KR101344924B1 - 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 - Google Patents

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 Download PDF

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Abstract

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법이 개시된다. 본 발명의 실시예에 따르면 기판 처리 장치에 있어서, 로딩/언로딩유닛과; 기판 처리 공정이 진행되는 공정유닛과; 상기 로딩/언로딩유닛과 상기 공정유닛 사이에 배치되는 로드락유닛과; 상기 공정유닛과 상기 로드락유닛 간에 기판을 이송하는 반송부재를 포함하고, 상기 로딩/언로딩유닛은, 기판 반송대와; 상기 기판 반송대의 측부에서 상기 기판 반송대와 나란하게 배치되고, 공정 진행시 기판들이 놓이는 트레이가 위치하는 트레이 지지대와; 상기 기판 반송대에 놓인 상기 기판들을 상기 트레이 지지대에 놓인 상기 트레이 상으로 반송하는 반송 로봇을 포함하되, 상기 반송 로봇은 상기 트레이를 세정하는 세정 부재를 가지고, 상기 로딩/언로딩유닛, 상기 로드락유닛, 그리고 상기 공정유닛은 순차적으로 배치된다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법{SUBSTRATE TREATING APPARATUS AND SUBSTRATE TREATING METHOD}
본 발명은 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판이 놓이는 트레이의 세정 효율이 향상된 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것이다.
태양 전지(Solar Cell)는 반도체의 성질을 이용하여 빛 에너지를 전기 에너지로 변환시키는 장치이다. 이러한 태양 전지는 그 종류에 따라 단결정 실리콘 태양 전지, 다결정 실리콘 태양 전지, 박막 태양 전지(thin-film solar cells) 등으로 분류된다.
박막계 태양 전지는 유리나 플라스틱 재질의 투명 기판에 p 막, i 막, n 막을 증착하여 제조되고, 결정계 태양 전지는 실리콘 기판상에 반사 방지막을 증착하여 제조되며, 이러한 막들은 플라즈마를 이용한 화학 기상 증착(PECVD) 공정에 의해 기판상에 증착될 수 있다. 한편, 이와 같은 화학 기상 증착(PECVD) 공정 처리를 위해 기판을 처리 설비로 반송할 때, 이송 로봇으로 복수 매의 기판을 트레이 상에 놓고, 처리 설비 내로 이러한 트레이를 이송시키면서 기판들에 상술한 화학 기상 증착(PECVD) 공정을 수행하는 바, 기판들을 트레이 상에 놓기 전, 트레이 상에 존재하는 파티클(Particle) 등의 이물질을 제거하는 것이 매우 중요하다. 특허문헌 1에서는 송풍부와 흡입부를 가진 블로어 장치를 개시하고 있다. 그러나, 특허문헌 1에 개시된 블로어 장치의 송풍부와 흡입부는 웨이퍼의 상측으로 일정 높이 이격배치되어 웨이퍼의 표면에 착상하려는 파티클들을 제거하기 위한 것이므로, 트레이 상에 존재하는 파티클 등의 이물질을 제거하기에는 부적합하다.
