KR101379363B1 - Apparatus for measuring step - Google Patents

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KR101379363B1
KR101379363B1 KR1020130039582A KR20130039582A KR101379363B1 KR 101379363 B1 KR101379363 B1 KR 101379363B1 KR 1020130039582 A KR1020130039582 A KR 1020130039582A KR 20130039582 A KR20130039582 A KR 20130039582A KR 101379363 B1 KR101379363 B1 KR 101379363B1
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angle sensor
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박정현
김종필
서덕교
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삼성코닝정밀소재 주식회사
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Abstract

The present invention relate to a step measuring apparatus, and more specifically to a step measuring apparatus for measuring a step between blocks. To achieve this, the present invention as a step measuring apparatus for measuring a step between a first and a second block, provides a step measuring apparatus comprising: a body provided with a support unit surface-contact with the first block; an angle sensor unit installed on the body and measuring a slope of the first block; and a displacement sensor unit installed on the body and which is in contact with the second block so as to measure a slope of a step between the first and the second block and the second block.

Description

단차 측정 장치{APPARATUS FOR MEASURING STEP}Step measuring device {APPARATUS FOR MEASURING STEP}

본 발명은 단차 측정 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 블록 간 단차를 측정할 수 있는 단차 측정 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a step measuring apparatus, and more particularly to a step measuring apparatus that can measure the step between blocks.

TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), EL(Electro luminescent) 등의 평판 디스플레이(Flat Panel Display)를 제조하기 위해 사용되는 유리 기판은 유리 용해로(Glass melting Furnace)에서 용해된 용해 유리를 평판으로 성형하는 성형공정과, 일정한 규격에 맞도록 절단하는 절단공정을 통하여 제조된 후, 가공라인으로 운반되어 가공된다. 가공라인에서는 유리 기판을 평판 디스플레이의 규격에 맞게 재차 절단한다. 이와 같이, 가공된 유리 기판은 세정액을 이용하여 유리 기판의 표면에 존재하는 미세 이물 등을 제거하고, 공기를 분사하는 에어 나이프(air knife)를 통해 유리 기판 표면에 잔존하는 세정액을 건조시키는 공정을 거친 후, 유리 기판의 표면 또는 내부에 존재하는 보이드(void), 크랙(crack), 불순물 등과 같은 이물을 검출하는 이물 검출 공정으로 이송되게 된다. 여기서, 세정 및 건조 공정을 거친 유리 기판은 유리 기판의 표면이 손상되는 것을 방지하기 위해 복수의 에어 플로팅 블록(air floating block)을 통해 공중에 띄어진 상태로 이물 검출 공정으로 이송된다. 도 1은 세정된 유리 기판을 건조하는 에어 나이프(10) 및 건조된 유리 기판을 공중부양시켜 이송하는 복수 개의 에어 플로팅 블록(20)이 설치된 장비를 촬영한 사진이다.BACKGROUND ART A glass substrate used for manufacturing flat panel displays such as TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display), PDP (Plasma Display Panel) and EL (Electroluminescent) And a cutting process for cutting to a predetermined standard, and then the processed glass is transported and processed into a processing line. In the processing line, the glass substrate is cut again to meet the standard of the flat panel display. As described above, the processed glass substrate is used to remove fine foreign substances, etc., present on the surface of the glass substrate by using a cleaning liquid, and to dry the cleaning liquid remaining on the surface of the glass substrate through an air knife that injects air. After roughing, the substrate is transferred to a foreign material detection process for detecting foreign substances such as voids, cracks, impurities, and the like that exist on or inside the glass substrate. Here, the glass substrate that has undergone the cleaning and drying process is transferred to the foreign matter detection process while being floated in the air through a plurality of air floating blocks to prevent the surface of the glass substrate from being damaged. FIG. 1 is a photograph of an air knife 10 for drying a cleaned glass substrate and a plurality of air floating blocks 20 for lifting and conveying the dried glass substrate by levitation.

