KR100900388B1 - Processing table - Google Patents

Processing table Download PDF

Info

Publication number
KR100900388B1
KR100900388B1 KR1020070101365A KR20070101365A KR100900388B1 KR 100900388 B1 KR100900388 B1 KR 100900388B1 KR 1020070101365 A KR1020070101365 A KR 1020070101365A KR 20070101365 A KR20070101365 A KR 20070101365A KR 100900388 B1 KR100900388 B1 KR 100900388B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
processing table
mounting surface
glass substrate
workpiece
frame
Prior art date
Application number
KR1020070101365A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20080070498A (en
Inventor
슈이치로 우에다
마사미 아오키
Original Assignee
쥬가이로 고교 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 쥬가이로 고교 가부시키가이샤 filed Critical 쥬가이로 고교 가부시키가이샤
Publication of KR20080070498A publication Critical patent/KR20080070498A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100900388B1 publication Critical patent/KR100900388B1/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B13/00Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
    • B05B13/02Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work
    • B05B13/0221Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work characterised by the means for moving or conveying the objects or other work, e.g. conveyor belts
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C13/00Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles
    • B05C13/02Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles for particular articles

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Feeding Of Workpieces (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

가공물의 수취(受取) 및 배출(排出)을 할 수 있는 가공 테이블을 제공한다. 탑재면(3)에 가공물을 탑재해서 가공하기 위한 정반(定盤)(2)에, 탑재면(3)으로부터 저면(底面)으로 관통하는 복수의 격납(格納) 구멍(4)을 형성하고, 격납 구멍(4) 속에, 각각, 상단(上端)에 수평축 주위로 회전 가능한 반송 롤러(7)를 설치한 반송 암(arm)(8)을, 반송 롤러(7)가 탑재면 위로 돌출하도록 상승하거나, 또는 반송 롤러(7)를 탑재면(3)의 밑에 격납하도록 하강할 수 있게 배치한다.

Figure R1020070101365

Provides a processing table for receiving and discharging a workpiece. In the surface plate 2 for mounting and processing a workpiece | work on the mounting surface 3, the some storage hole 4 which penetrates from the mounting surface 3 to the bottom face is formed, In the containment hole 4, the conveyance arm 8 which provided the conveyance roller 7 rotatable about the horizontal axis in the upper end, respectively, is raised so that the conveyance roller 7 may protrude on the mounting surface, or Or arrange | position so that the conveyance roller 7 may be lowered so that it may be stored under the mounting surface 3.

Figure R1020070101365

Description

가공 테이블{PROCESSING TABLE}Machining Tables {PROCESSING TABLE}

본 발명은 가공 테이블, 특히 판 형상 또는 시트(sheet) 형상의 가공물을 탑재해서 가공하기 위한 가공 테이블에 관한 것이다.The present invention relates to a processing table, in particular a processing table for mounting and processing a workpiece in the form of a sheet or sheet.

특허 문헌 1 및 특허 문헌 2에 기재되어 있는 바와 같이, 예를 들면, 디스플레이 패널용의 유리 기판을 가공 테이블 위에 탑재해서 코팅 가공을 시행하는 코팅 장치에서는, 포크(fork)를 구비하는 다간접(多間接) 로봇으로, 가공 테이블 위에 유리 기판을 탑재하고, 가공 테이블 위로부터 유리 기판을 들어올리고 있다.As described in Patent Literature 1 and Patent Literature 2, for example, in a coating apparatus in which a glass substrate for a display panel is mounted on a processing table and subjected to coating processing, multiple indirect parts having a fork are provided. I) With a robot, a glass substrate is mounted on a processing table, and the glass substrate is lifted from the processing table.

특허 문헌 1 및 특허 문헌 2의 장치에서는, 가공 테이블 상에서, 유리 기판의 밑에 포크를 끼우고 빼고 하기 위해서, 유리 기판을 들어올리는 핀(pin)이 가공 테이블로부터 돌출하도록 되어 있다.In the apparatus of patent document 1 and patent document 2, the pin which raises a glass substrate protrudes from a processing table in order to insert and pull out a fork under a glass substrate on a processing table.

