KR101357396B1 - A carrier module of a handler equipment to test a semiconductor element - Google Patents

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KR101357396B1
KR101357396B1 KR1020130120734A KR20130120734A KR101357396B1 KR 101357396 B1 KR101357396 B1 KR 101357396B1 KR 1020130120734 A KR1020130120734 A KR 1020130120734A KR 20130120734 A KR20130120734 A KR 20130120734A KR 101357396 B1 KR101357396 B1 KR 101357396B1
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semiconductor device
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이우교
이광주
안계상
박익순
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이우교
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Abstract

The present invention relates to a carrier module for transporting a semiconductor device by being mounted in a test tray in order to test the characteristics of the semiconductor device using a test handler equipment. A latch fixes and separates a semiconductor device to and from a lower side of a pocket under the state that the pocket is mounted in a carrier body as being able to be elevated. A fixed body fixed with the latch through an axis is combined to the carrier body in order for the pocket to support a spring elastically, and a button is exposed to the upper surface of the carrier body under the state that the button is supported elastically on the upper surface of the pocket. When the semiconductor device is placed in the pocket, the pocket and the latch are operated simultaneously by the operation of the button to place the semiconductor device. When the semiconductor device is tested by moving the carrier module, the pocket is pushed to descend. And the latch keeps the closed state when the semiconductor device is contacted to a test socket, so that the test of the semiconductor device is performed stably and accurately and the loss of the semiconductor device resulted from the separation occurred during return to the original state of the pocket after completing the test is prevented.

Description

반도체 소자 테스트 핸들러 장비의 캐리어 모듈{A carrier module of a handler equipment to test a semiconductor element}A carrier module of a handler equipment to test a semiconductor element}

본 발명은 테스트 핸들러 장비를 사용하여 반도체 소자의 특성을 검사하기 위하여 테스트 트레이에 장착되어 반도체 소자를 이송하는 캐리어 모듈에 관한 것으로, 특히 테스트를 위하여 이동할 경우와 테스트 과정 중의 전기적 특성 검사를 위하여 컨택(contact)시에 반도체 소자가 유동되지 않도록 하여 유실을 방지 및 고정되도록 함으로써 테스트 과정 중의 불량률을 최소화로 줄이도록 한 것이다.The present invention relates to a carrier module mounted on a test tray to test the characteristics of a semiconductor device using a test handler device, and to transporting the semiconductor device. It prevents the semiconductor device from flowing during contact, thereby preventing and fixing the loss, thereby minimizing the defect rate during the test process.

현재 이러한 용도로 생산되고 있는 대부분의 반도체 소자는 제품으로 출시하기 전에, 반도체 소자들의 리드 또는 볼 부분을 테스트 소켓의 컨넥터에 접속시켜 전기적 특성 등의 여러 가지의 테스트를 수행하기 위하여 테스트 트레이에 일정간격으로 복수 개로 배열되어진 캐리어 모듈에 수납된 상태로 이동되면서 테스트 단계를 단계별로 거친 후에 이동되어 테스트를 완료하게 되는 것이다.Most semiconductor devices currently manufactured for this purpose are connected to the test socket's connector or the test socket before the product is released to the test tray. As it is moved to the state accommodated in the plurality of carrier modules arranged in a plurality of steps after the test step is moved to complete the test.

그러나 이러한 테스트 트레이에 복수 개로 배열되어진 캐리어 모듈에 수납된 반도체 소자가 테스트 과정을 위하여 이동중에 유동이 발생되어 유실이 되거나 유격이 발생되면서 정확한 테스트가 이루어지지 않게 되어 이러한 오 판별로 인하여반도체 소자의 불량률이 증가하게 되는 문제점이 있었다.However, the semiconductor device contained in a plurality of carrier modules arranged in such a test tray is a fluid generated during the movement for the test process, and a loss or gap occurs, so that accurate testing is not performed. There was a problem to be increased.

따라서 종래의 반도체 소자의 수납을 위한 캐리어 모듈은 캐리어 몸체의 내부에 반도체 소자가 수용되는 포켓이 일체로 형성되고 상기 포켓의 양측으로는 스프링에 탄지되는 버튼의 작동에 의하여 회동축을 중심으로 상,하로 회동작동이 되는 레치가 설치된 구조로 되어 버튼에 의해 레치가 회동작동으로 열려져 포켓에 반도체소자가 안착되며 레치가 원위치 되어 반도체소자를 고정하여 외부 이탈을 방지토록 한 것이 제안되었다.Therefore, in the conventional carrier module for storing the semiconductor device, a pocket in which the semiconductor device is accommodated is integrally formed inside the carrier body, and both sides of the pocket are formed around the rotation shaft by an operation of a button held by a spring. It has been proposed that the structure is installed with a latch that rotates downward so that the latch is opened by the rotation by a button so that the semiconductor element is seated in the pocket and the latch is in place to fix the semiconductor element to prevent external detachment.