한편, 이와 같은 복수의 에어 플로팅 블록은 유리 기판의 원활한 이송을 위해 각 에어 플로팅 블록 간 단차가 없을 것이 요구된다. 즉, 에어 플로팅 블록간 단차가 맞지 않아 어느 한 에어 플로팅 블록이 다른 에어 플로팅 블록에 비해 상대적으로 위로 올라와 있다면, 유리 기판이 이송되는 중에 상대적으로 높이 올라와 있는 에어 플로팅 블록과 유리 기판이 부딪치게 되어 유리 기판에 스크래치(scratch)나 크랙(crack)이 발생할 수 있다.On the other hand, such a plurality of air floating block is required that there is no step between each air floating block for smooth transfer of the glass substrate. That is, if one of the air floating blocks is raised up relative to the other air floating blocks because the step between the air floating blocks is not correct, the glass substrate is collided with the air floating block, which is relatively high, while the glass substrate is being transferred. Scratch or crack may occur.

이에, 종래에는 각 에어 플로팅 블록 간 단차를 측정하고 비교할 수 있는 정확한 측정 방법이 없어 단순히 다이얼게이지 등을 이용하여 각 에어 플로팅 블록 간의 단차를 맞추고 있는 실정이다. 그러나 이에 의하는 경우 측정된 단차 값이 다소 부정확 할 수 있고, 단차 측정에 시간이 오래 걸리며, 각 블록의 기울기 및 블록들의 전체적인 단차 형상을 알 수 없다는 단점이 있다.
Thus, in the related art, there is no accurate measuring method for measuring and comparing the steps between each air floating block, and thus, the step between each air floating block is simply adjusted using a dial gauge or the like. However, there is a disadvantage in that the measured step value may be somewhat inaccurate, the step measurement takes a long time, and the slope of each block and the overall step shape of the blocks may not be known.

일본공개특허 제2009-229258호(2009.10.8)Japanese Laid-Open Patent No. 2009-229258 (2009.10.8)

본 발명은 상술한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 블록간 단차를 정확하고 용이하게 측정할 수 있는 단차 측정 장치를 제공하는 것이다.
The present invention has been made to solve the problems of the prior art as described above, an object of the present invention is to provide a step measuring device that can accurately and easily measure the step between blocks.

이를 위해, 본 발명은 제 1 블록과 제 2 블록 간 단차를 측정하는 단차 측정 장치로서, 상기 제 1 블록에 면 접촉하는 지지부를 구비한 몸체; 상기 몸체에 설치되며 상기 제 1 블록의 기울기를 측정하는 각도 센서부; 및 상기 몸체에 설치되며 상기 제 2 블록에 접촉하여 상기 제 1 블록과 상기 제 2 블록 간의 단차와 상기 제 2 블록의 기울기를 측정하는 변위 센서부를 포함하는 것을 특징으로 하는 단차 측정 장치를 제공한다. To this end, the present invention is a step measuring device for measuring the step between the first block and the second block, the body having a support portion in surface contact with the first block; An angle sensor unit installed in the body to measure an inclination of the first block; And a displacement sensor unit installed on the body and contacting the second block to measure a step between the first block and the second block and a slope of the second block.

여기서, 상기 각도 센서부는, 상기 제 1 블록의 가로축 방향의 기울기를 측정하는 제 1 각도 센서; 및 상기 제 1 블록의 세로축 방향의 기울기를 측정하는 제 2 각도 센서를 포함할 수 있다.Here, the angle sensor unit, the first angle sensor for measuring the inclination of the horizontal axis direction of the first block; And a second angle sensor that measures an inclination in the longitudinal axis direction of the first block.

그리고, 변위 센서부는 3개의 변위 센서를 포함하여 상기 지지부의 일측에 설치되되, 상기 3개의 변위 센서를 연결하여 형성되는 가상의 삼각형이 직각 삼각형이 되도록 배열될 수 있다.In addition, the displacement sensor unit may be installed on one side of the support part including three displacement sensors, and may be arranged such that a virtual triangle formed by connecting the three displacement sensors is a right triangle.

바람직하게, 상기 변위 센서부는 4개의 변위 센서를 포함하여 상기 지지부의 일측에 설치되되, 상기 변위 센서는 "┴" 형태로 배열될 수 있다.Preferably, the displacement sensor unit is installed on one side of the support including four displacement sensors, the displacement sensor may be arranged in the form of "┴".

