KR101376641B1 - Multi-knife type injection nozzle device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 코팅 또는 세정할 기판의 전체 표면에 걸쳐 유체(코팅액 또는 세정액)를 고르게 분사할 수 있는 멀티-나이프형 분사노즐장치를 제공하는 데 있다. 이를 위해 본 발명의 멀티-나이프형 분사노즐장치는 서로 결합되는 2개의 몸체로 구성되며, 코팅 또는 세정할 기판의 폭을 따라 연장하는 본체와; 적어도 일측을 통해 분사액 공급수단 측에 접속하도록 상기 본체 내에 길이 방향을 따라 형성되는 유체 공급공과; 상기 유체 공급공의 하부 위치로 상기 2개의 몸체의 접촉면 사이로 전체 길이 방향에 걸쳐 형성되어 상기 유체 공급공 내로 유입된 유체를 분사하는 제1분사노즐부와; 상기 제1분사노즐부를 통해 분사되는 유체를 받아 분산 저장하도록 길이 방향을 따라 형성되는 유체 저장공과; 상기 유체 저장공 내의 유체를 코팅 또는 세정될 기판에 분사하는 제2분사노즐부;를 포함하여 구성되어 있다.The present invention provides a multi-knife injection nozzle apparatus capable of evenly dispensing a fluid (coating liquid or cleaning liquid) over the entire surface of a substrate to be coated or cleaned. To this end, the multi-knife injection nozzle apparatus of the present invention comprises two bodies coupled to each other, the body extending along the width of the substrate to be coated or cleaned; A fluid supply hole formed along the longitudinal direction in the main body to be connected to the injection liquid supply means through at least one side; A first spray nozzle portion formed between the contact surfaces of the two bodies to a lower position of the fluid supply hole to extend the fluid introduced into the fluid supply hole; A fluid storage hole formed along a longitudinal direction to receive and store the fluid injected through the first spray nozzle part; And a second spray nozzle part for spraying a fluid in the fluid storage hole onto a substrate to be coated or cleaned.

Description

멀티-나이프형 분사노즐 장치{Multi-knife type injection nozzle device}Multi-knife type injection nozzle device

본 발명은 넓은 표면적을 가진 기판의 표면을 세정하거나 또는 코팅하는 데 사용하는 멀티-나이프형 분사노즐 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a multi-knife injection nozzle apparatus for use in cleaning or coating the surface of a substrate having a large surface area.

반도체 장치에 사용되는 기판이나 유리 기판, 필름 표면 등 각종 기판들의 표면은 화학물질을 얇은 두께로 코팅하거나 또는 가공 처리 작업이 종료한 후 물이나 세정제를 분사하여 표면을 세정하는 작업을 실시하는 공정이 수반되는 것이 보통이다.Surfaces of various substrates such as substrates, glass substrates, and film surfaces used in semiconductor devices are coated with a thin layer of chemicals, or after finishing processing, spray water or a cleaning agent to clean the surface. It is usually accompanied.

플라스틱이나 광택제로 넓은 기판의 표면을 코팅하는 데에 사용되는 다양한 무접촉 방법이 공지되어 있다. 분무(spraying), 플러딩(flooding), 사출(extrusion), 주입(pouring) 또는 침지(dipping) 방법, 또는 슬롯 다이(slot die)에 의한 코팅, 또는 캡 코팅(cap coating)이 그러한 목적으로 사용되는 방법들이다. 그러나, 이러한 방법들은 모두 코팅재를 고도로 정확하게 계량하여 기판의 전체 표면에 걸쳐 균일한 두께로 코팅하기에는 비교적 부적합하거나 적어도 너무 복잡하다. 특히, 표면의 선택된 영역을 선택적으로 코팅하는 데에 있어서 이러한 형태의 코팅 방법들은 부적합하거나 단지 제한적으로만 적합할 뿐이다.Various contactless methods are known which are used to coat the surface of large substrates with plastics or polishes. Spraying, flooding, extrusion, pouring or dipping methods, or coating by slot die, or cap coating are used for this purpose. Methods. However, all of these methods are relatively unsuitable or at least too complicated to meter the coating material with high accuracy and coat it with a uniform thickness over the entire surface of the substrate. In particular, coating methods of this type in the selective coating of selected areas of the surface are inadequate or only limitedly suitable.

