KR101402982B1 - Inspection apparatus of vacuum pump exhaust line for semiconductor manufacturing device - Google Patents

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Abstract

Disclosed is an apparatus for inspecting a vacuum pump exhaust line for a semiconductor manufacturing device. The apparatus for inspecting a vacuum pump exhaust line for a semiconductor manufacturing device according to the present invention is an apparatus for inspecting an exhaust line connecting a front end and a rear end of a vacuum pump for a semiconductor manufacturing device to a front end and a rear of a scrubber including at least one body provided on the exhaust line; a handle operating part provided in the body to be able to rotate; an elevating part coupled inside the body and elevating with respect to the body according to an operation of the handle operating part; a photographing part integrated with the elevating part to photograph an inside of the exhaust line; and a controller to output image information photographed by the photographing part. Accordingly, an operating ratio according to a semiconductor manufacturing process may be improved while increasing the management efficiency of the exhaust line by confirming an exhaust line state of a vacuum pump by sections with naked eyes without stopping a process during manufacture of a semiconductor, and the exhaust line can be recycled so that installation costs may be reduced.

Description

반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치{INSPECTION APPARATUS OF VACUUM PUMP EXHAUST LINE FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a vacuum pump exhaust line inspection apparatus for semiconductor manufacturing equipment,

본 발명은 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 반도체 제조시 공정을 중단하지 않고서도 진공펌프의 배기라인 상태를 구간별로 실시간 육안을 통해 확인할 수 있고, 배기라인의 교체시 재활용이 가능할 수 있는 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for inspecting an exhaust line of a vacuum pump for semiconductor manufacturing equipment. More particularly, the present invention relates to an apparatus for inspecting an exhaust line of a vacuum pump, Which can be recycled when replacing the vacuum pump exhaust line inspection apparatus.

일반적으로, 반도체 직접회로 소자는 웨이퍼 상에 포토리소그래픽, 식각, 확산 및 금속증착 등의 공정으로 선택적 및 반복적으로 수행하게 됨으로써 이루어진다. 반도체 직접회로 소자를 대량으로 제조하는데 사용되는 반도체 웨이퍼 상에 원하는 막을 형성하기 위해서는 화학기상증착(CVD) 공정이 거의 필수적으로 수행된다.Generally, semiconductor integrated circuit devices are made to perform selectively and repeatedly on a wafer by processes such as photolithography, etching, diffusion, and metal deposition. A chemical vapor deposition (CVD) process is almost indispensable to form a desired film on a semiconductor wafer used to mass-produce semiconductor integrated circuit devices.

이러한 화학기상증착(CVD)법은 진공상태에서 반응가스를 분사하여 웨이퍼 위에 얇은 막을 도포하는 공정이다. 상기 화학기상증착 공정을 행함에 있어서 챔버 내에 분사된 가스는 ‘드라이 펌프’라고 불리는 펌프의 흡입력에 의해 배기라인을 따라 배출되며, 이런 배기에는 미반응된 가스가 함유되어 있기 때문에 배기라인 내에서 반응을 하게 되면 파우더를 형성하게 된다. 상기 파우더가 배기라인에 쌓여 배기라인을 막음으로써 화학기상증착 설비가 정지되는 로스가 유발된다.This chemical vapor deposition (CVD) is a process of spraying a reactive gas in a vacuum state to apply a thin film on a wafer. In the chemical vapor deposition process, the gas injected into the chamber is discharged along the exhaust line by a suction force of a pump called a 'dry pump'. Since unreacted gas is contained in the exhaust, The powder is formed. The powder is accumulated on the exhaust line to block the exhaust line, thereby causing a loss of stopping the chemical vapor deposition equipment.

이와 같은, 화학기상증착 방식의 챔버의 배기라인에는 챔버에서 반응되지 않고 남은 잔류 가스에 의해 파우더가 생성되며, 생성된 파우더가 후단의 배기를 막거나 비교적 짧은 주기로 예방보전을 하게 됨에 따라 설비의 가동율이 저하되는 문제가 있다.In the exhaust line of the chamber of the chemical vapor deposition system, powder is generated by residual gas remaining unreacted in the chamber, and the produced powder blocks the exhaust of the rear end or performs preventive maintenance in a relatively short cycle, Is lowered.

도 1은 종래의 펌프배기라인의 파우더 적재량 측정장치의 구성도이다.1 is a configuration diagram of an apparatus for measuring a powder deposition amount of a conventional pump exhaust line.

도 1을 참조하면, 종래의 펌프배기라인의 파우더 적재량 측정장치는 배기라인의 배관(50) 내부에 위치하는 투광부(111)와, 투광부(111)와 마주하여 빛을 수광하며 수광된 광량에 따라 전기적신호를 출력하는 수광부(112)와, 수광부(112)에서 출력된 전기적신호를 입력받아 측정된 수광량과 설정된 광량을 비교하여 측정된 수광량이 설정된 광량보다 작을 경우에 경고수단(150)을 작동하는 제어부(140)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a conventional apparatus for measuring the powder deposition amount of a pump exhaust line includes a light projecting part 111 located inside a pipe 50 of an exhaust line, a light receiving part 111 for receiving light, A light receiving unit 112 for outputting an electrical signal in accordance with the received light signal received by the light receiving unit 112; and a warning unit 150 for comparing the measured light receiving amount with the set light amount by receiving the electric signal outputted from the light receiving unit 112, And a control unit 140 that operates.

이러한 구성에 따라, 투광부(111)에서 레이저(110)를 투광하면, 레이저(110)는 직진하여 수광부(112)로 수광된다. 이런 상태에서 시간이 경과하여 배관(50)의 연결부위에 파우더(1)가 적재되어 수광부(112)의 상면에 파우더(1)가 부착되면, 수광되는 레이저(110)의 광량은 점차 감소하게 되며, 제어부(140)는 미리 설정된 광량과 실시간으로 측정된 광량을 비교하여 측정된 광량이 설정된 광량보다 작을 경우에 경고수단(150)을 작동하여 부저 또는 경고 빛을 발생하게 된다. 작업자는 제어부(140)의 경고수단(150) 작동을 확인하고 배관(50)을 정비함으로써 배기라인의 폐쇄를 미연에 방지할 수 있는 것이다.According to this configuration, when the laser 110 is projected from the transparent portion 111, the laser 110 goes straight and is received by the light receiving portion 112. When the powder 1 is loaded on the connection part of the pipe 50 and the powder 1 is attached to the upper surface of the light receiving part 112 after a lapse of time in this state, the amount of light of the laser 110 to be received gradually decreases , The controller 140 compares a preset light quantity with a light quantity measured in real time, and when the measured light quantity is smaller than the set light quantity, the buzzer or warning light is generated by activating the warning device 150. [ The worker can confirm the operation of the warning means 150 of the control unit 140 and repair the piping 50 so as to prevent the exhaust line from being closed.

하지만, 이러한 종래의 펌프배기라인의 파우더 적재량 측정장치는 배기라인의 배관(50) 연결부위에 파우더(1)가 많이 쌓여 배기의 원활한 흐름을 방해하는 경우에 경고수단(150)을 작동시켜 작업자에게 알려줄 수 있는 특징이 있으나, 배기라인의 상태를 시스템에 의존하는 구조를 채택하고 있기 때문에 시스템의 오류시 배기라인의 막힘 또는 교체시기를 정확하게 측정할 수 없는 문제가 있다.However, in the conventional apparatus for measuring the powder loading amount of the pump exhaust line, when a large amount of powder 1 is accumulated at the connection portion of the piping 50 of the exhaust line and the smooth flow of the exhaust is obstructed, the warning means 150 is operated There is a problem that the clogging or replacement timing of the exhaust line can not be accurately measured at the time of a system error because the structure of the exhaust line is dependent on the system.

