KR101358491B1 - Led package and method for manufacturing the same - Google Patents

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김재건
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희성전자 주식회사
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Abstract

Provided are a LED package and a method of manufacturing the LED package. The LED package comprises: a base substrate forming a first recess on the upper surface and a second recess on the lower surface; an upper surface insulating layer formed on the upper surface of the base substrate; a lower surface insulating layer formed on the lower surface of the base substrate; a first electrode and a second electrode passing through the base substrate and formed on the upper part of the upper surface insulating layer and the lower part of the lower surface insulating layer; a LED chip electrically connecting to the first electrode and the second electrode and formed on the first recess; and a mold sealing the first recess.

Description

LED 패키지 및 LED 패키지 제조방법{LED PACKAGE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}LED package and LED package manufacturing method {LED PACKAGE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은 LED 패키지 및 LED 패키지 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 내구성 및 방열 효율을 향상시키는 LED 패키지 및 LED 패키지 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a LED package and a LED package manufacturing method, and more particularly, to an LED package and a LED package manufacturing method for improving durability and heat dissipation efficiency.

LED(Light Emitting Diode; 발광 다이오드)는 GaAs, AlGaAs, GaN, InGaN 및 AlGaInP 등의 화합물 반도체 재료를 이용하여 발광원을 구성함으로써 다양한 색을 구현할 수 있는 소자를 말한다. 최근 LED는 여러 제품에 광범위하게 사용되며, 그 응용 분야 또한 점차 확대되고 있다. A light emitting diode (LED) refers to a device capable of realizing various colors by forming a light emitting source using compound semiconductor materials such as GaAs, AlGaAs, GaN, InGaN, and AlGaInP. Recently, LEDs are widely used in various products, and their applications are gradually expanding.

또한, TV, LCD, Cell-Phone, PC (Notebook) 등 휴대용 기기 또는 생활 가전 기기 등의 전자 기기들이 고성능화, 소형화, 집적화, 모듈화 등이 급속히 진행되고 있다. 고성능화는 전자 제품 안에 실장되는 LED에 소비되는 전력량을 더 많이 필요로 하게 되었고, 반면에 소형화 및 집적화는 제품화할 수 있는 크기에 한계를 가져오게 되었다. In addition, electronic devices such as portable devices such as TVs, LCDs, cell-phones, and PCs (notebooks) or household appliances are rapidly progressing in performance, miniaturization, integration, and modularization. Higher performance requires more power consumption for LEDs mounted in electronics, while miniaturization and integration have limits on the size that can be commercialized.

시장은 전자 제품 안에 실장되는 LED에서 소비되는 전력량이 높아지는 방향을 요구하는데 반해, 이를 소화해낼 수 있는 LED 패키지의 디자인 마진은 급격히 줄고 있다. 즉, 모듈화는 열의 문제가 이제 더 이상 LED 제품 하나의 문제만이 아닌 전체 시스템의 문제임을 시사한다.While the market demands a direction in which the amount of power consumed by LEDs mounted in electronic products increases, the design margin of LED packages capable of extinguishing them is rapidly decreasing. In other words, modularization suggests that the problem of heat is no longer just a single LED product, but the entire system.

즉, LED 패키지 내부의 LED 칩(chip)에서 발생한 열을 효율적으로 관리하는 문제는 제품의 전기적/광학적 특성뿐 아니라, 제품의 수명, 제품의 신뢰성, 제조 원가 등에 영향을 미치는 요인이 되었다.That is, the problem of efficiently managing the heat generated from the LED chip inside the LED package has become a factor that affects not only the electrical and optical characteristics of the product, but also the life of the product, the reliability of the product, and the manufacturing cost.

LED 패키지(Package)란, 내부에 LED를 실장하고 LED와 리드(lead)를 연결하며 인쇄 회로 기판(Printed Circuit Board; PCB)에 부착이 가능하도록 제작된 소자이다. 정보 통신 기기의 경박 단소화 추세에 따라 LED 패키지는 인쇄 회로 기판에 직접 장착된 표면 실장(Surface Mount Devicel; SMD)형으로 만들어지고 있다. 최근에는, 실리콘 반도체 공정 기술과 LED 기술을 융합한 패키징 기술인 웨이퍼 수준 패키지(Wafer Level Package; WLP)기술이 소개되었다.An LED package is a device manufactured to mount an LED inside, connect an LED to a lead, and attach the printed circuit board to a printed circuit board (PCB). With the trend towards lighter and shorter trends in telecommunications devices, LED packages are being made of Surface Mount Device (SMD) type mounted directly on a printed circuit board. Recently, a wafer level package (WLP) technology, which is a packaging technology that combines silicon semiconductor process technology and LED technology, has been introduced.

웨이퍼 수준 패키지는, 기존에 행해지던 LED 패키징 방식(즉, 인쇄 회로 기판 형태의 패키지 프레임에 LED를 넣어 패키징하거나 리드 프레임을 달고 콤파운드로 LED 칩을 패키징하는 방식)과 달리 실리콘 웨이퍼에 구멍을 내고 LED 칩을 넣어 패키징하는 방식으로 리드 프레임이 필요 없어져 두께를 크게 줄일 수 있으며, 한번에 많은 수량의 LED를 동시에 패키징할 수 있는 기술이다.Wafer-level packaging differs from conventional LED packaging methods (ie, packaging by placing the LEDs in a package frame of a printed circuit board or packaging the LED chips with a lead frame and compounding the LEDs), and punching the LEDs in a silicon wafer. It is a technology that can package a large number of LEDs at the same time by eliminating the need for a lead frame by packaging with chips.

웨이퍼 수준 패키지는 열전도율이 높은 실리콘 웨이퍼를 사용하기 때문에 LED의 구조적인 문제점인 발열을 어느 정도 줄일 수 있었으나, 고출력 LED에서의 발열 문제는 여전히 해결되지 않고 있다.
[관련기술문헌]
1. 금속 기판을 이용한 LED 패키지 및 그 제조 방법 (등록특허 제 10-0616692 호)
Wafer-level packages use silicon wafers with high thermal conductivity, which reduces heat generation, which is a structural problem of LEDs. However, heat generation problems in high-power LEDs are still unresolved.
[Related Technical Literature]
1. LED package using metal substrate and method of manufacturing the same (Registration No. 10-0616692)

이에, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 웨이퍼 수준 패키지 기술 및 멤브레인(membrane) 적층 구조를 활용하여 LED 패키지 자체 구조로서 내구성 및 방열 효율을 향상시키는 LED 패키지 및 LED 패키지 제조 방법을 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an LED package and an LED package manufacturing method that improve durability and heat dissipation efficiency as the LED package itself by utilizing a wafer-level package technology and a membrane stack structure.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 경박단소화 및 고휘도 발광이 가능한 LED 패키지 및 LED 패키지 어레이(array)를 제공하는 것이다.Another problem to be solved by the present invention is to provide an LED package and an array of LED packages capable of light and short and high luminance.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 LED 패키지는, 상부면에 제1 함몰부가 형성되며 하부면에 제2 함몰부가 형성된 베이스 기판과, 베이스 기판의 상부면에 형성된 상부면 절연층과, 베이스 기판의 하부면에 형성된 하부면 절연층과, 베이스 기판을 관통하며 상부면 절연층의 상부와 하부면 절연층의 하부에 형성되는 제1 전극 및 제2 전극과, 제1 전극 및 제2 전극과 전기적으로 연결되며 제1 함몰부에 형성되는 LED 칩 및 제1 함몰부를 밀봉하는 몰드를 포함한다.The LED package according to an embodiment of the present invention for achieving the above object, the first substrate is formed on the top surface and the second recessed portion formed on the lower surface, the upper surface insulating layer formed on the upper surface of the base substrate And a lower surface insulating layer formed on the lower surface of the base substrate, first and second electrodes penetrating the base substrate and formed under the upper and lower surface insulating layers of the upper surface insulating layer, and the first and second electrodes. And an LED chip electrically connected to the second electrode and formed in the first recessed portion and sealing the first recessed portion.

