KR101337303B1 - 세정장비의 세정유체 분리회수장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 세정장비의 세정유체 분리회수장치에 관한 것으로, 본 발명은 웨이퍼에 분사된 세정 유체가 회수되는 회수공간이 각각 구비된 복수 개의 단위 회수컵들이 적층된 단위 회수컵 어셈블리; 및 상기 단위 회수컵들에 각각 연결되는 복수 개의 회수관들;을 포함한다. 본 발명에 따르면, 복수 종류의 세정 유체들이 각각 웨이퍼에 분사된 후 웨이퍼에 분사된 세정 유체들이 서로 섞이지 않고 각각 분리 회수되며, 또한 장치의 제작 및 조립이 간단하게 된다.

Description

세정장비의 세정유체 분리회수장치{APPARATUS FOR COLLECTING AND SEPARATING FLUID IN CLEANING MACHINE}
본 발명은 세정장비의 세정유체 분리회수장치에 관한 것이다.
반도체 디바이스 제조공정에서는 웨이퍼에 패턴을 형성한 후 세정하는 세정 공정이 반복된다. 웨이퍼를 세정하는 이유는 포토레지스트막이나 폴리머막 등의 유기물이나 파티클 등을 제거하기 위한 것이다. 웨이퍼의 세정 공정은 웨이퍼를 회전시키는 상태에서 알칼리성 세정액과 산성 세정액의 조합이나 그 밖의 약품을 웨이퍼 세정면, 즉 상면에 분사하여 세정하게 된다.
웨이퍼를 세정하는 공정은 일반적으로 세정 장비에서 진행된다.
대한민국 공개특허 제1997-0014491호, 대한민국 공개특허 제2001-0058879호, 대한민국 공개특허 2001-0050087호, 대한민국 공개특허 제2002-0091664호에는 세정 장비가 개시되어 있다. 하지만, 위에서 언급된 공개특허들에 개시된 세정 장비는 웨이퍼에 분사된 세정액을 회수하는 회수컵(일명, 캐치컵이라고도 함)이 한 개의 회수 유로만을 구비하고 있어 복수 종류의 세정액들이 각각 웨이퍼에 분사될 경우 웨이퍼에 분사된 복수 종류의 세정액(세정 유체)들을 각각 분리 회수하지 못하게 된다. 이로 인하여, 복수 종류의 세정액을 사용할 때 세정액들을 모두 폐기시켜야 한다.
본 발명의 목적은 복수 종류의 세정 유체들이 각각 웨이퍼에 분사된 후 웨이퍼에 분사된 세정 유체들이 서로 섞이지 않고 각각 분리 회수되는 세정장비의 세정유체 분리회수장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 제작 및 조립이 간단한 세정장비의 세정유체 분리회수장치를 제공함에 있다.
본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 웨이퍼에 분사된 세정 유체가 회수되는 회수공간이 각각 구비된 복수 개의 단위 회수컵들이 적층된 단위 회수컵 어셈블리; 및 상기 단위 회수컵들에 각각 연결되는 복수 개의 회수관들;을 포함하는 세정장비의 세정유체 분리회수장치가 제공된다.
상기 단위 회수컵 어셈블리는 서로 인접하는 두 개의 단위 회수컵들에 세정 유체의 누설을 방지하면서 서로 연결하는 실링겸용 연결수단이 구비되는 것이 바람직하다.
상기 실링겸용 연결수단은 상기 인접하는 두 개의 단위 회수컵들 중 상측에 위치하는 상측 단위 회수컵의 하단부에 환형 삽입돌기가 구비되고, 하측에 위치하는 하측 단위 회수컵의 상단부에 상기 환형 삽입돌기가 삽입되는 환형 삽입홈이 구비되어 상기 환형 삽입돌기가 상기 환형 삽입홈에 삽입되어 결합되는 것이 바람직하다.
