KR101381618B1 - 비분산 자외선 흡수법을 이용한 멀티가스 분석장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 비분산 자외선 흡수법을 이용한 멀티가스 분석장치에 관한 것이다. 그 구성은, 자외선 램프(1); 상기 램프(1) 전방에 설치되는 광분할기(3); 상기 광분할기(3)를 직선으로 관통하는 빛의 진행경로 상에 설치되는 것으로서, 성분 분석을 위한 목적가스가 유입, 배출되는 광통(5); 상기 광통(5)에 유입되는 빛을 반사하기 위한 제1미러(13); 상기 광분할기(3)에서 반사되는 빛의 진행 경로상에 설치되는 것으로서 표준가스가 봉입되는 표준가스셀(15); 상기 표준가스셀(15)에 설치되어 입사되는 빛을 반사하는 제2미러(17); 상기 제1,2미러(13,17)에서 반사되는 빛을 분산시켜 스펙트럼을 형성시키기 위한 분산소자(19,21); 분산소자(19,21)에 의해 형성되는 스펙트럼을 이용하여 상기 표준가스와 목적가스의 성분을 각각 분석하는 검출부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 가스 분석장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 비분산법과 분산법을 함께 이용하여 광분해를 함으로써 간섭가스에 의한 간섭을 사전에 배제시킬 수 있어 측정 정밀도를 높일 수 있는 비분산 자외선 흡수법을 이용한 멀티가스 분석장치에 관한 것이다.
산업시설의 굴뚝에서 배기되는 가스 또는 자동차 배기관에서 배기되는 가스의 성분 분석을 해야 할 필요성이 있다. 측정을 요하는 가스는 대표적으로 SO2, NO, NO2, NH3 등이 있다. 가스의 성분 분석을 위한 여러 방식이 있으나 본 발명은 그중 비분산자외선(NDUV, Non Dispersion Ultra-violet) 흡수식에 관한 것이다.
전자가 자외선을 흡수하여 기저(基底) 상태에서 여기(勵起) 상태로 옮길 때의 흡수 스펙트럼의 상태를 자외선 파장의 함수로서 분석함으로써 물질 성분이나 농도를 분석하는 방법을 자외선 흡수 분광법(ultraviolet absorption spectrophotometry)이라 한다.
200 ~ 400nm 대역의 자외선 영역에서는 연소과정의 배출가스( NOx, SO2, 벤젠 등)의 흡광이 다른 가스에 비해 특징적인 현상을 감지할 수 있다. 이러한 자연현상을 바탕으로 200 ~ 400nm 대역의 자외선을 이용하여 가스의 종류 및 가스의 농도를 분석하는 방법으로 분산법과 비분산법이 제안되고 있다.
시료를 통과한 자외선 파장에 따른 세부 흡광 영역이 가스의 종류를 판단하는 기준인데, 비분산법의 경우 광학 필터(이하, 필터라 함)의 성능에 좌우되어 인접 가스와 사이에서 간섭이 일어나는 것을 배재할 수 없다는 난점이 있다. 이 때문에 필터의 광투과 폭이 5nm 이내에서는 제작의 어려움으로 인하여 아예 복수의 광학 필터를 결합시켜 사용한다. 결국 비분산 방식에 의한 분광기는 필터의 수가 많아지게 되고, 다수의 필터에 의해 분석기의 크기가 커지며, 제어신호 내지 제어방법이 복잡해지게 된다. 일반적으로 비분산 방식의 경우 기준셀(reference cell) 내에 N2가스를 봉입하여 사용하고 있다.
위와 같은 문제에 대한 본 발명의 목적은 비분산법 및 분산법을 함께 이용함으로써 간섭가스에 의한 간섭현상을 최소화함으로써 보다 정확한 측정값을 얻을 수 있는 비분산 자외선 흡수법을 이용한 멀티가스 분석장치를 제공하는 것에 있다. 또한 장치의 구조를 간단하게 함으로써 보다 경제적인 멀티가스 분석장치를 제공하는 것에 본 발명의 목적이 있다.