또한, 종래의 펌프배기라인의 파우더 적재량 측정장치는 투광부(111) 및 수광부(112)가 배기라인에서 파우더(1)가 가장 잘 생성되는 배관(50) 연결부위에 설치되는 구조를 채택하고 있기 때문에 배기라인의 전체영역에 대한 배기 상태를 정확하게 측정할 수 없고 이로 인하여 배관(50) 연결부위를 제외한 배기라인의 나머지 배관(50)에 파우더(1)가 쌓여 적재되는 경우에는 펌프의 과부하를 통해 장비의 손상을 유발할 뿐만 아니라 배기라인의 교체시기를 놓쳐 장비의 가동율을 저하시킬 수 있는 문제가 있다.The conventional apparatus for measuring the powder deposition amount of the pump exhaust line adopts a structure in which the transparent portion 111 and the light receiving portion 112 are installed at the connection portion of the pipe 50 in which the powder 1 is best generated in the exhaust line Therefore, when the powder 1 is stacked on the remaining pipe 50 of the exhaust line except for the connection portion of the pipe 50, the pump can be overloaded There is a problem that not only the equipment is damaged but also the operation rate of the equipment is lowered due to the timing of replacing the exhaust line.

한편, 근래에는 배기라인의 막힘 상태 또는 교체시기를 진단하기 위한 장비로서, 초음파를 이용한 비파괴 검사장비가 제시되었다.Meanwhile, a non-destructive testing apparatus using ultrasound has recently been proposed as an apparatus for diagnosing the clogging state or replacement timing of the exhaust line.

이러한 초음파를 이용한 비파괴 검사장비는 배기라인의 상태를 진단시 전문인력의 분석이 필요할 뿐만 아니라 비용상승을 초래하여 현장 적용이 쉽지 않은 문제가 있다.Such nondestructive testing equipment using ultrasonic waves is not only difficult to analyze in the diagnosis of the state of the exhaust line, but also causes an increase in cost, which makes it difficult to apply to the field.

이에 반도체 제조시 작업자가 제조 공정을 중단하지 않고서도 진공펌프의 배기라인 상태를 구간별로 상시 육안을 통해 정확하게 확인할 수 있고, 배기라인의 교체시 재활용이 가능할 수 있는 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치에 관한 연구개발이 요구되고 있다.Therefore, it is possible to accurately check the state of the exhaust line of the vacuum pump by visual inspection at all times without stopping the manufacturing process by the operator during semiconductor manufacturing, and to check the exhaust line of the vacuum pump for the semiconductor manufacturing equipment which can be recycled when replacing the exhaust line Research and development of devices are required.

대한민국 등록특허 제10-0812965호(등록일자: 2008년 03월 05일)Korean Patent No. 10-0812965 (Registered Date: March 05, 2008)

본 발명의 기술적 과제는, 반도체 제조시 공정을 중단하지 않고서도 진공펌프 배기라인의 막힘 상태나 교체시기를 구간별로 실시간 육안을 통해 확인할 수 있고, 배기라인의 교체시 재활용이 가능할 수 있는 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치를 제공하는 것이다.The technical problem of the present invention is to provide a semiconductor manufacturing apparatus capable of confirming the clogged state and replacement timing of the vacuum pump exhaust line in real time by visual inspection without interruption of the process of manufacturing the semiconductor, Cost vacuum pump exhaust line inspection apparatus.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are not intended to limit the invention to the particular embodiments that are described. It will be apparent to those skilled in the art, There will be.

상기 기술적 과제는, 본 발명에 따라, 반도체 제조 장비용 진공펌프의 전단과 후단 및 스크루버의 전단과 후단 사이를 연결하는 배기라인을 검사하기 위한 장치로서, 상기 배기라인 상에 적어도 하나가 마련되는 몸체부; 상기 몸체부에 회전 가능하게 마련되는 핸들 조작부; 상기 몸체부의 내부에 결합되되, 상기 핸들 조작부의 조작에 따라 상기 몸체부에 대해 승강운동을 하도록 마련되는 승강부; 상기 승강부에 일체로 결합되며 상기 배기라인의 내부를 촬영하도록 마련되는 촬영부; 및 상기 촬영부에 의해 촬영된 영상정보를 출력하도록 마련되는 컨트롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to the present invention, there is provided an apparatus for inspecting an exhaust line connecting a front end and a rear end of a vacuum pump for semiconductor manufacturing equipment and a front end and a rear end of a screw burr, wherein at least one is provided on the exhaust line A body portion; A handle operating portion rotatably provided on the body portion; A lifting unit coupled to the inside of the body and configured to move up and down with respect to the body according to an operation of the handle operating unit; A photographing unit integrally coupled to the elevating unit and configured to photograph the inside of the exhaust line; And a controller provided to output image information photographed by the photographing unit.

상기 몸체부는, 상기 배기라인의 배관과 연결되며 내부에 상기 배관을 통해 배출되는 배기가스의 통로를 형성하는 중공형상의 제1 하우징; 상기 제1 하우징의 상부에 결합되며 내부에 승강공간을 형성하는 중공형상의 제2 하우징; 및 상기 제2 하우징의 상부에 결합되며 상기 핸들 조작부가 회전 가능하게 결합되는 제3 하우징을 포함하는 것을 특징으로 한다.The body may include a hollow first housing connected to a pipe of the exhaust line and forming a passage of exhaust gas discharged through the pipe, A second housing coupled to an upper portion of the first housing and having a hollow space therein; And a third housing coupled to an upper portion of the second housing and rotatably coupled with the handle operating portion.

상기 제1 하우징은, 상기 배기라인의 배관과 연결되도록 상기 통로의 양단부에 결합되며 플랜지부를 형성하는 배관 연결부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The first housing may include a pipe connection portion coupled to both ends of the passage so as to be connected to the pipe of the exhaust line and forming a flange portion.

상기 통로는, 상기 배기라인의 배관 지름과 대응되는 안지름을 갖도록 형성되는 것을 특징으로 한다.And the passage is formed to have an inside diameter corresponding to a pipe diameter of the exhaust line.

상기 몸체부는, 상기 배기라인의 미리 설정된 구간에 상호 일정간격 이격되어 마련되는 다수의 몸체부인 것을 특징으로 한다.The body portion is a plurality of body portions spaced apart from each other by a predetermined interval in a predetermined section of the exhaust line.

상기 배기라인의 미리 설정된 구간은, 상기 배관의 연결부위나 굴절부위인 것을 특징으로 한다.The predetermined section of the exhaust line is a connecting portion or a bending portion of the pipe.

상기 핸들 조작부는, 상기 제3 하우징의 상부에 회전 가능하게 마련되는 회전 노브; 및 상기 회전 노브에 일체화되도록 관통하여 결합되되, 상기 승강공간에 수용되도록 상기 제3 하우징에 회전 가능하게 결합되며 외주면에 일정구간의 수나사부가 형성되는 중공형상의 회전축을 포함하는 것을 특징으로 한다.The handle operating portion includes: a rotary knob rotatably provided at an upper portion of the third housing; And a hollow rotary shaft coupled to the rotary knob so as to be integrated with the rotary knob and rotatably coupled to the third housing to be accommodated in the elevating space and having a male screw portion at a predetermined interval.

상기 승강부는, 상기 수나사부와 대응되는 암나사부가 내주면에 형성되어 상기 회전축에 결합되며 상기 핸들 조작부의 회전 조작시 상기 회전축에 대해 승강운동을 하도록 마련되는 중공형상의 승강부재; 상기 승강부재의 하단부에 일체로 결합되는 승강 플레이트; 및 상기 회전축과 상기 승강부재의 내부에 배치되도록 상기 승강 플레이트에 일체로 결합되는 중공형상의 승강축을 포함하는 것을 특징으로 한다.The elevating member includes a hollow elevating member formed on an inner circumferential surface of the female screw portion corresponding to the male screw portion and coupled to the rotating shaft and configured to move up and down with respect to the rotating shaft when the handle operating portion is rotated. A lifting plate integrally coupled to a lower end of the lifting member; And a hollow elevating shaft integrally coupled to the elevating plate so as to be disposed inside the rotating shaft and the elevating member.

상기 승강부는, 상기 제2 하우징과 상기 제3 하우징 사이에 결합되는 고정 플레이트를 더 포함하되, 상기 고정 플레이트와 상기 승강 플레이트 사이에는, 상기 회전축과 상기 승강부재의 나사부에 이물질이 끼는 것을 방지하기 위한 합성수지 재질의 주름관이 결합되는 것을 특징으로 한다.The elevating portion may further include a fixing plate coupled between the second housing and the third housing, wherein a gap between the fixing plate and the elevating plate is set between the rotating shaft and the screw portion of the elevating member And a corrugated pipe made of a synthetic resin material is bonded.