상기 상측 단위 회수컵의 환형 삽입돌기를 기준으로 안쪽과 바깥쪽으로 각각 내,외측 환형 접촉면들이 구비되고, 내측 환형 접촉면이 외측 환형 접촉면보다 아래쪽에 위치하고, 상기 하측 단위 회수컵의 환형 삽입홈을 기준으로 안쪽과 바깥쪽으로 각각 상기 상측 단위 회수컵의 내,외측 환형 접촉면들과 접촉되는 내,외측 환형 접촉면들이 구비되는 것이 바람직하다.
상기 실링겸용 연결수단은 상기 인접하는 두 개의 단위 회수컵들 중 상측에 위치하는 상측 단위 회수컵의 하단부에 환형 삽입홈이 구비되고, 하측에 위치하는 하측 단위 회수컵의 상단부에 상기 환형 삽입홈에 삽입되는 환형 삽입돌기가 구비되어 상기 환형 삽입돌기가 상기 환형 삽입홈에 삽입되어 결합될 수 있다.
상기 상측 단위 회수컵의 환형 삽입홈을 기준으로 안쪽과 바깥쪽으로 각각 내,외측 환형 접촉면들이 구비되고, 내측 환형 접촉면이 외측 환형 접촉면보다 아래쪽에 위치하고, 상기 하측 단위 회수컵의 환형 삽입돌기를 기준으로 안쪽과 바깥쪽으로 각각 상기 상측 단위 회수컵의 내,외측 환형 접촉면들과 접촉되는 내,외측 환형 접촉면들이 구비되는 것이 바람직하다.
상기 단위 회수컵 어셈블리의 맨위에 위치하는 단위 회수컵의 내부에 상기 웨이퍼의 하면으로 유체가 분사되는 분사유로가 구비되는 것이 바람직하다.
상기 단위 회수컵 어셈블리의 맨위에 위치하는 단위 회수컵의 상부 구멍의 내주면 하부에 유체가 낙하하도록 안내하는 유체 낙하 가이드돌기가 구비되는 것이 바람직하다.
본 발명은 복수 개의 회수공간들이 구비되고 그 회수공간들에 각각 회수관이 연결되어 회수공간들에 각각 고이는 세정 유체를 회수관을 통해 각각 회수하게 된다. 즉, 다상 유체와 순수와 질소는 각각 챔버 하우징의 하면으로 유동하여 배출유닛을 통해 배출되고, 제1 세정액은 제2 단위 회수컵의 회수공간과 그에 연결된 회수관을 통해 회수되고, 제2 세정액은 제3 단위 회수컵의 회수공간과 그에 연결된 회수관을 통해 회수된다. 이로 인하여, 다상 유체와 제1,2 세정액이 서로 섞이지 않고 각각 회수된다.
또한, 본 발명의 단위 회수컵 어셈블리는 복수 개의 단위 회수컵들이 적층 결합된 형태이므로 세정 유체의 종류에 따라 회수공간의 수를 다양하게 구성할 수 있다. 또한, 단위 회수컵 어셈블리는 단위 회수컵들을 각각 제작하고 그 단위 회수컵들을 서로 적층시켜 조립하게 되므로 제작 및 조립이 쉽게 된다. 또한, 서로 인접하는 단위 회수컵들이 실링겸용 연결수단에 의해 연결되므로 조립 작업이 수월하게 될 뿐만 아니라 단위 회수컵들 사이로 세정 유체가 누수되는 것을 방지하여 된다.
또한, 후면 세정액이 웨이퍼의 후면으로 분사되는 분사유로가 제1 단위 회수컵의 내부에 구비되므로 후면 세정액을 분사하기 위한 별도의 분사관을 단위 회수컵 외부에 설치하지 않게 되어 구조가 간단하게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 세정장비의 세정유체 분리회수장치의 일실시예가 구비된 세정장비의 주요부분을 도시한 평면도,
도 2는 본 발명에 따른 세정장비의 세정유체 분리회수장치의 일실시예가 구비된 세정장비의 주요부분을 도시한 정면도,
도 3은 본 발명에 따른 세정장비의 세정유체 분리회수장치의 일실시예를 도시한 단면도,
도 4는 본 발명에 따른 세정장비의 세정유체 분리회수장치의 일실시예를 구성하는 실링겸용 연결수단의 다른 실시예를 도시한 단면도,
도 5는 본 발명에 따른 세정장비의 세정유체 분리회수장치의 일실시예를 구성하는 유체 낙하 가이드돌기를 도시한 단면도.
