KR101408008B1 - Air valve - Google Patents

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KR101408008B1 KR1020120150718A KR20120150718A KR101408008B1 KR 101408008 B1 KR101408008 B1 KR 101408008B1 KR 1020120150718 A KR1020120150718 A KR 1020120150718A KR 20120150718 A KR20120150718 A KR 20120150718A KR 101408008 B1 KR101408008 B1 KR 101408008B1
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Abstract

본 발명은 반도체 소자나 장치를 제조하기 위한 챔버의 포어라인(foreline) 등에 설치되어 챔버 내부의 가스를 외부로 배출하기 위한 에어 밸브에 관한 것이다. 본 발명에 따른 에어 밸브는 챔버 내부의 반응가스를 배출하기 위한 에어 밸브에 있어서, 유입구와 배출구가 형성되고, 내측에 밸브케이싱이 형성되며, 상측에 실린더가 결합되는 본체를 구비하고, 상기 실린더는 일측에 공기 유입을 위한 홀이 형성됨과 더불어 하측에 슬라이딩 홀이 형성되고, 상기 홀을 통해 유입되는 공압에 의해 길이방향을 따라 이동되는 피스톤과, 일단이 상기 피스톤에 고정 결합됨과 더불어 타측이 슬라이딩 홀을 통해 본체로 인입되는 로드를 구비하여 구성되며, 상기 본체 내부의 온도를 제어하는 제어부와, 상기 로드에 결합되는 밸브 축, 상기 밸브 축에 결합됨과 더불어 상기 밸브케이싱을 개폐하는 개폐판, 상기 개폐판에 대해 상기 실린더의 작동 방향과 반대 방향으로 구동력을 제공하는 리턴스프링, 상기 리턴스프링의 외측에 구비되는 벨로우즈 및, 상기 로드의 중앙에 삽입되어 설치됨 더불어 제어부로부터 공급되는 전력에 의해 발열하는 히터폴을 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an air valve for discharging gas inside a chamber to a foreline or the like of a chamber for manufacturing semiconductor devices or devices. An air valve according to the present invention is an air valve for discharging a reaction gas in a chamber. The air valve includes an inlet and an outlet, a valve casing formed on the inside thereof, and a body on which an upper cylinder is coupled. A piston having a hole for air inflow at one side thereof, a sliding hole formed at a lower side thereof, a piston moving along the longitudinal direction by pneumatic pressure introduced through the hole, and a piston having one end fixedly coupled to the piston, A valve shaft coupled to the rod, an opening / closing plate coupled to the valve shaft and opening / closing the valve casing, and an opening / closing valve coupled to the valve shaft, A return spring for providing a driving force in a direction opposite to the operating direction of the cylinder with respect to the plate, The bellows is provided in the side and, with the insert installed in the middle of the rod provided with a heater for heating pole by the power supplied from the control unit is characterized in that configured.

Description

에어 밸브{Air valve}Air valve

본 발명은 에어 밸브에 관한 것으로, 특히 반도체 소자나 장치를 제조하기 위한 챔버의 포어라인(foreline) 등에 설치되어 챔버 내부의 가스를 외부로 배출하기 위한 에어 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to an air valve, and more particularly to an air valve installed in a foreline or the like of a chamber for manufacturing a semiconductor device or an apparatus to discharge gas inside the chamber to the outside.

반도체 소자 또는 반도체 장치를 생산하는 경우에는 챔버 내부에 웨이퍼를 배치하고 여기에 각종 반응 가스 등을 주입하여 증착이나 에칭 등을 실행하게 된다. 그리고 하나의 제조 공정이 종료되면 챔버 내부의 가스를 외부로 배출하여 챔버 내부를 진공상태로 만든 후 다시 필요한 가스 등을 챔버 내부로 주입함으로써 다음 공정을 실행하게 된다.In the case of producing a semiconductor device or a semiconductor device, a wafer is placed in the chamber, and various reaction gases or the like are injected into the chamber to perform vapor deposition or etching. When one manufacturing process is completed, the gas in the chamber is discharged to the outside to make the inside of the chamber into a vacuum state, and then necessary gas is injected into the chamber to perform the next process.

챔버에 연결되어 챔버 내부의 가스를 외부로 배출하는 배기관, 이른 바 포어라인에는 배기 가스의 배출을 단속하기 위한 밸브가 설치된다. 이 밸브는 정상상태에서 열림상태로 유지되는 것과, 정상 상태에서 닫힘상태로 유지되는 것이 있다. 어떠한 것이든 이러한 밸브는 공압에 의해 그 작동상태가 전환된다.An exhaust pipe connected to the chamber for discharging the gas inside the chamber to the outside, and a valve for controlling the exhaust of the exhaust gas are installed in the foreline. The valve may remain in an open state in a steady state and may remain in a closed state in a steady state. Whatever the case, these valves are switched over by their pneumatic operation.

