KR101359333B1 - 다중 전극 셀 테스트 장치 - Google Patents

다중 전극 셀 테스트 장치 Download PDF

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KR101359333B1
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최해영
도칠훈
이상민
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Abstract

본 발명은 화재나 폭발 등에 대비하여 안전하도록 강도가 강한 SUS 재질로 제작된 챔버 내에 측정에 필요한 온도, 습도, 진공도, 비활성기체 등의 분위기를 만들어, 2차 전지(셀)의 충방전 테스트를 수행하되, 전지에 전원 인가를 위한 전극의 탈착이 용이하며 여러 개의 전지를 동시에 충방전 테스트할 수도 있어서, 과충전 여부 등 전지의 불량 판정에 유용한 다중 전극 셀 테스트 장치에 관한 것이다.

Description

다중 전극 셀 테스트 장치{Multi-Electrode Cell Test Apparatus}
본 발명은 2차 전지(셀)의 충방전 테스트를 위한 장치에 관한 것으로, 화재나 폭발 등에 대비하여 안전하도록 강도가 강한 SUS 재질로 제작된 챔버 내에 측정에 필요한 온도, 습도, 진공도, 비활성기체 등의 분위기를 만들어, 2차 전지(셀)의 충방전 테스트를 수행하되, 전지에 전원 인가를 위한 전극의 탈착이 용이하며 여러 개의 전지를 동시에 충방전 테스트할 수도 있어서, 과충전 여부 등 전지의 불량 판정이나 전지 설계에 유용한 다중 전극 셀 테스트 장치에 관한 것이다.
2차 전지의 수명에 영향을 주는 요인은 여러 가지 존재하나 특히 과충전에 의한 전지의 성능 저하 현상이 일반적으로 많이 일어난다. 과충전은 전지의 정상적인 작동전압 이상으로 충전되는 현상으로 충전기의 오작동에 의해서 많이 발생되고 있다. 또한, 2차 전지는 과충전 상태에서 전지내의 비정상적인 전기화학 반응이 일어나 열이 발생하므로 이에 대한 안전성이 필요하며, 제조과정에서의 결함이나 전지의 오용이나 남용 등에 의해 과충전 상태에 이르고 내부 단락이 야기되어 수명을 단축시킬 수 있다.
또한, 2차 전지에서 양극의 전위보다 높은 분해전위를 갖는 전해질이 사용되므로 일반적인 상태에서는 전해질의 분해반응이 일어나지 않으나, 과충전 상태에서 양극의 전위가 상승하면 전위값이 전해질의 분해전위 이상이 되어 발열을 동반한 전해질의 산화반응이 야기되어 수명을 단축시킬 수 있다. 또한, 양극 활물질로서 사용되는 높은 산화수의 금속 산화물이 과충전 상태의 고온에서 구조변화를 동반하면서 많은 열과 함께 산소를 방출하여 수명을 단축시킬 수 있다.
위와 같은 과충전 등 여러 요인들이 전지의 성능과 수명에 영향을 미치고 있으며, 이와 같은 영향을 편리하고 효과적으로 확인하고 분석하기 위한 장치가 필요한 실정이다.
또한, 전지를 구성하는 양극, 음극, 전해질의 종류에 따라 초기 충전시 발생하는 가스의 양과 종류가 다르다. 초기 충전시 발생하는 가스는 이후 전지의 성능에 크게 영향을 미치므로, 이에 대한 정립이 필요하다. 그리고, 어느 전압 구간에서 가스가 발생하고, 그러한 가스 발생이 전지 성능에 미치는 영향을 살펴볼 필요가 있다. 일반적인 셀은 초기 충전시 발생하는 가스를 포집하기가 어렵고, 분석하기가 용이하지 않다. 따라서, 이러한 초기 충전시 발생하는 가스, 각 전극의 전위 등에 대한 정확한 분석을 통해서 초기충전 조건을 최적화하고, 향후 셀 성능과 안전성을 향상시킬 수 있다.