이하, 본 발명에 따른 세정장비의 세정유체 분리회수장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 세정장비의 세정유체 분리회수장치의 일실시예가 구비된 세정장비의 주요부분을 도시한 평면도이다. 도 2는 본 발명에 따른 세정장비의 세정유체 분리회수장치의 일실시예가 구비된 세정장비의 주요부분을 도시한 정면도이다.
도 1, 2에 도시한 바와 같이, 세정장비는 챔버 하우징(100), 세정유체 분리회수장치(200), 웨이퍼 구동유닛(300), 다상유체 분사유닛(400), 보조유체 분사유닛(500)을 포함한다.
챔버 하우징(100)은 베이스 프레임(10)의 상면에 구비된다. 챔버 하우징(100)에 배출유닛(110)이 연결되며, 배출유닛(110)을 통해 유체가 배출된다.
본 발명에 따른 세정유체 분리회수장치(200)는 단위 회수컵 어셈블리(CA)와, 복수 개의 회수관(P)들을 포함한다.
단위 회수컵 어셈블리(CA)는 챔버 하우징(100) 내부에 위치하도록 베이스 프레임(10)에 설치된다. 단위 회수컵 어셈블리(CA)는 각각 회수공간(S)이 구비된 복수 개의 단위 회수컵(210)들이 수직 방향으로 적층된 것이다. 단위 회수컵 어셈블리(CA)는 맨 상측에 위치하는 원추형 단위 회수컵(210)과, 원추형 단위 회수컵(210) 아래로 적층되는 원통형 단위 회수컵(210)(들)으로 구성된다. 서로 인접하는 두 개의 단위 회수컵(210)들은 실링겸용 연결수단(220)에 의해 연결됨이 바람직하다. 실링겸용 연결수단(220)은 두 개의 단위 회수컵(210)들 사이로 세정 유체가 누설되는 것을 방지하면서 두 개의 단위 회수컵(210)들을 서로 결합시킨다.
단위 회수컵 어셈블리(CA)는 두 개, 세 개, 또는 네 개의 단위 회수컵(210)들로 구성될 수 있다. 이하에서, 단위 회수컵(210)이 세 개인 경우에 대하여 설명한다.
단위 회수컵 어셈블리(CA)의 단위 회수컵(210)이 세 개인 경우 한 개의 원추형 단위 회수컵(210')과, 원추형 단위 회수컵(210')의 아래에 적층되는 두 개의 원통형 단위 회수컵(210)들로 구성된다. 세 개의 단위 회수컵을 위에서부터 제1,2,3 단위 회수컵이라 한다. 원추형 단위 회수컵(210')은 균일한 두께와 길이를 갖는 원통 형상의 몸통부(211)와, 몸통부(211)의 상부에 연장 형성되는 원추 형상의 유체 가이드부(212)를 포함한다. 유체 가이드부(212)는 일정 두께를 가지며 꼭지 부분이 절단된 원추 형상이다. 원통형 단위 회수컵(210)은 설정된 길이를 갖는 원통 형상의 몸통부(213)와, 몸통부(213)의 내주면에 연장 형성된 원추 형상의 유체 가이드부(214)와, 몸통부(213)에 구비되는 배출구(215)를 포함한다. 원통형 단위 회수컵(210)의 유체 가이드부(214)는 설정된 길이를 가지며 꼭지 부분이 절단된 원추 형상이다. 원통형 단위 회수컵(210)의 몸통부(213)의 내주면과 유체 가이드부(215)의 내주면에 의해 세정 유체가 회수되는 회수공간(S)이 형성된다.
