KR101348603B1 - 극저온 온도센서 교정기 - Google Patents

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KR101348603B1
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최연석
김동락
김명수
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한국기초과학지원연구원
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Abstract

본 발명은 극저온 온도센서 교정기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 극저온에서 사용되는 온도센서에 대하여 실제사용환경에서의 정확한 동작특성을 제공할 수 있는 교정데이터를 측정할 수 있도록 한 것이다.
특히, 본 발명은 극저온 환경에서 발생될 수 있는 온도변화를 적용하여 다양한 동작특성에 대하여 정밀한 교정데이터를 정확히 측정할 수 있다.
또한, 동일제조방법에 의해 제조된 동일재질의 극저온 온도센서에 대하여, 각각의 극저온 온도센서에 대한 미세한 동작특성의 차이를 정확히 측정하여 교정데이터로 제공할 수 있으며, 액체헬륨에 의해 만들어질 수 있는 온도 이하의 온도에서도 극저온 온도센서에 대한 교정데이터를 획득할 수 있어, 보다 넓은 범위에서의 교정데이터 획득이 가능할 수 있고, 1회의 측정으로도 많은 개수의 극저온 온도센서에 대한 교정데이터를 획득할 수 있다.
따라서, 극저온 온도센서 분야 및 이를 이용하는 계측장비 분야에서 정밀한 계측정보를 제공할 수 있음은 물론, 제품의 신뢰성 및 경쟁력을 향상시킬 수 있다.

Description

극저온 온도센서 교정기{Cryogenic temperature sensor Calibrator}
본 발명은 극저온 온도센서 교정기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 극저온에서 사용되는 온도센서에 대하여 실제사용환경에서의 정확한 동작특성을 제공할 수 있는 교정데이터를 측정할 수 있도록 한 것이다.
특히, 본 발명은 동일하게 제작된 온도센서에서도 발생될 수 있는 미세한 동작특성의 차이를 정확히 측정하여 교정데이터로 제공함으로써, 각각의 온도센서를 이용하는 계측장치의 정확도 및 신뢰도를 향상시킬 수 있도록 하는 극저온 온도센서 교정기에 관한 것이다.
극저온에서 상온 범위에서 사용되는 온도센서로는 주로 정전용량형 온도 센서(Capacitive Temperature Sensor, 이하 CTS라 함)가 있다. 여기서, CTS는 온도에 따라 변화하는 정전용량을 측정하여 현재 온도값을 측정하는 전자소자이다.
이러한, CTS를 포함하는 극저온에서 사용되는 온도센서들은 극한의 환경에서 사용되기 때문에, 각 온도센서가 극저온 환경에서 어떻게 동작하는지를 우선 측정하고, 그 결과에 기초하여 계측장치에 적용 및 사용하게 된다.
특히, 동일제조방법에 의해 제조된 동일재질의 온도센서라 하더라도, 극저온에서의 동작특성에는 차이가 발생하게 된다. 따라서, 각 온도센서마다 극저온 환경에서의 동작특성을 모두 확인해야만 한다.
도 1은 일반적인 극저온 온도센서의 교정데이터 측정 방법을 설명하는 개략도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 교정데이터 측정 방법은 액체질소 또는 액체헬륨이 저장된 탱크(20)에 대상온도센서(S)가 들어있는 계측관(10)을 담그고, 계측관(10)의 내부를 극저온상태로 만든 후, 대상온도센서(S)에 전류를 공급하고 이에 따른 전압변화를 측정하여 대상온도센서(S)의 실제동작값과 교정데이터를 측정하게 된다.
그러나, 이와 같은 교정데이터 측정 방법은, 극저온 환경에서 국지적인 온도변화에 따라 대상온도센서(S)가 어떻게 동작하는지에 대한 특성은 확인할 수 없다. 다시 말해, 대상온도센서(S)에 대하여 극저온 상황에서의 단편적인 교정데이터만을 획득할 수 있을 뿐, 실제사용환경에서 발생될 수 있는 다양한 온도변화(예를 들어, 계측장치 등에서 발생되는 열에 의한 온도센서 주위의 온도변화)에 따른 교정데이터의 획득은 불가능하였다.
