KR101332094B1 - 열처리로 및 그 제조 방법 - Google Patents

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KR101332094B1
KR101332094B1 KR1020070096577A KR20070096577A KR101332094B1 KR 101332094 B1 KR101332094 B1 KR 101332094B1 KR 1020070096577 A KR1020070096577 A KR 1020070096577A KR 20070096577 A KR20070096577 A KR 20070096577A KR 101332094 B1 KR101332094 B1 KR 101332094B1
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겐이찌 야마가
마꼬또 고바야시
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

열처리로는, 피처리체를 수용하여 열처리하기 위한 처리 용기와, 이 처리 용기를 위요하는 통 모양의 단열재와, 단열재의 내주면을 따라 배치된 나선 모양의 발열 저항체와, 단열재의 내주면에 축 방향으로 형성되어, 발열 저항체를 소정 피치로 지지하는 지지체를 구비하고 있다. 발열 저항체의 외측에는, 발열 저항체에 부착되고, 단열재를 직경 방향으로 관통하여 외부로 연장된 복수의 단자판이 적당한 간격으로 배치되어 있다. 발열 저항체에 부착되고, 단열재에 고정되는 복수의 고정판이 발열 저항체의 외측에 적당한 간격으로 배치되어 있다. 고정판은, 발열 저항체에, 단자판과 발열 저항체의 부착 구조와 동일한 부착 구조에 의해 부착되어 있다.
피처리체, 처리 용기, 단열재, 발열 저항체, 고정판

Description

열처리로 및 그 제조 방법 {HEAT TREATMENT FURNACE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
본원은, 2006년 9월 22일에 출원된 일본 특원2006-257388호의 우선권을 주장하고, 일본 특원2006-257388호의 모든 내용은 참조되어 여기에 포함되는 것으로 한다.
본 발명은, 열처리로 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
반도체 장치의 제조에 있어서는, 피처리체인 반도체 웨이퍼에 산화, 확산, CVD(Chemical Vapor Deposition) 등의 처리를 실시하기 위해, 각종 열처리 장치가 이용되고 있다. 그리고, 그 일반적인 열처리 장치는, 반도체 웨이퍼를 수용하여 열처리하기 위한 처리 용기(반응관)와, 이 처리 용기 주위에 설치된 발열 저항체와, 이 발열 저항체의 주위에 설치된 단열재로 열처리로를 구성하고, 그 단열재의 내벽면에 발열 저항체가 지지체를 개재하여 배치되어 있다.
상기 발열 저항체로서는, 예를 들어 배치 처리가 가능한 열처리 장치의 경우로 말하면, 원통 모양의 단열재의 내벽면을 따라 배치되는 나선 모양의 히터선이 이용되어, 로 내를 예를 들어 800 내지 1000℃ 정도로 고온으로 가열할 수 있다. 또한, 상기 단열재로서는, 예를 들어 세라믹 파이버 등으로 이루어지는 단열 재료를 원통 모양으로 소성하여 이루어지는 것이 이용되어, 복사열 및 전도열로서 빼앗기는 열량을 감소시켜서 효율적인 가열을 조장할 수 있다. 상기 지지체로서는, 예를 들어 세라믹제의 것이 이용되어, 상기 히터선을 열팽창 및 열수축 가능하게 소정의 피치로 지지하게 되어 있다.
그런데, 상기 열처리로에 있어서는, 상기 히터선이 나선 모양으로 형성되어 있는 동시에 열팽창 및 열수축 가능하도록 단열재 사이에 클리어런스를 취하여 지지하고 있다. 그러나, 히터선은 고온 하에서 사용됨으로써 크리프 왜곡이 생기게 되고, 그 선 길이는 시간과 함께 서서히 신장해 간다. 또한, 가열 시에도, 히터선은 열팽창을 일으킨다. 또한, 강온 시에는, 히터선에 공기를 내뿜어 급속 냉각을 행하는 타입의 것도 있다. 이렇게 승강온을 반복함으로써 히터선이 변형되어, 인접하는 히터선과 쇼트되어 단선이 발생하는 경우가 있다.
특히, 종형의 열처리로의 경우, 승강온에 의한 열팽창과 열수축의 반복에 의해 히터선이 지지체 내에서 이동할 때에 중력에 의해 약간씩 히터선이 하방으로 이동한다. 이로 인해, 최하 턴으로 이동분이 축적되어, 히터선의 이동의 축적에 의해 감기 직경이 커져, 단열재의 내면까지 도달하여 외측으로 팽창할 수 없게 된 히터선이 상하로 변형된다. 이 결과, 히터선이, 인접하는 히터선과 쇼트되어, 단선이 발생하는 경우가 있다.
또한, 이러한 문제를 해소하기 위해, 구체적으로는 히터선의 크리프나 열팽창 등에 의한 신장의 일단측으로의 누적을 방지하기 위해, 발열 저항체의 외측부에 로의 반경 방향 외방으로 돌출된 축 모양 등의 고정 부재를 용접으로 부착하고, 이 고정 부재의 선단을 단열재 내에 매립하여 고정하도록 한 것도 제안되고 있다(일본 특개평10-233277호 공보 참조).
그러나, 전술한 바와 같이 단순히 발열 저항체의 외측부에 고정 부재를 용접으로 접합했을 뿐인 것으로는, 접합부가 고온에 노출될 뿐만 아니라, 발열 저항체의 열팽창 수축에 수반하여 접합부에 응력이 집중되기 쉬워, 내구성의 저하(단기 수명화)를 초래할 수 있다. 또한, 고정 부재가 막대축 모양이기 때문에 단열재로부터 빠지기 쉬워 유지성이 뒤떨어져, 발열 저항체의 고정 성능을 유지하는 것이 어려워, 내구성의 저하를 초래할 수 있다.
본 발명은, 상기 사정을 고려하여 이루어진 것으로, 종래의 발열 저항체의 고정 부재보다도 한층 더한 내구성의 향상을 꾀할 수 있는 열처리로 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 열처리로는,
피처리체를 수용하여 열처리하기 위한 처리 용기와,
이 처리 용기를 위요하는 통 모양의 단열재와,
단열재의 내주면을 따라 배치된 나선 모양의 발열 저항체와,
단열재의 내주면에 축 방향으로 형성되어, 발열 저항체를 소정 피치로 지지 하는 지지체와,
발열 저항체의 외측에 적당한 간격으로 배치되는 동시에 발열 저항체에 부착되고, 단열재를 직경 방향으로 관통하여 외부로 연장된 복수의 단자판과,
발열 저항체의 외측에 적당한 간격으로 배치되는 동시에 발열 저항체에 부착되고, 단열재 내에 고정되는 복수의 고정판을 구비하고,
상기 고정판은, 발열 저항체에, 단자판과 발열 저항체의 부착 구조와 동일한 부착 구조에 의해 부착되어 있다.