따라서, 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은, 화재나 폭발 등에 대비하여 안전하도록 강도가 강한 SUS 재질 혹은 화학적으로 안정한 재질로 제작된 챔버 내에 측정에 필요한 온도, 습도, 진공도, 비활성기체 등의 분위기를 만들어, 2차 전지(셀)의 충방전 테스트를 수행하되, 전지에 전원 인가를 위한 전극의 탈착이 용이하며 여러 개의 전지를 동시에 충방전 테스트할 수도 있어서, 과충전 여부 등 전지의 불량 판정이나 전지 설계에 유용한 다중 전극 셀 테스트 장치를 제공하는 데 있다.
먼저, 본 발명의 특징을 요약하면, 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일면에 따른, 2차 전지의 충방전 테스트를 위한 다중 전극 셀 테스트 장치는, 챔버 본체; 상기 챔버 본체를 덮기 위하여 결합되는 하부 지지판과 상부 덮개판; 상기 챔버 본체의 측벽에 결합된 상기 챔버 본체 내부의 진공도를 측정하는 진공 게이지; 상기 챔버 본체의 측벽에 결합된 상기 챔버 본체 내부를 조망하기 위한 조망창; 상기 상부 덮개판을 관통하는 홀에 결합되어 상기 챔버 본체 내부로 가스 공급을 위한 가스 인렛 라인; 상기 상부 덮개판을 관통하는 다른 홀에 결합되어 상기 챔버 본체 내부의 가스를 배출하기 위한 가스 아웃렛 라인; 및 상기 상부 덮개판을 관통하는 또 다른 홀에 결합되어 상기 챔버 본체 내부에 장착된 복수의 2차 전지에 전원을 공급하기 위한 복수의 전극 피드쓰루를 포함한다.
상기 다중 전극 셀 테스트 장치는, 상기 가스 인렛 라인으로 상기 복수의 2차 전지의 충방전 테스트 중 가스를 공급하는 가스 공급기; 상기 복수의 전극 피드쓰루와 케이블로 연결되어 상기 복수의 2차 전지의 충방전 테스트 중 전원을 공급하기 위한 전원장치; 및 상기 복수의 2차 전지의 충방전 테스트 중, 상기 가스 공급기를 제어하여 선택한 한 종류 이상의 가스가 상기 챔버 본체 내부로 공급되도록 제어하며, 상기 전원장치를 제어하여 선택한 전원이 상기 복수의 전극 피드쓰루 중 해당 전극 피드쓰루로 공급되도록 제어하는 제어장치를 더 포함할 수 잇다.
상기 제어장치는, 상기 충방전 테스트 중, 상기 가스 인렛 라인의 가스 인렛에 설치된 밸브와 상기 가스 아웃렛 라인의 가스 아웃렛에 설치된 진공 펌프를 제어하여, 상기 챔버 본체 내부를 미리 설정한 진공도로 유지시킬 수 있다.
상기 다중 전극 셀 테스트 장치는, 상기 2차 전지의 충방전 테스트 동안 상기 2차 전지 내부에서 생성되는 반응 가스를 분석하기 위해 상기 챔버 본체 내부에 장착된 분석기기를 더 포함할 수 있다.
상기 분석기기는, 상기 반응 가스의 질량 분석으로 가스의 종류를 판정하기 위한 질량 분석기를 포함할 수 있다.
상기 분석기기는, 상기 반응 가스에 대한 LIF(Laser Induced Fluorescence) 분석으로 가스의 종류를 판정하기 위한 LIF 분석기를 포함할 수 있다.
이외에도, 상기 다중 전극 셀 테스트 장치는, 상기 제어장치에 의한 제어로 상기 챔버 본체 내부의 온도 제어를 위한 가열/냉각기, 또는 상기 챔버 본체 내부의 온도를 감지하기 위한 온도 센서를 더 포함할 수 있다. 상기 다중 전극 셀 테스트 장치는, 상기 제어장치에 의한 제어로 상기 챔버 본체 내부의 습도 제어를 위한 습도 상승/하강기, 또는 상기 챔버 본체 내부의 습도를 감지하기 위한 습도 센서를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 다중 전극 셀 테스트 장치에 따르면, 챔버가 SUS 재질로 제작되어 화재나 폭발 등에 대비하여 안전을 유지할 수 있으며, 충방전 테스트를 위한 챔버 내의 온도, 습도, 진공도, 비활성기체 등의 분위기 조절이 자유롭고, 전지에 전원 인가를 위한 전극의 탈착이 용이하고, 여러 개의 전지를 동시에 충방전 테스트할 수도 있다. 과충전 여부 등 전지의 불량 판정이나 전지 설계에 유용하게 활용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 다중 전극 셀 테스트 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 도 1의 조망창 쪽에서 바라볼 때의 챔버 본체의 도면이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 다중 전극 셀 테스트 장치의 충방전 테스트 개념을 설명하기 위한 도면이다.