또한, 개방된 형태의 탱크(20) 구조로 인해 외부의 공기가 지속적으로 유입되어, 탱크(20)에 저장된 액체질소 또는 액체헬륨에 의해 얻어질 수 있는 온도 이하의 온도에 대한 교정데이터의 획득은 불가능하였다.
또한, 대상온도센서(S)를 측정하는 과정에서 탱크(20)에 저장된 액체질소 또는 액체헬륨의 증발이 발생할 뿐만 아니라, 일정시간 동안 측정할 수 있는 대상온도센서(S)의 개수에도 한계가 있었다.
더불어, 온도센서의 교정데이터를 측정하는 기술로, 일본공개공보 제2003-207397호 "자동 온도 센서 교정 시스템"이 있으나, 해당 기술은 작업자에 의하여 수동으로 이루어지는 측정과정을 자동화한 것에 불과하며, 극저온 상황에 대한 측정방법에 대해서는 기술하지 못하고 있다.
일본공개공보 제2003-207397호 "자동 온도 센서 교정 시스템"
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서, 본 발명은 극저온에서 사용되는 온도센서에 대하여 실제사용환경에서의 정확한 동작특성을 제공할 수 있는 교정데이터를 측정할 수 있는 극저온 온도센서 교정기를 제공하는데 목적이 있다.
특히, 본 발명은 극저온 환경에서 발생될 수 있는 온도변화를 적용하여 다양한 동작특성에 대한 교정데이터를 측정할 수 있도록 한 극저온 온도센서 교정기를 제공하는데 목적이 있다.
또한, 본 발명은 교정기의 외부와 내부를 밀폐하고, 내부를 극저온 상태로 유지함으로써, 액체헬륨에 의해 만들어질 수 있는 온도 이하의 온도에서도 극저온 온도센서에 대한 교정데이터를 획득할 수 있도록 함으로써, 보다 넓은 범위에서의 교정데이터 획득이 가능하도록 한 극저온 온도센서 교정기를 제공하는데 목적이 있다.
또한, 1회의 측정으로도 많은 개수의 극저온 온도센서에 대한 교정데이터를 획득할 수 있도록 한 극저온 온도센서 교정기를 제공하는데 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 따른 극저온 온도센서 교정기는, 외부에서 냉기를 공급받는 냉기공급모듈; 상기 냉기공급모듈의 하부에 구성되는 제1 케이스; 상기 제1 케이스의 내부에 구성되는 제2 케이스; 상기 냉기공급모듈의 하부에 결합되고 상기 제1 케이스 및 제2 케이스의 상부를 이어서 관통하여 고정되도록 설치되는 2중냉기공급구; 및 상기 2중냉기공급구의 하부에 결합되고 대상온도센서가 탈부착되며 일측에 히터가 구성되어 상기 대상온도센서의 측정온도를 상승 또는 하강시키는 측정온도조절구를 포함한다.
또한, 상기 2중냉기공급구는, 상기 제1 케이스의 내측상부와 상기 제2 케이스의 외측상부 사이에 구성되는 몸체; 상기 몸체의 하부에 연장되도록 구성되어 열교환부; 상기 열교환부의 하부에서 상기 제2 케이스의 내부로 이어져 구성되는 열전도부; 및 상기 상기 열전도부의 하부에 구성되는 냉기방출부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 열교환부는 상기 제2 케이스의 외측상부로 노출되도록 구성될 수 있다.
또한, 상기 몸체의 외주면에는 상기 제1 케이스의 외측상부면에 고정되는 고정판이 구성될 수 있다.
또한, 상기 열교환부의 외주면에는 상기 제2 케이스의 내측상부면이 걸려지는 적어도 하나의 걸림턱이 구성될 수 있다.