본 발명에 따른 열처리로에 있어서, 상기 발열 저항체는, 고정판과의 부착 부분에서 절단되어 형성된 한 쌍의 단부와, 절단되어 형성된 각 단부가 단열재의 반경 방향 외방으로 절곡되어 형성되고, R 굽힘 형상으로 이루어지는 절곡부를 갖고, 상기 고정판은, 그 양면이 상기 발열 저항체의 한 쌍의 단부의 사이에서 협지되어, 이 한 쌍의 단부에 용접에 의해 고정되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 열처리로에 있어서, 상기 고정판은, 단자판과 동일한 재질로 동일 단면 형상을 갖고, 또한 단열재 내에 매설되어 있어 외부로 돌출되지 않는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 열처리로에 있어서, 상기 발열 저항체는, 지지체에 의해, 단열재의 내주면으로부터 소정의 간극을 사이에 둔 상태에서 열팽창 및 열수축 가능하게 지지되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 열처리로에 있어서, 상기 지지체는, 발열 저항체의 내측에 위치되는 기초부와, 기초부로부터 직경 방향 외방으로 연장되는 복수개의 지지편을 갖고, 상기 지지편은, 직경 방향 외방의 선단부에 확대부 또는 돌기부가 형성되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 열처리로에 있어서, 상기 고정판은, 발열 저항체의 측면에 직접 부착에 의해 고정되고, 상기 고정판은 단열재 내에 매립되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 열처리로에 있어서, 상기 고정판은 단열재 내에 매립되고, 상기 고정판의 선단은, 단열재 내에서 절곡되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 열처리로에 있어서, 상기 고정판은, 세부와, 당해 세부(細部)의 선단에 설치된 태부(太部)를 갖고 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 열처리로에 있어서, 상기 고정판은, 단열재를 직경 방향으로 관통하여 외부로 연장하고, 당해 단열재의 외방에서 고정 수단에 의해 고정되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 열처리로의 제조 방법은,
피처리체를 수용하여 열처리하기 위한 처리 용기와, 이 처리 용기를 위요하는 통 모양의 단열재와, 단열재의 내주면을 따라 배치되는 나선 모양의 발열 저항체와, 단열재의 내주면에 축 방향으로 설치되어 발열 저항체를 소정 피치로 지지하는 지지체를 구비한 열처리로의 제조 방법이며,
동일한 부착 구조에 의해 복수의 단자판 및 복수의 고정판이 부착된 나선 모양의 발열 저항체와, 발열 저항체의 내측에 위치되는 기초부와 기초부로부터 직경 방향 외방으로 연장되는 복수개의 지지편을 갖는 지지체와, 상기 지지체를 주위 방 향에서 소정 위치에 위치 결정하고 또한 축 방향으로 정렬시키는 지그를 준비하는 공정과,
상기 지그를 회전시키면서 지그 상에 상기 지지체를 개재하여 상기 발열 저항체를 장착하는 공정과,
상기 발열 저항체의 외주에 상기 단자판, 고정판 및 지지체의 지지편을 피하여 여과재를 배치하고, 상기 여과재 상에 복수의 가는 직경의 봉재를 적당한 간격으로 배치하는 공정과,
상기 발열 저항체를 단열 재료인 무기질 섬유를 포함하는 현탁액 내에 침지시킨 후, 발열 저항체의 내측으로부터의 흡인에 의해 상기 여과재 상에 상기 단열 재료를 퇴적시키는 공정과,
상기 여과재 상에 퇴적한 단열 재료를 건조시켜 단열재를 형성하는 공정과,
건조 후에 상기 단열재와 상기 여과재 사이로부터 상기 봉재를 빼내는 공정과,
상기 단열재와 상기 발열 저항체 사이로부터 상기 여과재를 빼내는 공정과,
상기 지그를 상기 지지체로부터 제거하는 공정을 구비하고 있다.
본 발명에 따른 열처리로의 제조 방법에 있어서, 동일한 부착 구조에 의해 복수의 단자판 및 복수의 고정판이 부착된 나선 모양의 발열 저항체를 준비하는 공정은, 발열 저항체를, 고정판과의 부착 부분에서 절단하여 한 쌍의 단부를 형성하는 공정과, 절단되어 형성된 각 단부를 단열재의 반경 방향 외방으로 절곡하여, R 굽힘 형상으로 이루어지는 절곡부를 형성하는 공정과, 상기 고정판을, 상기 발열 저항체의 한 쌍의 단부의 사이에서 협지시켜, 이 한 쌍의 단부에 용접에 의해 고정하는 공정을 갖고 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 발열 저항체의 외측에 적당한 간격으로 배치되어 단열재 내에 고정되는 복수의 고정판을 구비하고, 상기 고정판은 발열 저항체에 단자판과 동일한 부착 구조로 부착되어 있기 때문에, 고정판의 접합부의 온도 상승 및 응력 집중을 억제할 수 있는 동시에 고정판이 단열재로부터 빠지기 어려워 유지성이 우수하여, 발열 저항체를 포함하는 열처리로의 내구성의 향상을 꾀할 수 있다.
이하에, 본 발명을 실시하기 위한 최량의 형태에 대하여, 첨부된 도면에 기초하여 상술한다. 도1은 본 발명의 열처리로의 실시 형태를 개략적으로 도시하는 종단면도이고, 도2는 동일 열처리로의 일부를 도시하는 사시도이고, 도3은 동일 열처리로의 부분적 횡단면도이고, 도4는 동일 열처리로의 부분적 종단면도이다.
도1에 있어서, 참조 부호 1은 반도체 제조 장치의 하나인 종형의 열처리 장치이다. 이 열처리 장치(1)는 피처리체인, 예를 들어 반도체 웨이퍼(w)를 한번에 복수매 수용하여 산화, 확산, 감압 CVD 등의 열처리를 실시할 수 있는 종형의 열처리로(2)를 구비하고 있다. 이 열처리로(2)는, 웨이퍼(w)를 다단으로 수용하여 소정의 열처리를 행하기 위한 처리 용기(반응관이라고도 함)(3)와, 상기 처리 용기(3)를 위요하는 통 모양의 단열재(4)와, 상기 단열재(4)의 내주면을 따라 배치되는 나선 모양의 발열 저항체(히터선이라고도 함)(5)를 주로 구비하고 있다. 단열 재(4)와 발열 저항체(5)에 의해 히터(가열 장치)(6)가 구성되어 있다. 또한, 후술하는 열처리로(2)의 제조 방법에 있어서는, 특히 히터(6)의 제조 방법에 관하여 설명하고 있다.
