KR101394635B1

KR101394635B1 - Heat treatment apparatus

Info

Publication number: KR101394635B1
Application number: KR1020060062650A
Authority: KR
Inventors: 후미오 다카타
Original assignee: 고요 써모 시스템 가부시끼 가이샤
Priority date: 2006-02-09
Filing date: 2006-07-04
Publication date: 2014-05-14
Also published as: TW200730421A; JP2007212052A; KR20070081071A; CN101016191B; CN101016191A; TWI387717B; JP5044125B2

Abstract

본 발명의 목적은 세터가 없는(setterless) 방식의 열처리를 실행하는 경우, 화로 내에서 피처리물의 깨짐 발생을 저렴한 비용으로 조기에 확실히 검출할 수 있는 열처리 장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a heat treatment apparatus capable of reliably and quickly detecting the breakage of a material to be treated in a furnace at a low cost in the case of performing a heat treatment in a setterless manner.

이송 경로를 따라 이송 롤러(2)의 아래쪽에 배치된 복수의 내열 유리(32) 각각의 일부를 노출부(5)로서 화로 외부로 노출시키고, 상기 노출부(5)에 진동 센서(4)를 배치한다. 진동 센서(4)의 검출 신호에 근거하여, 피이송물이 깨져 그 파편이 내열 유리(32) 상에 낙하하는 것을 검출한다. 이때, 이송 롤러(2)의 회전을 정지한다. A part of each of the plurality of heat-resistant glasses 32 disposed under the conveying roller 2 along the conveying path is exposed as an exposure unit 5 to the outside of the furnace and the vibration sensor 4 . On the basis of the detection signal of the vibration sensor 4, detects that the conveyed object is broken and the fragments fall on the heat-resistant glass 32. At this time, the rotation of the conveying roller 2 is stopped.

Description

[0001] HEAT TREATMENT APPARATUS [0002]

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리 장치(10)의 구성을 나타내는 요부의 측단면도 및 정단면도;1 is a side sectional view and a front sectional view of a recessed portion showing a configuration of a heat treatment apparatus 10 according to an embodiment of the present invention;

도 2는 열처리 장치(10)에 있어서 열처리 내용의 일 예를 나타내는 도면;2 is a view showing an example of the content of heat treatment in the heat treatment apparatus 10;

도 3은 열처리 장치(10)의 제어부(6)의 구성의 일 예를 나타내는 블록도;3 is a block diagram showing an example of the configuration of the control section 6 of the heat treatment apparatus 10;

도 4는 CPU(61)의 처리 순서의 일 예를 나타내는 플로우 챠트(flow chart); 및4 is a flow chart showing an example of the processing procedure of the CPU 61; And

도 5는 진동 센서(4)에 의한 진동의 검출 상태의 실험 결과의 일 예를 나타내는 도면이다. 5 is a diagram showing an example of the experimental result of the detection state of the vibration by the vibration sensor 4. As shown in Fig.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>Description of the Related Art

2 : 이송 롤러 4 : 진동 센서(진동검출수단)2: feed roller 4: vibration sensor (vibration detection means)

5 : 노출부 6 : 제어부(제어수단)5: Exposure section 6: Control section (control section)

10 : 열처리 장치 11~14 : 외벽부재10: heat treatment apparatus 11 to 14: outer wall member

20 : 피처리물 31~34 : 내열 유리(내측부재)20: material to be treated 31 to 34: heat-resistant glass (inner member)

본 발명은 플라즈마 디스플레이용 유리 기판 등과 같이 평평한 판 형상으로 취약성(脆弱性)을 지닌 피처리물을 내부가 비어 있는 이송 경로 내에서 가열처리, 서냉(徐冷)처리 및 냉각처리 등의 열처리를 행하는 열처리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma display panel for performing heat treatment such as a heating process, a slow cooling process, and a cooling process in a conveying path in which the inside of a material to be processed having a vulnerability is flat, such as a glass substrate for a plasma display, To a heat treatment apparatus.

플라즈마 디스플레이용 유리 기판 등과 같이 평평한 판 형상으로 취약성을 지닌 피처리물에 대한 열처리 방식으로서, 세터(setter) 방식이 알려져 있다. 세터 방식의 열처리에서는 피처리물을 세터 유리라고 불리는 강도가 있는 내열용 두꺼운 바닥판 위에 적재하고, 복수의 이송롤러의 회전에 의해 화로 내의 이송 경로 내로 이송한다(예: 특허공개 2004-293877 공보 참조).A setter method is known as a heat treatment method for a workpiece having a flat plate shape and a vulnerability such as a glass substrate for a plasma display. In the setter type heat treatment, the article to be processed is placed on a thick bottom plate for heat resistance having a strength called a setter glass, and is conveyed into a conveyance path in the furnace by rotation of a plurality of conveyance rollers (for example, refer to Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2004-293877 ).