또한, 상기 제2 케이스의 외부면을 감싸도록 구성되는 단열커버를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 측정온도조절구는, 상기 2중냉기공급구의 하부에 결합되는 결합부; 상기 결합부의 하부면 중 적어도 일부가 하부로 연장되도록 구성되며 일측에 적어도 하나의 제1 삽입홈이 형성되는 고정본체; 및 상기 고정본체의 일측에 결합고정되며 상기 제1 삽입홈의 대응위치에 제2 삽입홈이 형성되는 본체덮개를 포함할 수 있다.
또한, 상기 측정온도조절구는, 상기 2중냉기공급구의 하부에 결합되는 결합부; 및 상기 결합부의 하부로 연장되도록 구성되며 외주면을 따라 복수 개의 삽입홀이 반복형성되는 본체를 포함할 수 있다.
상기와 같은 해결수단에 의해, 본 발명은 극저온에서 사용되는 온도센서에 대하여 극저온 환경에서의 정확한 동작특성을 제공할 뿐만 아니라, 극저온 환경에서 발생될 수 있는 온도변화를 적용하여 다양한 동작특성에 대하여 정밀한 교정데이터를 정확히 측정할 수 있는 장점이 있다.
또한, 동일제조방법에 의해 제조된 동일재질의 극저온 온도센서에 대하여, 각각의 극저온 온도센서에 대한 미세한 동작특성의 차이를 정확히 측정하여 교정데이터로 제공함으로써, 각각의 극저온 온도센서에 대한 신뢰성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명은 액체헬륨에 의해 만들어질 수 있는 온도 이하의 온도에서도 극저온 온도센서에 대한 교정데이터를 획득할 수 있도록 함으로써, 보다 넓은 범위에서의 교정데이터 획득이 가능해지는 장점이 있다.
또한, 1회의 측정으로도 많은 개수의 극저온 온도센서에 대한 교정데이터를 획득할 수 있도록 함으로써, 신속한 교정데이터의 획득이 가능해지도록 하는 효과가 있다.
따라서, 극저온 온도센서 분야 및 이를 이용하는 계측장비 분야에서 정밀한 계측정보를 제공할 수 있음은 물론, 제품의 신뢰성 및 경쟁력을 향상시킬 수 있다.
도 1은 일반적인 극저온 온도센서의 교정데이터 측정 방법을 설명하는 개략도이다.
도 2는 본 발명에 의한 극저온 온도센서 교정기를 설명하는 부분절개사시도이다.
도 3은 도 2의 부분확대도이다.
도 4는 도 2에 나타난 2중냉기공급구를 설명하는 사시도이다.
도 5는 도 2에 나타난 2중냉기공급구의 일 실시예와 그 기능을 설명하는 부분절개사시도이다.
도 6은 도 2에 나타난 2중냉기공급구의 다른 일 실시예와 그 기능을 설명하는 부분절개사시도이다.
도 7은 도 2에 나타난 측정온도조절구의 일 실시예를 설명하는 부분확대사시도이다.
도 8은 도 7에 나타난 측정온도조절구의 분해사시도이다.
도 9는 도 7에 나타난 측정온도조절구의 다른 일 실시예를 설명하는 부분확대사시도이다.
본 발명에 따른 극저온 온도센서 교정기에 대한 예는 다양하게 적용할 수 있으며, 이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 가장 바람직한 실시 예에 대해 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명에 의한 극저온 온도센서 교정기를 설명하는 부분절개사시도이다.
도 2를 참조하면, 극저온 온도센서 교정기(A)는 냉기공급모듈(100), 제1 케이스(200), 제2 케이스(300), 2중냉기공급구(400) 및 측정온도조절구(500)를 포함한다.
냉기공급모듈(100)은 외부에서 냉기를 공급받아 2중냉기공급구(400)로 유입시키며, 연결구(110)를 통해 외부의 냉각장치(도시하지 않음)와 연결될 수 있다. 여기서, 외부에서 공급되는 냉기는 'a'영역에서 열교환이 이루어지는 것이 바람직하다. 따라서, 외부 냉각장치의 증발기는 냉기공급모듈(100)의 내부 또는 냉기공급모듈(100)을 통과하여 도 4에 나타난 2중냉기공급구(400)의 냉기유입홀(411) 내부에 위치할 수 있다.