상기 실링겸용 연결수단(220)의 일실시예로, 인접하는 두 개의 단위 회수컵(210)들 중 상측에 위치하는 단위 회수컵(210)의 하단부에 구비된 환형 삽입돌기(216)와, 하측에 위치하는 단위 회수컵(210)의 상단부에 구비되며 환형 삽입돌기(216)가 삽입되는 환형 삽입홈(217)을 포함한다. 상측의 단위 회수컵(210)의 환형 삽입돌기(216)가 하측의 단위 회수컵(210)의 환형 삽입홈(217)에 결합된다. 즉, 원추형 단위 회수컵(210')의 하단부에 환형 삽입돌기(216)가 구비되고 그 아래에 위치하는 원통형 단위 회수컵(210)의 상단부에 환형 삽입홈(217)이 구비되며, 원추형 단위 회수컵(210)의 환형 삽입돌기(216)가 원통형 단위 회수컵(210)의 환형 삽입홈(217)에 삽입되어 결합된다. 또한, 원추형 단위 회수컵(210)의 바로 아래에 위치하는 원통형 단위 회수컵(210)의 하단부에 환형 삽입돌기(216)가 구비되고 그 아래에 위치하는 원통형 단위 회수컵(210)의 상단부에 환형 삽입홈(217)이 구비되어 환형 삽입돌기(216)가 환형 삽입홈(217)에 결합된다.
상측 단위 회수컵(210)의 환형 삽입돌기(216)를 기준으로 안쪽과 바깥쪽으로 각각 내,외측 환형 접촉면들(FU1)(FU2)이 구비되고, 내측 환형 접촉면(FU1)이 외측 환형 접촉면(FU2)보다 아래쪽에 위치하고, 하측 단위 회수컵(210)의 환형 삽입홈(217)을 기준으로 안쪽과 바깥쪽으로 각각 상측 단위 회수컵(210)의 내,외측 환형 접촉면들(FU1)(FU2)과 접촉되는 내,외측 환형 접촉면들(FD1)(FD2)이 구비된다. 하측 단위 회수컵(210)의 내측 환형 접촉면(FD1)이 외측 환형 접촉면(FD2)보다 아래쪽에 위치한다. 이로 인하여, 서로 인접하는 두 개의 단위 회수컵(210)들 사이로 세정 유체가 누수되는 것을 방지하게 된다.
상기 실링겸용 연결수단(220)의 다른 실시예로, 도 4에 도시한 바와 같이, 인접하는 두 개의 단위 회수컵(210)들 중 상측에 위치하는 상측 단위 회수컵(210)의 하단부에 구비되는 환형 삽입홈(218)과, 하측에 위치하는 하측 단위 회수컵(210)의 상단부에 구비되며 환형 삽입홈(218)에 삽입되는 환형 삽입돌기(219)를 포함한다. 상측 단위 회수컵(210)의 환형 삽입홈(218)을 기준으로 안쪽과 바깥쪽으로 각각 내,외측 환형 접촉면들(FU1)(FU2)이 구비되고, 내측 환형 접촉면(FU1)이 외측 환형 접촉면(FU2)보다 아래쪽에 위치한다. 또한, 하측 단위 회수컵(210)의 환형 삽입돌기(219)를 기준으로 안쪽과 바깥쪽으로 각각 내,외측 환형 접촉면들(FU1)(FU2)이 구비되며, 그 내,외측 환형 접촉면들은 상측 단위 회수컵(210)의 내,외측 환형 접촉면들(FU1)(FU2)과 각각 접촉된다.
상기 복수 개의 회수관(P)들은 각각 원통형 단위 회수컵(210)의 회수공간(S)과 연통되도록 배출구(215)에 연결된다. 원통형 단위 회수컵(210)이 두 개인 경우 두 개의 원통형 단위 회수컵(210)들의 각 배출구(215)에 회수관(P)이 연결되므로 회수관(P)은 두 개가 된다. 회수관(P)들은 베이스 프레임(10)에 관통하여 베이스 프레임(10)의 아래쪽에 구비되는 회수수단(미도시)들과 연결된다.