상기 촬영부는, 상기 승강축의 하단부에 결합되는 촬영부 본체; 상기 촬영부 본체의 내부에 결합되며, 상기 승강부의 승강운동에 따라 상기 배기라인의 내부를 촬영하도록 마련되는 카메라; 및 상기 촬영부 본체에 결합되며 상기 카메라로 상기 배기라인의 내부를 촬영시 조명을 제공하도록 마련되는 조명부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The photographing unit includes a photographing unit main body coupled to a lower end of the elevation shaft; A camera coupled to the inside of the photographing unit main body and configured to photograph the inside of the exhaust line in accordance with an elevation movement of the elevation portion; And an illumination unit coupled to the photographing unit main body and provided to illuminate the interior of the exhaust line with the camera.

상기 승강축은, 상부에 상기 카메라 및 상기 조명부와 전기적으로 연결되는 승강축용 커넥터가 결합되고, 상기 컨트롤러는, 상기 승강축용 컨넥터와 연결되도록 대응되는 형상을 갖는 컨트롤러용 커넥터가 마련되며, 상기 카메라 및 상기 조명부는, 상기 컨트롤러의 조작에 따라 작동되는 것을 특징으로 한다.Wherein the controller includes a controller connector having a shape corresponding to that of the elevation shaft connector, and the controller is provided with a control connector for controlling the camera and the lighting unit, And the illumination unit is operated according to the operation of the controller.

상기 컨트롤러용 커넥터가 마련되는 컨트롤러 본체; 상기 컨트롤러 본체에 형성되며 상기 카메라의 영상정보를 출력하도록 마련되는 모니터부; 및 상기 컨트롤러 본체에 형성되며 상기 카메라 및 상기 조명부를 작동시키도록 마련되는 조작부를 포함하는 것을 특징으로 한다.A controller body provided with the controller connector; A monitor unit formed on the controller body and configured to output image information of the camera; And an operation unit formed on the controller body and adapted to operate the camera and the illumination unit.

본 발명에 의하면, 반도체 제조시 공정을 중단하지 않고서도 검사를 필요로 하는 배기라인 상태를 구간별로 실시간 육안을 통해 확인 가능하며 재활용할 수 있는 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치를 제공함으로써, 배기라인의 관리효율을 높이면서도 반도체 제조 공정에 따른 가동율 향상에 기여할 수 있고, 재활용을 통해 설치비용을 줄일 수 있다.According to the present invention, there is provided a vacuum pump exhaust line inspecting apparatus for semiconductor manufacturing equipment capable of confirming and recycling the state of the exhaust line requiring inspection in real time, It is possible to improve the efficiency of management of the exhaust line while contributing to the improvement of the utilization ratio according to the semiconductor manufacturing process, and the installation cost can be reduced through recycling.

도 1은 종래의 펌프배기라인의 파우더 적재량 측정장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 장비를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 3은 도 2에 도시된 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치의 요부확대 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치의 내부를 나타낸 단면도이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치의 작동상태를 나타낸 단면도이다.1 is a configuration diagram of an apparatus for measuring a powder deposition amount of a conventional pump exhaust line.
2 is a schematic diagram showing a semiconductor manufacturing equipment according to an embodiment of the present invention.
3 is an enlarged perspective view of the vacuum pump exhaust line inspecting apparatus for the semiconductor manufacturing equipment shown in FIG. 2; FIG.
4 is a cross-sectional view showing the interior of a vacuum pump exhaust line inspection apparatus for a semiconductor manufacturing equipment shown in FIG.
5 and 6 are sectional views showing an operation state of a vacuum pump exhaust line inspection apparatus for a semiconductor manufacturing equipment according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세하게 설명하면 다음과 같다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description of the present invention, the well-known functions or constructions will not be described in order to simplify the gist of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 장비를 개략적으로 나타낸 구성도이며, 도 3은 도 2에 도시된 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치의 요부확대 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치의 내부를 나타낸 단면도이며, 도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치의 작동상태를 나타낸 단면도이다.FIG. 2 is a schematic view showing a semiconductor manufacturing equipment according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is an enlarged perspective view of a vacuum pump exhaust line inspection apparatus for a semiconductor manufacturing equipment shown in FIG. 2, 5 is a sectional view showing the inside of a vacuum pump exhaust line inspecting apparatus for a semiconductor manufacturing equipment shown in FIG. 3, and FIGS. 5 and 6 are views showing an operating state of a vacuum pump exhaust line inspecting apparatus for a semiconductor manufacturing equipment according to an embodiment of the present invention Sectional view.

본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치는, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 배기라인 상에 적어도 하나가 마련되는 몸체부(100)와, 몸체부(100)에 회전 가능하게 마련되는 핸들 조작부(110)와, 몸체부(100)의 내부에 결합되되, 핸들 조작부(110)의 조작에 따라 몸체부(100)에 대해 승강운동을 하도록 마련되는 승강부(120)와, 승강부(120)에 일체로 결합되며 배기라인의 내부를 촬영하도록 마련되는 촬영부(130) 및 그리고 촬영부(130)에 의해 촬영된 영상정보를 출력하도록 마련되는 컨트롤러(140)를 포함한다.As shown in FIGS. 2 to 4, the vacuum pump exhaust line inspection apparatus for a semiconductor manufacturing equipment according to an embodiment of the present invention includes a body 100 having at least one on an exhaust line, A handle operating part 110 rotatably provided on the body part 100 to be movable up and down relative to the body part 100 according to an operation of the handle operating part 110, A photographing unit 130 integrally coupled to the elevation unit 120 and configured to photograph the interior of the exhaust line and a controller 140 configured to output image information photographed by the photographing unit 130 ).

먼저, 도 2를 참조하여 반도체 제조 장비의 구조를 개략적으로 설명하면, 화학기상증착(CVD)막이 도포되는 반응챔버(1) 내의 가스는 라인(L1)을 통해 진공펌프(2) 내로 흡입된다. 진공펌프(2)에 흡입된 가스는 라인(L2)을 통해 배출되어 파우더 트랜스퍼(3)를 거쳐 라인(L3)을 통해 스크루버(4)에 인가된다. 이때, 가스가 스크루버(4)에 도달되기 전에 유속이 느려지는 부분에서 대체로 파우더가 많이 생성된다. 이러한 부분에 파우더가 점차로 쌓이게 되면 배기라인을 막게 되어 반응챔버(1) 내의 반응 가스를 원활하게 배출시키지 못하게 된다.2, the gas in the reaction chamber 1 to which the chemical vapor deposition (CVD) film is applied is sucked into the vacuum pump 2 through the line L1. The gas sucked into the vacuum pump 2 is discharged through the line L2 and is applied to the screw 4 via the line L3 via the powder transfer 3. At this time, a large amount of powder is generated in a portion where the flow velocity is slowed before the gas reaches the screw bar 4. When the powder is gradually accumulated in such a portion, the exhaust line is blocked and the reaction gas in the reaction chamber 1 can not be discharged smoothly.

본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치는 진공펌프(2)의 전단과 후단 및 스크루버(4)의 전단과 후단 사이를 연결하는 배기라인의 유속이 느려지는 부분에 집중적으로 설치되어 배기라인의 교체시기 및 교체위치를 확인하거나 혹은 막힘 사고로 인한 공정 중단 혹은 배기라인의 막힘으로 인한 가스의 누출사고를 미리 예측하여 대응할 수 있도록 하기 위한 것이다.The apparatus for inspecting the vacuum pump exhaust line for a semiconductor manufacturing equipment according to an embodiment of the present invention is characterized in that a portion of the exhaust line connecting the front end and the rear end of the vacuum pump 2 and the front end and the rear end of the screw 4, So as to confirm the replacement timing and the replacement position of the exhaust line or to anticipate and respond to gas leakage accidents due to a process interruption due to clogging or clogging of the exhaust line.

즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치는 진공펌프(2)의 전단과 후단 및 스크루버(4)의 전단과 후단 사이를 연결하는 배기라인 상에 다수가 설치되어 가스의 유속이 느려짐에 따라 파우더가 많이 쌓일 수 있는 배기라인의 미리 설정된 구간을 집중적으로 검사하기 위한 것이다.That is, the apparatus for inspecting the vacuum pump exhaust line for a semiconductor manufacturing equipment according to an embodiment of the present invention includes a plurality of exhaust lines connecting the front end and the rear end of the vacuum pump 2 and the front end and the rear end of the screw 4, And is intended to intensively examine a predetermined section of the exhaust line where a large amount of powder can accumulate as the flow rate of the gas is slowed down.

여기서 배기라인의 미리 설정된 구간은 배관(10)의 연결부위 혹은 굴절부위일 수 있다.Here, the predetermined section of the exhaust line may be a connecting portion or a bending portion of the pipe 10.

이외에도 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치의 설치장소는 전술한 배기라인의 미리 설정된 구간에 국한되는 것은 아니며 진공펌프(2)의 원활한 배기를 위하여 배기라인의 다양한 장소에 설치될 수도 있을 것이다.In addition, the installation location of the vacuum pump exhaust line inspecting apparatus for semiconductor manufacturing equipment according to an embodiment of the present invention is not limited to the predetermined section of the exhaust line described above, but may be a variety of exhaust lines Or may be installed in place.

몸체부(100)는 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치의 메인 프레임을 형성하는 구성이며, 배기라인에 결합되는 제1 하우징(102)과, 제1 하우징(102)에 결합되는 제2 하우징(104)과, 그리고 제2 하우징(104)에 결합되는 제3 하우징(106)을 포함한다.The main body 100 is a structure for forming a main frame of a vacuum pump exhaust line inspecting apparatus for semiconductor manufacturing equipment and includes a first housing 102 coupled to an exhaust line and a second housing 102 coupled to the first housing 102. [ A second housing 104, and a third housing 106 coupled to the second housing 104.

여기서 몸체부(100)는 진공펌프(2)의 전단과 후단 및 스크루버(4)의 전단과 후단 사이를 연결하는 배기라인의 미리 설정된 구간, 예를 들어서 배관(10)의 연결부위 혹은 굴절부위에 다수가 상호 일정간격 이격되도록 설치된다.Herein, the body part 100 is provided with a predetermined section of the exhaust line connecting the front end and the rear end of the vacuum pump 2 and between the front end and the rear end of the screw 4, for example, A plurality of which are spaced apart from each other by a predetermined distance.

제1 하우징(102)은 배기가스가 통과될 수 있는 통로(102A)를 형성하는 구성이며, 배관 연결부(103)를 포함한다.The first housing 102 is configured to form a passage 102A through which exhaust gas can pass, and includes a pipe connecting portion 103. [

이러한 제1 하우징(102)은 배기가스의 통로(102A)를 형성하도록 중공형상으로 형성되며 배기라인의 배관(10)에 연결된다.This first housing 102 is formed in a hollow shape to form a passage 102A of the exhaust gas and is connected to the piping 10 of the exhaust line.

통로(102A)는 배기라인을 따라 배출되는 가스가 통과될 수 있는 공간을 제공하는 구성이다.The passage 102A is a structure that provides a space through which gas discharged along the exhaust line can pass.

여기서 통로(102A)는 배기라인의 배관(10) 지름과 대응되는 안지름을 갖도록 형성된다. 즉, 진공펌프(2)의 배기라인을 형성하는 배관(10)은 지름 40mm 혹은 50mm의 파이프가 사용되며, 제1 하우징(102)에 마련된 통로(102A)의 안지름은 배기가스의 원활한 배기를 위하여 배기라인의 배관(10)과 대응되는 지름을 갖도록 형성되게 된다.Here, the passage 102A is formed to have an inside diameter corresponding to the diameter of the pipe 10 of the exhaust line. That is, a pipe having a diameter of 40 mm or 50 mm is used for the pipe 10 forming the exhaust line of the vacuum pump 2, and the inside diameter of the passage 102A provided in the first housing 102 is And is formed to have a diameter corresponding to the pipe 10 of the exhaust line.

이외에도 통로(102A)는 제1 하우징(102)을 제작시 배기라인에 사용되는 배관(10)의 지름과 대응되는 다양한 안지름을 갖도록 형성될 수 있으며, 이에 따라 다양한 지름을 갖는 배기라인의 배관(10)에 용이하게 적용할 수 있다.In addition, the passage 102A may be formed to have various diameters corresponding to the diameter of the pipe 10 used in the exhaust line when the first housing 102 is manufactured. Accordingly, the pipe 102 of the exhaust line having various diameters ). ≪ / RTI >

배관 연결부(103)는 제1 하우징(102)과 배기라인의 배관(10)을 상호 연결할 수 있도록 마련되는 구성이다. 이를 위해서 배관 연결부(103)는 제1 하우징(102)에 마련된 통로(102A)의 양단부에 일체로 결합되며 배기라인의 배관(10)과 연결되기 위한 플랜지부(103A)가 마련된다.The piping connection portion 103 is configured to connect the first housing 102 and the piping 10 of the exhaust line to each other. The pipe connecting portion 103 is integrally coupled to both ends of the passage 102A provided in the first housing 102 and is provided with a flange portion 103A to be connected to the pipe 10 of the exhaust line.

즉, 배관 연결부(103)에 마련된 플랜지부(103A)는 배기라인의 배관(10)에 마련된 플랜지부와 밀착된 상태에서 체결수단, 예를 들어서 용접 혹은 볼트와 너트를 매개로 하여 상호 연결되는 것이다.That is, the flange portion 103A provided in the pipe connecting portion 103 is connected to each other via fastening means, for example, welding or bolts and nuts, in a state of being in tight contact with the flange portion provided in the piping 10 of the exhaust line .

여기서 도면에 도시되지 않았지만, 배기라인에는 반응챔버(1)로부터 배출되는 가스에 의해 파우더가 많이 쌓이는 것을 방지하기 위하여 배기라인의 외주면에 히팅자켓을 설치하게 된다. 즉, 배기라인이 저온상태를 유지하게 되면 배관(10)의 내부에 파우더가 더 많이 생성되어 배기라인을 통한 가스의 원활한 배기를 방해할 수 있다.Although not shown in the drawing, a heating jacket is installed on the outer circumferential surface of the exhaust line in order to prevent a large amount of powder from being accumulated by the gas discharged from the reaction chamber 1 in the exhaust line. That is, when the exhaust line is maintained at a low temperature, more powder is generated inside the pipe 10, which may hinder smooth exhaust of gas through the exhaust line.

이러한 히팅자켓을 배기라인에 설치시 제1 하우징(102)의 표면 전체는 히팅자켓으로 감싸지게 된다. 이는 제1 하우징(102)을 통해 방출되는 열의 손실을 최소화하기 위함이다.When the heating jacket is installed in the exhaust line, the entire surface of the first housing 102 is covered with the heating jacket. This is to minimize the loss of heat dissipated through the first housing 102.

제2 하우징(104)은 제1 하우징(102)의 상부에 결합되며 내부에 승강공간(105)이 형성되는 구성이다. 즉, 제2 하우징(104)은 내부에 승강공간(105)을 형성하도록 원통형의 중공체로 형성되어 제1 하우징(102)의 상부에 결합된다.The second housing 104 is coupled to the upper portion of the first housing 102 and has an elevation space 105 formed therein. That is, the second housing 104 is formed as a cylindrical hollow body to be coupled to the upper portion of the first housing 102 to form an elevating space 105 therein.

승강공간(105)은 승강부(120)의 승강운동이 원활하게 이루어질 수 있는 공간을 제공하는 구성이다.The lifting and lowering space 105 provides a space in which the lifting and lowering part 120 can be moved smoothly.

제3 하우징(106)은 제2 하우징(104)의 상부에 결합되며 핸들 조작부(110)가 회전 가능하게 결합되도록 마련되는 구성이다.The third housing 106 is coupled to the upper portion of the second housing 104 and has a structure in which the handle operating portion 110 is rotatably coupled.