이러한 로봇을 이용해서 2종류의 가공을 계속해서 실행하는 장치를 구성할 경우, 예를 들면, 도 9에 나타낸 바와 같이, 공급 컨베이어(31)로부터 유리 기판(G)을 제1로봇(32)으로 제1가공 테이블(33)에 이송하고, 제1가공 테이블(33)에서 가공한 유리 기판(G)을 제2로봇(34)으로 제2가공 테이블(35)에 이송하고, 제2가공 테이블(35)에서 가공한 유리 기판(G)을 제3로봇(36)으로 배출 컨베이어(37)에 이송 하게 된다.In the case of configuring an apparatus that continuously executes two types of processing using such a robot, for example, as shown in FIG. 9, the glass substrate G is moved from the supply conveyor 31 to the first robot 32. It transfers to the 1st processing table 33, transfers the glass substrate G processed by the 1st processing table 33 to the 2nd processing table 35 with the 2nd robot 34, and the 2nd processing table ( The glass substrate G processed at 35 is transferred to the discharge conveyor 37 by the third robot 36.

이러한 제조 라인에서는, 안전을 위해서, 로봇(32, 34, 36)의 가동 범위 내에는 작업자가 출입하는 일이 없도록 할 필요가 있다. 즉, 로봇(32, 34, 36)은 대단히 큰 공간을 점유한다.In such a production line, it is necessary to prevent an operator from entering and leaving within the movable range of the robots 32, 34, 36 for safety. In other words, the robots 32, 34, 36 occupy a very large space.

또한, 특허 문헌 3에는, 유리 기판을 반송하는 직교 좌표형의 로봇이 기재되어 있다.In addition, Patent Document 3 describes a cartesian robot that carries a glass substrate.

이상과 같이, 로봇을 이용한 반송 장치는, 큰 설치 공간을 점유할 뿐만 아니라, 고가(高價)라고 하는 문제도 있다.As mentioned above, the conveying apparatus using a robot not only occupies a large installation space, but also has a problem of being expensive.

(특허 문헌 1)(Patent Document 1)

일본국 특개2000-197844호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-197844

(특허 문헌 2)(Patent Document 2)

일본국 특개2002-102771호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-102771

(특허 문헌 3)(Patent Document 3)

일본국 특허 제3004239호 공보Japanese Patent No. 3004239

상기 문제점을 감안하여, 가공물의 수취 및 배출을 할 수 있는 가공 테이블을 제공하는 것을 과제로 한다.In view of the above problems, it is a problem to provide a processing table capable of receiving and discharging a workpiece.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 의한 가공 테이블은, 위쪽의 탑재면으로부터 저면으로 관통하는 복수의 격납 구멍이 형성되어, 상기 탑재면에 가공물을 탑재해서 가공하기 위한 정반과, 상기 격납 구멍 속에 각각 배치되어, 상단에 수평축 주위로 회전 가능한 반송 롤러가 설치되고, 상기 반송 롤러가 상기 탑재면 위로 돌출하도록 상승하거나, 또는 상기 반송 롤러를 상기 탑재면의 밑에 격납하도록 하강할 수 있는 복수의 반송 암을 구비하는 것으로 한다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, the process table which concerns on this invention is provided with the some storage hole which penetrates from the upper mounting surface to the bottom surface, and mounts a workpiece | work on the said mounting surface, and processes it in the said storage hole. A plurality of conveying arms disposed at each of the plurality of conveying rollers rotatably disposed around the horizontal axis and capable of raising the conveying roller to protrude above the mounting surface or lowering the conveying roller to be stored under the mounting surface; It shall be provided.

이 구성에 의하면, 반송 암을 돌출시킴으로써, 정반 상에서 반송 롤러에 의해 가공물을 반송할 수 있고, 반송 암을 하강시킴으로써, 가공물을 정반에 탑재할 수 있다. 이것 때문에, 가공 테이블은, 로봇 등의 도움을 빌리지 않더라도, 인접하는 장치로부터 가공물을 수취하여, 정반 상에 탑재해서 가공하고, 인접하는 장치에 가공물을 배출할 수 있다.According to this structure, a workpiece can be conveyed by a conveyance roller on a surface plate by protruding a conveyance arm, and a workpiece can be mounted on a surface plate by lowering a conveyance arm. For this reason, even without a robot or the like, the processing table can receive a workpiece from an adjacent device, mount it on a surface plate, process it, and discharge the workpiece to the adjacent device.

또한, 본 발명의 가공 테이블에 있어서, 상기 반송 롤러에는, 상기 정반의 저면보다 아래쪽에 설치한 구동 롤러와의 사이에 무단(無端) 벨트가 가설(架設)되어 있어도 좋다.Moreover, in the process table of this invention, an endless belt may be temporarily installed in the said conveyance roller between the drive rollers installed below the bottom face of the said surface plate.

이 구성에 의하면, 반송 롤러의 구동원(驅動源)을 정반의 아래쪽에 배치할 수 있어, 격납 구멍이 필요 이상으로 커지지 않고, 정반이 가공물을 지지하는 면적이 작아지지 않으므로, 가공물이 안정된다.According to this structure, the drive source of a conveyance roller can be arrange | positioned under a platen, a storage hole does not become larger than necessary, and the area which a platen supports a workpiece does not become small, and a workpiece | work is stabilized.