예를 들면, 피처리물이 폭 1460㎜, 길이1030 ㎜, 두께 2.8㎜인 유리 기판에 대한 열처리에서, 폭 1600㎜, 길이 1200㎜, 두께 5㎜ 정도의 세터(setter) 유리가 사용된다.For example, setter glass having a width of 1600 mm, a length of 1200 mm, and a thickness of about 5 mm is used in a heat treatment for a glass substrate having a width of 1460 mm, a length of 1030 mm, and a thickness of 2.8 mm.

세터(setter) 방식은 피처리물보다 열용량이 큰 세터 유리도 가열 및 냉각해야 하기 때문에 에너지 소비가 크고 가열 및 냉각 영역도 길어진다.The setter method requires heating and cooling of the setter glass having a larger heat capacity than the object to be processed, which results in a large energy consumption and a long heating and cooling range.

따라서, 종래보다 에너지(energy)를 절약하고 소형화의 요청에 부응하기 위해, 세터(setter) 유리를 채용하지 않는 무세터(setterless) 방식의 열처리가 제안되고 있다. 무세터(setterless) 방식의 열처리는 피처리물을 이송 롤러에 직접 실어서 이송하기 때문에, 열용량이 큰 세터(setter) 유리를 가열 및 냉각할 필요가 없어 에너지 소비가 작아지고 또한 가열 및 냉각 영역을 단축할 수 있다.Therefore, in order to save energy and to meet the demand for miniaturization, a setterless heat treatment which does not employ setter glass has been proposed. Setterless heat treatment transfers material to be transferred directly to the conveying rollers, so there is no need to heat and cool setter glass having a large heat capacity, so that energy consumption is reduced and the heat and cooling area Can be shortened.

유리 기판 등의 취약성을 지닌 평판상의 피처리물은 열처리 중에 화로 내에서 깨지는 경우가 있다. 열처리 중에 피처리물이 깨지는 경우, 세터(setter) 방식의 열처리에서 피처리물은 세터(setter) 위에 그대로 있지만, 무세터(setterless) 방식의 열처리에서는 피처리물의 파편이 복수의 이송 롤러 사이에서 아래쪽으로 낙하한다. 낙하한 피처리물의 파편이 저면의 내측부재에서 이송면까지의 거리보다도 클 경우, 복수의 이송 롤러의 사이에서 이송면 윗쪽으로 돌출하여 그 다음의 피처리물의 이송을 저해할 가능성이 있다.A flat plate-like object having a vulnerability such as a glass substrate may be broken in the furnace during the heat treatment. In the case where the object to be processed is cracked during the heat treatment, the object to be processed in the setter-type heat treatment remains on the setter, but in the heat treatment of the setterless method, . If the debris of the dropped material is larger than the distance from the inner member on the bottom surface to the conveying surface, there is a possibility of protruding above the conveying surface between the plurality of conveying rollers to inhibit conveyance of the succeeding article to be treated.

따라서, 화로 내에서의 피처리물의 깨짐 발생을 조기에 검출하고, 피처리물의 이송을 정지하여 낙하한 피처리물의 파편을 제거할 필요가 있다. 그러나, 깨진 피처리물의 파편의 낙하를 광학적으로 검출하려고 하면, 깨진 피처리물 파편의 낙하 위치나 그 크기가 일정하지 않기 때문에, 피처리물의 이송 경로를 따라 다수의 센서를 배치할 필요가 있으며 이는 비용의 상승을 초래한다. 또한, 광학 센서는 유리 기판과 같이 투광성(透光性)을 지닌 피처리물의 낙하를 확실히 검출할 수 없는 경우도 있다.Therefore, it is necessary to detect breakage of the object to be treated in the furnace in an early stage, to stop the transfer of the object to be treated, and to remove fragments of the object to be processed. However, when an attempt is made to optically detect the falling of the broken pieces of the object to be processed, it is necessary to arrange a plurality of sensors along the feeding path of the object to be processed, Resulting in an increase in cost. In addition, the optical sensor may not be able to reliably detect the fall of the object having translucency, such as a glass substrate.

본 발명의 목적은 화로 내에서 피처리물의 깨짐 발생을 저렴한 비용으로 조기에 확실히 검출할 수 있는 무세터 방식의 열처리 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a heat setting apparatus of a no-setter type which can reliably detect breakage of an object to be treated in a furnace at a low cost and early.

