KR101403424B1

KR101403424B1 - A Sub-Chamber for Preventing Overpressure and Deposition Apparatus Having the Same

Info

Publication number: KR101403424B1
Application number: KR1020120126740A
Authority: KR
Inventors: 오영만
Original assignee: 주식회사 선익시스템
Priority date: 2012-11-09
Filing date: 2012-11-09
Publication date: 2014-06-03
Also published as: KR20140060082A

Abstract

본 발명은 압력 보조챔버 및 이를 포함한 증착장비에 관한 것으로서, 본 발명의 압력 보조챔버는 도가니의 상부에 연통되게 설치되는 보조챔버 본체와, 상기 보조챔버 본체의 상단 개구부를 개폐하는 셔터와, 상기 셔터를 개방 혹은 폐쇄하기 위한 구동수단과, 상기 보조챔버 본체의 내부에 상기 도가니에서 분출되는 증발 물질의 이동경로를 형성하기 위한 칸막이부를 포함하여 구성되며, 셔터가 닫힌 상태에서 도가니 내에서 증발되는 물질의 이동경로와 공간을 확보함으로써, 도가니 내의 압력이 높아지는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다. The present invention relates to a pressure assisting chamber and a deposition apparatus including the pressure assisting chamber. The pressure assisting chamber of the present invention comprises an auxiliary chamber body installed to communicate with an upper portion of a crucible, a shutter for opening and closing an upper opening of the auxiliary chamber body, And a partition for forming a path for moving the evaporation material ejected from the crucible inside the auxiliary chamber body, wherein the evaporation material is evaporated in the crucible in the closed state of the shutter, By securing the movement path and the space, it is possible to prevent the pressure in the crucible from increasing.

Description

[0001] The present invention relates to a pressure auxiliary chamber and a deposition apparatus including the auxiliary auxiliary chamber.

본 발명은 압력 보조챔버 및 이를 포함한 증착장비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 셔터가 닫힌 상태에서 도가니 내의 압력이 높아지는 것을 방지하기 위해 증발되는 물질이 이동하는 경로와 공간을 확보하는 압력 보조챔버 및 이를 포함한 증착장비에 관한 것이다.The present invention relates to a pressure assisting chamber and a deposition apparatus including the same, and more particularly, to a pressure assisting chamber for securing a passage and a space for moving a material to be evaporated in order to prevent a pressure in a crucible from increasing in a closed state of a shutter, And the like.

진공증착공정은 유기발광 디스플레이 소자의 박막을 제작할 때 주로 사용된다. 진공증착공정은 원료물질을 저장하고 있는 도가니를 가열하여, 원료물질 예를 들면 유기물을 증발시켜 증발된 유기물을 도가니의 상측에 위치한 기판에 제공하여 이를 기판상에 증착시키는 방법이다.Vacuum deposition process is mainly used when a thin film of an organic light emitting display device is manufactured. In the vacuum deposition process, a crucible storing a raw material is heated to evaporate a raw material, for example, an organic material, and the evaporated organic material is supplied to a substrate positioned on the upper side of the crucible and is deposited on the substrate.

진공증착공정에서 일반적으로 사용되는 대표적인 증발원은 증발된 원료가 한 점에서 분사되는 점증발원이다. 즉, 유기물이 저장된 점증발원을 기판에 대향 하도록 배치한다. 이후, 유기물을 저장한 점증발원을 가열하면, 상기 증발원으로부터 기화된 유기물이 한 점에서 분사되어 기판의 일면에 쌓이면서 박막을 형성한다.Typical evaporation sources commonly used in vacuum deposition processes are gradual sources where the evaporated material is ejected at one point. That is, the gradual source where the organic matter is stored is disposed so as to face the substrate. Thereafter, when the gradually increasing source storing the organic material is heated, the organic material vaporized from the evaporation source is sprayed at one point to be accumulated on one surface of the substrate to form a thin film.

하지만, 최근에는 기판이 대면적화됨에 따라, 점증발원으로 알려진 증발원 대신 대면적 기판에 형성되는 박막의 균일도가 확보되도록 선형증발원을 사용한다.However, in recent years, as the substrate becomes larger, a linear evaporation source is used so that the uniformity of the thin film formed on the large-area substrate is secured instead of the evaporation source known as the gradual source.

