KR101342606B1 - 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터 - Google Patents

필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 제조공정 등이 이루어지는 청정공간인 클린룸 등에 정화된 공기를 공급하기 위하여 설치되는 정화장치에 사용하는 케미컬 필터에 관한 것으로, 상세하게는 장기간 공기를 정화시켜 수명이 다한 필터 메디아만을 보다 용이하게 교체할 수 있도록 함으로써 비용절감을 창출할 수 있도록 이루어진 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터에 관한 것이다.
이러한 본 발명인 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터는, 필터 메디아와 이를 수용하는 프레임으로 이루어진 케미컬 필터에 있어서, 상기 프레임은 다각형의 기둥형상으로 이루어져 측면에 다수의 정화용 공기유로가 형성되고, 상기 정화용 공기유로 내에는 필터 메디아의 형상이 파형형태로 이루어지도록 하는 필터 메디아 형상용 고정수단과, 상기 필터 메디아 형상용 고정수단으로 형상이 고정되어 설치되는 필터 메디아를 지지하는 지지 고정수단이 구비되며, 상기 프레임의 측면 모서리부에 분리가능하도록 설치되어 정화용 공기유로에 설치되는 필터 메디아의 분리 및 설치가 용이하도록 하는 모서리 커버판을 포함하는 것이다.

Description

필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터{Chemical filter for easy replacement of filter media}
본 발명은 반도체 제조공정 등이 이루어지는 청정공간인 클린룸 등에 정화된 공기를 공급하기 위하여 설치되는 정화장치에 사용하는 케미컬 필터에 관한 것으로, 상세하게는 장기간 공기를 정화시켜 수명이 다한 필터 메디아만을 보다 용이하게 교체할 수 있도록 함으로써 비용절감을 창출할 수 있도록 이루어진 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터에 관한 것이다.
일반적인 반도체 제조공정은 실리콘웨이퍼 상에 전기적인 회로를 형성하는 팹(Fab)공정과, 전기적인 특성을 검사하는 EDS(electrical die sorting)공정과, 에폭시 수지로 표면을 봉지하고 개별화시키기 위한 패키지 조립공정 등을 포함한다.
좀 더 상세하게 설명하면, 팹공정은 웨이퍼 상에 막을 형성하기 위한 증착공정, 형성된 막을 평탄화하기 위한 기계적 연마공정, 평탄화된 막에 포토레지스트 패턴을 형성하기 위한 포토리소그래피공정, 포토레지스트 패턴을 이용하여 막을 전기적인 특성을 갖는 패턴으로 형성하기 위한 식각공정, 웨이퍼의 소정영역에 이온들을 주입하기 위한 이온주입공정, 웨이퍼 상의 불순물을 제거하기 위한 세정공정, 세정한 웨이퍼를 건조하기 위한 건조공정, 및 이상에 열거된 공정을 통해 형성된 막 또는 패턴의 결함을 검사하는 검사공정 등을 포함한다.
이상에서 언급한 바와 같은 반도체 제조공정은 고도의 정밀성을 요구하는 공정들로서, 미세한 먼지나 화학적 오염물질에 의해 제품의 불량이 발생할 수 있음에 따라 정화된 공기가 공급되고 공정 중에 생성된 오염물질과 미세먼지 등은 외부로 배출되도록 시스템이 구성된 클린룸과 같은 청정공간에서 이루어진다.
클린룸으로 공급되는 공기는 공기정화장치를 통해 반도체 제조공정에 바람직하지 못한 각종 화학적 오염물질을 제거하고, 미세먼지 등이 제거된 상태로 공급되어 클린룸의 청정상태를 유지할 수 있게 되는 것으로서, 반도체에 관한 집적화기술이 고도로 발전함과 더불어 각 공정들은 더욱 미세하고 정밀성을 요구하게 됨에 따라 클린룸으로 공급되는 공기 역시 더욱더 효과적으로 정화된 상태에서 공급될 것이 요구되고 있는 실정이다.