단위 회수컵 어셈블리(CA)의 맨위에 위치하는 단위 회수컵(210)의 내부에 웨이퍼의 하면으로 유체가 분사되는 분사유로(EH)가 구비되는 것이 바람직하며, 분사유로는 원추형 단위 회수컵(210)의 유체 가이드부(212)의 내부에 구비됨이 바람직하다. 상기 원추형 단위 회수컵(210)의 분사유로(EH)에 분사유닛(미도시)이 연결되며, 분사유닛에서 유체를 분사하면 유체는 분사유로(EH)를 통해 웨이퍼의 후면에 분사된다.
상기 웨이퍼 구동유닛(300)은 웨이퍼를 회전시키고 또한 웨이퍼를 상하로 이동시킨다. 웨이퍼 구동유닛(300)은 내부에 버큠 유로가 구비된 축(310)과, 축(310)의 단부에 구비된 버큠 척(320)과, 버큠 척(320)이 구비된 축(310)을 상하 및 회전 구동시키는 구동유닛(330)을 포함한다. 버큠 척(320)이 구비된 축(310)은 회수컵(200)의 내부에 위치한 상태에서 상하로 움직이고, 구동유닛(330)은 베이스 프레임(10)의 아래에 위치하여 축(310)과 연결된다.
상기 다상유체 분사유닛(400)은 웨이퍼의 위치에 따라 상하 및 수평 방향으로 움직이면서 상기 웨이퍼에 다상 유체(multi-phase fluid)를 분사한다. 다상 유체는 수증기(steam)과 순수(deionized water)와 압축건조공기(CDA;Compressed Dry Air)를 포함한다. 다상유체 분사유닛(400)은 다상 유체를 분사시키는 노즐부재(410)와, 노즐부재(410)를 상하 방향으로 직선으로 움직이는 상하방향 구동유닛(420)과, 노즐부재(410)가 수평으로 직선으로 움직이도록 상하방향 구동유닛(420)을 수평 방향으로 움직이는 수평방향 구동유닛(430)과, 노즐부재(410)와 상하방향 구동유닛(420)을 연결하는 연결부재(440)를 포함한다. 노즐부재(410)에 수증기와 순수와 압축건조공기를 각각 공급하는 스팀라인(L1)과 순수라인(L2)과 공기라인(L3)이 연결된다. 상하방향 구동유닛(420)의 작동에 의해 노즐부재(410)가 상하 방향으로 움직이고, 수평방향 구동유닛(430)의 작동에 의해 노즐부재(410)가 수평으로 움직인다.
상기 보조유체 분사유닛(500)은 웨이퍼에 보조 유체를 분사시킨다. 보조유체 분사유닛(500)은 챔버 하우징(100) 내부에 위치하도록 베이스 프레임(10)에 구비된다. 보조유체 분사유닛(500)은 제1 세정액을 분사시키는 제1세정액 분사유닛(510)과, 제2 세정액을 분사시키는 제2세정액 분사유닛(520)과, 순수를 분사시키는 순수 분사유닛(530)과, 질소를 분사시키는 질소분사유닛(540)을 포함하는 것이 바람직하다. 상기 제1 세정액은 ELS이고, 상기 제2 세정액은 이소프로필알코올이 될 수 있다.
원통형 챔버 하우징(100)에 백플로우 방지유닛(600)이 구비됨이 바람직하다. 백플로우 방지유닛(600)은 다상 유체가 웨이퍼의 상면에 분사될 때 웨이퍼의 하면 쪽으로 다상 유체가 유입되는 것을 방지한다. 백플로우 방지유닛(600)은 원통형 챔버 하우징(100)의 외측 양쪽에 각각 구비되는 제1,2 구동유닛들(611)(621)과, 제1,2 구동유닛들(611)(621)에 각각 연결되는 제1,2 연결부재들(612)(622)과, 제1,2 연결부재들(612)(622)에 각각 연결되는 제1,2 하프링들(613)(623)을 포함한다. 제1,2 연결부재들(612)(622)과 제1,2 하프링들(613)(623)은 원통형 챔버 하우징(100) 내측에 위치한다. 제1,2 구동유닛들(611)(621)의 작동에 의해 제1 하프링(613)과 제2 하프링(623)이 서로 멀어지거나 가까워지도록 움직이게 되며, 제1,2 하프링들(613)(623)이 서로 가까워진 상태에서 웨이퍼의 하면 가장자리에 위치하게 된다.