제1 케이스(200)는 냉기공급모듈(100)의 하부에 구성되고, 제2 케이스(300)는 제1 케이스의 내부에 구성된다.
또한, 제1 케이스(200)와 제2 케이스(300) 사이의 공간부(250) 및 제2 케이스(300)의 내부 공간부(350)는, 외부의 온도변화에 따른 영향을 방지하기 위한 단열효과를 향상시키기 위하여 진공상태로 유지하는 것이 바람직하다.
또한, 제2 케이스(300)의 외부면에는 단열커버(310)를 설치하여, 단열효과를 보다 더 향상시킬 수 있다. 이러한 단열커버(310)는 제1 케이스(200)의 외부면에도 더 설치될 수 있다.
2중냉기공급구(400)는 냉기공급모듈(100)의 하부에 결합되고, 제1 케이스(200) 및 제2 케이스(300)의 상부를 이어서 관통하여 고정되도록 설치된다. 예를 들어, 2중냉기공급구(400)는 도 4와 같이 구성될 수 있다.
측정온도조절구(500)는 2중냉기공급구(400)의 하부에 결합되어 대상온도센서(S)를 탈부착시킬 수 있도록 구성된다. 또한, 측정온도조절구(500)는 일측에 히터(510)가 구성된다. 따라서, 측정온도조절구(500)는 필요에 따라 대상온도센서(S)의 측정온도를 상승 또는 하강시킬 수 있다.
도 3은 도 2의 부분확대도이다.
도 3을 참조하면, 2중냉기공급구(400)는 몸체(410), 열교환부(420), 열전도부(430) 및 냉기방출부(440)를 포함할 수 있다.
2중냉기공급구(400)의 몸체(410)는 제1 케이스(200)의 내측상부와 제2 케이스(300)의 외측상부 사이에 위치하도록 구성될 수 있고, 2중냉기공급구(400)의 열전도부(430)는 제2 케이스(300)의 내측상부에 개방되도록 구성될 수 있다.
또한, 2중냉기공급구(400)의 열교환부(420)는 몸체(410)의 하부에 연장되도록 구성될 수 있다. 이때, 열교환부(420)에서 열교환된 온기(히터에 의해 발생되는 열) 중 일부가 다시 제2 케이스(300)의 내부로 유입되는 것을 방지할 필요가 있다.
따라서, 2중냉기공급구(400)의 열교환부(420)는 제2 케이스(300)의 외측상부로 노출되도록 구성됨이 바람직하다.
또한, 2중냉기공급구(400)의 몸체(410) 외주면에는, 제1 케이스(200)의 외측상부면에 고정되는 고정판(412)이 구성될 수 있고, 2중냉기공급구(400)의 열교환부(420)의 외주면에는, 제2 케이스(300)의 내측상부면이 걸려지는 걸림턱(421)이 구성될 수 있다. 여기서, 걸림턱(421)은 도 3 및 도 4에 나타난 바와 같이, 하나의 링 형태로 구성될 수 있으나 이에 한정하는 것은 아니며, 도 3 및 도 4에 나타난 걸림턱(421)을 다수개로 분할하여 돌기 형태로 구성할 수도 있다.
또한, 고정판(412) 및 걸림턱(421))은 제1 케이스(200) 및 제2 케이스(300)에 의해 구획되는 공간과의 밀폐성을 향상시키기 위하여, 각 구성들이 밀착고정되는 부분에 별도의 밀폐부재를 설치하여 고정결합될 수 있다.
도 4는 도 2에 나타난 2중냉기공급구를 설명하는 사시도이다.