특허문헌 1 : 한국공개특허 10-2006-0135228 (2006. 12. 29. 공개)
본 발명의 실시예들은 기판을 반송하는 로봇에 세정 부재를 제공하고자 한다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판 처리 장치에 있어서, 로딩/언로딩유닛과; 기판 처리 공정이 진행되는 공정유닛과; 상기 로딩/언로딩유닛과 상기 공정유닛 사이에 배치되는 로드락유닛과; 상기 공정유닛과 상기 로드락유닛 간에 기판을 이송하는 반송부재를 포함하고, 상기 로딩/언로딩유닛은, 기판 반송대와; 상기 기판 반송대의 측부에서 상기 기판 반송대와 나란하게 배치되고, 공정 진행시 기판들이 놓이는 트레이가 위치하는 트레이 지지대와; 상기 기판 반송대에 놓인 상기 기판들을 상기 트레이 지지대에 놓인 상기 트레이 상으로 반송하는 반송 로봇을 포함하되, 상기 반송 로봇은 상기 트레이를 세정하는 세정 부재를 가지고, 상기 로딩/언로딩유닛, 상기 로드락유닛, 그리고 상기 공정유닛은 순차적으로 배치되는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 반송 로봇은, 상기 트레이의 길이 방향을 따라 복수 개 제공되며 상기 기판을 흡착하는 흡착 패드와; 상기 흡착 패드로 진공을 인가하도록 감압 부재가 연결된 제1라인과; 상기 제1라인으로부터 분기되며 세정용 가스를 공급하는 가스 공급원과 연결된 제2라인을 포함하는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 반송 로봇은, 상기 트레이의 길이 방향을 따라 복수 개 제공되며 상기 트레이 상으로 세정용 가스를 토출하는 노즐 부재와; 상기 노즐 부재에 연결된 가스 공급 라인과; 상기 가스 공급 라인에 연결되며, 상기 노즐 부재로 상기 세정용 가스를 공급하는 가스 공급원을 포함하는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 반송 로봇은, 상기 트레이의 길이 방향을 따라 복수 개 제공되며 상기 기판을 흡착하는 흡착 패드를 더 포함하는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 노즐 부재는, 상기 가스 공급 라인이 연결되는 몸체부와; 상기 몸체부에 연통하도록 결합되고, 상기 세정용 가스가 토출되는 토출구가 형성된 노즐을 포함하는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 노즐은, 상기 토출구가 수직 하방향에서 세정 공정 진행 방향으로 25도 내지 35도 각도로 경사지도록 제공된 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 노즐은, 상기 몸체부의 양 단부에 각각 제공되는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 노즐은, 상기 토출구가 제공된 방향으로 갈수록 횡방향 폭이 점차 증가하도록 제공된 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판 반송대와; 상기 기판 반송대의 측부에서 상기 기판 반송대와 나란하게 배치되고, 공정 진행시 기판들이 놓이는 트레이가 위치하는 트레이 지지대와; 상기 기판 반송대에 놓인 상기 기판들을 상기 트레이 지지대에 놓인 상기 트레이 상으로 반송하는 반송 로봇을 포함하되, 상기 반송 로봇은 상기 트레이를 세정하는 세정 부재를 가지는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 반송 로봇은, 상기 트레이의 길이 방향을 따라 복수 개 제공되며 상기 기판을 흡착하는 흡착 패드와; 상기 흡착 패드로 진공을 인가하도록 감압 부재가 연결된 제1라인과; 상기 제1라인으로부터 분기되며 세정용 가스를 공급하는 가스 공급원과 연결된 제2라인을 포함하는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 반송 로봇은, 상기 트레이의 길이 방향을 따라 복수 개 제공되며 상기 트레이 상으로 세정용 가스를 토출하는 노즐 부재와; 상기 노즐 부재에 연결된 가스 공급 라인과; 상기 가스 공급 라인에 연결되며, 상기 노즐 부재로 상기 세정용 가스를 공급하는 가스 공급원을 포함하는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 반송 로봇은, 상기 트레이의 길이 방향을 따라 복수 개 제공되며 상기 기판을 흡착하는 흡착 패드를 더 포함하는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 노즐 부재는, 상기 가스 공급 라인이 연결되는 몸체부와; 상기 몸체부에 연통하도록 결합되고, 상기 세정용 가스가 토출되는 토출구가 형성된 노즐을 포함하는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 노즐은, 상기 토출구가 수직 하방향에서 세정 공정 진행 방향으로 25도 내지 35도 각도로 경사지도록 제공된 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 노즐은, 상기 몸체부의 양 단부에 각각 제공되는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 노즐은, 상기 토출구가 제공된 방향으로 갈수록 횡방향 폭이 점차 증가하도록 제공된 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 기판 반송대에 놓인 기판을 반송 로봇을 이용하여 트레이 지지대에 놓인 트레이 상으로 반송하되, 상기 트레이로 기판을 반송하기 전에 상기 반송 로봇으로부터 세정용 가스를 공급하여 상기 트레이를 세정하는 기판 처리 방법이 제공될 수 있다.
또한, 상기 반송 로봇은, 상기 기판을 진공 흡착하는 흡착 패드를 가지고, 상기 세정용 가스는 상기 흡착 패드를 통해 상기 트레이 상으로 토출되며 상기 트레이를 세정하는 기판 처리 방법이 제공될 수 있다.