상기 열처리 장치(1)는, 히터(6)를 설치하기 위한 베이스 플레이트(7)를 구비하고 있다. 이 베이스 플레이트(7)에는 처리 용기(3)를 하방으로부터 상방으로 삽입하기 위한 개구부(8)가 형성되어 있고, 이 개구부(8)에는 베이스 플레이트(7)와 처리 용기(3) 사이의 간극을 덮도록 도시하지 않은 단열재가 설치되어 있다.
상기 처리 용기(3)는, 프로세스 튜브라고도 칭해진다. 이 처리 용기(3)는, 석영제이며, 상단이 폐색되고, 하단이 개구된 세로 길이의 원통 모양으로 형성되어 있다. 처리 용기(3)의 개구단에만 외향의 플랜지가 형성되고, 상기 플랜지가 도시하지 않은 플랜지 누름을 통하여 상기 베이스 플레이트(7)에 지지되어 있다. 도시 예의 처리 용기(3)는, 하측부에 처리 가스나 불활성 가스 등을 처리 용기(3) 내에 도입하는 도입 포트(도입구)(9) 및 처리 용기(2) 내의 가스를 배기하기 위한 도시하지 않은 배기 포트(배기구)가 형성되어 있다. 도입 포트(9)에는 가스 공급원이 접속되어 있다. 또한, 배기 포트에는, 예를 들어 10 내지 10-8Torr 정도로 감압 제어가 가능한 진공 펌프를 갖는 배기계가 접속되어 있다.
처리 용기(3)의 하방에는, 처리 용기(3)의 하단 개구부(로구)를 폐색하고 상하 방향으로 개폐 가능한 덮개(10)가 도시하지 않은 승강 기구에 의해 승강 이동 가능하게 설치되어 있다. 이 덮개(10)의 상부에는, 로구의 보온 수단인, 예를 들 어 보온통(11)이 적재되어 있다. 또한, 이 보온통(11)의 상부에는, 예를 들어 직경이 300㎜인 웨이퍼(w)를 복수매, 예를 들어 100 내지 150매 정도 상하 방향으로 소정의 간격으로 탑재하는 유지구인 석영제의 보트(12)가 적재되어 있다. 덮개(10)에는, 보트(12)를 그 축심 주위로 회전하는 회전 기구(53)가 설치되어 있다. 보트(12)는, 덮개(10)의 하강 이동에 의해 처리 용기(3) 내로부터 하방의 로딩 구역 내로 반출(언로드)되고, 웨이퍼(w)의 교체 후, 덮개(10)의 상승 이동에 의해 처리 용기(3) 내로 반입(로드)된다.
도5는 지지체를 도시하는 사시도이고, 도6은 발열 저항체에 있어서의 단자판의 부착 구조를 부분적으로 도시하는 도면으로, (a)는 평면도, (b)는 측면도이고, 도7은 발열 저항체에 있어서의 고정판의 부착 구조를 부분적으로 도시하는 도면으로, (a)는 평면도, (b)는 측면도이며, 도8은 단자판 및 고정판을 갖는 발열 저항체를 개략적으로 도시하는 측면도이다.
상기 히터(6)는, 도2 내지 도8에 도시한 바와 같이 상기 단열재(4)와, 상기 단열재(4)의 내주를 따라 배치되는 나선 모양의 발열 저항체(5)와, 상기 단열재(4)의 내주면에 축 방향으로 설치되어 상기 발열 저항체(5)를 소정 피치로 지지하는 지지체(13)와, 발열 저항체(5)의 외측에 축 방향으로 적당한 간격으로 배치되어 단열재(4)를 직경 방향으로 관통하여 외부로 연장된 복수의 단자판(14)과, 발열 저항체(5)의 외측에 적당한 간격으로 배치되어 단열재(4) 내에 고정되는 복수의 고정판(15)을 구비하고 있다. 발열 저항체(5)는, 예를 들어 철(Fe), 크롬(Cr) 및 알루미늄(Al)의 합금선인 칸탈선으로 이루어져 있다. 이 발열 저항체(5)의 굵기는, 열 처리로(2)의 사양에 의하여도 상이하지만, 예를 들어 직경이 3.5㎜정도의 것이 이용된다.
연직 방향으로 배치된 나선 모양의 발열 저항체(5)는, 존마다 단자판(14)을 개재하여 단열재(4)에 고정되는 동시에, 지지체(13)를 통하여 열팽창 및 열수축 가능하게 지지되어 있다. 이로 인해, 이 상태에서는, 크리프나 열팽창 등에 의한 신장을 생기게 한 경우, 그 신장이 중력에 의해 각 존의 하측으로 누적되는 경향이 있다. 따라서, 발열 저항체(5)의 크리프나 열팽창 등에 의한 신장의 중력에 의한 각 존 하측으로의 누적을 방지하기 위하여, 상기 발열 저항체(5)에는, 적당하게 턴마다 또는 각 존의 턴 수를 복수로 분할하는 분할점에, 고정판(15)이 부착되어 있다. 발열 저항체(5)는, 이들 고정판(15) 및 단자판(14)에 의해 상기 단열재(4)에 고정되어 있다. 고정판(15)은, 예를 들어 도8에 도시한 바와 같이 인접하는 단자판(14) 사이의 턴 상에 적당하게 부착되어 있다.
상기 발열 저항체(5)는, 상기 단열재(4)의 내벽면을 따라, 단열재(4)와 접촉하지 않는 소정의 감기 직경 및 소정의 피치로 나선 모양으로 형성되어 있다. 이 나선 모양의 발열 저항체(5)에는, 상기 단열재(4)를 관통하여 외부로 연장된 전극 접속용의 단자판(14)이 단열재(4)의 축 방향으로 적당한 간격으로 설치되어 있고, 열처리로(2) 내인 처리 용기(3) 안을 상하 방향으로 복수의 존으로 나누어 온도 제어할 수 있도록 구성되어 있다. 이 단자판(14)은 발열 저항체(5)와 동일한 재질로 이루어지고, 용단 방지와 방열량의 억제의 관점으로부터 소요 단면적의 판 모양으로 형성되어 있다.