바람직하게는, 본 발명의 다른 실시예에 따른 LED 패키지에서, 제1 함몰부 및 제2 함몰부는 수직방향으로 대응하는 위치에 형성되며, 제1 전극 및 제2 전극은 제1 함몰부 및 제2 함몰부 사이의 베이스 기판을 각각 관통한다.Preferably, in the LED package according to another embodiment of the present invention, the first recessed portion and the second recessed portion are formed at the corresponding positions in the vertical direction, and the first electrode and the second electrode are the first recessed portion and the second recessed portion. Each penetrates through the base substrate between the depressions.

바람직하게는, 본 발명의 다른 실시예에 따른 LED 패키지에서, 몰드는 인광물질을 포함할 수 있을 것이다.Preferably, in the LED package according to another embodiment of the present invention, the mold may include a phosphor.

바람직하게는, 본 발명의 다른 실시예에 따른 LED 패키지에서, 베이스 기판은 실리콘 기판일 수 있다.Preferably, in the LED package according to another embodiment of the present invention, the base substrate may be a silicon substrate.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 LED 패키지 제조방법은, 베이스 기판의 상부면에 제1 함몰부를 형성하고 베이스 기판의 하부면에 제2 함몰부를 형성하는 함몰부 형성단계와, 베이스 기판의 상부면 및 하부면에 상부면 절연층 및 하부면 절연층을 형성하는 절연층 형성단계와, 상부면 절연층의 상부 및 하부면 절연층의 하부에 전도층을 형성하는 전도층 형성단계와, 전도층을 제1 전극 및 제2 전극으로 형성하는 전극 형성단계 및 제1 함몰부에 LED 칩을 형성하고 제1 함몰부를 몰드로 밀봉하는 LED칩 봉입단계를 포함한다.LED package manufacturing method according to an embodiment of the present invention for achieving the above object, and forming a first recessed portion on the upper surface of the base substrate and forming a second recessed portion on the lower surface of the base substrate, An insulating layer forming step of forming an upper insulating layer and a lower insulating layer on upper and lower surfaces of the base substrate, and a conductive layer forming step of forming a conductive layer under the upper and lower insulating layers of the upper insulating layer; And an electrode forming step of forming a conductive layer as a first electrode and a second electrode, and an LED chip encapsulation step of forming an LED chip in the first recessed portion and sealing the first recessed portion with a mold.

기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.The details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.The embodiments of the present invention have at least the following effects.

즉, 본 발명의 다양한 실시예들에 따른 LED 패키지는 그 자체 구조를 통해 내구성 및 방열효율이 향상된 효과를 갖는다.That is, the LED package according to various embodiments of the present invention has an effect of improving durability and heat dissipation efficiency through its own structure.

또, 본 발명의 다양한 실시예들에 따른 LED 패키지는 반도체 웨이퍼를 이용하여 제작되므로, 다량의 LED 패키지 내지는 LED 패키지 어레이를 신속하게 제조할 수 있다.In addition, since the LED package according to various embodiments of the present invention is manufactured using a semiconductor wafer, it is possible to quickly manufacture a large amount of LED package or LED package array.

본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.The effects according to the present invention are not limited by the contents exemplified above, and more various effects are included in the specification.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 LED 패키지를 설명하기 위한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 LED 패키지를 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다양한 실시예들(일 실시예 및 다른 실시예)에서 함몰부를 형성하는 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 LED 패키지를 이용하여 LED 패키지 어레이를 형성한 모습을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 LED 패키지를 인쇄 회로 기판에 표면 실장한 모습을 설명하기 위한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 LED 패키지를 인쇄 회로 기판에 표면 실장한 모습을 설명하기 위한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 LED 패키지 제조방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 LED 패키지의 함몰부를 형성하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 9 및 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 LED 패키지의 제1 및 제2 전극을 형성하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
1 is a cross-sectional view illustrating an LED package according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view illustrating an LED package according to another embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view illustrating a method of forming a depression in various embodiments of the present invention (one embodiment and another embodiment).
4 is a view for explaining the appearance of the LED package array using the LED package according to an embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view illustrating a surface-mounted LED package according to an embodiment of the present invention on a printed circuit board.
6 is a cross-sectional view illustrating a surface-mounted LED package according to another embodiment of the present invention on a printed circuit board.
7 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an LED package according to an embodiment of the present invention.
8 is a view for explaining a process of forming a depression of the LED package according to an embodiment of the present invention.
9 and 10 are views for explaining a process of forming the first and second electrodes of the LED package according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. Is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims.

어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접촉되어"있다고 기재된 경우, 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접촉되어 있을 수도 있지만, 중간에 또 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 또한, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접촉되어"있다고 기재된 경우에는, 중간에 또 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해될 수 있다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 예를 들면, "~사이에"와 "직접 ~사이에" 또는 "~에 인접하는"과 "~에 직접 인접하는" 등도 마찬가지로 해석될 수 있다. It is to be understood that when an element is described as being "connected" or "in contact" with another element, it may be directly connected or contacted with another element, but it is understood that there may be another element in between something to do. In addition, when a component is described as being "directly connected" or "directly contacted" with another component, it may be understood that there is no other component in between. Other expressions that describe the relationship between components, for example, "between" and "directly between" or "adjacent to" and "directly adjacent to", and the like may also be interpreted.

본 명세서에서 사용되는 용어는 단지 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도는 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다", "구비하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 실시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지는 않는다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this specification, the terms "comprising," "comprising" or "having ", and the like, specify that there are performed features, numbers, steps, operations, elements, It should be understood that the foregoing does not preclude the presence or addition of other features, numbers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application .

소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층"위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.It is to be understood that elements or layers are referred to as being "on " other elements or layers, including both intervening layers or other elements directly on or in between. Like reference numerals refer to like elements throughout.

비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.Although the first, second, etc. are used to describe various components, it goes without saying that these components are not limited by these terms. These terms are used only to distinguish one component from another. Therefore, it goes without saying that the first component mentioned below may be the second component within the technical scope of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대해 설명한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 LED 패키지를 설명하기 위한 단면도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 LED 패키지(10)는 베이스 기판(100), 상부면 절연층(131), 하부면 절연층(132), 제1 전극(141), 제2 전극(142), LED 칩(900) 및 몰드(150)를 포함한다. 1 is a cross-sectional view illustrating an LED package according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the LED package 10 according to the exemplary embodiment of the present invention may include a base substrate 100, an upper insulating layer 131, a lower insulating layer 132, and a first electrode 141. , A second electrode 142, an LED chip 900, and a mold 150.