챔버 내부는 고온, 고압으로 유지된다. 특히 챔버 내부에서는 증착이나 에칭 등의 물리화학적인 반응이 지속적으로 진행되므로, 챔버로부터 외부로 배출되는 가스에는 다량의 가스 물질이 포함된다. 배기관에 구비되는 에어 밸브가 개방되면 챔버 내부에서 고온, 고압 상태로 존재하던 물질 가스가 배기관을 통해서 외부로 배출되는데, 이때 물질의 가스의 압력과 온도가 급격하게 낮아지게 된다. 그리고 이에 따라 배기 가스에 포함되어 있는 물질 가스, 예컨대 폴리머가 순간적으로 결정화되어 배기관의 내부와 에어 밸브에 부착된다. 이러한 현상이 반복적으로 진행되어 배기관이나 에어 밸브에 부착되는 물질의 양이 증가하게 되면 에어 밸브의 닫힘상태가 완벽하게 유지되지 못함으로써 챔버 내부의 반응가스가 외부로 누출되거나 챔버 내부가 완벽하게 진공상태를 유지하지 못하는 문제가 발생하게 된다. 이는 챔버 내부에서 제조하는 소자나 반도체 장치의 수율에 큰 영향을 미치게 된다.The inside of the chamber is kept at high temperature and high pressure. Particularly, since a physicochemical reaction such as deposition or etching is continuously performed inside the chamber, a large amount of gaseous substance is contained in the gas discharged from the chamber. When the air valve provided in the exhaust pipe is opened, the material gas existing in the high temperature and high pressure state in the chamber is discharged to the outside through the exhaust pipe. At this time, the pressure and the temperature of the material gas are drastically lowered. Then, the material gas contained in the exhaust gas, such as a polymer, is instantaneously crystallized and attached to the inside of the exhaust pipe and the air valve. If this phenomenon repeatedly increases and the amount of substance adhering to the exhaust pipe or the air valve increases, the closed state of the air valve can not be maintained completely, so that the reaction gas in the chamber leaks to the outside or the inside of the chamber is completely vacuumed A problem arises in that it can not be maintained. This greatly affects the yields of devices and semiconductor devices manufactured in the chamber.

상기한 문제를 해결하기 위해, 종래에는 에어 밸브의 몸체 외관에 히트 자켓을 설치하여 에어 밸브를 통해 배출되는 가스의 온도가 저하되는 것을 방지하는 시도가 있어 왔다. 그러나 이러한 방법은 히트 자켓으로부터 에어 밸브 내부로의 열전달 과정에서 많은 열손실이 발생되므로 에너지 낭비가 크다는 단점이 있고, 또한 에어 밸브 내부에 충분한 열을 공급하지 못하여 에어 밸브 내부에서 물질 가스가 결정화되어 부착되는 현상이 여전히 존재하는 문제가 있게 된다.In order to solve the above problem, there has been an attempt to prevent the temperature of the gas discharged through the air valve from being lowered by providing a heat jacket on the outer surface of the body of the air valve. However, this method is disadvantageous in that a large amount of heat loss is generated in the heat transfer process from the heat jacket to the inside of the air valve, and thus there is a disadvantage that the energy is wasted. Moreover, since the sufficient heat can not be supplied to the air valve, There is still a problem that the phenomenon of being "

본 발명은 상기한 사정을 감안하여 창출된 것으로서, 에어 밸브 내부의 온도를 일정 온도 이상으로 유지할 수 있도록 구성된 에어 밸브를 제공함에 그 기술적 목적이 있다.The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is a technical object of the present invention to provide an air valve configured to maintain a temperature inside an air valve at a predetermined temperature or higher.

상기 목적을 실현하기 위한 본 발명에 제1 관점에 따른 에어 밸브는 챔버 내부의 반응가스를 배출하기 위한 에어 밸브에 있어서, 유입구와 배출구가 형성되고, 내측에 밸브케이싱이 형성되며, 상측에 실린더가 결합되는 본체를 구비하고, 상기 실린더는 일측에 공기 유입을 위한 홀이 형성됨과 더불어 하측에 슬라이딩 홀이 형성되고, 상기 홀을 통해 유입되는 공압에 의해 길이방향을 따라 이동되는 피스톤과, 일단이 상기 피스톤에 고정 결합됨과 더불어 타측이 슬라이딩 홀을 통해 본체로 인입되는 로드를 구비하여 구성되며, 상기 본체 내부의 온도를 제어하는 제어부와, 상기 로드에 결합되는 밸브 축, 상기 밸브 축에 결합됨과 더불어 상기 밸브케이싱을 개폐하는 개폐판, 상기 개폐판에 대해 상기 실린더의 작동 방향과 반대 방향으로 구동력을 제공하는 리턴스프링, 상기 리턴스프링의 외측에 구비되는 벨로우즈 및, 상기 로드의 중앙에 삽입되어 설치됨 더불어 제어부로부터 공급되는 전력에 의해 발열하는 히터폴을 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.According to a first aspect of the present invention for realizing the above object, there is provided an air valve for discharging a reaction gas in a chamber, comprising: an inlet port and an outlet port; a valve casing formed on the inner side; Wherein the cylinder is provided with a hole for air inflow at one side thereof, a sliding hole formed at the lower side thereof, a piston moved along the longitudinal direction by pneumatic pressure introduced through the hole, And a rod that is fixedly coupled to the piston and that receives the other end of the rod into the main body through the sliding hole. The control unit controls the temperature inside the main body. The valve shaft is coupled to the rod. An opening and closing plate for opening and closing the valve casing, and a driving force for the opening and closing plate in a direction opposite to the operating direction of the cylinder A bellows provided on the outer side of the return spring, and a heater pole inserted in the center of the rod and generating heat by electric power supplied from the control unit.

또한 상기 본체의 외측에 내열 코팅이 형성된 것을 특징으로 한다.And a heat-resistant coating is formed on the outer side of the main body.

또한 상기 본체 내측에 테프론 코팅이 형성된 것을 특징으로 한다.And a Teflon coating is formed on the inner side of the body.

또한 본체의 외측벽에 히터패드가 추가로 삽입되어 설치된 것을 특징으로 한다.And a heater pad is additionally inserted into the outer wall of the main body.