본 발명의 열처리 장치는 외벽부재, 복수의 이송 롤러, 복수의 내측부재, 노출부, 진동검출수단 및 제어 수단을 구비한다. 외벽부재는 피처리물이 이송되는 이송 경로의 둘레를 피복한다. 복수의 이송 롤러는 이송 경로를 따라 복수의 위치에서 회전이 자유롭게 지지된다. 복수의 내측부재는 이송 경로를 따라 복수의 이송 롤러의 아래쪽에 배치된다. 노출부는 복수의 내측부재의 적어도 하나에서 외벽부재를 관통해서 외부로 노출한다. 진동검출수단은 노출부에 배치되고, 이송 경로를 따라 이송 중인 피처리물의 일부가 내측부재에 낙하하는 것에 의한 진동의 발생을 노출부에서 검출해서 검출 신호를 출력한다. 제어 수단은 낙하한 피처리물의 파편과 그 후에 이송되는 피처리물과의 접촉을 방지하기 위해 검출 신호에 근거해서 이송 롤러의 구동을 제어한다.The heat treatment apparatus of the present invention includes an outer wall member, a plurality of conveying rollers, a plurality of inner members, an exposed portion, a vibration detecting means, and a control means. The outer wall member covers the periphery of the conveyance path through which the object to be processed is conveyed. The plurality of conveying rollers are rotatably supported at a plurality of positions along the conveying path. A plurality of inner members are disposed below the plurality of feed rollers along the feed path. The exposed portion penetrates the outer wall member at at least one of the plurality of inner members and exposes to the outside. The vibration detecting means is disposed in the exposed portion, and detects the occurrence of vibration caused by the drop of a part of the object to be transported on the conveying path to the inner member by the exposure portion and outputs a detection signal. The control means controls the driving of the conveying roller based on the detection signal to prevent the debris of the object to be dropped from coming into contact with the object to be conveyed thereafter.

본 구성에서는, 이송 경로를 따라 배치된 복수의 이송 롤러의 아래쪽에 위치하는 내측부재의 일부가 외벽부재를 관통해서 외부에 노출되고, 그 노출부에 진동검출수단이 배치된다. 따라서, 화로 내에서 피처리물이 깨져 이송 롤러의 아래쪽으로 피처리물의 파편이 낙하하면, 피처리물의 파편과의 접촉에 의해 내측부재에 발생하는 진동이 화로 외부의 노출부에 전파되고 진동검출수단에 의해 검출된다. 진동을 검출한 진동검출수단의 검출 신호에 근거해서 이송 롤러의 구동이 제어되고, 낙하한 피처리물의 파편과 그 후에 이송되는 피처리물과의 접촉이 방지된다.In this configuration, a part of the inner member positioned below the plurality of conveying rollers disposed along the conveying path passes through the outer wall member and is exposed to the outside, and the vibration detecting means is disposed in the exposed portion. Therefore, when the object to be processed is broken in the furnace and the debris of the object falls downwardly of the conveying roller, the vibration generated in the inner member by the contact with the debris of the object to be processed is propagated to the exposed portion outside the furnace, . The driving of the conveying roller is controlled based on the detection signal of the vibration detecting means which detects the vibration and the debris of the dropped object is prevented from coming into contact with the object to be conveyed afterward.

또한, 이송 경로를 따라 적어도 가열 영역, 서냉 영역 및 냉각 영역을 구비하고, 노출부는 복수의 내측부재 중에서 적어도 서냉 영역에 배치된 내측부재에 구비될 수도 있다.Further, it is also possible to provide at least the heating region, the slow cooling region and the cooling region along the conveying path, and the exposed portion may be provided in the inner member disposed in at least the slow cooling region out of the plurality of inner members.

본 구성에서는, 적어도 서냉 영역에 배치된 내측부재에 생긴 진동이 화로 외부의 노출부에서 진동검출수단에 의해 검출된다. 따라서, 피처리물에 깨어짐이 발생하는 경우 서냉 영역에서 내측부재의 진동이 검출된다.In this configuration, at least the vibration generated in the inner member disposed in the slowly cooled region is detected by the vibration detecting means at the exposed portion outside the furnace. Therefore, when breakage occurs in the object to be processed, the vibration of the inner member is detected in the slowly cooled region.

더욱이, 제어 수단은 진동검출수단이 진동의 발생을 검출했을 때, 복수의 이송 롤러 중에서 진동이 발생한 내측부재보다 이송 경로의 상류측 범위에 배치된 이송 롤러의 구동을 정지할 수 있다.Further, when the vibration detecting means detects the occurrence of the vibration, the control means can stop the driving of the conveying rollers disposed in the upstream side range of the conveying path, relative to the inner member in which the vibration occurs in the plurality of conveying rollers.

본 구성에서는, 깨진 피처리물의 파편의 낙하에 의해 진동이 발생한 내측부재보다 상류측에 위치하는 피처리물의 이송이 정지되어, 낙하한 피처리물의 파편과 그 후에 이송되는 피처리물과의 접촉이 방지되고, 피처리물의 파손이 확대되는 것이 방지된다.In this configuration, the transfer of the object to be processed located on the upstream side of the inner member, which has been caused to vibrate by the falling of the broken piece of the object to be broken, is stopped and the contact between the broken piece of the object to be processed and the object to be transferred And the breakage of the object to be treated is prevented from being enlarged.

또한, 제어 수단은 진동검출수단이 진동 발생을 검출했을 때, 낙하한 피처리물이 이송 롤러의 상면측으로 노출하는 크기인지 아닌지를 검출 신호에 근거해서 판별하고 낙하한 피처리물이 이송면 보다 윗쪽으로 돌출하는 크기라고 판별했을 때에만 이송 롤러의 구동을 정지할 수도 있다.Further, when the vibration detecting means detects the occurrence of vibration, the control means determines whether or not the dropped object is of the size exposed to the upper surface side of the conveying roller based on the detection signal, and when the dropped object passes above the conveying surface The driving of the feed roller can be stopped only when it is determined that the size of the feed roller protrudes.