또한, 본 발명의 가공 테이블에 있어서, 상기 구동 롤러는, 1개의 모터에 의해 회전되도록, 서로 연결되어도 좋다.In the processing table of the present invention, the drive rollers may be connected to each other so as to be rotated by one motor.

이 구성에 의하면, 반송 롤러가 동기(同期)해서 회전하므로, 가공물을 안정적으로 반송할 수 있다.According to this structure, since a conveyance roller rotates synchronously, a workpiece can be conveyed stably.

또한, 본 발명의 가공 테이블에 있어서, 상기 복수의 반송 암을 상기 정반의 아래쪽에서 연결하는 프레임(frame)과, 상기 프레임을 승강(昇降)시키는 승강 기구를 구비해도 좋다.Moreover, in the process table of this invention, you may be provided with the frame which connects the said several conveyance arm below the said surface plate, and the lifting mechanism which raises and lowers the said frame.

이 구성에 의하면, 각각의 반송 암을 동시에 승강시킬 수 있어, 가공물의 반송과 탑재를 원활하게 실행할 수 있다.According to this structure, each conveyance arm can be raised and lowered simultaneously, and the conveyance and mounting of a workpiece can be performed smoothly.

또한, 본 발명의 가공 테이블에 있어서, 상기 프레임과 상기 정반과의 사이에, 상기 프레임의 상승 속도를 제한하는 쇼크 업소버(shock absorber)를 구비해도 좋다.In the processing table of the present invention, a shock absorber may be provided between the frame and the surface plate to limit the ascending speed of the frame.

이 구성에 의하면, 가공물이 반송 암의 승강에 의해 위치가 벗어나거나, 손상되는 것을 방지할 수 있다.According to this configuration, the workpiece can be prevented from being out of position or damaged by the lifting and lowering of the transfer arm.

또한, 본 발명의 가공 테이블에 있어서, 상기 가공 테이블은, 상기 탑재면에 개구하는 센서 구멍을 설치하고, 상기 센서 구멍 속에 상기 가공물의 위치를 확인하는 센서를 배치해도 좋다.Moreover, in the processing table of this invention, the said processing table may provide the sensor hole open to the said mounting surface, and may arrange | position the sensor which confirms the position of the said workpiece in the said sensor hole.

이 구성에 의하면, 가공물에 대해 정확하게 위치를 결정할 수 있다.According to this structure, a position can be determined correctly with respect to a workpiece.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 가공 테이블의 정반에 설치한 격납 구멍 속에, 상승 하강이 가능한 반송 롤러를 구비하는 반송 암을 배치함으로써, 가공물의 수취와 배출이 가능하게 되었다. 이것에 의해, 로봇 등의 설치가 불필요하게 되어, 공간 절약 및 저비용의 가공 설비가 실현 가능하게 되었다.As described above, according to the present invention, receiving and discharging of the workpiece can be achieved by disposing a conveying arm having a conveying roller capable of raising and lowering in a storage hole provided in the surface plate of the processing table. As a result, installation of a robot or the like becomes unnecessary, and space-saving and low-cost processing facilities can be realized.

여기서부터, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereafter, embodiment of this invention is described, referring drawings.

도 1에, 본 발명의 하나의 실시형태인 가공 테이블(1)을 나타낸다. 가공 테이블(1)은, 예를 들면 화강암제의 정반(2)을 구비하여, 정반(2)의 위쪽이 유리 기판(가공물)을 탑재해서 코팅 가공을 시행하기 위한 탑재면(3)으로 되어 있고, 탑재면(3)에는, 복수의 격납 구멍(4), 복수의 흡인 구멍(5) 및 복수의 센서 구멍(6)이 형성되어 있다.1, the processing table 1 which is one Embodiment of this invention is shown. The processing table 1 includes, for example, a surface plate 2 made of granite, and an upper side of the surface plate 2 serves as a mounting surface 3 for mounting a glass substrate (workpiece) to perform a coating process. In the mounting surface 3, a plurality of storage holes 4, a plurality of suction holes 5, and a plurality of sensor holes 6 are formed.