위와 같은 목적은; 자외선을 조사하기 위한 램프; 상기 램프 전방에 설치되는 것으로서 상기 램프에서 조사되는 빛의 진행방향에 대하여 경사지게 설치되는 광분할기; 상기 광분할기를 직선으로 관통하는 빛의 진행경로 상에 설치되는 것으로서, 성분 분석을 위한 목적가스가 유입되는 가스유입구와 유입된 목적가스가 배출되는 가스배출구가 마련되는 광통; 상기 광통에 유입되는 빛을 반사하기 위한 제1미러(mirror); 상기 광분할기에서 반사되는 빛의 진행 경로상에 설치되는 것으로서 표준가스가 봉입되는 표준가스셀(cell); 상기 표준가스셀에 설치되어 입사되는 빛을 반사하는 제2미러(mirror);
상기 제1미러에서 반사되는 빛을 분산시켜 스펙트럼을 형성시키기 위한 제1분산소자; 상기 제2미러에서 반사되는 빛을 분산시켜 스펙트럼을 형성시키기 위한 제2분산소자; 및 상기 제1,2분산소자에 의해 형성되는 스펙트럼을 이용하여 상기 표준가스와 목적가스의 성분을 각각 분석하는 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비분산 자외선 흡수법을 이용한 멀티가스 분석장치에 의해 달성된다.
본 발명의 다른 특징에 의하면 상기 광분할기는 상기 램프에서 조사되는 빛의 진행방향에 대하여 45° 각도로 경사지게 설치됨으로써 상기 제1,2미러에서 반사되는 빛의 경로가 같게 되어 있으며; 상기 제1,2분산소자로 하여금 상기 제1,2미러에서 반사되는 빛을 선택적으로 수광할 수 있도록 상기 광통으로 입사되는 빛을 차단하기 위한 제1차광부와; 상기 표준가스셀로 향하는 빛을 차단하기 위한 제2차광부를 포함할 수 있다.
여기서 상기 제1차광부는 상기 광통으로 입사되는 빛의 경로상에 제1축을 기준으로 회전 가능하게 설치되는 원판 형태로서; 원주방향을 따라 일정한 간격으로 특정 대역의 빛을 투과시키는 광필터, 입사되는 모든 빛을 투과시키는 관통홀 및 입사되는 빛을 흡수하는 차광막이 형성되는 제1필터; 상기 제1필터의 광필터, 관통홀 및 차광막이 선택적으로 광경로상에 위치되도록 상기 제1필터를 상기 제1축을 축으로 하여 회전 기동시키는 제1필터기동부를 포함할 수 있다.
여기서 광필터는 복수개가 마련될 수 있다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 제1,2분산소자는 프리즘, 홀로그래픽 그레이팅(holographic grating) 또는 브레이즈 그레이팅(brazed grating) 중 어느 하나일 수 있다.
본 발명에 의하면 모든 가스별 필터를 사용하지 않고 1차적으로 비분산에 의한 광을 선택하고 최종단계에서 분산에 의한 세부적으로 광을 분리함으로써 간섭가스에 의한 영향을 최소화시킬 수 있어 정확한 측정값을 얻을 수 있는, 비분산 자외선 흡수법을 이용한 멀티가스 분석장치가 제공된다. 또한 광필터를 여러 개 사용하지 않아도 되고 광경로가 단순하여 장치의 구조를 간단하게 할 수 있는 멀티가스 분석장치가 제공된다. 또한 광 분할기를 이용함으로써 경로가 변경된 광을 선택적으로 사용함으로써 다양한 방식으로 분석장치를 활용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 비분산 자외선 흡수법을 이용한 멀티가스 분석장치의 구성도이자 제1사용상태도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 비분산 자외선 흡수법을 이용한 멀티가스 분석장치의 구성도이자 제2사용상태도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 의한 가스 측정장치의 개략 정면 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 비분산 자외선 흡수법을 이용한 멀티가스 분석장치의 구성도이자 제2사용상태도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 의한 가스 측정장치의 개략 정면 구성도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 내용을 상세하게 설명한다. 도 1과 도 2는 본 발명의 실시예에 의한 비분산 자외선 흡수법을 이용한 멀티가스 분석장치의 구성도로서 동일한 구성이되 다른 사용상태를 표현하고 있다.
램프(1)는 자외선을 조사하기 위한 자외선램프이다. 광분할기(3)가 광로 상에 위치되도록 램프(1)의 전방에 설치된다. 각 도면에서 각각의 광경로는 화살표(W)로 표시된다.
광분할기(3, beam slitter)는 입사되는 빛의 일부는 반사하고 일부는 통과시킨다. 특히 입사되는 빛의 50%는 반사의 원리에 입각하여 반사시키며 나머지 50%는 그대로 투과시킨다. 특히 광분할기(3)는 양면이 동일한 기능을 수행한다. 즉 광분할기(3)는 어느 방향에서 광이 조사되어도 그의 반은 반사시키고 나머지 반은 그대로 투과시킨다.