본 구성에서는, 낙하한 피처리물의 파편이 이송 롤러의 상면측으로 노출하는 크기라고 판별했을 때에만 이송 롤러의 구동이 정지된다. 따라서, 낙하한 피처리물의 파편이 작고, 그 후에 이송되는 피처리물에 영향을 주지 않을 경우에는 피처리물의 이송이 계속된다.In this configuration, the driving of the conveying roller is stopped only when it is determined that the fragments of the dropped material are exposed to the upper surface side of the conveying roller. Therefore, when the fragments of the dropped object are small and do not affect the transferred object to be transferred thereafter, the transfer of the object to be processed continues.

도 1a 및 1b은 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리 장치(10)의 구성을 나타 내는 요부의 측단면도 및 정단면도이다. 열처리 장치(10)는 일례로서 피처리물(20)인 플라즈마 디스플레이용 유리 기판에 대하여 무세터(setterless) 방식의 열처리를 실행한다. 열처리 장치(10)는 외벽부재(11∼14), 이송 롤러(2), 내열 유리(31∼34), 진동 센서(4), 이송 모터(24)를 구비하고 있다.Figs. 1A and 1B are a side sectional view and a front sectional view, respectively, of a recessed portion showing a configuration of a heat treatment apparatus 10 according to an embodiment of the present invention. The heat treatment apparatus 10 performs heat treatment in a setterless manner on a glass substrate for a plasma display, which is an object 20, as an example. The heat treatment apparatus 10 includes outer wall members 11 to 14, a feed roller 2, heat resistant glasses 31 to 34, a vibration sensor 4, and a feed motor 24.

외벽부재(11~14)는 단열재료로 구성되고, 각각 피처리물(20)이 이송되는 이송 경로의 상면, 하면 및 좌우 측면을 둘러싼다. 적어도 외벽부재(11)는 내측면에 히터(도시되지 않음)를 구비하고 있다. 각각의 외벽부재(11∼14)는 화살표 X로 표시된 이송 경로를 따라 복수로 분할되어 있다.The outer wall members 11 to 14 are made of a heat insulating material and surround the upper and lower surfaces and the left and right side surfaces of the conveyance path through which the object 20 is conveyed. At least the outer wall member 11 has a heater (not shown) on its inner surface. Each of the outer wall members 11 to 14 is divided into a plurality of parts along a conveying path indicated by an arrow X. [

내열 유리(31∼34)는 본 발명의 내측 부재이고, 각각 외벽부재(11∼14)의 화로 내측을 피복하도록 배치되어 있다. 내열 유리(31∼34)는 외벽부재(11∼14)에서 이탈한 먼지가 피처리물(20)에 부착하는 것을 방지한다. 각각의 내열 유리(31∼34)는 이송 경로를 따라 복수로 분할되어 있다.The heat-resistant glasses 31 to 34 are inner members of the present invention and are arranged so as to cover the inside of the furnace of the outer wall members 11 to 14, respectively. The heat-resistant glasses 31 to 34 prevent the dust separated from the outer wall members 11 to 14 from adhering to the object 20 to be treated. Each of the heat-resistant glasses 31 to 34 is divided into a plurality of parts along the conveyance path.

이송 롤러(2)는 이송 경로를 따라 복수의 위치에 구비된다. 이송 롤러(2)는 양단부가 외벽부재(13) 및 맞은편 외벽부재(14)와 동시에 내열 유리(33) 및 맞은편 내열 유리(34)를 관통하고 있고, 좌측면 및 우측면의 화로 외부의 축받이(21,22)에 의해 자유롭게 회전하도록 지지된다. 이송 롤러(2)는 우측면측의 화로에서 노출된 단부에 스프로킷(sprocket)(23)이 고정되어 있다. 상기 스프로킷(sprocket)(23)에는 체인(25)을 끼워서 이송 모터(24)의 회전력이 전달된다.The conveying roller 2 is provided at a plurality of positions along the conveying path. Both ends of the conveying roller 2 penetrate the heat-resistant glass 33 and the heat-resistant glass 34 opposite to the outer wall member 13 and the opposite outer wall member 14 at the same time. On the left side and the right side, (21, 22). The conveying roller 2 has a sprocket 23 fixed to the end exposed at the right side furnace. The rotational force of the feed motor 24 is transmitted to the sprocket 23 through the chain 25.

복수의 내열 유리(32)는 각각 외벽부재(12)에 밀착 지지되는 것이 아니라, 외벽부재(13,14)의 하부 및 중간위치를 제외한 나머지 부분과는 접촉되지 않도록 지지되어, 다른 부재에서의 진동의 전파에 의한 내열 유리(32)(내측 부재) 내의 진동 감쇠(減衰)를 최소한으로 억제한다. 그러나, 진동의 감쇠가 문제가 되지 않는 경우는 밀착 지지해도 괜찮다.The plurality of heat-resistant glass sheets 32 are not tightly supported on the outer wall member 12 but are supported so as not to come in contact with other portions except the lower and intermediate positions of the outer wall members 13 and 14, Heat-absorbing glass 32 (inner member) due to the propagation of electromagnetic waves. However, in the case where the attenuation of the vibration is not a problem, it may be supported by close contact.