단자판(14)을 부착하기 위하여, 상기 발열 저항체(5)는, 단자판(14)의 부착 부분에서 절단되어 한 쌍의 단부가 형성되고, 이 절단되어 형성된 각 단부(5a)가 단열재(4)의 반경 방향 외방으로 절곡되어 절곡부(16)가 형성되고, 이 절곡된 한 쌍의 단부(5a) 사이에 단자판(14)의 양면이 용접으로 고정되어 있다. 특히, 용접 접합부에의 응력 집중을 완화시키기 위해, 발열 저항체(5)의 절곡부(16)는 R 굽힘 형상으로 이루어져 있다.
상기 고정판(15)은, 단자판(14)과 동일 재질이고 동일 단면 형상을 갖고, 또한 단자판(14)보다도 길이가 짧게 형성되어 있고, 단열재 내에 매설되어(매립되어), 외부로 돌출되지 않는다. 고정판(15)은, 발열 저항체(5)에, 단자판(14)과 발열 저항체(5)의 부착 구조와 동일한 부착 구조에 의해 부착되어 있다. 즉, 도6의 (a), 도6의 (b)에 도시한 바와 같이, 고정판(15)을 부착하기 위하여, 상기 발열 저항체(5)는, 고정판(15)의 부착 부분에서 절단되어 한 쌍의 단부가 형성되고, 이 절단되어 형성된 각 단부(5a)가 단열재(4)의 반경 방향 외방으로 절곡되어 절곡부(16)가 형성되고, 이 절곡된 한 쌍의 단부(5a) 사이에 고정판(15)의 양면이 용접 으로 고정되어 있다. 또한, 발열 저항체(5)의 절곡부(16)는 R 굽힘 형상으로 이루어져 있다.
도3에 도시한 바와 같이 상기 발열 저항체(5)는, 내열성 및 전기 절연성을 갖는 재료, 예를 들어 세라믹으로 이루어지는 지지체(13)를 통하여 원통 모양의 단열재(4)의 내측에 소정 열량을 확보할 수 있는 배열 피치 및 단열재(4)의 내벽면으로부터 소정의 간극(s)을 사이에 둔 상태에서, 열팽창 및 열수축 가능하게 부착되 어 있다. 이 지지체(13)는, 단열재(4)의 축 방향으로 복수로 분할되어 있다. 각 지지체(13)는, 도5에도 도시되어 있는 바와 같이 발열 저항체(5)의 내측에 위치되는 기초부(17)와, 발열 저항체(5)가 인접하는 피치간을 지나도록, 기초부(17)로부터 직경 방향 외방으로 연장되는 복수개의 지지편(18)을 갖고 있다. 이 지지편(18)은, 기초부(17)에 빗살 형상으로 일체로 형성되어 있다. 지지체(13)는, 도4에 도시한 바와 같이 발열 저항체(5)를 인접하는 지지편(18) 사이의 홈(19)에 삽입하고, 발열 저항체(5)를 열팽창 및 열수축 가능(나선의 반경 방향 및 주위 방향으로 이동 가능)하게 소정의 피치로 느슨하게 지지하게 되어 있다.
상기 지지체(13)는, 지지편(18)의 선단부를 단열재(4) 내에 매설함으로써, 단열재(4)의 내측에 부착되어 있다. 이 경우, 지지체(13)가 단열재(4)로부터 빠지지 않도록 부착 강도의 향상을 꾀하기 위해, 지지편(18)의 선단부는 적절하게 길게 형성되어 있는 동시에 선단부에는 확대부 내지 돌기부(20)가 형성되어 있는 것이 바람직하다. 지지체(13)는, 지지편(18)의 선단부를 단열재(4)에 매설시킨 상태에서 단열재(4)의 축방향을 따라 직렬로 배치되는 동시에(도4 참조), 주위 방향으로 소정의 간격, 예를 들어 30도의 간격으로 배치되어 있다(도3 참조).
단열재(4)의 형상을 유지하는 동시에 단열재(4)를 보강하기 위해, 도1에 도시한 바와 같이 단열재(4)의 외주는 금속제, 예를 들어 스테인리스제의 외피(아우터 쉘)(21)로 덮혀 있다. 또한, 히터 외부로의 열영향을 억제하기 위하여, 외피(21)의 외주는 수냉 재킷(22)으로 덮혀 있다. 단열재(4)의 꼭대기부에는 이 단열재(4)를 덮는 상부 단열재(23)가 설치되고, 이 상부 단열재(23)의 상부에는 외 피(21)의 꼭대기부(상단부)를 덮는 스테인리스제의 상부판(24)이 설치되어 있다.
열처리 후에 웨이퍼를 급속 강온시켜서 처리의 신속화 또는 스루풋의 향상을 꾀하기 위해, 히터(6)에는 히터(6)와 처리 용기(3) 사이의 공간(25) 내의 분위기를 외부로 배출하는 배열계(26)와, 상기 공간(25) 내에 냉각 유체(예를 들어 공기)를 도입하여 강제적으로 냉각하는 냉각 수단(27)이 설치되어 있다. 상기 배열계(26)는, 예를 들어 히터(6)의 상부에 설치된 배기구(28)와, 상기 배기구(28)와 도시하지 않은 공장 배기계를 연결하는 도시하지 않은 배열관으로 주로 구성되어 있다. 배열관에는 도시하지 않은 배기 블로워 및 열 교환기가 설치되어 있다.
상기 냉각 수단(27)은, 상기 단열재(4)와 외피(21)의 사이에 높이 방향으로 복수 형성된 고리 모양 유로(29)와, 각 고리 모양 유로(29)로부터 단열재(4)의 중심 경사 방향으로 냉각 유체를 분출하여 상기 공간(25)의 주위 방향으로 선회류를 발생시키기 위해 단열재(4)에 설치된 분출 구멍(30)을 갖고 있다. 상기 고리 모양 유로(29)는, 단열재(4)의 외주에 띠 모양 또는 고리 모양의 단열재(31)를 접착할지, 혹은 단열재(4)의 외주를 고리 모양으로 깎음으로써 형성되어 있다.
상기 외피(21)의 외면에는, 각 고리 모양 유로(29)에 냉각 유체를 분배 공급 하기 위한 공통된 1개의 도시하지 않은 공급 덕트가 높이 방향을 따라 형성되고, 외피(21)에는 공급 덕트 내와 각 고리 모양 유로(29)를 연통하는 연통구가 형성되어 있다. 공급 덕트에는 클린룸 내의 공기를 냉각 유체로서 흡인하고, 압송 공급하는 도시하지 않은 냉각 유체 공급원(예를 들어 송풍기)이 개폐 밸브를 통하여 접속되어 있다.