광분할기(3)는 램프(1)에서 조사되는 빛의 진행방향에 대하여 경사지게 설치된다. 도시된 바에 의하면 빛의 진행방향에 대한 광분할기(3)의 경사도(K)는 45°이다.
광통(5)이 램프(1)에 의해 조사된 빛이 광분할기(3)를 직선으로 관통하는 경로 상에 설치된다. 광통(5)에는 성분 분석을 위한 목적가스(G1)가 유입되는 가스유입구(7)와 유입된 목적가스가 배출되는 가스배출구(9)가 마련된다. 광통(5)의 선단은 빛이 투과되는 투명창(11)이 마련되고 후단에는 광통(5)에 유입되는 빛을 회귀 반사하기 위한 제1미러(13, mirror)가 설치된다.
표준가스(G0)가 봉입되는 표준가스셀(15)이 광분할기(3)에서 반사되는 빛의 진행 경로상에 설치된다. 표준가스셀(15)의 선단에는 빛이 투과될 수 있는 투명창(11')이 마련되고 후단에는 입사되는 빛을 회귀 반사하기 위한 제2미러(17, mirror)가 설치된다. 표준가스(G0)는 교체 투입이 가능하게 되어 있다.
제1분산소자(19)는 제1미러(13)에서 반사되는 빛을 분산시켜 스펙트럼(S)을 형성시키며, 제2분산소자(21)는 제2미러(17)에서 반사되는 빛을 분산시켜 스펙트럼(S)을 형성시킨다. 제1,2분산소자(19,21)는 별개로 마련될 수도 있지만, 보다 바람직하게는 도시된 것처럼 하나로 되어 있도록 하는 것이다. 즉 제1,2분산소자(19,21)를 하나로 통합시키기 위해 광분할기(3)의 경사도(K)가 45°가 되어야 하는 것이다. 이는 장치의 구조를 간명하게 하여 경제성을 달성할 수 있게 하기 위함이다. 이하에서는 제1,2분산소자(19,21)를 단지 분산소자(19,21)라고 칭한다.
검출부(23, detector)는 분산소자(19,21)에 의해 라인 및 이미지(image) 센서를 하단에 고정시킴으로서 분광신호를 얻을 수 있으며, 이 때 형성되는 분광특성을 이용하여 표준가스(G0)와 목적가스(G1)의 분광특성을 비교분석한다. 검출부(23, detector)는 흡광검출 특성에 따른 선(Line) 또는 형태(image)의 신호를 검출하며, 검출기의 값은 어레이(array) 픽셀(pixel)에 대한 값이 얻어지는데, 이 때 얻어진 픽셀별 신호를 취득하여 적분값 또는 미분값을 취함으로써 가스별 특징과 농도 측정이 가능하다. 이를 위해 라인형 검출부(예를 들어 line CCD) 또는 이미지형 검출부(2차원 면 CCD)가 사용될 수 있다. 기존의 비분산방식의 경우 Point detector 의 경우 신호는 한 점에 대한 강약의 정도와 시간에 대한 출력값을 지니지만, Line 및 Image CCD의 경우 복수의 점에 대한 신호의 변화를 감지할 수 있으며, 이러한 복수의 신호를 구역별로 적분하게 된다. 기존의 비분산방식의 신호검출방식에 대응해 보면, 특정 파장 또는 픽셀을 세분할 수도 있다. 또한 주변 인접 복수구간 간의 기울기변화를 수치처리하게 되면, 즉 픽셀에 대한 라인(line) 또는 이미지(image) 소자의 인접된 출력값의 특징이 신호처리를 통해 간섭가스를 배제하는 방법을 취할 수 있다.
또한 언급한 것처럼 분산소자(19,21)를 하나로 통합시키기 위해서는 제1,2미러(13,17)에서 반사되는 빛의 경로가 같게 되어 있어야 한다. 이와 함께 분산소자(19,21)로 하여금 제1,2미러(13,17)에서 반사되는 빛을 선택적으로 수광할 수 있도록 와, 광통(5)으로 입사되는 빛을 차단하기 위한 제1차광부와 표준가스셀(15)로 향하는 빛을 차단하기 위한 제2차광부가 구비되어야 한다.