격납 구멍(4)은 탑재면(3)으로부터 저면으로 관통하고 있고, 그 내부에는, 각각, 상단에 수평축 주위로 회전 가능한 반송 롤러(7)가 설치된 반송 암(8)이 배치되어 있다. 흡인 구멍(5)은, 도시하지 않은 진공 펌프에 의해 진공 흡인되는 관로(管路)에 연통하고 있으며, 가공 시에, 탑재면(3)에 탑재한 유리 기판을 흡인해서 안정시키기 위한 것이다. 센서 구멍(6)의 내부에는, 광전(光電) 센서(9)가 배치되어 있어, 유리 기판의 위치를 확인할 수 있도록 되어 있다.The storage hole 4 penetrates from the mounting surface 3 to the bottom surface, and inside it, the conveyance arm 8 provided with the conveyance roller 7 rotatable about the horizontal axis is arrange | positioned at the upper end. The suction hole 5 communicates with the pipe line vacuum-absorbed by the vacuum pump which is not shown in figure, and is for sucking and stabilizing the glass substrate mounted in the mounting surface 3 at the time of a process. The photoelectric sensor 9 is arrange | positioned inside the sensor hole 6, and the position of a glass substrate can be confirmed.

도 2에, 격납 구멍(4) 속에 수용되어 있는 반송 암(8)과 그 지지 구조를 나타낸다. 각각의 반송 암(8)은, 정반(2)의 아래쪽에 배치되는 구형(矩形)의 프레 임(10)에 고정되어 있다.2, the conveyance arm 8 accommodated in the storage hole 4 and its support structure are shown. Each conveyance arm 8 is fixed to a spherical frame 10 disposed below the surface plate 2.

프레임(10)은, 정반(2)의 저면에 고정된 유체 실린더(승강 기구)(11)의 피스톤의 수축에 의해 상승하도록 되어 있다. 또한, 프레임(10)은, 각각 정반(2)의 저면에 수직으로 고정되는 슬라이딩(sliding) 축(12)을 따라 미끄럼 운동하는 리니어 슬라이더(linear slider)(13)와, 선단(先端)이 정반(2)의 저면에 맞닿는 복수의 쇼크 업소버(14)를 구비한다.The frame 10 is made to rise by contraction of the piston of the fluid cylinder (elevation mechanism) 11 fixed to the bottom face of the surface plate 2. In addition, the frame 10 has a linear slider 13 which slides along a sliding axis 12 fixed to the bottom surface of the surface plate 2, respectively, and a front end thereof. A plurality of shock absorbers 14 abutting against the bottom of (2) are provided.

프레임(10)은, 반송 암(8)의 아래쪽에 배치되는 복수의 구동 롤러(15)를 가지고 있고, 반송 롤러(7)와 구동 롤러(15)와의 사이에는, 원형 단면을 갖는 무단 벨트(16)가 가설되어 있다. 구동 롤러(15)는, 동일 축에 설치된 풀리(pulley)(17)와 함께 회전하도록 되어 있으며, 연결 축(18) 및 싱크로 벨트(synchro belt)(19)에 의해, 서로 접속되어, 모터(20)에 의해 동시에, 또한, 동일한 방향으로 회전되도록 이루어져 있다.The frame 10 has a plurality of drive rollers 15 arranged below the transfer arm 8, and an endless belt 16 having a circular cross section between the transfer roller 7 and the drive rollers 15. Is hypothesized. The drive roller 15 is rotated together with the pulley 17 provided on the same shaft, and is connected to each other by the coupling shaft 18 and the synchro belt 19, and the motor 20 Are rotated at the same time and in the same direction.

본 실시형태에 있어서, 유체 실린더(11)를 수축하면, 도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 암(8)의 상단(반송 롤러(7))이 격납 구멍(4)으로부터 탑재면(3) 위로 돌출하지만, 유체 실린더(11)를 신장(伸長)하면, 도 3에 나타낸 바와 같이, 반송 롤러(7) 및 무단 벨트(16)가 탑재면(3)보다 아래쪽에 위치하도록, 반송 암(8)을 격납 구멍(4) 속에 완전히 격납하도록 되어 있다.In this embodiment, when the fluid cylinder 11 is retracted, as shown in FIG. 1, the upper end (the conveying roller 7) of the conveying arm 8 protrudes from the containment hole 4 onto the mounting surface 3. However, when the fluid cylinder 11 is extended, the conveyance arm 8 is positioned so that the conveyance roller 7 and the endless belt 16 are located below the mounting surface 3, as shown in FIG. It is made to fully store in the storage hole 4.

가공 테이블(1)은, 도 4에 나타낸 바와 같이, 유체 실린더(11)를 수축해서 반송 롤러(7)를 탑재면(3)의 위쪽으로 돌출시키고, 모터(20)에 의해 무단 벨트(16)를 회전시킨 상태에서, 무단 벨트(16)의 회전 방향 상류 측에 인접하는 컨베이어 등으로부터 유리 기판(G)을 수취할 수 있다.As shown in FIG. 4, the processing table 1 contracts the fluid cylinder 11 to protrude the conveying roller 7 above the mounting surface 3, and the endless belt 16 is driven by the motor 20. In the state which rotated, glass substrate G can be received from the conveyor etc. which adjoin the rotation direction upstream of the endless belt 16. FIG.