이하 첨부 도면들 및 첨부 도면들에 기재된 내용들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 다중 전극 셀 테스트 장치(100)를 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 다중 전극 셀 테스트 장치(100)는, 챔버(chamber) 본체(110), 챔버 본체(110)를 덮기 위하여 결합되는 하부 지지판(122)과 상부 덮개판(121), 챔버 본체(110)의 측벽에 결합된 챔버 본체(110) 내부의 진공도를 측정하는 진공 게이지(gauge)(130), 챔버 본체(110)의 측벽에 결합된 챔버 본체(110) 내부를 조망하기 위한 조망창(140), 상부 덮개판(121)을 관통하는 홀에 결합되어 챔버 본체(110) 내부로 가스 공급을 위한 가스 인렛(inlet) 라인(150, 151, 152), 상부 덮개판(121)을 관통하는 다른 홀에 결합되어 챔버 본체(110) 내부의 가스를 배출하기 위한 가스 아웃렛(outlet) 라인(160, 161, 162), 상부 덮개판(121)을 관통하는 또 다른 홀에 결합되어 챔버 본체(110) 내부에 장착된 복수의 2차 전지에 전원을 공급하기 위한 복수의 전극 피드쓰루(feed-through)(170)을 포함할 수 있다. 조망창(140) 쪽에서 바라볼 때의 챔버 본체(140) 관련 측면도인 도 2를 참조하면, 전극 피드쓰루(170)는 복수개(171, 172, 173)로 이루어질 수 있고, 필요에 따라 더 많은 수의 전극 피드쓰루가 포함되도록 다중 전극 셀 테스트 장치(100)가 설계될 수도 있다. 이외에도 다중 전극 셀 테스트 장치(100)는 도 1과 같이 제어 장치(180), 가스 공급기(181), 전원장치(182) 등을 더 포함할 수 있다.
덮개를 위한 하부 지지판(122)은 챔버 본체(110)에 고정되어 있을 수 있으며, 상부 덮개판(121)이 볼트, 너트 등 체결 수단을 통해 하부 지지판(122) 위에서 하부 지지판(122)과 결합될 수 있다.
사용자는 충방전 테스트될 2차 전지를 챔버 본체(110) 내부에 장착하기 위하여, 상부 덮개판(121)을 하부 지지판(122)으로부터 분리하고, 챔버 본체(110) 내부가 들여다 보이게 한 후, 챔버 본체(110) 내부의 적절한 거치 수단에 하나 이상의 2차 전지를 장착할 수 있다. 챔버 본체(110)는 SUS 재질 또는 화학적으로 안정한 재질로 제작되어 화재나 폭발 등에 대비해 안전을 유지할 수 있다.
각 전극 피드쓰루(171, 172, 173)는 상부 덮개판(121)을 관통하는 일련의 홀들(hole)에 각각 탈착이 용이하도록 결합되어 있으며, 각 전극 피드쓰루(171, 172, 173)에는 DC 전원을 위한 2가닥 전원 전극이 구비되어 있고, 그 외부는 케이블에 의해 전원 장치(182)와 연결되어 있다. 사용자는 챔버 본체(110) 내부로 나와 있는 각 전극 피드쓰루(171, 172, 173)의 전극들 중 해당 전극 피드쓰루(들)의 2 전극들에 연결된 내부 전극 케이블들에 충방전 테스트될 2차 전지의 2단자를 연결한 후, 상부 덮개판(121)을 하부 지지판(122) 위로 덮어 하부 지지판(122)과 결합시킬 수 있다.