그러나 이러한 종래의 캐리어 모듈은 이송과정에서 레치에 의해 포켓에 고정된 반도체소자의 이탈을 방지토록 한 것에 불과하여 반도체소자가 제작 과정에서 열변형을 비롯한 다양한 원인으로 조금씩 규격이 다르게 제작되기 때문에 레치에 의해 포켓에 고정된 반도체소자가 정확하게 고정되지 못하고 약간의 유격이 발생되어 정확한 테스트가 이루어지지 않는 문제가 있었다.However, such a conventional carrier module is only to prevent the detachment of the semiconductor device fixed to the pocket by the latch during the transfer process, and the semiconductor device is manufactured in different sizes due to various reasons such as thermal deformation in the manufacturing process. As a result, the semiconductor device fixed in the pocket is not accurately fixed and some play occurs, thereby preventing accurate testing.

따라서 최근에 본원 발명이 출원등록한 등록특허 제1082242호에서는 캐리어몸체와 버튼이 상면으로 돌출되게 형성된 포켓을 버튼만 노출되게 몸체의 내측에 위치시킨 상태에서 포켓이 스프링에 탄지되도록 캐리어몸체의 하측으로 받침체를 결합하여 포켓이 분리되지 않도록 하고, 상기 포켓에는 반도체소자를 밀착 고정 및 이탈하도록 하는 회동작동되는 레치를 장착하여 몸체와 결합핀으로 고정하여 버튼을 누르면 포켓이 하강되면서 레치가 동시 작동으로 열려져 반도체소자가 장착된 후 버튼을 해제하면 포켓이 원위치로 상승되면서 레치도 닫혀져 반도체소자의 규격이 조금씩 다르더라도 정확하게 고정하게 되는 것이다.Therefore, in Patent No. 1082242 to which the present invention has been recently filed, the carrier body and the button are supported by the lower side of the carrier body so that the pocket is supported by a spring in a state in which the pocket formed to protrude to the upper surface is located inside the body so that only the button is exposed. Combining the sieve so that the pocket is not separated, the pocket is equipped with a rotational latch to close and fix the semiconductor element tightly fixed with the body and the coupling pin to press the button, the pocket is lowered and the latch is opened by simultaneous operation When the button is released after the semiconductor device is mounted, the pocket is raised to its original position and the latch is closed, so that the semiconductor device can be accurately fixed even if the specifications of the semiconductor device are slightly different.

그러나 이러한 캐리어모듈의 단점이 포켓에 고정된 반도체소자를 전기적 테스트 등을 위하여 테스트 소켓 컨넥터에 접촉을 위하여 포켓이 누름에 의해 작동될 경우에 반도체소자를 고정하고 있는 레치도 동시에 열려지게 되면서 테스트완료 후 포켓이 상승하여 원위치로 복귀함과 동시에 레치도 닫히게 되는데 레치가 닫히기 전에 반도체 소자가 캐리어 모듈에서 이탈하는 현상이 발생하여 이를 해결하여야 하는 과제가 남게 되는 것이다.However, the disadvantage of this carrier module is that when the pocket is operated by pressing the pocket for contacting the test socket connector for electrical test, the latch holding the semiconductor device is opened at the same time. As the pocket rises to return to its original position and the latch is closed, a problem occurs that the semiconductor element is released from the carrier module before the latch is closed.

등록특허 제 10-1082242호Patent Registration 10-1082242

따라서 본 발명은 테스트를 위한 반도체소자의 이동 시 반도체소자가 유동되지 않도록 고정하여 테스트를 위한 정위치에서 테스트가 가능토록 하면서도 테스트를 위한 반도체소자의 컨택시에 레치는 잠김상태를 그대로 유지하고 반도체소자가 안착된 포켓만 작동되어 반도체소자의 테스트를 정밀하게 할 수 있도록 함으로써 종래의 문제점을 해결토록 한 것이다.Therefore, in the present invention, the semiconductor device is fixed so that the semiconductor device does not flow when the semiconductor device is moved for the test, so that the test can be performed at the correct position for the test while the latch is kept locked while the semiconductor device is in contact for the test. Only the pocket on which the is mounted is operated so that the test of the semiconductor device can be precisely solved.

이를 위하여 본 발명은 캐리어몸체와 포켓과 버튼을 각각 별도로 구비하여 캐리어몸체의 내측에 반도체소자가 안착되는 포켓을 장착하고, 상기 포켓은 캐리어몸체 내측에서 상,하로 가이드되면서 스프링으로 탄지되도록 고정체로 결합되고 상기 고정체에는 반도체소자를 밀착 고정 및 이탈하도록 하는 레치가 축결합되고 상기 고정체에 축결합된 레치는 포켓의 상면에 스프링으로 탄지되게 위치되어 캐리어몸체의 상면에서 누름작동되는 버튼과 힌지결합되어 버튼을 누르면 포켓이 눌려지면서 하강되고 레치는 상향으로 개방되어 반도체소자가 포켓에 장착된 상태에서 버튼을 해제시에 레치가 원상태로 되어 반도체소자를 고정하게 되고, 반도체소자의 테스트를 위하여 컨택(contact)시에 포켓을 누르면 레치는 닫혀진 상태로 유지되고 포켓만 하강되어 반도체소자가 정위치에서 안정적으로 테스트를 수행하게 되는 것이다.To this end, the present invention is provided with a carrier body, a pocket and a button separately, each of which is equipped with a pocket in which the semiconductor element is seated on the inside of the carrier body, the pocket is coupled to the fixed body so as to be supported by a spring while guided up and down inside the carrier body. And a latch for tightly fixing and releasing the semiconductor device to the fixed body is axially coupled, and the latch coupled to the fixed body is positioned to be pressed against the top of the pocket by a spring and pressed by a button operated on the upper surface of the carrier body. When the button is pressed, the pocket is pressed down and the latch is opened upward. When the button is released with the semiconductor device mounted in the pocket, the latch is returned to the original state and the semiconductor device is fixed. When the pocket is pressed during contacting, the latch remains closed and only the pocket is lowered. The semiconductor device is that it would take a stable position in the test.