도 1은 종래기술에 따른 클린룸 시스템의 일 예를 도시한 개략적 구성도로, 클린룸 시스템은 반도체 제조공정이 이루어지는 클린룸(1)과, 클린룸 상부에 형성되는 천장 챔버(3)와, 클린룸 천장면 상에 매트릭스 방식으로 배열되는 다수의 공기정화장치(5)와, 클린룸 바닥면 하부의 마루 하부영역(7)과, 천장 챔버(3)와 마루 하부영역(7)을 연결하는 공기순환경로(9)와, 순환되는 공기의 온도 및 습도를 조절하기 위한 공기조화장치(11) 등을 포함한다.
공기정화장치(5)에 의해 클린룸(1)으로 공급된 청정공기는 마루 하부영역(7)으로 배출되며, 공기순환경로(9)와 천장 챔버(3) 및 공기정화장치(5)를 통해 다시 클린룸(1)으로 공급된다.
공기 중의 오염물질, 미세먼지 등을 제거하는 상기 공기정화장치(5)에는 케미컬 필터가 설치되며, 이러한 케미컬 필터에 대한 기술을 본 출원인은 대한민국 특허출원번호 제10-2006-0037600호(케미컬 필터 및 이를 포함하는 공기정화장치)로 제시한 바 있다.
그러나, 상기 본 출원인이 제공한 케미컬 필터 기술과 종래에 사용중에 있는 케미컬 필터는 공기를 정화시키는 필터 메디아와 이를 수용하는 프레임을 일체로 교체하도록 하는 일체 교체형 구조로 이루어져 있다.
이와 같이 필터 메디아와 이를 수용하는 프레임을 일체로 교체를 함으로써 비용이 상승하는 문제점과, 케미컬 필터의 크기가 자유롭지 못하고, 규격화된 케미컬 필터만을 사용하여야 하는 문제점이 있다.
(KR) 공개특허공보 10-2007-0105461
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 발명된 것으로,
본 발명은 필터 메니아가 프레임에서 분리가능하도록 하여 교체시 필터 메디아만을 교체하도록 이루어진 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터를 제공하고자 한다.
또한, 케미컬 필터의 용량 따라 설치되는 장소에 따라 적용되는 제약으로부터 보다 자유로울 수 있는 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터를 제공하고자 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 발명된 본 발명인 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터는, 필터 메디아와 이를 수용하는 프레임으로 이루어진 케미컬 필터에 있어서, 상기 프레임은 다각형의 기둥형상으로 이루어져 측면에 다수의 정화용 공기유로가 형성되고, 상기 정화용 공기유로 내에는 필터 메디아의 형상이 파형형태로 이루어지도록 하는 필터 메디아 형상용 고정수단과, 상기 필터 메디아 형상용 고정수단으로 형상이 고정되어 설치되는 필터 메디아를 지지하는 지지 고정수단이 구비되며, 상기 프레임의 측면 모서리부에 분리가능하도록 설치되어 정화용 공기유로에 설치되는 필터 메디아의 분리 및 설치가 용이하도록 하는 모서리 커버판을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 프레임은, 상부에 설치되는 상부밑판과; 상기 상부밑판에 이격되어 설치되는 하부밑판과; 상기 상부밑판과 하부밑판 사이에 설치되어 측면에 정화용 공기유로를 형성시키는 다수의 모서리부재와; 상기 모서리부재에 각각 분리가능하게 설치되되, 양측단부가 모서리부재의 외측으로 돌출되어 필터 메디아를 지지하도록 하는 필터 메디아 지지부를 가지는 모서리 커버판과; 상기 정화용 공기유로에 설치되어 필터 메디아의 형상을 파형형태로 형성되도록 필터 메디아가 삽입되는 다수의 요입홈이 형성된 필터 메디아 형상용 고정판과; 상기 필터 메디아 형상용 고정판에 설치된 필터 메디아를 후방에서 지지하는 지지용 부재를 포함한다.