반면에, 예를 들어 노출과 현상에 의한 포토레지스트(photoresist)의 패터닝(patterning)과 같은 순차적인 패터닝에 의하여 선택 영역에 대한 코팅을 달성할 수 있다. 일반적으로 스핀-온(spin-on) 코팅에 의하여 이러한 포토레지스트를 기판에 도포할 수 있으며, 특히 얇고 균일한 포토레지스트의 코팅을 생성할 수 있다. 그러나, 상기 순차적인 패터닝은 추가적인 작업을 필요로 한다.On the other hand, the coating on the selected region can be achieved by sequential patterning, for example, patterning of the photoresist by exposure and development. Generally such photoresist can be applied to a substrate by spin-on coating, and in particular can produce a coating of thin and uniform photoresist. However, the sequential patterning requires additional work.

기판의 표면에 코팅액을 분사하거나 또는 세정액을 분사하는 수단으로는 단일의 노즐을 사용하거나 또는 도 1에 도시하는 것과 같이 넓은 기판의 폭을 카바할 수 있게 구성된 멀티-분사형 노즐을 사용하고 있다.As a means for injecting the coating liquid or the cleaning liquid onto the surface of the substrate, a single nozzle is used or a multi-jet nozzle configured to cover the width of a wide substrate as shown in FIG. 1 is used.

도 1에 도시한 멀티-분사형 노즐은 한국 등록실용신안 20-0142662호에 개시된 패널 코팅용 분사장치로서, 예를 들어 브라운관의 패널은 여러 공정을 거치게 되는데, 이 패널의 발광효율을 높이고 외부로 들어오는 빛을 차단시켜 휘도 및 콘트라스트를 향상하고자 상기 패널의 표면에 실리카막을 형성하는바, 상기 실리카막을 형성하기 위한 분사장치는 도 1에 나타낸 바와 같이 분사장치(10)에 사용되는The multi-injection nozzle shown in FIG. 1 is a panel coating injector disclosed in Korean Utility Model No. 20-0142662. For example, a CRT panel undergoes various processes. A silica film is formed on the surface of the panel to block light to improve brightness and contrast. An injection device for forming the silica film is used in the injection device 10 as shown in FIG. 1.

실리카액(12)을 담기 위한 용기(14)의 일측면에는 파이프(16)가 일정길이로 연결되어 있고, 이 파이프(16)의 다른 일끝 부위에는 분사부재(18)가 일정길이로 형성되어 있으며, 이 분사부재(18)의 저면에는 노즐(20)이 일정간격으로 길이 방향을 따라 2 개 이상 복수개가 설치되어 있다.One side of the container 14 for containing the silica liquid 12 is connected to the pipe 16 in a certain length, the other end portion of the pipe 16, the injection member 18 is formed in a certain length At least two or more nozzles 20 are provided on the bottom surface of the injection member 18 along the longitudinal direction at regular intervals.

한편, 상기 분사장치(10)와 소정거리로 이격된 하부에는 수직으로 다수개의 브라켓(24)을 형성한 지지부재(26)가 형성되어 있고, 상기 브라켓(24)의 상부에는 원형모양의 지지대(28)가 형성되어 있으며, 이 지지대(28)에는 패널(30)이 상향되도록 하여 브라운관(32)을 삽입. 안착시킨 구조로서, 상기 패널(30)의 표면을 코팅작업시, 분사부재(18)의 저면에 설치된 복수의 수직형 노즐(20)로부터 실리카액(12)이 분사되어 패널(30)의 표면을 코팅하게 되어 있다.On the other hand, a support member 26 formed with a plurality of brackets 24 is formed vertically on the lower part spaced apart from the injector 10 at a predetermined distance, and on the upper part of the bracket 24 a circular support ( 28 is formed, and the support 28 is inserted into the tube 30 so that the panel 30 is upward. When the surface of the panel 30 is coated, the silica liquid 12 is sprayed from the plurality of vertical nozzles 20 provided on the bottom surface of the spray member 18, and thus the surface of the panel 30 is formed. It is supposed to be coated.

그러나 상기한 방식은 파이프로 형성되는 분사부재(18)의 전체 길이에 걸쳐 분사되는 코팅액이 분출되는 구조가 아니라 점상 분사구조, 즉 노즐(20) 부위에서 코팅액이 부채살처럼 분사되는 방식이어서, 패널(30)의 전체 폭에 걸쳐 고르게 코팅액이 분산되지 않는다는 단점이 있으며, 이 같은 분사액의 불균일성은 같은 구조의 분사장치로 이루어지는 기판 세정 분사장치에 있어서도 마찬가지이다.
However, the above-described method is not a structure in which the coating liquid injected over the entire length of the injection member 18 formed of a pipe is ejected, but in a point spray structure, that is, a method in which the coating liquid is sprayed like a scalloped nozzle at the site of the nozzle 20. There is a disadvantage in that the coating liquid is not evenly distributed over the entire width of 30), and the nonuniformity of the spray liquid is the same in the substrate cleaning spray apparatus formed of the spray apparatus of the same structure.