이와 같은 선형증발원은 물질을 담는 도가니부와, 노즐이 배열된 물질 분사부로 이루어지어 상기 도가니부를 가열하여 물질을 증발시키고 증발된 물질을 분사노즐을 통해 기판 쪽으로 분사한다. The linear evaporation source includes a crucible for holding a material and a material ejecting part for arranging nozzles, and the crucible is heated to evaporate the material, and the evaporated material is ejected toward the substrate through the ejection nozzle.

이 경우, 기판과 증발 장치 사이를 개폐하여 도가니로부터 증발 혹은 기화 물질이 증착용 기판까지 도달하는 경로를 필요 목적에 따라 차단하기 위한 셔터가 구비될 수 있다. In this case, a shutter may be provided for shutting off the path between the substrate and the evaporator to open or close the path from the crucible to evaporation or evaporation material to the evaporation donor substrate according to the purpose.

이와 관련된 종래의 기술로서, 등록특허 10-0974041호에는 기판과 증발 장치 사이에 셔터가 마련되어 증발된 유기물의 이동 경로를 제어하는 역할을 하는 구성이 개시되어 있다. As a conventional technique related thereto, Japanese Patent Application Laid-open No. 10-974041 discloses a structure in which a shutter is provided between a substrate and an evaporator to control the movement path of evaporated organic matter.

그러나, 상기와 같은 종래의 기술에서는 셔터가 닫힌 상태에서 도가니 내의 압력이 높아질 수 있고, 이 경우, 도가니 내의 증발 물질이 도가니와 셔터 사이의 틈으로 배출되는 문제점이 있었다. However, in the above conventional techniques, the pressure in the crucible can be increased in the closed state of the shutter. In this case, the evaporated material in the crucible is discharged through the gap between the crucible and the shutter.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 셔터가 닫힌 상태에서 도가니 내의 압력이 높아지는 것을 방지하기 위하여, 셔터가 닫힌 후 증발되는 물질이 이동하는 경로와 공간을 확보할 수 있는 압력 보조챔버를 제공하는데 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide an apparatus and a method for preventing a pressure in a crucible from being increased when a shutter is closed, The purpose of the chamber is to provide.

또한, 셔터가 닫힌 후 증발되는 물질이 이동하는 경로와 공간을 확보할 수 있는 압력 보조챔버가 구비된 증착장비를 제공하는데 그 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide a deposition apparatus equipped with a pressure assisting chamber capable of securing a path and space through which a material evaporated after a shutter is closed.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 도가니의 상부에 연통되게 설치되는 보조챔버 본체와, 상기 보조챔버 본체의 상단 개구부를 개폐하는 셔터와, 상기 셔터를 개방 혹은 폐쇄하기 위한 구동수단과, 상기 보조챔버 본체의 내부에 상기 도가니에서 분출되는 증발 물질의 이동경로를 형성하기 위한 칸막이부를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 보조챔버가 제공된다.According to an aspect of the present invention, there is provided an auxiliary chamber main body including an auxiliary chamber main body connected to an upper portion of a crucible, a shutter for opening and closing an upper opening of the auxiliary chamber main body, a driving means for opening or closing the shutter, And a partition for forming a path for the evaporation material to be ejected from the crucible in the auxiliary chamber main body.

본 발명에서, 상기 셔터는 상기 보조챔버 본체의 상면과 수평으로 놓이는 상단부와, 상기 상단부에서 직각으로 절곡되는 절곡부로 이루어지어, 'ㄱ'자형 단면형상으로 형성될 수 있다. In the present invention, the shutter may include an upper portion horizontally disposed on the upper surface of the auxiliary chamber body, and a bent portion bent perpendicularly to the upper portion, and may be formed in an A-shaped cross-sectional shape.

상기 셔터는 2개로 이루어지어, 상기 보조챔버 본체의 상단 개구부 양측에 설치될 수 있다. The shutters may be provided on both sides of the upper opening of the auxiliary chamber body.