또한 상기 본체 내부의 온도를 감지하기 위한 감지 수단을 추가로 포함하여 구성되고, 상기 제어수단은 상기 감지 수단의 감지 결과를 근거로 히터폴에 대한 전력 공급을 제어하는 것을 특징으로 한다.The control unit may further include a sensing unit for sensing a temperature inside the main body, and the control unit controls power supply to the heater pole based on a sensing result of the sensing unit.

또한 상기 본체 내부의 온도가 정상치를 벗어나는 경우에 경보 신호를 출력하는 경보 수단을 추가로 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.And an alarm means for outputting an alarm signal when the temperature inside the main body deviates from a normal value.

상기 목적을 실현하기 위한 본 발명에 제2 관점에 따른 에어 밸브는 챔버 내부의 반응가스를 배출하기 위한 에어 밸브에 있어서, 유입구와 배출구가 형성되고, 내측에 밸브케이싱이 형성되며, 상측에 실린더가 결합되는 본체와 차단판을 구비하고, 상기 실린더는 일측에 공기 유입을 위한 홀이 형성됨과 더불어 하측에 슬라이딩 홀이 형성되고, 상기 홀을 통해 유입되는 공압에 의해 길이방향을 따라 이동되는 피스톤과, 일단이 상기 피스톤에 고정 결합됨과 더불어 타측이 슬라이딩 홀을 통해 본체로 인입되는 로드를 구비하여 구성되며, 상기 본체 내부의 온도를 제어하는 제어부와, 상기 로드에 결합되는 밸브 축, 상기 밸브 축에 결합됨과 더불어 상기 밸브케이싱을 개폐하는 개폐판, 상기 개폐판에 대해 상기 실린더의 작동 방향과 반대 방향으로 구동력을 제공하는 리턴스프링, 상기 리턴스프링의 외측에 구비되는 벨로우즈, 상기 벨로우즈의 외측에 구비됨과 더불어 개폐판에 하측이 결합되는 차단파이프, 상기 차단파이프의 상측이 삽입됨과 더불어 슬라이딩 이동가능하게 홈이 형성된 차단판을 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.An air valve according to a second aspect of the present invention for realizing the above object is an air valve for discharging a reaction gas in a chamber, comprising an inlet port and an outlet port, a valve casing formed on the inside thereof, The piston having a body and a blocking plate, the cylinder having a hole for air inflow at one side thereof, a sliding hole formed at a lower side thereof, a piston moved along the longitudinal direction by pneumatic pressure introduced through the hole, And a rod which is fixedly coupled to the piston at one end thereof and whose other end is inserted into the main body through a sliding hole, the control unit controlling a temperature inside the main body, a valve shaft coupled to the rod, An opening / closing plate for opening / closing the valve casing, A bellows disposed outside the bellows, a shut-off pipe coupled to the open-close plate at a lower side thereof, and an upper side of the shut-off pipe inserted into the bellows, And a barrier plate formed thereon.

또한, 상기 차단판에 형성된 홈의 내주연 또는 외주연과 내주연 및 외주연에 오링이 구비된 것을 특징으로 한다.In addition, an O-ring is provided on the inner circumference or the outer circumference, the inner circumference and the outer circumference of the groove formed in the shield plate.

상기 목적을 실현하기 위한 본 발명에 제3 관점에 따른 에어 밸브는챔버 내부의 반응가스를 배출하기 위한 에어 밸브에 있어서, 유입구와 배출구가 형성되고, 내측에 밸브케이싱이 형성되며, 상측에 실린더가 결합되는 본체와 차단판을 구비하고, 상기 실린더는 일측에 공기 유입을 위한 홀이 형성됨과 더불어 하측에 슬라이딩 홀이 형성되고, 상기 홀을 통해 유입되는 공압에 의해 길이방향을 따라 이동되는 피스톤과, 일단이 상기 피스톤에 고정 결합됨과 더불어 타측이 슬라이딩 홀을 통해 본체로 인입되는 로드를 구비하여 구성되며, 상기 본체 내부의 온도를 제어하는 제어부와, 상기 로드에 결합되는 밸브 축, 상기 밸브 축에 결합됨과 더불어 상기 밸브케이싱을 개폐하는 개폐판, 상기 개폐판에 대해 상기 실린더의 작동 방향과 반대 방향으로 구동력을 제공하는 리턴스프링, 상기 리턴스프링의 외측에 구비되는 벨로우즈, 상기 벨로우즈의 외측에 구비됨과 더불어 개폐판에 하측이 결합되는 차단파이프, 상기 차단파이프의 상측이 삽입됨과 더불어 슬라이딩 이동가능하게 홈이 형성된 차단판, 상기 로드의 중앙에 삽입되어 설치됨 더불어 제어부로부터 공급되는 전력에 의해 발열하는 히터폴을 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.An air valve according to a third aspect of the present invention for realizing the above object is an air valve for discharging a reaction gas in a chamber, wherein an air inlet and an air outlet are formed, a valve casing is formed on the inner side, The piston having a body and a blocking plate, the cylinder having a hole for air inflow at one side thereof, a sliding hole formed at a lower side thereof, a piston moved along the longitudinal direction by pneumatic pressure introduced through the hole, And a rod which is fixedly coupled to the piston at one end thereof and whose other end is inserted into the main body through a sliding hole, the control unit controlling a temperature inside the main body, a valve shaft coupled to the rod, An opening / closing plate for opening / closing the valve casing, A bellows provided on the outer side of the return spring, a shut-off pipe provided on the outer side of the bellows and coupled to the open-close plate at a lower side thereof, and an upper side of the shut-off pipe is inserted, And a heater pole inserted in the center of the rod and generating heat by electric power supplied from the control unit.

