylinder;

상기 구동실린더에 의해 승하강하는 승강판; 및 A lifting plate lifted and lowered by the driving cylinder; And

상기 양단부가 상기 승강판과 상기 홀더의 바디 각각에 개별적으로 고정되고, 상기 챔버 하우징의 관통공을 통해 안내되는 하나 이상의 승강축을 포함한다.And one or more lifting shafts fixed at the both ends of the lifting plate and the holder body respectively and guided through the through holes of the chamber housing.

상기 챔버 하우징의 관통공 및 승강판 사이에는 밀봉부재가 설치된다. A sealing member is provided between the through hole of the chamber housing and the lifting plate.

상기 밀봉부재는 신축가능한 주름관 구조이고, 상기 밀봉부재는 그 상하 양 단부 각각이 관통공의 하부 가장자리 및 승강판의 상면에 밀봉적으로 고정된다. The sealing member has a flexible tube structure in which the upper and lower ends of the sealing member are sealingly fixed to the lower edge of the through hole and the upper surface of the steel sheet.

상기 챔버 하우징의 관통공의 내주면 및 승강축의 외주면 사이에 환형의 밀봉부재가 개재된다. An annular sealing member is interposed between the inner peripheral surface of the through hole of the chamber housing and the outer peripheral surface of the elevating shaft.

본 발명의 진공처리시스템은, In the vacuum processing system of the present invention,

피처리물을 반입 내지 반출하는 반입/반출챔버;A loading / unloading chamber for loading / unloading the object to be processed;

진공상태에서 상기 피처리물을 처리하는 공정챔버; A processing chamber for processing the object to be processed in a vacuum state;

상기 반입/반출챔버 및 상기 이송챔버 사이에 소통가능하게 연결되고, 상기 반입/반출챔버 및 상기 이송챔버로 피처리물을 선택적으로 이송하는 이송챔버; 및 A transfer chamber communicatively coupled between the loading / unloading chamber and the transferring chamber for selectively transferring the material to and from the loading / unloading chamber and the transferring chamber; And

상기 반입/반출챔버의 외부와 소통가능한 통로, 상기 반입/반출챔버와 이송챔버 사이의 통로, 상기 이송챔버 및 공정챔버 사이의 통로 각각에 설치되어 각 통로를 개별적으로 개폐하는 복수의 개폐밸브를 포함한다. A plurality of open / close valves installed in the respective passages between the transfer chamber and the transfer chamber, between the transfer chamber and the process chamber, for individually opening and closing the passages, respectively, a passage communicable with the outside of the loading / unloading chamber do.

본 발명에 의한 진공처리용 피처리물의 이송방법은, 처리가 완료된 피처리물 및 처리되지 않은 피처리물 각각을 이송챔버에 의해 반입/반출챔버 및 공정챔버측으로 개별적으로 이송하는 방법에 관한 것으로, 상기 이송챔버에서 처리가 완료된 피처리물과 처리되지 않은 피처리물을 개별적으로 상하이동시킨 후에 상기 이송챔버에 의해 상기 반입/반출챔버에서 처리되지 않은 피처리물을 공정챔버측으로 이송시키고, 상기 이송챔버에 의해 상기 공정챔버에서 처리가 완료된 피처리물을 상기 반입/반출챔버로 이송시키는 것을 특징으로 한다. A method of transferring an object to be processed for vacuum processing according to the present invention relates to a method for individually transferring a processed object and an untreated object to be processed to a transfer chamber and a processing chamber side by a transfer chamber, The unprocessed object to be processed in the transfer chamber and the unprocessed object to be processed are individually moved up and down, and then the unprocessed object to be processed in the loading / unloading chamber is transferred to the processing chamber side by the transfer chamber, And the object to be processed that has been processed in the processing chamber is transferred to the loading / unloading chamber by the chamber.

상기와 같은 본 발명은 피처리물의 이송시 처짐량을 최소화함과 더불어 그 이송의 정확도 및 안정성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. The present invention as described above has the effect of minimizing the amount of deflection during transportation of the object to be processed, and improving the accuracy and stability of the transfer.

또한, 본 발명은 보다 컴팩한 체적을 구현함으로써 보다 작은 점유면적을 차지하여 제조설비의 레이아웃을 최적화할 수 있는 장점이 있다. Further, the present invention has an advantage in that it can occupy a smaller occupied area by implementing a more compact volume, and can optimize the layout of a manufacturing facility.

그리고, 본 발명은 피처리물의 이송구조를 보다 단순화시킴으로써 챔버 하우징의 각 벽면 두께를 감소시킬 수 있는 장점이 있다. Further, the present invention has an advantage in that the thickness of each wall of the chamber housing can be reduced by simplifying the transfer structure of the object to be processed.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 진공처리 시스템(500)은 도 10에 도시된 바와 같이, 반입/반출챔버(100), 하나 이상의 이송챔버(200), 하나 이상의 공정챔버(300)를 포함하고, 반입/반출챔버(100)는 피처리물(G)을 챔버 하우징(110) 내로 반입 내지 반출시키는 챔버이며, 공정챔버(300)는 진공상태에서 피처리물(G)을 처리하는 챔버이며, 이송챔버(200)는 진공상태에서 반입/반출챔버(100)와 공정챔버(300) 사이로 피처리물(G)을 이송시키는 챔버이다. The vacuum processing system 500 of the present invention includes a loading / unloading chamber 100, one or more transferring chambers 200 and one or more processing chambers 300, as shown in FIG. 10, The processing chamber 300 is a chamber for processing the object G in a vacuum state and the transfer chamber 200 is a chamber for processing the object G in a vacuum state, Out chamber (100) and the process chamber (300) in a vacuum state.

이하에서, 각 챔버(100, 200, 300)의 구체적인 구성을 구체적으로 설명한다. Hereinafter, specific configurations of the chambers 100, 200, and 300 will be described in detail.

도 1 내지 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반입/반출챔버를 도시한다. 1 to 3 illustrate a loading / unloading chamber according to an embodiment of the present invention.

도시된 바와 같이, 본 발명의 반입/반출챔버(100)는 챔버 하우징(110), 챔버 하우징(110) 내에 배치되어 피처리물(G)을 이송시키는 이송기구(120)를 포함한다. As shown, the loading / unloading chamber 100 of the present invention includes a chamber housing 110, a transfer mechanism 120 disposed within the chamber housing 110 for transferring the object G to be processed.

챔버 하우징(110)는 그 전후좌우상하가 밀폐된 구조이고, 그 측벽에는 피처리물(G)이 통과하는 제1통로 및 제2통로(111, 112)를 구비하고, 제1통로(111)는 제 1개폐밸브(510)에 의해 외부와 소통가능한 부분이며, 제2통로(112)는 이송챔버(200)의 챔버 하우징(210)과 소통가능한 부분이고, 제1 및 제2 통로(111, 112)는 후술하는 제1 및 제2 개폐밸브(510, 520)에 의해 개별적으로 개폐된다. 제1개폐밸브(510)에 의해 챔버 하우징(110)의 내부는 그 진공상태와 대기상태가 반복적으로 이루어지고, 제2개폐밸브(520)는 챔버 하우징(110) 내부의 진공상태가 보장된 경우에만 그 개방이 이루어진다. 챔버 하우징(110)는 지지프레임(160)에 의해 바닥면에 대해 견고하게 지지된다. The chamber housing 110 has a front and rear left and right and top and bottom sealed structures and has a first passage 111 and a second passage 111 through which the object G passes and a first passage 111, The second passage 112 is a portion communicable with the chamber housing 210 of the transfer chamber 200 and the first and second passages 111 and 112 are communicable with the outside by the first opening / 112 are individually opened and closed by the first and second open / close valves 510, 520 to be described later. The vacuum state and the standby state of the chamber housing 110 are repeatedly performed by the first opening and closing valve 510 and the second opening and closing valve 520 is closed when the vacuum state inside the chamber housing 110 is guaranteed Only that opening is made. The chamber housing 110 is firmly supported by the support frame 160 with respect to the bottom surface.

그리고, 챔버 하우징(110)의 바닥면에서 이격된 복수의 지지롤러(114, supporting roller)들이 좌우 전후 방향으로 일정간격으로 배치되고, 이 복수의 지지롤러(114)들은 브라켓(113)측에 회전이 자유롭게 설치되며, 브라켓(113)은 챔버 하우징(110)의 바닥면에 고정적으로 설치된다. 브라켓(113)에 의해 각 지지롤러(114)는 챔버 하우징(110)의 바닥면에서 상부로 이격됨으로써, 이러한 이격공간을 통해 외부 대기상태에서 작동하는 반입/반출로봇의 암 포크(arm-fork)가 원활하게 유입될 수 있다. 이러한 복수의 지지롤러(114)들은 피처리물(G)의 하부면에 회전접촉함으로써 피처리물(G)의 이송을 보다 정확하고 용이하게 한다. A plurality of supporting rollers 114 spaced from the bottom surface of the chamber housing 110 are arranged at predetermined intervals in the left and right front and rear directions and the plurality of supporting rollers 114 are rotated And the bracket 113 is fixedly installed on the bottom surface of the chamber housing 110. [ Each support roller 114 is spaced upward from the bottom surface of the chamber housing 110 by the bracket 113 so that the arm-fork of the loading / unloading robot that operates in the external standby state through the spacing space, Can be smoothly introduced. The plurality of support rollers 114 make contact with the lower surface of the object to be processed G in a rotational manner, thereby making it possible to convey the object G more accurately and easily.

그리고, 챔버 하우징(110)의 제2통로(112)에는 이송챔버(200)의 제1통로(211)가 소통되게 연결되고, 이에 반입/반출챔버(100)의 제2통로(112)와 이송챔버(200)의 제1통로(211) 사이의 거리차이로 인해 피처리물(G)의 이송도중에 처짐이 발생할 수 있으므로, 이를 방지하기 위해 챔버 하우징(110)의 제2통로(112)측에는 처짐방지용 회전체(115)를 더 구비할 수 있다. 이 처짐방지용 회전체(115)는 회전 이 자유로운 롤러 또는 볼 형태로 이루어질 수 있다. 그리고, 이 처짐방지용 회전체(115)는 내열성 재질, 예컨대 PeeK 등의 엔지니어링 플라스틱 등과 같이 높은 내열성을 가진 재질로 이루어질 수 있으며, 고온 분위기일 경우에는 베스펠 등과 같은 고온용 재질로 이루어질 수도 있을 것이다. The second passage 112 of the chamber housing 110 is communicated with the first passage 211 of the transfer chamber 200 so that the second passage 112 of the transfer chamber 200 is connected to the second passage 112 of the chamber housing 110, A deflection may occur during the transfer of the object G due to the difference in distance between the first passages 211 of the chamber 200. To prevent this, the second passage 112 side of the chamber housing 110 is deflected Prevention rotating body 115 can be further provided. The sag preventing anti-rotation body 115 may be formed in a roller or ball shape that is free to rotate. The anti-sagging anti-rotation body 115 may be made of a material having a high heat resistance such as a heat-resistant material such as engineering plastic such as PeeK, or a high-temperature material such as Vespel in a high-temperature atmosphere.

이송기구(120)는 피처리물(G)을 제1 및 제2 통로(111, 112)를 향해 선택적으로 이송시키도록 구성되고, 이송기구(120)의 일 실시예는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 복수의 이송롤러(121) 및 이 복수의 이송롤러(121)를 구동시키는 구동부(130)를 포함한다. The feed mechanism 120 is configured to selectively feed the object G toward the first and second passages 111 and 112 and one embodiment of the feed mechanism 120 is shown in FIGS. And includes a plurality of conveying rollers 121 and a driving unit 130 for driving the plurality of conveying rollers 121.

복수의 이송롤러(121)는 피처리물(G)의 양가장자리 저면을 지지하면서 이송시키도록 피처리물(G)의 양가장자리 저면에 접촉하게 배치되고, 이송롤러(121)들은 챔버 하우징(110)의 외측에 설치된 구동부(130)에 의해 회전구동한다. 각 이송롤러(121)는 그 외주면에 피처리물(G)과의 미끄럼을 방지하기 위한 미끄럼방지부재(125)를 구비할 수 있고, 이 미끄럼방지부재(125)는 고무재질의 오링(O-ring)로 이루어지며, 이 미끄럼방지부재(125)에는 고온 분위기일 경우에는 캡라즈 등과 같이 고온용 오링이 이용될 수도 있다. 대안적으로, 이송롤러(121)의 외주면에 고무 등과 같은 마찰재질의 미끄럼방지층이 피복처리되어 구성될 수도 있다. The plurality of conveying rollers 121 are disposed in contact with the bottom edge of both edges of the object G so as to convey while supporting the bottom edge of both edges of the object G and the conveying rollers 121 are disposed in the chamber housing 110 (Not shown). Each of the conveying rollers 121 may have a slip prevention member 125 for preventing slippage between the conveying roller 121 and the object G on the outer peripheral surface of the conveying roller 121. The slip prevention member 125 is made of O- ring, and the high-temperature O-ring may be used for the non-skid member 125 such as a cap raz. Alternatively, the outer peripheral surface of the conveying roller 121 may be formed by coating a non-slip layer made of a friction material such as rubber or the like.