한국 등록실용신안 20-0142662호(발명의 명칭: 패널 코팅용 분사장치)Korea Utility Model Registration 20-0142662 (Invention name: Injector for Panel Coating)

이에 본 발명은 상기한 문제점을 감안하여 제안한 것으로서 그의 목적으로 하는 것은 코팅 또는 세정할 기판의 전체 표면에 걸쳐 유체(코팅액 또는 세정액)를 고르게 분사할 수 있는 멀티-나이프형 분사노즐장치를 제공하는 데 있다.
Accordingly, the present invention has been proposed in view of the above problems, and an object thereof is to provide a multi-knife injection nozzle apparatus capable of evenly spraying a fluid (coating liquid or cleaning liquid) over the entire surface of a substrate to be coated or cleaned. have.

상기한 목적을 달성하기 위한 수단으로서 본 발명의 멀티-나이프형 분사노즐장치는 서로 결합되는 2개의 몸체로 구성되며, 코팅 또는 세정할 기판의 폭을 따라 연장하는 본체와; 적어도 일측을 통해 분사액 공급수단 측에 접속하도록 상기 본체 내에 길이 방향을 따라 형성되는 유체 공급공과; 상기 유체 공급공의 하부 위치로 상기 2개의 몸체의 접촉면 사이로 전체 길이 방향에 걸쳐 형성되어 상기 유체 공급공 내로 유입된 유체를 분사하는 제1분사노즐부와; 상기 제1분사노즐부를 통해 분사되는 유체를 받아 분산 저장하도록 길이 방향을 따라 형성되는 유체 저장공과; 상기 유체 저장공 내의 유체를 코팅 또는 세정될 기판에 분사하는 제2분사노즐부;를 포함하여 구성되어 있다.As a means for achieving the above object, the multi-knife injection nozzle apparatus of the present invention comprises two bodies coupled to each other, the main body extending along the width of the substrate to be coated or cleaned; A fluid supply hole formed along the longitudinal direction in the main body to be connected to the injection liquid supply means through at least one side; A first spray nozzle portion formed between the contact surfaces of the two bodies to a lower position of the fluid supply hole to extend the fluid introduced into the fluid supply hole; A fluid storage hole formed along a longitudinal direction to receive and store the fluid injected through the first spray nozzle part; And a second spray nozzle part for spraying a fluid in the fluid storage hole onto a substrate to be coated or cleaned.

본 발명에 의하면 상기 제1 및 제2분사노즐부는 각기 길이 방향을 따라 일정 간격으로 형성되는 일직선, 사선 및 그물망 형상으로 구성된 그룹으로부터 선택되는 원형 또는 사각 단면의 유체 분사공을 구비한 것을 특징으로 한다.According to the present invention, the first and second spray nozzles may be provided with a fluid jet hole having a circular or rectangular cross section selected from the group consisting of straight, diagonal and mesh shapes each formed at a predetermined interval along the longitudinal direction. .

또 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 상기 유체 저장공은 역삼각형, 다이아몬드형, 원형 및 열쇠구멍 형상으로 구성된 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 한다.In addition, according to a preferred embodiment of the present invention, the fluid reservoir is characterized in that selected from the group consisting of inverted triangle, diamond, circular and keyhole shape.

또 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 상기 제1 및 제2 분사노즐부의 외부를 감싸 상기 제2 분사노즐부를 통해 분사되는 유체에 공기를 실어 분사하도록 상기 본체의 길이 방향을 따라 형성되는 에어 통로와; 일직선, 사선 및 그물망식 또는 전체 길이 방향에 걸쳐 형성되는 틈새로 구성된 그룹으로부터 선택되는 에어 분사공을 구비하는 에어 분사용 커버체가 상기 제1 및 제2 분사노즐부의 외부를 감싸도록 설치된 것을 특징으로 한다.
In addition, according to a preferred embodiment of the present invention, the air passage is formed along the longitudinal direction of the main body so as to surround the outside of the first and second injection nozzle portion to carry the air injected into the fluid injected through the second injection nozzle portion; ; An air injection cover body having an air injection hole selected from the group consisting of a straight line, an oblique line and a net or a gap formed over the entire length direction is installed to surround the outside of the first and second injection nozzle portions. .