상부 덮개판(121)을 관통하는 홀(예, 전극 피드쓰루를 위한 중앙홀의 좌측 홀)에 소정의 체결수단(152)으로 인렛 가스관(151)이 결합되어 있으며, 인렛 가스관(151)의 반대쪽 가스 인렛(150)은 가스공급기(181)로부터 질소, 불활성 가스 등 소정의 가스를 공급받기 위하여 가스공급기(181)에 소정의 가스관으로 연결된다. 가스 인렛(150)은 공급 가스의 유량을 조절하는 밸브와 유량 게이지가 포함할 수 있다. 상부 덮개판(121)을 관통하는 홀(예, 전극 피드쓰루를 위한 중앙홀의 우측 홀)에 소정의 체결수단(162)으로 아웃렛 가스관(161)이 결합되어 있으며, 아웃렛 가스관(161)의 반대쪽 가스 아웃렛(160)에는 챔버 본체(110)의 가스를 배출하기 위한 진공 펌프(도시 되지 않음)가 연결될 수 있고 진공 펌프에서 배출되는 가스는 소정의 가스관을 통해 공기중으로 배출될 수 있다.
2차 전지는 진공 상태가 아닌 환경에서도 충방전 테스트될 수 있으나, 소정의 진공 상태와 가스 분위기에서 충방전 테스트를 위하여 사용자는 제어장치(180)에 필요한 설정을 할 수 있다. 제어장치(180)는 LCD 등 디스플레이 수단과 키입력 수단 등을 구비하며, 사용자가 키입력 수단을 통하여 입력함에 따라 하기와 같은 제어를 수행하는 회로 수단 등을 구비하는 장치로서, 컴퓨터 또는 전용 기기일 수 있다.
예를 들어, 2차 전지의 충방전 테스트를 위한 사용자의 입력에 따라, 제어장치(180)는 가스 공급기(181)를 제어하여 선택한 한 종류 이상의 가스가 챔버 본체(110) 내부로 공급되도록 제어할 수 있으며, 또한 전원장치(182)를 제어하여 선택한 전원(DC를 위한 2가닥 전원)이 복수의 전극 피드쓰루(170) 중 해당 전극 피드쓰루로 공급되도록 제어할 수 있다.
이때, 제어장치(180)는 가스 인렛(150)에 설치된 밸브와 가스 아웃렛(160)에 설치된 진공 펌프를 제어하여, 챔버 본체(110) 내부를 미리 설정한 진공도로 유지시킬 수 있다. 충방전 테스트 중 가스 인렛(150)의 밸브 조절을 통하여 질소, 비활성 가스 등 필요한 가스가 적절히 공급되어 챔버 본체(110) 내부가 충방전 테스트를 위한 적절한 분위기가 되도록 할 수 있다.
사용자는 가스 인렛(150)의 유량계를 통하여 가스의 유량을 확인할 수 있으며, 진공 게이지(130)를 통하여 챔버 본체(110) 내부의 진공도를 확인할 수 있다.
또한, 필요한 경우에, 챔버 본체(110) 내부의 온도 제어를 위한 가열/냉각기(도시 되지 않음)가 더 구비되어, 챔버 본체(110) 주위(내부 또는 외부)에 적절히 설치될 수 있으며, 챔버 본체(110) 내부에 설치되어 챔버 본체(110) 내부의 온도를 감지하기 위한 온도 센서(도시 되지 않음)도 구비될 수 있다. 2차 전지의 충방전 테스트를 위한 사용자의 입력에 따라, 제어장치(110)는 이와 같은 온도 센서의 신호에 따라 가열/냉각기를 제어해 챔버 본체(110) 내부를 설정된 적절한 온도로 유지시킬 수 있다.
또한, 필요한 경우에, 챔버 본체(110) 내부의 습도 제어를 위한 습도 상승/하강기(도시 되지 않음)가 더 구비되어, 챔버 본체(110) 내부에 적절히 설치될 수 있으며, 챔버 본체(110) 내부에 설치되어 챔버 본체(110) 내부의 습도를 감지하기 위한 습도 센서(도시 되지 않음)도 구비될 수 있다. 2차 전지의 충방전 테스트를 위한 사용자의 입력에 따라, 제어장치(110)는 이와 같은 습도 센서의 신호에 따라 습도 상승/하강기를 제어해 챔버 본체(110) 내부를 설정된 적절한 습도로 유지시킬 수도 있다.