구동부(130)는 구동모터(131), 각 이송롤러(121)에 회전축(132a)을 매개로 회전가능하게 설치된 복수의 전동풀리(132), 상기 복수의 전동풀리(132)에 감기는 감기 전동절(133)을 구비한 감기 전동기구로 구성될 수 있다. The driving unit 130 includes a driving motor 131, a plurality of electric pulleys 132 rotatably mounted on the respective conveying rollers 121 via a rotating shaft 132a, a plurality of electric pulleys 132 wound around the plurality of electric pulleys 132, And a section 133. [0031] As shown in FIG.

구동모터(131)는 챔버 하우징(110)의 일측 가장자리에 브라켓(134)을 매개로 설치되고, 챔버 하우징(110)의 후방 단부측, 즉 제2통로(112)측에 인접하여 설치됨이 바람직할 것이다. The drive motor 131 is preferably installed at one side edge of the chamber housing 110 via a bracket 134 and adjacent to the rear end side of the chamber housing 110, that is, the side of the second passage 112 will be.

복수의 전동풀리(132)는 각 이송롤러(121)에 회전축(132a)을 매개로 회전가능하게 설치되고, 각 회전축(132a)은 챔버 하우징(110)의 측벽에 오링, 메커니컬 실 또는 자성유체 실(ferrofluid seal) 등과 같은 실링재(136)에 의해 밀봉적으로 설치되며, 각 회전축(132a)은 챔버 하우징(110)의 측벽 내에 구비된 베어링(132b, 132c)에 의해 회전지지된다. A plurality of electric pulleys 132 are rotatably installed on each of the conveying rollers 121 via a rotary shaft 132a and the rotary shafts 132a are respectively connected to the side walls of the chamber housing 110 through an O- such as a ferrofluid seal or the like, and each rotary shaft 132a is rotatably supported by bearings 132b and 132c provided in the side wall of the chamber housing 110. [

감기 전동절(133)은 벨트, 타이밍벨트, 체인 중에서 어느 하나로 이루어질 수 있고, 복수의 전동풀리(132)측에 감겨 구동모터(131)의 구동력을 각 전동풀리(132)측으로 전달한다. 그리고, 복수의 전동풀리(132) 사이에는 텐션롤러(미도시)가 더 구비되어 감기 전동절(133)의 긴장력을 향상시킴으로써 그 전동효율을 높일 수도 있을 것이다. The winding motor section 133 may be any one of a belt, a timing belt and a chain and is wound on a plurality of motor pulleys 132 to transmit the driving force of the driving motor 131 to each of the motor pulleys 132. A tension roller (not shown) may further be provided between the plurality of electric pulleys 132 to improve the transmission efficiency by improving the tension of the electric drive section 133.

상술한 반입/반챔버(100)의 구동부(130)는 챔버 하우징(110)의 좌우 양측에 개별적으로 한 쌍이 배치된 구성이 개시되어 있지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 좌우 양측에서 상호 마주보는 한 쌍의 이송롤러(121)들이 회전축(미도시)을 매개로 상호 결합되면 구동부(130)가 챔버 하우징(110)의 일측에만 배치될 수도 있을 것이다. 또한, 본 구동부(130)는 상술한 감기 전동기구에 한정되지 않고, 기어전동기구 또는 유공압전동기구 등과 같은 다양한 종류가 적용될 수 있을 것이다. The driving unit 130 of the loading / unloading chamber 100 described above is configured such that a pair of the driving unit 130 is disposed on both left and right sides of the chamber housing 110. However, the present invention is not limited to this, When the pair of conveying rollers 121 are coupled to each other via the rotation shaft (not shown), the driving unit 130 may be disposed only on one side of the chamber housing 110. In addition, the present driving unit 130 is not limited to the above-described cold rolling mechanism, but may be applied to various types such as a gear transmission mechanism or a hydraulic transmission mechanism.

대안적으로, 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송기구(120)가 도 4 및 도 5에 도시된다.Alternatively, a transport mechanism 120 according to another embodiment of the present invention is shown in Figs. 4 and 5. Fig.

다른 실시예에 따른 이송기구(120)는 챔버 하우징(110)의 외측에 브라켓(128a)을 매개로 고정설치된 구동모터(128), 이 구동모터(128)에 회전축(128b)을 매개로 연결된 구동풀리(127a), 이 구동풀리(127a)에서 일정간격 이격되어 회전가능하게 설치된 종동풀리(127b), 구동풀리(127a) 및 종동풀리(127b)에 감겨진 이송벨트(126)를 포함한다. The conveying mechanism 120 according to another embodiment includes a driving motor 128 fixed to the outside of the chamber housing 110 via a bracket 128a and a driving motor 128 coupled to the driving motor 128 via a rotary shaft 128b A pulley 127a, a driven pulley 127b provided rotatably and spaced apart from the drive pulley 127a, a drive pulley 127a, and a conveyor belt 126 wound around the driven pulley 127b.

이송벨트(126)는 피처리물(G)의 좌우 양가장자리 저면을 지지하도록 배치되고, 본 실시예의 이송벨트(126)로는 다수의 치형이 구비된 타이밍 벨트가 적용되며, 이에 대응하여 구동풀리(127a) 및 종동풀리(127b)는 그 외주면에 치형을 가진다. 이에 의해 이송벨트(126)는 구동시의 미끄럼짐 등을 방지하여 보다 정밀한 이송을 구현할 수 있다. 또한, 이송벨트(126)는 피처리물(G)과의 접촉되면 외면에 피처리물(G)의 미끄럼짐을 방지하기 위한 미끄럼방지층이 피복될 수 있다. The conveyor belt 126 is arranged to support the bottoms of the left and right edges of the object G. A timing belt having a plurality of teeth is applied to the conveyor belt 126 of the present embodiment, 127a and the driven pulley 127b have teeth on their outer circumferential surfaces. Thus, the conveyance belt 126 can prevent slippage during driving and realize more accurate conveyance. The transfer belt 126 may be coated with an anti-slip layer for preventing the object G from slipping when the transfer belt 126 comes into contact with the object G. [

회전축(128b)은 챔버 하우징(110)의 벽면에 오링, 메커니컬 실 또는 자성유체 실(ferrofluid seal) 등과 같은 실링재에 의해 밀봉적으로 설치되고, 구동풀리(127a)와 종동풀리(127b) 사이에는 하나 이상의 텐션풀리가 더 구비될 수도 있다. The rotating shaft 128b is sealingly installed on the wall surface of the chamber housing 110 by sealing members such as an O-ring, a mechanical seal or a ferrofluid seal, and a rotating shaft 127b is disposed between the driving pulley 127a and the driven pulley 127b. Or more tension pulleys may be further provided.

도 4에서 한 쌍의 구동모터(128)가 챔버 하우징(110)의 좌우 양측에 개별적으로 구비된 것으로 도시되어 있지만, 좌우 한 쌍의 구동풀리(127a)가 회전축을 매개로 연결되면 구동모터(128)는 챔버 하우징(110)의 일측에만 설치될 수도 있을 것이다. 4, the pair of driving motors 128 are separately provided on the left and right sides of the chamber housing 110. However, when the pair of left and right driving pulleys 127a are connected via the rotation shaft, the driving motor 128 May be installed only on one side of the chamber housing 110.

그리고, 본 발명의 반입/반출챔버(100)는 피처리물(G)의 일단부를 정렬하는 제1정렬부(140) 및 피처리물(G)의 양측면을 정렬하는 제2정렬부(150)를 가진다. The loading and unloading chamber 100 of the present invention includes a first aligning unit 140 for aligning one end of the object G and a second aligning unit 150 for aligning both sides of the object G, .

제1정렬부(140)는 챔버 하우징(110)의 제1통로(111) 또는 제2통로(112)에 인접하여 배치된 복수의 제1정렬부재(141)와 이 제1정렬부재(141)에 인접하여 배치된 복수의 감지센서(142)를 포함한다. The first alignment unit 140 includes a plurality of first alignment members 141 disposed adjacent to the first passage 111 or the second passage 112 of the chamber housing 110 and the first alignment member 141, And a plurality of sensing sensors 142 disposed adjacent to the sensing sensors 142.

정렬부재(141)는 제1통로(111) 또는 제2통로(112) 측에 상부방향으로 직립되어 설치되고, 피처리물(G)의 이송라인과 동일하거나 약간 높은 길이를 가지며, 피처리물(G)이 정렬부재(141)에 접촉됨으로써 피처리물(G)의 일단부가 정렬된다. The alignment member 141 is installed upright on the first passage 111 or the second passage 112 in the upward direction and has the same or slightly longer length as the transfer line of the object G, (G) comes in contact with the aligning member 141, whereby one end of the object G is aligned.

감지센서(142)는 이송되는 피처리물(G)을 감지한 후에 피처리물(G)이 감지되면 제어부(미도시)로 하여금 피처리물(G)의 이송속도를 감속시키도록 제어한다. The detection sensor 142 senses the transported object G and then controls the controller (not shown) to decelerate the transport speed of the object G when the object G is detected.

이러한 구성에 의해, 피처리물(G)이 감지센서(142)들에 의해 제1정렬부재(141)측에 근접함이 감지되면 피처리물(G)은 그 이송속도가 감속되면서 복수의 정렬부재(141)측에 그 일단이 접촉되어 정렬된다.With this configuration, when it is sensed that the object to be processed G is close to the first alignment member 141 side by the detection sensors 142, the object G is decelerated One end thereof is in contact with the member 141 side.

제2정렬부(150)는 챔버 하우징(110)의 내부 좌우 양측에 폭방향으로 이동가능하게 설치된 한 쌍의 측면가압부재(151) 및 이 측면가압부재(151)를 구동시키는 하나 이상의 구동실린더(152)를 포함한다. The second aligning unit 150 includes a pair of side pressing members 151 movably disposed on the left and right sides of the chamber housing 110 in the width direction and at least one driving cylinder 151 driving the side pressing members 151 152).

구동실린더(152)의 구동로드는 챔버 하우징(110)의 측벽에 오링, 메커니컬 실, 자성유체 실 등에 의해 기밀하게 밀봉되고, 이 구동실린더(152)에 의해 이동하는 측면가압부재(151)는 피처리물(G)의 좌우 양측면을 가압함으로써 피처리물(G)의 양측면을 정렬한다. The driving rod of the driving cylinder 152 is hermetically sealed to the side wall of the chamber housing 110 by an O-ring, a mechanical chamber, a magnetic fluid chamber or the like, and the side pressing member 151, The left and right side surfaces of the processed product G are pressed to align both sides of the processed product G. [

도 6 내지 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 피처리물 이송챔버를 도시한다. Figures 6-10 illustrate a material transfer chamber in accordance with one embodiment of the present invention.

도시된 바와 같이, 본 발명의 피처리물 이송챔버(200)는 챔버 하우징(210), 챔버 하우징(210) 내에 배치되어 피처리물(G)을 이송시키는 이송기구(220), 피처리물(G)의 저면을 지지하면서 이송시키는 캐리어(241) 및 피처리물(G)을 일시적으로 홀딩시키는 홀더(271)를 포함하고, 상기 캐리어(241) 및 홀더(271)는 상호 간섭되지 않도록 승하강하며, 캐리어(241)는 선형 이동가능하고, 홀더(271)는 피처리물(G)을 승하강시키면서 홀딩한다. 이러한 이송기구(220), 캐리어(241) 및 홀더(271)에 의해 2개 이상의 피처리물(G)은 상호 반대방향으로 이송될 수 있다. As shown in the drawing, the object to be processed transfer chamber 200 of the present invention includes a chamber housing 210, a transfer mechanism 220 disposed in the chamber housing 210 for transferring the object G, G and a holder 271 for temporarily holding the object G while the carrier 241 and the holder 271 are moved up and down so as not to interfere with each other The carrier 241 is linearly movable, and the holder 271 holds and holds the object G to move upward and downward. The two or more objects G can be transported in opposite directions by the transport mechanism 220, the carrier 241, and the holder 271. [

챔버 하우징(210)은 그 전후좌우상하가 밀폐된 구조이고, 그 측벽에는 피처리물(G)이 통과하는 제1통로 및 제2통로(211, 212)를 구비하고, 이 제1 및 제2 통로(211, 212)는 제2 및 제3 개폐밸브(520, 530)에 의해 개폐되며, 이 제2 및 제3 개폐밸브(520, 530)의 개폐작동에 의해 챔버 하우징(210)의 내부는 그 진공상태가 지속적으로 유지된다. 챔버 하우징(210)은 지지프레임(290)에 의해 바닥면에 대해 견고하게 지지된다. The chamber housing 210 has a structure in which its front, rear, left and right and top and bottom are sealed, and the side walls thereof have a first passage and a second passage 211, 212 through which the object G passes, The passages 211 and 212 are opened and closed by the second and third opening and closing valves 520 and 530 and the inside of the chamber housing 210 is opened and closed by the opening and closing operations of the second and third opening and closing valves 520 and 530 The vacuum state is maintained constantly. The chamber housing 210 is firmly supported by the support frame 290 with respect to the bottom surface.

그리고, 챔버 하우징(210)의 바닥면에서 이격된 복수의 지지롤러(214, supporting roller)들이 좌우 전후 방향으로 일정간격으로 배치되고, 이 복수의 지지롤러(214)들은 브라켓(213)측에 회전이 자유롭게 설치되며, 브라켓(213)은 챔버 하우징(210)의 바닥면에 고정적으로 설치된다. 그리고, 각 지지롤러(214)는 캐리어(241) 및 홀더(271)과 간섭되지 않게 배치된다. 이러한 복수의 지지롤러(214)들 은 피처리물(G)의 저면에 회전접촉함으로써 피처리물(G)의 이송을 보다 정확하고 용이하게 한다. A plurality of supporting rollers 214 spaced from the bottom surface of the chamber housing 210 are arranged at regular intervals in the left and right front and rear directions and the plurality of supporting rollers 214 are rotated And a bracket 213 is fixedly installed on the bottom surface of the chamber housing 210. [ Each of the support rollers 214 is disposed so as not to interfere with the carrier 241 and the holder 271. The plurality of support rollers 214 are brought into rotational contact with the bottom surface of the object to be processed G to make the transfer of the object G more accurate and easy.