또한, 상기 구동수단은 구동력을 발생시키는 동력발생부와, 상기 동력발생부에 수직으로 설치되어 동력발생부의 구동력에 의해 회동하는 샤프트와, 상기 샤프트의 상단에 직각방향으로 설치되어 상기 샤프트의 회동에 따라 소정의 각도로 회전운동하는 셔터 암(Shutter Arm)과, 상기 셔터의 상단부에 설치되고 상기 셔터 암의 이동을 안내하는 가이드 부재와, 상기 셔터 암의 선단부에 설치되고 상기 가이드 부재에 삽입되는 삽입부재를 포함할 수 있다. The driving unit may include a power generating unit generating a driving force, a shaft vertically installed in the power generating unit and rotating by a driving force of the power generating unit, and a shaft mounted perpendicularly to an upper end of the shaft, A shutter member installed at an upper end of the shutter and guiding the movement of the shutter arm; a shutter member provided at a front end portion of the shutter arm and inserted into the guide member; Member.

여기서, 상기 가이드 부재는 '└┘'자형으로 형성되어 상기 셔터 암의 이동을 직선이동으로 안내한다. Here, the guide member is formed in a '?' Shape to guide the movement of the shutter arm to a linear movement.

본 발명에서, 상기 가이드 부재는 상기 셔터에 2개가 마주보도록 설치되며, 상기 셔터 암도 각각의 가이드 부재에 설치되어 셔터를 좌우로 개폐할 수 있다. In the present invention, the guide member is provided to face the two shutters, and the shutter arm is also installed on each guide member, so that the shutter can be opened and closed to the left and right.

또한, 상기 가이드 부재는 상기 셔터에 1개가 설치되어 셔터를 좌우로 개폐할 수 있다. In addition, one guide member may be provided on the shutter so that the shutter can be opened and closed laterally.

본 발명에 있어서, 상기 샤프트와 셔터 암의 결합을 위한 결합핀이 더 설치될 수 있다. In the present invention, a coupling pin for coupling the shaft and the shutter arm may be further provided.

한편, 상기 칸막이부는 상기 셔터가 개방되는 경우, 상기 셔터의 절곡부에 접하는 수직 차단벽과, 상기 보조챔버 본체 내에서 지그재그 형태로 이동경로를 형성하는 복수개의 수평 차단판으로 이루어질 수 있다. The partitioning part may include a vertical blocking wall contacting the bent part of the shutter when the shutter is opened, and a plurality of horizontal blocking plates forming a moving path in a staggered manner in the auxiliary chamber body.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 증착장비는 공정이 진행되는 진공 챔버와, 상기 진공 챔버 내에 위치하여 증발 물질을 기판에 공급하는 도가니와, 상기 도가니의 상부에 설치되는 압력 보조챔버로서, 상기 도가니의 상부에 연통되게 설치되는 보조챔버 본체와, 상기 보조챔버 본체의 상단 개구부를 개폐하는 셔터와, 상기 셔터를 개방 혹은 폐쇄하기 위한 구동수단과, 상기 보조챔버 본체의 내부에 상기 도가니에서 분출되는 증발 물질의 이동경로를 형성하기 위한 칸막이부를 포함할 수 있다. According to another aspect of the present invention, there is provided a vapor deposition apparatus including a vacuum chamber in which a process is performed, a crucible positioned in the vacuum chamber to supply evaporation material to a substrate, A shutter for opening and closing an upper opening of the auxiliary chamber main body; a driving means for opening or closing the shutter; and a drive means for opening and closing the crucible, And a partition part for forming a path of movement of the evaporated material ejected from the evaporator.

상술한 바와 같은 본 발명에 의하면, 도가니의 상부에 별도의 보조챔버를 설치하고, 도가니에서 증발되는 물질이 이동가능한 경로와 공간을 확보함으로써, 셔터가 닫힌 상태에서 도가니 내의 압력이 높아지는 것을 방지할 수 있다. According to the present invention as described above, it is possible to provide a separate auxiliary chamber at the top of the crucible and to secure a path and a space through which substances evaporated in the crucible can move, thereby preventing the pressure in the crucible from increasing in the closed state of the shutter have.