제1차광부는 광통(5)으로 입사되는 빛의 경로상에 설치되는 것으로서 제1축(25)을 기준으로 회전 가능하게 설치되는 원판 형태로 제공되는 제1필터(27)이다. 제1필터(27)는 원주방향을 따라 일정한 간격으로 특정 대역의 빛을 투과시키는 광필터(29,29',29"), 입사되는 모든 빛을 투과시키는 관통홀(31) 및 입사되는 빛을 흡수하는 차광막(33)을 가진다.
여기서 광필터(29,29',29")는 복수개가 마련될 수 있다. 미도시된 제1필터기동부는 광필터(29,29',29"), 관통홀(31) 및 차광막(33)이 선택적으로 광경로상에 위치되도록 제1축(25)을 축으로 하여 제1필터(27)를 회전 기동시킨다. 도시된 바에 의하면 광필터(29,29',29")는 3개 이지만 이에 한정되는 것은 아니며 그 이상 또는 그 미만이 될 수도 있다. 각각의 광필터(29,29',29")는 특정 가스를 검출하기 위한 것으로서 특정 가스(예를 들어, SO2, NO, NO2, NH3 중 하나)가 흡수하는 자외선의 파장대역을 제외한 나머지 파장대역의 빛을 차단하도록 되어 있다. 예를 들어 일산화질소(NO)를 검출하기 위해서는 그에 맞는 광필터를 광경로 상에 위치시켜 놓으면 된다.
한편 제2차광부는 도 3(a)에 도시된 바와 같이 원판 형태의 제2필터(35)이거나 또는 도 3(b)에 도시된 바와 같이 일측 힌지축(37)을 중심으로 회전하는 가림판(39)이 될 수 있다. 제2필터(35)에는 관통홀(31')과 차광막(33')이 마련되어 있으며 미도시된 제2필터기동부에 의해 제2축(41)을 중심으로 회전하게 된다. 가림판(39)은 가림판기동부에 의해 회전됨으로써 선택적으로 표준가스셀(15)의 광유입구가 되는 투명창(11')을 가릴 수 있게 되어 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 분산소자(19,21)는 프리즘, 홀로그래픽 그레이팅(holographic grating) 또는 브레이즈 그레이팅(brazed grating) 중 어느 하나일 수 있다. 프리즘은 서로 예각을 이루는 한 쌍의 광학평면을 갖는 분광프리즘이며, 일측에서 입사되는 빛이 서로 다른 굴절률에 의해 출사방향에 따라 광을 선택할 수 있게 하는 공지의 광학기구이다. 홀로그래픽 그레이팅(holographic grating)은 프리즘과 유사한 기능을 하나 두께가 일정한 판재 형태를 가지는 것이다. 브레이즈 그레이팅(brazed grating)은 빛을 파장 대역 별로 다른 각도로 반사시키는 광학적 도구이다. 이들은 모두 공지사항으로서 더 이상의 상세한 설명을 생략한다.
램프(1)와 광분할기(3) 사이 및 검출부(23)와 광통(5) 사이에는 광을 모으기 위한 집광수단으로서의 볼록렌즈(45)가 설치될 수 있다. 연산 및 저장부(47)는 검출부에 연결되어 데이터를 연산 및 저장한다.
이와 같은 구성에 의하면 검출부(23)는 제1,2미러(13,17)에 반사되는 빛으로부터 측정값을 얻을 수 있다. 도 1은 제1미러(13)에 의해 반사되는 빛으로부터 측정값을 얻는 상태를 도시하며, 도 2는 제2미러(17)에 의해 반사되는 빛으로부터 측정값을 얻는 상태를 도시한다. 이하 도 1먼저 참조하여 설명한다.
램프(1)에서 빛이 조사되면 광분할기(3)는 50%의 빛을 투과시켜 광통(5)을 향해 직진하도록 하고 나머지 50%의 빛을 반사하여 표준가스셀(15)로 향하게 한다. 제1필터(27)는 광필터(29,29',29") 또는 관통홀(31)이 광경로상에 위치하도록 조정되어 있으며, 광통(5)에는 측정하고자 하는 목적가스(G1)가 유입되고 있다. 또한 제2필터(35)는 차광막(33')이 광경로상에 위치하도록 조정되어 있다.
이에 의하면 표준가스셀(15)을 향한 빛은 차광막(33')에 의해 흡수되고, 광통(5)을 향한 빛은 제1필터(27)를 통해 입사된 다음 제1미러(13)에 의해 회귀반사되어 재차 광분할기(3)에 입사된다. 그러면 50%의 광중 1/2인 25%의 광은 직진하게 되고 나머지 25%의 광은 반사되어 도면상 하방향에 있는 분산소자(19,21)에 입사된다.