따라서 본 발명은 반도체소자를 포켓에 안착할 때는 레치가 동시에 작동되어 레치에 의해 반도체소자가 포켓에 밀착고정되어 이동시에도 유동이 발생되지 않게 되고 이동된 후에 테스트를 위해 테스트 소켓의 컨넥터에 반도체소자의 컨택(contact)시에는 레치가 닫혀진 상태로 포켓만 작동되면서 반도체소자가 불량판별을 위한 테스트 완료 후 포켓이 원상복귀되는 과정에서 캐리어 모듈로부터 이탈하여 유실되지 않고 안정적인 이송이 가능하게 되므로 생산성을 증대시킬 수 있게 되는 것이다. Therefore, in the present invention, when the semiconductor device is seated in the pocket, the latch is operated at the same time so that the semiconductor device is tightly fixed to the pocket by the latch so that no flow occurs even during the movement. When contacting, only the pocket is operated with the latch closed, and the semiconductor device can be stably transferred without being lost from the carrier module in the process of returning the pocket after the completion of the test for defect determination, thereby increasing productivity. It will be possible.

또한 부품의 간소화로 조립의 용이하고 케리어모듈에 사용되는 일부 제품의 불량시에도 재활용이 가능하여 원가를 줄이게 되는 효과가 있는 것이다. In addition, it is easy to assemble by simplifying parts and can be recycled even when some of the products used in the carrier module are defective, thereby reducing the cost.

도1은 본 발명의 캐리어모듈의 일실시예를 나타낸 분해사시도.
도2는 본 발명의 캐리어모듈이 테스트트레이에 장착되는 상태도.
도3은 본 발명의 캐리어모둘의 외관사시도.
도4는 본 발명의 버튼 누름으로 래치와 포켓이 작동되는 단면도.
도5는 본 발명의 레치가 작동되는 상세도.
도6은 본 발명의 테스트시에 포켓이 작동되는 단면도.
도7은 종래의 테스트시에 레치가 개방되어 오판별되는 상태의 단면도.1 is an exploded perspective view showing an embodiment of a carrier module of the present invention.
Figure 2 is a state in which the carrier module of the present invention is mounted on a test tray.
3 is an external perspective view of both carriers of the present invention.
Figure 4 is a cross-sectional view of the latch and the pocket actuated by the push of a button of the present invention.
5 is a detailed view in which the latch of the present invention operates.
Figure 6 is a cross-sectional view in which the pocket is operated in the test of the present invention.
Fig. 7 is a sectional view of a state in which a latch is opened and misjudged in the conventional test.

이하 첨부도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도1 내지 도6에 도시된 바와 같이 본 발명의 캐리어 모듈은 반도체소자의 테스트를 위하여 이송되는 핸들러 장비의 테스트트레이에 일정간격으로 배열되게 장착되는 것으로, 캐리어몸체와 반도체소자가 안착되는 소자안착부(20a)가 구비된 포켓(20)과 버튼을 각각 구비하여 상기 캐리어몸체(10)의 내공간(11)에 상,하 슬라이드 작동되도록 포켓(20)을 장착되고, 상기 포켓(20)의 하측으로 포켓(20)을 스프링(35)으로 탄지토록 하는 고정체(30)가 캐리어몸체(10)와 결합되고, 상기 고정체(30)에는 반도체소자를 고정 및 이탈을 위한 레치(36)가 축결합되고, 상기 레치(36)는 포켓(20)의 상면으로 스프링(45)이 탄지된 상태로 밀착되면서 캐리어몸체(10)의 상면으로 노출되는 버튼(40)과 힌지결합된 구조이다.1 to 6, the carrier module of the present invention is mounted to be arranged at regular intervals on the test tray of the handler equipment to be transported for the test of the semiconductor device, the device seat that the carrier body and the semiconductor device is seated The pocket 20 is provided with a pocket 20 and a button 20a, and the pocket 20 is mounted to slide up and down in the inner space 11 of the carrier body 10, and the lower side of the pocket 20 is provided. The holder 30 is coupled to the carrier body 10 so as to hold the pocket 20 with the spring 35, and the latch 36 has a shaft 36 for fixing and detaching the semiconductor device. The latch 36 is hinged with the button 40 exposed to the upper surface of the carrier body 10 while the spring 45 is in close contact with the upper surface of the pocket 20.