이상과 같은 본 발명은 제1 및 제2 분사 노즐부가 유체 저장공을 사이에 두고 2중의 노즐을 형성하여, 제1 분사 노즐부를 통해 1차로 분사되는 유체 저장공 내에서 길이 방향을 따라 유체의 분산이 일어나며, 더욱이 유체 저장공 내로 분사되는 유체가 그 공간의 형상에 기인하여 심한 와류를 형성하면서 압력이 노즐장치 본체의 전체 길이 방향에 걸쳐 전체적으로 고르게 분산되어진 상태에서 유체(코팅액 또는 세정액)가 제2 분사 노즐부를 통해 분사되는 관계로 코팅 또는 세정될 기판에 유체가 노즐의 전체 길이에 걸쳐 고르게 분사되는 효과가 있으며, 또 에어 분사공이 종래와 달리 접촉경계면에 가는 선 형태의 홈으로 가공되므로 분사공을 촘촘하게 형성할 수 있고, 더 나아가 그물망식으로 형성되기 때문에 고른 분산 및 분사 효과가 높은 특성을 가진다.
In the present invention as described above, the first and second injection nozzles form a double nozzle with the fluid reservoir interposed therebetween, and the fluid is dispersed along the length direction in the fluid reservoir primarily injected through the first injection nozzle. This occurs, and furthermore, the fluid (coating liquid or cleaning liquid) is discharged in a state where the fluid injected into the fluid reservoir forms a severe vortex due to the shape of the space and the pressure is evenly distributed throughout the entire length of the nozzle apparatus body. The fluid is sprayed evenly over the entire length of the nozzle because it is sprayed through the spray nozzle unit. The air spray hole is processed into a thin groove in the contact boundary surface unlike the conventional one, so that the spray hole is It can be formed densely, and furthermore, it is formed into a mesh so that it has a high distribution and spraying effect. The.

도 1은 종래 기술을 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명에 의한 멀티-나이프형 분사노즐 장치를 나타낸 사시도이며,
도 4는 본 발명에 의한 멀티-나이프형 분사노즐 장치의 내부 구조를 도시하기 위하여 측면덮개를 제거한 상태의 도면이고,
도 5는 도 2의 본 발명에 의한 멀티-나이프형 분사노즐 장치의 본체를 형성하는 한쪽 몸체의 형상을 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 제1 및 제2 분사 노즐부의 유체 분사공의 여러 가지 가공 형태를 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 유체 저장공의 다양한 형상을 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 멀티-나이프형 분사노즐 장치의 유체와 에어의 분사를 보여주는 요부 확대도면이다.
도 9는 본 발명의 멀티-나이프형 분사노즐 장치에서 길이 방향에 걸쳐 유체를 고르게 분사하는 것을 나타낸 개념도이다.1 shows a prior art.
Figure 2 is a perspective view showing a multi-knife injection nozzle device according to the present invention,
Figure 4 is a view of the side cover removed to show the internal structure of the multi-knife injection nozzle apparatus according to the present invention,
5 is a view showing the shape of one body forming the main body of the multi-knife injection nozzle device of the present invention of FIG.
It is a figure which shows the various processing forms of the fluid injection hole of the 1st and 2nd injection nozzle part of this invention.
7 is a view showing various shapes of the fluid reservoir of the present invention.
8 is an enlarged view illustrating main parts of the fluid and air jet of the multi-knife injection nozzle apparatus according to the present invention.
FIG. 9 is a conceptual view illustrating evenly injecting a fluid in the longitudinal direction in the multi-knife injection nozzle apparatus of the present invention.

이하에 본 발명을 충분히 이해하기 위해서 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상세히 설명하는 실시예로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어 표현될 수 있다. 각 도면에서 동일한 부재는 동일한 참조부호로 도시한 경우가 있음을 유의하여야 한다. 또한, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 기술은 생략된다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings in order to fully understand the present invention. The embodiments of the present invention may be modified into various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described in detail below. The present embodiments are provided to enable those skilled in the art to more fully understand the present invention. Therefore, the shapes and the like of the elements in the drawings can be exaggeratedly expressed to emphasize a clearer description. It should be noted that in the drawings, the same members are denoted by the same reference numerals. Further, detailed descriptions of well-known functions and configurations that may be unnecessarily obscured by the gist of the present invention are omitted.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명의 멀티-나이프형 분사노즐 장치를 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings illustrating a preferred embodiment of the present invention, the multi-knife injection nozzle device of the present invention will be described in detail.