또한, 상기 반송 로봇은, 노즐 부재를 가지고, 상기 세정용 가스는 상기 노즐 부재를 통해 상기 트레이 상으로 토출되며 상기 트레이를 세정하는 기판 처리 방법이 제공될 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 기판을 반송하는 로봇에 세정 부재를 제공하여 기판들이 놓이는 트레이의 전체 면적을 신속히 세정할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비의 배치도이다.
도 2는 도 1의 로딩/언로딩유닛의 평면배치도이다.
도 3은 도 2의 카세트로딩컨베이어부를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 2의 제1기판반송로봇의 일 예를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 4의 세정 부재로 트레이를 세정하는 과정을 보여주는 도면이다.
도 6은 도 2의 제1기판반송로봇의 다른 예를 나타낸 도면이다.
도 7과 도 8은 도 6의 노즐 부재를 보여주는 도면이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 상세히 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비의 배치도이다.
기판 처리 설비(1)는 로딩/언로딩유닛(10), 로드락유닛(20), 그리고 공정유닛(30)을 포함한다. 로딩/언로딩유닛(10)은 트레이(T)에 기판(S)을 로딩하거나, 트레이(T)로부터 기판(S)을 언로딩한다. 로드락유닛(20)은 대기압 상태의 로딩/언로딩유닛(10)과 진공 상태의 공정유닛(30) 사이에서 트레이(T)를 반송한다. 공정유닛(30)에서는 기판에 P형 또는 N형 반도체층, 반사방지막, 전극 등의 박막을 증착하는 공정이 진공 상태에서 진행된다. 로딩/언로딩유닛(10), 로드락유닛(20), 그리고 공정유닛(30)은 순차적으로 일렬로 배치된다. 이하, 로딩/언로딩유닛(10), 로드락유닛(20), 그리고 공정유닛(30)이 배열된 방향을 제1방향(Ⅰ)이라 하고, 상측에서 보았을 때 제1방향(Ⅰ)과 수직인 방향을 제2방향(Ⅱ)이라 하며, 제1방향(Ⅰ)과 제2방향(Ⅱ)에 모두 수직인 방향을 제3방향(Ⅲ)이라 한다. 도 1의 기판 처리 설비(1)에서 기판(S)이 적재된 트레이(T)는 반송유닛(610), 제1이송모듈(21), 로딩모듈(1000), 언로딩모듈(1100), 제2이송모듈(23), 그리고 반송유닛(620)의 순서로 이송된다. 청구항에 따라 제1이송모듈(21), 로딩모듈(1000), 언로딩모듈(1100), 그리고 제2이송모듈(23)은 반송부재로 표현된다.
도 2는 도 1의 로딩/언로딩유닛의 평면배치도이다.
도 1과 도 2를 참조하면, 로딩/언로딩유닛(10)은 카세트로딩컨베이어부(100a), 제1카세트엘리베이터(200a), 기판반입부(300a), 기판로딩컨베이어부(400a), 제1기판반송로봇(500a), 트레이지지대(600), 카세트언로딩컨베이어부(100b), 제2카세트엘리베이터(200b), 기판반출부(300b), 기판언로딩컨베이어부(400b), 그리고 제2기판반송로봇(500b)을 포함한다. 한편, 청구항에 따라 제1기판반송로봇(500a)과 제2기판반송로봇(500b)은 반송 로봇으로, 기판로딩컨베이어부(400a)와 기판언로딩컨베이어부(400b)는 기판 반송대로 표현될 수 있다.
도 2를 참고하여 로딩/언로딩유닛에서 기판이 로딩/언로딩되는 과정을 설명하면 다음과 같다.
제2기판반송로봇(500b)은 트레이 지지대(600)의 상측의 반송유닛(610)에 대기하는 트레이(T)의 제1행에 일렬로 배열된 10장의 기판(S)을 픽업하여, 기판언로딩컨베이어부(400b)로 이송한다. 이와 동시에, 제1기판반송로봇(500a)은 제2기판반송로봇(500b)의 기판(S) 언로딩 동작과 연계하여 기판로딩컨베이어부(400a)에 나열된 10장의 기판(S)을 픽업하여(제2기판반송로봇(500b)이 트레이로부터 기판(S)을 픽업하는 시점) 제2기판반송로봇(500b)의 기판(S) 언로딩 작업에 의해 비어 있는 트레이(T)의 제1행으로 이송한다. 제1기판반송로봇(500a)과 제2기판반송로봇(500b)은 동시에 기판(S)의 로딩과 언로딩을 수행할 수 있다. 이와 달리 제1기판반송로봇(500a)과 제2기판반송로봇(500b)은 개별 동작으로 기판(S)의 로딩과 언로딩을 수행할 수 있다.