상기 필터 메디아 형상용 고정판에는 필터 메디아의 움직임을 방지하기 위한 다수의 고정용 핀이 형성되며,
상기 지지용 부재는 지지용 바 또는 지지용 망체로 이루어지며, 상기 지지용 바 또는 지지용 망체에는 필터 메디아의 처침현상을 방지할 수 있도록 다수의 고정용 핀이 형성된다.
상기와 같이 이루어지는 본 발명인 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터는, 장시간의 사용으로 교체작업시 프레임 내에서 필터 메디아만을 교체함으로써 비용을 절감할 수 있으며,
또한, 일체형으로 교체하도록 이루어진 종래의 케미컬 필터의 경우 규격화된 제품을 사용하거나, 별도의 주문제작으로 이루어진 케미컬 필터를 사용하여야 하는 문제점이 있으나, 본 발명인 케미컬 필터는 필터 메디아만을 교체함으로써 이러한 문제점을 해결할 수 있는 장점이 있다.
즉, 규격화된 제품을 사용하는 경우 설치되는 장소에 따라 효과적으로 변형이 불가능하여 대처 능력이 떨어지는 문제점과, 주문제작시 비용이 상승하는 문제점이 있으나, 이러한 문제점을 본 발명인 케미컬 필터는 필터 메디아만을 교체함으로써 이러한 문제점을 해결할 수 있는 장점이 있다.
또한, 제작시 케미컬 필터의 높이의 조절이 용이하고, 여기에 설치되는 필터 메디아의 크기의 변형이 용이함으로써 케미컬 필터의 용량의 변경이 용이한 장점이 있다.
또한, 케미컬 필터를 다각형의 기둥 형상으로 형성하고, 각 측면부에 필터 메디아가 설치되어 공기를 정화시키는 정화용 공기유로를 형성함으로써 공기가 통과하는 면적을 극대화가 가능하여 정화용량을 상승시킬 수 있는 장점이 있다.
도 1은 종래기술에 따른 클린룸 시스템의 일 예를 도시한 개략적 구성도
도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시 예를 도시한 육각 기둥 형태인 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터의 사시 개략도.
도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시 예를 도시한 육각 기둥 형태인 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터의 정면 개략도.
도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시 예를 도시한 육각 기둥 형태인 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터의 평면 개략도.
도 5는 도 3의 A-A 선 단면도.
도 6은 본 발명인 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터의 사용상태를 설명하기 위한 평면 개략도.
도 7과 도 8은 본 발명인 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터의 주요부분에 대한 사시 개략 상세도.
도 9 내지 도 11은 본 발명인 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터의 주요부분에 대한 상세 개략도.
도 12는 본 발명의 다른 실시 예를 설명하기 위한 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터의 주요부분에 대한 사시 개략 상세도.
도 13은 본 발명의 다른 실시 예를 설명하기 위한 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터의 주요부분에 대한 상세 개략도.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 될 것이며, 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시 예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
본 발명은 도 1과 같이 클린룸과 같은 청정공간을 형성하기 위하여 공기를 정화시키는 공기정화장치에 사용되는 케미컬 필터에 관한 것으로, 상세하게는 케미컬 필터를 형성하는 프레임 내에서 설치되는 필터 메디아만를 교체가능하도록 이루어진 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터에 관한 것이다.
이하, 본 발명의 일 실시 예를 참조하여 상세하게 설명한다.
도 2 내지 도 5를 참조하면,
본 발명인 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터의 구성은 크게 공기정화장치의 일측에 고정 또는 분리가능하도록 설치되는 프레임(100)과, 상기 프레임(100)에 설치되어 공기를 정화시키는 필터 메디아(200)로 구성된다.
상기 프레임(100)은 다시, 상부에 설치되는 상부밑판(110)과, 상기 상부밑판(110)에 이격되어 설치되는 하부밑판(120)과, 상기 상부밑판(110)과 하부밑판(120) 사이에 설치되어 측면 정화용 공기유로(150)를 형성시키는 다수의 모서리부재(130)와, 상기 모서리부재(130)에 각각 분리가능하게 설치되는 모서리 커버판(140)과, 상기 정화용 공기유로(150)에 설치되어 필터 메디아(200)의 형상을 소정의 형상으로 형성시키는 필터 메디아 형상용 고정판(160) 과, 상기 필터 메디아 형상용 고정판(160)에 설치된 필터 메디아(200)를 후방에서 지지하는 지지용 부재(170)로 구성된다.