도 2는 본 발명에 의한 멀티-나이프형 분사노즐 장치를 나타낸 사시도이며, 도 4는 본 발명에 의한 멀티-나이프형 분사노즐 장치의 내부 구조를 도시하기 위하여 측면덮개를 제거한 상태의 도면이고, 도 5는 도 2의 본 발명에 의한 멀티-나이프형 분사노즐 장치의 본체를 형성하는 한쪽 몸체의 형상을 나타낸 도면이다.Figure 2 is a perspective view showing a multi-knife injection nozzle device according to the present invention, Figure 4 is a view of the side cover removed to show the internal structure of the multi-knife injection nozzle device according to the present invention, 5 is a view showing the shape of one body forming the main body of the multi-knife injection nozzle device of the present invention of FIG.

도면에 있어서, 전체를 부호 40으로 나타낸 본 발명의 멀티-나이프형 분사노즐 장치(40)는 좌우가 대칭으로 형성되는 2개의 몸체(42,44)가 합하여 한 몸체를 형성하는 본체(46)를 구비하고 있으며, 이 본체(46)는 도시하지 않은 코팅 또는 세정될 기판의 폭을 따라 길게 연장하는 형상으로, 일측은 측면덮개(48)에 의해 막히고, 타측은 측면덮개(50)에 접속하는 호스(52)에 연통하는 유체 공급공(54)이 상기 본체(46)의 전체 길이 방향에 걸쳐 형성되어 있으며, 상기 유체 공급공(54)의 하부로 양측 몸체(42,44)의 접촉 경계면(56,58)에는 본 발명의 요지 구성인 제1 분사 노즐부(56)와 제2 분사 노즐부(58) 및 그 양측 제1 및 제2 분사 노즐부(56,58) 사이로 상기 유체 공급공(54)과 평행하게 유체 저장공(60)이 형성되어 있다.In the figure, the multi-knife injection nozzle device 40 of the present invention, which is denoted by the entirety as 40, has a main body 46 in which two bodies 42 and 44, which are formed symmetrically on both sides, form a body. The main body 46 has a shape extending long along the width of the substrate to be coated or cleaned, not shown, one side is blocked by the side cover 48, the other side is connected to the side cover 50 A fluid supply hole 54 communicating with the 52 is formed over the entire length of the main body 46, and the contact interface 56 of the two bodies 42 and 44 is disposed below the fluid supply hole 54. 58, the fluid supply hole 54 between the first injection nozzle portion 56 and the second injection nozzle portion 58 and the first and second injection nozzle portions 56 and 58 on both sides thereof, which are the main elements of the present invention. The fluid storage hole 60 is formed in parallel with).

그러나 상기 유체 공급공(54)의 일측이 막혀 있어야만 하는 것은 아니고, 일측 측면덮개(48)에도 호스(도시 생략)를 접속하여 양측에서 유체가 유입되도록 형성하거나, 필요에 따라 일측의 유체 유입구를 차단하여 사용할 수 있으며, 또 상기 제1, 제2 분사 노즐부(56)(58)도 2개로 한정하지 아니하고 유체 저장공(60)과 분사 노즐부를 추가하여 3개 이상 복수로 구성할 수 있다.However, one side of the fluid supply hole 54 does not have to be blocked, and a hose (not shown) is also connected to one side cover 48 to form a fluid to flow from both sides, or to block the fluid inlet of one side as necessary. In addition, the first and second injection nozzle units 56 and 58 are not limited to two, but may be configured in three or more by adding the fluid storage hole 60 and the injection nozzle unit.