베이스 기판(100)은 LED 패키지(10)의 바디(body)가 되는 부분으로, 실리콘(Si)으로 형성할 수 있다. 그러나, 베이스 기판(100)이 실리콘으로만 형성되는 것으로 제한하는 것은 아니다. 베이스 기판(100)은 LED 패키지(10)를 지지하는 기능을 수행함과 동시에, 후술할 LED 칩(900)에서 발생하는 열을 전도하는 방열 기능을 수행한다. 특히, 상술한 방열 기능은 후술하겠지만, 베이스 기판(100)을 실리콘(Si)으로 형성하고, 이 베이스 기판을 금속 물질로 커버하여 방열 효과를 극대화 할 수 있다. The base substrate 100 is a part that becomes the body of the LED package 10 and may be formed of silicon (Si). However, the base substrate 100 is not limited to being formed of only silicon. The base substrate 100 performs a function of supporting the LED package 10 and at the same time, performs a heat radiation function of conducting heat generated from the LED chip 900 to be described later. In particular, the heat dissipation function described above will be described later, and the base substrate 100 may be formed of silicon (Si), and the base substrate may be covered with a metal material to maximize the heat dissipation effect.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 LED 패키지(10)는 제1 함몰부(121)와 제2 함몰부(122)를 포함한다. 제1 함몰부(121)는 베이스 기판(100)의 상부면에 형성되며, 제2 함몰부(122)는 베이스 기판(100)의 하부면에 형성된다.In addition, the LED package 10 according to an embodiment of the present invention includes a first depression 121 and a second depression 122. The first recess 121 is formed on the upper surface of the base substrate 100, and the second recess 122 is formed on the lower surface of the base substrate 100.

이하, 도 3을 참조하여 제1 함몰부(121) 및 제2 함몰부(122)의 형성방법에 대해 설명한다.Hereinafter, a method of forming the first recessed part 121 and the second recessed part 122 will be described with reference to FIG. 3.

도 3은 본 발명의 다양한 실시예들(일 실시예 및 다른 실시예)에서 함몰부를 형성하는 방법을 설명하기 위한 단면도들이다. 여기서는 도 3(a)를 참조하여 본 발명의 일 실시예에서의 함몰부 형성 방법을 설명한다.3 is a cross-sectional view illustrating a method of forming a depression in various embodiments of the present invention (one embodiment and another embodiment). Herein, the method of forming the depressions in one embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

제1 함몰부(121)는 베이스 기판(100)의 상부면에 포토레지스트(501)를 패터닝한 후 식각하여 형성한다. 특히, 본 발명의 일 실시예에서는 이방성 에칭을 사용할 수 있다. 이방성 에칭은 깊이 및 너비 방향의 식각 정도의 차이가 큰 에칭 방법이며 에칭 대상의 결정면 중 일정 방향의 면을 식각하게 된다. 따라서. 식각 시작 시 최초 제1 함몰부(1121)를 형성함을 시작으로 식각 종료 후 제1 함몰부(121)가 형성된다. 이러한 이방성 에칭에 의해 형성된 제1 함몰부(121)는 수평 절단된 원뿔, 즉 하나의 원뿔을 수평으로 절단하였을 때, 완전한 원뿔(cone)을 제외한 나머지 부분의 형상을 갖는다. 제1 함몰부(121)의 형상에 대한 상기 설명은 예시적인 것일 뿐이고, 제1 함몰부(121)의 형상은 이에 제한되지 않음에 유의해야 한다.The first recess 121 is formed by etching the photoresist 501 on the upper surface of the base substrate 100. In particular, an embodiment of the present invention may use anisotropic etching. Anisotropic etching is an etching method having a large difference in the degree of etching in the depth and width directions, and etching a surface in a predetermined direction among the crystal surfaces of the etching target. therefore. The first depression 121 is formed after the completion of etching, beginning with the formation of the first depression 1121 at the start of etching. The first recess 121 formed by the anisotropic etching has the shape of the remaining portion except for the complete cone when the horizontal cut cone, that is, one cone is cut horizontally. It should be noted that the above description of the shape of the first recess 121 is merely exemplary, and the shape of the first recess 121 is not limited thereto.

제2 함몰부(122)의 형성은 제1 함몰부(121)의 형성과 실질적으로 동일하므로, 중복 설명을 생략한다.Since the formation of the second depressions 122 is substantially the same as the formation of the first depressions 121, redundant description thereof will be omitted.

제1 함몰부(121) 및 제2 함몰부(122)는 시간의 차이를 두고 형성하거나, 동시에 형성함이 가능하다.The first recess 121 and the second recess 122 may be formed with a time difference or may be simultaneously formed.

다시, 도 1을 참조하면, 상부면 절연층(131) 및 하부면 절연층(132)은 각각 베이스 기판(100)의 상부면 및 하부면에 형성된다.Referring back to FIG. 1, the upper insulating layer 131 and the lower insulating layer 132 are formed on the upper and lower surfaces of the base substrate 100, respectively.

본 발명의 일 실시예에서 상부면 절연층(131) 및 하부면 절연층(132)은 베이스 기판(100)에 이산화규소(SiO2)층을 증착하여 형성한다. 이들 상부면 절연층(131) 및 하부면 절연층(132)은 후술할 제1 전극(141)과 제2 전극(142)이 베이스 기판(100)과 통전되는 것을 방지한다.In an embodiment of the present invention, the upper insulating layer 131 and the lower insulating layer 132 are formed by depositing a silicon dioxide (SiO 2) layer on the base substrate 100. The upper insulating layer 131 and the lower insulating layer 132 prevent the first electrode 141 and the second electrode 142, which will be described later, from being energized with the base substrate 100.

다음으로, 제1 전극(141)과 제2 전극(142)은 베이스 기판(100)을 관통하고, 상부면 절연층(131)의 상부와 하부면 절연층(132)의 하부에 형성되는 것으로, 제1 전극(141)과 제2 전극(142)은 서로 전기적으로 연결되지 않는다. 즉, 제1 전극(141)은 베이스 기판(100)의 제1 비아홀(via hole, 191)을 통해 상부면 절연층(131)의 상부에 형성된 제1 전극(141)과 하부면 절연층(132)의 하부에 형성된 제1 전극(141)이 일체로 형성된다.Next, the first electrode 141 and the second electrode 142 penetrate the base substrate 100 and are formed under the upper and lower insulating layers 132 of the upper insulating layer 131. The first electrode 141 and the second electrode 142 are not electrically connected to each other. That is, the first electrode 141 is formed on the upper surface insulating layer 131 through the first via hole 191 of the base substrate 100 and the lower surface insulating layer 132. The first electrode 141 formed under the) is integrally formed.

마찬가지로, 제2 전극(142)은 베이스 기판(100)의 제2 비아홀(192)을 통해 상부면 절연층(132)의 상부에 형성된 제2 전극(142)과 하부면 절연층(132)의 하부에 형성된 제2 전극(142)이 일체로 형성된다.Similarly, the second electrode 142 is formed below the second electrode 142 and the lower surface insulating layer 132 formed on the upper surface insulating layer 132 through the second via hole 192 of the base substrate 100. The second electrode 142 formed at is integrally formed.