이와 같이 테스트 준비가 되면, 사용자는 조망창(140)을 통해 챔버 본체(110) 내부의 2차 전지의 상태를 확인하면서 충방전 테스트를 진행할 수 있다.
복수의 전극 피드쓰루(170) 중 선택된 전극 피드쓰루의 전극들에 연결된 챔버 본체(110) 내부의 2차 전지(들)은 1,2,3 또는 그 이상의 수일 수 있으며, 이러한 2차 전지에 전원이 공급되어 충방전 상태가 테스트되는 동안 과충전이 일어나면 전지 내에 전기적인 저항에 의해 열이 발생하여 점점 온도가 상승한다. 이때 Li 이차전지의 경우 양극에서는 정상 충전상태에 비해 과량의 리튬이 나오게 되고 음극에서는 수용할 수 있는 리튬보다 더 많은 양이 들어오고자 하여 잉여의 리튬들이 음극 표면에 석출되면서 리튬 금속 형태로 석출된다. 또한 양극에서는 구조붕괴가 일어나 열에너지뿐만 아니라 동시에 산소를 발생할 수 있다. 양극과 음극에서 발생하는 열에 의해 분리막이 녹게 되면 양극과 음극이 내부단락(internal short)이 되는 상태로 진전될 수도 있다.
과충전 조건에서 전해액의 점도를 급격히 상승시켜 이온 흐름을 저하시킨다든지 또는 전해액 첨가제를 사용하여 과충전 시 첨가제가 양극과 음극의 표면에서 분해되어 전기적으로 절연성인 물질을 형성하여 전기의 흐름을 차단하도록 하는 전지 기술을 사용하는 경우가 있다. 양극에서 지나치게 높은 전압에 의해 전해액이 분해가 되면 많은 가연성 가스가 발생할 수 있으며, 양극 활물질 자체의 열적인 안정성도 급격히 낮아져 많은 발열을 수반한 붕괴(폭발)가 일어날 수도 있다. 전지를 안전하게 사용하고 장시간 사용하기 위해서는 이렇게 과충전 및 기타 주변 환경으로 인하여 일어날 수 있는 문제점들이 발생하지 않으며 전지의 내부 구성 물질들을 보호해 줄 수 있어야 한다.
따라서, 전지 구동 시 일어날 수 있는 내부 반응에 대한 분석이 이루어지고, 어느 부분에서 어떠한 이유로 이상 반응들이 일어나는지를 알아낼 필요가 있다. 분석이 이루어진 후에는 각 이상 반응들이 해결될 수 있는 구조형태의 전지설계가 이루어져야 한다. 이를 위해 전지 내부에서 일어나는 반응에 대한 분석이 쉽고 간편하게 이루어 질 수 있도록, 챔버 본체(110) 내부에는 인시추(in-situ)로 2차 전지에서 생성되는 반응 가스를 분석하기 위한 분석기기가 장착될 수 있다. 또한, 도 3과 같이, 일정 충방전 실시 후 챔버 본체(110)로부터 2차 전지를 꺼내어 2차 전지의 전해액이나 양극과 음극의 반응 생성물에 대한 분석(예, XRD, XPS, SEM, TEM)을 통하여 전지 설계에 활용할 수 있다. XRD: X-Ray Diffraction, XPS: X-ray photoelectronSpectroscopy, SEM: Scanning Electron Microscopy, TEM: Transmission ElectronMicroscopy.
예를 들어, 인시추(in-situ)로 2차 전지에서 생성되는 반응 가스를 분석하기 위해 질량 분석기나 LIF(Laser Induced Fluorescence) 분석기 등이 챔버 본체(110)에 설치될 수 있다.