이때 상기 레치(36)와 포켓(20)을 작동하는 버튼(40)과 반도체소자를 포켓(20)의 소자안착부(20a)에 정밀한 밀착고정하는 레치(36)는 양측으로 대칭되게 형성되는 것이다.At this time, the button 36 for operating the latch 36 and the pocket 20 and the latch 36 for precisely fixing the semiconductor device to the device seating portion 20a of the pocket 20 are symmetrically formed at both sides. .

따라서 버튼(40)을 누르면 포켓(20)이 하강되면서 동시에 버튼(40)과 힌지장착되고 고정체(30)에 축결합된 레치(36)가 상향으로 개방되어 반도체소자가 포켓(20)의 소자안착부(20a)에 안착되고 반도체소자가 안착된 후에 버튼(40)이 상승되면 레치(36)가 하향으로 닫혀지게 되면서 반도체소자를 고정하게 되면서 테스트를 위하여 이동중에 반도체소자가 유동되지 않게 되는 것이다.Accordingly, when the button 40 is pressed, the pocket 20 is lowered and at the same time, the latch 36 coupled to the button 40 and the latch 36 coupled to the fixed body 30 are opened upward, so that the semiconductor device is the device of the pocket 20. When the button 40 is raised after being seated on the seating portion 20a and the semiconductor device is seated, the latch 36 is closed downward and the semiconductor device is fixed while the semiconductor device does not flow while moving for testing. .

또한 반도체소자의 테스트할 경우에는 반도체소자를 테스트소켓에 컨택(contact)되도록 포켓(20)이 눌려져 하강작동될 때 레치(36)는 닫혀진 상태로 유지되어 반도체소자가 유격없이 테스트가 정확하게 이루어지게 되는 것이다.In the case of testing a semiconductor device, when the pocket 20 is pressed down to contact the semiconductor device with a test socket and the lowering operation is performed, the latch 36 is kept closed so that the semiconductor device can be accurately tested without play. will be.

이때 상기 캐리어몸체(10)의 양측에는 관통되어 양변으로 걸림턱(15)이 형성된 버튼장착공(12)이 형성되어 버튼(40)이 버튼장착공(12)에 끼워져 포켓(20)의 상면에 밀착되게 위치되고, 상기 버튼장착공(12)에는 걸림턱(15)이 형성되고, 버튼(40)에는 상기 걸림턱(15)에 걸려지는 걸림단턱(44)이 형성되어 버튼(40)이 누름작동으로 승강작동시에 버튼장착공(12)에서 이탈되지 않게 작동되는 것이다. At this time, both sides of the carrier body 10 are penetrated through the button mounting hole 12 is formed with the locking jaw 15 on both sides is formed so that the button 40 is fitted into the button mounting hole 12 to the upper surface of the pocket 20 Located in close contact, the button mounting hole 12 is formed with a locking step 15, the button 40 is formed with a locking step 44 to be caught on the locking step 15 is pressed button 40 The operation is to be operated so as not to be separated from the button mounting hole 12 during the lifting operation.

또한 상기 버튼장착공(12)의 전방으로 걸림홈부(13)가 좌,우 대칭으로 형성하고 고정체(30)에는 걸림돌부(32)를 좌,우 대칭으로 동일하게 형성하여 캐리어몸체(10)에서 포켓이 이탈되지 않도록 결합되면서 포켓(20)이 스프링(35)에 탄지된 장착됨으로써 버튼(40)의 작동으로 포켓(20)이 상,하로 탄지되게 승강작동이 가능하게 되는 것이다. In addition, the locking groove 13 is formed in the left and right symmetry in front of the button mounting hole 12, and the locking body 32 is formed in the left and right symmetry in the fixed body 30 by the carrier body 10 The pocket 20 is mounted on the spring 35 while being coupled so as not to be separated from the pocket so that the pocket 20 is lifted up and down by the operation of the button 40.

이때 상기 고정체(30)의 좌,우 대칭되게 형성된 걸림돌부(32)의 사이에는 반도체소자을 고정 및 이탈토록 하는 레치(36)가 장착되는 장착공간(31)이 형성되어 반도체소자가 위치된 상태에서 결합핀(33)으로 반도체소자를 축결합토록 한 것이다.At this time, a mounting space 31 for mounting the latch 36 for fixing and detaching the semiconductor device is formed between the locking protrusions 32 symmetrically formed at the left and right sides of the fixing body 30 so that the semiconductor device is positioned. At the coupling pin 33 to the axial coupling of the semiconductor device.

그리고 상기 축결합된 레치(36)의 일측을 버튼(40)에 형성된 링크(41)와 연동되게 힌지결합토록 함으로써 버튼(40)을 누르면 포켓(20)은 하강되고 고정체(30)에 축결합된 레치(36)는 상향으로 개방이 되는 것이다.And by pressing the button 40 by hinged one side of the axially coupled latch 36 to link with the link 41 formed in the button 40, the pocket 20 is lowered and axially coupled to the fixed body 30 The latch 36 is opened upward.