상기한 구성으로 된 본 발명에 의하면, 밸브 축의 내부에 장착된 히터폴에 의해 밸브 본체 내부의 온도가 일정 온도로 유지되므로 챔버로부터 외부로 배출되는 반응가스 물질이 급속한 냉각에 의해 본체 내부에 부착되는 것이 최대한도로 억제된다.According to the present invention, since the temperature inside the valve body is maintained at a predetermined temperature by the heater pole mounted inside the valve shaft, the reaction gas material discharged from the chamber to the outside is attached to the inside of the body by rapid cooling Is suppressed as much as possible.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 에어 밸브의 단면도.
도 2는 도 1에 도시된 에어 밸브의 동작 상태도.1 is a sectional view of an air valve according to an embodiment of the present invention;
Fig. 2 is an operational state diagram of the air valve shown in Fig. 1. Fig.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 설명한다. 단, 이하에 설명하는 실시예는 본 발명의 하나의 바람직한 구현예를 예시적으로 나타낸 것으로서, 이러한 실시예의 예시는 본 발명의 권리범위를 제한하기 위한 것이 아니다. 본 발명은 그 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형시켜 실시할 수 있다.Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described with reference to the drawings. However, the embodiments described below are illustrative of one preferred embodiment of the present invention, and examples of such embodiments are not intended to limit the scope of the present invention. The present invention can be variously modified without departing from the technical idea thereof.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 밸브의 단면도이다.1 is a sectional view of a valve according to an embodiment of the present invention.

본 발명에 따른 에어 밸브는 본체(10)와, 본체(10)에 구비되어 밸브를 구동시키는 실린더(20) 및, 본체(10) 내부의 온도를 제어하기 위한 제어부(30)가 구비된다. 이때 제어부(30)는 본체(10)와 분리적으로 설치될 수 있다.The air valve according to the present invention includes a main body 10, a cylinder 20 provided in the main body 10 to drive the valve, and a control unit 30 for controlling the temperature inside the main body 10. At this time, the controller 30 may be installed separately from the main body 10.

본체(10)는 상측과 하측이 개구된 형상으로 형성된다. 또한 본체(10)의 일측에는 챔버(도시되지 않음)측과 결합되어 챔버로부터 배출되는 가스가 유입되는 유입구(11)가 형성되고, 하측에는 가스를 배출하기 위한 배출구(12)가 형성된다. 상기 배출구(12)의 상측에는 밸브에 의해 개폐되는 밸브케이싱(13)이 형성된다.The main body 10 is formed in a shape in which the upper side and the lower side are opened. An inlet port 11 is formed at one side of the main body 10 to be connected to a chamber (not shown) to receive gas discharged from the chamber, and a discharge port 12 for discharging gas is formed at a lower side. A valve casing (13) opened and closed by a valve is formed above the discharge port (12).

본체(10)의 유입구(11)와 배출구(12)의 사이에는 본체 내부의 압력을 조절하기 위한 압력 조절관(15)이 형성된다. 압력 조절관(15)에는 압력 조절관(15)을 개폐하기 위한 예컨대 솔레노이드 밸브(c)가 구비된다.Between the inlet port 11 and the outlet port 12 of the main body 10, a pressure control pipe 15 for regulating the pressure inside the main body 10 is formed. The pressure control pipe 15 is provided with a solenoid valve c for opening and closing the pressure control pipe 15, for example.

본체(10)의 외벽 내부에는 본체(10)에 일정 이상의 열을 가하기 위한 히터 패드(40) 구비된다. 히터 패드(40)는 도면에 자세히 도시하진 않았지만 예컨대 본체(10) 외부에 홈을 형성하고 여기에 히터 패드(40)와 전도액을 함께 삽입한 후 홈을 밀폐하는 방식으로 본체(10)에 설치된다.A heater pad 40 for applying a predetermined amount of heat to the main body 10 is provided in the outer wall of the main body 10. Although the heater pad 40 is not shown in detail in the drawing, for example, a groove is formed on the outside of the main body 10, and the heater pad 40 and the conductive liquid are inserted into the groove, do.

상기 본체(10)의 외측은 내열 코팅제로 코팅된다. 따라서, 밸브 내부의 열이 밸브 외부로 유출되지 않게 되어 밸브의 열로 인한 안전하고를 방지하게 된다.The outside of the body 10 is coated with a heat-resistant coating agent. Therefore, the heat inside the valve is not leaked to the outside of the valve, thereby preventing the safety due to the heat of the valve.

본체(10)의 상측에는 실린더(20)를 결합하기 위한 결합홈(16)이 형성된다. 이 결합홈(16)에는 밸브를 구동하기 위한 실린더(20)가 결합된다. 실린더(20)의 상측에는 밸브의 온도를 제어하기 위한 제어부(30)가 구비된다.On the upper side of the main body 10, an engaging groove 16 for engaging the cylinder 20 is formed. A cylinder 20 for driving the valve is coupled to the engagement groove 16. On the upper side of the cylinder 20, a control unit 30 for controlling the temperature of the valve is provided.