도 5에, 반송 암(8)의 상단의 상세를 나타낸다. 무단 벨트(16)는, 그 두께에 의해, 중앙이 반송 롤러(7)보다 위쪽으로 돌출하여, 유리 기판(G)의 하면을 지지한다. 유리 기판(G)은, 무단 벨트(16)의 회전에 의해, 수평 이동하여, 정반(2)의 위쪽을 수평 이동하게 된다.The detail of the upper end of the conveyance arm 8 is shown in FIG. By the thickness, the endless belt 16 protrudes more than the conveyance roller 7 in the center, and supports the lower surface of the glass substrate G. As shown in FIG. The glass substrate G moves horizontally by the rotation of the endless belt 16, and moves the upper side of the surface plate 2 horizontally.

가공 테이블(1)은, 광전 센서(9)에 의해 수평 이동해 온 유리 기판(G)의 위치를 감시하여, 무단 벨트(16)의 회전에 의해 유리 기판(G)이 소정의 위치에 도달하면, 모터(20)의 회전을 정지해서, 유리 기판(G)을 정지시킨다. 유리 기판(G)을 소정의 위치에 정지시켰다면, 가공 테이블(1)은, 유체 실린더(11)를 신장하여, 도 6에 나타낸 바와 같이, 반송 암(8)을 하강시켜서 격납 구멍(4)의 내부에 완전히 수용한다. 이것에 의해, 유리 기판(G)을 탑재면(3)에 맞닿도록 탑재하여, 흡인 구멍(5)으로부터 공기를 흡인함으로써, 도 7에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(G)을 탑재면(3) 중앙의 소정의 위치에 흡착한다.The processing table 1 monitors the position of the glass substrate G which has been horizontally moved by the photoelectric sensor 9, and when the glass substrate G reaches the predetermined position by the rotation of the endless belt 16, The rotation of the motor 20 is stopped to stop the glass substrate G. When the glass substrate G is stopped at a predetermined position, the processing table 1 extends the fluid cylinder 11, and as shown in FIG. 6, lowers the transfer arm 8 to store the storage hole 4. Fully housed inside. As a result, the glass substrate G is mounted to abut the mounting surface 3, and the air is sucked from the suction hole 5, so that the glass substrate G is mounted as shown in FIG. 7. Adsorbed at a predetermined position in the center.

도시하지 않는 코터(coater)에 의해, 유리 기판(G)의 표면에 코팅 작업을 실시하면, 가공 테이블(1)은, 유체 실린더(11)를 수축하여 프레임(10)을 상승시켜, 반송 암(8)의 상단을 격납 구멍(4)으로부터 탑재면(3) 위로 돌출시킴으로써, 무단 벨트(16)가 유리 기판(G)의 하면에 맞닿아 유리 기판(G)을 들어올린다.When a coating operation is performed on the surface of the glass substrate G by a coater (not shown), the processing table 1 contracts the fluid cylinder 11 to raise the frame 10 to thereby carry a transfer arm ( The endless belt 16 abuts on the lower surface of the glass substrate G, and lifts the glass substrate G by projecting the upper end of 8) from the storage hole 4 to the mounting surface 3.

이 때, 쇼크 업소버(14)는, 프레임(10)의 급격한 상승을 방지하여, 반송 암(8)이 유리 기판(G)에 빠른 속도로 충돌해서 유리 기판(G)을 충격에 의해 파손하거나, 반송 암(8)의 승강에 수반하는 진동에 의해 유리 기판(G)을 수평 방향에 위 치를 어긋나게 하거나 하는 것을 방지하고 있다.At this time, the shock absorber 14 prevents a sudden rise of the frame 10, the carrier arm 8 collides with the glass substrate G at a high speed, and the glass substrate G is broken by an impact, By vibrating with the lifting of the transfer arm 8, the glass substrate G is prevented from shifting the position in the horizontal direction.

이 상태에서, 모터(20)를 회전하면, 구동 롤러(15)가 일제히 회전을 시작하여, 모든 무단 벨트(16)가 동일한 방향으로 회전한다. 이것에 의해, 무단 벨트(16) 위에 놓여진 유리 기판(G)은, 무단 벨트(16)의 회전 방향으로 수평 이동하여, 인접하는 컨베이어 등으로 배출된다.In this state, when the motor 20 is rotated, the drive rollers 15 start to rotate in unison and all the endless belts 16 rotate in the same direction. As a result, the glass substrate G placed on the endless belt 16 moves horizontally in the rotational direction of the endless belt 16 and is discharged to an adjacent conveyor or the like.