이를 위하여 상기 레치(36)는 상단에 힌지돌기(37)가 형성되고 상기 버튼(40)에 형성된 링크(41)에는 힌지홈(42)이 형성되어 힌지돌기(37)가 힌지홈(42)에 결합되어 버튼의 작동에 따라 레치(36)가 동시에 작동되도록 한 것이다.To this end, the latch 36 has a hinge protrusion 37 formed at an upper end thereof, and a hinge groove 42 is formed at the link 41 formed at the button 40 so that the hinge protrusion 37 is formed at the hinge groove 42. In combination, the latch 36 is operated at the same time according to the operation of the button.

또한 상기 레치(36)의 중간에는 고정체(30)의 장착공간(31)에 위치된 상태에서 결합핀(33)에 의해 축결합되이 되도록 굴곡된 형상의 유동홈(38)이 형성되고 하단에는 포켓(20)의 소자안착부(20a)에 안착된 반도체소자를 누름고정하는 누름부(39)가 형성된 것이다.In addition, a flow groove 38 having a curved shape is formed in the middle of the latch 36 so as to be axially coupled by the coupling pin 33 in a state of being located in the mounting space 31 of the fixture 30. The pressing part 39 which presses and fixes the semiconductor element seated on the element seating part 20a of the pocket 20 is formed.

따라서 버튼(40)이 작동되면 고정체(30)에 레치(36)를 축결합토록 한 결합핀(33)을 중심으로 버튼(40)과 힌지결합된 레치(36)의 상단이 눌려지면서 유동홈(38)이 가이드되어 하단의 누름부(39)가 상향으로 유동되어 레치(36)가 개방이되고 버튼(40)이 다시 원위치로 상승되면 레치(36)가 닫혀지게 되는 것이다.Therefore, when the button 40 is operated, the upper end of the latch 36 hinged to the button 40 is pressed around the coupling pin 33 which causes the latch 36 to be axially coupled to the fixture 30, and thus the flow groove. 38 is guided so that the pressing portion 39 at the bottom flows upward and the latch 36 is opened and the button 36 is closed when the button 40 is raised back to its original position.

이때 상기 캐리어몸체(10)의 버튼장착공(12)이 형성되지 않은 타측변 양측에는 가이드홀(14)이 형성되고 상기 포켓(20)에는 상기 가이드홀(14)에 끼임되어 가이드되는 가이드돌부(24)가 상향으로 돌출되게 형성되어 포켓(20)이 버튼의 작동이나 반도체소자를 테스트하기 위하여 작동될 경우 상,하로 안정되게 승,하강 작동되는 것이다.At this time, the guide hole 14 is formed on both sides of the other side of the carrier body 10 in which the button mounting hole 12 is not formed, and the guide protrusion 14 is inserted into the guide hole 14 in the pocket 20. 24 is formed to protrude upward, so that when the pocket 20 is operated to test the operation of the button or the semiconductor device, it is to move up and down stably.

또한 도면에는 미도시 되었지만 상기 가이드돌부(24)에는 걸림편을 형성하고 가이드홀(14)의 내측의 하단에는 스토퍼를 형성하여 포켓(20)이 승강작동시에 가이드돌부(24)에 형성된 걸림편이 스토퍼에 걸려지면서 보다 안정적인 승각구조를 갖게 되는 것이다.In addition, although not shown in the drawing, the guide piece 24 has a locking piece formed therein, and a stopper is formed at the lower end of the inner side of the guide hole 14 so that the pocket 20 has a locking piece formed at the guide protrusion 24 during the lifting operation. As you get stuck on the stopper, you will have a more stable elevation structure.

이때 포켓(20)을 탄성작동을 위하여 고정체(30)의 걸림돌부(32)가 형성된 일측으로 스프링(35)이 장착되는 받침돌부(34)가 돌출되게 형성되어 스프링이 받침돌부에 장착되고 포켓(20)의 양측에는 상기 고정체(30)가 캐리어몸체(10)에 결합이 가능하도록 관통된 장착공(21)이 형성되고 상기 장착공(21)의 일측 저면으로 받침돌부(34)가 형성되어 스프링(35)이 고정체(30)의 받침돌부(34)와 포켓(20)의 장착공(21) 일측 저면에 형성된 받침돌부(21a) 사이에 탄지되게 장착되는 것이다.At this time, the support 20 to the spring 35 is mounted to one side where the locking protrusion 32 of the fixed body 30 is formed for the elastic operation of the pocket 20 is formed to protrude so that the spring is mounted on the support protrusion and the pocket Mounting holes 21 are formed at both sides of the fixing body 30 so that the fixing body 30 can be coupled to the carrier body 10, and the supporting protrusions 34 are formed at the bottom of one side of the mounting hole 21. The spring 35 is mounted between the support protrusion 34 of the fixing body 30 and the support protrusion 21a formed at the bottom of one side of the mounting hole 21 of the pocket 20.

한편 상기 장착공(21)에 레치(36)가 축결합된 고정체(30)가 장착될 경우 레치(36)가 포켓(20)의 소자안착부(20a)가 형성된 내측으로 노출이 되도록 장착공(21)에 절개부(22)가 형성토록 한 것이다.On the other hand, when the fixing body 30, the latch 36 is axially coupled to the mounting hole 21, the mounting hole is exposed so that the latch 36 is exposed to the inside where the element seating portion 20a of the pocket 20 is formed. An incision 22 is formed at 21.