도 1은 본 발명의 압력 보조챔버가 구비된 진공 챔버를 도시한 종단면도이다.
도 2는 본 발명의 압력 보조챔버의 일실시예 구성을 보인 평면도이다.
도 3은 본 발명의 셔터 구동수단의 구성을 보인 사시도이다.
도 4a 내지 도 4b는 본 발명의 일실시예에서, 셔터가 개폐되는 것을 보인 평면도이다.
도 5는 본 발명의 셔터가 폐쇄된 상태를 도시한 종단면도이다.
도 6a 내지 도 6b는 다른 실시예로서, 셔터가 개폐되는 것을 보인 평면도이다. 1 is a longitudinal sectional view showing a vacuum chamber provided with a pressure assisting chamber of the present invention.
2 is a plan view showing a configuration of an embodiment of the pressure assisting chamber of the present invention.
3 is a perspective view showing a configuration of the shutter driving means of the present invention.
4A to 4B are plan views showing that the shutter is opened and closed in one embodiment of the present invention.
5 is a longitudinal sectional view showing the shutter of the present invention in a closed state.
6A and 6B are plan views showing the shutter being opened and closed as another embodiment.

이하, 상기한 바와 같은 본 발명에 의한 압력 보조챔버 및 이를 포함한 증착장비의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the pressure assisting chamber and the deposition equipment including the same according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 압력 보조챔버가 구비된 진공 챔버를 도시한 종단면도이고, 도 2는 본 발명의 압력 보조챔버의 일실시예 구성을 보인 평면도이고, 도 3은 본 발명의 셔터 구동수단의 구성을 보인 사시도이다. FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a vacuum chamber provided with a pressure assisting chamber of the present invention, FIG. 2 is a plan view showing the construction of an embodiment of the pressure assisting chamber of the present invention, and FIG. 3 is a cross- FIG.

본 발명의 압력 보조챔버(100)는 기판(S)과 도가니(20) 사이에 설치되어 도가니(20) 내의 증발되는 물질이 이동하는 경로와 공간을 확보하는 것으로서, 도 1에 도시한 바와 같이, 진공 챔버(10)의 내부에 설치될 수 있다. The pressure assisting chamber 100 of the present invention is provided between the substrate S and the crucible 20 to secure a path and a space for moving the evaporated material in the crucible 20. As shown in Figure 1, And may be installed inside the vacuum chamber 10.

즉, 공정이 진행되는 진공 챔버(10) 내에 도가니(20)가 위치하고, 상기 도가니(20)의 상부에 압력 보조챔버(100)가 설치되어, 상기 도가니(20) 내의 증발 물질이 기판(S)에 증착될 때 상기 압력 보조챔버(100)를 통하여 기판(S)으로 갈 수 있도록 구성한다. That is, the crucible 20 is placed in the vacuum chamber 10 in which the process is performed, the pressure auxiliary chamber 100 is provided on the crucible 20, So that it can go to the substrate (S) through the pressure assisting chamber (100).

여기서, 상기 챔버(10)의 상부에는 기판(S)을 지지하는 기판 지지부(22)가 상기 도가니(20)와 대향되게 설치될 수 있으며, 기판 지지부(22)를 이동시키는 구동부(23)가 더 설치될 수 있다. A substrate supporting part 22 for supporting the substrate S may be installed on the upper part of the chamber 10 so as to face the crucible 20 and a driving part 23 for moving the substrate supporting part 22 Can be installed.

도면에는 도시하지 않았지만, 상기 챔버(10)에는 기판(S)이 인입 및 인출되는 기판 출입구 및 배기부 등이 포함될 수 있다. Although not shown in the drawing, the chamber 10 may include a substrate inlet and outlet through which the substrate S is drawn in and out, and a discharge unit.