도 3은 도 2의 카세트로딩컨베이어부를 설명하기 위한 도면이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 카세트로딩컨베이어부(100a)는 상단컨베이어(110)와 하단컨베이어(120)를 갖는다. 상단컨베이어(110)에는 기판(S)들이 적재된 카세트(C)들이 놓인다. 하단컨베이어(120)에는 빈 카세트(C)들이 놓인다. 상단컨베이어(110)는 공정처리를 위한 기판(S)들이 적재된 카세트(C)를 제1카세트엘리베이터(200a)로 공급한다. 하단컨베이어(120)는 빈 카세트(C)를 제1카세트엘리베이터(200a)로부터 공급받는다. 카세트언로딩컨베이어부(100b)는 빈 카세트(C)들을 제2카세트엘리베이터(200b)로 공급하고, 제2카세트엘리베이터(200b)에서 공정을 마친 기판(S)들의 적재 작업이 완료된 카세트(C)를 공급받는다. 카세트언로딩컨베이어부(100b)는 카세트로딩컨베이어부(100a)와 동일한 구조를 갖는다.
제1카세트엘리베이터(200a)는 기판반입부(300a)와 연계하여, 기판반입부(300a)에서 카세트(C)로부터 기판(S)을 반출할 때 카세트(C)를 승강시킨다. 제2카세트엘리베이터(200b)는 기판반출부(300b)와 연계하여, 기판반출부(300b)에서 기판(S)을 카세트(C)로 반입할 때 카세트(C)를 승강시킨다. 제2카세트엘리베이터(200b)는 제1카세트엘리베이터(200a)와 동일한 구조를 갖는다.
기판반입부(300a)와 기판반출부(300b)는 동일한 구조를 갖는다. 다만, 기판반입부(300a)는 카세트(C)로부터 기판(S)을 인출하여 기판로딩컨베이어부(400a)로 제공한다. 그리고 기판반출부(300b)는 기판반입부(300a)와는 반대 동작으로 기판언로딩컨베이어부(400a)로부터 기판(S)을 가져와서 카세트(C)로 제공한다.
도 4는 도 2의 제1기판반송로봇의 일 예를 나타낸 도면이다.
도 2 및 도 4를 참조하면, 제1기판반송로봇(500a)은 이송레일(510), 이동프레임(520), 척유닛, 그리고 세정 부재를 포함한다. 이송레일(510)은 트레이 지지대(600)의 상부의 양측에 설치된다. 이동프레임(520)은 이송레일(510)을 따라 제2방향(Ⅱ)으로 이동가능하게 설치된다. 척유닛은 이동프레임(520) 상에 설치된다. 척유닛은 베르누이척(550), 지지프레임(540), 그리고 승강구동부(530)를 포함한다. 베르누이척(550)은 흡착 패드(SP)를 갖는다. 베르누이척(550)은 베르누이의 원리에 의해 기판의 상면을 비접촉 상태에서 홀딩한다. 베르누이척(550)은 10개가 제공될 수 있다. 베르누이척(550)의 흡착 패드(SP)는 제1라인(L1)과 연결된다. 제1라인(L1)은 흡착 패드(SP)로 진공을 인가하는 감압 부재(560)와 연결된다. 지지프레임(540)에는 베르누이척(550)들이 장착된다. 승강구동부(530)는 지지프레임(540)을 제3방향(Ⅲ)으로 업다운시킨다. 제2라인(L2)은 제1라인(L1)으로부터 분기된다. 제2라인(L2)은 가스 공급원(570)과 연결된다. 가스 공급원(570)은 제2라인(L2)으로 세정용 가스를 공급한다. 실시예로, 세정용 가스는 질소(N2) 가스일 수 있다. 도 4에서 세정 부재는 베르누이척(550), 제2라인(L2), 그리고 가스 공급원(570)으로 제공된다.