이상과 같이 구성된 열처리로(2)에 의하면, 발열 저항체(5)의 외측에 적당한 간격으로 배치되어 단열재 내에 고정되는 복수의 고정판(15)을 구비하고, 상기 고정판(15)은 발열 저항체(5)에 단자판(14)과 발열 저항체(5)의 부착 구조와 동일한 부착 구조에 의해 부착되어 있기 때문에, 고정판(15)의 접합부의 온도 상승 및 응력 집중을 억제할 수 있는 동시에 고정판(15)이 단열재(4)로부터 빠지기 어려워 유지성이 우수하여, 발열 저항체(5)를 포함하는 열처리로(2)의 내구성의 향상을 꾀할 수 있다. 발열 저항체(5)는, 적당하게 턴마다, 상기 지지체(13) 및 단자판(14)과는 별도의 고정판(15)에 의해 상기 단열재(4)에 고정되어 있기 때문에, 발열 저항체(5)의 크리프나 열팽창 등에 의한 신장이 일단측으로 누적되는 현상을 방지하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 발열 저항체(5)의 일단측의 감기 직경이 증대되어 단열재(4)의 내주면과 접촉하지 않게 되기 때문에, 발열 저항체(5)의 비틀림 등의 변형이나 파단이 발생되지 않아, 발열 저항체(5)의 내구성의 향상을 꾀할 수 있다.
고정판(15)의 부착 구조에 있어서는, 단자판(14)의 부착 구조와 마찬가지로 상기 발열 저항체(5)가, 고정판(15)의 부착 부분에서 절단되어 한 쌍의 단부(5a)가 형성되고, 각 단부(5a)가 단열재(4)의 반경 방향 외방으로 절곡되어 절곡부(16)가 형성되고, 그 절곡부(16)가 R 굽힘 형상으로 이루어져 있다. 또한, 절곡된 한 쌍의 단부(5a) 사이에는 고정판(15)의 양면이 용접으로 고정되어 있다. 또한, 상기 고정판(15)은, 단자판(14)과 동일한 재질로 동일 단면 형상을 갖고, 또한 단열재(4) 내에 매설되어 있어 외부로 돌출되지 않는다. 상기 단자판(14) 및 그 부착 구조에는 실적이 있어, 사용 중 균열이나 과열은 발생하지 않아, 단열재(4)에서의 유지성도 우수하여, 빠지기 어렵다. 이 단자판(14)의 부착 구조를 고정판(15)에 적용함으로써 마찬가지의 효과를 발휘할 수 있다.
즉, 고정판(15)이 발열 저항체(5)의 위치보다도 직경 방향 외방에 떨어진 단열재(4) 내에 유지되어 있기 때문에, 방열 효과에 의해 고정판(15)과 발열 저항체(5)와의 접합부가 과열되기 어려워, 접합부의 온도를 낮게 유지할 수 있고, 접합부 나아가서는 발열 저항체(5)의 내구성의 향상을 꾀할 수 있다. 또한, 발열 저항체(5)의 반경 방향으로 절곡된 절곡부(16)가 R 굽힘 형상으로 이루어져 있기 때문에, 발열 저항체(5)의 열팽창 수축에 의해 상기 접합부에 가해지는 응력 집중을 흡수 완화할 수 있고, 이에 따라 균열 내지 분열을 억제할 수 있어, 내구성의 향상을 꾀할 수 있다. 또한 고정판(15)이 단자판(14)과 동일 단면 형상을 갖기 때문에, 단열재(4)에 의한 유지성이 우수하여 빠지기 어려워, 발열 저항체(5)의 고정 성능을 장기간에 걸쳐 유지할 수 있어, 발열 저항체(5) 나아가서는 열처리로(2)의 내구성의 향상(장기 수명화)을 꾀할 수 있다.
다음에 고정판(15)의 변형예에 대하여, 도11의 (a) 내지 도11의 (f)를 이용하여 설명한다.
전술한 형태에서는, 고정판(15)은, 발열 저항체(5)의 한 쌍의 단부(5a) 사이에서 협지되어 설치되어 있었지만, 이에 한정하지 않고, 도11의 (a), 도11의 (b)에 도시한 바와 같이 고정판(15a, 15b)은, 발열 저항체(5)의 [단부(5a)가 아님] 측면에 용접 수단 등을 이용하여 직접 부착에 의해 고정되어도 된다. 또한, 이 때의 고정판(15a, 15b)의 형상은, 도11의 (a)에 도시한 바와 같이 장각 형상으로 이루어 져도 되고, 도11의 (b)에 도시한 바와 같이 각봉 형상이나 둥근 막대 형상으로 이루어져도 된다.
또한, 도11의 (c), 도11의 (d)에 도시한 바와 같이 고정판(15c)의 선단은, 단열재(4) 내에서 절곡되어 있어도 된다. 이와 같이, 고정판(15c)의 선단을 단열재(4) 내에서 절곡하여 설치함으로써, 고정판(15c)을 단열재(4)에 대하여 더 확실하게 고정할 수 있고, 나아가서는 발열 저항체(5)를 단열재(4)에 대하여 더 확실하게 고정할 수 있다.
이 때, 고정판(15c)은, 도11의 (c)에 도시한 바와 같이 발열 저항체(5)의 측면에 용접 수단 등을 이용하여 직접 부착에 의해 고정되어도 되고, 도11의 (d)에 도시한 바와 같이 발열 저항체(5)의 한 쌍의 단부(5a) 사이에서 협지되어도 된다. 또한, 고정판(15c)의 형상은 특별히 한정되지 않고, 예를 들어, 장각 형상, 각봉 형상, 둥근 막대 형상 등으로 이루어져도 된다. 또한, 고정판(15c)의 선단의 굽히는 방향도 특별히 한정되지 않고, 어느 한 쪽의 방향으로 굽어 있어도 된다.
또한, 도11의 (e)에 도시한 바와 같이 고정판(15f)은, 소경부(세부)(15d)와, 당해 소경부(15d)의 선단에 설치된 대경부(태부)(15e)를 가져도 된다. 이와 같이, 소경부(15d)의 선단에 대경부(15e)를 설치함으로써, 고정판(15)을 단열재(4)에 대하여 더 확실하게 고정할 수 있고, 나아가서는 발열 저항체(5)를 단열재(4)에 대하여 더 확실하게 고정할 수 있다.