그리고, 챔버 하우징(210)의 제1통로(211)는 반입/반출챔버(100)의 제2통로(112)와 소통되게 연결되고, 이송챔버(200)의 제1통로(211)와 반입/반출챔버(100)의 제2통로(112) 사이의 거리로 인해 피처리물(G)의 이송도중에 처짐이 발생할 수 있으므로, 이를 방지하기 위해 챔버 하우징(210)의 제1통로(211)측에는 처짐방지용 회전체(215)를 더 구비할 수 있다. 이 처짐방지용 회전체(215)는 회전이 자유로운 롤러 또는 볼 형태로 이루어질 수 있다. 그리고, 이 처짐방지용 회전체(215)는 내열성 재질, 예컨대 PeeK 등의 엔지니어링 플라스틱 등과 같이 높은 내열성을 가진 재질로 이루어질 수 있으며, 고온 분위기일 경우에는 베스펠 등과 같은 고온용 재질로 이루어질 수도 있을 것이다.The first passage 211 of the chamber housing 210 communicates with the second passage 112 of the loading / unloading chamber 100 and is connected to the first passage 211 of the transfer chamber 200, Since the distance between the second passages 112 of the carry-out chamber 100 may cause deflection during transfer of the object G, the first passage 211 of the chamber housing 210 may be deflected And an anti-rotation body 215 may be further provided. The sag preventing anti-rotation body 215 may be formed in a roller or ball shape that is free to rotate. The anti-sagging anti-rotation body 215 may be made of a material having a high heat resistance such as a heat-resistant material such as engineering plastic such as PeeK, or a high-temperature material such as Vespel in a high-temperature atmosphere.

이송기구(220)는 제1 및 제2 통로(211, 212)를 향해 피처리물(G)을 선택적으로 이송시키도록 구성되고, 이송기구(220)의 일 실시예는 도 6 내지 도 10에 도시된 바와 같이 복수의 이송롤러(221) 및 이 복수의 이송롤러(221)를 구동시키는 구동부(230)를 포함한다. The feed mechanism 220 is configured to selectively feed the object G toward the first and second passages 211 and 212 and one embodiment of the feed mechanism 220 is shown in Figs. And includes a plurality of conveying rollers 221 and a driving unit 230 for driving the plurality of conveying rollers 221.

복수의 이송롤러(221)는 피처리물(G)의 양가장자리 저면을 지지하면서 이송시키도록 피처리물(G)의 양가장지리 저면에 접촉되게 배치되고, 이송롤러(221)들은 챔버 하우징(210)의 외측에 설치된 구동부(230)에 의해 회전구동한다. 각 이송롤러(221)는 그 외주면에 피처리물(G)과의 미끄럼을 방지하기 위한 미끄럼방지부재(225)를 구비할 수 있고, 이 미끄럼방지부재(225)는 고무재질의 오링(O-ring)로 이루어질 수 있으며, 이 미끄럼방지부재(225)에는 고온 분위기일 경우에는 캡라즈 등과 같이 고온용 오링이 이용될 수도 있다. 대안적으로, 이송롤러(221)의 외주면에 고무 등과 같은 마찰재질의 미끄럼방지층이 피복처리되어 구성될 수도 있다. The plurality of conveying rollers 221 are disposed in contact with both the bottom and bottom edges of the object to be processed G while conveying while supporting the bottom edge of both ends of the object G. The conveying rollers 221 are disposed in the chamber housing 210 by a drive unit 230 provided outside the motor. Each of the conveying rollers 221 may be provided on its outer peripheral surface with a non-skid member 225 for preventing slippage with the object G. The non-skid member 225 is made of O- ring, and the high-temperature O-ring may be used for the non-skid member 225 in the case of a high-temperature atmosphere such as a cap. Alternatively, the outer peripheral surface of the conveying roller 221 may be formed by coating a non-slip layer of a friction material such as rubber.

구동부(230)는 구동모터(231), 각 이송롤러(221)에 회전축(232a)을 매개로 회전가능하게 설치된 복수의 전동풀리(232), 상기 복수의 전동풀리(232)에 감기는 감기 전동절(233)을 구비한 감기 전동기구로 구성될 수 있다. The driving unit 230 includes a driving motor 231, a plurality of electric pulleys 232 rotatably mounted on the respective conveying rollers 221 via a rotation shaft 232a, a plurality of electric pulleys 232 wound around the plurality of electric pulleys 232, And a section 233 of the motor.

구동모터(231)는 챔버 하우징(210)의 일측 가장자리에 브라켓(234)을 매개로 설치되고, 챔버 하우징(210)의 전방 단부측, 즉 제1통로(211)측에 인접하여 설치됨이 바람직할 것이다. The drive motor 231 is preferably installed at one side edge of the chamber housing 210 via a bracket 234 and adjacent to the front end side of the chamber housing 210, will be.

복수의 전동풀리(232)는 각 이송롤러(221)에 회전축(232a)을 매개로 회전가능하게 설치되고, 각 회전축(232a)은 챔버 하우징(210)의 측벽에 실링재에 의해 밀봉적으로 설치되며, 각 회전축(232a)은 챔버 하우징(210)의 측벽 내에 구비된 베어링 등에 의해 회전지지된다. A plurality of electric pulleys 232 are rotatably mounted on each of the conveying rollers 221 via a rotary shaft 232a and the rotary shafts 232a are hermetically installed on the side wall of the chamber housing 210 by a sealing material And the rotation shafts 232a are rotatably supported by a bearing or the like provided in the side wall of the chamber housing 210. [

감기 전동절(233)은 벨트, 타이밍벨트, 체인 중에서 어느 하나로 이루어질 수 있고, 복수의 전동풀리(232)측에 감겨 구동모터(231)의 구동력을 각 전동풀리(232)측으로 전달한다. The winding motor section 233 may be any one of a belt, a timing belt and a chain. The winding motor section 233 is wound around a plurality of motor pulleys 232 to transmit the driving force of the driving motor 231 to each of the motor pulleys 232.

그리고, 복수의 전동풀리(232) 사이에는 텐션롤러(미도시)가 더 구비되어 감기 전동절(233)의 긴장력을 향상시킴으로써 그 전동효율을 높일 수도 있을 것이다. A tension roller (not shown) may further be provided between the plurality of electric pulleys 232 to improve the transmission efficiency of the electric motor by improving the tension of the electric motor 233.

한편, 본 피처리물 이송챔버(200)의 구동부(230)는 챔버 하우징(210)의 좌우 양측에 개별적으로 한 쌍이 배치된 구성이 개시되어 있지만, 본 발명은 이에 한정 되지 않고, 구동부(230)는 좌우 양측에서 상호 마주보는 한 쌍의 이송롤러(221)들을 회전축을 매개로 결합시킴으로써 챔버 하우징(210)의 일측에만 배치시킬 수도 있을 것이다. 그리고, 본 발명의 구동부(230)는 상술한 감기 전동기구에 한정되지 않고, 기어전동기구 또는 유공압전동기구 등과 같은 다양한 종류가 적용될 수 있을 것이다. The driving unit 230 of the material transporting chamber 200 includes a pair of the moving units 230 disposed on the left and right sides of the chamber housing 210. However, A pair of conveying rollers 221 facing each other on both the left and right sides may be disposed on only one side of the chamber housing 210 by coupling them via a rotation shaft. The driving unit 230 of the present invention is not limited to the above-described cold rolling mechanism, but may be applied to various types such as a gear transmission mechanism or a hydraulic transmission mechanism.

대안적으로, 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송기구(220)가 도 11에 도시된다.Alternatively, a transport mechanism 220 according to another embodiment of the present invention is shown in Fig.

다른 실시예에 따른 이송기구(220)는 챔버 하우징(210)의 외측에 브라켓(228a)을 매개로 고정설치된 구동모터(228), 이 구동모터(228)에 회전축(228b)을 매개로 연결된 구동풀리(227a), 이 구동풀리(227a)에서 일정간격 이격되어 회전가능하게 설치된 종동풀리(227b), 구동풀리(227a) 및 종동풀리(227b)에 감겨진 이송벨트(226)를 포함한다. The conveying mechanism 220 according to another embodiment includes a driving motor 228 fixed to the outside of the chamber housing 210 through a bracket 228a, a driving motor 228 connected to the driving motor 228 via a rotating shaft 228b A pulley 227a, a driven pulley 227b provided rotatably and spaced apart from the drive pulley 227a, a drive pulley 227a and a transport belt 226 wound around the driven pulley 227b.

이송벨트(226)는 피처리물(G)의 좌우 양가장자리 저면을 지지하도록 배치되고, 본 실시예의 이송벨트(226)로는 다수의 치형이 구비된 타이밍 벨트가 적용되며, 이에 대응하여 구동풀리(227a) 및 종동풀리(227b)는 그 외주면에 치형을 가진다. 이에 의해 이송벨트(226)는 구동시의 미끄럼짐 등을 방지하여 보다 정밀한 이송을 구현할 수 있다. 또한, 이송벨트(226)는 피처리물(G)과의 접촉되면 외면에 피처리물(G)의 미끄럼짐을 방지하기 위한 미끄럼방지층이 피복될 수 있다. The conveyance belt 226 is arranged to support the bottoms of both left and right edges of the object G. A timing belt having a plurality of teeth is applied to the conveyance belt 226 of the present embodiment, 227a and the driven pulley 227b have teeth on their outer circumferential surfaces. Thus, the conveyance belt 226 can prevent slippage during driving and realize more precise conveyance. When the transfer belt 226 is brought into contact with the object G, an anti-slip layer may be coated on the outer surface of the transfer belt 226 to prevent the object G from slipping.

회전축(228b)은 챔버 하우징(210)의 벽면에 오링, 메커니컬 실 또는 자성유체 실(ferrofluid seal) 등과 같은 실링재에 의해 밀봉적으로 설치되고, 구동풀 리(227a)와 종동풀리(227b) 사이에는 하나 이상의 텐션풀리(미도시)가 더 구비될 수도 있다. The rotating shaft 228b is sealingly installed on the wall surface of the chamber housing 210 by sealing members such as an O-ring, a mechanical seal or a ferrofluid seal, and is disposed between the driving pulley 227a and the driven pulley 227b One or more tension pulleys (not shown) may be further provided.

도 11에서 한 쌍의 구동모터(228)가 챔버 하우징(210)의 좌우 양측에 개별적으로 구비된 것으로 도시되어 있지만, 좌우 한 쌍의 구동풀리(227a)가 회전축을 매개로 연결되면 구동모터(228)는 챔버 하우징(210)의 일측에만 설치될 수도 있을 것이다.11, the pair of drive motors 228 are separately provided on the left and right sides of the chamber housing 210. However, when the pair of left and right drive pulleys 227a are connected via the rotation shaft, the drive motor 228 May be installed only on one side of the chamber housing 210.

캐리어(241)는 피처리물(G)의 저면을 지지하면서 직선방향으로 이동가능하고, 상하방향으로 승강가능하게 구성되고, 챔버 하우징(210) 내에 배치된 바디(241a) 및 이 바디(241a)측에서 길이방향으로 길게 연장된 다수의 지지체(241b)를 포함하며, 바디(241a)는 그 승하강시에 챔버 하우징(210)의 지지롤러(214)와의 간섭을 방지하기 위한 복수의 관통홈(241f)을 가질 수 있다.The carrier 241 is movable in a linear direction while supporting the bottom surface of the object to be processed G so as to be vertically movable up and down and includes a body 241a disposed in the chamber housing 210, And the body 241a has a plurality of through grooves 241f for preventing the chamber housing 210 from interfering with the support roller 214 in the ascending and descending direction ).

캐리어(241)는 직선이동부(250)에 의해 직선이동되고, 승강부(260)에 의해 승하강된다. The carrier 241 is linearly moved by the moving part 250 and is lifted and lowered by the lifting part 260.

직선이동부(250)는 캐리어(241)를 챔버 하우징(210)의 길이방향 즉, 도 7에서 전후방향으로 직선이동시키도록 구성된다. The linear moving part 250 is configured to linearly move the carrier 241 in the longitudinal direction of the chamber housing 210, that is, in the front-rear direction in FIG.

직선이동부(250)는 챔버 하우징(210) 내에서 승강가능하게 설치된 베이스판(251), 이 베이스판(251)에 설치된 구동모터(252), 구동모터(252)에 의해 회전하는 나선축(253), 및 캐리어(241)의 하부에 고정되어 나선축(253)와 치합하면서 직선이동하는 너트(254) 등을 포함한다. The rectilinear transfer unit 250 includes a base plate 251 installed in the chamber housing 210 so as to be able to ascend and descend, a driving motor 252 installed on the base plate 251, a spiral shaft 252 rotated by the driving motor 252 And a nut 254 which is fixed to the lower portion of the carrier 241 and moves linearly while engaging with the spiral shaft 253.