상기 상부에 설치되는 상부밑판(110)과, 상기 상부밑판(110)과 대응되게 설치되는 하부밑판(120)은 그 평면의 형상은 제한이 없으나, 보통 다각기둥의 평면과 동일한 형상으로 이루어지는 것이 바람직하다. 즉, 본 발명의 일 실시 예를 도시한 바와 같이 케미컬 필터가 육각 기둥 형상인 경우 육각 기둥의 밑면 형상과 동일한 육각형으로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 상부밑판(110)과 하부밑판(120) 중 어느 하나에는 공기정화장치의 일측에 설치되도록 설치수단이 형성되며, 상기 설치수단은 보통 볼트와 같은 체결부재를 이용하여 설치할 수 있도록 다수의 체결용 홀이 형성된 플랜지부로 이루어지며, 미도시 되어 있다.
또한, 상기 상부밑판(110)과 하부밑판(120) 중 어느 하나에는 관통홀이 형성되며, 다른 하나는 관통홀이 형성되지 않는 것이 바람직하다. 본 발명의 일 실시 예에서는 상부 밑판(110)에 관통홀이 형성되어 있다.
보통 공기정화장치의 일측에 설치되도록 설치수단이 형성되는 상부밑판(110) 또는 하부밑판(120)에 관통홀이 형성되며, 대응하는 밑판에는 관통홀이 형성되지 않는다.
도 2와 도 5를 참조하면,
상기 모서리부재(130)는 상부밑판(110)과 하부밑판(120)의 각 모서리부에 설치되어 필터 메디아(200)가 설치되는 정화용 공기유로(150)를 형성하는 것으로, 상기 모서리부재(130)의 상하 양단부는 상부밑판(110)과 하부밑판(120)에 보통 분리 및 조립가능하도록 볼트와 같은 체결부재로 설치되며 또는 용접과 같은 방식으로 설치될 수도 있다.
이러한 상기 모서리부재(130)는 도 5와 도 7과 같이 정화용 공기유로(150)에 필터 메디아(200)가 설치될 수 있도록 소정의 폭을 가지도록 형성되며, 각 모서리부에 모서리 커버판(140)을 설치할 수 있도록 양측 양단부에는 체결용 홀이 형성된 연결부(131)가 형성된다.
상기 모서리부재(130)의 길이는 공기 정화용량의 크기에 따라 길이가 변화될 수 있으며, 이로 인하여 케미컬 필터의 평면적 크기를 변화시키지 않고 높이를 변화시켜 공기 정화용량의 크기조절이 가능하다.
상기 모서리 커버판(140)은 도 2와 도 5와 같이 모서리부재(130)에 설치되어 각 모서리부에 설치되는 것으로, 볼트, 피스 등과 같은 체결부재로 분리 및 조립가능하도록 설치되도록 다수의 체결용 홀(141)이 형성되며, 도 6과 같이 정화용 공기유로(150)에 설치된 필터 메디아(200)의 교체시 분리하여 필터 메디아(200)의 교체가 용이할 수 있도록 한다.
이러한 모서리 커버판(140)의 양측 단부는 도 7과 도 8과 같이 모서리부재(130)의 외측으로 돌출되어 정화용 공기유로(150)에 설치된 필터 메디아(200)를 지지할 수 있는 필터 메디아 지지부(142)가 형성되는 것이 바람직하다. 이러한 상기 필터 메디아 지지부(142)는 정화용 공기유로(150)에 설치된 필터 메디아(200)의 단부가 외측으로 빠져나오는 현상을 방지하는 동시에 모서리부재(130)와 필터 메디아(200)의 단부 사이에 유동하는 공기의 흐름을 억제하여 모서리부재(130)와 필터 메디아(200) 사이의 틈새로 유입되는 공기를 차단할 수 있어 정화효율을 높일 수 있다.