이 때, 고정판(15f)은, 도11의 (e)에 도시한 바와 같이 발열 저항체(5)의 측면에 용접 수단 등을 이용하여 직접 부착에 의해 고정되어도 되고, 이에 한정하지 않고, 발열 저항체(5)의 한 쌍의 단부의 사이에서 협지되어도 된다(도시하지 않음). 또한, 도15의 (e)에서는, 세부인 소경부(15d)와 태부인 대경부(15e)는, 횡단면이 원형 형상으로 이루어지는 둥근 막대 형상으로 이루어지는 형태를 이용하여 설명하고 있지만, 이것에 한하지 않는다. 세부와 태부의 형상은, 예를 들어 장각 형상, 각봉 형상 등으로 이루어져도 된다.
또한, 태부는, 소경부(세부)(15d)와 별개로 구성되어도 되고, 소경부(세부)(15d)의 선단에 끼워넣어진 것(예를 들어 너트 등)이어도 된다. 이 때, 소경부(세부)(15d)의 횡단면은 원형 형상으로 이루어지는 것에 비하여, 태부의 횡단면은 원형 형상이 아니고 육각형 등으로 이루어져도 된다.
또한, 도11의 (f)에 도시한 바와 같이 고정판(15g)은, 단열재(4)를 직경 방향으로 관통하여 외부로 연장하여, 외방에서 당해 단열재(4)의 외면에 고정 수단(50)에 의해 고정되어 있어도 된다. 이 때 고정 수단(50)은, 도11의 (f)에 도시한 바와 같이 단열재(4)의 외면에 고정된 고정 부재(55)와, 당해 고정 부재(55)의 외면에 부착되어, 고정판(15)을 고정 부재(55)에 대하여 지지하는 L자 브래킷(56)으로 이루어져 있다.
이와 같이, 고정판(15)이 단열재(4)를 직경 방향으로 관통하여 외부로 연장하는 동시에, 연장된 부분이 단열재(4)의 외면에 고정 수단(50)에 의해 고정되어 있으므로, 고정판(15)을 단열재(4)에 대하여 더 확실하게 고정할 수 있고, 나아가서는 발열 저항체(5)를 단열재(4)에 대하여 더 확실하게 고정할 수 있다.
이 때, 고정판(15)은, 도11의 (f)에 도시한 바와 같이 발열 저항체(5)의 측 면에 용접 수단 등을 이용하여 직접 부착에 의해 고정되어도 되고, 이에 한정하지 않고, 발열 저항체(5)의 한 쌍의 단부의 사이에서 협지되어도 된다(도시하지 않음). 또한, 고정판(15)의 형상은 특별히 한정되지 않고, 예를 들어, 장각 형상, 각봉 형상, 둥근 막대 형상 등으로 이루어져도 된다. 또한, L자 브래킷(56)의 다리부(56a)의 방향은, 특별히 한정되지 않고, 어느 한 방향을 향해 있어도 된다.
다음에 상기 열처리로(2), 구체적으로는 히터(6)의 제조 방법의 일례에 대하여 도9 및 도10을 이용하여 설명한다. 도9는 본 발명을 적용한 열처리로의 제조 방법에 있어서 이용되는 지그의 구성을 설명하기 위한 사시도이고, 도10은 본 발명의 열처리로의 제조 방법에 있어서 여과재 상에 단열재를 퇴적시키는 공정을 설명하기 위한 모식도이다.
우선, 미리 나선 모양으로 성형되는 동시에 단자판(14) 및 고정판(15)이 설치된 발열 저항체(5)와, 이 발열 저항체(5)를 지지하기 위한 지지체(13)와, 이 지지체(13)를 지지하기 위한 드럼 모양의 지그(32)를 준비한다. 지그(32)는, 중공 모양의 지지축(33)과, 당해 지지축(33) 상에 방사 모양의 스포크(34)를 통하여 축 방향으로 적당한 간격으로 설치된 둥근 고리 모양의 기판(35)과, 기판(35)에 축 방향에 대하여 방사 모양으로 형성된 홈을 이용하여 걸쳐지는 동시에 주위 방향으로 등간격으로 배치되고, 이들 기판(35)의 외향으로 개방된 단면 U자 모양의 가이드 부재(36)를 갖고, 드럼 모양으로 형성되어 있다. 지그(32)의 가이드 부재(36) 내에는, 지지체(13)가 직렬로 부착된다. 또한, 지지축(33)의 주위에는 복수의 흡인 구멍(42)이 형성되어 있다. 이와 같이 구성된 지그(32)를 회전시키면서, 이 지 그(32) 상에 그 일단으로부터 나선 모양의 발열 저항체(5)를 지지체(13)의 지지편(18) 사이의 홈(19)을 통하여 나선 모양으로 감아 장착한다.
다음에 상기 지그(32)에 있어서의 발열 저항체(5)의 외측에 상기 단자판(14), 고정판(15) 및 지지체(13)의 지지편(18)을 피한 상태에서 메쉬 모양의 여과재(38)를 배치한다. 그 후에 이 여과재(38) 상에 발열 저항체(5)의 축 방향을 따르는 가는 직경으로 이루어지는 복수의 봉재(39)를 주위 방향으로 적당한 간격으로 배치한다. 여과재(38)로서는, 예를 들어 그물 눈이 미세한 알루미늄제의 메쉬 등이 적합하다. 또한, 봉재(39)로서는, 예를 들어 직경 1 내지 2㎜ 정도의 스테인레스강제의 둥근 막대가 적합하다. 여과재(38)를 발열 저항체(5)의 외주 전체면에 지지편(18), 단자판(14) 및 고정판(15)을 피하도록 하고, 또한 축방향으로부터 빼내기 가능하게 하여 소정의 두께로 배치하고, 그 여과재(38) 상에 봉재(39)를 배치하여 실, 고무줄로 고정한다.
도10에 도시한 바와 같이 이 지그(32)를 단열 재료인 무기질 섬유를 포함하는 현탁액(40) 내에 침지시켜, 지그(32)의 내측으로부터 흡인함으로써 상기 여과재(38) 상에 단열 재료를 퇴적시킨다. 이 경우, 지그(32)를 회전시킴으로써, 단열 재료의 현탁액(40)을 교반할 수 있는 동시에, 여과재(38) 상에 균일한 두께로 단열 재료를 퇴적시킬 수 있다. 이 현탁액(40)으로서는, 예를 들어 실리카, 알루미나 혹은 규산 알루미나를 포함하는 무기질 섬유와, 물 및 바인더로 이루어지는 슬러리 모양의 것이 이용된다.