이러한 제3 하우징(106)의 내부에는 핸들 조작부(110)의 회전을 원활하게 안내할 수 있는 베어링(107)이 결합된다. 즉, 핸들 조작부(110)는 베어링(107)을 통해 제3 하우징(106)에 회전 가능하게 결합되는 것이다.A bearing 107 capable of smoothly guiding the rotation of the handle operating portion 110 is coupled to the inside of the third housing 106. That is, the handle operating portion 110 is rotatably coupled to the third housing 106 through the bearing 107. [

핸들 조작부(110)는 몸체부(100)의 상부에 마련되는 구성으로, 메인 프레임을 형성하는 회전 노브(112)와, 그리고 회전 노브(112)에 결합되는 회전축(114)을 포함한다.The handle operating part 110 is provided on the upper part of the body part 100 and includes a rotary knob 112 forming a main frame and a rotary shaft 114 coupled to the rotary knob 112.

회전 노브(112)는 제3 하우징(106)의 상부에 회전 가능하게 결합되는 구성이다. 회전 노브(112)의 외주면에는 작업관리자가 회전 조작을 위해 파지시 미끄럼을 방지하기 위한 미끄럼방지수단으로 너어링이 형성된다.The rotary knob 112 is rotatably coupled to the upper portion of the third housing 106. [ On the outer circumferential surface of the rotary knob 112, a knurling is formed as a non-slip preventing means for preventing a slip during gripping for a rotary operation by a work manager.

회전축(114)은 회전 노브(112)에 일체화되도록 결합되는 구성이다. 즉, 회전축(114)은 일정길이를 갖는 중공형상으로 형성되며 회전 노브(112)에 일체화되도록 그 중앙부를 관통하여 결합된다.The rotary shaft 114 is coupled to the rotary knob 112 so as to be integrated therewith. That is, the rotation shaft 114 is formed in a hollow shape having a predetermined length and is coupled to the center portion of the rotation knob 112 so as to be integrated with the rotation knob 112.

이러한 회전축(114)은 제3 하우징(106)에 마련된 베어링(107)에 회전 가능하게 결합되며, 이에 따라 몸체부(100)에 대해 회전운동이 가능하게 된다.The rotation shaft 114 is rotatably coupled to a bearing 107 provided in the third housing 106, and thus, the rotation shaft 114 is rotatable relative to the body 100.

회전축(114)의 외주면에는 일정구간 수나사부(115)가 형성되며, 수나사부(115)는 승강부(120)에 마련된 승강부재(122)의 암나사부(123)와 나사결합된다. 즉, 수나사부(115)는 회전 노브(112)의 결합부위 및 제3 하우징(106)에 마련된 베어링(107)의 결합부위를 제외한 회전축(114)의 외주면 전체에 형성된다.The fixed shaft portion 115 is formed on the outer peripheral surface of the rotary shaft 114 and the male screw portion 115 is screwed to the female screw portion 123 of the elevating member 122 provided on the elevating portion 120. That is, the male screw portion 115 is formed on the entire outer circumferential surface of the rotary shaft 114 except for the engagement portion of the rotary knob 112 and the engagement portion of the bearing 107 provided on the third housing 106.

수나사부(115)는 승강부재(122)에 형성된 암나사부(123)에 나사결합되는 구성이다.The male threaded portion 115 is screwed to the female threaded portion 123 formed on the elevating member 122.

승강부(120)는 몸체부(100)의 내부에 결합되는 구성으로, 승강부재(122)와, 승강부재(122)의 하단부에 결합되는 승강 플레이트(124)와, 승강 플레이트(124)에 결합되는 중공형상의 승강축(126)과, 몸체부(100)에 결합되는 고정 플레이트(128)와, 그리고 고정 플레이트(128)와 승강 플레이트(124) 사이에 결합되는 주름관(129)을 포함한다.The lifting unit 120 is coupled to the inside of the body 100 and includes a lifting member 122, a lifting plate 124 coupled to a lower end of the lifting member 122, A fixing plate 128 coupled to the body 100 and a corrugated tube 129 coupled between the fixing plate 128 and the lifting plate 124. The lifting shaft 126 is fixed to the main body 100,

승강부재(122)는 회전축(114)에 나사결합되는 구성이다. 즉, 승강부재(122)는 중공형상으로 형성되며 중공부의 내주면에 회전축(114)의 수나사부(115)와 대응되는 암나사부(123)가 형성된다. 이에 따라 회전 노브(112)의 회전 조작시 회전축(114)을 따라 승강운동하게 된다.The elevating member 122 is configured to be screwed to the rotating shaft 114. That is, the elevating member 122 is formed in a hollow shape and a female screw 123 corresponding to the male screw portion 115 of the rotary shaft 114 is formed on the inner circumferential surface of the hollow portion. Accordingly, the rotary knob 112 is moved up and down along the rotary shaft 114 during the rotation operation.

즉, 암나사부(123)는 회전축(114)에 형성된 수나사부(115)에 나사결합되는 구성이다.That is, the female threaded portion 123 is screwed to the male threaded portion 115 formed on the rotary shaft 114.

승강 플레이트(124)는 몸체부(100)에 마련된 제2 하우징(104)의 승강공간(105)에 배치되도록 승강부재(122)의 하단부에 일체로 결합되는 구성이다. 즉, 승강 플레이트(124)는 원판형상으로 형성되어 승강부재(122)의 하단부에 일체로 결합된다. 이때, 승강 플레이트(124)의 외주면은 원통형상을 갖는 제2 하우징(104)에 형성된 승강공간(105)의 내벽과 접촉되며 이에 승강부재(122)의 승강 작동시 승강 플레이트(124)의 외주면이 승강공간(105)의 내벽을 따라 슬라이딩되는 구조를 제공하게 됨으로써 승강부(120)의 안정적인 승강운동이 가능할 수 있게 된다.The lifting plate 124 is integrally coupled to the lower end of the lifting member 122 so as to be disposed in the lifting and lowering space 105 of the second housing 104 provided on the body 100. [ That is, the lifting plate 124 is formed in a disk shape and is integrally coupled to the lower end of the lifting member 122. The outer circumferential surface of the lifting plate 124 is in contact with the inner wall of the lifting space 105 formed in the second housing 104 having a cylindrical shape and the outer circumferential surface of the lifting plate 124 during the lifting operation of the lifting member 122 A structure for sliding along the inner wall of the elevating space 105 is provided, so that the elevating and lowering unit 120 can be stably lifted and lowered.

승강축(126)은 회전축(114)과 승강부재(122)의 내부에 배치되도록 승강 플레이트(124)에 일체로 결합되는 구성이다. 즉, 승강축(126)은 일정길이를 갖는 중공체로 형성되어 중공형상을 갖는 회전축(114)과 승강부재(122)의 내부에 배치되도록 승강 플레이트(124)에 일체로 결합된다.The elevating shaft 126 is integrally coupled to the elevating plate 124 so as to be disposed inside the rotating shaft 114 and the elevating member 122. That is, the lifting shaft 126 is integrally coupled to the lifting plate 124 so as to be disposed inside the lifting member 122 and the rotating shaft 114 formed of a hollow body having a predetermined length and having a hollow shape.

이러한 승강축(126)은 승강부(120)의 작동시 승강부재(122), 승강 플레이트(124)와 함께 몸체부(100)에 대해 승강운동을 하게 된다.The elevating shaft 126 moves up and down with respect to the body 100 together with the elevating member 122 and the elevating plate 124 when the elevating and lowering unit 120 operates.

승강축(126)의 상부에는 승강축용 커넥터(127)가 결합되며, 승강축용 커넥터(127)는 컨트롤러(140)에 마련된 컨트롤러용 커넥터(143)와 연결된다.An elevation shaft connector 127 is coupled to the upper portion of the elevation shaft 126 and the elevation shaft connector 127 is connected to the controller connector 143 provided in the controller 140.

즉, 승강축용 커넥터(127)는 컨트롤러(140)의 컨트롤러용 커넥터(143)가 삽입 연결되는 구성이다.That is, the elevation shaft connector 127 has a structure in which the controller connector 143 of the controller 140 is inserted and connected.