그러나, 상술한 진공 챔버(10)의 각 구성은 본 발명의 압력 보조챔버(100)가 적용되는 실시예에 불과하며, 본 발명의 압력 보조챔버(100)는 도 1에서의 "상향식 증착" 방식의 진공 챔버 뿐 아니라, 대형화 추세에 따라 "하향식 증착" 진공 챔버 또는 "수직 증착" 진공 챔버에 적용될 수 있음은 물론이다. However, each constitution of the above-described vacuum chamber 10 is merely an embodiment in which the pressure-assisting chamber 100 of the present invention is applied, and the pressure-assisting chamber 100 of the present invention is a "bottom-up evaporation" Quot; vacuum deposition chamber "vacuum chamber or a" vertical deposition "vacuum chamber, depending on the trend toward larger size.

본 발명의 압력 보조챔버(100)는 상기 도가니(20)의 상부에 연통되게 설치되는 보조챔버 본체(110)와, 상기 보조챔버 본체(110)의 상단 개구부를 개폐하는 셔터(120)를 포함한다. The pressure auxiliary chamber 100 of the present invention includes an auxiliary chamber main body 110 communicating with an upper portion of the crucible 20 and a shutter 120 opening and closing an upper opening of the auxiliary chamber main body 110 .

상기 보조챔버 본체(110)는 상기 도가니(20)의 상부에 설치되어 상기 셔터(120)가 닫혔을 때 도가니(20) 내부의 원료 물질이 이동하는 경로와 공간을 마련하기 위한 것으로, 상기 도가니(20)와 나사체결 또는 끼움결합 방식으로 결합될 수 있다. The auxiliary chamber main body 110 is provided at an upper portion of the crucible 20 to provide a path and space for moving the raw material in the crucible 20 when the shutter 120 is closed, 20 in a screwed or fitting manner.

상기 셔터(120)는 도 1에서 보는 바와 같이, 상기 보조챔버 본체(110)의 상면과 수평으로 놓이는 상단부와, 상기 상단부에서 직각으로 절곡되는 절곡부로 이루어지어, 'ㄱ'자형 단면형상으로 형성된다. As shown in FIG. 1, the shutter 120 is formed in an A-shaped cross-section having an upper end positioned horizontally to the upper surface of the auxiliary chamber body 110 and a bent portion bent at a right angle at the upper end .

이와 같은 셔터(120)는 2개로 이루어지어, 상기 보조챔버 본체(110)의 상단 개구부 양측에 설치된다. 본 발명의 실시예에서는 상기 셔터(120)가 2개로 이루어지어 좌우로 개폐되는 것을 도시하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 1개의 셔터로 이루어지어 상기 보조챔버 본체(110)의 상단 개구부를 개폐하도록 이루어질 수 있다.Two such shutters 120 are provided on both sides of the upper opening of the auxiliary chamber body 110. The present invention is not limited to this, and may include a single shutter to open / close the upper opening of the auxiliary chamber main body 110, .

상기 셔터(120)가 상기 보조챔버 본체(110)의 상단 개구부를 개폐하도록 하기 위해, 상기 셔터(120)를 개방 혹은 폐쇄하기 위한 구동수단이 구비된다. In order to allow the shutter 120 to open and close the upper opening of the auxiliary chamber body 110, driving means for opening or closing the shutter 120 is provided.

본 발명에서 상기 구동수단의 일실시예를 도 3에 도시하였다. An embodiment of the driving means in the present invention is shown in Fig.

도면에서 보는 바와 같이, 상기 구동수단은 구동력을 발생시키는 동력발생부(128)와, 상기 동력발생부(128)에 수직으로 설치되어 동력발생부(128)의 구동력에 의해 회동하는 샤프트(126)와, 상기 샤프트(126)의 상단에 직각방향으로 설치되어 상기 샤프트(126)의 회동에 따라 소정의 각도로 회전운동하는 셔터 암(Shutter Arm)(124)과, 상기 셔터 암(124)의 선단부에 설치되는 삽입부재(124a)를 포함한다. As shown in the drawing, the driving means includes a power generating portion 128 generating a driving force, a shaft 126 vertically installed in the power generating portion 128 and rotated by a driving force of the power generating portion 128, A shutter arm 124 installed at a right angle to the upper end of the shaft 126 and rotating in a predetermined angle in accordance with rotation of the shaft 126, As shown in Fig.