도 4를 참조하면, 2중냉기공급구(400)의 몸체(410)는 중공의 냉기유입홀(411)이 상부로 개방되도록 형성되며, 냉기유입홀(411)을 통해 냉기를 공급받고 온기를 배출한다. 여기서, 냉기는 외부의 냉각장치(도시하지 않음)에서 공급되는 냉기를 포함할 수 있다. 예를 들어, 외부 냉각장치의 증발기가 냉기유입홀(411)의 내부에 구성될 수 있다. 또한, 온기는 도 2에 나타난 히터(510)에서 발생되는 열을 포함할 수 있다.
2중냉기공급구(400)의 열교환부(420)는 몸체(410)의 하부에 연장되도록 구성되어, 냉기유입홀(411)로 유입되는 냉기와 온기를 열교환한다. 여기서, 열교환은 열교환부(420)의 상부면 중 냉기유입홀(411)의 내부와 이어지는 부분에서 이루어질 수 있다.
또한, 열교환부(420)는 효율적인 열교환을 위하여, 열교환부(420)에 상부로 개방되는 다수의 홀 또는 슬릿을 형성함으로써, 냉기유입홀(411)과 접촉되는 면적을 증가시킬 수 있다.
열전도부(430)는 열교환부(420)의 하부에 연장되도록 구성되어, 열교환부(420)에서 열교환된 냉기를 하부로 이동시키고 온기를 열교환부(420)로 이동시킨다. 이때, 열전도부(430)는 열전도현상에 의해 냉기와 온기를 이동시키므로, 열전도도가 높은 재질로 구성될 수 있다.
냉기방출부(440)는 열전도부(430)의 하부에 구성되어, 열전도부(430)를 통해 공급되는 냉기를 측정온도조절구(500)로 공급하고 히터(510)에서 발생되는 온기를 흡수하여 열전도부(430)로 이동시킨다.
도 4에서, 2중냉기공급구(400)는 크게 냉기유입구간(S1), 열전도구간(S2) 및 냉기공급구간(S3)으로 구분할 수 있으며, 각 구간은 밀폐된 제1 케이스(200) 및 제2 케이스(300)에 의해 구획될 수 있다.
또한, 각각의 케이스들과의 밀폐성을 향상시키기 위하여, 몸체(410)의 외주면 일측(예를 들어, 상측종단)에는 고정판(412)을 구성할 수 있고, 열교환부(420)의 외주면 일측(예를 들어, 하측)에는 걸림턱(421)을 구성할 수 있다.
도 5는 도 2에 나타난 2중냉기공급구의 일 실시예와 그 기능을 설명하는 부분절개사시도이다.
도 5를 참조하면, 2중냉기공급구(400)의 몸체(410), 열교환부(420), 열전도부(430) 및 냉기방출부(440)가 일체로 구성될 수 있다.
도 5에서, 냉기가 공급되는 흐름을 살펴보면, 냉기는 냉기유입홀(411)을 따라 하부로 이동한 후, 열교환부(420)와 열전도부(430)를 이동하여 냉기방출부(440)의 하부로 방출될 수 있다.
또한, 히터(510)에 의해 발생되는 열의 배출흐름은, 냉기에 역순하며 냉기방출부(440) 및 열교환부(420)에서 각각 열교환이 이루어질 수 있다.
한편, 측정온도조절구(500)를 이용하여 온도를 상승 및 하강시킴에 있어서, 히터(510)에 의해 상승된 온도를 신속하게 낮출 필요가 있다. 따라서, 외부에서 공급되는 냉기를 보다 신속하고 효율적으로 측정온도절구(500)에 공급할 수 있도록 할 필요가 있다.
도 6은 도 2에 나타난 2중냉기공급구의 다른 일 실시예와 그 기능을 설명하는 부분절개사시도이다.
도 6을 참조하면, 2중냉기공급구(400)의 몸체(410), 열교환부(420), 열전도부(430) 및 냉기방출부(440)를 일체로 구성하면서, 열교환부(420), 열전도부(430) 및 냉기방출부(440)의 중심축을 따라 열전도부재(450)를 구성할 수 있다.