베이스판(251)은 후술하는 승강부(260)에 의해 챔버 하우징(210) 내에서 승 하강하고, 그 일단에 구동모터(252)가 설치된다. The base plate 251 is raised and lowered in the chamber housing 210 by a lift portion 260 to be described later, and a drive motor 252 is provided at one end thereof.

구동모터(252)는 챔버 하우징(210) 내의 진공상태에서는 그 열교환이 제대로 이루어지지 못하여 그 사용수명이 단축될 수 있고, 이에 따라 구동모터(252)를 대기상태에서 구동시키기 위하여 본 발명은 도 8에 도시된 바와 같이 구동모터(252)와 챔버 하우징(210)을 밀봉커버(252a)에 의해 밀봉적으로 구획할 수 있다. 그리고, 구동모터(252)의 축(252c)은 밀봉커버(252a)를 관통하여 회전가능하게 설치되고, 이 축(252c)을 밀봉하는 오링, 메커니컬 실, 자성유체 실 등과 같은 실링재(252b)가 설치된다. In order to drive the drive motor 252 in a standby state, the drive motor 252 may be operated in a vacuum state in the chamber housing 210, The drive motor 252 and the chamber housing 210 can be sealingly partitioned by the seal cover 252a as shown in FIG. The shaft 252c of the drive motor 252 is rotatably installed through the seal cover 252a and a seal member 252b such as an O-ring, a mechanical seal, a magnetic fluid seal, or the like sealing the shaft 252c Respectively.

구동모터(252)의 밀봉커버(252a)가 설치되는 베이스판(251)의 일부분에는 개구(251a)가 형성되고, 이 개구(251a)에 대응하는 챔버 하우징(210)의 바닥면 일부에는 관통공(210a)이 형성된다. 이에 의해 베이스판(251)의 개구(251a) 및 챔버 하우징(210)의 관통공(210a)을 통해 구동모터(252) 및 이에 관련된 각종 전장품 들의 설치 내지 교체 수리 등이 매우 용이해지는 장점이 있다. An opening 251a is formed in a part of the base plate 251 on which the sealing cover 252a of the driving motor 252 is provided and a through hole 251a is formed in a part of the bottom surface of the chamber housing 210 corresponding to the opening 251a. (Not shown). Thereby, it is advantageous that the driving motor 252 and various electric products related thereto can be easily installed, replaced, or repaired through the opening 251a of the base plate 251 and the through hole 210a of the chamber housing 210.

챔버 하우징(210)의 관통공(210a)에는 챔버 하우징(210) 내의 진공상태를 유지할 수 있도록 신축가능한 주름관 형태의 밀봉부재(251b)가 설치될 수 있고, 이 주름관 형태의 밀봉부재(251b)로는 용접형 금속 벨로우즈(Welded Metal Bellows)가 이용될 수 있다. The sealing member 251b in the form of a bellows tube may be provided in the through hole 210a of the chamber housing 210 so as to maintain a vacuum state in the chamber housing 210. The bellows- Welded metal bellows may be used.

그리고, 밀봉부재(251b)의 상단은 베이스판(251)의 개구(251a) 가장자리에 각종 실링재 및 체결구 등에 의해 밀봉적으로 고정되며, 밀봉부재(251b)의 하단에는 플랜지(251c)가 고정되고, 이 밀봉부재(251b)의 플랜지(251c)는 관통공(210a)의 하부 가장자리측에 실링재 및 체결구 등에 의해 밀봉적으로 고정된다. The upper end of the sealing member 251b is sealingly fixed to the edge of the opening 251a of the base plate 251 by various sealing materials and fasteners and the flange 251c is fixed to the lower end of the sealing member 251b And the flange 251c of the sealing member 251b is sealingly fixed to the lower edge side of the through hole 210a by a sealant and a fastener.

나선축(253)은 구동모터(252)의 출력축에 커플러(253b) 등을 통해 연결되고, 그 양단부는 회전지지구(253a) 등에 의해 회전지지된다. The spiral shaft 253 is connected to the output shaft of the driving motor 252 through a coupler 253b or the like and both ends of the spiral shaft 253 are rotatably supported by the rotor cell 253a or the like.

너트(254)는 캐리어(241)의 바디(241a) 하부 측에 고정되고, 내부의 암나사부가 나선축(253)의 수나사부와 치합되어 상대 나사운동함으로써 전후방향으로 직선이동하도록 구성된다. The nut 254 is fixed to the lower side of the body 241a of the carrier 241 and is configured so that the internal female thread engages with the male screw portion of the screw shaft 253 and moves linearly in the forward and backward directions by relative threading.

베이스판(251)의 상면에는 가이드레일(257)이 길이방향으로 설치되고, 이 가이드레일(257)에 대응하여 캐리어(241)의 바디(241a) 하부에 가이드블럭(241c)이 고정되며, 가이드블럭(241c)은 가이드레일(257)을 따라 안내되고, 이에 의해 캐리어(241)는 그 직선이동시 피처리물(G)의 처짐이 최소화될 뿐만 아니라 피처리물(G)의 보다 정확하고 안정적인 이송을 구현할 수 있다. A guide rail 257 is provided on the upper surface of the base plate 251 in the longitudinal direction and a guide block 241c is fixed to a lower portion of the body 241a of the carrier 241 corresponding to the guide rail 257, The block 241c is guided along the guide rail 257 so that the carrier 241 is not only minimally deflected in the target object G during its linear movement but also more accurately and reliably Can be implemented.

승강부(260)는 챔버 하우징(210) 내의 베이스판(251)을 승하강시킴으로써 캐리어(241)를 승하강시키고, 이 승강부(260)는 챔버 하우징(210)의 하부측에 설치된 것으로 도시되었지만 챔버 하우징(210)의 상부측에 설치되어도 무방할 것이다. The elevating part 260 ascends and descends the carrier 241 by raising or lowering the base plate 251 in the chamber housing 210 and the elevating part 260 is shown installed on the lower side of the chamber housing 210 But may be provided on the upper side of the chamber housing 210.

승강부(260)는 구동모터(261), 이 구동모터(261)의 구동에 의해 승하강하는 승강판(262), 승강판(262)과 직선이동부(250)의 베이스판(251) 사이에 고정설치된 복수의 승강축(263) 등을 포함한다. The elevating portion 260 includes a driving motor 261 and a lifting plate 262 which is lifted and lowered by driving the driving motor 261. The elevating portion 260 is provided between the lifting plate 262 and the base plate 251 And a plurality of lifting shafts 263 fixed to the lifting shaft 263 and the like.

구동모터(261)는 직교하는 방향으로 설치되고, 각 구동모터(261)에는 복수의 수평회전축(265a)이 연결되고, 이 수평회전축(265a)들에는 연결된 베벨기어(265b)들이 연결되며, 이 베벨기어(265b)에 나선축(266c)이 연결되고, 이 나선축(266c)에 는 너트(266d)가 치합되며, 이 너트(266d)들은 승강판(262)측에 고정된다. 이에 의해 구동모터(261)들의 구동력은 승강판(262)측으로 전달되어 승강판(262)과 함께 베이스판(251)이 함께 승하강한다. A plurality of horizontal rotation shafts 265a are connected to the respective drive motors 261 and bevel gears 265b connected to the horizontal rotation shafts 265a are connected to the drive motors 261, A helical shaft 266c is connected to the bevel gear 265b and a nut 266d is engaged with the helical shaft 266c and these nuts 266d are fixed to the lifting plate 262 side. The drive force of the drive motors 261 is transmitted to the lift plate 262 side so that the base plate 251 moves up and down together with the lift plate 262.

그리고, 승강축(263)은 그 상하 양단부가 승강판(262) 및 베이스판(251)측에 개별적으로 고정되고, 승강축(263)은 챔버 하우징(210)의 관통공(210b)을 통해 안내되면서 이동하며, 이 관통공(210b) 하부에는 신축가능한 주름관 구조의 밀봉부재(263a)가 승강축(263)의 일부 외주면을 감싸도록 설치되고, 이 밀봉부재(263a)의 상하 양단부 각각은 관통공(210b)의 저면 및 승강판(262)의 상면 측에 실링재 및 체결구 등에 의해 밀봉적으로 고정됨으로써 챔버 하우징(210) 내의 진공도를 유지할 수 있다. 주름관 구조의 밀봉부재(263a)로는 용접형 금속 벨로우즈(Welded Metal Bellows)가 이용될 수 있다.The upper and lower ends of the lifting shaft 263 are individually fixed to the lifting plate 262 and the base plate 251 side and the lifting shaft 263 is guided through the through hole 210b of the chamber housing 210 And a sealing member 263a of a flexible tube structure having a flexible tube structure is installed under the through hole 210b so as to surround a part of the outer peripheral surface of the lifting shaft 263. Each of the upper and lower ends of the sealing member 263a, The bottom surface of the chamber 210b and the upper surface of the lifting plate 262 are sealed to each other to seal the vacuum chamber. Welded metal bellows may be used as the sealing member 263a of the corrugated pipe structure.

대안적으로, 승강축(263)의 외주면과 챔버 하우징(210)의 관통공(210b) 내주면 사이에는 오링, 메커니컬 실, 자성유체 실 등과 같은 환형의 밀봉부재가 설치됨으로써 챔버 하우징(210) 내의 진공도를 유지할 수 있다. An annular sealing member such as an O-ring, a mechanical chamber, a magnetic fluid chamber, or the like is provided between the outer peripheral surface of the lifting shaft 263 and the inner peripheral surface of the through hole 210b of the chamber housing 210, Lt; / RTI >

홀더(271)는 캐리어(241)와 상호 간섭되지 않도록 승하강하고, 피처리물(G)의 저면을 지지하면서 일시적으로 홀딩하며, 홀더(271)는 승강부(280)에 의해 승강된다. 홀더(271)는 챔버 하우징(210)의 폭방향으로 배치된 바디(271a) 및 이 바디(271a)측에 챔버 하우징(210)의 길이방향으로 길게 연장된 다수의 지지체(271b)를 포함한다. 홀더(271)의 바디(271a)에는 복수의 정렬부재(272)가 일정간격으로 배치되고, 이 정렬부재(272)에 피처리물(G)이 접촉하면서 그 일단부가 정렬된다. The holder 271 is raised and lowered so as not to interfere with the carrier 241 and is temporarily held while supporting the bottom surface of the object to be processed G and the holder 271 is lifted and lowered by the lifting unit 280. The holder 271 includes a body 271a disposed in the width direction of the chamber housing 210 and a plurality of supports 271b extended in the longitudinal direction of the chamber housing 210 on the body 271a side. A plurality of alignment members 272 are arranged at predetermined intervals in the body 271a of the holder 271 and one end of the alignment member 272 is aligned while the object G contacts the alignment member 272. [

도 6에 예시된 바와 같이, 홀더(271)의 바디(271a)는 캐리어(241)의 바디(241a)에 챔버 하우징(210)의 길이방향으로 이격되게 설치되고, 지지체(271b)는 캐리어(241)의 지지체(241b)와 간섭되지 않도록 일정간격 이격되어 배치될 수 있다. 즉, 캐리어(241)의 지지체(241b) 및 홀더(271)의 지지체(271b)는 그 각각의 승하강 작동시에 상호 간섭되지 않게 배치되는 것을 특징으로 한다. 6, the body 271a of the holder 271 is provided in the body 241a of the carrier 241 so as to be spaced apart in the longitudinal direction of the chamber housing 210, and the support body 271b is fixed to the carrier 241 The support body 241b may be spaced apart from the support body 241b. That is, the support 241b of the carrier 241 and the support 271b of the holder 271 are arranged so as not to interfere with each other during their lifting and lowering operations.

한편, 도 6 내지 도 10에서 캐리어(241)의 지지체(241b) 및 홀더(271)의 지지체(271b)는 그 교차각도가 0°인 것으로 예시되었지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고 캐리어(241) 및 홀더(271)가 상호 간섭되지 않으면서 개별적으로 승강가능한 구성을 충족시키기만 한다면 캐리어(241) 및 홀더(271)의 교차각도는 0°~ 360°범위 내에서 다양하게 변경가능할 것이다. 이러한 캐리어(241) 및 홀더(271)의 다양한 교차각도에 대응하여 반입/반출챔버(100), 이송챔버(200), 공정챔버(300)들은 다양한 교차각도로 연결가능할 것이다. 6 to 10 illustrate that the supporting body 241b of the carrier 241 and the supporting body 271b of the holder 271 have an intersecting angle of 0.degree .. However, the present invention is not limited to this, The angle of intersection of the carrier 241 and the holder 271 may be variously changed within the range of 0 to 360 degrees only if the holder 271 and the holder 271 are separately liftable without interfering with each other. The loading / unloading chamber 100, the transfer chamber 200, and the process chamber 300 may be connected at various crossing angles corresponding to various crossing angles of the carrier 241 and the holder 271.

승강부(280)는 챔버 하우징(210)의 하부측에 설치된 것으로 도시되었지만, 챔버 하우징(210)의 상부측에 설치되어도 무방할 것이다. Although the elevating portion 280 is shown as being installed on the lower side of the chamber housing 210, it may be installed on the upper side of the chamber housing 210.

승강부(280)는 하나 이상의 구동실린더(281), 구동실린더(281)에 의해 승하강하는 승강판(282), 승강판(282)과 바디(281a) 사이에 고정된 승강축(283)을 구비한다. The elevating portion 280 includes at least one driving cylinder 281, a lifting plate 282 lifted and lowered by the driving cylinder 281, an elevating shaft 283 fixed between the lifting plate 282 and the body 281a Respectively.