분산소자(19,21)는 입사되는 빛을 분산시켜 스펙트럼(S)을 형성하고 검출부(23)는 이 스펙트럼(S)으로부터 성분을 분석하게 된다. 광통(5)에 입사되는 빛의 성분의 검출은 기준점을 영점(zero point)으로 하여 이루어진다. 이하 기준점을 세팅하는 과정을 도 2를 참조하여 설명한다.
램프(1)에서 빛이 조사되면 광분할기(3)는 50%의 빛을 투과시켜 광통(5)을 향해 직진하도록 하고 나머지 50%의 빛을 반사하여 표준가스셀(15)로 향하게 한다. 제1필터(27)는 차광막(33)이 광경로상에 위치하도록 조정되어 있어 광은 광통(5)으로 유입되지 않는다.
또한 제2필터(35)는 관통홀(31')이 광경로상에 위치하도록 조정되어 있어 광이 표준가스셀(15)로 유입되도록 하고 있다. 표준가스셀(15)에는 예를 들어 순수 질소(N2)가 봉입될 수 있다.
이에 의하면 광통(5)을 향한 빛은 차광막(33)에 의해 흡수되고, 표준가스셀(15)로 유입된 빛은 제2필터(35)를 통해 입사된 다음 제2미러(17)에 의해 회귀반사되어 재차 광분할기(3)에 입사된다. 그러면 50%의 광중 1/2인 25%의 광은 직진하여 도면상 하방향에 있는 분산소자(19,21)에 입사되고, 나머지 25%의 광은 반사되어 도면상 좌측으로 조사된다. 분산소자(19,21)에 의해 형성된 스펙트럼(S)은 검출부(23)에 의해 기준점이 세팅될 수 있다.
장비의 주기적인 보정은 이 기준점을 측정함으로써 이루어진다. 이 기준점을 영점으로 하여 광통(5)에 입사되는 목적가스(G1)의 스펙트럼으로부터 목적가스(G1)의 성분을 측정하게 되는 것이다.
램버트 베르의 법칙(Lambert-Beer law)이 적용되는 경우, 가스의 빛을 흡수하는 정도를 나타내는 흡광도(α)는 입사광의 강도를 I0, 투과광의 강도를 I 라 할 때,
α= log(I0 / I)=εcd(여기서 ε : 분자 흡광 계수, c : 몰농도, d : 광통의 길이)로 정의된다. 곧 광통(5)의 길이를 알고 있으므로 흡광도를 측정하여 목적가스(G1)의 몰농도를 구할 수 있게 된다.
본 발명에 의하면 표준가스셀(15)을 광통과 직각을 이루는 위치에 별도로 고정시켜 놓고 미세 경시(輕視) 변화를 파장별로 모니터링하여 주기적 변화에 대한 보정값으로 사용할 수 있다. 경시 변화라 함은 표준가스셀(15)이 자외선광에 오랫동안 노출되면, 표준가스셀(15)의 표면 또는 제2미러(17) 등에서 작지만 변화가 발생된다.
이러한 변화는 스펙트럼의 변화로 이어지므로 주기적으로 스펙트럼의 변화를 보정해 줄 필요가 있다. 그래서 기존의 고정 설치된 방식과 달리 제2필터(35)만을 회전시켜고, 표준가스셀(15)에 표준가스(G0)를 주기적으로 주입하여 광통(5)에 입사되는 투과광의 강도 사이에 관계상수를 구하여 다음의 표준가스 주입 전까지 기준을 제공하도록 하고 있다.
전술한 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 설정된 용어들로서 이는 생산자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있으므로, 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. 또한, 본 발명의 실시예를 설명함에 있어 첨부된 도면을 참조하여 특정 형상과 구조를 갖는 가스 분석장치에 대해 설명하였으나, 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 보호범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다.