바람직하게는, 열전도부재(450)의 상부는 냉기유입홀(411)의 하부에 노출되도록 구성할 수 있고, 열전도부재(450)의 하부는 냉기방출부(440)의 하부에 노출되어 측정온도조절구(500)와 연결되도록 구성할 수 있다.
또한, 열전도부재(450) 및 측정온도조절구(500)를 열전도도가 높은 동일재질로 구성할 수 있으며, 이러한 경우에는 열전도부재(450) 및 측정온도조절구(500)를 일체로 구성할 수 있다. 여기서, 열전도도가 높은 재질은 무산소 고전도동(OFHC, Oxygen Free High Conductivity Copper)을 포함할 수 있다.
도 7은 도 2에 나타난 측정온도조절구의 일 실시예를 설명하는 부분확대사시도이고, 도 8은 도 7에 나타난 측정온도조절구의 분해사시도이다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 측정온도조절구(500)는 히터(510), 결합부(520), 고정본체(530) 및 본체덮개(540)을 포함할 수 있다.
히터(510)는 측정온도조절구(500)의 일측에 설치되어 측정온도조절구(500)에 열을 공급한다. 예를 들어, 히터(510)는 측정온도조절구(500)에 감겨져 구성되는 열선을 포함할 수 있다. 이때, 히터(510)에 전기에너지를 공급하는 구성은 당업자의 요구에 따라 다양하게 변경될 수 있으므로, 특정한 구성에 한정하지 않음은 당연하다.
결합부(520)는 2중냉기공급구(400)의 하부, 보다 구체적으로는 2중냉기공급구(400)의 냉기방출부(440)의 하부에 결합될 수 있다. 도 8에서, 결합부(520)의 상부는 평면으로 나타내었으나, 냉기방출부(440)와 결합되도록 하기 위한 결합수단 등이 추가로 구성될 수 있다.
고정본체(530)는 결합부(520)의 하부면 중 적어도 일부가 하부로 연장되도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 도 8에 나타난 바와 같이, 결합부(520)가 원형으로 형성된 경우, 고정본체(530)는 반구형 기둥으로 형성될 수 있다. 다시 말해, 결합부(520)의 형상에서 일부를 절단한 단면을 갖는 기둥형으로 형성될 수 있다.
이때, 고정본체(530)의 단면부(533)에는 적어도 하나의 제1 삽입홈(531)이 형성될 수 있다.
본체덮개(540)는 고정본체(530)의 일측인 단면부에 결합고정되며, 본체덮개(540)의 결합면(543)에는 제1 삽입홈(531)의 대응위치에 제2 삽입홈(541)이 형성될 수 있다.
이와 같이 형성된 제1 삽입홈(531) 및 제2 삽입홈(541)에 의해 형성되는 홀에 대상온도센서(S)가 삽입될 수 있다. 또한, 대상온도센서(S)에 전류를 공급하고 전압을 측정하는 구성과 이러한 교정데이터를 취합 및 관리하고 필요에 따라 제공하는 구성은 당업자에 의해 다양한 변형이 가능하므로, 특정한 것에 한정하지 않는다.
또한, 고정본체(530)의 단면부(533)에는 적어도 하나의 결합홀(532)을 형성할 수 있고, 본체덮개(540)에는 결합홀(532)에 연장되도록 결합공(542)을 형성할 수 있으며, 나사 등의 결합부재(550)를 결합공(542) 및 결합홀(532)에 결합함으로써, 본체덮개(540)를 고정본체(530)에 고정시킬 수 있다.
도 9는 도 7에 나타난 측정온도조절구의 다른 일 실시예를 설명하는 부분확대사시도이다.
도 9를 참조하면, 측정온도조절구(500)는 히터(510), 2중냉기공급구(400)의 하부에 결합되는 결합부(520) 및 결합부(520)의 하부로 연장되도록 구성되며 외주면을 따라 복수 개의 삽입홀(561)이 반복형성되는 본체(560)를 포함할 수 있다.