도 5는 도 4의 세정 부재로 트레이를 세정하는 과정을 보여주는 도면이다.
도 5를 참고하면, 가스 공급원(570)으로부터 공급된 세정용 가스는 베르누이척(550)의 흡착 패드(SP)를 통해 토출되면서 트레이(T) 상의 파티클(Particle)을 제거한다.
도 6은 도 2의 제1기판반송로봇의 다른 예를 나타낸 도면이다.
도 6을 참고하면, 제1기판반송로봇(500a')은 이송레일(510'), 이동프레임(520'), 척유닛, 그리고 세정 부재를 포함한다. 이송레일(510'), 이동프레임(520')은 각각 도 4의 이송레일(510), 이동프레임(520')과 유사한 구조를 가진다. 척유닛은 베르누이척(550'), 지지프레임(540'), 그리고 승강구동부(530')를 포함한다. 지지프레임(540'), 승강구동부(530')는 각각 도 4의 지지프레임(540), 승강구동부(530)와 유사하다. 노즐 부재(580)는 트레이(T)의 길이 방향을 따라 복수 개 제공된다. 노즐 부재(580)는 트레이(T) 상으로 세정용 가스를 토출한다.
도 7과 도 8은 도 6의 노즐 부재를 보여주는 도면이다.
도 7과 도 8을 참고하면, 노즐 부재(580)는 몸체부(581)와 노즐(583)을 포함한다. 몸체부(581)에는 가스 공급 라인(GL)이 연결된다. 가스 공급원(570')은 가스 공급 라인(GL)에 연결되며, 노즐 부재(580)의 몸체부(581)로 세정용 가스를 공급한다. 가스 공급 라인(GL) 상에는 각각의 노즐 부재(580)로 공급되는 세정용 가스를 조절하는 밸브들(미도시)이 제공될 수 있다. 몸체부(581)는 중공의 박스 형상일 수 있다. 노즐(583)은 몸체부(581)에 연통하도록 결합된다. 노즐(583)은 토출구(583a)가 수직 하방향에서 세정 공정 진행 방향으로 소정 각도(θ') 경사지도록 제공된다. 실시예로, 노즐(583)은 25도 내지 35도 각도로 경사질 수 있다. 노즐(583)은 몸체부(581)이 양 단부에 각각 제공될 수도 있다. 노즐(583)은 토출구(583a)가 제공된 방향으로 갈수록 횡방향 폭이 점차 증가하도록 제공될 수 있다. 실시예로, 노즐(583)의 토출구(583a)의 폭이 증가하는 각도(θ)는 35도 내지 40도 각도일 수 있다.
한편, 제1기판반송로봇(500a)으로 트레이(T) 상의 파티클 등 이물질을 제거하는 방법으로, 베르누이척(550)의 흡착 패드(SP, 도 4 참조)로 트레이(T) 상의 파티클 등 이물질을 흡입하여 제거할 수도 있다.
그리고, 상술한 제1기판반송로봇(500a)의 구성은 제2기판반송로봇(500b)에 동일하게 적용될 수 있다. 또한, 상술한 바와 같이 세정용 가스를 이용하여 트레이(T)를 세정하는 공정은 트레이(T)로 기판(S)을 반송하기 전에 수행될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 로드락유닛(20)은 로딩/언로딩유닛(10)과 공정유닛(30) 사이에 배치된다. 로드락유닛(20)은 내부에 구획벽(26)을 갖는다. 구획벽(26)은 제3방향(Ⅰ)에 수직하게 제공된다. 구획벽(26)은 로드락유닛(20)을 제1처리공간(20a)과 제2처리공간(20b)으로 구획한다. 제1처리공간(20a)과 로딩/언로딩유닛(10)의 사이, 그리고 제2처리공간(20b)과 로딩/언로딩유닛(10)의 사이에는 기판(S)이 적재된 트레이(T)의 이동통로(미도시)가 제공된다. 이동통로는 게이트밸브(25a,25b)에 의해 개폐된다. 또한, 제1처리공간(20a)과 공정유닛(30)의 사이, 그리고 제2처리공간(20b)과 공정유닛(30)의 사이에는 기판(S)이 적재된 트레이(T)의 이동통로(미도시)가 제공된다. 이동통로는 게이트밸브(35a,35b)에 의해 개폐된다.