이상과 같이, 본 실시형태의 가공 테이블(1)은, 가공물인 유리 기판(G)을 반송할 수 있으므로, 로봇과 같은 수도(受渡)를 위한 대규모의 장치가 필요 없고, 그것을 위한 설치 공간이나 비용이 필요 없다.As mentioned above, since the processing table 1 of this embodiment can convey the glass substrate G which is a workpiece | work, there is no need for the large-scale apparatus for water supply like a robot, and the installation space and cost for it There is no need for this.

예를 들면, 도 8에 나타낸 바와 같이, 2개의 가공 테이블(1A, 1B)에서 유리 기판(G)에 상이한 가공을 계속해서 실시할 경우, 가공 테이블(1A)은, 공급 컨베이어(21)로부터 직접 유리 기판(G)을 수취해서 위치 결정할 수 있고, 가공한 유리 기판(G)을 가공 테이블(1B)에 대하여 송출할 수 있다. 마찬가지로, 가공 테이블(1B)은, 가공 테이블(1A)로부터 직접 유리 기판(G)을 수취해서 위치 결정할 수 있고, 가공한 유리 기판(G)을 배출 컨베이어(22)에 배출할 수 있다.For example, as shown in FIG. 8, when different processing is continued to glass substrate G by two processing tables 1A and 1B, the processing table 1A is directly from the supply conveyor 21. As shown in FIG. The glass substrate G can be received and positioned, and the processed glass substrate G can be sent to the processing table 1B. Similarly, the processing table 1B can receive and position the glass substrate G directly from the processing table 1A, and can discharge the processed glass substrate G to the discharge conveyor 22.

즉, 가공 테이블(1A, 1B)을 포함하는 제조 라인은, 예를 들면, 도 9에 나타내는 바와 같은, 로봇(32, 34, 36)을 필요로 하는 종래의 가공 테이블(33, 35)을 사용한 제조 라인에 비해서, 그 전장(全長)이 대폭적으로 짧아지게 된다.That is, the manufacturing line containing the processing tables 1A and 1B uses the conventional processing tables 33 and 35 which require the robots 32, 34 and 36 as shown, for example in FIG. Compared with the production line, the overall length is significantly shortened.

본 실시형태에서는, 무단 벨트(16)가 유리 기판(G)에 맞닿지만, 반송 롤러(7)의 직경을 크게 하여, 반송 롤러(7)가 유리 기판(G)을 지지해서 반송하도록 해도 좋다. 또한, 각각의 반송 롤러(7)를 회전 구동하는 방법은, 본 실시형태와 같 은 싱크로 벨트(19)나 무단 벨트(16)를 이용하는 것 이외에, 회전축과 베벨 기어(bevel gear)의 조합 등, 어떠한 전동(轉動) 기구를 이용해도 좋다.In this embodiment, although the endless belt 16 abuts on the glass substrate G, you may make the conveyance roller 7 support and convey the glass substrate G by making the diameter of the conveyance roller 7 large. . In addition, the method of rotationally driving each conveyance roller 7 is not only using the synchro belt 19 and the endless belt 16 like this embodiment, but also the combination of a rotating shaft and a bevel gear, etc., Any electric mechanism may be used.

도 1은 본 발명의 하나의 실시형태의 가공 테이블의 사시도.1 is a perspective view of a machining table of one embodiment of the present invention;

도 2는 도 1의 가공 테이블의 반송 암과 그 지지 구조를 나타내는 사시도.FIG. 2 is a perspective view showing a conveyance arm of the machining table of FIG. 1 and its supporting structure; FIG.

도 3은 반송 암을 격납한 도 1의 가공 테이블의 사시도.3 is a perspective view of the machining table of FIG. 1 in which a transport arm is stored;

도 4는 도 1의 가공 테이블이 유리 기판을 수취하는 모양을 나타내는 사시도.4 is a perspective view showing a state in which the processing table of FIG. 1 receives a glass substrate;

도 5는 도 1의 가공 테이블의 반송 암 돌출 시의 상세 부분 단면도.FIG. 5 is a detailed partial sectional view at the time of projecting the conveyance arm of the machining table of FIG. 1. FIG.

도 6은 도 1의 가공 테이블의 반송 암 격납 시의 상세 부분 단면도.FIG. 6 is a detailed partial sectional view at the time of conveyance arm storage of the machining table of FIG. 1; FIG.