본체(10)와 실린더(20)의 사이에는 본체(10)로 유입된 가스가 실린더(20)측으로 유출되는 것을 방지하기 위한 차단판(50)이 형성된다. 차단판(50)의 중앙에는 로드(62)를 슬라이딩 삽입하기 위한 삽입 홀(50a)이 형성된다. 그리고, 차단판(50)의 하측에는 오링(o)이 결합된다. 오링(o)은 본체(10)내부의 가스가 실린더(20)측으로 유출되는 것을 확실하게 방지하기 위한 것이다.A blocking plate 50 is formed between the main body 10 and the cylinder 20 to prevent the gas flowing into the main body 10 from flowing out to the side of the cylinder 20. [ An insertion hole (50a) for slidingly inserting the rod (62) is formed at the center of the blocking plate (50). An o-ring (o) is coupled to the lower side of the blocking plate (50). The o-ring o is intended to reliably prevent the gas in the main body 10 from flowing out to the cylinder 20 side.

상기 차단판(50)의 하측에는 차단파이프(70)을 슬라이딩 가능하게 결합하기 위한 홈(50b)가 형성된다.Below the blocking plate 50, there is formed a groove 50b for slidably coupling the blocking pipe 70.

상기 홈(50b)의 내부에는 외주연과 내주연에 오링(o)이 구비된다. 상기 오링(o)은 차단파이프(70)을 밀폐 하기 위해 구비된 것이다.An o-ring (o) is provided in the outer circumference and the inner circumference of the groove (50b). The o-ring (o) is provided to seal the shut-off pipe (70).

실린더(20)의 하측에는 실린더(20)를 본체(10)에 결합하기 위한 결합돌기(21)가 형성된다. 그리고, 실린더(20)의 하측에는 로드(62)를 슬라이딩 가능하게 삽입하기 위한 슬라이딩 홀(20a)이 형성된다. A coupling protrusion 21 for coupling the cylinder 20 to the main body 10 is formed on the lower side of the cylinder 20. Below the cylinder 20, a sliding hole 20a for slidably inserting the rod 62 is formed.

실린더(20)의 일측에는 실린더(20)를 동작시키기 위한 공기를 유입하는 홀(20b)이 형성된다. 이 홀(20b)에는 실린더(20) 내부로 유입되는 공기를 조절하기 위한 예컨대 솔레노이드 밸브(c)가 구비된다.On one side of the cylinder 20, a hole 20b for introducing air for operating the cylinder 20 is formed. The hole 20b is provided with, for example, a solenoid valve c for regulating the air flowing into the cylinder 20.

실린더(20)의 내부에는 피스톤(61)이 구비되고, 이 피스톤(61)은 로드(62)에 고정 결합 된다. 상기 피스톤(61)의 외측에는 피스톤링(p)이 구비된다.A piston (61) is provided inside the cylinder (20), and the piston (61) is fixedly coupled to the rod (62). A piston ring (p) is provided on the outer side of the piston (61).

상기 로드(62)는 실린더(20)에 형성된 슬라이딩 홀(20a)에 삽입된 후 차단판(50)에 형성된 삽입 홀(50a)에 인입된다. 그리고 상기 인입된 로드(62)의 끝단은 밸브 축(63)과 결합된다.The rod 62 is inserted into the sliding hole 20a formed in the cylinder 20 and then inserted into the insertion hole 50a formed in the blocking plate 50. [ And the end of the drawn rod 62 is engaged with the valve shaft 63.

상기 로드(62)의 중앙에는 히터폴(67)을 삽입하기 위한 홈(62a)이 형성된다. 이 홈(62a)에는 히터폴(67)이 삽입된다. 상기 히터폴(67)은 외부로부터 전기가 공급되면 발열을 하는 발열체로 구성되고, 이 히터폴(67)로 공급되는 전기량은 제어부(30)에 의해 제어된다.A groove 62a for inserting the heater pawl 67 is formed at the center of the rod 62. A heater pole 67 is inserted into the groove 62a. The heater pole 67 is composed of a heating element that generates heat when electricity is supplied from the outside. The amount of electricity supplied to the heater pole 67 is controlled by the controller 30.

상기 로드(62)의 상측에는 온도센서(68)가 구비된다. 온도센서(68)는 제어부(30)에 연결된다. 제어부(30)는 온도센서(68)로 밸브 내부의 온도를 실시간으로 체크하여 밸브의 온도가 일정 온도 이하로 낮아지게 되면 히터폴(67)에 전력을 공급하여 밸브의 온도를 상승시키는 방법을 통해 밸브의 온도를 일정하게 유지한다.A temperature sensor 68 is provided above the rod 62. The temperature sensor 68 is connected to the control unit 30. The control unit 30 checks the temperature inside the valve in real time by the temperature sensor 68 and supplies the electric power to the heater pole 67 to raise the temperature of the valve when the temperature of the valve becomes lower than a predetermined temperature Keep the temperature of the valve constant.

상기 밸브 축(63)의 종단에는 밸브케이싱(13)을 개폐시키기 개폐판(64)이 구비된다. 개폐판(64)의 하측에는 오링(o)이 구비된다.An opening / closing plate 64 for opening / closing the valve casing 13 is provided at an end of the valve shaft 63. An o-ring (o) is provided under the opening / closing plate (64).

개폐판(64)과 차단판(50)의 사이에는 리턴스프링(65)이 구비된다. 리턴스프링(65)은 개폐판(64)에 대해 하측, 즉 밸브케이싱(13)측으로 탄성력을 제공하는 탄성스프링으로 구성된다. 따라서, 실린더(20)내부로 공기 압력이 제공되지 않는 상태에서는 리턴스프링(65)에 의해 개폐판(64)은 밸브캐이싱(13)에 밀착 고정된다.A return spring 65 is provided between the opening / closing plate 64 and the blocking plate 50. The return spring 65 is composed of an elastic spring that provides an elastic force to the lower side of the opening / closing plate 64, that is, toward the valve casing 13 side. Therefore, when the air pressure is not supplied into the cylinder 20, the opening / closing plate 64 is tightly fixed to the valve casing 13 by the return spring 65.