제1이송모듈(21)은 로드락유닛(20)의 제1처리공간(20a) 내에 제공된다. 제1이송모듈(21)은 롤러(21a), 회전축(21b), 그리고 회전축(21b)을 회전시키는 구동부(미도시)을 갖는다. 제1이송모듈(21)은 로딩/언로딩유닛(10)의 반송유닛(610)으로부터 기판(S)이 적재된 트레이(T)를 이송받아 공정유닛(30)의 로딩모듈(1000)로 전송한다.
제2이송모듈(23)은 로드락유닛(20)의 제2처리공간(20b) 내에 제공된다. 제2이송모듈(23)은 롤러(23a), 회전축(23b), 그리고 회전축(23b)를 회전시키는 구동부(미도시)를 갖는다. 제2이송모듈(23)은 공정유닛(30) 내의 언로딩모듈(1100)로부터 기판(S)이 적재된 트레이(T)를 이송받아 로딩/언로딩유닛(10)의 반송유닛(620)으로 전송한다. 제1처리공간(20a) 내에서 제1이송모듈(21)의 상하에는 히터들(24a,24b)이 제공된다. 기판(S)이 적재된 트레이(T)가 로딩/언로딩유닛(10)의 반송유닛(610)으로부터 로드락유닛(20)의 제1이송모듈(21)로 전송되면, 게이트밸브들(25a,35a)이 닫힌 상태에서 제1처리공간(20a)의 내부는 공정유닛(30) 내의 공정온도 및 공정압력과 동일하게 전환된다. 이 후, 게이트밸브(35a)가 열리면 제1처리공간(20a) 내의 제1이송모듈(21)이 트레이(T)를 공정유닛(30)의 로딩모듈(1000)로 전송한다. 한편, 공정처리된 기판(S)이 적재된 트레이(T)가 공정유닛(30)으로부터 로드락유닛(20)의 제2처리공간(20b) 내로 이송되면, 게이트밸브들(25b,35b)이 닫힌 상태에서 제2처리공간(20b)의 내부는 로딩/언로딩유닛(10) 내의 온도(상온) 및 압력(대기압)과 동일하게 전환된다. 이 후, 게이트밸브(25b)가 열리면 제2처리공간(20b) 내의 제2이송모듈(23)이 트레이(T)를 로딩/언로딩유닛(10) 내의 반송유닛(620)으로 전송한다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다.
따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
** 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 **
1 : 기판 처리 설비
10 : 로딩/언로딩유닛
20 : 로드락유닛
30 : 공정유닛
560 : 감압 부재
570,570' : 가스 공급원

Claims (19)

  1. 기판 처리 장치에 있어서,
    로딩/언로딩유닛과;
    기판 처리 공정이 진행되는 공정유닛과;
    상기 로딩/언로딩유닛과 상기 공정유닛 사이에 배치되는 로드락유닛과;
    상기 공정유닛과 상기 로드락유닛 간에 기판을 이송하는 반송부재를 포함하고,
    상기 로딩/언로딩유닛은,
    기판 반송대와;
    상기 기판 반송대의 측부에서 상기 기판 반송대와 나란하게 배치되고, 공정 진행시 기판들이 놓이는 트레이가 위치하는 트레이 지지대와;
    상기 기판 반송대에 놓인 상기 기판들을 상기 트레이 지지대에 놓인 상기 트레이 상으로 반송하는 반송 로봇을 포함하되,
    상기 반송 로봇은 상기 트레이를 세정하는 세정 부재를 가지고,
    상기 로딩/언로딩유닛, 상기 로드락유닛, 그리고 상기 공정유닛은 순차적으로 배치되는 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 반송 로봇은, 상기 트레이의 길이 방향을 따라 복수 개 제공되며 상기 기판을 흡착하는 흡착 패드와;
    상기 흡착 패드로 진공을 인가하도록 감압 부재가 연결된 제1라인과;
    상기 제1라인으로부터 분기되며 세정용 가스를 공급하는 가스 공급원과 연결된 제2라인을 포함하는 기판 처리 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 반송 로봇은, 상기 트레이의 길이 방향을 따라 복수 개 제공되며 상기 트레이 상으로 세정용 가스를 토출하는 노즐 부재와;
    상기 노즐 부재에 연결된 가스 공급 라인과;
    상기 가스 공급 라인에 연결되며, 상기 노즐 부재로 상기 세정용 가스를 공급하는 가스 공급원을 포함하는 기판 처리 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 반송 로봇은, 상기 트레이의 길이 방향을 따라 복수 개 제공되며 상기 기판을 흡착하는 흡착 패드를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 노즐 부재는,
    상기 가스 공급 라인이 연결되는 몸체부와;
    상기 몸체부에 연통하도록 결합되고, 상기 세정용 가스가 토출되는 토출구가 형성된 노즐을 포함하는 기판 처리 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 노즐은, 상기 토출구가 수직 하방향에서 세정 공정 진행 방향으로 25도 내지 35도 각도로 경사지도록 제공된 기판 처리 장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 노즐은, 상기 몸체부의 양 단부에 각각 제공되는 기판 처리 장치.