여기서, 상기 변위 센서는 LVDT(Linear Variable Differential Transformer) 센서일 수 있다.The displacement sensor may be a linear variable differential transformer (LVDT) sensor.

그리고, 상기 단차 측정 장치는, 상기 각도 센서부 및 변위 센서부에 의해 측정된 측정 값을 이용하여 상기 제 1 블록과 상기 제 2 블록 간의 단차를 등고선 이미지로 변환하는 제어부를 더 포함할 수 있다.The step measuring apparatus may further include a controller for converting the step difference between the first block and the second block into a contour image using the measured values measured by the angle sensor unit and the displacement sensor unit.

또한, 상기 제 1 블록 및 제 2 블록은 공기를 이용하여 상기 제 1 블록 및 제 2 블록으로 이송되는 기판을 공중부양시킬 수 있으며, 바람직하게 상기 제 1 블록 및 제 2 블록은 블록 표면에 형성된 복수 개의 미세 구멍을 통해 공기를 토출할 것이다.
In addition, the first block and the second block may levitation the substrate transferred to the first block and the second block by using air, preferably, the plurality of first block and the second block formed on the block surface Air will be discharged through the two fine holes.

본 발명에 따르면, 블록 간 단차 및 기울기를 정확하고도 용이하게 측정함으로써 블록 편차에 의한 불량 발생을 방지할 수 있다.According to the present invention, it is possible to accurately and easily measure the step difference and the slope between blocks to prevent the occurrence of defects due to block deviation.

또한, 본 발명에 의하면 블록들의 전체적인 단차 형상을 알 수 있어 블록 간 단차를 용이하게 조절할 수 있다.
In addition, according to the present invention it is possible to know the overall step shape of the blocks can easily adjust the step between blocks.

도 1은 유리 기판을 건조하는 에어 나이프 및 건조된 유리 기판을 공중부양시켜 이송하는 복수 개의 에어 플로핑 블록이 설치된 장비.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 단차 측정 장치의 개략적인 모식도.
도 3은 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 단차 측정 장치를 이용한 복수 개의 블록의 단차 측정 방법을 나타낸 개념도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 단차 측정 장치를 이용하여 에어 플로팅 블록의 단차를 측정한 후 이를 등고선 이미지로 나타낸 그래프.
도 6은 도 5에 도시된 에어 플로팅 블록 중 일부의 단차를 나타낸 그래프.1 is a device equipped with an air knife for drying a glass substrate and a plurality of air-floating blocks for lifting and conveying the dried glass substrate.
Figure 2 is a schematic diagram of a step measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 and 4 is a conceptual diagram showing a step measuring method of a plurality of blocks using a step measuring device according to an embodiment of the present invention.
5 is a graph showing a contour image after measuring the step of the air floating block using the step measuring device according to an embodiment of the present invention.
6 is a graph showing a step of a part of the air floating block shown in FIG.

이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 단차 측정 장치에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail with respect to the step measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.

아울러, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단된 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
In addition, in describing the present invention, when it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 단차 측정 장치의 개략적인 모식도이다.2 is a schematic diagram of a step measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 단차 측정 장치는 몸체(100), 각도 센서부(200), 및 변위 센서부(300)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 2, the step measuring apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention includes a body 100, an angle sensor unit 200, and a displacement sensor unit 300.

이와 같은 단차 측정 장치는 블록과 블록 간 단차를 측정하는 장치이다. 여기서, 블록은 공기를 이용하여 블록으로 이송되는 기판을 공중부양시키는 에어 플로팅 블록일 수 있다. 이때 블록의 표면에는 공기를 토출하는 복수 개의 미세 구멍이 형성될 수 있으며, 미세 구멍은 기판이 이송하는 방향으로 경사지게 형성될 수 있다.Such a step measuring device is a device for measuring a step between blocks. Here, the block may be an air floating block for levitation of the substrate transferred to the block using air. In this case, a plurality of fine holes for discharging air may be formed on the surface of the block, and the fine holes may be formed to be inclined in the direction in which the substrate is transferred.