또한 상기 포켓(20)의 장착공(21)이 형성된 상면 양측에는 받침홈부(23)를 대칭되게 형성하고 상기 받침홈부(23)의 상측에는 버튼(40)이 밀착되게 위치되어 버튼(40)의 누름작동으로 포켓(20이 동시에 눌려져 작동이 되는 것이고, 상기 받침홈부(23)와 상기 받침홈부(23)와 밀착되는 버튼(40)의 사이에는 스프링(45)이 압축된 상태로 장착되는 것이고, 상기 버튼(45)에는 스프링(45)의 고정을 위하여 고정돌기(43)가 형성됨으로써 포켓(20)을 누르면 압축된 스프링(45)이 늘어나고 포켓(20)이 원위치 되면 다시 압축된 상태로 되면서 레치(36)가 닫혀진 상태에서 작동되지 않고 포켓(20)만 하강작동되는 것이다.In addition, on both sides of the upper surface on which the mounting hole 21 of the pocket 20 is formed, the supporting grooves 23 are formed symmetrically, and the buttons 40 are closely attached to the upper sides of the supporting grooves 23 so that the buttons 40 The pocket 20 is pressed and operated at the same time by pressing operation, and the spring 45 is mounted in a compressed state between the support groove 23 and the button 40 in close contact with the support groove 23. The button 45 is formed with a fixing protrusion 43 for fixing the spring 45 so that when the pocket 20 is pressed, the compressed spring 45 is stretched, and when the pocket 20 is returned to its original position, it is compressed again. 36 is not operated in the closed state, only the pocket 20 is to be lowered operation.

따라서 버튼(40)을 누르면 포켓(20)이 가압되면서 스프링(35)에 의해 상,하로 탄지작동되면서 레치(36)가 개폐작동되면서도 테스트시에는 포켓(20)이 별도로 개별작동이 가능하게 되는 것이다.Therefore, when the button 40 is pressed, the pocket 20 is pressurized by the spring 35 while being pushed up and down while the latch 36 is opened and closed. .

따라서 상기에 상술한 바와 같이 반도체소자를 포켓(20)에 안착할 경우에는 버튼(40)작동으로 포켓(20)과 레치(36)가 동시에 작동되어 반도체소자가 고정 및 이탈하게 되는 것이고, 반도체소자가 안착된 캐리어모듈이 이동된 상태에서 테스트가 실행될 경우에는 레치(36)는 닫혀진 상태로 작동되지 않고 반도체소자가 안착된 포켓(20)만 하강작동되어 테스트소켓과 컨택토록 함으로써 보다 정확한 반도체 소자의 테스트를 실행하게 되고 테스트 후 포켓의 원복시 발생하는 반도체 소자의 이탈을 방지할 수 있도록 한 것이다.Therefore, when the semiconductor device is seated in the pocket 20 as described above, the pocket 20 and the latch 36 are simultaneously operated by the button 40 operation, thereby fixing and detaching the semiconductor device. When the test is executed in a state in which the loaded carrier module is moved, the latch 36 does not operate in a closed state, but only the pocket 20 in which the semiconductor element is seated is lowered to contact the test socket so that a more accurate The test is executed and the semiconductor device can be prevented from coming off when the pocket is moved back after the test.

10: 캐리어몸체 11: 내공간
12: 버튼장착공 13: 걸림홈부
14: 가이드홀 15: 걸림턱
20: 포켓 21: 장착공
22: 절개부 23: 받침홈부
24: 결합돌부
30: 받침체 31: 장착공간
32: 걸림돌부 33: 결합핀
34: 받침돌부 35: 스프링
36: 레치 37: 힌지돌기
38: 유동홈 39: 누름부
40: 버튼 41: 링크
42: 힌지홈 43: 고정돌기
44: 걸림단턱10: carrier body 11: inner space
12: Button mounting hole 13: Hanging groove
14: guide hole 15: locking jaw
20: pocket 21: mounting hole
22: incision 23: support groove
24: engaging protrusion
30: support 31: mounting space
32: engaging protrusion 33: coupling pin
34: base protrusion 35: spring
36: latch 37: hinge protrusion
38: flow groove 39: pressing portion
40: button 41: link
42: hinge groove 43: fixing protrusion
44: hanging step

Claims (7)