상기 제1 및 제2 분사 노즐부(56,58)를 형성하는 접촉 경계면에는 도 4, 도 5, 도6 및 도 8에 도시한 것과 같이 0.1mm 내지 2mm 직경의 크기로 형성, 예를 들면 양측 표면을 와이어 방전가공 등을 통해 미세한 선의 반원홈 또는 사각 형태로 가공하여 하나로 합쳐 원형 또는 사각 단면의 노즐 구멍을 형성하게 되는 유체 분사공(62)(64)들이 본체(46)의 길이 방향에 걸쳐 일정 간격, 예를 들면 0.5mm 내지 10mm 간격으로 상하 방향으로 형성되며, 이때 상기 유체 분사공(62)(64)들의 가공에 있어, 도 6(a~d)에서와 같이 일직선형(62a)(64a), 사선형(62b)(64b),(62c)(64c) 및 그물망 형상(62d(64d) 중에서 상하가 각기 동일 또는 별도로 선택하여 가공하게 되며, 반복된 시험 결과 단순한 일직선형(62a)(64a)에 비해 상하의 경사 방향이 어긋나게 형성한 경우가 고른 압력 분산 효과가 높고, 분사공이 서로 교차하는 그물망 형상(62d)(64d)의 가공 시에는 이들보다 더 좋은 효과가 있는 것으로 나타나고 있다.The contact interface for forming the first and second spray nozzles 56, 58 is formed in a size of 0.1mm to 2mm diameter, for example, both sides as shown in Figure 4, 5, 6 and 8 Surfaces of the fluid injection holes 62 and 64 which are machined into a semi-circular groove or a square shape of a fine line through wire discharge machining, etc., and are combined into one to form a nozzle hole of a circular or square cross-section are formed in the longitudinal direction of the main body 46. It is formed in a vertical direction at regular intervals, for example, 0.5 mm to 10 mm intervals, wherein in the processing of the fluid injection holes 62 and 64, a straight line 62a (as shown in Figs. 6A to 6D) ( 64a), diagonal lines 62b, 64b, 62c, 64c, and mesh shapes 62d (64d), each having the same top and bottom selected or processed separately, and the repeated test result is a simple straight line 62a ( Compared with 64a), the case where the inclination direction of the upper and lower sides were formed to shift | deviate has a high pressure dispersion effect, and the injection hole is high. It has been shown that there is a better effect than those in the processing of the mesh shapes 62d and 64d intersecting with each other.

본 발명의 중요한 기술적 요지는 상기 제1 및 제2 분사 노즐부(56,58)가 그 사이에 개재된 유체 저장공(60)에 의해 상하 2단(3단 이상의 복수단도 가능하나 최소한 도시한 것처럼 2단으로 구성한다)으로 분할된 것에 있는바, 이 유체 저장공(60)은 도 7(a~d)에 도시하는 것과 같이 수직 하방을 향해 꼭지점이 놓여지는 역삼각형(60a) 또는 다이아몬드형(60b), 또는 원형(60c), 또는 원형구멍 하부가 오목하게 파인 열쇠구멍형(60d)을 포함한 다양한 형상으로 가공되며, 이 유체 저장공(60)은 상기 제1 분사 노즐부(56)에서 분사되는 유체의 확산을 도울 뿐 아니라, 특히 분사되는 유체가 구멍 하단에서 부딪히면서 상측으로 반전하여 와류 및 소용돌이 치게 되는 것에 의해서 길이 방향으로 유체가 고르게 분산되기 때문에, 일반적 구조(도 1의 종래 기술 참조)하에서 파이프의 길이 방향을 따라 유체의 유입부 측의 압력은 높고, 그로부터 멀어질수록 압력과 속도가 저하하여 분사 특성이 길이 방향을 따라 달라지는 현상이 본 발명의 구조하에서는 최소화됨으로써, 분사장치의 전체 길이에 걸친 분사 특성이 균일하게 나타나게 되는 것이며, 따라서 단일의 분사 노즐부를 구성하는 것에 비해 유체 저장부(60)를 사이에 두고 분사 노즐부(56)(58)를 2중, 또는 3중 등 복수(multi-)로 구성하는 것이 코팅 또는 세정될 기판의 전체 폭에 걸쳐 유체의 매우 고른 분사 특성을 가지고 있다는 점에서 유리하다.An important technical aspect of the present invention is the upper and lower two stages (multiple stages of three or more stages are possible, but at least as shown) by the fluid storage hole 60 between the first and second injection nozzle portions 56 and 58 interposed therebetween. The fluid storage hole 60 is an inverted triangle 60a or a diamond shape in which a vertex is placed vertically downward as shown in Figs. 7A to 7D. 60b) or a circular shape 60c, or a variety of shapes including a keyhole shape 60d having a recessed lower portion of the circular hole, and the fluid reservoir 60 is injected from the first injection nozzle part 56. In addition to aiding the diffusion of the fluid to be dispensed, under general structure (see prior art of FIG. 1), the fluid is evenly distributed in the longitudinal direction, in particular, by injecting the fluid at the bottom of the hole and inverting upwards and vortexing and swirling. pipe The pressure on the inlet side of the fluid along the longitudinal direction is high, and as it moves away from it, the pressure and speed decrease so that the injection characteristic varies along the longitudinal direction under the structure of the present invention, thereby minimizing the injection over the entire length of the injector. The characteristics appear uniformly, and thus, the injection nozzles 56 and 58 are double- or triple-multiple, with the fluid reservoir 60 interposed therebetween, constituting a single injection nozzle. It is advantageous in that it has very even spraying properties of the fluid over the entire width of the substrate to be coated or cleaned.