몸체(100)는 제 1 블록에 면 접촉하는 지지부(110)를 구비하며, 휴대성 및 사용성의 향상을 위해 내구성이 우수하면서도 가벼운 소재로 제작될 것이다.Body 100 is provided with a support 110 in surface contact with the first block, and will be made of a durable and lightweight material for improved portability and usability.

각도 센서부(200)는 몸체(100)에 설치되며 제 1 블록의 기울기를 측정한다. 바람직하게, 각도 센서부(200)는 제 1 블록과 면 접촉하는 몸체의 지지부(110) 상에 설치될 것이다.The angle sensor unit 200 is installed in the body 100 and measures the inclination of the first block. Preferably, the angle sensor unit 200 will be installed on the support 110 of the body in surface contact with the first block.

이와 같은, 각도 센서부(200)는 제 1 블록의 중력에 대한 절대 각도를 측정하며, 제 1 블록의 가로축 방향의 기울기를 측정하는 제 1 각도 센서(210)와 제 1 블록의 세로축 방향의 기울기를 측정하는 제 2 각도 센서(220)를 포함하여 이루어질 수 있다.As such, the angle sensor unit 200 measures an absolute angle with respect to the gravity of the first block, and the first angle sensor 210 and the vertical axis inclination of the first block for measuring the inclination in the horizontal axis direction of the first block. It may include a second angle sensor 220 for measuring the.

변위 센서부(300)는 몸체(100)에 설치되며 제 2 블록에 접촉하여 제 1 블록과 제 2 블록 간의 단차 및 제 2 블록의 기울기를 측정한다. 즉, 몸체의 지지부(110)가 제 1 블록과 면 접촉하여 밀착된 상태에서, 변위 센서부(300)가 제 2 블록의 변위를 측정함으로써 제 1 블록과 제 2 블록 간의 단차 및 제 2 블록의 기울기를 측정한다.The displacement sensor unit 300 is installed in the body 100 and contacts the second block to measure the step difference between the first block and the second block and the inclination of the second block. That is, in a state in which the support 110 of the body is in close contact with the first block, the displacement sensor unit 300 measures the displacement of the second block so that the step between the first block and the second block and Measure the slope

이와 같은 변위 센서부(300)는 3개의 변위 센서(310, 320, 330)를 포함하여 지지부(110)의 일측에 설치되되, 3개의 변위 센서(310, 320, 330)는 3개의 변위 센서(310, 320, 330)를 연결하여 형성되는 가상의 삼각형이 직각 삼각형이 되도록 배열될 수 있다. 변위 센서(310, 320, 330)가 제 2 블록의 변위를 측정함으로써 제 1 블록과 제 2 블록의 단차 값을 얻을 수 있다. 또한, 3개의 변위 센서(310, 320, 330)가 직각 삼각형 형태로 배열됨으로써 제 2 블록의 가로축 방향의 기울기 및 세로축 방향의 기울기를 측정할 수 있을 것이다.Such a displacement sensor unit 300 is installed on one side of the support 110, including three displacement sensors 310, 320, 330, three displacement sensors 310, 320, 330 are three displacement sensors ( Virtual triangles formed by connecting the 310, 320, and 330 may be arranged to be right triangles. The displacement sensors 310, 320, and 330 may measure the displacement of the second block to obtain a step value between the first block and the second block. In addition, since the three displacement sensors 310, 320, and 330 are arranged in a right triangle shape, the inclination in the horizontal axis direction and the inclination direction in the second block may be measured.

