KR100900388B1 - Processing table - Google Patents
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Abstract
가공물의 수취(受取) 및 배출(排出)을 할 수 있는 가공 테이블을 제공한다. 탑재면(3)에 가공물을 탑재해서 가공하기 위한 정반(定盤)(2)에, 탑재면(3)으로부터 저면(底面)으로 관통하는 복수의 격납(格納) 구멍(4)을 형성하고, 격납 구멍(4) 속에, 각각, 상단(上端)에 수평축 주위로 회전 가능한 반송 롤러(7)를 설치한 반송 암(arm)(8)을, 반송 롤러(7)가 탑재면 위로 돌출하도록 상승하거나, 또는 반송 롤러(7)를 탑재면(3)의 밑에 격납하도록 하강할 수 있게 배치한다.
Provides a processing table for receiving and discharging a workpiece. In the surface plate 2 for mounting and processing a workpiece | work on the mounting surface 3, the some storage hole 4 which penetrates from the mounting surface 3 to the bottom face is formed, In the containment hole 4, the conveyance arm 8 which provided the conveyance roller 7 rotatable about the horizontal axis in the upper end, respectively, is raised so that the conveyance roller 7 may protrude on the mounting surface, or Or arrange | position so that the conveyance roller 7 may be lowered so that it may be stored under the mounting surface 3.
Description
본 발명은 가공 테이블, 특히 판 형상 또는 시트(sheet) 형상의 가공물을 탑재해서 가공하기 위한 가공 테이블에 관한 것이다.The present invention relates to a processing table, in particular a processing table for mounting and processing a workpiece in the form of a sheet or sheet.
특허 문헌 1 및 특허 문헌 2에 기재되어 있는 바와 같이, 예를 들면, 디스플레이 패널용의 유리 기판을 가공 테이블 위에 탑재해서 코팅 가공을 시행하는 코팅 장치에서는, 포크(fork)를 구비하는 다간접(多間接) 로봇으로, 가공 테이블 위에 유리 기판을 탑재하고, 가공 테이블 위로부터 유리 기판을 들어올리고 있다.As described in
특허 문헌 1 및 특허 문헌 2의 장치에서는, 가공 테이블 상에서, 유리 기판의 밑에 포크를 끼우고 빼고 하기 위해서, 유리 기판을 들어올리는 핀(pin)이 가공 테이블로부터 돌출하도록 되어 있다.In the apparatus of
이러한 로봇을 이용해서 2종류의 가공을 계속해서 실행하는 장치를 구성할 경우, 예를 들면, 도 9에 나타낸 바와 같이, 공급 컨베이어(31)로부터 유리 기판(G)을 제1로봇(32)으로 제1가공 테이블(33)에 이송하고, 제1가공 테이블(33)에서 가공한 유리 기판(G)을 제2로봇(34)으로 제2가공 테이블(35)에 이송하고, 제2가공 테이블(35)에서 가공한 유리 기판(G)을 제3로봇(36)으로 배출 컨베이어(37)에 이송 하게 된다.In the case of configuring an apparatus that continuously executes two types of processing using such a robot, for example, as shown in FIG. 9, the glass substrate G is moved from the
이러한 제조 라인에서는, 안전을 위해서, 로봇(32, 34, 36)의 가동 범위 내에는 작업자가 출입하는 일이 없도록 할 필요가 있다. 즉, 로봇(32, 34, 36)은 대단히 큰 공간을 점유한다.In such a production line, it is necessary to prevent an operator from entering and leaving within the movable range of the
또한, 특허 문헌 3에는, 유리 기판을 반송하는 직교 좌표형의 로봇이 기재되어 있다.In addition,
이상과 같이, 로봇을 이용한 반송 장치는, 큰 설치 공간을 점유할 뿐만 아니라, 고가(高價)라고 하는 문제도 있다.As mentioned above, the conveying apparatus using a robot not only occupies a large installation space, but also has a problem of being expensive.