한편, 원추형 단위 회수컵(210')의 유체 가이드부(212)의 상부 구멍 내주면 하부에 유체가 유체 가이드부(212)의 내측면을 타고 흐르지 않고 아래로 떨어지도록, 도 5에 도시한 바와 같이, 유체의 낙하를 안내하는 유체 낙하 가이드돌기(E)가 구비됨이 바람직하다. 유체가 원추형 단위 회수컵(210')의 상부를 통해 유입될 경우 유체가 원추형 단위 회수컵(210')의 상부 구멍 내주면과 유체 낙하 가이드돌기(E)를 따라 흐르면서 낙하하여 유체가 회수공간으로 유입되는 것을 방지하게 된다. 유체 낙하 가이드돌기(E)는 환형 형상으로 아래로 돌출되도록 형성됨이 바람직하다.
이하, 본 발명에 따른 세정장비의 세정유체 분리회수장치의 작용과 효과를 설명하면 다음과 같다.
상기 세정장비는 다상 유체만을 웨이퍼에 분사하여 웨이퍼를 세정할 수 있고, 또한 다상 유체와 제1,2 세정액을 번갈아가며 웨이퍼에 분사하여 웨이퍼를 세정할 수 있다.
웨이퍼 구동유닛(300)의 버큠 척(320)에 웨이퍼가 흡착 고정된 상태에서 웨이퍼 구동유닛(300)을 구성하는 구동유닛(330)이 웨이퍼를 상하로 이동시키며, 이때 웨이퍼는 단위 회수컵 어셈블리(CA)의 내부를 통해 수직 방향으로 움직인다. 제1 단위 회수컵(210')의 유체 가이드부(212)의 상측 끝면 바로 위를 제1 위치라 하고, 제2 단위 회수컵(210)의 유체 가이드부(214)의 상측 끝면 바로 위를 제2 위치라 하고, 제3 단위 회수컵(210)의 유체 가이드부(214)의 상측 끝면 바로 위를 제3 위치라 할 때, 웨이퍼는 제1,2, 또는 3 위치에 각각 위치한 후 구동유닛(330)에 의해 회전하게 된다.
먼저, 다상 유체를 웨이퍼에 분사하게 될 경우 웨이퍼가 제1 위치에 위치하여 회전하는 상태에서 다상유체 분사유닛(400)의 작동에 의해 노즐부재(410)가 웨이퍼의 상측에서 직선 왕복 운동하면서 웨이퍼에 다상 유체를 분사시킨다. 노즐부재(410)에서 웨이퍼로 분사된 다상 유체는 웨이퍼를 세정시킨 후 제1 단위 회수컵, 즉 원추형 단위 회수컵(210')의 유체 가이드부(212)에 의해 가이드되면서 챔버 하우징(100)의 하부측으로 유동하게 된다. 챔버 하우징(100)의 하부측으로 유동하는 다상 유체는 배출유닛(110)을 통해 챔버 하우징(100)의 외부로 배출된다.
제1 세정액을 웨이퍼에 분사하게 될 경우 웨이퍼가 제2 위치에 위치하여 회전하는 상태에서 제1세정액 분사유닛(510)이 제1 세정액을 웨이퍼에 분사시킨다. 제1세정액 분사유닛(510)에서 웨이퍼로 분사된 제1 세정액은 웨이퍼를 세정시킨 후 제2 단위 회수컵(210)(원통형 단위 회수컵)의 회수공간(S)으로 유입된다. 제2 단위 회수컵(210)의 회수공간(S)으로 유입된 제1 세정액은 제2 단위 회수컵(210)에 연결된 회수관(P)을 통해 회수된다.