제1 전극(141)과 제2 전극(142)은 서로 도통되어서는 안된다. 따라서, 제1 전극(141)과 제2 전극(142)은 상부면 절연층(131) 상부에서, 미리 결정된 부분(181)에 의해 물리적으로 연결되지 않는다. 또한, 제1 전극(141)과 제2 전극(142)은 하부면 절연층(132)에서, 제1 비아홀(191)과 제2 비아홀(192) 사이에 통전물질을 두지 않음으로 인해 물리적으로 연결되지 않는다. 여기서 미리 결정된 부분이라 함은 상부면 절연층(131)의 상부에 형성된 제1 전극(141)과 제2 전극(142)을 물리적으로 분리하여 통전되지 않도록 한 부분 또는 영역을 지칭하며, 그 위치는 고정된 것은 아니고 변경 가능하다.The first electrode 141 and the second electrode 142 should not be connected to each other. Therefore, the first electrode 141 and the second electrode 142 are not physically connected by the predetermined portion 181 on the upper surface insulating layer 131. In addition, the first electrode 141 and the second electrode 142 are physically connected in the lower surface insulating layer 132 because no conductive material is placed between the first via hole 191 and the second via hole 192. It doesn't work. Herein, the predetermined portion refers to a portion or region in which the first electrode 141 and the second electrode 142 formed on the upper surface insulating layer 131 are physically separated from each other so as not to be energized. It is not fixed but can be changed.

제1 전극(141)과 제2 전극(142)은 각각 후술할 기판 전극(도 5의 601, 602 참조)과 연결되어 기판 전극(도 5의 601, 602 참조)과 동일한 극성을 띠며, LED 칩(900)과 각각 전기적으로 LED 칩(900)에 전원을 공급한다. 즉, 제1 전극(141)이 기판 전극(도 5의 601)과 연결되고 제2 전극(142)이 기판 전극(도 5의 602)과 연결되면, 제1 전극(141)은 (-)극, 제2 전극(142)은 (+)극을 나타낸다.The first electrode 141 and the second electrode 142 are connected to a substrate electrode (see 601 and 602 of FIG. 5), which will be described later, respectively, and have the same polarity as that of the substrate electrode (see 601 and 602 of FIG. 5). Each of the 900 and the LED chip 900 is electrically supplied with power. That is, when the first electrode 141 is connected to the substrate electrode 601 of FIG. 5 and the second electrode 142 is connected to the substrate electrode 602 of FIG. 5, the first electrode 141 is a (−) pole. , The second electrode 142 represents a positive electrode.

제1 전극(141)과 제2 전극(142)은 전기 및 열 전도도가 좋은 금속 재료를 사용하여 형성함이 가능하다. 본 발명의 일 실시예에서는 은(Ag)을 사용하여 제1 전극(141)과 제2 전극(142)을 형성하였으나, 이들 전극의 재료는 이에 제한되지 않는다. The first electrode 141 and the second electrode 142 can be formed using a metal material having good electrical and thermal conductivity. In an embodiment of the present invention, the first electrode 141 and the second electrode 142 are formed using silver (Ag), but the material of the electrodes is not limited thereto.

다음으로, LED 칩(900)은 제1 함몰부(121)에 형성되는데, 구체적으로는 상부면 절연층(131) 상부에 형성된 제1 전극(141) 또는 제2 전극(142)의 상부에 형성된다. 본 발명의 일 실시예에서는 LED 칩(900)을 제2 전극(142)의 상부에 형성하였다.Next, the LED chip 900 is formed on the first recess 121, specifically, formed on the first electrode 141 or the second electrode 142 formed on the upper surface insulating layer 131. do. In an embodiment of the present invention, the LED chip 900 is formed on the second electrode 142.

LED 칩(900)은 제1 본딩 라인(801)을 통해 제1 전극(141)과 연결되며, 제2 본딩 라인(802)을 통해 제2 전극(142)과 연결된다. 상술한 바와 같이, LED 칩(900)은 제1 전극(141)과 제2 전극(142)을 통해 전원이 공급되어 발광한다. 본 발명의 일 실시예에서 LED 칩(900)은 제1 전극(141) 및 제2 전극(142)과 와이어 본딩되나, LED 칩(900)과 제1 전극(141) 및 제2 전극(142)과의 본딩 방법에 어떤 제한이 있는 것은 아니다.The LED chip 900 is connected to the first electrode 141 through the first bonding line 801 and is connected to the second electrode 142 through the second bonding line 802. As described above, the LED chip 900 is supplied with power through the first electrode 141 and the second electrode 142 to emit light. In one embodiment of the present invention, the LED chip 900 is wire-bonded with the first electrode 141 and the second electrode 142, but the LED chip 900 and the first electrode 141 and the second electrode 142 There is no limitation in the way of bonding with.

몰드(150)는 제1 함몰부(121)에 형성된 LED 칩(900)을 포함하여 제1 함몰부(121)를 전체적으로 밀봉한다. 몰드(150)는 LED 칩(900)과 제1 본딩 라인(801)과 제2 본딩 라인(802)을 커버하여 밀봉하므로, LED 칩(900)과 제1 본딩 라인(801)과 제2 본딩 라인(802)을 외부 환경으로부터 보호함과 동시에 발광된 빛을 집광하는 렌즈 역할을 한다. 본 발명의 일 실시예에서 몰드(150)는 통상 플라스틱의 일종인 에폭시 수지를 사용함이 가능하나, 이에 제한되는 것은 아니다.The mold 150 includes the LED chip 900 formed on the first recess 121 to seal the first recess 121 as a whole. Since the mold 150 covers and seals the LED chip 900, the first bonding line 801, and the second bonding line 802, the LED chip 900, the first bonding line 801, and the second bonding line are sealed. It protects the 802 from the external environment and at the same time serves as a lens for collecting the emitted light. In an embodiment of the present invention, the mold 150 may use an epoxy resin, which is usually a kind of plastic, but is not limited thereto.

특히, 본 발명의 일 실시예에서 몰드(150)는 인광 물질(phosphorescence material)을 포함하는 것이 바람직하다. 인광 물질이란 인광 효과를 갖는 물질로, 인광 물질 내의 전자는 들뜬 상태에서 바로 바닥 상태로 가지 않고, 중간에 준안정 상태를 거쳐 에너지를 잃으므로, 형광에 비해 발광 지속 시간을 높일 수 있다.In particular, in one embodiment of the present invention, the mold 150 preferably includes a phosphorescence material. Phosphorescent material is a substance having a phosphorescent effect, and electrons in the phosphorescent material do not go directly to the ground state in an excited state, but lose energy through a metastable state in the middle, and thus the emission duration can be increased compared to fluorescence.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 LED 패키지(10)는 LED 칩(900)의 발광 시 발생되는 열을 효율적으로 방열할 수 있는데, 이하에서는 이를 상세히 설명한다.As such, the LED package 10 according to an embodiment of the present invention can efficiently dissipate heat generated when the LED chip 900 emits light, which will be described in detail below.

LED 칩(900)이 발광되면 고열이 발생하는데, 여기서 발생된 열은 먼저 LED 칩(900)과 직접 접촉 및 제2 본딩 라인(802)을 통해 접촉하고 있는 제2 전극(142)으로 전달된다. 물론, LED 칩(900)과 직접 접촉하고 있지는 않으나, 제1 본딩 라인(801)을 통해 LED 칩(900)에 전원을 공급하는 제1 전극(141)에도 열이 전달된다. High heat is generated when the LED chip 900 emits light, and the generated heat is first transmitted to the second electrode 142 which is in direct contact with the LED chip 900 and through the second bonding line 802. Of course, although not directly in contact with the LED chip 900, heat is also transferred to the first electrode 141 that supplies power to the LED chip 900 through the first bonding line 801.