(특허 문헌 1)(Patent Document 1)
일본국 특개2000-197844호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-197844
(특허 문헌 2)(Patent Document 2)
일본국 특개2002-102771호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-102771
(특허 문헌 3)(Patent Document 3)
일본국 특허 제3004239호 공보Japanese Patent No. 3004239
상기 문제점을 감안하여, 가공물의 수취 및 배출을 할 수 있는 가공 테이블을 제공하는 것을 과제로 한다.In view of the above problems, it is a problem to provide a processing table capable of receiving and discharging a workpiece.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 의한 가공 테이블은, 위쪽의 탑재면으로부터 저면으로 관통하는 복수의 격납 구멍이 형성되어, 상기 탑재면에 가공물을 탑재해서 가공하기 위한 정반과, 상기 격납 구멍 속에 각각 배치되어, 상단에 수평축 주위로 회전 가능한 반송 롤러가 설치되고, 상기 반송 롤러가 상기 탑재면 위로 돌출하도록 상승하거나, 또는 상기 반송 롤러를 상기 탑재면의 밑에 격납하도록 하강할 수 있는 복수의 반송 암을 구비하는 것으로 한다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, the process table which concerns on this invention is provided with the some storage hole which penetrates from the upper mounting surface to the bottom surface, and mounts a workpiece | work on the said mounting surface, and processes it in the said storage hole. A plurality of conveying arms disposed at each of the plurality of conveying rollers rotatably disposed around the horizontal axis and capable of raising the conveying roller to protrude above the mounting surface or lowering the conveying roller to be stored under the mounting surface; It shall be provided.
이 구성에 의하면, 반송 암을 돌출시킴으로써, 정반 상에서 반송 롤러에 의해 가공물을 반송할 수 있고, 반송 암을 하강시킴으로써, 가공물을 정반에 탑재할 수 있다. 이것 때문에, 가공 테이블은, 로봇 등의 도움을 빌리지 않더라도, 인접하는 장치로부터 가공물을 수취하여, 정반 상에 탑재해서 가공하고, 인접하는 장치에 가공물을 배출할 수 있다.According to this structure, a workpiece can be conveyed by a conveyance roller on a surface plate by protruding a conveyance arm, and a workpiece can be mounted on a surface plate by lowering a conveyance arm. For this reason, even without a robot or the like, the processing table can receive a workpiece from an adjacent device, mount it on a surface plate, process it, and discharge the workpiece to the adjacent device.
또한, 본 발명의 가공 테이블에 있어서, 상기 반송 롤러에는, 상기 정반의 저면보다 아래쪽에 설치한 구동 롤러와의 사이에 무단(無端) 벨트가 가설(架設)되어 있어도 좋다.Moreover, in the process table of this invention, an endless belt may be temporarily installed in the said conveyance roller between the drive rollers installed below the bottom face of the said surface plate.
이 구성에 의하면, 반송 롤러의 구동원(驅動源)을 정반의 아래쪽에 배치할 수 있어, 격납 구멍이 필요 이상으로 커지지 않고, 정반이 가공물을 지지하는 면적이 작아지지 않으므로, 가공물이 안정된다.According to this structure, the drive source of a conveyance roller can be arrange | positioned under a platen, a storage hole does not become larger than necessary, and the area which a platen supports a workpiece does not become small, and a workpiece | work is stabilized.
또한, 본 발명의 가공 테이블에 있어서, 상기 구동 롤러는, 1개의 모터에 의해 회전되도록, 서로 연결되어도 좋다.In the processing table of the present invention, the drive rollers may be connected to each other so as to be rotated by one motor.
이 구성에 의하면, 반송 롤러가 동기(同期)해서 회전하므로, 가공물을 안정적으로 반송할 수 있다.According to this structure, since a conveyance roller rotates synchronously, a workpiece can be conveyed stably.
또한, 본 발명의 가공 테이블에 있어서, 상기 복수의 반송 암을 상기 정반의 아래쪽에서 연결하는 프레임(frame)과, 상기 프레임을 승강(昇降)시키는 승강 기구를 구비해도 좋다.Moreover, in the process table of this invention, you may be provided with the frame which connects the said several conveyance arm below the said surface plate, and the lifting mechanism which raises and lowers the said frame.