상기 필터 메디아 형상용 고정판(160)은 정화용 공기유로(150) 내에 설치되어 필터 메디아(200)의 형상을 유지시키는 것으로, 보통 도 2와 같이 수평방향으로 것이 바람직하며, 수직방향으로 설치도 가능하다.
상기 필터 메디아 형상용 고정판(160)은 각 정화용 공기유로(150)에 다수개가 설치되는 것으로, 도 2와 같이 보통 상측과 하측 또는 상측과 중간 및 하측에 설치된다.
이러한 상기 필터 메디아 형상용 고정판(160)는 보통 설치되는 필터 메디아(200)가 파형 형상으로 설치될 수 있도록 도 7과 같이 필터 메디아(200)가 삽입되는 다수의 요입홈(161)이 형성되며, 이러한 상기 요입홈(161)에 필터 메디아(200)가 도 8과 같이 설치되게 된다.
상기 필터 메디아 형상용 고정판(160)에는 설치되는 필터 메디아(200)의 이동을 방지하기 위하여 도 9와 도 10과 같이 다수의 고정용 핀(162)이 형성될 수 있다. 즉, 상기 고정용 핀(162)은 필터 메디아(200)에 박힘으로써 필터 메디아(200)의 좌우 이동을 방지하는 동시에 하측으로 처침현상을 방지하게 된다.
상기 지지용 부재(170)는 필터 메디아 형상용 고정판(160)에 설치되는 필터 메디아(200)를 후방에서 지지하여 필터 메디아(200)가 외측으로 빠져나오는 현상을 방지한다.
이러한 지지용 부재(170) 도 3과 도 7과 같이 바(Bar) 형상의 지지용 바(171)로 이루어지거나 또는 도 12와 같이 지지용 망체(172)로 이루어지는 것으로, 상기 지지용 바(171) 또는 지지용 망체(172)는 볼트 또는 피스와 같은 체결부재에 의하여 분리 및 조립가능하도록 형성되어 설치되는 것이 바람직하다.
또한 상기 지지용 바(171) 또는 지지용 망체(172)에는 필터 메디아(200)의 움직임 및 처짐 현상을 방지할 수 있도록 다수의 고정용 핀(172)을 포함할 수 있다.
상기 필터 메디아(200)는, 정화용 공기유로(150)에 설치되어 공기 중의 오염물질을 제거하는 것으로, 제거할 오염물질의 종류에 따라 다양한 종류의 화학적 여과물질이 포함된 형태로 구비될 수 있다. 즉, 목적 오염물질의 종류에 따라, 입자상의 활성탄, 첨착활성탄 또는 이온교환수지가 독자적으로 화학적 여과물질로 사용될 수 있으며, 경우에 따라 이들의 가능한 모든 선택적 조합에 따른 혼합물들 중 어느 하나를 화학적 오염물질로 사용하는 것도 가능하다.
좀 더 상세히 설명하면, 활성탄, 첨착활성탄, 또는 이온교환수지를 각각 독자적으로 사용되거나, 활성탄과 이온교환수지의 혼합물, 첨착활성탄과 이온교환수지의 혼합물, 활성탄과 첨착활성탄의 혼합물, 또는 활성탄과 첨착활성탄 및 이온교환수지의 혼합물이 화학적 여과물질로 사용될 수 있다. 여기서, 이온교환수지는 다시 양이온교환수지와 음이온교환수지로 구분될 수 있는 것으로서, 선택적으로 또는 함께 사용될 수 있는 것이다.
이와 같이 이루어진 본 발명의 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터는 도 6과 같이 체결부재를 이용하여 설치된 모서리 커버판(140)을 모서리부재(130)에서 분리하고,
정화용 공기유로(150)에 설치되어 있던 오염된 필터 메디아(200)를 분리하여 제거하고,
상기 정화용 공기유로(150)에 새로운 필터 메디아(200)를 설치하되, 다수의 요입홈(161)이 형성된 필터 메디아 형상용 고정판(160)을 이용하여 도 8과 같리 필터 메디아(200)를 파형(지그재그) 형태가 되도록 설치하고, 지지용 부재(170) 를 이용하여 후방에서 고정을 시킨 후 분리된 모서리 커버판(140)를 조립한다.