제1 전극(141) 및 제2 전극(142)은 열 전도성이 좋은 금속 재료가 사용되므로 발생된 열은 제1 전극(141) 및 제2 전극(142) 전체를 타고 흐르게 된다. 특히, 제1 전극(141) 및 제2 전극(142)은 전체적으로 베이스 기판(100)의 상부면과 하부면을 커버하고 제1 비아홀(191) 및 제2 비아홀(192)을 통해 제1 전극(141)이 일체로 형성되고, 제2 전극(142)도 일체로 형성되어 있어, 열전도가 빠르고 효과적으로 일어난다. Since the first electrode 141 and the second electrode 142 use a metal material having good thermal conductivity, the generated heat flows through the first electrode 141 and the second electrode 142. In particular, the first electrode 141 and the second electrode 142 cover the upper and lower surfaces of the base substrate 100 as a whole, and the first electrode (through the first via hole 191 and the second via hole 192). 141 is integrally formed, and the second electrode 142 is integrally formed, so that heat conduction occurs quickly and effectively.

또한, 실리콘으로 형성된 베이스 기판(100)을 사용하므로 실리콘을 통해 상부면 절연층(131)의 상부에 형성된 제1 전극(141) 및 제2 전극(142)에 전달되는 열은 신속히 베이스 기판(100)의 하부 쪽으로 전달된다.In addition, since the base substrate 100 formed of silicon is used, the heat transferred to the first electrode 141 and the second electrode 142 formed on the upper surface insulating layer 131 through the silicon is quickly transferred to the base substrate 100. To the bottom of the

다음으로, 베이스 기판(100)의 하부 쪽으로 전달된 열은 제2 함몰부(122)를 통해 공중으로 방사된다. 제2 함몰부(122)는 통상 빈 공간으로 형성되므로 제1 전극(141) 및 제2 전극(142)이 끌어온 열을 흡수한다. 경우에 따라서는, 보다 효과적으로 LED 칩(900)의 방열을 달성하기 위해 제2 함몰부(122)에 별도의 방열 기구 내지 방열 물질을 형성하는 것도 가능하다.Next, heat transferred toward the lower side of the base substrate 100 is radiated to the air through the second depression 122. Since the second recess 122 is generally formed as an empty space, the second recess 122 absorbs heat drawn by the first electrode 141 and the second electrode 142. In some cases, in order to more effectively achieve heat dissipation of the LED chip 900, it is also possible to form a separate heat dissipation mechanism or heat dissipation material in the second recess 122.

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 LED 패키지를 설명하기 위한 단면도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 LED 패키지(20)는 베이스 기판(100), 상부면 절연층(131), 하부면 절연층(132), 제1 전극(141), 제2 전극(142), LED 칩(900) 및 몰드(150)를 포함한다. 이들 요소들은 모두 본 발명의 일 실시예에 관한 설명에서 설명된 바 있으므로, 중복 설명을 생략한다. 다만, 본 발명의 일 실시예와 비교할 때 베이스 기판(100)에 형성된 제1 함몰부(121) 및 제2 함몰부(122)에 차이점이 있으므로, 이를 상세히 설명한다.2 is a cross-sectional view illustrating an LED package according to another embodiment of the present invention. As shown in FIG. 2, the LED package 20 according to another embodiment of the present invention includes a base substrate 100, an upper insulating layer 131, a lower insulating layer 132, and a first electrode 141. , A second electrode 142, an LED chip 900, and a mold 150. All of these elements have been described in the description of one embodiment of the present invention, and thus redundant descriptions are omitted. However, since there is a difference between the first recessed part 121 and the second recessed part 122 formed in the base substrate 100, the present invention will be described in detail.

제1 함몰부(121)는 베이스 기판(100)의 상부면에 형성되며, 제2 함몰부(122)는 베이스 기판(100)의 하부면에 형성된다. 이하, 도 3을 참조하여 제1 함몰부(121) 및 제2 함몰부(122)의 형성방법에 대해 설명한다.The first recess 121 is formed on the upper surface of the base substrate 100, and the second recess 122 is formed on the lower surface of the base substrate 100. Hereinafter, a method of forming the first recessed part 121 and the second recessed part 122 will be described with reference to FIG. 3.

도 3은 본 발명의 다양한 실시예들(일 실시예 및 다른 실시예)에서 함몰부를 형성하는 방법을 설명하기 위한 단면도들이다. 여기서는 도 3(b)를 참조하여 본 발명의 다른 실시예에서의 함몰부 형성방법을 설명한다.3 is a cross-sectional view illustrating a method of forming a depression in various embodiments of the present invention (one embodiment and another embodiment). Here, the method of forming the depressions in another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 3 (b).

제1 함몰부(121)는 베이스 기판(100)의 상부면에 포토레지스트(501)를 패터닝한 후 식각하여 형성한다. 특히, 본 발명의 다른 실시예에서는 등방성 에칭을 사용한다. 등방성 에칭이란 깊이 방향으로 식각되는 양과 너비 방향으로 식각되는 양이 실질적으로 동일한 것을 말한다. 따라서, 식각 시작 시 최초 제1 함몰부(1121)를 형성함을 시작으로 식각 종료 후 제1 함몰부(121)가 형성된다. 이러한 등방성 에칭에 의해 형성된 제1 함몰부(121)는 반구의 형상, 즉, 하나의 구을 이등분하여 절단하여 생기는 형상을 가질 수도 있고, 반타원의 형상, 즉, 하나의 타원을 이등분하여 절단하여 생기는 형상을 가질 수도 있다. 상술한 제1 함몰부(121)의 형상에 대한 설명은 예시적인 것일 뿐, 이에 제한되지 않는다.The first recess 121 is formed by etching the photoresist 501 on the upper surface of the base substrate 100. In particular, another embodiment of the present invention uses isotropic etching. Isotropic etching means that the amount etched in the depth direction and the amount etched in the width direction are substantially the same. Accordingly, the first recess 121 is formed after the etching is finished, beginning with forming the first recess 1121 at the start of etching. The first depressions 121 formed by the isotropic etching may have a shape of a hemisphere, that is, a shape formed by dividing one sphere into two parts, or a shape of a semi-ellipse, that is, cut by dividing one ellipse into two parts. It may have a shape. Description of the shape of the first recess 121 described above is merely illustrative, it is not limited thereto.

제2 함몰부(122)의 형성은 제1 함몰부(121)의 형성과 실질적으로 동일하므로, 중복 설명을 생략한다.Since the formation of the second depressions 122 is substantially the same as the formation of the first depressions 121, redundant description thereof will be omitted.

제1 함몰부(121) 및 제2 함몰부(122)는 시간의 차이를 두고 형성하거나, 동시에 형성함이 가능하다.The first recess 121 and the second recess 122 may be formed with a time difference or may be simultaneously formed.

이하, 도 4를 참조하여 LED 패키지 어레이의 형성에 대해 설명한다.Hereinafter, the formation of the LED package array will be described with reference to FIG. 4.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 LED 패키지를 이용하여 LED 패키지 어레이를 형성한 모습을 설명하기 위한 도면이다.4 is a view for explaining the appearance of the LED package array using the LED package according to an embodiment of the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이, LED 패키지(10)는 어레이를 형성할 수 있는데, 즉, 반도체 웨이퍼(300)를 가공하여 LED 패키지(10)들의 어레이(array)를 형성할 수 있다. 여기서, 반도체 웨이퍼(300)는 실리콘 웨이퍼임이 바람직하나, 반도체 웨이퍼(300)를 구성하는 물질을 실리콘으로 한정한다는 의미는 아니다.As shown in FIG. 4, the LED package 10 may form an array, that is, the semiconductor wafer 300 may be processed to form an array of the LED packages 10. Here, the semiconductor wafer 300 is preferably a silicon wafer, but does not mean that the material constituting the semiconductor wafer 300 is limited to silicon.