제2 세정액을 웨이퍼에 분사하게 될 경우 웨이퍼가 제3 위치에 위치하여 회전하는 상태에서 제2세정액 분사유닛(520)이 제2 세정액을 웨이퍼에 분사시킨다. 제2세정액 분사유닛(520)에서 웨이퍼로 분사된 제2 세정액은 웨이퍼를 세정시킨 후 제3 단위 회수컵(210)(원통형 단위 회수컵)의 회수공간(S)으로 유입된다. 제3 단위 회수컵(210)의 회수공간(S)으로 유입된 제2 세정액은 제3 단위 회수컵(210)에 연결된 회수관(P)을 통해 회수된다.
순수와 질소를 웨이퍼에 각각 분사하게 될 경우 웨이퍼가 제1 위치에 위치하여 회전하는 상태에서 순수 분사유닛(530)과 질소 분사유닛(540)이 각각 순수와 질소를 웨이퍼에 분사시킨다. 웨이퍼에 각각 분사된 순수와 질소는 제1 단위 회수컵(원추형 단위 회수컵)(210')의 유체 가이드부(212)에 의해 가이드되면서 챔버 하우징(100)의 하부측으로 유동하게 된다. 챔버 하우징(100)의 하부측으로 유동하는 다상 유체는 배출유닛(110)을 통해 챔버 하우징(100)의 외부로 배출된다.
웨이퍼가 제1 위치에 위치한 상태에서 분사유닛에서 후면 세정액을 분사시키게 되면 후면 세정액은 제1 단위 회수컵(210)의 분사유로(EH)를 통해 분사되면서 웨이퍼의 후면을 세정하게 된다.
한편, 다상유체 분사유닛(400)의 노즐부재(410)가 웨이퍼의 위쪽에서 직선 왕복 운동하면서 다상 유체를 웨이퍼에 분사하기 전 백플로우 방지유닛(600)의 제1,2 하프링들(613)(623)이 웨이퍼의 하면 가장자리로 이동하게 된다. 제1,2 하프링들(613)(623)이 웨이퍼의 하면 가장자리에 위치하게 됨에 따라 웨이퍼에 분사되는 다상 유체가 웨이퍼의 하면으로 유입되는 것을 방지하게 된다.
본 발명은 복수 개의 회수공간(S)들이 구비되고 그 회수공간(S)들에 각각 회수관(P)이 연결되어 회수공간(S)들에 각각 고이는 세정 유체를 회수관(P)을 통해 각각 회수하게 된다. 즉, 다상 유체와 순수와 질소는 각각 챔버 하우징(100)의 하면으로 유동하여 배출유닛(110)을 통해 배출되고, 제1 세정액은 제2 단위 회수컵(210)의 회수공간(S)과 그에 연결된 회수관(P)을 통해 회수되고, 제2 세정액은 제3 단위 회수컵(210)의 회수공간(S)과 그에 연결된 회수관(P)을 통해 회수된다. 이로 인하여, 다상 유체와 제1,2 세정액이 서로 섞이지 않고 각각 회수된다.
또한, 본 발명의 단위 회수컵 어셈블리(CA)는 복수 개의 단위 회수컵(210)들이 적층 결합된 형태이므로 세정 유체의 종류에 따라 회수공간(S)의 수를 다양하게 구성할 수 있다. 또한, 단위 회수컵 어셈블리(CA)는 단위 회수컵들(210)(210')을 각각 제작하고 그 단위 회수컵들(210)(210')을 서로 적층시켜 조립하게 되므로 제작 및 조립이 쉽게 된다. 또한, 서로 인접하는 단위 회수컵(210)들이 실링겸용 연결수단(220)에 의해 연결되므로 조립 작업이 수월하게 될 뿐만 아니라 단위 회수컵들(210) 사이로 세정 유체가 누수되는 것을 방지하여 된다.
또한, 후면 세정액이 웨이퍼의 후면으로 분사되는 분사유로(EH)가 제1 단위 회수컵(210)의 내부에 구비되므로 후면 세정액을 분사하기 위한 별도의 분사관을 단위 회수컵(210) 외부에 설치하지 않게 되어 구조가 간단하게 된다.