도 7은 도 1의 가공 테이블의 유리 기판 가공 시의 사시도.The perspective view at the time of the glass substrate process of the process table of FIG.

도 8은 도 1의 가공 테이블을 이용한 제조 라인의 평면도.8 is a plan view of a production line using the machining table of FIG. 1.

도 9는 종래의 가공 테이블을 이용한 제조 라인의 평면도.9 is a plan view of a production line using a conventional machining table.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

1: 가공 테이블1: machining table

2: 정반(定盤)2: surface plate

3: 탑재면3: mounting surface

4: 격납 구멍4: containment hole

5: 흡인 구멍5: suction hole

6: 센서 구멍6: sensor hole

7: 반송 롤러7: conveying roller

8: 반송 암(arm)8: return arm

9: 광전(光電) 센서9: Photoelectric Sensor

10: 프레임(frame)10: frame

11: 유체 실린더(승강 기구)11: fluid cylinder (lift mechanism)

14: 쇼크 업소버(shock absorber)14: shock absorber

15: 구동 롤러15: drive roller

16: 무단(無端) 벨트16: endless belt

20: 모터20: motor

G: 유리 기판(가공물)G: glass substrate (workpiece)

Claims (6)

위쪽의 탑재면으로부터 저면(底面)으로 관통하는 복수의 격납(格納) 구멍이 형성되어, 상기 탑재면에 가공물을 탑재해서 가공하기 위한 정반(定盤)과,A plurality of storage holes penetrating from the upper mounting surface to the bottom surface, the mounting plate for mounting and processing the workpiece on the mounting surface; 상기 격납 구멍 속에 각각 배치되어, 상단(上端)에 수평축 주위로 회전 가능한 반송 롤러가 설치되고, 상기 반송 롤러가 상기 탑재면 위로 돌출하도록 상승하거나, 또는 상기 반송 롤러를 상기 탑재면의 밑에 격납하도록 하강할 수 있는 복수의 반송 암(arm)과,The conveying roller which is arrange | positioned in the said storage hole, respectively, and rotatable about a horizontal axis is provided in the upper end, and the said conveying roller raises so that it may protrude above the said mounting surface, or it descends so that the said conveying roller may be stored under the said mounting surface. A plurality of conveying arms, 상기 복수의 반송 암을 상기 정반의 아래쪽에서 연결하는 프레임(frame)과,A frame that connects the plurality of transfer arms to the lower side of the surface plate, 상기 프레임을 승강(昇降)시키는 승강 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 가공 테이블.And a lifting mechanism for lifting and lowering the frame. 제1항에 있어서, 상기 반송 롤러에는, 상기 정반의 저면보다 아래쪽에 설치한 구동 롤러와의 사이에 무단(無端) 벨트가 가설(架設)되어 있는 것을 특징으로 하는 가공 테이블.The processing table according to claim 1, wherein an endless belt is provided between the conveying rollers and a driving roller provided below the bottom of the surface plate. 제2항에 있어서, 상기 구동 롤러는, 1개의 모터에 의해 회전되도록, 서로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 가공 테이블.The processing table according to claim 2, wherein the drive rollers are connected to each other so as to be rotated by one motor. 삭제delete 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 프레임과 상기 정반과의 사이에, 상기 프레임의 상승 속도를 제한하는 쇼크 업소버(shock absorber)를 구비하는 것을 특징으로 하는 가공 테이블.The processing table according to any one of claims 1 to 3, further comprising a shock absorber for limiting the ascending speed of the frame between the frame and the surface plate. 제1항에 있어서, 상기 가공 테이블은, 상기 탑재면에 개구하는 센서 구멍이 형성되어, 상기 센서 구멍 속에 상기 가공물의 위치를 확인하는 센서가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 가공 테이블.The said processing table is a process table of Claim 1 in which the sensor hole opened in the said mounting surface is formed, and the sensor which confirms the position of the said workpiece in the said sensor hole is arrange | positioned.
KR1020070101365A 2007-01-25 2007-10-09 Processing table KR100900388B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007014812A JP4387416B2 (en) 2007-01-25 2007-01-25 Processing table
JPJP-P-2007-00014812 2007-01-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080070498A KR20080070498A (en) 2008-07-30
KR100900388B1 true KR100900388B1 (en) 2009-06-02

Family

ID=39723234

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070101365A KR100900388B1 (en) 2007-01-25 2007-10-09 Processing table