이러한 본 발명의 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터는 정화용 공기유로(150)에 설치되는 필터 메디아(200)의 크기의 조절은 용이한 것으로, 설치되는 장소 및 용량에 따라 프레임(100)의 크기의 변화시에도 큰 영향을 받지 않으며, 특히 케미컬 필터의 용량에 따라 크기의 변화시 장소에 따라 폭 또는 높이의 조절의 선택이 자유로울 수 있을 것이다.
100 : 프레임 110, 120 : 밑판
130 : 모서리부재 140 : 모서리 커버판
150 : 정화용 공기유로 160 : 필터 메디아 형상용 고정판
170 : 지지용 부재
200 : 필터 메디아

Claims (4)

  1. 필터 메디아와 이를 수용하는 프레임으로 이루어진 케미컬 필터에 있어서,
    상기 프레임(100)은 다각형의 기둥형상으로 이루어져 측면에 다수의 정화용 공기유로(150)가 형성되고, 상기 정화용 공기유로(150) 내에는 필터 메디아(200)의 형상이 파형형태로 이루어지도록 하는 필터 메디아 형상용 고정수단과, 상기 필터 메디아 형상용 고정수단으로 형상이 고정되어 설치되는 필터 메디아를 지지하는 지지 고정수단이 구비되는 한편;
    상기 프레임(100)의 측면 모서리부에 분리가능하도록 설치되어 정화용 공기유로(150)에 설치되는 필터 메디아(200)의 분리 및 설치가 용이하도록 하는 모서리 커버판(140)을 포함하는 것을 특징으로 하는 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 프레임(100)은,
    상부에 설치되는 상부밑판(110)과;
    상기 상부밑판(110)에 이격되어 설치되는 하부밑판(120)과;
    상기 상부밑판(110)과 하부밑판(120) 사이에 설치되어 측면 정화용 공기유로(150)를 형성시키는 다수의 모서리부재(130)와;
    상기 모서리부재(130)에 각각 분리가능하게 설치되되, 양측단부가 모서리부재(130)의 외측으로 돌출되어 필터 메디아를 지지하도록 하는 필터 메디아 지지부(142)를 가지는 모서리 커버판(140)과;
    상기 정화용 공기유로(150)에 설치되어 필터 메디아(200)의 형상을 파형형태로 형성되도록 필터 메디아(200)가 삽입되는 다수의 요입홈(161)이 형성된 필터 메디아 형상용 고정판(160)과;
    상기 필터 메디아 형상용 고정판(160)에 설치된 필터 메디아(200)를 후방에서 지지하는 지지용 부재(170)를 포함하는 것으로 특징으로 하는 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 필터 메디아 형상용 고정판(160)에는 필터 메디아(200)의 움직임을 방지하기 위한 다수의 고정용 핀(162)이 형성됨을 특징으로 하는 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 지지용 부재(170)는 지지용 바(171) 또는 지지용 망체(172)로 이루어지는 한편,
    상기 지지용 바(171) 또는 지지용 망체(172)에는 필터 메디아(200)의 처침현상을 방지할 수 있도록 다수의 고정용 핀(173)이 형성됨을 특징으로 하는 필터 메디아의 교체가 용이한 다각형 케미컬 필터.