테스트트레이에 장착되어 반도체소자의 전기적 특성 등의 여러 단계의 테스트를 수행하도록 이송하는 캐리어모듈에 있어서,
포켓(20)을 수용하도록 내공간(11)이 형성된 캐리어몸체(10)와,
상기 캐리어몸체(10)의 내공간(11)에서 상,하 슬라이드 작동되는 반도체소자가 안착되는 소자안착부(20a)가 구비된 포켓(20)이 장착되고,
상기 포켓(20)의 하측으로 포켓(20)을 스프링(35)으로 탄지하는 고정체(30)가 캐리어몸체(10)와 결합되고,
상기 고정체(30)에는 포켓(20)에 장착된 반도체소자를 고정 및 이탈을 위한 레치(36)가 축결합되고,
상기 레치(36)는 포켓(20)의 상면으로 스프링(45)이 탄지된 상태로 밀착되어 캐리어몸체(10)의 상면으로 노출되는 버튼(40)과 힌지결합되어,
상기 버튼(40)의 작동으로 포켓(20)이 하강되면서 동시에 버튼(40)과 힌지장착되면서 고정체(30)에 축결합된 레치(36)가 상향으로 개방되어 반도체소자가 포켓(20)의 소자안착부(20a)에 안착된 상태에서 레치(36)가 원위치로 되면서 반도체소자를 고정하게 되고 반도체소자의 테스트할 경우에는 반도체소자를 테스트소켓에 컨택(contact)되도록 포켓(20)이 눌려질 경우 레치(36)가 닫혀진 상태로 유지되고 포켓(20)만 작동됨을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러 장비의 캐리어 모듈.In the carrier module mounted on the test tray for transporting to perform a multi-step test, such as electrical characteristics of the semiconductor device,
A carrier body 10 having an inner space 11 formed therein to accommodate the pocket 20,
In the inner space 11 of the carrier body 10 is equipped with a pocket 20 is provided with a device seating portion (20a) for mounting the semiconductor device to slide up, down,
The fixed body 30 holding the pocket 20 with the spring 35 to the lower side of the pocket 20 is coupled to the carrier body 10,
The fixture 30 is axially coupled to the latch 36 for fixing and detaching the semiconductor device mounted in the pocket 20,
The latch 36 is hinged to the button 40 exposed to the upper surface of the carrier body 10 by being in close contact with the spring 45 in a tethered state to the upper surface of the pocket 20,
As the pocket 20 is lowered by the operation of the button 40, the latch 36 coupled to the fixed body 30 is opened upward while being hinged with the button 40, thereby opening the semiconductor device of the pocket 20. When the latch 36 is in the original position and the semiconductor device is fixed to the device seating portion 20a, the semiconductor device is fixed. When the semiconductor device is tested, the pocket 20 is pressed to contact the semiconductor device to the test socket. The carrier module of the semiconductor device test handler equipment, characterized in that the latch 36 remains closed and only the pocket 20 is operated. 제 1항에 있어서, 상기 캐리어몸체(10)의 양측에는 관통되어 양변으로 걸림턱(15)이 형성된 버튼장착공(12)과 전방으로 걸림홈부(13)가 대칭되게 형성되고, 상기 버튼(40)은 하단 양변으로 걸림단턱(44)이 형성되어 상기 버튼장착공(12)에 끼워져 걸림턱(15)에 걸림되어 포켓(20)의 상면에 밀착된 상태에서 상,하 승강시에 이탈되지 않도록 결합되고, 상기 포켓(20)을 스프링(35)으로 탄지토록 캐리어몸체(10)에 결합되는 고정체(30)에는 걸림돌부(32)가 좌,우 대칭으로 형성되어 레치(36)의 장착을 위한 장착공간(31)을 형성하면서 상기 캐리어몸체(10)에 형성된 걸림홈부(13)에 결합되고, 상기 걸림돌부(32) 사이에 형성된 장착공간(31)으로 반도체소자를 고정 및 이탈시키는 레치(36)가 결합핀(33)으로 축결합되면서 버튼(40)에 형성된 링크(41)와 연동되게 힌지결합되어 버튼(40)의 작동으로 포켓(20)이 하강되면서 레치(36)가 상향으로 개방되도록 동시에 작동됨을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러 장비의 캐리어 모듈.The method of claim 1, wherein the button mounting hole 12 and the locking groove 13 is formed to be symmetrically formed on both sides of the carrier body 10 and the locking jaw 15 is formed on both sides of the carrier body 10, the button 40 ) Is formed on both sides of the lower end of the locking step jaw 44 is fitted in the button mounting hole 12 is caught in the locking jaw 15 so as not to be separated during the up and down lifting in a state in close contact with the upper surface of the pocket 20 It is coupled to the fixing body 30 is coupled to the carrier body 10 so that the pocket 20 is a spring 35, the locking projection 32 is formed symmetrically left and right to mount the latch 36 While forming a mounting space 31 for the latch is coupled to the engaging groove 13 formed in the carrier body 10, the fixing and detachment of the semiconductor device to the mounting space 31 formed between the locking projections (32 36 is axially coupled to the coupling pin 33 and hinged to interlock with the link 41 formed in the button 40 button ( Carrier module of the semiconductor device test handler equipment, characterized in that the operation is performed simultaneously so that the pocket (20) is lowered by the operation of 40) and the latch (36) is opened upward. 