KR101331580B1 - 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치 및 방법, 및 이를 구비한 패턴 인쇄 장치 및 방법 - Google Patents

인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치 및 방법, 및 이를 구비한 패턴 인쇄 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 얼라인 및 트래킹 장치 및 방법, 및 이를 구비한 패턴 인쇄 장치 및 방법을 개시한다.
본 발명에 따른 얼라인 및 트래킹 장치는 갠트리에 장착되며, 기판 상에 인쇄될 패턴의 얼라인 마크를 측정하기 위한 얼라인 카메라; 상기 얼라인 카메라와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 얼라인 카메라로부터 전송받은 상기 얼라인 마크의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크의 이미지에 기초하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 컨트롤러; 및 상기 갠트리의 하부에 장착되며, 상기 컨트롤러로부터 전송되는 상기 얼라인 보정값을 이용하여 상기 갠트리를 이동시켜 상기 인쇄롤과 상기 기판의 얼라인을 행한 후 상기 트래킹량을 이용하여 상기 인쇄롤을 상기 기판 상의 인쇄 시작 위치로 트래킹시키는 갠트리 이동 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치 및 방법, 및 이를 구비한 패턴 인쇄 장치 및 방법{Align and Tracking Device and Method of Printing Roll, and Pattern Printing Apparatus and Method Having the Same}
본 발명은 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치 및 방법, 및 이를 구비한 패턴 인쇄 장치 및 방법에 관한 것이다.
좀 더 구체적으로, 본 발명은 갠트리의 하부에 제공되는 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치를 이용하여 기판 상의 얼라인 마크를 기준으로 인쇄롤을 고정 상태의 기판과 얼라인시키고, 얼라인 시의 X축 및 Y축 모터의 이동량을 이용하여 계산된 패턴의 미스얼라인량으로부터 패턴 인쇄 시작 위치의 트래킹(tracking) 량을 자동으로 계산하여 인쇄롤을 인쇄 시작 위치로 이동한 후 패턴을 인쇄함으로써, 기판이 스테이지 상에 위치된 상태에 관계없이 얼라인이 가능하고, 동일 기판 상에 패턴의 중첩 인쇄가 가능하며, 스테이지 상에 제공되는 기판에 미치는 외부 진동의 영향이 최소화되고, 패턴의 중첩 인쇄가 필요한 기판의 전체 제조 시간(tact time) 및 비용이 현저하게 감소되며, 기판의 인쇄 품질이 향상되어 기판의 불량 발생 가능성이 현저하게 감소되는 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치 및 방법, 및 이를 구비한 패턴 인쇄 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 액정 디스플레이 패널(LCD) 또는 유기 발광 다이오드(OLED)와 같은 평판 디스플레이(Flat Panel Display: FPD)를 제조하기 위해서는 한 장의 대형 글래스 기판(glass substrate) 또는 인쇄회로기판(printed circuit board: PCB)과 같은 유연 기재(flexible substrate)(이하, 통칭하여 "기판"이라 합니다) 상에 전극(electrodes) 또는 도트(dots) 등과 같은 여러 개의 동일 또는 상이한 패턴들(예를 들어, 전극 회로 패턴, 컬러 필터(color filter), 블랙 매트릭스(black matrix) 또는 외장형 전자파 차단(EMI: electromagnetic interference) 필터를 형성하여야 한다. 이러한 패턴들은 예를 들어, 포토레지스트(photoresist: PR)액 또는 구리(Cu), 은(Ag), 알루미늄(Al) 등과 같은 금속 페이스트(paste)(이하, 통칭하여 "도액"이라 합니다)에 의해 형성된다.
상술한 평판 디스플레이(FPD)를 제조하기 위해서는 기판이 스테이지 상에 위치되어야 한다. 그 후, 예를 들어 스테이지 상에 위치된 기판 상에서 코팅 공정 또는 패턴 형성 공정, 노광 공정, 에칭 공정, 또는 접착제 도포 및 본딩 공정 등의 다양한 공정이 수행된다.
도 1a는 종래 기술의 패턴 인쇄 장치를 도시한 도면이다.
도 1a를 참조하면, 패턴 인쇄 장치(101)는 예를 들어, 그라비아롤(gravure roll: 미도시) 및 인쇄롤(120)을 사용하는 그라비아 오프셋 방식의 패턴 인쇄 장치가 사용된다.
좀 더 구체적으로, 도 1a에 도시된 종래 기술의 패턴 인쇄 장치(101)는 인쇄 패턴이 구비된 그라비아롤(미도시)로부터 인쇄 패턴에 대응되는 도액을 전사받아 기판(110) 상에 인쇄 패턴을 전사하는 인쇄롤(120); 상기 기판(110)이 장착되는 스테이지(140); 상기 인쇄롤(120)의 회전축(122)을 회전가능하게 지지하며, 상기 스테이지(140) 상에서 왕복 이동하는 갠트리(130); 상기 스테이지(140)의 하부에 장착되며, 상기 스테이지(140)의 얼라인을 제어하는 스테이지 얼라인 장치(150); 및 스테이지 얼라인 장치(150)가 장착되는 메인 프레임(160)을 포함한다.
상술한 종래 기술의 패턴 인쇄 장치(101)에서는 인쇄 패턴용 도액을 전사하기 전에 스테이지(140)에 장착된 기판(110)과 인쇄롤(120) 간의 얼라인이 이루어져야 한다. 이러한 기판(110)과 인쇄롤(120) 간의 얼라인을 위해 스테이지(140)의 하부에는 스테이지(140)의 X축, Y축, Z 축 및 θ축의 얼라인을 제어하는데 사용되는 스테이지 얼라인 장치(150)가 장착되어 있다. 이 경우, 기판(150)이 글래스 기판인 경우에는 예를 들어 로봇암과 같은 이송 장치(미도시)에 의해 스테이지(170) 상으로 이송되고, 기판(150)이 PCB와 같은 유연 기재인 경우에는 예를 들어 공급롤 및 회수롤(미도시)에 의해 스테이지(170) 상으로 공급된다.