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Cited By (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106839139A (zh) * 2016-02-26 2017-06-13 Lg电子株式会社 空气清洁器
CN106989448A (zh) * 2016-02-26 2017-07-28 Lg电子株式会社 空气清洁器
US9821259B2 (en) 2016-02-26 2017-11-21 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US9821262B2 (en) 2016-02-26 2017-11-21 Lg Electronics Inc. Air cleaner and method for controlling an air cleaner
US9827523B2 (en) 2016-02-26 2017-11-28 Lg Electronics Inc. Air cleaner
KR101804231B1 (ko) * 2016-12-28 2017-12-04 주식회사 조은바람 패드 조립체
US9943794B2 (en) 2016-02-26 2018-04-17 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US9950289B2 (en) 2016-02-26 2018-04-24 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10323855B2 (en) 2016-02-26 2019-06-18 Lg Electronics Inc. Air cleaner
KR20190092365A (ko) * 2019-07-31 2019-08-07 엘지전자 주식회사 공기 청정기
KR20190093537A (ko) * 2019-07-31 2019-08-09 엘지전자 주식회사 공기 청정기
KR20190100142A (ko) * 2019-08-20 2019-08-28 엘지전자 주식회사 공기 청정기
KR20190100143A (ko) * 2019-08-20 2019-08-28 엘지전자 주식회사 공기 청정기
US10436469B2 (en) 2016-02-26 2019-10-08 Lg Electronics Inc. Air cleaner
CN110384988A (zh) * 2016-06-15 2019-10-29 Lg电子株式会社 空气清洁器
KR20190124680A (ko) * 2019-08-20 2019-11-05 엘지전자 주식회사 공기 청정기
KR20190124683A (ko) * 2019-08-20 2019-11-05 엘지전자 주식회사 공기 청정기
US10495104B2 (en) 2016-02-26 2019-12-03 Lg Electronics Inc. Air cleaner
CN111156622A (zh) * 2016-02-26 2020-05-15 Lg电子株式会社 空气清洁器
US10697665B2 (en) 2016-02-26 2020-06-30 Lg Electronics Inc. Air cleaner
CN111853993A (zh) * 2016-02-26 2020-10-30 Lg电子株式会社 空气清洁器
WO2021261860A1 (ko) * 2020-06-22 2021-12-30 코웨이 주식회사 공기 필터 및 이를 포함하는 공기 청정기

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200356178Y1 (ko) 2004-04-02 2004-07-14 (주)한림의료기 카트용 플레이트의 모서리부 결합구조
JP2005288261A (ja) 2004-03-31 2005-10-20 Denso Corp ローリングフィルター
JP3799234B2 (ja) 1999-03-31 2006-07-19 有限会社インフィニティ研究所 空調用エアーフィルター

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3799234B2 (ja) 1999-03-31 2006-07-19 有限会社インフィニティ研究所 空調用エアーフィルター
JP2005288261A (ja) 2004-03-31 2005-10-20 Denso Corp ローリングフィルター
KR200356178Y1 (ko) 2004-04-02 2004-07-14 (주)한림의료기 카트용 플레이트의 모서리부 결합구조

Cited By (57)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111156623B (zh) * 2016-02-26 2021-08-17 Lg电子株式会社 空气清洁器
US11090598B2 (en) 2016-02-26 2021-08-17 Lg Electronics Inc. Air cleaner
WO2017146354A1 (ko) * 2016-02-26 2017-08-31 엘지전자 주식회사 공기 청정기
US9821259B2 (en) 2016-02-26 2017-11-21 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US9821262B2 (en) 2016-02-26 2017-11-21 Lg Electronics Inc. Air cleaner and method for controlling an air cleaner
US9827523B2 (en) 2016-02-26 2017-11-28 Lg Electronics Inc. Air cleaner
CN111156623A (zh) * 2016-02-26 2020-05-15 Lg电子株式会社 空气清洁器
US9914082B2 (en) 2016-02-26 2018-03-13 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US9943794B2 (en) 2016-02-26 2018-04-17 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US9950289B2 (en) 2016-02-26 2018-04-24 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10323855B2 (en) 2016-02-26 2019-06-18 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US11938433B2 (en) 2016-02-26 2024-03-26 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US11905967B2 (en) 2016-02-26 