복수의 내열 유리(32)의 각각의 좌측면측 단부에는 좌측 외벽부재(13)에서 화로 외부로 노출되는 노출부(5)가 연장 형성되어 있다. 각각의 노출부(5)에는 진동검출수단인 진동 센서(4)가 부착되어 있다. 진동 센서(4)는 내열 유리(32)에서 발생하여 노출부(5)로 전파되는 진동을 검출해서 검출 신호를 출력한다.The exposed portion 5, which is exposed to the outside of the furnace at the left outer wall member 13, is formed at the left side end of each of the plurality of heat-resistant glasses 32. Each of the exposed portions 5 is provided with a vibration sensor 4 as vibration detecting means. The vibration sensor 4 detects a vibration generated in the heat-resistant glass 32 and propagated to the exposed portion 5 and outputs a detection signal.

도 2는 열처리 장치(10)에 따른 열처리 내용의 일 예를 도시한 도면이다. 열처리 장치(10)는 화로 내의 이송 경로의 일단에서부터 타단까지 피처리물(20)을 이송하고, 그 사이에 피처리물(20)에 제1 균열처리, 제2 균열처리, 서냉처리 및 냉각 처리를 실행한다.2 is a view showing an example of the contents of the heat treatment according to the heat treatment apparatus 10. As shown in Fig. The heat treatment apparatus 10 transfers the article 20 from one end to the other end of the conveyance path in the furnace and performs a first cracking treatment, a second cracking treatment, a slow cooling treatment and a cooling treatment .

제1 균열처리는 피처리물(20)을 예컨대 350℃로 가열한 상태를 20분간 유지한다. 제2 균열처리는 피처리물(20)을 예컨대 600℃로 가열한 상태를 30분간 유지한다. 서냉처리는 피처리물(20)을 1시간에 걸쳐 400℃까지 냉각한다. 냉각처리는 피가열물(20)을 50분에 걸쳐 상온까지 냉각한다.In the first cracking treatment, the object 20 is maintained at 350 DEG C for 20 minutes, for example. In the second cracking treatment, the object 20 is maintained at, for example, 600 DEG C for 30 minutes. In the slow cooling treatment, the object 20 is cooled to 400 DEG C over 1 hour. In the cooling process, the object 20 is cooled to room temperature over 50 minutes.

도 3은 열처리 장치(10)의 제어부(6) 구성의 일 예를 도시하는 블록도이다. 본 발명의 제어 수단인 제어부(6)는 ROM(62) 및 RAM(63)을 구비한 CPU(61)에, A/D 변환기(64), 모터 드라이버(motor driver)(65) 등을 접속해서 구성된다.Fig. 3 is a block diagram showing an example of the configuration of the control section 6 of the heat treatment apparatus 10. Fig. The control unit 6 as the control means of the present invention connects the A / D converter 64, the motor driver 65, and the like to the CPU 61 having the ROM 62 and the RAM 63 .

A/D 변환기(64)는 진동 센서(4)와 같은 수로 구비될 수 있고, 복수의 A/D변환기(64)의 각각에는 진동 센서(4)가 접속되어 있다. 각각의 A/D변환기(64)는 진동 센서(4)의 검출 신호를 디지털 데이터로 변환해서 CPU(61)에 입력한다.The A / D converter 64 may be provided in the same number as the vibration sensor 4, and the vibration sensor 4 is connected to each of the plurality of A / D converters 64. Each A / D converter 64 converts the detection signal of the vibration sensor 4 into digital data and inputs it to the CPU 61.

CPU(61)는 A/D변환기(64)로부터 입력된 검출 데이타를 참조하여, ROM(62)이 기억하고 있는 프로그램에 따라 모터 드라이버(65)에 구동 데이타를 출력한다. 모터 드라이버(65)에는 이송 모터(24)가 접속된다. 모터 드라이버(65)는 CPU(61)로부터 출력된 구동 데이타에 근거해서 이송 모터(24)를 구동한다.The CPU 61 refers to the detection data input from the A / D converter 64 and outputs driving data to the motor driver 65 in accordance with the program stored in the ROM 62. [ A feed motor 24 is connected to the motor driver 65. The motor driver 65 drives the feed motor 24 based on the drive data output from the CPU 61. [

도 4는 CPU(61)의 처리 순서를 나타내는 플로우 챠트(flow chart)이다. 피처리물(20)의 열처리시에, CPU(61)는 모터 드라이버(65)의 도움으로 이송 모터(24)를 구동한다(S1). 이에 의해, 피처리물(20)은 화로 내에서 이송 경로를 따라 이송된다. Fig. 4 is a flow chart showing the processing procedure of the CPU 61. Fig. At the time of heat treatment of the object 20, the CPU 61 drives the feed motor 24 with the help of the motor driver 65 (S1). Thereby, the article 20 is conveyed along the conveying path in the furnace.