유압 또는 공압에 의해 구동되는 하나 이상의 구동실린더(281)는 챔버 하우징(210)의 하부에 지지포스터(281b)를 매개로 설치된 지지판(281c)에 고정적으로 설치된다. One or more drive cylinders 281 driven by hydraulic or pneumatic pressure are fixedly mounted on a support plate 281c provided under the chamber housing 210 via a support post 281b.

승강판(282)의 저면에는 구동실린더(281)의 로드(281a) 단부가 접촉되거나 고정적으로 설치될 수 있고, 이에 의해 구동실린더(281)의 구동에 의해 승강판(282)은 승강한다. The end of the rod 281a of the drive cylinder 281 may be contacted or fixedly installed on the bottom surface of the lift plate 282 so that the lift plate 282 is moved up and down by driving the drive cylinder 281. [

승강판(282)은 하나 이상의 가이드공을 가진 가이드부재(282a)를 가질 수 있고, 이 가이드부재(282a)의 가이드공에는 챔버 하우징(210)의 바닥면에 설치된 가이드봉(210f)이 안내될 수 있다. The lifting plate 282 may have a guide member 282a having at least one guide hole and a guide rod 210f provided on the bottom surface of the chamber housing 210 is guided in the guide hole of the guide member 282a .

승강축(283)은 그 상하 양단부가 승강판(282) 및 바디(271a)측에 개별적으로 고정되고, 승강축(283)은 챔버 하우징(210)의 관통공(210c)을 통해 안내되면서 이동하며, 이 관통공(210c) 하부에는 신축가능한 주름관 구조의 밀봉부재(283a)가 승강축(283)의 일부 외주면을 감싸도록 설치되고, 이 밀봉부재(283a)의 상하 양단부 각각은 챔버 하우징(210)의 저면 및 승강판(282)의 상면 측에 실링재 및 체결구 등에 의해 밀봉적으로 고정됨으로써 챔버 하우징(210) 내의 진공도를 유지할 수 있다. 그리고, 주름관 구조의 밀봉부재(283a)로는 용접형 금속 벨로우즈(Welded Metal Bellows)가 이용될 수 있다. The upper and lower ends of the lifting shaft 283 are individually fixed to the lifting plate 282 and the body 271a while the lifting shaft 283 is guided through the through hole 210c of the chamber housing 210 A sealing member 283a of a flexible tube structure having a flexible tube structure is installed under the through hole 210c so as to surround a part of the outer circumferential surface of the lifting shaft 283. The upper and lower ends of the sealing member 283a are connected to the chamber housing 210, And the upper surface of the rising steel plate 282 by a sealant and a fastener, thereby maintaining the degree of vacuum in the chamber housing 210. As the sealing member 283a of the corrugated pipe structure, a welded metal bellows may be used.

대안적으로, 승강축(283)의 외주면과 챔버 하우징(210)의 관통공(210c) 내주면에는 오링, 메커니컬 실 등과 같은 밀봉부재가 설치되어 챔버 하우징(210) 내의 진공도를 유지할 수도 있다. A sealing member such as an O-ring or a mechanical seal may be provided on the outer peripheral surface of the lifting shaft 283 and the inner peripheral surface of the through hole 210c of the chamber housing 210 to maintain the degree of vacuum in the chamber housing 210. [

이상과 같은 본 발명의 이송챔버(200)는 비교하여 그 내부에 보다 단순한 구조의 이송메커니즘을 구현함으로써 챔버 하우징(110, 210, 310)의 두께를 대폭 감소시킬 수 있는 장점이 있다. The transfer chamber 200 of the present invention as described above has an advantage in that the thickness of the chamber housings 110, 210, and 310 can be greatly reduced by implementing a simpler structure transfer mechanism therein.

도 12 및 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정챔버(300)를 도시한다. 12 and 13 illustrate a process chamber 300 in accordance with one embodiment of the present invention.

도시된 바와 같이, 본 발명의 공정챔버(300)는 내부에 적재대(320)를 가진 챔버 하우징(310) 및 적재대(320)의 상면으로 승하강가능하게 설치된 다수의 승강핀(330)을 포함한다. As shown, the process chamber 300 of the present invention includes a chamber housing 310 having a mounting table 320 therein, and a plurality of elevating pins 330 that are vertically movable up and down from the upper surface of the mounting table 320 .

챔버 하우징(310)은 그 전후좌우상하가 밀폐되어 그 내부의 진공상태를 유지할 수 있는 구조이고, 그 측벽 중에서 상술한 이송챔버(200)의 제2통로(212)와 소통하는 일면에는 피처리물(G)이 통과하는 통로(311)를 가질 수 있으며, 또한 도 15와 같이 공정챔버(300)의 타면에 이송챔버(200)가 연결될 경우 챔버 하우징(310)의 타면에 제2통로(312)를 가질 수도 있다. The chamber housing 310 has a structure in which the front, back, left and right and top and bottom of the chamber housing 310 are hermetically sealed to maintain a vacuum state therein. On one side of the side walls, which communicates with the second passage 212 of the transfer chamber 200, When the transfer chamber 200 is connected to the other surface of the process chamber 300 as shown in FIG. 15, the second passage 312 may be formed on the other surface of the chamber housing 310, .

복수의 승강핀(330)은 이송챔버(200)의 캐리어(421)와 간섭이 발생되지 않도록 캐리어(241)의 지지체(241b)와 일정간격으로 이격되어 균일 배치될 수 있다. The plurality of lift pins 330 may be uniformly spaced apart from the support 241b of the carrier 241 by a predetermined distance so as not to interfere with the carrier 421 of the transfer chamber 200. [

복수의 승강핀(330)은 적재대(320)로부터 피처리물(G)을 상승 또는 하강시키도록 유공압 또는 그외 다양한 구조의 승강기구(미도시)에 의해 그 승하강되도록 구성된다. The plurality of lift pins 330 are configured to be lifted or lowered by a lift mechanism (not shown) having various structures such as pneumatic or hydraulic pressure so as to raise or lower the article G from the stacking table 320.

그리고, 이 챔버 하우징(310)의 내부에는 피처리물(G)의 증착, 식각, 도금 등과 같은 다양한 공정을 수행하기 위한 공정기구(미도시)들이 설치된다. Process chambers (not shown) for performing various processes such as deposition, etching, plating, and the like of the object G are installed in the chamber housing 310.

도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공처리 시스템(500)을 도시한다. Figure 14 illustrates a vacuum processing system 500 in accordance with one embodiment of the present invention.

본 발명의 진공처리 시스템(500)은 반입/반출챔버(100), 하나 이상의 이송챔버(200), 및 하나 이상의 공정챔버(300)를 포함한다. The vacuum processing system 500 of the present invention includes a loading / unloading chamber 100, one or more transfer chambers 200, and one or more process chambers 300.

반입/반출챔버(100)의 챔버 하우징(110), 이송챔버(200)의 챔버 하우 징(210), 공정챔버(300)의 챔버 하우징(310)은 각 통로(111, 112, 211, 212, 311)를 통해 소통되게 연결되고, 각 통로(111, 112, 211, 212, 311)에는 제1 내지 제3 개폐밸브(510, 520, 530)가 개폐가능하게 설치된다. The chamber housing 110 of the loading / unloading chamber 100, the chamber housing 210 of the transfer chamber 200 and the chamber housing 310 of the process chamber 300 are connected to the respective passages 111, 112, 211, 212, The first to third open / close valves 510, 520, and 530 are openably and closably connected to the passages 111, 112, 211, 212, and 311, respectively.

제1개폐밸브(510)에 의해 제1통로(111)가 개폐되어 반입/반출챔버(100)의 챔버 하우징(110) 내외로 피처리물(G)이 반입 내지 반출될 수 있다. The first passage 111 is opened and closed by the first opening and closing valve 510 so that the object G can be carried in or out of the chamber housing 110 of the loading / unloading chamber 100.

제2개폐밸브(520)에 의해 반입/반출챔버(100)의 챔버 하우징(110)과 이송챔버(200)의 챔버 하우징(210)가 소통 내지 차단되고, 제3개폐밸브(530)에 의해 이송챔버(200)의 챔버 하우징(210)과 공정챔버(300)의 챔버 하우징(310)이 소통 내지 차단될 수 있다. The chamber housing 110 of the loading / unloading chamber 100 and the chamber housing 210 of the transfer chamber 200 are communicated or blocked by the second opening / closing valve 520, The chamber housing 210 of the chamber 200 and the chamber housing 310 of the process chamber 300 can be communicated or blocked.

반입/반출챔버(100)는 제1개폐밸브(510)에 의해 개폐됨에 따라 챔버 하우징(110) 내부가 대기상태 및 진공상태로 반복된다. As the loading / unloading chamber 100 is opened / closed by the first opening / closing valve 510, the inside of the chamber housing 110 is repeated in the standby state and the vacuum state.

제2개폐밸브(520)는 이송챔버(200)의 챔버 하우징(210)의 내부 진공도가 확보될 경우에만 개방되고, 제3개폐밸브(530)는 공정챔버(300) 내의 가스, 플라즈마 등과 같은 위험요소로부터 이송챔버(200)를 보호하기 위한 것으로 공정챔버(300) 내의 공정이 완료된 후에 개방된다. The second open / close valve 520 opens only when the degree of internal vacuum of the chamber housing 210 of the transfer chamber 200 is secured. The third open / close valve 530 opens and closes the process chamber 300, And is opened after the process in process chamber 300 is completed to protect transfer chamber 200 from the element.

도 14에서는 반입/반출챔버(100)의 제2통로(112)측에 하나의 이송챔버(200) 및 하나의 공정챔버(300)가 교대로 연결된 구성을 예시하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 도 15에 예시된 바와 같이 요구되는 진공처리 공정에 따라 2이상의 이송챔버(200) 및 2 이상의 공정챔버(300)들이 교대로 연결되어 설치될 수도 있을 것이다. 14, one transfer chamber 200 and one process chamber 300 are alternately connected to the second passage 112 side of the loading / unloading chamber 100, but the present invention is not limited thereto , Two or more transfer chambers 200 and two or more process chambers 300 may be alternately connected and installed according to a required vacuum processing process as illustrated in FIG.

그리고, 본 발명의 반입/반출챔버(100), 이송챔버(200), 공정챔버(300)들은 도 14에서 일렬로 연결된 것으로 예시되었지만, 이송챔버(200)의 캐리어(241)과 홀더(271)가 직교하는 방향으로 교차할 경우에는 각 챔버(100, 200, 300)들이 직교하는 방향으로 연결될 수도 있다. 즉, 본 발명은 이송챔버(200)의 캐리어(241) 및 홀더(271)의 배치관계에 의해 반입/반출챔버(100), 이송챔버(200), 공정챔버(300)들의 연결관계가 다양한 각도로 연결될 수 있다. 14, the carrier 241 and the holder 271 of the transfer chamber 200 are connected to the transfer chamber 200, the transfer chamber 200, and the process chamber 300, The chambers 100, 200 and 300 may be connected in a direction orthogonal to each other. That is, according to the present invention, the connection relationship of the carry-in / carry-out chamber 100, the transfer chamber 200, and the process chambers 300 can be varied in various angles depending on the arrangement relationship of the carrier 241 and the holder 271 of the transfer chamber 200. [ Lt; / RTI >

도 16 내지 도 27은 본 발명의 진공처리 시스템의 시계열적인 이송공정을 도시한다. Figs. 16 to 27 illustrate a time-series transfer process of the vacuum processing system of the present invention.

이하에서 피처리물(G)은 공정챔버(300)에 의해 아직 처리가 되지 않은 피처리물(G1, 이하 '미처리물'이라 함)과 공정챔버(300)에 의해 각종 진공처리가 완료된 피처리물(G2, 이하 '처리완료물'이라 함)을 구분하여 설명한다. Hereinafter, the object to be processed G will be referred to as a " untreated material ") which has not yet been treated by the process chamber 300 and a to-be- Water (G2, hereinafter referred to as " treated water ").

도 16에 도시된 바와 같이, 제1개폐밸브(510)의 개방에 의해 외부로부터 반입/반출챔버(100)의 챔버 하우징(110) 내로 반입된 미처리물(G1)이 위치되고, 공정챔버(300)의 챔버하우징(310) 내에는 처리완료물(G2)이 위치된다. 이 때, 제1 내지 제3 개폐밸브(510, 520, 530)는 모두 폐쇄된 상태이다. 16, untreated water G1 transferred from the outside into the chamber housing 110 of the loading / unloading chamber 100 is positioned by the opening of the first opening / closing valve 510, and the process chamber 300 (G2) is placed in the chamber housing (310). At this time, the first to third open / close valves 510, 520, and 530 are all closed.

도 17에 도시된 바와 같이 제2개폐밸브(520)가 개방되면, 미처리물(G1)은 도 18에 도시된 바와 같이 이송기구(120)에 의해 이송챔버(200) 내로 이송되고, 미처리물(G1)은 이송챔버(200)의 홀더(271)에 의해 지지되며, 제2개폐밸브(520)는 폐쇄된다. 17, when the second open / close valve 520 is opened, the untreated water G1 is transferred into the transfer chamber 200 by the transfer mechanism 120 as shown in FIG. 18, and the untreated water G1 G1 is supported by the holder 271 of the transfer chamber 200, and the second on-off valve 520 is closed.