2024-02-20 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US11761455B2 (en) 2016-02-26 2023-09-19 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US11666846B2 (en) 2016-02-26 2023-06-06 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10406470B2 (en) 2016-02-26 2019-09-10 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10413857B2 (en) 2016-02-26 2019-09-17 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US11452961B2 (en) 2016-02-26 2022-09-27 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10436469B2 (en) 2016-02-26 2019-10-08 Lg Electronics Inc. Air cleaner
CN111156622A (zh) * 2016-02-26 2020-05-15 Lg电子株式会社 空气清洁器
CN111156622B (zh) * 2016-02-26 2022-04-26 Lg电子株式会社 空气清洁器
CN111853993B (zh) * 2016-02-26 2022-01-28 Lg电子株式会社 空气清洁器
CN106989448A (zh) * 2016-02-26 2017-07-28 Lg电子株式会社 空气清洁器
US10495104B2 (en) 2016-02-26 2019-12-03 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10508658B2 (en) 2016-02-26 2019-12-17 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10518205B2 (en) 2016-02-26 2019-12-31 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10563667B2 (en) 2016-02-26 2020-02-18 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10639576B2 (en) 2016-02-26 2020-05-05 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10646808B2 (en) 2016-02-26 2020-05-12 Lg Electronics Inc. Air cleaner
CN106839139A (zh) * 2016-02-26 2017-06-13 Lg电子株式会社 空气清洁器
US10845078B2 (en) 2016-02-26 2020-11-24 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10844871B2 (en) 2016-02-26 2020-11-24 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10675577B2 (en) 2016-02-26 2020-06-09 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10697665B2 (en) 2016-02-26 2020-06-30 Lg Electronics Inc. Air cleaner
CN106989448B (zh) * 2016-02-26 2020-07-28 Lg电子株式会社 空气清洁器
US10746193B2 (en) 2016-02-26 2020-08-18 Lg Electronics Inc. Air cleaner
CN106839139B (zh) * 2016-02-26 2020-08-25 Lg电子株式会社 空气清洁器
CN111853993A (zh) * 2016-02-26 2020-10-30 Lg电子株式会社 空气清洁器
CN111735139A (zh) * 2016-02-26 2020-10-02 Lg电子株式会社 空气清洁器
CN110384988B (zh) * 2016-06-15 2022-05-13 Lg电子株式会社 空气清洁器
CN110384988A (zh) * 2016-06-15 2019-10-29 Lg电子株式会社 空气清洁器
US11890569B2 (en) 2016-06-15 2024-02-06 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US11364459B2 (en) 2016-06-15 2022-06-21 Lg Lelectronics Inc. Air cleaner
KR101804231B1 (ko) * 2016-12-28 2017-12-04 주식회사 조은바람 패드 조립체
KR102025931B1 (ko) 2019-07-31 2019-09-26 엘지전자 주식회사 공기 청정기
KR20190092365A (ko) * 2019-07-31 2019-08-07 엘지전자 주식회사 공기 청정기
KR102032152B1 (ko) 2019-07-31 2019-10-15 엘지전자 주식회사 공기 청정기
KR20190093537A (ko) * 2019-07-31 2019-08-09 엘지전자 주식회사 공기 청정기
KR102114666B1 (ko) 2019-08-20 2020-06-05 엘지전자 주식회사 공기 청정기
KR102408958B1 (ko) 2019-08-20 2022-06-14 엘지전자 주식회사 공기 청정기
KR102339347B1 (ko) 2019-08-20 2021-12-15 엘지전자 주식회사 공기 청정기
KR20190124683A (ko) * 2019-08-20 2019-11-05 엘지전자 주식회사 공기 청정기
KR102152658B1 (ko) 2019-08-20 2020-09-08 엘지전자 주식회사 공기 청정기
KR20190100143A (ko) * 2019-08-20 2019-08-28 엘지전자 주식회사 공기 청정기
KR20190100142A (ko) * 2019-08-20 2019-08-28 엘지전자 주식회사 공기 청정기
KR20190124680A (ko) * 2019-08-20 2019-11-05 엘지전자 주식회사 공기 청정기
WO2021261860A1 (ko) * 2020-06-22 2021-12-30 코웨이 주식회사 공기 필터 및 이를 포함하는 공기 청정기

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