리턴스프링(65)의 외측에는 벨로우즈(bellows: 66)가 구비된다. 벨로우즈(66)는 차단판(50)과 개폐판(64)에 밀폐 결합된다. 벨로우즈(66)는 밸브 축(63)과 로드(62)를 밀폐하여 밸브로 유입된 반응 가스가 실린더(20)로 유입되는 것을 방지하기 위한 것이다.A bellows 66 is provided on the outer side of the return spring 65. The bellows 66 is hermetically coupled to the blocking plate 50 and the opening / closing plate 64. The bellows 66 seals the valve shaft 63 and the rod 62 to prevent the reaction gas introduced into the valve from flowing into the cylinder 20. [

또한 바람직하게는 벨로우즈(66)와 개폐판(64) 및 본체(10) 내부에는 테프론 코팅막이 형성된다. 테프론 코팅막은 증착 물질이 벨로우즈(66)와 개폐판(64) 및 본체(10) 내부에 부착되는 것을 억제하기 위한 기능을 제공한다.Preferably, a Teflon coating film is formed on the bellows 66, the opening and closing plate 64, and the body 10. The Teflon coating film provides a function for suppressing deposition of the deposition material inside the bellows 66, the open / close board 64, and the main body 10.

상기 벨로우즈(66)의 외측에는 차단파이프(70)이 구비된다. 상기 차단파이프(70)은 개폐판(64)에 고정된다.A blocking pipe 70 is provided outside the bellows 66. The shut-off pipe (70) is fixed to the opening / closing plate (64).

상기 차단파이프(70)의 상측은 차단판(50)에 형성된 홈(50b)에 삽입되어 개폐판(64)의 상하 이동에 따라 슬라이딩 이동된다.The upper side of the shut-off pipe 70 is inserted into the groove 50b formed in the shut-off plate 50 and is slidably moved in accordance with the upward / downward movement of the open /

상기 차단파이프(70)은 벨로우즈(66)의 표면에 폴리머가 증착되는 것을 방지하기 위해 구비된 것이다.The blocking pipe 70 is provided to prevent deposition of polymer on the surface of the bellows 66.

제어부(30)는 전원을 공급하기 위한 위한 전원부(32)를 구비하고, 제어부(30)의 외측에는 밸브의 현재의 상태를 표시하기 위한 디스플레이(31)가 구비된다.The control unit 30 includes a power supply unit 32 for supplying power and a display 31 for indicating the current state of the valve is provided outside the control unit 30. [

제어부(30)는 실린더(20)에 구비된 온도센서(68)를 센싱하여 히터폴(67)을 작동시키는 방법을 통해 밸브 내부의 온도를 일정 온도로 유지시키는 기능을 한다. 또한 제어부(30)에는 히터폴(67)에 이상이 발생되어 밸브 내부의 온도가 정해진 온도 이하로 떨어지거나 과도하게 높아지게 되면 경보음 등을 출력하기 위한 경보장치가 구비될 수 있다.The control unit 30 functions to maintain the temperature inside the valve at a predetermined temperature by sensing the temperature sensor 68 provided in the cylinder 20 and operating the heater pole 67. Also, the controller 30 may be provided with an alarm device for outputting an alarm sound when an abnormality occurs in the heater pole 67 and the temperature inside the valve falls below a predetermined temperature or becomes excessively high.

도 2는 도 1에 도시된 밸브의 동작 상태를 설명하기 위한 도면이다.FIG. 2 is a view for explaining the operation state of the valve shown in FIG. 1. FIG.

챔버를 이용하여 반도체 소자 또는 반도체 장치를 제조하는 경우, 제어부(30)는 히터폴(67)과 히터패드(40)를 제어함으로써 밸브의 온도를 일정 온도 이상으로 유지시킨다.When the semiconductor device or the semiconductor device is manufactured by using the chamber, the controller 30 controls the heater pawl 67 and the heater pad 40 to maintain the temperature of the valve at a predetermined temperature or higher.

우선, 챔버 내부에 반응가스를 유입하여 제조공정을 실행하는 경우에는 실린더(20) 내부로 공압이 제공되지 않게 된다. 따라서 이 경우에는 리턴스프링(65)에 의해 개폐판(64)이 밸브캐이싱(13)에 밀착되어 밸브는 닫힌 상태로 유지된다.First, when the reaction gas is introduced into the chamber and the manufacturing process is performed, no pneumatic pressure is supplied to the inside of the cylinder 20. Therefore, in this case, the return spring 65 brings the opening / closing plate 64 into close contact with the valve casing 13, and the valve is kept closed.

이어, 하나의 제조공정이 완료되어 챔버 내부의 반응가스를 외부로 배출하는 경우에는 솔레노이드 밸브(c)가 작동되어 외부, 즉 콤프레셔로부터의 공압이 홀(20b)을 통해 실린더(20) 내부로 유입된다. 외부 공압이 유입되면 실린더(20)의 피스톤(61)이 상측으로 이동하게 되고, 이에 따라 피스톤(61)과 결합된 로드(62)와 로드(62)에 결합된 밸브 축(63)이 상측으로 이동하게 된다. 그리고, 밸브 축(63)에 결합 된 개폐판(64)과 차단파이프(70)이 상측으로 이동되면서 밸브캐이싱(13)이 개방되게 된다. 따라서 챔버 내부의 반응가스는 본체(10)의 유입구(11)를 통해 유입된 후 배출구(12)를 통해 배출된다.Then, when one of the manufacturing processes is completed and the reaction gas inside the chamber is discharged to the outside, the solenoid valve (c) is operated so that the air from the outside, that is, the compressor, flows into the cylinder (20) through the hole do. The piston 61 of the cylinder 20 is moved upward so that the rod 62 coupled with the piston 61 and the valve shaft 63 coupled to the rod 62 move upward . The opening and closing plate 64 coupled to the valve shaft 63 and the shutoff pipe 70 are moved upward to open the valve casing 13. Therefore, the reaction gas inside the chamber is introduced through the inlet 11 of the main body 10 and then discharged through the outlet 12.