고정 플레이트(128)는 몸체부(100)에 마련된 제2 하우징(104)과 제3 하우징(106) 사이에 결합되는 구성이다. 즉, 고정 플레이트(128)는 전술한 승강 플레이트(124)와 달리 제2 하우징(104)과 제3 하우징(106) 사이에 고정 결합된다.The fixing plate 128 is configured to be coupled between the second housing 104 and the third housing 106 provided in the body 100. [ That is, the fixing plate 128 is fixedly coupled between the second housing 104 and the third housing 106, unlike the lift plate 124 described above.

주름관(129)은 승강 플레이트(124)와 고정 플레이트(128) 사이에 마련되는 구성이다. 즉, 주름관(129)은 그 양단부가 승강 플레이트(124)와 고정 플레이트(128)에 결합되어 몸체부(100)에 마련된 제2 하우징(104)의 승강공간(105)에서 승강 플레이트(124)와 고정 플레이트(128) 사이를 완전히 밀폐하도록 마련되며, 이에 따라 회전축(114)의 수나사부(115)와 승강부재(122)의 암나사부(123)에 이물질이 끼는 것을 방지하게 된다. 이때, 주름관(129)은 승강부(120)의 승강운동에 따라 늘어나거나 줄어들 수 있도록 신축성을 갖는 합성수지 재질로 형성된다.The corrugated pipe 129 is provided between the lifting plate 124 and the fixed plate 128. That is, both ends of the corrugated pipe 129 are coupled to the lifting plate 124 and the fixing plate 128, so that the lifting plate 124 and the lifting plate 124 are lifted from the lifting and lowering space 105 of the second housing 104 provided in the body 100, So that the foreign matter is prevented from being caught by the male screw portion 115 of the rotating shaft 114 and the female screw portion 123 of the elevating member 122. [ At this time, the corrugated pipe 129 is made of a synthetic resin material having stretchability so as to be stretched or contracted in accordance with the lifting and lowering motion of the lifting unit 120.

촬영부(130)는 배기라인의 내부를 찰영하도록 마련되는 구성으로, 메인 프레임을 형성하는 촬영부 본체(132)와, 촬영부 본체(132)에 결합되는 카메라(134)와, 그리고 촬영부 본체(132)에 결합되는 조명부(136)를 포함한다.The photographing unit 130 includes a photographing unit main body 132 that forms a main frame, a camera 134 that is coupled to the photographing unit main body 132, And an illumination unit 136 coupled to the illumination unit 132.

촬영부 본체(132)는 승강축(126)의 하단부에 결합되는 구성이다. 이러한 촬영부 본체(132)는 승강축(126)에 결합됨에 따라 승강부(120)의 승강운동과 연동하게 된다.The photographing unit main body 132 is configured to be coupled to the lower end of the lifting shaft 126. [ The photographing unit main body 132 is coupled to the lifting shaft 126 and is linked to the lifting and lowering movement of the lifting unit 120. [

카메라(134)는 촬영부 본체(132)의 내부에 결합되어 배기라인의 내부를 실질적으로 촬영하도록 마련되는 구성이다.The camera 134 is coupled to the inside of the photographing unit main body 132 and configured to substantially photograph the inside of the exhaust line.

조명부(136)는 카메라(134)로 배기라인의 내부를 촬영시 조명을 제공하도록 마련되는 구성이다. 즉, 조명부(136)의 조명을 통해 어두운 상태로 유지되는 배기라인의 내부를 용이하게 촬영할 수 있는 것이다.The illumination unit 136 is configured to provide illumination when the inside of the exhaust line is photographed by the camera 134. That is, the inside of the exhaust line, which is maintained in a dark state through the illumination of the illumination unit 136, can be easily photographed.

여기서 촬영부(130)에 마련된 카메라(134) 및 조명부(136)는 전술한 승강부(120)에 마련된 승강축(126)의 승강축용 커넥터(127)와 전기적으로 연결된다.The camera 134 and the illumination unit 136 provided in the photographing unit 130 are electrically connected to the connector 127 of the elevation shaft 126 of the elevation shaft 126 provided in the elevation unit 120 described above.

컨트롤러(140)는 촬영부(130)에 의해 촬영된 영상정보를 출력하도록 마련되는 구성으로, 메인 프레임을 형성하는 컨트롤러 본체(143)와, 카메라(134)의 영상정보를 출력하도록 컨트롤러 본체(142)에 마련되는 모니터부(144)와, 그리고 카메라(134) 및 조명부(136)를 작동시키도록 컨트롤러 본체(143)에 마련되는 조작부(146)를 포함한다.The controller 140 is configured to output image information photographed by the photographing unit 130 and includes a controller body 143 that forms a main frame and a controller body 142 that outputs image information of the camera 134. [ And a control unit 146 provided on the controller body 143 to operate the camera 134 and the illumination unit 136. The control unit 143 controls the operation of the camera 134,

컨트롤러 본체(143)는 몸체부(100)와 별개로 형성되는 구성이며 케이블을 매개로 컨트롤러용 커넥터(143)가 마련된다.The controller body 143 is formed separately from the body 100, and a controller connector 143 is provided via a cable.

컨트롤러용 커넥터(143)는 승강축(126)에 마련된 승강축용 커넥터(127)에 삽입 연결되는 구성이다.The controller connector 143 is inserted and connected to the connector 127 for the elevation shaft provided on the elevation shaft 126.

모니터부(144)는 촬영부(130)에 의해 촬영된 영상정보를 출력하도록 마련되는 구성이다. 즉, 모니터부(144)는 카메라(134)에 의해 촬영된 영상정보를 출력하는 역할을 담당한다. 이때, 모니터부(144)로 출력되는 영상정보는 사진 또는 동영상일 수 있다.The monitor unit 144 is configured to output image information photographed by the photographing unit 130. [ That is, the monitor unit 144 plays a role of outputting the image information photographed by the camera 134. At this time, the image information output to the monitor unit 144 may be a photograph or a moving image.

조작부(146)는 촬영부(130)에 마련된 카메라(134) 및 조명부(136)를 작동시킬 수 있도록 각종 스위치가 마련되는 구성이다. 이외에도 조작부(146)는 컨트롤러 본체(143)를 작동시키는 온/오프 스위치를 포함한다.The operation unit 146 has a configuration in which various switches are provided to operate the camera 134 and the illumination unit 136 provided in the photographing unit 130. [ In addition, the operating portion 146 includes an on / off switch for operating the controller body 143. [

이와 같은 컨트롤러(140)는 촬영부(130)를 조작하거나 또는 촬영부(130)에 의해 촬영된 영상정보를 출력하는 역할을 담당하며, 이를 위해서 촬영부 본체(142)의 내부에는 사진이나 동영상을 저장하기 위한 메모리, 카메라(134) 및 조명부(136)에 전원을 공급하기 위한 밧데리, 제어를 위한 회로구성 등이 탑재되는데 이러한 구성은 본 발명의 출원 전에 컨트롤러 분야에서 당업자에 의해 널리 실시되고 있는 구성이므로 이에 관한 설명은 생략하기로 한다.The controller 140 controls the operation of the photographing unit 130 or outputs the image information photographed by the photographing unit 130. For this purpose, A battery for supplying power to the camera 134 and the illumination unit 136, a circuit configuration for control, and the like, which are installed before the application of the present invention, The description thereof will be omitted.

여기서 컨트롤러(140)는 메모리부에 저장된 영상정보를 외부로 출력할 수 있으며, 밧데리는 전원이 부족할 경우 전용 아답터를 이용하여 충전한 뒤 재사용할 수 있다.In this case, the controller 140 can output image information stored in the memory unit to the outside. If the battery is short of power, the controller 140 can charge the battery using a dedicated adapter and reuse it.