1 : 램프 3 : 광분할기
5 : 광통 7 : 가스유입구
9 : 가스배출구 11,11' : 투명창
13,17 : 제1,2미러 15 : 표준가스셀
19,21 : 제1,2분산소자 23 : 검출부
25,41 : 제1,2축 27,35 : 제1,2필터
31,31' : 관통홀 33,33' : 차광막
37 : 힌지축 39 : 가림판
43 : 광유입구 45 : 볼록렌즈
47 : 연산 및 저장부
G0 : 표준가스 G1 : 목적가스
5 : 광통 7 : 가스유입구
9 : 가스배출구 11,11' : 투명창
13,17 : 제1,2미러 15 : 표준가스셀
19,21 : 제1,2분산소자 23 : 검출부
25,41 : 제1,2축 27,35 : 제1,2필터
31,31' : 관통홀 33,33' : 차광막
37 : 힌지축 39 : 가림판
43 : 광유입구 45 : 볼록렌즈
47 : 연산 및 저장부
G0 : 표준가스 G1 : 목적가스
Claims (4)
- 자외선을 조사하기 위한 램프; 상기 램프 전방에 설치되는 것으로서 상기 램프에서 조사되는 빛의 진행방향에 대하여 경사지게 설치되는 광분할기; 상기 광분할기를 직선으로 관통하는 빛의 진행경로 상에 설치되는 것으로서, 성분 분석을 위한 목적가스가 유입되는 가스유입구와 유입된 목적가스가 배출되는 가스배출구가 마련되는 광통; 상기 광통에 유입되는 빛을 반사하기 위한 제1미러(mirror); 상기 광분할기에서 반사되는 빛의 진행 경로상에 설치되는 것으로서 표준가스가 봉입되는 표준가스셀; 상기 표준가스셀에 설치되어 입사되는 빛을 반사하는 제2미러(mirror);
상기 제1미러에서 반사되는 빛을 분산시켜 스펙트럼을 형성시키기 위한 제1분산소자; 상기 제2미러에서 반사되는 빛을 분산시켜 스펙트럼을 형성시키기 위한 제2분산소자; 및 상기 제1,2분산소자에 의해 형성되는 스펙트럼을 이용하여 상기 표준가스와 목적가스의 성분을 각각 분석하는 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비분산 자외선 흡수법을 이용한 멀티가스 분석장치.
- 제1항에 있어서,
상기 광분할기는 상기 램프에서 조사되는 빛의 진행방향에 대하여 45° 각도로 경사지게 설치됨으로써 상기 제1,2미러에서 반사되는 빛의 경로가 같게 되어 있으며; 상기 제1,2분산소자로 하여금 상기 제1,2미러에서 반사되는 빛을 선택적으로 수광할 수 있도록 상기 광통으로 입사되는 빛을 차단하기 위한 제1차광부와; 상기 표준가스셀로 향하는 빛을 차단하기 위한 제2차광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비분산 자외선 흡수법을 이용한 멀티가스 분석장치.
- 제2항에 있어서,
상기 제1차광부는 상기 광통으로 입사되는 빛의 경로상에 제1축을 기준으로 회전 가능하게 설치되는 원판 형태로서; 원주방향을 따라 일정한 간격으로 특정 대역의 빛을 투과시키는 광필터, 입사되는 모든 빛을 투과시키는 관통홀 및 입사되는 빛을 흡수하는 차광막이 형성되는 제1필터; 상기 제1필터의 광필터, 관통홀 및 차광막이 선택적으로 광경로상에 위치되도록 상기 제1필터를 상기 제1축을 축으로 하여 회전 기동시키는 제1필터기동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비분산 자외선 흡수법을 이용한 멀티가스 분석장치.
- 제1항에 있어서,
상기 제1,2분산소자는 프리즘, 홀로그래픽 그레이팅(holographic grating) 또는 브레이즈 그레이팅(brazed grating) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 비분산 자외선 흡수법을 이용한 멀티가스 분석장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020140011979A KR101381618B1 (ko) | 2014-02-03 | 2014-02-03 | 비분산 자외선 흡수법을 이용한 멀티가스 분석장치 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR101381618B1 true KR101381618B1 (ko) | 2014-04-04 |
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ID=50656604
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|---|---|
| KR (1) | KR101381618B1 (ko) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR102158154B1 (ko) | 2019-05-13 | 2020-09-21 | 주식회사 다산에스엠 | 디젤 운행차 질소산화물 측정장치 |
| KR20200124479A (ko) * | 2019-04-24 | 2020-11-03 | 건국대학교 산학협력단 | 콤팩트한 기준챔버를 갖는 ndir 분석기 |
| KR20220008451A (ko) * | 2020-07-14 | 2022-01-21 | 주식회사 다산에스엠 | 개선된 굴뚝 먼지 측정장치 |
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-
2014
- 2014-02-03 KR KR1020140011979A patent/KR101381618B1/ko active IP Right Grant
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