지그(32)의 중공 모양의 지지축(33)에 흡인 펌프(41)를 접속함으로써, 지지 축(33)의 흡인 구멍(42)을 통하여 발열 저항체(5)의 내부를 감압하면, 현탁액(40)이 여과재(38)의 표면에 흡입되어 여과재(38)를 투과하지 않는 단열 재료인 섬유질 성분이 여과재(38) 상에 적층된다. 또한，여과재(38)를 투과한 수분 및 섬유질 성분은 흡인 펌프(41)의 토출 파이프(43)를 통하여 회수되지만, 재차 현탁액조(44) 내로 순환시키도록 하여도 된다.
또한, 이 경우, 지지축(33)을 통하여 지그(32)를 회전시킴으로써, 현탁액조(44) 내의 현탁액(40)을 교반할 수 있는 동시에, 여과재(38) 상에 균일한 두께로 단열 재료를 퇴적시킬 수 있다. 또한, 이 회전 조작에는, 베어링(45)에 끼워 넣어진 한 쪽의 지지축(33)과 연결된 모터(46)를 구동함으로써 조작하여도 된다. 그 때, 현탁액조(44)와 지지축(33) 사이에는, 예를 들어 기밀성을 갖는 시일재(47)를 설치하고, 현탁액조(44)로부터의 액 누설을 방지하도록 하면 된다. 이 공정에서, 원하는 층 두께의 단열재(4)가 형성되고, 지지체(13)의 지지편(18)의 선단부 및 단자판(14) 및 고정판(15)이 단열재(4) 내에 매설된다.
다음에 상기 지그(32)를 현탁액(40) 내로부터 인상하여, 여과재(38) 상에 퇴적한 단열 재료를 자연 혹은 강제적으로 건조시킴으로써, 원통 모양의 단열재(4)를 얻는다. 건조 후에, 단열재(4)와 여과재(38) 사이로부터 봉재(39)를 축 방향으로부터 빼어내고, 또한 단열재(4)와 발열 저항체(5) 사이로부터 여과재(38)를 빼낸다. 봉재(39)는 가는 직경으로 단열재(4)와의 접촉 면적이 작기 때문에 용이하게 빼낼 수 있고, 또한 봉재(39)를 빼냄으로써 단열재(4)와 여과재(38) 사이에 다소의 간극이 생기므로, 여과재(38)를 비교적 용이하게 빼낼 수 있다. 이 여과재(38)를 빼냄으로써, 단열재(4)과 발열 저항체(5) 사이에는 간극(s)[여과재(38)와 봉재(39)의 두께에 상당]이 형성되고, 이 간극(s)에 의해 발열 저항체(5)의 열팽창에 의한 반경 방향 외방으로의 변위를 허용할 수 있다.
지지체(13)를 지지하고 있는 지그(32)를 단열재(4)의 축 방향으로부터 뽑아냄으로써, 지그(32)를 지지체(13)로부터 제거한다. 그리고, 단열재(4)의 표면 처리 등을 행함으로써, 원통 모양의 단열재(4)의 내벽면에 지지체(13)를 통하여 발열 저항체(5)가 설치된 상태의 열처리로(2), 즉 히터(6)가 얻어진다.
이러한 공정으로 이루어지는 열처리로(2)의 제조 방법에 의하면, 고정판(15)의 접합부의 온도 상승 및 응력 집중을 억제할 수 있는 동시에 고정판(15)이 단열재(4)로부터 빠지기 어려워 유지성이 우수하여, 내구성이 높은 발열 저항체를 갖는 열처리로가 얻어진다. 또한, 발열 저항체(5)가 미리 나선 모양으로 형성되어 있고, 또한 이 발열 저항체(5)의 내측에 위치되는 기초부(17)와 기초부(17)로부터 직경 방향 외방으로 연장되는 복수개의 지지편(18)을 갖는 지지체(13)와, 이 지지체(13)를 주위 방향에서 소정 위치에 위치 결정하고 또한 축 방향으로 정렬시키는 지그(32)를 이용하여, 이 지그(32)를 회전시키면서 이 지그(32) 상에 상기 지지체(13)를 통하여 발열 저항체(5)를 장착하기 때문에, 발열 저항체(5)를 나선 모양으로 감는 수고를 생략할 수 있다. 게다가, 지지체(13)의 복수개의 지지편(18)에 의해 발열 저항체(5)의 배열 피치가 자동적으로 설정되는 점에서 배열의 수고도 생략할 수 있는 동시에 배열 피치의 정밀도가 향상된다.
또한, 본 발명에서는, 발열 저항체(5)의 외측에 단열재(4)를 설치할 경우에 는, 단순히 현탁액(40) 내에 침지된 발열 저항체(5)의 내측으로부터의 흡인만으로 발열 저항체(5)의 외측에 여과재(38)를 통하여 단열 재료를 퇴적시킴으로써 단열재(4)를 발열 저항체(5)의 외측에 형성할 수 있으므로, 거푸집의 조립이나 이형 작업이 불필요하다. 게다가, 단열재(4)는 건조하는 것만으로 되므로, 소성 공정이 불필요하기 때문에, 단시간에 단열재(4)를 형성하는 것이 가능하게 된다. 또한, 성형 후, 발열 저항체(5)와 단열재(4) 사이에 개재 설치된 여과재(38)를 빼내는 경우에는, 여과재(38)와 단열재(4) 사이에 개재 설치된 봉재(39)를 빼냄으로써 여과재(38)와 단열재(4) 사이에 간극이 생기고, 및 단자판(14)의 판면이 단열재(4)의 축 방향으로 배치되어 있어 여과재(38)가 단자판(14)에 걸리기 어렵기 때문에, 여과재(38)를 용이하게 단열재(4)로부터 빼내는 것이 가능하게 된다. 이상에 의해 열처리로(3)를 제조하는 경우에서의 작업성의 향상 및 제조 시간의 단축을 꾀할 수 있는 동시에, 발열 저항체(5)의 배열 피치의 배치 정밀도의 향상을 꾀할 수 있다.
또한, 본 발명은, 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지의 범위 내에서 다양한 설계 변경이 가능하다. 예를 들어, 처리 용기로서는, 도입관부 및 배기관부를 갖는 내열 금속, 예를 들어 스테인레스강제의 원통 모양의 매니폴드를 하단부에 접속하여 이루어지는 것으로도 되고, 또한 이중관 구조이어도 된다.
도1은 본 발명의 열처리로의 실시 형태를 개략적으로 도시하는 종단면도.
도2는 동일 열처리로의 일부를 도시하는 사시도.
도3은 동일 열처리로의 부분적 횡단면도.
도4는 동일 열처리로의 부분적 종단면도.
도5는 지지체를 도시하는 사시도.