이하, 도 5 및 도 6을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 장비용 진공펌프의 배기라인 검사장치의 작용을 설명한다.Hereinafter, the operation of the exhaust line inspection apparatus for a vacuum pump for semiconductor manufacturing equipment according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 and 6. FIG.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 반도체 제조 장비용 진공펌프의 배기라인 검사장치는 배기라인 상태를 검사하지 않을 경우, 촬영부(130)가 몸체부(100)에 마련된 제2 하우징(104)의 승강공간(105)으로 수용되며 이에 따라 승강부(120)의 승강축(126)에 결합된 승강축용 커넥터(127)는 회전 조작부(146)에 마련된 회전 노브(112)의 상부로 노출된 상태를 유지하게 된다. 이는 배기라인 상태를 검사시 컨트롤러 본체(143)에 마련된 컨트롤러용 커넥터(143)를 승강축용 커넥터(127)에 용이하게 삽입 연결하기 위한 것이다.5, in the exhaust line inspection apparatus of the vacuum pump for semiconductor manufacturing equipment according to the present embodiment, when the state of the exhaust line is not checked, when the photographing unit 130 is mounted on the second housing 104 The lifting shaft connector 127 coupled to the lifting shaft 126 of the lifting unit 120 is exposed to the upper portion of the rotating knob 112 provided in the rotating operation unit 146 State. This is for easily inserting and connecting the controller connector 143 provided in the controller main body 143 to the elevating shaft connector 127 when checking the state of the exhaust line.

도 6에 도시된 바와 같이, 진공펌프(2)의 전단과 후단 및 스크루버(4)의 전단과 후단 사이에 연결된 배기라인의 상태를 검사할 상황이 발생하게 되면, 검사하고자 하는 검사장치에 마련된 승강축용 커넥터(127)에 컨트롤러용 커넥터(143)를 삽입 연결하고, 컨트롤러 본체(143)의 조작부(146)를 조작하여 전원을 온 시킨다. 이때, 컨트롤러 본체(143)의 모니터부(144)는 영상정보를 재생할 수 있는 상태가 된다.As shown in FIG. 6, when there occurs a situation in which the state of the exhaust line connected between the front end and the rear end of the vacuum pump 2 and between the front end and the rear end of the screw 4 is checked, The controller connector 143 is inserted and connected to the connector 127 for the elevation shaft and the operation unit 146 of the controller body 143 is operated to turn on the power. At this time, the monitor unit 144 of the controller body 143 becomes ready to reproduce image information.

승강축용 커넥터(127)에 컨트롤러용 커넥터(143)가 연결되고 컨트롤러 본체(143)가 온 되면, 회전 조작부(146)에 마련된 회전 노브(112)를 천천히 회전시킨다. 그러면, 회전축(114)은 회전 노브(112)와 일체로 결합되어 있어 회전 노브(112)와 함께 천천히 회전되기 시작한다.When the controller connector 143 is connected to the elevation shaft connector 127 and the controller body 143 is turned on, the rotary knob 112 provided in the rotary operation portion 146 is slowly rotated. Then, the rotary shaft 114 is integrally coupled with the rotary knob 112 and starts to rotate slowly together with the rotary knob 112.

회전 노브(112) 및 회전축(114)이 회전되면, 승강부(120)에 마련된 승강부재(122) 및 승강 플레이트(124)는 회전축(114)을 따라 하강을 시작하며 이에 따라 제2 하우징(104)의 승강공간(105)에 수용된 촬영부(130)는 승강부(120)를 통해 제1 하우징(102)의 통로(102A) 측으로 이동되도록 하강을 시작한다. 이때, 촬영부(130)는 카메라(134)가 배기라인의 배관(10) 내부 중심부에 도달될 때까지 통로(102A) 측으로 하강된다. 이는 카메라(134)를 통해 배기라인의 내부를 정확하게 촬영하기 위한 것이다.When the rotary knob 112 and the rotary shaft 114 are rotated, the elevating member 122 and the elevating plate 124 provided in the elevating unit 120 start to descend along the rotary shaft 114, The photographing unit 130 housed in the ascending and descending space 105 of the first housing 102 starts descending to move toward the path 102A of the first housing 102 through the ascending and descending unit 120. At this time, the photographing unit 130 is lowered to the side of the passage 102A until the camera 134 reaches the central portion inside the pipe 10 of the exhaust line. This is for accurately photographing the inside of the exhaust line through the camera 134. [

촬영부(130)가 승강부(120)에 의해 제1 하우징(102)의 통로(102A) 측으로 이동되면, 촬영부(130)에 마련된 카메라(134)는 배기라인의 내부 영상을 촬영한 영상정보를 컨트롤러(140)로 전송하게 되며, 컨트롤러(140)는 촬영부(130)로부터 전송되는 영상정보를 컨트롤러 본체(143)의 모니터부(144)로 출력함과 동시에 저장한다. 이에 따라 작업관리자는 검사하고자 하는 배기라인의 상태를 육안으로 확인할 수 있게 된다.When the photographing unit 130 is moved toward the passage 102A side of the first housing 102 by the elevating unit 120, the camera 134 provided in the photographing unit 130 displays the image information To the controller 140. The controller 140 outputs the image information transmitted from the photographing unit 130 to the monitor unit 144 of the controller body 143 and simultaneously stores the image information. Accordingly, the task manager can visually confirm the state of the exhaust line to be inspected.

배기라인에 대한 검사가 완료되면, 회전 조작부(146)에 회전 조작에 따라 승강부(120) 및 촬영부(130)를 상승시켜 도 4의 위치로 복귀시킨다.When the inspection of the exhaust line is completed, the elevating portion 120 and the photographing portion 130 are raised by the rotation operation portion 146 to return to the position shown in FIG.

작업관리자는 상기와 같은 일련의 과정을 통해 반도체 제조시 공정을 중단하지 않고서도 진공펌프(2)의 전단과 후단 및 스크루버(4)의 전단과 후단 사이에 연결된 배기라인의 막힘 상태나 교체시기를 구간별로 실시간 육안을 통해 용이하게 확인할 수 있게 되며, 이에 따라 배기라인의 막힘 상태로 인한 반도체 제조 공정의 중단이나 가스의 흐름 장애로 인한 누출사고 등을 미리 예측하여 대응할 수 있는 것이다.Through the above-described series of steps, the task manager can prevent the clogging state of the exhaust line connected between the front end and the rear end of the vacuum pump 2 and the front end and the rear end of the screw 4, Can be easily confirmed through real-time visual inspection for each section. Accordingly, it is possible to anticipate and respond to an accident such as an interruption of the semiconductor manufacturing process due to the clogged state of the exhaust line or a leakage of gas due to a flow obstacle.

한편, 배기라인의 검사시 파우더 축적, 산화, 부식 등에 의해 교체를 필요로 하는 배관이 있는 발생하는 경우에는 배기라인에서 교체해야될 배관(10)을 분리하게 되는데, 이때 해당 배관(10)에 설치된 검사장치를 배관(10)으로부터 분리한 뒤 안전하게 세정후, 세팅교정, 부품교체 및 부품수리 등을 거쳐 장치의 손상 없이 재사용할 수 있게 되므로 설치비용을 줄일 수 있게 된다.On the other hand, when there is a pipe requiring replacement due to powder accumulation, oxidation, corrosion, or the like during inspection of the exhaust line, the pipe 10 to be replaced in the exhaust line is detached. The inspection apparatus can be detached from the piping 10, and can be safely cleaned, and can be reused without damaging the apparatus through setting correction, parts replacement, and parts repair, thereby reducing the installation cost.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에 따른 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치는, 반도체 제조시 공정을 중단하지 않고서도 검사를 필요로 하는 배기라인 상태를 구간별로 실시간 육안을 통해 확인하여 배기라인의 막힘 상태나 교체시기를 예측하고 대응할 수 있게 됨으로써 배기라인의 관리효율을 높이면서도 반도체 제조 공정에 따른 가동율 향상에 기여할 수 있고, 장치의 재활용을 통해 설치비용을 줄일 수 있다.As described above, the vacuum pump exhaust line inspecting apparatus for a semiconductor manufacturing equipment according to the present embodiment confirms the state of the exhaust line which needs inspection during real time visual inspection, The clogging state and the replacement timing of the exhaust gas can be predicted and coped with, thereby improving the efficiency of management of the exhaust line, contributing to the improvement of the operating rate according to the semiconductor manufacturing process, and reducing the installation cost by recycling the apparatus.

앞에서, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 일이다. 따라서, 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 기술적 사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 되며, 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It is obvious to those who have. Accordingly, such modifications or variations should not be individually understood from the technical spirit and viewpoint of the present invention, and modified embodiments should be included in the claims of the present invention.