한편, 상기 제1 및 제2 분사노즐부(56,58)의 외부를 감싸도록 에어 분사용 커버체(66,68)가 용착 또는 용접 또는 나사에 의해 장착되며, 상기 본체(46)의 외벽면과의 사이에 일측, 바람직하기로는 양측으로 에어 통로(70,72)가 형성되며, 이 에어 통로(70,72)는 그의 일단이 에어 공급호스(74, 2개 또는 1개로 형성될 수 있다)에 접속하여 도시하지 아니한 압축기와 압축공기 탱크로부터 급송되는 고압의 에어가 도입되며, 또 그 에어 통로(70,72)에 도입된 에어를 상기 제2 분사노즐부를 통해 분사되는 유체와 함께, 즉 분사되는 유체를 공기에 실어 분사하도록 일직선, 사선 및 그물망식 또는 전체 길이 방향에 걸쳐 형성되는 틈새로 구성된 그룹으로부터 선택되는 에어 분사공(76,78)을 구비하고 있다.On the other hand, the air injection cover body (66, 68) is mounted by welding, welding, or screw so as to surround the outside of the first and second injection nozzles (56, 58), the outer wall surface of the main body 46 Air passages 70 and 72 are formed at one side, preferably both sides, between the air passages 70 and 72, one end of which may be formed as an air supply hose 74, two or one. A high pressure air supplied from a compressor and a compressed air tank (not shown) connected to the air is introduced, and the air introduced into the air passages 70 and 72 is injected together with the fluid injected through the second injection nozzle part, that is, the injection Air injection holes 76 and 78 are selected from the group consisting of straight lines, diagonal lines, and meshes or gaps formed over the entire length direction so as to inject the fluid into the air.

여기서 미설명 부호 80은 유체의 누설을 방지하기 위한 패킹이다.Here, reference numeral 80 is a packing for preventing the leakage of the fluid.

이 같은 본 발명의 멀티-나이프형 분사노즐 장치(40)는 도 9의 개념도에서 보여지는 것과 제1 및 제2 분사노즐과 그 사이에 위치하는 유체 저장공과의 협력에 의해 장치의 전체 길이 방향에 걸쳐 고르게 유체가 분사되는 효과가 있으며, 이때 도 8에서 도시한 것처럼 분사되는 유체의 좌우에서 에어가 분출하여 유체가 그 에어에 실려 고른 확산이 더욱 증대되게 되는 것이다.Such a multi-knife injection nozzle device 40 of the present invention is shown in the conceptual diagram of FIG. 9 and cooperates with the first and second injection nozzles with the fluid reservoir located therebetween in the entire longitudinal direction of the device. There is an effect that the fluid is evenly sprayed over, and as shown in FIG. 8, air is ejected from the left and right of the injected fluid, so that the fluid is carried in the air and the even diffusion is further increased.

이상에서와 같이 본 발명의 바람직한 실시예들이 본 명세서에 설명되었으며, 이는 본 발명을 수행하는 데 있어 발명자에게 알려진 최선의 모드이다. 이러한 바람직한 실시예들의 변형예들이 이상의 설명으로부터 실시 가능하다는 것은 당업자라면 쉽게 알 수 있을 것이다. 예를 들어 분사장치가 직선형으로 한정되는 것이 아니라 링 형상으로 둥글게 말아 코어 내에 세정할 물체를 두고 코어 중심방향을 향해 세정액을 분사토록 하는 등 발명자들은 숙련된 기술자들이 이러한 변형예를 채용할 것을 예상하며, 발명자들도 본 발명을 이상에서 특별히 설명한 것 외에도 실시하고자 한다. 따라서, 본 발명은 적용 가능한 법에 의해 허용되는 바에 따라 첨부된 청구범위에 언급된 주제와 균등한 모든 변형예를 포함한다. 또한, 전술한 요소들의 가능한 모든 조합은 본 명세서 내에서 특별히 언급하거나 배제하지 않은 이상 본 발명에 포함될 것이다.
As described above, preferred embodiments of the present invention have been described herein, which is the best mode known to the inventor in carrying out the present invention. It will be readily apparent to those skilled in the art that modifications of these preferred embodiments are possible from the foregoing description. For example, the injector is not limited to a straight line, but is rolled up in a ring shape to place an object to be cleaned in the core and spray the cleaning liquid toward the core center. The inventors also intend to practice the present invention in addition to those specifically described above. Accordingly, the invention includes all modifications that are equivalent to the subject matter recited in the claims appended hereto as permitted by applicable law. Furthermore, all possible combinations of the above-mentioned elements will be included in the present invention unless specifically mentioned or excluded in the present specification.