그런 다음, 홀더(271)은 도 19에 도시된 바와 같이 미처리물(G1)을 지지한 상태로 상승하고, 캐리어(241)은 도 20에 도시된 바와 같이 처리물의 이송라인(L)으로 상승하고, 그와 동시에 또는 그 전후의 일정 시간간격으로 제3개폐밸브(530)가 개방되며 공정챔버(300)의 승강핀(330)들이 상승하여 처리완료물(G2)을 적재대(320)로부터 일정높이로 상승시킨다. 19, the holder 271 is lifted up while holding the untreated product G1, and the carrier 241 is lifted up to the transfer line L of the treated product as shown in Fig. 20 , The third open / close valve 530 is opened at a predetermined time interval therebetween at the same time or at a predetermined time interval therebetween and the lift pins 330 of the process chamber 300 are lifted to move the processed object G2 from the stage 320 .

그리고, 캐리어(241)은 도 21에 도시된 바와 같이 개방된 제3개폐밸브(530)를 통해 공정챔버(300) 내로 직선이동하여, 캐리어(241)의 캐리어(241)는 처리완료물(G2)의 저면을 지지한다. The carrier 241 is linearly moved into the process chamber 300 through the opened third opening / closing valve 530 as shown in Fig. 21, and the carrier 241 of the carrier 241 is moved to the position As shown in Fig.

그런 다음, 캐리어(241)은 도 22에 도시된 바와 같이 이송챔버(200) 내로 복귀하고, 제3개방밸브(530)는 폐쇄된다. Then, the carrier 241 returns to the transfer chamber 200 as shown in FIG. 22, and the third open valve 530 is closed.

그리고, 도 23에 도시된 바와 같이 캐리어(241)는 피처리물의 이송라인(L) 하부로 하강하고, 처리완료물(G2)은 이송기구(220)측에 지지된다. 그와 동시에 또는 그 전후의 일정 시간간격으로 제2개폐밸브(520)가 개방된다. 23, the carrier 241 descends to the lower portion of the transfer line L of the object to be processed, and the processed object G2 is supported on the transfer mechanism 220 side. The second on-off valve 520 is opened at the same time or at a predetermined time interval therebetween.

그런 다음, 도 24에 도시된 바와 같이 이송챔버(200)의 이송기구(220) 및 반입/반출챔버(100)의 이송기구(120)들에 의해 처리완료물(G2)은 반입/반출챔버(200) 내로 이송되고, 그런 후에 제2개폐밸브(520)는 폐쇄되며, 홀더(271)은 피처리물의 이송라인(L)으로 하강한다. 이때 처리완료물(G2)을 외부로 반출시키기 위해 반입/반출챔버(100) 내부를 진공상태에서 대기상태로 변환하는 벤트(Vent)공정이 진행된다. 24, the processed material G2 is transferred by the transfer mechanism 220 of the transfer chamber 200 and the transfer mechanisms 120 of the carry-in / out chamber 100 to the transfer / 200, and then the second opening / closing valve 520 is closed, and the holder 271 descends to the transfer line L of the object to be processed. At this time, a vent process is performed to convert the inside of the loading / unloading chamber 100 from the vacuum state to the standby state to carry out the processed material G2 to the outside.

그리고, 반입/반출챔버(100) 내의 벤트공정이 완료된 후에 제1개폐밸브(510)는 도 25에 도시된 바와 같이 개방되어 처리완료물(G2)을 외부로 반출함과 더불어 새로운 미처리물이 반입가능한 상태가 되고, 캐리어(241)은 이송라인(L)으로 상승하여 미처리물(G1)을 지지하고, 그와 동시에 또는 그 전후의 일정시간 간격으로 제3개폐밸브(530)가 개방된다. After completion of the venting process in the loading / unloading chamber 100, the first opening / closing valve 510 is opened as shown in FIG. 25 to take out the processed material G2 to the outside, The carrier 241 ascends to the transfer line L to support the untreated product G1 and the third open / close valve 530 is opened at the same time or at a predetermined time interval therebetween.

그런 다음, 도 26에 도시된 바와 같이 처리완료물(G2)이 반출된 반입/반출챔버(100) 내에는 새로운 미처리물(G1')이 반입되고, 공정챔버(300)의 승강핀(330)이 적재대(320)로부터 상승하며, 캐리어(241)은 미처리물(G1)을 지지한 상태로 공정챔버(300) 내로 직선이동하여 미처리물(G1)을 승강핀(330) 위로 올려놓은 후에 이송챔버(200) 내로 복귀한다. 26, new untreated material G1 'is carried into the loading / unloading chamber 100 in which the processed material G2 is taken out, and the lifting pin 330 of the processing chamber 300 is moved in the loading / The carrier 241 is linearly moved into the process chamber 300 while supporting the untreated product G1 and places the untreated product G1 on the lift pins 330 and then transported And returns to the chamber 200.

그리고, 도 27에 도시된 바와 같이 제3개폐밸브(530)가 폐쇄되고, 공정챔버(300)는 승강핀(300)이 적재대(320) 내로 하강하여 미처리물(G1)을 적재대(320)의 상면에 안정적으로 적재하며, 캐리어(241)은 다시 이송라인(L)의 하부로 하강한다. 이때, 반입/반출챔버(100)는 그 내부의 새로운 미처리물(G1')을 이송챔버(200) 내로 이송시키기 위해 챔버 하우징(110) 내를 진공상태로 변환시킨다. 27, the third open / close valve 530 is closed and the process chamber 300 moves down the lift pin 300 to the stacking stage 320 to move the untreated product G1 to the stage 320 , And the carrier 241 descends again to the lower side of the transfer line L. In this case, At this time, the loading / unloading chamber 100 converts the inside of the chamber housing 110 into a vacuum state so as to transfer the new untreated object G1 'therein into the transfer chamber 200.

이상과 같은 본 발명은 이송챔버(200)에 의해 반입/반출챔버(100)와 공정챔버(300) 사이에서 미처리물(G1)과 처리완료물(G2)을 상호 간섭되지 않게 상하이동시킨 후에 이송함으로써 안정적이고 정확한 이송뿐만 아니라 그 이송속도를 대폭 증대시킬 수 있는 장점이 있다. In the present invention as described above, the untreated product G1 and the processed product G2 are moved up and down between the loading / unloading chamber 100 and the process chamber 300 by the transfer chamber 200 without interfering with each other, Thereby achieving not only reliable and accurate feeding but also a great increase in the feeding speed.

또한, 본 발명은 반입/반출챔버(100), 이송챔버(200) 및 공정챔버(300)의 연결관계를 보다 다양하게 설정함으로써 그 전체 진공처리시스템의 레이아웃을 최적화시킴으로써 제조설비 내에서 공간활용도 등을 대폭 향상시킬 수 있는 장점이 있 다. In addition, the present invention optimizes the layout of the entire vacuum processing system by setting the connection relation of the loading / unloading chamber 100, the transfer chamber 200 and the process chamber 300 in various ways, Can be greatly improved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반입/반출챔버를 도시한 평단면도, 1 is a plan view showing a loading / unloading chamber according to an embodiment of the present invention,

도 2는 도 1의 B-B선을 따라 도시한 단면도,Fig. 2 is a cross-sectional view taken along the line B-B in Fig. 1,

도 3은 도 1의 A-A선을 따라 도시한 단면도,3 is a cross-sectional view taken along the line A-A in Fig. 1,

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반입/반출챔버를 도시한 평단면도,4 is a plan view showing a loading / unloading chamber according to another embodiment of the present invention,

도 5는 도 4의 H-H선을 따라 도시한 단면도,5 is a sectional view taken along the line H-H in Fig. 4,

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송챔버를 도시한 평단면도,FIG. 6 is a plan sectional view showing a transfer chamber according to an embodiment of the present invention, FIG.

도 7은 도 6의 C-C선을 따라 도시한 단면도,7 is a cross-sectional view taken along the line C-C in Fig. 6,

도 8은 도 7의 화살표 G를 확대하여 도시한 상세도, 8 is an enlarged view of an arrow G in Fig. 7,

도 9는 도 7의 E-E선을 따라 도시한 단면도, 9 is a sectional view taken along the line E-E in Fig. 7,

도 10은 도 7의 F-F선을 따라 도시한 단면도,10 is a sectional view taken along line F-F of Fig. 7,

도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송챔버를 도시한 평단면도,11 is a plan sectional view showing a transfer chamber according to another embodiment of the present invention,

도 12은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정챔버를 도시한 평단면도, 12 is a plan sectional view showing a process chamber according to an embodiment of the present invention,

도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정챔버를 도시한 측단면도, Figure 13 is a side cross-sectional view of a process chamber in accordance with one embodiment of the present invention,

도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공처리시스템을 개략적으로 도시한 구성도, FIG. 14 is a schematic view illustrating a vacuum processing system according to an embodiment of the present invention. FIG.

도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공처리시스템을 개략적으로 도시한 구성도, 15 is a schematic view showing a vacuum processing system according to another embodiment of the present invention,

도 16 내지 도 27은 본 발명의 진공처리시스템에 의해 피처리물의 이송공정을 단계적으로 도시한 도면이다. Figs. 16 to 27 are diagrams showing a step of transferring an object to be processed by the vacuum processing system of the present invention in stages. Fig.

* 도면의 주요 부분에 대한 자세한 설명 ** Detailed description of main parts of drawing *

100 : 반입/반출챔버 200 : 이송챔버100: carry-in / carry-out chamber 200: transfer chamber

300 : 공정챔버 500 : 진공처리 시스템 300: process chamber 500: vacuum processing system

Claims (59)