210, 210'; 단위 회수컵 220; 실링겸용 연결수단
CA; 단위 회수컵 어셈블리 EH; 분사유로
P; 회수관

Claims (8)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 웨이퍼에 분사된 세정 유체가 회수되는 회수공간이 각각 구비된 복수 개의 단위 회수컵들이 적층된 단위 회수컵 어셈블리; 및
    상기 단위 회수컵들에 각각 연결되는 복수 개의 회수관들;을 포함하며,
    상기 단위 회수컵 어셈블리는 서로 인접하는 두 개의 단위 회수컵들에 세정 유체의 누설을 방지하면서 서로 연결하는 실링겸용 연결수단이 구비되며,
    상기 실링겸용 연결수단은 인접하는 두 개의 단위 회수컵들 중 상측에 위치하는 상측 단위 회수컵의 하단부에 환형 삽입돌기가 구비되고, 하측에 위치하는 하측 단위 회수컵의 상단부에 상기 환형 삽입돌기가 삽입되는 환형 삽입홈이 구비되어 상기 환형 삽입돌기가 상기 환형 삽입홈에 삽입되어 결합되며,
    상기 상측 단위 회수컵의 환형 삽입돌기를 기준으로 안쪽과 바깥쪽으로 각각 내,외측 환형 접촉면들이 구비되고, 상기 내측 환형 접촉면이 외측 환형 접촉면보다 아래쪽에 위치하고, 상기 하측 단위 회수컵의 환형 삽입홈을 기준으로 안쪽과 바깥쪽으로 각각 상기 상측 단위 회수컵의 내,외측 환형 접촉면들과 접촉되는 내,외측 환형 접촉면들이 구비되는 것을 특징으로 하는 세정장비의 세정유체 분리회수장치.
  4. 삭제
  5. 웨이퍼에 분사된 세정 유체가 회수되는 회수공간이 각각 구비된 복수 개의 단위 회수컵들이 적층된 단위 회수컵 어셈블리; 및
    상기 단위 회수컵들에 각각 연결되는 복수 개의 회수관들;을 포함하며,
    상기 단위 회수컵 어셈블리는 서로 인접하는 두 개의 단위 회수컵들에 세정 유체의 누설을 방지하면서 서로 연결하는 실링겸용 연결수단이 구비되며,
    상기 실링겸용 연결수단은 인접하는 두 개의 단위 회수컵들 중 상측에 위치하는 상측 단위 회수컵의 하단부에 환형 삽입홈이 구비되고, 하측에 위치하는 하측 단위 회수컵의 상단부에 상기 환형 삽입홈에 삽입되는 환형 삽입돌기가 구비되어 상기 환형 삽입돌기가 상기 환형 삽입홈에 삽입되어 결합되며,
    상기 상측 단위 회수컵의 환형 삽입홈을 기준으로 안쪽과 바깥쪽으로 각각 내,외측 환형 접촉면들이 구비되고, 상기 내측 환형 접촉면이 외측 환형 접촉면보다 아래쪽에 위치하고, 상기 하측 단위 회수컵의 환형 삽입돌기를 기준으로 안쪽과 바깥쪽으로 각각 상기 상측 단위 회수컵의 내,외측 환형 접촉면들과 접촉되는 내,외측 환형 접촉면들이 구비되는 것을 특징으로 하는 세정장비의 세정유체 분리회수장치.
  6. 삭제
  7. 제 3 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 단위 회수컵 어셈블리의 맨위에 위치하는 단위 회수컵의 내부에 상기 웨이퍼의 하면으로 유체가 분사되는 분사유로가 구비되는 것을 특징으로 하는 세정장비의 세정유체 분리회수장치.
  8. 제 3 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 단위 회수컵 어셈블리의 맨위에 위치하는 단위 회수컵의 상부 구멍의 내주면 하부에 유체가 낙하하도록 안내하는 유체 낙하 가이드돌기가 구비되는 것을 특징으로 하는 세정장비의 세정유체 분리회수장치.
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