40: 분사 노즐장치 46(42,44): 본체
48,50: 측면 덮개 52,74: 호스
54 : 유체 공급공
56: 제1 분사 노즐부 58: 제2 분사 노즐부
60(a~d): 유체 저장공 62,64: 유체 분사공
66,68: 에어 분사용 커버체 70,72: 에어 통로
76,78: 에어 분사공 80: 패킹40: injection nozzle apparatus 46 (42, 44): main body
48,50: side cover 52,74: hose
54: fluid supply hole
56: first spray nozzle portion 58: second spray nozzle portion
60 (a ~ d): Fluid reservoir 62,64: Fluid injection hole
66, 68: air jet cover body 70, 72: air passage
76,78: Air injection hole 80: Packing

Claims (4)

서로 결합되는 2개의 몸체로 구성되며, 코팅 또는 세정할 기판의 폭을 따라 연장하는 본체와; 적어도 일측을 통해 분사액 공급수단 측에 접속하도록 상기 본체 내에 길이 방향을 따라 형성되는 유체 공급공과; 상기 유체 공급공의 하부 위치로 상기 2개의 몸체의 접촉면 사이로 전체 길이 방향에 걸쳐 형성되어 상기 유체 공급공 내로 유입된 유체를 분사하는 제1분사노즐부와; 상기 제1분사노즐부를 통해 분사되는 유체를 받아 분산 저장하도록 길이 방향을 따라 상기 유체 공급공에 평행하게 형성되는 유체 저장공과; 상기 유체 저장공 내의 유체를 코팅 또는 세정될 기판에 분사하는 제2분사노즐부;를 포함하여 구성하되, 상기 제1 및 제2분사노즐부는 각기 길이 방향을 따라 일정 간격으로 형성되는 일직선, 사선 및 그물망 형상으로 구성된 그룹으로부터 선택되는 유체 분사공을 구비한 것을 특징으로 하는 멀티-나이프형 분사노즐 장치.
A main body composed of two bodies coupled to each other and extending along the width of the substrate to be coated or cleaned; A fluid supply hole formed along the longitudinal direction in the main body to be connected to the injection liquid supply means through at least one side; A first spray nozzle portion formed between the contact surfaces of the two bodies to a lower position of the fluid supply hole to extend the fluid introduced into the fluid supply hole; A fluid storage hole formed parallel to the fluid supply hole along a length direction to receive and distribute the fluid injected through the first spray nozzle part; And a second spray nozzle unit for spraying a fluid in the fluid storage hole onto a substrate to be coated or cleaned, wherein the first and second spray nozzle units are formed at regular intervals along a length direction, respectively, And a fluid injection hole selected from the group consisting of a mesh shape.
삭제delete 제1항에 있어서, 상기 유체 저장공은 역삼각형, 다이아몬드형, 원형 및 열쇠구멍 형상으로 구성된 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 멀티-나이프형 분사노즐 장치.
The multi-knife injection nozzle apparatus of claim 1, wherein the fluid reservoir is selected from the group consisting of an inverted triangle, a diamond, a circle, and a keyhole shape.
제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 제1 및 제2 분사노즐부의 외부를 감싸 상기 제2 분사노즐부를 통해 분사되는 유체에 공기를 실어 분사하도록 상기 본체의 길이 방향을 따라 형성되는 에어 통로와, 일직선, 사선 및 그물망식 또는 전체 길이 방향에 걸쳐 형성되는 틈새로 구성된 그룹으로부터 선택되는 에어 분사공을 구비하는 에어 분사용 커버체가 상기 제1 및 제2 분사노즐부의 외부를 감싸도록 설치된 것을 특징으로 하는 멀티-나이프형 분사노즐 장치.The air passage of claim 1 or 3, wherein the air passage is formed along the longitudinal direction of the main body so as to surround the outside of the first and second injection nozzle portions to inject air into the fluid injected through the second injection nozzle portion. And an air injection cover body including an air injection hole selected from the group consisting of a straight line, an oblique line and a net or a gap formed over the entire length direction is installed to surround the outside of the first and second injection nozzle portions. Multi-knife injection nozzle unit.
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