한편, 변위 센서가 3개인 경우 제 2 블록의 세 점의 위치를 측정하지 못하여 제 2 블록의 가로축 방향의 기울기 및 세로축 방향의 기울기를 측정하지 못하는 경우가 발생할 수 있다. 일례로, 도 3에 도시된 바와 같이 제 1 블록과 제 2 블록이 떨어져있는 경우 3개의 변위 센서만에 의하면 3개의 변위 센서 중 적어도 어느 하나의 센서가 제 1 블록과 제 2 블록 사이의 간극에 위치하게 되는 경우가 발생할 수 있다. 또는, 제 2 블록의 폭이 좁은 경우 3개의 변위 센서 중 적어도 어느 하나의 센서가 제 2 블록 밖에 위치하는 경우가 발생할 수 있다.On the other hand, when there are three displacement sensors, the position of three points of the second block may not be measured, and thus, the tilt of the second block may not be measured in the horizontal axis direction and the vertical axis direction. For example, as shown in FIG. 3, when the first block and the second block are separated, only three displacement sensors indicate that at least one of the three displacement sensors is disposed in the gap between the first block and the second block. It may happen that you are located. Alternatively, when the width of the second block is narrow, a case in which at least one of the three displacement sensors is located outside the second block may occur.

이에 본 발명의 일 실시예에서는 지지부(110)의 일측에 설치되는 4개의 변위 센서(310, 320, 330, 340)를 "┴" 형태로 배열함으로써, 제 1 블록과 제 2 블록이 떨어져있는 경우 또는 제 2 블록의 폭이 좁은 경우라도 직각 삼각형 형태로 배열되는 적어도 3개의 변위 센서가 제 2 블록의 세 점의 위치를 측정하도록 할 수 있다. 그러나, 4개의 변위 센서(310, 320, 330, 340)가 반드시 이와 같은 배열 형태를 가질 필요는 없으며, 상기의 목적을 달성할 수 있다면 어느 형태로 배열되더라도 무방할 것이다.In this embodiment of the present invention by arranging the four displacement sensors (310, 320, 330, 340) installed on one side of the support 110 in the form of "┴", when the first block and the second block is separated Alternatively, even when the width of the second block is narrow, at least three displacement sensors arranged in a right triangle shape may measure the positions of three points of the second block. However, the four displacement sensors 310, 320, 330, and 340 do not necessarily have such an arrangement form, and may be arranged in any form as long as the above object can be achieved.

한편, 제 2 블록에 4개의 변위 센서(310, 320, 330, 340)가 모두 접촉하는 경우 4개의 측정 값 중 직각 삼각형 형태로 배열된 3개의 변위 센서에 의해 측정된 값만을 취할 것이다.Meanwhile, when the four displacement sensors 310, 320, 330, and 340 all contact the second block, only the values measured by the three displacement sensors arranged in the right triangle shape among the four measured values will be taken.

여기서, 변위 센서(310, 320, 330, 340)는 LVDT(Linear Variable Differential Transformer) 센서일 수 있다.Here, the displacement sensors 310, 320, 330, and 340 may be linear variable differential transformer (LVDT) sensors.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 단차 측정 장치는 각도 센서부(200) 및 변위 센서부(300)에 의해 측정된 측정 값을 이용하여 제 1 블록과 제 2 블록 간의 단차를 등고선(contour) 이미지(image)로 변환하는 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 이와 같이 제어부(미도시)가 각도 센서부(200) 및 변위 센서부(300)에 의해 측정된 측정 값 등고선 이미지로 변환시켜 디스플레이부로 전달함으로써 작업자는 블록들의 전체적인 단차 형상을 알 수 있고, 이를 통해 블록 간 단차 및 블록의 기울기를 보다 용이하게 인식할 수 있다. In addition, the step measuring apparatus according to an embodiment of the present invention contours the step between the first block and the second block by using the measured values measured by the angle sensor unit 200 and the displacement sensor unit 300. A control unit (not shown) for converting to an image may be further included. As such, the control unit (not shown) converts the measured contour image measured by the angle sensor unit 200 and the displacement sensor unit 300 into the display unit, and transmits the same to the display unit. The step between blocks and the slope of the blocks can be more easily recognized.