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP4387416B2 (en)
KR (1) KR100900388B1 (en)
CN (1) CN101229541B (en)
TW (1) TWI341763B (en)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5383439B2 (en) * 2009-11-06 2014-01-08 スターテクノ株式会社 XY plane cutting device
KR101110333B1 (en) * 2010-05-27 2012-02-16 주식회사 져스텍 Device for alignment of articles.
CN102764935B (en) * 2012-08-07 2014-07-16 江苏扬力集团有限公司 Accurate positioning device for vertical-plate type worktable of laser cutting machine
JP6019178B1 (en) * 2015-06-16 2016-11-02 株式会社フリーベアコーポレーション Support unit
CN105710677A (en) * 2016-04-18 2016-06-29 句容五星机械制造有限公司 Auxiliary clamping mechanism for tubular and rod workpieces
TWI646133B (en) * 2017-08-22 2019-01-01 住華科技股份有限公司 Conveyor system
CN108002035B (en) * 2017-11-29 2019-08-30 安徽蓝博玻璃有限公司 A kind of original sheet glass conveying automatic aligning frame
KR102033123B1 (en) * 2017-12-15 2019-10-16 한국항공우주산업 주식회사 Support unit for aircraft parts
CN108705156B (en) * 2018-05-31 2020-08-07 安徽三山机械制造有限公司 Automatic go up interval formula gear machining equipment of unloading
CN110103062A (en) * 2019-05-31 2019-08-09 苏州经贸职业技术学院 A kind of heavy industry board
CN113665254A (en) * 2021-08-03 2021-11-19 夏春意 Automatic binding printer

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0550323A (en) * 1991-08-23 1993-03-02 Amada Metrecs Co Ltd Plate conveyor positioner in plate finishing machine
KR0134290Y1 (en) * 1996-07-30 1999-03-20 정규수 Equipment for transporting and absorbing the board in making light weighed partition board
JPH1179388A (en) 1997-09-16 1999-03-23 Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd Glass sheet handling device
KR100540632B1 (en) 2003-06-27 2006-01-10 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Device for Cutting Glass Substrate in Manufacturing Process of Flat Type Display

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN87208521U (en) * 1987-05-30 1987-12-31 秦皇岛市海港耀华玻璃机械厂 Glass sheet conveyer
DE4000106C1 (en) * 1990-01-04 1991-01-24 Zippe Gmbh U. Co, 6980 Wertheim, De

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0550323A (en) * 1991-08-23 1993-03-02 Amada Metrecs Co Ltd Plate conveyor positioner in plate finishing machine
KR0134290Y1 (en) * 1996-07-30 1999-03-20 정규수 Equipment for transporting and absorbing the board in making light weighed partition board
JPH1179388A (en) 1997-09-16 1999-03-23 Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd Glass sheet handling device
KR100540632B1 (en) 2003-06-27 2006-01-10 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Device for Cutting Glass Substrate in Manufacturing Process of Flat Type Display

Also Published As

Publication number Publication date
TW200831377A (en) 2008-08-01
CN101229541A (en) 2008-07-30
JP4387416B2 (en) 2009-12-16
JP2008178948A (en) 2008-08-07
CN101229541B (en) 2011-06-22
KR20080070498A (en) 2008-07-30
TWI341763B (en) 2011-05-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100900388B1 (en) Processing table
KR100595111B1 (en) Substrate-Transporting Device
WO2010041562A1 (en) Substrate transfer robot and system
JP4436689B2 (en) Glass substrate transfer system
CN110202920B (en) Automatic screen printing machine for glass
KR20060049255A (en) Transfer robot
CN111573224B (en) Circuit board turnover machine
CN216154882U (en) Plate planting machine with automatic plate turning function
JP5006411B2 (en) Substrate transfer device
CN111056276A (en) Plate conveying and ash removing system and method
CN112420577B (en) Automatic wafer discharging device
CN108816959B (en) A kind of mechanical cleaning production system of semiconductor light
KR101587337B1 (en) Lifting apparatus and apparatus for transferring substrate comprising the same
CN115922777A (en) A transport arm for intelligent device pilot scale production line
CN115947118A (en) Double-grab glass stacking machine
KR20150008297A (en) Going up and down apparatus and apparatus for transferring substrate
KR102314364B1 (en) Robot for transferring substrate
JP5115850B2 (en) Plate workpiece vertical transfer device
KR101294969B1 (en) Apparatus for loading and unloading glass substrate
JP5474328B2 (en) Substrate transfer robot
CN108816960A (en) A kind of mechanical cleaning device of semiconductor light
KR101064485B1 (en) Press processing line and lift and tray shuttle assembly used in the same
JP5309324B2 (en) Substrate transfer system
CN117465993A (en) Stacking device and circuit board production line
CN117604598A (en) Wafer overturning mechanism and method for wafer electroplating machine

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment
FPAY Annual fee payment
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160404

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170324

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180326

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200304

Year of fee payment: 12