질량 분석기, LIF 분석기는 사용자의 입력에 따라 제어장치(180)의 제어를 받을 수 있으며, 충방전 상태가 테스트되는 동안 질량 분석기는 2차 전지에서 생성되는 반응 가스의 질량 분석을 위한 정보를 제어장치(180)로 전송할 수 있고, 제어장치(180)는 질량 분석기로부터의 정보를 처리하여 디스플레이 수단에 해당 가스(예, CO2, O2, H2 등)의 종류를 판정하기 위한 분석 정보를 표시할 수 있다. 또한, 충방전 상태가 테스트되는 동안 LIF 분석기는 2차 전지에서 생성되는 반응 가스에 대한 LIF(Laser Induced Fluorescence) 분석에 필요한 정보를 제어장치(180)로 전송할 수 있고, 제어장치(180)는 LIF 분석기로부터의 정보를 처리하여 디스플레이 수단에 해당 가스의 종류를 판정하기 위한 분석 정보를 표시할 수 있다. 질량 분석기는 반응 가스(이온)를 전기장이나 자기장에서 가속시켜 휘는 성질을 이용하여 해당 위치별 정보를 산출함으로써 대상 입자의 질량을　정밀하게 측정하는 장치이다. LIF 분석기는 레이저가 입사된 반응 가스의 빛의 세기에 대한 정보를 측정한다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

Claims (8)

  1. 2차 전지의 충방전 테스트를 위한 다중 전극 셀 테스트 장치에 있어서,
    챔버 본체;
    상기 챔버 본체를 덮기 위하여 결합되는 하부 지지판과 상부 덮개판;
    상기 챔버 본체의 측벽에 결합된 상기 챔버 본체 내부의 진공도를 측정하는 진공 게이지;
    상기 챔버 본체의 측벽에 결합된 상기 챔버 본체 내부를 조망하기 위한 조망창;
    상기 상부 덮개판을 관통하는 홀에 결합되어 상기 챔버 본체 내부로 가스 공급을 위한 가스 인렛 라인;
    상기 상부 덮개판을 관통하는 다른 홀에 결합되어 상기 챔버 본체 내부의 가스를 배출하기 위한 가스 아웃렛 라인;
    상기 상부 덮개판을 관통하는 또 다른 홀에 결합되어 상기 챔버 본체 내부에 장착된 복수의 2차 전지에 전원을 공급하기 위한 복수의 전극 피드쓰루;
    상기 복수의 전극 피드쓰루와 케이블로 연결되어 상기 복수의 2차 전지의 충방전 테스트 중 전원을 공급하기 위한 전원장치; 및
    상기 복수의 2차 전지의 충방전 테스트 중, 상기 전원장치를 제어하여 선택한 전원이 복수의 전극 피드쓰루 중 해당 전극 피드쓰루로 공급되도록 제어하는 제어장치
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 전극 셀 테스트 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가스 인렛 라인으로 상기 복수의 2차 전지의 충방전 테스트 중 가스를 공급하는 가스 공급기를 더 포함하며,
    상기 제어 장치는 상기 가스 공급기도 제어하여 선택한 한 종류 이상의 가스가 상기 챔버 본체 내부로 공급되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 다중 전극 셀 테스트 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제어장치는, 상기 충방전 테스트 중, 상기 가스 인렛 라인의 가스 인렛에 설치된 밸브와 상기 가스 아웃렛 라인의 가스 아웃렛에 설치된 진공 펌프를 제어하여, 상기 챔버 본체 내부를 미리 설정한 진공도로 유지시키는 것을 특징으로 하는 다중 전극 셀 테스트 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 2차 전지의 충방전 테스트 동안 상기 2차 전지 내부에서 생성되는 반응 가스를 분석하기 위해 상기 챔버 본체 내부에 장착된 분석기기
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 전극 셀 테스트 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 분석기기는, 상기 반응 가스의 질량 분석으로 가스의 종류를 판정하기 위한 질량 분석기
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 전극 셀 테스트 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 분석기기는, 상기 반응 가스에 대한 LIF(Laser Induced Fluorescence) 분석으로 가스의 종류를 판정하기 위한 LIF 분석기
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 전극 셀 테스트 장치.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 제어장치에 의한 제어로 상기 챔버 본체 내부의 온도 제어를 위한 가열/냉각기, 또는 상기 챔버 본체 내부의 온도를 감지하기 위한 온도 센서
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 전극 셀 테스트 장치.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 제어장치에 의한 제어로 상기 챔버 본체 내부의 습도 제어를 위한 습도 상승/하강기, 또는 상기 챔버 본체 내부의 습도를 감지하기 위한 습도 센서
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 전극 셀 테스트 장치.
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