한편, 제어부(미도시)는 등고선 이미지와 함께 단차 보정 가이드를 더 제공할 수 있다. 즉, 제어부는 제 1 블록과 제 2 블록을 평탄화시키기 위한 블록의 각 위치 별 높이 조절 방향 및 정도를 연산한 후 이를 등고선 이미지와 함께 디스플레이부로 전달할 수 있다.
The controller (not shown) may further provide a step correction guide together with the contour image. That is, the controller may calculate the height adjustment direction and the degree of each block of the block for flattening the first block and the second block, and then transfer the height adjustment direction and the contour to the display unit together with the contour image.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 단차 측정 장치를 이용한 복수 개의 블록의 단차 측정 방법을 나타낸 개념도이다. 도 3에 표시된 화살표와 숫자는 단차 측정 방향 및 순서를 의미한다.4 is a conceptual diagram illustrating a step measuring method of a plurality of blocks using a step measuring apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention. Arrows and numbers shown in FIG. 3 mean a step measurement direction and order.

본 발명의 일 실시예에 따른 단차 측정 장치를 이용하여 블록 간 단차를 측정하기 위해 우선, 단차 측정 장치의 각도 센서부(200)를 이용하여 좌측단의 가장 아래 블록인 제 1 블록(기준 블록)의 기울기를 측정한 후 제 1 블록의 평탄도를 맞춘다. 이후 제 1 블록과 제 2 블록 간의 단차 및 제 2 블록의 기울기를 측정한다. 제 1 블록과 제 2 블록 간의 단차 및 제 2 블록의 기울기는 몸체의 지지부(110)를 제 1 블록에 면 접촉시킨 상태에서 변위 센서부(300)를 이용하여 제 2 블록의 변위 값을 측정함으로써 측정할 수 있다. In order to measure the steps between blocks using the step measuring apparatus according to an embodiment of the present invention, first, the first block (the reference block) at the lowermost end of the left end using the angle sensor unit 200 of the step measuring apparatus. After measuring the slope of the first block to adjust the flatness. Then, the step between the first block and the second block and the slope of the second block is measured. The step between the first block and the second block and the slope of the second block are measured by measuring the displacement value of the second block using the displacement sensor unit 300 while the support 110 of the body is in surface contact with the first block. It can be measured.

제 1 블록과 제 2 블록 간의 단차 및 제 2 블록의 기울기를 측정한 후, 제 2 블록(기준 블록)과 제 3 블록 간의 단차 및 제 3 블록의 기울기를 측정한다. 이런 식으로 블록을 옮겨 가면서 인접한 블록 간 단차 및 기울기를 측정함으로써, 제 1 블록(기준 블록)부터 마지막 블록까지의 단차 및 기울기 데이터를 얻을 수 있다. 이와 같이 얻어진 데이터를 통해 전체 블록의 형상을 구할 수 있고, 이에 의해 블록의 높낮이 및 기울기를 보정함으로써, 전체 블록을 평탄화시킬 수 있다.
After measuring the step between the first block and the second block and the slope of the second block, the step between the second block (reference block) and the third block and the slope of the third block are measured. By moving the blocks in this way, by measuring the step and the slope between adjacent blocks, it is possible to obtain the step and slope data from the first block (reference block) to the last block. The shape of the entire block can be obtained from the data thus obtained, and thereby the entire block can be flattened by correcting the height and inclination of the block.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 단차 측정 장치를 이용하여 5개의 에어 플로팅 블록의 단차를 측정한 후 이를 등고선 이미지로 나타낸 그래프이고, 도 6은 도 5에 도시된 5개의 에어 플로팅 블록 중 위쪽 3개의 에어 플로팅 블록의 단차를 나타낸 그래프이다. 도 5에서 각 색깔은 기준 블록과의 단차 크기를 나타낸다. FIG. 5 is a graph showing a contour image after measuring the steps of five air floating blocks using a step measuring apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a graph of the five air floating blocks shown in FIG. The graph shows the steps of the top three air floating blocks. In FIG. 5, each color represents a step size with the reference block.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 단차 측정 장치를 이용하여 각 인접하는 블록 간 단차를 측정한 후 이를 통해 기준 블록을 기준으로 한 전체적인 블록의 형상을 확인함으로써, 블록 간 단차를 용이하게 제어할 수 있다.
As such, by measuring the step between each adjacent block using the step measuring device according to an embodiment of the present invention, by checking the shape of the overall block based on the reference block through this, it is easy to control the step between blocks can do.

이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시 예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. This is possible.