100: 몸체부 102: 제1 하우징
102A: 통로 104: 제2 하우징
106: 제3 하우징 110: 회전 조작부
112: 회전 노브 114: 회전축
120: 승강부 122: 승강부재
124: 승강 플레이트 126: 승강축
128: 고정 플레이트 129: 주름관
130: 촬영부 132: 촬영부 본체
134: 카메라 136: 조명부
140: 컨트롤러100: body portion 102: first housing
102A: passage 104: second housing
106: third housing 110:
112: rotation knob 114:
120: elevating part 122: elevating member
124: lift plate 126: lift shaft
128: Fixing plate 129: Corrugated tube
130: photographing unit 132: photographing unit main body
134: camera 136:
140: controller

Claims (12)

반도체 제조 장비용 진공펌프의 전단과 후단 및 스크루버의 전단과 후단 사이를 연결하는 배기라인을 검사하기 위한 장치로서,
상기 배기라인의 배관과 연결되며 내부에 상기 배관을 통해 배출되는 배기가스의 통로를 형성하는 중공형상의 제1 하우징과, 상기 제1 하우징의 상부에 결합되며 내부에 승강공간을 형성하는 중공형상의 제2 하우징과, 상기 제2 하우징의 상부에 결합되는 제3 하우징으로 구성되어 상기 배기라인 상에 적어도 하나가 마련되는 몸체부;
상기 제3 하우징의 상부에 회전 가능하게 마련되는 회전 노브와, 상기 회전 노브에 일체화되도록 관통하여 결합되되, 상기 승강공간에 수용되도록 상기 제3 하우징에 회전 가능하게 결합되며 외주면에 일정구간의 수나사부가 형성되는 중공형상의 회전축으로 구성되는 핸들 조작부;
상기 몸체부의 내부에 결합되되, 상기 수나사부와 대응되는 암나사부가 내주면에 형성되어 상기 회전축에 결합되며 상기 핸들 조작부의 회전 조작시 상기 회전축에 대해 승강운동을 하도록 마련되는 중공형상의 승강부재와, 상기 승강부재의 하단부에 일체로 결합되는 승강 플레이트와, 상기 회전축과 상기 승강부재의 내부에 배치되도록 상기 승강 플레이트에 일체로 결합되는 중공형상의 승강축로 구성되어 상기 핸들 조작부의 조작에 따라 상기 몸체부에 대해 승강운동을 하도록 마련되는 승강부;
상기 승강부에 일체로 결합되며 상기 배기라인의 내부를 촬영하도록 마련되는 촬영부; 및
상기 촬영부에 의해 촬영된 영상정보를 출력하도록 마련되는 컨트롤러를 포함하며,
상기 승강부는 상기 제2 하우징과 상기 제3 하우징 사이에 결합되는 고정 플레이트를 더 포함하되, 상기 고정 플레이트와 상기 승강 플레이트 사이에는 상기 회전축과 상기 승강부재의 나사부에 이물질이 끼는 것을 방지하기 위한 합성수지 재질의 주름관이 결합되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치.An apparatus for inspecting an exhaust line connecting a front end and a rear end of a vacuum pump for semiconductor manufacturing equipment and a front end and a rear end of a screw bar,
A hollow first housing connected to a pipe of the exhaust line and forming a passage of exhaust gas discharged through the pipe, and a second hollow housing coupled to an upper portion of the first housing, A body portion including a second housing and a third housing coupled to an upper portion of the second housing, the body portion being provided on the exhaust line;
A rotary knob rotatably provided on the upper portion of the third housing; a second knob rotatably coupled to the third housing so as to be integrated with the rotary knob, A handle operating portion formed of a hollow rotary shaft to be formed;
A hollow elevating member coupled to the inside of the body portion and having a female threaded portion corresponding to the male thread portion formed on an inner circumferential surface thereof and coupled to the rotary shaft to move up and down with respect to the rotary shaft when the handle operating portion is rotated; A lifting plate integrally coupled to a lower end portion of the lifting member and a hollow lifting shaft integrally coupled to the lifting plate so as to be disposed inside the lifting member and the rotary shaft, A lifting unit adapted to lift and lower the lifting unit;
A photographing unit integrally coupled to the elevating unit and configured to photograph the inside of the exhaust line; And
And a controller provided to output image information photographed by the photographing unit,
The elevating portion may further include a fixing plate coupled between the second housing and the third housing, and between the fixing plate and the elevating plate, a synthetic resin material for preventing foreign matter from being caught on the rotating shaft and the threaded portion of the elevating member Wherein the vacuum pump exhaust line inspecting device for a semiconductor manufacturing equipment is coupled to the corrugated pipe of the vacuum pump. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1 하우징은,
상기 배기라인의 배관과 연결되도록 상기 통로의 양단부에 결합되며 플랜지부를 형성하는 배관 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치.The method according to claim 1,
The first housing includes:
And a pipe connection part connected to both ends of the passage so as to be connected to the pipe of the exhaust line and forming a flange part. 제1항에 있어서,
상기 통로는,
상기 배기라인의 배관 지름과 대응되는 안지름을 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치.The method according to claim 1,
The passage
Wherein the exhaust pipe is formed to have an inner diameter corresponding to a pipe diameter of the exhaust line. 제1항에 있어서,
상기 몸체부는,
상기 배기라인의 미리 설정된 구간에 상호 일정간격 이격되어 마련되는 다수의 몸체부인 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치.The method according to claim 1,
The body portion
Wherein the plurality of body parts are spaced apart from each other by a predetermined interval in a predetermined section of the exhaust line. 제5항에 있어서,
상기 배기라인의 미리 설정된 구간은,
상기 배관의 연결부위나 굴절부위인 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치.6. The method of claim 5,
The predetermined section of the exhaust line may include:
Wherein the vacuum pump exhaust line inspecting device is a connecting portion of the pipe or a refracting portion. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 촬영부는,
상기 승강축의 하단부에 결합되는 촬영부 본체;
상기 촬영부 본체의 내부에 결합되며, 상기 승강부의 승강운동에 따라 상기 배기라인의 내부를 촬영하도록 마련되는 카메라; 및
상기 촬영부 본체에 결합되며 상기 카메라로 상기 배기라인의 내부를 촬영시 조명을 제공하도록 마련되는 조명부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치.The method according to claim 1,
Wherein,
A photographing unit main body coupled to a lower end of the lifting shaft;
A camera coupled to the inside of the photographing unit main body and configured to photograph the inside of the exhaust line in accordance with an elevation movement of the elevation portion; And
And an illuminating unit coupled to the photographing unit main body and provided to illuminate the interior of the exhaust line with the camera. 제10항에 있어서,
상기 승강축은,
상부에 상기 카메라 및 상기 조명부와 전기적으로 연결되는 승강축용 커넥터가 결합되고,
상기 컨트롤러는,
상기 승강축용 컨넥터와 연결되도록 대응되는 형상을 갖는 컨트롤러용 커넥터가 마련되며,
상기 카메라 및 상기 조명부는,
상기 컨트롤러의 조작에 따라 작동되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치.11. The method of claim 10,
The lift-
An elevating shaft connector electrically connected to the camera and the illuminating unit is coupled to the upper portion,
The controller comprising:
A connector for a controller having a shape corresponding to the elevating shaft connector is provided,
The camera and the illumination unit may include:
Wherein the controller is operated according to an operation of the controller. 제11항에 있어서,
상기 컨트롤러는,
상기 컨트롤러용 커넥터가 마련되는 컨트롤러 본체;
상기 컨트롤러 본체에 형성되며 상기 카메라의 영상정보를 출력하도록 마련되는 모니터부; 및
상기 컨트롤러 본체에 형성되며 상기 카메라 및 상기 조명부를 작동시키도록 마련되는 조작부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비용 진공펌프 배기라인 검사장치.12. The method of claim 11,
The controller comprising:
A controller body provided with the controller connector;
A monitor unit formed on the controller body and configured to output image information of the camera; And
And an operating unit formed on the controller body and adapted to operate the camera and the illumination unit.
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