이하에서는 설명의 편의를 위하여 패턴 인쇄 장치(101)에서 스테이지 얼라인 장치(150) 및 얼라인 동작을 기술하기로 한다.
도 1b는 종래 기술에 따른 스테이지 얼라인 장치를 개략적으로 도시한 평면도 및 측면도이고, 도 1c는 종래 기술에 따른 패턴 인쇄 장치를 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 1b 및 도 1c를 참조하면, 종래 기술에 따른 패턴 인쇄 장치(101)에서는 메인 프레임(160) 상에 스테이지(140)가 위치되고, 스테이지(140) 상에는 기판(110)이 장착되어 있다. 또한, 스테이지(140)의 하부에 장착되는 스테이지 얼라인 장치(150)가 장착되어 있다. 스테이지 얼라인 장치(150)에는 제 1 내지 제 4 구동부재(M1,M2,M3,M4)가 장착되어 있다.
따라서, 인쇄롤(120)이 기판(110) 상으로 이송되면, 스테이지 얼라인 장치(150)에 장착된 제 1 내지 제 4 구동부재(M1,M2,M3,M4)를 이용하여 스테이지(140)의 X축, Y축, Z축, 및 θ축 방향의 얼라인을 제어함으로써 기판(110)과 인쇄롤(120) 간의 얼라인이 이루어진다.
상술한 종래 기술에서 사용되는 제 1 내지 제 4 구동부재(M1,M2,M3,M4) 중 예를 들어 제 1 내지 제 3 구동부재(M1,M2,M3)는 각각 리니어 모터로 구현되고, 제 4 구동부재(M4)는 회전 모터로 구현될 수 있다.
또한, 상기 종래 기술에서는, 하나의 기판(110)이 장착된 하나의 스테이지(140) 및 하나의 스테이지 얼라인 장치(150)를 사용하는 것을 예시적으로 도시하였지만, 당업자라면 2개 이상의 복수의 기판을 사용하는 경우 이에 대응되는 복수의 스테이지 얼라인 장치가 사용되어야 한다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.
그러나, 상술한 종래 기술에서는 스테이지 얼라인 장치(150)를 이용하여 스테이지(140) 상의 기판(110)을 얼라인하는 경우 다음과 같은 문제점을 갖는다.
1. 스테이지(140)의 얼라인을 위해 사용되는 스테이지 얼라인 장치(150)를 사용하는 경우 진동이 발생한다. 이 경우, 발생한 진동은 스테이지(140)를 통해 스테이지(140) 상에 제공되는 기판(110)에 영향을 미친다. 특히, 스테이지 얼라인 장치(150)에 의해 스테이지(140)의 높이가 높아지는 경우, 스테이지(140) 상에 제공되는 기판(110)에 미치는 진동의 영향이 더 커진다. 그 결과, 기판의 인쇄 품질이 열화되거나 또는 불량 발생 가능성이 높아진다.
2. 또한, 동일 기판(110) 상에 2도 이상의 패턴의 중첩 인쇄가 요구되는 경우 1도 인쇄 패턴의 얼라인 상태가 양호한 경우라도 2도 인쇄 패턴의 얼라인 상태가 불량하면 최종 제품의 불량이 발생한다. 따라서, 패턴의 중첩 인쇄의 경우 스테이지 얼라인 장치(150)를 사용하는 경우 기판의 불량 발생 가능성이 높아진다.
3. 기판에 불량이 발생하는 경우 고가의 기판 전체가 폐기되어야 하므로 궁극적으로 기판의 제조 비용 및 제조 시간이 증가된다.
4. 전면 패턴 인쇄가 요구되는 다면취의 대면적 기판의 경우 상술한 종래 기술의 1 내지 3의 문제점이 더욱 현저하게 나타날 수 있다.
따라서, 상술한 문제점을 해결하기 위한 새로운 방안이 요구된다.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 갠트리의 하부에 제공되는 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치를 이용하여 기판 상의 얼라인 마크를 기준으로 인쇄롤을 고정 상태의 기판과 얼라인시키고, 얼라인 시의 X축 및 Y축 모터의 이동량을 이용하여 계산된 패턴의 미스얼라인량으로부터 패턴 인쇄 시작 위치의 트래킹(tracking) 량을 자동으로 계산하여 인쇄롤을 인쇄 시작 위치로 이동한 후 패턴을 인쇄함으로써, 기판이 스테이지 상에 위치된 상태에 관계없이 얼라인이 가능하고, 동일 기판 상에 패턴의 중첩 인쇄가 가능하며, 스테이지 상에 제공되는 기판에 미치는 외부 진동의 영향이 최소화되고, 패턴의 중첩 인쇄가 필요한 기판의 전체 제조 시간(tact time) 및 비용이 현저하게 감소되며, 기판의 인쇄 품질이 향상되어 기판의 불량 발생 가능성이 현저하게 감소되는 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치 및 방법, 및 이를 구비한 패턴 인쇄 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 1 특징에 따른 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치는 갠트리에 장착되며, 기판 상에 인쇄될 패턴의 얼라인 마크를 측정하기 위한 얼라인 카메라; 상기 얼라인 카메라와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 얼라인 카메라로부터 전송받은 상기 얼라인 마크의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크의 이미지에 기초하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 컨트롤러; 및 상기 갠트리의 하부에 장착되며, 상기 컨트롤러로부터 전송되는 상기 얼라인 보정값을 이용하여 상기 갠트리를 이동시켜 상기 인쇄롤과 상기 기판의 얼라인을 행한 후 상기 트래킹량을 이용하여 상기 인쇄롤을 상기 기판 상의 인쇄 시작 위치로 트래킹시키는 갠트리 이동 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 2 특징에 따른 패턴 인쇄 장치는 기판을 지지하는 스테이지; 상기 기판 상에 패턴을 인쇄하기 위한 인쇄롤; 상기 인쇄롤이 승강 가능하게 장착되는 갠트리; 상기 갠트리에 장착되며, 기판 상에 인쇄될 패턴의 얼라인 마크를 측정하기 위한 얼라인 카메라; 상기 얼라인 카메라와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 얼라인 카메라로부터 전송받은 상기 얼라인 마크의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크의 이미지에 기초하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 컨트롤러; 상기 갠트리의 하부에 장착되며, 상기 컨트롤러로부터 전송되는 상기 얼라인 보정값을 이용하여 상기 갠트리를 이동시켜 상기 인쇄롤과 상기 기판의 얼라인을 행한 후 상기 트래킹량을 이용하여 상기 인쇄롤을 상기 기판 상의 인쇄 시작 위치로 트래킹시키는 갠트리 이동 장치; 및 상기 갠트리 이동 장치의 하부에 장착되며, 상기 기판 상에서 상기 갠트리가 직선 이동하는 한 쌍의 LM 가이드를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 3 특징에 따른 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 방법은 a) 갠트리에 장착된 얼라인 카메라를 이용하여 기판 상에 인쇄될 패턴에 대한 얼라인 마크를 측정하고, 측정된 상기 얼라인 마크의 이미지를 컨트롤러로 전송하는 단계; b) 상기 얼라인 마크의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크의 이미지를 비교하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 단계; c) 갠트리 이동 장치를 이용하여 상기 갠트리를 상기 얼라인 보정값만큼 X축 및 Y축 방향으로 이동시켜 상기 기판에 대해 상기 인쇄롤을 얼라인하는 단계; 및 d) 한 쌍의 LM 가이드 상에서 상기 갠트리가 상기 X축 방향을 따라 인쇄 시작 위치로 이동하는 동안, 상기 갠트리 이동 장치를 이용하여 상기 갠트리를 상기 트래킹량만큼 이동시켜 상기 인쇄롤이 상기 기판에 대해 얼라인 상태를 유지하도록 트래킹시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 4 특징에 따른 패턴 인쇄 방법은 a) 스테이지 상에 기판을 제공하는 단계; b) 갠트리에 장착된 얼라인 카메라를 이용하여 상기 기판 상에 인쇄될 패턴에 대한 얼라인 마크를 측정하고, 측정된 상기 얼라인 마크의 이미지를 컨트롤러로 전송하는 단계; c) 상기 얼라인 마크의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크의 이미지를 비교하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 단계; d) 갠트리 이동 장치를 이용하여 상기 갠트리를 상기 얼라인 보정값만큼 X축 및 Y축 방향으로 이동시켜 상기 기판에 대해 인쇄롤을 얼라인하는 단계; e) 한 쌍의 LM 가이드 상에서 상기 갠트리가 상기 X축 방향을 따라 인쇄 시작 위치로 이동하는 동안, 상기 갠트리 이동 장치를 이용하여 상기 갠트리를 상기 트래킹량만큼 이동시켜 상기 인쇄롤이 상기 기판에 대해 얼라인 상태를 유지하도록 트래킹시키는 단계; 및 f) 상기 한 쌍의 LM 가이드 상에서 상기 갠트리가 상기 X축 방향을 따라 상기 인쇄 시작 위치에서 인쇄 종료 위치까지 이동하는 동안, 상기 갠트리 이동 장치를 이용하여 상기 갠트리를 상기 트래킹량의 보상 트래킹량만큼 트래킹시켜 상기 기판 상에 상기 패턴을 인쇄하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치 및 방법, 및 이를 구비한 패턴 인쇄 장치 및 방법을 사용하면 다음과 같은 장점이 달성된다.
1. 기판이 스테이지 상에 위치된 상태에 관계없이 얼라인이 가능하다.
2. 동일 기판 상에 패턴의 중첩 인쇄가 가능하다.
3. 스테이지 얼라인 장치를 사용하지 않으므로 스테이지 상에 제공되는 기판에 미치는 외부 진동의 영향이 최소화된다.
4. 패턴의 중첩 인쇄가 필요한 기판의 전체 제조 시간(tact time) 및 비용이 현저하게 감소된다.
5, 기판의 인쇄 품질이 향상되어 기판의 불량 발생 가능성이 현저하게 감소된다.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.
도 1a는 종래 기술의 패턴 인쇄 장치를 도시한 도면이다.
도 1b는 종래 기술에 따른 스테이지 얼라인 장치를 개략적으로 도시한 평면도 및 측면도이다.
도 1c는 종래 기술에 따른 패턴 인쇄 장치를 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 장치의 정단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2b는 도 2a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 장치에 사용되는 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치의 상세 단면도를 도시한 도면이다.
도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치를 구비한 패턴 인쇄 장치를 사용하여 패턴 인쇄 시에 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 방법을 설명하기 위해 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2d는 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인 마크의 이미지와 기준 얼라인 마크의 이미지의 미스얼라인 상태를 예시적으로 도시한 도면이다.
도 2e는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄롤의 트래킹량을 구하기 위해 도 2c에 도시된 얼라인 시의 기판의 중심점 및 인쇄 시작 위치에서의 기판의 중심점을 확대하여 도시한 도면이다.
도 2f는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치를 구비한 패턴 인쇄 장치를 사용하여 패턴 인쇄 시에 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치의 동작을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 방법을 도시한 플로우차트이다.
도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 방법을 도시한 플로우차트이다.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 설명한다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 장치의 정단면도를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2b는 도 2a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 장치에 사용되는 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치의 상세 단면도를 도시한 도면이고, 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치를 구비한 패턴 인쇄 장치를 사용하여 패턴 인쇄 시에 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 방법을 설명하기 위해 개략적으로 도시한 도면이며, 도 2d는 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인 마크의 이미지와 기준 얼라인 마크의 이미지의 미스얼라인 상태를 예시적으로 도시한 도면이다.
도 2a 내지 도 2d를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤(220)의 얼라인 및 트래킹 장치(200)는 갠트리(230)에 장착되며, 기판(210) 상에 인쇄될 패턴(P)의 얼라인 마크(AM)를 측정하기 위한 얼라인 카메라(280); 상기 얼라인 카메라(280)와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 얼라인 카메라(280)로부터 전송받은 상기 얼라인 마크(AM)의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크(RM)의 이미지에 기초하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 컨트롤러(282); 및 상기 갠트리(230)의 하부에 장착되며, 상기 컨트롤러(282)로부터 전송되는 상기 얼라인 보정값을 이용하여 상기 갠트리(230)를 이동시켜 상기 인쇄롤(220)과 상기 기판(210)의 얼라인을 행한 후 상기 트래킹량을 이용하여 상기 인쇄롤(220)을 상기 기판(210) 상의 인쇄 시작 위치로 이동(트래킹)시키는 갠트리 이동 장치(270)를 포함한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 장치(201)는 기판(210)을 지지하는 스테이지(240); 상기 기판(210) 상에 패턴을 인쇄하기 위한 인쇄롤(220); 상기 인쇄롤(220)이 승강 가능하게 장착되는 갠트리(230); 상기 갠트리(230)에 장착되며, 기판(210) 상에 인쇄될 패턴(P)의 얼라인 마크(AM)를 측정하기 위한 얼라인 카메라(280); 상기 얼라인 카메라(280)와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 얼라인 카메라(280)로부터 전송받은 상기 얼라인 마크(AM)의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크(RM)의 이미지에 기초하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 컨트롤러(282); 상기 갠트리(230)의 하부에 장착되며, 상기 컨트롤러(282)로부터 전송되는 상기 얼라인 보정값을 이용하여 상기 갠트리(230)를 이동시켜 상기 인쇄롤(220)과 상기 기판(210)의 얼라인을 행한 후 상기 트래킹량을 이용하여 상기 인쇄롤(220)을 상기 기판(210) 상의 인쇄 시작 위치로 이동(트래킹)시키는 갠트리 이동 장치(270); 및 상기 갠트리 이동 장치(270)의 하부에 장착되며, 상기 기판(210) 상에서 상기 갠트리(230)가 직선 이동하는 한 쌍의 LM 가이드(232)를 포함한다. 여기서, 상기 스테이지(240) 및 상기 한 쌍의 LM 가이드(232)는 메인 프레임(260) 상에 고정 장착된다.
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤(220)의 얼라인 및 트래킹 장치(200) 및 패턴 인쇄 장치(201)는 각각 컨트롤러(282)와 연결되며, 상기 얼라인 마크(AM)의 이미지와 기준 얼라인 마크(RM)의 이미지를 디스플레이하는 모니터링 장치(284)를 추가로 포함할 수 있다.
또한, 상술한 얼라인 카메라(280)는 예를 들어 라인 카메라(line camera) 또는 에어리어 카메라(area camera)로 구현될 수 있고, 상기 컨트롤러(280)는 에를 들어 개인용 컴퓨터(PC), 마이크로프로세서, 또는 프로그램가능 논리 제어 장치(PLC: Programmable Logic Controller) 등으로 구현될 수 있다.
한편, 도 2b를 참조하면, 갠트리 이동 장치(270)는 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치(270L,270R)로 구성되며, 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치(270L,270R)는 각각 동일한 구성을 갖는다. 따라서, 이하에서는 제 1 갠트리 이동 장치(270L)에 대해서만 기술하기로 한다.
다시 도 2b를 참조하면, 제 1 갠트리 이동 장치(270L)는 베이스 부재(B); 상기 베이스 부재(B) 상에 제공되며, 상기 인쇄롤(220)의 X축 방향 얼라인을 위해 상기 갠트리(230)를 X축 방향으로 이동시키는 X축 이동 장치(270a); 및 상기 인쇄롤(220)의 Y축 방향 얼라인을 위해 상기 갠트리(230)를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 이동 장치(270b)를 포함한다.
좀 더 구체적으로, X축 이동 장치(270a)는 한 쌍의 X축 방향 레일(Rx), 및 상기 한 쌍의 X축 방향 레일(Rx) 상에 장착되는 한 쌍의 X축 이동 가이드(274)로 구성되는 X축 LM 가이드(LMGx); 상기 X축 LM 가이드(LMGx) 상에 장착되는 X축 플레이트(272); 및 상기 한 쌍의 X축 이동 가이드(274)를 구동하기 위한 제 1 구동 부재(M1)로 구성된다.
또한, Y축 이동 장치(270b)는 상기 X축 플레이트(272) 상에 제공되는 한 쌍의 Y축 방향 레일(Ry), 및 상기 한 쌍의 Y축 방향 레일(Ry) 상에 장착되는 한 쌍의 Y축 이동 가이드(278)로 구성되는 Y축 LM 가이드(LMGy); 상기 Y축 LM 가이드(LMGy) 상에 장착되는 Y축 플레이트(276); 및 상기 한 쌍의 Y축 이동 가이드(278)를 구동하기 위한 제 2 구동 부재(M2)로 구성된다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤(220)의 얼라인 및 트래킹 장치(200) 및 이를 구비한 패턴 인쇄 장치(201)의 구체적인 구성 및 동작을 상세히 기술한다.
다시 도 2a 내지 도 2d를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤(220)의 얼라인 및 트래킹 장치(200)는 먼저 스테이지(240) 상에 위치된 기판(210)의 중심점(C)으로 이동한 후, 갠트리(230)에 장착된 얼라인 카메라(280)를 이용하여 기판(210) 상에 인쇄될 패턴(P)의 얼라인 마크(AM)를 측정한다. 그 후, 측정된 얼라인 마크(AM)의 이미지는 컨트롤러(282)로 전송한다. 이를 위해, 얼라인 카메라(280)와 컨트롤러(282)는 유선 또는 무선 방식으로 연결되어 있다.
그 후, 컨트롤러(282)는 전송받은 얼라인 마크(AM)의 이미지를 기준 얼라인 마크(RM)의 이미지와 비교하여 인쇄롤(220)과 기판(210)(정확하게는 기판(210) 상에 인쇄될 패턴(P)) 간의 미스얼라인 상태를 확인한다(도 2d 참조). 이 경우, 기준 얼라인 마크(RM)는 컨트롤러(282)에 미리 저장되는 것이 바람직하다.
좀 더 구체적으로, 도 2d에 도시된 바와 같이, 예를 들어 제 1 및 제 2 기준 얼라인 마크(RM1,RM2)의 X축 및 Y축 좌표가 각각 (0,-y0) 및 (0,+y0)이고, 얼라인 카메라(280)를 이용하여 측정된 제 1 및 제 2 얼라인 마크(AM1,AM2)의 X축 및 Y축 좌표가 각각 (-x1,-y1) 및 (+x2,+y2)라고 가정한다. 이 경우, 컨트롤러(282)는 제 1 얼라인 마크(AM1)와 제 1 기준 얼라인 마크(RM1)의 좌표 비교로부터 인쇄롤(220)과 기판(110)이 (-x1,-y1+y0)만큼 미스얼라인 상태이고, 제 2 얼라인 마크(AM2)와 제 2 기준 얼라인 마크(RM2)의 좌표 비교로부터 (+x2,+y2-y0)만큼 미스얼라인 상태임을 확인한다. 그에 따라, 컨트롤러(282)에 의해 계산된 제 1 및 제 2 얼라인 마크(AM1,AM2)의 얼라인 보정값은 각각 (-x1,-y1+y0) 및 (+x2,+y2-y0)이다.
한편, 컨트롤러(282)는 상술한 제 1 및 제 2 얼라인 마크(AM1,AM2)의 이미지와 제 1 및 제 2 기준 얼라인 마크(RM1,RM2)의 이미지를 모니터링 장치(284)로 전송하여 모니터링 장치(284) 상에 디스플레이할 수 있다. 그 결과, 사용자는 제 1 및 제 2 얼라인 마크(AM1,AM2)와 제 1 및 제 2 기준 얼라인 마크(RM1,RM2) 간의 미스얼라인 상태, 및 컨트롤러(282)에 의해 계산된 얼라인 보정값을 시각적으로 확인할 수 있다.
그 후, 컨트롤러(282)는 계산된 얼라인 보정값으로부터 인쇄롤(220)의 트래킹량을 자동으로 계산한다.
좀 더 구체적으로, 상술한 바와 같이 컨트롤러(282)는 계산된 얼라인 보정값으로부터 제 1 및 제 2 얼라인 마크(AM1,AM2)의 X축 방향 거리(Δx) = x2-(-x1) = (x2+x1), 및 Y축 방향 거리(Δy) = y2-y0-(-y1+y0) = (y2+y1-2y0)을 계산한다. 그 후, tanθ= Δx/Δy의 관계식으로부터 인쇄롤(220)의 tanθ의 값 및 회전 각도값 θ를 계산한다. 그 후, 컨트롤러(282)는 인쇄롤(220)을 기판(210) 상에 인쇄될 패턴(P)의 인쇄 시작 위치(PS)로 이동시키면서 인쇄롤(220)이 기판(210)과 얼라인 상태를 유지하도록 트래킹시키기 위한 트래킹량을 계산한다.
도 2e는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄롤의 트래킹량을 구하기 위해 도 2c에 도시된 얼라인 시의 기판의 중심점 및 인쇄 시작 위치에서의 기판의 중심점을 확대하여 도시한 도면이다.
도 2e를 도 2a 내지 도 2d와 함께 참조하면, 인쇄롤(220)은 기판(210) 상에 패턴(P)을 인쇄하기 위해, 얼라인 시의 기판(210)의 중심점(C)이 인쇄 시작 위치(PS)에서의 기판(210)의 중심점(C2)로 이동하여야 한다. 이 경우, 인쇄 시작 위치(PS)에서의 기판(210)의 중심점(C2)은 기판(210)이 인쇄롤(220)에 대해 틀어지지 않은 경우 점선으로 표시된 원래 인쇄 시작 위치에서의 기판(210)의 중심점(C1)과 이격 거리(Lc)만큼 이격되어 있다.
도 2c 및 도 2e에서 알 수 있는 바와 같이, 인쇄롤(220)의 인쇄 시작 위치(PS)까지의 이동 거리(Lb)는 La x tanθ로 주어진다. 여기서, La의 값은 미리 알고 있는 값이고, tanθ의 값은 제 1 및 제 2 얼라인 마크(AM1,AM2)의 얼라인 보정값으로부터 이미 계산된 값이므로 인쇄롤(220)의 이동 거리(Lb)도 자동으로 계산될 수 있다. 그 후, 컨트롤러(282)는 이격 거리(Lc) = (La2 - Lb2)1/2로부터 Lc를 계산한다. 인쇄롤(220)이 인쇄 시작 위치(PS)까지 이동 거리(Lb)만큼 이동하는 동안, 인쇄롤(220)의 X축 및 Y축 트래킹량(Tx,Ty)은 각각 Tx = Lc x sinθ, 및 Ty = Lc x cosθ로 주어진다. 따라서, 컨트롤러(282)는 계산된 Lc 및 θ의 값으로부터 Tx 및 Ty 값을 계산한다.
상술한 바와 같이, 얼라인 보정값 및 트래킹량이 계산되면, 컨트롤러(282)는 제 1 갠트리 이동 장치(270L)의 제 1 및 제 2 구동 부재(M1,M2)를 이용하여 갠트리(230)를 X축 및 Y축 방향으로 각각 -x1 및 (-y1+y0)만큼 이동시키고, 제 2 갠트리 이동 장치(270R)의 제 3 및 제 4 구동 부재(미도시)를 이용하여 갠트리(230)를 X축 및 Y축 방향으로 각각 +x2 및 (+y2-y0)만큼 이동시킨다. 그 결과, 갠트리(230)에 장착된 인쇄롤(220)과 기판(210) 간의 얼라인이 이루어진다.
그 후, 한 쌍의 LM 가이드(232) 상에서 갠트리(230)가 상술한 바와 같이 La의 값만큼 X축 방향을 따라 인쇄 시작 위치(PS)로 이동하는 동안, 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치(270L,270R)는 갠트리(230)를 X축 및 Y축 트래킹량(Tx,Ty)만큼 이동시켜 인쇄롤(220)이 기판(210)과 얼라인 상태를 유지하도록 트래킹시킨다.
도 2f는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치를 구비한 패턴 인쇄 장치를 사용하여 패턴 인쇄 시에 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치의 동작을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2f를 참조하면, 인쇄롤(220)이 장착된 갠트리(230)는 인쇄 시작 위치(PS)에서 한 쌍의 LM 가이드(232)에 의해 기판(210) 상의 제 1 중심점(Ca1)에서 시작하여 기판(210) 상의 중심점(C)을 통과하여 인쇄 종료 위치(PE)의 기판(210) 상의 제 2 중심점(Ca2)까지 X축 방향을 따라 이동한다. 이와 동시에, 갠트리(230) 하부에 제공되는 갠트리 이동 장치(270)를 구성하는 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치(270L,270R)에 의해 갠트리(230)는 인쇄 시작 위치(PS)에서 기판(210) 상의 제 1 얼라인 중심점(Cb1)에서 시작하여 기판(210) 상의 중심점(C)을 통과하여 인쇄 종료 위치(PE)의 기판(210) 상의 제 2 얼라인 중심점(Cb2)까지 X축 및 Y축 방향으로 트래킹 경로(Cb1 -> C -> Cb2 경로)를 따라 이동(트래킹)한다. 이 경우, 인쇄롤(220)은 제 1 얼라인 중심점(Cb1)에서 중심점(C)까지 및 중심점(C)에서 제 2 얼라인 중심점(Cb2)까지 각각 상술한 X축 및 Y축 트래킹량(Tx,Ty)에 대응되는 보상 트래킹량(-Tx,-Ty)만큼의 비율로 이동(트래킹)하게 된다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 패턴 인쇄 장치(201)는 인쇄롤(220)의 얼라인 및 트래킹 장치(200)를 이용하여 인쇄롤(220)이 기판(210)에 대해 얼라인 상태를 유지하면서 기판(210) 상에 패턴(P)을 인쇄할 수 있다.
또한, 기판(210) 상에 패턴(P)이 인쇄된 후, 하나 이상의 추가 패턴(미도시)을 중첩하여 인쇄하고자 할 경우, 하나 이상의 추가 패턴에 대응되는 추가 얼라인 마크(미도시)에 대해 도 2a 내지 도 2f를 참조하여 상세히 기술한 바와 동일한 방식으로 얼라인 및 트래킹을 행하여 기판(210) 상에 하나 이상의 추가 패턴을 인쇄할 수 있다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 방법을 도시한 플로우차트이다.
도 3a를 도 2a 내지 도 2f와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤(220)의 얼라인 및 트래킹 방법(300)은 a) 갠트리(230)에 장착된 얼라인 카메라(280)를 이용하여 기판(210) 상에 인쇄될 패턴(P)에 대한 얼라인 마크(AM)를 측정하고, 측정된 상기 얼라인 마크(AM)의 이미지를 컨트롤러(282)로 전송하는 단계(310); b) 상기 얼라인 마크(AM)의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크(RM)의 이미지를 비교하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 단계(320); c) 갠트리 이동 장치(270)를 이용하여 상기 갠트리(230)를 상기 얼라인 보정값만큼 X축 및 Y축 방향으로 이동시켜 상기 기판(210)에 대해 인쇄롤(220)을 얼라인하는 단계(330); 및 d) 한 쌍의 LM 가이드(232) 상에서 상기 갠트리(230)가 상기 X축 방향을 따라 인쇄 시작 위치(PS)로 이동하는 동안, 상기 갠트리 이동 장치(270)를 이용하여 상기 갠트리(230)를 상기 트래킹량만큼 이동시켜 상기 인쇄롤(220)이 상기 기판(210)에 대해 얼라인 상태를 유지하도록 트래킹시키는 단계(340)를 포함한다.
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤(220)의 얼라인 및 트래킹 방법(300)의 상기 b) 단계에서 상기 컨트롤러(282)는 상기 얼라인 마크(AM)의 이미지 및 상기 기준 얼라인 마크(RM)의 이미지를 모니터링 장치(284)로 전송하여 디스플레이하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤(220)의 얼라인 및 트래킹 방법(300)은 상기 기판(210) 상에 하나 이상의 추가 패턴의 인쇄가 요구되는 경우 상기 하나 이상의 추가 패턴에 대응되는 하나 이상의 추가 얼라인 마크에 대해 상기 a) 단계 내지 상기 d) 단계를 반복하여 수행하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 패턴 인쇄 방법을 도시한 플로우차트이다.
도 3b를 도 2a 내지 도 2f와 함께 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 패턴 인쇄 방법(301)은 a) 스테이지(240) 상에 기판(210)을 제공하는 단계(310); b) 갠트리(230)에 장착된 얼라인 카메라(280)를 이용하여 상기 기판(210) 상에 인쇄될 패턴(P)에 대한 얼라인 마크(AM)를 측정하고, 측정된 상기 얼라인 마크(AM)의 이미지를 컨트롤러(282)로 전송하는 단계(320); c) 상기 얼라인 마크(AM)의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크(RM)의 이미지를 비교하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 단계(330); d) 갠트리 이동 장치(270)를 이용하여 상기 갠트리(230)를 상기 얼라인 보정값만큼 X축 및 Y축 방향으로 이동시켜 상기 기판(210)에 대해 인쇄롤(220)을 얼라인하는 단계(340); e) 한 쌍의 LM 가이드(232)를 이용하여 상기 갠트리(230)를 상기 X축 방향을 따라 인쇄 시작 위치(PS)로 이동시키는 동안, 상기 갠트리 이동 장치(270)를 이용하여 상기 갠트리(230)를 상기 트래킹량만큼 이동시켜 상기 인쇄롤(220)이 상기 기판(210)에 대해 얼라인 상태를 유지하도록 트래킹시키는 단계(350); 및 f) 상기 한 쌍의 LM 가이드(232)를 이용하여 상기 갠트리(230)를 상기 X축 방향을 따라 상기 인쇄 시작 위치(PS)에서 인쇄 종료 위치(PE)까지 이동시키는 동안, 상기 갠트리 이동 장치(270)를 이용하여 상기 갠트리(230)를 상기 트래킹량의 보상 트래킹량만큼 트래킹시켜 상기 기판(210) 상에 상기 패턴(P)을 인쇄하는 단계(360)를 포함한다.
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 방법(301)의 상기 d) 단계에서 상기 컨트롤러(282)는 상기 얼라인 마크(AM)의 이미지 및 상기 기준 얼라인 마크(RM)의 이미지를 모니터링 장치(284)로 전송하여 디스플레이하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
또한, 상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 방법(301)은 상기 기판(210) 상에 하나 이상의 추가 패턴의 인쇄가 요구되는 경우 상기 하나 이상의 추가 패턴에 대응되는 하나 이상의 추가 얼라인 마크에 대해 상기 a) 단계 내지 상기 f) 단계를 반복하여 수행하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에서는 기판이 스테이지 상에 위치된 상태에 관계없이 얼라인이 가능하고, 동일 기판 상에 패턴의 중첩 인쇄가 가능하며, 스테이지 얼라인 장치를 사용하지 않으므로 스테이지 상에 제공되는 기판에 미치는 외부 진동의 영향이 최소화되고, 패턴의 중첩 인쇄가 필요한 기판의 전체 제조 시간(tact time) 및 비용이 현저하게 감소되며, 기판의 인쇄 품질이 향상되어 기판의 불량 발생 가능성이 현저하게 감소된다는 장점이 달성된다.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.
101,201: 패턴 인쇄 장치 110,210: 기판 120,220: 인쇄롤
122,222: 회전축 130,230: 갠트리 140,240: 스테이지
150: 스테이지 얼라인 장치 160,260: 메인 프레임
200: 패턴 얼라인 및 트래킹 장치 232,LMGx,LMGy: LM 가이드
270,270L,270R: 갠트리 이동 장치 270a,270b: 이동 장치
272,276: 플레이트 274,278: 이동 가이드 280: 얼라인 카메라
282: 컨트롤러 284: 모니터링 장치 AM,AM1,AM2: 얼라인 마크
B: 베이스 부재 M1,M2,M3,M4: 구동부재 P: 패턴
PE: 인쇄 종료 위치 PS: 인쇄 시작 위치
RM,RM1,RM2: 기준 얼라인 마크 Rx,Ry: 레일 Tx,Ty: 트래킹량

Claims (16)

  1. 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치에 있어서,
    갠트리에 장착되며, 기판 상에 인쇄될 패턴의 얼라인 마크를 측정하기 위한 얼라인 카메라;
    상기 얼라인 카메라와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 얼라인 카메라로부터 전송받은 상기 얼라인 마크의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크의 이미지에 기초하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 컨트롤러; 및
    상기 갠트리의 하부에 장착되며, 상기 컨트롤러로부터 전송되는 상기 얼라인 보정값을 이용하여 상기 갠트리를 이동시켜 상기 인쇄롤과 상기 기판의 얼라인을 행한 후 상기 트래킹량을 이용하여 상기 인쇄롤을 상기 기판 상의 인쇄 시작 위치로 트래킹시키는 갠트리 이동 장치
    를 포함하고,
    상기 인쇄롤은 상기 인쇄 시작 위치로부터 인쇄 종료 위치까지 이동시키는 동안 상기 기판에 대해 상기 얼라인 상태를 유지하면서 상기 기판 상에 상기 패턴을 인쇄하는
    인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치는 상기 컨트롤러와 연결되며, 상기 얼라인 마크의 이미지와 상기 기준 얼라인 마크의 이미지를 디스플레이하는 모니터링 장치를 추가로 포함하는 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 갠트리 이동 장치는 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치로 구성되고,
    상기 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치는 각각
    베이스 부재;
    상기 베이스 부재 상에 제공되며, 상기 인쇄롤의 X축 방향 얼라인을 위해 상기 갠트리를 X축 방향으로 이동시키는 X축 이동 장치; 및
    상기 인쇄롤의 Y축 방향 얼라인을 위해 상기 갠트리를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 이동 장치
    를 포함하는
    인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치의 하부에 제공되는 한 쌍의 LM 가이드 상에서 상기 갠트리가 상기 X축 방향을 따라 상기 인쇄 시작 위치로 이동하는 동안, 상기 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치는 상기 갠트리를 상기 트래킹량만큼 이동시켜 상기 인쇄롤이 상기 기판에 대해 얼라인 상태를 유지하도록 트래킹시키는 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치.
  5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 측정 카메라는 라인 카메라 또는 에어리어 카메라로 구현되고,
    상기 컨트롤러는 개인용 컴퓨터(PC), 마이크로프로세서, 및 프로그램가능 논리 제어 장치(PLC) 중 어느 하나로 구현되는
    인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치.
  6. 패턴 인쇄 장치에 있어서,
    기판을 지지하는 스테이지;
    상기 기판 상에 패턴을 인쇄하기 위한 인쇄롤;
    상기 인쇄롤이 승강 가능하게 장착되는 갠트리;
    상기 갠트리에 장착되며, 기판 상에 인쇄될 패턴의 얼라인 마크를 측정하기 위한 얼라인 카메라;
    상기 얼라인 카메라와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 얼라인 카메라로부터 전송받은 상기 얼라인 마크의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크의 이미지에 기초하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 컨트롤러;
    상기 갠트리의 하부에 장착되며, 상기 컨트롤러로부터 전송되는 상기 얼라인 보정값을 이용하여 상기 갠트리를 이동시켜 상기 인쇄롤과 상기 기판의 얼라인을 행한 후 상기 트래킹량을 이용하여 상기 인쇄롤을 상기 기판 상의 인쇄 시작 위치로 트래킹시키는 갠트리 이동 장치; 및
    상기 갠트리 이동 장치의 하부에 장착되며, 상기 기판 상에서 상기 갠트리가 직선 이동하는 한 쌍의 LM 가이드
    를 포함하고,
    상기 인쇄롤은 상기 인쇄 시작 위치로부터 인쇄 종료 위치까지 이동시키는 동안 상기 기판에 대해 상기 얼라인 상태를 유지하면서 상기 기판 상에 상기 패턴을 인쇄하는
    패턴 인쇄 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 패턴 인쇄 장치는 상기 컨트롤러와 연결되며, 상기 얼라인 마크의 이미지와 상기 기준 얼라인 마크의 이미지를 디스플레이하는 모니터링 장치를 추가로 포함하는 패턴 인쇄 장치.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 갠트리 이동 장치는 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치로 구성되고,
    상기 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치는 각각
    베이스 부재;
    상기 베이스 부재 상에 제공되며, 상기 인쇄롤의 X축 방향 얼라인을 위해 상기 갠트리를 X축 방향으로 이동시키는 X축 이동 장치; 및
    상기 인쇄롤의 Y축 방향 얼라인을 위해 상기 갠트리를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 이동 장치
    를 포함하는
    패턴 인쇄 장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 한 쌍의 LM 가이드 상에서 상기 갠트리가 상기 X축 방향을 따라 상기 인쇄 시작 위치로 이동하는 동안, 상기 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치는 상기 갠트리를 상기 트래킹량만큼 이동시켜 상기 인쇄롤이 상기 기판에 대해 얼라인 상태를 유지하도록 트래킹시키는 패턴 인쇄 장치.
  10. 제 6항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 측정 카메라는 라인 카메라 또는 에어리어 카메라로 구현되고,
    상기 컨트롤러는 개인용 컴퓨터(PC), 마이크로프로세서, 및 프로그램가능 논리 제어 장치(PLC) 중 어느 하나로 구현되는
    패턴 인쇄 장치.
  11. 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 방법에 있어서,
    a) 갠트리에 장착된 얼라인 카메라를 이용하여 기판 상에 인쇄될 패턴에 대한 얼라인 마크를 측정하고, 측정된 상기 얼라인 마크의 이미지를 컨트롤러로 전송하는 단계;
    b) 상기 얼라인 마크의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크의 이미지를 비교하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 단계;
    c) 갠트리 이동 장치를 이용하여 상기 갠트리를 상기 얼라인 보정값만큼 X축 및 Y축 방향으로 이동시켜 상기 기판에 대해 상기 인쇄롤을 얼라인하는 단계; 및
    d) 한 쌍의 LM 가이드 상에서 상기 갠트리가 상기 X축 방향을 따라 인쇄 시작 위치로 이동하는 동안, 상기 갠트리 이동 장치를 이용하여 상기 갠트리를 상기 트래킹량만큼 이동시켜 상기 인쇄롤이 상기 기판에 대해 얼라인 상태를 유지하도록 트래킹시키는 단계
    를 포함하고,
    상기 인쇄롤은 상기 인쇄 시작 위치로부터 인쇄 종료 위치까지 이동시키는 동안 상기 기판에 대해 상기 얼라인 상태를 유지하면서 상기 기판 상에 상기 패턴을 인쇄하는
    인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 방법.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 b) 단계에서 상기 컨트롤러는 상기 얼라인 마크의 이미지 및 상기 기준 얼라인 마크의 이미지를 모니터링 장치로 전송하여 디스플레이하는 단계를 추가로 포함하는 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 방법.
  13. 제 11항 또는 제 12항에 있어서,
    상기 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 방법은 상기 기판 상에 하나 이상의 추가 패턴의 인쇄가 요구되는 경우 상기 하나 이상의 추가 패턴에 대응되는 하나 이상의 추가 얼라인 마크에 대해 상기 a) 단계 내지 상기 d) 단계를 반복하여 수행하는 단계를 추가로 포함하는 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 방법.
  14. 패턴 인쇄 방법에 있어서,
    a) 스테이지 상에 기판을 제공하는 단계;
    b) 갠트리에 장착된 얼라인 카메라를 이용하여 상기 기판 상에 인쇄될 패턴에 대한 얼라인 마크를 측정하고, 측정된 상기 얼라인 마크의 이미지를 컨트롤러로 전송하는 단계;
    c) 상기 얼라인 마크의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크의 이미지를 비교하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 단계;
    d) 갠트리 이동 장치를 이용하여 상기 갠트리를 상기 얼라인 보정값만큼 X축 및 Y축 방향으로 이동시켜 상기 기판에 대해 인쇄롤을 얼라인하는 단계;
    e) 한 쌍의 LM 가이드 상에서 상기 갠트리가 상기 X축 방향을 따라 인쇄 시작 위치로 이동하는 동안, 상기 갠트리 이동 장치를 이용하여 상기 갠트리를 상기 트래킹량만큼 이동시켜 상기 인쇄롤이 상기 기판에 대해 얼라인 상태를 유지하도록 트래킹시키는 단계; 및
    f) 상기 한 쌍의 LM 가이드 상에서 상기 갠트리가 상기 X축 방향을 따라 상기 인쇄 시작 위치에서 인쇄 종료 위치까지 이동하는 동안, 상기 갠트리 이동 장치를 이용하여 상기 갠트리를 상기 트래킹량의 보상 트래킹량만큼 트래킹시켜 상기 기판 상에 상기 패턴을 인쇄하는 단계
    를 포함하고,
    상기 인쇄롤은 상기 인쇄 시작 위치로부터 인쇄 종료 위치까지 이동시키는 동안 상기 기판에 대해 상기 얼라인 상태를 유지하면서 상기 기판 상에 상기 패턴을 인쇄하는
    패턴 인쇄 방법.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 c) 단계에서 상기 컨트롤러는 상기 얼라인 마크의 이미지 및 상기 기준 얼라인 마크의 이미지를 모니터링 장치로 전송하여 디스플레이하는 단계를 추가로 포함하는 패턴 인쇄 방법.
  16. 제 14항 또는 제 15항에 있어서,
    상기 패턴 인쇄 방법은 상기 기판 상에 하나 이상의 추가 패턴의 인쇄가 요구되는 경우 상기 하나 이상의 추가 패턴에 대응되는 하나 이상의 추가 얼라인 마크에 대해 상기 a) 단계 내지 상기 f) 단계를 반복하여 수행하는 단계를 추가로 포함하는 패턴 인쇄 방법.
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