그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
Therefore, the scope of the present invention should not be limited by the described embodiments, but should be determined by the scope of the appended claims as well as the appended claims.

100: 몸체 110: 지지부
200: 각도 센서부 210: 제 1 각도 센서
220: 제 2 각도 센서
300: 변위 센서부 310, 320, 330, 340: 변위 센서100: body 110: support
200: angle sensor unit 210: first angle sensor
220: second angle sensor
300: displacement sensor unit 310, 320, 330, 340: displacement sensor

Claims (8)

제 1 블록과 제 2 블록 간 단차를 측정하는 단차 측정 장치로서,
상기 제 1 블록에 면 접촉하는 지지부를 구비한 몸체;
상기 몸체에 설치되며 상기 제 1 블록의 기울기를 측정하는 각도 센서부; 및
상기 몸체에 설치되며 상기 제 2 블록에 접촉하여 상기 제 1 블록과 상기 제 2 블록 간의 단차와 상기 제 2 블록의 기울기를 측정하는 변위 센서부를 포함하는 것을 특징으로 하는 단차 측정 장치.
A step measuring device for measuring a step between a first block and a second block,
A body having a support in surface contact with the first block;
An angle sensor unit installed in the body to measure an inclination of the first block; And
And a displacement sensor unit installed in the body and contacting the second block to measure a step between the first block and the second block and a slope of the second block.
제1항에 있어서,
상기 각도 센서부는,
상기 제 1 블록의 가로축 방향의 기울기를 측정하는 제 1 각도 센서; 및
상기 제 1 블록의 세로축 방향의 기울기를 측정하는 제 2 각도 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 단차 측정 장치.
The method of claim 1,
The angle sensor unit,
A first angle sensor measuring an inclination in the horizontal axis direction of the first block; And
And a second angle sensor for measuring an inclination in the longitudinal axis direction of the first block.
제1항에 있어서,
상기 변위 센서부는 3개의 변위 센서를 포함하여 상기 지지부의 일측에 설치되되,
상기 3개의 변위 센서를 연결하여 형성되는 가상의 삼각형이 직각 삼각형이 되도록 배열되는 것을 특징으로 하는 단차 측정 장치.
The method of claim 1,
The displacement sensor unit is installed on one side of the support including three displacement sensors,
And a virtual triangle formed by connecting the three displacement sensors is arranged to be a right triangle.
제3항에 있어서,
상기 변위 센서부는 4개의 변위 센서를 포함하여 상기 지지부의 일측에 설치되되,
상기 변위 센서는 "┴" 형태로 배열되는 것을 특징으로 하는 단차 측정 장치.
The method of claim 3,
The displacement sensor unit is installed on one side of the support including four displacement sensors,
And the displacement sensor is arranged in a "┴" shape.
제3항에 있어서,
상기 변위 센서는 LVDT(Linear Variable Differential Transformer) 센서인 것을 특징으로 하는 단차 측정 장치.
The method of claim 3,
And the displacement sensor is a linear variable differential transformer (LVDT) sensor.
제1항에 있어서,
상기 단차 측정 장치는,
상기 각도 센서부 및 변위 센서부에 의해 측정된 측정 값을 이용하여 상기 제 1 블록과 상기 제 2 블록 간의 단차를 등고선 이미지로 변환하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 단차 측정 장치.
The method of claim 1,
The step measurement device,
And a control unit for converting the step difference between the first block and the second block into a contour image using the measured values measured by the angle sensor unit and the displacement sensor unit.
제1항에 있어서,
상기 제 1 블록 및 제 2 블록은 공기를 이용하여 상기 제 1 블록 및 제 2 블록으로 이송되는 기판을 공중부양시키는 것을 특징으로 하는 단차 측정 장치.
The method of claim 1,
And the first block and the second block levitation the substrate transferred to the first block and the second block using air.
제7항에 있어서,
상기 제 1 블록 및 제 2 블록은 블록 표면에 형성된 복수 개의 미세 구멍을 통해 공기를 토출하는 것을 특징으로 하는 단차 측정 장치.
8. The method of claim 7,
And the first block and the second block discharge air through a plurality of fine holes formed in the block surface.
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