이와 같은 구동수단은 상기 동력발생부(128)에서 동력이 발생되면, 상기 샤프트(126)가 회동하고, 그 회동에 의해 상기 셔터 암(124)이 소정의 각도로 회동하면서 셔터(120)를 개폐하는 것으로, 상기 셔터 암(124)의 회동에 의해 셔터(120)가 개폐되도록 상기 셔터(120)의 상단부에는 상기 셔터 암(124)의 이동을 안내하기 위한 가이드 부재(122)가 설치되며, 상기 삽입부재(124a)가 상기 가이드 부재(122)에 삽입되어, 상기 삽입부재(124a)가 상기 가이드 부재(122)에 삽입된 상태에서 상기 셔터 암(124)이 소정의 각도로 회동하면 상기 가이드 부재(122)를 따라 슬라이딩 이동하며, 셔터(120)를 개폐시키는 것이다. When the power is generated by the power generating unit 128, the shaft 126 rotates and the shutter arm 124 rotates at a predetermined angle to rotate the shutter 120, A guide member 122 for guiding the movement of the shutter arm 124 is installed at the upper end of the shutter 120 so that the shutter 120 is opened and closed by the rotation of the shutter arm 124, When the insertion member 124a is inserted into the guide member 122 and the shutter member 124 is rotated at a predetermined angle in a state where the insertion member 124a is inserted into the guide member 122, And the shutter 120 is opened and closed.

여기서, 상기 동력발생부(128)는 액츄에이터 혹은 구동모터로 이루어질 수 있으며, 상기 삽입부재(124a)는 볼 베어링이 적용될 수 있다. Here, the power generating unit 128 may be an actuator or a driving motor, and the insertion member 124a may be a ball bearing.

한편, 상기 가이드 부재(122)는 '└┘'자형으로 형성되어 상기 셔터 암(124)의 이동을 직선이동으로 안내한다. On the other hand, the guide member 122 is formed in a "L" shape to guide the movement of the shutter arm 124 to a linear movement.

본 발명의 일실시예에서는 도 2에서 보는 바와 같이, 상기 가이드 부재(122)가 상기 셔터(120)에 2개씩 설치되고, 각각의 가이드 부재(122)가 서로 마주보도록 설치되어, 상기 가이드 부재(122)에 설치된 셔터 암(124)의 회전에 의해 상기 셔터(120)를 좌우로 개폐할 수 있다. 2, two guide members 122 are installed on the shutter 120, and guide members 122 are installed so as to face each other, and the guide member 122 The shutter 120 can be opened and closed in the left and right directions by the rotation of the shutter arm 124 provided on the shutter 122.

여기서, 상기 셔터 암(124)과 상기 샤프트(126)에는 결합핀(124b)이 설치될 수 있으며, 상기 결합핀(124b)으로 인해 상기 샤프트(126)의 회전구동을 셔터 암(124)에 안정적으로 전달하여 셔터 암(126)이 회동하도록 한다. A coupling pin 124b may be provided on the shutter arm 124 and the shaft 126 so that the rotational movement of the shaft 126 can be stably performed on the shutter arm 124 due to the coupling pin 124b. So that the shutter arm 126 is rotated.

상기 보조챔버 본체(110)의 내부에는 상기 도가니(20)에서 분출되는 증발 물질의 이동경로를 형성하기 위한 칸막이부(130)가 설치된다. A partitioning part 130 is formed in the auxiliary chamber body 110 to form a path for the evaporation material to be ejected from the crucible 20.

상기 칸막이부(130)는 상기 셔터(120)가 개방되는 경우, 상기 셔터(120)의 절곡부에 접하는 수직 차단벽(132)과, 상기 보조챔버 본체(110) 내에서 지그재그 형태로 이동경로를 형성하는 복수개의 수평 차단판으로 이루어질 수 있다. The partitioning part 130 includes a vertical blocking wall 132 contacting the bent part of the shutter 120 when the shutter 120 is opened and a vertical blocking wall 132 contacting the bent part of the shutter 120 in a zigzag form in the auxiliary chamber body 110 And a plurality of horizontal blocking plates for forming a plurality of horizontal blocking plates.