도 9에 나타난 측정온도조절구(500)는 도 8에 나타난 측정온도조절구(500)에 비하여, 1회 측정가능한 대상온도선서(S)의 개수가 많다는 장점이 있으나, 대상온도센서(S)의 종류나 재질에 따라 삽입홀(561)에 탈삽입하는 과정에서 대상온도선서(S)에 손상을 발생시키는 경우가 있을 수 있다.
따라서, 측정온도조절구(500)를 도 8 또는 도 9와 같이 구성하는 것은, 대상온도센서(S)의 종류나 재질, 1회 측정개수, 교정데이터를 수집하는 온도범위 등에 따라 당업자에 의해 선택적으로 적용될 수 있음은 물론이다.
또한, 대상온도센서(S)의 특성에 따라 제1 삽입홈(531)과 제2 삽입홈(541) 및 삽입홀(561)의 간격이 조절될 수 있다.
이상에서 본 발명에 의한 극저온 온도센서 교정기에 대하여 설명하였다. 이러한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며, 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 전술한 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지는 것이므로, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
A : 극저온 온도센서 교정기
100 : 냉기공급모듈 110 : 연결구
200 : 제1 케이스
300 : 제2 케이스 310 : 단열커버
400 : 2중냉기공급구
410 : 몸체 411 : 냉기유입홀
412 : 고정판
420 : 열교환부 421 : 걸림턱
430 : 열전도부 440 : 냉기방출부
500 : 측정온도조절구
510 : 히터 520 : 결합부
530 : 고정본체 531 : 제1 삽입홈
540 : 본체덮개 541 : 제2 삽입홈
550 : 결합부재
560 : 본체 561 : 삽입홀

Claims (8)

  1. 외부에서 냉기를 공급받는 냉기공급모듈;
    상기 냉기공급모듈의 하부에 구성되는 제1 케이스;
    상기 제1 케이스의 내부에 구성되는 제2 케이스;
    상기 냉기공급모듈의 하부에 결합되고 상기 제1 케이스 및 제2 케이스의 상부를 이어서 관통하여 고정되도록 설치되는 2중냉기공급구; 및
    상기 2중냉기공급구의 하부에 결합되고 대상온도센서가 탈부착되며 일측에 히터가 구성되어 상기 대상온도센서의 측정온도를 상승 또는 하강시키는 측정온도조절구를 포함하고,
    상기 2중냉기공급구는,
    상기 제1 케이스의 내측상부와 상기 제2 케이스의 외측상부 사이에 구성되는 몸체;
    상기 몸체의 하부에 연장되도록 구성되어 열교환부;
    상기 열교환부의 하부에서 상기 제2 케이스의 내부로 이어져 구성되는 열전도부; 및
    상기 상기 열전도부의 하부에 구성되는 냉기방출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 온도센서 교정기.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 열교환부는 상기 제2 케이스의 외측상부로 노출되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 극저온 온도센서 교정기.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 몸체의 외주면에는 상기 제1 케이스의 외측상부면에 고정되는 고정판이 구성되는 것을 특징으로 하는 극저온 온도센서 교정기.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 열교환부의 외주면에는 상기 제2 케이스의 내측상부면이 걸려지는 적어도 하나의 걸림턱이 구성되는 것을 특징으로 하는 극저온 온도센서 교정기.
  6. 제 1항, 제 3항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 케이스의 외부면을 감싸도록 구성되는 단열커버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 온도센서 교정기.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 측정온도조절구는,
    상기 2중냉기공급구의 하부에 결합되는 결합부;
    상기 결합부의 하부면 중 적어도 일부가 하부로 연장되도록 구성되며 일측에 적어도 하나의 제1 삽입홈이 형성되는 고정본체; 및
    상기 고정본체의 일측에 결합고정되며 상기 제1 삽입홈의 대응위치에 제2 삽입홈이 형성되는 본체덮개를 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 온도센서 교정기.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 측정온도조절구는,
    상기 2중냉기공급구의 하부에 결합되는 결합부; 및
    상기 결합부의 하부로 연장되도록 구성되며 외주면을 따라 복수 개의 삽입홀이 반복형성되는 본체를 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 온도센서 교정기.
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