본 발명의 일 실시예에 따른 LED 패키지 어레이는 웨이퍼 수준 패키지를 이용한다. 즉, 웨이퍼를 식각하고 상부면 절연층(도 1의 131참조), 하부면 절연층(도 1의 132 참조), 제1 전극(도 1의 141참조), 제2 전극(도 1의 142참조)을 적층하여 LED 패키지(10)를 형성한다. 이렇게 하여, 웨이퍼의 일부 영역 또는 전 영역에 대해 동시에 다량의 LED 패키지(10)를 형성할 수 있다.The LED package array according to an embodiment of the present invention uses a wafer level package. That is, the wafer is etched and the upper insulating layer (see 131 of FIG. 1), the lower insulating layer (see 132 of FIG. 1), the first electrode (see 141 of FIG. 1), and the second electrode (see 142 of FIG. 1). ) Is laminated to form the LED package 10. In this way, a large amount of the LED package 10 can be simultaneously formed for a portion or the entire region of the wafer.

본 발명의 일 실시예에 따른 LED 패키지 어레이는 또한 LED 패키지를 인쇄 회로 기판에 표면 실장한 구조도 포함하는 데, 이하에서는 도 5 및 도 6을 이용하여 이에 대해 설명한다.The LED package array according to an embodiment of the present invention also includes a structure in which the LED package is surface mounted on a printed circuit board, which will be described below with reference to FIGS. 5 and 6.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 LED 패키지를 인쇄 회로 기판에 표면 실장한 모습을 설명하기 위한 단면도이다. 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 LED 패키지를 인쇄 회로 기판에 표면 실장한 모습을 설명하기 위한 단면도이다.5 is a cross-sectional view illustrating a surface-mounted LED package according to an embodiment of the present invention on a printed circuit board. 6 is a cross-sectional view illustrating a surface-mounted LED package according to another embodiment of the present invention on a printed circuit board.

도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 LED 패키지(10)는 인쇄 회로 기판(600)에 형성되는 기판 전극(601, 602)과 전기적으로 접속된다. 기판 전극(601, 602)은 서로 반대되는 극성을 갖는데, 도 5에서는 기판 전극(601)을 (-)전극으로, 기판 전극(602)을 (+)전극으로 형성하였다. 각 기판 전극(601, 602)은 LED 패키지(10)의 제1 전극(141) 및 제2 전극(142)과 접촉하여 도통되며, LED 칩(900)에 전원이 공급된다.Referring to FIG. 5, the LED package 10 according to the exemplary embodiment of the present invention is electrically connected to the substrate electrodes 601 and 602 formed on the printed circuit board 600. The substrate electrodes 601 and 602 have opposite polarities. In FIG. 5, the substrate electrode 601 is formed as a negative electrode, and the substrate electrode 602 is formed as a positive electrode. Each of the substrate electrodes 601 and 602 is electrically connected to the first electrode 141 and the second electrode 142 of the LED package 10, and power is supplied to the LED chip 900.

도 6을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 LED 패키지(20)는 인쇄 회로 기판(600)에 형성되는 기판 전극(601, 602)과 전기적으로 접속된다. 기판 전극(601, 602)은 서로 반대되는 극성을 갖는데, 도 6에서는 기판전극(601)을 (-)전극으로, 기판 전극(602)을 (+)전극으로 형성하였다. 각 기판 전극(601, 602)은 LED 패키지(10)의 제1 전극(141) 및 제2 전극(142)과 접촉하여 도통되며, LED 칩(900)에 전원이 공급된다.Referring to FIG. 6, the LED package 20 according to another embodiment of the present invention is electrically connected to the substrate electrodes 601 and 602 formed on the printed circuit board 600. The substrate electrodes 601 and 602 have opposite polarities. In FIG. 6, the substrate electrode 601 is formed as a negative electrode, and the substrate electrode 602 is formed as a positive electrode. Each of the substrate electrodes 601 and 602 is electrically connected to the first electrode 141 and the second electrode 142 of the LED package 10, and power is supplied to the LED chip 900.

LED 패키지(10)를 인쇄 회로 기판에 표면 실장하는 구체적인 방법은 공지된 기술을 자유롭게 사용할 수 있고, 당업자에게 자명한 사항이므로 상세한 설명을 생략한다.The specific method of surface-mounting the LED package 10 on a printed circuit board can use any known technique freely, and it will be obvious to those skilled in the art, so detailed description thereof will be omitted.

이하에서는 도 7 내지 도 10을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예들에 따른 LED 패키지 제조방법에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing an LED package according to various embodiments of the present disclosure will be described in detail with reference to FIGS. 7 to 10.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 LED 패키지 제조방법을 설명하기 위한 순서도이다. 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 LED 패키지의 함몰부를 형성하는 과정을 설명하기 위한 도면이다. 도 9 및 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 LED 패키지의 제1 및 제2 전극을 형성하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.7 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an LED package according to an embodiment of the present invention. 8 is a view for explaining a process of forming a depression of the LED package according to an embodiment of the present invention. 9 and 10 are views for explaining a process of forming the first and second electrodes of the LED package according to an embodiment of the present invention.

도 7에 도시된 바와 같이, LED 패키지 제조방법은, 함몰부 형성단계(S100), 절연층 형성단계(S200), 전도층 형성단계(S300), 전극 형성단계(S400) 및 LED 칩 봉입단계(S500)를 포함한다.As shown in Figure 7, the LED package manufacturing method, the depression forming step (S100), insulating layer forming step (S200), conductive layer forming step (S300), electrode forming step (S400) and LED chip encapsulation step ( S500).

함몰부 형성단계(S100)는 베이스 기판(100)의 상부면에 제1 함몰부(121)를 형성하고, 베이스 기판(100)의 하부면에 제2 함몰부(122)를 형성하는 단계이다. 함몰부 형성단계(S100)를 도 8을 참조하여 상세하게 설명한다.The depression forming step S100 is a step of forming the first depression 121 on the upper surface of the base substrate 100 and forming the second depression 122 on the lower surface of the base substrate 100. Depression forming step (S100) will be described in detail with reference to FIG.

먼저, 도 8(a)와 같이, 베이스 기판(100)의 상부면 및 하부면에 각각 상부면 절연층(131)과 하부면 절연층(132)을 형성한다. 여기서 베이스 기판(100)은 상술한 바와 같이 실리콘 기판인 것이 바람직하며, LED 패키지 어레이를 제작하기 위해서는 실리콘 웨이퍼를 이용할 수 있다. 그러나, 베이스 기판(100)의 재료는 실리콘만으로 한정되는 것은 아니다. 예시적으로, 상부면 절연층(131) 및 하부면 절연층(132)은 이산화규소(SiO2)를 증착할 수 있다.First, as shown in FIG. 8A, upper and lower insulating layers 131 and 132 are formed on upper and lower surfaces of the base substrate 100, respectively. The base substrate 100 is preferably a silicon substrate as described above, and a silicon wafer may be used to fabricate the LED package array. However, the material of the base substrate 100 is not limited to silicon alone. In example embodiments, the upper insulating layer 131 and the lower insulating layer 132 may deposit silicon dioxide (SiO 2).