열처리 실행 중에, CPU(61)는 복수의 진동 센서(4) 중 어느 것에 의해 진동이 검출되는지를 판별한다(S2). 진동 센서(4) 중 어느 것에 의해 진동이 검출되면, CPU(61)는 이송 모터(24)의 구동을 정지한다(S3).During the execution of the heat treatment, the CPU 61 determines which of the plurality of vibration sensors 4 detects the vibration (S2). When vibration is detected by any one of the vibration sensors 4, the CPU 61 stops driving the feed motor 24 (S3).

낙하물이 제거되어 처리의 재개가 지시되었을 경우 및 복수의 진동 센서(4)의 어느 것도 진동이 검출되지 않는 경우에는 처리의 종료가 지시될 때까지 이송 모터(24)를 구동하여 피처리물(20)의 이송을 계속한다(S4,S5).When the falling objects are instructed to resume the process and when no vibration is detected in any of the plurality of vibration sensors 4, the feed motor 24 is driven until the end of the process is instructed, (S4, S5).

열처리 장치(10)는 세터(setter)를 사용하지 않고 이송 롤러(2)에 피처리물(20)을 직접 올려놓고 화로 내에서 이송한다. 화로 내를 이송중인 피처리물(20)이 깨져 그 일부가 이송 롤러(2) 아래쪽으로 낙하하면, 이 피처리물(20) 파편과 접촉함으로써 내열 유리(32)에 진동이 생기고, 그 진동은 노출부(5)에 전파된다. 따라서, 진동을 검출하는 진동 센서(4)가 노출부(5)에 구비된 내열 유리(32)가 있는 영역에서 피처리물(20)이 깨지고, 그 일부가 이송 롤러(2)로부터 낙하하였다는 것을 판단할 수 있다.The heat treatment apparatus 10 directly feeds the object 20 to the feed roller 2 without using a setter and feeds the object 20 in the furnace. When the object 20 to be transferred in the furnace is broken and a part thereof falls down below the conveying roller 2, the heat-resistant glass 32 comes into contact with the debris of the object 20 to cause vibration, And is then spread to the exposed portion 5. Therefore, when the vibration sensor 4 for detecting the vibration breaks the object 20 in the region where the heat-resistant glass 32 provided in the exposed portion 5 is present and a part of the object 20 is dropped from the conveyance roller 2 .

이송 롤러(2)에서 낙하한 낙하물이 비교적 클 경우에는, 낙하물의 일부가 이송면 보다도 위쪽으로 돌출하고, 이것을 방치하면 뒤에 이송되는 피처리물(20)과 충돌한다. 진동 센서(4) 중 어느 것이 진동을 검출했을 때에, 이송 모터(24)의 구동을 정지시킴으로써, 이송 경로에서 피처리물(20)의 이동을 정지시키고, 뒤에 이송되는 피처리물(20)이 낙하물과 충돌해서 파손되는 것을 방지할 수 있다.When the fallen objects fall on the conveying roller 2 are relatively large, a part of the fallen objects protrudes upward from the conveying surface. When the fallen object is left, the object 20 collides with the object 20 to be conveyed later. The movement of the object 20 in the conveyance path is stopped by stopping the driving of the conveyance motor 24 when any of the vibration sensors 4 detects the vibration and the object 20 to be conveyed afterwards is stopped It is possible to prevent collision with falling objects and breakage.

한편, CPU(61)에 표시 수단이 구비되어, 진동을 검출한 진동 센서(4)가 있는 장소를 CPU(61)가 표시 수단으로 표시하도록 하는 것도 바람직하다. 낙하물의 위치를 정확하게 특정하여 제거 작업을 용이하게 할 수 있다. 진동 센서(4) 각각에 근접해서 표시등(表示燈) 등의 표시 수단을 설치하여, 진동을 검출한 진동 센서(4)에 가장 근접한 표시 수단에 의해 표시를 실행하도록 하는 것도 바람직하다.On the other hand, it is also preferable that the CPU 61 is provided with a display means so that the CPU 61 displays the place where the vibration sensor 4 that detects the vibration is displayed by the display means. It is possible to accurately identify the position of the falling object and to facilitate the removal operation. It is also preferable to provide a display means such as a display lamp or the like near each of the vibration sensors 4 so that the display is performed by the display means closest to the vibration sensor 4 that detects the vibration.