특히 이러한 상황에서 밸브 내부의 온도는 로드(62)에 구비된 히터폴(67)에 의해 일정하게 유지된다. 따라서, 밸부 내부로 유입된 반응가스의 온도가 급격하게 낮아지는 것이 방지됨으로써 반응가스 물질이 결정화 되어 차단파이프(70) 및 개폐판(64), 밸브케이싱(13) 등에 부착되는 것이 최소한으로 억제된다.Particularly in such a situation, the temperature inside the valve is kept constant by the heater pole 67 provided on the rod 62. Accordingly, the temperature of the reaction gas introduced into the valve portion is prevented from being drastically lowered, so that the reaction gas material is crystallized to be minimally adhered to the shut-off pipe 70, the opening / closing plate 64, the valve casing 13, .

챔버내의 가스 배출이 종료되면, 솔레노이드 밸브(c)가 작동되어 실린더(20)에 대한 공압 공급이 종료된다. 이에 따라 실린더(20) 내부의 공압이 낮아지게 되면 리턴스프링(65)에 의해 개폐판(64)이 하측으로 이동하여 밸브케이싱(13)에 밀착됨으로써 밸브케이싱(13)이 닫히게 된다.When the discharge of the gas in the chamber is completed, the solenoid valve (c) is operated to terminate the pneumatic supply to the cylinder (20). Accordingly, when the air pressure inside the cylinder 20 is lowered, the opening / closing plate 64 moves downward by the return spring 65 and is brought into close contact with the valve casing 13, thereby closing the valve casing 13.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 밸브 축(63)의 내부에 장착된 히터폴(67)에 의해 밸브 본체(10) 내부의 온도가 일정 온도로 유지되므로 챔버로부터 외부로 배출되는 반응가스 물질이 급속한 냉각에 의해 본체(10) 내부에 부착되는 것이 최대한도로 억제된다.As described above, according to the present invention, since the temperature inside the valve body 10 is maintained at a predetermined temperature by the heater pole 67 mounted inside the valve shaft 63, the reaction gas material discharged from the chamber to the outside It is possible to suppress the attachment to the inside of the main body 10 by the rapid cooling as much as possible.

또한, 차단파이프(70)에 의해 벨로우즈(66)의 표면에 반응가스 물질이 부착되는 것이 방지되게 된다.In addition, the blocking pipe 70 prevents the reaction gas material from adhering to the surface of the bellows 66. [

이상으로 본 발명에 따른 실시예를 설명하였다. 그러나, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 다양하게 변형시켜 실시할 수 있다.The embodiments according to the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made without departing from the technical spirit of the present invention.

예를 들어, 상술한 실시예에 있어서는 리턴스프링(65)에 의해 평상 상태에서 열림상태로 유지되는 에어 밸브를 예로 들어 설명하였으나, 본 발명은 평상 상태에서 닫힘상태로 유지되는 에어 밸브에도 동일한 방식으로 적용할 수 있다.For example, in the above-described embodiment, the air valve is held in the open state by the return spring 65. However, the present invention is also applicable to an air valve that is maintained in a closed state in a normal state Can be applied.

10: 본체, 20 : 실린더, 30 : 제어부, 40 : 히터패드, 70 : 차단파이프,The present invention relates to a control apparatus for an internal combustion engine,