이어서, 도 8(b)와 같이, 후술할 제1 함몰부(121)및 제2 함몰부(122)가 형성되도록 식각되어야 할 부분을 제외하고 상부면 절연층(131)의 상부와 하부면 절연층(132)의 하부에 포토레지스트를 형성한다.Subsequently, as illustrated in FIG. 8B, the upper and lower surfaces of the upper insulating layer 131 are insulated except for portions to be etched to form the first recess 121 and the second recess 122, which will be described later. A photoresist is formed under the layer 132.

이어서, 도 8(c)와 같이, 에칭을 시행하면 포토레지스트가 형성되지 않은 부분의 상부면 절연층(131)과 하부면 절연층(132)이 식각된다. 다음 도 8(d)와 같이 계속적인 에칭에 의해 베이스 기판(100)이 식각되어 제1 함몰부(121) 및 제2 함몰부(122)가 형성된다. Subsequently, as shown in FIG. 8C, when the etching is performed, the upper surface insulating layer 131 and the lower surface insulating layer 132 of the portion where the photoresist is not formed are etched. Next, as shown in FIG. 8 (d), the base substrate 100 is etched by continuous etching to form the first recess 121 and the second recess 122.

도 8(d)에서는 본 발명의 일 실시예에서 설명한 것과 같이 이방성 에칭에 의해 생성된 제1 함몰부(121) 및 제2 함몰부(122)가 도시되었으나, 등방성을 에칭을 시행하여 본 발명의 다른 실시예에서 설명한 것과 같은 형상의 제1 함몰부(121) 및 제2 함몰부(122)를 형성하는 것도 가능하다. 여기서, 제1 함몰부(121) 및 제2 함몰부(122)는 베이스 기판(100)을 사이에 두고 서로 수직한 방향으로 대응하는 위치에 형성됨이 바람직하다.In FIG. 8 (d), although the first recess 121 and the second recess 122 are formed by anisotropic etching as described in the exemplary embodiment of the present invention, the isotropic etching is performed to determine the present invention. It is also possible to form the first recessed portion 121 and the second recessed portion 122 having the same shape as described in another embodiment. Here, the first recess 121 and the second recess 122 may be formed at positions corresponding to each other in a direction perpendicular to each other with the base substrate 100 interposed therebetween.

다음으로 도 9 및 도 10을 참조하여 절연층 형성단계(S200), 전도층 형성단계(S300), 전극 형성단계(S400) 및 LED 칩 봉입단계(S500)에 대해 설명한다.Next, the insulating layer forming step S200, the conductive layer forming step S300, the electrode forming step S400, and the LED chip encapsulating step S500 will be described with reference to FIGS. 9 and 10.

도 9(a)에 도시된 바와 같이, 절연층 형성단계(S200)는 베이스 기판(100)의 상부면 및 하부면에 상부면 절연층(131) 및 하부면 절연층(132)을 형성하는 단계이다. As shown in FIG. 9 (a), the insulating layer forming step (S200) is a step of forming an upper insulating layer 131 and a lower insulating layer 132 on the upper and lower surfaces of the base substrate 100. to be.

에칭에 의해 제1 함몰부(121) 및 제2 함몰부(122)를 형성한 베이스 기판(100)의 상부면 및 하부면에 다시 절연층을 형성한다. 즉, 도 8(d)의 도시에서 보듯이, 제1 함몰부(121)와 제2 함몰부(122)가 형성된 후 남아있는 포토레지스트(501, 502)와 절연층(131, 132)을 제거한 다음 새롭게 상부면 절연층(131) 및 하부면 절연층(132)을 베이스 기판(100)의 상부면 전체와 하부면 전체에 증착한다. 여기의 상부면 절연층(131)과 하부면 절연층(132)은 이산화규소로 형성할 수 있다.By etching, the insulating layer is formed on the upper and lower surfaces of the base substrate 100 on which the first recess 121 and the second recess 122 are formed. That is, as shown in FIG. 8D, the photoresist 501 and 502 and the insulating layers 131 and 132 remaining after the first recess 121 and the second recess 122 are formed are removed. Next, the upper and lower insulating layers 131 and 132 are newly deposited on the entire upper and lower surfaces of the base substrate 100. The upper surface insulating layer 131 and the lower surface insulating layer 132 may be formed of silicon dioxide.

이어서, 전도층 형성단계(S300)는 상술한 상부면 절연층(131) 및 하부면 절연층(132)에 전도층을 형성하는 단계이다. 전도층(1141, 1142)의 재료는 특별히 제한되지 않으나, 열 전도성이 우수한 은(Ag)을 사용함이 바람직하다.Subsequently, the conductive layer forming step (S300) is a step of forming a conductive layer on the upper surface insulating layer 131 and the lower surface insulating layer 132 described above. The material of the conductive layers 1141 and 1142 is not particularly limited, but silver (Ag) having excellent thermal conductivity is preferably used.

이어서, 전극 형성단계(S400)는 상술한 전도층을 제1 전극(141) 및 제2 전극(142)으로 형성하는 단계이다. 도 9(b)에 도시된 바와 같이, 베이스 기판(100)의 상부면에는 상부면 절연층(131)과 전도층(1141)이 형성되어 있으며, 베이스 기판(100)의 하부면에는 하부면 절연층(132)과 전도층(1142)이 형성되어 있다. 이들 전도층(1141, 1142)을 제1 전극(141) 및 제2 전극(142)으로 형성하기 위해 도 9(c)에 도시된 바와 같이 포토레지스트(501, 502)를 전도층(1141, 1142)에 형성한다. Subsequently, the electrode forming step S400 is a step of forming the above-described conductive layer as the first electrode 141 and the second electrode 142. As shown in FIG. 9B, the upper surface insulating layer 131 and the conductive layer 1141 are formed on the upper surface of the base substrate 100, and the lower surface insulation is formed on the lower surface of the base substrate 100. Layer 132 and conductive layer 1142 are formed. In order to form these conductive layers 1141 and 1142 as the first electrode 141 and the second electrode 142, as shown in FIG. 9C, the photoresist 501 and 502 is formed as the conductive layers 1141 and 1142. To form).

이어서, 도 9(d)에 도시된 바와 같이, 포토레지스트(502)의 일부, 전도층(1142)의 일부, 하부면 절연층(132)의 일부, 베이스 기판(100)의 일부 및 상부면 절연층(131)의 일부를 에칭하여 두 개의 비아홀, 즉, 제1 비아홀(191) 및 제2 비아홀(192)을 형성한다. Subsequently, as shown in FIG. 9D, a portion of the photoresist 502, a portion of the conductive layer 1142, a portion of the lower surface insulating layer 132, a portion of the base substrate 100, and an upper surface insulation are shown. A portion of the layer 131 is etched to form two via holes, namely a first via hole 191 and a second via hole 192.

이어서, 도 10(e)에 도시된 바와 같이, 형성된 제1 비아홀(191) 및 제2 비아홀(192)에 금속 물질을 충진하여 베이스 기판(100)의 상부 및 하부에 형성된 전도층이 전기적으로 연결될 수 있도록 한다. 제1 비아홀(191) 및 제2 비아홀(192)에 충진되는 물질은 제한이 있는 것은 아니나, 열 전도성이 우수한 은(Ag)으로 형성함이 바람직하다. 제1 비아홀(191) 및 제2 비아홀(192)에 은(Ag)을 충진하는 방법은 당업자가 자유롭게 선택할 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 10E, the first via hole 191 and the second via hole 192 are filled with a metal material to electrically connect the conductive layers formed on the upper and lower portions of the base substrate 100. To help. The material filled in the first via hole 191 and the second via hole 192 is not limited, but is preferably formed of silver (Ag) having excellent thermal conductivity. A method of filling silver (Ag) in the first via hole 191 and the second via hole 192 may be freely selected by those skilled in the art.