도 5는 진동 센서(4)에 의한 진동의 검출 상태의 실험 결과의 일 예를 도시한 도면이다. 도면에서 명확히 알 수 있는 바와 같이, 내열 유리(32)의 노출부(5)에 배치된 진동 센서(4)의 검출 신호인 출력 전압은 그 내열 유리(32)에 낙하한 파편이 커짐에 따라 증가한다. 또한, 그 출력 전압은 열처리 장치(10)의 전체에 외력이 작용하는 경우, 열처리 장치(10) 자체로부터 진동이 작용하는 경우, 인접한 내열 유리에 파편이 낙하했을 경우의 진동 센서(4)의 출력 전압과도 크게 다르다.5 is a diagram showing an example of the experimental result of the detection state of the vibration by the vibration sensor 4. In Fig. The output voltage which is a detection signal of the vibration sensor 4 disposed in the exposed portion 5 of the heat resistant glass 32 is increased as the debris falling on the heat resistant glass 32 becomes larger, do. Further, the output voltage of the vibration sensor 4 when the vibration is applied from the heat treatment apparatus 10 itself, when the external force is applied to the entire heat treatment apparatus 10, The voltage is also very different.

따라서, 진동 센서(4)의 출력 전압으로부터, 그 진동 센서(4)가 설치되어 있는 노출부(5)를 가진 내열 유리(32)에 낙하한 파편의 크기를 판별할 수 있다. Therefore, the size of the debris falling on the heat-resistant glass 32 having the exposed portion 5 provided with the vibration sensor 4 can be determined from the output voltage of the vibration sensor 4. [

다만, 처리 온도의 차이에 의한 출력 전압의 차이는 작지만, 피처리물(20)의 형상이나 두께, 저면의 내열 유리(32)의 크기와 지지 상태, 낙하 높이 등의 차이 등의 여러 조건에 의해 출력 전압은 변화하기 때문에, 반응을 일으키는 최소 에너지 수치를 최적으로 설정하는 것이 바람직하다.However, due to various conditions such as the shape and thickness of the object 20 to be processed and the difference in the size and the supporting state of the heat-resistant glass 32 on the bottom surface, the drop height, etc. Since the output voltage varies, it is desirable to set the minimum energy value that causes the reaction to be optimal.

피처리물(20)로부터 낙하한 파편이 충분히 작을 경우에는, 내열 유리(32) 위로 완전히 낙하하고, 후에 이송되는 피처리물(20)과 충돌할 일은 없다. 피처리물(20)로부터 낙하한 파편이 비교적 클 경우에, 이송 롤러(2)의 위쪽으로 일부가 돌출하고, 후에 이송되는 피처리물(20)과 충돌한다.When the debris falling from the object 20 is sufficiently small, the object falls completely onto the heat-resistant glass 32 and does not collide with the object 20 to be transported later. When the debris falling from the object 20 is relatively large, a part thereof protrudes upward from the conveying roller 2 and collides with the object 20 to be conveyed later.

따라서, 진동 센서(4)의 출력 전압으로부터 파편이 비교적 크다고 판단했을 경우에만, S5에서 이송 모터(24)의 구동을 정지하도록 하는 것이 바람직하다. 피처리물(20)의 깨진 파편이 뒤의 피처리물(20)의 열처리에 지장을 초래하는 경우에만 열처리 작업을 중단할 수 있고, 뒤의 피처리물(20)의 열처리에 영향을 주지 않을 경우에는 열처리 작업을 계속해서 실행할 수 있다.Therefore, it is preferable that the driving of the feed motor 24 is stopped in S5 only when it is determined that the debris is relatively large from the output voltage of the vibration sensor 4. It is possible to stop the heat treatment operation only when the broken pieces of the object 20 cause the heat treatment of the object 20 to be processed to be obstructed and does not affect the heat treatment of the succeeding object 20 The heat treatment operation can be continuously executed.

더욱이, 진동 센서(4)의 출력 전압으로부터, 그 진동 센서(4)가 설치되어 있는 노출부(5)를 가진 내열 유리(32)에 파편이 낙하한 것을 정확하게 검출할 수 있다.It is also possible to accurately detect that the debris falls from the output voltage of the vibration sensor 4 to the heat-resistant glass 32 having the exposed portion 5 in which the vibration sensor 4 is installed.

따라서, 이송 경로를 복수로 분할하는 각 영역에 포함된 각각의 이송 롤러(2)마다 이송 모터(24)의 회전력을 공급하도록 하고, S5의 처리에서는 진동을 검출한 진동 센서(4)가 배치되는 영역보다 상류측의 영역에 배치된 이송 롤러(2)만의 회전을 정지하는 것도 바람직하다. 낙하물이 존재하는 영역보다 하류측에서는 피처 리물(20)의 이송을 계속함으로써, 화로 내에서 이송 중인 피처리물(20) 중에서 낙하물이 충돌할 가능성이 없는 피처리물(20)에 대한 열처리를 적절하게 수행할 수 있다.Therefore, the rotational force of the conveying motor 24 is supplied to each of the conveying rollers 2 included in each of the areas for dividing the conveying path into a plurality of conveying paths, and in the processing of S5, the vibration sensor 4 that detects the vibration is disposed It is also preferable to stop the rotation of only the conveying roller 2 disposed in the area on the upstream side of the area. By continuing the conveyance of the object 20 on the downstream side of the area where the object falls, the heat treatment for the object 20 which is not likely to collide with the object 20 in the object 20 in the furnace is suitably performed Can be performed.