도6의 (a)는 발열 저항체에 있어서의 단자판의 부착 구조를 부분적으로 도시하는 평면도이며, 도6의 (b)는, 발열 저항체에 있어서의 단자판의 부착 구조를 부분적으로 도시하는 측면도.
도7의 (a)는 발열 저항체에 있어서의 고정판의 부착 구조를 부분적으로 도시하는 평면도이며, 도7의 (b)는 발열 저항체에 있어서의 고정판의 부착 구조를 부분적으로 도시하는 측면도.
도8은 단자판 및 고정판을 갖는 발열 저항체를 개략적으로 도시하는 측면도.
도9는 본 발명을 적용한 열처리로의 제조 방법에 있어서 이용되는 지그의 구성을 설명하기 위한 사시도.
도10은 본 발명의 열처리로의 제조 방법에 있어서 여과재 모양으로 단열재를 퇴적시키는 공정을 설명하기 위한 모식도.
도11의 (a) 내지 도11의 (f)는, 발열 저항체에 부착된 고정판의 변형예를 도시하는 평면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 열처리 장치
2 : 열처리로
3 : 처리 용기
4 : 단열재
5 : 발열 저항체
6 : 히터

Claims (11)

  1. 피처리체를 수용하여 열처리하기 위한 처리 용기와,
    이 처리 용기를 위요하는 통 모양의 단열재와,
    단열재의 내주면을 따라 배치된 나선 모양의 발열 저항체와,
    단열재의 내주면에 축 방향으로 형성되어, 발열 저항체를 소정 피치로 지지하는 지지체와,
    발열 저항체의 외측에 부착되고, 단열재를 직경 방향으로 관통하여 외부로 연장된 복수의 단자판과,
    발열 저항체의 외측에 부착되고, 단열재에 고정되는 복수의 고정판을 구비하고,
    상기 고정판은, 발열 저항체에, 단자판과 발열 저항체의 부착 구조와 동일한 부착 구조에 의해 부착되며,
    상기 발열 저항체는, 고정판과의 부착 부분에서 절단되어 형성된 한 쌍의 단부와, 절단되어 형성된 각 단부가 단열재의 반경 방향 외방으로 절곡되어 형성되고, R 굽힘 형상으로 이루어지는 절곡부를 갖고,
    상기 고정판은, 그 양면이 상기 발열 저항체의 한 쌍의 단부의 사이에서 협지되어, 이 한 쌍의 단부에 용접에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 열처리로.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 고정판은, 단자판과 동일한 재질로 동일 단면 형상을 갖고, 또한 단열재 내에 매설되어 있어 외부로 돌출되지 않는 것을 특징으로 하는 열처리로.
  4. 제1항에 있어서, 상기 발열 저항체는, 지지체에 의해, 단열재의 내주면으로부터 소정의 간극을 사이에 둔 상태에서 열팽창 및 열수축 가능하게 지지되는 것을 특징으로 하는 열처리로.
  5. 제1항에 있어서, 상기 지지체는, 발열 저항체의 내측에 위치되는 기초부와, 기초부로부터 직경 방향 외방으로 연장되는 복수개의 지지편을 갖고,
    상기 지지편은, 직경 방향 외방의 선단부에 확대부 또는 돌기부를 갖는 것을 특징으로 하는 열처리로.
  6. 제1항에 있어서, 상기 고정판은, 발열 저항체의 측면에 직접 부착에 의해 고정되고,
    상기 고정판은 단열재 내에 매립되어 있는 것을 특징으로 하는 열처리로.
  7. 제1항에 있어서, 상기 고정판은 단열재 내에 매립되고,
    상기 고정판의 선단은, 단열재 내에서 절곡되어 있는 것을 특징으로 하는 열처리로.
  8. 제1항에 있어서, 상기 고정판은, 세부와, 당해 세부의 선단에 설치된 태부를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 열처리로.
  9. 제1항에 있어서, 상기 고정판은, 단열재를 직경 방향으로 관통하여 외부로 연장하고, 당해 단열재의 외방에서 고정 수단에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 열처리로.
  10. 피처리체를 수용하여 열처리하기 위한 처리 용기와, 이 처리 용기를 위요하는 통 모양의 단열재와, 단열재의 내주면을 따라 배치되는 나선 모양의 발열 저항체와, 단열재의 내주면에 축 방향으로 설치되어 발열 저항체를 소정 피치로 지지하는 지지체를 구비한 열처리로의 제조 방법이며,
    동일한 부착 구조에 의해 복수의 단자판 및 복수의 고정판이 부착된 나선 모양의 발열 저항체와, 발열 저항체의 내측에 위치되는 기초부와 기초부로부터 직경 방향 외방으로 연장되는 복수개의 지지편을 갖는 지지체와, 상기 지지체를 주위 방향에서 소정 위치에 위치 결정하고 또한 축 방향으로 정렬시키는 지그를 준비하는 공정과,
    상기 지그를 회전시키면서 지그 상에 상기 지지체를 개재하여 상기 발열 저항체를 장착하는 공정과,
    상기 발열 저항체의 외주에 상기 단자판, 고정판 및 지지체의 지지편을 피하여 여과재를 배치하고, 상기 여과재 상에 복수의 가는 직경의 봉재를 서로 이격하여 배치하는 공정과,
    상기 발열 저항체를 단열 재료인 무기질 섬유를 포함하는 현탁액 내에 침지시킨 후, 발열 저항체의 내측으로부터의 흡인에 의해 상기 여과재 상에 상기 단열 재료를 퇴적시키는 공정과,
    상기 여과재 상에 퇴적한 단열 재료를 건조시켜 단열재를 형성하는 공정과,
    건조 후에 상기 단열재와 상기 여과재 사이로부터 상기 봉재를 빼내는 공정과,
    상기 단열재와 상기 발열 저항체 사이로부터 상기 여과재를 빼내는 공정과,
    상기 지그를 상기 지지체로부터 제거하는 공정을 구비하며,
    동일한 부착 구조에 의해 복수의 단자판 및 복수의 고정판이 부착된 나선 모양의 발열 저항체를 준비하는 공정은,
    발열 저항체를, 고정판과의 부착 부분에서 절단하여 한 쌍의 단부를 형성하는 공정과,
    절단되어 형성된 각 단부를 단열재의 반경 방향 외방으로 절곡하여, R 굽힘 형상으로 이루어지는 절곡부를 형성하는 공정과,
    상기 고정판을, 상기 발열 저항체의 한 쌍의 단부의 사이에서 협지시켜, 이 한 쌍의 단부에 용접에 의해 고정하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 열처리로의 제조 방법.
  11. 삭제
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