Claims (15)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 챔버 내부의 반응가스를 배출하기 위한 에어 밸브에 있어서,
유입구와 배출구가 형성되고, 내측에 밸브케이싱이 형성되며, 상측에 실린더가 결합되는 본체와 차단판을 구비하고,
상기 실린더는 일측에 공기 유입을 위한 홀이 형성됨과 더불어 하측에 슬라이딩 홀이 형성되고, 상기 홀을 통해 유입되는 공압에 의해 길이방향을 따라 이동되는 피스톤과, 일단이 상기 피스톤에 고정 결합됨과 더불어 타측이 슬라이딩 홀을 통해 본체로 인입되는 로드를 구비하여 구성되며,
상기 본체 내부의 온도를 제어하는 제어부와,
상기 로드에 결합되는 밸브 축,
상기 밸브 축에 결합됨과 더불어 상기 밸브케이싱을 개폐하는 개폐판,
상기 개폐판에 대해 상기 실린더의 작동 방향과 반대 방향으로 구동력을 제공하는 리턴스프링,
상기 리턴스프링의 외측에 구비되는 벨로우즈,
상기 벨로우즈의 외측에 구비됨과 더불어 개폐판에 하측이 결합되는 차단파이프,
상기 차단파이프의 상측이 삽입됨과 더불어 슬라이딩 이동가능하게 홈이 형성된 차단판을 구비하여 구성된 것을 특징으로하는 에어 밸브.An air valve for discharging a reaction gas in a chamber,
A valve body having an inlet and an outlet, a valve casing formed on an inner side thereof, a body having a cylinder on an upper side thereof, and a blocking plate,
Wherein the cylinder has a hole for air inflow at one side thereof, a sliding hole formed at a lower side thereof, a piston moved along the longitudinal direction by pneumatic pressure introduced through the hole, and a piston having one end fixedly coupled to the piston, And a rod which is inserted into the body through the sliding hole,
A control unit for controlling a temperature inside the main body,
A valve stem coupled to the rod,
An opening / closing plate coupled to the valve shaft and opening / closing the valve casing,
A return spring for providing a driving force to the opening / closing plate in a direction opposite to the operating direction of the cylinder,
A bellows provided outside the return spring,
A shut-off pipe provided on the outside of the bellows and coupled to the open / close plate on the lower side,
And a shutoff plate having an upper portion of the shut-off pipe inserted therein and a slidable groove formed therein for sliding movement. 제 7항에 있어서,
상기 차단판에 형성된 홈의 내주연 또는 외주연과 내주연 및 외주연에 오링이 구비된 것을 특징으로 하는 에어 밸브.8. The method of claim 7,
Wherein an O-ring is provided on an inner circumference or an outer circumference, an inner circumference and an outer circumference of a groove formed in the shield plate. 챔버 내부의 반응가스를 배출하기 위한 에어 밸브에 있어서,
유입구와 배출구가 형성되고, 내측에 밸브케이싱이 형성되며, 상측에 실린더가 결합되는 본체와 차단판을 구비하고,
상기 실린더는 일측에 공기 유입을 위한 홀이 형성됨과 더불어 하측에 슬라이딩 홀이 형성되고, 상기 홀을 통해 유입되는 공압에 의해 길이방향을 따라 이동되는 피스톤과, 일단이 상기 피스톤에 고정 결합됨과 더불어 타측이 슬라이딩 홀을 통해 본체로 인입되는 로드를 구비하여 구성되며,
상기 본체 내부의 온도를 제어하는 제어부와,
상기 로드에 결합되는 밸브 축,
상기 밸브 축에 결합됨과 더불어 상기 밸브케이싱을 개폐하는 개폐판,
상기 개폐판에 대해 상기 실린더의 작동 방향과 반대 방향으로 구동력을 제공하는 리턴스프링,
상기 리턴스프링의 외측에 구비되는 벨로우즈,
상기 벨로우즈의 외측에 구비됨과 더불어 개폐판에 하측이 결합되는 차단파이프,
상기 차단파이프의 상측이 삽입됨과 더불어 슬라이딩 이동가능하게 홈이 형성된 차단판,
상기 로드의 중앙에 삽입되어 설치됨 더불어 제어부로부터 공급되는 전력에 의해 발열하는 히터폴을 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 에어 밸브.An air valve for discharging a reaction gas in a chamber,
A valve body having an inlet and an outlet, a valve casing formed on an inner side thereof, a body having a cylinder on an upper side thereof, and a blocking plate,
Wherein the cylinder has a hole for air inflow at one side thereof, a sliding hole formed at a lower side thereof, a piston moved along the longitudinal direction by pneumatic pressure introduced through the hole, and a piston having one end fixedly coupled to the piston, And a rod which is inserted into the body through the sliding hole,
A control unit for controlling a temperature inside the main body,
A valve stem coupled to the rod,
An opening / closing plate coupled to the valve shaft and opening / closing the valve casing,
A return spring for providing a driving force to the opening / closing plate in a direction opposite to the operating direction of the cylinder,
A bellows provided outside the return spring,
A shut-off pipe provided on the outside of the bellows and coupled to the open / close plate on the lower side,
A shield plate having an upper portion of the cut-off pipe inserted therein,
And a heater pole inserted in the center of the rod and generating heat by electric power supplied from a control unit. 제 9항에 있어서,
상기 본체의 외측에 내열 코팅이 형성된 것을 특징으로 하는 에어 밸브.10. The method of claim 9,
Wherein a heat-resistant coating is formed on an outer side of the main body. 제 9항에 있어서,
상기 본체 내측에 테프론 코팅이 형성된 것을 특징으로 하는 에어 밸브.10. The method of claim 9,
Wherein a Teflon coating is formed on the inside of the main body. 제 9항에 있어서,
본체의 외측벽에 히터패드가 추가로 삽입되어 설치된 것을 특징으로 하는 에어 밸브.10. The method of claim 9,
And a heater pad is additionally inserted into the outer wall of the main body. 제 9항에 있어서,
상기 본체 내부의 온도를 감지하기 위한 감지 수단을 추가로 포함하여 구성되고,
상기 제어부는 상기 감지 수단의 감지 결과를 근거로 히터폴에 대한 전력 공급을 제어하는 것을 특징으로 하는 에어 밸브.10. The method of claim 9,
And sensing means for sensing a temperature inside the main body,
Wherein the controller controls power supply to the heater pole based on the detection result of the sensing unit. 제 13항에 있어서,
상기 본체 내부의 온도가 정상치를 벗어나는 경우에 경보 신호를 출력하는 경보 수단을 추가로 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 에어 밸브.14. The method of claim 13,
And an alarm means for outputting an alarm signal when the temperature inside the main body deviates from a normal value. 제 9항에 있어서,
상기 차단판에 형성된 홈의 내주연 또는 외주연과 내주연 및 외주연에 오링이 구비된 것을 특징으로 하는 에어 밸브.10. The method of claim 9,
Wherein an O-ring is provided on an inner circumference or an outer circumference, an inner circumference and an outer circumference of a groove formed in the shield plate.
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