  8. 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 노즐은, 상기 토출구가 제공된 방향으로 갈수록 횡방향 폭이 점차 증가하도록 제공된 기판 처리 장치.
  9. 기판 반송대와;
    상기 기판 반송대의 측부에서 상기 기판 반송대와 나란하게 배치되고, 공정 진행시 기판들이 놓이는 트레이가 위치하는 트레이 지지대와;
    상기 기판 반송대에 놓인 상기 기판들을 상기 트레이 지지대에 놓인 상기 트레이 상으로 반송하는 반송 로봇을 포함하되,
    상기 반송 로봇은 상기 트레이를 세정하는 세정 부재를 가지는 기판 처리 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 반송 로봇은, 상기 트레이의 길이 방향을 따라 복수 개 제공되며 상기 기판을 흡착하는 흡착 패드와;
    상기 흡착 패드로 진공을 인가하도록 감압 부재가 연결된 제1라인과;
    상기 제1라인으로부터 분기되며 세정용 가스를 공급하는 가스 공급원과 연결된 제2라인을 포함하는 기판 처리 장치.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 반송 로봇은, 상기 트레이의 길이 방향을 따라 복수 개 제공되며 상기 트레이 상으로 세정용 가스를 토출하는 노즐 부재와;
    상기 노즐 부재에 연결된 가스 공급 라인과;
    상기 가스 공급 라인에 연결되며, 상기 노즐 부재로 상기 세정용 가스를 공급하는 가스 공급원을 포함하는 기판 처리 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 반송 로봇은, 상기 트레이의 길이 방향을 따라 복수 개 제공되며 상기 기판을 흡착하는 흡착 패드를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 노즐 부재는,
    상기 가스 공급 라인이 연결되는 몸체부와;
    상기 몸체부에 연통하도록 결합되고, 상기 세정용 가스가 토출되는 토출구가 형성된 노즐을 포함하는 기판 처리 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 노즐은, 상기 토출구가 수직 하방향에서 세정 공정 진행 방향으로 25도 내지 35도 각도로 경사지도록 제공된 기판 처리 장치.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 노즐은, 상기 몸체부의 양 단부에 각각 제공되는 기판 처리 장치.
  16. 제 13 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 노즐은, 상기 토출구가 제공된 방향으로 갈수록 횡방향 폭이 점차 증가하도록 제공된 기판 처리 장치.
  17. 기판 반송대에 놓인 기판을 반송 로봇을 이용하여 트레이 지지대에 놓인 트레이 상으로 반송하되, 상기 트레이로 기판을 반송하기 전에 상기 반송 로봇으로부터 세정용 가스를 공급하여 상기 트레이를 세정하는 기판 처리 방법.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 반송 로봇은, 상기 기판을 진공 흡착하는 흡착 패드를 가지고,
    상기 세정용 가스는 상기 흡착 패드를 통해 상기 트레이 상으로 토출되며 상기 트레이를 세정하는 기판 처리 방법.
  19. 제 17 항에 있어서,
    상기 반송 로봇은, 노즐 부재를 가지고,
    상기 세정용 가스는 상기 노즐 부재를 통해 상기 트레이 상으로 토출되며 상기 트레이를 세정하는 기판 처리 방법.
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