한편, 상기의 실시예에 있어서, 동일한 상태로 구동되는 복수의 이송 롤러(2)가 포함된 하나의 영역과 각 진동 센서(4)가 배치되는 영역이 반드시 일치할 필요는 없다. 이송 롤러(2)의 배치 위치와 진동 센서(4)의 배치 위치는 서로 다른 기준으로 설정될 수 있다. 이런 경우, 이송 롤러(2)의 배치 위치와 진동 센서(4)의 배치 위치의 대응 관계를 미리 정해 두고, 그 대응 관계에 따라 어느 진동 센서(4)가 진동을 검출했을 때에 구동을 제어해야 할 상류측의 이송 롤러(2)를 결정할 수 있다.On the other hand, in the above embodiment, it is not necessarily required that one area including the plurality of conveying rollers 2 driven in the same state and the area where each vibration sensor 4 is arranged necessarily coincide with each other. The arrangement position of the conveying roller 2 and the arrangement position of the vibration sensor 4 can be set to different standards. In this case, the corresponding relationship between the arrangement position of the conveying roller 2 and the arrangement position of the vibration sensor 4 is determined in advance, and the driving should be controlled when the vibration sensor 4 detects the vibration in accordance with the correspondence relationship The conveying roller 2 on the upstream side can be determined.

여기에서, 상류측의 이송 롤러(2)는 피처리물(20) 파편의 낙하에 의해 영향을 받을 가능성이 있는 다른 피처리물(20)을 이송 중인 이송 롤러(2)를 의미하고, 반드시 진동 센서(4)에 대한 이송 롤러(2)의 물리적인 상류측의 위치를 의미하는 것은 아니다. 따라서, 피처리물(20)의 파편이 낙하했을 때, 진동을 검출한 진동 센서(4)의 배치 위치에 대하여 물리적으로 하류측에 배치되는 이송 롤러(2)의 회전을 정지할 수도 있다.Here, the conveying roller 2 on the upstream side means the conveying roller 2 that is conveying another object 20 to be processed, which is likely to be affected by falling of the piece 20 to be processed, But does not mean the position on the upstream side of the conveying roller 2 with respect to the sensor 4. Therefore, when the debris of the article 20 falls, the rotation of the conveying roller 2 physically disposed on the downstream side with respect to the position of the vibration sensor 4 that detects the vibration can be stopped.

본 발명의 열처리 장치에 따르면, 화로 내에서 피처리물이 깨져 이송 롤러의 아래쪽으로 피처리물의 파편이 낙하하는 것을, 피처리물의 파편과의 접촉에 의해 내측부재에 발생하여 화로 외부의 노출부에 전파되는 진동에 의해 저렴한 비용으로 조기에 확실히 검출할 수 있다. 또한, 진동을 검출한 진동검출수단의 검출 신호에 근거해서 이송 롤러의 구동을 제어함으로써, 낙하한 피처리물의 파편과 그 후에 이송되는 피처리물과의 충돌을 방지할 수 있다.According to the heat treatment apparatus of the present invention, the object to be processed is broken in the furnace so that the debris of the article to be dropped downwardly of the conveying roller is generated in the inner member by contact with the debris of the object to be processed, It can be surely detected early and at low cost by propagation vibration. Further, by controlling the driving of the conveying roller based on the detection signal of the vibration detecting means which detects the vibration, it is possible to prevent the debris of the object to be dropped from colliding with the object to be conveyed thereafter.

Claims

An outer wall member covering the periphery of the conveyance path through which the object to be processed is conveyed; A plurality of feed rollers rotatably supported in a heating region, a slow cooling region, and a cooling region, which are arranged in order with different processing temperatures from each other along the feed path; A plurality of inner members disposed below the plurality of conveying rollers along the conveying path; An exposed portion of each of the plurality of inner members exposed through the outer wall member to the outside; A plurality of vibration detection means disposed in the exposed portion along the conveyance path for detecting a vibration generated when a part of the object to be conveyed in the conveyance path falls on the inner member and outputs a detection signal; Means; And control means for controlling driving of each of the plurality of conveying rollers based on the detection signal so as to prevent contact between a part of the object to be dropped and the object to be conveyed thereafter,

Wherein the control means controls the drive of the conveyance roller disposed in the upstream side range of the conveyance path with respect to the inner member in which the vibration occurs among the plurality of conveyance rollers when any one of the plurality of vibration detection means detects the occurrence of the vibration (Stop processing) for stopping the heat treatment of the heat treatment apparatus.

The method according to claim 1,

The control means determines whether or not a part of the object to be dropped at any of the plurality of inner members is exposed to the upper surface side of the plurality of conveyance rollers based on the detection signal when the vibration detection means detects the occurrence of vibration (Stop processing) is executed only when it is determined that the part of the article to be dropped in the discrimination process is the size exposed to the upper surface side of the plurality of conveying rollers And a heating unit for heating the substrate.

3. The method according to claim 1 or 2,

A cooling zone and a cooling zone along the conveying path, and the exposing unit is provided on at least an inner member disposed in the slow cooling zone among the plurality of inner members.

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