이어서, 도 10(f)에 도시된 바와 같이, 상부면 절연층(131)의 상부에 형성된 전도층(1141)의 미리 결정된 영역(181)을 식각하여 전도층(1141)이 물리적으로 연결되지 않은 영역을 형성한다. 이와 동시에 또는 시간적으로 차등을 두어, 제1 비아홀(191)과 제1 비아홀(192) 사이에 형성된 포토레지스트(502), 전도층(1142)을 제거하여 전도층(1142)이 물리적으로 연결되어 있지 않은 영역(182)을 형성한다. 이러한 방식으로 물리적으로 분리되어 서로 통전되지 않는 제1 전극(141)과 제2 전극(142)이 형성된다. Subsequently, as shown in FIG. 10F, the predetermined region 181 of the conductive layer 1141 formed on the upper surface insulating layer 131 is etched so that the conductive layer 1141 is not physically connected. Form an area. At the same time or in time difference, the conductive layer 1142 is not physically connected by removing the photoresist 502 and the conductive layer 1142 formed between the first via hole 191 and the first via hole 192. A non-region 182 is formed. In this manner, the first electrode 141 and the second electrode 142 which are physically separated from each other and are not energized with each other are formed.

이어서, 도 10(g)에 도시된 바와 같이 포토레지스트(501, 502)를 제거한다. 다음, 도 10(h)에 도시된 바와 같이, LED 칩(900)을 제2 전극(142)의 상부에 부착하고 제1 본딩 라인(801)으로 제1 전극(141)과 연결하고, 제2 본딩 라인(802)으로 제2 전극(142)과 연결한다. 여기서는 LED 칩(900)을 제2 전극(142)의 상부에 부착하였으나, LED 칩(900)을 제1 전극(141)의 상부에 부착함도 가능하고, 또는 상술한 미리 결정된 영역(181)이 LED 칩(900)을 수용할 정도로 넓게 형성되도록 하여 LED 칩(900)을 미리 결정된 영역(181) 내부에 수용함도 가능할 것이다. Subsequently, the photoresists 501 and 502 are removed as shown in FIG. 10 (g). Next, as shown in FIG. 10 (h), the LED chip 900 is attached to the upper portion of the second electrode 142, and the first bonding line 801 is connected to the first electrode 141, and the second The bonding line 802 is connected to the second electrode 142. Here, the LED chip 900 is attached to the upper portion of the second electrode 142, but it is also possible to attach the LED chip 900 to the upper portion of the first electrode 141, or the predetermined region 181 described above is It is also possible to accommodate the LED chip 900 inside the predetermined region 181 by being formed wide enough to accommodate the LED chip 900.

이어서, 제1 본딩 라인(801), 제2 본딩 라인(802), LED 칩(900)이 외부 환경으로부터 보호되도록 몰드(150)로 밀봉하여 LED 패키지(10)를 형성한다. 필요에 따라 상기와 같은 방법으로 제조된 LED 패키지(10)를 인쇄 회로 기판에 표면 실장할 수 있음은 물론이고, 그 방법은 LED 패키지(10)에 대해 설명한 내용을 참조하는 것으로 중복 설명을 생략한다.Subsequently, the first bonding line 801, the second bonding line 802, and the LED chip 900 may be sealed with the mold 150 to protect the external environment from the external environment to form the LED package 10. If necessary, the LED package 10 manufactured as described above may be surface-mounted on a printed circuit board, and the method will be described with reference to the description of the LED package 10 and the description thereof will not be repeated. .

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, You will understand. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

100: 베이스 기판
121: 제1 함몰부
122: 제2 함몰부
131: 상부면 절연층
132: 하부면 절연층
141: 제1 전극
142: 제2 전극
150: 몰드
191: 제1 비아홀
192: 제2 비아홀
801: 제1 본딩라인
802: 제2 본딩라인
900: LED
100: Base substrate
121: first depression
122: second depression
131: top insulating layer
132: bottom insulating layer
141: first electrode
142: second electrode
150: mold
191: first via hole
192: second via hole
801: first bonding line
802: second bonding line
900: LED

Claims (5)

상부면에 제1 함몰부가 형성되며 하부면에 제2 함몰부가 형성된 베이스 기판;
상기 베이스 기판의 상부면에 형성된 상부면 절연층;
상기 베이스 기판의 하부면에 형성된 하부면 절연층;
상기 베이스 기판을 관통하며 상기 상부면 절연층과 상기 하부면 절연층에 형성되는 제1 전극 및 제2 전극;
상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 전기적으로 연결되며 상기 제1 함몰부에 형성되는 LED 칩; 및
상기 제1 함몰부를 밀봉하는 몰드를 포함하는 LED 패키지.
A base substrate having a first recessed portion formed on an upper surface thereof and a second recessed portion formed on a lower surface thereof;
An upper insulating layer formed on an upper surface of the base substrate;
A bottom insulating layer formed on the bottom surface of the base substrate;
First and second electrodes penetrating the base substrate and formed on the upper and lower insulating layers;
An LED chip electrically connected to the first electrode and the second electrode and formed in the first recessed portion; And
LED package including a mold for sealing the first depression.
제1항에 있어서,
상기 제1 함몰부 및 상기 제2 함몰부는 수직 방향으로 대응하는 위치에 형성되며, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은 상기 제1 함몰부 및 상기 제2 함몰부 사이의 상기 베이스 기판을 각각 관통하는 LED 패키지.
The method of claim 1,
The first recessed portion and the second recessed portion are formed at corresponding positions in the vertical direction, and the first electrode and the second electrode pass through the base substrate between the first recessed portion and the second recessed portion, respectively. LED package.
제1항에 있어서,
상기 몰드는 인광 물질을 포함하는 LED 패키지.
The method of claim 1,
Wherein the mold comprises a phosphor.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 베이스 기판은 실리콘 기판인 LED 패키지.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The base substrate is a silicon substrate LED package.
베이스 기판의 상부면에 제1 함몰부를 형성하고 상기 베이스 기판의 하부면에 제2 함몰부를 형성하는 함몰부 형성단계;
상기 베이스 기판의 상부면 및 상기 베이스 기판의 하부면 각각에 상부면 절연층 및 하부면 절연층을 형성하는 절연층 형성단계;
상기 상부면 절연층 및 상기 하부면 절연층에 전도층을 형성하는 전도층 형성단계;
상기 전도층을 제1 전극 및 제2 전극으로 형성하는 전극 형성단계; 및
상기 제1 함몰부에 LED 칩을 형성하고 상기 제1 함몰부를 몰드로 밀봉하는 LED칩 봉입단계를 포함하는 LED 패키지 제조방법.


A depression forming step of forming a first depression on an upper surface of the base substrate and forming a second depression on the lower surface of the base substrate;
An insulating layer forming step of forming an upper insulating layer and a lower insulating layer on each of an upper surface of the base substrate and a lower surface of the base substrate;
A conductive layer forming step of forming a conductive layer on the upper insulating layer and the lower insulating layer;
An electrode forming step of forming the conductive layer as a first electrode and a second electrode; And
The LED package manufacturing method comprising the step of forming an LED chip in the first recessed portion and sealing the first recessed portion with a mold.


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