제 2항에 있어서, 상기 레치(36)는 상단에 힌지돌기(37)가 형성되고 상기 버튼(40)에 형성된 링크(41)에는 힌지홈(42)이 형성되어 힌지돌기(37)가 힌지홈(42)에 결합되고 레치(36)의 중간에는 고정체(30)에 결합핀(33)에 의해 축결합되는 유동홈(38)이 형성되고 하단에는 포켓(20)의 소자안착부(20a)에 안착된 반도체소자를 누름고정하는 누름부(39)가 형성됨을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러 장비의 캐리어 모듈.The hinge 36 has a hinge protrusion 37 formed at an upper end thereof, and a hinge groove 42 is formed at a link 41 formed at the button 40 so that the hinge protrusion 37 is hinged. In the middle of the latch 36, the flow groove 38 is axially coupled by the coupling pin 33 to the fixed body 30 is formed in the middle of the latch 36, the lower portion of the device seating portion 20a of the pocket 20 The carrier module of the semiconductor device test handler equipment, characterized in that the pressing portion (39) for pressing and holding the semiconductor device seated on. 제 3항에 있어서, 상기 유동홈(38)은 굴곡되게 형성되어 버튼(40)을 작동하면 고정체(30)의 결합핀(33)을 중심으로 유동홈(38)이 가이드되어 레치(36)의 힌지돌기(37)를 누름고정하는 누름부(39)가 상향으로 유동되어 개폐되고 버튼(40)이 다시 원위치로 상승되면 누름부(39)가 하향되어 닫혀지게 됨을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러 장비의 캐리어 모듈.According to claim 3, The flow groove 38 is formed to be bent to operate the button 40, the flow groove 38 is guided around the coupling pin 33 of the fixture 30, the latch 36 The semiconductor device test handler, characterized in that the pressing portion 39 for pressing and fixing the hinge protrusion 37 of the hinge flows upward and is opened and closed, and the pressing portion 39 is closed downward when the button 40 is raised to its original position. Carrier module of the equipment. 제 2항에 있어서, 상기 캐리어몸체(10)의 버튼장착공(12)이 형성되지 않은 타측변 양측에는 가이드홀(14)이 형성되고 상기 포켓(20)에는 상기 가이드홀(14)에 끼임되어 가이드되는 가이드돌부(24)가 상향으로 돌출되게 형성되어 포켓(20)이 상,하로 안정되게 승,하강 작동됨을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러 장비의 캐리어 모듈.According to claim 2, wherein the guide hole 14 is formed on both sides of the other side of the carrier body 10, the button mounting hole 12 is not formed, the pocket 20 is sandwiched in the guide hole 14 The guide protrusions 24 to be guided upwards are formed to protrude upward, and the pocket module 20 is a carrier module of the semiconductor device test handler equipment, characterized in that the up and down stable operation. 제 2항에 있어서, 상기 고정체(30)는 걸림돌부(32)가 형성된 일측으로 스프링(35)이 장착되는 받침돌부(34)가 돌출되게 형성되고 포켓(20)의 양측에는 상기 고정체(30)가 캐리어몸체(10)에 결합이 가능하도록 관통되면서 레치(36)가 내측의 소자안착부(20a)로 노출되도록 절개부(22)가 형성된 장착공(21)이 형성되고 상기 장착공(21)의 일측 저면으로 받침돌부(34)에 장착된 스프링(35)이 탄지되는 탄지부(21a)가 형성되어 버튼(40)을 누르면 포켓(20)이 가압되면서 스프링(35)에 의해 상,하로 탄지작동되면서 레치(36)가 개폐작동됨을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러 장비의 캐리어 모듈.According to claim 2, wherein the fixing body 30 is formed to protrude a support protrusion 34 to which the spring 35 is mounted to one side formed with the locking protrusion 32 is formed on both sides of the pocket (20) A mounting hole 21 having a cutout portion 22 formed therein is formed to allow the latch 36 to be exposed to the inner element seating portion 20a while the 30 penetrates to the carrier body 10 so as to be coupled thereto. One side of the bottom surface 21 is formed with a stopper 21a is formed in which the spring 35 mounted on the support protrusion 34 is touched, and when the button 40 is pressed, the pocket 20 is pressed by the spring 35. Carrier module of the semiconductor device test handler equipment, characterized in that the latch 36 is opened and closed while the operation is touched down. 제 2항에 있어서, 상기 포켓(20)의 장착공(21)이 형성된 상면 양측으로 받침홈부(23)가 대칭되게 형성되고 상기 받침홈부(23)의 상측으로 버튼(40)의 하단에 스프링(45)을 고정하는 고정돌기(43)가 밀착되게 위치되고 상기 버튼(40)의 고정돌기(43)와 포켓(20)의 받침홈부(23)의 밀착된 사이에 스프링(45)이 압축된 상태로 장착되어 포켓(20)을 누르면 압축된 스프링(45)이 늘어나고 포켓(20)이 원위치 되면 다시 압축된 상태로 되면서 레치(36)가 닫혀진 상태에서 작동되지 않고 포켓(20)만 하강작동됨을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러 장비의 캐리어 모듈.According to claim 2, wherein the support grooves 23 are formed symmetrically on both sides of the upper surface on which the mounting hole 21 of the pocket 20 is formed, and the spring at the lower end of the button 40 above the support grooves 23; The fixing protrusion 43 for fixing the 45 is positioned in close contact with the spring 45 is compressed between the fixing protrusion 43 of the button 40 and the support groove 23 of the pocket 20. When the pocket 20 is pressed, the compressed spring 45 is expanded, and when the pocket 20 is returned to the original position, the compressed spring 45 is recompressed and the latch 36 is not operated in the closed state, and only the pocket 20 is lowered. A carrier module for semiconductor device test handler equipment.
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