도 1에서 보는 바와 같이, 상기 수직 차단벽(132)에는 어느 하나의 수평 차단판이 일체로 형성될 수 있으며, 상기 수평 차단판의 설치개수는 본 발명에서 한정하지 않는다. As shown in FIG. 1, one of the horizontal blocking plates may be formed integrally with the vertical blocking wall 132, and the number of the horizontal blocking plates is not limited to the present invention.

도 4a 내지 도 4b는 본 발명의 일실시예에서, 셔터(12)가 개폐되는 것을 보인 평면도로서, 도 4a는 셔터(120)가 개방된 평면도, 도 4b는 셔터(120)가 폐쇄된 평면도이다. 4A and 4B are plan views showing that the shutter 12 is opened and closed, FIG. 4A is a plan view in which the shutter 120 is opened, and FIG. 4B is a plan view in which the shutter 120 is closed .

도 4a 내지 도 4b에서 보는 바와 같이, 본 발명의 압력 보조챔버(100)는 상기 동력발생부(128)에서 동력이 발생되면, 상기 샤프트(126)가 회동하고, 그 회동에 의해 상기 셔터 암(124)이 상기 샤프트(126)를 중심으로 도 4a에서의 화살표 방향으로 회동한다. 4A and 4B, in the pressure assisting chamber 100 of the present invention, when the power is generated in the power generating unit 128, the shaft 126 rotates, and the rotation of the shutter arm 124 rotate about the shaft 126 in the direction of the arrow in Fig. 4A.

이때, 상기 삽입부재(124a)가 상기 가이드 부재(122)에 삽입되어 있으므로, 상기 셔터 암(124)이 회동하게 되면 삽입부재(124a)가 상기 가이드 부재(122)를 따라 이동하면서 셔터(120)를 밀어주게 되어 도 4b와 같이 폐쇄시키는 것이다. The insertion member 124a is inserted into the guide member 122 so that when the shutter arm 124 is rotated, the insertion member 124a moves along the guide member 122, As shown in FIG. 4B.

개방동작은 상술한 폐쇄동작과 반대방향으로 상기 샤프트(126)를 회동시킴으로써, 이루어질 수 있다. The opening operation can be accomplished by rotating the shaft 126 in a direction opposite to the closing operation described above.

도 5는 본 발명의 셔터가 폐쇄된 상태를 도시한 종단면도이다. 5 is a longitudinal sectional view showing the shutter of the present invention in a closed state.

이와 같이, 본 발명에서는 셔터(120)가 폐쇄된 경우, 도가니(20)에서 증발 물질로 인해 압력이 발생하더라도 상기 압력 보조챔버(100)의 공간 및 상기 칸막이부(130)로 인해 형성된 이동경로를 따라 증발 물질이 유동할 수 있으므로, 도가니(20) 내에 압력이 높아지어 증발 물질이 새어나오는 것을 방지할 수 있다. As described above, in the present invention, even if pressure is generated due to evaporation material in the crucible 20 when the shutter 120 is closed, the space of the pressure assisting chamber 100 and the movement path formed by the partitioning part 130 Accordingly, since the evaporation material can flow, the pressure in the crucible 20 increases to prevent the evaporation material from leaking out.

도 6a 내지 도 6b는 다른 실시예로서, 셔터가 개폐되는 것을 보인 평면도이다. 6A and 6B are plan views showing the shutter being opened and closed as another embodiment.

본 발명의 다른 실시예는 상기 가이드 부재(222)가 상기 셔터(120)에 1개가 설치되는 구성을 갖는다. In another embodiment of the present invention, one guide member 222 is provided on the shutter 120.

상기 가이드 부재(222)는 '└┘'자형으로 형성되며, 상술한 일실시예에 비해 길게 형성되어 상기 셔터 암(224)의 회동에 의해 셔터(120)를 좌우로 개폐할 수 있다. The guide member 222 is formed to be longer than the above-described embodiment, and the shutter 120 can be opened and closed by the rotation of the shutter arm 224.

그 외의 구성은 상술한 일실시예와 동일하므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다. Other configurations are the same as those of the above-described embodiment, so a detailed description thereof will be omitted.