제1 및 제2 통로를 가진 챔버 하우징; 및A chamber housing having first and second passages; And 상기 챔버 하우징 내에 설치되어 피처리물을 상기 제1 및 제2 통로를 향해 선택적으로 이송시키는 이송기구를 포함하되,And a transfer mechanism installed in the chamber housing for selectively transferring the object to be processed toward the first and second passages, 상기 챔버 하우징의 제1 및 제2 통로 중에서 어느 한 통로와 근접한 위치에는 상기 피처리물의 길이방향 단부와 접촉가능한 복수의 정렬부재가 배치되고, 상기 정렬부재에 근접하여 복수의 감지센서가 배치된 것을 특징으로 하는 반입/반출챔버.A plurality of alignment members capable of being in contact with a longitudinal end portion of the object to be processed are disposed at a position close to any one of the first and second passages of the chamber housing and a plurality of detection sensors are disposed in proximity to the alignment member Features a carry-in / take-out chamber. 제1항에 있어서, The method according to claim 1, 상기 이송기구는 상기 챔버 하우징 내에 회전가능하게 설치된 복수의 이송롤러를 포함하고, 상기 이송롤러는 그 외주면에 미끄럼방지수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 반입/반출챔버. Wherein the conveying mechanism includes a plurality of conveying rollers rotatably installed in the chamber housing, and the conveying roller is provided with non-slip means on the outer peripheral surface thereof. 제1항에 있어서, The method according to claim 1, 상기 이송기구는 상기 챔버 하우징 내에 회전가능하게 설치된 2이상의 풀리 및 이 풀리들에 감겨진 이송벨트를 포함하고, 상기 이송벨트는 그 외주면에 미끄럼방지수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 반입/반출챔버.Wherein the conveying mechanism includes at least two pulleys rotatably installed in the chamber housing and a conveying belt wound around the pulleys, wherein the conveying belt is provided with a slip preventing means on an outer peripheral surface thereof. 제1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 챔버 하우징의 내부 바닥면에서 이격된 복수의 지지롤러가 설치되는 것을 특징으로 하는 반입/반출챔버. Wherein a plurality of support rollers spaced from an inner bottom surface of the chamber housing are provided. 제1항에 있어서, The method according to claim 1, 상기 챔버 하우징의 제1 및 제2 통로 중에서 어느 한 통로에는 피처리물의 처짐을 방지하는 처짐방지용 회전체가 설치된 것을 특징으로 하는 반입/반출챔버. Wherein a sag preventing rotation body is provided in any one of the first and second passages of the chamber housing to prevent deflection of the object to be processed. 삭제delete 제1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 챔버 하우징의 내부 좌우 양측에는 한 쌍의 측면가압부재가 이동가능하게 설치되고, 상기 측면가압부재는 피처리물의 측면을 가압하는 것을 특징으로 하는 반입/반출챔버.Wherein a pair of side pressing members are movably provided on both left and right sides of the chamber housing, and the side pressing members press the sides of the object to be processed. 제1 및 제2 통로를 가진 챔버 하우징;A chamber housing having first and second passages; 상기 챔버 하우징 내에 설치되어 피처리물을 상기 제1 및 제2 통로를 향해 선택적으로 이송시키는 이송기구; A transfer mechanism installed in the chamber housing for selectively transferring the object to be processed toward the first and second passages; 상기 피처리물의 저면을 지지하고, 상기 제1 및 제2 통로를 향해 이동가능하며, 상하방향으로 승강가능한 캐리어; 및A carrier which supports the bottom surface of the object to be processed and is movable toward the first and second passages and is vertically movable up and down; And 상기 피처리물의 저면을 지지하고, 상기 캐리어와 간섭하지 않으면서 승강가능한 홀더를 포함하되,And a holder which supports the bottom surface of the object to be processed and which can be elevated without interfering with the carrier, 상기 캐리어는 상기 챔버 하우징 내에 배치된 바디 및 상기 바디에서 길이방향으로 연장된 다수의 지지체를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송챔버. Wherein the carrier comprises a body disposed within the chamber housing and a plurality of longitudinally extending supports in the body. 제8항에 있어서, 9. The method of claim 8, 상기 이송기구는 상기 챔버 하우징 내에 회전가능하게 설치된 복수의 이송롤러를 포함하고, 상기 이송롤러는 그 외주면에 미끄럼방지수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 이송챔버. Wherein the conveying mechanism includes a plurality of conveying rollers rotatably installed in the chamber housing, and the conveying rollers are provided with non-slip means on the outer peripheral surface thereof. 제8항에 있어서, 9. The method of claim 8, 상기 이송기구는 상기 챔버 하우징 내에 회전가능하게 설치된 2 이상의 풀리 및 이 풀리들에 감겨진 이송벨트를 포함하고, 상기 이송벨트는 그 외주면에 미끄럼방지수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 이송챔버.Wherein the conveying mechanism includes at least two pulleys rotatably installed in the chamber housing and a conveyance belt wound around the pulleys, wherein the conveyance belt is provided with non-slip means on the outer peripheral surface thereof. 제8항에 있어서,9. The method of claim 8, 상기 챔버 하우징의 내부 바닥면에서 이격된 복수의 지지롤러가 설치되는 것을 특징으로 하는 이송챔버. Wherein a plurality of support rollers spaced from an inner bottom surface of the chamber housing are provided. 제8항에 있어서, 9. The method of claim 8, 상기 챔버 하우징의 제1 및 제2 통로 중에서 어느 한 통로에는 피처리물의 처짐을 방지하는 처짐방지용 회전체가 설치된 것을 특징으로 하는 이송챔버. Wherein a sag preventing rotation body is provided in any one of the first and second passages of the chamber housing to prevent deflection of the object to be processed. 삭제delete 제8항에 있어서, 9. The method of claim 8, 상기 캐리어를 직선방향으로 이송시키는 직선이동부는,A straight moving portion for linearly moving the carrier, 상기 챔버 하우징 내에 승강가능하게 설치된 베이스판;A base plate vertically installed in the chamber housing; 상기 베이스판에 설치된 구동모터; A driving motor provided on the base plate; 상기 챔버 하우징 내에 길이방향으로 설치되고, 상기 구동모터에 의해 회전가능하게 설치된 나선축; 및 A spiral shaft installed longitudinally in the chamber housing and rotatably installed by the drive motor; And 상기 캐리어의 하면에 고정되고, 상기 나선축과 치합하며 나사운동하는 너트를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송챔버. And a nut fixed to a lower surface of the carrier and screwed with the screw shaft to move the screw. 제14항에 있어서, 15. The method of claim 14, 상기 구동모터는 밀봉커버에 의해 상기 챔버 하우징 내에 밀봉적으로 구획되고, 상기 밀봉커버가 설치된 베이스판의 일부분에는 개구가 형성되며, 이 개구에 대응하는 상기 챔버 하우징의 바닥면 일부에는 관통공이 형성되고, 상기 챔버 하우징의 관통공에는 상기 챔버 하우징의 내부를 밀봉하는 밀봉부재가 설치된 것을 특징으로 하는 이송챔버. The driving motor is sealingly partitioned in the chamber housing by a sealing cover, an opening is formed in a part of the base plate provided with the sealing cover, a through hole is formed in a part of the bottom surface of the chamber housing corresponding to the opening, And a sealing member is provided in the through-hole of the chamber housing to seal the inside of the chamber housing. 제15항에 있어서, 16. The method of claim 15, 상기 밀봉부재는 신축가능한 주름관 구조이고, 그 상단은 베이스판의 개구 가장자리에 밀봉적으로 고정되며, 그 하단은 상기 챔버 하우징의 관통공 하부 가장자리에 밀봉적으로 고정된 것을 특징으로 하는 이송챔버. Wherein the sealing member is a stretchable corrugated tube structure and the upper end thereof is sealingly fixed to the opening edge of the base plate and the lower end thereof is sealingly fixed to the lower edge of the through hole of the chamber housing. 제14항에 있어서, 15. The method of claim 14, 상기 베이스판의 상부에는 하나 이상의 가이드레일이 길이방향으로 설치되고, 상기 캐리어의 하면에는 하나 이상의 가이드블럭이 설치되며, 상기 가이드블럭은 상기 가이드레일을 따라 안내되는 것을 특징으로 하는 이송챔버. Wherein one or more guide rails are provided in the upper portion of the base plate in the longitudinal direction, and at least one guide block is provided on the lower surface of the carrier, and the guide blocks are guided along the guide rails. 제14항에 있어서, 15. The method of claim 14, 상기 캐리어를 승하강시키는 승강부는,Wherein the lifting and lowering portion for lifting and lowering the carrier comprises: 하나 이상의 구동모터;At least one drive motor; 상기 구동모터에 의해 승하강하는 승강판; 및 A lifting plate lifted and lowered by the driving motor; And 양단부가 상기 승강판과 상기 베이스판 각각에 개별적으로 고정되고, 상기 챔버 하우징의 관통공을 통해 안내되는 하나 이상의 승강축을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송챔버. And one or more lifting shafts whose both ends are individually fixed to the lifting plate and the base plate respectively and guided through the through holes of the chamber housing. 제18항에 있어서, 19. The method of claim 18, 상기 구동모터의 구동력은 나선축 및 너트의 상대 나사운동을 통해 상기 승강판으로 전달되는 것을 특징으로 하는 이송챔버. Wherein the driving force of the driving motor is transmitted to the lifting plate through a relative screw movement of the spiral shaft and the nut. 제18항에 있어서, 19. The method of claim 18, 상기 챔버 하우징의 관통공 및 승강판 사이에는 밀봉부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 이송챔버. And a sealing member is provided between the through-hole and the lifting plate of the chamber housing. 제20항에 있어서, 21. The method of claim 20, 상기 밀봉부재는 신축가능한 주름관 구조이고, 상기 밀봉부재는 그 상하 양단부 각각이 관통공의 하부 가장자리 및 승강판의 상면에 밀봉적으로 고정되는 것을 특징으로 하는 이송챔버. Wherein the sealing member is a stretchable corrugated pipe structure, and each of the upper and lower ends of the sealing member is sealingly fixed to the lower edge of the through hole and the upper surface of the steel sheet. 제20항에 있어서, 21. The method of claim 20, 상기 밀봉부재는 환형의 밀봉부재이고, 상기 밀봉부재는 상기 챔버 하우징의 관통공의 내주면 및 승강축의 외주면 사이에 개재되는 것을 특징으로 하는 이송챔버. Wherein the sealing member is an annular sealing member and the sealing member is interposed between an inner circumferential surface of the through hole of the chamber housing and an outer circumferential surface of the elevating shaft. 제8항에 있어서, 9. The method of claim 8, 상기 홀더는 챔버 하우징 내에 배치된 바디 및 상기 바디에서 길이방향으로 연장된 다수의 지지체를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송챔버. Wherein the holder comprises a body disposed within the chamber housing and a plurality of longitudinally extending supports in the body. 제23항에 있어서, 24. The method of claim 23, 상기 홀더는 그 일측에 상기 피처리물의 길이방향 단부를 정렬하는 복수의 정렬부재를 가지는 것을 특징으로 하는 이송챔버. Wherein the holder has a plurality of alignment members on one side thereof for aligning the longitudinal ends of the object to be processed. 제23항에 있어서,24. The method of claim 23, 상기 홀더를 승하강시키는 승강부는,Wherein the lifting / 하나 이상의 구동실린더;At least one drive cylinder; 상기 구동실린더에 의해 승하강하는 승강판; 및 A lifting plate lifted and lowered by the driving cylinder; And 양단부가 상기 승강판과 상기 홀더의 바디 각각에 개별적으로 고정되고, 상기 챔버 하우징의 관통공을 통해 안내되는 하나 이상의 승강축을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송챔버. And one or more lifting shafts whose both ends are individually fixed to each of the lift plate and the body of the holder and guided through the through holes of the chamber housing. 제25항에 있어서, 26. The method of claim 25, 상기 챔버 하우징의 관통공 및 승강판 사이에는 밀봉부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 이송챔버. And a sealing member is provided between the through-hole and the lifting plate of the chamber housing. 제26항에 있어서, 27. The method of claim 26, 상기 밀봉부재는 신축가능한 주름관 구조이고, 상기 밀봉부재는 그 상하 양단부 각각이 관통공의 하부 가장자리 및 승강판의 상면에 밀봉적으로 고정되는 것 을 특징으로 하는 이송챔버. Wherein the sealing member is a stretchable corrugated pipe structure and the upper and lower ends of the sealing member are each sealingly fixed to the lower edge of the through hole and the upper surface of the steel sheet. 제26항에 있어서, 27. The method of claim 26, 상기 밀봉부재는 환형의 밀봉부재이고, 상기 밀봉부재는 상기 챔버 하우징의 관통공의 내주면 및 승강축의 외주면 사이에 개재되는 것을 특징으로 하는 이송챔버. Wherein the sealing member is an annular sealing member and the sealing member is interposed between an inner circumferential surface of the through hole of the chamber housing and an outer circumferential surface of the elevating shaft. 피처리물을 반입 내지 반출하는 반입/반출챔버;A loading / unloading chamber for loading / unloading the object to be processed; 진공상태에서 상기 피처리물을 처리하는 공정챔버; A processing chamber for processing the object to be processed in a vacuum state; 상기 반입/반출챔버 및 상기 공정챔버 사이에 소통가능하게 연결되고, 상기 반입/반출챔버 및 상기 공정챔버로 피처리물을 선택적으로 이송하는 이송챔버; 및 A transfer chamber communicatively coupled between the loading / unloading chamber and the process chamber, the transfer chamber selectively transferring the material to and from the loading / unloading chamber and the process chamber; And 상기 반입/반출챔버의 외부와 소통가능한 통로, 상기 반입/반출챔버와 상기 이송챔버 사이의 통로, 상기 이송챔버 및 상기 공정챔버 사이의 통로 각각에 설치되어 각 통로를 개별적으로 개폐하는 복수의 개폐밸브를 포함하고,A plurality of open / close valves installed in respective passages between the carry-in / out chamber and the transfer chamber, between the transfer chamber and the process chamber, for opening / closing the passages individually, Lt; / RTI > 상기 반입/반출챔버는, The loading / unloading chamber includes: 외부와 소통가능한 제1통로 및 상기 이송챔버와 소통가능한 제2통로를 가진 챔버 하우징; 및 상기 챔버 하우징 내에 설치되어 피처리물을 이송시키는 이송기구를 포함하되,A chamber housing having a first passage communicable with the outside and a second passage communicable with the transfer chamber; And a transfer mechanism installed in the chamber housing for transferring the object to be processed, 상기 챔버 하우징의 제1통로와 근접한 위치에는 상기 피처리물의 길이방향 단부와 접촉가능한 복수의 정렬부재가 배치되고, 상기 정렬부재에 근접하여 복수의 감지센서가 배치된 것을 특징으로 하는 진공처리시스템.Wherein a plurality of alignment members capable of coming into contact with the longitudinal ends of the object to be processed are disposed at a position close to the first passage of the chamber housing and a plurality of detection sensors are disposed in proximity to the alignment member. 제29항에 있어서, 30. The method of claim 29, 상기 반입/반출챔버 측에 하나 이상의 이송챔버와 하나 이상의 공정챔버가 교대로 소통가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템.Wherein one or more transfer chambers and one or more process chambers are alternately and communicatively connected to the loading / unloading chamber side. 삭제delete 제29항에 있어서, 30. The method of claim 29, 상기 이송기구는 상기 챔버 하우징 내에 회전가능하게 설치된 복수의 이송롤러를 포함하고, 상기 이송롤러는 그 외주면에 미끄럼방지수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템.Wherein the conveying mechanism includes a plurality of conveying rollers rotatably installed in the chamber housing, and the conveying roller is provided with non-slip means on the outer peripheral surface thereof. 제29항에 있어서, 30. The method of claim 29, 상기 이송기구는 상기 챔버 하우징 내에 회전가능하게 설치된 2 이상의 풀리 및 이 풀리에 감겨진 이송벨트를 포함하고, 상기 이송벨트는 그 외주면에 미끄럼방지수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템.Wherein the conveying mechanism includes at least two pulleys rotatably installed in the chamber housing and a conveyance belt wound around the pulley, wherein the conveyance belt is provided with non-slip means on the outer peripheral surface thereof. 제29항에 있어서,30. The method of claim 29, 상기 챔버 하우징의 내부 바닥면에서 이격된 복수의 지지롤러가 설치되는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템. And a plurality of support rollers spaced from an inner bottom surface of the chamber housing are provided. 제29항에 있어서, 30. The method of claim 29, 상기 챔버 하우징의 제2통로에는 상기 피처리물의 처짐을 방지하는 처짐방지용 회전체가 설치된 것을 특징으로 하는 진공처리시스템. And a second path of the chamber housing is provided with a sag preventing rotation body for preventing sagging of the object to be processed. 삭제delete 제29항에 있어서,30. The method of claim 29, 상기 챔버 하우징의 내부 좌우 양측에는 한 쌍의 측면가압부재가 이동가능하게 설치되고, 상기 측면가압부재는 피처리물의 측면을 가압하는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템.Wherein a pair of side pressing members are movably provided on both left and right sides of the inside of the chamber housing, and the side pressing members press the side surface of the object to be processed. 제29항에 있어서, 30. The method of claim 29, 상기 이송챔버는, The transfer chamber 상기 반입/반출챔버와 소통가능하게 연결된 제1통로 및 상기 공정챔버와 소통가능하게 연결된 제2통로를 가진 챔버 하우징;A chamber having a first passageway communicably connected to the loading / unloading chamber and a second passageway communicably connected to the process chamber; 상기 챔버 하우징 내에 설치되어 상기 제1 및 제2 통로를 향해 상기 피처리 물을 이송시키는 이송기구; A transfer mechanism installed in the chamber housing for transferring the object to be processed toward the first and second passages; 상기 피처리물의 저면을 지지하고, 상기 제1 및 제2 통로를 향해 이동가능하며, 승강가능한 캐리어; 및A carrier which supports the bottom surface of the object to be processed and is movable toward the first and second passages, the carrier being able to be elevated; And 상기 피처리물의 저면을 지지하고, 상기 캐리어와 간섭하지 않으면서 승강가능한 홀더를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템.And a holder capable of supporting the bottom surface of the object to be processed and capable of ascending and descending without interfering with the carrier. 제38항에 있어서, 39. The method of claim 38, 상기 이송기구는 상기 챔버 하우징 내에 회전가능하게 설치된 복수의 이송롤러를 포함하고, 상기 이송롤러는 그 외주면에 미끄럼방지수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템.Wherein the conveying mechanism includes a plurality of conveying rollers rotatably installed in the chamber housing, and the conveying roller is provided with non-slip means on the outer peripheral surface thereof. 제38항에 있어서, 39. The method of claim 38, 상기 이송기구는 상기 챔버 하우징 내에 회전가능하게 설치된 2 이상의 풀리 및 상기 풀리들에 감겨진 이송벨트를 포함하고, 상기 이송벨트는 그 외주면에 미끄럼방지수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템.Wherein the conveying mechanism includes at least two pulleys rotatably installed in the chamber housing and a conveying belt wound around the pulleys, wherein the conveying belt is provided with a non-slip means on the outer circumferential surface thereof. 제38항에 있어서,39. The method of claim 38, 상기 챔버 하우징의 내부 바닥면에서 이격된 복수의 지지롤러가 설치되는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템. And a plurality of support rollers spaced from an inner bottom surface of the chamber housing are provided. 제38항에 있어서, 39. The method of claim 38, 상기 챔버 하우징의 제1통로에는 피처리물의 처짐을 방지하는 처짐방지용 회전체가 설치된 것을 특징으로 하는 진공처리시스템. Wherein the first passage of the chamber housing is provided with an anti-sagging rotating body for preventing sagging of the object to be processed. 제38항에 있어서, 39. The method of claim 38, 상기 캐리어는 상기 챔버 하우징 내에 배치된 바디 및 상기 바디에서 길이방향으로 연장된 다수의 지지체를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템. Wherein the carrier comprises a body disposed within the chamber housing and a plurality of longitudinally extending supports in the body. 제43항에 있어서, 44. The method of claim 43, 상기 캐리어를 직선방향으로 이송시키는 직선이동부는,A straight moving portion for linearly moving the carrier, 상기 챔버 하우징 내에 승강가능하게 설치된 베이스판;A base plate vertically installed in the chamber housing; 상기 베이스판에 설치된 구동모터; A driving motor provided on the base plate; 상기 챔버 하우징 내에 길이방향으로 설치되고, 상기 구동모터에 의해 회전가능하게 설치된 나선축; 및 A spiral shaft installed longitudinally in the chamber housing and rotatably installed by the drive motor; And 상기 캐리어의 하면에 고정되고, 상기 나선축과 치합하며 나사운동하는 너트를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템. And a nut secured to a lower surface of the carrier and engaged with the screw shaft to move in a screwed manner. 제44항에 있어서, 45. The method of claim 44, 상기 구동모터는 밀봉커버에 의해 상기 챔버 하우징 내에 밀봉적으로 구획되고, 상기 밀봉커버가 설치된 베이스판의 일부분에는 개구가 형성되며, 이 개구에 대응하는 상기 챔버 하우징의 바닥면 일부에는 관통공이 형성되고, 상기 챔버 하우징의 관통공에는 상기 챔버 하우징 내부를 밀봉하는 밀봉부재가 설치된 것을 특징으로 하는 진공처리시스템. The driving motor is sealingly partitioned in the chamber housing by a sealing cover, an opening is formed in a part of the base plate provided with the sealing cover, a through hole is formed in a part of the bottom surface of the chamber housing corresponding to the opening, And a sealing member for sealing the inside of the chamber housing is installed in the through hole of the chamber housing. 제45항에 있어서, 46. The method of claim 45, 상기 밀봉부재는 신축가능한 주름관 구조이고, 그 상단은 베이스판의 개구 가장자리에 밀봉적으로 고정되며, 그 하단은 상기 챔버 하우징의 관통공 하부 가장자리에 밀봉적으로 고정된 것을 특징으로 하는 진공처리시스템. Wherein the sealing member is a stretchable bellows pipe structure and the upper end thereof is sealingly fixed to the opening edge of the base plate and the lower end thereof is sealingly fixed to the lower edge of the through hole of the chamber housing. 제44항에 있어서, 45. The method of claim 44, 상기 베이스판의 상부에는 하나 이상의 가이드레일이 길이방향으로 설치되고, 상기 캐리어의 하면에는 하나 이상의 가이드블럭이 설치되며, 상기 가이드블럭은 상기 가이드레일을 따라 안내되는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템. Wherein at least one guide rail is installed in the longitudinal direction of the base plate, and at least one guide block is installed on the lower surface of the carrier, and the guide block is guided along the guide rail. 제44항에 있어서, 45. The method of claim 44, 상기 캐리어를 승하강시키는 승강부는,Wherein the lifting and lowering portion for lifting and lowering the carrier comprises: 하나 이상의 구동모터;At least one drive motor; 상기 구동모터에 의해 승하강하는 승강판; 및 A lifting plate lifted and lowered by the driving motor; And 양단부가 상기 승강판과 상기 베이스판 각각에 개별적으로 고정되고, 상기 챔버 하우징의 관통공을 통해 안내되는 하나 이상의 승강축을 포함하는 것을 특징 으로 하는 진공처리시스템. And one or more lifting shafts fixed to the lift plate and the base plate, respectively, and guided through the through holes of the chamber housing. 제48항에 있어서, 49. The method of claim 48, 상기 구동모터의 구동력은 나선축 및 너트의 상대 나사운동을 통해 상기 승강판으로 전달되는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템. Wherein the driving force of the driving motor is transmitted to the steel plate through a relative screw movement of the spiral shaft and the nut. 제48항에 있어서, 49. The method of claim 48, 상기 챔버 하우징의 관통공 및 승강판 사이에는 밀봉부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템. And a sealing member is provided between the through hole of the chamber housing and the rising steel plate. 제50항에 있어서, 51. The method of claim 50, 상기 밀봉부재는 신축가능한 주름관 구조이고, 상기 밀봉부재는 그 상하 양단부 각각이 관통공의 하부 가장자리 및 승강판의 상면에 밀봉적으로 고정되는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템.Wherein the sealing member is a stretchable corrugated pipe structure and each of the upper and lower ends of the sealing member is fixed sealingly to the lower edge of the through hole and the upper surface of the steel sheet. 제50항에 있어서, 51. The method of claim 50, 상기 밀봉부재는 환형의 밀봉부재이고, 챔버 하우징의 관통공의 내주면 및 승강축의 외주면 사이에 개재되는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템.Wherein the sealing member is an annular sealing member and is interposed between an inner circumferential surface of the through hole of the chamber housing and an outer circumferential surface of the elevating shaft. 제38항에 있어서, 39. The method of claim 38, 상기 홀더는 챔버 하우징 내에 배치된 바디 및 상기 바디에서 길이방향으로 연장된 다수의 지지체를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템.Wherein the holder comprises a body disposed within the chamber housing and a plurality of longitudinally extending supports in the body. 제53항에 있어서, 54. The method of claim 53, 상기 홀더는 상기 피처리물의 단부를 정렬하는 다수의 정렬부재를 가지는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템.Wherein the holder has a plurality of alignment members for aligning the ends of the object to be processed. 제53항에 있어서,54. The method of claim 53, 상기 홀더를 승하강시키는 승강부는,Wherein the lifting / 하나 이상의 구동실린더;At least one drive cylinder; 상기 구동실린더에 의해 승하강하는 승강판; 및 A lifting plate lifted and lowered by the driving cylinder; And 양단부가 상기 승강판과 상기 홀더의 바디 각각에 개별적으로 고정되고, 상기 챔버 하우징의 관통공을 통해 안내되는 하나 이상의 승강축을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템. And one or more lifting shafts fixed at respective ends of the lift plate and the holder body, respectively, and guided through the through holes of the chamber housing. 제55항에 있어서, 56. The method of claim 55, 상기 챔버 하우징의 관통공 및 승강판 사이에는 밀봉부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템. And a sealing member is provided between the through hole of the chamber housing and the rising steel plate. 제56항에 있어서, 57. The method of claim 56, 상기 밀봉부재는 신축가능한 주름관 구조이고, 상기 밀봉부재는 그 상하 양단부 각각이 관통공의 하부 가장자리 및 승강판의 상면에 밀봉적으로 고정되는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템. Wherein the sealing member is a stretchable corrugated pipe structure and each of the upper and lower ends of the sealing member is fixed sealingly to the lower edge of the through hole and the upper surface of the steel sheet. 제56항에 있어서, 57. The method of claim 56, 상기 밀봉부재는 환형의 밀봉부재이고, 상기 챔버 하우징의 관통공의 내주면 및 승강축의 외주면 사이에 개재되는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템.Wherein the sealing member is an annular sealing member and is interposed between an inner circumferential surface of the through hole of the chamber housing and an outer circumferential surface of the elevating shaft. 삭제delete
KR1020070096327A 2007-09-21 2007-09-21 Carry in and out chamber, transfer chamber, process chamber, vaccum processing system having the sames KR101411421B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070096327A KR101411421B1 (en) 2007-09-21 2007-09-21 Carry in and out chamber, transfer chamber, process chamber, vaccum processing system having the sames