이 구성에 의하면, 각각의 반송 암을 동시에 승강시킬 수 있어, 가공물의 반송과 탑재를 원활하게 실행할 수 있다.According to this structure, each conveyance arm can be raised and lowered simultaneously, and the conveyance and mounting of a workpiece can be performed smoothly.
또한, 본 발명의 가공 테이블에 있어서, 상기 프레임과 상기 정반과의 사이에, 상기 프레임의 상승 속도를 제한하는 쇼크 업소버(shock absorber)를 구비해도 좋다.In the processing table of the present invention, a shock absorber may be provided between the frame and the surface plate to limit the ascending speed of the frame.
이 구성에 의하면, 가공물이 반송 암의 승강에 의해 위치가 벗어나거나, 손상되는 것을 방지할 수 있다.According to this configuration, the workpiece can be prevented from being out of position or damaged by the lifting and lowering of the transfer arm.
또한, 본 발명의 가공 테이블에 있어서, 상기 가공 테이블은, 상기 탑재면에 개구하는 센서 구멍을 설치하고, 상기 센서 구멍 속에 상기 가공물의 위치를 확인하는 센서를 배치해도 좋다.Moreover, in the processing table of this invention, the said processing table may provide the sensor hole open to the said mounting surface, and may arrange | position the sensor which confirms the position of the said workpiece in the said sensor hole.
이 구성에 의하면, 가공물에 대해 정확하게 위치를 결정할 수 있다.According to this structure, a position can be determined correctly with respect to a workpiece.
이상과 같이, 본 발명에 의하면, 가공 테이블의 정반에 설치한 격납 구멍 속에, 상승 하강이 가능한 반송 롤러를 구비하는 반송 암을 배치함으로써, 가공물의 수취와 배출이 가능하게 되었다. 이것에 의해, 로봇 등의 설치가 불필요하게 되어, 공간 절약 및 저비용의 가공 설비가 실현 가능하게 되었다.As described above, according to the present invention, receiving and discharging of the workpiece can be achieved by disposing a conveying arm having a conveying roller capable of raising and lowering in a storage hole provided in the surface plate of the processing table. As a result, installation of a robot or the like becomes unnecessary, and space-saving and low-cost processing facilities can be realized.
여기서부터, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereafter, embodiment of this invention is described, referring drawings.
도 1에, 본 발명의 하나의 실시형태인 가공 테이블(1)을 나타낸다. 가공 테이블(1)은, 예를 들면 화강암제의 정반(2)을 구비하여, 정반(2)의 위쪽이 유리 기판(가공물)을 탑재해서 코팅 가공을 시행하기 위한 탑재면(3)으로 되어 있고, 탑재면(3)에는, 복수의 격납 구멍(4), 복수의 흡인 구멍(5) 및 복수의 센서 구멍(6)이 형성되어 있다.1, the processing table 1 which is one Embodiment of this invention is shown. The processing table 1 includes, for example, a
격납 구멍(4)은 탑재면(3)으로부터 저면으로 관통하고 있고, 그 내부에는, 각각, 상단에 수평축 주위로 회전 가능한 반송 롤러(7)가 설치된 반송 암(8)이 배치되어 있다. 흡인 구멍(5)은, 도시하지 않은 진공 펌프에 의해 진공 흡인되는 관로(管路)에 연통하고 있으며, 가공 시에, 탑재면(3)에 탑재한 유리 기판을 흡인해서 안정시키기 위한 것이다. 센서 구멍(6)의 내부에는, 광전(光電) 센서(9)가 배치되어 있어, 유리 기판의 위치를 확인할 수 있도록 되어 있다.The
도 2에, 격납 구멍(4) 속에 수용되어 있는 반송 암(8)과 그 지지 구조를 나타낸다. 각각의 반송 암(8)은, 정반(2)의 아래쪽에 배치되는 구형(矩形)의 프레 임(10)에 고정되어 있다.2, the
프레임(10)은, 정반(2)의 저면에 고정된 유체 실린더(승강 기구)(11)의 피스톤의 수축에 의해 상승하도록 되어 있다. 또한, 프레임(10)은, 각각 정반(2)의 저면에 수직으로 고정되는 슬라이딩(sliding) 축(12)을 따라 미끄럼 운동하는 리니어 슬라이더(linear slider)(13)와, 선단(先端)이 정반(2)의 저면에 맞닿는 복수의 쇼크 업소버(14)를 구비한다.The
프레임(10)은, 반송 암(8)의 아래쪽에 배치되는 복수의 구동 롤러(15)를 가지고 있고, 반송 롤러(7)와 구동 롤러(15)와의 사이에는, 원형 단면을 갖는 무단 벨트(16)가 가설되어 있다. 구동 롤러(15)는, 동일 축에 설치된 풀리(pulley)(17)와 함께 회전하도록 되어 있으며, 연결 축(18) 및 싱크로 벨트(synchro belt)(19)에 의해, 서로 접속되어, 모터(20)에 의해 동시에, 또한, 동일한 방향으로 회전되도록 이루어져 있다.The
본 실시형태에 있어서, 유체 실린더(11)를 수축하면, 도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 암(8)의 상단(반송 롤러(7))이 격납 구멍(4)으로부터 탑재면(3) 위로 돌출하지만, 유체 실린더(11)를 신장(伸長)하면, 도 3에 나타낸 바와 같이, 반송 롤러(7) 및 무단 벨트(16)가 탑재면(3)보다 아래쪽에 위치하도록, 반송 암(8)을 격납 구멍(4) 속에 완전히 격납하도록 되어 있다.In this embodiment, when the
가공 테이블(1)은, 도 4에 나타낸 바와 같이, 유체 실린더(11)를 수축해서 반송 롤러(7)를 탑재면(3)의 위쪽으로 돌출시키고, 모터(20)에 의해 무단 벨트(16)를 회전시킨 상태에서, 무단 벨트(16)의 회전 방향 상류 측에 인접하는 컨베이어 등으로부터 유리 기판(G)을 수취할 수 있다.As shown in FIG. 4, the processing table 1 contracts the
도 5에, 반송 암(8)의 상단의 상세를 나타낸다. 무단 벨트(16)는, 그 두께에 의해, 중앙이 반송 롤러(7)보다 위쪽으로 돌출하여, 유리 기판(G)의 하면을 지지한다. 유리 기판(G)은, 무단 벨트(16)의 회전에 의해, 수평 이동하여, 정반(2)의 위쪽을 수평 이동하게 된다.The detail of the upper end of the
가공 테이블(1)은, 광전 센서(9)에 의해 수평 이동해 온 유리 기판(G)의 위치를 감시하여, 무단 벨트(16)의 회전에 의해 유리 기판(G)이 소정의 위치에 도달하면, 모터(20)의 회전을 정지해서, 유리 기판(G)을 정지시킨다. 유리 기판(G)을 소정의 위치에 정지시켰다면, 가공 테이블(1)은, 유체 실린더(11)를 신장하여, 도 6에 나타낸 바와 같이, 반송 암(8)을 하강시켜서 격납 구멍(4)의 내부에 완전히 수용한다. 이것에 의해, 유리 기판(G)을 탑재면(3)에 맞닿도록 탑재하여, 흡인 구멍(5)으로부터 공기를 흡인함으로써, 도 7에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(G)을 탑재면(3) 중앙의 소정의 위치에 흡착한다.The processing table 1 monitors the position of the glass substrate G which has been horizontally moved by the
도시하지 않는 코터(coater)에 의해, 유리 기판(G)의 표면에 코팅 작업을 실시하면, 가공 테이블(1)은, 유체 실린더(11)를 수축하여 프레임(10)을 상승시켜, 반송 암(8)의 상단을 격납 구멍(4)으로부터 탑재면(3) 위로 돌출시킴으로써, 무단 벨트(16)가 유리 기판(G)의 하면에 맞닿아 유리 기판(G)을 들어올린다.When a coating operation is performed on the surface of the glass substrate G by a coater (not shown), the processing table 1 contracts the
이 때, 쇼크 업소버(14)는, 프레임(10)의 급격한 상승을 방지하여, 반송 암(8)이 유리 기판(G)에 빠른 속도로 충돌해서 유리 기판(G)을 충격에 의해 파손하거나, 반송 암(8)의 승강에 수반하는 진동에 의해 유리 기판(G)을 수평 방향에 위 치를 어긋나게 하거나 하는 것을 방지하고 있다.At this time, the shock absorber 14 prevents a sudden rise of the
이 상태에서, 모터(20)를 회전하면, 구동 롤러(15)가 일제히 회전을 시작하여, 모든 무단 벨트(16)가 동일한 방향으로 회전한다. 이것에 의해, 무단 벨트(16) 위에 놓여진 유리 기판(G)은, 무단 벨트(16)의 회전 방향으로 수평 이동하여, 인접하는 컨베이어 등으로 배출된다.In this state, when the
이상과 같이, 본 실시형태의 가공 테이블(1)은, 가공물인 유리 기판(G)을 반송할 수 있으므로, 로봇과 같은 수도(受渡)를 위한 대규모의 장치가 필요 없고, 그것을 위한 설치 공간이나 비용이 필요 없다.As mentioned above, since the processing table 1 of this embodiment can convey the glass substrate G which is a workpiece | work, there is no need for the large-scale apparatus for water supply like a robot, and the installation space and cost for it There is no need for this.
예를 들면, 도 8에 나타낸 바와 같이, 2개의 가공 테이블(1A, 1B)에서 유리 기판(G)에 상이한 가공을 계속해서 실시할 경우, 가공 테이블(1A)은, 공급 컨베이어(21)로부터 직접 유리 기판(G)을 수취해서 위치 결정할 수 있고, 가공한 유리 기판(G)을 가공 테이블(1B)에 대하여 송출할 수 있다. 마찬가지로, 가공 테이블(1B)은, 가공 테이블(1A)로부터 직접 유리 기판(G)을 수취해서 위치 결정할 수 있고, 가공한 유리 기판(G)을 배출 컨베이어(22)에 배출할 수 있다.For example, as shown in FIG. 8, when different processing is continued to glass substrate G by two processing tables 1A and 1B, the processing table 1A is directly from the
즉, 가공 테이블(1A, 1B)을 포함하는 제조 라인은, 예를 들면, 도 9에 나타내는 바와 같은, 로봇(32, 34, 36)을 필요로 하는 종래의 가공 테이블(33, 35)을 사용한 제조 라인에 비해서, 그 전장(全長)이 대폭적으로 짧아지게 된다.That is, the manufacturing line containing the processing tables 1A and 1B uses the conventional processing tables 33 and 35 which require the
본 실시형태에서는, 무단 벨트(16)가 유리 기판(G)에 맞닿지만, 반송 롤러(7)의 직경을 크게 하여, 반송 롤러(7)가 유리 기판(G)을 지지해서 반송하도록 해도 좋다. 또한, 각각의 반송 롤러(7)를 회전 구동하는 방법은, 본 실시형태와 같 은 싱크로 벨트(19)나 무단 벨트(16)를 이용하는 것 이외에, 회전축과 베벨 기어(bevel gear)의 조합 등, 어떠한 전동(轉動) 기구를 이용해도 좋다.In this embodiment, although the
도 1은 본 발명의 하나의 실시형태의 가공 테이블의 사시도.1 is a perspective view of a machining table of one embodiment of the present invention;
도 2는 도 1의 가공 테이블의 반송 암과 그 지지 구조를 나타내는 사시도.FIG. 2 is a perspective view showing a conveyance arm of the machining table of FIG. 1 and its supporting structure; FIG.
도 3은 반송 암을 격납한 도 1의 가공 테이블의 사시도.3 is a perspective view of the machining table of FIG. 1 in which a transport arm is stored;
도 4는 도 1의 가공 테이블이 유리 기판을 수취하는 모양을 나타내는 사시도.4 is a perspective view showing a state in which the processing table of FIG. 1 receives a glass substrate;
도 5는 도 1의 가공 테이블의 반송 암 돌출 시의 상세 부분 단면도.FIG. 5 is a detailed partial sectional view at the time of projecting the conveyance arm of the machining table of FIG. 1. FIG.
도 6은 도 1의 가공 테이블의 반송 암 격납 시의 상세 부분 단면도.FIG. 6 is a detailed partial sectional view at the time of conveyance arm storage of the machining table of FIG. 1; FIG.
도 7은 도 1의 가공 테이블의 유리 기판 가공 시의 사시도.The perspective view at the time of the glass substrate process of the process table of FIG.
도 8은 도 1의 가공 테이블을 이용한 제조 라인의 평면도.8 is a plan view of a production line using the machining table of FIG. 1.
도 9는 종래의 가공 테이블을 이용한 제조 라인의 평면도.9 is a plan view of a production line using a conventional machining table.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
1: 가공 테이블1: machining table
2: 정반(定盤)2: surface plate
3: 탑재면3: mounting surface
4: 격납 구멍4: containment hole
5: 흡인 구멍5: suction hole
6: 센서 구멍6: sensor hole
7: 반송 롤러7: conveying roller
8: 반송 암(arm)8: return arm
9: 광전(光電) 센서9: Photoelectric Sensor
10: 프레임(frame)10: frame
11: 유체 실린더(승강 기구)11: fluid cylinder (lift mechanism)
14: 쇼크 업소버(shock absorber)14: shock absorber
15: 구동 롤러15: drive roller
16: 무단(無端) 벨트16: endless belt
20: 모터20: motor
G: 유리 기판(가공물)G: glass substrate (workpiece)
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Families Citing this family (11)
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JP5383439B2 (en) * | 2009-11-06 | 2014-01-08 | スターテクノ株式会社 | XY plane cutting device |
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CN108002035B (en) * | 2017-11-29 | 2019-08-30 | 安徽蓝博玻璃有限公司 | A kind of original sheet glass conveying automatic aligning frame |
KR102033123B1 (en) * | 2017-12-15 | 2019-10-16 | 한국항공우주산업 주식회사 | Support unit for aircraft parts |
CN108705156B (en) * | 2018-05-31 | 2020-08-07 | 安徽三山机械制造有限公司 | Automatic go up interval formula gear machining equipment of unloading |
CN110103062A (en) * | 2019-05-31 | 2019-08-09 | 苏州经贸职业技术学院 | A kind of heavy industry board |
CN113665254A (en) * | 2021-08-03 | 2021-11-19 | 夏春意 | Automatic binding printer |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0550323A (en) * | 1991-08-23 | 1993-03-02 | Amada Metrecs Co Ltd | Plate conveyor positioner in plate finishing machine |
KR0134290Y1 (en) * | 1996-07-30 | 1999-03-20 | 정규수 | Equipment for transporting and absorbing the board in making light weighed partition board |
JPH1179388A (en) | 1997-09-16 | 1999-03-23 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | Glass sheet handling device |
KR100540632B1 (en) | 2003-06-27 | 2006-01-10 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Device for Cutting Glass Substrate in Manufacturing Process of Flat Type Display |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN87208521U (en) * | 1987-05-30 | 1987-12-31 | 秦皇岛市海港耀华玻璃机械厂 | Glass sheet conveyer |
DE4000106C1 (en) * | 1990-01-04 | 1991-01-24 | Zippe Gmbh U. Co, 6980 Wertheim, De |
-
2007
- 2007-01-25 JP JP2007014812A patent/JP4387416B2/en active Active
- 2007-08-30 TW TW096132245A patent/TWI341763B/en active
- 2007-09-20 CN CN2007101526175A patent/CN101229541B/en active Active
- 2007-10-09 KR KR1020070101365A patent/KR100900388B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0550323A (en) * | 1991-08-23 | 1993-03-02 | Amada Metrecs Co Ltd | Plate conveyor positioner in plate finishing machine |
KR0134290Y1 (en) * | 1996-07-30 | 1999-03-20 | 정규수 | Equipment for transporting and absorbing the board in making light weighed partition board |
JPH1179388A (en) | 1997-09-16 | 1999-03-23 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | Glass sheet handling device |
KR100540632B1 (en) | 2003-06-27 | 2006-01-10 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Device for Cutting Glass Substrate in Manufacturing Process of Flat Type Display |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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