이와 같은 본 발명에 의하면, 도가니(20)의 상부에 별도의 보조챔버(110)를 설치하여 도가니(20)에서 증발되는 물질이 이동가능한 경로와 공간을 확보함으로써, 셔터(120)가 닫힌 상태에서 도가니(20) 내의 압력이 높아지는 것을 방지할 수 있다. According to the present invention, a separate auxiliary chamber 110 is provided at an upper portion of the crucible 20 to secure a path and a space through which materials evaporated in the crucible 20 can be moved. Thus, when the shutter 120 is closed It is possible to prevent the pressure in the crucible 20 from increasing.

본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.It is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiment, but is capable of many modifications and variations within the scope of the appended claims. It is self-evident.

10 : 진공 챔버 20 : 도가니
100 : 압력 보조챔버 110 : 보조챔버 본체
120 : 셔터 124 : 셔터 암(Shutter Arm)
124a : 삽입부재 124b : 결합핀
126 : 샤프트 128 : 동력발생부
130 : 칸막이부10: Vacuum chamber 20: Crucible
100: pressure auxiliary chamber 110: auxiliary chamber body
120: Shutter 124: Shutter Arm
124a: insertion member 124b: engagement pin
126: shaft 128: power generating portion
130: partition part

Claims

An auxiliary chamber main body connected to an upper portion of the crucible;
A shutter for opening and closing an upper opening of the auxiliary chamber body;
Driving means for opening or closing the shutter;
A partition for forming a path for the evaporation material to be ejected from the crucible inside the auxiliary chamber body;
/ RTI >
The driving means includes a power generating portion generating a driving force;
A shaft vertically installed on the power generating unit and rotated by a driving force of the power generating unit;
A shutter arm installed at a right angle to the upper end of the shaft and rotating at a predetermined angle in accordance with the rotation of the shaft;
A guide member installed at an upper end of the shutter and guiding the movement of the shutter arm; And
An insertion member installed at a distal end of the shutter arm and inserted into the guide member;
And a pressure auxiliary chamber.

The method according to claim 1,
Wherein the shutter has an upper end which lies horizontally with the upper surface of the auxiliary chamber body,
And a bent portion bent at a right angle at the upper end portion, the pressure auxiliary chamber being formed to have an A-shaped cross-sectional shape.

The method of claim 2,
Wherein the shutter is provided on both sides of the upper opening of the auxiliary chamber body.

delete

The method according to claim 1,
Wherein the guide member is formed in a '?' Shape to guide the movement of the shutter arm to a linear movement.

The method of claim 5,
Wherein the guide member is provided so that two of the guide members are opposed to each other, and the shutter arm is provided on each of the guide members to open and close the shutter to the left and right.

The method of claim 5,
Wherein one of the guide members is provided on the shutter to open and close the shutter in the left and right direction.

The method according to claim 1,
And a coupling pin for coupling the shaft and the shutter arm is further provided.

The method according to claim 1,
Wherein the partitioning portion includes a vertical blocking wall contacting the bent portion of the shutter when the shutter is opened,
And a plurality of horizontal blocking plates which form a zigzag movement path in the auxiliary chamber body.

A vacuum chamber in which the process proceeds;
A crucible positioned within the vacuum chamber to supply evaporation material to the substrate;
A pressure auxiliary chamber provided on an upper portion of the crucible, the auxiliary chamber main body being connected to an upper portion of the crucible;
A shutter for opening and closing an upper opening of the auxiliary chamber body;
Driving means for opening or closing the shutter; And
A partition for forming a path for the evaporation material to be ejected from the crucible inside the auxiliary chamber body;
/ RTI >
The driving means includes a power generating portion generating a driving force;
A shaft vertically installed on the power generating unit and rotated by a driving force of the power generating unit;
A shutter arm installed at a right angle to the upper end of the shaft and rotating at a predetermined angle in accordance with the rotation of the shaft;
A guide member installed at an upper end of the shutter and guiding the movement of the shutter arm; And
An insertion member installed at a distal end of the shutter arm and inserted into the guide member;
And a pressure auxiliary chamber.