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070096327A KR101411421B1 (en) 2007-09-21 2007-09-21 Carry in and out chamber, transfer chamber, process chamber, vaccum processing system having the sames

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090030784A KR20090030784A (en) 2009-03-25
KR101411421B1 true KR101411421B1 (en) 2014-07-01

Family

ID=40697032

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070096327A KR101411421B1 (en) 2007-09-21 2007-09-21 Carry in and out chamber, transfer chamber, process chamber, vaccum processing system having the sames

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101411421B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107858666A (en) * 2017-12-13 2018-03-30 北京创昱科技有限公司 A kind of integrated chamber of vacuum coating
KR102251197B1 (en) * 2020-07-14 2021-05-14 (주)앤피에스 Caterpillar drying apparatus, method thereof and caterpillar breeding facilities

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11293459A (en) * 1998-04-07 1999-10-26 Murata Mfg Co Ltd Multilayer film forming device
KR200338594Y1 (en) 2003-10-22 2004-01-16 (주)케이.씨.텍 Transfer apparatus of process for cleaning wafer using atmospheric pressure plasma
KR20060125661A (en) * 2003-06-24 2006-12-06 동경 엘렉트론 주식회사 Processed object processing apparatus
JP2007035874A (en) 2005-07-26 2007-02-08 Tokyo Electron Ltd Vacuum processing system

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11293459A (en) * 1998-04-07 1999-10-26 Murata Mfg Co Ltd Multilayer film forming device
KR20060125661A (en) * 2003-06-24 2006-12-06 동경 엘렉트론 주식회사 Processed object processing apparatus
KR200338594Y1 (en) 2003-10-22 2004-01-16 (주)케이.씨.텍 Transfer apparatus of process for cleaning wafer using atmospheric pressure plasma
JP2007035874A (en) 2005-07-26 2007-02-08 Tokyo Electron Ltd Vacuum processing system

Also Published As

Publication number Publication date
KR20090030784A (en) 2009-03-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100367021B1 (en) Processing unit
CN1326227C (en) Substrate conveying device and conveying method, and vacuum disposal device
US7296673B2 (en) Substrate conveyor system
KR950003597B1 (en) Vacuum processing apparatus
KR100900388B1 (en) Processing table
KR101411421B1 (en) Carry in and out chamber, transfer chamber, process chamber, vaccum processing system having the sames
KR20090024934A (en) Counterpressure correspondence gate valve of vacuum processing apparatus
KR101502130B1 (en) Transfer apparatus, Transfer chamber having the same and vacuum processing system including the same
CN113611645A (en) Wafer feeding mechanical arm and feeding and discharging method thereof
US20060283688A1 (en) Substrate handling system
CN113770608A (en) Channel type vacuum welding furnace
KR102591402B1 (en) press device
CN220097689U (en) Battery helium inspection machine and battery production equipment
KR100959678B1 (en) Flat panel display manufacturing machine
KR100934761B1 (en) Flat panel display device manufacturing device
CN216912581U (en) Channel type vacuum welding furnace
KR100965512B1 (en) Flat panel display manufacturing machine
CN211802442U (en) X-RAY assembly line detection device for casting defects
CN210260276U (en) Detection conveying device
KR101294969B1 (en) Apparatus for loading and unloading glass substrate
CN204959034U (en) A side direction transmission device for diffusion furnace PE CVD equipment
KR101329481B1 (en) Apparatus for loading and unloading glass substrate
CN220774281U (en) Coating equipment
CN212299942U (en) Lifting structure for film coating equipment
CN220501923U (en) Pipe body lifting and conveying device

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee